JP2002249550A - Epoxy resin composition and semiconductor device - Google Patents

Epoxy resin composition and semiconductor device

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JP2002249550A
JP2002249550A JP2001050899A JP2001050899A JP2002249550A JP 2002249550 A JP2002249550 A JP 2002249550A JP 2001050899 A JP2001050899 A JP 2001050899A JP 2001050899 A JP2001050899 A JP 2001050899A JP 2002249550 A JP2002249550 A JP 2002249550A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition having properties which excel in storage stability at normal temperatures, moldability, mold release characteristics, flame retardance and soldering stress resistance. SOLUTION: The semiconductor sealing epoxy resin composition comprises, as the essential components, (A) epoxy resins which are (a) a glycidyl etherified product of 4,4'-dihydroxy-3,3',5,5'-tetramethylbiphenyl and (b) a glycidyl etherified product of bis(3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl)methane, (B) a phenolic resin to be represented by formula (1) (wherein n is a mean value and an positive number of 1-10), (C) a whole inorganic substance, (D) a curing accelerator, and (E) a urethane product of an oxidized microcrystalline wax and a urethane product of an oxidized polyethylene wax.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、常温保管性、成形
性、離型性に優れる半導体封止用エポキシ樹脂組成物及
び難燃性、耐半田ストレス性に優れる半導体装置に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation having excellent room temperature storage properties, moldability and mold release properties, and a semiconductor device having excellent flame retardancy and solder stress resistance.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ダイオード、トランジスタ、集積
回路等の半導体装置は、主にエポキシ樹脂組成物で封止
されているが、これらのエポキシ樹脂組成物中には、通
常難燃性を付与するために、通常臭素含有有機化合物及
び三酸化アンチモン、四酸化アンチモン等のアンチモン
化合物が配合されている。ところが、環境・衛生の点か
ら臭素含有有機化合物及びアンチモン化合物を使用しな
いで、難燃性に優れたエポキシ樹脂組成物の開発が望ま
れている。又半導体装置をプリント回路基板への実装時
において、鉛を含有する半田(スズ−鉛合金)が使用さ
れており、同様に環境・衛生の点から鉛を含有する半田
(スズ−鉛合金)を使用しないことが望まれている。鉛
を含有する半田(スズ−鉛合金)の融点は、183℃
で、実装時の半田処理の温度は220〜240℃であ
る。これに対し、スズ−銀合金に代表される鉛を含有し
ない半田では、融点が高く、半田処理時の温度が260
℃程度となるため、より耐半田ストレス性に優れたエポ
キシ樹脂組成物の開発が望まれている。
2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor devices such as diodes, transistors, and integrated circuits are mainly sealed with an epoxy resin composition. These epoxy resin compositions usually impart flame retardancy. For this purpose, a bromine-containing organic compound and an antimony compound such as antimony trioxide and antimony tetroxide are usually blended. However, development of an epoxy resin composition excellent in flame retardancy without using a bromine-containing organic compound and an antimony compound is desired from the viewpoint of environment and hygiene. In addition, when a semiconductor device is mounted on a printed circuit board, lead-containing solder (tin-lead alloy) is used. Similarly, lead-containing solder (tin-lead alloy) is used from the viewpoint of environment and sanitation. It is desired not to use. The melting point of solder containing lead (tin-lead alloy) is 183 ° C
The soldering temperature during mounting is 220 to 240 ° C. On the other hand, a lead-free solder typified by a tin-silver alloy has a high melting point and a temperature of 260 ° C.
Since the temperature is about ℃, development of an epoxy resin composition having more excellent soldering stress resistance is desired.

【0003】難燃性や耐半田ストレス性を向上させるた
めには無機充填材を高充填化し、樹脂成分の含有量を減
少させる必要があり、この手法の一つとして低粘度樹脂
を用いる方法がある。現在、難燃剤を使用しないで低粘
度樹脂を用い無機充填材を高充填化したエポキシ樹脂組
成物或いは難燃性の高い樹脂を用いたエポキシ樹脂組成
物や、各種の難燃剤を用いたエポキシ樹脂組成物が提案
されているが、エポキシ樹脂組成物として良好な成形性
或いは耐半田ストレス性を完全に満足させるものは、未
だ提案されていない。これは低粘度樹脂が一般的に低分
子量化合物であり、このため成形時の加熱により3次元
化して得られる架橋構造の架橋密度は低くなり、機械的
強度や熱時弾性率が低い硬化物となるため、金型からの
離型時に硬化物が金型に付着したり或いは成形品の割れ
・欠けが発生する等、成形性、及び離型性に劣るという
欠点を有するからである。更に、半導体装置をエポキシ
樹脂組成物で封止する工程において、生産効率向上の手
段の一つとして成形時間を短くすることが求められてい
る。このためには成形時の速硬化性、高離型性が要求さ
れる。従来から用いられている硬化促進剤では、成形時
の速硬化性を達成するのに十分な量を添加すると、エポ
キシ樹脂組成物の常温での保存性が極端に低下するとい
う問題点がある。また、従来から用いられている離型剤
では、離型性を向上させるのに十分な量を添加すると、
多量の離型剤が金型側に付着することによる金型曇り、
型取られといった成形性の低下の問題があり、必ずしも
満足できるものではなかった。このため、金型汚れが少
なく、成形性、離型性、耐湿性及び耐半田ストレス性に
優れたエポキシ樹脂組成物の開発が望まれていた。
In order to improve flame retardancy and solder stress resistance, it is necessary to increase the amount of an inorganic filler and reduce the content of a resin component. One of the methods is to use a low-viscosity resin. is there. At present, an epoxy resin composition using a low-viscosity resin without using a flame retardant and highly filled with an inorganic filler, an epoxy resin composition using a resin with high flame retardancy, and an epoxy resin using various flame retardants Although a composition has been proposed, an epoxy resin composition which completely satisfies good moldability or solder stress resistance has not been proposed yet. This is because a low-viscosity resin is generally a low-molecular-weight compound. Therefore, the cross-linking density of a cross-linked structure obtained by heating during molding becomes low, resulting in a cured product having low mechanical strength and a low elastic modulus when heated. Therefore, when the mold is released from the mold, the cured product is inferior in moldability and mold releasability, such as adhesion of the cured product to the mold or cracking or chipping of the molded product. Furthermore, in the step of sealing a semiconductor device with an epoxy resin composition, it is required to shorten the molding time as one of means for improving production efficiency. For this purpose, quick curing and high mold release during molding are required. When a conventional curing accelerator is added in an amount sufficient to achieve rapid curing at the time of molding, there is a problem that the storage stability of the epoxy resin composition at room temperature is extremely reduced. In addition, in the case of a conventionally used release agent, when a sufficient amount is added to improve the releasability,
Mold fogging due to a large amount of release agent adhering to the mold side,
There was a problem of deterioration in moldability, such as mold removal, and it was not always satisfactory. For this reason, there has been a demand for an epoxy resin composition having less mold contamination and having excellent moldability, release properties, moisture resistance and solder stress resistance.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、常温保管
性、金型汚れが少なく、成形性、離型性、及び難燃性、
耐半田ストレス性に優れる半導体装置を提供するもので
ある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention relates to a storage medium at room temperature, less mold contamination, moldability, mold release, flame retardancy,
An object of the present invention is to provide a semiconductor device having excellent solder stress resistance.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、[1](A)
4,4’−ジヒドロキシ−3,3’,5,5’−テトラ
メチルビフェニルのグリシジルエーテル化物(a)及び
ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メ
タンのグリシジルエーテル化物(b)であるエポキシ樹
脂、(B)一般式(1)で示されるフェノール樹脂、
(C)全無機物、(D)式(2)、一般式(3)、或い
はテトラ置換ホスホニウム(P)と1分子内にフェノー
ル性水酸基を2個以上有する化合物(Q)及び1分子内
にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(Q)の
共役塩基との分子会合体(M)であって、該共役塩基が
前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化
合物(Q)から1個の水素を除いたフェノキシド型化合
物からなる硬化促進剤から選ばれる1種以上の硬化促進
剤、及び(E)酸化マイクロクリスタリンワックスのウ
レタン化物と酸化ポリエチレンワックスのウレタン化物
を必須成分とし、(a)と(b)との重量比(a/b)
が1/3〜3であり、全無機物が全エポキシ樹脂組成物
中87〜94重量%であり、酸化マイクロクリスタリン
ワックスのウレタン化物と酸化ポリエチレンワックスの
ウレタン化物が、全エポキシ樹脂組成物中0.05〜
0.4重量%であることを特徴とする半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物、[2](A)4,4’−ジヒドロキシ
−3,3’,5,5’−テトラメチルビフェニルのグリ
シジルエーテル化物(a)及びビス(3,5−ジメチル
−4−ヒドロキシフェニル)メタンのグリシジルエーテ
ル化物(b)であるエポキシ樹脂、(B)一般式(1)
で示されるフェノール樹脂、(C)全無機物、(D)式
(2)、一般式(3)、テトラ置換ホスホニウム(P)
と1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合
物(Q)及び1分子内にフェノール性水酸基を2個以上
有する化合物(Q)の共役塩基との分子会合体(M)で
あって、該共役塩基が前記1分子内にフェノール性水酸
基を2個以上有する化合物(Q)から1個の水素を除い
たフェノキシド型化合物からなる硬化促進剤から選ばれ
る1種以上の硬化促進剤、及び(E)酸化マイクロクリ
スタリンワックスと酸化ポリエチレンワックスをウレタ
ン化させたものを必須成分とし、(a)と(b)との重
量比(a/b)が1/3〜3で、全無機物が全エポキシ
樹脂組成物中87〜94重量%であり、臭素含有有機化
合物、及びアンチモン化合物が、それぞれの難燃剤成分
毎に1000ppm以下で、酸化マイクロクリスタリン
ワックスのウレタン化物と酸化ポリエチレンワックスの
ウレタン化物が、全エポキシ樹脂組成物中0.05〜
0.4重量%であることを特徴とする半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物、
Means for Solving the Problems The present invention provides [1] (A)
Glycidyl ether of 4,4'-dihydroxy-3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl (a) and glycidyl ether of bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane (b) An epoxy resin, (B) a phenolic resin represented by the general formula (1),
(C) All inorganic substances, (D) Formula (2), general formula (3), or a compound (Q) having tetra-substituted phosphonium (P) and two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and phenol in one molecule A compound (M) with a conjugate base of a compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups, wherein the conjugate base is one compound from the compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule. One or more curing accelerators selected from curing accelerators comprising a phenoxide type compound excluding hydrogen, and (E) a urethane compound of oxidized microcrystalline wax and a urethane compound of polyethylene oxide wax as essential components; Weight ratio between (a) and (b) (a / b)
Is 1/3 to 3 and the total amount of inorganic substances is 87 to 94% by weight in the total epoxy resin composition. The urethane compound of the oxidized microcrystalline wax and the urethane compound of the polyethylene oxide wax are included in the total epoxy resin composition in an amount of 0. 05-
(2) (A) glycidyl ether of 4,4'-dihydroxy-3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl, wherein the epoxy resin composition is 0.4% by weight. (A) and an epoxy resin which is a glycidyl etherified product of bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane (b), (B) a general formula (1)
A phenolic resin represented by the formula: (C) all inorganic substances, (D) formula (2), general formula (3), tetra-substituted phosphonium (P)
A compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule and a conjugate base (M) of a compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, One or more curing accelerators selected from curing accelerators composed of a phenoxide-type compound in which one hydrogen is removed from the compound (Q) in which the conjugate base has two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and (E) ) An urethane-oxidized microcrystalline wax and a polyethylene oxide wax are used as essential components. The weight ratio (a / b) of (a) and (b) is 1/3 to 3, and all inorganic substances are all epoxy resin. 87 to 94% by weight of the composition, the bromine-containing organic compound and the antimony compound each containing 1000 ppm or less of each flame retardant component, and urethane of oxidized microcrystalline wax. Product urethane product of oxidized polyethylene wax, 0.05 total epoxy resin composition
0.4% by weight of an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation,

