JP2002277841A - 光共振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度安定性の極めて良好な位相変調機能を備
えた光共振器を提供する。 【解決手段】 電気光学結晶基板１１の相対向する２つ
の端面に反射膜１２ａ，１２ｂを設け、それぞれ光共振
を起こさせる光ビームＬ１，Ｌ２を通す光路１３Ａ，１
３Ｂを形成するとともに、それぞれの光路１３Ａ，１３
Ｂに対応して独立な電界をかけるための電極１４Ａ，１
４Ｂを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、位相変調機能を備
えた光共振器に関し、光通信、光CT、光周波数標準機な
ど多波長でコヒーレンス性の高い標準光源、又は、各波
長間のコヒーレンス性も利用できる光源を必要とする分
野に適用される。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば光周波数を高精度に測
定する場合に光周波数コム発生器（Optical Frequency
Comb Generator）が使用されている。すなわち、２つの
レーザ光をヘテロダイン検波してその差周波数を測定す
る場合、その帯域は受光素子の帯域で制限され、おおむ
ね数十ＧＨｚ程度であるので、光周波数コム発生器を用
いて広帯域なヘテロダイン検波系を構築するようにして
いる。光周波数コム発生器は、入射したレーザ光の側帯
波を等周波数間隔毎に数百本発生させるもので、発生さ
れる側帯波の周波数安定度はもとのレーザ光のそれとほ
ぼ同等である。そこで、この側帯波と被測定レーザ光を
ヘテロダイン検波することにより、数ＴＨｚに亘る広帯
域なヘテロダイン検波系を構築することができる。

【０００３】光周波数コム発生器には、従来、例えば図
８に示すような構成の光共振器１００が使用されてい
る。

【０００４】この光共振器１００は、光位相変調器１１
１と、この光位相変調器１１１を介して互いに対向する
ように設置された反射鏡１１２，１１３からなる光共振
器１００が使用されている。

【０００５】この光共振器１００において、反射鏡１１
２を介して僅かな透過率で入射された光Ｌinは、反射鏡
１１２，１１３間で共振し、その一部の光Ｌout が反射
鏡１１３を通して出射される。光位相変調器１１１は、
電界を印加することによって屈折率が変化する光位相変
調のための光学材料からなり、この光共振器１００を通
過する光に対して、電極１１６に印加される交番電源ｆ
_ｍ１の出力に応じた位相変調をかける。

【０００６】この光共振器１００に入射された光Ｌin
は、反射鏡１１２，１１３間で共振しており、光位相変
調器１１１により位相変調を受け、反射鏡１１３を通し
て、光周波数コム出力光Ｌout として出射される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、例えば、文
献：応用物理学会 第６３巻（１９９４年）の解説記事
「光領域の周波数コム発生器」などにあるような光周波
数コム発生器を計測器などに応用するときに、全く同一
動作あるいはほとんど同一の動作をするような光周波数
コム発生器が必要になることがある。このような時、従
来は、同一形状で作製した光周波数コムであっても微妙
な作製誤差の違い等から、光共振器の基本波を数十ＭＨ
ｚ以下という光によっては極めてわずかな周波数にまで
２つの光の周波数を合わせることは困難であった。ま
た、熱的な同一性が保証されない複数の光周波数コム発
生器は、温度制御による安定化制御のレンジを広くとる
必要があった。

【０００８】これらの現象の幾つかは、光共振器の個別
の特性によるところが大きい。光共振器単体としてはも
ちろん、共振器の長さがそのまま共振周波数に影響する
ばかりか、熱的な一体性がないために、一旦調整した後
でも、緩やかな複数共振器間の共振周波数の食い違いが
発生していた。

【０００９】そこで、本発明の目的は、上述の如き従来
の光共振器における問題点に鑑み、温度安定性の極めて
良好な位相変調機能を備えた光共振器を提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の如き
従来の問題点を解決するために、複数の個別の光共振器
をできるだけ近接させ、光導波路技術により一体型の光
共振器を作製することにより温度安定性を向上させる。

【００１１】本発明に係る光共振器は、電界を印加する
ことによって屈折率が変化する光位相変調のための光学
材料基板に、相対向する２つの端面に反射膜を設け、そ
れぞれ光共振を起こさせる光ビームを通す光路を複数形
成するとともに、それぞれの光路に対応して同一又は独
立な電界をかけるための複数組の電極を設けてなること
を特徴とする。

