JP2002315373A - 電動機の制御方法およびその制御装置 - Google Patents

電動機の制御方法およびその制御装置

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JP2002315373A
JP2002315373A JP2001115694A JP2001115694A JP2002315373A JP 2002315373 A JP2002315373 A JP 2002315373A JP 2001115694 A JP2001115694 A JP 2001115694A JP 2001115694 A JP2001115694 A JP 2001115694A JP 2002315373 A JP2002315373 A JP 2002315373A
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signal
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Yoko Itakura
洋子 板倉
Akihiro Yamamoto
暁洋 山本
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Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コギング成分をより高い制御パラメータで制
御して、コギング力による速度ムラを低減させる電動機
の制御方法を提供する。 【解決手段】 位置および/または速度のフィードバッ
ク信号と、位置および/または速度の指令信号から電動
機の制御信号を演算する電動機の制御方法において、電
動機が有するコギング周波数3を演算する周波数演算手
段4と、コギングの周波数成分を抽出処理するフィルタ
演算手段5と、指令信号2とフィードバック信号1との
差であるフィードバック偏差6をフィルタ演算手段に与
えてコギングの周波数成分を抽出した第1偏差7および
フィードバック偏差6と第1偏差との差である第2偏差
8に分離する第1分離手段9と、第1偏差に基づき第1
制御量10を演算する第1制御手段11と、第2偏差お
よび/または速度指令23に基づき第2制御量12を演
算する第2制御手段13と、第1制御量と第2制御量と
の和である制御信号14を演算する加算手段15を有し
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電動機の制御方法
および制御装置に関し、特に位置、速度の制御を行う工
作機械等に取り付けられた回転型モータまたはリニアモ
ータの制御方法および制御装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の加工対象をフィードバック制御に
よって制御する工作機械等のメカトロニクス機器では、
制御を行う電動機にコギング力が働いた場合に、加工対
象に加工斑が現れるため加工精度が悪くなる。コギング
力を回避するためにはフィードバック制御のループゲイ
ンを高く設定することが望ましい。ここで、コギング力
(Cogging Force)とは、永久磁石を用い
た電動機において、回転しの永久磁石と固定子突極(鉄
心の歯部)との吸引力変化により生ずる力で電動機電流
に依頼しない力(トルク)である。トルクリップルを除
去する従来の技術としては、例えば、特許262353
5号に開示されている「電動機械の防振制御装置」が知
られている。図7はその電動機械の防振制御装置のブロ
ック図である。図7において、109はトルクリツプル
を抽出するバンドパスフィルタ部で、110はトルク指
令値の補正信号を演算する演算器である。以上の構成に
よる動作は、バンドパスフイルタ109により、フィー
ドバック量(位置又は速度)のトルクリップル成分のみ
を抽出し、演算器110によりトルク(又は推力)の補
償値を演算し、トルク指令に加算する。これによって、
トルクリップル成分を打ち消すようなトルクあるいは力
に相当する信号を補正信号として指令値に加えること
で、トルクリップルを打ち消すことができる。その他の
従来技術としては、特開平6−153555号に開示さ
れている「モータ制御装置」等がある。図8はそのモー
タ制御装置のブロック図である。図8において、208
はコギングの周期を計測する周波数計測回路で、210
は速度偏差を演算する周期比較回路で、211はコギン
グ成分を除去するむら成分除去回路で、212は速度エ
ラー信号の特性補償をする特性補償回路で、215は加
算回路である。以上の構成における動作は、周波数計測