【0006】[0006]

【化4】 (nは平均値で、1〜10の正数)Embedded image (N is an average value and a positive number from 1 to 10)

【0007】[0007]

【化5】 Embedded image

【0008】[0008]

【化6】 (ただし、式中、X1、X2、X3、及びX4は、芳香
環もしくは複素環を有する1価の有機酸又は1価の脂肪
族基であり、それらは互いに同一であっても異なってい
てもよい。Y1、Y2、Y3、及びY4は、芳香環もし
くは複素環を有する1価の有機酸又は1価の脂肪族基で
あって、それらのうち少なくとも1個は、分子外に放出
しうるプロトンを少なくとも1個有するプロトン供与体
がプロトンを1個放出してなる基であり、それらは互い
に同一であっても異なっていてもよい。) [3]第[1]項1又は[2]項記載の半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなるこ
とを特徴とする半導体装置、である。
Embedded image (Wherein, X1, X2, X3, and X4 are monovalent organic acids or monovalent aliphatic groups having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and they may be the same or different from each other. Y1, Y2, Y3, and Y4 are a monovalent organic acid or a monovalent aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and at least one of them is a proton that can be released outside the molecule. Is a group obtained by releasing one proton, which may be the same or different from each other.) [3] Item [1] 1 or [2] A semiconductor device, wherein a semiconductor element is encapsulated using the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation described above.

【0009】[0009]

【発明の実施の様態】本発明に用いるエポキシ樹脂は、
4,4’−ジヒドロキシ−3,3’,5,5’−テトラ
メチルビフェニルのグリシジルエーテル化物(a)及び
ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メ
タンのグリシジルエーテル化物(b)であり、常温では
結晶性の固体であるが、加熱により溶融すると極めて低
粘度の液状となる特性を有している。これにより無機充
填材の高充填化、ひいてはエポキシ樹脂組成物の硬化物
の低吸湿化が可能となる。従って、これらのエポキシ樹
脂を用いた樹脂組成物で、封止された半導体装置は、実
装時の半田処理下でも高い信頼性を得ることができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The epoxy resin used in the present invention comprises:
Glycidyl ether of 4,4'-dihydroxy-3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl (a) and glycidyl ether of bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane (b) Yes, it is a crystalline solid at room temperature, but has the property of becoming a very low viscosity liquid when melted by heating. This makes it possible to increase the amount of the inorganic filler, and thus reduce the moisture absorption of the cured product of the epoxy resin composition. Therefore, a semiconductor device sealed with a resin composition using these epoxy resins can have high reliability even under a soldering process at the time of mounting.

【0010】本発明に用いるエポキシ樹脂は、4,4’
−ジヒドロキシ−3,3’,5,5’−テトラメチルビ
フェニルのグリシジルエーテル化物(a)とビス(3,
5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メタンのグリ
シジルエーテル化物(b)との重量比(a/b)として
は1/3〜3の範囲が好ましく、より好ましくは1/2
〜2である。この範囲を外れると流動性、硬化性、耐半
田ストレス性に優れるという特性を十分に発現できない
ので好ましくない。樹脂の混合方法については特に限定
しない。4,4’−ジヒドロキシ−3,3’,5,5’
−テトラメチルビフェニルのグリシジルエーテル化物
(a)とビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェ
ニル)メタンのグリシジルエーテル化物(b)とからな
るエポキシ樹脂の本来の特性を損なわない範囲で他のエ
ポキシ樹脂と併用してもよい。併用する場合は、分子中
にエポキシ基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマー
全般で、極力低粘度のものを使用することが望ましい。
しかし、低粘度のエポキシ樹脂を用いると、無機充填材
を高充填化でき、耐半田ストレス性を向上できるが、架
橋密度が低くなるため、成形性、離型性が劣るおそれが
ある。そこで後述する本発明の硬化促進剤及び離型剤を
用いることにより、成形性、離型性を改善することがで
きる。
The epoxy resin used in the present invention is 4,4 ′
Glycidyl etherified product of -dihydroxy-3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl (a) and bis (3,3)
The weight ratio (a / b) of 5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane to the glycidyl etherified product (b) is preferably in the range of 1/3 to 3, more preferably 1/2.
~ 2. If the ratio is out of this range, characteristics such as excellent fluidity, curability, and resistance to solder stress cannot be sufficiently exhibited, which is not preferable. The method for mixing the resins is not particularly limited. 4,4'-dihydroxy-3,3 ', 5,5'
An epoxy resin comprising a glycidyl etherified product of tetramethylbiphenyl (a) and a glycidyl etherified product of bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane (b) as long as the epoxy resin does not impair the essential properties. You may use together with resin. When used in combination, it is desirable to use as low a viscosity as possible for all monomers, oligomers and polymers having an epoxy group in the molecule.
However, when a low-viscosity epoxy resin is used, the inorganic filler can be highly filled and the soldering stress resistance can be improved. However, since the crosslink density is low, moldability and mold release properties may be inferior. Therefore, the moldability and the mold release property can be improved by using the curing accelerator and the mold release agent of the present invention described later.

