JP2002289492A

JP2002289492A - 半導体試験受託方法及びシステム

Info

Publication number: JP2002289492A
Application number: JP2001084309A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Yanagihara; 信之柳原; Takehiro Yoshimura; 武裕吉村; Hideyuki Chika; 秀幸地下; Shinpei Mukai; 親平向井
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2001-03-23
Filing date: 2001-03-23
Publication date: 2002-10-04
Anticipated expiration: 2021-03-23
Also published as: JP4480290B2

Abstract

(57)【要約】【課題】委託者の要望する試験作業の能率を上げる【解決手段】半導体試験装置２の入出力制御部６で
は、仮想端末装置４ａ〜４ｎから送られてきた実行命令
は入力命令スプール部１２に一時保管され、入力した順
に入力命令制御部１４に送られて実行命令がデーター化
され、半導体試験装置２の実行部５に送られ、命令が実
行される。その試験結果は出力先選別部１８で出力先が
選別されて出力される。その試験結果データーが委託先
の端末装置に出力される場合には、情報量を減らすため
に、出力データー圧縮部１６でデーター圧縮が行なわれ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路装
置（本明細書では単に半導体と称す）の試験受託者（テ
ストハウスとも称す）が委託者からの委託を受け、受託
者の所有する半導体試験装置を使用して受託半導体装置
の試験を行なう半導体試験受託ビジネスのための方法と
システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】昨今、半導体試験設備の高騰により、半
導体試験工程のアウトソーシングは益々加速している。
また半導体の開発期間は益々短くなってきており、半導
体生産者はテストハウスなど自社以外の外部設備で短期
間に半導体試験が行える環境を構築する必要が生じてい
る。

【０００３】このような背景を考えると、半導体試験受
託ビジネスはこれまでは量産設備としての製品試験請け
負い業務が一般であったが、今後はもっと開発の前ステ
ップからビジネスを請け負う事が必要になってくる。

【０００４】しかしながら、一般に、テストハウスと委
託者には物理的距離問題があるが為、遠隔地からの操作
性の問題により、実際にはこのような製品開発ステップ
での半導体の評価解析に半導体試験受託ビジネスを利用
する事は極めて困難であった。

【０００５】また、一般的な半導体試験受託ビジネス
は、委託者の要望する半導体試験を請け負い、半導体試
験終了後にアウトプット（例えばテスト結果データーと
試験終了後の半導体）を委託者へ引き渡すものであり、
通常、ある委託契約に基づき、定められたフローで作業
を実施するものである。このような従来の半導体試験受
託ビジネスを開始する際には、当然の事ながら、委託者
の依頼する半導体をテストハウスの所有する半導体試験
装置で試験できるようにする必要がある。

【０００６】従来は、委託者がテストハウスに赴き、半
導体試験立上げの検証作業を実施したり、もしくは要望
する特性が得られない場合は故障解析などの作業を実施
したりしていた。そのため、委託者にとってはテストハ
ウスへ赴く為の時間的ロスおよび費用が発生していたの
が一般である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体試験
受託ビジネスにおいて、従来の単純な製品試験受託ビジ
ネスだけではなく、テストハウスの所有する半導体試験
装置を委託者が遠隔操作できるようにすることにより、
委託者の要望する試験作業の能率を上げることができる
ようにすることを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体試験受託
ビジネスの方法は、半導体試験受託者が委託者からの委
託を受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して
受託半導体装置の試験を行なう方法にであって、半導体
試験装置に入出力制御部を設け、通信回線を利用してそ
の入出力制御部と委託者の端末とを接続して委託者の端
末から実行命令を受け、その実行命令に従って試験を実
行するようにした方法である。

【０００９】この方法を実現するために、本発明の半導
体試験受託システムでは、半導体試験装置は委託者の端
末から受けた実行命令に従って半導体試験を実行するオ
ペレーティングシステムを備えた実行部の他に、入出力
制御部を備え、その入出力制御部を介し、通信回線を利
用して委託者の端末と接続されている。これにより、従
来技術で課題となる、半導体試験装置への遠隔操作を、
半導体試験装置に組み込む入出力制御部のプログラムに
より処理することができるようになる。その結果、従来
の単に製品試験を請け負う受託ビジネスだけではなく、
委託者がテストハウスの装置を遠隔地からあたかも自身
の所有する装置であるがごとく、製品評価や解析などの
半導体試験装置を必要とする業務に対し、テストハウス
を活用することが可能となる。