【００１２】また、本発明に係る光共振器は、電界を印
加することによって屈折率が変化する光位相変調のため
の光学材料基板からなり、相対向する２つの端面に反射
膜が設けられ、光共振を起こさせる光ビームを通す光路
を複数備え、光共振を起こさせる光ビームを複数伝播さ
せ、かつそれぞれの光ビームに対応して各光路に同一又
は独立な電界をかけるたための複数組の電磁波共振器中
にそれぞれ上記光路を内蔵してなることを特徴とする。

【００１３】さらに、本発明に係る光共振器は、電界を
印加することによって屈折率が変化する光位相変調のた
めの光学材料基板に、相対向する２つの端面に反射膜を
設けるとともに、それぞれ光共振を起こさせる光ビーム
を通す光導波路を複数の形成し、それぞれの光導波路に
対応して同一又は独立な電界をかけるための複数組の電
極を設けてなることを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。

【００１５】本発明に係る光共振器は、例えば図１に示
すように構成される。

【００１６】この光共振器１０は、電気光学結晶基板１
１上に２つのバルク型光周波数発生器を作製したもの
で、上記電気光学結晶基板１１の相対向する２つの端面
に反射膜１２ａ，１２ｂを設け、それぞれ光共振を起こ
させる光ビームＬ１，Ｌ２を通す光路１３Ａ，１３Ｂを
形成するとともに、それぞれの光路１３Ａ，１３Ｂに対
応して独立な電界をかけるための電極１４Ａ，１４Ｂを
設けてなる。

【００１７】上記電気光学結晶基板１１は、ニオブ酸リ
チウム（ＬｉＮｂＯ_３）など電圧で光を位相変調できる
光学材料基板である。

【００１８】上記反射膜１２ａ，１２ｂは、クロム，
金，アルミニウムあるいは誘電体多層膜などを蒸着する
ことにより形成される僅かに透過率もある反射鏡であっ
て、入射端反射膜と出射端反射膜として機能する。上記
反射膜１２ａ，１２ｂは、入射されたレーザ光を内部で
共振させるファブリペロエタロンを構成している。上記
電気光学結晶基板１１には、入射端反射膜１２ａを介し
て基本波として２つの光ビームＬ１，Ｌ２が入射され、
上記反射膜１２ａ，１２ｂにより繰り返し反射される各
光ビームＬ１，Ｌ２を通す光路１３Ａ，１３Ｂが近接し
た状態で形成されている。

【００１９】そして、上記反射膜１２ａ，１２ｂにより
構成されたファブリペロエタロンにより共振した各光ビ
ームＬ１，Ｌ２の一部が、出射端反射膜１２ｂを介して
光周波数コムＬＣ１，ＬＣ２として出射される。

【００２０】図２に示しように、上記電極１４Ａは、光
路１３Ａを挟んで相対向するように設けられた電極１４
Ａ_１，１４Ａ_２からなる。この電極１４Ａ_１，１４Ａ_２
には、駆動信号源１５Ａからマイクロ波信号ｆ_ｍ１が供
給される。また、上記電極１４Ｂは、光路１３Ｂを挟ん
で相対向するように設けられた電極１４Ｂ_１，１４Ｂ _２
からなる。この電極１４Ｂ_１，１４Ｂ_２には、駆動信号
源１５Ｂからマイクロ波信号ｆ_ｍ２が供給される。

【００２１】ここで、図１及び図２に示した駆動信号源
１５Ａ，１５Ｂは、集中定数的に示されているが、マイ
クロ波共振器によって電極１４Ａ_１，１４Ａ_２に印加さ
れる電圧を代表している。上記電極１４Ａ_１，１４Ａ_２
をマイクロ波線路とした線路型の構成として、上記駆動
信号源１５Ａ，１５Ｂにより電極１４Ａ_１，１４Ａ_２に
マイクロ波信号ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２を供給することも可能で
ある。

【００２２】上記電気光学結晶基板１１に形成された光
路１３Ａは、上記電極１４Ａ_１，１４Ａ_２に供給される
マイクロ波信号ｆ_ｍ１による電界が印加されることによ
り、上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１に応じて屈折率が変化す
る。これにより、上記光路１３Ａは、入射端反射膜１２
ａを介して入射された基本波としての光ビームＬ１に対
して上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１に応じた光位相変調を施
す光位相変調器として機能する。また、記電気光学結晶
基板１１に形成された光路１３Ｂは、上記電極１４
Ｂ_１，１４Ｂ_２に供給されるマイクロ波信号ｆ_ｍ２によ
る電界が印加されることにより、上記マイクロ波信号ｆ
_ｍ２に応じて屈折率が変化する。これにより、上記光路
１３Ｂは、入射端反射膜１２ａを介して入射された基本
波としての光ビームＬ２に対して上記マイクロ波信号ｆ
_ｍ２に応じた光位相変調を施す光位相変調器として機能
する。

