JP2002288889A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度送りを実現できる光ディスク原盤露光
装置を提供する。 【解決手段】 光ディスク原盤２にレーザ光４１を照射
し情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、モ
ータ４のシャフト７の回転方向の角度位置を検出し角度
位置信号を出力する検出器５と、スライダ１６の位置を
検出し位置検出信号を出力する検出器４０と、スライダ
１６の移動方向に沿った原盤２の変位を検出し変位検出
信号を出力する検出器６を設ける。また角度位置信号と
変位検出信号に基づき、シャフト７の基準位置からの現
在角度位置における非同期回転振れを算出する非同期回
転振れ算出手段(1)２７と、角度位置信号、及びスライ
ダ１６の移動目標値信号と位置検出信号との差分信号に
基づいて、スライダ１６の基準位置からの現在角度位置
における非同期送りずれを算出する非同期送りずれ算出
手段２４と、非同期回転振れ算出手段(1)２７と非同期
送りずれ算出手段２４との出力信号の和信号に基づいて
偏向器１３を制御し照射スポット位置を調整する手段を
設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤露
光装置に係り、特に隣接するトラックの溝間隔を高精度
に露光することのできる光ディスク原盤露光装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に光ディスク原盤露光装置（マスタ
リング装置）は、特開平１０−２９３９２８号公報に示
されているように、移動ステージに搭載されたターンテ
ーブルと、ターンテーブル上の光ディスク原盤に光を照
射するヘッドとが設けられている。装置本体には移動手
段が設けられ、移動ステージは移動手段によってターン
テーブルの直径方向に移動する。また、装置本体には微
小移動手段が設けられ、ヘッドの位置を微小移動手段に
よって補正することができる。

【０００３】また、特開平１０−２６１２４５号公報に
は、レーザ干渉計またはレーザホロスケールを搭載し、
送りスライダの微量な送りムラを検出し、それを音響光
学光偏向器による記録レーザの光偏向で送り、スライダ
の微量な送りムラを光学的に補正することが、また、送
りスライダと記録ヘッドをピエゾアクチュエータを介し
一体化し、ピエゾアクチュエータの伸縮により、記録ヘ
ッドを動作させることで送りスライダの微量な送りムラ
を補正することがそれぞれ提案されている。

【０００４】さらに、特開平８−３２９４７６号公報に
は、スライダに第１微動テーブルを設けるとともに、対
物レンズを有する第２微動テーブルを第１微動テーブル
に接続し、また第１微動テーブルの位置を微調整する圧
電素子を第２微動テーブルに設けて、スライダの振動と
同じ距離だけ、第１微動テーブルを振動方向と逆向きに
移動させることにより、スライダの振動を打ち消すよう
にした光ディスク原盤露光装置が提案されている。

【０００５】なお、特開平９−１９０６５１号公報に
は、ターンテーブル非同期振れ（回転角度に無関係な振
れ）のトラックピッチへの影響をなくす方法が提案され
ている。この公報では、ターンテーブルの半径方向に非
接触にて変位センサーを設けて、ターンテーブルの原点
パルス信号をトリガとして、予めターンテーブルの各回
転位置での振れ量を計測し、各回転角位置ごとの振れ量
を平均した平均値をメモリに蓄積しておき、露光時には
測定した振れ量から各回転角の位置に対応する平均値を
減算し非同期振れ量のみを出力し、この出力値で露光光
の照射位置を調整手段で補正していくように構成されて
いる。この場合、光ディスク原盤露光装置ではターンテ
ーブルの各回転角の位置に無関係な非同期振れがリアル
タイムに出力できることから、露光中でもトラックピッ
チの精度に重大な悪影響を及ぼす非同期振れを作業中に
直ちに把握でき露光作業を中止することができ、また露
光光の照射位置を補正することで、ターンテーブルの非
同期振れによる影響を受けない送り機構としている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術のうち、特開平１０−２６１２４５号公報では、
レーザ干渉計またはレーザホロスケールは送りスライダ
の微量な送りムラを検出するために設けられているが、
光ディスク原盤上に形成される記録溝のピッチ精度は、
ターンテーブルと移動台の相対的な振れにて決定される
ため、送りスライダのみの検出量から送り補正を行って
も補正精度が悪く露光品質上好ましくない。

【０００７】また、特開平８−３２９４７６号公報で
は、スライダの振動と同じ距離だけ、第１微動テーブル
を振動方向と逆向きに移動させることにより、スライダ
の振動を打ち消す構成としているが、これも上記公報の
場合と同様に送りスライダーのみの検出量から送り補正
を行っているので補正精度が悪く露光品質上好ましくな
い。

