JP2002243405A - ３次元変位センサ - Google Patents
３次元変位センサInfo
- Publication number
- JP2002243405A JP2002243405A JP2001047153A JP2001047153A JP2002243405A JP 2002243405 A JP2002243405 A JP 2002243405A JP 2001047153 A JP2001047153 A JP 2001047153A JP 2001047153 A JP2001047153 A JP 2001047153A JP 2002243405 A JP2002243405 A JP 2002243405A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- magnetic field
- hall elements
- displacement sensor
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で被測定物の３軸方向の変位を効
率よくかつ正確に測定することのできる３次元変位セン
サを提供する。 【解決手段】 被測定物１０の変位測定部位に厚さ方向
に磁化された直角三角形板状の磁石１１を取り付けると
ともに、上記磁石１１の直交する２つの辺のうちのＹ軸
に平行な辺と同方向に、複数のホール素子２０ａ〜２０
ｎを一列に配列して成る磁界検出手段２０を設け、上記
各ホール素子２０ａ〜２０ｎにより、上記磁石１１から
の厚み方向の磁界を検出して、被測定物１０の３軸方向
の変位を測定する。
率よくかつ正確に測定することのできる３次元変位セン
サを提供する。 【解決手段】 被測定物１０の変位測定部位に厚さ方向
に磁化された直角三角形板状の磁石１１を取り付けると
ともに、上記磁石１１の直交する２つの辺のうちのＹ軸
に平行な辺と同方向に、複数のホール素子２０ａ〜２０
ｎを一列に配列して成る磁界検出手段２０を設け、上記
各ホール素子２０ａ〜２０ｎにより、上記磁石１１から
の厚み方向の磁界を検出して、被測定物１０の３軸方向
の変位を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホール素子を用い
た変位センサに関するもので、特に、３軸方向の変位を
同時に検出する３次元変位センサに関する。
た変位センサに関するもので、特に、３軸方向の変位を
同時に検出する３次元変位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、被測定物の変位や位置を測定する
方法として、ホール素子を用いた変位センサや位置検出
センサが多く用いられている。図３（ａ）は、特開平０
９−２３１８８９号公報に開示された位置検出センサの
構成を示す図で、この位置検出センサは、被測定物であ
るピストン３０に永久磁石３１を埋め込み、上記永久磁
石３１からの磁界を、シリンダチューブ３２の外側に設
けられた筐体３３内の基板３４上に所定の距離を隔てて
配設された、２つのホール素子３５Ａ，３５Ｂにより検
知し、上記ピストン３０の位置を検出するものである。
すなわち、ピストン３０が同図のＤ方向に移動するに伴
って、上記ホール素子３５Ａは上記シリンダチューブ３
２表面から出ていく方向の磁界を検知して、図３（ｂ）
の一点鎖線に示すような正の電圧を出力し、上記ホール
素子３５Ａは上記シリンダチューブ３２表面から出てい
く方向の磁界を検知して、図３（ｂ）の二点鎖線に示す
ような正の電圧を出力するので、上記ホール素子３５
Ａ，３５Ｂに発生するホール電圧Ｖa，Ｖbの差を求める
ことにより、上記ピストン３０の位置を精度良く検出す
ることができる。
方法として、ホール素子を用いた変位センサや位置検出
センサが多く用いられている。図３（ａ）は、特開平０
９−２３１８８９号公報に開示された位置検出センサの
構成を示す図で、この位置検出センサは、被測定物であ
るピストン３０に永久磁石３１を埋め込み、上記永久磁
石３１からの磁界を、シリンダチューブ３２の外側に設
けられた筐体３３内の基板３４上に所定の距離を隔てて
配設された、２つのホール素子３５Ａ，３５Ｂにより検
知し、上記ピストン３０の位置を検出するものである。
すなわち、ピストン３０が同図のＤ方向に移動するに伴
って、上記ホール素子３５Ａは上記シリンダチューブ３
２表面から出ていく方向の磁界を検知して、図３（ｂ）
の一点鎖線に示すような正の電圧を出力し、上記ホール
素子３５Ａは上記シリンダチューブ３２表面から出てい
く方向の磁界を検知して、図３（ｂ）の二点鎖線に示す
ような正の電圧を出力するので、上記ホール素子３５