【００１０】また従来の製品試験受託ビジネスを開始す
る際には、委託者がテストハウスに赴き、半導体試験立
上げ・検証作業・故障解析などの作業を実施していた
が、本発明により、委託者はテストハウスに赴かなくと
も遠隔地からの対応が可能となり、ビジネス立上げの時
間およびコストの短縮が可能である。特にグローバル化
の時代にあってリアルタイムの作業が可能になる。

【００１１】入出力制御部では、委託者の端末から送ら
れてきた実行命令を伝達する実行命令入力パスと、半導
体試験装置の試験結果を出力する試験結果出力パスとを
個別に制御することが好ましい。

【００１２】このような半導体試験の立上げ業務の過程
において、図７に示されるように、委託者がテストハウ
スの半導体試験装置２に電話回線８を介してアクセス
し、委託者の所有する端末装置１０ａをテストハウスの
所有する半導体試験装置２の端末装置として使用するこ
とが考えられる。１０はテストハウスにある端末装置で
ある。

【００１３】しかしながら、そのように接続した場合、
実行命令を伝達する実行命令入力パスと半導体試験装置
の試験結果を出力する試験結果出力パスは個別に制御さ
れていないために、委託者の端末装置１０ａはテストハ
ウスの所有する半導体試験装置２のオペレーティングシ
ステムで動作する１つの端末（入出力）装置であり、端
末装置１０ａから半導体試験装置２へ実行命令を入力
し、その出力結果は同じく委託者の端末装置１０ａへ掃
き出される。

【００１４】この場合、委託者とテストハウスとを結ぶ
接続回線状況により、委託者端末装置１０ａから入力し
た命令の出力結果を得るまでの応答速度が著しく影響さ
れる。特にテストハウスと委託者の物理的距離が離れて
いる場合などでは、実行命令をテストハウスの半導体試
験装置２が実行し、その結果を委託者端末装置１０ａに
掃き出すまでに時間がかかり、実用が困難になる。

【００１５】遠隔操作に関しては、医療分野において、
端末装置間での遠隔操作を適切に行うために、複数の端
末装置を通信回線で接続したネットワークにおいて１つ
の端末装置を他の端末装置で模擬して遠隔操作するもの
が提案されている（特開２０００−１７５８７０号公報
参照）。しかし、互いの端末装置で送信と受信を個別に
制御していないため、図７に示したシステムと同様の問
題を抱えている。

【００１６】また、操作端末装置にグラフィック画面表
示機能と操作、指示を的確に画面上に対応させるポイン
ディングデバイス機能を装備し、このグラフィック画面
上での指示に基づいて高速通信可能な回線を使用して制
御したいホームバスシステムに対し制御情報をやり取り
し、家庭内の機器を直接コントロール可能とするととも
に制御結果を同じ画面上に表示させるようにした操作表
示方法も提案されている（特開平７−１３１５４２号公
報参照）。その遠隔表示方法は、グラフィック画面上か
ら機器を直接制御しており、実行命令を介して装置を制
御する本発明とは異なるだけでなく、制御結果を直接同
じ画面に出力しているため、この方法も図７に示したシ
ステムと同様の問題を抱えている。

【００１７】これに対し、実行命令入力パスと試験結果
出力パスとを個別に制御するようにすれば、出力結果を
委託者側に送信する際の自由度が増し、接続回線状況に
よる影響を抑えることができる。複数の委託者の端末装
置を半導体試験装置の入出力制御部に接続し、複数の委
託者から実行命令を受けることができるようにしてもよ
い。

【００１８】実行命令入力パスは、委託者の端末から受
けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール部と、そ
の入力命令スプール部に記憶された実行命令を実行部に
送る入力命令制御部とを備えたものとすることができ
る。

【００１９】入力命令スプール部により、半導体試験装
置の入出力制御部に複数の委託者の端末装置を接続して
もよい。そして、その入力命令スプール部がそれら複数
の委託者の端末装置から送られてきた実行命令をすべて
記憶するように構成しておき、入力命令制御部は入力命
令スプール部に記憶されている実行命令を入出力制御部
が受け入れた順に実行部に送るように構成しておけば、
委託者側の複数の端末装置から受けた実行命令を、受け
入れた順に実行することができるようになる。