【０００８】さらに、特開平１０−２９３９２８号公報
では、装置本体に固着されたレーザ測長計のレーザ光が
微小移動手段を介して装置本体に固定されて光を照射す
るヘッド側面と、ディスク原盤を支持するターンテーブ
ルが搭載されている移動ステージのターンテーブル側面
に照射して、ヘッドの装置本体に対する位置と、ターン
テーブルの装置本体に対する位置との差分に基づいて微
小移動手段により、この移動ステージの移動位置に対し
てこのヘッドの位置が補正されるように構成している。
通常、ディスク原盤は、外径に対して数十μｍ程度の偏
心、言い換えれば、数十μｍ程度の偏重心にてターンテ
ーブル上に搭載される。そのため、回転時に働く遠心力
により、回転部が振れ回り振動を発生するのでターンテ
ーブル側面のレーザ照射位置と反射角度が回転角ととも
に変わってしまうため、正確な送り方向の差分が計測で
きず、その信号に基づいて微小移動手段を動作させてし
まうと正確な補正動作ができず、逆にピッチ変動を発生
し露光品質上好ましくない。

【０００９】また、上記３つの公報では、送り方向の補
正機構として光学ヘッド先端もしくは光学ヘッド筐体に
ピエゾアクチュエータを取り付ける構成のため、構造が
複雑で組立調整が困難であり、また、機械剛性が低下
し、送り系のサーボゲインを高く設定できないので制御
上好ましくない。

【００１０】さらに、上記３つの公報では、送り方向の
補正機構しか設けられていない。そのため、回転変動に
伴って発生する、送り方向と垂直な方向の補正ができ
ず、露光品質上好ましくない。

【００１１】本発明は、高精度送りを実現し、露光品質
の向上を図ることのできる光ディスク原盤露光装置を提
供することを課題とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、光ディスク原盤を搭載し該
光ディスク原盤を回転駆動する回転駆動手段と、情報記
録信号に基づいて前記光ディスク原盤に記録ビームを照
射する照射手段と、前記記録ビームの前記光ディスク原
盤上での照射スポット位置を制御する照射位置制御手段
と、前記回転駆動手段が有するシャフトの回転方向の角
度位置を検出し角度位置信号を出力する角度位置検出手
段と、前記角度位置検出信号に基づいて前記回転駆動手
段の動作を制御する回転制御手段と、前記照射手段もし
くは前記回転駆動手段を搭載し前記光ディスク原盤の半
径方向に移動自在な移動手段と、前記移動手段の位置を
検出し位置検出信号を出力する位置検出手段と、前記位
置検出信号に基づいて前記移動手段の動作を制御する移
動制御手段とを備えた光ディスク原盤露光装置におい
て、前記移動手段の移動方向に沿った、前記光ディスク
原盤の変位を検出し変位検出信号を出力する変位検出手
段を設け、前記照射位置制御手段は、前記角度位置信号
および前記変位検出信号に基づいて、前記シャフトの基
準位置からの現在角度位置における非同期回転振れを算
出する非同期回転振れ算出手段と、前記角度位置信号、
および前記移動手段の移動目標値信号と前記位置検出信
号との差分信号に基づいて、前記移動手段の基準位置か
らの現在角度位置における非同期送りずれを算出する非
同期送りずれ算出手段と、前記非同期回転振れ算出手段
の出力信号と前記非同期送りずれ算出手段の出力信号と
の和信号に基づいて、前記照射スポット位置を調整する
照射位置調整手段とを備えたことを特徴としている。

【００１３】請求項１の構成によれば、移動手段と回転
駆動手段の相対的な非同期位置変動が記録ビームの照射
スポット位置を調節することによって補正可能となり、
移動手段による送り精度が向上し、さらには露光品質も
向上する。

【００１４】請求項２に係る発明は、請求項１におい
て、前記非同期送りずれ算出手段は、所定周期分サンプ
リングして取り込んだ移動目標値信号と前記位置検出信
号との差分信号を平均して算出した１周期分の角度位置
に対応する差分を前記移動手段の基準差分とする基準差
分算出手段と、現在差分から前記基準差分を減算して現
在角度位置における非同期送りずれを算出する減算手段
とを備えたことを特徴としている。

【００１５】また、請求項３に係る発明は、請求項１に
おいて、前記非同期回転振れ算出手段は、所定周期分サ
ンプリングして取り込んだ前記変位検出信号を平均して
算出した１周期分の角度位置に対応する変位を前記シャ
フトの基準位置とする回転基準位置算出手段と、現在変
位から前記基準位置を減算して現在角度位置における非
同期回転ずれを算出する減算手段と、を備えたことを特
徴としている。

