JP2002319616A - Wafer carrier and method of soldering solar battery wafer using the same - Google Patents

Wafer carrier and method of soldering solar battery wafer using the same

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JP2002319616A
JP2002319616A JP2001356333A JP2001356333A JP2002319616A JP 2002319616 A JP2002319616 A JP 2002319616A JP 2001356333 A JP2001356333 A JP 2001356333A JP 2001356333 A JP2001356333 A JP 2001356333A JP 2002319616 A JP2002319616 A JP 2002319616A
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JP
Japan
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wafer
wafer carrier
carrier according
solar cell
molten solder
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Application number
JP2001356333A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuhei Sakagami
修平 阪上
Masato Asai
正人 浅井
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wafer carrier that can improve the productive efficiency of a solar battery wafer by shortening the soldering time per solar battery wafer and can eliminate the occurrence of cracks in wafers, when the wafers are dipped in a molten solder bath and the occurrence of troubles in carrier transfer of the wafers. SOLUTION: This wafer carrier 20 is composed of a box-like body, which is surrounded by a plurality of metallic side plates 21 and 23 and has openings on its tops side and bottom side; the box-like body has a housing section 22 for housing a plurality of plate-shaped wafers 100, in parallel at intervals in its inside; and the side plates 21 and 23 are surface-treated, so that molten solder does not adhere to the plates 21 and 23, when the box-like body is dipped in the molten solder bath in a state with the body housing the wafers 100.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ウエハキャリア
およびそれを用いた太陽電池ウエハのはんだ付け処理方
法に関するものである。
The present invention relates to a wafer carrier and a method for soldering a solar cell wafer using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、光起電力機能を有する半導体
接合を備えた半導体基板(ウエハ)の一方の表面に受光
面電極が形成され、他方の表面に裏面電極が形成された
太陽電池が広く用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a solar cell having a light receiving surface electrode formed on one surface of a semiconductor substrate (wafer) having a semiconductor junction having a photovoltaic function and a back surface electrode formed on the other surface is widely used. Used.

【0003】これらの受光面電極及び裏面電極は、パタ
ーンマスクを介したスクリーン印刷で銀(Ag)ペース
トを所定のパターンで塗布し、その後、さらにその塗布
された銀ペーストを焼成することにより形成される。し
かし、銀ペーストを焼成して形成した受光面電極及び裏
面電極は比較的電気抵抗が大きいので、さらにこの上に
はんだを肉盛りする必要がある(以下、この明細書にお
いてはんだ付け処理と称する)。
The light-receiving surface electrode and the back surface electrode are formed by applying a silver (Ag) paste in a predetermined pattern by screen printing through a pattern mask, and then firing the applied silver paste. You. However, since the light receiving surface electrode and the back surface electrode formed by firing silver paste have relatively high electric resistance, it is necessary to further build up solder thereon (hereinafter, referred to as soldering treatment in this specification). .

【0004】通常、はんだ付け処理を行う方法として
は、銀ペースト焼成済みの太陽電池ウエハを溶融はんだ
槽に浸漬して引き上げるという次の(1)、(2)のは
んだディップ法が用いられる。 (1)自動的に太陽電池ウエハをホルダーで一枚ずつ直
接的につかんで溶融はんだ槽へ浸漬するはんだディップ
装置を用いる(例えば、特開昭58−58729号公報
又は特開平3−145166号公報参照)。
Usually, as a method of performing a soldering process, the following solder dip methods (1) and (2) are used, in which a solar cell wafer fired with silver paste is dipped in a molten solder bath and pulled up. (1) A solder dipping apparatus is used in which solar cell wafers are automatically held directly one by one by a holder and immersed in a molten solder bath (for example, JP-A-58-58729 or JP-A-3-145166). reference).

【0005】(2)太陽電池ウエハのはんだディップを
行う時、複数の太陽電池ウエハを移載機で金属製のウエ
ハキャリアにセットし、自動はんだディップ装置でフラ
ックス塗布・乾燥、はんだ浸漬、洗浄、乾燥の処理を行
い、処理後コンベアにてキャリアを移載取出し機まで搬
送し、キャリアから太陽電池ウエハを取り出す。このよ
うに、複数の太陽電池ウエハをウエハキャリアにセット
し、セットされた複数の太陽電池ウエハに対して一括し
てはんだ付け処理を行うと、太陽電池ウエハ一枚あたり
のはんだ付け処理に要する時間を短縮できる。
(2) When performing solder dipping of a solar cell wafer, a plurality of solar cell wafers are set on a metal wafer carrier by a transfer machine, and flux application / drying, solder immersion, cleaning, After performing the drying process, the carrier is transported to the transfer / extraction machine by the conveyor after the processing, and the solar cell wafer is taken out from the carrier. As described above, when a plurality of solar cell wafers are set on the wafer carrier and the soldering processing is performed on the set plurality of solar cell wafers at once, the time required for the soldering processing per one solar cell wafer is required. Can be shortened.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記(1)のようなは
んだディップ法では、太陽電池ウエハを一枚ずつホルダ
ーで直接的につかんで溶融はんだ槽へ浸漬するので、太
陽電池ウエハ一枚あたりのはんだ付け処理に要する時間
が長くなる。
In the solder dipping method as described in the above (1), each solar cell wafer is directly held by a holder and immersed in a molten solder bath. The time required for the soldering process increases.

【0007】また、はんだ付け処理前の太陽電池ウエハ
は、受光面電極と裏面電極とのパターンの相違に起因す
る反りを生じている場合が多い。反りが生じている太陽
電池ウエハをはんだディップ装置のホルダーで直接的に
つかむと太陽電池ウエハの一部に無理な力が加わって歪
みが生じ、最悪の場合には太陽電池ウエハが割れてしま
うことがある。また、太陽電池ウエハの反りのためにホ
ルダーのつかみ方が不十分であると太陽電池ウエハを溶
融はんだ槽内に落としてしまうこともある。
[0007] In many cases, the solar cell wafer before soldering is warped due to a difference in pattern between the light receiving surface electrode and the back surface electrode. If the warped solar cell wafer is directly grasped by the holder of the solder dipping device, an excessive force will be applied to a part of the solar cell wafer, causing distortion, and in the worst case, the solar cell wafer will be broken There is. Further, if the holder is insufficiently gripped due to the warpage of the solar cell wafer, the solar cell wafer may be dropped into the molten solder tank.

