JP2002275661A - Manufacturing method of metal foil mesh - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属箔が金属メッキされたものであっても、
コーターやラミネーターなどの製造ラインを汚すことな
く、かつ簡易な工程で、優れた光透過性と電磁波遮蔽性
を併せ持つ単体の金属箔メッシュを製造することができ
る方法を提供する。
【解決手段】 金属箔1の両面にフォトレジスト層2を
形成し、一方のフォトレジスト層2に所定のメッシュパ
ターンを露光し、他方のフォトレジスト層2を全面露光
して現像レジスト部4を形成する。次いで、フォトレジ
スト層の未現像部5を除去し、その除去部分に対応する
金属箔1をエッチングし、その後、金属箔1の両面の現
像レジスト部4を同時に除去し、金属箔メッシュ単体1
0を製造する。
(57) [Summary] [PROBLEMS] Even if metal foil is metal-plated,
Provided is a method capable of producing a single metal foil mesh having both excellent light transmittance and electromagnetic wave shielding properties in a simple process without polluting a production line such as a coater or a laminator. SOLUTION: A photoresist layer 2 is formed on both surfaces of a metal foil 1, one of the photoresist layers 2 is exposed to a predetermined mesh pattern, and the other photoresist layer 2 is entirely exposed to form a development resist portion 4. I do. Next, the undeveloped portion 5 of the photoresist layer is removed, the metal foil 1 corresponding to the removed portion is etched, and then the developed resist portions 4 on both surfaces of the metal foil 1 are simultaneously removed, and the metal foil mesh 1 is removed.
0 is produced.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、フォトレジスト法
を利用する金属箔メッシュの製造方法に係り、電磁波シ
ールド材等に適用される金属箔メッシュ、特にディスプ
レイ用電磁波シールド材として好適な金属箔メッシュを
製造する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a metal foil mesh using a photoresist method, and more particularly to a metal foil mesh applied to an electromagnetic wave shielding material and the like, particularly a metal foil mesh suitable as an electromagnetic wave shielding material for a display. And a method for producing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年では、電子機器から発する電磁波を
遮断するための手段の一つとして、電磁波シールド材が
注目されている。電磁波シールド材としては、微粒子分
級用の篩に代表されるような金属ワイヤを格子状に編ん
だ、いわゆる金網を金属メッシュとして用いたものが知
られている。また、例えば、ポリエステル等の樹脂製繊
維を基材とし、この基材に銅やニッケル等の金属を無電
解メッキ等の手段によりコーティングした金属メッシュ
を用いた電磁波シールド材も知られている。2. Description of the Related Art In recent years, an electromagnetic wave shielding material has attracted attention as one of means for blocking electromagnetic waves emitted from electronic equipment. As an electromagnetic wave shielding material, a material using a so-called wire mesh as a metal mesh formed by knitting a metal wire typified by a sieve for classifying fine particles in a lattice shape is known. Further, for example, there is also known an electromagnetic wave shielding material using a metal mesh in which a resin fiber such as polyester is used as a base material and a metal such as copper or nickel is coated on the base material by means such as electroless plating.
【0003】これらの電磁波シールド材の中には、プラ
ズマディスプレイ等のディスプレイに適用されるものが
ある。その場合、なるべく薄いことが要求されるととも
に、光透過性と、これに相反する電磁波シールド性とを
バランスよく両立させる必要があり、このような要件を
満たした電磁波シールド材としては、特開平11−35
0168号に開示されている金属箔メッシュがある。[0003] Some of these electromagnetic wave shielding materials are applied to displays such as plasma displays. In that case, it is necessary to be as thin as possible, and it is necessary to balance the light transmittance and the electromagnetic wave shielding property contradictory thereto, in a well-balanced manner. −35
No. 0168 discloses a metal foil mesh.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の金属箔メッシュの製造方法は、粘着剤等により基材
に積層させた構成の金属箔メッシュの製造方法であり、
金属箔メッシュを単体として得ることが困難であった。
また、使用する金属箔が金属メッキされている場合に
は、金属箔メッシュの製造時にメッキ金属の粒子が金属
箔から脱落してコーターやラミネーターを汚してしまう
といった問題を有していた。However, the above-mentioned conventional method for producing a metal foil mesh is a method for producing a metal foil mesh having a structure laminated on a base material with an adhesive or the like.
It was difficult to obtain a metal foil mesh as a single body.