【００１６】請求項２または請求項３の構成によれば、
非同期送りずれまたは非同期回転振れを簡単な構成で算
出できるので、検出装置を安価に実現できる。

【００１７】請求項４に係る発明は、請求項１におい
て、前記照射手段は、光ビームを記録用ビームとする光
ビーム照射手段からなり、前記照射位置調整手段は、前
記非同期回転振れ算出手段の出力信号と前記非同期送り
ずれ算出手段の出力信号との和信号に基づいて、光ビー
ムの照射方向を前記光ディスク原盤の半径方向に偏向す
る偏向器を有することを特徴としている。

【００１８】請求項４の構成によれば、照射位置調節手
段が機械系の剛性に関与しないので、機械剛性が向上す
る。その結果、送り系のサーボゲインを高く設定でき、
送り精度が向上するとともに、露光品質も向上する。

【００１９】請求項５に係る発明は、請求項１におい
て、前記照射手段は、電子ビームを記録用ビームとする
電子ビーム照射手段からなり、前記照射位置調整手段
は、前記非同期回転振れ算出手段の出力信号と前記非同
期送りずれ算出手段の出力信号との和信号に基づいて、
電子ビームの照射方向を前記光ディスク原盤の半径方向
に偏向する偏向電極を有することを特徴としている。

【００２０】請求項５の構成によれば、請求項４の場合
と同様に、送り精度が向上するとともに、露光品質も向
上する。

【００２１】請求項６に係る発明は、光ディスク原盤を
搭載し該光ディスク原盤を回転駆動する回転駆動手段
と、情報記録信号に基づいて前記光ディスク原盤に記録
ビームを照射する照射手段と、前記記録ビームの前記光
ディスク原盤上での照射スポット位置を制御する照射位
置制御手段と、前記回転駆動手段が有するシャフトの回
転方向の角度位置を検出し角度位置信号を出力する角度
位置検出手段と、前記角度位置検出信号に基づいて前記
回転駆動手段の動作を制御する回転制御手段と、前記照
射手段もしくは前記回転駆動手段を搭載し前記光ディス
ク原盤の半径方向に移動自在な移動手段と、前記移動手
段の位置を検出し位置検出信号を出力する位置検出手段
と、前記位置検出信号に基づいて前記移動手段の動作を
制御する移動制御手段とを備えた光ディスク原盤露光装
置において、前記移動手段の移動方向に沿った、前記光
ディスク原盤の変位を検出し第１変位検出信号を出力す
る第１の変位検出手段と、前記移動手段の移動方向と直
交する方向に沿った、前記光ディスク原盤の変位を検出
し第２変位検出信号を出力する第２の変位検出手段とを
設け、前記照射位置制御手段は、前記角度位置信号およ
び前記第１変位検出信号に基づいて、前記シャフトの基
準位置からの現在角度位置における、前記移動手段の移
動方向の非同期回転振れを算出する第１の非同期回転振
れ算出手段と、前記角度位置信号、および前記移動手段
の移動目標値信号と前記位置検出信号との差分信号に基
づいて、前記移動手段の基準位置からの現在角度位置に
おける非同期送りずれを算出する非同期送りずれ算出手
段と、前記角度位置信号および前記第２変位検出信号に
基づいて、前記シャフトの基準位置からの現在角度位置
における、前記移動手段の移動方向と直交する方向の非
同期回転振れを算出する第２の非同期回転振れ算出手段
と、前記第１の非同期回転振れ算出手段の出力信号と前
記非同期送りずれ算出手段の出力信号との和信号に基づ
いて、前記移動手段の移動方向に沿った方向の照射スポ
ット位置を調整するとともに、前記第２の非同期回転振
れ算出手段の出力信号に基づいて、前記移動手段の移動
方向と直交する方向の照射スポット位置を調整する照射
位置調整手段とを備えたことを特徴としている。

【００２２】請求項６の構成によれば、移動手段の移動
方向に直交する方向の非同期変動に対しても補正が可能
となり、送り精度と露光品質をより一層向上させること
ができる。

【００２３】請求項７に係る発明は、請求項６におい
て、前記照射手段は、光ビームを記録用ビームとする光
ビーム照射手段からなり、前記照射位置調整手段は、前
記第２の非同期回転振れ算出手段の出力信号に基づい
て、光ビームの照射方向を前記移動手段の移動方向と直
交する方向に偏向する偏向器を有することを特徴として
いる。

【００２４】また、請求項８に係る発明は、請求項６に
おいて、前記照射手段は、電子ビームを記録用ビームと
する電子ビーム照射手段からなり、前記照射位置調整手
段は、前記第２の非同期回転振れ算出手段の出力信号に
基づいて、電子ビームの照射方向を前記移動手段の移動
方向と直交する方向に偏向する偏向電極を有することを
特徴としている。