【0008】一方、上記(2)のようなはんだディップ
法では、移載機で太陽電池ウエハをウエハキャリアに設
けられたスリットへ差し込んでセットしたとき、太陽電
池ウエハの下端が金属製のウエハキャリアのスリットの
下端に直接当たるため、食い込み衝撃によるウエハ割れ
が問題となっていた。
On the other hand, in the solder dipping method as described in the above (2), when the solar cell wafer is inserted into a slit provided in the wafer carrier by a transfer machine and set, the lower end of the solar cell wafer is made of a metal wafer carrier. The wafer directly hits the lower end of the slit, so that a crack in the wafer due to a biting impact has been a problem.

【0009】また、金属製のウエハキャリアは、溶融は
んだ槽から引き上げたときに、余分な溶融はんだの流れ
落ちが悪く、スリットの下端に残ったはんだが凝固する
と、はんだ付け処理済みの太陽電池ウエハをウエハキャ
リアから取り出せなくなることがある。
In addition, when the metal wafer carrier is lifted out of the molten solder bath, excess molten solder does not easily flow down. When the solder remaining at the lower end of the slit solidifies, the soldered solar cell wafer is removed. It may not be possible to remove it from the wafer carrier.

【0010】また、コンベアにてはんだディップ処理済
みウエハキャリアを移載取出し機まで搬送するとき、移
載処理待ちにより移載取出し機の手前でウエハキャリア
搬送を停止させるが、コンベアのベルトを駆動させたま
ま先頭のウエハキャリアのみストッパーにてベルトを空
滑りさせた状態で停止させるために、コンベアにて連続
して搬送されてきた後続のウエハキャリアは、停止した
先頭のウエハキャリアに押し付けられて互いに食込み繋
がったままになることが問題となっていた。
When the wafer carrier having been subjected to the solder dip processing is conveyed to the transfer and unloading machine on the conveyor, the transfer of the wafer carrier is stopped in front of the transfer and unloading machine due to the waiting for the transfer processing, but the conveyor belt is driven. In order to stop only the leading wafer carrier with the stopper slipping the belt with the stopper, the subsequent wafer carriers continuously conveyed by the conveyor are pressed against the stopped leading wafer carrier and mutually stopped. It was a problem to stay bitten.

【0011】この場合、先頭のウエハキャリアの搬送停
止をストッパーではなく、コンベアベルト自体の停止で
行うことによってウエハキャリア同士の食込みによる繋
がりは解消されるが、後続のウエハキャリアを連続して
迅速に搬送することができなくなるため、ベルト駆動の
停止はせず、ベルト上を空滑りさせた状態でストッパー
により停止させる必要があった。
In this case, the transfer of the leading wafer carrier is stopped not by the stopper but by the stop of the conveyor belt itself, thereby eliminating the connection due to the bite between the wafer carriers. Since it becomes impossible to convey the belt, it was necessary to stop the belt drive by a stopper without slipping on the belt without stopping the belt drive.

【0012】この発明は以上のような事情を考慮してな
されたものであり、太陽電池ウエハ一枚あたりはんだ付
け処理に要する時間を短縮するために、複数の太陽電池
ウエハを同時にはんだ溶融槽へ浸漬することができ、さ
らには、はんだディップ処理時のウエハ割れおよびキャ
リア搬送トラブルを無くすことができるウエハキャリア
およびそれを用いた太陽電池ウエハのはんだ付け処理方
法を提供するものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in order to reduce the time required for the soldering process per solar cell wafer, a plurality of solar cell wafers are simultaneously transferred to a solder melting tank. An object of the present invention is to provide a wafer carrier that can be immersed and that can eliminate a wafer crack and a carrier transport trouble during a solder dipping process and a method for soldering a solar cell wafer using the same.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この発明は、複数の金属
製の側板に囲まれ上下に開口を有する箱状体からなり、
箱状体はその内部に複数の板状のウエハを平行に間隔を
空けて収容するための収容部を有し、各側板は、箱状体
内にウエハを収容して溶融はんだ槽に浸漬するときに溶
融はんだが付着しにくいように表面処理されていること
を特徴とするウエハキャリアを提供するものである。
The present invention comprises a box-like body surrounded by a plurality of side plates made of metal and having upper and lower openings.
The box-shaped body has an accommodation portion for accommodating a plurality of plate-shaped wafers in parallel at spaced intervals, and each side plate accommodates a wafer in the box-shaped body and is immersed in a molten solder bath. The present invention provides a wafer carrier characterized in that a surface treatment is performed so that molten solder does not easily adhere to the wafer carrier.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】この発明によるウエハキャリア
は、側板がステンレス鋼からなり、表面処理として研磨
処理されていてもよい。具体的なステンレス鋼として
は、例えば、SUS304などを挙げることができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A wafer carrier according to the present invention may have a side plate made of stainless steel, which may be polished as a surface treatment. Specific examples of stainless steel include SUS304.

【0015】また、この発明によるウエハキャリアは、
表面処理が酸化皮膜またはPFA樹脂(テトラフルオロ
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体)で被覆する処理であってもよい。具体的には、表面
処理としてアルマイト被覆処理などを挙げることができ
る。このように構成すると、いずれの場合も、溶融はん
だの付着性を少なくできる。
Further, the wafer carrier according to the present invention comprises:
The surface treatment may be a treatment of coating with an oxide film or a PFA resin (tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinyl ether copolymer). Specifically, the surface treatment includes an alumite coating treatment. With such a configuration, in any case, the adhesion of the molten solder can be reduced.

【0016】この発明によるウエハキャリアにおいて、
複数の側板のうち2枚の側板は、それらの間隔が上から
下へ向かって狭くなるように対向すると共に、上端と下
端を有する複数の平行なスリットが形成されて収容部を
構成し、各ウエハは対向する側板のスリットに差し込ま
れて収容されてもよい。
In the wafer carrier according to the present invention,
Two side plates of the plurality of side plates are opposed to each other so that the distance between them becomes narrower from top to bottom, and a plurality of parallel slits having an upper end and a lower end are formed to form a housing portion, The wafer may be accommodated by being inserted into slits of the opposed side plates.

【0017】また、この発明によるウエハキャリアにお
いて、スリットが形成された各側板は、その上縁と下縁
の間で各スリットを横切る線において屈曲していてもよ
い。
In the wafer carrier according to the present invention, each side plate having the slit may be bent at a line crossing each slit between the upper edge and the lower edge.

