JP2002281720A

JP2002281720A - モータ

Info

Publication number: JP2002281720A
Application number: JP2001081403A
Authority: JP
Inventors: Katsuyoshi Kawasaki; 勝義川崎; Itsuo Watanabe; 逸男渡辺; Yutaka Sasanoi; 豊笹野井
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2001-03-21
Filing date: 2001-03-21
Publication date: 2002-09-27

Abstract

(57)【要約】【課題】所要のトルクを確保しつつ、小型化したモー
タを提供する。【解決手段】固定子巻線群(22)が形成する回転磁界内
に配置されてトルクを発生する磁極(13)が外周に配置さ
れた回転子(10)の円筒部(12)の内側に、該回転子を回動
自在に支持する軸受(30a,30b)を配置することにより、
回転子の軸長を短くし、モータ(100)を小型化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、低振動、高精度回転、
及び高剛性を要求されるモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造過程においては、基板
の表面を平坦にするため、あるいは所定の厚さにする等
ために研磨装置が使用される。例えば、半導体基板とし
て使用されるウェハ表面を平坦化するために、ＣＭＰ(C
hemical Mechanical Polishing)装置が使用される。こ
のような研磨装置は、例えば、数１０ｎｍオーダーの平
坦度の非常に微細な加工を行うため、装置に使用するモ
ータには、低振動、高精度回転等が要求される。また、
ＣＭＰ装置のターンテーブルを回転駆動するモータに
は、テーブルの加重が加わるために、大きなスラスト加
重に耐えなければならないため、高剛性をも必要とされ
る。

【０００３】図６に示すモータは、このような研磨装置
（後述の図５参照）に使用可能な直流ブラシレスモータ
の例を示している。

【０００４】同図に示すように、ブラシレスモータ１０
０は、大別して、回転子１０、固定子２０、軸受部３
０、ハウジング４０、検出部５０によって構成されてい
る。なお、モータを駆動する制御系については説明を省
略する。

【０００５】回転トルク（動力）を発生する回転子１０
は、配管や配線を通すために中空となっている回転軸１
１、回転軸１１の略中央部に設けられて外周に複数の磁
石１３を配置する筒状の部材である磁石配置部１２を含
んでいる。回転界磁を形成する固定子２０は、珪素鋼板
などの薄板が積層されたコア（鉄心）２１、コア２１に
巻回して磁界を発生する巻線２２、コア２１保持するヨ
ーク２３等によって構成される。ハウジング４０は、左
側ハウジング４１、右側ハウジング４２及び右側カバー
４３等によって構成される。左右のハウジング４１及び
４２は固定子２０を挟持して保持する。また、左右のハ
ウジング４１及び４２は、磁石配置部１２の両側にそれ
ぞれ配置された軸受部（左側軸受３０ａ及び右側軸受３
０ｂ）３０を介して回転軸１１を回動自在に保持し、回
転子１０の磁極面１３とこれに対抗する固定子コア２１
の端面との間の離間距離が所定のエアギャップ長となる
ようにしている。カバー４３の内部には回転子１０の回
転位置を検出する位置検出器５０が設けられている。位
置検出器５０は、更に、回転軸１１の右側に取り付けら
れたマーカが形成された回転板５１及びマーカに対応す
るパルスを発生する検出ヘッド５２等によって構成され
る。検出ヘッド５２の出力は図示しない制御装置に供給
され、モータの回転制御に使用される。

【０００６】このように構成されるブラシレスモータ
は、例えば、後述の図５に示すように、研磨装置１００
に使用される。回転子１０の取付孔（ねじ孔）にテーブ
ル１１０がボルトで取り付けられる。また、ハウジング
４１の取付孔（ねじ孔）にフレーム１２０が取り付けら
れる。その結果、モータ１００は、制御装置から供給さ
れる駆動電流に応じてテーブル１１０を回転させる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなモータ構造では、モータ全体の構成が軸方向に
長くなる傾向がある。また、所要のトルク等を確保しよ
うとすると、径方向の大きさもそれ程小さくならない。
これは、モータを使用する装置の小型化を難しくする。

