JP2002233948A

JP2002233948A - 研磨装置

Info

Publication number: JP2002233948A
Application number: JP2001027380A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Denda; 康秀傳田
Original assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Current assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Priority date: 2001-02-02
Filing date: 2001-02-02
Publication date: 2002-08-20

Abstract

(57)【要約】【課題】定盤の研磨面の形状を的確に調整することを
可能とし、高精度の研磨加工を可能にする。【解決手段】研磨定盤１０の内部に、研磨面と略平行
に配設された圧力調節流路４０１〜４０５と該圧力調節
流路に流体を給排する給排機構とがディストリビュータ
を介して連通して設けられ、前記給排機構と前記圧力調
節流路との間で給排される流体の温度、流量、圧力ある
いは流速を制御して研磨定盤の研磨面の形状を調節可能
に設けた研磨装置であって、前記圧力調節流路４０１〜
４０５が互いに独立した複数の流路に設けられ、前記各
々の圧力調節流路が前記給排機構に個別に連通して、各
々の圧力調節流路に通流する流体の温度、流量、圧力あ
るいは流速が個別に制御可能に設けられていることを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体等の加工に使
用される研磨装置に関し、より詳細には研磨装置に用い
られる研磨定盤の表面形状を的確に制御することを可能
とし、高精度の加工を可能とする研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】研磨装置は、半導体ウェーハのポリシン
グまたはラッピング、ガラス、水晶等の研磨作業等に広
く使用されている。図７は研磨装置の概略構成を示す説
明図である。同図で１２が定盤であり、１４が定盤１２
を支持する定盤受け、５０が定盤受け１４を支持する基
台である。定盤１２と定盤受け１４とはボルト締めによ
って一体に形成され、ベアリング５２を介して定盤受け
１４を支持するとともに、定盤受け１４に固定した回転
軸１８が駆動モータ等の駆動機構に連繋して定盤１２及
び定盤受け１４が回転駆動される。図示例の研磨装置は
ポリシングに使用する装置の例で、定盤１２の表面に研
磨布１３が被覆されている。

【０００３】図７で、３０は半導体ウェーハ等のワーク
を保持して定盤１２にワークを押接する保持装置であ
る。ワークは保持装置３０のウェーハ保持盤３２に吸着
されて支持され、ウェーハ保持盤３２が回転して研磨布
１３との間でポリシングされる。３４は研磨布１３に研
磨液を供給するノズルである。なお、定盤１２と定盤受
け１４とを合わせて定盤という場合もある。本明細書で
は定盤と定盤受けとを合わせた意味で定盤という場合、
あるいは定盤と定盤受けとが一体化されている場合は研
磨定盤ということにする。

【０００４】研磨装置に用いられる研磨定盤はワークの
表面を高精度に鏡面研磨し、平坦面に加工できるように
するため、きわめて高度の表面平坦性が求められる。ま
た、製品あるいは加工内容によっては定盤の研磨面の中
央部がわずかに凸あるいは凹といったように特定の表面
形状に形成するといった調節も求められる。定盤の表面
平坦度を向上させる方法としては、定盤の表面の加工精
度を向上させることはもちろん、定盤の厚さを厚くした
り剛性の高い素材を使用したりすることが行われる。

【０００５】一方、研磨装置を用いてワークを研磨する
際には、ワークの表面と定盤の表面とが擦れ合って摩擦
熱が生じ、定盤が温度上昇し熱膨張によって定盤が熱変
形する。このため、研磨装置では定盤の研磨面の裏面側
に冷却水を流して、研磨定盤が温度変動しないように制
御している。近年は、ワークが大型化し、加工効率を向
上させるため研磨定盤が大型化している。このため、わ
ずかな温度変化であっても定盤の変形量が大きくなるか
ら、研磨定盤を的確に温度管理できるようにすることは
高精度の加工を可能にする上できわめて重要である。

