JP2002323402A - バルブの漏れ検出装置，方法，バルブ駆動用アクチュエータ，プログラム - Google Patents
バルブの漏れ検出装置，方法，バルブ駆動用アクチュエータ，プログラムInfo
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- JP2002323402A JP2002323402A JP2001128844A JP2001128844A JP2002323402A JP 2002323402 A JP2002323402 A JP 2002323402A JP 2001128844 A JP2001128844 A JP 2001128844A JP 2001128844 A JP2001128844 A JP 2001128844A JP 2002323402 A JP2002323402 A JP 2002323402A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バルブ２次側の全閉時の漏れ量を，操業を休
止することなく測定する手法を提供する。 【解決手段】 バルブの流出側に設けられた流量計と，
所定の基準状態においてバルブを全閉にした時の上記流
量計による流量測定値を取得する基準漏れ量測定手段
と，上記基準漏れ量測定手段による想定値と，通常の使
用時においてバルブを全閉状態にした時の上記流量計に
よる流量測定値とを比較し，その差によりバルブの漏れ
異常を判断する異常判断手段とを備えたことを特徴とす
るバルブの漏れ検出装置。
止することなく測定する手法を提供する。 【解決手段】 バルブの流出側に設けられた流量計と，
所定の基準状態においてバルブを全閉にした時の上記流
量計による流量測定値を取得する基準漏れ量測定手段
と，上記基準漏れ量測定手段による想定値と，通常の使
用時においてバルブを全閉状態にした時の上記流量計に
よる流量測定値とを比較し，その差によりバルブの漏れ
異常を判断する異常判断手段とを備えたことを特徴とす
るバルブの漏れ検出装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，バタフライバルブ
等のバルブの異常な漏れを検出するための装置，方法な
どに関するものである。
等のバルブの異常な漏れを検出するための装置，方法な
どに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記したバタフライバルブ等は，一般に
回動する弁体の周囲に設けたゴム等のシール材を介して
流体を仕切るものであるため，弁体を全閉にしたとして
も若干の漏れを生じるのが通常である。そして長期の使
用による上記シール材の磨耗等も完全には回避できな
い。従って，バルブを長期に使用しつづけると，全閉時
の漏れ量は徐々に増加するのは事実である。しかしなが
ら，このような漏れ量があまりに多くなると，異常漏れ
として看過できない事態となる。そのため従来は，保全
のための作業員がバルブを定期的に見て回り，配管を外
すなどの操作をしたのち，手動でバルブを開閉してその
時の流量を目視測定する等の方法を用いていた。
回動する弁体の周囲に設けたゴム等のシール材を介して
流体を仕切るものであるため，弁体を全閉にしたとして
も若干の漏れを生じるのが通常である。そして長期の使
用による上記シール材の磨耗等も完全には回避できな
い。従って，バルブを長期に使用しつづけると，全閉時
の漏れ量は徐々に増加するのは事実である。しかしなが
ら，このような漏れ量があまりに多くなると，異常漏れ
として看過できない事態となる。そのため従来は，保全
のための作業員がバルブを定期的に見て回り，配管を外
すなどの操作をしたのち，手動でバルブを開閉してその
時の流量を目視測定する等の方法を用いていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな目視による測定には，一時的とは言え操業を休止し
て配管を外すなどの操作が必要であり，極めて能率の悪
い作業であった。従って本発明の目的とするところは，
上記のような能率の悪さを解消して，バルブの通常の使
用時に，操業を止めることなく漏れ量及びその異常を検
出することの出来る装置，方法等を提供することであ
る。
うな目視による測定には，一時的とは言え操業を休止し
て配管を外すなどの操作が必要であり，極めて能率の悪
い作業であった。従って本発明の目的とするところは，
上記のような能率の悪さを解消して，バルブの通常の使
用時に，操業を止めることなく漏れ量及びその異常を検
出することの出来る装置，方法等を提供することであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記したような目的を達
