JP2002232074A - 光学モニタ・システム - Google Patents
光学モニタ・システムInfo
- Publication number
- JP2002232074A JP2002232074A JP2001381637A JP2001381637A JP2002232074A JP 2002232074 A JP2002232074 A JP 2002232074A JP 2001381637 A JP2001381637 A JP 2001381637A JP 2001381637 A JP2001381637 A JP 2001381637A JP 2002232074 A JP2002232074 A JP 2002232074A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- input
- array
- cgh
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学アレイ内の全てのレーザ・ダイオードを
モニタできる装置を提供する。 【解決手段】 基板と、該基板上に製作され、入力ビー
ム３２を放出するための光送信器をそれぞれ含む複数の
独立したチャネルを有する並列チャネル光学アレイ４４
と、検出器２８のそれぞれが入力ビーム３２の１つに対
して専用である検出器２８のアレイと、入力ビーム３２
が入射するように配置され、入力ビーム３２に対して専
用である検出器２８への入力ビーム３２のそれぞれの一
部の回折を誘発する光学特性を有しており、検出器２８
が動作して入力ビーム３２の前記回折した部分に応じた
第１のフィードバック信号９０が発生するようにする光
学装置１０と、第１のフィードバック信号９０に応答し
て、入力ビーム３２を個別に調整できるようになってい
るフィードバック・システム３０とを含む光学モニタ・
システムを提供する。
モニタできる装置を提供する。 【解決手段】 基板と、該基板上に製作され、入力ビー
ム３２を放出するための光送信器をそれぞれ含む複数の
独立したチャネルを有する並列チャネル光学アレイ４４
と、検出器２８のそれぞれが入力ビーム３２の１つに対
して専用である検出器２８のアレイと、入力ビーム３２
が入射するように配置され、入力ビーム３２に対して専
用である検出器２８への入力ビーム３２のそれぞれの一
部の回折を誘発する光学特性を有しており、検出器２８
が動作して入力ビーム３２の前記回折した部分に応じた
第１のフィードバック信号９０が発生するようにする光
学装置１０と、第１のフィードバック信号９０に応答し
て、入力ビーム３２を個別に調整できるようになってい
るフィードバック・システム３０とを含む光学モニタ・
システムを提供する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、一般に、光学モニ
タ・システム（optical-monitoring system）に関する
ものであり、特に、モニタ及びフィードバックのために
光ビームを導くための光学装置（optical arrangemen
t）に関するものである。
タ・システム（optical-monitoring system）に関する
ものであり、特に、モニタ及びフィードバックのために
光ビームを導くための光学装置（optical arrangemen
t）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】データ通信には、光のパルスとして膨大
な量のデジタル化情報を配信することが可能な光源によ
る伝送がますます必要になっている。これは、特に、地
上通信ネットワーク（ground-based communication net
work）に関して、音声信号とテレビジョン信号とデータ
信号とを伝送する主たる手段として、レーザ・ダイオー
ド及び光ファイバを利用している多くの通信会社に当て
はまることである。
な量のデジタル化情報を配信することが可能な光源によ
る伝送がますます必要になっている。これは、特に、地
上通信ネットワーク（ground-based communication net
work）に関して、音声信号とテレビジョン信号とデータ
信号とを伝送する主たる手段として、レーザ・ダイオー
ド及び光ファイバを利用している多くの通信会社に当て
はまることである。
【０００３】高帯域幅（high bandwidth）を実現するた
め、ファブリ・ペロー・レーザ(Fabry-Perot laser)及
び垂直空洞面発光レーザ（Vertical Cavity Surface Em
itting Laser：以下、「ＶＣＳＥＬ」とよぶ）のようなレ
ーザ・ダイオードが光源として一般に利用される。これ
らのタイプのレーザ・ダイオードは、その寸法が微小で
あるために選択される。例えば、典型的なＶＣＳＥＬ
は、ほぼマイクロメートル単位で測定される。従って、
レーザ・ダイオードのアレイをシステムに組み込んで、
高帯域幅の伝送を実現することができる。
め、ファブリ・ペロー・レーザ(Fabry-Perot laser)及
び垂直空洞面発光レーザ（Vertical Cavity Surface Em
itting Laser：以下、「ＶＣＳＥＬ」とよぶ）のようなレ
ーザ・ダイオードが光源として一般に利用される。これ
らのタイプのレーザ・ダイオードは、その寸法が微小で
あるために選択される。例えば、典型的なＶＣＳＥＬ
は、ほぼマイクロメートル単位で測定される。従って、
レーザ・ダイオードのアレイをシステムに組み込んで、
高帯域幅の伝送を実現することができる。
【０００４】多くの用途において、レーザ・ダイオード
の最適出力は、光源によって生じる光強度または光学的
パワー出力によって決まる。多くの要素が、光学的パワ
ー出力に影響を及ぼす可能性がある。一例として、他の
全ての変量が一定のままであると仮定しても、ダイオー
ドが動作している環境の温度変動が、光学的パワー出力
に影響を及ぼす可能性がある。しきい値レベルを超える
所定の入力電流において、レーザ・ダイオードは、発光
ダイオード（以下、「ＬＥＤ」とよぶ）・モードの動作か
らレーザ・モードの動作へと変化する。ＬＥＤモードの
場合には、急速に拡散するインコヒーレントな光が放出
される。このモードは、一般に固有の光強度の大幅な損
失のために、長距離にわたるデータ伝送には不十分であ
る。しかし、レーザ・モードの場合には、入力電流の増
大につれて、光がコヒーレント・ビームへと狭くなる。
このモードは長距離にわたるデータ伝送に適している。
特定のダイオード・クラスのダイオードは、比較的に狭
い入力電流範囲内にしきい値レベルを有しているが、そ
のクラスの特定ダイオードのしきい値レベルは、周囲温
度の変化に応じて有意に変動しうる。例えば、温度変化
によってダイオードが正規しきい値レベル(normal thre
shold level)と最大偏差レベル（deviated maximum lev
el）との間で変動すると、いくつかのダイオードのしき
い値レベルは５０パーセントも変動しうる。温度変動
は、レーザ・ダイオードにより出力される光強度レベル
に多大な影響を及ぼしうる。
の最適出力は、光源によって生じる光強度または光学的
パワー出力によって決まる。多くの要素が、光学的パワ
ー出力に影響を及ぼす可能性がある。一例として、他の
全ての変量が一定のままであると仮定しても、ダイオー
ドが動作している環境の温度変動が、光学的パワー出力
に影響を及ぼす可能性がある。しきい値レベルを超える
所定の入力電流において、レーザ・ダイオードは、発光
ダイオード（以下、「ＬＥＤ」とよぶ）・モードの動作か
らレーザ・モードの動作へと変化する。ＬＥＤモードの
場合には、急速に拡散するインコヒーレントな光が放出
される。このモードは、一般に固有の光強度の大幅な損
失のために、長距離にわたるデータ伝送には不十分であ
る。しかし、レーザ・モードの場合には、入力電流の増
大につれて、光がコヒーレント・ビームへと狭くなる。
このモードは長距離にわたるデータ伝送に適している。
特定のダイオード・クラスのダイオードは、比較的に狭
い入力電流範囲内にしきい値レベルを有しているが、そ
のクラスの特定ダイオードのしきい値レベルは、周囲温
度の変化に応じて有意に変動しうる。例えば、温度変化
によってダイオードが正規しきい値レベル(normal thre
shold level)と最大偏差レベル（deviated maximum lev
el）との間で変動すると、いくつかのダイオードのしき
い値レベルは５０パーセントも変動しうる。温度変動
は、レーザ・ダイオードにより出力される光強度レベル
に多大な影響を及ぼしうる。
【０００５】光のパワー出力に影響する可能性のある第
２の要因は、レーザ・ダイオードの寿命である。他の装
置と同様に、レーザ・ダイオードの性能も時間の関数と
して劣化する。一例として、レーザ・ダイオードがＬＥ
Ｄモードからレーザ・モードにスイッチするしきい値レ
ベルは、長期の使用によるダイオードの劣化のために有
意に変動しうる。従って、データ伝送の完全性が危うく
なる。
２の要因は、レーザ・ダイオードの寿命である。他の装
置と同様に、レーザ・ダイオードの性能も時間の関数と
して劣化する。一例として、レーザ・ダイオードがＬＥ
Ｄモードからレーザ・モードにスイッチするしきい値レ
ベルは、長期の使用によるダイオードの劣化のために有
意に変動しうる。従って、データ伝送の完全性が危うく
なる。
【０００６】ＶＣＳＥＬの需要が増すと、必要なレーザ
・ダイオードの全てを提供することができる単一のメー
カはないものと予測される。供給販路へと参入するメー
カが増えると、同じ仕様を備えた同じクラス内に含まれ
るＶＣＳＥＬが、長期にわたる使用を通じて異なる光学
的及び電気的特性を示すようになる。これは、同一メー
カが生産する同一バッチからのＶＣＳＥＬについても言
えることである。この問題には、２つの面がある。ビー
ムの強度が強すぎる場合には、製品は目にとって有害に
なる可能性がある。目の安全性（eye safety）は、ＶＣ
ＳＬＥの設計及びテストにおいて考慮される要素であ
る。一方、強度が弱すぎる場合には、伝送されるデータ
の完全性が損なわれる可能性がある。従って、ＶＣＳＥ
Ｌが満足のゆく安全性及び性能を実現する動作をするこ
とが可能な光強度の出力レベルは、狭い帯域に限られ
る。
・ダイオードの全てを提供することができる単一のメー
カはないものと予測される。供給販路へと参入するメー
カが増えると、同じ仕様を備えた同じクラス内に含まれ
るＶＣＳＥＬが、長期にわたる使用を通じて異なる光学
的及び電気的特性を示すようになる。これは、同一メー
カが生産する同一バッチからのＶＣＳＥＬについても言
えることである。この問題には、２つの面がある。ビー
ムの強度が強すぎる場合には、製品は目にとって有害に
なる可能性がある。目の安全性（eye safety）は、ＶＣ
ＳＬＥの設計及びテストにおいて考慮される要素であ
る。一方、強度が弱すぎる場合には、伝送されるデータ
の完全性が損なわれる可能性がある。従って、ＶＣＳＥ
Ｌが満足のゆく安全性及び性能を実現する動作をするこ
とが可能な光強度の出力レベルは、狭い帯域に限られ
る。
【０００７】ＶＣＳＥＬの性能に影響を及ぼす可能性の
ある様々な要因に基づいて、光パワー出力は定期的にモ
ニタされ、発光源に対する入力電流は動作及び安全性の
両方に最適な出力を確保するために調整される。一般
に、ＶＣＳＥＬは光検出器を利用してモニタされ、ＶＣ
ＳＥＬから送り出されるビームの光強度は電気信号へと
変換される。ＶＣＳＥＬに対する入力電流に調整及びバ
イアスを加えるために、フィードバック制御システムに
結合されるフィードバック信号として、光検出器が受光
した光パワー出力が利用される。
ある様々な要因に基づいて、光パワー出力は定期的にモ
ニタされ、発光源に対する入力電流は動作及び安全性の
両方に最適な出力を確保するために調整される。一般
に、ＶＣＳＥＬは光検出器を利用してモニタされ、ＶＣ
ＳＥＬから送り出されるビームの光強度は電気信号へと
変換される。ＶＣＳＥＬに対する入力電流に調整及びバ
イアスを加えるために、フィードバック制御システムに
結合されるフィードバック信号として、光検出器が受光
した光パワー出力が利用される。
【０００８】並列チャネル光学アレイ（parallel chann
el optical array）の場合には、複数チャネルを備えた
ＶＣＳＥＬアレイがデータ通信に用いられる。１×ｎ個
のＶＣＳＥＬアレイの場合には、データ伝送のためにｎ
個の対応するチャネルを備えたｎ個のＶＣＳＥＬが設け
られている。ｎのＶＣＳＥＬは、ＩＩＩ−Ｖ型半導体ウ
ェハのような半導体基板上に一般に製作される。
el optical array）の場合には、複数チャネルを備えた
ＶＣＳＥＬアレイがデータ通信に用いられる。１×ｎ個
のＶＣＳＥＬアレイの場合には、データ伝送のためにｎ
個の対応するチャネルを備えたｎ個のＶＣＳＥＬが設け
られている。ｎのＶＣＳＥＬは、ＩＩＩ−Ｖ型半導体ウ
ェハのような半導体基板上に一般に製作される。
【０００９】並列チャネル光学アレイに関して許容しう
る動作性能を確保するため、ＶＣＳＥＬの光パワー出力
がモニタされ、入力電流がそれに応じて調整される。Ｖ
ＣＳＥＬアレイの光パワー出力をモニタするためによく
知られた１つの仕組みまたは装置（arrangement）は、
アレイの端部ＶＣＳＥＬをモニタするものである。一例
として、１×ｎ個のＶＣＳＥＬアレイの場合には、最も
遠い端部に位置するＶＣＳＥＬだけがモニタされる。従
って、１×ｎ個のアレイに対して、最初のＶＣＳＥＬか
らｎ番目のＶＣＳＥＬまで順次番号が付けられる場合に
