JP2002240288A - インクジェット記録ヘッドおよびその駆動条件設定方法、ならびにインクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録ヘッドおよびその駆動条件設定方法、ならびにインクジェット記録装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 流路容積の違いに拘わらず安定したインクド
ロップの吐出を行うインクジェット記録ヘッドの駆動条
件設定方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 サーマルインクジェット記録ヘッド１０
には、発熱体３２からノズル面２１までの距離（流路容
積）のずれがデータとしてメモリ６４に格納されてお
り、インクジェット記録ヘッド１０をインクジェット記
録装置に装着することにより、インクジェット記録装置
の制御部５０に上記データが読み出され、データに基づ
いて発熱体３２の駆動条件（プレパルス数等）が設定さ
れる。したがって、製造誤差等によって流路容積にずれ
があってもインク吐出状態をほぼ一定にでき、安定した
印字性能を確保することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は画像情報に応じて記
録媒体上にインクドロップを吐出して記録を行なうイン
クジェット記録ヘッドおよびその駆動条件設定方法、な
らびにインクジェット記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】画像信号に応じてノズルからインクドロッ
プを紙に吐出し、記録を行なうインクジェット記録方法
には、ノズルからインクドロップを吐出するための駆動
力として、電気一熱変換素子（以下発熱体と呼ぶ）に電
気パルスを印可し、発熱体の発熱によりバブルを生じさ
せ、バブルの圧力でノズルからインクドロップを吐出さ
せるサーマルインクジェット方式がある。
【０００３】サーマルインクジェット方式の場合には、
インクドロップの吐出によってインク温度が上昇し、粘
度変化によってインクドロップ体積が変化する問題があ
る。
【０００４】この対策として、特許公報第２７８３６４
７号（以下、従来例１という）に示されるように、発熱
体上で発生したバブルが成長し、大気と連通することに
より、環境温度やヘッド温度によらず、一定体積のイン
クドロップを吐出するものが提案されている。また、こ
のようにすると、発熱体上でバブルが消滅しないので、
発熱体にバブル消滅時のキャビテーションダメージを与
えることがなく、発熱体の寿命を伸ばすこともできる。
【０００５】また、上記従来例１の中には、大気と連通
する時に生じるスプラッシュやミストによる画像の汚れ
を防止するため、バブルの内圧が大気圧以下の条件で連
通させることを開示している。
【０００６】すなわち、用紙に対するインクミストの付
着は、発熱体の駆動により発生したバブルの内圧が大気
圧より低くなる前にバブルが大気と連通することによ
り、ノズルから大気に向けて圧力勾配が生じることによ
って生じるものである。そこで、バブルの内圧が大気圧
よりも低くなった後でバブルと大気を連通させることに
より、ノズル内部に向かう圧力勾配として、用紙にイン
クミストが付着することを防止するものである。
【０００７】ここで、上述の関係を達成するために大気
とバブルが連通するタイミングと発熱体からノズルまで
の流路容積の関係について一般的なバブルの内圧の時間
変化を示す図１３を参照して説明する。
【０００８】図１３は、発熱体からノズルまでの距離を
変えて流路容積を変更したヘッド構造ａ、ｂ、ｃについ
て、発熱体の駆動条件（発生するバブル体積）を一定に
してバブルと大気が連通するタイミングを流体シミュレ
ーションにより計算した結果を示したものである。ここ
で、それぞれの流路容積Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃとすると、そ
の関係はＶａ＜Ｖｂ＜Ｖｃとなる。
【０００９】図１３に示すように、発熱体からノズルに