【０００６】図８は、従来の研磨定盤１０に設けられた
流路４０の平面図、図９は研磨定盤１０の断面図であ
る。流路４０は定盤受け１４の定盤１２の受け面に凹溝
を形成し、定盤１２の裏面と定盤受け１４の受け面との
当接部をシール材によりシールして形成されている。回
転軸１８には流路４０に連通する給水路４２と排水路４
４が形成され、給水路４２と排水路４４とはディストリ
ビュータを介して水の給排機構に接続される。ディスト
リビュータは研磨定盤１０が回転した状態で給水路４２
と排水路４４とを常時給排機構に連通させる機構であ
り、これによって研磨定盤１０の流路４０に常時水が通
流可能となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図８は研磨定盤１０の
定盤受け１４の上面に形成した流路４０の平面配置を示
すもので、定盤受け１４の上面に放射状でかつ屈曲した
配置で流路４０が形成された様子を示す。４５が給水路
４２の定盤受け１４の上面での開口部である吐出口、４
６が排水路４４の開口部である排出口である。水は吐出
口４５から流路４０に流入し、吐出口４５から排出口４
６に向けて流路４０内を通流した後、排出口４６から排
出される。定盤受け１４の平面内において流路４０を中
心対称の放射状に配置しているのは、研磨定盤１０全体
が均等な温度になるようにするためである。

【０００８】研磨定盤１０に形成する流路４０は図８に
示すような放射状に配置する他、同心円状に配置する等
の種々の配置形態がある。これらの研磨定盤１０に形成
する流路４０は通常、中心対称となるように配置すると
ともに、疎密にならないよう定盤面全体として均等に配
置される。ところが、従来の研磨定盤においては、流路
４０に連通する吐出口４５と排出口４６が各々１個所の
み設けられ、流路４０の一端に水が流入した後、流路４
０を巡って流路４０の他端から排出されるようになって
いる。

【０００９】このため、従来の研磨装置では流路４０に
通流させる水の流量や圧力、流速を調節したとしても、
水の制御系統が一系統のみであることから研磨定盤１０
の温度を部分的に調節するといったことが不可能であ
り、水の温度制御によって研磨定盤１０の表面形状を制
御することができないという問題がある。また、研磨定
盤１０では流路４０に通流させる水の温度、流量、圧力
あるいは流速を調節することによって定盤１２の表面形
状を制御することが可能であるが、従来の研磨定盤１０
では、たとえば流路４０を定盤面内で同心円状に形成し
たとしても、研磨定盤１０の表面形状は定盤中心を中心
とした凸形あるいは凹形にしか調節できず、研磨定盤１
０を凹凸面に形成するといったことができないという問
題があった。

【００１０】そこで、本発明はこれらの問題点を解消す
べくなされたものであり、その目的とするところは、定
盤の表面形状を的確に調節することが可能であり、製品
に応じて、また、製品の加工工程に応じて的確に定盤の
表面形状を調節して高精度の加工を可能にする研磨装置
を提供するにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、研磨定盤の
内部に、研磨面と略平行に配設された圧力調節流路と該
圧力調節流路に流体を給排する給排機構とがディストリ
ビュータを介して連通して設けられ、前記給排機構と前
記圧力調節流路との間で給排される流体の温度、流量、
圧力あるいは流速を制御して研磨定盤の研磨面の形状を
調節可能に設けた研磨装置であって、前記圧力調節流路
が互いに独立した複数の流路に設けられ、前記各々の圧
力調節流路が前記給排機構に個別に連通して、各々の圧
力調節流路に通流する流体の温度、流量、圧力あるいは
流速が個別に制御可能に設けられていることを特徴とす
る。

【００１２】また、前記前記圧力調節流路が、複数の同
心の環状に配置されていることにより、研磨面の形状を
周方向に均等な形状に調節することが可能になる。ま
た、前記圧力調節流路の前記研磨定盤の中心に対して反
転対称となる位置に、前記圧力調節流路内に流体が吐出
される吐出口と、前記圧力調節流路から流体が排出され
る排出口とが設けられていることを特徴とする。また、
前記研磨定盤が、裏面が平坦面に形成された定盤と定盤
との受け面に凹溝が形成された定盤受けとにより形成さ
れ、前記定盤と定盤受けとの当接部がシールされて前記
凹溝が圧力調節流路に設けられていることにより、圧力
調節流路による圧力が効果的に定盤に作用して研磨面の
形状を調節することが可能になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
添付図面に基づいて詳細に説明する。本発明に係る研磨
装置は、研磨定盤に通流させる流路の平面配置を特徴と
し、研磨定盤を回転駆動する駆動機構、ワークを支持す
る保持装置等の構成は従来装置と変わるものではない。
以下で説明する研磨定盤に関する構成は、図７に示すよ
うな片面ポリシング装置の他、ワークの両面を研磨定盤
で挟んで加工する両面ポリシング装置、ラッピング装置
等に適宜適用可能である。以下では、本発明に係る研磨
装置において特徴的な構成である研磨定盤に冷却水を通
流させる構成について説明する。