は、最初のＶＣＳＥＬまたはｎ番目のＶＣＳＥＬがモニ
タされる。モニタに利用されるＶＣＳＥＬは、データ伝
送には利用されない。この方法では、モニタされるＶＣ
ＳＥＬが、アレイ内の他のｎ−１個のＶＣＳＥＬを代表
する光学的及び電気的特性を示すものと仮定されてい
る。しかし、たった１つのＶＣＳＥＬだけしかモニタさ
れないので、この装置では、モニタされない特定のＶＣ
ＳＥＬに関する特定の情報は得られない。
る動作性能を確保するため、ＶＣＳＥＬの光パワー出力
がモニタされ、入力電流がそれに応じて調整される。Ｖ
ＣＳＥＬアレイの光パワー出力をモニタするためによく
知られた１つの仕組みまたは装置（arrangement）は、
アレイの端部ＶＣＳＥＬをモニタするものである。一例
として、１×ｎ個のＶＣＳＥＬアレイの場合には、最も
遠い端部に位置するＶＣＳＥＬだけがモニタされる。従
って、１×ｎ個のアレイに対して、最初のＶＣＳＥＬか
らｎ番目のＶＣＳＥＬまで順次番号が付けられる場合に
は、最初のＶＣＳＥＬまたはｎ番目のＶＣＳＥＬがモニ
タされる。モニタに利用されるＶＣＳＥＬは、データ伝
送には利用されない。この方法では、モニタされるＶＣ
ＳＥＬが、アレイ内の他のｎ−１個のＶＣＳＥＬを代表
する光学的及び電気的特性を示すものと仮定されてい
る。しかし、たった１つのＶＣＳＥＬだけしかモニタさ
れないので、この装置では、モニタされない特定のＶＣ
ＳＥＬに関する特定の情報は得られない。
【００１０】ＶＣＳＥＬアレイの光パワー出力のモニタ
を行うための別の仕組みまたは装置（arrangement）
は、アレイ両端のモニタを行うことである。同じ典型的
な１×ｎ個のアレイにおいて、最初のＶＣＳＥＬ及びｎ
番目のＶＣＳＥＬが両方ともモニタされる。他のＶＣＳ
ＥＬの動作特性に関するより正確な表現が得られるが、
この装置には２つの問題がある。第一に、他のｎ−２個
のＶＣＳＥＬに関して特定の情報が得られない。第２
に、データ伝送のために、アレイ内において２つ少ない
ＶＣＳＥＬを利用することである。
を行うための別の仕組みまたは装置（arrangement）
は、アレイ両端のモニタを行うことである。同じ典型的
な１×ｎ個のアレイにおいて、最初のＶＣＳＥＬ及びｎ
番目のＶＣＳＥＬが両方ともモニタされる。他のＶＣＳ
ＥＬの動作特性に関するより正確な表現が得られるが、
この装置には２つの問題がある。第一に、他のｎ−２個
のＶＣＳＥＬに関して特定の情報が得られない。第２
に、データ伝送のために、アレイ内において２つ少ない
ＶＣＳＥＬを利用することである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、全てのダイオードがそのターゲット・レベルで動作
していることを保証するため、並列チャネル光学アレイ
内の全てのレーザ・ダイオードをモニタできるようにす
るための装置を提供することにある。
は、全てのダイオードがそのターゲット・レベルで動作
していることを保証するため、並列チャネル光学アレイ
内の全てのレーザ・ダイオードをモニタできるようにす
るための装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明では、並列チャネ
ル光学アレイにおける全てのＶＣＳＥＬの入力ビームの
一部を回折させて、ＶＣＳＥＬの全てを同時にモニタで
きるように構成された回折光学装置（diffractive opti
cal arrangement：以下、「ＤＯＡ」とよぶ）が利用され
る。アレイの全てのチャネルについて、関連するＶＣＳ
ＥＬの光パワー出力をモニタするための検出器と、入力
電流を調整するためのフィードバック・システムとが設
けられている。ＤＯＡは、一方の側に視準ビーム入力領
域（collimating beam input region）と、その反対の
側にビーム出力領域(beam outputregion)と、検出出力
領域(detection output region)とを含んでいる。ＤＯ
Ａは、視準ビーム入力領域からデータを伝送するための
ビーム出力領域にビームの第１の部分を送り、視準ビー
ム入力領域からモニタのための検出出力領域に向けて第
２の部分を回折させるように構成されている。視準ビー
ム入力領域は回折機能（diffractive feature）を含ん
でおり、これはコンピュータによって生成されるホログ
ラム（computer generated hologram：以下、「ＣＧＨ」
とよぶ）またはグレーティングでありうる。
ル光学アレイにおける全てのＶＣＳＥＬの入力ビームの
一部を回折させて、ＶＣＳＥＬの全てを同時にモニタで
きるように構成された回折光学装置（diffractive opti
cal arrangement：以下、「ＤＯＡ」とよぶ）が利用され
る。アレイの全てのチャネルについて、関連するＶＣＳ
ＥＬの光パワー出力をモニタするための検出器と、入力
電流を調整するためのフィードバック・システムとが設
けられている。ＤＯＡは、一方の側に視準ビーム入力領
域（collimating beam input region）と、その反対の
側にビーム出力領域(beam outputregion)と、検出出力
領域(detection output region)とを含んでいる。ＤＯ
Ａは、視準ビーム入力領域からデータを伝送するための
ビーム出力領域にビームの第１の部分を送り、視準ビー
ム入力領域からモニタのための検出出力領域に向けて第
２の部分を回折させるように構成されている。視準ビー
ム入力領域は回折機能（diffractive feature）を含ん
でおり、これはコンピュータによって生成されるホログ
ラム（computer generated hologram：以下、「ＣＧＨ」
とよぶ）またはグレーティングでありうる。
【００１３】ある実施態様では、特定のＶＣＳＥＬによ
って放出された入力ビームが、ＤＯＡの回折機能を備え
た視準ビーム入力領域に入射する。回折された第２の部
分が、ＤＯＡを介して、検出出力領域及び光パワー出力
をモニタする検出器上へと伝搬する。この実施態様で
は、ＶＣＳＥＬ及び検出器は、ＤＯＡの両側に位置して
いる。
って放出された入力ビームが、ＤＯＡの回折機能を備え
た視準ビーム入力領域に入射する。回折された第２の部
分が、ＤＯＡを介して、検出出力領域及び光パワー出力
をモニタする検出器上へと伝搬する。この実施態様で
は、ＶＣＳＥＬ及び検出器は、ＤＯＡの両側に位置して
いる。
【００１４】別の実施態様の場合には、ビーム入力領域
の回折機能によって回折された第２の部分は、ＤＯＡの
反対側の第１の反射領域によって反射される。反射され
た第２の部分は、ＤＯＡのＶＣＳＥＬと同じ側にある検
出出力領域に送られる。
の回折機能によって回折された第２の部分は、ＤＯＡの
反対側の第１の反射領域によって反射される。反射され
た第２の部分は、ＤＯＡのＶＣＳＥＬと同じ側にある検
出出力領域に送られる。
【００１５】別のもう１つの実施態様では、ＤＯＡは、
入力ビームの回折部分を反射して検出領域に向けるため
に協働する一連の光学領域を含んでいる。ＶＣＳＥＬの
１つによって放出される入力ビームは、回折機能を含む
関連する視準ビーム入力領域からＤＯＡに入射する。回
折される第２の部分は、ＤＯＡを介して、第１の反射領
域まで伝搬し、ここで反射されて第２の反射領域に送ら
れる。第２の部分は、第２の反射領域によって反射さ
れ、ＤＯＡを介して第３の反射領域まで送られる。第３
の反射領域から反射された反射部分は、ＤＯＡを介して
検出出力領域に送られる。検出出力領域において、第２
の部分は、ビームのモニタ及びフィードバック調整を行
う検出器に送られる。
入力ビームの回折部分を反射して検出領域に向けるため
に協働する一連の光学領域を含んでいる。ＶＣＳＥＬの
１つによって放出される入力ビームは、回折機能を含む
関連する視準ビーム入力領域からＤＯＡに入射する。回
折される第２の部分は、ＤＯＡを介して、第１の反射領
域まで伝搬し、ここで反射されて第２の反射領域に送ら
れる。第２の部分は、第２の反射領域によって反射さ
れ、ＤＯＡを介して第３の反射領域まで送られる。第３
の反射領域から反射された反射部分は、ＤＯＡを介して
検出出力領域に送られる。検出出力領域において、第２
の部分は、ビームのモニタ及びフィードバック調整を行
う検出器に送られる。
【００１６】本発明によれば、検出器は、シリコン、ガ
リウム砒素、インジウム・ガリウム砒素、または、ＶＣ
ＳＥＬによって生じる入力ビームの波長に感光性のある
材料から製作することができる。さらに、反射領域は、
第２の部分を関係する次の領域に送るためのミラー、反
射コーティング、または、金属被覆表面（例えば、反射
回折光学素子）とすることができる。関係する次の領域
は、後続する反射領域または検出出力領域でありうる。
リウム砒素、インジウム・ガリウム砒素、または、ＶＣ
ＳＥＬによって生じる入力ビームの波長に感光性のある
材料から製作することができる。さらに、反射領域は、
第２の部分を関係する次の領域に送るためのミラー、反
射コーティング、または、金属被覆表面（例えば、反射
回折光学素子）とすることができる。関係する次の領域
は、後続する反射領域または検出出力領域でありうる。
【００１７】望ましい実施態様によれば、各ＤＯＡが、
並列チャネル光学アレイ内の特定のチャネルに対応する
ＤＯＡのアレイが設けられる。代わりの実施態様によれ
ば、並列アレイ内の全てのチャネルに対応する単一のＤ
ＯＡが設けられる。すなわち、この単一のＤＯＡは、ア
レイ内のＶＣＳＥＬから放出される全入力ビームの第２
の部分を回折するように構成されている。
並列チャネル光学アレイ内の特定のチャネルに対応する
ＤＯＡのアレイが設けられる。代わりの実施態様によれ
ば、並列アレイ内の全てのチャネルに対応する単一のＤ
ＯＡが設けられる。すなわち、この単一のＤＯＡは、ア
レイ内のＶＣＳＥＬから放出される全入力ビームの第２
の部分を回折するように構成されている。
【００１８】重要ではないが、ＤＯＡの視準ビーム入力
領域はスパイラル位相構成（spiral-phase configurati
on）を有しうる。この設計によれば、ＶＣＳＥＬの発光
源に戻される光強度のフィードバックが排除される。検
出される光パワー出力はリング形状のパターン（ring-s
haped pattern）を示すことになる。
領域はスパイラル位相構成（spiral-phase configurati
on）を有しうる。この設計によれば、ＶＣＳＥＬの発光
源に戻される光強度のフィードバックが排除される。検
出される光パワー出力はリング形状のパターン（ring-s
haped pattern）を示すことになる。
【００１９】視準ビーム入力領域の回折機能は、ＣＧＨ
またはグレーティングの回折機能でありうる。ＣＧＨ
は、１次元または２次元とすることができる。ある実施
態様では、１次元のＣＧＨの集積は、１つの軸に沿って
繰り返される周期毎に８つの個別的な深さを含んでい
る。ＣＧＨの回折原理のため、検出される光パワー出力
は、スパイラル位相を含めると、例えば、リング形状パ
ターンのような一連の同様の形状パターンになる。ＣＧ
Ｈによって偏差を生じないリング形状パターンは、デー
タ伝送のための第１の部分に対応する０次の回折次数
（diffraction order）である。大きい角度偏差（例え
ば、９次の回折次数）での強度を備えたリング形状パタ
ーンは、モニタ及びフィードバックのための第２の部分
に対応する。データ伝送（すなわち、０次の回折次
数）、または、モニタ（すなわち、９次の回折次数）の
ために選択されない他の回折次数の光パワー出力は、ノ
イズ及びクロストーク信号とみなされ、最小限に抑えら
れる。
またはグレーティングの回折機能でありうる。ＣＧＨ
は、１次元または２次元とすることができる。ある実施
態様では、１次元のＣＧＨの集積は、１つの軸に沿って
繰り返される周期毎に８つの個別的な深さを含んでい
る。ＣＧＨの回折原理のため、検出される光パワー出力
は、スパイラル位相を含めると、例えば、リング形状パ
ターンのような一連の同様の形状パターンになる。ＣＧ
Ｈによって偏差を生じないリング形状パターンは、デー
タ伝送のための第１の部分に対応する０次の回折次数
（diffraction order）である。大きい角度偏差（例え
ば、９次の回折次数）での強度を備えたリング形状パタ
ーンは、モニタ及びフィードバックのための第２の部分
に対応する。データ伝送（すなわち、０次の回折次
数）、または、モニタ（すなわち、９次の回折次数）の
ために選択されない他の回折次数の光パワー出力は、ノ
イズ及びクロストーク信号とみなされ、最小限に抑えら
れる。
【００２０】別の実施態様では、視準ビーム入力領域の
回折機能は２次元のＣＧＨの回折機能である。ＣＧＨ集
積は、２つの軸に沿って繰り返される周期毎に８つの個
別的な深さを含まれている。２次元のＣＧＨの光パワー
出力は、例えば、２組の交差する一連の同様の形状パタ
ーンとすることができるという点を除けば、検出される
出力によって、１次元のＣＧＨに似た一連の同様の形状
パターンが示される。あるいはまた、視準ビーム入力領
域の回折機能は、体積ホログラムの回折機能である。さ
らに別の実施態様では、グレーティングの回折機能を利
用して、モニタのために入力ビームの第２の部分を回折
させる。
回折機能は２次元のＣＧＨの回折機能である。ＣＧＨ集
積は、２つの軸に沿って繰り返される周期毎に８つの個
別的な深さを含まれている。２次元のＣＧＨの光パワー
出力は、例えば、２組の交差する一連の同様の形状パタ
ーンとすることができるという点を除けば、検出される
出力によって、１次元のＣＧＨに似た一連の同様の形状
パターンが示される。あるいはまた、視準ビーム入力領