【００２０】命令を一時記憶する点に関しては、計算機
システムで障害が発生した際に、記録されている通報先
に公衆回線を介してメーッセージを転送、もしくは、転
送先端末装置とでコマンドデーターを送受信できる遠隔
オペレーション制御方式に関し、その障害発生の状況に
おいて、遠隔の端末装置から入力されたコマンド・デー
ターを第３の記憶手段に格納する手段を備えたものが提
案されている（特開平２−９０３３５号公報参照）。し
かし、その方法は障害発生時にのみコマンドデーターを
送受信する点で本発明とは対象を異にしている。また、
複数の端末を対象にしていない。

【００２１】委託者側の端末装置は半導体試験装置の入
出力制御部に記憶された実行命令を確認することができ
るとともに、取り消すこともできるようにしてもよい。
入力命令スプール部を設けた場合に、委託者側の端末装
置は入力命令スプール部に記憶されたその端末装置から
の実行命令を確認することができ、かつ取り消すことも
できるようにしてもよい。

【００２２】委託者側の端末装置は半導体試験装置にお
ける試験を擬似的に実行できる擬似動作環境を構築する
オペレーティングシステムを備えた仮想端末装置とし
て、半導体試験装置から送られてきた試験結果データー
を表示することができるようになっているのが好まし
い。そのために、半導体試験装置に接続された受託者側
の端末装置と同じ表示画面を備えていることが好まし
い。

【００２３】ファクシミリにおける描画のやり取りと音
声通話に関して、ラスタ情報とベクタ情報を有効に用い
て自在な描画操作を行うことができる回線端末装置が提
案されている（特開平６−６４７７号公報参照）。しか
し、その端末装置は仮想端末装置ではない。

【００２４】半導体試験装置の入出力制御部は、半導体
試験装置における試験結果データーをその半導体試験装
置に接続されている受託者側の端末装置及び記憶装置、
並びに委託者の端末装置のうち、何れに出力するかを決
定することができる。このような出力先の選別は、半導
体試験装置の入出力制御部における試験結果出力パス
に、この半導体試験装置による試験結果データーの出力
先を選別する出力先選別部を備えることにより行なうこ
とができる。

【００２５】試験結果データーを委託者側の端末装置に
出力する際にはその試験結果データーを圧縮することが
好ましい。試験結果データーは半導体試験装置に接続さ
れている受託者側の端末装置にいったん記憶された後に
委託者側の端末装置に転送するようにしてもよい。

【００２６】試験結果データーを圧縮するために、半導
体試験装置の入出力制御における試験結果出力パスに、
試験結果データーを委託者側の端末装置に出力する際に
データー圧縮する出力データー圧縮部を備えておくこと
ができる。圧縮されたデーターは、委託者側の端末装置
にデーター解凍手段を備えることにより、委託者側の端
末装置に表示できるようになる。

【００２７】委託者から送られる実行命令には受託者側
のオペレーターに対する作業指示も含むようにすること
ができる。その作業指示を的確に伝えるために、実行命
令には画像データー及び音声データーの少なくとも一方
も含めることが好ましい。

【００２８】

【発明の実施の形態】図１は一実施例における半導体試
験装置２と委託者側の端末装置４ａ，４ｂとの接続を示
したものである。半導体試験装置２には入出力制御部６
が設けられており、入出力制御部６には通信回線８を介
して委託者側の端末装置４ａ，４ｂが接続されている。
接続される委託者の端末装置の数は１台でもよく、複数
台でもよい。受託者側においては、半導体試験装置２に
は入出力制御部６を介して端末装置１０を初め、記憶装
置その他必要な周辺機器が接続されている。

【００２９】図２はこの実施例の構成をブロック図とし
て示したものである。半導体試験装置２は、委託者の端
末から受けた実行命令に従って半導体試験を実行するオ
ペレーティングシステムを備えた実行部５の他に、入出
力制御部６を備え、その入出力制御部６を介し、通信回
線８を利用して委託者の端末装置４ａ〜４ｎと接続され
ている。入出力制御部６は、委託者の端末から送られて
きた実行命令を実行部５に伝達する実行命令入力パス
と、その実行命令入力パスとは個別に動作してこの半導
体試験装置２の試験結果を出力する試験結果出力パスと
を備えている。

【００３０】実行命令入力パスは、委託者の端末から受
けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール部１２
と、その入力命令スプール部１２に記憶された実行命令
を実行部５に送る入力命令制御部１４とを備えている。

