JP2002310153A - 磁気軸受を有する回転機 - Google Patents
磁気軸受を有する回転機Info
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- JP2002310153A JP2002310153A JP2001119058A JP2001119058A JP2002310153A JP 2002310153 A JP2002310153 A JP 2002310153A JP 2001119058 A JP2001119058 A JP 2001119058A JP 2001119058 A JP2001119058 A JP 2001119058A JP 2002310153 A JP2002310153 A JP 2002310153A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ギャップセンサや支持金具の振動を防止し、
共振しないようにした磁気軸受を有する回転機を提供す
る。 【解決手段】 ギャップセンサ８を備えた支持金具９の
先端を紐状体でしばり、又は一体型支持金具９とし、支
持金具９の質量を増大し、制御ブロックにフィルタＣ６
を備えた。
共振しないようにした磁気軸受を有する回転機を提供す
る。 【解決手段】 ギャップセンサ８を備えた支持金具９の
先端を紐状体でしばり、又は一体型支持金具９とし、支
持金具９の質量を増大し、制御ブロックにフィルタＣ６
を備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気軸受を有する
回転機であって、ギャップセンサによるギャップの計測
を正確に行ない安定した磁気軸受の制御を行なうように
したものである。
回転機であって、ギャップセンサによるギャップの計測
を正確に行ない安定した磁気軸受の制御を行なうように
したものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、回転体を非接触で支持するために
磁気軸受が適用されるようになってきつつある。回転体
を非接触支持することにより、（１）摩擦・摩耗の問題
が極めて少なくなること、（２）超高速回転が可能とな
ること、（３）振動・騒音が極めて小さくなること、
（４）潤滑油を使用しないですむため、特殊雰囲気中で
使用できること、等の利点が生じるためである。一般に
回転体を剛体と考えると、６つの自由度をもつ。すなわ
ち、重心の位置（ｘ，ｙ，ｚ）で３つ、重心回りの回転
（ピッチング、ヨーイング、ローリング）の３つの計６
つである。通常、回転体は回転するのでローリングは自
由にさせることになる。したがって、５つの自由度を制
御することが必要になる。
磁気軸受が適用されるようになってきつつある。回転体
を非接触支持することにより、（１）摩擦・摩耗の問題
が極めて少なくなること、（２）超高速回転が可能とな
ること、（３）振動・騒音が極めて小さくなること、
（４）潤滑油を使用しないですむため、特殊雰囲気中で
使用できること、等の利点が生じるためである。一般に
回転体を剛体と考えると、６つの自由度をもつ。すなわ
ち、重心の位置（ｘ，ｙ，ｚ）で３つ、重心回りの回転
（ピッチング、ヨーイング、ローリング）の３つの計６
つである。通常、回転体は回転するのでローリングは自
由にさせることになる。したがって、５つの自由度を制
御することが必要になる。
【０００３】この５軸制御型磁気軸受の構造例を有する
回転機を図７にて示す。シャフト１の中央部分には固定
子２と対向する回転子３を有し、この回転子３の軸方向
両脇にはラジアル磁気軸受４が備えられ、片側のラジア
ル磁気軸受４の近くにはスラスト磁気軸受５が備えら
れ、そして両端には接触機械軸受６が備えられている。
ラジアル磁気軸受４では、円筒型の回転子鉄心４ａを固
定子として形成される電磁石４ｂにて放射状に引き合う
ようにしてシャフト１を中心に保つようにしており、前
述の５軸のうち４軸を制御するものである。また、スラ
スト磁気軸受５は回転子鉄心５ａと電磁石５ｂとでシャ
フト１の軸方向である１軸を制御するものである。
回転機を図７にて示す。シャフト１の中央部分には固定
子２と対向する回転子３を有し、この回転子３の軸方向