域の回折機能は、体積ホログラムの回折機能である。さ
らに別の実施態様では、グレーティングの回折機能を利
用して、モニタのために入力ビームの第２の部分を回折
させる。
【００２１】望ましい実施態様では、回折機能が第２の
部分を回折させるために視準ビーム入力領域に組み込ま
れるとして説明されているが、この回折機能は独立した
構成要素へと製作されて構成されうる。この代わりの２
ピース構成の場合には、視準ビーム入力領域が、独立し
た回折素子に結合されている間に、入力ビームの第２の
部分を回折することができる。
部分を回折させるために視準ビーム入力領域に組み込ま
れるとして説明されているが、この回折機能は独立した
構成要素へと製作されて構成されうる。この代わりの２
ピース構成の場合には、視準ビーム入力領域が、独立し
た回折素子に結合されている間に、入力ビームの第２の
部分を回折することができる。
【００２２】全てのチャネルにおいて、アレイ内の関連
するＶＣＳＥＬに対する入力電流が、閉ループ・フィー
ドバック・システムによって調整される。第１のフィー
ドバック信号源は、検出器によって受信される光強度で
ある。さらに、第２のフィードバック信号源は、現在温
度における最適な光強度とすることができる。最適な光
強度値は、温度センサによって測定される周囲温度に対
応する動作パラメータを備えたメモリ装置によって供給
される。フィードバック・システムは、両方のフィード
バック信号を利用して、アレイ内の全てのＶＣＳＥＬに
対する入力電流を調整する。
するＶＣＳＥＬに対する入力電流が、閉ループ・フィー
ドバック・システムによって調整される。第１のフィー
ドバック信号源は、検出器によって受信される光強度で
ある。さらに、第２のフィードバック信号源は、現在温
度における最適な光強度とすることができる。最適な光
強度値は、温度センサによって測定される周囲温度に対
応する動作パラメータを備えたメモリ装置によって供給
される。フィードバック・システムは、両方のフィード
バック信号を利用して、アレイ内の全てのＶＣＳＥＬに
対する入力電流を調整する。
【００２３】本発明の利点の１つは、このシステムで
は、並列チャネル光学アレイのＶＣＳＥＬ毎にモニタ及
びフィードバックを備えることによって、全てのチャネ
ルに対して許容可能な性能が保証され、温度変動及び経
時変化の影響によって生じうる許容できない損失から保
護されるという点にある。さらに、チャネルのモニタに
よって、フィードバック信号を供給するために用いられ
るチャネルが制限されることもない。それどころか、モ
ニタされるチャネルは、モニタのためだけではなく、デ
ータ伝送のためにも信号を供給することができる。
は、並列チャネル光学アレイのＶＣＳＥＬ毎にモニタ及
びフィードバックを備えることによって、全てのチャネ
ルに対して許容可能な性能が保証され、温度変動及び経
時変化の影響によって生じうる許容できない損失から保
護されるという点にある。さらに、チャネルのモニタに
よって、フィードバック信号を供給するために用いられ
るチャネルが制限されることもない。それどころか、モ
ニタされるチャネルは、モニタのためだけではなく、デ
ータ伝送のためにも信号を供給することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】図１は、回折光学装置（ＤＯＡ）
１０の望ましいアーキテクチャの１つを例示したもので
ある。並列チャネル光学アレイの全てのチャネルについ
て、入力ビーム３２の第１の部分３４をデータ伝送のた
めのビーム出力領域２４に渡すように構成されたいくつ
かの光学領域を、ＤＯＡ１０は含んでいる。さらに、Ｄ
ＯＡは、入力ビーム３２の第２の部分３６を回折させ
て、検出出力領域２２に向けるように構成されている。
光学領域は、（ａ）視準ビーム入力領域１４と、（ｂ）
ビーム出力領域２４と、（ｃ）第１の反射領域１６と、
（ｄ）第２の反射領域１８と、（ｅ）第３の反射領域２
０と、（ｆ）検出出力領域２２とを含んでいる。視準ビ
ーム入力領域１４は、第１の部分３４を通過し、第２の
部分３６を回折させるための回折機能を含んでいる。あ
る実施態様では、回折機能は、第２の部分３６を回折さ
せるように構成されたＣＧＨ６４（図９）の回折機能で
ある。代わりの実施態様では、回折機能はグレーティン
グ８０（図１５）の回折機能である。
１０の望ましいアーキテクチャの１つを例示したもので
ある。並列チャネル光学アレイの全てのチャネルについ
て、入力ビーム３２の第１の部分３４をデータ伝送のた
めのビーム出力領域２４に渡すように構成されたいくつ
かの光学領域を、ＤＯＡ１０は含んでいる。さらに、Ｄ
ＯＡは、入力ビーム３２の第２の部分３６を回折させ
て、検出出力領域２２に向けるように構成されている。
光学領域は、（ａ）視準ビーム入力領域１４と、（ｂ）
ビーム出力領域２４と、（ｃ）第１の反射領域１６と、
（ｄ）第２の反射領域１８と、（ｅ）第３の反射領域２
０と、（ｆ）検出出力領域２２とを含んでいる。視準ビ
ーム入力領域１４は、第１の部分３４を通過し、第２の
部分３６を回折させるための回折機能を含んでいる。あ
る実施態様では、回折機能は、第２の部分３６を回折さ
せるように構成されたＣＧＨ６４（図９）の回折機能で
ある。代わりの実施態様では、回折機能はグレーティン
グ８０（図１５）の回折機能である。
【００２５】ＶＣＳＥＬ１２から放出される入力ビーム
３２は、視準ビーム入力領域１４からＤＯＡ１０に入射
する。視準ビーム入力領域１４は、一般に、ガラス、プ
ラスチック、または、光の伝搬を可能にする材料から製
作される。ＶＣＳＥＬ１２の放出領域に戻される入力ビ
ーム３２の反射を最小限に抑えるため、視準ビーム入力
領域１４の表面は、放出領域から任意の反射部分をそら
す（divert）ことによって、性能に影響する反射（perf
ormance-affecting reflection）を最小限に抑える特有
の構造を有するように製作することができる。
３２は、視準ビーム入力領域１４からＤＯＡ１０に入射
する。視準ビーム入力領域１４は、一般に、ガラス、プ
ラスチック、または、光の伝搬を可能にする材料から製
作される。ＶＣＳＥＬ１２の放出領域に戻される入力ビ
ーム３２の反射を最小限に抑えるため、視準ビーム入力
領域１４の表面は、放出領域から任意の反射部分をそら
す（divert）ことによって、性能に影響する反射（perf
ormance-affecting reflection）を最小限に抑える特有
の構造を有するように製作することができる。
【００２６】回折素子は、位置合わせされ、ビーム入力
領域１４の反対側に配置されたビーム出力領域２４に入
力ビーム３２の第１の部分３４を送るように構成されて
いる。ビーム出力領域２４は、データ伝送に利用される
光ファイバ２６に結合されている。ＶＣＳＥＬ１２の放
出部分に戻される第１の部分３４の反射を最小限に抑え
るため、ビーム出力領域２４の表面は、反射防止コーテ
ィング（図示せず）の層を形成することができる。さら
に、回折素子は、入力ビーム３２の第２の部分３６を、
ＤＯＡ１０のビーム入力領域１４の反対側に配置された
第１の反射領域１６に対して回折するように構成されて
いる。第１の反射領域１６によって反射される第２の部
分３６は、ＤＯＡ１０を介して、ＤＯＡの反対側で、ビ
ーム入力領域１４と同じ側に配置された第２の反射領域
１８まで伝搬する。第２の反射領域１８によって反射さ
れた第２の部分３６は、ＤＯＡ１０を介して、ＤＯＡの
反対側で、第１の反射領域１６と同じ側に配置された第
３の反射領域２０まで伝搬する。第３の反射領域２０に
よって反射された第２の部分３６は、ＤＯＡ１０を介し
て、ＤＯＡの第２の反射領域１８と同じ側に配置された
検出出力領域２２まで伝搬する。検出出力領域２２は、
フィードバック信号のモニタ及び供給に適合した検出器
２８に第２の部分３６を集中する。
領域１４の反対側に配置されたビーム出力領域２４に入
力ビーム３２の第１の部分３４を送るように構成されて
いる。ビーム出力領域２４は、データ伝送に利用される
光ファイバ２６に結合されている。ＶＣＳＥＬ１２の放
出部分に戻される第１の部分３４の反射を最小限に抑え
るため、ビーム出力領域２４の表面は、反射防止コーテ
ィング（図示せず）の層を形成することができる。さら
に、回折素子は、入力ビーム３２の第２の部分３６を、
ＤＯＡ１０のビーム入力領域１４の反対側に配置された
第１の反射領域１６に対して回折するように構成されて
いる。第１の反射領域１６によって反射される第２の部
分３６は、ＤＯＡ１０を介して、ＤＯＡの反対側で、ビ
ーム入力領域１４と同じ側に配置された第２の反射領域
１８まで伝搬する。第２の反射領域１８によって反射さ
れた第２の部分３６は、ＤＯＡ１０を介して、ＤＯＡの
反対側で、第１の反射領域１６と同じ側に配置された第
３の反射領域２０まで伝搬する。第３の反射領域２０に
よって反射された第２の部分３６は、ＤＯＡ１０を介し
て、ＤＯＡの第２の反射領域１８と同じ側に配置された
検出出力領域２２まで伝搬する。検出出力領域２２は、
フィードバック信号のモニタ及び供給に適合した検出器
２８に第２の部分３６を集中する。
【００２７】ある実施態様では、反射領域１６と１８と
２０とは、第２の部分３６を関係する次の領域に反射す
るため、第２の部分３６の伝搬光路内に配置されたミラ
ーである。関係する次の領域は、反射領域１８または２
０、あるいは検出領域２２でありうる。ミラーは、ＤＯ
Ａ１０の表面に取り付けられている。別の実施態様で
は、反射領域１６と１８と２０とは、第２の部分３６を
関係する次の領域に反射する反射コーティングである。
さらに別の実施態様では、反射領域１６と１８と２０と
は、反射角及びビーム・プロファイルの制御に用いるこ
とができる金属被覆表面（例えば、反射回折光学素子）
である。金属被覆表面は、材料及び製造コストを最小限
に抑えるために利用される。
２０とは、第２の部分３６を関係する次の領域に反射す
るため、第２の部分３６の伝搬光路内に配置されたミラ
ーである。関係する次の領域は、反射領域１８または２
０、あるいは検出領域２２でありうる。ミラーは、ＤＯ
Ａ１０の表面に取り付けられている。別の実施態様で
は、反射領域１６と１８と２０とは、第２の部分３６を
関係する次の領域に反射する反射コーティングである。
さらに別の実施態様では、反射領域１６と１８と２０と
は、反射角及びビーム・プロファイルの制御に用いるこ
とができる金属被覆表面（例えば、反射回折光学素子）
である。金属被覆表面は、材料及び製造コストを最小限
に抑えるために利用される。
【００２８】本発明は、第２の部分３６を反射して、関
係する次の領域におくるための３つの反射領域１６と１
８と２０とを含むとして説明されているが、第２の部分
３６を反射するための反射領域の数はもっと少なくする
ことができる。さらに、本発明は、反射しない領域を含
みうる。この実施態様の場合には、回折される第２の部
分３６は、ＤＯＡ１０を介して、ＤＯＡ１０の反対側に
ある検出出力領域２２まで伝搬する。あるいはまた、第
２の部分３６を関係する次の領域に反射するための反射
領域の数をもっと多くすることもできる。
係する次の領域におくるための３つの反射領域１６と１
８と２０とを含むとして説明されているが、第２の部分
３６を反射するための反射領域の数はもっと少なくする
ことができる。さらに、本発明は、反射しない領域を含
みうる。この実施態様の場合には、回折される第２の部
分３６は、ＤＯＡ１０を介して、ＤＯＡ１０の反対側に
ある検出出力領域２２まで伝搬する。あるいはまた、第
２の部分３６を関係する次の領域に反射するための反射
領域の数をもっと多くすることもできる。
【００２９】並列チャネル光学アレイの全てのチャネル
について、チャネルＶＣＳＥＬ１２を駆動する入力電流
を調整するため、専用の検出器２８が、フィードバック
・システム３０に結合されている。検出器２８は、ＶＣ
ＳＥＬ１２によって生じる入力ビーム３２の波長に対す
る感度が得られるように選択された材料の層から一般に
形成される。検出器２８と共に、ＶＣＳＥＬ１２及びフ
ィードバック・システム３０が、媒体１１０内に配置さ
れている。媒体１１０は、視準ビーム入力領域１４と、
第２の反射領域１８と、検出出力領域２２とを備えたＤ
ＯＡ１０の表面３８に対して平行である。第２の反射領
域１８及び検出出力領域２２の相対的配置は、本発明に
とって重要ではない。
について、チャネルＶＣＳＥＬ１２を駆動する入力電流
を調整するため、専用の検出器２８が、フィードバック
・システム３０に結合されている。検出器２８は、ＶＣ
ＳＥＬ１２によって生じる入力ビーム３２の波長に対す
る感度が得られるように選択された材料の層から一般に
形成される。検出器２８と共に、ＶＣＳＥＬ１２及びフ
ィードバック・システム３０が、媒体１１０内に配置さ
れている。媒体１１０は、視準ビーム入力領域１４と、
第２の反射領域１８と、検出出力領域２２とを備えたＤ
ＯＡ１０の表面３８に対して平行である。第２の反射領
域１８及び検出出力領域２２の相対的配置は、本発明に
とって重要ではない。
【００３０】図２には、第１の基板上に製作された１×
１２個の並列チャネル光学アレイ４４と、第２の基板上
に製作された集積回路５２に用いられる図１の媒体１１
０の望ましい実施態様が示されている。光学アレイ４４
と集積回路５２とは、有意な異なる特性と関連付けられ
るので、異なる基板上に製作される。代わりに、光学ア
レイ４４は、ハンダ・バンプのようなパッケージング・
テクノロジを利用して、集積回路５２の上に取り付ける
ことができる。集積回路５２に対する光学アレイ４４の
配置は、本発明にとって重要ではない。