【００３１】入出力制御部には複数の委託者の端末装置
４ａ〜４ｎが接続されるようになっており、入力命令ス
プール部１２はそれら複数の委託者の端末装置４ａ〜４
ｎから送られてきた実行命令をすべて記憶するように構
成されている。入力命令制御部１４は入力命令スプール
部１２に記憶されている実行命令を入出力制御部６が受
け入れた順に実行部５に送るように構成されている。

【００３２】委託者側の端末装置４ａ〜４ｎは、入力命
令スプール部１２に記憶されたその端末装置からの実行
命令を確認することができ、かつ取り消すこともできる
ようになっている。

【００３３】委託者側の端末装置４ａ〜４ｎは、半導体
試験装置２における試験を擬似的に実行できる擬似動作
環境を構築するオペレーティングシステムを備えた仮想
端末装置である。その仮想端末装置は半導体試験装置２
から送られてきた試験結果データーを表示するために、
半導体試験装置に接続された受託者側の端末装置１０と
同じ表示画面を備えている。

【００３４】入出力制御部６における試験結果出力パス
は、この半導体試験装置２による試験結果データーの出
力先を選別する出力先選別部１８を備えている。出力先
選別部１８は試験結果データーをその半導体試験装置２
に接続されている受託者側の端末装置１０及び記憶装
置、並びに委託者側の端末装置４ａ〜４ｎのうち、何れ
に出力するかを決定する。出力先選別部１８はまた、半
導体試験装置２に接続されている受託者側の端末装置１
０にいったん記憶された試験結果データーを委託者側の
端末装置４ａ〜４ｎに転送するように選別することもで
きるものである。

【００３５】入出力制御部６における試験結果出力パス
は、試験結果データーを委託者側の端末装置４ａ〜４ｎ
に出力する際にデーター圧縮する出力データー圧縮部１
６を備えており、委託者側の端末装置４ａ〜４ｎは圧縮
された試験結果データーを解凍する手段を備えている。
データーを圧縮して転送することにより、転送すべきデ
ーター量を削減することができる。委託者側の端末装置
４ａ〜４ｎでは、送られてきた試験結果データーを半導
体試験オペレーティングシステムを用いて解凍し、画面
上に表示する。

【００３６】図３はこの実施例の受託試験システムの動
作を示したフローチャート図である。仮想端末装置４ａ
〜４ｎから送られる実行命令は、仮想端末の半導体試験
オペレーティングシステムによってデーター化され（ス
テップS１）、通信回線８を介して転送される（ステッ
プS２）。

【００３７】半導体試験装置２の入出力制御部６では、
送られてきた実行命令を入力命令スプール部１２に一時
保管する（ステップS３）。入力命令スプール部１２か
ら入力命令制御部１４に入力命令を受け付けたことを示
す信号が送られると（ステップS４）、入力命令制御部
１４から受付が可能であるか否かが指示される。受付が
可能でない場合は、入力命令スプール部１２に保管され
続け、受付が可能になった時点で入力した順に実行命令
が入力命令制御部１４に送られ、実行命令がデーター化
されて（ステップS５）、半導体試験装置２の実行部５
に送られ、命令が実行される（ステップS６）。

【００３８】半導体試験装置２で試験が実行された後、
その試験結果は出力先選別部１８に送られる（ステップ
S７）。出力先選別部１８ではその試験結果データーを
委託先の端末装置に出力するか否かが判断され、委託側
に出力される場合には、試験結果の出力データーを出力
データー圧縮部１６で一時記憶（スプール）するととも
に、情報量を減らすためにデーター圧縮が行なわれる
（ステップS８）。その後通信先の割付けが行なわれ
（ステップS９）、通信回線８を介して委託先の端末装
置にデーターが転送される（ステップS１０）。委託先
の端末装置では送られてきたデーターが解凍され、半導
体試験オペレーティングシステムを用いて端末画面上に
テスト結果が表示される。

【００３９】一方、ステップＳ７において、直ちには委
託側の端末装置に試験結果データーを転送しないと判断
された場合には、その試験結果データーを半導体試験装
置２に接続されているハードディスクなどの記憶装置に
記憶するか否かが判断される（ステップＳ１２）。

【００４０】その試験結果データーを記憶装置に記憶す
ると判断された場合は記憶装置に記憶された後（ステッ
プＳ１３）、ステップＳ１２で記憶装置に記憶しないと
判断された場合は記憶装置に記憶されないで、半導体試
験装置２の端末装置１０に表示するか否かが判断される
（ステップＳ１４）。その判断に従って端末に表示され
るか（ステップＳ１５）、そうでない場合は表示しない
で終了となる。