成するために請求項１に記載の本発明は，バルブの流出
側に設けられた流量計と，所定の基準状態においてバル
ブを全閉にした時の上記流量計による流量測定値を取得
する基準漏れ量測定手段と，上記基準漏れ量測定手段に
よる想定値と，通常の使用時においてバルブを全閉状態
にした時の上記流量計による流量測定値とを比較し，そ
の差によりバルブの漏れ異常を判断する異常判断手段と
を備えたことを特徴とするバルブの漏れ検出装置であ
る。また請求項２に記載の装置は，異常判断手段が異常
を検出した時，外部に警報を発する警報手段を更に備え
てなる請求項１記載の漏れ検出装置である。更に請求項
３には，異常判断手段が異常を検出した時，更に所定角
度バルブを閉方向に駆動する請求項１或いは１のいずれ
かに記載の漏れ検出装置が提供される。方法として捉え
た請求項４の発明は，所定の基準状態においてバルブを
全閉にした時の基準漏れ量を取得する工程と，上記基準
漏れ量と，通常の使用時においてバルブを全閉状態にし
た時の上記流量計による通常漏れ量とを比較し，その差
によりバルブの漏れ異常を判断することを特徴とするバ
ルブの漏れ検出方法である。請求項５には，上記検出装
置を具備するアクチュエータとして，上記バルブの漏れ
検出装置を備えてなるバルブ駆動用アクチュエータが提
供される。また本発明は，プログラムとしても捉えるこ
とが出来る。即ち，請求項６に記載の発明は，所定の基
準状態においてバルブを全閉にした時の基準漏れ量を取
得する工程と，上記基準漏れ量と，通常の使用時におい
てバルブを全閉状態にした時の上記流量計による通常漏
れ量とを比較し，その差によりバルブの漏れ異常を判断
する工程とを実行するためのコンピュータ読み取り可能
なバルブの漏れ検出プログラムである。
成するために請求項１に記載の本発明は，バルブの流出
側に設けられた流量計と，所定の基準状態においてバル
ブを全閉にした時の上記流量計による流量測定値を取得
する基準漏れ量測定手段と，上記基準漏れ量測定手段に
よる想定値と，通常の使用時においてバルブを全閉状態
にした時の上記流量計による流量測定値とを比較し，そ
の差によりバルブの漏れ異常を判断する異常判断手段と
を備えたことを特徴とするバルブの漏れ検出装置であ
る。また請求項２に記載の装置は，異常判断手段が異常
を検出した時，外部に警報を発する警報手段を更に備え
てなる請求項１記載の漏れ検出装置である。更に請求項
３には，異常判断手段が異常を検出した時，更に所定角
度バルブを閉方向に駆動する請求項１或いは１のいずれ
かに記載の漏れ検出装置が提供される。方法として捉え
た請求項４の発明は，所定の基準状態においてバルブを
全閉にした時の基準漏れ量を取得する工程と，上記基準
漏れ量と，通常の使用時においてバルブを全閉状態にし
た時の上記流量計による通常漏れ量とを比較し，その差
によりバルブの漏れ異常を判断することを特徴とするバ
ルブの漏れ検出方法である。請求項５には，上記検出装
置を具備するアクチュエータとして，上記バルブの漏れ
検出装置を備えてなるバルブ駆動用アクチュエータが提
供される。また本発明は，プログラムとしても捉えるこ
とが出来る。即ち，請求項６に記載の発明は，所定の基
準状態においてバルブを全閉にした時の基準漏れ量を取
得する工程と，上記基準漏れ量と，通常の使用時におい
てバルブを全閉状態にした時の上記流量計による通常漏
れ量とを比較し，その差によりバルブの漏れ異常を判断
する工程とを実行するためのコンピュータ読み取り可能
なバルブの漏れ検出プログラムである。
【０００５】
【発明の実施の形態】続いて，添付図面を参照しつつ，
本発明を具体化した実施の形態について説明し，本発明
の理解に供する。ここに，図１は，後記する基準状態測
定手段におけるフローチャート，図２は，通常状態測定
手段における測定手順を示すフローチャート，図３は，
本実施形態についてのハード構成概要図，図４は本発明
の一実施形態にかかるバルブ駆動用アクチュエータの制
御ブロック図である。 概要から説明すると，図３に示すように，この実施形態
にかかるバルブ漏れ検出装置Ａは，１次側配管４と，２
次側配管５との間に接続されたバルブ３の漏れを測るこ
とを目的とする。そして上記２次側配管５内に設けられ
た流量計１を具備し，該流量計１によって，例えば配管
を接続した当初の試運転時などにおけるバルブ全閉時の
流量と，通常使用時における全閉状態の流量をそれぞれ
測定し，両測定値の相違度合いによって通常使用時の流
量の正常・異常を判断すると言うものである。以下詳し
く説明する。この実施例は，上記の判断を上記バルブ３
を駆動するアクチュエータ２の制御手段によって行なお
うとするものであるが，これは一例であって，他のコン
ピュータその他の演算手段を用いても良いことは他言を