【００２５】請求項７または請求項８の構成によれば、
照射位置調節手段が機械系の剛性に関与しないので、機
械剛性が向上し、送り系のサーボゲインを高く設定で
き、送り精度が向上するとともに、露光品質も向上す
る。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従って説明する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１による
光ディスク原盤露光装置の全体構成を示しており、
（ａ）は上面図、（ｂ）は一部を断面で示した側面図で
ある。基台２０は、図示していない除振機構（例えば、
空気圧によるサーボマウンタ）上に設置され、その基台
２０には、外部より供給される圧縮空気によって静圧浮
上するスライダ１６を案内するためのガイド１７が固着
されている。スライダ１６の上面には移動台１４の一端
部が固定され、その移動台１４の他端部には折り返しミ
ラー１４と集光手段１４が取り付けられている。そし
て、レーザ光源１０からのレーザ光４１は、変調器１２
および偏向器１３を経て折り返しミラー１４で反射され
た後、集光手段１５に導かれて集光される。ここで、集
光手段１５は、例えば、高開口数（ＮＡ≧０.９）を有
する対物レンズを搭載したボイスコイルアクチュエータ
で構成されている。さらに、スライダ１６の下部には、
光ディスク原盤２の半径方向の位置を検出する位置検出
手段４０が設けられている。この位置検出手段４０は、
集光手段１５の送り方向の位置を計測する受光部１８と
スケール１９から構成された光学式リニアエンコーダで
ある。本実施の形態では、スケール１９がスライダ１６
に固定され、受光部１８が基台２０に固定されている
が、受光部１８をスライダ１６に固定し、スケール１９
を基台２０に固定してもよい。

【００２７】基台２０には集光手段１５に略対向する位
置に穴部２０Ａが形成され、この穴部２０Ａには光ディ
スク原盤２を吸着固定可能な回転駆動手段４２が固定さ
れている。回転駆動手段４２は、光ディスク原盤２が載
置されるターンテーブル１と、ターンテーブル１を支持
し、外部より供給される圧縮空気によりスラスト方向お
よびラジアル方向に静圧浮上するとともに回転自在なエ
アスピンドル３と、エアスピンドル３を回転駆動するＡ
Ｃ同期モータ４と、回転角度を検出する光学式ロータリ
ーエンコーダ５とから構成されている。

【００２８】位置検出手段４０からの位置検出信号３５
は移動制御回路８に取り込まれ、移動制御回路８からは
動作出力３２がスライダ１６の図示していない駆動部
（例えばＤＣリニアモータ等）に出力される。また、移
動制御回路８から出力される送り差分信号（送り指令信
号と位置検出信号との差）３８は後述する照射位置制御
手段４３に入力されている。さらに、光学式ロータリー
エンコーダ５からの検出信号３７は、一般的に一周を数
千等分割したＡ相、Ｂ相パルスと、一周に１回発生する
Ｚ相パルスとから構成され、その検出信号３７は回転制
御回路９に取り込まれる。そして回転制御回路９は制御
信号３８をＡＣ同期モータ４に出力する。また、回転制
御回路９に取り込まれた光学式ロータリーエンコーダ５
のＺ相出力３６は、送り動作と回転動作の協調をはかる
ために移動制御回路８に入力されている。さらに、移動
制御回路８および回転制御回路９には、装置全体を制御
する全体制御回路２１からの制御信号３４，３５が入力
されている。また、全体制御回路２１からの制御信号４
５は記録信号生成器４４に取り込まれ、記録信号生成器
４４は変調器１２に対して制御信号を出力する。

【００２９】次に、照射位置補正する機構について説明
する。ターンテーブル１に載置された光ディスク原盤２
の外周面に対向して変位検出手段(1)６が設けられてい
る。この変位検出手段(1)６は、光ディスク原盤２の送
り方向（スライダ１６の移動方向）の回転部振れ（回転
振動）を計測するためのもので、例えば静電容量型の非
接触変位センサからなり、取付板３９を介して基台２０
に固定されている。変位検出手段(1)６からの検出信号
３６は増幅器(1)２２に取り込まれ、さらにローパスフ
ィルタであるＬＰＦ(1)２３を介して非同期回転振れ算
出手段(1)２７に入力された後、非同期回転振れ算出手
段(1)２７から出力信号３０として加算器２８に出力さ
れる。

【００３０】また、移動制御手段８からの送り差分信号
３８は増幅器(2)２５に取り込まれ、さらにローパスフ
ィルタであるＬＰＦ(2)２６を介して非同期送りずれ算
出手段２４に入力された後、非同期送りずれ算出手段２
４から出力信号３１として加算器２８に出力される。出
力信号３０，３１は加算器２８で加算され、出力信号３
２として照射位置調整回路（２９）に出力される。そし
て、照射位置調整回路２９からの出力３３は、図の上下
方向にレーザ光４１を偏向させるための偏光器１３に入
力される。

