JP2002330558A - 電力送配システム監視方法および電力送配システム - Google Patents

電力送配システム監視方法および電力送配システム

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JP2002330558A JP2002040360A JP2002040360A JP2002330558A JP 2002330558 A JP2002330558 A JP 2002330558A JP 2002040360 A JP2002040360 A JP 2002040360A JP 2002040360 A JP2002040360 A JP 2002040360A JP 2002330558 A JP2002330558 A JP 2002330558A
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Kevin P Nasman
ピー、ナスマン ケヴィン
Aaron T Radomski
ティー、ラドムスキ アーロン
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    • H02JCIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電力送配システム用故障予測システムを提供
する。 【解決手段】 電力送配システムは、システム・モニタ
に相互接続されるいくつかのモジュールを含んでいる。
システム・モニタは、各モジュールの動作パラメータお
よび環境パラメータのデータを集める。システム・モニ
タは、パラメータに基づいて状態を明確に定めるために
データを解析する。次に、警告または故障インジケータ
を発生すべきかどうかを決定するために一組のルールが
パラメータに適用される。システム・モニタは、電力送
配システムの一部としてローカルに実現するか、あるい
はオフ・サイト・データ収集および解析をできるように
するために電力送配システムから遠隔配置することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電源の故障予測に
関し、特に、電源のパラメータの監視および警告インジ
ケータを発生するためのパラメータの解析に関する。
【0002】
【従来の技術】プラズマを利用するプラズマ堆積および
スパッタリング等の材料処理応用がよく知られている。
これらの処理には電力送配システムが必要である。一般
的に、電力送配システムは、プラズマ室に接続された無
線周波数(RF)または直流高電圧直流電流(DC)電
力信号を供給する。このような応用では、材料処理期間
中の電源の非調和、すなわち故障により処理中の材料の
全体損失を来たすことがある。このような損失は、不経
済であり非常に好ましくない。
【0003】現在、保守要求条件を予測して電力送配シ
ステムの故障を回避するために電力送配システムの動作
パラメータを監視するような半導体処理応用のための電
力送配システムはない。保守および故障を予測するため
に休みなく働くいかなる監視システムもないため、この
ような期間中、電力送配システム非調和、すなわち故障
を防止するには単に電力送配システムの保守スケジュー
ルを立てることが必要とされている。したがって、必要
な保守がタイムリに行われず、電力送配システムの非調
和動作、すなわち故障を生じることがある。
【0004】また、現在の電力送配システムは、メー
カ、販売者またはプラントまたは顧客に対して、電力送
配システムの場所から離れた場所で電力送配システムの
動作を監視したり電源情報の履歴データベースを作るた
めのいかなる方法も提案しない。電力送配システムの遠
隔監視および履歴データベースの作成により遠隔電力送
配システムの必要な保守をスケジュールするための貴重
なデータが得られる。また、遠隔監視およびデータベー
スの作成によりデータ解析を同様に設置された電力送配
システムに応用して、将来の電力送配システムの設計を
助けることができる。
【0005】現在、遠隔監視、解析およびデータ収集の
できる電力送配システムはないため、電力送配システム
は、現地修理を行うために専門技術者をその設備まで送
り込む必要がある。あるいは、顧客が故障した電力送配
システムをメーカ修理へ返送する場合も多い。習熟した
専門技術者に現地修理を行わせるのは顧客にとって費用
が高くつくことがある。一方、電力送配システムの動作
は、環境に非常に依存するため、修理のため電力送配シ
ステムを取り外して返送すると、しばしば電力送配シス
テムは、修理センタで実行される全てのテストに合格す
ることがある。さらに、返送された電力送配システムに
は通常、現地作動データが添付されない。
【0006】ホストコントローラを使用して電力送配シ
ステム性能を監視することは、ホストコントローラの速
度制限により不適切であることが判っている。したがっ
て、解析にとって重要な情報は、しばしばホストコント
ローラとは無関係に直接、電力送配システムから得なけ
ればならない。また、現在の電力送配システムは、診断
テストのために電力送配システムを遠隔構成することは
考慮していない。そのため、専門技術者を電力送配シス
テム場所へ送り込むか、または修理センタが診断テスト
ユニットを構成することによりメーカのステップをとる
必要がある。このような構成プロセスは、困難で時間を
消費することがあるため、顧客は、構成中に誤りを犯し
てテストを限定された価値のものとしてしまうことがあ
る。このような困難により、しばしば資格のある専門技
術者を電力送配システム場所へ送り込む必要があるた
め、問題のあるユニットを修理するための応答時間によ
り、さらに材料処理システムの休止時間が必要となる。
【0007】多くの材料処理応用は、材料処理業者によ
り機密性が高いと考えられるため、材料処理業者は、重
要なプロセス情報を保護するために、たとえメーカであ
っても、遠隔場所へ情報を送ることをいやがる。一方、
適切なデータロギング/解析システムをセットアップし
て監視するために修理専門技術者を電力送配システム場
所へ送り込まなければならない場合には、コストが増加
し修理プロセスはさらに遅くなる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】したがって、電力送配
システムを監視するシステムおよび電力送配システムを
遠隔監視するシステムを提供することが望ましい。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、電力送配シス
テム監視方法に向けられている。この方法は、出力電力
を発生する電力発生器を提供するステップと、電力発生
器により発生される出力電力を監視するセンサを提供す
るステップと、センサから入力を受信して電力発生器の
動作を変える制御信号を与えるコントローラを提供する
ステップとを含んでいる。また、この方法は、電力送配