【0011】本発明に用いる一般式(1)で示されフェ
ノール樹脂は、メチレン−ビフェニル骨格−メチレン構
造を有しており、これを用いたエポキシ樹脂組成物の硬
化物は低弾性率を示し、又低吸湿となるので、リードフ
レーム等の金属類及びシリコンチップ等の半導体素子と
の密着性に優れている。nは平均値で、1〜10正数で
あり、n=1〜3の重量比率が50%以上であることが
望ましい。n=4以上の重量比率が大きくなると、樹脂
粘度が高くなるため、流動性が低下する。一般式(1)
で示されフェノール樹脂の使用量は、これを調節するこ
とにより、耐半田ストレス性を最大限に引き出すことが
できる。耐半田ストレス性の効果を引き出すためには、
一般式(1)で示されるフェノール樹脂を、全フェノー
ル樹脂量中に30重量%以上、好ましくは50重量%以
上含むものが望ましい。30重量%未満であると、耐半
田ストレス性が不充分となるおそれがある。本発明に用
いる一般式(1)で示されるフェノール樹脂の特性を損
なわない範囲で他のフェノール樹脂と併用してもよい。
併用する場合は、分子中にフェノール性水酸基を有する
モノマー、オリゴマー、ポリマー全般で、極力低粘度の
ものを使用することが望ましい。しかし、低粘度、可撓
性を有するフェノール樹脂を用いると、架橋密度が低く
なるため、成形性、離型性が劣るおそれがある。そこで
後述する本発明の硬化促進剤及び離型剤を用いることに
より、成形性、離型性を改善できる。本発明に用いられ
る全エポキシ樹脂のエポキシ基と全フェノール樹脂のフ
ェノール性水酸基の当量比は、好ましくは0.5〜2で
あり、特に0.7〜1.5がより好ましい。0.5〜2
の範囲を外れると、耐湿性、硬化性等が低下するので好
ましくない。
The phenolic resin represented by the general formula (1) used in the present invention has a methylene-biphenyl skeleton-methylene structure, and a cured product of an epoxy resin composition using the same has a low elastic modulus. Also, since it has low moisture absorption, it has excellent adhesion to metals such as lead frames and semiconductor elements such as silicon chips. n is an average value of 1 to 10 positive numbers, and the weight ratio of n = 1 to 3 is desirably 50% or more. When the weight ratio of n = 4 or more increases, the resin viscosity increases and the fluidity decreases. General formula (1)
By adjusting the amount of the phenol resin used, the solder stress resistance can be maximized. To bring out the effect of solder stress resistance,
It is desirable that the phenolic resin represented by the general formula (1) be contained in an amount of at least 30% by weight, preferably at least 50% by weight, based on the total amount of the phenolic resin. If the amount is less than 30% by weight, the solder stress resistance may be insufficient. The phenol resin represented by the general formula (1) used in the present invention may be used in combination with another phenol resin as long as the properties of the phenol resin are not impaired.
When used in combination, it is desirable to use a monomer, oligomer or polymer having a phenolic hydroxyl group in the molecule that has as low a viscosity as possible. However, when a phenol resin having low viscosity and flexibility is used, the crosslink density becomes low, so that the moldability and the releasability may be inferior. Therefore, by using the curing accelerator and the release agent of the present invention described later, the moldability and the release property can be improved. The equivalent ratio of the epoxy group of all epoxy resins used in the present invention to the phenolic hydroxyl group of all phenolic resins is preferably 0.5 to 2, and more preferably 0.7 to 1.5. 0.5-2
If the ratio is out of the range, the moisture resistance, the curability and the like are undesirably reduced.

【0012】本発明で用いる全無機物とは、一般に封止
材料に用いられている無機充填材と必要により添加され
る難燃剤としてのアンチモン化合物、無機イオン交換体
等の無機物とを加算したものである。本発明で用いる無
機充填材の種類については特に制限はなく、例えば溶融
破砕シリカ、溶融球状シリカ、結晶シリカ、2次凝集シ
リカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム
等が挙げられ、特に溶融球状シリカが好ましい。溶融球
状シリカの形状としては、流動性改善のために限りなく
真球状であり、かつ粒度分布がブロードであることが好
ましい。全無機物の含有量としては、全エポキシ樹脂組
成物中87〜94重量%が好ましい。87重量%未満だ
と、低吸湿性が得られず耐半田ストレス性が不十分とな
り、臭素化オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、臭素化ビスA型エポキシ樹脂等の臭素含有有機化合
物及び三酸化アンチモン、四酸化アンチモン等のアンチ
モン化合物等の難燃剤を添加しないと難燃性が不足し好
ましくない。94重量%を越えると、流動性が低下し、
成形時に充填不良等が生じたり、高粘度化による半導体
装置内の金線変形等の不都合が生じるおそれがあるので
好ましくない。本発明において、臭素含有有機化合物及
びアンチモン化合物の難燃剤はそれぞれの難燃剤成分毎
に1000ppm以下とする。これは意図して難燃剤を
添加しない場合であっても、原料や製造段階において混
入するレベルを0ppmにすることは経済上の理由から
困難であるため現実的な指標として定めるもので、当然
0ppmであっても0ppbであっても本発明の機能は
有効である。本発明に用いる無機充填材は、予め十分に
混合しておくことが好ましい。又必要に応じて無機充填
材をカップリング剤やエポキシ樹脂或いはフェノール樹
脂で予め処理して用いてもよく、処理の方法としては、
溶剤を用いて混合した後に溶媒を除去する方法や直接無
機充填材に添加し、混合機を用いて処理する方法等があ
る。
The total inorganic substance used in the present invention is a sum of an inorganic filler generally used in a sealing material and an inorganic substance such as an antimony compound as a flame retardant and an inorganic ion exchanger added as needed. is there. The type of the inorganic filler used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include fused silica, fused spherical silica, crystalline silica, secondary aggregated silica, alumina, titanium white, and aluminum hydroxide. Is preferred. As the shape of the fused spherical silica, it is preferable that the shape is infinitely spherical and the particle size distribution is broad in order to improve fluidity. The content of all inorganic substances is preferably 87 to 94% by weight in the whole epoxy resin composition. If it is less than 87% by weight, low moisture absorption is not obtained and solder stress resistance becomes insufficient, and bromine-containing organic compounds such as brominated orthocresol novolak type epoxy resin and brominated bis A type epoxy resin and antimony trioxide, Unless a flame retardant such as an antimony compound such as antimony tetroxide is added, the flame retardancy is insufficient, which is not preferable. If it exceeds 94% by weight, the fluidity is reduced,
It is not preferable because there is a possibility that incomplete filling or the like may occur at the time of molding or a problem such as deformation of a gold wire in the semiconductor device due to an increase in viscosity may occur. In the present invention, the flame retardant of the bromine-containing organic compound and the antimony compound is 1000 ppm or less for each flame retardant component. Even if the flame retardant is not intentionally added, it is difficult to set the level mixed in the raw materials and the production stage to 0 ppm for economic reasons. And 0 ppb, the function of the present invention is effective. It is preferable that the inorganic filler used in the present invention is sufficiently mixed in advance. If necessary, the inorganic filler may be treated in advance with a coupling agent, an epoxy resin, or a phenol resin, and may be used.
There are a method of removing the solvent after mixing using a solvent, and a method of adding the solvent directly to the inorganic filler and treating the mixture using a mixer.

【0013】本発明に用いる式(2)で示される硬化促
進剤は、常温では触媒活性を示さないのでエポキシ樹脂
組成物の硬化反応が進むことがなく、成形時の高温にお
いて触媒活性が発現し、かつ一旦発現すると従来の硬化
促進剤よりも強い触媒活性を示し、エポキシ樹脂組成物
を高度に硬化させる特徴を有している。本発明に用いる
一般式(3)で示される硬化促進剤は、ホスホニウムボ
レートからなる。ただし、一般式(3)において、ホス
ホニウム基のX1、X2、X3及びX4は、芳香環若し
くは複素環を有する1価の有機基又は1価の脂肪族基で
あり、それらは互いに同一であっても異なっていてもよ
い。このようなホスホニウム基としては、例えば、テト
ラフェニルホスホニウム、テトラトリルホスホニウム、
テトラエチルフェニルホスホニウム、テトラメトキシフ
ェニルホスホニウム、テトラナフチルホスホニウム、テ
トラベンジルホスホニウム、エチルトリフェニルホスホ
ニウム、n−ブチルトリフェニルホスホニウム、2−ヒ
ドロキシエチルトリフェニルホスホニウム、トリメチル
フェニルホスホニウム、メチルジエチルフェニルホスホ
ニウム、メチルジアリルフェニルホスホニウム、テトラ
−n−ブチルホスホニウム等を挙げることができる。一
般式(3)において、X1、X2、X3及びX4は、芳
香環を有する1価の有機基であることが特に好ましく、
又一般式(3)で示されるホスホニウムボレートの融点
は特に限定されるものではないが、均一分散の点からは
250℃以下であることが好ましい。特に、テトラフェ
ニルホスホニウム基を有するホスホニウムボレートは、
エポキシ樹脂、フェノール樹脂との相溶性が良好であ
り、好適に使用することができる。
The curing accelerator represented by the formula (2) used in the present invention does not exhibit catalytic activity at normal temperature, so that the curing reaction of the epoxy resin composition does not proceed, and the catalytic activity is exhibited at high temperature during molding. Once exhibited, they exhibit a higher catalytic activity than conventional curing accelerators, and have the characteristic of highly curing epoxy resin compositions. The curing accelerator represented by the general formula (3) used in the present invention comprises phosphonium borate. However, in the general formula (3), X1, X2, X3 and X4 of the phosphonium group are a monovalent organic group or a monovalent aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and they are the same as each other. May also be different. Such phosphonium groups include, for example, tetraphenylphosphonium, tetratolylphosphonium,
Tetraethylphenylphosphonium, tetramethoxyphenylphosphonium, tetranaphthylphosphonium, tetrabenzylphosphonium, ethyltriphenylphosphonium, n-butyltriphenylphosphonium, 2-hydroxyethyltriphenylphosphonium, trimethylphenylphosphonium, methyldiethylphenylphosphonium, methyldiallylphenylphosphonium And tetra-n-butylphosphonium. In the general formula (3), X1, X2, X3 and X4 are particularly preferably a monovalent organic group having an aromatic ring,
The melting point of the phosphonium borate represented by the general formula (3) is not particularly limited, but is preferably 250 ° C. or less from the viewpoint of uniform dispersion. In particular, phosphonium borate having a tetraphenylphosphonium group,
It has good compatibility with epoxy resins and phenolic resins, and can be suitably used.