【０００８】更に、回転軸の両側を両側のハウジングの
軸受けで支持するために、巻線部で発生した熱がハウジ
ング内に閉じこめられる構造となって、熱の効果的な発
散が難しい。

【０００９】よって、本発明は、軸方向におけるサイズ
を小さくしたモータを提供することを目的とする。

【００１０】また、本発明は、熱放散を容易にしたモー
タを提供することを目的とする。

【００１１】また、本発明は、工作装置のテーブル軸を
駆動するに好適なモータを提供することを目的とする。

【００１２】更に、本発明は、半導体用化学的研磨装置
のターンテーブルを駆動するに好適なモータを提供する
ことを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のモータは、回転軸を中心として磁極を環状に配
置した磁石部を有する回転子と、上記回転子の磁石部と
対抗するように環状に形成されて、上記回転子を回動さ
せる回転磁界を発生する固定子と、上記固定子を保持す
るハウジングと、上記回転子を前記ハウジングに取付け
る軸受と、を備え、上記軸受は、その少なくとも一部
が、上記回転子の回転軸方向において同軸上で上記磁石
部の内側に位置するように配置される、特徴とする。

【００１４】かかる構成とすることによって、モータの
軸方向のサイズを短くすることが可能となり、装置のコ
ンパクト化に有利である。

【００１５】また、回転子の磁極の径方向における位置
を回転軸の長さに対して相対的に大きく設定することが
可能であるので、高トルクを得やすい。

【００１６】また、回転子の内側に軸受が入り込む構造
を採用することによって、ハウジング内の空間が増し、
放熱に有利である。

【００１７】好ましくは、上記軸受けは、一対の軸受け
によって構成され、それら軸受け同士の間隔（Ｌ１）
は、上記磁石部の上記回転軸方向における幅（Ｌ２）よ
りも狭く設定される。

【００１８】かかる構成とすることによって、回転軸の
長さを短くすることが可能となる。また、回転子軸長に
対して回転子磁極の軸方向の長さを相対的に大とするこ
とが可能となるため、発生トルクを大とすることが可能
となる。

【００１９】好ましくは、上記軸受けは、上記回転子の
回転軸を前記磁石部の片側で軸支する。

【００２０】かかる構成とすることによって、軸受部を
分解することなく、一方向から、固定子や回転磁極部分
を分離することが可能であるので、組立性やメンテナン
ス性を向上することが可能となる。

【００２１】好ましくは、上記磁石部は、上記回転軸に
取り付けられて複数の磁石を支持する磁石支持部材を含
み、この磁石支持部材は、上記回転軸方向の断面形状
が、略「Ｔ」状、略「フック」状、略「逆Ｌ」状、略
「コ」状、略「横Ｈ」状及び略「Ｊ」状のいずれかがで
ある。

【００２２】かかる構成とすることによって、磁石部の
内側に軸受部を配置することが容易となる。

【００２３】好ましくは、上記磁石支持部材は、上記回
転軸の上記軸受が設けられた側とは反対側寄りに配置さ
れる。

【００２４】かかる構成とすることによって、上記軸受
を配設する空間を大きく確保することが可能となり、そ
の分回転軸を相対的に短くすることが可能となる。

【００２５】好ましくは、上記軸受は、円錐コロ軸受で
あり、一対の円錐コロ軸受を互いの小径側が対抗するよ
うに配置される。

【００２６】かかる構成とすることによって、軸方向の
高い加重（スラスト加重）に耐えると共に、モータに加
わるモーメントにも耐えられるようにすることが可能と
なる。