システムに関連する複数のパラメータを監視するステッ
プも含んでいる。電力送配システムの動作状態を決定す
るためにパラメータに一組のルールが適用される。
【0010】本発明は、電力送配システムを遠隔監視す
る方法にも向けられている。この方法は、出力電力を発
生する電力発生器を提供するステップと、電力発生器に
より発生される出力電力を監視するセンサを提供するス
テップと、センサから入力を受信して電力発生器の動作
を変える制御信号を与えるコントローラを提供するステ
ップとを含んでいる。複数のパラメータの少なくとも1
つは、遠隔場所へ伝えられる。電力送配システムに関連
づけられ、かつ遠隔場所に伝えられる複数のパラメータ
が監視される。遠隔場所のデータベースは、遠隔場所に
伝えられる複数のパラメータを格納する。
【0011】本発明のさらなる応用エリアは、以下に示
す詳細な説明から明らかになる。詳細な説明および特定
の例は、本発明の好ましい実施例を示すものではある
が、単なる例示であって、発明の範囲を限定するもので
はないことが理解される。
【0012】
【発明の実施の形態】好ましい実施例の下記の説明は、
単なる例にすぎず、発明、その応用または用途を限定す
るものではない。
【0013】図1は、本発明の原理に従って構成された
電力送配システム10のブロック図を示す。電力送配シ
ステム10は、電力発生器、すなわち電力発生器モジュ
ール14を含む送配システム12を含んでいる。電力発
生器14は、交流(AC)入力/メインハウス・キーピ
ング・モジュール16からのAC入力等の入力信号を受
信する。電力は、ACレセプタクル18を介してAC入
力16により受電される。AC入力16は、AC信号を
電力発生器14に加えて入力するように調整する。電力
発生器14は、入力信号を予め定められた出力信号に変
換する任意の装置として実現される。また、AC入力1
6は、AC入力信号を論理レベル・コンポーネントを給
電する低レベル直流(DC)信号に変換する。
【0014】好ましくは、電力発生器14は、AC入力
を予め定められたDC電圧に変換することにより無線周
波数(RF)信号を出力するように構成される。プッシ
ュプル増幅器構成等の一対のスイッチが代わるDC電圧
をRF出力電圧に変換し、それは電力発生器14から出
力される前にフィルタリングすることができる。電力発
生器14の動作は、一段および二段変換を含む従来技術
で既知の任意タイプの従来の動作とすることができる。
【0015】電力発生器14は、インピーダンス整合
網、すなわちモジュール20への出力電圧を発生して負
荷22に加える。電力発生器14は、その出力を決定す
る内部出力センサを含んでいる。インピーダンス整合モ
ジュール20は、典型的には、電力発生器14の出力に
予め定められたインピーダンス、典型的には50Ωを維
持するために電力発生器14と負荷22との間に可変イ
ンピーダンスを与える。
【0016】出力計測学モジュール、すなわち出力セン
サ24がインピーダンス整合網20から電力出力を受電
して負荷22に加える。出力センサ24は、インピーダ
ンス整合網20からの出力内で見つかった予め定められ
たパラメータを測定する。例えば、出力センサ24は、
電圧、電流、電力、周波数、位相または負荷22への電
力出力の発生において関心のある他のパラメータを含む
1つまたは複数のパラメータを測定することができる。
【0017】インピーダンス整合網20および出力セン
サ24は、共に送配システムコントローラ26へのデー
タ信号を発生する。送配システムコントローラ26は、
インピーダンス整合網20および出力センサ24の一方
または両方からデータを受信する。後述するように、送
配システムコントローラ26は、データを受信して電力
発生器14への少なくとも1つの制御またはデータ信号
を発生する。また、送配システムコントローラ26は、
整合網20、出力センサ24、負荷22およびAC入力
16の各々への制御信号を発生するか、または各々とデ
ータを交換することができる。また、送配システムコン
トローラ26は、周辺オプショナル装置(POD)とし
ても知られる入出力(I/O)アダプタ、すなわちアダ
プタ・モジュール28とデータを交換することができ
る。I/Oアダプタ28により、全体システムコントロ
ーラ、プラズマ・システム・コントローラ、テスト・モ
ジュール、ユーザ入力モジュールまたは送配システム1
2とデータを共有したい、またはその動作を制御したい
他のモジュール等の外部装置との通信が可能とされる。
【0018】電力送配システムのさまざまなモジュール
間で通信が行われる。より詳細には、送配システム・コ
ントローラ26は、システムとサブシステム・モジュー
ルを高速通信リンク34,36,38,48,58を介
して相互接続する共通コントローラコアとして機能す
る。これらの通信リンクにより設計規準が指示する単一
方向または双方向通信が可能とされる。通信リンク34
は、電力発生器14を送配システム・コントローラ26
と相互接続して高速双方向通信を可能とする。通信リン
ク36は、所望により、インピーダンス整合網20を送
配システム・コントローラ26と相互接続する。通信リ
ンク38は、所望により、出力センサ24を送配システ
ム・コントローラ26と相互接続する。通信リンク48
は、AC入力16を送配システム・コントローラ26と
相互接続する。通信リンク58は、送配システム・コン
トローラ26を負荷22と相互接続する。
【0019】送配システム・コントローラ26は、好ま
しくは高速デジタル通信プロトコルである直接信号接続
またはデジタル通信プロトコルを使用して電力発生器1
4、インピーダンス整合網20、出力センサ24、負荷
22およびI/Oアダプタ28の各々と通信する。プロ
トコルは、システム・コントローラ26と電力コントロ
ーラ26がデータを交換する各装置との間の通信の信頼
度を改善するためにエラー検出および訂正を含むことが
できる。このようなプロトコルにより、制御および帰還
信号は、従来のアナログ制御および測定方法に比べて非
常に高いダイナミック・レンジを有することができる。
デジタル通信を遂行するために、ここに記載する各モジ
ュールは、デジタル通信ポートを有することができ、各
通信リンクは、接続されたモジュール間のデジタル・イ
ンターフェイスを規定するように協働的に機能する。
【0020】本発明の特定の特徴において、送配システ
ムコントローラ26は、後述するようにシステム・モニ
タ46も含んでいる。送配システム・コントローラ26
は、図1にシステム・モニタ46を含んで図示されてい
ることが理解される。あるいは、当業者ならばシステム
・モニタ46は送配システム・コントローラ26から独
立したモジュールとして構成できることが理解される。
システム・モニタ46は、電力送配システム10に対す
る高速検出システムを提供する。
【0021】電力送配システム10の動作を解析するた
めの十分な入力をシステム・モニタ46に与えるため
に、電力発生器14、インピーダンス整合網20、出力