【0014】一般式(3)において、ボレート基のY
1、Y2、Y3及びY4は、芳香環若しくは複素環を有
する1価の有機基又は1価の脂肪族基であって、それら
のうちの少なくとも1個は、分子外に放出しうるプロト
ンを少なくとも1個有するプロトン供与体がプロトンを
1個放出してなる基であり、Y1、Y2、Y3及びY4
は互いに同一であっても異なっていてもよい。このよう
なボレート基を与えるプロトン供与体としては、例え
ば、安息香酸、1−ナフトエ酸、2−ナフトエ酸、フタ
ル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、2,6−ナフ
タレンジカルボン酸等の芳香族カルボン酸やフェノー
ル、ビフェノール、ビスフェノールA、ビスフェノール
F、1−ナフトール、2−ナフトール、ポリフェノール
等のフェノール性化合物が良好であり、好適に使用でき
る。本発明で用いられる一般式(3)で示され硬化促進
剤は、エポキシ樹脂組成物に配合された場合、常温では
触媒活性を示さないのでエポキシ樹脂の硬化反応が進む
ことがなく、成形時の高温において触媒活性が発現し、
かつ一旦発現すると従来の硬化促進剤よりも強い触媒活
性を示してエポキシ樹脂組成物を高度に硬化させる。
In the general formula (3), Y of the borate group
1, Y2, Y3 and Y4 are a monovalent organic group or a monovalent aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and at least one of them has at least a proton capable of being released outside the molecule. The proton donor having one proton is a group formed by releasing one proton, and Y1, Y2, Y3 and Y4
May be the same or different. Examples of such a proton donor that provides a borate group include aromatic acids such as benzoic acid, 1-naphthoic acid, 2-naphthoic acid, phthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid. Phenolic compounds such as carboxylic acid, phenol, biphenol, bisphenol A, bisphenol F, 1-naphthol, 2-naphthol, and polyphenol are good and can be suitably used. When the curing accelerator represented by the general formula (3) used in the present invention is mixed with the epoxy resin composition, it does not show catalytic activity at room temperature, so that the curing reaction of the epoxy resin does not progress, and the At high temperatures, catalytic activity develops,
Once developed, the epoxy resin composition exhibits a higher catalytic activity than conventional curing accelerators and cures the epoxy resin composition to a high degree.

【0015】本発明で用いるテトラ置換ホスホニウム
(P)と1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有す
る化合物(Q)及び1分子内にフェノール性水酸基を2
個以上有する化合物(Q)の共役塩基との分子会合体
(M)であって、該共役塩基が前記フェノール性水酸基
を2個以上有する化合物(Q)から1個の水素を除いた
フェノキシド型化合物からなる硬化促進剤は、その構成
成分の一つであるテトラ置換ホスホニウム(P)の置換
基については何ら限定されず、置換基は互いに同一であ
っても異なっていてもよい。例えば置換又は無置換のア
リール基やアルキル基を置換基に有するテトラ置換ホス
ホニウムイオンが、熱や加水分解に対して安定であり好
ましい。具体的には、テトラフェニルホスホニウム、テ
トラトリルホスホニウム、テトラエチルフェニルホスホ
ニウム、テトラメトキシフェニルホスホニウム、テトラ
ナフチルホスホニウム、テトラベンジルホスホニウム、
エチルトリフェニルホスホニウム、n−ブチルトリフェ
ニルホスホニウム、2−ヒドロキシエチルトリフェニル
ホスホニウム、トリメチルフェニルホスホニウム、メチ
ルジエチルフェニルホスホニウム、メチルジアリルフェ
ニルホスホニウム、テトラ−n−ブチルホスホニウム等
を例示できる。
The compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule and the tetra-substituted phosphonium (P) used in the present invention and two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule.
A compound (M) with a conjugate base of a compound (Q) having at least two phenolic hydroxyl groups, wherein the compound is a phenoxide-type compound obtained by removing one hydrogen from the compound (Q) having at least two phenolic hydroxyl groups. The substituent of the tetra-substituted phosphonium (P), which is one of the constituents, is not limited, and the substituents may be the same or different. For example, a tetra-substituted phosphonium ion having a substituted or unsubstituted aryl group or alkyl group as a substituent is preferable because it is stable against heat and hydrolysis. Specifically, tetraphenylphosphonium, tetratolylphosphonium, tetraethylphenylphosphonium, tetramethoxyphenylphosphonium, tetranaphthylphosphonium, tetrabenzylphosphonium,
Examples include ethyltriphenylphosphonium, n-butyltriphenylphosphonium, 2-hydroxyethyltriphenylphosphonium, trimethylphenylphosphonium, methyldiethylphenylphosphonium, methyldiallylphenylphosphonium, tetra-n-butylphosphonium and the like.

【0016】本発明に用いる分子会合体(M)の構成成
分である、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有
する化合物(Q)としては、例えばビス(4−ヒドロキ
シ−3,5−ジメチルフェニル)メタン(通称テトラメ
チルビスフェノールF)、4,4’−スルホニルジフェ
ノール、4,4’−イソプロピリデンジフェノール(通
称ビスフェノールA)、ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)メタン、ビス(2−ヒドロキシフェニル)メタン、
(2−ヒドロキシフェニル)(4−ヒドロキシフェニ
ル)メタン及びこれらの内ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)メタン、ビス(2−ヒドロキシフェニル)メタン、
(2−ヒドロキシフェニル)(4−ヒドロキシフェニ
ル)メタンの3種の混合物(例えば、本州化学工業
(株)・製、ビスフェノールF−D)等のビスフェノー
ル類、1,2−ベンゼンジオール、1,3−ベンゼンジ
オール、1,4−ベンゼンジオール等のジヒドロキシベ
ンゼン類、1,2,4−ベンゼントリオール等のトリヒ
ドロキシベンゼン類、1,6−ジヒドロキシナフタレン
等のジヒドロキシナフタレン類の各種異性体、2,2’
−ビフェノール、4,4’−ビフェノール等のビフェノ
ール類の各種異性体等の化合物、フェノールノボラック
樹脂、フェノールアラルキル樹脂等が挙げられる。更
に、他の構成成分である共役塩基は、上記の化合物
(Q)から1個の水素を除いたフェノキシド型化合物で
ある。
The compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, which is a component of the molecular aggregate (M) used in the present invention, includes, for example, bis (4-hydroxy-3,5-dimethyl) Phenyl) methane (commonly known as tetramethylbisphenol F), 4,4'-sulfonyldiphenol, 4,4'-isopropylidenediphenol (commonly known as bisphenol A), bis (4-hydroxyphenyl) methane, bis (2-hydroxyphenyl) )methane,
(2-hydroxyphenyl) (4-hydroxyphenyl) methane and their bis (4-hydroxyphenyl) methane, bis (2-hydroxyphenyl) methane,
Bisphenols such as three kinds of mixtures of (2-hydroxyphenyl) (4-hydroxyphenyl) methane (for example, bisphenol FD manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), 1,2-benzenediol, and 1,3 Dihydroxybenzenes such as -benzenediol and 1,4-benzenediol; trihydroxybenzenes such as 1,2,4-benzenetriol; various isomers of dihydroxynaphthalenes such as 1,6-dihydroxynaphthalene; '
-Phenol, compounds such as various isomers of biphenols such as 4,4'-biphenol, phenol novolak resins, phenol aralkyl resins and the like. Further, the conjugate base as another component is a phenoxide-type compound obtained by removing one hydrogen from the compound (Q).