【００２３】このような構成の光共振器１０では、入射
端反射膜１２ａを介して光路１３Ａ，１３Ｂに入射され
た基本波としての光ビームＬ１，Ｌ２に対して、上記各
マイクロ波信号ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２に応じて光位相変調する
ことができ、各光ビームＬ１，Ｌ２の位相をそれぞれ独
立に変調して、出射端反射膜１２ｂを介して光周波数コ
ムＬＣ１，ＬＣ２を出射することができる。

【００２４】この光共振器１０は、同一の電気光学結晶
基板１１中に２つのビーム光Ｌ１，Ｌ２を通す光路１３
Ａ，１３Ｂが近接した状態で形成されているので、光路
１３Ａ，１３Ｂが熱的に一体となり、２つの同一あるい
は近接した周波数で発振してほしい光周波数コム発生器
の応用に使えるようになる。

【００２５】また、本発明に係る光共振器は、例えば図
３に示すように構成される。

【００２６】この光共振器２０は、金属板２１により金
属筒２２を仕切って形成された２つの空洞共振器２２
Ａ，２２Ｂ中に、それぞれ光共振を起こさせるビーム光
Ｌ１，Ｌ２を通す光路２３Ａ，２３Ｂが形成された電気
光学結晶基板２４Ａ，２４Ｂを内蔵してなる。

【００２７】上記２つの空洞共振器２２Ａ，２２Ｂは、
金属板２１により金属筒２２を仕切った構造とすること
により、熱的に一体とされている。上記空洞共振器２２
Ａ，２２Ｂは、光共振を起こさせる光ビームＬ１，Ｌ２
を伝播させ、かつそれぞれの光ビームＬ１，Ｌ２に対応
して各光路２３Ａ，２３Ａに独立な電界をかけるためも
のであって、図４に示すように、駆動信号電源２５Ａ，
２５Ｂからマイクロ波信号ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２が供給される
給電アンテナ２６Ａ，２６Ｂが設けられている。そし
て、上記空洞共振器２２Ａ，２２Ｂに内蔵された光路２
３Ａ，２３Ｂには、上記空洞共振器２２Ａ，２２Ｂが給
電アンテナ２６Ａ，２６Ｂに供給されるマイクロ波信号
ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２にそれぞれ共振することにより、上記マ
イクロ波信号ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２に応じた電界が印加され
る。

【００２８】また、上記電気光学結晶基板２４Ａ，２４
Ｂは、それぞれニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）など
電圧で光を位相変調できる光学材料基板である。

【００２９】上記光学材料基板２４Ａには、入射端反射
膜２７Ａを介して基本波としての光ビームＬ１が入射さ
れ、入射端反射膜２７Ａと出射端反射膜により構成され
たファブリペロエタロンにより共振した光ビームＬ１の
一部が、出射端反射膜２７Ｂを介して光周波数コムＬＣ
１として出射される光路２９Ａが形成されている。上記
入射端反射膜２７Ａと出射端反射膜は、それぞれ僅かに
透過率もある反射鏡であって、クロム，金，アルミニウ
ムあるいは誘電体多層膜などを蒸着することにより、上
記電気光学結晶基板２４Ａの相対向する２つの端面に形
成されている。

【００３０】上記電気光学結晶基板２４Ａに形成された
光路２９Ａは、上記空洞共振器２２Ａに内蔵されている
ので、上記給電アンテナ２６Ａに供給されるマイクロ波
信号ｆ_ｍ１に上記空洞共振器２２Ａが共振することによ
り、上記マイクロ波信号ｆ_{ｍ １}に応じた電界が印加さ
れ、上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１に応じて屈折率が変化す
る。これにより、上記光路２９Ａは、入射端反射膜２７
Ａを介して入射された基本波としての光ビームＬ１に対
して上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１に応じた光位相変調を施
す光位相変調器として機能する。

【００３１】また、上記光学材料基板２４Ｂには、入射
端反射膜２７Ｂを介して基本波としての光ビームＬ２が
入射され、入射端反射膜２７Ｂと出射端反射膜により構
成されたファブリペロエタロンにより共振した光ビーム
Ｌ２の一部が、出射端反射膜を介して光周波数コムＬＣ
２として出射される光路２９Ｂが形成されている。上記
入射端反射膜２７Ｂと出射端反射膜は、それぞれ僅かに
透過率もある反射鏡であって、クロム，金，アルミニウ
ムあるいは誘電体多層膜などを蒸着することにより、上
記電気光学結晶基板２４Ｂの相対向する２つの端面に形
成されている。