【００４１】図４は委託者側の端末装置４が仮想端末で
ある場合について、委託者側の端末装置４と半導体試験
装置側の端末装置１０の両方の表示画面の一例を示した
ものである。受託者側の端末装置１０の表示画面は半導
体試験装置２と接続されてオンラインで表示するもので
あり、委託者側の端末装置４での表示は通信回線８を介
してデーター圧縮して送られ、委託者側の端末装置４の
仮想端末上で解凍されたデータが表示されるオフライン
での表示であるが、両端末装置４，１０には同じ試験結
果データーが表示される。また、受託者側の端末装置１
０は半導体試験装置２のテストプラグムをオンライン状
態で点検し修正するオンラインデバッガを備えており、
委託者側の端末装置４はそのテストプラグムをシミュレ
ーションで点検し修正するオフラインデバッガを備えて
いる。

【００４２】この実施例では、半導体試験装置２に接続
される試験委託者の端末装置４ａ〜４ｎは１台に限定さ
れず、複数台が同時に存在できる。昨今半導体の開発拠
点は複数にまたがっている。この実施例によれば、例え
ば東京と大阪に在する２名の委託側技術者が、同じテス
トハウスの半導体試験装置に同時にオンライン接続し
て、それぞれが所望の命令を実行し、３者間でのオンラ
インビジネスが可能となる。

【００４３】この実施例では、委託者の端末装置４ａ〜
４ｎは半導体試験装置の仮想端末として存在する。つま
り、この仮想端末は半導体試験装置２のプログラム制御
の全てを負うものではなく、擬似的な半導体試験装置の
動作環境（シミュレーションモード）の上で、半導体試
験装置２とのやり取りを行うものである。

【００４４】その結果、仮想端末と半導体試験装置の回
線接続に要求される情報伝達量を大幅に軽減し、応答速
度を向上させる。例えば、半導体試験装置で波形データ
ーやシュムプロットデーターなどを取得する場合、その
データー量は膨大であるが為に、その出力結果を通信回
線を通してオンラインで委託者側の端末装置へ逐次出力
すると、通信回線の応答速度が送信するデーター量の多
さに対応できず、極端に応答速度が悪くなり、実用が困
難であったが、この実施例により実現が可能となる。

【００４５】仮想端末装置は半導体試験オペレーティン
グシステムを備えた擬似的な動作環境にあるので、半導
体試験装置で取得するデーターは逐次仮想端末へ出力す
る必要はなく、データー取得が終了した後に、そのデー
ターを仮想端末装置に転送し、仮想端末装置上の擬似的
な動作環境で、その取得データーを再現すればよいので
ある。

【００４６】また、昨今のデーター圧縮・解凍技術を用
いることにより、この転送すべき取得データーの量を大
幅に削減する事が可能である。半導体試験装置で実行さ
れた試験結果データーの出力先は、半導体試験装置２の
出力先選別部１８を構成する出力制御プログラムにより
選別される。その１つの例は、図１に示されるように、
半導体試験装置２に直接接続されているテストハウスの
端末装置１０である。データー出力先を端末装置１０と
することにより、従来遠隔操作で応答速度を悪くさせた
要因である半導体試験装置２から通信回線８を通した遠
隔地端末装置へのデーター逐次出力をなくし、遠隔操作
での応答速度を向上できる。

【００４７】端末装置１０の画面へ出力されたデーター
は、テストハウスのオペレーターの操作により、データ
ーファイルへ格納することもできる。半導体試験装置２
の出力制御プログラムにより、図５に示されるように、
半導体試験装置２で実行された試験結果データーの出力
先を半導体試験装置２の磁気ディスクや磁気ドラムなど
の記憶装置２０とし、そのデーターを端末装置１０の画
面に出力させずに、記憶装置２０に直接書き込んで保存
するようにすることもできる。

【００４８】記憶装置２０に保管された出力結果データ
ーは、図６に示されるように、入出力制御プログラムに
より、委託者側の端末装置４ａ〜４ｎへ自動転送するこ
ともできる。これによりテストハウスの所有する半導体
試験装置２にて取得されたデーターを、複数の委託者が
それぞれの端末装置上で同時に閲覧することができるよ
うになる。