センサ24、負荷22およびAC入力16に関して前記
した入力の他に、電力発生器14の出力センサ等のさま
ざまなセンサからの付加入力を送配システム・コントロ
ーラ26に加えることができる。また、電力送配システ
ム10は、通信リンク54を介して送配システム・コン
トローラ26に接続される環境センサ52等の環境セン
サを含むことができる。通信リンク54は、通信リンク
34,36,38,48,58に関して前記したのと同
様に動作することができる。すなわち、通信リンク54
は、デジタルまたはアナログ信号、またはデジタルまた
はアナログ信号の組合せを送信して設計規準が指示する
単一方向または双方向通信を遂行することができる。
【0022】ここに示すように、システム・モニタ46
は、電力送配システム10の動作を特徴づけるさまざま
なパラメータを監視する。システム・モニタ46は、ア
ナログまたはデジタルのモニタ出力信号を発生し、それ
は電力送配システム10の動作に関する情報を提供す
る。このような情報は、推奨保守、エラー検出および提
案された訂正、故障モード警告または電力送配システム
10に関する他の情報を含むことができる。
【0023】図2は、図1のシステム・モニタのブロッ
ク図を示す。システム・モニタ46は、前記した通信リ
ンクを介してパラメータを受信する。パラメータ1、パ
ラメータ2およびパラメータnは、パラメータ・データ
・ベース60に入力される。システム・モニタ46への
パラメータ入力は、例えば、システム電力変換効率、サ
ブシステム電力変換効率、動作時間、出力作動数、部品
温度、周囲空気温度、周囲水温、湿度、塵または汚染要
因、通信リンクエラーレート、利得特性、利得特性のシ
フト、応答特性、応答特性のシフト、AC入力線のシフ
ト、AC入力線の過渡現象、コンタクタ・サイクル数、
電気機械装置サイクリング、パワー部品の熱サイクリン
グを含む疲労データ、アーク等の負荷過渡現象、システ
ム・センサからの帰還完全性または電力送配システム1
0の動作を規定するのに有用な他のパラメータまたはト
レンドを含むことができる。好ましくは、パラメータ・
データ・ベース60は、神経回路網で実現される。パラ
メータ・データ・ベース60の神経回路網は、パラメー
タ・データ・ベース60へのパラメータ・データ入力の
履歴ログを作り出して維持しパラメータ・データを圧縮
する。
【0024】パラメータ・データ・ベース60は、デー
タを格納して解析エンジン62へ出力する。解析エンジ
ン62は、神経回路網、ファジー論理、その他人工知能
システムを使用して実現することができる。後述するよ
うに、解析エンジン62は、パラメータ・データ・ベー
ス60から受信したパラメータ・データを解析して同じ
ものが予め定められた範囲内にあるかどうかを決定し、
あるいは個別のパラメータ・データまたはその配置が望
ましいまたは望ましくない状態を示唆するかどうかを決
定する。
【0025】解析エンジン62は、いくつかの状態をエ
キスパート・システム64に出力する。エキスパート・
システム64は、解析エンジン62から状態を受け取
り、それにルール・データ・ベース66から受け取った
ルールを適用する。ルール・データ・ベース66は、1
つまたはいくつかのルールを含み、エキスパート・シス
テム64内の解析エンジン62から受け取った状態に適
用されると、電力送配システム10の動作を規定して警
告、すなわち故障インジケータを発生する。エキスパー
ト・システム64は、1つまたはいくつかの警告、故障
インジケータまたは電力送配システム10またはその一
部の状態を示す故障モードデータ、すなわちフラグを出
力する。ルール・データ・ベース66に格納されたルー
ルは、さまざまな設計上の考慮すべき事柄に従って神経
回路網またはファジー論理システムを介して発生され周
期的に更新される。あるいは、ルール・データ・ベース
66に格納されたルールは、システム設計者が定義して
システム設計者により修正されるまで固定することがで
きる。ルールは、IF−THENステートメント等の従
来のソフトウェア技術を使用して適用することができ、
あるいはエキスパート・システム、ファジー論理、決定
木、故障木等の人工知能または神経回路網を使用するこ
とができる。
【0026】好ましい実施例では、ルール・データ・ベ
ース66に格納されたルールは、電力送配システム10
の動作を言語学的に規定するように実現される。例え
ば、特定的に定義される限界ではなく、「減少してい
る」、「高い」、「正常」および「不一致」等のルール
のファジー記述が使用される。数学関数が出力パラメー
タを定義する場合には、その関数内の変動は、好ましく
は「増加している」または「減少している」として特徴
づけられ、他の変数により変化を生じることがないよう
保証する。例えば、効率は、低下するが、負荷インピー
ダンスZおよび電力が変化しない場合には、システム変
動により効率変化を生じていることがある。一方、効率
は、変化したが、出力電力は、低減されている場合に
は、効率変化は、システム変動ではなく動作点変化によ
り生じていることがある。例として、ルールのファジー
性質を例示するために下記にいくつかのルールを示す。
【0027】 IF (電力増幅器(PA)効率が低下している)かつ (電力トランジスタ(PT)温度の少なくとも1つが高い)または (PT電流が不一致である) THEN PA問題が考えられる。
【0028】 IF (PA効率が低下している)かつ (PT温度の少なくとも1つが高い)または (PT電流が不一致である)かつ (駆動電流が低い) THEN ドライバ問題または励起板問題が考えられる。
【0029】 IF (バルク・リップル電圧が増加している)かつ (PA効率が変化していない)かつ (バルク電圧が降下していない) THEN バルク・キャップが劣化/乾いていることがある。
【0030】 IF (変調器効率が低下している)かつ (バルク電圧が上昇していない)かつ (PA効率が同じままである) THEN 変調器問題が考えられる。
【0031】 IF (バルク・キャパシタ充電時間が著しく増加している) THEN 変調器リーク問題が考えられる。
【0032】 IF (バルク・キャパシタ充電時間がほぼゼロである) THEN コンタクタ溶着が考えられる。
【0033】 IF (バルク・キャパシタ充電時間が無限である) THEN コンタクタ溶着が考えられる。
【0034】 IF (周囲温度が変化していない)かつ (PA変圧器温度が上昇している)かつ (PA効率が変化していない)かつ (ユニットが熱定常状態にある) THEN PA変圧器問題が考えられる。
【0035】 IF (PA温度が上昇している)かつ (PA温度が一致している)かつ (入口水温が変化していない)かつ (PA効率が変化していない) THEN 水流減少が考えられる。
【0036】 IF (PT温度が上昇している)かつ (PT温度が不一致である)かつ (入口水温が変化していない)かつ (PA効率が変化していない) THEN PTヒートシンク問題が考えられる。