要しない。図４は上記アクチュエータの制御手段のハー
ド構成を示すブロック図である。図外の目標値設定部か
らのバルブ開度設定値信号は，設定値入力回路１２から
前記したアクチュエータ２の制御手段に入力される。入
力された設定値信号は第１のＡ／Ｄ変換器１３でデジタ
ル信号に変換された後，上記判断回路１１に入力され
る。一方，モータＭの出力軸に取り付けられた動作角度
フィードバック信号発生器１４により検出されたバルブ
角度信号は，フィードバック入力回路１５に入力された
後，第２のＡ／Ｄ変換器１６でデジタル信号に変換され
判断回路１１に入力される。上記判断回路１１では，上
記第１及び第２のＡ／Ｄ変換器１３及び１６からのデジ
タル信号の差分を算出し，モータ駆動回路１７に送出す
る。モータ駆動回路１７は，上記差分に従ってモータＭ
を駆動する。これによりモータＭは上記差分が小さくな
る方向に回転し，上記モータに接続されたバルブ駆動用
アクチュエータを介してバルブ３が，目標開度に近づく
ように駆動される。 上記のようなバルブの駆動制御
は，従来公知の手法である。本実施形態においては，通
常の流れ状態において，操作者から，監視指令の信号を
入力すると，図２に示すように，バルブアクチュエータ
の監視運転を開始する（Ｓ１）。即ち操作者がバルブ３
を全閉に操作するか，アクチュエータが自動的に全閉に
駆動する。続いて前記流量計１で検出された流量測定値
が第３のＡ／Ｄ変換器２０でデジタル信号に変換された
後，流量判定回路２１に入力される。流量判定回路２１
は，不揮発性メモリ２２に記憶された基準流量と今測定
された流量とを比較し（Ｓ３），その差が予め定めた標
準差分より大きい場合には，漏れ異常信号を漏れ異常信
号発生回路２３を経て外部に送出する（Ｓ４）。外部モ
ニタや警報機はこの漏れ異常信号を着信して異常表示を
したり，警報を発する。差が大きくない場合には，その
まま他の処理に移行する。また上記漏れ異常信号は判断
回路１１にも入力され，判断回路１１はバルブ３を予め
定めた角度分閉方向へ駆動する（Ｓ５）。これにより閉
方向に閉まる余裕があれば，バルブ３は，閉方向の動き
をすることで緊急的に異常な漏れを回避する。 この実施形態では，上記基準流量の値の取得についても
図４に示した装置が有効に利用される。図１はその手順
を示したものである。即ち，操作者は，バルブ３が正常
に運転されていると確信する時期，例えば試運転や，保
全作業後などの正常運転時に，図外の操作盤から基準流
量算出の指示を入力する。この指令が入力されると基準
流量測定が開始される（Ｓ１０）。 測定に当たってまずバルブ３が全閉位置まで駆動される
（Ｓ１１）。これは操作者が行なっても良い。 続いてこの正常運転状態における流量測定値を前記流量
計１から前記Ａ／Ｄ変換器２０，流量測定回路２１を介
して取り込み，不揮発メモリ２２に記憶する（Ｓ１
２）。データの取り込みを終了すると（Ｓ１３），記録
されたデータから判定基準を算出する。このデータは生
の変動データであっても良いが，平均値，標準偏差等を
含む統計値処理を経たものが望ましい。こうして判断基
準値が取得されると（Ｓ１４），不揮発性メモリ２２に
記憶する（Ｓ１５）。またこの基準流量は，外部にも出
力される。以上述べたようにこの実施形態においては，
１次側配管４と，２次側配管５との間に接続されたバル
ブ３の漏れを測るために，２次側配管５内に設けられた
流量計１によって，例えば配管を接続した当初の試運転
時などにおけるバルブ全閉時の流量を測定すると共に，
通常使用時に全閉状態における流量を上記流量計で測定
し，両測定値の相違度合いによって通常使用時の流量の
正常・異常を判断するものであるので，任意の通常使用
時に，漏れの検出を行なうことが出来，操業を休止など
の支障なく能率的に漏れ検出を行なうことが出来る。
本発明を具体化した実施の形態について説明し，本発明
の理解に供する。ここに，図１は，後記する基準状態測
定手段におけるフローチャート，図２は，通常状態測定
手段における測定手順を示すフローチャート，図３は，
本実施形態についてのハード構成概要図，図４は本発明
の一実施形態にかかるバルブ駆動用アクチュエータの制
御ブロック図である。 概要から説明すると，図３に示すように，この実施形態
にかかるバルブ漏れ検出装置Ａは，１次側配管４と，２
次側配管５との間に接続されたバルブ３の漏れを測るこ
とを目的とする。そして上記２次側配管５内に設けられ
た流量計１を具備し，該流量計１によって，例えば配管
を接続した当初の試運転時などにおけるバルブ全閉時の
流量と，通常使用時における全閉状態の流量をそれぞれ
測定し，両測定値の相違度合いによって通常使用時の流
量の正常・異常を判断すると言うものである。以下詳し