【0017】本発明の分子分子会合体(M)は、前述の
ようにホスホニウム−フェノキシド型の塩を構造中に有
するが、従来の技術におけるホスホニウム−有機酸アニ
オン塩型の化合物と異なる点は、本発明の分子会合体
(M)では水素結合による高次構造がイオン結合を取り
囲んでいる点である。従来の技術における塩では、イオ
ン結合の強さのみにより反応性を制御しているのに対
し、本発明の分子会合体(M)では、常温ではアニオン
の高次構造による囲い込みが活性点の保護を行う一方、
成形の段階においては、この高次構造が崩れることで活
性点がむき出しになり、反応性を発現する、いわゆる潜
伏性が付与されている。本発明の分子会合体(M)の製
造方法は何ら限定されないが、代表的な2方法を挙げる
ことができる。1つ目は、テトラ置換ホスホニウム・テ
トラ置換ボレート(Z)と、1分子内に2個以上のフェ
ノール性水酸基を有する化合物(Q)とを、高温下で反
応させた後、更に沸点60℃以上の溶媒中で熱反応させ
る方法である。2つ目は、1分子内に2個以上のフェノ
ール性水酸基を有する化合物(Q)と、無機塩基又は有
機塩基とテトラ置換ホスホニウムハライドとを反応させ
る方法である。
The molecular-molecule aggregate (M) of the present invention has a phosphonium-phenoxide type salt in its structure as described above, but differs from the conventional phosphonium-organic acid anion salt type compound in that In the molecular aggregate (M) of the present invention, a higher-order structure due to hydrogen bonding surrounds ionic bonds. In the salt of the prior art, the reactivity is controlled only by the strength of the ionic bond. On the other hand, in the molecular aggregate (M) of the present invention, the enclosing by the higher order structure of the anion protects the active site at normal temperature. While doing
In the molding stage, the active sites are exposed by the collapse of the higher-order structure, and a so-called latency that expresses reactivity is imparted. The method for producing the molecular aggregate (M) of the present invention is not limited at all, but two typical methods can be mentioned. The first is to react a tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (Z) with a compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule at a high temperature, and then further to a boiling point of 60 ° C. or more. Is a method in which a thermal reaction is carried out in a solvent of The second is a method in which a compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule is reacted with an inorganic base or an organic base and a tetra-substituted phosphonium halide.

【0018】用いるテトラ置換ホスホニウムハライドの
置換基については何ら限定されることはなく、置換基は
互いに同一であっても異なっていてもよい。例えば置換
又は無置換のアリール基やアルキル基を置換基に有する
テトラ置換ホスホニウムイオンが、熱や加水分解に対し
て安定であり好ましい。具体的には、テトラフェニルホ
スホニウム、テトラトリルホスホニウム、テトラエチル
フェニルホスホニウム、テトラメトキシフェニルホスホ
ニウム、テトラナフチルホスホニウム、テトラベンジル
ホスホニウム、エチルトリフェニルホスホニウム、n−
ブチルトリフェニルホスホニウム、2−ヒドロキシエチ
ルトリフェニルホスホニウム、トリメチルフェニルホス
ホニウム、メチルジエチルフェニルホスホニウム、メチ
ルジアリルフェニルホスホニウム、テトラ−n−ブチル
ホスホニウム等を例示できる。ハライドとしてはクロラ
イドやブロマイドを例示でき、テトラ置換ホスホニウム
ハライドの価格や吸湿等の特性、及び入手のし易さから
選択すればよく、いずれを用いても差し支えない。又こ
れらの硬化促進剤の特性が損なわれない範囲で、トリフ
ェニルホスフィン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,
0)ウンデセン−7、2−メチルイミダゾール等の他の
硬化促進剤と併用しても何ら問題はない。
The substituent of the tetra-substituted phosphonium halide to be used is not limited at all, and the substituents may be the same or different. For example, a tetra-substituted phosphonium ion having a substituted or unsubstituted aryl group or alkyl group as a substituent is preferable because it is stable against heat and hydrolysis. Specifically, tetraphenylphosphonium, tetratolylphosphonium, tetraethylphenylphosphonium, tetramethoxyphenylphosphonium, tetranaphthylphosphonium, tetrabenzylphosphonium, ethyltriphenylphosphonium, n-
Examples thereof include butyltriphenylphosphonium, 2-hydroxyethyltriphenylphosphonium, trimethylphenylphosphonium, methyldiethylphenylphosphonium, methyldiallylphenylphosphonium, and tetra-n-butylphosphonium. Examples of the halide include chloride and bromide, which may be selected from the properties of the tetra-substituted phosphonium halide, such as the price and moisture absorption, and the availability, and any of them may be used. Also, as long as the properties of these curing accelerators are not impaired, triphenylphosphine, 1,8-diazabicyclo (5,4,
0) There is no problem when used in combination with other curing accelerators such as undecene-7 and 2-methylimidazole.

【0019】本発明で用いられる酸化マイクロクリスタ
リンワックスのウレタン化物と酸化ポリエチレンワック
スのウレタン化物は、離型剤として作用するものであ
る。ウレタン化する前の酸化マイクロクリスタリンワッ
クスは、重油留分から得られるn-パラフィン及び分岐
炭化水素を含むマイクロクリスタリンワックスを酸化す
ることで得られ、カルボキシル基や水酸基を含むもので
ある。一般的に酸化マイクロクリスタリンワックスは、
エポキシ樹脂組成物の低粘度化が図れる反面、樹脂成分
との相溶性に乏しく、成形時に金型表面に過度に染みだ
し、離型性には優れるが、金型汚れが激しいという欠点
がある。そこで酸化マイクロクリスタリンワックスのウ
レタン化物を用いると、樹脂成分との適度な相溶性によ
る金型汚れの防止と、優れた離型性の両立を図ることが
できる。
The urethane compound of the oxidized microcrystalline wax and the urethane compound of the oxidized polyethylene wax used in the present invention act as a release agent. The oxidized microcrystalline wax before urethanization is obtained by oxidizing a microcrystalline wax containing n-paraffin and a branched hydrocarbon obtained from a heavy oil fraction, and contains a carboxyl group and a hydroxyl group. Generally, oxidized microcrystalline wax is
While the viscosity of the epoxy resin composition can be reduced, the compatibility with the resin component is poor, and the epoxy resin composition excessively seeps into the mold surface during molding, and has excellent mold releasability, but has the disadvantage of severe mold contamination. Therefore, when a urethane compound of oxidized microcrystalline wax is used, it is possible to prevent mold staining due to appropriate compatibility with a resin component and achieve excellent mold release properties.

【0020】ウレタン化する前の酸化ポリエチレンワッ
クスは、エチレン重合法やポリエチレンの熱分解物とし
て得られるポリエチレンワックスを酸化することで得ら
れ、カルボキシル基や水酸基を含むものである。分子量
1000〜10000程度のものが一般的である。分子
量は特に限定するものではないが、エポキシ樹脂組成物
の低粘度化のためには、低分子量のものを用いることが
好ましい。一般的に酸化ポリエチレンワックスは、融点
が高く、樹脂成分との相溶性にも乏しく、成形時に金型
表面に過度に染みだし、金型汚れが激しいという欠点を
有する。そこで酸化ポリエチレンワックスのウレタン化
物を用いると、樹脂成分との適度な相溶性による金型汚
れの防止を図ることができる。
The oxidized polyethylene wax before urethanization is obtained by an ethylene polymerization method or by oxidizing polyethylene wax obtained as a thermal decomposition product of polyethylene, and contains a carboxyl group or a hydroxyl group. Those having a molecular weight of about 1,000 to 10,000 are generally used. Although the molecular weight is not particularly limited, it is preferable to use one having a low molecular weight in order to reduce the viscosity of the epoxy resin composition. In general, oxidized polyethylene wax has the disadvantage that the melting point is high, the compatibility with the resin component is poor, the mold surface excessively seeps out during molding, and the mold stain is severe. Therefore, when a urethane compound of oxidized polyethylene wax is used, it is possible to prevent mold contamination due to appropriate compatibility with the resin component.