【0037】 IF (PT温度が不一致である)かつ (PA効率が変化していない)かつ (PT電流が一致している) THEN PT温度センサ問題が考えられる(運転し続けてよい)。
【0038】 IF (PT電流が不一致である)かつ (PA効率が変化していない)かつ (PT温度が同じである)かつ (ドライバ電流が変化していない) THEN PA電流センサ問題が考えられる(運転し続けてよい)。
【0039】 IF (変調器ハウス・キーピング(HK)電圧が降下している)かつ (バルク電圧が変化していない) THEN 変調器HK問題が考えられる。
【0040】 IF (バルク電圧低下率が増加している) THEN 施設電力問題が考えられる。
【0041】 IF (周囲温度が上昇している)かつ (ファンがokである) THEN 施設冷却問題が考えられる。
【0042】 IF (通信エラーレートが増大している)かつ (変調器HKリップルが増加している) THEN ノイズ問題が考えられる。
【0043】 IF (継続したインター・ロック・トリップ<0.1ms) THEN インター・ロック上のノイズが考えられる(恐らく電気機械スイ ッチによるものではない)。
【0044】 IF (モジュールは著しく異なるエラーレートを有する) THEN エラーレートの高いモジュール上に接地問題が考えられる。
【0045】図3は、システム・モニタ46の動作に対
するフロー図を示す。制御は、開始ブロック70で始ま
ってモニタ・パラメータ・ブロック72へ進む。モニタ
・パラメータ・ブロック72において、電力送配システ
ム10の動作を規定するパラメータがパラメータ・デー
タ・ベース60へ入力される。また、モニタ・パラメー
タ・ブロック72において、解析エンジン62がパラメ
ータ・データ・ベース60から受け取ったデータを解析
してエキスパート・システム64に出力される状態を発
生する。次に、制御は、ルール適用74へ進む。ルール
適用ブロック74においてルールを適用する前に、ルー
ル発生ブロック76においてルールが発生される。ルー
ル発生ブロック76は、ルール・データ・ベース66に
関して前記したようにルールを発生する。ルールは、ル
ール・データ・ベース66に格納される。ルール適用ブ
ロック74は、解析エンジン62から受け取った状態を
ルール・データ・ベース66から受け取ったルールと比
較する。次に、制御は、アクション/アラーム決定ブロ
ック78へ進む。アクション/アラーム決定ブロック7
8において、保守提案、警告、故障状態または電力送配
システム10に関するデータに基づき考えられる他のア
クションがエキスパート・システム64から出力され
る。次に、制御は、終了ブロック80に進む。
【0046】エキスパート・システム64およびルール
適用ブロック74は、正常動作、故障のない動作に基づ
いた予期されるパラメータ挙動のデータベース、このデ
ータを使用するための一組のルールを利用する。電力送
配システム10の多くのパラメータは、AC線間電圧周
囲温度および負荷インピーダンス等の外部変数の影響を
受けるため、ルール・データ・ベース66および解析エ
ンジン62は、偽警告または故障モードを防止するため
に、これらの影響を含めなければならない。このような
外部変数は、ルックアップ・テーブルまたはサンプル電
力送配システムからの測定データに基づいて経験的に求
められたモデルを使用して、システム・モデルを作り出
すことによりアドレスすることができる。電力送配シス
テム10を運転停止させる必要がある重大な切迫した故
障として定義される故障または異常動作、すなわちドリ
フトとして定義される警告が表示されることをアクショ
ン/アラーム・ブロック78が決定する場合には、アク
ション/アラーム決定ブロック78は、電力送配システ
ム10を保護するための適切なアクションを言明し、電
力送配システム10のサブシステムまたは外部ユーティ
リティが修理を必要としていることを表示する。このア
クションにより電力送配システム10およびそれが内部
に設置される全体顧客システムが保護される。
【0047】前記したように、ルール・データ・ベース
66は、エキスパート・システム64へ入力されたルー
ルを格納する。このようなルールは、所与のシステムに
対するルールおよび期待値の両方を含んでいる。本発明
に関しては、ルールは、実際になにも存在しない場合に
警告および故障表示を防止するように定義しなければな
らない。ルールおよび期待値を引出すための2つの方法
を実現することができる。
【0048】第1の方法は、ガード・バンド方法と呼ば
れる。ガード・バンド方法では、パラメータの期待値の
周囲にバンドが配置され、パラメータが予め定められた
バンドから外れる場合に警告、すなわち故障インジケー
タが出力される。例として、シャーシの内部周囲温度が
正規の動作範囲にわたって内部電力消散および外部周囲
温度の関数として線形に変化する場合には、正常、すな
わち故障がない場合の周囲温度は、次式(1)で定義す
ることができる。 Tint(Tamb, Pdiss)= Tamb + αPdiss (1) ここに、 Tintは、期待される周囲温度、Tambは、外部
周囲温度、αは、経験的データに基づく比例定数、P
dissは、センサ・データを使用して算出された熱消散で
ある。
【0049】ルール・データ・ベース66は、ルックア
ップ・テーブルの内部周囲温度の期待された挙動を格納
するか、あるいは必要に応じて、この温度を算出するこ
とができる。警告に対する閾値として±10%あるいは
故障に対する閾値として±20%のガード・バンドを内
部周囲温度の周囲に配置することにより、エキスパート
・システム64は、温度が警告または故障ガード・バン
ドを外れる時に警告を発生する。
【0050】ガード・バンド方法に替わるものとして、
故障の物理学方法を使用して、いつ故障または警告動作
状態が存在するかのメトリックとしてルール・データ・
ベース66に対するルールを決定することができる。コ
ンポーネントまたはサブシステムが高い確率の故障を有
する可能性を故障の物理学方法が示す場合には、適切な
フラグおよびアクションをとることができる。
【0051】電子部品の故障は、化学反応または材料拡
散モデルを使用してモデル化することができる。電気機
械部品の故障モードは、通常、平均故障サイクル(MC
TF)モデルに基づいている。半田ジョイントおよび半
導体ダイ・アタッチメントの熱疲労モデルは、温度差
(ΔT)と故障サイクルの組合せを使用する。
【0052】特定の例として、温度推定に使用すること
ができる温度および効率等のパラメータは、システム性
能の確かなインジケータを与える。アレニウス関係は、
化学反応の温度への指数的従属性を記述している。大概
の電子部品故障は、拡散現象としても知られる化学反応
から生じる。アレニウス式は、部品温度が上昇する結果
として故障率増加としても定義される加速度要因を定義