く説明する。この実施例は，上記の判断を上記バルブ３
を駆動するアクチュエータ２の制御手段によって行なお
うとするものであるが，これは一例であって，他のコン
ピュータその他の演算手段を用いても良いことは他言を
要しない。図４は上記アクチュエータの制御手段のハー
ド構成を示すブロック図である。図外の目標値設定部か
らのバルブ開度設定値信号は，設定値入力回路１２から
前記したアクチュエータ２の制御手段に入力される。入
力された設定値信号は第１のＡ／Ｄ変換器１３でデジタ
ル信号に変換された後，上記判断回路１１に入力され
る。一方，モータＭの出力軸に取り付けられた動作角度
フィードバック信号発生器１４により検出されたバルブ
角度信号は，フィードバック入力回路１５に入力された
後，第２のＡ／Ｄ変換器１６でデジタル信号に変換され
判断回路１１に入力される。上記判断回路１１では，上
記第１及び第２のＡ／Ｄ変換器１３及び１６からのデジ
タル信号の差分を算出し，モータ駆動回路１７に送出す
る。モータ駆動回路１７は，上記差分に従ってモータＭ
を駆動する。これによりモータＭは上記差分が小さくな
る方向に回転し，上記モータに接続されたバルブ駆動用
アクチュエータを介してバルブ３が，目標開度に近づく
ように駆動される。 上記のようなバルブの駆動制御
は，従来公知の手法である。本実施形態においては，通
常の流れ状態において，操作者から，監視指令の信号を
入力すると，図２に示すように，バルブアクチュエータ
の監視運転を開始する（Ｓ１）。即ち操作者がバルブ３
を全閉に操作するか，アクチュエータが自動的に全閉に
駆動する。続いて前記流量計１で検出された流量測定値
が第３のＡ／Ｄ変換器２０でデジタル信号に変換された
後，流量判定回路２１に入力される。流量判定回路２１
は，不揮発性メモリ２２に記憶された基準流量と今測定
された流量とを比較し（Ｓ３），その差が予め定めた標
準差分より大きい場合には，漏れ異常信号を漏れ異常信
号発生回路２３を経て外部に送出する（Ｓ４）。外部モ
ニタや警報機はこの漏れ異常信号を着信して異常表示を
したり，警報を発する。差が大きくない場合には，その
まま他の処理に移行する。また上記漏れ異常信号は判断
回路１１にも入力され，判断回路１１はバルブ３を予め
定めた角度分閉方向へ駆動する（Ｓ５）。これにより閉
方向に閉まる余裕があれば，バルブ３は，閉方向の動き
をすることで緊急的に異常な漏れを回避する。 この実施形態では，上記基準流量の値の取得についても
図４に示した装置が有効に利用される。図１はその手順
を示したものである。即ち，操作者は，バルブ３が正常
に運転されていると確信する時期，例えば試運転や，保
全作業後などの正常運転時に，図外の操作盤から基準流
量算出の指示を入力する。この指令が入力されると基準
流量測定が開始される（Ｓ１０）。 測定に当たってまずバルブ３が全閉位置まで駆動される
（Ｓ１１）。これは操作者が行なっても良い。 続いてこの正常運転状態における流量測定値を前記流量
計１から前記Ａ／Ｄ変換器２０，流量測定回路２１を介
して取り込み，不揮発メモリ２２に記憶する（Ｓ１
２）。データの取り込みを終了すると（Ｓ１３），記録
されたデータから判定基準を算出する。このデータは生
の変動データであっても良いが，平均値，標準偏差等を
含む統計値処理を経たものが望ましい。こうして判断基
準値が取得されると（Ｓ１４），不揮発性メモリ２２に
記憶する（Ｓ１５）。またこの基準流量は，外部にも出
力される。以上述べたようにこの実施形態においては，
１次側配管４と，２次側配管５との間に接続されたバル
ブ３の漏れを測るために，２次側配管５内に設けられた
流量計１によって，例えば配管を接続した当初の試運転
時などにおけるバルブ全閉時の流量を測定すると共に，
通常使用時に全閉状態における流量を上記流量計で測定
し，両測定値の相違度合いによって通常使用時の流量の
正常・異常を判断するものであるので，任意の通常使用
時に，漏れの検出を行なうことが出来，操業を休止など
の支障なく能率的に漏れ検出を行なうことが出来る。
【０００６】
【実施例】上記実施の形態においては，判断回路等がバ
ルブ駆動用のアクチュエータの駆動装置に設けられた場
合を説明したが，これは一例であって，例えば別の管理
用コンピュータやその他のバルブ駆動装置に設けられる
こともありうる。また，上の実施形態では，異常漏れが
検出されると，一定角度バルブを閉める方向に駆動した
が，僅かに閉方向に駆動しては漏れ量を測定し，それを
繰り返して所定回数の繰り返しにもかかわらず異常が解
消されない場合には，特に重度の異常として警報を発し
たり，モニタに出力するなどの処置も考えられる。これ
らはいずれも本発明の範囲に属する実施例である。
ルブ駆動用のアクチュエータの駆動装置に設けられた場