【００３１】次に、非同期送りずれ算出手段２４および
非同期回転振れ算出手段(1)２７について、図２および
図３を用いて説明する。非同期送りずれ算出手段２４
は、ＣＰＵ(1)５２ａ、カウンタ(1)５３ａ、Ａ／Ｄ変換
器(1)５４ａ、ＲＯＭ(1)５５ａ、ＲＡＭ(1)５６ａ、Ｄ
／Ａ変換器(1)５７ａから構成されている。ＣＰＵ(1)５
２ａには、光学式ロータリーエンコーダ５のＡ相パルス
信号が入力され、またカウンタ(1)５３ａには、Ａ相パ
ルス信号と一周に１回発生するＺ相パルス信号が入力さ
れている。ここで、Ｚ相パルス信号はカウンタ(1)５３
ａのリセット信号として用いられている。さらにＡ／Ｄ
変換器(1)５４ａにはＬＰＦ(2)２６の出力が入力され、
またＤ／Ａ変換器(1)５７ａの出力信号は加算器２８に
入力されている。

【００３２】非同期送りずれの算出は、まず、図３
（ａ）のフローチャートに示すように、所定周期分（Ｎ
個）の送り差分信号を取込した後、平均値を計算してそ
の送り基準差分波形をＲＡＭ(1)５６ａに記憶する。次
に、光ディスク原盤２への記録開始と同時に図３（ｂ）
のフローチャートに示すように現在角度θを取り込み、
その時の送り差分Ｘｆｉ（θ）の値からＲＡＭ(1)５６
ａから読み込んだ送り基準差分波形を減算して算出す
る。

【００３３】同様に、非同期回転振れ算出手段(1)２７
は、ＣＰＵ(2)５２ｂ、カウンタ(2)５３ｂ、Ａ／Ｄ変換
器(2)５４ｂ、ＲＯＭ(2)５５ｂ、ＲＡＭ(2)５６ｂ、Ｄ
／Ａ変換器(2)５７ｂから構成されている。ＣＰＵ(2)５
２ｂには、光学式ロータリーエンコーダ５のＡ相パルス
信号が入力され、またカウンタ(2)５３ｂには、Ａ相パ
ルス信号と一周に１回発生するＺ相パルス信号が入力さ
れている。ここで、Ｚ相パルス信号は、上記同様にカウ
ンタ(2)５３ｂのリセット信号として用いられている。
さらにＡ／Ｄ変換器(2)５４ｂにはＬＰＦ(1)２３の光デ
ィスク原盤２変位出力が入力され、またＤ／Ａ変換器
(2)５７ｂの出力信号は加算器２８に入力されている。

【００３４】非同期回転振れの算出は、まず、図４
（ａ）のフローチャートに示すように、所定周期分（Ｎ
個）の変位信号を取込した後、平均値を計算してその回
転基準位置波形をＲＡＭ(2)５６ｂに記憶する。次に、
光ディスク原盤２への記録開始と同時に図４（ｂ）のフ
ローチャートに示すように現在角度θを取り込み、その
時の変位信号Ｘｒｉ（θ）の値からＲＡＭ(2)５６ｂか
ら読み込んだ回転基準波形を減算して算出する。

【００３５】非同期送りずれ算出結果は、Ｄ／Ａ変換器
(1)５７ａに、また非同期回転振れ算出結果はＤ／Ａ変
換器(2)５７ｂに逐次送出され、Ｄ／Ａ変換器(1)５７
ａ、Ｄ／Ａ変換器(2)５７ｂの出力信号は加算器２８に
送出され、和信号を生成して照射位置調整回路２９に送
出される。照射位置調整回路２９はこの信号に基づいて
偏光器１３を駆動して照射位置を補正する。

【００３６】以上述べた信号の流れを図５、図６、図７
に示す。ここで、送り基準差分信号と回転基準位置信号
は記録開始前に予め計測する必要があることは言うまで
もない。

【００３７】本実施の形態によれば、隣接トラックピッ
チの変動原因であるスライダ１６と回転駆動手段４２の
相対的な非同期位置変動を、レーザ光４１の照射位置を
調節することによって補正可能となる。 （実施の形態２）次に、実施の形態２について説明す
る。図８は、本発明の実施の形態２による光ディスク原
盤露光装置の全体構成を示した図である。なお、実施の
形態１と同じ構成の部分には同じ符号を記し、その詳細
な説明は省略する。

【００３８】基台２０の上には真空チャンバ７２が設け
られ、この真空チャンバ７２の上部には電子ビーム鏡筒
７３が取り付けられている。また基台２０上には、真空
チャンバ７２内で電子ビーム鏡筒７３に対向する位置
に、ステージ可動体１６Ａが設けられ、このステージ可
動体１６Ａの上面には回転駆動手段４２が設置されてい
る。ステージ可動体１６Ａは図の左右方向に移動自在
で、基台２０上に固定されたガイド１７によって案内さ
れる。