至るまでの流路容積が小さ過ぎる構造ａの場合には、バ
ブルの内圧と大気圧が等しくなる時間ｔ１より早くバブ
ルと大気が連通する（バブルの内圧は大気圧より高い）
ため、用紙にインクミストが付着してしまう。また、発
熱体からノズルに至るまでの流路容積が大き過ぎる構造
ｃでは、バブルと大気との連通が起こらないため、上述
した温度によらず一定体積のインクドロップを吐出した
り、発熱体の寿命を伸ばす効果を得ることができない。
【００１０】このように、大気とバブルが連通するタイ
ミングを支配するのは、発熱体からノズルに至るまでの
流路容積と発熱体の駆動条件（発熱体によって生ずるバ
ブルの体積）関係である。
【００１１】このような観点から、特許公報第２８７７
５８９号（以下、従来例２という）には、発熱体の大き
さや、ノズルまでの流路容積をある一定の範囲内に規定
することが開示されている。
【００１２】このように、従来例１、２には、インクミ
ストを防止すると共に、温度によらず一定体積のインク
ドロップを吐出する構成が開示されている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インク
ジェット記録ヘッドの製造誤差によって流路容積を一定
範囲で製造することが困難であるという問題がある。イ
ンクジェット記録ヘッド（ヘッドチップ）の製造工程に
おいて、発熱体からノズルまでの流路容積を変動させる
要因として以下のようなものが考えられる。
【００１４】例えば、インク流路を形成した部材にノズ
ル板を貼り付け、ノズル板にノズルを形成するようなイ
ンクジェット記録ヘッドでは、ノズル板の厚みが所望の
厚みでなかったり、ノズルの形成時、所望の大きさのノ
ズルが形成できないことがある。
【００１５】また、流路が形成された流路基板と、発熱
体が形成された発熱体基板を張り合わせ、ダイシングに
よりノズル面を形成するようなインクジェット記録ヘッ
ドでは、ダイシング位置がずれることがある。
【００１６】このような場合に、発熱体からノズルまで
の流路容積が規定範囲外となってしまい、上記従来技術
１、２のように、所定のタイミングで大気とバブルを連
通させることができず、所望の作用（一定体積のインク
ドロップを吐出、インクミスト防止）を達成できなくな
るおそれがあった しかしながら、バブルの体積と流路容積を所定の関係に
するために、流路寸法の許容量を厳密に規定すれば、ヘ
ッド作製工程におけるインクジェット記録ヘッドの歩留
まりを低下させ、作製コストの上昇を招く。
【００１７】そこで、ヘッドチップ毎の流路容積の変動
にかかわらず、所定の印字性能を確保するインクジェッ
ト記録ヘッドの駆動条件設定方法およびインクジェット
記録ヘッドならびにインクジェット記録装置を提供する
ことを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクを加熱
して気泡を発生させる発熱体が配置される個別流路と、
個別流路先端でノズル面に開口されたインク吐出口とを
備えたインクジェット記録ヘッドの駆動条件設定方法で
あって、前記個別流路において、製造誤差による前記発
熱体から前記ノズル面に至る流路容積の違いに応じて前
記発熱体に対する駆動条件を設定することを特徴とす
る。
【００１９】このように、発熱体からノズル面に至る個
別流路の流路容積違いに応じて発熱体に印加する駆動条
件を設定している。具体的には、インクジェット記録ヘ
ッド作製工程において、発熱体からノズル面までの流路
容積が所定値からずれた場合に、そのずれ量に応じて発
熱体を駆動する条件を変更することで、発熱体によって
生じるバブルの体積を変化させることにより、発熱体か
らノズルまでの流路容積とバブルの体積を所定の関係に
するものである。例えば、流路容積が小さい場合には、
発熱体に印加するエネルギを小さくすることによって、
インク中に発生させるバブルの体積を減少させ、反対に
流路容積が大きい場合には、発熱体の印加するエネルギ
を増大させることによって、インク中に発生させるバブ
ルの体積を増加させるものである。
【００２０】このように、バブルの体積と流路容積を所