１２個の並列チャネル光学アレイ４４と、第２の基板上
に製作された集積回路５２に用いられる図１の媒体１１
０の望ましい実施態様が示されている。光学アレイ４４
と集積回路５２とは、有意な異なる特性と関連付けられ
るので、異なる基板上に製作される。代わりに、光学ア
レイ４４は、ハンダ・バンプのようなパッケージング・
テクノロジを利用して、集積回路５２の上に取り付ける
ことができる。集積回路５２に対する光学アレイ４４の
配置は、本発明にとって重要ではない。
【００３１】１×１２個の並列チャネル光学アレイ４４
は１２個の独立したチャネルを含んでおり、各チャネル
は、それ自体のＶＣＳＥＬ１２と、検出器２８と、フィ
ードバック・システム３０と、第１のボンディング・パ
ッド５０と、第２のボンディング・パッド４８とをそれ
ぞれ含んでいる。一例として、アレイ４４の第１のチャ
ネル４６及び集積回路５２は、図１のＤＯＡ１０の視準
ビーム入力領域１４に対して入力ビーム３２を放出する
ための第１のＶＣＳＥＬ１２を含んでいる。ＤＯＡ１０
の表面３８は、媒体１１０に対して平行に配置されてい
る。入力ビーム３２は、視準ビーム入力領域１４に結合
された回折格子によって回折される。第２の部分３６
は、検出出力領域２２及び検出器２８に引き続き送られ
る。検出器２８によって生じるフィードバック信号は、
第２の部分の強度に応答し、フィードバック・システム
３０によって受信される。フィードバック・システム３
０は、集積回路５２内に形成されるので、点線ブロック
として示されている。フィードバック・システム３０か
らの出力電流は、第２のボンディング・パッド４８に結
合された第１のボンディング・パッド５０に伝導され
る。第２のボンディング・パッド４８によって受信され
る出力電流は、第１のチャネル４６のＶＣＳＥＬ１２を
駆動するために利用される。
は１２個の独立したチャネルを含んでおり、各チャネル
は、それ自体のＶＣＳＥＬ１２と、検出器２８と、フィ
ードバック・システム３０と、第１のボンディング・パ
ッド５０と、第２のボンディング・パッド４８とをそれ
ぞれ含んでいる。一例として、アレイ４４の第１のチャ
ネル４６及び集積回路５２は、図１のＤＯＡ１０の視準
ビーム入力領域１４に対して入力ビーム３２を放出する
ための第１のＶＣＳＥＬ１２を含んでいる。ＤＯＡ１０
の表面３８は、媒体１１０に対して平行に配置されてい
る。入力ビーム３２は、視準ビーム入力領域１４に結合
された回折格子によって回折される。第２の部分３６
は、検出出力領域２２及び検出器２８に引き続き送られ
る。検出器２８によって生じるフィードバック信号は、
第２の部分の強度に応答し、フィードバック・システム
３０によって受信される。フィードバック・システム３
０は、集積回路５２内に形成されるので、点線ブロック
として示されている。フィードバック・システム３０か
らの出力電流は、第２のボンディング・パッド４８に結
合された第１のボンディング・パッド５０に伝導され
る。第２のボンディング・パッド４８によって受信され
る出力電流は、第１のチャネル４６のＶＣＳＥＬ１２を
駆動するために利用される。
【００３２】望ましい実施態様に従って、図３は、並列
チャネル光学アレイ４４のそれぞれのチャネル毎に第２
の部分３６を回折及び方向付けし、検出器２８に送るよ
うに構成された１２個の個別に独立したＤＯＡ１０を示
している。代わりの実施態様に従って、図４は、アレイ
４４の全チャネルについて、第２の部分３６を回折およ
び方向付けし、検出器２８に送るように構成された単一
のＤＯＡ１０を示している。アライメント・ピン（図示
せず）を利用して、媒体１１０をＤＯＡ１０に固定し、
正確に位置合わせする。
チャネル光学アレイ４４のそれぞれのチャネル毎に第２
の部分３６を回折及び方向付けし、検出器２８に送るよ
うに構成された１２個の個別に独立したＤＯＡ１０を示
している。代わりの実施態様に従って、図４は、アレイ
４４の全チャネルについて、第２の部分３６を回折およ
び方向付けし、検出器２８に送るように構成された単一
のＤＯＡ１０を示している。アライメント・ピン（図示
せず）を利用して、媒体１１０をＤＯＡ１０に固定し、
正確に位置合わせする。
【００３３】並列チャネル光学アレイ４４は、１２個の
独立したチャネルを有するとして説明されているが、本
発明の範囲及び精神を逸脱することなく、チャネル数が
もっと多いか、または、少ないアレイを実施することも
できる。さらに、本発明に従って、４×４個のアレイの
ようなｎ×ｎ個のアレイを実施することができる。従っ
て、各ＤＯＡが、アレイのそれぞれのチャネルに対応す
る、より数の多いＤＯＡを同様に実施することもでき
る。さらに、放出される入力ビームがデータ伝送及びモ
ニタに十分なものである限りにおいて、ＶＣＳＥＬの代
わりに、並列チャネル・アレイをなすように、ファブリ
・ペロー・レーザ（Fabry-Perot laser）やガス・ベー
ス・レーザ（Gas-based laser）等のようなレーザ・ダ
イオードを利用することもできる。
独立したチャネルを有するとして説明されているが、本
発明の範囲及び精神を逸脱することなく、チャネル数が
もっと多いか、または、少ないアレイを実施することも
できる。さらに、本発明に従って、４×４個のアレイの
ようなｎ×ｎ個のアレイを実施することができる。従っ
て、各ＤＯＡが、アレイのそれぞれのチャネルに対応す
る、より数の多いＤＯＡを同様に実施することもでき
る。さらに、放出される入力ビームがデータ伝送及びモ
ニタに十分なものである限りにおいて、ＶＣＳＥＬの代
わりに、並列チャネル・アレイをなすように、ファブリ
・ペロー・レーザ（Fabry-Perot laser）やガス・ベー
ス・レーザ（Gas-based laser）等のようなレーザ・ダ
イオードを利用することもできる。
【００３４】図５を参照すると、検出器２８は、検出出
力領域２２によって回折させられた第２の部分３６の断
面画像５８を受像して、検出するための１５０μｍ×１
５０μｍの表面領域を含んでいる。断面画像５８の直径
は約５０μｍである。これらの仕様を考慮すると、全許
容範囲（媒体１１０とＤＯＡ１０の表面３８との間にお
けるｘ軸及びｙ軸に沿った許容移動範囲を表す）±１５
μｍが、１５０μｍ×１５０μｍの検出器２８の受像表
面領域内に十分に納まることになる。
力領域２２によって回折させられた第２の部分３６の断
面画像５８を受像して、検出するための１５０μｍ×１
５０μｍの表面領域を含んでいる。断面画像５８の直径
は約５０μｍである。これらの仕様を考慮すると、全許
容範囲（媒体１１０とＤＯＡ１０の表面３８との間にお
けるｘ軸及びｙ軸に沿った許容移動範囲を表す）±１５
μｍが、１５０μｍ×１５０μｍの検出器２８の受像表
面領域内に十分に納まることになる。
【００３５】ｚ軸に沿ったシフトに関して、全許容範囲
（媒体１１０と表面３８の間における許容垂直移動範囲
を表す）±４０μｍが、１５０μｍ×１５０μｍの検出
器２８の受像表面領域内に十分に納まることになる。図
６Ａは、ｚ軸に沿ったシフトが生じない、検出器２８の
第２の部分３６の断面画像５８を示している。すなわ
ち、ｚ軸に沿った媒体１１０と表面３８との隔離距離
（separation distance）は、動作にとって理想的なタ
ーゲット距離である。図６Ｂを参照すると、断面画像５
８は、媒体１１０と表面３８との間でｚ軸に沿って−４
０μｍシフトした状態で、検出器２８の検出可能表面領
域内に十分に納まることになる。同様に、図６Ｃに示す
ように、断面画像５８は、媒体１１０と表面３８との間
でｚ軸に沿って＋４０μｍシフトした状態で、検出器２
８の検出可能表面領域内に十分に納まることになる。
（媒体１１０と表面３８の間における許容垂直移動範囲
を表す）±４０μｍが、１５０μｍ×１５０μｍの検出
器２８の受像表面領域内に十分に納まることになる。図
６Ａは、ｚ軸に沿ったシフトが生じない、検出器２８の
第２の部分３６の断面画像５８を示している。すなわ
ち、ｚ軸に沿った媒体１１０と表面３８との隔離距離
（separation distance）は、動作にとって理想的なタ
ーゲット距離である。図６Ｂを参照すると、断面画像５
８は、媒体１１０と表面３８との間でｚ軸に沿って−４
０μｍシフトした状態で、検出器２８の検出可能表面領
域内に十分に納まることになる。同様に、図６Ｃに示す
ように、断面画像５８は、媒体１１０と表面３８との間
でｚ軸に沿って＋４０μｍシフトした状態で、検出器２
８の検出可能表面領域内に十分に納まることになる。
【００３６】望ましい実施態様の場合には、ビーム入力
領域１４は、図７に示すスパイラル位相構成６０をなし
ている。スパイラル位相構成６０は、任意の反射部分の
進路を発光源から転換することによって、ＶＣＳＥＬ１
２の放出表面に戻される反射を最小限に抑えるように設
計されている。反射によってＶＣＳＥＬ１２に戻される
光パワー出力はリング形状パターンを有しており、ここ
で、光強度の集中がＶＣＳＥＬ１２の放出表面からそら
される。図８は、スパイラル位相構成６０をなすビーム
入力領域１４に関して、検出器２８によって受光される
リング形状パターン６２を示している。
領域１４は、図７に示すスパイラル位相構成６０をなし
ている。スパイラル位相構成６０は、任意の反射部分の
進路を発光源から転換することによって、ＶＣＳＥＬ１
２の放出表面に戻される反射を最小限に抑えるように設
計されている。反射によってＶＣＳＥＬ１２に戻される
光パワー出力はリング形状パターンを有しており、ここ
で、光強度の集中がＶＣＳＥＬ１２の放出表面からそら
される。図８は、スパイラル位相構成６０をなすビーム
入力領域１４に関して、検出器２８によって受光される
リング形状パターン６２を示している。
【００３７】ある実施態様によれば、図９は、ＣＧＨ６
４の回折機能とすることが可能な回折機能を有する図１
の視準ビーム入力領域１４を示している。望ましい実施
態様の場合には、ＣＧＨ６４の回折機能はビーム入力領
域１４内に組み込まれるが、ＣＧＨ６４は、分かりやす
くするため、独立した構成要素として説明することにす
る。位置合わせされ、ＣＧＨ６４の反対側に配置された
ビーム出力領域２４に、ＤＯＡ１０を介して入力ビーム
３２の第１の部分３４を送るように、ＣＧＨ６４が構成
されている。さらに、ＣＧＨ６４は、モニタ及びフィー
ドバックのため、ＤＯＡ１０を介して入力ビーム３２の
第２の部分３６に回折及び方向付けるように構成されて
いる。回折部分は、入力ビーム３２の第２の部分３６と
して説明されているが、入力ビーム３２の強度の５０％
を超える部分を回折するようにＣＧＨ６４を設計するこ
とができる。
４の回折機能とすることが可能な回折機能を有する図１
の視準ビーム入力領域１４を示している。望ましい実施
態様の場合には、ＣＧＨ６４の回折機能はビーム入力領
域１４内に組み込まれるが、ＣＧＨ６４は、分かりやす
くするため、独立した構成要素として説明することにす
る。位置合わせされ、ＣＧＨ６４の反対側に配置された
ビーム出力領域２４に、ＤＯＡ１０を介して入力ビーム
３２の第１の部分３４を送るように、ＣＧＨ６４が構成
されている。さらに、ＣＧＨ６４は、モニタ及びフィー
ドバックのため、ＤＯＡ１０を介して入力ビーム３２の
第２の部分３６に回折及び方向付けるように構成されて
いる。回折部分は、入力ビーム３２の第２の部分３６と
して説明されているが、入力ビーム３２の強度の５０％
を超える部分を回折するようにＣＧＨ６４を設計するこ
とができる。
【００３８】ＣＧＨ６４は、所望の回折を誘導する表面
起伏（surface relief）の構成が得られるように、数値
的に最適化された設計を有している。屈折率が、この場
合には空気である周囲媒体とは異なる限り、ＣＧＨ６４
は、ガラス、プラスチック、金属、半導体、誘電体、ポ
リマ等に形成することができる実質的に透明な部材であ
る。
起伏（surface relief）の構成が得られるように、数値
的に最適化された設計を有している。屈折率が、この場
合には空気である周囲媒体とは異なる限り、ＣＧＨ６４
は、ガラス、プラスチック、金属、半導体、誘電体、ポ
リマ等に形成することができる実質的に透明な部材であ
る。
【００３９】ＣＧＨ６４は、１次元のＣＧＨまたは２次
元のＣＧＨとすることができる。１次元のＣＧＨは、１
つの軸に沿って入力ビーム３２を変調するように構成さ
れている。望ましい実施態様の場合には、周期毎に８つ
の個別的な表面深さが１つの軸に沿って１次元のＣＧＨ
へとエッチングされる。各周期は、３０μｍの長さとす
ることが可能であるが、重要ではない。図１０Ａは、１
つの軸に沿って８つの個別的な表面深さ７０をそれぞれ
の周期が含む、２周期分の１次元のＣＧＨの断面図を示
している。図１０Ｂは、その１つの周期が８つの個別的
な表面深さ７０を有する、図１０Ａの１次元のＣＧＨ６
６の平面図を示している。図１０Ｂにおいて、ハッチン
グ密度が異なる各領域は、１つの個別的な表面深さを表
している。
元のＣＧＨとすることができる。１次元のＣＧＨは、１
つの軸に沿って入力ビーム３２を変調するように構成さ
れている。望ましい実施態様の場合には、周期毎に８つ
の個別的な表面深さが１つの軸に沿って１次元のＣＧＨ
へとエッチングされる。各周期は、３０μｍの長さとす
ることが可能であるが、重要ではない。図１０Ａは、１
つの軸に沿って８つの個別的な表面深さ７０をそれぞれ
の周期が含む、２周期分の１次元のＣＧＨの断面図を示
している。図１０Ｂは、その１つの周期が８つの個別的
な表面深さ７０を有する、図１０Ａの１次元のＣＧＨ６
６の平面図を示している。図１０Ｂにおいて、ハッチン
グ密度が異なる各領域は、１つの個別的な表面深さを表
している。
【００４０】図１１を参照すると、１次元のＣＧＨ６６