【００２７】好ましくは、上記回転子の一方端側に上記
軸受けが設けられ、上記回転子の他方端側に該回転子の
回転位置を検出する回転体位置検出器が配置される。

【００２８】かかる構成とすることによって、回転体位
置検出器の組立やメンテナンスが容易となる。

【００２９】好ましくは、上記回転体位置検出器は、少
なくともその一部が上記回転子の回転軸方向において上
記磁石部の内側に位置するように配置される。

【００３０】かかる構成とすることによって、回転軸の
軸長を相対的に短くすることが可能となる。

【００３１】好ましくは、上記磁石部の磁極は、希土類
磁石によって構成される。

【００３２】かかる構成とすることによって、高い磁束
密度を確保することが可能となる。

【００３３】好ましくは、上記回転軸は、軸方向に開口
する中空軸である。

【００３４】かかる構成とすることによって、回転軸中
を配管や電気配線を通すことが可能となり、半導体のプ
ロセス装置の動力源として好都合である。

【００３５】好ましくは、上記固定子は、上記回転子の
磁石部と対抗するように環状に配置されて、上記回転子
を回動させる回転磁界を発生する複数の巻線を有する。

【００３６】かかる構成とすることによって、巻線に供
給する駆動電流を制御することによって正確に回転子を
回転させることが可能となる。

【００３７】好ましくは、上記回転軸の軸心から径方向
外側に向かって上記軸受け、上記磁石部及び上記巻線が
順次配置される。あるいは、上記回転軸の軸心から径方
向外側に向かって上記軸受け、上記巻線及び上記磁石部
が順次配置される。

【００３８】かかる構成とすることによって、モータの
回転軸方向のサイズを小型にすることが可能となる。

【００３９】好ましくは、本発明のモータは、半導体用
基板を研磨する研磨装置の動力源として使用される。

【００４０】本発明のモータは、回転軸方向のサイズが
短く小型であり、高トルクであって、高いスラスト荷重
及び高いモーメント荷重に耐え、高剛性となり振動を少
なくすることが可能であるので、精密加工を要する研磨
装置の動力源、例えば、ターンテーブルのモータとして
好適である。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００４２】図１は、本発明の第１の実施例を示してお
り、既述図６に示したモータと対応する部分には同一符
号を付している。

【００４３】この第１の実施例においては、軸受部３０
が回転軸１１の片側に設けられ、この軸受部３０が軸方
向において同軸上で回転子１０の筒状部表面に形成され
た磁極（磁石部）１３の内側に入り込むように配置され
ている。それにより、モータの軸方向の寸法が短くなる
ようになされている。

【００４４】この実施例は、本発明をブラシレスモータ
１００に適用した例を示している。ブラシレスモータ１
００は、大別して、回転子１０、固定子２０、軸受部３
０、ハウジング４０、検出部５０によって構成されてい
る。なお、モータを駆動する制御系については本発明の
要旨ではないので説明を省略する。

【００４５】モータ１００の回転トルク（動力）を発生
する回転子１０は、回転軸１１、磁石保持部１２、磁石
１３を含んでいる。

【００４６】回転軸１１の外周面には、軸方向に複数の
段差（外径の異なる部分）が設けられており、回転軸１
１は、図示の左端側より右端側に向かって、負荷取付
部、左端シール部、軸受取付部、磁石保持部材取付部、
ディスク取付部、右端シール部、となっている。回転軸
１１の左端側の負荷取付部には、例えば、ターンテーブ
ル（後述図５参照）を取付けるねじ孔が形成されてい
る。回転軸１１は、例えば、半導体製造プロセスなどに
おける配管や装置の制御配線をターンテーブル側等に通
すために中空となっている。回転軸１１の外径の大きい
軸受取付部には、軸受部３０が配置される。