【００４９】委託者側の複数の端末装置４ａ〜４ｎから
送信される実行命令は、テストハウスの半導体試験装置
２の入力制御プログラムにより記録管理され、命令を受
けつけた順に実行される。また、記録管理された実行命
令を各端末装置４ａ〜４ｎで確認することができ、任意
にキャンセルすることもできる。

【００５０】テストハウスが半導体試験装置２のオペレ
ーターを提供することにより、委託者はネットワークで
は対処できない所望の試験操作を達成できる。例えば、
次のような操作が可能になる。ａ）被試験サンプルの交換をする。ｂ）被試験サンプルに温度を印加する。ｃ）オシロスコープで被試験サンプルの波形を観測し、
その波形データーを委託者へ転送する。ｄ）半導体試験装置２の端末装置１０に表示された出力
結果をコピーして委託者側の端末装置４ａ〜４ｎへ転送
する。

【００５１】委託者とテストハウスとのコミュニケーシ
ョン方法として、テレビモニターなどに代表される通信
システムを併用し、音声データー情報や画像データー情
報を提供することにより、半導体試験装置２を操作して
いる環境を画像情報などとして、遠隔地の委託者へもリ
アルタイムに提供するものである。

【００５２】

【発明の効果】請求項１の発明方法では、半導体試験装
置に入出力制御部を設け、通信回線を利用して委託者の
端末から実行命令を受けるようにしたので、テストハウ
スの所有する半導体試験装置を委託者が遠隔操作できる
ようになり、委託者の要望する試験作業の能率を上げる
ことができる。そして、従来の単純な半導体製品の請け
負い試験ビジネスに限られず、製品評価や解析など半導
体試験装置を必要とする広汎な業務に対し、受託ビジネ
スを活用するができるようになる。請求項２の発明方法
では、半導体試験装置の入出力制御部で、実行命令入力
パスと試験結果出力パスとを個別に制御するようにした
ので、出力結果を委託者側に送信する際の自由度が増
し、接続回線状況による影響を抑えることができる。ま
た、試験結果データーを圧縮して出力することができる
ようになり、遠隔操作における伝達情報量を減らして通
信回線に与える負荷を軽減することができ、ひいては応
答性の向上につながる。請求項３の発明方法では、半導
体試験受託ビジネスにおける拡張形態の１つとして、複
数の委託者の端末装置を接続し、複数の委託者から実行
命令を受けることができるようにしたので、グローバル
化する近年において、複数の拠点での遠隔操作による同
時試験が可能になる。請求項４の発明方法では、複数の
実行命令を記憶しておき、受け入れた順に実行するよう
にして、複数の実行命令の実行を可能にした。請求項５
の発明方法では、委託者側から実行命令を確認すること
ができるとともに、取り消すこともできるようにしたの
で、実用性が増す。請求項６の発明方法では、委託者の
所有する端末装置を仮想端末装置としたので、半導体試
験装置から送られてきた試験結果データーを表示できる
だけでなく、遠隔操作における伝達情報量を減らして通
信回線に与える負荷を軽減することができ、ひいては応
答性の向上につながる。請求項７の発明方法では、試験
結果データーの出力先を委託者の端末装置に限らずに選
択できるようにし、委託者の端末装置に出力する際には
その試験結果データーを圧縮するようにしたので、通信
回線の状態に束縛されるのを避けることができるように
なる。請求項８の発明方法では、受託者側の記憶装置に
いったん記憶した試験結果データーを圧縮して委託者の
端末装置に出力できるようにしたので、試験結果データ
ーを複数の委託者がそれぞれの端末装置上で同時に閲覧
することができるようになる。請求項９の発明方法で
は、委託者から送られる実行命令には受託者側のオペレ
ーターに対する作業指示も含むことができるようにした
ので、半導体試験受託ビジネスで提供されるサービスの
一部として、ネットワーク操作で対応できないサービス
を提供することができるようになる。請求項１０の発明
方法では、実行命令には画像データーや音声データーも
含むようにしたので、受託者側のオペレーターに対する
作業指示をより的確に伝えることができるようになる。
請求項１１の発明システムでは、半導体試験装置に入出
力制御部を備えて通信回線を利用して委託者の端末と接
続したので、請求項１の方法を実現可能にした。請求項
１２の発明システムでは、半導体試験装置の入出力制御
部に個別に動作する実行命令入力パスと試験結果出力パ
スとを備えたので、請求項２の方法を実現可能にした。
請求項１３の発明システムでは、実行命令入力パスが委
託者の端末から受けた実行命令を一時記憶する入力命令
スプール部によって、実行命令入力パスを実現する手段
を与えることができる。請求項１４の発明システムで
は、入出力制御部に複数の委託者の端末装置を接続でき
るようにし、入力命令スプール部に複数の実行命令を記
憶し、その実行命令を受け入れた順に送りだすようにし
たので、請求項３，４の方法を実現する１つの手段を与
えることができる。請求項１５の発明システムでは、委
託者側の端末装置の機能を明確にしたことにより、請求
項５の方法を実現する１つの手段を与えることができ
る。請求項１６の発明システムでは、委託者側の端末装
置が半導体試験装置における試験を擬似的に実行できる
擬似動作環境を構築するオペレーティングシステムを備
えた仮想端末装置としたので、請求項６の方法を実現す
る１つの手段を与えることができる。請求項１７の発明
システムでは、委託者側の端末装置が仮想端末装置であ
って、かつ受託者側の端末装置と同じ表示画面を備えて
いるので、半導体試験装置から送られてきた試験結果デ
ーターを受託者側の端末装置と同じ画面として表示する
ことができるようになる。請求項１８の発明システムで
は、入出力制御部における試験結果出力パスに試験結果
データーの出力先を選別する出力先選別部を備えたの
で、請求項７の方法を実現する１つの手段を与えること
ができる。請求項１９の発明システムでは、出力先選別
部が受託者側の記憶装置にいったん記憶された試験結果
データーを委託者側の端末装置に転送できるようにした
ので、試験結果データーを複数の委託者がそれぞれの端
末装置上で同時に閲覧することができるようになる。請
求項２０の発明システムでは、半導体試験装置側に試験
結果データーを出力する際にデーター圧縮する出力デー
ター圧縮部を備え、委託者側の端末装置には圧縮された
試験結果データーを解凍する手段を備えたので、遠隔操
作における伝達情報量を減らして通信回線に与える負荷
を軽減することができ、ひいては応答性の向上につなが
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例の受託試験システムにおける半導体
試験装置と委託者側の端末装置との接続を示す概略構成
図である。