合を説明したが，これは一例であって，例えば別の管理
用コンピュータやその他のバルブ駆動装置に設けられる
こともありうる。また，上の実施形態では，異常漏れが
検出されると，一定角度バルブを閉める方向に駆動した
が，僅かに閉方向に駆動しては漏れ量を測定し，それを
繰り返して所定回数の繰り返しにもかかわらず異常が解
消されない場合には，特に重度の異常として警報を発し
たり，モニタに出力するなどの処置も考えられる。これ
らはいずれも本発明の範囲に属する実施例である。
【０００７】
【発明の効果】本発明は以上述べたように，バルブの流
出側に設けられた流量計と，所定の基準状態においてバ
ルブを全閉にした時の上記流量計による流量測定値を取
得する基準漏れ量測定手段と，上記基準漏れ量測定手段
による想定値と，通常の使用時においてバルブを全閉状
態にした時の上記流量計による流量測定値とを比較し，
その差によりバルブの漏れ異常を判断する異常判断手段
とを備えたことを特徴とするバルブの漏れ検出装置であ
る。従って，配管を切断するなどの非効率な操作をする
ことなく，通常の使用状態を維持したまま，バルブの漏
れを検出することが出来る。異常判断手段が異常を検出
した時，外部に警報を発する警報手段を更に備えること
が出来る。この場合，自動的に漏れ警報を発することが
出来る。異常判断手段が異常を検出した時，更に所定角
度バルブを閉方向に駆動するように構成することも可能
である。この場合，バルブを自動的に安全サイドに駆動
することが出来る。上の本発明を方法として捉えると，
所定の基準状態においてバルブを全閉にした時の基準漏
れ量を取得する工程と，上記基準漏れ量と，通常の使用
時においてバルブを全閉状態にした時の上記流量計によ
る通常漏れ量とを比較し，その差によりバルブの漏れ異
常を判断することを特徴とするバルブの漏れ検出方法が
得られる。効果は本発明と同一である。この発明を具備
するアクチュエータは，上記バルブの漏れ検出装置を備
えてなるバルブ駆動用アクチュエータとして提案され
る。 この発明をプログラムとして捉えると，所定の基準状態
においてバルブを全閉にした時の基準漏れ量を取得する
工程と，上記基準漏れ量と，通常の使用時においてバル
ブを全閉状態にした時の上記流量計による通常漏れ量と
を比較し，その差によりバルブの漏れ異常を判断する工
程とを実行するためのコンピュータ読み取り可能なバル
ブの漏れ検出プログラムが提案される。この場合の効果
は装置発明の場合と同じである。
出側に設けられた流量計と，所定の基準状態においてバ
ルブを全閉にした時の上記流量計による流量測定値を取
得する基準漏れ量測定手段と，上記基準漏れ量測定手段
による想定値と，通常の使用時においてバルブを全閉状
態にした時の上記流量計による流量測定値とを比較し，
その差によりバルブの漏れ異常を判断する異常判断手段
とを備えたことを特徴とするバルブの漏れ検出装置であ
る。従って，配管を切断するなどの非効率な操作をする
ことなく，通常の使用状態を維持したまま，バルブの漏
れを検出することが出来る。異常判断手段が異常を検出
した時，外部に警報を発する警報手段を更に備えること
が出来る。この場合，自動的に漏れ警報を発することが
出来る。異常判断手段が異常を検出した時，更に所定角
度バルブを閉方向に駆動するように構成することも可能
である。この場合，バルブを自動的に安全サイドに駆動
することが出来る。上の本発明を方法として捉えると，
所定の基準状態においてバルブを全閉にした時の基準漏
れ量を取得する工程と，上記基準漏れ量と，通常の使用
時においてバルブを全閉状態にした時の上記流量計によ
る通常漏れ量とを比較し，その差によりバルブの漏れ異
常を判断することを特徴とするバルブの漏れ検出方法が
得られる。効果は本発明と同一である。この発明を具備
するアクチュエータは，上記バルブの漏れ検出装置を備
えてなるバルブ駆動用アクチュエータとして提案され
る。 この発明をプログラムとして捉えると，所定の基準状態
においてバルブを全閉にした時の基準漏れ量を取得する
工程と，上記基準漏れ量と，通常の使用時においてバル
ブを全閉状態にした時の上記流量計による通常漏れ量と
を比較し，その差によりバルブの漏れ異常を判断する工
程とを実行するためのコンピュータ読み取り可能なバル
ブの漏れ検出プログラムが提案される。この場合の効果
は装置発明の場合と同じである。
【図１】基準状態測定手段におけるフローチャート。
【図２】通常状態測定手段における測定手順を示すフロ
ーチャート。
ーチャート。
【図３】本実施形態についてのハード構成概要図。
【図４】本発明の一実施形態にかかるバルブ駆動用アク
チュエータの制御ブロック図。
チュエータの制御ブロック図。
１…流量計 ２…アクチュエータ ３…バルブ ４，５…管路