【００４７】軸受部３０は、この実施例では、回転軸１
１の片側に設けられる。また、回転軸１１の軸受取付部
と後述のハウジング４１の筒状の軸受取付部相互間に取
り付けられる。軸受部３０は、回転軸１１の軸受取付部
に外嵌され、ハウジング４１の軸受取付部に内嵌され
る、一対の円錐コロ軸受３０ａ及び３０ｂで構成されて
いる。円錐コロ軸受３０ａ及び３０ｂは互いに円錐コロ
の小径側が向き合うように近接して配置されている。軸
受３０ａ及び３０ｂ相互間の距離Ｌ１は図６に示す従来
構成の軸受間距離Ｌ１よりも狭くなっている。このよう
な円錐コロ軸受を用いることによって、後述の研磨装置
（後記図５参照）にモータの回転軸を縦置きに設置した
ときに、大きいスラスト加重に耐えると共に、ハウジン
グ４１に加わるモーメントが軸受３０ａ及び３０ｂ部分
に印加されると、この力を円錐台状のコロの傾斜面の傾
斜角度によって回転軸１１の軸心位置を安定させる方向
に作用させることが可能となり、回転軸１１を傾けるよ
うに作用するモーメント荷重に対する剛性が高く、かつ
低振動化に効果的である。なお、軸受は円筒コロ軸受や
玉軸受の組み合わせであってもよく、円錐コロ軸受に限
定されるものではない。

【００４８】回転軸１１の軸受取付部に隣接する磁石保
持部材取付部に外形が筒状の磁石保持部１２が取り付け
られている。磁石保持部１２は、軸方向の断面形状（上
側形状）が図示の「Ｔ」字状のものの他、後述の図３に
示す「フック（鉤）」状、更には、「逆Ｌ」状、「コ」
状及び「Ｊ」状、横「Ｈ」状等の各種の形状が考えられ
る。このような内部に空間を持つ形状とすることによっ
て、軸受部３０が軸方向において同軸上で筒状外形の磁
石保持部１２（あるいは磁石部１３）の内側に位置する
ことを可能とする。これにより、大きなトルクを発生さ
せることが可能となる。

【００４９】これは、図１に示すように、軸受３０ｂの
軸方向の幅ＢＲあるいは軸受部３０の軸方向の幅が磁石
保持部１２（あるいは磁石部１３）の軸方向の幅Ｌ２と
軸方向において一部又は全部が重なることを意味する。
また、軸受間距離Ｌ１＜磁石部幅Ｌ２となっている。こ
の筒状の磁石保持部１２の外周に磁石部１３が保持され
る。

【００５０】磁石部１３は、回転軸１１の軸方向に延在
するＮ極又はＳ極の単位磁極を周方向に交互に並べて環
状の磁石を形成している。磁石部１３は、１個の多極の
環状磁石によって構成することが可能である。また、複
数の磁石によって構成することも可能である。各磁石に
永久磁石を用いると、装置構成を簡単化することができ
る。この場合、永久磁石として各種のものが使用可能で
あるが、特に、高い磁束密度を得ることができる、例え
ば、サマリウム−コバルト磁石、ネジオム−鉄−ボロン
磁石などの、希土類磁石がより好ましい。また、磁石部
１３は、固定子磁石との磁力によって回転力を発生する
ためのものであり、これをかご型巻線によって構成する
ことも可能である。

【００５１】固定子２０は、回転子１０の磁石部１３を
取り囲むように形成され、回転子１０を回転させる回転
界磁を発生する。この固定子２０は、珪素鋼板などの薄
板が積層されたコア（鉄心）２１、コア２１に巻回して
磁界を発生する巻線２２、コア２１を保持するヨーク２
３等によって構成される。固定子２０は、ハウジング４
０に取り付けられる。

【００５２】図２は、回転軸１１の軸方向と垂直な面内
における磁石保持部１２、磁石部１３、コア２１部分の
断面を示す説明図である。磁石部１３の表面には周方向
にＮ極及びＳ極が交互に配置されている。コア２１は、
「Ｔ」状の分割鉄心を環状に組み立てて構成され、ヨー
ク２３に取り付けられている。これにより、巻線量の増
大や組立の容易化を図っている。

【００５３】ハウジング４０はモータのケースであり、
左側ハウジング４１、右側ハウジング４２及び右側カバ
ー４３等によって構成される。左側ハウジング４１及び
右側ハウジング４２は固定子２０のヨーク２３を挟持す
るようにして保持する。前述したように、左側ハウジン
グ４１には回転軸１１に沿って筒状の軸受支持部が設け
られる。