（視準ビーム入力領域は図７のスパイラル構成６０をな
している）を利用する結果として、検出器２８において
検出される光パワー出力パターンは、一連のリング形状
パターン７２と７４と７６とである。出力が最大のリン
グ形状パターン７２は、３つの可視リング形状パターン
の中央に位置している。それは、データ伝送に用いられ
る第１の部分３４である、ＣＧＨ６６から伝搬する０次
の回折次数の光である。２番目に強い強度のリング形状
パターン７４は、３つの可視リング形状パターンの下部
に位置している。それは、モニタに用いられる第２の部
分３６である、ＣＧＨ６６から伝搬する９次の回折次数
の光である。
（視準ビーム入力領域は図７のスパイラル構成６０をな
している）を利用する結果として、検出器２８において
検出される光パワー出力パターンは、一連のリング形状
パターン７２と７４と７６とである。出力が最大のリン
グ形状パターン７２は、３つの可視リング形状パターン
の中央に位置している。それは、データ伝送に用いられ
る第１の部分３４である、ＣＧＨ６６から伝搬する０次
の回折次数の光である。２番目に強い強度のリング形状
パターン７４は、３つの可視リング形状パターンの下部
に位置している。それは、モニタに用いられる第２の部
分３６である、ＣＧＨ６６から伝搬する９次の回折次数
の光である。
【００４１】０次の回折次数及び９次の回折次数以外の
他の回折次数（すなわち、−９次の回折次数〜−１次の
回折次数及び１次の回折次数〜８次の回折次数）から検
出される光パワー出力は、望ましくないノイズ及びクロ
ストーク信号とみなされ、並列チャネル光学アレイ４４
からの漏出を許すと、目の安全性に問題を生じうる。ノ
イズの一部は、図１１の３つの可視リング形状パターン
の上部に位置する３番目に強いパワーを備えた検出され
るリング形状パターン７６として提示される。他の望ま
しくない回折次数（すなわち、−８次の回折次数〜−１
次の回折次数及び１次の回折次数〜８次の回折次数）
は、光パワー出力が弱いために表されていない。
他の回折次数（すなわち、−９次の回折次数〜−１次の
回折次数及び１次の回折次数〜８次の回折次数）から検
出される光パワー出力は、望ましくないノイズ及びクロ
ストーク信号とみなされ、並列チャネル光学アレイ４４
からの漏出を許すと、目の安全性に問題を生じうる。ノ
イズの一部は、図１１の３つの可視リング形状パターン
の上部に位置する３番目に強いパワーを備えた検出され
るリング形状パターン７６として提示される。他の望ま
しくない回折次数（すなわち、−８次の回折次数〜−１
次の回折次数及び１次の回折次数〜８次の回折次数）
は、光パワー出力が弱いために表されていない。
【００４２】図１２を参照すると、シミュレーション・
データによって、望ましくない光パワー出力が、５０％
と６０％と７５％との３つのターゲット伝送に関して、
０次及び９次の回折次数における望ましい出力に対して
被制御の最小レベルにあることが確認される。５０％の
ターゲット伝送の場合には、０次の回折次数で検出され
る実際の光パワー出力は、５２．６％である。この数字
は、データ伝送に用いられる図１の第１の部分３４であ
る入力ビーム３２のパーセンテージに相当する。９次の
回折次数において、実際の光パワー出力は２１．３％で
ある。この数字は、モニタに用いられる第２の部分３６
である入力ビーム３２のパーセンテージに相当する。他
の回折次数からの望ましくない光パワー出力は、０次及
び９次の回折次数における出力に対して最小レベルにあ
る。例えば、−８次〜−１次及び１次〜８次の回折次数
のうちの特定の回折次数に関する望ましくない最大出力
は、０．５％である。シミュレーション・データは、６
０％及び７５％におけるターゲット伝送に関して同様の
結果を示している。異なる回折次数に関する光強度の比
は、設計によって同調可能である。これによって、目の
安全性要件（eye safety requirement）を満たすこと、
及び、様々なメーカの光源を利用することの利点が得ら
れる。
データによって、望ましくない光パワー出力が、５０％
と６０％と７５％との３つのターゲット伝送に関して、
０次及び９次の回折次数における望ましい出力に対して
被制御の最小レベルにあることが確認される。５０％の
ターゲット伝送の場合には、０次の回折次数で検出され
る実際の光パワー出力は、５２．６％である。この数字
は、データ伝送に用いられる図１の第１の部分３４であ
る入力ビーム３２のパーセンテージに相当する。９次の
回折次数において、実際の光パワー出力は２１．３％で
ある。この数字は、モニタに用いられる第２の部分３６
である入力ビーム３２のパーセンテージに相当する。他
の回折次数からの望ましくない光パワー出力は、０次及
び９次の回折次数における出力に対して最小レベルにあ
る。例えば、−８次〜−１次及び１次〜８次の回折次数
のうちの特定の回折次数に関する望ましくない最大出力
は、０．５％である。シミュレーション・データは、６
０％及び７５％におけるターゲット伝送に関して同様の
結果を示している。異なる回折次数に関する光強度の比
は、設計によって同調可能である。これによって、目の
安全性要件（eye safety requirement）を満たすこと、
及び、様々なメーカの光源を利用することの利点が得ら
れる。
【００４３】２次元のＣＧＨの場合には、ホログラム
は、２つの軸に沿って入力ビーム３２を変調するように
構成されている。望ましい実施態様の場合には、周期毎
に８つの個別的な表面深さが、ｘ軸及びｙ軸に沿って２
次元のＣＧＨへとエッチングされている。各周期は長さ
が３０μｍである。この周期は、表面全域にわたって反
復される。図１３は、両軸に沿って８つの個別的な表面
深さ７０を備える２次元のＣＧＨ６８の平面図を示して
いる。図１４は、２次元のＣＧＨ６８を利用した検出器
２８における光パワー出力パターンを示している。代わ
りに、視準ビーム入力領域の回折機能は、体積ＣＧＨの
回折機能である。
は、２つの軸に沿って入力ビーム３２を変調するように
構成されている。望ましい実施態様の場合には、周期毎
に８つの個別的な表面深さが、ｘ軸及びｙ軸に沿って２
次元のＣＧＨへとエッチングされている。各周期は長さ
が３０μｍである。この周期は、表面全域にわたって反
復される。図１３は、両軸に沿って８つの個別的な表面
深さ７０を備える２次元のＣＧＨ６８の平面図を示して
いる。図１４は、２次元のＣＧＨ６８を利用した検出器
２８における光パワー出力パターンを示している。代わ
りに、視準ビーム入力領域の回折機能は、体積ＣＧＨの
回折機能である。
【００４４】代わりの実施態様に従って、図１５は、グ
レーティング８０の回折機能とすることが可能な回折機
能を有するものとして、視準ビーム入力領域１４を示し
ている。望ましい実施態様は、グレーティング８０の回
折機能が、ビーム入力領域１４内に組み込まれている態
様であるが、本発明の説明をより分かりやすくするた
め、グレーティング８０は独立した素子として説明する
ことにする。位置合わせされ、入力ビーム３２の第１の
部分３４をグレーティング８０の反対側に配置されたビ
ーム出力領域２４に送るように、グレーティング８０が
構成されている。さらに、グレーティング８０は、モニ
タ及びフィードバックのため、入力ビーム３２の第２の
部分３６を回折させるように構成されている。
レーティング８０の回折機能とすることが可能な回折機
能を有するものとして、視準ビーム入力領域１４を示し
ている。望ましい実施態様は、グレーティング８０の回
折機能が、ビーム入力領域１４内に組み込まれている態
様であるが、本発明の説明をより分かりやすくするた
め、グレーティング８０は独立した素子として説明する
ことにする。位置合わせされ、入力ビーム３２の第１の
部分３４をグレーティング８０の反対側に配置されたビ
ーム出力領域２４に送るように、グレーティング８０が
構成されている。さらに、グレーティング８０は、モニ
タ及びフィードバックのため、入力ビーム３２の第２の
部分３６を回折させるように構成されている。
【００４５】グレーティング８０は、大量生産に適合す
る角度で、第２の部分３６を回折させるように数値的に
最適化された設計が施されている。グレーティング８０
は、ほぼ透明な部材である。グレーティング８０は、屈
折率がこの場合には空気である周囲媒体と異なる限り、
ガラス、プラスチック、金属、半導体、誘電体、ポリマ
等に形成することができる。望ましい実施態様の場合に
は、グレーティング８０は、１つの軸に沿って周期毎に
８つの個別的な表面深さを有するブレーズド・グレーテ
ィング（blazed grating）である。
る角度で、第２の部分３６を回折させるように数値的に
最適化された設計が施されている。グレーティング８０
は、ほぼ透明な部材である。グレーティング８０は、屈
折率がこの場合には空気である周囲媒体と異なる限り、
ガラス、プラスチック、金属、半導体、誘電体、ポリマ
等に形成することができる。望ましい実施態様の場合に
は、グレーティング８０は、１つの軸に沿って周期毎に
８つの個別的な表面深さを有するブレーズド・グレーテ
ィング（blazed grating）である。
【００４６】望ましい実施態様は、１次元のＣＧＨ６６
と２次元のＣＧＨ６８と第２の部分の回折のため視準ビ
ーム入力領域１４に組み込まれたグレーティング８０と
のうちの１つとして形成された回折機能を有するとして
説明されているが、もちろん、回折機能は、独立した構
成要素として製作し、接続することもできる。この代わ
りに２ピース構成の場合には、視準ビーム入力領域１４
は、独立した回折素子に結合されるので、入力ビーム３
２の第２の部分を回折させることができる。
と２次元のＣＧＨ６８と第２の部分の回折のため視準ビ
ーム入力領域１４に組み込まれたグレーティング８０と
のうちの１つとして形成された回折機能を有するとして
説明されているが、もちろん、回折機能は、独立した構
成要素として製作し、接続することもできる。この代わ
りに２ピース構成の場合には、視準ビーム入力領域１４
は、独立した回折素子に結合されるので、入力ビーム３
２の第２の部分を回折させることができる。
【００４７】図１６を参照すると、ＶＣＳＥＬ１２に対
する入力電流をモニタするための検出器２８と、調整す
るためのフィードバック・システム３０とを含むブロッ
ク図が示されている。１２チャネル（１２ＣＨ．）の並
列チャネル光学アレイ４４の全チャネルについて、フィ
ードバック・システム３０は、アナログ・フィードバッ
ク制御装置８６を含んでいる。さらに、デジタル・フィ
ードバック制御装置８８を実施することもできる。
する入力電流をモニタするための検出器２８と、調整す
るためのフィードバック・システム３０とを含むブロッ
ク図が示されている。１２チャネル（１２ＣＨ．）の並
列チャネル光学アレイ４４の全チャネルについて、フィ
ードバック・システム３０は、アナログ・フィードバッ
ク制御装置８６を含んでいる。さらに、デジタル・フィ
ードバック制御装置８８を実施することもできる。
【００４８】アナログ・フィードバック制御装置８６
は、温度のような変量の変化に関係なく、各ＶＣＳＥＬ
をターゲット光パワー出力に維持する手段の１つを提供
する。第２の部分３６の光パワー出力は検出器２８によ
って受光され、その強度はフィードバック信号９０の発
生に利用される。フィードバック信号９０はアナログ・
フィードバック制御装置８６に伝導される。光パワー出
力の減少が検出されると、アナログ・フィードバック制
御装置８６は、駆動装置９６に指示してＶＣＳＥＬ１２
に対する入力電流を増大する。逆に、光パワー出力の増
大が検出されると、アナログ・フィードバック制御装置
８６は、駆動装置９６に指示してＶＣＳＥＬ１２に対す
る入力電流を減少させる。
は、温度のような変量の変化に関係なく、各ＶＣＳＥＬ
をターゲット光パワー出力に維持する手段の１つを提供
する。第２の部分３６の光パワー出力は検出器２８によ
って受光され、その強度はフィードバック信号９０の発
生に利用される。フィードバック信号９０はアナログ・
フィードバック制御装置８６に伝導される。光パワー出
力の減少が検出されると、アナログ・フィードバック制
御装置８６は、駆動装置９６に指示してＶＣＳＥＬ１２
に対する入力電流を増大する。逆に、光パワー出力の増
大が検出されると、アナログ・フィードバック制御装置
８６は、駆動装置９６に指示してＶＣＳＥＬ１２に対す
る入力電流を減少させる。
【００４９】温度のような変量の変化を補償するための
第２の手段として、デジタル・フィードバック制御装置
８８が実施される。アナログ・フィードバック制御装置
８６とは異なり、デジタル・フィードバック制御装置
は、記憶された情報を利用して、フィードバック信号９
０に応答してＶＣＳＥＬに対する入力電流に調整を加え
るべき時期及び方法を決定する。現在の周囲温度は、温
度センサ９２によって識別される。識別された温度に応
じて、ＥＥＰＲＯＭのようなメモリ装置９４が、最適パ
ワー・レベル・データと、ＶＣＳＥＬ１２の勾配効率の
ような検出器２８では容易に測定されない情報とを含む
特性データを供給する。検出器２８から生じる検出光強
度が現在の温度における識別された最適パワー・レベル
未満の場合には、デジタル・フィードバック制御装置８
８は駆動装置９６に指示してＶＣＳＥＬ１２に対する入
力電流を増大させる。逆に、検出される光強度が現在温
度における識別された最適パワー・レベルを超える場合
には、デジタル・フィードバック制御装置８８は駆動装
置に指示してＶＣＳＥＬ１２に対する入力電流を減少さ
せる。
第２の手段として、デジタル・フィードバック制御装置
８８が実施される。アナログ・フィードバック制御装置