回路208によりコギング成分を抽出して、むら成分除
去回路211によりコギング成分を除去する。このよう
にコギング成分を櫛形フィルタで構成されるむら成分除
去回路211で除去したのち、フィードバック制御する
ことによって、制御ループゲインを高く設定できる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の場合、一般に、フィードバックされる位置や速度
の振動には、モータのコギング力以外の外乱(例えば、
動力伝達機構、支持機構の剛性の影響による振動、機械
筐体の振動およびノイズ等)が含まれるために、コギン
グ力を回避するためにフィードバック制御のループゲイ
ンを高く設定すると、制御器内で外乱を増幅してしまい
発振現象を引き起こすことがあった。特許262353
5号の場合は、減速器から生ずる加振力による速度ムラ
をバンドパスフィルタで抽出してその成分をトルク補償
しているが、電動機より生じるトルクのムラを抑制する
ものではない。特開平6−153555号の場合も、コ
ギング力を櫛形フィルタで除去してフィードバック値を
入れ込むので、コギング力自身を制御するものではな
い。以上のように、2つの従来技術によってもコギング
力を抑えることができず、トルクのムラを抑制するのは
難しいという問題があった。そこで、本発明は、モータ
のコギング周波数をモータ速度から演算し、その周波数
成分を通過するバンドパスフィルタで、位置および速度
の信号よりコギングの影響による信号を抽出し、この信
号を抑制する制御を行ってコギングによる速度ムラを抑
制できる電動機の制御方法およびその制御装置を提供す
るすることを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、位置および/または速度
のフィードバック信号と、位置および/または速度の指
令信号から電動機の制御信号を演算する電動機の制御方
法において、電動機が有するコギング周波数を演算する
周波数演算手段と、前記コギングの周波数成分を抽出処
理するフィルタ演算手段と、前記指令信号と前記フィー
ドバック信号との差であるフィードバック偏差を前記フ
ィルタ演算手段に与えてコギングの周波数成分を抽出し
た第1偏差および前記フィードバック偏差6と前記第1
偏差との差である第2偏差に分離する第1分離手段と、
前記第1偏差に基づき第1制御量を演算する第1制御手
段と、前記第2偏差および/または速度指令に基づき第
2制御量を演算する第2制御手段と、前記第1制御量と
前記第2制御量との和である制御信号を演算する加算手
段を有することを特徴としている。この電動機の制御方
法によれば、フィードバック偏差をコギング成分(第1
偏差)と、それ以外の成分(第2偏差)とに分離するの
で、コギング成分のみを制御する制御手段を別に構成す
ることができる。これによってコギング成分のみをより
高い制御パラメータで制御することが可能になり、コギ
ング力によって現れる速度ムラを低減して加工精度を高
くすることができる。
【0005】また、請求項2に記載の発明は、位置およ
び/または速度のフィードバック信号と、位置および/
または速度の指令信号とから、電動機の制御信号を演算
する電動機の制御方法において、電動機が有するコギン
グ周波数を演算する周波数演算手段と、前記コギングの
周波数成分を抽出処理するフィルタ演算手段と、前記フ
ィードバック信号を前記フィルタ演算手段に与えてコギ
ングの周波数成分を抽出した第1フィードバック量およ
び前記フィードバック信号と前記第1フィードバック量
との差である第2フィードバック量に分離する第2分離
手段と、前記第1フィードバック量に基づき前記第1制
御量を演算する第3制御手段と、前記第2フィードバッ
ク量と前記指令値とに基づき前記第2制御量を演算する
第4制御手段と、前記第1制御量と前記第2制御量との
和である制御信号を演算する加算手段を有することを特
徴としている。この電動機の制御方法によれば、フィー
ドバック信号をコギング成分(第1フィードバック量)
と、それ以外の成分(第2フィードバック量)とに分離
して、コギング成分のみを制御する制御手段を別に構成
することで、請求項1の制御方法ではフィードバック偏
差をコギング成分の第1偏差とそれ以外のの第2偏差に
分離して制御したのに対して、請求項2の制御方法では
フィードバック信号をコギング成分(第1フィードバッ
ク量)と、それ以外の成分(第2フィードバック量)に
分離して制御することにより、コギング成分のみをより
高い制御パラメータで広範囲に制御することが可能とな
り、コギング力によって現れる速度ムラを低減できる。