In addition, when the metal foil to be used is metal-plated, there is a problem that particles of the plated metal fall off from the metal foil during the production of the metal foil mesh and stain the coater or the laminator.
【0005】したがって、本発明は、金属箔が金属メッ
キされたものであっても、コーターやラミネーターなど
の製造ラインを汚すことなく、かつ簡易な工程で、優れ
た光透過性と電磁波遮蔽性を併せ持つ単体の金属箔メッ
シュを製造することができる方法を提供することを目的
としている。Accordingly, the present invention provides excellent light transmittance and electromagnetic wave shielding properties in a simple process without contaminating a production line such as a coater or a laminator even if a metal foil is plated with metal. It is an object of the present invention to provide a method capable of manufacturing a single metal foil mesh having the same.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の金属メッシュの
製造方法は、金属箔の両面にフォトレジスト層を形成す
る工程と、一方のフォトレジスト層に所定のメッシュパ
ターンを露光し、他方のフォトレジスト層を全面露光し
て現像レジスト部を形成する工程と、フォトレジスト層
の未現像部を除去し、該除去部分に対応する金属箔をエ
ッチングする工程と、現像レジスト部を除去する工程と
を備えることを特徴としている。According to the present invention, there is provided a method of manufacturing a metal mesh, comprising the steps of forming a photoresist layer on both sides of a metal foil; Exposing the resist layer to the entire surface to form a developed resist portion, removing the undeveloped portion of the photoresist layer, etching the metal foil corresponding to the removed portion, and removing the developed resist portion. It is characterized by having.
【0007】[0007]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明のよ
り好適な実施の形態について詳細に説明する。本発明の
金属箔メッシュの製造方法としては、まず、金属箔の両
面にフォトレジスト層を形成する。金属箔の両面にフォ
トレジスト層を形成する方法としては、液状のフォトレ
ジストを金属箔上にロールコーター法、ディップ法、ス
プレー法、スピンナー法等で塗布形成してもよいが、図
1(a)のように、金属箔1を挟むように両面に圧力を
加えながらドライフィルムレジストを貼着することによ
って、金属箔1の両面に同時にフォトレジスト層2を形
成することが好ましい。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the method for manufacturing a metal foil mesh of the present invention, first, a photoresist layer is formed on both surfaces of a metal foil. As a method for forming a photoresist layer on both surfaces of the metal foil, a liquid photoresist may be applied on the metal foil by a roll coater method, a dipping method, a spray method, a spinner method, or the like. It is preferable to form a photoresist layer 2 on both sides of the metal foil 1 by applying a dry film resist while applying pressure to both sides of the metal foil 1 as shown in FIG.
【0008】次いで、図1(b)に示すように、このフ
ォトレジスト層2の一方の面に、所定のメッシュパター
ンが光透過部として印刷されたマスク3を積層した後、
マスク3上から紫外線等を照射する。なお、フォトレジ
スト層2は紫外線等により硬化するネガ型のものでも、
紫外線等により分解するポジ型のものでも使用すること
ができ、この場合にはそれぞれ、上記マスク3のメッシ
ュパターンを光透過性または不透過性のものを適宜使用
する。また、金属箔1の両面に形成されるフォトレジス
ト層2は別種類のフォトレジストであってもよいが、後
述する金属箔1の両面に形成された現像レジスト部4を
同時に除去することを可能とするため、同種類のフォト
レジストが好ましい。Next, as shown in FIG. 1B, a mask 3 on which a predetermined mesh pattern is printed as a light transmitting portion is laminated on one surface of the photoresist layer 2.
The mask 3 is irradiated with ultraviolet light or the like. The photoresist layer 2 may be a negative type that is cured by ultraviolet rays or the like.
A positive type that can be decomposed by ultraviolet rays or the like can also be used. In this case, a light-transmitting or non-transmitting mesh pattern of the mask 3 is used as appropriate. Although the photoresist layer 2 formed on both surfaces of the metal foil 1 may be a different type of photoresist, it is possible to simultaneously remove development resist portions 4 formed on both surfaces of the metal foil 1 described later. Therefore, the same type of photoresist is preferable.