【００３９】また、基台２０上には真空チャンバ７２の
外部に、取付板７５に固定された送りモータ４６が設け
られている。送りモータ４６としては、ステッピングモ
ータやＤＣモータ等がよい。送りモータ４６には送りネ
ジ７４が連結され、この送りネジ７４はステージ可動体
１６Ａに形成されたネジ穴に螺合している。これによ
り、送りネジを送りモータ４６で回転駆動すると、ステ
ージ可動体１６Ａを図の左右方向に移動させることがで
きる。

【００４０】電子ビーム鏡筒７３の内部には、電子銃５
１、集束レンズ５０、ブランキング電極４９、偏向電極
４８、対物レンズ４７が設けられている。そして、ブラ
ンキング電極４９に記録信号生成器４４からの出力信号
が入力されるように構成されている。また本実施の形態
では、照射位置制御手段４３の出力信号が偏向電極４８
に入力されており、実施の形態１と同様に隣接トラック
ピッチの変動原因である移動手段１６と回転駆動手段４
２の相対的な非同期位置変動を記録ビームである電子ビ
ーム４１Ａの照射位置を調節することによって補正可能
となる。 （実施の形態３）次に、実施の形態３について説明す
る。図９は、本発明の実施の形態３による光ディスク原
盤露光装置の全体構成を示した図である。なお、実施の
形態１・２と同じ構成の部分には同じ符号を記し、その
詳細な説明は省略する。

【００４１】本実施の形態では、実施の形態１に比べ
て、光ディスク原盤２の送り方向と直交する側面に変位
検出手段(2)６２が設けられている。また、増幅器(3)７
６、ＬＰＦ(3)７７、および非同期回転振れ算出手段(2)
６３が設けられている。そして、変位検出手段(2)６２
からの検出信号７０は増幅器(3)に取り込まれ、ＬＰＦ
(3)７７を介して非同期回転振れ算出手段(2)６３に入力
される。非同期回転振れ算出手段(2)６３からの出力信
号７８は照射位置調整回路６６に出力され、照射位置調
整回路６６は、その出力信号７９を記録用ビーム４１を
紙面に対して垂直方向に偏向可能な偏向器(2)６７に出
力する。

【００４２】本実施の形態によれば、実施の形態１の補
正動作に加えて、光ディスク原盤２の送り方向と直交す
る方向の非同期回転振れに対して照射位置の補正ができ
る。ここで用いている非同期回転振れ算出手段(2)６３
の構成については、非同期回転振れ算出手段(1)２７の
構成と同様である。 （実施の形態４）次に、実施の形態４について説明す
る。図１０は、本発明の実施の形態４による光ディスク
原盤露光装置の全体構成を示した図である。なお、実施
の形態１・２と同じ構成の部分には同じ符号を記し、そ
の詳細な説明は省略する。

【００４３】本実施の形態では、実施の形態２に比べ
て、光ディスク原盤２の送り方向と直交する側面に変位
検出手段(2)６２を設けてその出力信号７０を増幅器(3)
７６、ＬＰＦ(3)７７を介して、非同期回転振れ算出手
段(2)６３に入力し、その出力信号を照射位置調整回路
６６に送出して、その出力信号を電子ビーム４１Ａを紙
面に対して垂直方向に偏向可能な偏向電極(2)７１に接
続している。この構成では、実施の形態２の補正動作に
加えて、光ディスク原盤２の送り方向と直交する方向の
非同期回転振れに対して照射位置の補正ができる。ここ
で用いている非同期回転振れ算出手段(2)６３の構成に
ついては、非同期回転振れ算出手段(1)２７の構成と同
様である。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明によれば、隣接トラックピッチの変動原因である移動
手段と回転駆動手段の相対的な非同期位置変動を記録ビ
ームの照射位置を調節することによって補正可能とな
り、送り精度の向上と露光品質の向上を図ることができ
る。

【００４５】請求項２または請求項３に係る発明によれ
ば、非同期送りずれ及び非同期回転振れを簡単な構成で
算出できるので、検出装置を安価に実現できる。

【００４６】請求項４に係る発明によれば、照射位置調
節手段が機械系の剛性に関与しないので、機械剛性が向
上し、送り系のサーボゲインを高く設定でき、送り精度
の向上と露光品質の向上を図ることができる。

【００４７】請求項５に係る発明によれば、請求項４の
場合と同様、送り精度の向上と露光品質の向上を図るこ
とができる。

【００４８】請求項６に係る発明によれば、光ディスク
原盤の送り方向と直交する方向の非同期変動に対しても
補正可能となり、送り精度と露光品質のより一層の向上
を図ることができる。