【0018】このように構成すると、側板を屈曲させな
い場合と比較して、互いに対向するスリット間の間隔が
狭くなるので、ウエハキャリアに収容されたウエハがは
んだディップ中に浮力を受けてある程度浮き上がっても
スリットから抜けずらくなる。従って、浮力を受けて浮
き上がったウエハがスリットによる確実な支持を受けら
れなくなって傾斜し、隣合うウエハどおしが接触して接
合されることを防止できるようになる。この結果、ウエ
ハキャリアからウエハを取り出す際に、無理な力がウエ
ハに加わり、ウエハが割れてしまうことを防止できるよ
うになる。
With this configuration, the interval between the slits facing each other is narrower than in a case where the side plate is not bent, so that the wafer accommodated in the wafer carrier receives a buoyancy during the solder dip and rises to some extent. Also become difficult to get out of the slit. Therefore, the wafer lifted by the buoyancy can not be reliably supported by the slits and tilts, so that it is possible to prevent the adjacent wafers from contacting and joining. As a result, when taking out the wafer from the wafer carrier, an excessive force is applied to the wafer, thereby preventing the wafer from being broken.

【0019】また、この発明によるウエハキャリアにお
いて、各スリットはその上端近傍の幅が下端近傍の幅よ
りも広くてもよい。このように構成すると、ウエハをス
リットへ差し込み易くなる。
In the wafer carrier according to the present invention, each slit may have a width near an upper end thereof larger than a width near a lower end. With this configuration, the wafer can be easily inserted into the slit.

【0020】また、この発明によるウエハキャリアは、
収容されるウエハの下端を支持するために各スリットの
下端近傍を横切るバーをさらに備えてもよい。このよう
に構成すると、収容したウエハの下端がスリットの下端
に食い込んで割れてしまうことを防止できる。
Further, the wafer carrier according to the present invention comprises:
A bar may be further provided across the vicinity of the lower end of each slit to support the lower end of the accommodated wafer. According to this structure, it is possible to prevent the lower end of the accommodated wafer from breaking into the lower end of the slit and breaking.

【0021】また、バーはPEEK樹脂、PFA樹脂ま
たはPTFE樹脂からなることが好ましい。というの
は、PEEK樹脂(ポリエーテルエーテルケトン)、P
FA樹脂またはPTFE樹脂(ポリテトラフルオロエチ
レン)ははんだ付着性がなく、さらにはウエハとの当た
りが柔らかいため、バーの材料として好適だからであ
る。
The bar is preferably made of PEEK resin, PFA resin or PTFE resin. Because PEEK resin (polyetheretherketone), P
This is because the FA resin or the PTFE resin (polytetrafluoroethylene) has no solder adhesion and has a soft contact with the wafer, so that it is suitable as a bar material.

【0022】また、バーは帯状で、上縁部の断面が半円
状で下縁部の断面が先細のテーパー状となっていてもよ
い。このように構成すると、ウエハキャリアを溶融はん
だ槽から引き上げたときに溶融はんだがバーに溜まって
凝固することがなくなると共に、バーについた溶融はん
だが流れ落ちやすくなる。更には、後述の洗浄乾燥時に
バーに付着した水滴が流れ落ち易くなる。
The bar may be band-shaped, and the cross section of the upper edge may be semicircular and the cross section of the lower edge may be tapered. With this configuration, when the wafer carrier is pulled out of the molten solder bath, the molten solder does not accumulate in the bar and solidify, and the molten solder attached to the bar easily flows down. Further, water droplets adhered to the bar during washing and drying described later easily flow down.

【0023】また、バーはスリットが設けられた一対の
側板の各々の外側または内側に設けられてもよい。具体
的には、バーがキャリアの側板との間に隙間を空けて取
り付けられるようにするとよい。このように構成する
と、ウエハキャリアを溶融はんだ槽から引き上げるとき
に、バーが溶融はんだをすくい上げることがなくなる。
更には、後述の洗浄乾燥時に水滴の溜まりが無くなり、
乾燥しやすくなる。なお、バーは上記形状以外であって
もよく、例えば、丸棒状のバーであってもよい。
Further, the bar may be provided outside or inside each of the pair of side plates provided with slits. Specifically, the bar may be attached with a gap between the bar and the side plate of the carrier. With such a configuration, the bar does not scoop up the molten solder when the wafer carrier is pulled out of the molten solder bath.
Furthermore, the accumulation of water droplets during washing and drying described below is eliminated,
It becomes easier to dry. Note that the bar may have a shape other than the above shape, and for example, may be a round bar-shaped bar.

【0024】また、この発明によるウエハキャリアにお
いて、側板に先端が平面状の突起部をそれぞれ備え、複
数のウエハキャリアがコンベアによって移動するときに
その突起部が互いに接触するように構成されてもよい。
これは、この発明による複数のウエハキャリアをベルト
コンベアによって搬送するときのことを考慮してのこと
である。
Further, in the wafer carrier according to the present invention, the side plates may each be provided with a projection having a flat tip, and the projections may be configured to come into contact with each other when a plurality of wafer carriers are moved by the conveyor. .
This is in consideration of the case where a plurality of wafer carriers according to the present invention are transported by a belt conveyor.

【0025】つまり、自動はんだディップ装置を用いて
ウエハにはんだ付け処理を行うとき、以下の工程を経る
ことになる。 ウエハを移載機でウエハキャリアへ収容し、 自動はんだディップ装置でフラックス塗布、乾燥、溶
融はんだ槽へ浸漬、洗浄、乾燥の処理を行い、 ベルトコンベアによってウエハキャリアをウエハ移載
取り出し機まで搬送してウエハキャリアからウエハを取
り出す。
That is, when soldering is performed on a wafer using an automatic solder dipping apparatus, the following steps are performed. The wafer is loaded into the wafer carrier by a transfer machine, and flux coating, drying, immersion in a molten solder tank, washing, and drying are performed by an automatic solder dipping device, and the wafer carrier is transported to a wafer transfer and removal machine by a belt conveyor. To remove the wafer from the wafer carrier.

【0026】ここで、上記の工程において、ウエハキ
ャリアはウエハの取り出し処理待ちによりウエハ移載取
り出し機の手前で搬送を停止される。しかし、後続のキ
ャリアを迅速に搬送するためにベルトコンベアのベルト
は駆動したままであり、先頭のウエハキャリアのみがベ
ルトコンベア上に設けられたストッパーで強制的に停止
させられる。つまり、搬送を停止されたウエハキャリア
はベルトコンベア上を空滑りする状態となる。
Here, in the above process, the transfer of the wafer carrier is stopped just before the wafer transfer / unloading machine while waiting for the wafer unloading process. However, the belt of the belt conveyor is kept driven in order to quickly convey the subsequent carrier, and only the first wafer carrier is forcibly stopped by a stopper provided on the belt conveyor. In other words, the wafer carrier whose conveyance has been stopped slips on the belt conveyor.