【0021】本発明では、酸化マイクロクリスタリンワ
ックスのウレタン化物と酸化ポリエチレンワックスのウ
レタン化物を用いることにより、金型汚れの防止と、優
れた離型性、更に半導体装置内部の半導体素子やそれを
搭載するリードフレームとエポキシ樹脂組成物の硬化物
との界面の密着性も向上し、耐湿性及び耐半田クラック
性が飛躍的に向上する。ウレタン化の方法は、特に限定
するものではないが、例えばメチレンジイソシアネー
ト、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート類
と、酸化マイクロクリスタリンワックスや酸化ポリエチ
レンワックスの水酸基、カルボキシル基とを反応させて
行う。本発明では、酸化マイクロクリスタリンワックス
を予めウレタン化させたものと酸化ポリエチレンワック
スを予めウレタン化させたものとを離型剤として用いて
も、或いは酸化マイクロクリスタリンワックスと酸化ポ
リエチレンワックスとを予め混合してからウレタン化さ
せたものを離型剤として用いても良い。ウレタン化の割
合については、特に限定するものではないが、得られた
ワックス中の窒素分で0.3〜5重量%程度の含有率が
望ましい。ウレタン化部分が多過ぎると、密着性は向上
するものの、ワックス自体の粘度が上昇し、材料化が困
難になる。ウレタン化部分が少な過ぎると、十分な密着
性が得られず、耐湿性、耐半田クラック性が発揮されな
い。
According to the present invention, the use of a urethane compound of oxidized microcrystalline wax and a urethane compound of polyethylene oxide wax prevents the contamination of the mold, has excellent releasability, and furthermore, the semiconductor element inside the semiconductor device and the semiconductor element mounted thereon. The adhesiveness of the interface between the lead frame and the cured product of the epoxy resin composition is also improved, and the moisture resistance and solder crack resistance are dramatically improved. The method of urethanization is not particularly limited, but is performed by reacting isocyanates such as methylene diisocyanate and tolylene diisocyanate with hydroxyl groups and carboxyl groups of oxidized microcrystalline wax or oxidized polyethylene wax. In the present invention, a pre-urethane oxidized microcrystalline wax and a pre-urethane oxidized polyethylene wax may be used as a releasing agent, or a pre-mixed oxidized microcrystalline wax and polyethylene oxide may be used. The urethane compound may be used as the release agent. The proportion of urethanization is not particularly limited, but the content of nitrogen in the obtained wax is preferably about 0.3 to 5% by weight. If the urethane portion is too large, the adhesiveness is improved, but the viscosity of the wax itself increases, and it becomes difficult to materialize. If the urethane-forming portion is too small, sufficient adhesion cannot be obtained, and moisture resistance and solder crack resistance cannot be exhibited.

【0022】本発明のウレタン化されたワックスの特性
を損なわない範囲で、他の離型剤を併用することもでき
る。併用できるものとしては、例えばカルナバワックス
等の天然ワックス、ステアリン酸亜鉛等の高級脂肪酸の
金属塩類等が挙げられ、これらは単独でも混合して用い
てもよい。本発明のウレタン化されたワックスの添加量
としては、全エポキシ樹脂組成物中に0.05〜0.4
重量%が好ましい。0.05重量%未満だと、十分な離
型性が得られず、0.4重量%を越えると、離型性は十
分なものの、金型曇りが発生するので好ましくない。
Other release agents can be used in combination as long as the properties of the urethanized wax of the present invention are not impaired. Examples of those which can be used in combination include natural waxes such as carnauba wax and metal salts of higher fatty acids such as zinc stearate. These may be used alone or in combination. The addition amount of the urethanized wax of the present invention is 0.05 to 0.4 in all epoxy resin compositions.
% By weight is preferred. If the amount is less than 0.05% by weight, sufficient releasability cannot be obtained, and if the amount exceeds 0.4% by weight, although mold releasability is sufficient, mold fogging is not preferred.

【0023】本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜
(E)成分の他、必要に応じて酸化ビスマス水和物等の
無機イオン交換体、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック、ベ
ンガラ等の着色剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム
等の低応力化成分、酸化防止剤等の各種添加剤を適宜配
合しても差し支えない。本発明のエポキシ樹脂組成物
は、(A)〜(E)成分、及びその他の添加剤等をミキ
サーを用いて常温混合し、ロール、ニーダー、押出機等
の混練機で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。本発
明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の電子
部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスフ
ァーモールド、コンプレッションモールド、インジェク
ションモールド等の成形方法で硬化成形すればよい。
The epoxy resin composition of the present invention comprises (A)
In addition to the component (E), if necessary, an inorganic ion exchanger such as bismuth oxide hydrate, a coupling agent such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, a coloring agent such as carbon black and red iron, silicone oil, Various additives such as a low-stress component such as silicone rubber and an antioxidant may be appropriately compounded. The epoxy resin composition of the present invention is obtained by mixing the components (A) to (E) and other additives at room temperature using a mixer, kneading the mixture with a kneading machine such as a roll, a kneader, an extruder, and cooling. Obtained by grinding. In order to manufacture a semiconductor device by encapsulating an electronic component such as a semiconductor element using the epoxy resin composition of the present invention, it is sufficient to cure and mold by a molding method such as a transfer mold, a compression mold, and an injection mold.

【0024】[分子会合体(M)の合成] 合成例1 本州化学工業(株)・製ビスフェノールF−D 300
g(1.5モル)と、テトラフェニルホスホニウム・テ
トラフェニルボレート(Z)329g(0.5モル)と
を3Lセパラブルフラスコに仕込み、200℃で3時間
反応させた。この反応でのベンゼン留出量は、理論生成
量の97重量%(即ちベンゼン留出率97%)であっ
た。この反応による粗生成物を微粉砕し、セパラブルフ
ラスコに仕込み、2−プロパノールを粗生成物の仕込み
重量の3倍量加え、内温82.4℃(2−プロパノール
の沸点温度)で1.5時間攪拌した。その後、2−プロ
パノールの大部分を除去し、更に加熱減圧下で低沸点分
を除去した。得られた生成物を化合物(M−1)とし
た。又溶媒を重メタノールとして、(M−1)のH−
NMRでの測定を行った。4.8ppm付近及び3.3
ppm付近のピークは溶媒のピークで、6.4〜7.1
ppm付近のピーク群は、原料であるビスフェノールF
[(P)1モルに対するモル数(a)]及びこのビスフ
ェノールFから1個の水素を除いたフェノキシド型の共
役塩基[(P)1モルに対するモル数(b)]のフェニ
ルプロトン、7.6〜8.0ppm付近のピーク群は、
テトラフェニルホスホニウム基のフェニルプロトンと帰
属され、それらの面積比から、モル比が[(a+b)/
(P)]=2.2/1であると計算された。
[Synthesis of Molecular Association (M)] Synthesis Example 1 Bisphenol FD 300 manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.
g (1.5 mol) and 329 g (0.5 mol) of tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate (Z) were charged into a 3 L separable flask and reacted at 200 ° C. for 3 hours. The amount of benzene distilled in this reaction was 97% by weight of the theoretical amount (that is, the benzene distillation rate was 97%). The crude product of this reaction is pulverized, charged into a separable flask, 2-propanol is added in an amount three times the charged weight of the crude product, and the internal temperature is increased to 82.4 ° C. (boiling point temperature of 2-propanol). Stir for 5 hours. Thereafter, most of the 2-propanol was removed, and a low-boiling component was further removed under heating and reduced pressure. The obtained product was designated as compound (M-1). The solvent was deuterated methanol, and the 1 H-
NMR measurements were made. Around 4.8 ppm and 3.3
The peak around ppm is the peak of the solvent, 6.4 to 7.1.
The peak group around ppm is bisphenol F as a raw material.
[(P) 1 mole per mole (a)] and a phenoxide type conjugate base obtained by removing one hydrogen from this bisphenol F [mole number (b) per 1 mole (P)] phenyl proton, 7.6 The peak group around -8.0 ppm
It is assigned to the phenyl proton of the tetraphenylphosphonium group, and the molar ratio is [(a + b) /
(P)] = 2.2 / 1.

【0025】合成例2 5Lのセパラブルフラスコに、本州化学工業(株)・製
ビスフェノールF−D300g(1.5モル)、北興化
学工業(株)・製テトラフェニルホスホニウムブロマイ
ド314g(0.75モル)、メタノール3000gを
仕込み、完全に溶解させた。そこに水酸化ナトリウムを
30g含有するメタノール/水混合溶液を攪拌しながら
滴下した。得られた溶液を多量の水中に滴下する再沈作
業を行い、目的物を固形物として得た。濾過して固形物
を取り出し、乾燥させて得られた生成物を化合物(M−
2)とした。又溶媒を重メタノールとして、(M−2)
H−NMRでの測定を行った。4.8ppm付近及
び3.3ppm付近のピークは溶媒のピークで、6.4
〜7.1ppm付近のピーク群は、原料であるビスフェ
ノールF[(P)1モルに対するモル数(a)]及びこ
のビスフェノールFから1個の水素を除いたフェノキシ
ド型の共役塩基[(P)1モルに対するモル数(b)]
のフェニルプロトン、7.6〜8.0ppm付近のピー
ク群は、テトラフェニルホスホニウム基のフェニルプロ
トンと帰属され、それらの面積比から、モル比が[(a
+b)/(P)]=2/1であると計算された。
Synthesis Example 2 In a 5 L separable flask, 300 g (1.5 mol) of bisphenol FD manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd., and 314 g (0.75 mol) of tetraphenylphosphonium bromide manufactured by Hokuko Chemical Industry Co., Ltd. ) And 3000 g of methanol were charged and completely dissolved. A methanol / water mixed solution containing 30 g of sodium hydroxide was added dropwise thereto with stirring. A reprecipitation operation of dropping the obtained solution into a large amount of water was performed to obtain the target substance as a solid. The solid obtained by filtration was taken out and dried to obtain a product, which was obtained as compound (M-
2). The solvent is heavy methanol, and (M-2)
Was measured by 1 H-NMR. The peaks around 4.8 ppm and 3.3 ppm are the peaks of the solvent, 6.4 ppm.
A group of peaks in the vicinity of to 7.1 ppm is the starting material bisphenol F [moles (a) per mol of (P)] and a phenoxide-type conjugate base [(P) 1 Number of moles per mole (b)]
The peak group around 7.6 to 8.0 ppm is assigned to the phenyl proton of the tetraphenylphosphonium group, and the molar ratio is [(a
+ B) / (P)] = 2/1.

