JP2002260812A - Manufacturing method of surge absorber, and surge absorber - Google Patents

Manufacturing method of surge absorber, and surge absorber

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JP2002260812A
JP2002260812A JP2001055548A JP2001055548A JP2002260812A JP 2002260812 A JP2002260812 A JP 2002260812A JP 2001055548 A JP2001055548 A JP 2001055548A JP 2001055548 A JP2001055548 A JP 2001055548A JP 2002260812 A JP2002260812 A JP 2002260812A
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宏幸 池田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surge absorber for absorbing the surge intruding from circumferential space, and to contrive miniaturization and surface mounting. SOLUTION: Peripheral part 15a of a metal lid 15 is jointed to a base board 11 having insulation property so as to surround the upper space of a pair of discharge electrodes 12, 13, and a discharge gap 14. A jointing material, used for jointing the lid 15 and the base board 11 having insulation property, is made to react with the inorganic binding material contained in the discharge electrode at other side 12, and made to fuse when heated and fused, and absorbed into the other discharging electrode at other side 12 and disappeared, and electrically joint the discharge electrode at other side 12 with the peripheral part 15a of a metal lid 15, and makes them conductive with each other. The discharge electrode at one side 13 is sloped to the lower surface of the base board 11 having insulation property as it goes to the base end part 13A from the middle part. A gap 16 is formed between the discharge electrode at one side 13 and the peripheral part 15a of the lid 15. The gap 16 is blocked by an insulation material 17.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、サージから様々な
機器を保護し、事故を未然に防ぐのに使用するサージア
ブソーバの製造方法及びサージアブソーバに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a surge absorber used to protect various devices from surges and prevent accidents, and to a surge absorber.

【0002】[0002]

【従来の技術】電話機、ファクシミリ、モデム等の通信
機器用の電子機器が通信線と接続する部分、あるいはC
RT駆動回路等、雷サージや静電気等の異常電圧(サー
ジ電圧)による電撃を受けやすい部分には、異常電圧に
よって電子機器やこの機器を搭載するプリント基板の熱
的損傷または発火等による破壊を防止するために、サー
ジアブソーバが接続されている。
2. Description of the Related Art A portion where electronic equipment for communication equipment such as a telephone, a facsimile, and a modem is connected to a communication line, or
For parts that are susceptible to electric shock such as lightning surges or static electricity (surge voltage) such as RT drive circuits, the abnormal voltage prevents electronic equipment and the printed circuit board on which it is mounted from being damaged by thermal damage or fire. For this purpose, a surge absorber is connected.

【0003】このようなサージアブソーバの一例とし
て、図4に示すようなものが知られている。このサージ
アブソーバ1は、図4に示すように、円柱状のセラミッ
クス部材2の周面に放電間隙4(マイクロギャップ)を
有する導電性被膜3を形成したアブソーバ素子の両端に
キャップ電極5,5をかぶせたものを円筒状のガラス管
7内に不活性ガスとともに収容し、円筒状のガラス管7
の両端に一対の封止電極6,6が相対向して高温加熱で
封着されたガラス管封止型とされたものである。
FIG. 4 shows an example of such a surge absorber. As shown in FIG. 4, the surge absorber 1 has cap electrodes 5 and 5 at both ends of an absorber element having a conductive film 3 having a discharge gap 4 (micro gap) formed on a peripheral surface of a cylindrical ceramic member 2. The covered glass is housed in a cylindrical glass tube 7 together with an inert gas, and the cylindrical glass tube 7
A pair of sealing electrodes 6 and 6 are opposed to each other at both ends, and are sealed by high-temperature heating to form a glass tube sealing type.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のサージアブソーバ1は、それぞれ封止電極
6,6に接続された2本のリード線6A,6Aによって
電気的に接続された回路のサージのみを吸収するもので
あり、空間から侵入する静電気等のサージには対処する
ことができなかった。しかも、このようなガラス管封止
型のサージアブソーバ1では、ガラス管7内にアブソー
バ素子と不活性ガスを封入して製造するため、製品形状
は円筒状で、表面実装には不向きとなる。また、このよ
うにガラス管7内にアブソーバ素子を封入するもので
は、比較的サイズが大きくなってしまい、近年高まって
きている小型化の要求に応えることが難しかった。
However, the conventional surge absorber 1 as described above has a structure of a circuit electrically connected by two lead wires 6A, 6A connected to the sealing electrodes 6, 6, respectively. It absorbs only surges and cannot deal with surges such as static electricity that enter from space. In addition, since such a glass tube sealed surge absorber 1 is manufactured by enclosing an absorber element and an inert gas in the glass tube 7, the product has a cylindrical shape and is not suitable for surface mounting. Further, in the case where the absorber element is sealed in the glass tube 7 in this way, the size is relatively large, and it has been difficult to meet the demand for miniaturization that has been increasing in recent years.

【0005】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、空間から侵入する静電気等のサージを吸収でき、か
つ表面実装可能で小型化を実現できるサージアブソーバ
の製造方法及びサージアブソーバを提供することを目的
とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a method of manufacturing a surge absorber and a surge absorber that can absorb a surge of static electricity or the like invading from a space, can be surface-mounted, and can be reduced in size. The purpose is to:

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決して、
このような目的を達成するために、本発明は、絶縁性基
板の上面に、放電間隙を介し互いに相対向して一対の放
電電極を形成するとともに、これら放電電極の上方空間
を囲うように蓋体の周縁部を前記絶縁性基板の上面に接
合材により接合する蓋体接合工程と、該蓋体によって形
成される内部空間に不活性ガスを封入するガス封入工程
とを有するサージアブソーバの製造方法であって、前記
蓋体接合工程は、前記絶縁性基板の上面に、金属粉末と
無機結合材とを含む導電性材料により前記放電電極を形
成する工程と、絶縁性無機物からなる前記接合材を金属
製の前記蓋体の周縁部または前記放電電極の少なくとも
一方に塗布して、前記蓋体を前記絶縁性基板の上面に載
置し、前記放電電極のうち一方と前記蓋体の周縁部との
間に間隙を設ける工程と、前記蓋体の周縁部を加熱して
前記接合材を前記無機結合材に反応溶融させて前記放電
電極に吸収させ消滅させることにより、前記放電電極の
うち他方と前記蓋体の周縁部とを電気的に接合する工程
とを有し、前記ガス封入工程は、前記間隙に内外の通気
が可能な絶縁材ペーストを塗布する工程と、不活性ガス
雰囲気中で前記間隙の絶縁材ペーストを加熱して溶融さ
せることにより該間隙を気密状態に閉塞する工程とを有
することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems,
In order to achieve such an object, the present invention provides a method in which a pair of discharge electrodes are formed on an upper surface of an insulating substrate so as to face each other via a discharge gap, and a cover is formed so as to surround a space above the discharge electrodes. A method for manufacturing a surge absorber, comprising: a lid joining step of joining a peripheral portion of a body to an upper surface of the insulating substrate with a joining material; and a gas filling step of filling an inert gas into an internal space formed by the lid. In the lid bonding step, a step of forming the discharge electrode on a top surface of the insulating substrate with a conductive material including a metal powder and an inorganic binder, and the bonding material made of an insulating inorganic material It is applied to at least one of the peripheral portion of the metal lid or the discharge electrode, and the lid is placed on the upper surface of the insulating substrate, and one of the discharge electrodes and the peripheral portion of the lid. Provide a gap between By heating the peripheral portion of the lid body and reacting and melting the bonding material in the inorganic binder to be absorbed and extinguished by the discharge electrode, the other of the discharge electrodes and the peripheral portion of the lid body are heated. And a step of applying an electrically insulating paste capable of ventilating inside and outside the gap, and applying the insulating paste in the gap in an inert gas atmosphere. Heating and melting to close the gap in an airtight state.

【0007】このような製造方法によって製造されたサ
ージアブソーバは、他方の放電電極に金属製の蓋体が電
気的に接合されているから、この金属製の蓋体を空間か
ら侵入する静電気等のサージを集電する電極とすること
ができ、これにより、機器ケース、SWパッド等の隙間
から侵入する静電気を吸収またはグラウンドへ逃がすこ
とが可能となる。さらに、一方の放電電極と、この一方
の放電電極と電気的に接合されていない金属製の蓋体と
の間でも放電を行うことができ、放電電極に与える熱影
響を少なくすることができる。また、放電空間(蓋体に
よって形成される内部空間)を形成する蓋体が金属製で
あることにより、蓋体を安価に製造することができる。
しかも、絶縁性基板を用いることで全体がチップ形状と
なり、小型化及び表面実装を図ることができる。
In the surge absorber manufactured by such a manufacturing method, a metal cover is electrically connected to the other discharge electrode. It can be an electrode for collecting surges, which makes it possible to absorb static electricity entering through gaps in the device case, SW pad, etc. or to escape to the ground. Further, discharge can be performed between one discharge electrode and a metal lid that is not electrically connected to the one discharge electrode, so that a thermal effect on the discharge electrode can be reduced. In addition, since the lid forming the discharge space (the internal space formed by the lid) is made of metal, the lid can be manufactured at low cost.
In addition, the use of the insulating substrate makes the whole chip-shaped, so that miniaturization and surface mounting can be achieved.

【0008】また、前記蓋体接合工程は、前記絶縁性基
板の上面に溝部を形成し、該溝部内に前記一方の放電電
極を設け、さらに前記蓋体を、その周縁部の一部が前記
溝部の上方に位置するように接合して前記間隙を形成す
ることを特徴とする。このような製造方法では、絶縁性
基板の上面に溝部を形成するだけで、容易に蓋体の周縁
部と一方の放電電極との間に間隙を形成できるととも
に、間隙の閉塞作業を、溝部内に絶縁材ペーストを埋め
込むことで容易に行うことができる。
[0008] In the lid joining step, a groove is formed on the upper surface of the insulating substrate, the one discharge electrode is provided in the groove, and the lid is partially covered with the peripheral portion. It is characterized in that the gap is formed by joining so as to be located above the groove. In such a manufacturing method, a gap can be easily formed between the peripheral portion of the lid and one of the discharge electrodes simply by forming a groove on the upper surface of the insulating substrate, and the work of closing the gap can be performed within the groove. This can be easily performed by embedding an insulating material paste in the substrate.

【0009】また、本発明によるサージアブソーバの製
造方法は、前記接合材を、前記ガス封入工程における前
記間隙を閉塞する工程の加熱時に同時に溶融させること
を特徴とする。このような製造方法を用いると、蓋体の
周縁部を絶縁性基板の上面へ接合するのと、蓋体の周縁
部と一方の放電電極とによって形成される間隙の閉塞及
び不活性ガスの封入とを同時に行うことができ、サージ
アブソーバの製造工程を減少させて製造効率を向上させ
ることができる。
Further, the method of manufacturing a surge absorber according to the present invention is characterized in that the bonding material is melted at the same time as the heating in the step of closing the gap in the gas filling step. With such a manufacturing method, the peripheral portion of the lid is joined to the upper surface of the insulating substrate, the gap formed by the peripheral portion of the lid and one of the discharge electrodes is closed, and the inert gas is filled. Can be performed at the same time, and the manufacturing process of the surge absorber can be reduced to improve the manufacturing efficiency.