する。それは次式に示すように記述することができる。 ここに、 Aは、加速度要因、−Eaは、特定の故障メ
カニズムと共に変動する活性化エネルギ電子ボルト、k
は、ボルツマン定数、Tは、温度上昇値(°K)、Tn
は、正常温度(°K)。
【0053】前記したシステムは、実際の故障を引き起
こす前に警告および故障モード・インジケータを発生す
る。それによりシステムの休止時間を最小限に抑えて所
有者の全体コストを低減する進んだ警告が提供される。
さらに、このようなシステムは、メーカに戻して後にテ
ストを行って明らかな問題は存在しないことが確認され
るユニット数を低減することにより電力送配システムメ
ーカにも利益を与える。さらに、前記したシステムは、
動作状態に基づいて重要な部品の全体故障率を低減す
る。
【0054】図1から3に関して前記したシステムは、
被監視電力送配システムに関してローカルに動作するも
のとして図示されている。しかしながら、電力送配シス
テムのメーカや販売者が顧客から遠隔地にあるような同
じ応用に対して、電力送配システムから遠隔地にあるシ
ステム・モニタは、電力送配システムの修理を容易に
し、遠隔データ収集だけでなく遠隔システム監視を可能
とする。前記したように、遠隔システム監視およびデー
タ収集能力は、顧客支援を容易にすることにより、より
高い柔軟性を提供し、したがって、休止時間、誤った瑕
疵返品および顧客の不便さを最小限に抑える。
【0055】図4は、ローカル電力送配システム88お
よび遠隔モニタ90を含む遠隔監視システム86を示
す。電力送配システム88は、好ましくはローカル場所
92に配置され、遠隔モニタ90は、好ましくは電力送
配システム88から遠隔場所に配置される。すなわち、
電力送配システム88は、顧客施設に配置することがで
き、遠隔モニタ90は、遠隔場所94と呼ばれる現場修
理施設または他のメーカ場所等のメーカ施設に遠隔配置
することができる。電力送配システム88は、図1から
3に関して前記したようなローカル・システム・モニタ
を含むことができることが理解される。遠隔モニタ90
は、前記したシステム・モニタ46と同様な機能を実施
することができ、および/または遠隔監視および解析、
データ収集およびルール発生等の別の機能を提供するこ
とができる。ここに記載するように、遠隔モニタ90
は、双方向リンクとすることができる通信リンク96を
利用して電力送配システム88に相互接続される。この
双方向リンクにより遠隔モニタ90は、電力送配システ
ム88からデータを受信することができ、また電力送配
システム88にデータや制御コマンドを与えることがで
きる。
【0056】図5は、遠隔モニタ90が遠隔場所94に
配置されて電力送配システム1 88a、電力送配シス
テム2 88bおよび電力送配システムn 88aと通
信する遠隔監視システム100のブロック図を示す。遠
隔監視システム100は、遠隔監視システム86に関し
て前記したのと同様に動作する。さらに、遠隔モニタ9
0は、単一の電力送配システムではなく、いくつかの電
力送配システム88a,88bおよび88cを監視す
る。遠隔場所94は、顧客修理もしくは設計施設等のメ
ーカ施設に配置することができる。あるいは、遠隔場所
94は、顧客場所に配置することができるが、電力送配
システム88a,88b,88nの場所からは遠隔地で
ある。
【0057】図5に示すように、遠隔モニタ90は、ロ
ーカル場所92全体にわたって分散することができる複
数の電力送配システムの動作を監視する。遠隔モニタ9
0は、顧客場所、修理場所、その他の遠隔場所に集中監
視場所を提供する。
【0058】遠隔監視システム90は、個別の電力送配
システム88a,88b,88cに対するデータを格納
し、かつ随意電力送配システム88a,88b,88c
に対してデータを一括格納する。このようにして、全体
電力送配システム集団に対して履歴データ・セットを構
成することができ、個別の電力送配システムの動作を監
視するために個別のデータセットを格納することができ
る。あるいは、監視システム90は、監視された電力送
配システムに対して収集されたデータの他のグループを
リアルタイムまたは後処理操作として形成することがで
きる。例えば、特定のローカル場所において互いに近接
配置された電力送配システムからのデータを寄せ集めて
特定環境情報を提供することができる。
【0059】図6は、遠隔監視システム86,100の
拡張バージョンを示す。遠隔監視システム102は、遠
隔監視システム概念のさらなる拡張を示す。各遠隔監視
システム100,100’および100”は、複数の電
力送配システム88a,88b,88nおよび遠隔モニ
タ90を含んでいる。図6に示すように、同じ参照番号
が同じ部品を示すのに使用され、各遠隔監視システムを
示すのにシングルプライム記号(’)またはダブルプラ
イム記号(”)が付加されている。
【0060】各ローカル遠隔監視システム100,10
0’,100”は、グローバルモニタ104にデータを
出力する。遠隔監視システム100は、遠隔監視システ
ム100”から遠隔場所に配置することができ、遠隔監
視システム100’から離れた場所に配置することがで
きる。各遠隔モニタ90,90’,90”は、関連する
各電力送配システムに対するデータを収集する。次に、
各遠隔モニタ90,90’,90”は、グローバルモニ
タ104にデータを出力する。当業者ならば、各電力送
配システム88が直接グローバルモニタ104にデータ
を出力することができるため、任意の遠隔監視システム
100,100’,100”に対して、遠隔モニタ9
0,90’,90”を省くことができることが理解され
る。図6のシステムは、図4から5に関して前記したの
と同様に動作する。遠隔監視システム102は、変動す
る環境内に設置された電力送配システム88の断面から
データを集めるために、電力送配システム88のグロー
バル・ユニバースを監視して、図1から3に関して前記
したようにより正確な解析およびルール発生を可能にす
る。
【0061】図7は、図4から6に関して前記したよう
に遠隔データ収集および監視システムを実現するための
ブロック図を示す。制御は、開始ブロック110で始ま
ってブロック112の遠隔データ収集に進む。ブロック
112は、前記したように遠隔データを収集する。ブロ
ック112の遠隔データ収集に続いて、制御は、パラメ
ータ監視ブロック114に進む。パラメータ監視ブロッ
ク114において、電力送配システム88の動作を規定
するパラメータが図2のパラメータ・データ・ベース6
0に入力される。また、パラメータ監視ブロック114
において、図2の解析エンジン62がパラメータ・デー
タ・ベース60から受信したデータを解析してエキスパ
ート・システム64に出力される状態を発生する。次
に、制御は、ルール適用116に進む。ルール適用ブロ
ック116においてルールを適用する前に、ルール発生
ブロック118においてルールが発生される。ルール発
生ブロック118は、前記したようにファジー論理また