また、請求項3に記載の発明は、前記周波数演算手段
は、前記コギング周波数fを回転系の電動機では、 f(Hz)=LCM(N,M)×v×2π 但し、LCM(x,y)はxとyとの最小公倍数 Nはスロット数、Mはポール数 vは速度指令または電動機速度(rad/s)、により
演算することを特徴としている。また、請求項4に記載
の発明は、前記周波数演算手段は、前記コギング周波数
fをリニア方式の電動機では、 f(Hz)=LCM(N,M)×v/L 但し、Lは稼働子に装着されたマグネット全体(もしく
はコイル全体)の稼働方向長さ NはL区間のマグネット数、MはL区間のコイル数、v
は速度指令または電動機速度(m/s)により演算する
ことを特徴としている。この電動機の制御方法によれ
ば、コギング周波数fを電動機の速度によって演算する
ので、より高い制御パラメータでの制御が可能になる。
【0006】また、請求項5に記載の発明は、前記フィ
ルタ演算手段は、速度に対応したバンドパスフィルタを
含んだ手段であることを特徴としている。この電動機の
制御方法によれば、フィルタ演算手段によって入力され
た値から所望の周波数成分、すなわち、コギング成分の
みを抽出処理することができるので、コギング成分をよ
り高い制御パラメータで制御することが可能となる。ま
た、請求項6に記載の発明は、位置および/または速度
のフィードバック信号と、位置および/または速度の指
令信号から電動機を制御する電動機の制御装置におい
て、電動機が有するコギング周波数を演算する周波数演
算器と、前記コギング周波数成分を抽出処理するフィル
タ演算器と、入力信号を前記フィルタ演算器に与えてコ
ギング周波数成分を抽出した第1出力および入力信号と
前記第1出力との差である第2出力に分離する分離器
と、前記第1出力に基づき第1制御量を演算する第1制
御器と、前記第2出力および/または前記フィードバッ
ク信号および/または指令信号に基づき第2制御量を演
算する第2制御器と、前記第1制御量と第2制御量との
和である制御信号を演算する加算器と、を有し、請求項
1〜5のいずれか1項に記載の方法で電動機を制御する
ことを特徴としている。この電動機の制御装置によれ
ば、請求項1〜5の制御方法を実現する装置によって、
コギング成分のみをより高い制御パラメータで制御する
ことが可能となるので、コギング力によって現れる速度
ムラを低減し加工精度を高くすることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1の実施の形態
について図を参照して説明する。図1は本発明の第1の
実施の形態に係る電動機の制御方法を示すブロック図で
ある。図2は図1に示す第1制御手段の説明図である。
図3は図1に示す第2制御手段の説明図である。図1に
おいて、第1制御方式16は、周波数演算手段4では電
動機が有するコギング周波数3を演算する。フィルタ演
算手段5ではコギングの周波数成分を抽出処理する。指
令手段(図示していない)からの指令信号2(例えば、
位置指令信号)と、検出手段(図示していないエンコー
ダ等)からのフィードバック信号1(例えば、電動機位
置検出信号等)との差であるフィードバック偏差6を求
めて、第1分離手段9ではフィードバック偏差6を第1
偏差7、第2偏差8に分離する。この分離はフィードバ
ック偏差6をフィルタ演算手段5に与えてコギングの周
波数成分を抽出したものを第1偏差とし、フィードバッ
ク偏差6と第1偏差7との差を第2偏差とするものであ
る。第1制御手段11では、第1偏差7に基づき第1制
御量10を演算する。第2制御手段13では、第2偏差
8、指令信号2に基づき第2制御量12を演算する。加
算手段15では、第1制御量10と第2制御量12との
和である制御信号14を演算する。
【0008】つぎに動作について説明する。先ず、周波
数演算手段4はコギング周波数3(f)を、回転系の電
動機では f(Hz)=LCM(N,M)×v×2π …
(1) 但し、LCM(x,y)はxとyとの最小公倍数 Nはスロット数 Mはポール数 vは速度指令又は電動機速度(rad/s) リニア方式の電動機では、 f(Hz)=LCM(N,M)×v/L …
(2) 但し、Lは稼働子に装着されたマグネット全体(又はコ
イル全体)の稼働方向長さ NはL区間のマグネット数 MはL区間のコイル数 vは速度指令又は電動機速度(m/s) により演算する。続いて、フィルタ演算手段5によりバ
ンドパスフィルタを用いて、第1偏差7を抽出して、図
2に示すような第1制御手段11へ入力させ、位置と速
度のループゲインKp1、Kv1を乗ずる比例制御によ