８６とは異なり、デジタル・フィードバック制御装置
は、記憶された情報を利用して、フィードバック信号９
０に応答してＶＣＳＥＬに対する入力電流に調整を加え
るべき時期及び方法を決定する。現在の周囲温度は、温
度センサ９２によって識別される。識別された温度に応
じて、ＥＥＰＲＯＭのようなメモリ装置９４が、最適パ
ワー・レベル・データと、ＶＣＳＥＬ１２の勾配効率の
ような検出器２８では容易に測定されない情報とを含む
特性データを供給する。検出器２８から生じる検出光強
度が現在の温度における識別された最適パワー・レベル
未満の場合には、デジタル・フィードバック制御装置８
８は駆動装置９６に指示してＶＣＳＥＬ１２に対する入
力電流を増大させる。逆に、検出される光強度が現在温
度における識別された最適パワー・レベルを超える場合
には、デジタル・フィードバック制御装置８８は駆動装
置に指示してＶＣＳＥＬ１２に対する入力電流を減少さ
せる。
【００５０】本発明に従って、ＶＣＳＥＬ１２は、高光
パワー出力レベルと低光パワー出力レベルとの間で変調
を行う。高速検出器２８及び高速フィードバック・シス
テム３０の動作によって、ＶＣＳＥＬ１２の高デジタル
・レベル及び低デジタル・レベルをモニタすることがで
きる。さらに、検出器２８は、低周波設計に関してＶＣ
ＳＥＬ１２の平均パワーを求めることができる。
パワー出力レベルと低光パワー出力レベルとの間で変調
を行う。高速検出器２８及び高速フィードバック・シス
テム３０の動作によって、ＶＣＳＥＬ１２の高デジタル
・レベル及び低デジタル・レベルをモニタすることがで
きる。さらに、検出器２８は、低周波設計に関してＶＣ
ＳＥＬ１２の平均パワーを求めることができる。
【００５１】図１７のプロセス流れ図に関して、並列チ
ャネル光学アレイ４４内の全てのチャネルを最適パワー
・レベルに維持するためのＤＯＡ１０の動作について説
明することにする。ステップ１００では、並列チャネル
光学アレイ４４の各ＶＣＳＥＬ１２からの入力ビーム３
２がＤＯＡ１０によって受光される。ステップ１０２で
は、入力ビーム３２の一部が、回折されてＤＯＡ１０を
介して検出出力領域２２に送られて、検出器２８上へと
入射する。ステップ１０４では、フィードバック信号を
提供する。第１のフィードバック信号は、検出器２８に
よって受光される第２の部分３６の光パワー出力であ
る。第２のフィードバック信号は、任意の特定温度にお
ける最適な光強度レベルである。最後に、ステップ１０
６において、ＶＣＳＥＬ１２に対する入力電流が、第１
及び第２のフィードバック信号に応答して調整される。
ャネル光学アレイ４４内の全てのチャネルを最適パワー
・レベルに維持するためのＤＯＡ１０の動作について説
明することにする。ステップ１００では、並列チャネル
光学アレイ４４の各ＶＣＳＥＬ１２からの入力ビーム３
２がＤＯＡ１０によって受光される。ステップ１０２で
は、入力ビーム３２の一部が、回折されてＤＯＡ１０を
介して検出出力領域２２に送られて、検出器２８上へと
入射する。ステップ１０４では、フィードバック信号を
提供する。第１のフィードバック信号は、検出器２８に
よって受光される第２の部分３６の光パワー出力であ
る。第２のフィードバック信号は、任意の特定温度にお
ける最適な光強度レベルである。最後に、ステップ１０
６において、ＶＣＳＥＬ１２に対する入力電流が、第１
及び第２のフィードバック信号に応答して調整される。
【図１】反射領域のアレイを利用して、入力ビームの第
２の部分を反射し、検出出力領域に送るための本発明に
よる回折光学装置（ＤＯＡ）の断面図である。
２の部分を反射し、検出出力領域に送るための本発明に
よる回折光学装置（ＤＯＡ）の断面図である。
【図２】並列チャネル光学アレイ及び基板を示す図１の
媒体の平面断面図である。
媒体の平面断面図である。
【図３】ＤＯＡのアレイが設けられ、各ＤＯＡがアレイ
の独立したチャネルに対応している図２の媒体の平面断
面図である。
の独立したチャネルに対応している図２の媒体の平面断
面図である。
【図４】アレイの全チャネルに対応する単一ＤＯＡが設
けられた、図２の媒体の平面断面図である。
けられた、図２の媒体の平面断面図である。
【図５】図１のＤＯＡと媒体の間における平行シフトに
関する検出器の許容公差内にある回折部分の断面画像を
示す図である。
関する検出器の許容公差内にある回折部分の断面画像を
示す図である。
【図６】ＡとＢとＣは、図１のＤＯＡと媒体の間におけ
る直交シフトに関する検出器の許容公差内にある回折部
分の断面画像を示す図である。
る直交シフトに関する検出器の許容公差内にある回折部
分の断面画像を示す図である。
【図７】スパイラル構成をなす図１の視準ビーム入力領
域を示す図である。
域を示す図である。
【図８】図７の視準ビーム入力領域に関する検出リング
形状パターンを示す図である。
形状パターンを示す図である。
【図９】ＣＧＨの回折特性を備えるものとして視準ビー
ム入力領域を示す図１のＤＯＡの断面図である。
ム入力領域を示す図１のＤＯＡの断面図である。
【図１０】Ａは、２つの周期が周期毎に８つの個別的な
深さを備える図９の１次元のＣＧＨの断面図である。Ｂ
は、Ａの１次元のＣＧＨの一部に関する平面図である。
深さを備える図９の１次元のＣＧＨの断面図である。Ｂ
は、Ａの１次元のＣＧＨの一部に関する平面図である。
【図１１】一連のリング形状パターンを備え、図９の１
次元のＣＧＨに関する検出された光パワー出力パターン
を示す図である。
次元のＣＧＨに関する検出された光パワー出力パターン
を示す図である。
【図１２】３つのターゲット伝送における図１１の１次
元のＣＧＨの光パワー出力に関するシミュレーション・
データを示す図である。
元のＣＧＨの光パワー出力に関するシミュレーション・
データを示す図である。
【図１３】第２の実施態様による図９の２次元のＣＧＨ
の平面図である。
の平面図である。
【図１４】２組の交差する一連のリング形状パターンを
備え、図９の２次元のＣＧＨの検出された光パワー出力
パターンを示す図である。
備え、図９の２次元のＣＧＨの検出された光パワー出力
パターンを示す図である。
【図１５】グレーティングの回折特性として視準ビーム
入力領域を示す図１のＤＯＡの断面図である。
入力領域を示す図１のＤＯＡの断面図である。
【図１６】並列チャネル光学アレイ内の各レーザ・ダイ
オードに対する入力電流を調整するための図１の検出及
びフィードバック・システムの接続を示すブロック図で
ある。
オードに対する入力電流を調整するための図１の検出及
びフィードバック・システムの接続を示すブロック図で
ある。
【図１７】並列チャネル光学アレイ内の各レーザ・ダイ
オードに関する最適パワー・レベルを維持するためのプ
ロセス流れ図である。
オードに関する最適パワー・レベルを維持するためのプ
ロセス流れ図である。
１０ 光学装置 １６ 第１の反射領域 ２８ 検出器 ３０ フィードバック・システム ４４ 並列チャネル光学アレイ ６４ ＣＧＨ ７０ 表面深さ ８０ グレーティング ９２ センサ ９４ メモリ装置
フロントページの続き (71)出願人 399117121 395 Ｐａｇｅ Ｍｉｌｌ Ｒｏａｄ Ｐ ａｌｏ Ａｌｔｏ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ Ｕ．Ｓ．Ａ. (72)発明者 ミュンギー・リー アメリカ合衆国カリフォルニア州95138, サンノゼ，キラーニー 5812 (72)発明者 ジェイムス・ジェイ・ダッドリー アメリカ合衆国カリフォルニア州94086, サニーベール，ノバト・アベニュー 478 (72)発明者 ステファノ・ジー・セリソッド アメリカ合衆国カリフォルニア州95112, サンノゼ，ノース・ファースト・ストリー ト 1700 (72)発明者 クレイグ・ティ・カミングス アメリカ合衆国カリフォルニア州95014, カッパーティーノ，バックスレイ・コート 22034 (72)発明者 ユ−チュン・チャン アメリカ合衆国カリフォルニア州95054, サンタ・クララ，ナントゥケット 1850 (72)発明者 イェ・クリスティン・チェン アメリカ合衆国カリフォルニア州95120, サンノゼ，クレイウッド・ウェイ 6979 (72)発明者 クリストファー・エル・コールマン アメリカ合衆国カリフォルニア州95054, サンタ・クララ，アグニュー・ロード 2200，＃209 (72)発明者 ロナルド・カネシロ アメリカ合衆国カリフォルニア州94040, マウンテン・ビュー，メドウ・レーン 1572 Ｆターム(参考） 5F073 AB04 AB17 AB21 AB25 BA02 FA30 GA12 GA37
Claims (10)
- 【請求項１】 基板と、 該基板上に製作され、入力ビームを放出するための光送
信器をそれぞれ含む複数の独立したチャネルを有する並
列チャネル光学アレイと、 検出器のそれぞれが前記入力ビームの１つに対して専用
である該検出器のアレイと、 前記入力ビームが入射するように配置され、前記入力ビ
ームに対して専用である前記検出器への前記入力ビーム
のそれぞれの一部の回折を誘発する光学特性を有してお
り、前記検出器が動作して前記入力ビームの前記回折し
た部分に応じた第１のフィードバック信号が発生するよ
うにする光学装置と、 該第１のフィードバック信号に応答して、前記入力ビー
ムを個別に調整できるようになっているフィードバック
・システムとを含んでなることを特徴とする光学モニタ
・システム。 - 【請求項２】 前記並列チャネル光学アレイの前記チャ
ネルの特定の１つにそれぞれ対応する入力表面であっ
て、専用の前記検出器に対する前記入力ビームの前記一
部を回折するように構成された複数の個別的な入力表面
を、前記光学装置が有することを特徴とする請求項１に
記載の光学モニタ・システム。 - 【請求項３】 前記並列チャネル光学アレイの前記チャ
ネルの全てに対応し、前記入力ビームの全てについてそ
の一部を回折させるように構成された単一の入力表面
を、前記光学装置が有することを特徴とする請求項１に
記載の光学モニタ・システム。 - 【請求項４】 前記光学装置がコンピュータによって発
生されるホログラム（ＣＧＨ）と体積ホログラムとグレ
ーティングとからなる１つによる前記光学特性を含み、
前記光学特性が前記入力ビームの第１の部分を通過させ
て第２の部分を回折させるように構成され、前記第１の
部分がデータ伝送のための第１のターゲット回折次数に
対応し、前記第２の部分がモニタのための第２のターゲ
ット回折次数に対応することを特徴とする請求項１から
３のいずれかに記載の光学モニタ・システム。 - 【請求項５】 前記第１のターゲット回折次数が０次の
回折次数であり、前記第２のターゲット回折次数が９次
の回折次数であることを特徴とする請求項４に記載の光
学モニタ・システム。 - 【請求項６】 前記ＣＧＨが１次元のＣＧＨか２次元の
ＣＧＨかのどちらかであり、前記１次元のＣＧＨが１つ
の軸に沿った周期毎に少なくとも８つの個別的な表面深
さを有し、前記２次元のＣＧＨが２つの軸に沿った周期
毎に少なくとも８つの個別的な表面深さを有することを
特徴とする請求項４に記載の光学モニタ・システム。 - 【請求項７】 前記第２の部分が、前記検出器に対して
反射されるように配置された第１の反射領域をさらに含
んでいることを特徴とする請求項１から６のいずれかに
記載の光学モニタ・システム。 - 【請求項８】 前記フィードバック・システムが、 第２のフィードバック信号である露光データを取得する
ためのセンサと、 前記光送信器のそれぞれに対するターゲット・パワー・
レベル情報を含む特性評価データを、前記露光データの
ために提供するためのメモリ装置と、 前記ターゲット・パワー・レベル情報と前記第２のフィ
ードバック信号との差に応じて、前記入力ビームを調整
するための修正機構とをさらに含んでいることを特徴と
する請求項１から７のいずれかに記載の光学モニタ・シ
ステム。 - 【請求項９】 前記露光データが温度データを含んでい
ることを特徴とする請求項８に記載の光学モニタ・シス
テム。 - 【請求項１０】 前記検出器及び前記フィードバック・
システムが単一の基板部材上に集積化されていることを
特徴とする請求項１に記載の光学モニタ・システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/738417 | 2000-12-15 | ||
| US09/738,417 US6526076B2 (en) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | Integrated parallel channel optical monitoring for parallel optics transmitter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002232074A true JP2002232074A (ja) | 2002-08-16 |
| JP3709372B2 JP3709372B2 (ja) | 2005-10-26 |
Family
ID=24967921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001381637A Expired - Fee Related JP3709372B2 (ja) | 2000-12-15 | 2001-12-14 | 光学モニタ・システム |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6526076B2 (ja) |
| JP (1) | JP3709372B2 (ja) |