【0026】[0026]

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明を更に詳細に
説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定
されるものではない。配合割合は重量部とする。 実施例1 下記組成物 4,4’−ジヒドロキシ−3,3’,5,5’−テトラメチルビフェニルのグ リシジルエーテル化物を主成分とするエポキシ樹脂(YX4000H、融点10 5℃、エポキシ当量197g/eq。以下エポキシ樹脂(E−1という) 2.03重量部 ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メタンのグリシジルエー テル化物を主成分とするエポキシ樹脂(エポキシ当量192g/eq。以下エポ キシ樹脂(E−2)という) 2.03重量部 式(4)で示されるフェノール樹脂(水酸基当量203g/eq) 4.24重量部 溶融球状シリカ 90.00重量部 式(2)で示される硬化促進剤 0.30重量部 ワックス1[酸化マイクロクリスタリンワックスと酸化ポリエチレンワックス のトリレンジイソシアネ−ト化物。融点89℃、酸価16、鹸化価60] 0.30重量部 無機イオン交換体 0.50重量部 γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン 0.30重量部 カーボンブラック 0.30重量部 を常温でミキサーを用いて混合し、70〜120℃で2
軸ロールを用いて混練し、冷却後粉砕して樹脂組成物を
得た。得られた樹脂組成物を以下の方法で評価した。結
果を表1に示す。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples, which should not be construed as limiting the present invention. The mixing ratio is by weight. Example 1 The following composition: an epoxy resin containing a glycidyl etherified product of 4,4'-dihydroxy-3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl as a main component (YX4000H, melting point: 105 ° C, epoxy equivalent: 197 g) Epoxy resin (hereinafter referred to as E-1) 2.03 parts by weight Epoxy resin containing glycidyl ether of bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane as a main component (epoxy equivalent: 192 g / eq. (Hereinafter referred to as epoxy resin (E-2)) 2.03 parts by weight Phenolic resin represented by formula (4) (hydroxyl equivalent: 203 g / eq) 4.24 parts by weight Fused spherical silica 90.00 parts by weight Formula (2) Curing accelerator shown 0.30 parts by weight Wax 1 [Tolylene diisocyanate of oxidized microcrystalline wax and polyethylene oxide wax -Melting point 89 ° C., acid value 16, saponification value 60] 0.30 part by weight Inorganic ion exchanger 0.50 part by weight γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane 0.30 part by weight Carbon black 0.30 part by weight Of the mixture at room temperature using a mixer.
The mixture was kneaded using an axial roll, cooled and pulverized to obtain a resin composition. The obtained resin composition was evaluated by the following method. Table 1 shows the results.

【化7】 Embedded image

【0027】評価方法 スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイ
ラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注
入圧力70kg/cm2、硬化時間2分で測定した。単
位はcm。 硬化トルク:キュラストメータ((株)オリエンテック
・製、JSRキュラストメータIVPS型)を用い、金
型温度175℃、加熱開始90秒後のトルクを求めた。
キュラストメータにおけるトルクは硬化性のパラメータ
であり、数値の大きい方が硬化性が良好である。単位は
kgf・cm。 25℃保存性:樹脂組成物を25℃にて3日間保存した
後スパイラルフローを測定し、樹脂組成物の調整直後の
スパイラルフローに対する百分率として表す。 難燃性:樹脂組成物をタブレット化し、低圧トランスフ
ァー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力75
kg/cm2、硬化時間2分で長さ127mm、幅1
2.7mm、厚さ1.6mmの成形品を成形し、UL−
94に従って難燃性試験を行った。 離型性:トランスファー成形機を用いて、金型温度18
0℃、注入圧力75kg/cm2、硬化時間1分で14
4pLQFP(20×20×1.4mm厚さ)を300
回連続で成形した。離型時に金型に付着したり、成形品
に割れ・欠けが発生したものを×、発生しないものを○
と判定した。 金型汚れ:トランスファー成形機を用いて、金型温度1
80℃、注入圧力75kg/cm2、硬化時間1分で1
44pLQFP(20×20×1.4mm厚さ)を30
0回連続で成形した。成形品表面と金型表面の両方に白
化があるものを×、どちらかに白化があるものを△、ど
ちらにも白化のないものを○と判定した。 耐湿性:樹脂組成物をタブレット化し、低圧トランスフ
ァー成形機を用いて、金型温度180℃、注入圧力10
0kg/cm2、硬化時間1分で144pLQFP(2
0×20×1.4mm厚さ)を成形した。ポストキュア
として175℃で、8時間処理したパッケージ8個を、
85℃、相対湿度60%の環境下で168時間処理した
後、IRリフロー処理(260℃)を行った。処理後の
内部の剥離の有無を超音波探傷機で観察し、内部素子と
の剥離があるものを×、ないものを○と判定した。 耐半田ストレス性:樹脂組成物をタブレット化し、低圧
トランスファー成形機を用いて金型温度180℃、注入
圧力100kg/cm2、硬化時間1分の条件で144
pLQFP(20×20×1.4mm厚さ)を成形し
た。ポストキュアとして175℃で、8時間処理したパ
ッケージ8個を、85℃、相対湿度60%の環境下で1
68時間処理した後、IRリフロー処理(260℃)を
行った。処理後の内部のクラックの有無を超音波探傷機
で観察し、不良パッケージの個数を数えた。不良パッケ
ージの個数がn個であるとき、n/8と表示する。評価
結果を表1に示す。
Evaluation method Spiral flow: Measurement was performed using a mold for spiral flow measurement in accordance with EMMI-1-66 at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 70 kg / cm 2 , and a curing time of 2 minutes. The unit is cm. Curing Torque: Using a curast meter (manufactured by Orientec Co., Ltd., JSR curast meter IVPS type), a torque at a mold temperature of 175 ° C. and 90 seconds after the start of heating was determined.
The torque in the curast meter is a parameter of curability, and the larger the numerical value, the better the curability. The unit is kgf · cm. Storage at 25 ° C .: After storing the resin composition at 25 ° C. for 3 days, the spiral flow was measured and expressed as a percentage of the spiral flow immediately after the adjustment of the resin composition. Flame retardancy: tableting the resin composition, using a low pressure transfer molding machine, mold temperature 175 ° C, injection pressure 75
kg / cm 2 , curing time 2 minutes, length 127 mm, width 1
A molded product having a thickness of 2.7 mm and a thickness of 1.6 mm is formed and UL-
A flame retardancy test was performed according to 94. Releasability: Using a transfer molding machine, mold temperature 18
0 ° C., injection pressure 75 kg / cm 2 , curing time 1 min.
4pLQFP (20 × 20 × 1.4mm thickness) 300
Molded continuously. X indicates that the product adhered to the mold at the time of mold release or cracked or chipped, and ○ indicates that it did not.
It was determined. Mold contamination: mold temperature 1 using a transfer molding machine
80 ° C, injection pressure 75 kg / cm 2 , curing time 1 min.
44pLQFP (20 × 20 × 1.4mm thickness) with 30
Molding was performed 0 times continuously. A sample having whitening on both the surface of the molded product and the mold surface was evaluated as x, a sample having whitening on either one was evaluated as Δ, and a sample having neither whitening was evaluated as ○. Moisture resistance: tableting the resin composition, using a low pressure transfer molding machine, mold temperature 180 ° C, injection pressure 10
0 kg / cm 2 , curing time 1 minute, 144pLQFP (2
(0 × 20 × 1.4 mm thickness). Eight packages treated at 175 ° C for 8 hours as post cure,
After processing for 168 hours in an environment of 85 ° C. and a relative humidity of 60%, IR reflow processing (260 ° C.) was performed. The presence or absence of peeling inside after the treatment was observed with an ultrasonic flaw detector, and those with peeling from the internal element were judged as x, and those without peeling were judged as o. Solder stress resistance: The resin composition is made into tablets, and using a low-pressure transfer molding machine, a mold temperature of 180 ° C., an injection pressure of 100 kg / cm 2 , and a curing time of 1 minute are set to 144.
pLQFP (20 × 20 × 1.4 mm thickness) was molded. Eight packages treated at 175 ° C. for 8 hours as post-curing were placed in an environment at 85 ° C. and a relative humidity of 60% for 1 hour.
After the treatment for 68 hours, an IR reflow treatment (260 ° C.) was performed. The presence or absence of internal cracks after the treatment was observed with an ultrasonic flaw detector, and the number of defective packages was counted. When the number of defective packages is n, it is displayed as n / 8. Table 1 shows the evaluation results.