【0010】また、前記無機結合材を、SiO2,B2
3,Na2O,PbO,ZnOまたはBaOのうちの1種
または2種以上の酸化物を主成分とするガラス微粒子に
より構成し、前記接合材を、SiO2または50重量%
以上のSiO2と残部がAl23,MgO,ZrO2また
はTiO2のうちの1種または2種以上の酸化物、ある
いはSiO2,B23,Na2O,PbO,ZnOまたは
BaOのうちの1種または2種以上の酸化物を主成分と
するガラスにより構成することが好ましい。
Further, the inorganic binder is made of SiO 2 , B 2 O
3, Na 2 O, PbO, and ZnO, or one or more oxides of BaO constituted by glass fine particle mainly, the bonding material, SiO 2 or 50 wt%
The above-mentioned SiO 2 and the remainder are oxides of one or more of Al 2 O 3 , MgO, ZrO 2 and TiO 2 , or SiO 2 , B 2 O 3 , Na 2 O, PbO, ZnO or BaO It is preferable to use a glass mainly containing one or more oxides of the above.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付し
た図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形
態によるサージアブソーバの斜視図、図2は図1におけ
るサージアブソーバの断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a surge absorber according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of the surge absorber in FIG.

【0012】本実施形態によるサージアブソーバ10
は、図1及び図2に示すように、略長方形のチップ形状
をなし、例えばアルミナ等の絶縁性材料から構成される
絶縁性基板11の上面11Aに、金属粉末と無機結合材
とを含む導電性材料から構成される一対の放電電極1
2,13が互いに相対向する配置で形成されており、一
方の放電電極13の先端と他方の放電電極12の先端と
の間に所定の寸法をもって放電間隙14(マイクロギャ
ップ)が形成されている。
[0012] The surge absorber 10 according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, a conductive material containing a metal powder and an inorganic binder is formed on an upper surface 11A of an insulating substrate 11 made of an insulating material such as alumina. Pair of discharge electrodes 1 made of conductive material
2 and 13 are formed so as to face each other, and a discharge gap 14 (micro gap) having a predetermined dimension is formed between the tip of one discharge electrode 13 and the tip of the other discharge electrode 12. .

【0013】ここで、放電電極12,13は、金属粉末
と無機結合材とを含む導電性材料から構成されているも
のであるが、この金属粉末は、例えばAg,Au,P
d,Pt等の貴金属、またはこれらを混合した粉末が挙
げられ(Ti,Ta,W等の高融点金属、またはこれら
の化合物でもよい。)、また、無機結合材は、例えばS
iO2,B23,Na2O,PbO,ZnOまたはBaO
のうちの1種または2種以上の酸化物を主成分とする、
ほうけい酸系ガラス,ほう酸亜鉛系ガラス,ほう酸カド
ミウム系ガラス,けい酸鉛亜鉛系ガラス等のガラス微粒
子が挙げられる。
The discharge electrodes 12 and 13 are made of a conductive material containing a metal powder and an inorganic binder. The metal powder is made of, for example, Ag, Au, P
Examples thereof include noble metals such as d and Pt, and powders obtained by mixing them (high melting point metals such as Ti, Ta, and W, or compounds thereof). The inorganic binder is, for example, S.
iO 2 , B 2 O 3 , Na 2 O, PbO, ZnO or BaO
One or more oxides of which are the main components,
Glass fine particles such as borosilicate glass, zinc borate glass, cadmium borate glass, and lead zinc silicate glass are exemplified.

【0014】また、絶縁性基板11の上面11Aにおい
て、放電電極12,13は、それぞれの基端部12A,
13Aが絶縁性基板11の対向する端面11B,11B
のそれぞれまで達するように形成されている。また、こ
の絶縁性基板11の上面11Aには、一方の放電電極1
3が形成されている部分に溝部11Cが設けられてお
り、一方の放電電極13において、その途中部分から基
端部13Aまでが溝部11Cに沿って基端部13A側に
向かうにしたがい絶縁性基板11の下面に近づく傾斜が
つけられている。すなわち、一方の放電電極13は、そ
の途中部分から基端部13Aまでが溝部11C内に設け
られ、その先端部のみが、絶縁性基板11の上面11A
上に位置することになる。
Further, on the upper surface 11A of the insulating substrate 11, the discharge electrodes 12, 13 are respectively connected to the base ends 12A,
13A are opposite end faces 11B, 11B of the insulating substrate 11;
Is formed so as to reach each of. Also, on the upper surface 11A of the insulating substrate 11, one of the discharge electrodes 1 is provided.
A groove 11C is provided in a portion where the third electrode 3 is formed, and in one discharge electrode 13, an insulating substrate is provided along the groove 11C from the midway portion to the base end 13A toward the base end 13A. 11 is inclined toward the lower surface. That is, one discharge electrode 13 is provided in the groove 11 </ b> C from the middle part to the base end 13 </ b> A, and only the front end is formed on the upper surface 11 </ b> A of the insulating substrate 11.
Will be located above.

【0015】そして、放電電極12,13が形成された
絶縁性基板11の上面11Aには、図1及び図2に示す
ように、それら放電電極12,13及び放電間隙14の
上方空間を囲うようにして蓋体15の周縁部15Aが接
合材によって接合されている。この蓋体15は、径方向
に一段拡径したフランジ状の周縁部15Aを有する有底
円環状の例えばコバール等の金属からなるものである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the upper surface 11A of the insulating substrate 11 on which the discharge electrodes 12 and 13 are formed is formed to surround the space above the discharge electrodes 12 and 13 and the discharge gap 14. The peripheral portion 15A of the lid 15 is joined by a joining material. The lid body 15 is made of a metal such as Kovar, which has a bottomed annular shape and has a flange-shaped peripheral portion 15A whose diameter is increased one step in the radial direction.