【００１４】図１は、本発明に係る研磨装置において使
用する研磨定盤１０における圧力調節流路４０１、４０
２、４０３、４０４、４０５の平面配置を示す説明図、
図２は研磨定盤１０の内部に配設される流路の構成を示
す研磨定盤１０の断面図である。本実施形態で示す研磨
定盤１０は、図１に示すように、定盤中心に対して平面
形状が環状の５つの圧力調節流路４０１〜４０５を同心
状に配置したことを特徴とする。なお、圧力調節流路４
０１〜４０５とは、研磨定盤１０とくには定盤１２の研
磨面の表面形状を調節することを目的として、研磨定盤
１０に設けた流路であり、定盤１２の裏面と定盤受け１
４の受け面との境界面部分に配設される流路をいう。図
１に示す実施形態では、圧力調節流路４０１〜４０５は
互いに均等な間隔で配置されている。

【００１５】４５ａは各々の圧力調節流路４０１〜４０
５の流路内で開口させて設けた水の吐出口、４６ａは吐
出口４５ａに対して各々の圧力調節流路４０１〜４０５
の中心対称位置に設けた排出口である。すなわち、吐出
口４５ａと排出口４６ａとは各々の圧力調節流路４０１
〜４０５の中心に対して互いに反転対称となる位置に配
置する。このように、吐出口４５ａと排出口４６ａとを
圧力調節流路４０１〜４０５の中心に対して反転対称位
置に配置することにより、吐出口４５ａから圧力調節流
路４０１〜４０５に流入した水は圧力調節流路４０１〜
４０５を略半周にわたって通流した後、他方の排出口４
６ａから排出され、各々の圧力調節流路４０１〜４０５
の全周にわたって水が通流される。

【００１６】なお、本実施形態では各々の圧力調節流路
４０１〜４０５に設ける吐出口４５ａと排出口４６ａと
が一直線上に並ぶように配置したが、吐出口４５ａと排
出口４６ａの配置はこのように一直線的に配置しなけれ
ばならないものではない。たとえば隣接する圧力調節流
路については９０°偏位した位置に配置するといったこ
とも可能である。また、各々の圧力調節流路の流路幅、
深さ、隣接する圧力調節流路の離間間隔、定盤の面内に
配置する圧力調節流路の配置数等は、研磨定盤の大き
さ、加工対象とする製品の種類、加工内容等に応じて適
宜設計することができる。

【００１７】本実施形態の研磨定盤１０で特徴とする構
成は、上述したように研磨定盤１０の面内で圧力調節流
路４０１〜４０５を互いに分離独立させると共に、各々
の圧力調節流路４０１〜４０５を各別に水の給排機構に
接続して水の通流機構を多系統に構築した点にある。図
２は、各々の圧力調節流路４０１〜４０５が個別に給水
路４２ａと排水路４４ａに接続されていることを示す。
すなわち、各々の圧力調節流路４０１〜４０５に対して
１つずつ給水路４２ａと排水路４４ａを設け、定盤受け
１４内に形成した接続流路４８を介して圧力調節流路４
０１〜４０５と給水路４２ａ及び排水路４４ａを個別に
連通させる。

【００１８】各々の圧力調節流路４０１〜４０５に連通
する給水路４２ａと排水路４４ａはディストリビュータ
を介して水の給排機構に接続し、各々の水の給排機構に
よって圧力調節流路４０１〜４０５への水の給排がなさ
れる。水の給排機構は圧力調節流路４０１〜４０５を個
別に制御するため、圧力調節流路４０１〜４０５ごとに
別個に設けられ、圧力調節流路４０１〜４０５を通流す
る水の温度、流量、圧力、流速等が個別に制御される。

【００１９】本実施形態の研磨装置によれば、上述した
ように、研磨定盤１０に設ける圧力調節流路を互いに独
立した流路として形成すると共に、各々の圧力調節流路
に個別に水の給排機構を連通させることによって、水に
よる制御が多系統でなされ、これによって研磨定盤の表
面形状が従来にくらべてきめ細かく、より的確に制御す
ることが可能となる。