定の関係にすることにより、いかなる場合でもインク吐
出時にバブル内圧が大気圧以下で大気と連通するように
できるので、環境温度やヘッド温度によらず一定体積の
インクドロップを吐出でき、さらにスプラッシュやミス
トによる画像劣化を防止できる。
【００２１】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
は、インクを加熱して気泡を発生させる発熱体が配置さ
れる個別流路と、個別流路先端でノズル面に開口された
インク吐出口と、前記個別流路において、前記発熱体か
らノズル面に至る流路容積に基づく流路容積データを記
憶するデータ保持部と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】インクジェット記録ヘッドに流路容積デー
タを記憶するデータ保持部を備えたため、インクジェッ
ト記録ヘッドの作製精度が低くても、この流路容積デー
タに基づいて発熱体の駆動条件を設定することによっ
て、流路容積とバブルの体積を所定の関係にすることが
できる。したがって、温度変化に伴なうインクドロップ
の体積変動を抑制すると共に、インクミスト防止を達成
するインクジェット記録ヘッドを、歩留まりを低下させ
ることなく得ることができる。
【００２３】さらに、本発明のインクジェット記録装置
は、請求項３〜８のいずれか１項インクジェット記録ヘ
ッドが装着されることにより、前記記録ヘッドの流路容
積データを読み出して前記発熱体の駆動条件を設定する
駆動条件設定手段を備えることを特徴とする。
【００２４】上述のインクジェット記録ヘッドが装着さ
れることにより、インクジェット記録ヘッドの流路容積
データを読み出し、それに応じて発熱体の駆動条件を設
定するため、インクジェット記録ヘッドのバブル大きさ
と流路容積が所定の関係となり、インクミスト防止とイ
ンクドロップ体積の一定性が達成される。
【００２５】
【実施の形態】本発明の一実施形態に係わるインクジェ
ット記録ヘッドおよびその駆動条件設定方法ならびにイ
ンクジェット記録装置について説明する。
【００２６】インクジェット記録ヘッド１０は、図１お
よび図２に示すように、発熱基板１２と流路基板１４を
接合して形成するものであり、流路基板１４表面に開口
したインク供給口１６から供給されたインクが、共通液
室１８、個別流路２０を介してノズル端面２１に開口し
たノズル２２からインクドロップとして吐出される構成
である。
【００２７】共通液室１８の個別流路２０近傍には、図
２に示すように、一定間隔で柱が形成されたフィルタ２
４が形成されており、個別流路２０が共通液室１８に流
入したゴミによって目詰まりし、インクドロップの吐出
が不能となることを防止している。
【００２８】個別流路２０は、ノズル側と共通液室側に
それぞれ前方絞り２６と後方絞り２８を備えると共に、
凹部３０を備えることによって、後述するバブルによっ
て効率的にインクドロップを吐出するようにされてい
る。
【００２９】一方、発熱体基板１２には、基板表面に形
成された回路等をインクから保護するために、表面に保
護層３１が形成されると共に、流路基板１４の凹部３０
に対応する位置に保護層３１から露出した発熱体３２が
配置されている。
【００３０】なお、インクジェット記録ヘッド１０に
は、メモリ６４（図８参照）を有しており、個別流路２
０の発熱体３２からノズル２２までの流路容積に応じた
後述するクラス情報が格納されている。本実施形態で
は、このクラス情報とは、個別流路２０において発熱体
３２の端部からノズル端面２１までの距離（ダイシング
位置）Ｌの製造誤差（ずれ）量である。
【００３１】以下、製造誤差量の検出方法についてイン
クジェット記録ヘッド１０の作製方法と共に簡単に説明
する。
【００３２】このようなインクジェット記録ヘッド１０
の作製方法について図３を参照して簡単に説明する。
【００３３】流路基板１４は、円板上の基板１４Ａに複
数作成されるものである。基板１４Ａ上に形成される各
流路基板１４に相当する部分には、特開平１１−２２７
２０８号公報に示されるように、外部のインクタンクか
らインクジェット記録ヘッド１０にインクを供給するた