【0028】実施例2〜6、比較例1〜7 表1、及び表2の配合に従い、実施例1と同様にして樹
脂組成物を得て、実施例1と同様にして評価した。結果
を表1及び表2に示す。実施例2、6、比較例2、6で
は式(5)の硬化促進剤を用いた。比較例3、7のDB
Uは、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセ
ン−7である。比較例5、6ではフェノールアラルキル
樹脂(三井化学(株)・製、XL−225、軟化点75
℃、水酸基当量174g/eq)を用いた。実施例2、
4、5、比較例1、5で用いたワックス2は、酸化マイ
クロクリスタリンワックスと酸化ポリエチレンワックス
のトリレンジイソシアネ−ト化物で、融点82℃、酸価
18、鹸化価50である。比較例4、6で用いた酸化マ
イクロクリスタリンワックスは融点90℃である。比較
例4、7で用いた酸化ポリエチレンワックスは融点92
℃である。
Examples 2 to 6, Comparative Examples 1 to 7 Resin compositions were obtained in the same manner as in Example 1 according to the formulations in Tables 1 and 2, and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 1 and 2. In Examples 2 and 6, and Comparative Examples 2 and 6, the curing accelerator of the formula (5) was used. DB of Comparative Examples 3 and 7
U is 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7. In Comparative Examples 5 and 6, a phenol aralkyl resin (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc., XL-225, softening point 75)
° C and a hydroxyl equivalent of 174 g / eq). Example 2,
Wax 2 used in Comparative Examples 1 and 5 was tolylene diisocyanate of oxidized microcrystalline wax and polyethylene oxide, and had a melting point of 82 ° C., an acid value of 18, and a saponification value of 50. The oxidized microcrystalline wax used in Comparative Examples 4 and 6 has a melting point of 90 ° C. The oxidized polyethylene wax used in Comparative Examples 4 and 7 had a melting point of 92.
° C.

【化8】 Embedded image

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】[0030]

【表2】 [Table 2]

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明に従うと、常温においては硬化が
進むことなく長期間にわたって安定に保存することが可
能であり、成形時に加熱された際に急激に硬化反応が発
現して良好な成形性、離型性を示すエポキシ樹脂組成物
が得られ、これを用いた半導体装置は難燃性及び耐半田
ストレス性に優れている。
According to the present invention, it is possible to stably store at room temperature for a long period of time without curing, and when heated during molding, a rapid curing reaction develops, resulting in good moldability. Thus, an epoxy resin composition showing releasability is obtained, and a semiconductor device using the same is excellent in flame retardancy and solder stress resistance.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 75/04 C08L 75/04 H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 75/04 C08L 75/04 H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)4,4’−ジヒドロキシ−3,
3’,5,5’−テトラメチルビフェニルのグリシジル
エーテル化物(a)及びビス(3,5−ジメチル−4−
ヒドロキシフェニル)メタンのグリシジルエーテル化物
(b)であるエポキシ樹脂、(B)一般式(1)で示さ
れるフェノール樹脂、(C)全無機物、(D)式
(2)、一般式(3)、或いはテトラ置換ホスホニウム
(P)と1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有す
る化合物(Q)及び1分子内にフェノール性水酸基を2
個以上有する化合物(Q)の共役塩基との分子会合体
(M)であって、該共役塩基が前記1分子内にフェノー
ル性水酸基を2個以上有する化合物(Q)から1個の水
素を除いたフェノキシド型化合物からなる硬化促進剤か
ら選ばれる1種以上の硬化促進剤、及び(E)酸化マイ
クロクリスタリンワックスのウレタン化物と酸化ポリエ
チレンワックスのウレタン化物を必須成分とし、(a)
と(b)との重量比(a/b)が1/3〜3であり、全
無機物が全エポキシ樹脂組成物中87〜94重量%であ
り、酸化マイクロクリスタリンワックスのウレタン化物
と酸化ポリエチレンワックスのウレタン化物が、全エポ
キシ樹脂組成物中0.05〜0.4重量%であることを
特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
(A) 4,4'-dihydroxy-3,
Glycidyl etherified product of 3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl (a) and bis (3,5-dimethyl-4-
An epoxy resin which is a glycidyl etherified product of (hydroxyphenyl) methane (b), (B) a phenolic resin represented by the general formula (1), (C) all inorganic substances, (D) a formula (2), a general formula (3), Alternatively, a compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule with a tetra-substituted phosphonium (P) and a compound having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule.
A molecular conjugate (M) of a compound (Q) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule of the compound (Q) having at least two phenolic hydroxyl groups in the molecule. One or more curing accelerators selected from curing accelerators comprising a phenoxide-type compound, and (E) a urethane compound of oxidized microcrystalline wax and a urethane compound of polyethylene oxide wax as essential components;
And the weight ratio (a / b) of (b) to (b) is 1/3 to 3, the total amount of the inorganic substance is 87 to 94% by weight in the total epoxy resin composition, and the urethane compound of the oxidized microcrystalline wax and the polyethylene oxide wax The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, wherein the urethane compound is 0.05 to 0.4% by weight of the total epoxy resin composition.
【請求項2】 (A)4,4’−ジヒドロキシ−3,
3’,5,5’−テトラメチルビフェニルのグリシジル
エーテル化物(a)及びビス(3,5−ジメチル−4−
ヒドロキシフェニル)メタンのグリシジルエーテル化物
(b)であるエポキシ樹脂、(B)一般式(1)で示さ
れるフェノール樹脂、(C)全無機物、(D)式
(2)、一般式(3)、テトラ置換ホスホニウム(P)
と1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合
物(Q)及び1分子内にフェノール性水酸基を2個以上
有する化合物(Q)の共役塩基との分子会合体(M)で
あって、該共役塩基が前記1分子内にフェノール性水酸
基を2個以上有する化合物(Q)から1個の水素を除い
たフェノキシド型化合物からなる硬化促進剤から選ばれ
る1種以上の硬化促進剤、及び(E)酸化マイクロクリ
スタリンワックスと酸化ポリエチレンワックスをウレタ
ン化させたものを必須成分とし、(a)と(b)との重
量比(a/b)が1/3〜3で、全無機物が全エポキシ
樹脂組成物中87〜94重量%であり、臭素含有有機化
合物、及びアンチモン化合物が、それぞれの難燃剤成分
毎に1000ppm以下で、酸化マイクロクリスタリン
ワックスのウレタン化物と酸化ポリエチレンワックスの
ウレタン化物が、全エポキシ樹脂組成物中0.05〜
0.4重量%であることを特徴とする半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物。 【化1】 (nは平均値で、1〜10の正数) 【化2】 【化3】 (ただし、式中、X1、X2、X3、及びX4は、芳香
環もしくは複素環を有する1価の有機酸又は1価の脂肪
族基であり、それらは互いに同一であっても異なってい
てもよい。Y1、Y2、Y3、及びY4は、芳香環もし
くは複素環を有する1価の有機酸又は1価の脂肪族基で
あって、それらのうち少なくとも1個は、分子外に放出
しうるプロトンを少なくとも1個有するプロトン供与体
がプロトンを1個放出してなる基であり、それらは互い
に同一であっても異なっていてもよい。)
(A) 4,4′-dihydroxy-3,
Glycidyl etherified product of 3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl (a) and bis (3,5-dimethyl-4-
An epoxy resin which is a glycidyl etherified product of (hydroxyphenyl) methane (b), (B) a phenolic resin represented by the general formula (1), (C) all inorganic substances, (D) a formula (2), a general formula (3), Tetra-substituted phosphonium (P)
A compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule and a conjugate base (M) of a compound (Q) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, One or more curing accelerators selected from curing accelerators composed of a phenoxide-type compound in which one hydrogen is removed from the compound (Q) in which the conjugate base has two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and (E) ) An urethane-oxidized microcrystalline wax and a polyethylene oxide wax are used as essential components. The weight ratio (a / b) of (a) and (b) is 1/3 to 3, and all inorganic substances are all epoxy resin. 87 to 94% by weight of the composition, the bromine-containing organic compound and the antimony compound each containing 1000 ppm or less of each flame retardant component, and urethane of oxidized microcrystalline wax. Product urethane product of oxidized polyethylene wax, 0.05 total epoxy resin composition
An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, which is 0.4% by weight. Embedded image (N is an average value and a positive number of 1 to 10) Embedded image (Wherein, X1, X2, X3, and X4 are monovalent organic acids or monovalent aliphatic groups having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and they may be the same or different from each other. Y1, Y2, Y3, and Y4 are a monovalent organic acid or a monovalent aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and at least one of them is a proton that can be released outside the molecule. Is a group obtained by releasing one proton, which may be the same or different from each other.)
【請求項3】 請求項1又は2記載の半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなること
を特徴とする半導体装置。
3. A semiconductor device comprising a semiconductor element encapsulated with the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1 or 2.
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