り加速度指令を演算して、慣性量Jmとローパスフィル
タを掛けて第1制御量10(トルク指令、リニアでは推
力指令)を出力するものである。この第1制御手段11
には、コギングの周波数成分のみを抽出した第1偏差7
を入力としているので、出力される第1制御量10は、
コギングを打ち消すようなトルク指令(あるいは推力指
令)となる。
【0009】次に、図3に示す第2制御手段13に第2
偏差8、速度指令23を入力して、位置と速度の比例制
御により加速度指令を演算して、積分処理をし、慣性量
Jmとローパスフィルタをかけて、第2制御量12(ト
ルク指令、又は推力指令)を出力する。第2制御手段1
3には、コギングの周波数成分を取り除いた第2偏差8
を入力としているので、出力される第2制御量12はコ
ギングを取り除いた状態量を指令値に追従させるような
トルク指令(あるいは推力指令)となる。従って、加算
手段15では、コギングを打ち消すようなトルク指令
(あるいは推力指令)と、状態量を指令値に追従させる
ようなトルク指令(あるいは推力指令)との和を制御信
号14として演算する。このように、本実施の形態によ
れば、位置偏差に含まれるコギング成分を分離して、コ
ギングを制御する位置ループ及び速度ループを別々に構
成することで、高い制御パラメータで制御することがで
きる。なお、第1分離手段9では、第1偏差7を求めて
から、第2偏差8=フィードバック偏差6−第1偏差7
として演算して、フィードバック量を分離したが、第2
偏差8を先に求めてから、第1偏差7=フィードバック
偏差6−第2偏差8により、フィードバック偏差6を分
離しても一向に差し支えない。
【0010】次に、本発明の第2の実施の形態について
図を参照して説明する。図4は本発明の第2の実施の形
態に係る電動機の制御方法を示すブロック図である。図
5は図4に示す第3制御手段の説明図である。図6は図
4に示す第4制御手段の説明図である。図4において、
第2制御方式22は、周波数演算手段4は前実施の形態
と同様に、電動機が有するコギング周波数3を演算す
る。又、フィルタ演算手段5ではコギングの周波数成分
を抽出処理する。検出手段(図示していない)からのフ
ィードバック信号1(例えば、位置・速度のフィードバ
ック信号)を第2分離手段19では、第1フィードバッ
ク量17と第2フィードバック量18に分離する。フィ
ードバック信号1をフィルタ演算手段5に与えてコギン
グの周波数成分を抽出したものを第1フィードバック量
17とし、フィードバック信号1と第1フィードバック
信号17との差を第2フィードバック量18とする。第
3制御手段20には、コギングの周波数成分のみを抽出
した第1フィードバック量17を入力としているので、
出力された第1制御量10は、コギングを打ち消すよう
なトルク指令(あるいは推力指令)となる。
【0011】つぎに動作について説明する。前実施の形
態と同様に、式(1)又は(2)を用いて、周波数演算
手段4により、コギング周波数3(f)を演算する。フ
ィードバック信号1をフィルタ演算手段5に与えて、コ
ギングの周波数成分を抽出したものを第1フィードバッ
ク量17とし、第2分離手段19によりフィードバック
信号1と第1フィードバック量17の差を、第2フィー
ドバック量18として分離する。次に、図5に示すよう
な第3制御手段20に第1フィードバック量17を入力
して、位置と速度の比例制御により加速度指令を演算
し、慣性量Jmとローパスフィルタをかけてトルク指令
(又は推力指令)を出力するものである。この第3制御
手段20には、コギングの周波数成分のみを抽出した第
1フィードバック量17を入力としているので、出力さ
れた第1制御量10はコギングを打ち消すようなトルク
指令(あるいは推力指令)となる。一方、図6に示すよ
うな第4制御手段21に、指令信号(例えば、位置や速
度の指令信号)2を入力とし、位置と速度の比例積分制
御によって加速度指令を演算して、積分処理と慣性量j
mとローパスフィルタをかけて、第2制御量(トルク指
令あるいは推力指令)12を出力する。この第4制御手
段21には、コギングの周波数成分を取り除いた第2フ
ィードバック量18を入力としているので、出力される
第2制御量12はコギングを取り除いた状態量を指令値
に追従させるようなトルク指令(あるいは推力指令)と
なる。従って、加算手段15では、コギングを打ち消す
ようなトルク指令(あるいは推力指令)と、状態量を指
令値に追従させるようなトルク指令(あるいは推力指
令)との和を制御信号14として演算する。このよう
に、第2の実施の形態によれば、前実施の形態が指令信
号2とフィードバック信号1のフィードバック偏差6