Ａ，３５Ｂに発生するホール電圧Ｖa，Ｖbの差を求める
ことにより、上記ピストン３０の位置を精度良く検出す
ることができる。
【０００３】また、図４（ａ）は、特開平０７−１０５
８０９号公報に開示された変位センサの構成を示す図で
ある。この変位センサは、磁性体４３を介して結合さ
れ、変位方向Ｘに沿って所定の距離を隔てて配設された
２つの永久磁石４２，４４を有して被検出物を構成する
磁場発生部４１からの磁界を、上記永久磁石４２，４４
に対向するように配設され、変位方向Ｘに沿って上記磁
場発生部４１と相対的にスライドするホール素子４５に
より検知するもので、図４（ｂ）に示すように上記ホー
ル素子４５の出力Ｖが、磁場発生部４１とホール素子４
５との相対的な変位量ΔＸにしたがって変化することか
ら、上記変位量ΔＸを検出する。なお、上記ホール素子
３５Ａ，３５Ｂ，４５の出力電圧の符号は、上記各ホー
ル素子３５Ａ，３５Ｂ，４５に印可される磁界の方向と
流す制御電流の方向によるので、検出方法により適宜選
定することができる。
８０９号公報に開示された変位センサの構成を示す図で
ある。この変位センサは、磁性体４３を介して結合さ
れ、変位方向Ｘに沿って所定の距離を隔てて配設された
２つの永久磁石４２，４４を有して被検出物を構成する
磁場発生部４１からの磁界を、上記永久磁石４２，４４
に対向するように配設され、変位方向Ｘに沿って上記磁
場発生部４１と相対的にスライドするホール素子４５に
より検知するもので、図４（ｂ）に示すように上記ホー
ル素子４５の出力Ｖが、磁場発生部４１とホール素子４
５との相対的な変位量ΔＸにしたがって変化することか
ら、上記変位量ΔＸを検出する。なお、上記ホール素子
３５Ａ，３５Ｂ，４５の出力電圧の符号は、上記各ホー
ル素子３５Ａ，３５Ｂ，４５に印可される磁界の方向と
流す制御電流の方向によるので、検出方法により適宜選
定することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のホー
ル素子を用いた変位センサや位置検出センサでは、被測
定物に取り付けられた磁界発生手段である永久磁石と、
上記永久磁石からの磁界のうち、所定の方向の磁界成分
を検出する１個あるいは複数のホール素子とを用いて、
上記被測定物の１方向の変位のみを検出する構成となっ
ているので、例えば、図４のホール素子４５では、ｈが
変化した場合には、出力Ｖも変化するので、Ｘ方向の磁
界成分とｈ方向の磁界成分とを分離して検出することが
できなかった。すなわち、被測定物の２軸方向あるいは
３軸方向の変位を同時に測定する場合には、上記永久磁
石とホール素子とをそれぞれ２対あるいは３対準備し
て、被測定物の各軸方向の変位を別個に測定しなければ
ならなかった。
ル素子を用いた変位センサや位置検出センサでは、被測
定物に取り付けられた磁界発生手段である永久磁石と、
上記永久磁石からの磁界のうち、所定の方向の磁界成分
を検出する１個あるいは複数のホール素子とを用いて、
上記被測定物の１方向の変位のみを検出する構成となっ
ているので、例えば、図４のホール素子４５では、ｈが
変化した場合には、出力Ｖも変化するので、Ｘ方向の磁
界成分とｈ方向の磁界成分とを分離して検出することが
できなかった。すなわち、被測定物の２軸方向あるいは
３軸方向の変位を同時に測定する場合には、上記永久磁
石とホール素子とをそれぞれ２対あるいは３対準備し
て、被測定物の各軸方向の変位を別個に測定しなければ
ならなかった。
【０００５】本発明は、従来の問題点に鑑みてなされた
もので、簡単な構成で被測定物の３軸方向の変位を効率
よくかつ正確に測定することのできる３次元変位センサ
を提供することを目的とする。
もので、簡単な構成で被測定物の３軸方向の変位を効率
よくかつ正確に測定することのできる３次元変位センサ
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の３次元変位センサは、被測定物上に設けられた、厚さ
方向に磁化された磁石と、上記磁石の磁極面に所定の距
離を隔てて対向するように設けられた、一方向に配列さ
れた複数のホール素子とを備えるとともに、上記磁石の
形状を、上記ホール素子の配列方向に平行な方向の幅
が、上記配列方向に直交する方向に暫時増加あるいは減
少するような形状とし、上記被測定物の３方向の変位を
同時に検出可能としたものである。請求項２に記載の３
次元変位センサは、上記磁石の形状を直角三角形とする
とともに、上記複数のホール素子を、上記直角三角形の
直交する２辺のいずれか一方に平行な方向に配列したも
のである。
の３次元変位センサは、被測定物上に設けられた、厚さ
方向に磁化された磁石と、上記磁石の磁極面に所定の距
離を隔てて対向するように設けられた、一方向に配列さ