【0009】これにより、図1(c)に示すように、マ
スク3の光透過部に対応する部分のフォトレジスト層が
露光され、その露光部が現像レジスト部4となって金属
箔1上に形成され、また、露光されなかった部分が未現
像部5として残る。一方、他方のフォトレジスト層2に
おいては、図1(b)に示すように、フォトレジスト層
2の全面に対して露光を行うことにより、全面が硬化さ
れた現像レジスト部4が形成される。これらのフォトレ
ジスト層2の露光は、片面ずつ行っても両面一度に行っ
てもよい。上記の露光としては、マスク3の積層および
紫外線等の照射に代えて、フォトレジスト層2上にレー
ザ光を直接照射する手段を用いてもよい。As a result, as shown in FIG. 1C, a portion of the photoresist layer corresponding to the light transmitting portion of the mask 3 is exposed, and the exposed portion becomes a developing resist portion 4 on the metal foil 1. The formed and unexposed portions remain as undeveloped portions 5. On the other hand, in the other photoresist layer 2, as shown in FIG. 1B, by performing exposure on the entire surface of the photoresist layer 2, a development resist portion 4 having the entire surface cured is formed. The exposure of the photoresist layer 2 may be performed on one side or on both sides at a time. As the above-described exposure, a means for directly irradiating the photoresist layer 2 with laser light may be used instead of laminating the mask 3 and irradiating with ultraviolet rays or the like.
【0010】次に、マスク3を除去し、レジスト除去用
の処理液に浸漬して、フォトレジスト層の未現像部5を
除去する。これにより、図1(d)に示すように、一方
の面ではメッシュパターン状に形成された現像レジスト
部4のみが金属箔1の表面に形成され、他方の面ではエ
ッチング工程におけるエッチング液等から金属箔1を保
護するための保護膜となる現像レジスト部4が形成され
る。次いで、図1(e)に示すように、化学エッチング
等のエッチング手段で未現像部5に対応する部分の金属
箔1をエッチングし、その後、残っている金属箔1両面
の現像レジスト部4を一度に、または別々に除去するこ
とにより、図1(f)に示すような単体の金属箔メッシ
ュ10を得ることができる。Next, the mask 3 is removed, and the mask 3 is immersed in a processing solution for removing the resist to remove the undeveloped portions 5 of the photoresist layer. As a result, as shown in FIG. 1D, only the developing resist portion 4 formed in a mesh pattern is formed on the surface of the metal foil 1 on one surface, and the developing resist portion 4 is formed on the other surface from an etching solution or the like in an etching process. A development resist portion 4 serving as a protective film for protecting the metal foil 1 is formed. Next, as shown in FIG. 1 (e), the metal foil 1 in the portion corresponding to the undeveloped portion 5 is etched by etching means such as chemical etching, and then the remaining development resist portions 4 on both surfaces of the metal foil 1 are removed. By removing them all at once or separately, a single metal foil mesh 10 as shown in FIG. 1 (f) can be obtained.
【0011】本発明により得られた金属箔メッシュをデ
ィスプレイ用電磁波シールド材として用いる場合には、
視認性を向上させるために、そのシールド材の前面側
(ディスプレイの目視面側)は黒色であることが好まし
い。この場合、一般的には、金属箔を予めまたは現像レ
ジスト部を除去する工程の後に黒色酸化処理することが
知られているが、本発明においては、金属箔表面に粒子
径をコントロールした金属メッキを予め行うことによ
り、金属箔表面を黒色化し、さらに、現像レジスト部を
除去する工程の後に、エッチングされた金属箔メッシュ
を加熱酸化することにより、金属メッキされていない部
分の黒色化を行うことが好ましい。なお、金属箔の金属
メッキは片面でも両面でもよい。When the metal foil mesh obtained by the present invention is used as an electromagnetic wave shielding material for a display,
In order to improve the visibility, it is preferable that the front surface side (the viewing surface side of the display) of the shield material is black. In this case, it is generally known that the metal foil is subjected to black oxidation treatment before or after the step of removing the developed resist portion. Is performed in advance to blacken the metal foil surface, and further, after the step of removing the development resist portion, the etched metal foil mesh is heated and oxidized to blacken the non-metal plated portion. Is preferred. The metal foil may be plated on one side or both sides.
【0012】本発明では、上記のような粒子状の金属メ
ッキを施した金属箔を使用した場合であっても、金属箔
の両面にフォトレジスト層が形成されるため、金属箔メ
ッシュの製造時に使用されるコーターやラミネーターに
金属箔表面の金属メッキ部分が接触することなく、該コ
ーターやラミネーターを汚染することがない。In the present invention, even when a metal foil plated with the above-described metal particles is used, a photoresist layer is formed on both surfaces of the metal foil, so that a The metal plating portion on the metal foil surface does not contact the used coater or laminator, and there is no contamination of the coater or laminator.