【００２０】図２は、定盤１２の表面を平坦面に調節し
た状態、図３〜６は定盤１２の表面を積極的に凸形状、
凹形状に調節した場合を示す。なお、定盤１２の表面形
状を凸形状あるいは凹形状に調節するといっても実際の
補正量は数μｍ程度である。図示例はいずれも定盤１２
の表面の形状を調節する例として定盤１２の表面の変形
を強調して示している。図３は定盤１２の面内で中央部
が凸形状となるように調節した例、図４は定盤１２の面
内で外周縁側を盛り上げて中央部側を凹ませるように調
節した例、図５は定盤１２の半径範囲で中央部が凸形状
となるように調節した例、図６は定盤１２の面内で中央
部を凹形状としその外側領域を凸形状となるように調節
した例である。

【００２１】本実施形態の研磨装置の場合は、圧力調節
流路４０１〜４０５に通流させる水を独立して制御可能
としているから、圧力調節流路４０１〜４０５に通流さ
せる水の温度、流量、圧力、流速を制御することによっ
て図２に示すように定盤１２の表面をより高精度の平坦
面に形成することもできるし、積極的に凹凸面形状にす
ることも容易である。すなわち、定盤１２は自重あるい
は研磨加工時の定盤１２とワークとの摩擦熱による温度
変化によってねらいとする表面形状から逸脱することが
しばしば生じ得る。このような場合に、独立した圧力調
節流路を多系統で備えていることは、圧力調節流路を個
別に制御することによって定盤１２の表面形状を適宜調
節できる点できわめて有効である。

【００２２】定盤１２が自重によって変形するといった
問題は、たとえば、両面研磨装置で上側の定盤は下向き
に設置されるから、あらかじめ設置状態を考慮して定盤
の表面形状が設計されるのであるが、設置した際にねら
い通りの公差内に仕上がるとは限らないといった場合等
におきる問題である。この場合、定盤１２の凹み量がね
らい値よりも大きいといった場合には、圧力調節流路に
通流させる水の温度、流量、圧力、流速を制御すること
によって所定のねらい値に調節することが可能である。

【００２３】従来の研磨装置の場合には、所定の設計に
基づいて研磨定盤を製作した後、研磨装置に研磨定盤を
設置して定盤の表面形状を測定し、所定の公差から表面
形状が外れていた場合には、再度研磨装置から定盤を取
り外して所定のねらい値となるよう定盤の表面を修整す
る（面だし加工）。このように定盤を面だし加工する作
業は煩雑であるのに対して、上記のように定盤１２の表
面形状をある程度の面精度に仕上げておき、研磨装置に
設置した状態で表面形状を調節できるようにする方法は
定盤の製作作業の煩雑さを軽減する上できわめて有効で
ある。

【００２４】また、研磨装置に研磨定盤を設置して稼働
させた状態で面精度がねらい値から外れるということも
考えられる。このような場合でも、本実施形態の方法に
よれば定盤の面精度を補整することが可能であり、これ
によってさらに高精度の加工が可能になる。また、研磨
加工工程中に定盤の温度が上昇して面精度が規定の平坦
度からずれてきたような場合には、水の温度を調節した
り、水の流量、圧力、流速を変えるといったことにより
規定値からのずれを補整することが可能である。すなわ
ち、独立した圧力調節流路を多系統で備える方法は定盤
１２の表面形状を的確に調節できる点できわめて有効で
ある。

【００２５】定盤１２の表面形状が規定値から外れた場
合に規定値内におさめるように補整する操作の他に、定
盤１２の表面形状を積極的に凸形状にしたり凹形状にす
る制御も上述した方法とまったく同様にして行うことが
できる。たとえば、図３に示すように定盤１２の表面形
状が中央部で凸となるようにするには、研磨定盤１０の
中央部側の圧力調節流路４０４、４０５に通流する水の
温度を他の圧力調節流路４０１、４０２、４０３に通流
する水の温度よりも高温にするか、あるいは、中央部側
の圧力調節流路４０４、４０５に通流させる水の流量、
圧力あるいは流速を他の圧力調節流路４０１、４０２、
４０３に通流する水の流量、圧力あるいは流速よりも大
きくするようにすればよい。

【００２６】また、図４に示すように、定盤１２の中央
部を凹形状にするには、研磨定盤１０の中央部側の圧力
調節流路４０４、４０５に通流する水の温度を他の圧力
調節流路４０１、４０２、４０３に通流する水の温度よ
りも低くするか、中央部側の圧力調節流路４０４、４０
５に通流させる水の流量、圧力あるいは流速を他の圧力
調節流路４０１、４０２、４０３に通流させる水の流
力、圧力あるいは流速よりも小さくするようにすればよ
い。