れた複数のホール素子とを備えるとともに、上記磁石の
形状を、上記ホール素子の配列方向に平行な方向の幅
が、上記配列方向に直交する方向に暫時増加あるいは減
少するような形状とし、上記被測定物の３方向の変位を
同時に検出可能としたものである。請求項２に記載の３
次元変位センサは、上記磁石の形状を直角三角形とする
とともに、上記複数のホール素子を、上記直角三角形の
直交する２辺のいずれか一方に平行な方向に配列したも
のである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面に基づき説明する。図１（ａ），（ｂ）は本実
施の形態に係わる３次元変位センサの測定原理を示す図
で、図２は上記３次元変位センサの配置例を示す図であ
る。各図において、１０は被測定物、１１はこの被測定
物１０の変位測定部位に取り付けられた、厚さ方向に磁
化された直角三角形板状の磁石（永久磁石）で、表面側
（磁極面１１ａ）がＮ極に、裏面側（磁極面１１ｂ）が
Ｓ極になるよう着磁されている。以下、位置関係を明確
にするため、上記磁石１１の直交する２つの辺の方向
を、それぞれＸ軸及びＹ軸に平行な方向とし、厚み方向
をＺ軸に平行な方向とする。２０は上記磁石１１と、Ｚ
軸方向に所定の距離を隔てて対向するように配置され
た、Ｙ軸方向に延長する基板２０Ｂ上に、複数のホール
素子２０Ｈ（２０ａ〜２０ｎ）をＹ軸方向に一列に配列
して成る磁界検出手段である。上記各ホール素子２０ａ
〜２０ｎにおいては、磁界印可面２０Ｓを上記磁極面１
１ａに平行になるように配置するとともに、上記磁界印
可面２０Ｓに平行な面内に制御電流を流して、上記磁極
面１１ａからのＺ軸方向に垂直な磁界成分を検出する。
て、図面に基づき説明する。図１（ａ），（ｂ）は本実
施の形態に係わる３次元変位センサの測定原理を示す図
で、図２は上記３次元変位センサの配置例を示す図であ
る。各図において、１０は被測定物、１１はこの被測定
物１０の変位測定部位に取り付けられた、厚さ方向に磁
化された直角三角形板状の磁石（永久磁石）で、表面側
（磁極面１１ａ）がＮ極に、裏面側（磁極面１１ｂ）が
Ｓ極になるよう着磁されている。以下、位置関係を明確
にするため、上記磁石１１の直交する２つの辺の方向
を、それぞれＸ軸及びＹ軸に平行な方向とし、厚み方向
をＺ軸に平行な方向とする。２０は上記磁石１１と、Ｚ
軸方向に所定の距離を隔てて対向するように配置され
た、Ｙ軸方向に延長する基板２０Ｂ上に、複数のホール
素子２０Ｈ（２０ａ〜２０ｎ）をＹ軸方向に一列に配列
して成る磁界検出手段である。上記各ホール素子２０ａ
〜２０ｎにおいては、磁界印可面２０Ｓを上記磁極面１
１ａに平行になるように配置するとともに、上記磁界印
可面２０Ｓに平行な面内に制御電流を流して、上記磁極
面１１ａからのＺ軸方向に垂直な磁界成分を検出する。
【０００８】次に、３次元変位センサの測定原理につい
て説明する。磁石１１の形状は、図１（ａ）に示すよう
に、板状の直角三角形であるので、磁界検出手段２０の
長さ方向、すなわち、ホール素子２０ａ〜２０ｎの配列
方向においては、特定のホール素子（ここでは、ホール
素子２０ｃ〜２０ｅ）のみが磁石１１の直下に位置する
ことになる。ホール素子２０ａ〜２０ｎの受けるＺ軸方
向の磁界の大きさは、当該ホール素子が磁石１１の直下
に位置する場合が最も大きく、磁石１１から離れるに従
って急速に減少する。また、上記各ホール素子２０ａ〜
２０ｎは印可磁界に比例する電圧を出力するので、上記
各ホール素子２０ａ〜２０ｎの各出力に閾値を設定する
ことにより、磁石１１の直下に位置するホール素子を特
定することができる。すなわち、Ｙ軸方向に１列に配列
されたホール素子のうち、どのホール素子が磁石１１の
直下に位置するかを特定することにより、磁石１１のＸ
Ｙ平面内での位置、すなわち被測定物１０のＸＹ平面内
での位置を検出することができる。なお、上記閾値の設
定方法については、後述する。また、磁石１１と磁界検
出手段２０の距離が変化すると、各ホール素子２０ａ〜
２０ｎの出力が変化するので、上記各ホール素子２０ａ
〜２０ｎの出力変化から被測定物１０のＺ軸方向の変位
を検出することができる。
て説明する。磁石１１の形状は、図１（ａ）に示すよう
に、板状の直角三角形であるので、磁界検出手段２０の
長さ方向、すなわち、ホール素子２０ａ〜２０ｎの配列
方向においては、特定のホール素子（ここでは、ホール
素子２０ｃ〜２０ｅ）のみが磁石１１の直下に位置する
ことになる。ホール素子２０ａ〜２０ｎの受けるＺ軸方
向の磁界の大きさは、当該ホール素子が磁石１１の直下
に位置する場合が最も大きく、磁石１１から離れるに従
って急速に減少する。また、上記各ホール素子２０ａ〜