【００５４】左側ハウジング４１は軸受支持部に取り付
けられた軸受部（左側軸受３０ａ及び右側軸受３０ｂ）
３０を介して回転軸１１を回動自在に保持し、回転子１
０の磁極面１３とこれに対抗する固定子コア２１の端面
との間の離間距離が所定のエアギャップ長となるように
している（図２参照）。軸受部３０側面の左側ハウジン
グ４１の軸受支持部と回転軸１１との隙間はシール部材
６１によって遮蔽され、ダストの混入や浸水が防止され
る。

【００５５】右側ハウジング４２には、この実施例で
は、図６に示す例とは異なり、軸受３０ｂは設けられて
いない。右側ハウジング４２には、断面「Ｔ」状に形成
された筒状の磁石保持部１２の内側に、ハウジング４２
が回転軸１１に沿って入り込むように、縦断面の横方向
が凹状に形成されている。この凹部内に回転子１１の回
転位置を検出する位置検出器５０が配置される。

【００５６】位置検出器５０は、回転軸１１に取り付け
られたディスク５１と右側ハウジング４２の円周上（回
転軸１１近傍の右側ハウジング内周）の一箇所に設けら
れている検出ヘッド５２によって構成される。ディスク
５１には、等間隔に形成された多数の穴列や外周に形成
された多数の歯山あるいは複数の磁石（センサとホール
素子等使用の場合）等によってマーカが形成されてい
る。検出ヘッド５２は光センサとフォトダイオードとの
組み合わせ、ホール素子や磁気センサなどを使用するこ
とができる。位置検出器５０の出力するパルス信号は図
示しない制御装置に供給され、モータの回転制御に使用
される。

【００５７】右側ハウジング４２の該凹部は、ハウジン
グ４２に取り付けられたカバー４３と、カバー４３と回
転軸１１との間に設けられたシール部材６２によって遮
蔽される。それにより、モータ内部へのダストの侵入や
浸水が防止される。

【００５８】このように構成されるブラシレスモータ
は、軸受部３０が回転子１０のトルクを発生する筒状体
１２、１３の内部に入り込むように配置されるので、回
転軸１１の長さを短くなり、モータの軸方向サイズが短
くなる。

【００５９】図３は、本発明の第２の実施例を示してい
る。同図において、図１に示す例と対応する部分には同
一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。

【００６０】この第２の実施例では、第１の実施例が、
回転軸から径の外方に向かって、軸受け、環状に配置さ
れた磁石、環状に配置された巻線の順序で径方向に並ぶ
ように構成したのに対し、回転軸から径の外方に向かっ
て、軸受け、環状に配置された巻線、環状に配置された
磁石の順序で配置されている。

【００６１】このため、筒状外形の磁石保持部１２の軸
方向上側断面が「フック」状に形成され、筒状部の内周
面側に磁石部１３が環状に配置される。この磁石部３０
に対抗して固定子２０のコア２１が配置される。コア２
１は左側ハウジング４１に取り付けられる。

【００６２】第２の実施例では、磁石部１３がコア２１
よりも径方向外側に位置しているので、トルクを発生す
る磁石部１３の回転軸からの距離（径）が長くなってい
る。第１の実施例の場合と同じモータサイズであって
も、より大きいトルクを得ることが可能となる。これは
研磨装置のように、大きいトルクを必要とし、一定回転
の速度制御が行われれば良いものには好都合である。

【００６３】なお、回転子１０の精密な位置制御を必要
とし、より低い慣性モーメントを重視するときには、上
述した第１の実施例又は以下に述べる第３の実施例の構
成を採用することができる。