【0027】しかし、このままではベルトコンベア上で
前後に並んだウエハキャリア同士が押し付けられあっ
て、ベルトコンベア上にきれいに整列しないばかりか、
最悪の場合にはお互いに絡み合った状態となってしま
う。そこで、この発明のウエハキャリアにおいては、上
記突起部を設けることによってこのような現象を防止す
る。
However, in this state, the wafer carriers arranged front and rear on the belt conveyor are pressed against each other, so that not only is the wafer carrier not well aligned on the belt conveyor,
In the worst case, they are intertwined with each other. Therefore, in the wafer carrier of the present invention, such a phenomenon is prevented by providing the above-mentioned protrusion.

【0028】つまり、先端が平面状の突起部を各ウエハ
キャリアが備えれば、ベルトコンベア上を空滑りする状
態で強制的に停止させられたときに、前後のウエハキャ
リアの突起部同士が互いに接触するので、ベルトコンベ
ア上にウエハキャリアをきれいに整列させることができ
る。
That is, if each wafer carrier is provided with a projection having a flat tip, when the wafer carrier is forcibly stopped while slipping on the belt conveyor, the projections of the front and rear wafer carriers are mutually connected. The contact allows the wafer carrier to be neatly aligned on the belt conveyor.

【0029】また、以上のような突起部は、スリットが
設けられていない対向する2枚の側板の上端近傍と下端
近傍の2箇所にそれぞれ設けられてもよい。つまり、ウ
エハキャリアの前後の全面に突起部を設けるのではな
く、側板の上端近傍と下端近傍の2箇所のみに設けるよ
うにすると、ウエハキャリアを溶融はんだ槽へ浸漬した
ときにウエハキャリアに蓄熱される熱量が小さくなり、
溶融はんだ槽内の温度変動を小さくすることができる。
The above-mentioned projections may be provided at two locations near the upper end and near the lower end of two opposing side plates not provided with slits. In other words, if the protrusions are not provided on the entire surface before and after the wafer carrier, but are provided only at two locations near the upper end and the lower end of the side plate, heat is stored in the wafer carrier when the wafer carrier is immersed in the molten solder bath. Heat is reduced,
Temperature fluctuation in the molten solder bath can be reduced.

【0030】また、この発明は別の観点からみると、ウ
エハは表面と裏面に銀からなる電極パターンが形成され
た太陽電池ウエハであり、複数の太陽電池ウエハをこの
発明によるウエハキャリアに収容し、溶融はんだ槽へ浸
漬し、それによって前記電極パターンにはんだ付け処理
を行う太陽電池ウエハのはんだ付け処理方法を提供する
ものでもある。
In another aspect of the present invention, the wafer is a solar cell wafer having a silver electrode pattern formed on the front and back surfaces, and a plurality of solar cell wafers are accommodated in a wafer carrier according to the present invention. Another object of the present invention is to provide a method for soldering a solar cell wafer, which is immersed in a molten solder bath and thereby solders the electrode pattern.

【0031】[0031]

【実施例】以下に図面に示す実施例に基づいてこの発明
を詳述する。なお、この実施例によってこの発明が限定
されるものではない。なお、以下の複数の実施例におい
て共通して用いられる部材には同じ符号を用いる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the embodiments shown in the drawings. The present invention is not limited by the embodiment. Note that the same reference numerals are used for members commonly used in the following embodiments.

【0032】実施例1 この発明の実施例1に係るウエハキャリアについて図1
〜4に基づいて説明する。図1はこの発明の実施例1に
係るウエハキャリアの斜視図、図2は図1に示されるウ
エハキャリアの正面図、図3は図1に示されるウエハキ
ャリアの一部破断右側面図、図4は図1に示されるウエ
ハキャリアに太陽電池ウエハを収容した状態を示す正面
図である。
Embodiment 1 FIG. 1 shows a wafer carrier according to Embodiment 1 of the present invention.
This will be described based on Nos. 1 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a front view of the wafer carrier shown in FIG. 1, FIG. 3 is a partially cutaway right side view of the wafer carrier shown in FIG. FIG. 4 is a front view showing a state where a solar cell wafer is accommodated in the wafer carrier shown in FIG.

【0033】図1〜4に示されるように、この発明の実
施例1に係るウエハキャリア10は、2つの金属製の横
側板1と2つの金属製の端側板3に囲まれ上下に開口を
有する箱状体からなり、箱状体はその内部に複数の板状
の太陽電池ウエハ100を平行に間隔を空けて収容する
ためのスリット2を有し、各側板1、3は、箱状体内に
太陽電池ウエハ100を収容して溶融はんだ槽(図示せ
ず)に浸漬するときに溶融はんだが付着しにくいように
表面処理されている。
As shown in FIGS. 1 to 4, the wafer carrier 10 according to the first embodiment of the present invention is surrounded by two metal side plates 1 and two metal end plates 3 and has openings vertically. The box-shaped body has a slit 2 for accommodating a plurality of plate-shaped solar cell wafers 100 in parallel with a space therebetween, and each side plate 1, 3 is formed in the box-shaped body. The surface treatment is performed so that the molten solder does not easily adhere when the solar cell wafer 100 is housed in the molten solder bath (not shown).

【0034】詳しくは、図1〜3に示されるように、箱
状体は、2つの対向する横側板1と、2つの対向する端
側板3とから構成されている。2つの端側板3は互いに
間隔を空けて対向するように外上梁5と外下梁6に締結
ビス7で固定される。2つの横側板1は、それらの間隔
が上から下に向かって狭くなるように、各横側板1の上
端縁部と下端縁部にそれぞれ形成された内上梁部11と
内下梁部12の各両端が各端側板3に締結ビス7で固定
される。図2に示されるように、互いに対向する2つの
横側板1の上縁間の間隔W1は、収容する太陽電池ウエ
ハ100のサイズよりも若干広めにとなるように設定さ
れる。
More specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, the box-shaped body is composed of two opposed side plates 1 and two opposed end plates 3. The two end side plates 3 are fixed to the outer upper beam 5 and the outer lower beam 6 with fastening screws 7 so as to face each other at an interval. The two lateral plates 1 are formed such that an inner upper beam portion 11 and an inner lower beam portion 12 are formed on the upper edge and the lower edge of each lateral plate 1 so that the distance between them becomes smaller from top to bottom. Are fixed to each end side plate 3 with fastening screws 7. As shown in FIG. 2, the interval W1 between the upper edges of the two lateral side plates 1 facing each other is set to be slightly larger than the size of the solar cell wafer 100 to be accommodated.