は神経回路網を使用してルールを発生する。ルールは、
ルール・データ・ベース66に格納される。ルール適用
116は、解析エンジン62から受信した状態をルール
・データ・ベース66から受信したルールと比較する。
次に、制御は、アクション/アラーム決定ブロック12
2に進む。アクション/アラーム決定ブロック122に
おいて、保守提案、警告、故障状態および電力送配シス
テム10に関する考えられる他のアクション・ベース・
データが故障モード、すなわちフラグの形でエキスパー
ト・システム64から出力される。次に、制御は、エン
ドブロック124に進む。
【0062】エキスパート・システム64およびルール
適用ブロック124は、正常動作、故障のない動作に基
づく期待されたパラメータ挙動のデータベースおよびこ
のデータを使用する一組のルールを利用する。電力送配
システム10の多くのパラメータは、AC線間電圧周囲
温度および負荷インピーダンス等の外部変数の影響を受
けるため、ルール・データ・ベース66および解析エン
ジン62は、偽警告または故障モードを防止するため
に、これらの影響を含めなければならない。このような
外部変数は、ルック・アップ・テーブルまたはサンプル
電力送配システムからの測定データに基づいて経験的に
求められたモデルを使用してシステム・モデルを作り出
すことによりアドレスすることができる。電力送配シス
テム10を運転停止させる必要がある重大な切迫した故
障として定義される故障または異常動作、すなわちドリ
フトとして定義される警告が表示されることをアクショ
ン/アラーム・ブロック122が決定する場合には、ア
クション/アラーム決定ブロック122は、電力送配シ
ステム10を保護するための適切なアクションを言明
し、電力送配システム10のサブシステムまたは外部ユ
ーティリティが修理を必要としていることを表示する。
このアクションにより電力送配システム10およびそれ
が内部に設置される全体顧客システムが保護される。
【0063】前記したように、ルール・データ・ベース
66は、エキスパート・システム64に入力されたルー
ルを格納する。このようなルールは、所与のシステムに
対するルールおよび期待値の両方を含んでいる。本発明
に関しては、ルールは、実際になにも存在しない場合に
警告または故障表示を防止するように定義しなければな
らない。ルールおよび期待値を引出すために図1から3
に関して前記した2つの方法を実現することができる。
【0064】図4から7で述べた遠隔監視システムは、
いくつかの特徴および利益を提供する。図5から7で述
べた遠隔監視システムによりメーカや修理センタは、遠
隔配置された電力送配システムのエキスパート支援、監
視および解析を行うことができる。ローカル電力送配シ
ステムは、好ましくはイントラネット、インターネッ
ト、ローカル・エリア・ネットワーク(LAN)、また
はワイド・エリア・ネットワーク(WAN)等の選択可
能なメディアを介して提供される構成コマンドを受け入
れる。好ましくは、選択されたインターフェイスが指定
されたローカル・プロトコルからのデータ送信を遠隔場
所への距離送信に適切な一般的に入手できる外部プロト
コルへ変換する。好ましくは、構成可能なインターフェ
イスがデータを暗号化して適切なデータ保護を行うこと
ができる。さらに、構成可能なインターフェイスにより
ローカル・ユーザは、どんなデータを遠隔場所へ送信で
きるかを明確に定めることができる。
【0065】前記した遠隔監視システムは、さらにいく
つかの利点を提供する。修理員は、電力送配システムが
遠隔場所で動作している間に電力送配システムを遠隔監
視することができる。遠隔場所の現場専門技術者により
ユニットは、ローカル場所に設置されていると診断する
ことができるため、多くの場合、それにより電力送配シ
ステムをメーカへ戻す必要性が軽減される。データは、
遠隔モニタが格納することができるため、各電力送配シ
ステムが個別にデータを格納する必要がない。さらに、
データは、電力送配システムから直接アクセスすること
ができ、高速データ取得が可能となる。ここに記載され
ているように、ローカル場所は、ユニットへ外部アクセ
スできて、どの情報を入手可能にできるかを明確に定め
るだけでよいため、ローカル場所におけるオペレータが
データを集めるための要求条件が著しく低減される。こ
のような現地診断が修理専門技術者により有効に遠隔実
施される場合には、現場修理専門技術者は、現地診断を
実施するための不要な旅をする必要がない。さらに、全
てのデータ・ロギングおよび解析ツールを遠隔場所に配
置するだけでよいため、電力送配システムの設置中にロ
ーカル場所における付加セットアップの必要性が解消さ
れる。
【0066】本発明の明細書は、典型的な例にすぎず、
本発明の骨子から逸脱しないバリエーションは、本発明
の範囲内に入るものとする。このようなバリエーション
は、本発明の精神および範囲から逸脱するものではな
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理に従って構成された電力送配シス
テムのブロック図である。
【図2】本発明の原理に従って構成された電力送配シス
テムモニタのブロック図である。
【図3】電力送配システムモニタの動作監視に対するフ
ロー図である。
【図4】本発明の原理に従って構成された電力送配シス
テムおよび遠隔モニタ・システムのブロック図である。
【図5】多数の電力送配システムに対する遠隔電力送配
システム監視システムのブロック図である。
【図6】多数のローカル場所における多数の電力送配シ
ステムの動作を監視する遠隔監視システムのブロック図
である。
【図7】遠隔電力送配監視システムの動作を示すブロッ
ク図である。
【符号の説明】
10,88 電力送配システム 12 送配システム 14 電力発生器 16 AC入力/メイン・ハウス・キーピング・モジュ
ール 18 ACレセプタクル 20 インピーダンス整合モジュール 22 負荷 24 出力センサ 26 送配システム・コントローラ 28 I/Oアダプタ 34,36,38,48,54,58,96 通信リン
ク 46 システムモニタ 52 環境センサ 60 パラメータ・データ・ベース 62 解析エンジン 64 エキスパート・システム 66 ルール・データ・ベース 86,100,100’,100”,102 遠隔監視
システム 90,90’,90” 遠隔モニタ 92 ローカル場所 94 遠隔場所 104 グローバル・モニタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5G064 AA04 AC09 CB03 CB08 CB16 DA03 5H223 AA05 AA19 BB08 CC08 DD03 DD07 DD09 EE06 FF06

Claims (39)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電力送配システムの監視方法であって、 出力電力を発生する電力発生器、前記電力送配システム