【００６４】図４は、本発明の第３の実施例を示してい
る。同図において、図１に示す例と対応する部分には同
一符号を付し、かかる部分に説明は省略する。

【００６５】この第３の実施例では、第１の実施例と同
様に、筒状外形の磁石保持部１２の軸方向上側断面が
「Ｔ」状に形成され、その筒状部の外周面側に磁石部１
３が環状に配置される。そして、左右ハウジング４１及
び４２の各軸受支持部が磁石保持部１２の筒状部の内側
に両側から入り込んでいる。軸受部３０は、これらの軸
受支持部に配置される。実施例では、一対の軸受３０ａ
及び３０ｂが磁石保持部１２を間に挟んで各軸受支持部
にそれぞれ取り付けられ、回転軸１１を軸支している。

【００６６】第３の実施例でも、軸受部３０が回転子１
０のトルクを発生する筒状体１２、１３の内部に入り込
むように配置されるので、回転軸１１の長さが短くな
り、モータの軸方向サイズが短くなる。また、軸受を磁
石保持部の両側に配置する構成としているので、第１の
実施例（図１参照）に比べて回転子１１を軸方向におい
て左右対称形とし易く、振動の少ないモータを得やす
い。

【００６７】図５は、本発明のモータ１００を研磨装置
に使用する例を説明する説明図である。

【００６８】研磨装置は、例えば、研磨溶液（スラリ
ー）を使用するＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishin
g）装置である。同図に示すように、研磨装置は、概
略、ターンテーブル１１０を回転駆動するモータ１０
０、研磨作業を行うテーブル１１０、部材が取り付けら
れるベースフレーム１２０、ウェハＷを吸着し、回転さ
せるトップリングモータ１３０、モータ１３０を昇降
（上下）する昇降機構１４０等によって構成されてい
る。

【００６９】本発明に係るモータは、ターンテーブルモ
ータ１００として使用される。モータ１００は、回転軸
１１を縦置きとして、そのハウジング４１が取付ボルト
によってフレーム１２０に取り付けられる。また、回転
軸１１にテーブル１１０が取り付けられ、図示しない制
御装置からモータ１００に供給される駆動電流によって
テーブル１１０を回転駆動する。

【００７０】かかる構成において、ターンテーブル１１
０に載置された研磨パッドにモータ１００の中空部を通
し、図示しない配管からスラリーを供給しながら、ウェ
ハＷをモータ１３０で回転し、昇降機構１４０で回転す
るウェハＷを回転する研磨パッドに押し当て、ウェハＷ
を研磨する。

【００７１】なお、ターンテーブル１００の上面にウェ
ハＷを保持し、トップリングモータ１３０の先端に研磨
パッドを取り付けた構成としても良い。

【００７２】以上説明したように、本発明の実施例によ
れば、従来構成のモータに比べてモータの軸方向のサイ
ズを小さくできる。また、スラスト剛性が高いので具合
がよい。

【００７３】また、軸受を回転軸の片側に配置した構成
では、一方向から組み立てることが可能となるのでモー
タの組立性が良い。また、軸受を外さずに解体可能であ
るので保守性が良い。

【００７４】また、ハウジング内部や回転子内部に空間
が増えるので通風がよく、モータの冷却性がよい。

【００７５】なお、実施例では、軸受けの配列を一対の
円錐コロ軸受けとしているが、これに限定されるもので
はない。高スラスト加重に耐える点で円錐コロは好適で
あるが、耐荷重性能が適当であれば、他のものでも良
い。更に、１つ又は複数の軸受を使用可能であり、実施
例の一対の軸受けに限定されない。

【００７６】また、実施例では、高いトルクを得るのに
有利なため回転子に希土類磁石を用いたがこれに限定さ
れない。例えば、フェライト磁石等であっても良い。更
に、回転子に磁石を用いない誘導モータの場合にも本発
明は適用できる。

【００７７】

【発明の効果】以上説明したように本発明のモータは、
表面に磁極が配置される筒状の回転体の内部を空洞化
し、この空間内にモータの回転子を支持する軸受を配置
する構成としたので、モータの軸方向のサイズを短くす
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態を説明する
一部断面図である。