【0035】横側板1は複数の太陽電池ウエハ100を
垂直状に平行に並べてウエハキャリア10内に収容でき
るように複数のスリット2が設けられている。また、端
側板3は、ウエハキャリア10を溶融はんだ槽に浸漬し
たときに、ウエハキャリア10内外への溶融はんだの流
動を妨げないために、かつ、ウエハキャリア10に蓄熱
される熱量を小さくするために角穴4が形成されてい
る。なお、横側板1、端側板3、外上梁5、外下梁6お
よび締結ビス7はそれぞれはんだが付着しにくいよう、
研磨処理を行ったSUS304などのステンレス鋼から
なる。なお、上記ステンレス鋼の代わりに表面に酸化皮
膜を形成した他の金属を用いてもよい。
The horizontal plate 1 is provided with a plurality of slits 2 so that a plurality of solar cell wafers 100 can be vertically arranged in parallel and accommodated in a wafer carrier 10. Further, the end side plate 3 does not hinder the flow of the molten solder into and out of the wafer carrier 10 when the wafer carrier 10 is immersed in the molten solder bath, and also reduces the amount of heat stored in the wafer carrier 10. Is formed with a square hole 4. The lateral plate 1, the end plate 3, the outer upper beam 5, the outer lower beam 6, and the fastening screw 7 are so formed that the solder hardly adheres thereto.
It is made of a polished stainless steel such as SUS304. Note that, instead of the above stainless steel, another metal having an oxide film formed on the surface may be used.

【0036】このような構成からなるウエハキャリア1
0に複数の太陽電池ウエハ100を収容し、溶融はんだ
槽へ浸漬すると、複数の太陽電池ウエハ100のはんだ
付け処理を同時に行うことができる。従って、太陽電池
ウエハ一枚当たりのはんだ付け処理に要する時間が短縮
されて、太陽電池ウエハの生産効率が向上する。
The wafer carrier 1 having such a configuration
When a plurality of solar cell wafers 100 are housed in a bath and immersed in a molten solder bath, the soldering of the plurality of solar cell wafers 100 can be performed simultaneously. Therefore, the time required for the soldering process per solar cell wafer is reduced, and the production efficiency of the solar cell wafer is improved.

【0037】また、従来のように太陽電池ウエハを一枚
づつはんだディップ装置のホルダーで直接的につかむ必
要がないので、太陽電池ウエハに反りが生じていても太
陽電池ウエハを割ってしまうことがない。さらには、ホ
ルダーによる太陽電池ウエハのつかみ方が不十分となっ
て太陽電池ウエハを溶融はんだ槽内に落としてしまうこ
ともない。
Further, since it is not necessary to directly hold the solar cell wafers one by one with the holder of the solder dipping device as in the conventional case, the solar cell wafer may be broken even if the solar cell wafer is warped. Absent. Further, the solar cell wafer is not dropped into the molten solder tank due to insufficient gripping of the solar cell wafer by the holder.

【0038】実施例2 次に、この発明の実施例2に係るウエハキャリアについ
て、図5〜7に基づいて説明する。図5はこの発明の実
施例2に係るウエハキャリアの斜視図、図6は図5に示
されるウエハキャリアの正面図、図7は図5に示される
ウエハキャリアの一部破断右側面図である。
Second Embodiment Next, a wafer carrier according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 2 of the present invention, FIG. 6 is a front view of the wafer carrier shown in FIG. 5, and FIG. 7 is a partially cutaway right side view of the wafer carrier shown in FIG. .

【0039】図5〜7に示されるように、この発明の実
施例2に係るウエハキャリア20は、2つの金属製の横
側板21と2つの金属製の端側板23に囲まれ上下に開
口を有する箱状体からなり、箱状体はその内部に複数の
板状の太陽電池ウエハ100を平行に間隔を空けて収容
するためのスリット22を有し、各側板21、23は箱
状体内に太陽電池ウエハ100を収容して溶融はんだ槽
(図示せず)に浸漬するときに溶融はんだが付着しにく
いように表面処理されている。
As shown in FIGS. 5 to 7, the wafer carrier 20 according to the second embodiment of the present invention is surrounded by two metal side plates 21 and two metal end plates 23 and has openings vertically. The box-shaped body has a slit 22 therein for accommodating a plurality of plate-shaped solar cell wafers 100 in parallel at intervals, and each side plate 21 and 23 is provided in the box-shaped body. When the solar cell wafer 100 is accommodated and immersed in a molten solder bath (not shown), the surface treatment is performed so that the molten solder does not easily adhere.

【0040】詳しくは、図5〜7に示されるように、箱
状体は、2つの対向する横側板21と、2つの対向する
端側板23とから構成されている。2つの端側板23は
互いに間隔を空けて対向するように外下梁6に締結ビス
7で固定される。2つの横側板21はそれらの間隔が上
から下に向かって狭くなるように、各横側板21の上端
縁部と下端縁部にそれぞれ形成された上梁部31と内下
梁部32の各両端が各端側板23に締結ビス7で固定さ
れる。図6に示されるように、互いに対向する2つの横
側板21の上縁間の間隔W2は、収容する太陽電池ウエ
ハ100のサイズよりも若干広めにとなるように設定さ
れる。
More specifically, as shown in FIGS. 5 to 7, the box-shaped body is composed of two opposed side plates 21 and two opposed end plates 23. The two end side plates 23 are fixed to the outer lower beam 6 with fastening screws 7 so as to face each other at an interval. Each of the two lateral plates 21 has an upper beam portion 31 and an inner lower beam portion 32 formed at the upper edge and the lower edge of each lateral plate 21 so that the distance between them becomes narrower from top to bottom. Both ends are fixed to each end side plate 23 with fastening screws 7. As shown in FIG. 6, the interval W2 between the upper edges of the two side plates 21 facing each other is set to be slightly larger than the size of the solar cell wafer 100 to be housed.

【0041】横側板21は、複数の太陽電池ウエハ10
0を垂直状に平行に並べてウエハキャリア20内に収容
できるように複数のスリット22が設けられている。ま
た、横側板21は、その上端近傍で各スリット22を横
切る線上において屈曲した屈曲部33を有している。ま
た、各スリット22は、太陽電池ウエハ100をスリッ
ト22へ差し込み易くするために、上端部29の幅が他
の箇所よりも広げられている。ここで、図2に示される
実施例1の上縁間の間隔W1と図6に示される実施例2
の上縁間の間隔W2はほぼ同一である。従って、実施例
2によるウエハキャリア20において、互いに対向する
スリット22間の間隔は、特に屈曲部33から下にかけ
ての間隔が実施例1よりも狭くなっている。
The horizontal side plate 21 includes a plurality of solar cell wafers 10.
A plurality of slits 22 are provided so that 0s can be accommodated in the wafer carrier 20 while being arranged vertically and parallel. Further, the horizontal side plate 21 has a bent portion 33 bent on a line crossing each slit 22 near the upper end thereof. In addition, the width of the upper end portion 29 of each slit 22 is wider than other portions so that the solar cell wafer 100 can be easily inserted into the slit 22. Here, the distance W1 between the upper edges of the first embodiment shown in FIG. 2 and the second embodiment shown in FIG.
Are substantially the same. Therefore, in the wafer carrier 20 according to the second embodiment, the interval between the slits 22 facing each other is narrower than that in the first embodiment, particularly, the interval from the bent portion 33 to the bottom.