| KR (1) | KR100833449B1 (ja) |
| DE (1) | DE10161308B8 (ja) |
| GB (1) | GB2374142B (ja) |
| TW (1) | TW543253B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005229112A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Agilent Technol Inc | 光ナビゲーションにおける開ループレーザパワー制御 |
| JP2010118433A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学モジュールとその制御方法 |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE60016170D1 (de) | 1999-01-08 | 2004-12-30 | Ibsen Photonics As Farum | Spektrometer |
| US7149430B2 (en) * | 2001-02-05 | 2006-12-12 | Finsiar Corporation | Optoelectronic transceiver having dual access to onboard diagnostics |
| US7346278B2 (en) * | 2001-02-05 | 2008-03-18 | Finisar Corporation | Analog to digital signal conditioning in optoelectronic transceivers |
| US7079775B2 (en) * | 2001-02-05 | 2006-07-18 | Finisar Corporation | Integrated memory mapped controller circuit for fiber optics transceiver |
| US20040197101A1 (en) * | 2001-02-05 | 2004-10-07 | Sasser Gary D. | Optical transceiver module with host accessible on-board diagnostics |
| US7302186B2 (en) | 2001-02-05 | 2007-11-27 | Finisar Corporation | Optical transceiver and host adapter with memory mapped monitoring circuitry |
| US6978062B2 (en) | 2001-02-21 | 2005-12-20 | Ibsen Photonics A/S | Wavelength division multiplexed device |
| US6842239B2 (en) | 2001-08-10 | 2005-01-11 | Ibsen Photonics A/S | Alignment of multi-channel diffractive WDM device |
| US7085492B2 (en) | 2001-08-27 | 2006-08-01 | Ibsen Photonics A/S | Wavelength division multiplexed device |
| US6975642B2 (en) | 2001-09-17 | 2005-12-13 | Finisar Corporation | Optoelectronic device capable of participating in in-band traffic |
| JP2003152284A (ja) * | 2001-11-14 | 2003-05-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 発光デバイスおよび光伝送装置 |
| US6862302B2 (en) * | 2002-02-12 | 2005-03-01 | Finisar Corporation | Maintaining desirable performance of optical emitters over temperature variations |
| US6947455B2 (en) * | 2002-02-12 | 2005-09-20 | Finisar Corporation | Maintaining desirable performance of optical emitters at extreme temperatures |
| US7486894B2 (en) * | 2002-06-25 | 2009-02-03 | Finisar Corporation | Transceiver module and integrated circuit with dual eye openers |
| US7809275B2 (en) | 2002-06-25 | 2010-10-05 | Finisar Corporation | XFP transceiver with 8.5G CDR bypass |
| US7664401B2 (en) * | 2002-06-25 | 2010-02-16 | Finisar Corporation | Apparatus, system and methods for modifying operating characteristics of optoelectronic devices |
| US7437079B1 (en) | 2002-06-25 | 2008-10-14 | Finisar Corporation | Automatic selection of data rate for optoelectronic devices |
| US7561855B2 (en) | 2002-06-25 | 2009-07-14 | Finisar Corporation | Transceiver module and integrated circuit with clock and data recovery clock diplexing |
| US7477847B2 (en) * | 2002-09-13 | 2009-01-13 | Finisar Corporation | Optical and electrical channel feedback in optical transceiver module |
| US6892007B2 (en) | 2002-09-16 | 2005-05-10 | Agilent Technologies, Inc. | Monitoring optical transmitter signals |
| US7230961B2 (en) | 2002-11-08 | 2007-06-12 | Finisar Corporation | Temperature and jitter compensation controller circuit and method for fiber optics device |
| US7317743B2 (en) * | 2002-11-08 | 2008-01-08 | Finisar Corporation | Temperature and jitter compensation controller circuit and method for fiber optics device |
| US6807336B2 (en) * | 2002-11-12 | 2004-10-19 | Agilent Technologies, Inc. | Optical lenses |
| US20040263981A1 (en) * | 2003-06-27 | 2004-12-30 | Coleman Christopher L. | Diffractive optical element with anti-reflection coating |
| US7426586B2 (en) * | 2003-12-15 | 2008-09-16 | Finisar Corporation | Configurable input/output terminals |
| US7630631B2 (en) * | 2004-04-14 | 2009-12-08 | Finisar Corporation | Out-of-band data communication between network transceivers |
| US7447438B2 (en) * | 2004-07-02 | 2008-11-04 | Finisar Corporation | Calibration of digital diagnostics information in an optical transceiver prior to reporting to host |
| US8639122B2 (en) * | 2004-07-02 | 2014-01-28 | Finisar Corporation | Filtering digital diagnostics information in an optical transceiver prior to reporting to host |
| US7532820B2 (en) | 2004-10-29 | 2009-05-12 | Finisar Corporation | Systems and methods for providing diagnostic information using EDC transceivers |
| WO2007015402A1 (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ディスプレイ装置及び照射装置 |
| US7609370B2 (en) | 2007-01-23 | 2009-10-27 | Chemimage Corporation | Single detector based dual excitation wavelength spectra display |
| US7889993B2 (en) * | 2007-08-17 | 2011-02-15 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd | Optical transceiver module having a front facet reflector and methods for making and using a front facet reflector |
| FR2932562B1 (fr) * | 2008-06-12 | 2010-08-27 | Univ Pasteur | Dispositif de projection de lumiere structuree au moyen de vcsel et de composants optiques diffractifs de phase. |
| US8159956B2 (en) | 2008-07-01 | 2012-04-17 | Finisar Corporation | Diagnostics for serial communication busses |
| US8000358B2 (en) * | 2009-04-20 | 2011-08-16 | Emcore Corporation | Power monitoring system for a parallel optical transmitter |
| KR101031087B1 (ko) * | 2009-07-23 | 2011-04-25 | 주식회사 와이텔포토닉스 | 파장변환 레이저 시스템 |
| US8483571B2 (en) | 2010-06-30 | 2013-07-09 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical beam splitter for use in an optoelectronic module, and a method for performing optical beam splitting in an optoelectronic module |
| US9793678B2 (en) * | 2014-08-06 | 2017-10-17 | The Boeing Company | Energy ratio sensor for laser resonator system |
| RU2712939C2 (ru) * | 2015-04-10 | 2020-02-03 | Конинклейке Филипс Н.В. | Безопасный лазерный прибор для применений оптического зондирования |
| US10451889B2 (en) * | 2015-10-22 | 2019-10-22 | Avago Technologies International Sales Pte. Limited | Optical communications module having an optics system that improves link performance, and methods |