【００４９】請求項７または請求項８に係る発明によれ
ば、照射位置調節手段が機械系の剛性に関与しないの
で、機械剛性が向上し、送り系のサーボゲインを高く設
定でき、送り精度の向上と露光品質の向上を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１による光ディスク原盤露
光装置の全体構成を示しており、（ａ）は上面図、
（ｂ）は一部を断面で示した側面図である。

【図２】非同期送りずれ算出手段と非同期回転振れ算出
手段の構成図である。

【図３】非同期送りずれ算出手段の動作手順を示したフ
ローチャートである。

【図４】非同期回転振れ算出手段の動作手順を示したフ
ローチャートである。

【図５】非同期送りずれ波形の算出方法を説明してお
り、（ａ）は送り差分信号取込波形を、（ｂ）は波形平
均化を、（ｃ）は基準差分波形を、（ｄ）は非同期送り
ずれ波形をそれぞれ示した図である。

【図６】非同期回転振れ波形の算出方法を説明してお
り、（ａ）は回転変位信号取込波形を、（ｂ）は波形平
均化を、（ｃ）は回転基準位置波形を、（ｄ）は非同期
回転振れ波形をそれぞれ示した図である。

【図７】非同期送りずれ波形と非同期回転振れ波形の加
算波形を示した図である。

【図８】本発明の実施の形態２による光ディスク原盤露
光装置の全体構成図である。

【図９】本発明の実施の形態３による光ディスク原盤露
光装置の全体構成図である。

【図１０】本発明の実施の形態４による光ディスク原盤
露光装置の全体構成図である。

【符号の説明】

２ 光ディスク原盤 ５ 光学式ロータリーエンコーダ（角度位置検出手段） ６ 変位検出手段(1) ７ シャフト ８ 移動制御回路（移動制御手段） ９ 回転制御回路（回転制御手段） １０ レーザ光源 １１ 照射手段 １３ 偏向器(1)（照射位置調整手段の一部） １６ スライダ（移動手段） １６Ａ ステージ可動体 ２４ 非同期送りずれ算出手段 ２７ 非同期回転振れ算出手段(1) ２９ 照射位置調整回路（照射位置調整手段の一部） ４０ 光学式リニアエンコーダ（位置検出手段） ４１ レーザ光（記録ビーム） ４１Ａ 電子ビーム（記録ビーム） ４２ 回転駆動手段 ４３ 照射位置制御手段 ４８ 偏向電極 ５８ 基準差分算出手段 ５９ 減算手段(1) ６０ 回転基準位置算出手段 ６１ 減算手段(2) ６２ 変位検出手段(2) ６３ 非同期回転振れ算出手段(2) ６６ 照射位置調整回路（照射位置調整手段の一部） ６７ 偏向器(2)（照射位置調整手段の一部） ７２ 真空チャンバ ７３ 電子ビーム鏡筒