【0042】各横側板21に屈曲部33を設けることに
よって、ウエハキャリア20に収容された太陽電池ウエ
ハ100が、はんだディップ中に浮力を受けてある程度
浮き上がってもスリット22から抜けずらくなる。従っ
て、浮力を受けて浮き上がった太陽電池ウエハがスリッ
トによる確実な支持を受けられなくなって傾斜し、隣合
う太陽電池ウエハどおしが接触して接合されることを防
止できるようになる。この結果、ウエハキャリアから太
陽電池ウエハを取り出す際に、無理な力が太陽電池ウエ
ハに加わって割れてしまうことを防止できるようにな
る。
By providing the bent portion 33 on each of the side plates 21, even if the solar cell wafer 100 accommodated in the wafer carrier 20 is lifted to some extent by the buoyancy during the solder dip, it is difficult for the solar cell wafer 100 to fall out of the slit 22. Therefore, the solar cell wafer that has been lifted by the buoyancy cannot be reliably supported by the slits and is inclined, so that it is possible to prevent the adjacent solar cell wafers from contacting and joining. As a result, when taking out the solar cell wafer from the wafer carrier, it is possible to prevent the solar cell wafer from being broken due to excessive force.

【0043】なお、端側板23は、ウエハキャリア20
を溶融はんだ槽に浸漬したときに、ウエハキャリア20
の内外への溶融はんだの流動を妨げないように角穴24
が形成されている。
Note that the end side plate 23 is
Is immersed in a molten solder bath, the wafer carrier 20
Square holes 24 so as not to hinder the flow of molten solder into and out of
Are formed.

【0044】また、横側板21、端側板23、外下梁6
および締結ビス7は、それぞれはんだが付着しにくいよ
う、研磨処理を行ったSUS304などのステンレス鋼
からなる。また、上記ステンレス鋼の代わりに表面に酸
化被膜処理を施した他の金属を用いてもよい。
Further, the lateral plate 21, the end plate 23, the outer lower beam 6
The fastening screws 7 are made of stainless steel such as SUS304 which has been polished so that solder does not easily adhere thereto. Further, instead of the above stainless steel, another metal whose surface has been subjected to an oxide film treatment may be used.

【0045】このような構成からなるウエハキャリア2
0に複数の太陽電池ウエハ100を収容し、溶融はんだ
槽へ浸漬すると、複数の太陽電池ウエハ100のはんだ
付け処理を同時に行うことができる。従って、太陽電池
ウエハ1枚あたりのはんだ付け処理に要する時間が短縮
され、太陽電池ウエハの生産効率が向上する。
Wafer carrier 2 having such a configuration
When a plurality of solar cell wafers 100 are housed in a bath and immersed in a molten solder bath, the soldering of the plurality of solar cell wafers 100 can be performed simultaneously. Accordingly, the time required for the soldering process per solar cell wafer is reduced, and the production efficiency of the solar cell wafer is improved.

【0046】実施例3 次に、この発明の実施例3に係るウエハキャリアについ
て、図8〜12に基づいて説明する。図8はこの発明の
実施例3に係るウエハキャリアの斜視図、図9は図8に
示されるウエハキャリアに太陽電池ウエハを収容した状
態を示す正面図、図10は図8に示されるウエハキャリ
アに設けられるバーの正面図、図11は図10に示され
るバーの平面図、図12は図10に示されるバーの右側
面図である。
Third Embodiment Next, a wafer carrier according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 3 of the present invention, FIG. 9 is a front view showing a state where a solar cell wafer is housed in the wafer carrier shown in FIG. 8, and FIG. 10 is a wafer carrier shown in FIG. 11 is a plan view of the bar shown in FIG. 10, and FIG. 12 is a right side view of the bar shown in FIG.

【0047】図8および図9に示されるように、この発
明の実施例3に係るウエハキャリア40は、収容される
太陽電池ウエハ100の下端を支持するために各スリッ
ト2の下端近傍を横切るバー54を設けたものである。
As shown in FIGS. 8 and 9, the wafer carrier 40 according to the third embodiment of the present invention has a bar which crosses the vicinity of the lower end of each slit 2 to support the lower end of the solar cell wafer 100 to be accommodated. 54 are provided.

【0048】詳しくは、特に図9に示されるように、バ
ー54は、横側板1との間に間隙55を開けて取り付け
られる。この実施例3では、横側板1の外側に間隙55
を開けているが、横側板1の内側に間隙を開けて取り付
けるようにしてもよい。バー54は、はんだ付着性がな
く、さらには太陽電池ウエハ100との当たりが柔らか
い耐熱性樹脂で形成される。この実施例3ではバー54
の材料としてPEEK樹脂を用いたが、同じく耐熱性樹
脂のPFA樹脂またはPTFE樹脂を材料としてもよ
い。
More specifically, as shown in FIG. 9, the bar 54 is attached with a gap 55 between the bar 54 and the side plate 1. In the third embodiment, the gap 55 is provided outside the side plate 1.
Is opened, but a gap may be provided inside the horizontal side plate 1 so as to be attached. The bar 54 is formed of a heat-resistant resin having no solder adhesion and having a soft contact with the solar cell wafer 100. In the third embodiment, the bar 54
Although the PEEK resin is used as the material of the above, a PFA resin or a PTFE resin which is also a heat-resistant resin may be used as the material.