めのインク供給口１６、共通液室１８等が湿式異方性エ
ッチングで作製され、個別流路２０は形状精度が要求さ
れるため反応性イオンエッチングにより作製される。
【００３４】一方、発熱体基板１２も、円板上の基板１
２Ａに複数作成されるものである。基板１２Ａに形成さ
れる各発熱体基板１２に相当する部分には、発熱体３２
等が形成される。
【００３５】このようにぞれぞれ形成された流路基板１
４と発熱体基板１２は、位置合わせ後、接合され、例え
ばダイサーによってダイシングライン３８に沿って矩形
状に切断、分離されることによって、個々のインクジェ
ット記録ヘッド１０とされる。このとき、基板１２Ａ、
１４Ａのダイシングされた端面がインクジェット記録ヘ
ッド１０のノズル面２１となり、ノズル面２１にノズル
２２が開口する。
【００３６】ところで、この基板１２Ａ上のダイシング
ライン３８を挟んだ位置に、特開２０００‐２４３６７
４号公報に示されるように、ノズル面２１からダイシン
グ位置（製造誤差）が検出できるパターンが、例えばＡ
ｌにより基板１２Ａ上に形成されている。このパターン
の一例を図４に示す。
【００３７】すなわち、互いに非平行な２本の直線パタ
ーン３４Ａ、３４Ｂがダイシングライン３８を跨ぐよう
に形成されており、ダイシングによってノズル面２１に
露出したパターン３４Ａ、３４Ｂ間の距離Ｊによってダ
イシング位置（発熱体３２の端部からノズル面２１まで
の距離Ｌ）を検出するものである（図４、図５参照）。
【００３８】すなわち、ダイシング位置が設計値からず
れた場合、切断されたノズル面２１において、パターン
３４Ａとパターン３４Ｂ間の距離Ｊが変るため、ヘッド
作製工程、あるいは検査工程においてこの距離Ｊを測定
することによりダイシング位置、すなわち発熱体３２か
らノズル２２までの距離Ｌのずれ量を検出することがで
きる。
【００３９】なお、ここで求めるべきものは流路容積の
ずれ量であるが、このヘッド作製方法においては、個別
流路２０、ノズル２２が反応性イオンエッチングで形成
されるため、流路の作製精度は非常に高く、従って流路
断面積やノズル面積はほぼ設計通りできあがる。したが
って、ダイシング位置のずれ量を検出すれば、発熱体３
２からノズル２２に至る流路容積の設計値からのずれ量
を推定することができるためである。
【００４０】したがって、検査工程などで検出した距離
Ｊに基づいて、ダイシング位置（発熱体３２からノズル
面２１までの距離Ｌ）のずれ量を算出し、このずれ量に
基づいて図６に示すような５段階のクラス分けを行な
う。このクラス情報を入力装置によってインクジェット
記録ヘッド１０のメモリ６４（図８参照）に書き込んで
おく。例えば、インクジェット記録ヘッド１０の作製誤
差によるダイシング位置のずれ量が±２μｍ以内である
場合には、クラス３との情報を書き込む。ここでは、こ
のクラス情報をメモリ６４に書き込んだが、配線を切断
するヒューズ回路等でも良い。
【００４１】続いて、このようなインクジェット記録ヘ
ッド１０が一体的に形成されたインクカートリッジが装
着されるインクジェット記録装置について説明する。
【００４２】インクジェット記録装置４０は、図７に示
すように、ガイドシャフト４２に沿って走査されるキャ
リッジ４４にインクカートリッジ４６が装着され、イン
クカートリッジ先端に一体的に設けられたインクジェッ
ト記録ヘッド１０から用紙４８にインクドロップが吐出
されることによって、用紙４８に画像が記録されるもの
である。
【００４３】また、インクジェット記録装置４０は、図
８に示すように、制御部５０を備えている。制御部５０
は、ＣＰＵ５２、ＲＯＭ５４、ＲＡＭ５６、Ｉ／Ｏ５８
を備え、バス６０で接続されいる。ＲＯＭ５４には後述
する駆動条件設定テーブルが格納されている。また、制
御部５０には、発熱体３２に対する駆動用のパルス信号
を出力するパルス発生器５２が備えられている。
【００４４】パルス発生器５２から発熱体３２に出力さ
れるパルス信号は、図１０に示すように、プレパルス６
６と、メインパルス６８とからなり、クラス情報に基づ
いて設定される後述の駆動条件に基づいてプレパルス数