【0013】また、本発明により得られる金属箔メッシ
ュのメッシュパターンは、フォトレジスト法による現像
工程で自由に制御することができ、ディスプレイの電磁
波シールド材として用いる場合には、光透過性と電磁波
遮蔽性とを両立させるため、メッシュパターンのライン
部の幅を10〜50μm、好ましくは15〜30μmと
し、開口率を80%以上、好ましくは85%以上とする
ことが好ましい。なお、ここで言う開口率とは、金属箔
の使用有効面積に対する孔の総面積を言う。また、メッ
シュパターンの孔の幅(ライン部のピッチ)は100〜
500μmが適当であり、好ましくは150〜300μ
mである。Further, the mesh pattern of the metal foil mesh obtained by the present invention can be freely controlled in a developing step by a photoresist method. When the mesh pattern is used as an electromagnetic wave shielding material for a display, light transmission and electromagnetic wave shielding are required. In order to achieve both compatibility with the characteristics, it is preferable that the width of the line portion of the mesh pattern is 10 to 50 μm, preferably 15 to 30 μm, and the aperture ratio is 80% or more, preferably 85% or more. Here, the aperture ratio refers to the total area of the holes with respect to the effective use area of the metal foil. Also, the width of the holes (the pitch of the line portions) of the mesh pattern is 100 to
500 μm is suitable, preferably 150 to 300 μm
m.
【0014】さらに、このメッシュパターンは幾何学模
様であることが好ましく、この孔の形状は、正方形、長
方形等の平行四辺形、円形または正六角形(ハニカム形
状)等から適宜に選択される。また、どの部分において
も一定の特性(主に光透過性および電磁波遮蔽性等)を
有することが肝要であるから、規則的に配列されている
ことが好ましい。Further, the mesh pattern is preferably a geometric pattern, and the shape of the holes is appropriately selected from a parallelogram such as a square or a rectangle, a circle or a regular hexagon (a honeycomb shape). In addition, since it is important that each part has a certain characteristic (mainly light transmittance and electromagnetic wave shielding properties, etc.), it is preferable that the parts are arranged regularly.
【0015】本発明に用いる金属箔の材料としては、
銅、鉄、ニッケル、アルミニウム、金、銀、プラチナ等
の金属や、これら金属の2種以上の合金(例えば銅−ニ
ッケル合金、ステンレス等)、さらには金属化合物等
の、箔化が可能な金属系材料が用いられる。これら金属
の中で、特に好ましくは、銅、アルミニウム、鉄、ニッ
ケルの合金もしくは金属化合物で、圧延等により箔化が
容易なものであれば安価に製造可能であることから好ま
しい。また、その厚さはできるだけ薄い方が好ましく、
5〜50μm、好ましくは8〜40μm、より好ましく
は10〜25mである。The material of the metal foil used in the present invention includes:
Metals such as copper, iron, nickel, aluminum, gold, silver, platinum, and the like, and two or more alloys of these metals (eg, a copper-nickel alloy, stainless steel, etc.), and metal compounds that can be made into a foil. A system material is used. Among these metals, an alloy or a metal compound of copper, aluminum, iron, and nickel, which is easily formed into a foil by rolling or the like, is particularly preferable because it can be manufactured at low cost. Also, the thickness is preferably as thin as possible,
It is 5 to 50 m, preferably 8 to 40 m, more preferably 10 to 25 m.
【0016】本発明に用いるフォトレジスト層として
は、従来公知の種々のフォトレジストを使用することが
できるが、光重合タイプの感光性樹脂が好ましく、具体
的には、光重合性モノマー、バインダー樹脂、光重合開
始剤およびその他の助剤を含んでなる、通常用いられる
光硬化性の組成物が好適に用いられる。本発明の金属箔
メッシュの製造方法においては、特にアルカリ水現象タ
イプのドライフィルムレジストが好適である。As the photoresist layer used in the present invention, various conventionally known photoresists can be used, but a photopolymerization type photosensitive resin is preferable. Specifically, a photopolymerization monomer, a binder resin A commonly used photocurable composition comprising a photopolymerization initiator and other auxiliaries is preferably used. In the method for producing a metal foil mesh of the present invention, a dry film resist of the alkaline water phenomenon type is particularly suitable.