【0049】図10〜12に示されるように、バー54
は帯状であり、上縁部56の断面が半円状で、下縁部5
7の断面が先細のテーパー状となっている。このような
バー54をウエハキャリア40が備えることによって、
収容される太陽電池ウエハ100がスリット2の下端部
8(図3参照)に食い込んで割れることが防止される。
また、ウエハキャリア40を溶融はんだ槽から引き上げ
るときに、溶融はんだがバー54に溜まらず流れ落ちや
すくなっている。さらには、ウエハキャリア40の洗浄
時に水滴が流れ落ちやすく、乾燥しやすくなっている。
その他の構成は上述の実施例1と同じである。
As shown in FIGS.
Is band-shaped, the cross section of the upper edge 56 is semicircular, and the lower edge 5
7 is tapered in cross section. By providing such a bar 54 in the wafer carrier 40,
The housed solar cell wafer 100 is prevented from breaking into the lower end 8 of the slit 2 (see FIG. 3).
Further, when the wafer carrier 40 is pulled up from the molten solder bath, the molten solder does not accumulate in the bar 54 and easily flows down. Further, when the wafer carrier 40 is washed, water droplets easily flow down and dry easily.
Other configurations are the same as those in the first embodiment.

【0050】なお、この実施例3に示したウエハキャリ
ア40は、実施例1におけるウエハキャリア10にバー
54を取り付けた構成であるが、上述の実施例2におけ
るウエハキャリア20にバー54を取り付けてもよい。
The wafer carrier 40 shown in the third embodiment has a configuration in which the bar 54 is attached to the wafer carrier 10 in the first embodiment, but the bar 54 is attached to the wafer carrier 20 in the second embodiment. Is also good.

【0051】実施例4 次に、この発明の実施例4に係るウエハキャリアについ
て、図13および図14に基づいて説明する。図13は
この発明の実施例4に係るウエハキャリアの斜視図、図
14は図13に示されるウエハキャリアがベルトコンベ
ア上を空滑りした状態で強制的に停止させられた様子を
示す説明図である。
Embodiment 4 Next, a wafer carrier according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 4 of the present invention, and FIG. 14 is an explanatory view showing a state where the wafer carrier shown in FIG. 13 is forcibly stopped in a state of slipping on a belt conveyor. is there.

【0052】図13に示されるように、この発明の実施
例4に係るウエハキャリア60において、一対の端側板
63は先端に平面部78を有する突起部79をそれぞれ
備えている。
As shown in FIG. 13, in the wafer carrier 60 according to Embodiment 4 of the present invention, each of the pair of end side plates 63 has a projection 79 having a flat portion 78 at the tip.

【0053】詳しくは、図13に示されるように、突起
部79は、端側板63の上端近傍と下端近傍にそれぞれ
設けられ、上端近傍と下端近傍から部分的に延出する板
状部分を端側板63に対して直角に折り曲げたような形
状となっている。その他の構成は上述の実施例3と同じ
である。
More specifically, as shown in FIG. 13, the protruding portions 79 are provided near the upper end and the lower end of the end plate 63, respectively, and the plate-like portions extending partially from the vicinity of the upper end and the lower end are provided at the end. It has a shape that is bent at a right angle to the side plate 63. Other configurations are the same as those of the third embodiment.

【0054】このような突起部79をウエハキャリア6
0が備えると、図14に示されるように、複数のウエハ
キャリア60がベルトコンベア200上を空滑りした状
態で強制的に停止させられたときに、前後のウエハキャ
リア60の突起部79が互いに接触するようになる。こ
のため、前後のウエハキャリア60がベルトコンベア2
00上できれいに整列して絡み合わなくなる従って、自
動移載取り出し機(図示せず)などを用いて太陽電池ウ
エハ100をウエハキャリア60から取り出す作業がス
ムーズに行えるようになる。
The projection 79 is connected to the wafer carrier 6.
0, when the plurality of wafer carriers 60 are forcibly stopped while slipping on the belt conveyor 200, as shown in FIG. Come into contact. For this reason, the front and rear wafer carriers 60 are
Therefore, the solar cell wafer 100 can be smoothly removed from the wafer carrier 60 using an automatic transfer / extractor (not shown) or the like.

【0055】[0055]

【発明の効果】この発明によれば、ウエハキャリアの各
側板は溶融はんだが付着しないように表面処理されるの
で、複数のウエハをウエハキャリア内に収容し、ウエハ
キャリアごと溶融はんだ槽へ浸漬してはんだ付け処理を
行えるようになり、結果的にウエハ一枚あたりのはんだ
付け処理に要する時間を短縮できると共にはんだディッ
プ処理時のウエハ割れおよびキャリア搬送トラブルを無
くすことができる。
According to the present invention, each side plate of the wafer carrier is subjected to a surface treatment so that the molten solder does not adhere. Therefore, a plurality of wafers are accommodated in the wafer carrier and the wafer carriers are immersed in the molten solder bath. As a result, the time required for the soldering process per wafer can be shortened, and the wafer cracking and carrier transport trouble during the solder dip process can be eliminated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例1に係るウエハキャリアの斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】図1に示されるウエハキャリアの正面図であ
る。
FIG. 2 is a front view of the wafer carrier shown in FIG.

【図3】図1に示されるウエハキャリアの一部破断右側
面図である。
FIG. 3 is a partially cutaway right side view of the wafer carrier shown in FIG. 1;

【図4】図1に示されるウエハキャリアに太陽電池ウエ
ハを収容した状態を示す正面図である。
FIG. 4 is a front view showing a state where a solar cell wafer is accommodated in the wafer carrier shown in FIG. 1;

【図5】この発明の実施例2に係るウエハキャリアの斜
視図である。
FIG. 5 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 2 of the present invention.

【図6】図5に示されるウエハキャリアの正面図であ
る。
FIG. 6 is a front view of the wafer carrier shown in FIG. 5;

【図7】図5に示されるウエハキャリアの一部破断右側
面図である。
FIG. 7 is a partially cutaway right side view of the wafer carrier shown in FIG. 5;

【図8】この発明の実施例3に係るウエハキャリアの斜
視図である。
FIG. 8 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 3 of the present invention.

【図9】図8に示されるウエハキャリアに太陽電池ウエ
ハを収容した状態を示す正面図である。
9 is a front view showing a state where a solar cell wafer is accommodated in the wafer carrier shown in FIG.

【図10】図8に示されるウエハキャリアに設けられる
バーの正面図である。
FIG. 10 is a front view of a bar provided on the wafer carrier shown in FIG. 8;

【図11】図10に示されるバーの平面図である。FIG. 11 is a plan view of the bar shown in FIG. 10;

【図12】図10に示されるバーの右側面図である。FIG. 12 is a right side view of the bar shown in FIG. 10;

【図13】この発明の実施例4に係るウエハキャリアの
斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view of a wafer carrier according to Embodiment 4 of the present invention.