【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態のステータ
を説明する説明図である。

【図３】図３は、本発明の第２の実施の形態を説明する
一部断面図である。

【図４】図４は、本発明の第３の実施の形態を説明する
一部断面図である。

【図５】図５は、本発明のモータの使用例を説明する説
明図である。

【図６】図６は、従来のモータを説明する一部断面図で
ある。

【符号の説明】

１０回転子２０固定子３０軸受部４０ハウジングＬ１ベアリング間間隔Ｌ２磁極の軸方向幅ＢＲ軸受の軸方向幅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者笹野井豊群馬県前橋市鳥羽町78番地日本精工株式会社内Ｆターム(参考） 5H019 AA07 BB05 BB08 BB19 CC03 FF03 5H605 AA15 BB05 BB15 CC01 CC02 CC03 CC04 CC05 DD05 EA02 EB10 EB16 EB34 5H621 BB07 GA04 GA16 HH02 JK03 JK07 JK08 JK10 JK19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸を中心として磁極を環状に配置した
磁石部を有する回転子と、前記回転子の磁石部と対抗するように環状に形成され
て、前記回転子を回動させる回転磁界を発生する固定子
と、前記固定子を保持するハウジングと、前記回転子を前記ハウジングに取付ける軸受と、を備
え、前記軸受は、その少なくとも一部が、前記回転子の回転
軸方向において同軸上で前記磁石部の内側に位置するよ
うに配置される、ことを特徴とするモータ。
【請求項２】前記軸受けは、一対の軸受けによって構成
され、それら軸受け同士の間隔は、前記磁石部の前記回
転軸方向における幅よりも狭く設定される、ことを特徴
とする請求項１記載のモータ。
【請求項３】前記軸受けは、前記回転子の回転軸を前記
磁石部の片側で軸支する、ことを特徴とする請求項１又
は２記載のモータ。
【請求項４】前記磁石部は、前記回転軸に取り付けられ
て複数の磁石を支持する磁石支持部材を含み、この磁石
支持部材は、前記回転軸方向の断面形状が、略「Ｔ」
状、略「フック」状、略「逆Ｌ」状、略「コ」状、略
「横Ｈ」状及び略「Ｊ」状のいずれかがである、ことを
特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のモータ。
【請求項５】前記磁石支持部材は、前記回転軸の前記軸
受けが設けられた側とは反対側寄りに配置される、こと
を特徴とする請求項４記載のモータ。
【請求項６】前記軸受けは、円錐コロ軸受けである、請
求項１乃至５のいずれかに記載のモータ。
【請求項７】前記回転子の一方端側に前記軸受けが設け
られ、前記回転子の他方端側に該回転子の回転位置を検
出する回転体位置検出器が配置される、ことを特徴とす
る請求項１乃至６のいずれかに記載のモータ。
【請求項８】前記回転体位置検出器は、少なくともその
一部が前記回転子の回転軸方向において前記磁石部の内
側に位置するように配置される、ことを特徴とする請求
項１乃至７のいずれかに記載のモータ。
【請求項９】前記磁石部は、希土類磁石によって構成さ
れる、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記
載のモータ。
【請求項１０】前記回転軸は、軸方向に開口する中空軸
である、ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに
記載のモータ。
【請求項１１】前記固定子は、前記回転子の磁石部と対
抗するように環状に配置されて、前記回転子を回動させ
る回転磁界を発生する複数の巻線を有する、ことを特徴
とする請求項１乃至１０のいずれかに記載のモータ。
【請求項１２】前記回転軸の軸心から径方向外側に向か
って前記軸受け、前記磁石部及び前記巻線が順次配置さ
れる、請求項１乃至１１のいずれかに記載のモータ。
【請求項１３】前記回転軸の軸心から径方向外側に向か
って前記軸受け、前記巻線及び前記磁石部が順次配置さ
れる、請求項１乃至１１のいずれかに記載のモータ。
【請求項１４】半導体用基板を研磨する研磨装置のター
ンテーブルの駆動源として使用される請求項１乃至１３
のいずれかに記載のモータ。