両脇にはラジアル磁気軸受４が備えられ、片側のラジア
ル磁気軸受４の近くにはスラスト磁気軸受５が備えら
れ、そして両端には接触機械軸受６が備えられている。
ラジアル磁気軸受４では、円筒型の回転子鉄心４ａを固
定子として形成される電磁石４ｂにて放射状に引き合う
ようにしてシャフト１を中心に保つようにしており、前
述の５軸のうち４軸を制御するものである。また、スラ
スト磁気軸受５は回転子鉄心５ａと電磁石５ｂとでシャ
フト１の軸方向である１軸を制御するものである。
【０００４】ラジアル磁気軸受４では、４軸制御である
ことから回転子位置を非接触にて検出する位置センサが
必要であり、検出値としてはシャフト１の片寄りとして
シャフト１と位置センサとのギャップを検出するのが一
般的である。
ことから回転子位置を非接触にて検出する位置センサが
必要であり、検出値としてはシャフト１の片寄りとして
シャフト１と位置センサとのギャップを検出するのが一
般的である。
【０００５】ここで、非接触型微小位置センサとして
は、渦電流式センサが広く用いられており、構造として
は先端部にある数十ターンの検出コイルが発振回路の一
部となっており、発振に伴って検出コイルに高周波電流
が流れると、高周波交流磁界が発生し、この交流磁界が
測定対象の金属体（ここではシャフト）を貫くとき、こ
の磁界を打ち消すように渦電流が流れ、この渦電流によ
る損失により発振振幅は減少する。この発信振幅の減少
量は、金属体と検出コイルとの間の距離と金属体の導電
率によって変化するものであるが、発振振幅の変化を検
波回路により測定することで、金属体の変位量を測定す
るというものである。
は、渦電流式センサが広く用いられており、構造として
は先端部にある数十ターンの検出コイルが発振回路の一
部となっており、発振に伴って検出コイルに高周波電流
が流れると、高周波交流磁界が発生し、この交流磁界が
測定対象の金属体（ここではシャフト）を貫くとき、こ
の磁界を打ち消すように渦電流が流れ、この渦電流によ
る損失により発振振幅は減少する。この発信振幅の減少
量は、金属体と検出コイルとの間の距離と金属体の導電
率によって変化するものであるが、発振振幅の変化を検
波回路により測定することで、金属体の変位量を測定す
るというものである。
【０００６】図８はラジアル磁気軸受４に備えられたギ
ャップセンサ８とその取付状態とを示す正面及び側面を
示すものである。シャフト１にはラジアル磁気軸受４の
円筒型の回転子鉄心４ａがはめ込まれ、固定子である電
磁石４ｂと対向している構造で、このラジアル磁気軸受
４の軸方向に隣接して基端がフレーム７にボルト固定さ
れ、先端が図９に示すようにＬ字形に折り曲げられてギ
ャップセンサ８が取付けられる支持金具９が放射方向に
配置されている。そして、ギャップセンサ８は支持金具
９の折り曲げられた先端に取付けられ、シャフト１に対
向するように取付けられる。
ャップセンサ８とその取付状態とを示す正面及び側面を
示すものである。シャフト１にはラジアル磁気軸受４の
円筒型の回転子鉄心４ａがはめ込まれ、固定子である電
磁石４ｂと対向している構造で、このラジアル磁気軸受
４の軸方向に隣接して基端がフレーム７にボルト固定さ
れ、先端が図９に示すようにＬ字形に折り曲げられてギ
ャップセンサ８が取付けられる支持金具９が放射方向に
配置されている。そして、ギャップセンサ８は支持金具
９の折り曲げられた先端に取付けられ、シャフト１に対
向するように取付けられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
支持金具９によるギャップセンサ８の取付構造にあって
は、支持金具９の剛性が不足しがちであり、磁気軸受４
の回転子鉄心４ａの浮上時の衝撃によりギャップセンサ
８自体が振動してしまう。つまり、磁気軸受４に電源を
投入する前には回転子鉄心４ａは、固定子の電磁石４ｂ
と接触している状態であるが、この状態から制御を開始
すると、制御器に含まれる積分動作（定常偏差を小さく
するため積分動作が含まれる）により制御開始前の偏差
が大きく積分出力が大きくなっていわゆるワインドアッ
プ現象が生じ、機械系に急激な力が加わって支持金具９
を通しギャップセンサ８に振動が発生することになる。
この結果、ギャップセンサ８によるギャップ計測値にセ
ンサ自体の振動による変位分が加わり、回転子とのギャ
ップが正確に測定できなくなり、安定に制御できないと
いう問題がある。
支持金具９によるギャップセンサ８の取付構造にあって
は、支持金具９の剛性が不足しがちであり、磁気軸受４
の回転子鉄心４ａの浮上時の衝撃によりギャップセンサ
８自体が振動してしまう。つまり、磁気軸受４に電源を
投入する前には回転子鉄心４ａは、固定子の電磁石４ｂ
と接触している状態であるが、この状態から制御を開始
すると、制御器に含まれる積分動作（定常偏差を小さく
するため積分動作が含まれる）により制御開始前の偏差
が大きく積分出力が大きくなっていわゆるワインドアッ
プ現象が生じ、機械系に急激な力が加わって支持金具９
を通しギャップセンサ８に振動が発生することになる。
この結果、ギャップセンサ８によるギャップ計測値にセ
ンサ自体の振動による変位分が加わり、回転子とのギャ
ップが正確に測定できなくなり、安定に制御できないと
いう問題がある。
【０００８】本発明は、かかる問題に鑑み、支持金具の
振動を防止する等してギャップを安定して制御するよう
にした磁気軸受を有する回転機の提供を目的とする。
振動を防止する等してギャップを安定して制御するよう
にした磁気軸受を有する回転機の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、次の発明特定事項を有する。第１の発明は、回
転子変位を磁気軸受のギャップセンサにて測定し上記磁
気軸受の制御をする磁気軸受を有する回転機において、
基端が固定されて先端にてギャップセンサを支持する複
数の支持金具の先端を相互に拘束することを特徴とす
る。
発明は、次の発明特定事項を有する。第１の発明は、回
転子変位を磁気軸受のギャップセンサにて測定し上記磁
気軸受の制御をする磁気軸受を有する回転機において、
基端が固定されて先端にてギャップセンサを支持する複
数の支持金具の先端を相互に拘束することを特徴とす
る。
【００１０】第２の発明は、回転子変位を磁気軸受のギ
ャップセンサにて測定し上記磁気軸受の制御をする磁気
軸受を有する回転機において、複数の上記ギャップセン
サを一体形成の支持金具にて支持することを特徴とす
る。
ャップセンサにて測定し上記磁気軸受の制御をする磁気
軸受を有する回転機において、複数の上記ギャップセン
サを一体形成の支持金具にて支持することを特徴とす
る。
【００１１】第３の発明は、第１，第２の発明にあっ
て、支持金具の質量を増大させたことを特徴とする。
て、支持金具の質量を増大させたことを特徴とする。
【００１２】第４の発明は、第１ないし第３の発明にあ
って、磁気軸受の制御を行なう制御部にてギャップセン
サによる信号を処理する処理回路にはフィルタを備えた
ことを特徴とする。
って、磁気軸受の制御を行なう制御部にてギャップセン
サによる信号を処理する処理回路にはフィルタを備えた
ことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】ここで、図１〜図６を参照して本
発明の実施の形態の例について述べる。図１は、前述し
た図８に対応する本発明の実施形態の一例で、ラジアル
磁気軸受４の円筒形のフレーム７の側面に、基端がボル
ト固定され、先端にシャフト１に対向するギャップセン
サ８が取付けられた、Ｌ字型の支持金具９を放射方向に
４個備えてある。
発明の実施の形態の例について述べる。図１は、前述し
た図８に対応する本発明の実施形態の一例で、ラジアル
磁気軸受４の円筒形のフレーム７の側面に、基端がボル
ト固定され、先端にシャフト１に対向するギャップセン
サ８が取付けられた、Ｌ字型の支持金具９を放射方向に
４個備えてある。
【００１４】このＬ字型の支持金具９は、その先端にて
ギャップセンサ８が載るようにシャフト１に沿って折り
曲げられている。本例では、全ての支持金具９の先端を
相互に拘束する手段は、支持金具９の先端の折り曲げ部
分に、全ての支持金具９を緊縛するように紐状体１０を
かけて縛るものであり、折り曲げ部分は各支持金具９に
て相互に結ばれ拘束される。このために支持金具９はそ
の基端と先端とで固定状態となりギャップセンサ８の振
動を防止することができる。
ギャップセンサ８が載るようにシャフト１に沿って折り
曲げられている。本例では、全ての支持金具９の先端を
相互に拘束する手段は、支持金具９の先端の折り曲げ部
分に、全ての支持金具９を緊縛するように紐状体１０を
かけて縛るものであり、折り曲げ部分は各支持金具９に
て相互に結ばれ拘束される。このために支持金具９はそ
の基端と先端とで固定状態となりギャップセンサ８の振
動を防止することができる。
【００１５】図２は支持金具９の変形例であり、図１に
示す複数の支持金具９を一体化した例を示している。つ
まり、蓋部Ｂを有する略Ｔ形に一体に形成した支持金具
９の３つの端に前述のラジアル磁気軸受４のフレーム７
に固定するためのボルト穴９ＢＨが形成され、この略Ｔ
形の支持金具９の中央には、折り曲げ部９Ｌを有して図
１に示すシャフト１が通る略矩形の穴９ＳＨが形成され
る。そして、この穴９ＳＨの４辺（蓋部Ｂを含んで計４
辺）の中央にあって折り曲げ部分９Ｌにはギャップセン
サ８が取付け固定される。この場合、シャフト１の軸中
心に対して４個のギャップセンサ８の位置決めを正確な
ものにする必要があり、矩形の穴９ＳＨの位置、折り曲
げ部９Ｌの曲げ加工、ボルト穴９ＢＨの位置、蓋部Ｂの
厚さ等の形成に正確さを必要とする。
示す複数の支持金具９を一体化した例を示している。つ
まり、蓋部Ｂを有する略Ｔ形に一体に形成した支持金具
９の３つの端に前述のラジアル磁気軸受４のフレーム７
に固定するためのボルト穴９ＢＨが形成され、この略Ｔ
形の支持金具９の中央には、折り曲げ部９Ｌを有して図
１に示すシャフト１が通る略矩形の穴９ＳＨが形成され
る。そして、この穴９ＳＨの４辺（蓋部Ｂを含んで計４
辺）の中央にあって折り曲げ部分９Ｌにはギャップセン
サ８が取付け固定される。この場合、シャフト１の軸中
心に対して４個のギャップセンサ８の位置決めを正確な
ものにする必要があり、矩形の穴９ＳＨの位置、折り曲
げ部９Ｌの曲げ加工、ボルト穴９ＢＨの位置、蓋部Ｂの
厚さ等の形成に正確さを必要とする。
【００１６】このように支持金具９を一体形成すること
によりギャップセンサ８の振動を軽減もしくは防止する
ことができる。図２に示す一体形成の支持金具９は、金
型を用いて一体成形したものでも、無垢の材料から機械
加工で作製したものでも、複数の構成部材を溶接等で一
体化したものでも良い。例えば、略Ｔ形の板材を横辺部
分から縦辺部分へ切り欠き、この切り欠き部分（穴９Ｓ
Ｈ）の３辺にてギャップセンサ８が載るように折り曲げ
たものを作製し、これに、ギャップセンサ８が載るよう
な板状の蓋部Ｂを切り欠き部分側から溶接することによ
り、支持金具９が得られる。
によりギャップセンサ８の振動を軽減もしくは防止する
ことができる。図２に示す一体形成の支持金具９は、金
型を用いて一体成形したものでも、無垢の材料から機械
加工で作製したものでも、複数の構成部材を溶接等で一
体化したものでも良い。例えば、略Ｔ形の板材を横辺部
分から縦辺部分へ切り欠き、この切り欠き部分（穴９Ｓ
Ｈ）の３辺にてギャップセンサ８が載るように折り曲げ
たものを作製し、これに、ギャップセンサ８が載るよう
な板状の蓋部Ｂを切り欠き部分側から溶接することによ
り、支持金具９が得られる。
【００１７】ここで、支持金具９についての振動を考察
するに、図３は支持金具の簡易モデルであるが、支持金
具の弾性係数をＫ、支持金具の保持質量をＭ、変位をｘ
とすると、質点の運動方程式、並びに質点の共振周波数
ωは次式［数１］となる。
するに、図３は支持金具の簡易モデルであるが、支持金
具の弾性係数をＫ、支持金具の保持質量をＭ、変位をｘ
とすると、質点の運動方程式、並びに質点の共振周波数
ωは次式［数１］となる。
【数１】
【００１８】他方、ラジアル磁気軸受４における振動を
考察するに、図４（ａ）のように磁気軸受４をモデル化
することができて、振動のバネ定数は電磁石の電流を調
節する制御系の比例ゲインＫP によって次のように決定
される。平衡点における電流をＩ0 、平衡点における変
位をＸ0 、制御系の比例ゲインをＫP 、平衡点からの変
位をｘとすると、電磁石の発生する力Ｆmag は次式［数
２］となる。
考察するに、図４（ａ）のように磁気軸受４をモデル化
することができて、振動のバネ定数は電磁石の電流を調
節する制御系の比例ゲインＫP によって次のように決定
される。平衡点における電流をＩ0 、平衡点における変
位をＸ0 、制御系の比例ゲインをＫP 、平衡点からの変
位をｘとすると、電磁石の発生する力Ｆmag は次式［数
２］となる。
【数２】
【００１９】そして、バネ定数はｄＦmag ／ｄｘにて与
えられるので、次式［数３］となる。
えられるので、次式［数３］となる。
【数３】
【００２０】ここで、図４（ａ）のモデルを図４（ｂ）
の如くバネ質量のモデルに変換すると、制御系による共
振周波数ω2 はバネ定数Ｋと回転子鉄心の質量Ｍにより
次式［数４］のようになる。
の如くバネ質量のモデルに変換すると、制御系による共
振周波数ω2 はバネ定数Ｋと回転子鉄心の質量Ｍにより
次式［数４］のようになる。
【数４】
【００２１】こうして、ラジアル磁気軸受４の共振角周
波数ω2 と支持金具の共振角周波数ωとを同じにならな
いように、いいかえれば発振しないようにすることによ
り、定常運転状態における安定性の向上を図ることがで
きる。
波数ω2 と支持金具の共振角周波数ωとを同じにならな
いように、いいかえれば発振しないようにすることによ
り、定常運転状態における安定性の向上を図ることがで
きる。
【００２２】このために、図５に示すように、一体形成
の支持金具９の蓋部Ｂに更に重りｇを取付けることによ
り制御系の共振周波数と支持金具９の固有振動数とを離
すことにより、定常運転の安定性が図れる。重りｇは、
支持金具９の固有振動数を下げることにより、ラジアル
磁気軸受４の共振角周波数ω2 と支持金具９の共振角周
波数ωとが同じにならないように、支持金具９の質量を
増大させるものであれば良い。
の支持金具９の蓋部Ｂに更に重りｇを取付けることによ
り制御系の共振周波数と支持金具９の固有振動数とを離
すことにより、定常運転の安定性が図れる。重りｇは、
支持金具９の固有振動数を下げることにより、ラジアル
磁気軸受４の共振角周波数ω2 と支持金具９の共振角周
波数ωとが同じにならないように、支持金具９の質量を
増大させるものであれば良い。
【００２３】更に、本発明にあっては、図６に示すよう
にラジアル磁気軸受の制御ブロックによる方策をも例示
する。図６は、ラジアル磁気軸受のセンサ部分つまりギ
ャップセンサ８とシャフト１とのギャップの測定値の制
御・演算ブロックを示すものである。この制御ブロック
において、位置検出部Ｃ１は前述のギャップの測定値検
出を行ない、この検出信号は前述した４個のギャップセ
ンサによる上下左右方向の変位情報である。座標変換部
Ｃ２ではこの変位情報から回転子の重心及び重心まわり
の傾きに変換する。つまり、４軸の位置や傾きを求める
ものである。このうち、重心については、ＰＩＤ制御部
Ｃ３により制御量を求め、重心まわりの傾きについては
ＬＱＲ部Ｃ４にて最適レギュレータを用いて制御量を求
めるものである。制御出力は、座標変換部Ｃ５にて再度
変換されてラジアル磁気軸受での上下左右方向の電流指
定値に変換されることになる。
にラジアル磁気軸受の制御ブロックによる方策をも例示
する。図６は、ラジアル磁気軸受のセンサ部分つまりギ
ャップセンサ８とシャフト１とのギャップの測定値の制
御・演算ブロックを示すものである。この制御ブロック
において、位置検出部Ｃ１は前述のギャップの測定値検
出を行ない、この検出信号は前述した４個のギャップセ
ンサによる上下左右方向の変位情報である。座標変換部
Ｃ２ではこの変位情報から回転子の重心及び重心まわり
の傾きに変換する。つまり、４軸の位置や傾きを求める
ものである。このうち、重心については、ＰＩＤ制御部
Ｃ３により制御量を求め、重心まわりの傾きについては
ＬＱＲ部Ｃ４にて最適レギュレータを用いて制御量を求
めるものである。制御出力は、座標変換部Ｃ５にて再度
変換されてラジアル磁気軸受での上下左右方向の電流指
定値に変換されることになる。
【００２４】かかる制御ブロックにて、位置検出部Ｃ１
と座標変換部Ｃ２との間にはフィルタ部Ｃ６が介在され
る。このフィルタ部Ｃ６はギャップセンサの支持具であ
る支持金具の共振周波数の通過を阻止するためのもの
で、不要な信号の除去を行なうためのものである。
と座標変換部Ｃ２との間にはフィルタ部Ｃ６が介在され
る。このフィルタ部Ｃ６はギャップセンサの支持具であ
る支持金具の共振周波数の通過を阻止するためのもの
で、不要な信号の除去を行なうためのものである。
【００２５】上述の説明においては、図５において一体
形の支持金具について重りｇを付加して質量をふやすこ
とを述べたのであるが、図１に示す紐状体による緊縛
等、各支持金具の先端を相互に拘束する構成において
も、各支持金具に同量の重りを加えるなどして、質量を
増大して発振を防止するようにしてもよい。また、支持
金具の共振周波数の通過を阻止するフィルタ部について
は、図１に示したような各支持金具の先端を相互に拘束
する構成、図２に示したような一体形成の支持金具の構
成、図５に示したような支持金具の質量を重りｇで増大
させる構成、いずれの場合にも、位置検出部（ギャップ
センサ）Ｃ１と座標変換部Ｃ２との間にフィルタ部Ｃ６
を介在させることができる。これにより、フィルタ部Ｃ
６が支持金具の共振周波数の通過を阻止し、安定な磁気
浮上が可能となる。
形の支持金具について重りｇを付加して質量をふやすこ
とを述べたのであるが、図１に示す紐状体による緊縛
等、各支持金具の先端を相互に拘束する構成において
も、各支持金具に同量の重りを加えるなどして、質量を
増大して発振を防止するようにしてもよい。また、支持
金具の共振周波数の通過を阻止するフィルタ部について
は、図１に示したような各支持金具の先端を相互に拘束
する構成、図２に示したような一体形成の支持金具の構
成、図５に示したような支持金具の質量を重りｇで増大
させる構成、いずれの場合にも、位置検出部（ギャップ
センサ）Ｃ１と座標変換部Ｃ２との間にフィルタ部Ｃ６
を介在させることができる。これにより、フィルタ部Ｃ
６が支持金具の共振周波数の通過を阻止し、安定な磁気
浮上が可能となる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
の効果を有する。 １．磁気軸受の回転子変位測定用ギャップセンサにおい
て、ギャップセンサの振動幅を少なくすることができ
る。 ２．磁気軸受の回転子変位測定用ギャップセンサにおい
て、ギャップセンサの固有振動数を下げることにより、
共振現象を防止することができる。 ３．磁気軸受の回転子変位測定用ギャップセンサにおい
て、測定後の計測値にフィルタをかけることにより、共
振現象を防止することができる。
の効果を有する。 １．磁気軸受の回転子変位測定用ギャップセンサにおい
て、ギャップセンサの振動幅を少なくすることができ
る。 ２．磁気軸受の回転子変位測定用ギャップセンサにおい
て、ギャップセンサの固有振動数を下げることにより、
共振現象を防止することができる。 ３．磁気軸受の回転子変位測定用ギャップセンサにおい
て、測定後の計測値にフィルタをかけることにより、共
振現象を防止することができる。
【図１】本発明の実施の形態の一例の構成図。
【図２】本発明の実施の形態の他の例の構成図。
【図３】支持金具の簡易モデルの説明図。
【図４】磁気軸受の簡易モデルの説明図。
【図５】重りをつけた例の構成図。
【図６】制御ブロックのブロック図。
【図７】回転機全体の簡略断面図。
【図８】従来例の構成図。
【図９】支持金具の構成図。
１ シャフト ４ ラジアル磁気軸受 ４ａ ラジアル磁気軸受の回転子鉄心 ４ｂ ラジアル磁気軸受の電磁石 ７ ラジアル磁気軸受のフレーム ８ ギャップセンサ ９ 支持金具 １０ 紐状体 Ｂ 蓋部 ｇ 重り Ｃ６ フィルタ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J102 AA01 BA03 BA17 BA18 CA02 CA03 DA02 DA03 DA09 DB01 DB05 DB27 DB29 GA13 5H607 AA04 BB01 BB02 BB13 BB14 BB26 CC07 DD01 DD19 GG01 GG18 HH01 HH09 5H611 AA01 BB01 BB02 PP03 QQ03 RR00 UA04
Claims (4)
- 【請求項１】 回転子変位を磁気軸受のギャップセンサ
にて測定し上記磁気軸受の制御をする磁気軸受を有する
回転機において、 基端が固定されて先端にてギャップセンサを支持する複