を、更にコギング成分の第1偏差7と第2偏差8に分離
して偏差量制御を重視したのに対して、フィードバック
信号1そのものをコギング成分の第1フィードバック量
17と第2フィードバック量18に分離して制御するこ
とによって、コギング力による速度ムラの低減を図るこ
とができる。なお、第2分離手段19では第1フィード
バック量17を求めてから、第2フィードバック量18
=フィードバック信号1−第1フィードバック量17、
を求めてフィードバック信号1を分離したが、第2フィ
ードバック量18を先に求めてから、第1フィードバッ
ク量17=フィードバック信号1−第2フィードバック
量18によりフィードバック信号1を分離しても一向に
差し支えない。また、本発明の第1、2実施の形態と
も、位置と速度を制御したが、速度のみを制御してもよ
いし、モデル追従制御でもよい。又、オブザーバを使っ
た制御でもよく、2つに分離された状態量をそれぞれ別
々の制御で行っているものなら、どのような制御手段で
も適用可能である。また、本発明では、コギング周波数
の算出には、数式(1)、又は(2)を用いたが、可動
子のコイル(スロット)末端にて発生するコギング力の
影響を強く受けるようなリニアモータ等では、可動子の
コイル(スロット)距離と、1個当たりのマグネット長
さを含んだ関数からコギングピッチLPを算出可能であ
る。つまり、モータ速度又は速度指令値であるvを用い
て、ω=v/LP、をコギング周波数とすることができ
る。また、以上のような電動機の制御方法により動作す
る制御装置を構成すれば、請求項6に示したような、実
際の電動機の制御装置を提供することができる。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、フィードバック偏差をコギング成分(第
1偏差)とそれ以外の成分(第2偏差)とに分離して、
コギング成分のみを制御する制御手段を別に構成するこ
とができるので、コギング成分のみをより高い制御パラ
メータで制御することが可能となり、コギング力によっ
て現れる速度ムラを低減して加工精度を高めるという効
果がある。また、請求項2に記載の発明によれば、フィ
ードバック信号をコギング成分(第1フィードバック
量)とそれ以外の成分(第2フィードバック量)とに分
離して、コギング成分のみを制御する制御手段を別に構
成することができるので、フィードバック信号をコギン
グ成分のフィードバック量とその他の成分のフィードバ
ック量に分離した制御により、コギング力による速度ム
ラの低減を図ることができるという効果がある。また、
請求項3〜4に記載の発明によれば、コギング周波数を
電動機の速度によって演算するので、コギング成分のみ
を効果的に演算抽出することができる効果がある。また
請求項5に記載の発明によれば、フィルタ演算手段は速
度に対応したバンドパスフィルタを含むので、入力され
た値から所望の周波数成分、すなわちコギング成分のみ
を効率よく抽出処理できる効果がある。また、請求項6
に記載の発明によれば、請求項1〜5に記載の電動機の
制御方法によって制御できる電動機の制御装置を構成で
きる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る電動機の制御
方法を示すブロック図である。
【図2】図1に示す第1制御手段の説明図である。
【図3】図1に示す第2制御手段の説明図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態に係る電動機の制御
方法を示すブロック図である。
【図5】図4に示す第3制御手段の説明図である。
【図6】図4に示す第4制御手段の説明図である。
【図7】従来の電動機械の防振制御装置のブロック図で
ある。
【図8】従来のモータ制御装置のブロック図である。
【符号の説明】
1 フィードバック信号 2 指令信号 3 コギング周波数 4 周波数演算手段 5 フィルタ演算手段 6 フィードバック偏差 7 第1偏差 8 第2偏差 9 第1分離手段 10 第1制御量 11 第1制御手段 12 第2制御量 13 第2制御手段 14 制御信号 15 加算手段 16 第1制御方式 17 第1フィードバック量 18 第2フィードバック量 19 第2分離手段 20 第3制御手段 21 第4制御手段 22 第2制御方式 23 速度指令
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5H550 AA18 BB05 DD01 GG01 GG03 HB01 JJ24 JJ25 JJ26 LL01 LL22 LL35