【図２】同実施例の受託試験システムの構成を示すブ
ロック図である。

【図３】同実施例の受託試験システムの動作を示すフ
ローチャート図である。

【図４】委託者側の端末装置が仮想端末である場合に
ついて、委託者側の端末装置と半導体試験装置側の端末
装置の両方の表示画面の一例を示す図である。

【図５】試験結果データーの出力先を半導体試験装置
の記憶装置とした実施例を示す概略構成図である。

【図６】半導体試験装置の記憶装置の記憶装置に保管
された出力結果データーを委託者側の端末装置へ転送す
る実施例を示す概略構成図である。

【図７】委託者の端末装置をテストハウスの半導体試
験装置の端末装置として使用することを想定した概略構
成図である。

【符号の説明】

２半導体試験装置４ａ，４ｂ，４ｎ委託者側の端末装置６入出力制御部８通信回線１０受託者側の端末装置５実行部１２入力命令スプール部１４入力命令制御部１８出力先選別部２０記憶装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者地下秀幸東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者向井親平東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内Ｆターム(参考） 5B048 AA20 CC05 CC15 DD01 DD05 DD08 DD14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体試験受託者が委託者からの委託を
受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して受託
半導体装置の試験を行なう方法において、前記半導体試験装置に入出力制御部を設け、通信回線を
利用して前記入出力制御部と委託者の端末とを接続して
委託者の端末から実行命令を受け、その実行命令に従っ
て試験を実行するようにしたことを特徴とする半導体試
験受託方法。
【請求項２】前記入出力制御部では、委託者の端末か
ら送られてきた実行命令を伝達する実行命令入力パス
と、半導体試験装置の試験結果を出力する試験結果出力
パスとを個別に制御する請求項１に記載の半導体試験受
託方法。
【請求項３】複数の委託者の端末装置を前記入出力制
御部に接続し、複数の委託者から実行命令を受けること
ができるようにした請求項１又は２に記載の半導体試験
受託方法。
【請求項４】前記入出力制御部は委託者側の複数の端
末装置から受けた実行命令を記憶しておき、受け入れた
順に実行するようにした請求項３に記載の半導体試験受
託方法。
【請求項５】委託者側の端末装置は前記入出力制御部
に記憶された実行命令を確認することができるととも
に、取り消すこともできるようにした請求項１から４の
いずれかに記載の半導体試験受託方法。
【請求項６】委託者の所有する端末装置を前記半導体
試験装置における試験を擬似的に実行できる擬似動作環
境をもった仮想端末装置とし、その擬似動作環境を用い
て前記半導体試験装置から送られてきた試験結果データ
ーを表示する請求項１から５のいずれかに記載の半導体
試験受託方法。
【請求項７】前記入出力制御部は、前記半導体試験装
置における試験結果データーをその半導体試験装置に接
続されている受託者側の端末装置及び記憶装置、並びに
委託者の端末装置のうち、何れに出力するかを決定し、
委託者の端末装置に出力する際にはその試験結果データ
ーを圧縮する請求項１から６のいずれかに記載の半導体
試験受託方法。
【請求項８】前記入出力制御部は、その半導体試験装
置に接続されている受託者側の記憶装置にいったん記憶