【００２７】また、図５に示す定盤１２の形態は、定盤
１２の中央部側の圧力調節流路４０５と外周側の圧力調
節流路４０１に通流する水の温度を他の圧力調節流路４
０２、４０３、４０４に通流する水の温度よりも低くす
るか、定盤１２の中央部側の圧力調節流路４０５と外周
側の圧力調節流路４０１を通流する水の流量、圧力ある
いは流速を他の圧力調節流路４０２、４０３、４０３を
通流する水よりも低くすればよい。図６に示す定盤１２
の場合の制御方法も図５に示す例と同様で、圧力調節流
路４０１〜４０５に通流させる水の制御方法を若干変え
ることによって所望の表面形状が得られる。

【００２８】なお、圧力調節流路４０１〜４０５に通流
させる水の温度、流量、圧力あるいは流速を調節して定
盤１２を所定形状に調節する場合、水の温度、流量、圧
力あるいは流速は相対的なものであるから、これらは一
方を他方に対して大きくするかわりに、他方を一方に対
して小さくするといった制御としてももちろんかまわな
い。たとえば、研磨定盤１０の中央部側の圧力調節流路
４０４、４０５に通流する水の温度を他の圧力調節流路
４０１、４０２、４０３に通流する水の温度よりも高く
するかわりに、他の圧力調節流路４０１、４０２、４０
３に通流する水の温度を研磨定盤１０の中央部側の圧力
調節流路４０４、４０５に通流する水の温度よりも低く
するように制御することも可能である。

【００２９】このように、定盤１２の表面形状を適宜調
節可能に形成したことにより、研磨加工の加工内容に応
じて的確に定盤１２の表面形状を調節することができ、
これによって高精度の研磨加工を可能にすることができ
る。このような調節機能は、同一の研磨装置を使用する
場合であっても加工対象とする製品が異なる場合、ある
いは製品の加工工程によって定盤の表面形状を変える必
要が生じた場合に、水の通流を制御するのみで対応する
ことができてきわめて好適である。

【００３０】上述した各実施形態においては研磨定盤１
０に形成する圧力調節流路４０１〜４０５を定盤１２の
中心に対して同心状に配置している。したがって、圧力
調節流路４０１〜４０５に通流させる水の温度、流量、
圧力、流速を制御した場合に定盤１２の表面にあらわれ
る変位は径方向に凹凸形状となっても周方向には変位が
あらわれない形態となっている。研磨装置では定盤１２
は中心のまわりに回転して加工するものであるから、通
常はこのように周方向には変位が生じない形態で十分で
ある。ただし、加工内容によって、周方向についても表
面形状の変位があらわれるようにする必要がある場合
（周方向に高−低−高−低となる）には、周方向に個別
に独立した圧力調節流路を配置して各圧力調節流路に通
流する水を制御するようにすればよい。

【００３１】なお、本発明において、圧力調節流路に通
流させる水の流量、圧力、流速を制御して定盤１２の表
面形状を調節するという考え方は、圧力調節流路に作用
する圧力を個別の圧力調節流路について相対的に変える
ように制御することであり、圧力調節流路に通流させる
水を常時加圧状態で通流させるものとは限らない。すな
わち、ある圧力調節流路については排水路４４ａの断面
積を給水路４２ａ側よりも大きく設定する等により排水
路４４ａ側から水を吸引して圧力調節流路内を負圧的に
制御することも可能である。また、通常は圧力調節流路
に水を通流させて研磨定盤を温度制御するが、水にかえ
て油等の他の液体を使用することも可能であり、液体に
かえてエアを通流させる流路を設け、エアを制御して定
盤の表面形状を制御するように構成することも可能であ
る。

【００３２】また、本発明は研磨装置の研磨定盤の表面
形状を積極的に変位させて所望の表面形状とすることを
特徴とするが、このように、定盤１２の表面形状を積極
的に変位させる場合には、定盤１２の材質を従来のよう
な変形しにくい剛性の高い材料によって形成せず、容易
に変形しやすい材料、たとえば弾性材、樹脂材等によっ
て形成することも可能である。ポリシング装置の場合に
は定盤１２が摩耗したりすることがないから、このよう
な容易に変形しやすい材料で定盤１２を製作しても加工
上問題となることはない。本発明に係る研磨装置では定
盤１２と定盤受け１４との境界部分に圧力調節流路を設
けたことによって、調節圧力が定盤１２に直接的に作用
し、定盤１２の表面形状を的確に調節することが可能と
なる。