    の少なくとも1つのパラメータを検出するセンサおよび
    前記センサから入力を受信して前記電力発生器の動作を
    変える制御信号を与えるコントローラを提供するステッ
    プと、 前記電力送配システムに関連する複数のパラメータを監
    視するステップと、 前記パラメータに一組のルールを適用して前記電力送配
    システムの動作状態を決定するステップと、を含む方
    法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の方法であって、さらに、
    電力送配システムに関連するパラメータに基づいて動作
    の一組のルールを定義するステップを含む方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の方法であって、さらに、
    パラメータに一組のルールを適用する前記ステップの結
    果に従って電力送配システムの故障状態を信号で伝える
    ステップを含む方法。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の方法であって、パラメー
    タを監視するステップは、さらに、パラメータの履歴デ
    ータを集め履歴データに基づいて少なくとも1つのパラ
    メータに対する少なくとも1つの状態を明確に定めるス
    テップを含み、パラメータに一組のルールを適用する前
    記ステップは、少なくとも1つの状態に一組のルールを
    適用する方法。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の方法であって、少なくと
    も1つの状態を明確に定める前記ステップは、さらに、
    ファジー論理システムおよび神経回路網システムの一方
    を利用して少なくとも1つの状態を明確に定めるステッ
    プを含む方法。
  6. 【請求項6】 請求項4記載の方法であって、少なくと
    も1つの状態を明確に定める前記ステップは、さらに、
    パラメータがその範囲内であれば、少なくとも1つのパ
    ラメータに対する状態が受け入れられるような範囲を明
    確に定めるステップを含む方法。
  7. 【請求項7】 請求項4記載の方法であって、少なくと
    も1つの状態を明確に定める前記ステップは、さらに、
    選択されたパラメータに従って物理的結果をモデル化す
    るステップを含む方法。
  8. 【請求項8】 請求項4記載の方法であって、さらに、
    ルールおよび少なくとも1つの状態を受信するエキスパ
    ート・システムを提供するステップを含み、前記エキス
    パート・システムは、前記状態へのルールの適用に従っ
    て故障モード規準を表示する方法。
  9. 【請求項9】 請求項1記載の方法であって、前記パラ
    メータは、電力変換効率、電力送配システムの運転時
    間、電力送配システムの出力作動、部品温度、周囲温
    度、湿度、粒子汚染、通信リンク・エラー・レート、応
    答特性、入力電力ドリフト、出力電力ドリフト、コンタ
    クト・サイクル数、熱サイクル数、過度現象数、帰還お
    よびパラメータ値のトレンドのグループの中の少なくと
    も1つを含む方法。
  10. 【請求項10】 電力送配システムであって、 入力電力を受電して出力電力を発生する電力発生器と、 前記電力送配システムに関連する少なくとも1つのパラ
    メータを検出するセンサと、 前記センサから入力を受信して前記電力発生器の動作を
    変える制御信号を与えるコントローラと、 システムモニタであって、前記電力送配システムに関連
    するパラメータを定義する複数の信号を入力として受信
    し、動作の一組のルールを含み、前記一組のルールを前
    記パラメータに適用して前記電力送配システムの動作状
    態を決定する前記システム・モニタと、を含む電力送配
    システム。
  11. 【請求項11】 請求項10記載の電力送配システムで
    あって、前記システムモニタは、前記電力送配システム
    の動作状態に従って警告を表示する電力送配システム。
  12. 【請求項12】 請求項10記載の電力送配システムで
    あって、前記システムモニタは、さらに、そこへ入力さ
    れるパラメータのデータを収集するためのデータ・ベー
    スを含む電力送配システム。
  13. 【請求項13】 請求項12記載の電力送配システムで
    あって、前記システムモニタは、さらに、少なくとも1
    つのパラメータに対する少なくとも1つの状態を明確に
    定めて前記少なくとも1つの状態に前記一組のルールを
    適用するデータ解析モジュールを含む電力送配システ
    ム。
  14. 【請求項14】 請求項13記載の電力送配システムで
    あって、前記解析エンジンは、ファジー論理システムお
    よび神経回路網システムの少なくとも一方を含んで前記
    少なくとも1つの状態を明確に定める電力送配システ
    ム。
  15. 【請求項15】 請求項13記載の電力送配システムで
    あって、前記解析エンジンは、パラメータがその範囲内
    であれば少なくとも1つのパラメータに対する状態が受
    け入れられるような範囲を明確に定めることにより前記
    少なくとも1つの状態を明確に定める電力送配システ
    ム。
  16. 【請求項16】 請求項13記載の電力送配システムで
    あって、前記解析エンジンは、選択されたパラメータに
    従って物理的結果をモデル化することにより前記少なく
    とも1つの状態を明確に定める電力送配システム。
  17. 【請求項17】 請求項13記載の電力送配システムで
    あって、さらに、ルールおよび少なくとも1つの状態を
    受信するエキスパート・システムを含み、前記エキスパ
    ート・システムは、前記状態へのルールの適用に従って
    故障モード規準を表示する電力送配システム。
  18. 【請求項18】 請求項13記載の電力送配システムで
    あって、さらに、出力電力を受電する整合網を含み、前
    記整合網は、電力発生器と負荷の間にインピーダンスを
    発生する電力送配システム。
  19. 【請求項19】 請求項13記載の電力送配システムで
    あって、前記パラメータは、電力変換効率、電力送配シ
    ステムの運転時間、電力送配システムの出力作動、部品
    温度、周囲温度、湿度、粒子汚染、通信リンク・エラー
    ・レート、応答特性、入力電力ドリフト、出力電力ドリ
    フト、コンタクト・サイクル数、熱サイクル数、過度現
    象数、帰還およびパラメータ値のトレンドのグループの
    中の少なくとも1つを含む電力送配システム。