を変更させるものである。
【００４５】駆動条件設定テーブルは、図９に示すよう
に、インクジェット記録ヘッド１０のメモリ６４から読
み出ししたクラス情報に基づいて発熱体３２を駆動する
駆動パルスの条件を設定するものである。
【００４６】ここで、インクジェット記録ヘッド１０
は、流路容積に応じた駆動パルスを発熱体３２に入力す
ることによって、図１２（Ａ）〜（Ｅ）の模式図に示す
ように、発熱体３２によって個別流路２０のインク７０
中に発生するバブル７２の体積を変化させて、インクド
ロップ７４の吐出時にバブル７２と大気を連通させて一
定体積のインクドロップ７４を吐出させるものである。
【００４７】また、発熱体３２の駆動によって発生した
バブル７２の内圧は、図１３に示すように変化するもの
であるが、バブルの内圧が大気圧以下となった後（時間
ｔ１以後）に連通させるようにしたものである。このよ
うに設定することによって、バブルと大気の連通時にバ
ブル内圧が大気圧以下となり、インクミストがノズル内
部に引き込まれ、用紙に付着することがないからであ
る。
【００４８】しかしながら、インクジェット記録ヘッド
１０の製造誤差によって流路容積が変動すると、発熱体
３２の駆動条件（駆動パルス）が一定であればインク吐
出状態が変化してしまう。例えば、流路容積が減少する
とバブル７２の内圧が大気圧以上のときにバブル７２と
大気が連通することになり、インクミストが用紙に付着
する。一方、流路容積が増大した場合には、バブル７２
と大気が連通できなくなり、環境温度やヘッド温度によ
ってインクドロップ７２の体積が変動してしまう。
【００４９】そこで、ダイシング位置（流路容積）のず
れ量に応じて、駆動条件（プレパルス数）を設定するテ
ーブルを設けたものである。
【００５０】具体的には、図６に示すように、駆動条件
Ａ〜Ｅはそれぞれヘッドのクラス１〜５に対応し、この
中の条件Ｃが、通常の駆動パルス条件である。所定の流
路容積より小さくなったインクジェット記録ヘッド１
０、すなわちクラス１やクラス２に分類されたインクジ
ェット記録ヘッド１０に対しては、条件Ｃに比べ、プレ
パルス６６の数が少ない駆動条件を適用し、発熱体３２
によって生じるバブル７２の体積を標準のものより小さ
くする。これにより発熱体３２によって生じるバブル７
２の体積が小さくなるため、流路容積との関係が所定の
ものになり、所定のタイミングでバブル７２と大気が連
通する。所定の流路容積より大きくなったインクジェッ
ト記録ヘッド１０、すなわちクラス４やクラス５に分類
されたインクジェット記録ヘッド１０に対しては、条件
Ｃに比べプレパルス６６の数を多くして、発熱体３２に
よって生じるバブル７２の体積を標準のものより大きく
し、所定のタイミングでインク吐出を行なう。本実施例
では、いずれの場合もプレパルス間のインターバルは
０。３μｓである。
【００５１】続いて、このように構成されたインクジェ
ット記録ヘッド１０（インクジェット記録装置４０）の
作用（駆動条件設定方法）について説明する。
【００５２】インクジェット記録装置１０にインクカー
トリッジ４６が装着されることにより、制御部５０はイ
ンクジェット記録ヘッド１０のメモリ６４からクラス情
報を読み出し、ＲＯＭ５４に格納されている駆動条件設
定テーブルに基づいて駆動条件を設定する。
【００５３】例えば、インクジェット記録ヘッド１０の
作製誤差によるダイシング位置のずれ量が±２μｍ以内
である場合には、クラス情報がクラス３とされているた
め、０．１μｓのプレパルス６６が４個、１．８μｓの
メインパルス６８が１個とされる駆動条件Ｃが設定さ
れ、駆動条件ＣがＲＡＭに記憶される。
【００５４】以下、インクジェット記録装置４０に画像
出力信号が入力されると、制御部５０では、ＲＡＭ５４
に記憶された駆動条件Ｃに基づいてパルス発生器６２が
パルス信号を発生し、インクジェット記録ヘッド１０
（発熱体３２）に出力する。すなわち、インクドロップ
１個の吐出に対して０．１μｓのプレパルス６６を４
個、１．８μｓのメインパルス６８を１個とするパルス
信号が出力され、発熱体３２が駆動される。この結果、