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 位置および/または速度のフィードバッ
    ク信号と、位置および/または速度の指令信号から電動
    機の制御信号を演算する電動機の制御方法において、 電動機が有するコギング周波数を演算する周波数演算手
    段と、前記コギングの周波数成分を抽出処理するフィル
    タ演算手段と、前記指令信号と前記フィードバック信号
    との差であるフィードバック偏差を前記フィルタ演算手
    段に与えてコギングの周波数成分を抽出した第1偏差お
    よび前記フィードバック偏差と前記第1偏差との差であ
    る第2偏差に分離する第1分離手段と、前記第1偏差に
    基づき第1制御量を演算する第1制御手段と、前記第2
    偏差および/または速度指令に基づき第2制御量を演算
    する第2制御手段と、前記第1制御量と前記第2制御量
    との和である制御信号を演算する加算手段を有すること
    を特徴とした電動機の制御方法。
  2. 【請求項2】 位置および/または速度のフィードバッ
    ク信号と、位置および/または速度の指令信号とから、
    電動機の制御信号を演算する電動機の制御方法におい
    て、 電動機が有するコギング周波数を演算する周波数演算手
    段と、前記コギングの周波数成分を抽出処理するフィル
    タ演算手段と、前記フィードバック信号を前記フィルタ
    演算手段に与えてコギングの周波数成分を抽出した第1
    フィードバック量および前記フィードバック信号と前記
    第1フィードバック量との差である第2フィードバック
    量に分離する第2分離手段と、前記第1フィードバック
    量に基づき前記第1制御量を演算する第3制御手段と、
    前記第2フィードバック量と前記指令値とに基づき前記
    第2制御量を演算する第4制御手段と、前記第1制御量
    と前記第2制御量との和である制御信号を演算する加算
    手段を有することを特徴とする電動機の制御方法。
  3. 【請求項3】 前記周波数演算手段は、前記コギング周
    波数fを回転系の電動機では、 f(Hz)=LCM(N,M)×v×2π 但し、LCM(x,y)はxとyとの最小公倍数 Nはスロット数、 Mはポール数 vは速度指令または電動機速度(rad/s)、により
    演算することを特徴とする請求項1〜2のいずれか1項
    に記載の電動機の制御方法。
  4. 【請求項4】 前記周波数演算手段は、前記コギング周
    波数fをリニア方式の電動機では、 f(Hz)=LCM(N,M)×v/L 但し、Lは稼働子に装着されたマグネット全体(もしく
    はコイル全体)の稼働方向長さNはL区間のマグネット
    数、 MはL区間のコイル数、 vは速度指令または電動機速度(m/s)により演算す
    ることを特徴とする請求項1〜2のいずれか1項に記載
    の電動機の制御方法。
  5. 【請求項5】 前記フィルタ演算手段は、速度に対応し
    たバンドパスフィルタを含んだ手段であることを特徴と
    する請求項1〜4のいずれか1項に記載の電動機の制御
    方法。
  6. 【請求項6】 位置および/または速度のフィードバッ
    ク信号と、位置および/または速度の指令信号から電動
    機を制御する電動機の制御装置において、 電動機が有するコギング周波数を演算する周波数演算器
    と、前記コギング周波数成分を抽出処理するフィルタ演
    算器と、入力信号を前記フィルタ演算器に与えてコギン
    グ周波数成分を抽出した第1出力および入力信号と前記
    第1出力との差である第2出力に分離する分離器と、前
    記第1出力に基づき第1制御量を演算する第1制御器
    と、前記第2出力および/または前記フィードバック信
    号および/または指令信号に基づき第2制御量を演算す
    る第2制御器と、前記第1制御量と第2制御量との和で
    ある制御信号を演算する加算器と、を有し、請求項1〜
    4のいずれか1項に記載の方法で電動機を制御すること
    を特徴とする電動機の制御装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101099142B1 (ko) 2010-03-11 2011-12-27 한국기계연구원 리니어모터 가진력 측정장치 및 이를 이용한 측정방법

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