【0016】ここで、蓋体15と絶縁性基板11とを接
合するのに用いられた接合材は、例えばSiO2または
50重量%以上のSiO2と残部がAl23,MgO,
ZrO 2またはTiO2のうちの1種または2種以上の酸
化物からなるペーストからなる絶縁性無機物、あるいは
SiO2,B23,Na2O,PbO,ZnOまたはBa
Oのうちの1種または2種以上の酸化物を主成分とする
ガラスペーストからなる絶縁性無機物を、その厚さが
0.1〜10μm程度の薄膜状に塗布したものである。
Here, the lid 15 and the insulating substrate 11 are connected.
The bonding material used for bonding is, for example, SiO 2TwoOr
50% by weight or more of SiOTwoAnd the balance is AlTwoOThree, MgO,
ZrO TwoOr TiOTwoOne or more acids of
Insulating inorganic material consisting of a paste made of oxide, or
SiOTwo, BTwoOThree, NaTwoO, PbO, ZnO or Ba
One or more oxides of O as a main component
An insulating inorganic substance made of glass paste
It is applied in a thin film of about 0.1 to 10 μm.

【0017】また、このような接合材は、加熱されて溶
融する時に、蓋体15の周縁部15Aと絶縁性基板11
の上面11Aとを接合するが、他方の放電電極12の上
面に塗布されている接合材が、放電電極12中に含まれ
る成分である無機結合材に反応溶融することで、他方の
放電電極12に吸収されて消滅し、他方の放電電極12
と蓋体15の周縁部15Aとが電気的に接合されて導通
する。このとき、一方の放電電極13は、その途中部分
から基端部13A側に向かうにしたがい絶縁性基板11
の下面に近づくような傾斜がつけられているために、溝
部11Cの上方に位置する蓋体15の周縁部15Aとは
接触せずに、所定の間隙16が形成されていいる。
When such a bonding material is heated and melted, the peripheral portion 15A of the lid 15 and the insulating substrate 11
Of the other discharge electrode 12 by reacting and melting the bonding material applied to the upper surface of the other discharge electrode 12 with the inorganic binder, which is a component contained in the discharge electrode 12. Is absorbed and disappears, and the other discharge electrode 12
And the peripheral portion 15A of the lid 15 are electrically connected to each other to conduct electricity. At this time, one of the discharge electrodes 13 is insulated from the insulative substrate 11 toward the base end 13A from the middle.
Is inclined so as to approach the lower surface of the lid 15, so that a predetermined gap 16 is formed without contacting the peripheral edge 15 </ b> A of the lid 15 located above the groove 11 </ b> C.

【0018】この一方の放電電極13と金属製の蓋体1
5の周縁部15Aとの間に形成された間隙16は、例え
ばガラス等の絶縁材17によって封止される。さらに、
蓋体15により形成された内部空間には、例えば、H
e,Ar,Ne,Xe,SF6,CO2,C38,C
26,CF4,H2及びこれらの混合ガス等の放電に好適
な不活性ガスが封入されて、この内部空間が放電空間と
される。
The one discharge electrode 13 and the metal cover 1
The gap 16 formed between the peripheral portion 15A and the peripheral portion 5A is sealed with an insulating material 17 such as glass. further,
In the internal space formed by the lid 15, for example, H
e, Ar, Ne, Xe, SF 6, CO 2, C 3 F 8, C
2 F 6 with a suitable inert gas is sealed, CF 4, H 2 and discharge of such a mixed gas thereof, the internal space is a discharge space.

【0019】そして、絶縁性基板11の両端面11B,
11Bまで達するように形成された放電電極12,13
の基端部12A、13Aが、絶縁性基板11の両端面1
1B,11Bに接合された端子電極18,18に接続さ
れてチップ形状をなすサージアブソーバ10が構成され
る。
Then, both end faces 11B of the insulating substrate 11 are provided.
Discharge electrodes 12, 13 formed to reach 11B
Base ends 12A and 13A of the insulating substrate 11
A surge absorber 10 having a chip shape is formed by being connected to the terminal electrodes 18 and 18 joined to 1B and 11B.

【0020】以上のような構成とされたサージアブソー
バ10にあっては、互いに相対向する一対の放電電極1
2,13により形成される放電間隙14により、端子電
極18,18に接続された回路等からのサージを吸収で
きるのに加え、他方の放電電極12と電気的に接合され
た金属製の蓋体15を、空間中から侵入する静電気等の
サージを吸収するための電極とすることができるので、
機器ケース、SWパッド等の隙間から侵入する静電気等
のサージを吸収またはグラウンドに逃がすことができ
る。しかも、一方の放電電極13と、この一方の放電電
極13と電気的に接合されていない金属製の蓋体15と
の間で放電を行うこともでき、放電電極12,13に与
える熱影響が少なくなって、サージアブソーバの寿命を
延ばすことができる。
In the surge absorber 10 configured as described above, a pair of discharge electrodes 1 opposed to each other are provided.
The discharge gap 14 formed by the discharge electrodes 2 and 13 not only absorbs surges from circuits and the like connected to the terminal electrodes 18 and 18, but also a metal lid electrically connected to the other discharge electrode 12. 15 can be used as an electrode for absorbing surges such as static electricity invading from the space,
Surges such as static electricity that enter through gaps in the device case, SW pads, and the like can be absorbed or released to the ground. In addition, a discharge can be performed between the one discharge electrode 13 and the metal lid 15 that is not electrically connected to the one discharge electrode 13, and the heat effect on the discharge electrodes 12 and 13 can be reduced. As a result, the life of the surge absorber can be extended.