【図14】図13に示されるウエハキャリアがベルトコ
ンベア上を空滑りした状態で強制的に停止させられた様
子を示す説明図である。
FIG. 14 is an explanatory view showing a state where the wafer carrier shown in FIG. 13 is forcibly stopped in a state of slipping on a belt conveyor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6・・・外下梁 20・・・ウエハキャリア 21・・・横側板 22・・・スリット 23・・・端側板 24・・・角穴 29・・・上端部 31・・・上梁部 32・・・内下梁部 33・・・屈曲部 100・・・太陽電池ウエハ 6 Outer lower beam 20 Wafer carrier 21 Side plate 22 Slit 23 End plate 24 Square hole 29 Upper end 31 Upper beam 32・ ・ ・ Inner lower beam part 33 ・ ・ ・ Bent part 100 ・ ・ ・ Solar cell wafer

フロントページの続き Fターム(参考) 4E080 AA10 DA10 5F031 CA04 DA03 EA01 EA02 EA06 EA18 HA72 MA21 Continued on the front page F term (reference) 4E080 AA10 DA10 5F031 CA04 DA03 EA01 EA02 EA06 EA18 HA72 MA21

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の金属製の側板に囲まれ上下に開口
を有する箱状体からなり、箱状体はその内部に複数の板
状のウエハを平行に間隔を空けて収容するための収容部
を有し、各側板は、箱状体内にウエハを収容して溶融は
んだ槽に浸漬するときに溶融はんだが付着しないように
表面処理されていることを特徴とするウエハキャリア。
1. A box-shaped body surrounded by a plurality of side plates made of metal and having openings at upper and lower sides, and the box-shaped body houses therein a plurality of plate-shaped wafers in parallel with a space therebetween. A wafer carrier having a portion, wherein each side plate is surface-treated so that molten solder does not adhere when a wafer is accommodated in a box-shaped body and immersed in a molten solder bath.
【請求項2】 側板がステンレス鋼からなり、表面処理
として研磨処理されてなる請求項1に記載のウエハキャ
リア。
2. The wafer carrier according to claim 1, wherein the side plate is made of stainless steel and polished as a surface treatment.
【請求項3】 表面処理が酸化皮膜またはPFA樹脂で
被覆する処理である請求項1に記載のウエハキャリア。
3. The wafer carrier according to claim 1, wherein the surface treatment is a treatment of coating with an oxide film or a PFA resin.
【請求項4】 複数の側板のうち2枚の側板は、それら
の間隔が上から下に向かって狭くなるように対向すると
共に、上端と下端を有する複数の平行なスリットが形成
されて収容部を構成し、各ウエハは対向する側板のスリ
ットに差し込まれて収容される請求項1〜3のいずれか
1つに記載のウエハキャリア。
4. A housing portion in which two side plates of the plurality of side plates face each other such that a distance between them becomes narrower from top to bottom, and a plurality of parallel slits having an upper end and a lower end are formed. The wafer carrier according to any one of claims 1 to 3, wherein each wafer is inserted into a slit of an opposite side plate and accommodated.
【請求項5】 スリットが形成された各側板は、その上
縁と下縁の間で各スリットを横切る線において屈曲する
請求項4に記載のウエハキャリア。
5. The wafer carrier according to claim 4, wherein each side plate having the slit formed is bent at a line crossing each slit between an upper edge and a lower edge thereof.
【請求項6】 各スリットはその上端近傍の幅が下端近
傍の幅よりも広い請求項4又は5に記載のウエハキャリ
ア。
6. The wafer carrier according to claim 4, wherein each slit has a width near an upper end thereof larger than a width near a lower end thereof.
【請求項7】 収容されるウエハの下端を支持するため
に各スリットの下端近傍を横切るバーをさらに備える請
求項4〜6のいずれか1つに記載のウエハキャリア。
7. The wafer carrier according to claim 4, further comprising a bar crossing a vicinity of a lower end of each slit to support a lower end of the accommodated wafer.
【請求項8】 バーがPEEK樹脂、PFA樹脂または
PTFE樹脂からなる請求項7に記載のウエハキャリ
ア。
8. The wafer carrier according to claim 7, wherein the bar is made of a PEEK resin, a PFA resin, or a PTFE resin.
【請求項9】 バーは帯状で、上縁部の断面が半円状で
下縁部の断面が先細のテーパー状となっている請求項7
又は8に記載のウエハキャリア。
9. The bar has a band shape, a cross section of an upper edge portion is semicircular, and a cross section of a lower edge portion is tapered.
Or the wafer carrier according to 8.
【請求項10】 バーは、スリットが設けられた一対の
側板の各々の内側又は外側に設けられている請求項7〜
9のいずれか1つに記載のウエハキャリア。
10. The bar is provided inside or outside each of a pair of side plates provided with slits.
10. The wafer carrier according to any one of 9 above.
【請求項11】 側板に先端が平面状の突起部をそれぞ
れ備え、複数のウエハキャリアがコンベアによって移動
するときにその突起部が互いに接触する請求項4〜10
のいずれか1つに記載のウエハキャリア。
11. The side plate is provided with projections each having a flat tip, and the projections come into contact with each other when a plurality of wafer carriers are moved by a conveyor.
A wafer carrier according to any one of the above.
【請求項12】 突起部は、スリットが設けられていな
い対向する2枚の側板の上端近傍と下端近傍の2箇所に
それぞれ設けられている請求項11に記載のウエハキャ
リア。
12. The wafer carrier according to claim 11, wherein the projecting portions are provided at two positions near the upper end and near the lower end of two opposing side plates not provided with slits.
【請求項13】 ウエハは表面と裏面に銀からなる電極
パターンが形成された太陽電池ウエハであり、複数の太
陽電池ウエハを請求項1〜12のいずれか1つに記載さ
れたウエハキャリアに収容し、溶融はんだ槽へ浸漬し、
それによって前記電極パターンにはんだ付け処理を行う
太陽電池ウエハのはんだ付け処理方法。
13. The wafer is a solar cell wafer having an electrode pattern made of silver on the front and back surfaces, and accommodates a plurality of solar cell wafers in the wafer carrier according to any one of claims 1 to 12. Immersed in the molten solder bath,
A method for soldering a solar cell wafer, whereby a soldering process is performed on the electrode pattern.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN1303664C (en) * 2004-12-17 2007-03-07 北京市塑料研究所 Silicon wafer carrier
CN100435309C (en) * 2005-10-20 2008-11-19 京元电子股份有限公司 High-temperature bake quartz boat
JP2012195411A (en) * 2011-03-16 2012-10-11 Fuji Electric Co Ltd Substrate supporting tool
RU2477545C1 (en) * 2011-07-26 2013-03-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" Carrier satellite of photoconverter plates
CN109371383A (en) * 2018-12-25 2019-02-22 南京爱通智能科技有限公司 A kind of carrier suitable for ultra-large atomic layer deposition apparatus

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