２０ｎは印可磁界に比例する電圧を出力するので、上記
各ホール素子２０ａ〜２０ｎの各出力に閾値を設定する
ことにより、磁石１１の直下に位置するホール素子を特
定することができる。すなわち、Ｙ軸方向に１列に配列
されたホール素子のうち、どのホール素子が磁石１１の
直下に位置するかを特定することにより、磁石１１のＸ
Ｙ平面内での位置、すなわち被測定物１０のＸＹ平面内
での位置を検出することができる。なお、上記閾値の設
定方法については、後述する。また、磁石１１と磁界検
出手段２０の距離が変化すると、各ホール素子２０ａ〜
２０ｎの出力が変化するので、上記各ホール素子２０ａ
〜２０ｎの出力変化から被測定物１０のＺ軸方向の変位
を検出することができる。
【０００９】ここで、磁石１１の直下に位置するホール
素子を特定するための閾値の設定方法について説明す
る。上述したように、ホール素子２０ａ〜２０ｎの受け
るＺ軸方向の磁界の大きさは、当該ホール素子が磁石１
１から離れるに従って急速に減少するので、一定値であ
ってもよい。しかしながら、各ホール素子２０ａ〜２０
ｎの出力は磁石１１と磁界検出手段２０の距離に依存す
るので、検出精度が要求される場合には、上記閾値を、
出力が最大であるホール素子の出力値の、例えば、１／
２あるいは１／３などの所定の係数を乗算した値をの値
に設定する。これにより、磁石１１と磁界検出手段２０
との距離が増加して各ホール素子２０ａ〜２０ｎの出力
が低下した場合でも、磁石１１の直下にないホール素子
の出力は上記閾値よりも小さいので、磁石１１の直下に
位置するホール素子を特定することができる。あるい
は、各ホール素子２０ａ〜２０ｎの出力の平均値を算出
して、上記算出された出力平均値、または出力平均値に
所定の係数を乗算した値を閾値に設定するようにしても
よい。また、各ホール素子２０ａ〜２０ｎの出力のう
ち、出力の高い複数のホール素子の出力の平均値を算出
して、上記算出された出力の平均値に所定の係数を乗算
した値を閾値に設定するようにしてもよい。
素子を特定するための閾値の設定方法について説明す
る。上述したように、ホール素子２０ａ〜２０ｎの受け
るＺ軸方向の磁界の大きさは、当該ホール素子が磁石１
１から離れるに従って急速に減少するので、一定値であ
ってもよい。しかしながら、各ホール素子２０ａ〜２０
ｎの出力は磁石１１と磁界検出手段２０の距離に依存す
るので、検出精度が要求される場合には、上記閾値を、
出力が最大であるホール素子の出力値の、例えば、１／
２あるいは１／３などの所定の係数を乗算した値をの値
に設定する。これにより、磁石１１と磁界検出手段２０
との距離が増加して各ホール素子２０ａ〜２０ｎの出力
が低下した場合でも、磁石１１の直下にないホール素子
の出力は上記閾値よりも小さいので、磁石１１の直下に
位置するホール素子を特定することができる。あるい
は、各ホール素子２０ａ〜２０ｎの出力の平均値を算出
して、上記算出された出力平均値、または出力平均値に
所定の係数を乗算した値を閾値に設定するようにしても
よい。また、各ホール素子２０ａ〜２０ｎの出力のう
ち、出力の高い複数のホール素子の出力の平均値を算出
して、上記算出された出力の平均値に所定の係数を乗算
した値を閾値に設定するようにしてもよい。
【００１０】このように、本実施の形態によれば、被測
定物１０の変位測定部位に厚さ方向に磁化された直角三
角形板状の磁石１１を取り付けるとともに、上記磁石１
１の直交する２つの辺のうちのＹ軸に平行な方向に、複
数のホール素子２０ａ〜２０ｎを一列に配列して成る磁
界検出手段２０を設け、上記各ホール素子２０ａ〜２０
ｎにより、上記磁石１１からの厚み方向の磁界を検出し
て、磁石１１の直下に位置するホール素子を特定すると
ともに、磁石１１と磁界検出手段２０の距離の変化を検
出するようにしたので、簡単な構成で被測定物の３軸方
向の変位を同時に、効率よくかつ正確に測定することが
できる。
定物１０の変位測定部位に厚さ方向に磁化された直角三
角形板状の磁石１１を取り付けるとともに、上記磁石１
１の直交する２つの辺のうちのＹ軸に平行な方向に、複
数のホール素子２０ａ〜２０ｎを一列に配列して成る磁
界検出手段２０を設け、上記各ホール素子２０ａ〜２０
ｎにより、上記磁石１１からの厚み方向の磁界を検出し
て、磁石１１の直下に位置するホール素子を特定すると
ともに、磁石１１と磁界検出手段２０の距離の変化を検
出するようにしたので、簡単な構成で被測定物の３軸方
向の変位を同時に、効率よくかつ正確に測定することが
できる。
【００１１】なお、上記実施の形態では、磁石１１の形
状を直角三角形としたが、これに限るものではなく、上
記磁石の形状を、上記ホール素子の配列方向に平行な方