【００３２】上記電気光学結晶基板２４Ｂに形成された
光路２９Ｂは、上記空洞共振器２２Ｂに内蔵されている
ので、上記給電アンテナ２６Ｂに供給されるマイクロ波
信号ｆ_ｍ２に上記空洞共振器２２Ｂが共振することによ
り、上記マイクロ波信号ｆ_{ｍ ２}に応じた電界が印加さ
れ、上記マイクロ波信号ｆ_ｍ２に応じて屈折率が変化す
る。これにより、上記光路２９Ｂは、入射端反射膜２７
Ｂを介して入射された基本波としての光ビームＬ２に対
して上記マイクロ波信号ｆ_ｍ２に応じた光位相変調を施
す光位相変調器として機能する。

【００３３】このような構成の光共振器２０では、入射
端反射膜２７Ａ，２７Ｂを介して光路２９Ａ，２９Ｂに
入射された基本波としての光ビームＬ１，Ｌ２に対し
て、マイクロ波信号ｆ_ｍ１，にｆ_ｍ２に応じて光位相変
調することができ、光ビームＬ１，Ｌ２の位相をそれぞ
れ独立に変調して、出射端反射膜を介して光周波数コム
ＬＣ１，ＬＣ２を出射することができる。

【００３４】この光共振器２０は、金属板２１により金
属筒２２を仕切った構造の２つの空洞共振器２２Ａ，２
２Ｂに内蔵した光路２９Ａ，２９Ｂが熱的に一体とな
り、２つの同一あるいは近接した周波数で発振してほし
い光周波数コム発生器として使用することができる。

【００３５】上記光共振器１０，２０はバルク型光周波
数コム発生器に本発明を適用したものであるが、本発明
は、導波路型の光周波数コム発生器に適用することもで
きる。

【００３６】図５に示す光共振器３０は、本発明を導波
路型の光周波数コム発生器に適用したものであって、電
気光学結晶基板３１の相対向する２つの端面に入射端反
射膜３２ａと出射端反射膜３２ｂを設け、それぞれ光共
振を起こさせる光ビームＬ１，Ｌ２を通す光導波路３３
Ａ，３３Ｂを形成するとともに、それぞれの光路３３
Ａ，３３Ｂに対応して独立な電界をかけるための電極３
４Ａ，３４Ｂ及びコモン電極３４Ｃを設けてなる。

【００３７】上記電気光学結晶基板３１は、ニオブ酸リ
チウム（ＬｉＮｂＯ_３）など電圧で光を位相変調できる
光学材料基板である。

【００３８】上記光学材料基板３１には、入射端反射膜
３２ａを介して基本波としての光ビームＬ１、Ｌ２が入
射され、それぞれ入射端反射膜３２ａと出射端反射膜３
２ｂにより構成されたファブリペロエタロンにより共振
した光ビームＬ１，Ｌ２の一部が、出射端反射膜３２ｂ
を介して光周波数コムＬＣ１，ＬＣ２として出射される
光導波路３３Ａ，３３Ｂが形成されている。上記入射端
反射膜３２ａと出射端反射膜３２ｂは、それぞれ僅かに
透過率もある反射鏡であって、クロム，金，アルミニウ
ムあるいは誘電体多層膜などを蒸着することにより、上
記電気光学結晶基板３１の相対向する２つの端面に形成
されている。

【００３９】また、上記光学材料基板３１には、バッフ
ァ層３５を介して光導波路３３Ａ，３３Ｂと対向する位
置に電極３４Ａ，３４Ｂが形成されているとともに、上
記光導波路３３Ａ，３３Ｂの両側の領域と対向する位置
にコモン電極３４Ｃが形成されている。

【００４０】上記光導波路３３Ａと対向する電極３４Ａ
とコモン電極３４Ｃには駆動信号源３６Ａが接続されて
おり、この駆動信号源３６Ａからマイクロ波信号ｆ_ｍ１
に応じた電界が上記光導波路３３Ａに印加される。ま
た、上記光導波路３３Ｂと対向する電極３４Ｂとコモン
電極３４Ｃには駆動信号源３６Ｂが接続されており、こ
の駆動信号源３６Ｂからマイクロ波信号ｆ_ｍ２に応じた
電界が上記光導波路３３Ｂに印加される。