【0021】また、放電空間を形成する蓋体15が金属
製であることにより、蓋体15を安価に製造することが
でき、サージアブソーバ10の製造コストを下げること
ができる。さらに、絶縁性基板11を用いてサージアブ
ソーバ10を構成することにより、チップ形状のサージ
アブソーバ10を得ることができて、その小型化及び表
面実装が可能となる。また、放電空間の寸法を変更する
場合には、蓋体15のみの大きさを変更するだけでよ
く、容易に放電空間の寸法を変更することが可能とな
る。
Further, since the cover 15 forming the discharge space is made of metal, the cover 15 can be manufactured at low cost, and the manufacturing cost of the surge absorber 10 can be reduced. Furthermore, by forming the surge absorber 10 using the insulating substrate 11, the chip-shaped surge absorber 10 can be obtained, and its size and surface mounting can be reduced. When the size of the discharge space is changed, only the size of the lid 15 needs to be changed, and the size of the discharge space can be easily changed.

【0022】しかも、一方の放電電極13が、その途中
部分から基端部13Aまでを絶縁性基板11の上面11
Aに形成された溝部11C内に設けられるとともに、蓋
体15の周縁部15Aの一部が溝部11Cの上方に位置
するよう接合されて間隙16が形成されていることか
ら、絶縁性基板11の上面11Aに溝部11Cを形成す
るだけで、容易に蓋体15の周縁部15Aと一方の放電
電極13との間に間隙16を形成でき、さらに、間隙1
6の閉塞作業を、溝部11C内に絶縁材17を埋め込む
ことで容易に行うことができる。
Moreover, one of the discharge electrodes 13 extends from the middle to the base end 13A of the upper surface 11 of the insulating substrate 11.
A is provided in the groove 11C formed in the groove A, and the gap 16 is formed by joining a part of the peripheral edge 15A of the lid 15 so as to be located above the groove 11C. Only by forming the groove 11C on the upper surface 11A, the gap 16 can be easily formed between the peripheral portion 15A of the lid 15 and one of the discharge electrodes 13, and the gap 1 can be easily formed.
6 can be easily performed by embedding the insulating material 17 in the groove 11C.

【0023】以下、上記のような構成のサージアブソー
バ10を製造する方法を説明する。まず、図1に示され
るように、一方の放電電極13をその途中部分から基端
部13A側に向かうにしたがい絶縁性基板11の下面に
近づくように傾斜させるための溝部11Cが形成された
絶縁性基板11の上面11Aに、互いに相対向する放電
電極12,13を形成することになる。
Hereinafter, a method of manufacturing the surge absorber 10 having the above configuration will be described. First, as shown in FIG. 1, an insulation formed with a groove 11 </ b> C for inclining one discharge electrode 13 so as to approach the lower surface of the insulating substrate 11 from the middle part toward the base end 13 </ b> A side. The discharge electrodes 12 and 13 facing each other are formed on the upper surface 11A of the conductive substrate 11.

【0024】これら放電電極12,13は、上述したよ
うな金属粉末と無機結合材とを含む導電性材料をスパッ
タ法,蒸着法,イオンプレーティング法,印刷法,焼付
法等によって、溝部11Cに沿う方向で一本の帯状薄膜
に形成した後、その帯状薄膜の途中位置、すなわち放電
間隙14を形成したい位置にレーザ光を照射して切断す
ることにより、この切断部が放電間隙14となって、互
いに相対向する放電電極12,13が形成される。
The discharge electrodes 12 and 13 are formed in the grooves 11C by sputtering, vapor deposition, ion plating, printing, printing, or the like using a conductive material containing a metal powder and an inorganic binder as described above. After forming one strip-shaped thin film in the direction along, the laser beam is irradiated and cut at an intermediate position of the strip-shaped thin film, that is, a position where the discharge gap 14 is to be formed, so that the cut portion becomes the discharge gap 14. , Discharge electrodes 12 and 13 facing each other are formed.

【0025】次に、絶縁性基板11の上面11Aにおい
て、蓋体15の周縁部15Aが接合されるべき位置に、
上述したような絶縁性無機物からなる接合材をその厚さ
が0.1〜10μm程度の薄膜状に塗布して、この接合
材Aが塗布された位置に蓋体15の周縁部15Aを接触
させるように載置する。このとき、絶縁性基板11の上
面11Aに形成された他方の放電電極12は、図3
(a)に示すように、その上に絶縁性無機物からなる接
合材Aを介して金属製の蓋体15の周縁部15Aが位置
しているような状態となっており(この状態では、絶縁
性無機物からなる接合材Aを介しているために、他方の
放電電極12と蓋体15の周縁部15Aとは導通してい
ない)、一方の放電電極13は、その途中部分から基端
部13A側に向けて絶縁性基板11の下面に近づくよう
に傾斜していることで、蓋体15の周縁部15Aとは接
触せずに、それらの間に間隙16が形成されている。
Next, on the upper surface 11A of the insulating substrate 11, a position where the peripheral portion 15A of the lid 15 is to be joined is
The bonding material made of an insulating inorganic material as described above is applied in the form of a thin film having a thickness of about 0.1 to 10 μm, and the peripheral portion 15A of the lid 15 is brought into contact with the position where the bonding material A is applied. As shown. At this time, the other discharge electrode 12 formed on the upper surface 11A of the insulating substrate 11 is
As shown in FIG. 3A, the peripheral portion 15A of the metal lid 15 is positioned on the intermediary of a bonding material A made of an insulating inorganic material. Since the bonding material A made of a conductive inorganic material is interposed, the other discharge electrode 12 and the peripheral portion 15A of the lid 15 are not electrically connected to each other). By being inclined toward the lower surface of the insulating substrate 11, the gap 16 is formed between the lid 15 and the peripheral portion 15 </ b> A without contact with the peripheral portion 15 </ b> A.