【0017】光重合性モノマーとしては、例えば、エチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ
(メタ)アクリレート、1,6−へキサンジオールジ
(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−(メタ)ア
クリロキシプロピロキシフェニル]プロパン、トリメチ
ロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリ(メタ)
アクリロキシエチルホスフェート、トリス(2−ヒドロ
キシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
ト、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メ
タ)アクリレート、グリセリントリグリシジルエーテル
トリ(メタ)アクリレートなどが挙げられ、これらは単
独でまたは2種以上を混合して用いられる。Examples of the photopolymerizable monomer include ethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, and neopentyl glycol di (meth) acrylate. ) Acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 2,2-bis [4- (meth) acryloxypropoxy phenyl] propane, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol penta (meth) Acrylate, tri (meth)
Acryloxyethyl phosphate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, pentaerythritol penta (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, glycerin triglycidyl ether tri (meth) acrylate, etc. These may be used alone or as a mixture of two or more.
【0018】バインダー樹脂としては、例えば、ビニル
系共重合体、ポリエステル、エポキシ樹脂などが挙げら
れ、これらは通常単独でまたは2種以上を混合して用い
られる。前記ビニル系共重合体に用いられるモノマー成
分としては、例えば、(メタ)アクリル酸、(メタ)ア
クリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)
アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−エチルへ
キシル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸メト
キシエチル、スチレン、(メタ)アクリルアミド、(メ
タ)アクリロニトリル、酢酸ビニルなどが挙げられ、こ
れらのモノマーは通常単独でまたは2種以上を混合して
用いられる。Examples of the binder resin include vinyl copolymers, polyesters, epoxy resins and the like, and these are usually used alone or as a mixture of two or more. Examples of the monomer component used in the vinyl copolymer include (meth) acrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, and (meth) acrylate.
Propyl acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-
Examples include hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, styrene, (meth) acrylamide, (meth) acrylonitrile, and vinyl acetate. These monomers are usually used alone. Or a mixture of two or more.
【0019】前記ポリエステルは、(無水)フタル酸、
イソフタル酸、テレフタル酸、テトラヒドロ無水フタル
酸、(無水)マレイン酸、フマル酸、アジピン酸、無水
トリメリット酸、無水ピロメリト酸などの2価以上のカ
ルボン酸とエチレングリコール、プロピレングリコー
ル、1,3−ブタンジオール、ジエチレングリコール、
ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、ネ
オペンチルグリコール、水素化ビスフェノールA、グリ
セリン、トリメチロールプロパンなどの2価以上のアル
コールとのエステル化反応により得られる。The polyester may be (phthalic anhydride),
Di- or higher-valent carboxylic acids such as isophthalic acid, terephthalic acid, tetrahydrophthalic anhydride, (anhydride) maleic acid, fumaric acid, adipic acid, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and ethylene glycol, propylene glycol, 1,3- Butanediol, diethylene glycol,
It is obtained by an esterification reaction with a dihydric or higher alcohol such as dipropylene glycol, triethylene glycol, neopentyl glycol, hydrogenated bisphenol A, glycerin, and trimethylolpropane.
【0020】また、前記エポキシ樹脂としては、例え
ば、ビスフェノールエポキシ樹脂、ノボラックエポキシ
樹脂などが挙げられ、これらに酢酸、シュウ酸、(メ
タ)アクリル酸などの1価のカルボン酸を付加したもの
であってもよい。The epoxy resin includes, for example, bisphenol epoxy resin and novolak epoxy resin, and is obtained by adding a monovalent carboxylic acid such as acetic acid, oxalic acid, (meth) acrylic acid and the like. You may.
【0021】本発明においては、光重合性モノマーと、
バインダー樹脂との配合割合(重量比)は10/90〜
70/30、特に30/70〜50/50となるように
調整されるのが好ましい。In the present invention, a photopolymerizable monomer,
The mixing ratio (weight ratio) with the binder resin is 10 / 90-
It is preferably adjusted to be 70/30, particularly 30/70 to 50/50.
【0022】光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフ
ェノン、ミヒラーズケトン、4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、
2−エチルアントラキノン、チオキサトン類、ベンゾイ
ンアルキルエーテル類、ベンジルケタール類などが挙げ
られ、これらは単独でまたは混合して用いられる。該光
重合開始剤は、通常フォトレジストの全固形分中に0.