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスク原盤を搭載し該光ディスク原
   盤を回転駆動する回転駆動手段と、情報記録信号に基づ
   いて前記光ディスク原盤に記録ビームを照射する照射手
   段と、前記記録ビームの前記光ディスク原盤上での照射
   スポット位置を制御する照射位置制御手段と、前記回転
   駆動手段が有するシャフトの回転方向の角度位置を検出
   し角度位置信号を出力する角度位置検出手段と、前記角
   度位置検出信号に基づいて前記回転駆動手段の動作を制
   御する回転制御手段と、前記照射手段もしくは前記回転
   駆動手段を搭載し前記光ディスク原盤の半径方向に移動
   自在な移動手段と、前記移動手段の位置を検出し位置検
   出信号を出力する位置検出手段と、前記位置検出信号に
   基づいて前記移動手段の動作を制御する移動制御手段と
   を備えた光ディスク原盤露光装置において、 前記移動手段の移動方向に沿った、前記光ディスク原盤
   の変位を検出し変位検出信号を出力する変位検出手段を
   設け、 前記照射位置制御手段は、 前記角度位置信号および前記変位検出信号に基づいて、
   前記シャフトの基準位置からの現在角度位置における非
   同期回転振れを算出する非同期回転振れ算出手段と、 前記角度位置信号、および前記移動手段の移動目標値信
   号と前記位置検出信号との差分信号に基づいて、前記移
   動手段の基準位置からの現在角度位置における非同期送
   りずれを算出する非同期送りずれ算出手段と、 前記非同期回転振れ算出手段の出力信号と前記非同期送
   りずれ算出手段の出力信号との和信号に基づいて、前記
   照射スポット位置を調整する照射位置調整手段と、を備
   えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
   置において、 前記非同期送りずれ算出手段は、所定周期分サンプリン
   グして取り込んだ移動目標値信号と前記位置検出信号と
   の差分信号を平均して算出した１周期分の角度位置に対
   応する差分を前記移動手段の基準差分とする基準差分算
   出手段と、現在差分から前記基準差分を減算して現在角
   度位置における非同期送りずれを算出する減算手段と、
   を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
   置において、 前記非同期回転振れ算出手段は、所定周期分サンプリン
   グして取り込んだ前記変位検出信号を平均して算出した
   １周期分の角度位置に対応する変位を前記シャフトの基
   準位置とする回転基準位置算出手段と、現在変位から前
   記基準位置を減算して現在角度位置における非同期回転
   ずれを算出する減算手段と、を備えたことを特徴とする
   光ディスク原盤露光装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
   置において、 前記照射手段は、光ビームを記録用ビームとする光ビー
   ム照射手段からなり、前記照射位置調整手段は、前記非
   同期回転振れ算出手段の出力信号と前記非同期送りずれ
   算出手段の出力信号との和信号に基づいて、光ビームの
   照射方向を前記光ディスク原盤の半径方向に偏向する偏
   向器を有することを特徴とする光ディスク原盤記録装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
   置において、 前記照射手段は、電子ビームを記録用ビームとする電子
   ビーム照射手段からなり、前記照射位置調整手段は、前
   記非同期回転振れ算出手段の出力信号と前記非同期送り
   ずれ算出手段の出力信号との和信号に基づいて、電子ビ
   ームの照射方向を前記光ディスク原盤の半径方向に偏向
   する偏向電極を有することを特徴とする光ディスク原盤
   記録装置。
6. 【請求項６】 光ディスク原盤を搭載し該光ディスク原
   盤を回転駆動する回転駆動手段と、情報記録信号に基づ
   いて前記光ディスク原盤に記録ビームを照射する照射手
   段と、前記記録ビームの前記光ディスク原盤上での照射
   スポット位置を制御する照射位置制御手段と、前記回転
   駆動手段が有するシャフトの回転方向の角度位置を検出
   し角度位置信号を出力する角度位置検出手段と、前記角
   度位置検出信号に基づいて前記回転駆動手段の動作を制
   御する回転制御手段と、前記照射手段もしくは前記回転
   駆動手段を搭載し前記光ディスク原盤の半径方向に移動
   自在な移動手段と、前記移動手段の位置を検出し位置検
   出信号を出力する位置検出手段と、前記位置検出信号に
   基づいて前記移動手段の動作を制御する移動制御手段と
   を備えた光ディスク原盤露光装置において、 前記移動手段の移動方向に沿った、前記光ディスク原盤
   の変位を検出し第１変位検出信号を出力する第１の変位
   検出手段と、前記移動手段の移動方向と直交する方向に
   沿った、前記光ディスク原盤の変位を検出し第２変位検
   出信号を出力する第２の変位検出手段とを設け、 前記照射位置制御手段は、 前記角度位置信号および前記第１変位検出信号に基づい
   て、前記シャフトの基準位置からの現在角度位置におけ
   る、前記移動手段の移動方向の非同期回転振れを算出す
   る第１の非同期回転振れ算出手段と、 前記角度位置信号、および前記移動手段の移動目標値信
   号と前記位置検出信号との差分信号に基づいて、前記移
   動手段の基準位置からの現在角度位置における非同期送
   りずれを算出する非同期送りずれ算出手段と、 前記角度位置信号および前記第２変位検出信号に基づい
   て、前記シャフトの基準位置からの現在角度位置におけ
   る、前記移動手段の移動方向と直交する方向の非同期回
   転振れを算出する第２の非同期回転振れ算出手段と、 前記第１の非同期回転振れ算出手段の出力信号と前記非
   同期送りずれ算出手段の出力信号との和信号に基づい
   て、前記移動手段の移動方向に沿った方向の照射スポッ
   ト位置を調整するとともに、前記第２の非同期回転振れ
   算出手段の出力信号に基づいて、前記移動手段の移動方
   向と直交する方向の照射スポット位置を調整する照射位
   置調整手段と、を備えたことを特徴とする光ディスク原
   盤露光装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の光ディスク原盤記録装
   置において、 前記照射手段は、光ビームを記録用ビームとする光ビー
   ム照射手段からなり、前記照射位置調整手段は、前記第
   ２の非同期回転振れ算出手段の出力信号に基づいて、光
   ビームの照射方向を前記移動手段の移動方向と直交する
   方向に偏向する偏向器を有することを特徴とする光ディ
   スク原盤記録装置。
8. 【請求項８】 請求項６に記載の光ディスク原盤記録装
   置において、 前記照射手段は、電子ビームを記録用ビームとする電子
   ビーム照射手段からなり、前記照射位置調整手段は、前
   記第２の非同期回転振れ算出手段の出力信号に基づい
   て、電子ビームの照射方向を前記移動手段の移動方向と
   直交する方向に偏向する偏向電極を有することを特徴と
   する光ディスク原盤記録装置。