【００４１】ここで、図５に示した駆動信号源３６Ａ，
３６Ｂは、集中定数的に示されているが、マイクロ波共
振器によって電極３４Ａ，３４Ｂとコモン電極３４Ｃ間
に印加される電圧を代表している。上記電極３４Ａ，３
４Ｂとコモン電極３４Ｃをマイクロ波線路とした線路型
の構成として、上記駆動信号源３６Ａ，３６Ｂにより上
記電極３４Ａ，３４Ｂとコモン電極３４Ｃ間にマイクロ
波信号ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２を供給することも可能である。

【００４２】この光共振器３０では、図６に示すよう
に、電気力線が各光導波路３３Ａ，３３Ｂを垂直（厚み
方向）に横切るように、上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１，ｆ
_ｍ２に応じた電界が各光導波路３３Ａ，３３Ｂに印加さ
れる。

【００４３】上記電気光学結晶基板３１に形成された光
導波路３３Ａは、上記電極３４Ａとコモン電極３４Ｃの
間に供給されるマイクロ波信号ｆ_ｍ１による電界が印加
されることにより、上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１に応じて
屈折率が変化する。これにより、上記光導波路３３Ａ
は、入射端反射膜３２ａを介して入射された基本波とし
ての光ビームＬ１に対して上記マイクロ波信号ｆ_ｍ１に
応じた光位相変調を施す光位相変調器として機能する。
また、上記電気光学結晶基板３１に形成された光導波路
３３Ｂは、上記電極３４Ｂとコモン電極３４Ｃの間に供
給されるマイクロ波信号ｆ_ｍ２による電界が印加される
ことにより、上記マイクロ波信号ｆ_ｍ２に応じて屈折率
が変化する。これにより、上記光導波路３３Ｂは、入射
端反射膜３２ａを介して入射された基本波としての光ビ
ームＬ２に対して上記マイクロ波信号ｆ_ｍ２に応じた光
位相変調を施す光位相変調器として機能する。

【００４４】このような構成の光共振器３０では、入射
端反射膜３２ａを介して光導波路３３Ａ，３３Ｂに入射
された基本波としての光ビームＬ１，Ｌ２に対して、上
記各マイクロ波信号ｆ_ｍ１，ｆ_ｍ２に応じて光位相変調
することができ、各光ビームＬ１，Ｌ２の位相をそれぞ
れ独立に変調して、出射端反射膜３２ｂを介して光周波
数コムＬＣ１，ＬＣ２を出射することができる。

【００４５】このような構造の光共振器３０では、上記
電気光学結晶基板３１上の光導波路３３Ａ，３３Ｂを極
めて近接させた状態とすることができ、これにより熱的
な安定性を向上させことができる。

【００４６】ここで、上記光共振器３０は、図６に示す
ように、電気力線が各光導波路３３Ａ，３３Ｂを垂直
（厚み方向）に横切るように、上記マイクロ波信号ｆ
_ｍ１，ｆ _ｍ２に応じた電界が各光導波路３３Ａ，３３Ｂ
に印加されるものであるが、図７に示す光共振器４０の
ように、電気力線が各光導波路４３Ａ，４３Ｂを水平
（幅み方向）に横切る構造とすることもできる。

【００４７】この光共振器４０において、光学材料基板
４１には、バッファ層４５を介して、光導波路４３Ａ，
４３Ｂの外側の領域と対向する位置に電極４４Ａ，４４
Ｂが形成され、上記光導波路４３Ａ，４３Ｂの中間の領
域と対向する位置にコモン電極４４Ｃが形成されてい
る。

【００４８】上記光導波路４３Ａには、電極４４Ａとコ
モン電極４４Ｃに接続された駆動信号源４５Ａから供給
されるマイクロ波信号ｆ_ｍ１に応じた電界が印加され
る。また、上記光導波路４３Ｂには、電極４４Ｂとコモ
ン電極４４Ｃに接続された駆動信号源４５Ｂから供給さ
れるマイクロ波信号ｆ_ｍ２に応じた電界が印加される。
なお、図７の断面図では図示されていないが、この断面
に平行な２つの端面には鏡面加工が施され、光共振器と
しての構成をとる。

【００４９】上述の如き光共振器３０，４０では、構造
上、同一構造の光導波路を一体に作製できるために、光
導波路としての特性が一致するばかりでなく、熱的な同
一性を確保しやすい。