した試験結果データーを圧縮して委託者の端末装置に出
力する請求項７に記載の半導体試験受託方法。
【請求項９】委託者から送られる実行命令には受託者
側のオペレーターに対する作業指示も含むことができる
ようにした請求項１から８のいずれかに記載の半導体試
験受託方法。
【請求項１０】前記実行命令には画像データー及び音
声データーの少なくとも一方も含めた請求項９に記載の
半導体試験受託方法。
【請求項１１】半導体試験受託者が委託者からの委託
を受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して受
託半導体装置の試験を行なう半導体試験受託システムに
おいて、前記半導体試験装置は委託者の端末から受けた実行命令
に従って半導体試験を実行するオペレーティングシステ
ムを備えた実行部の他に、入出力制御部を備え、その入
出力制御部を介し、通信回線を利用して委託者の端末と
接続されていることを特徴とする半導体試験受託システ
ム。
【請求項１２】前記入出力制御部は、委託者の端末装
置から送られてきた実行命令を前記実行部に伝達する実
行命令入力パスと、その実行命令入力パスとは個別に動
作してこの半導体試験装置の試験結果を出力する試験結
果出力パスとを備えている請求項１１に記載の半導体試
験受託システム。
【請求項１３】前記実行命令入力パスは、委託者の端
末から受けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール
部と、その入力命令スプール部に記憶された実行命令を
前記実行部に送る入力命令制御部とを備えている請求項
１２に記載の半導体試験受託システム。
【請求項１４】前記入出力制御部には複数の委託者の
端末装置が接続されるようになっており、前記入力命令スプール部はそれら複数の委託者の端末装
置から送られてきた実行命令をすべて記憶するように構
成され、前記入力命令制御部は前記入力命令スプール部に記憶さ
れている実行命令をこの入出力制御部が受け入れた順に
前記実行部に送るように構成されている請求項１３に記
載の半導体試験受託システム。
【請求項１５】委託者側の端末装置は前記入力命令ス
プール部に記憶されたその端末装置からの実行命令を確
認することができ、かつ取り消すこともできるようにな
っている請求項１３又は１４に記載の半導体試験受託シ
ステム。
【請求項１６】委託者側の端末装置は前記半導体試験
装置における試験を擬似的に実行できる擬似動作環境を
構築するオペレーティングシステムを備えた仮想端末装
置である請求項１１から１５のいずれかに記載の半導体
試験受託システム。
【請求項１７】前記仮想端末装置は前記半導体試験装
置から送られてきた試験結果データーを表示するため
に、前記半導体試験装置に接続された受託者側の端末装
置と同じ表示画面を備えている請求項１６に記載の半導
体試験受託システム。
【請求項１８】前記試験結果出力パスは、この半導体
試験装置による試験結果データーの出力先を選別する出
力先選別部を備えている請求項１２から１７のいずれか
に記載の半導体試験受託システム。
【請求項１９】前記出力先選別部はこの半導体試験装
置に接続されている受託者側の記憶装置にいったん記憶
された前記試験結果データーを委託者側の端末装置に転
送するように選別することもできるものである請求項１
８に記載の半導体試験受託システム。
【請求項２０】前記試験結果出力パスは、試験結果デ
ーターを委託者側の端末装置に出力する際にデーター圧
縮する出力データー圧縮部を備えており、委託者側の端
末装置は圧縮された試験結果データーを解凍する手段を
備えている請求項１２から１９のいずれかに記載の半導
体試験受託システム。