流路容積と個別流路２０のインク中に発生するバブル７
２の体積が所定の関係となり、インクドロップ７４の吐
出前に大気とバブル７２が連通してヘッド温度によらず
インクドロップ７４の体積を一定にすると共に、バブル
７２と大気の連通時にはバブル７２の内圧が大気圧より
も低下しているためインクミストが用紙に付着すること
はない。
【００５５】このように、インクジェット記録ヘッド１
０にそれぞれの流路容積情報（ダイシング位置のずれ
量）をクラス情報として保持させ、インクジェット記録
装置４０にインクジェット記録ヘッド１０（インクカー
トリッジ４６）を装着することによって、インクジェッ
ト記録装置４０の制御部５０がクラス情報を読み出して
流路容積に応じて発熱体３２の駆動条件を設定する構成
としたため、インクジェット記録ヘッド１０の製造誤差
にかかわらず、環境温度やヘッド温度変化に拘わらず一
定体積のインクドロップを吐出することができる。ま
た、用紙４８に対するインクミストの付着も防止でき
る。
【００５６】図１１はクラス１〜５に分類されたインク
ジェット記録ヘッドを、それぞれの駆動条件で駆動した
ときの、ヘッド温度と吐出インクドロップ量の関係を示
すものである。設計したインクドロップ体積は１５ｐｌ
である。
【００５７】このようにクラス（ダイシング位置のずれ
量）によって吐出インクドロップ体積は設計値の１５ｐ
ｌからずれるが、ヘッド温度が変ってもほぼ一定体積の
インクドロップを吐出することができることが確認され
た。また、いずれのインクジェット記録ヘッドにおいて
もスプラッシュやミストによる画像劣化は見られなかっ
た。
【００５８】ヘッドクラスによるインクドロップ量差
は、プリンタ毎のばらつきになるため、最低限要求され
る印字濃度以上であるならば、この程度の差はあまり問
題になるものではない。
【００５９】なお、本実施形態では、インク吐出時にバ
ブルと大気が連通するタイプのものについて説明した
が、連通しないタイプのものに適用することもできる。
【００６０】また、発熱体３２からノズル面２１までの
距離、すなわち流路容積を検査するためのパターンとし
ては、特開平５−２４２０３号公報に示されるように、
流路基板側に流路作製方法と同じ手段で構を設け、その
構の数をノズル面から数えることにより発熱体３２から
ノズル面２１までの距離を測定することもできる。
【００６１】さらに、インクジェット記録ヘッド１０の
作製方法が異なる場合には、ダイシング位置のずれに変
えて、流路容積（あるいはそのパラメータ）のずれ量に
基づいて駆動条件を設定すれば良い。
【００６２】
【発明の効果】このように、バブルと大気を連通させ、
環境温度やヘッド温度によらず一定体積のインクドロッ
プを吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、発熱
体からノズル面までの流路容積によって発熱体の駆動条
件を変更するため、流路容積のずれによらず、常に一定
体積のインクドロップ吐出を実現させ、スプラッシュや
ミストによる画像劣化を防止することができる。また、
上述の効果を有するインクジェット記録ヘッドを、歩留
まりを低下させることなく作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの模式断面図である。
【図２】 図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】 本発明の一実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの作製状態説明図である。
【図４】 本発明の一実施形態に係る基板上に形成され
た発熱体からノズルまでの距離を検査するためのパター
ンの一例を示す平面図である。
【図５】 ノズル面からパターンが露出した状態を示す
インクジェット記録ヘッドの正面図である。
【図６】 実施例におけるダイシング位置によるクラス
別けを示す表である。
【図７】 本発明の一実施形態に係るインクジェット記
録装置を示す斜視図である。
【図８】 本発明の一実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの制御部を示すブロック図である。