Claims (6)
- 【請求項１】 バルブの流出側に設けられた流量計と，
所定の基準状態においてバルブを全閉にした時の上記流
量計による流量測定値を取得する基準漏れ量測定手段
と，上記基準漏れ量測定手段による想定値と，通常の使
用時においてバルブを全閉状態にした時の上記流量計に
よる流量測定値とを比較し，その差によりバルブの漏れ
異常を判断する異常判断手段とを備えたことを特徴とす
るバルブの漏れ検出装置。 - 【請求項２】 異常判断手段が異常を検出した時，外部
に警報を発する警報手段を更に備えてなる請求項１記載
の漏れ検出装置。 - 【請求項３】 異常判断手段が異常を検出した時，更に
所定角度バルブを閉方向に駆動する請求項１或いは２の
いずれかに記載の漏れ検出装置。 - 【請求項４】 所定の基準状態においてバルブを全閉に
した時の基準漏れ量を取得する工程と，上記基準漏れ量
と，通常の使用時においてバルブを全閉状態にした時の
上記流量計による通常漏れ量とを比較し，その差により
バルブの漏れ異常を判断することを特徴とするバルブの
漏れ検出方法。 - 【請求項５】 上記バルブの漏れ検出装置を備えてなる
バルブ駆動用アクチュエータ。 - 【請求項６】 所定の基準状態においてバルブを全閉に
した時の基準漏れ量を取得する工程と，上記基準漏れ量
と，通常の使用時においてバルブを全閉状態にした時の
上記流量計による通常漏れ量とを比較し，その差により
バルブの漏れ異常を判断する工程とを実行するためのコ
ンピュータ読み取り可能なバルブの漏れ検出プログラ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001128844A JP2002323402A (ja) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | バルブの漏れ検出装置，方法，バルブ駆動用アクチュエータ，プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001128844A JP2002323402A (ja) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | バルブの漏れ検出装置，方法，バルブ駆動用アクチュエータ，プログラム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002323402A true JP2002323402A (ja) | 2002-11-08 |
Family
ID=18977481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001128844A Pending JP2002323402A (ja) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | バルブの漏れ検出装置，方法，バルブ駆動用アクチュエータ，プログラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002323402A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009138806A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Kanto Chem Co Inc | エアオペレートバルブ診断方法、及びエアオペレートバルブ診断装置 |
| JP2022010221A (ja) * | 2017-07-31 | 2022-01-14 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
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2001
- 2001-04-26 JP JP2001128844A patent/JP2002323402A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009138806A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Kanto Chem Co Inc | エアオペレートバルブ診断方法、及びエアオペレートバルブ診断装置 |
| JP2022010221A (ja) * | 2017-07-31 | 2022-01-14 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
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