【0026】次いで、この間隙16に、例えばガラスペ
ースト等の絶縁材ペーストを塗布するが、間隙16に塗
布されているガラスペーストは、加熱されて溶融する前
には、多くの隙間や孔が存在しており、蓋体15の内部
と外部との通気性を有するものである。そして、例え
ば、He,Ar,Ne,Xe,SF6,CO2,C38
26,CF4,H2及びこれらの混合ガス等の放電に適
した不活性ガス中で加熱することにより、上記の接合材
Aを溶融させて、蓋体15の周縁部15Aと絶縁性基板
11の上面11Aとを接合するのと同時に、間隙16に
塗布されているガラスペーストを介してさせて不活性ガ
スを蓋体15の内部空間に封入して放電空間を形成する
とともに、ガラスペーストが溶融して通気性を失い、間
隙16が絶縁材17に閉塞された状態となって封止され
る。すなわち、本実施形態によるサージアブソーバの製
造方法は、蓋体15を絶縁性基板11に接合する工程
と、間隙16を閉塞する工程を同時に行うものである。
Next, an insulating material paste such as a glass paste is applied to the gap 16, and the glass paste applied to the gap 16 has many gaps and holes before being heated and melted. It has air permeability between the inside and the outside of the lid 15. And, for example, He, Ar, Ne, Xe, SF 6 , CO 2 , C 3 F 8 ,
By heating in an inert gas suitable for electric discharge such as C 2 F 6 , CF 4 , H 2, or a mixture thereof, the above-described bonding material A is melted and insulated from the peripheral portion 15A of the lid 15. At the same time as bonding with the upper surface 11A of the conductive substrate 11, the inert gas is sealed in the inner space of the lid 15 through the glass paste applied to the gap 16 to form a discharge space. The paste melts and loses air permeability, and the gap 16 is closed by the insulating material 17 to be sealed. That is, in the method of manufacturing the surge absorber according to the present embodiment, the step of joining the lid 15 to the insulating substrate 11 and the step of closing the gap 16 are performed simultaneously.

【0027】また、上記接合材Aの加熱時には、図3
(b)に示すように、絶縁性無機物からなる接合材A
が、他方の放電電極12の成分である無機結合材と反応
溶融して、他方の放電電極12に吸収され消滅すること
により、蓋体15の周縁部15Aと他方の放電電極12
とが電気的に接合されて導通することになる。このと
き、接合材Aが塗布されている厚さが0.1μmより小
さいと、蓋体15の周縁部15Aと絶縁性基板11の上
面11Aとを隙間なく接合できずに、不活性ガスを封入
できないおそれがあり、一方、厚さが10μmより大き
いと、接合材Aが無機結合材と反応溶融しきれずに、蓋
体15の周縁部15Aと他方の放電電極12とを電気的
に接合することができなくなってしまうおそれが生じ
る。
When heating the bonding material A, FIG.
As shown in (b), bonding material A made of an insulating inorganic material
Reacts and melts with the inorganic binder, which is a component of the other discharge electrode 12, and is absorbed by the other discharge electrode 12 and disappears, so that the peripheral portion 15A of the lid 15 and the other discharge electrode 12
Are electrically connected to each other to conduct. At this time, if the thickness to which the bonding material A is applied is smaller than 0.1 μm, the peripheral portion 15A of the lid 15 and the upper surface 11A of the insulating substrate 11 cannot be bonded without a gap, and an inert gas is filled. On the other hand, if the thickness is larger than 10 μm, the bonding material A cannot completely react and melt with the inorganic binder, and the peripheral portion 15A of the lid 15 and the other discharge electrode 12 are electrically bonded. May not be able to be performed.

【0028】最後に、絶縁性基板11の両端面11B,
11Bに、例えばディッピング法により、端子電極1
8,18を絶縁性基板11の両端面11B、11Bに形
成するとともに、絶縁性基板11の両端面11B,11
Bまで延びる放電電極12,13の基端部12A,13
Aを端子電極18,18に接合して、上記のような構成
のサージアブソーバ10が製造される。
Finally, both end surfaces 11B of the insulating substrate 11
11B, the terminal electrode 1 is formed by a dipping method, for example.
8, 18 are formed on both end faces 11B, 11B of the insulating substrate 11, and both end faces 11B, 11B of the insulating substrate 11 are formed.
B, the base ends 12A, 13 of the discharge electrodes 12, 13
A is joined to the terminal electrodes 18 to manufacture the surge absorber 10 having the above-described configuration.

【0029】上記のような製造方法では、蓋体15を絶
縁性基板11に接合する工程と、一方の放電電極13と
蓋体15の周縁部15Aとの間に存在する間隙16をふ
さぐ工程とを同時に行うことができるので、製造工程の
減少につながり、効率的な製品の製造を行うことができ
る。
In the above-described manufacturing method, the step of bonding the lid 15 to the insulating substrate 11 and the step of closing the gap 16 existing between one of the discharge electrodes 13 and the peripheral portion 15A of the lid 15 are performed. Can be performed at the same time, which leads to a reduction in the number of manufacturing steps, and an efficient product can be manufactured.