| CN105572815B (zh) * | 2015-12-21 | 2018-02-23 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 有源光学转接板和光互连模块 |
| US11579290B2 (en) | 2019-06-05 | 2023-02-14 | Stmicroelectronics (Research & Development) Limited | LIDAR system utilizing multiple networked LIDAR integrated circuits |
| US11728621B2 (en) | 2019-06-05 | 2023-08-15 | Stmicroelectronics (Research & Development) Limited | Voltage controlled steered VCSEL driver |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE8401773L (sv) * | 1984-03-30 | 1985-10-01 | Boh Optical Ab | Frekvens- och effektreglering hos laserdioder |
| US5809050A (en) | 1996-01-25 | 1998-09-15 | Hewlett-Packard Company | Integrated controlled intensity laser-based light source using diffraction, scattering and transmission |
| US5835514A (en) * | 1996-01-25 | 1998-11-10 | Hewlett-Packard Company | Laser-based controlled-intensity light source using reflection from a convex surface and method of making same |
| JPH1051067A (ja) * | 1996-04-29 | 1998-02-20 | Motorola Inc | 垂直空洞面放出レーザ用反射型パワ−監視システム |
| US5710753A (en) * | 1996-06-28 | 1998-01-20 | Eastman Kodak Company | Multi-element grating beam splitter using double refraction to reduce optical feedback and associated light source noise |
| CA2230811A1 (en) * | 1996-07-16 | 1998-01-22 | Motorola, Inc. | Device and method for optical package for providing feedback |
| US5930276A (en) * | 1997-12-29 | 1999-07-27 | Motrola, Inc. | Method and device for providing temperature-stable optical feedback for optical packages |
| JP3197869B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2001-08-13 | アンリツ株式会社 | 波長可変レーザ光源装置 |
| US6442182B1 (en) * | 1999-02-12 | 2002-08-27 | Lambda Physik Ag | Device for on-line control of output power of vacuum-UV laser |
| US6097860A (en) * | 1998-06-05 | 2000-08-01 | Astarte Fiber Networks, Inc. | Compact optical matrix switch with fixed location fibers |
| EP1047970B1 (en) * | 1998-08-31 | 2014-10-29 | FLIR Systems Trading Belgium BVBA | Diffractive vertical cavity surface emitting laser power monitor and system |
-
2000
- 2000-12-15 US US09/738,417 patent/US6526076B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-11-16 TW TW090128522A patent/TW543253B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-12-13 DE DE10161308A patent/DE10161308B8/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 GB GB0129995A patent/GB2374142B/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 JP JP2001381637A patent/JP3709372B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 KR KR1020010079344A patent/KR100833449B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005229112A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Agilent Technol Inc | 光ナビゲーションにおける開ループレーザパワー制御 |
| JP2010118433A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学モジュールとその制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2374142B (en) | 2004-09-08 |
| GB2374142A (en) | 2002-10-09 |
| KR100833449B1 (ko) | 2008-05-29 |
| DE10161308A1 (de) | 2002-07-18 |
| US20020075911A1 (en) | 2002-06-20 |
| US6526076B2 (en) | 2003-02-25 |
| DE10161308B8 (de) | 2011-04-07 |
| KR20020048300A (ko) | 2002-06-22 |
| GB0129995D0 (en) | 2002-02-06 |
| DE10161308B4 (de) | 2010-12-23 |
| JP3709372B2 (ja) | 2005-10-26 |
| TW543253B (en) | 2003-07-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002232074A (ja) | 光学モニタ・システム | |
| EP1133034B1 (en) | Wavelength stabilized laser module | |
| JP3979703B2 (ja) | 波長分割多重光伝送システム用の波長監視制御装置 | |
| US6406196B1 (en) | Optical device and method for producing the same | |
| US6636540B2 (en) | Optical turn for monitoring light from a laser | |
| EP1047970B1 (en) | Diffractive vertical cavity surface emitting laser power monitor and system | |
| US8000358B2 (en) | Power monitoring system for a parallel optical transmitter | |
| US7401986B2 (en) | Method and apparatus to generate and monitor optical signals and control power levels thereof in a planar lightwave circuit | |
| JP2006060204A (ja) | 自己監視式発光装置 | |
| US6711188B2 (en) | Wavelength stabilizing unit and wavelength stabilized laser module | |
| US9325154B2 (en) | Wavelength-tunable laser apparatus having wavelength measuring function | |
| US20040264856A1 (en) | Micro-module with micro-lens | |
| US6892007B2 (en) | Monitoring optical transmitter signals | |
| US7496120B2 (en) | Compact laser output monitoring using reflection and diffraction | |
| US10007072B1 (en) | Optical coupling system having a perturbed curved optical surface that reduces back reflection and improves mode matching in forward optical coupling | |
| EP1473580B1 (en) | Filterless parallel WDM multiplexer | |
| WO2005006401A2 (en) | Optical sub-assembly laser mount having integrated microlens | |
| KR20040051319A (ko) | 파장가변 반도체 레이저 다이오드 | |
| WO1999005758A1 (en) | Semiconductor laser power monitoring arrangements and method | |
| JP4477151B2 (ja) | 一体化レーザ・ベース光源 | |
| KR100334791B1 (ko) | 파장 분할 다중 시스템을 위한 광검출기 및 그 제작방법 | |
| CN111708174A (zh) | 分光透镜组及分光探测装置 | |
| CN117792507A (zh) | 一种波长可调的调制器 | |
| WO2006103512A1 (en) | Optical data tranceiver | |
| JP2004207911A (ja) | 光学ユニット、光源制御装置、光強度制御装置、光通信装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041101 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041105 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050207 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050802 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050808 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3709372 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080812 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090812 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090812 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100812 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110812 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110812 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120812 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130812 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |