JP2002310107A - 流体シリンダ装置 - Google Patents
流体シリンダ装置Info
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- JP2002310107A JP2002310107A JP2001112741A JP2001112741A JP2002310107A JP 2002310107 A JP2002310107 A JP 2002310107A JP 2001112741 A JP2001112741 A JP 2001112741A JP 2001112741 A JP2001112741 A JP 2001112741A JP 2002310107 A JP2002310107 A JP 2002310107A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精度かつ高剛性でしかもコンパクトな廻り
止め機構付き流体シリンダ装置を提供することにある。
また、特殊環境下での使用を可能とすることにある。 【解決手段】 筒状のボディと、このボディの内径側へ
固定したナット部材と、このナット部材に軸方向のみ移
動自在に係合した軸部材と、この軸部材の一側に装着す
るとともに前記ボディの一端からさらに突出して伸びる
ロッド部と、このボディのロッド部装着側と反対側に装
着されるロッドカバーと、このロッドカバーと前記ボデ
ィのロッド部装着側と反対側の内部に形成されるピスト
ン室と、このピストン室に摺動自在に配置したピストン
と、このピストンに固着され、ロッドカバーを貫通して
外方へ伸びるピストンロッドとを備え、前記ピストンロ
ッドを前記ボディに対して固定し、前記ピストン室への
流体の給排動作により前記軸部材が前記ナット部材を介
して前記ボディに対して軸方向に往復作動するよう構成
したことを特徴とする。
止め機構付き流体シリンダ装置を提供することにある。
また、特殊環境下での使用を可能とすることにある。 【解決手段】 筒状のボディと、このボディの内径側へ
固定したナット部材と、このナット部材に軸方向のみ移
動自在に係合した軸部材と、この軸部材の一側に装着す
るとともに前記ボディの一端からさらに突出して伸びる
ロッド部と、このボディのロッド部装着側と反対側に装
着されるロッドカバーと、このロッドカバーと前記ボデ
ィのロッド部装着側と反対側の内部に形成されるピスト
ン室と、このピストン室に摺動自在に配置したピストン
と、このピストンに固着され、ロッドカバーを貫通して
外方へ伸びるピストンロッドとを備え、前記ピストンロ
ッドを前記ボディに対して固定し、前記ピストン室への
流体の給排動作により前記軸部材が前記ナット部材を介
して前記ボディに対して軸方向に往復作動するよう構成
したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体シリンダ装置
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の流体シリンダ装置として
は、例えば、実公平７−２２５２９号公報に記載されて
いるものが知られている。実公平７−２２５２９号公報
第１図には、シリンダチューブ１とリニアベアリング７
が直列に結合し、ピストンロッド５に設けた複数の溝９
にリニアベアリング７のベアリング列７ａが摺動自在に
係合されたシリンダ装置が開示されている。
は、例えば、実公平７−２２５２９号公報に記載されて
いるものが知られている。実公平７−２２５２９号公報
第１図には、シリンダチューブ１とリニアベアリング７
が直列に結合し、ピストンロッド５に設けた複数の溝９
にリニアベアリング７のベアリング列７ａが摺動自在に
係合されたシリンダ装置が開示されている。
【０００３】しかし、半導体の製造装置等に使用される
場合は、ロッド先端側は真空、腐食性ガスといった特殊
環境下に置かれることが多い。この流体シリンダ装置で
は、ピストンロッド５のパッキン１２の形状を、複数の
溝９が設けられたピストンロッド５の断面形状に合致す
るように製作しなければならない。そのため、特殊な形
状のパッキンではコストが上がるうえ、十分なシール力
が得られなかったり、寿命が短くなったりする欠点があ
った。
場合は、ロッド先端側は真空、腐食性ガスといった特殊
環境下に置かれることが多い。この流体シリンダ装置で
は、ピストンロッド５のパッキン１２の形状を、複数の
溝９が設けられたピストンロッド５の断面形状に合致す
るように製作しなければならない。そのため、特殊な形
状のパッキンではコストが上がるうえ、十分なシール力
が得られなかったり、寿命が短くなったりする欠点があ
った。
【０００４】また、リニアベアリングの潤滑油も特殊環
境下では蒸発や変質してしまう欠点を有している。さら
に、ピストンロッドの材質も、ガイド機構を保持するた
めには、焼き入れ可能な軸受け鋼やマルテンサイト系ス
テンレス鋼とする必要があり、特殊環境下では短期間で
発錆してしまう問題点があった。
境下では蒸発や変質してしまう欠点を有している。さら
に、ピストンロッドの材質も、ガイド機構を保持するた
めには、焼き入れ可能な軸受け鋼やマルテンサイト系ス
テンレス鋼とする必要があり、特殊環境下では短期間で
発錆してしまう問題点があった。
【０００５】これらの欠点からこの流体シリンダ装置を
特殊環境下で使用することはほとんど不可能であった。
これに対して、図６に示す流体シリンダ装置のように、
ガイド部５０とシリンダロッド５１を直列に連結してピ
ストンロッド５２でガイドロッド５３を駆動し、ガイド
ロッド５３で出力ロッド５４を駆動する方法もあった。
特殊環境下で使用することはほとんど不可能であった。
これに対して、図６に示す流体シリンダ装置のように、
ガイド部５０とシリンダロッド５１を直列に連結してピ
ストンロッド５２でガイドロッド５３を駆動し、ガイド
ロッド５３で出力ロッド５４を駆動する方法もあった。
【０００６】この流体シリンダ装置は、出力ロッド５４
のみが特殊環境下に置かれ、ガイドロッド５３はふつ素
ゴム等の耐環境シールでシールされる。出力ロッド５４
の材質は金属からのガスの発生の抑止や腐食性ガスによ
る腐食の防止を考慮した最適なものとすることができ
る。また、出力ロッド５４の断面形状も単純な円形でよ
いので、安価で長寿命な市販の耐環境シールを使用する
ことができる。
のみが特殊環境下に置かれ、ガイドロッド５３はふつ素
ゴム等の耐環境シールでシールされる。出力ロッド５４
の材質は金属からのガスの発生の抑止や腐食性ガスによ
る腐食の防止を考慮した最適なものとすることができ
る。また、出力ロッド５４の断面形状も単純な円形でよ
いので、安価で長寿命な市販の耐環境シールを使用する
ことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この流体シリ
ンダ装置では、ピストンロッド５２とガイドロッド５３
を直列に連結し、さらにガイドロッド５３と出力ロッド
５４を連結した構成のため、シリンダストロークに比較
して全長が非常に長くなってしまうという欠点を有して
いる。本発明は、かかる従来の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、高精度かつ高剛性でしか
もコンパクトな廻り止め機構付き流体シリンダ装置を提
供することにある。
ンダ装置では、ピストンロッド５２とガイドロッド５３
を直列に連結し、さらにガイドロッド５３と出力ロッド
５４を連結した構成のため、シリンダストロークに比較
して全長が非常に長くなってしまうという欠点を有して
いる。本発明は、かかる従来の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、高精度かつ高剛性でしか
もコンパクトな廻り止め機構付き流体シリンダ装置を提
供することにある。
【０００８】本発明の別の目的は、特殊環境下の使用に
適用できる流体シリンダ装置を提供することにある。
適用できる流体シリンダ装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
筒状のボディと、このボディの内径側へ固定したナット
部材と、このナット部材に軸方向のみ移動自在に係合し
た軸部材と、この軸部材の一側に装着するとともに前記
ボディの一端からさらに突出して伸びるロッド部と、こ
のボディのロッド部装着側と反対側に装着されるロッド
カバーと、このロッドカバーと前記ボディのロッド部装
着側と反対側の内部に形成されるピストン室と、このピ
ストン室に摺動自在に配置したピストンと、このピスト
ンに固着され、ロッドカバーを貫通して外方へ伸びるピ
ストンロッドとを備え、前記ピストンロッドを前記ボデ
ィに対して固定し、前記ピストン室への流体の給排動作
により前記軸部材が前記ナット部材を介して前記ボディ
に対して軸方向に往復作動するよう構成したことを特徴
とする。
筒状のボディと、このボディの内径側へ固定したナット
部材と、このナット部材に軸方向のみ移動自在に係合し
た軸部材と、この軸部材の一側に装着するとともに前記
ボディの一端からさらに突出して伸びるロッド部と、こ
のボディのロッド部装着側と反対側に装着されるロッド
カバーと、このロッドカバーと前記ボディのロッド部装
着側と反対側の内部に形成されるピストン室と、このピ
ストン室に摺動自在に配置したピストンと、このピスト
ンに固着され、ロッドカバーを貫通して外方へ伸びるピ
ストンロッドとを備え、前記ピストンロッドを前記ボデ
ィに対して固定し、前記ピストン室への流体の給排動作
により前記軸部材が前記ナット部材を介して前記ボディ
に対して軸方向に往復作動するよう構成したことを特徴
とする。
【００１０】請求項２に係る発明は、請求項１記載の流
体シリンダ装置において、前記ピストンロッドの先端に
フランジ板を固定し、このフランジ板と前記ボディとを
タイロッドを介して固定してなる。請求項３に係る発明
は、請求項１または請求項２に記載の流体シリンダ装置
において、前記ナット部材と前記軸部材とを、スプライ
ン結合手段により軸方向のみ移動自在に係合してなる。
体シリンダ装置において、前記ピストンロッドの先端に
フランジ板を固定し、このフランジ板と前記ボディとを
タイロッドを介して固定してなる。請求項３に係る発明
は、請求項１または請求項２に記載の流体シリンダ装置
において、前記ナット部材と前記軸部材とを、スプライ
ン結合手段により軸方向のみ移動自在に係合してなる。
【００１１】請求項４に係る発明は、前記ロッド部を耐
食材で構成するとともに円形断面としてなる。
食材で構成するとともに円形断面としてなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施形
態に基づいて説明する。図１〜図５は、本発明の一実施
形態に係る廻り止めガイド付き流体シリンダ装置を示
す。なお、図１，図２ともタイロッドを一部省略して図
示している。本実施形態に係る廻り止めガイド付き流体
シリンダ装置１は、円筒形のボディ２の内部にスプライ
ンを形成したナット３を装着するとともに、このナット
３に外周部にスプラインシャフト４が形成されている軸
部材５を係合挿着されている。図５において、１９はス
プラインの溝を示す。
態に基づいて説明する。図１〜図５は、本発明の一実施
形態に係る廻り止めガイド付き流体シリンダ装置を示
す。なお、図１，図２ともタイロッドを一部省略して図
示している。本実施形態に係る廻り止めガイド付き流体
シリンダ装置１は、円筒形のボディ２の内部にスプライ
ンを形成したナット３を装着するとともに、このナット
３に外周部にスプラインシャフト４が形成されている軸
部材５を係合挿着されている。図５において、１９はス
プラインの溝を示す。
【００１３】軸部材５の一端側には、出力ロッド６の一
端側が出力ロッド取付ボルト７を介して取り付け固定さ
れており、出力ロッド６の他端側はボディ２の耐環境シ
ール８を装着したボディカバー９から突出し、図示しな
いワークを動作させる。ここで、出力ロッド６は、耐食
材で構成され、円形断面とされている。軸部材５の内部
には、ピストン１０によって区画される空気室１１ａ，
１１ｂが形成されている。空気室１１ａ，１１ｂがピス
トン室を形成する。
端側が出力ロッド取付ボルト７を介して取り付け固定さ
れており、出力ロッド６の他端側はボディ２の耐環境シ
ール８を装着したボディカバー９から突出し、図示しな
いワークを動作させる。ここで、出力ロッド６は、耐食
材で構成され、円形断面とされている。軸部材５の内部
には、ピストン１０によって区画される空気室１１ａ，
１１ｂが形成されている。空気室１１ａ，１１ｂがピス
トン室を形成する。
【００１４】軸部材５の他端側には、供給ポートＢを備
えたロッドカバー１２が装着され、供給ポートＢから流
入した流体は空気室１１ｂへ供給される。ピストン１０
には、内部に空気室１１ａへの連通孔１３を備えたピス
トンロッド１４が取り付けられ、ピストンロッド１４の
他端側はフランジ板１５に取り付けられている。フラン
ジ板１５には、連通孔１３へ流体を供給する供給ポート
Ａが開口する。フランジ板１５はタイロッド１６により
ボディ２のエンドカバー１７に固着されている。なお、
タイロッド１６の全長はピストンストロークと略同一に
設定されている。
えたロッドカバー１２が装着され、供給ポートＢから流
入した流体は空気室１１ｂへ供給される。ピストン１０
には、内部に空気室１１ａへの連通孔１３を備えたピス
トンロッド１４が取り付けられ、ピストンロッド１４の
他端側はフランジ板１５に取り付けられている。フラン
ジ板１５には、連通孔１３へ流体を供給する供給ポート
Ａが開口する。フランジ板１５はタイロッド１６により
ボディ２のエンドカバー１７に固着されている。なお、
タイロッド１６の全長はピストンストロークと略同一に
設定されている。
【００１５】このように構成された本実施形態に係る廻
り止めガイド付き流体シリンダ装置１は、ボディ２のフ
ランジ２０が半導体の製造装置等の所定場所へ取り付け
られて出力ロッド６が特殊環境内で用いられる。図１の
状態において、図示しない供給手段および切換手段によ
り、供給ポートＡに流体が供給され、供給ポートＢが排
気の状態になると、連通孔１３を経て空気室１１ａに流
体が流入し、空気室１１ｂの流体は供給ポートＢから排
出される。
り止めガイド付き流体シリンダ装置１は、ボディ２のフ
ランジ２０が半導体の製造装置等の所定場所へ取り付け
られて出力ロッド６が特殊環境内で用いられる。図１の
状態において、図示しない供給手段および切換手段によ
り、供給ポートＡに流体が供給され、供給ポートＢが排
気の状態になると、連通孔１３を経て空気室１１ａに流
体が流入し、空気室１１ｂの流体は供給ポートＢから排
出される。
【００１６】ピストン１０およびピストンロッド１４
は、フランジ１５とともにタイロッド１６によりボディ
２に固着されているため、外周部にスプラインシャフト
４が形成されている軸部材５および出力ロッド６が図の
左方向へ前進し、最終的に図２の状態となる。その際、
軸部材５とロッドカバー９の間の空間部の空気はボディ
２に設けられた貫通孔１８から排出される。
は、フランジ１５とともにタイロッド１６によりボディ
２に固着されているため、外周部にスプラインシャフト
４が形成されている軸部材５および出力ロッド６が図の
左方向へ前進し、最終的に図２の状態となる。その際、
軸部材５とロッドカバー９の間の空間部の空気はボディ
２に設けられた貫通孔１８から排出される。
【００１７】このように、ピストン室への流体の供給排
気動作により、軸部材５がスプラインナット３を介して
ボデイ２に対して軸方向に往復動作することができる。
なお、本実施形態では、ナット３と軸部材５との間の軸
方向のみ移動白在に構成する手段としてスプライン結合
を説明したが、本発明は、それに限定されず、例えば軸
部材外形を四角形とか六角形にし、それに見合う内径形
状のナットとしても良い。
気動作により、軸部材５がスプラインナット３を介して
ボデイ２に対して軸方向に往復動作することができる。
なお、本実施形態では、ナット３と軸部材５との間の軸
方向のみ移動白在に構成する手段としてスプライン結合
を説明したが、本発明は、それに限定されず、例えば軸
部材外形を四角形とか六角形にし、それに見合う内径形
状のナットとしても良い。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、スプラインシヤフトを
構成する軸部材の中にシリンダ機構を組み込んだことに
より、シリンダ自体が軸方向のガイド部となるため、高
精度でかつ高剛性の廻り止めガイド付き流体シリンダ装
置をコンパクトに製作することができる。また、本発明
によれば、出力ロッド部がガイド部と別体となっている
ので、材質を使用する環境に合わせた最適なものとする
ことができ、形状も単純な円形断面とすることで、市販
の安価で長寿命かつシール性に優れた耐環境性パッキン
を使用することができる。
構成する軸部材の中にシリンダ機構を組み込んだことに
より、シリンダ自体が軸方向のガイド部となるため、高
精度でかつ高剛性の廻り止めガイド付き流体シリンダ装
置をコンパクトに製作することができる。また、本発明
によれば、出力ロッド部がガイド部と別体となっている
ので、材質を使用する環境に合わせた最適なものとする
ことができ、形状も単純な円形断面とすることで、市販
の安価で長寿命かつシール性に優れた耐環境性パッキン
を使用することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る流体シリンダ装置
を、出力ロッドが後退した状態で示す一部破断面図であ
る。
を、出力ロッドが後退した状態で示す一部破断面図であ
る。
【図２】本発明の一実施形態に係る流体シリンダ装置
を、出力ロッドが前進した状態で示す一部破断面図であ
る。
を、出力ロッドが前進した状態で示す一部破断面図であ
る。
【図３】図１に示す一実施形態に係る流体シリンダ装置
の上面図である。
の上面図である。
【図４】図２に示す一実施形態に係る流体シリンダ装置
のｘ−ｘ線断面図である。
のｘ−ｘ線断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る流体シリンダ装置の
斜視図である。
斜視図である。
【図６】従来の流体シリンダ装置の断面図である。
１ 廻り止めガイド付き流体シリンダ装置 ２ ボディ ３ ナット ４ スプラインシャフト ５ 軸部材 ６ 出力ロッド ７ 出力ロッド取付ボルト ８ 耐環境シール ９ ボディカバー １０ ピストン １１ａ，１１ｂ 空気室 １２ ロッドカバー １３ 連通孔 １４ ピストンロッド １５ フランジ板 １６ タイロッド １７ エンドカバー Ａ，Ｂ 供給ポート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H081 AA03 BB03 CC05 CC13 DD18 DD19 DD26 DD32 EE04 EE24
Claims (4)
- 【請求項１】 筒状のボディと、 このボディの内径側へ固定したナット部材と、 このナット部材に軸方向のみ移動自在に係合した軸部材
と、 この軸部材の一側に装着するとともに前記ボディの一端
からさらに突出して伸びるロッド部と、 このボディのロッド部装着側と反対側に装着されるロッ
ドカバーと、 このロッドカバーと前記ボディのロッド部装着側と反対
側の内部に形成されるピストン室と、 このピストン室に摺動自在に配置したピストンと、 このピストンに固着され、ロッドカバーを貫通して外方
へ伸びるピストンロッドとを備え、 前記ピストンロッドを前記ボディに対して固定し、前記
ピストン室への流体の給排動作により前記軸部材が前記
ナット部材を介して前記ボディに対して軸方向に往復作
動するよう構成したことを特徴とする流体シリンダ装
置。 - 【請求項２】 前記ピストンロッドの先端にフランジ板
を固定し、このフランジ板と前記ボディとをタイロッド
を介して固定してなる請求項１に記載の流体シリンダ装
置。 - 【請求項３】 前記ナット部材と前記軸部材とを、スプ
ライン結合手段により軸方向のみ移動自在に係合してな
る請求項１または請求項２に記載の流体シリンダ装置。 - 【請求項４】 前記ロッド部を耐食材で構成するととも
に円形断面としてなる請求項１ないし請求項３の何れか
１項記載の流体シリンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001112741A JP4607367B2 (ja) | 2001-04-11 | 2001-04-11 | 流体シリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001112741A JP4607367B2 (ja) | 2001-04-11 | 2001-04-11 | 流体シリンダ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002310107A true JP2002310107A (ja) | 2002-10-23 |
| JP4607367B2 JP4607367B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=18964092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001112741A Expired - Fee Related JP4607367B2 (ja) | 2001-04-11 | 2001-04-11 | 流体シリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4607367B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04101805U (ja) * | 1991-02-14 | 1992-09-02 | エヌオーケー株式会社 | アクチユエータ |
| JPH1193912A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-06 | Smc Corp | 流体圧シリンダ |
-
2001
- 2001-04-11 JP JP2001112741A patent/JP4607367B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04101805U (ja) * | 1991-02-14 | 1992-09-02 | エヌオーケー株式会社 | アクチユエータ |
| JPH1193912A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-06 | Smc Corp | 流体圧シリンダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4607367B2 (ja) | 2011-01-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20061207 |
|
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|
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|
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|
| A521 | Written amendment |
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|
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