【００３３】また、研磨定盤１０に圧力調節流路を形成
する方法も上述した実施形態のように定盤１２と定盤受
け１４との組み合わせによって形成する方法に限らず、
定盤１２と定盤受け１４とを一体化した研磨定盤とする
構成も可能である。定盤１２と定盤受け１４とを一体化
した研磨定盤としては、鋳造により、内部に圧力調節流
路、接続流路、給水路及び排水路を設けて金属材により
一体形成したものがある。また、ラッピング装置などで
は定盤１２が摩耗するから、定盤１２を適宜交換して定
盤受け１４に組み付けることができるようにすることも
有効である。また、定盤受け１４自体に圧力調節流路を
形成するかわりに、定盤受け１４に可撓性を有するチュ
ーブ状の配管を配設して圧力調節流路とすることもでき
る。チューブ状の配管を使用した場合は漏水が確実に防
止できるという利点がある。定盤１２と定盤受け１４と
によって研磨定盤１０を構成した場合は、定盤１２と定
盤受け１４との組み合わせ面に圧力調節流路を設けるよ
うにする。これによって、定盤１２の表面形状の調節が
容易に可能になるとともに、圧力調節流路を容易に配設
することが可能となる。

【００３４】

【発明の効果】本発明の研磨装置によれば、上述したよ
うに、研磨定盤に定盤面内で互いに分離独立した複数の
圧力調節流路を形成し、給排機構によって各々の圧力調
節流路に通流する水の温度、流量、圧力あるいは流速を
個別に制御可能としたことによって、定盤の表面形状を
的確に調節することができ、製品に合わせて、また研磨
加工の加工内容に合わせた的確な研磨加工を行うことが
可能となり、高精度の研磨加工が可能になる。また、研
磨定盤を研磨装置に設置した状態で定盤の表面形状が調
節できることから、定盤の面だし加工が容易になり研磨
定盤の製作作業が容易になる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る研磨装置に用いる研磨定盤の圧力
調節流路の平面配置を示す説明図である。

【図２】本発明に係る研磨装置に用いる研磨定盤の断面
図である。

【図３】定盤の表面形状を調節した例を示す研磨定盤の
断面図である。

【図４】定盤の表面形状を調節した例を示す研磨定盤の
断面図である。

【図５】定盤の表面形状を調節した例を示す研磨定盤の
断面図である。

【図６】定盤の表面形状を調節した例を示す研磨定盤の
断面図である。

【図７】研磨装置の概略構成を示す説明図である。

【図８】従来の研磨定盤に配設される流路の平面配置を
示す説明図である。

【図９】従来の研磨装置に用いる研磨定盤の断面図であ
る。

【符号の説明】

１０研磨定盤１２定盤１３研磨布１４定盤受け１８回転軸３０保持装置３２ウェーハ保持盤４０圧力調節流路４２、４２ａ給水路４４、４４ａ排水路４５、４５ａ吐出口４６、４６ａ排出口５０基台５２ベアリング４０１、４０２、４０３、４０４、４０５圧力調節流
路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】研磨定盤の内部に、研磨面と略平行に配
設された圧力調節流路と該圧力調節流路に流体を給排す
る給排機構とがディストリビュータを介して連通して設
けられ、前記給排機構と前記圧力調節流路との間で給排
される流体の温度、流量、圧力あるいは流速を制御して
研磨定盤の研磨面の形状を調節可能に設けた研磨装置で
あって、前記圧力調節流路が互いに独立した複数の流路に設けら
れ、前記各々の圧力調節流路が前記給排機構に個別に連通し
て、各々の圧力調節流路に通流する流体の温度、流量、
圧力あるいは流速が個別に制御可能に設けられているこ
とを特徴とする研磨装置。
【請求項２】前記圧力調節流路が、複数の同心の環状
に配置されていることを特徴とする請求項１記載の研磨
装置。
【請求項３】前記圧力調節流路の前記研磨定盤の中心
に対して反転対称となる位置に、前記圧力調節流路内に
流体が吐出される吐出口と、前記圧力調節流路から流体
が排出される排出口とが設けられていることを特徴とす
る請求項２記載の研磨装置。
【請求項４】前記研磨定盤が、裏面が平坦面に形成さ
れた定盤と定盤との受け面に凹溝が形成された定盤受け
とにより形成され、前記定盤と定盤受けとの当接部がシ
ールされて前記凹溝が圧力調節流路に設けられているこ
とを特徴とする請求項１、２または３記載の研磨装置。