【図９】 本発明の一実施形態に係るノズルダイシング
位置のクラス別けに対応する駆動パルス設定条件テーブ
ルを示す図である。
【図１０】 本発明の一実施形態に係る発熱体を駆動す
る駆動パルスを示すパルス波形図である。
【図１１】 実施例におけるヘッド温度と吐出インクド
ロップ量の関係を示す図である。
【図１２】 本発明の一実施形態に係るインクジェット
記録ヘッドにおけるインクドロップ現象を説明する模式
図である。
【図１３】 インクジェット記録ヘッドにおけるバブル
内圧の時間変化を示す図である。
【符号の説明】
１０…インクジェット記録ヘッド ２０…個別流路 ２１…ノズル面 ２２…ノズル（インク吐出口） ３２…発熱体 ４０…インクジェット記録装置

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インクを加熱して気泡を発生させる発熱
    体が配置される個別流路と、個別流路先端でノズル面に
    開口されたインク吐出口とを備えたインクジェット記録
    ヘッドの駆動条件設定方法であって、 前記個別流路において、製造誤差による前記発熱体から
    前記ノズル面に至る流路容積の違いに応じて前記発熱体
    に対する駆動条件を設定することを特徴とするインクジ
    ェット記録ヘッドの駆動条件設定方法。
  2. 【請求項２】 前記発熱体から前記ノズル面に至る流路
    容積の違いとは、前記発熱体から前記ノズル面に至る距
    離の違いであることを特徴とする請求項１記載のインク
    ジェット記録ヘッドの駆動条件設定方法。
  3. 【請求項３】 インク吐出口からインクドロップが吐出
    する時に、前記発熱体の駆動によってインク中に発生し
    た気泡が大気と連通するように前記発熱体の駆動条件を
    設定することを特徴とする請求項１または２記載のイン
    クジェット記録ヘッドの駆動条件設定方法。
  4. 【請求項４】 インクを加熱して気泡を発生させる発熱
    体が配置される個別流路と、 個別流路先端でノズル面に開口されたインク吐出口と、 前記個別流路において、前記発熱体からノズル面に至る
    流路容積に基づく流路容積データを記憶するデータ保持
    部と、 を備えたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  5. 【請求項５】 前記流路容積データは、前記発熱体から
    前記ノズル面に至る距離データであることを特徴とする
    請求項４記載のインクジェット記録ヘッド。
  6. 【請求項６】 前記流路容積データは、製造誤差データ
    であることを特徴とする請求項４または５記載のインク
    ジェット記録ヘッド。
  7. 【請求項７】 前記発熱体の駆動によってインク中に発
    生した気泡が、インク吐出口からのインクドロップ吐出
    時に大気と連通することを特徴とする請求項４〜６のい
    ずれか１項記載のインクジェット記録ヘッド。
  8. 【請求項８】 個別流路等となる溝が表面に形成された
    基板と、発熱体が形成された基板を張り合わせ、接合さ
    れた基板を切断することにより前記ノズル面が形成され
    たことを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項記載の
    インクジェット記録ヘッド。
  9. 【請求項９】 個別流路やインク吐出口が反応性イオン
    エッチングで形成されたことを特徴とする請求項８記載
    のインクジェット記録ヘッド。
  10. 【請求項１０】 請求項４〜９のいずれか１項インクジ
    ェット記録ヘッドが装着されることにより、前記記録ヘ
    ッドの流路容積データを読み出して前記発熱体の駆動条
    件を設定する駆動条件設定手段を備えることを特徴とす
    るインクジェット記録装置。
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