【0030】なお、本実施形態においては、一方の放電
電極13がその途中部分から基端部13A側に向かうに
したがい絶縁性基板11の下面に近づくように傾斜し
て、一方の放電電極13と蓋体15の周縁部15Aとの
間に間隙16が形成されているが、一方の放電電極13
と蓋体15の周縁部15Aとの間に間隙が形成されれば
他の構成でもよく、例えば、絶縁性基板11に一方の放
電電極13の途中部分から基端部13Aに至るまで上面
11Aより一段低くなるように段差を形成するようにし
て間隙16を形成してもよいし、さらには、蓋体15の
周縁部15Aに、切り欠きを設けて、一方の放電電極1
3との間に間隙16が形成されるようにしてもよい。
In the present embodiment, one of the discharge electrodes 13 is inclined so as to approach the lower surface of the insulating substrate 11 from the intermediate portion toward the base end 13A side. A gap 16 is formed between the cover 15 and the peripheral portion 15A.
Another configuration may be used as long as a gap is formed between the upper electrode 11A and the peripheral portion 15A of the lid 15, for example, from the upper surface 11A of the insulating substrate 11 from the middle of one of the discharge electrodes 13 to the base end 13A. The gap 16 may be formed so as to form a step so as to be one step lower. Further, a notch is provided in the peripheral portion 15A of the lid 15 so that one of the discharge electrodes 1 is formed.
A gap 16 may be formed between the gap 3 and the gap 3.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、放電間隙によってサー
ジを吸収できることに加え、他方の放電電極と電気的に
接合された金属製の蓋体が空間から侵入する静電気等の
サージを集電する電極となるために、機器ケース、SW
パッド等の隙間から侵入する静電気を吸収またはグラウ
ンドへ逃がすことができる。しかも、一方の放電電極
と、金属製の蓋体との間で放電を行うこともができて、
放電電極に与える熱影響が少なくなり、サージアブソー
バの寿命の延長を図ることができる。また、放電空間を
形成する蓋体が金属製であることから、蓋体を安価に製
造することができ、サージアブソーバの製造コストを下
げることができる。さらに、絶縁性基板を用いることで
チップ形状のサージアブソーバを得ることができて、サ
ージアブソーバの小型化及び表面実装が可能になる。
According to the present invention, the surge can be absorbed by the discharge gap, and the metal lid electrically connected to the other discharge electrode collects surges such as static electricity that enter from the space. To become an electrode, equipment case, SW
It can absorb static electricity that enters from gaps such as pads or escape to the ground. Moreover, a discharge can be performed between one discharge electrode and the metal lid,
The influence of heat on the discharge electrode is reduced, and the life of the surge absorber can be extended. In addition, since the lid that forms the discharge space is made of metal, the lid can be manufactured at low cost, and the manufacturing cost of the surge absorber can be reduced. Further, by using an insulating substrate, a chip-shaped surge absorber can be obtained, and the size and surface mounting of the surge absorber can be reduced.

【0032】しかも、一方の放電電極が絶縁性基板の上
面に形成された溝部内に設けられるとともに、蓋体の周
縁部の一部が溝部の上方に位置して間隙が形成されてい
ることから、絶縁性基板の上面に溝部を形成するだけ
で、容易に蓋体の周縁部と一方の放電電極との間に間隙
を形成でき、さらに、間隙の閉塞作業を、溝部内に絶縁
材を埋め込むことで容易に行うことができる。
In addition, one of the discharge electrodes is provided in the groove formed on the upper surface of the insulating substrate, and a part of the peripheral portion of the lid is located above the groove to form a gap. By simply forming a groove on the upper surface of the insulating substrate, a gap can be easily formed between the peripheral portion of the lid and one of the discharge electrodes, and the gap can be closed by embedding an insulating material in the groove. This can be easily performed.

【0033】さらには、蓋体の周縁部を絶縁性基板の上
面に接合する工程と、一方の放電電極と蓋体の周縁部と
の間に形成された間隙をふさぐ工程とを不活性ガス中で
同時に加熱して行うことから、サージアブソーバの製造
工程を減らすことができて、能率的な製造が可能にな
る。
Further, the step of bonding the peripheral portion of the lid to the upper surface of the insulating substrate and the step of closing the gap formed between one discharge electrode and the peripheral portion of the lid are performed in an inert gas. And heating at the same time, the number of manufacturing steps of the surge absorber can be reduced, and efficient manufacturing becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施形態によるサージアブソーバ
の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a surge absorber according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施形態によるサージアブソーバ
の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a surge absorber according to the embodiment of the present invention.

【図3】 (a)は接合材を加熱して溶融させる前の
状態を示す説明図、(b)は接合材を加熱して溶融させ
た後の状態を示す説明図である。
FIG. 3A is an explanatory view showing a state before heating and melting a joining material, and FIG. 3B is an explanatory view showing a state after heating and melting a joining material.

【図4】 従来のサージアブソーバを示す断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional surge absorber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 サージアブソーバ 11 絶縁性基板 11A 上面 12,13 放電電極 12A,13A 基端部 14 放電間隙 15 蓋体 15A 周縁部 16 間隙 17 絶縁材 18 端子電極 A 接合材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Surge absorber 11 Insulating substrate 11A Upper surface 12, 13 Discharge electrode 12A, 13A Base end 14 Discharge gap 15 Lid 15A Peripheral part 16 Gap 17 Insulating material 18 Terminal electrode A Bonding material

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁性基板の上面に、放電間隙を介し
互いに相対向して一対の放電電極を形成するとともに、
これら放電電極の上方空間を囲うように蓋体の周縁部を
前記絶縁性基板の上面に接合材により接合する蓋体接合
工程と、該蓋体によって形成される内部空間に不活性ガ
スを封入するガス封入工程とを有するサージアブソーバ
の製造方法であって、 前記蓋体接合工程は、前記絶縁性基板の上面に、金属粉
末と無機結合材とを含む導電性材料により前記放電電極
を形成する工程と、 絶縁性無機物からなる前記接合材を金属製の前記蓋体の
周縁部または前記放電電極の少なくとも一方に塗布し
て、前記蓋体を前記絶縁性基板の上面に載置し、前記放
電電極のうち一方と前記蓋体の周縁部との間に間隙を設
ける工程と、 前記蓋体の周縁部を加熱して前記接合材を前記無機結合
材に反応溶融させて前記放電電極に吸収させ消滅させる
ことにより、前記放電電極のうち他方と前記蓋体の周縁
部とを電気的に接合する工程とを有し、 前記ガス封入工程は、前記間隙に内外の通気が可能な絶
縁材ペーストを塗布する工程と、 不活性ガス雰囲気中で前記間隙の絶縁材ペーストを加熱
して溶融させることにより該間隙を気密状態に閉塞する
工程とを有することを特徴とするサージアブソーバの製
造方法。
1. A pair of discharge electrodes are formed on an upper surface of an insulating substrate so as to face each other via a discharge gap.
A lid bonding step of bonding the peripheral portion of the lid to the upper surface of the insulating substrate with a bonding material so as to surround the space above the discharge electrodes, and filling an inert gas into an internal space formed by the lid. A method of manufacturing a surge absorber having a gas filling step, wherein the lid bonding step is a step of forming the discharge electrode on a top surface of the insulating substrate using a conductive material including a metal powder and an inorganic binder. Applying the bonding material made of an insulating inorganic material to at least one of a peripheral portion of the metal lid and the discharge electrode, placing the lid on an upper surface of the insulating substrate, and setting the discharge electrode Providing a gap between one of the two and the peripheral portion of the lid, and heating the peripheral portion of the lid to react and melt the bonding material in the inorganic binder and absorb and disappear in the discharge electrode. By allowing Electrically connecting the other of the electrodes to the peripheral portion of the lid, wherein the gas filling step includes applying an insulating material paste through which air can flow inside and outside the gap; Heating and melting the insulating paste in the gap in an active gas atmosphere to close the gap in an airtight state.
【請求項2】 請求項1に記載のサージアブソーバの
製造方法において、 前記蓋体接合工程は、前記絶縁性基板の上面に溝部を形
成し、該溝部内に前記一方の放電電極を設け、 さらに前記蓋体を、その周縁部の一部が前記溝部の上方
に位置するように接合して前記間隙を形成することを特
徴とするサージアブソーバ。
2. The method of manufacturing a surge absorber according to claim 1, wherein in the lid joining step, a groove is formed on an upper surface of the insulating substrate, and the one discharge electrode is provided in the groove. The surge absorber is characterized in that the lid is joined so that a part of a peripheral portion thereof is located above the groove, thereby forming the gap.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のサー
ジアブソーバの製造方法において、 前記接合材を、前記ガス封入工程における前記間隙を閉
塞する工程の加熱時に同時に溶融させることを特徴とす
るサージアブソーバの製造方法。
3. The method of manufacturing a surge absorber according to claim 1, wherein the bonding material is melted simultaneously with heating in the step of closing the gap in the gas filling step. Absorber manufacturing method.
【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれかに記
載のサージアブソーバの製造方法において、 前記無機結合材を、SiO2,B23,Na2O,Pb
O,ZnOまたはBaOのうちの1種または2種以上の
酸化物を主成分とするガラス微粒子により構成し、 前記接合材を、SiO2または50重量%以上のSiO2
と残部がAl23,MgO,ZrO2またはTiO2のう
ちの1種または2種以上の酸化物により構成することを
特徴とするサージアブソーバの製造方法。
4. The method of manufacturing a surge absorber according to claim 1, wherein the inorganic binder is made of SiO 2 , B 2 O 3 , Na 2 O, Pb.
The bonding material is composed of glass fine particles mainly containing one or more oxides of O, ZnO and BaO, and the bonding material is made of SiO 2 or 50 wt% or more of SiO 2.
A method of manufacturing a surge absorber, wherein the remainder is composed of one or more oxides of Al 2 O 3 , MgO, ZrO 2 or TiO 2 .
【請求項5】 請求項1乃至請求項3のいずれかに記
載のサージアブソーバの製造方法において、 前記無機結合材を、SiO2,B23,Na2O,Pb
O,ZnOまたはBaOのうちの1種または2種以上の
酸化物を主成分とするガラス微粒子により構成し、 前記接合材を、SiO2,B23,Na2O,PbO,Z
nOまたはBaOのうちの1種または2種以上の酸化物
を主成分とするガラスにより構成することを特徴とする
サージアブソーバの製造方法。
5. The method for manufacturing a surge absorber according to claim 1, wherein the inorganic binder is made of SiO 2 , B 2 O 3 , Na 2 O, Pb.
It is composed of glass fine particles containing one or more oxides of O, ZnO or BaO as a main component, and the bonding material is made of SiO 2 , B 2 O 3 , Na 2 O, PbO, Z
A method for manufacturing a surge absorber, comprising a glass mainly containing one or more oxides of nO or BaO.
【請求項6】 絶縁性基板の上面に、放電間隙を介し
互いに相対向して一対の放電電極が形成されるととも
に、これら放電電極の上方空間を囲うように蓋体の周縁
部が前記絶縁性基板の上面に接合され、該蓋体によって
形成される内部空間に不活性ガスが封入されたサージア
ブソーバであって、 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のサージアブソ
ーバの製造方法によって製造されるサージアブソーバ。
6. A pair of discharge electrodes are formed on an upper surface of an insulating substrate so as to face each other with a discharge gap therebetween, and a peripheral portion of the lid is formed of the insulating material so as to surround a space above the discharge electrodes. A surge absorber joined to an upper surface of a substrate and filled with an inert gas in an internal space formed by the lid, manufactured by the method of manufacturing a surge absorber according to claim 1. Surge absorber to be used.
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