向の幅が、上記配列方向に直交する方向に暫時増加ある
いは減少するような形状であれば、上記磁石直下のホー
ル素子を特定できるので、被測定物１０の３軸方向の変
位を測定することができる。また、上記例では、磁界検
出手段２０をＹ軸方向に平行な方向に配置したが、Ｘ軸
方向に平行な方向でもよい。すなわち、磁石１１の直下
に位置するホール素子を特定できる方向であればよい。
状を直角三角形としたが、これに限るものではなく、上
記磁石の形状を、上記ホール素子の配列方向に平行な方
向の幅が、上記配列方向に直交する方向に暫時増加ある
いは減少するような形状であれば、上記磁石直下のホー
ル素子を特定できるので、被測定物１０の３軸方向の変
位を測定することができる。また、上記例では、磁界検
出手段２０をＹ軸方向に平行な方向に配置したが、Ｘ軸
方向に平行な方向でもよい。すなわち、磁石１１の直下
に位置するホール素子を特定できる方向であればよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定物上に設けられた、厚さ方向に磁化された磁石
と、上記磁石の磁極面に所定の距離を隔てて対向するよ
うに設けられた、一方向に配列された複数のホール素子
とを備えるとともに、上記磁石の形状を、上記ホール素
子の配列方向に平行な方向の幅が、上記配列方向に直交
する方向に暫時増加あるいは減少するような形状とした
変位センサを構成することにより、構成が簡単で、上記
被測定物の３方向の変位を同時に検出することができる
３次元変位センサを得ることができる。また、上記磁石
の形状を直角三角形とするとともに、上記複数のホール
素子を、上記直角三角形の直交する２辺のいずれか一方
に平行な方向に配列することにより、作製が容易で、検
出精度の高い３次元変位センサを得ることができる。
被測定物上に設けられた、厚さ方向に磁化された磁石
と、上記磁石の磁極面に所定の距離を隔てて対向するよ
うに設けられた、一方向に配列された複数のホール素子
とを備えるとともに、上記磁石の形状を、上記ホール素
子の配列方向に平行な方向の幅が、上記配列方向に直交
する方向に暫時増加あるいは減少するような形状とした
変位センサを構成することにより、構成が簡単で、上記
被測定物の３方向の変位を同時に検出することができる
３次元変位センサを得ることができる。また、上記磁石
の形状を直角三角形とするとともに、上記複数のホール
素子を、上記直角三角形の直交する２辺のいずれか一方
に平行な方向に配列することにより、作製が容易で、検
出精度の高い３次元変位センサを得ることができる。
【図１】 本発明に係わる３次元変位センサの測定原理
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 ３次元変位センサの配置例を示す図である。
【図３】 従来の位置検出センサの構成を示す図であ
る。
る。
【図４】 従来の変位センサの構成を示す図である。
１０ 被測定物、１１ 磁石、１１ａ 磁極面（Ｎ
極）、１１ｂ 磁極面（Ｓ極）、２０ 磁界検出手段、
２０Ｂ 基台、２０Ｈ，２０ａ〜２０ｎ ホール素子、
２０ｓ ホール素子の磁界印可面。
極）、１１ｂ 磁極面（Ｓ極）、２０ 磁界検出手段、
２０Ｂ 基台、２０Ｈ，２０ａ〜２０ｎ ホール素子、
２０ｓ ホール素子の磁界印可面。
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物上に設けられた、厚さ方向に磁
化された磁石と、上記磁石の磁極面に所定の距離を隔て
て対向するように設けられた、一方向に配列された複数
のホール素子とを備えるとともに、上記磁石の形状を、
上記ホール素子の配列方向に平行な方向の幅が、上記配
列方向に直交する方向に暫時増加あるいは減少するよう
な形状としたことを特徴とする３次元変位センサ。 - 【請求項２】 上記磁石の形状を直角三角形とするとと
もに、上記複数のホール素子を、上記直角三角形の直交
する２辺のいずれか一方に平行な方向に配列したことを
特徴とする請求項１に記載の３次元変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001047153A JP2002243405A (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | ３次元変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001047153A JP2002243405A (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | ３次元変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002243405A true JP2002243405A (ja) | 2002-08-28 |