01〜30重量%含有することが好ましい。Examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, Michler's ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, t-butylanthraquinone,
Examples thereof include 2-ethylanthraquinone, thioxatones, benzoin alkyl ethers, and benzyl ketals, which are used alone or in combination. The photopolymerization initiator is usually contained in the total solids of the photoresist in an amount of about 0.1%.
It is preferable to contain it in an amount of from 01 to 30% by weight.
【0023】なお、前記フォトレジストには、必要に応
じて、増感剤、染料、着色顔料、密着改良剤、重合禁止
剤、塗面改良剤、可塑剤等を含有させることができる。
また、前記フォトレジストの市販品としては、日本合成
化学工業社製のアルフォNITシリーズ、三京化成社製
のPMERシリーズ、デュポンジャパン社製のリストン
シリーズ等が挙げられる。The photoresist may contain a sensitizer, a dye, a color pigment, an adhesion improver, a polymerization inhibitor, a coating surface improver, a plasticizer, and the like, if necessary.
Commercially available photoresists include Alpho NIT series manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd., PMER series manufactured by Sankyo Chemical Co., Ltd., and Liston series manufactured by DuPont Japan.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の金属箔メ
ッシュの製造方法によれば、金属箔の両面にフォトレジ
スト層を形成することにより、メッシュパターンの現像
と保護膜の形成を同時に行い、さらに、金属箔のエッチ
ング後、金属箔両面の現像レジスト部を一度に除去する
ことができる。また、金属箔が金属メッキされたもので
あっても、コーターやラミネーターなどの製造ラインを
汚すことない。したがって、簡易な工程で、優れた光透
過性と電磁波遮蔽性を併せ持つ単体の金属箔メッシュを
製造することができる。As described above, according to the method for manufacturing a metal foil mesh of the present invention, the development of the mesh pattern and the formation of the protective film are simultaneously performed by forming a photoresist layer on both surfaces of the metal foil. Further, after the etching of the metal foil, the development resist portions on both surfaces of the metal foil can be removed at a time. Further, even if the metal foil is metal-plated, it does not contaminate a production line such as a coater or a laminator. Therefore, a simple metal foil mesh having both excellent light transmittance and electromagnetic wave shielding properties can be manufactured by a simple process.
【図1】 本発明の金属箔メッシュの製造方法を概念的
に示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view conceptually showing a method for producing a metal foil mesh of the present invention.
1…金属箔、2…フォトレジスト層、3…マスク、4…
現像レジスト部、5…未現像部、10…金属箔メッシ
ュ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal foil, 2 ... Photoresist layer, 3 ... Mask, 4 ...
Developed resist part, 5: undeveloped part, 10: metal foil mesh.
Claims (4)
する工程と、 前記フォトレジスト層の一方に所定のメッシュパターン
を露光し、他方のフォトレジスト層を全面露光して現像
レジスト部を形成する工程と、 前記フォトレジスト層の未現像部を除去し、該除去部分
に対応する前記金属箔をエッチングする工程と、 前記現像レジスト部を除去する工程とを備えることを特
徴とする金属箔メッシュの製造方法。A step of forming a photoresist layer on both surfaces of a metal foil; exposing a predetermined mesh pattern to one of the photoresist layers and exposing the other photoresist layer to form a developed resist portion; Removing the undeveloped portion of the photoresist layer, etching the metal foil corresponding to the removed portion, and removing the developed resist portion. Production method.
に、前記金属箔を酸化する工程をさらに備えることを特
徴とする請求項1に記載の金属箔メッシュの製造方法。2. The method according to claim 1, further comprising a step of oxidizing the metal foil after the step of removing the developing resist portion.
とを特徴とする請求項1または2に記載の金属箔メッシ
ュの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the metal foil is plated with a metal.
ミニウム、金、銀、プラチナのいずれか、またはこれら
の2種以上の合金または金属化合物からなり、その厚さ
が5〜50μmであることを特徴とする請求項1〜3の
いずれかに記載の金属箔メッシュの製造方法。4. The metal foil is made of any one of copper, iron, nickel, aluminum, gold, silver, and platinum, or an alloy or a metal compound of two or more thereof, and has a thickness of 5 to 50 μm. The method for producing a metal foil mesh according to claim 1, wherein:
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