【００５０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明で
は、電界を印加することによって屈折率が変化する光位
相変調のための１つの光学材料基板を用いて、それぞれ
光位相変調機能を有する複数の光共振器を作製するの
で、共振器の長さによる共振条件の違いをなくすことが
でき、また、温度の違いによる複数の、光ビームの特性
の変化を同一にすることできる。

【００５１】また、本発明によれば、光共振器の位相変
調を独立に電圧駆動できるようになるため、マイクロ波
などによる変調条件を変えた変調が可能になる。

【００５２】さらに、本発明では、光共振を起こさせる
光ビームを複数伝播させ、かつそれぞれの光ビームに対
応して各光路に同一又は独立な電界をかけるための複数
組の電磁波共振器中に、電界を印加することによって屈
折率が変化する光位相変調のための１つの光学材料基板
を用いて構成した光位相変調機能を有する複数の光共振
器を内蔵させるので、別々に作製した複数の光共振器を
熱的に一体化できるようになり、温度の違いによる複数
の、光共振器の特性の変化を同一にできる。

【００５３】従って、本発明によれば、温度安定性の極
めて良好な位相変調機能を備えた光共振器を提供するこ
とができる。

【００５４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光共振器の構成を模式的に示す斜
視図である。

【図２】図１に示した光共振器の模式的な縦断側面図で
ある。

【図３】本発明に係る光共振器の構成を模式的に示す斜
視図である。

【図４】図３に示した光共振器の模式的な縦断側面図で
ある。

【図５】本発明に係る光共振器の構成を模式的に示す斜
視図である。

【図６】図５に示した光共振器の模式的な縦断側面図で
ある。

【図７】本発明に係る光共振器の構成を示す模式的な縦
断側面図である。

【図８】従来の光共振器の構成を模式的に示す斜視図で
ある。

【符号の説明】 １０ 光共振器、１１ 電気光学結晶基板、１２ａ，１
２ｂ 反射膜、１３Ａ，１３Ｂ 光路、１４Ａ，１４
Ｂ，１４Ａ_１，１４Ａ_２，１４Ｂ_１，１４Ｂ_２電極、１
５Ａ，１５Ｂ 駆動信号源、２０ 光共振器、２１ 金
属板、２２ 金属筒、２２Ａ，２２Ｂ 空洞共振器、２
３Ａ，２３Ｂ 光路、２４Ａ，２４Ｂ電気光学結晶基
板、２５Ａ，２５Ｂ 駆動信号電源、２６Ａ，２６Ｂ
給電アンテナ、２７Ａ，２７Ｂ 入射端反射膜、２９
Ａ，２９Ｂ 光路、３０ 光共振器、３１ 電気光学結
晶基板、３２ａ 入射端反射膜、３２ｂ 出射端反射
膜、３３Ａ，３３Ｂ 光導波路、３４Ａ，３４Ｂ 電
極、３４Ｃ コモン電極、３５バッファ層、３６Ａ，３
６Ｂ 駆動信号源、４０ 光共振器、４５ バッファ
層、４３Ａ，４３Ｂ 光導波路、４４Ａ，４４Ｂ 電
極、４４Ｃ コモン電極、Ｌ１，Ｌ２ 光ビーム、ＬＣ
１，ＬＣ２ 光周波数コム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電界を印加することによって屈折率が変
   化する光位相変調のための光学材料基板に、相対向する
   ２つの端面に反射膜を設け、それぞれ光共振を起こさせ
   る光ビームを通す光路を複数形成するとともに、それぞ
   れの光路に対応して同一又は独立な電界をかけるための
   複数組の電極を設けてなることを特徴とする光共振器。
2. 【請求項２】 電界を印加することによって屈折率が変
   化する光位相変調のための光学材料基板からなり、相対
   向する２つの端面に反射膜が設けられ、光共振を起こさ
   せる光ビームを通す光路を複数備え、 光共振を起こさせる光ビームを複数伝播させ、かつそれ
   ぞれの光ビームに対応して各光路に同一又は独立な電界
   をかけるたための複数組の電磁波共振器中にそれぞれ上
   記光路を内蔵してなることを特徴とする光共振器。
3. 【請求項３】 電界を印加することによって屈折率が変
   化する光位相変調のための光学材料基板に、相対向する
   ２つの端面に反射膜を設けるとともに、それぞれ光共振
   を起こさせる光ビームを通す光導波路を複数の形成し、 それぞれの光導波路に対応して同一又は独立な電界をか
   けるための複数組の電極を設けてなることを特徴とする
   光共振器。