Family
ID=18908648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001047153A Pending JP2002243405A (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | ３次元変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002243405A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
| JP2018096840A (ja) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | Tdk株式会社 | センサユニット |
-
2001
- 2001-02-22 JP JP2001047153A patent/JP2002243405A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
| JP2018096840A (ja) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | Tdk株式会社 | センサユニット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9347799B2 (en) | Magnetic field sensor system with a magnetic wheel rotatable around a wheel axis and with magnetic sensor elements being arranged within a plane perpendicular to the wheel axis | |
| JP6926209B2 (ja) | 距離センサ | |
| US8896294B2 (en) | Magnetic position detector | |
| KR20160102467A (ko) | 자기장 센서 및 운동 라인을 따른 자기장 센서와 타겟 물체의 상대적 위치를 감지하는 방법 | |
| JPWO2002052221A1 (ja) | 変位センサ | |
| US20160169984A1 (en) | Magnetic Field Sensor | |
| TWI633321B (zh) | 用於磁場感測之穿隧磁阻裝置 | |
| JP2005195427A (ja) | 電流測定装置、電流測定方法および電流測定プログラム | |
| JP6367458B2 (ja) | センサ | |
| US8319491B2 (en) | System including circuit that determines calibration values | |
| EP2581707B1 (en) | Contactless magnetic linear position sensor | |
| JP2009192261A (ja) | 直線変位検出装置 | |
| WO2018196835A1 (zh) | 一种磁电阻线性位置传感器 | |
| JP3487452B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
| CN109655767B (zh) | 一种集成磁结构 | |
| KR101397273B1 (ko) | 자기력 센서 | |
| TWI401423B (zh) | 非接觸式振動感測裝置 | |
| KR20200068539A (ko) | 위치 센서 및 위치 감지 방법 | |
| CN106771360B (zh) | 一种单轴mems加速度计 | |
| JP2002243405A (ja) | ３次元変位センサ | |
| JP5877728B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
| JP2003028605A (ja) | 位置検出装置 | |
| US7019607B2 (en) | Precision non-contact digital switch | |
| US11280637B2 (en) | High performance magnetic angle sensor | |
| JP7196921B2 (ja) | 非破壊検査装置、非破壊検査システム及び非破壊検査方法 |