数の支持金具の先端を相互に拘束することを特徴とする
磁気軸受を有する回転機。 - 【請求項２】 回転子変位を磁気軸受のギャップセンサ
にて測定し上記磁気軸受の制御をする磁気軸受を有する
回転機において、 複数の上記ギャップセンサを一体形成の支持金具にて支
持することを特徴とする磁気軸受を有する回転機。 - 【請求項３】 支持金具の質量を増大させたことを特徴
とする請求項１又は２記載の磁気軸受を有する回転機。 - 【請求項４】 磁気軸受の制御を行なう制御部にてギャ
ップセンサによる信号を処理する処理回路にはフィルタ
を備えたことを特徴とする請求項１，２又は３記載の磁
気軸受を有する回転機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119058A JP2002310153A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 磁気軸受を有する回転機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119058A JP2002310153A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 磁気軸受を有する回転機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002310153A true JP2002310153A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18969340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001119058A Withdrawn JP2002310153A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 磁気軸受を有する回転機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002310153A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006094625A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Nikon Corp | モータ駆動機構 |
| JP2006517055A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-07-13 | エーシーエム リサーチ，インコーポレイティド | ウェファチャックと研磨／鍍金の容器との整列の測定 |
| JP5541464B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2014-07-09 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119058A patent/JP2002310153A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006517055A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-07-13 | エーシーエム リサーチ，インコーポレイティド | ウェファチャックと研磨／鍍金の容器との整列の測定 |
| KR101299701B1 (ko) | 2002-12-09 | 2013-08-28 | 에이씨엠 리서치, 인코포레이티드 | 웨이퍼 척과 연마/도금 수용부 사이의 정렬 측정 |
| JP2006094625A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Nikon Corp | モータ駆動機構 |
| JP5541464B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2014-07-09 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080701 |