  20. 【請求項20】 電力送配システムの監視方法であっ
    て、 出力電力を発生する電力発生器、前記電力送配システム
    の少なくとも1つのパラメータを検出するセンサおよび
    前記センサから入力を受信して前記電力発生器の動作を
    変える制御信号を与えるコントローラを提供するステッ
    プと、 複数のパラメータの少なくとも1つを遠隔場所に伝える
    ステップと、 前記電力送配システムに関連し前記遠隔場所に伝えられ
    た複数のパラメータを監視するステップと、 前記遠隔場所に伝えられた複数のパラメータを格納する
    データベースを前記遠隔場所に設けるステップと、を含
    む方法。
  21. 【請求項21】 請求項20記載の方法であって、さら
    に、遠隔場所に伝えられたデータを解析して電力送配シ
    ステムの動作を監視するステップを含む方法。
  22. 【請求項22】 請求項20記載の方法であって、さら
    に、パラメータに一組のルールを適用する前記ステップ
    の結果に従って電力送配システムの故障状態を信号で伝
    えるステップを含む方法。
  23. 【請求項23】 請求項20記載の方法であって、さら
    に、 前記遠隔場所において、電力送配システムに関連する複
    数のパラメータの中の選択された1つを監視するステッ
    プと、 前記遠隔場所において前記パラメータに一組のルールを
    適用して電力送配システムの動作状態を決定するステッ
    プと、を含む方法。
  24. 【請求項24】 請求項23記載の方法であって、さら
    に、前記遠隔場所において電力送配システムに関連する
    パラメータに基づいて動作の一組のルールを定義するス
    テップを含む方法。
  25. 【請求項25】 請求項23記載の方法であって、パラ
    メータを監視する前記ステップは、さらに、パラメータ
    の履歴データを集め履歴データに基づいて少なくとも1
    つのパラメータに対する少なくとも1つの状態を明確に
    定めるステップを含み、パラメータに一組のルールを適
    用する前記ステップは、少なくとも1つの状態に一組の
    ルールを適用する方法。
  26. 【請求項26】 請求項23記載の方法であって、パラ
    メータを監視する前記ステップは、さらに、複数の遠隔
    場所における複数の電力送配システムのパラメータの履
    歴データを集め履歴データに基づいて少なくとも1つの
    パラメータに対する少なくとも1つの状態を明確に定め
    るステップを含み、パラメータに一組のルールを適用す
    る前記ステップは、少なくとも1つの状態に一組のルー
    ルを適用する方法。
  27. 【請求項27】 請求項26記載の方法であって、少な
    くとも1つの状態を明確に定める前記ステップは、ファ
    ジー論理システムおよび神経回路網システムの一方を利
    用して少なくとも1つの状態を明確に定めるステップを
    含む方法。
  28. 【請求項28】 請求項26記載の方法であって、少な
    くとも1つの状態を明確に定める前記ステップは、さら
    に、パラメータがその範囲内であれば、少なくとも1つ
    のパラメータに対する状態が受け入れられるような範囲
    を明確に定めるステップを含む方法。
  29. 【請求項29】 請求項26記載の方法であって、少な
    くとも1つの状態を明確に定める前記ステップは、さら
    に、選択されたパラメータに従って物理的結果をモデル
    化するステップを含む方法。
  30. 【請求項30】 請求項26記載の方法であって、さら
    に、ルールおよび少なくとも1つの状態を受信するエキ
    スパート・システムを提供するステップを含み、前記エ
    キスパート・システムは、前記状態へのルールの適用に
    従って故障モード規準を表示する方法。
  31. 【請求項31】 電力送配システムであって、 入力電力を受電して出力電力を発生する電力発生器と、 前記電力送配システムの少なくとも1つのパラメータを
    検出するセンサと、 前記センサから入力を受信して前記電力発生器の動作を
    変える制御信号を与えるコントローラとを含む電力送配
    システムと、 前記電力送配システムから遠隔配置された遠隔モニタで
    あって、前記遠隔モニタは、前記電力送配システムから
    データを受信し、前記電力送配システムから受信したデ
    ータを格納するためのデータベースを含み、前記データ
    は、前記電力送配システムに関連するパラメータを定義
    する複数の信号を含む前記遠隔モニタと、を含むシステ
    ム。
  32. 【請求項32】 請求31項記載のシステムであって、
    前記遠隔モニターは、電力送配システムの動作の一組の
    ルールを格納し、それを前記パラメータに適用して前記
    電力送配システムの動作状態を決定するルール・データ
    ・ベースを含むシステム。
  33. 【請求項33】 請求32項記載の電力送配システムで
    あって、前記遠隔モニタは、電力送配システムの動作状
    態に従って警告を表示する電力送配システム。
  34. 【請求項34】 請求項32記載の電力送配システムで
    あって、前記遠隔モニタは、さらに、少なくとも1つの
    パラメータに対する少なくとも1つの状態を明確に定め
    て前記少なくとも1つの状態に一組のルールを適用する
    データ解析モジュールを含む電力送配システム。
  35. 【請求項35】 請求項34記載のシステムであって、
    前記解析エンジンは、ファジー論理システムおよび神経
    回路網システムの少なくとも一方を含み前記少なくとも
    1つの状態を明確に定めるシステム。
  36. 【請求項36】 請求項34記載のシステムであって、
    前記解析エンジンは、パラメータがその範囲内であれば
    少なくとも1つのパラメータに対する状態が受け入れら
    れるような範囲を明確に定めることにより前記少なくと
    も1つの状態を明確に定めるシステム。
  37. 【請求項37】 請求項34記載のシステムであって、
    前記解析エンジンは、選択されたパラメータに従って物
    理的結果をモデル化することにより前記少なくとも1つ
    の状態を明確に定めるシステム。
  38. 【請求項38】 請求項31記載のシステムであって、
    遠隔モニタと電力送配システム間で交換されるデータ
    は、暗号化されるシステム。
  39. 【請求項39】 請求項31記載のシステムであって、
    電力送配システムから遠隔モニタへ送られるパラメータ
    は、オペレータにより定義することができるシステム。
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