JP2002228954A - 光スイッチ - Google Patents

光スイッチ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザー加熱装置により液体を加熱して液体
を移動させることによって光信号の進行方向を調節しう
る光スイッチを提供する。 【解決手段】 基板１０と、光信号が伝送されるように
基板にマトリックス状に配列されて少なくとも１つ以上
の交点１５ａを有する光導波路１５と、光導波路の交点
に配置され、内部に液体が入っているセル２５と、セル
毎に対応するレーザー３０が備えられて液体を選択的に
加熱しうるレーザー加熱装置４０とを含むことを特徴と
する。これにより、光スイッチは製作が容易でレーザー
加熱装置を入替えて用いられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光スイッチに係り、
特にレーザー加熱装置により液体を加熱/移動させるこ
とによって光信号の進行方向を調節しうる光スイッチに
関する。
【０００２】
【従来の技術】光スイッチは光通信システム、特に波長
分割多重化方式を採用した光通信システムにおいて多様
なチャンネルの光信号のうち特定の光信号を所望の方向
のチャンネルに伝送する時に使われる。このような光通
信構造として、相互垂直に交差する光導波路と光導波路
の交点に光導波路と一定の角度で液体を入れられるセル
が備えられているものがある。ここで、スイッチング動
作のためにセル内部の液体に気泡を発生させる方法と液
体と空気との境界面で温度差による表面張力変化を用い
てセル内の液体を移動させる方法がある。
【０００３】図１を参照すれば、従来の光スイッチは、
基板１００上に光導波路１０３がＮ×Ｍマトリックス状
に交差配列され、この光導波路１０３の交点１０３ａに
は内部に液体１０５が入っているセル１１０が対角線方
向に設けられている。そして、前記液体１０５を加熱す
るためのヒータ１１５が前記基板１００上に光導波路１
０３と共に設けられている。ここで、前記セル１１０は
一側に前記液体１０５が貯蔵されるヘッド部１１０ａ
と、前記光導波路の交点１０３ａに配置されるテール部
１１０ｂよりなっている。
【０００４】前述したように構成された光スイッチのス
イッチング動作を図２に基づいて説明する。まず、光信
号を透過させようとする場合、前記ヒータ１１５により
前記液体１０５を加熱する。そうすると、液体と空気と
の境界面の表面張力が減少して液体１０５が前記セルの
テール部１１０ｂ方向に移動する。このような光スイッ
チはマイクロ装置であるために前記液体に主に作用する
力は重力でなく表面張力であり、表面張力は液体の動き
に非常に大きな影響を与える。また、表面張力は温度と
電場に反比例する特徴があるので液体に熱を加えると表
面張力が小さくなり、液体は表面張力が小さくなる方向
に移動する。
【０００５】このようにして前記液体１０５がセルのテ
ール部１１０ｂ側に移動すれば光信号がこの液体１０５
を透過して直進する。ここで、前記液体１０５は前記光
導波路１０３、１０３ａと屈折率が同一か類似している
ものを用いて光信号が液体に出合った時、ほとんど反射
されず透過可能にする。
【０００６】一方、光信号を反射させるためには前記ヒ
ータ１１５による加熱を中断して前記液体１０５と空気
との表面張力を増加させることによって液体１０５が前
記セルのヘッド部１１０ａ方向に移動させる。前記液体
１０５が前記テール部１１０ｂからヘッド部１１０ａ側
に移動した後、光信号が入射された時、前記セル１１０
により全反射される。ここで、前記セル１１０内の気体
は前記光導波路１０３より小さな屈折率のものを選択し
て一定した角度以上の光信号だけ入射されると全反射可
能にしうる。
【０００７】例えば、３行２列(A)、２行３列(B)のセル
では液体１０５を加熱し、液体をセルのテール部１１０
bに移動させることによって光信号を透過させ、残りの
セルでは加熱しない状態で液体１０５をセルのヘッド部
１１０aに位置させることによって、光信号を全反射さ
せて所望の経路に伝送しうる。そうすると、光信号が３
行１列のセルに向けて入射(INPUT)されて全反射された
後、３行２列(A)のセルを通過するなど所定の透過また
は全反射を経て所望のチャンネルに出力(OUTPUT)するこ
とになる。
【０００８】前述したように光信号を透過させたり、全
反射させることによって所望の方向のチャンネルに光信
号を伝送しうる。ところが前記光スイッチは液体を加熱
するためにヒータ１１５を光導波路の形成された基板に
前記セル１１０と共に製作するので、光スイッチの動作
中に何れか１つのヒータが故障した場合に、その一部に
よって光スイッチ全体を使用できなくなる非経済的な問
題が生じる。前記液体を加熱する手段としてヒータ以外
に電圧を印加して加熱する方法があるが、これも同一な
問題点を内包している。また、光スイッチの構造が簡単
ではなく、N×Mマトリックス状に構成されるために光導
波路、ヒータ及びセルを基板上に共に設置するためには
非常に精密で複雑な製作過程が要求されるので生産性に
劣る短所がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
解決するために案出されたものであって、レーザー加熱
装置を用いて液体を加熱し、レーザー加熱装置を光導波
路が備えられた基板と分離可能に別に設けることによっ
て製作が容易で何れか１つのレーザーが故障した場合に
レーザー加熱装置のみを入替えて用いられるようにした
光スイッチを提供することにその目的がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光スイッチ
は前記目的を達成するために、基板と、光信号が伝送さ
れるように前記基板にマトリックス状に配列されて少な
くとも１つ以上の交点を有する光導波路と、前記光導波
路の交点に配置され、内部に液体が入っているセルと、
前記セル毎に対応するレーザーが備えられて前記液体を
選択的に加熱しうるレーザー加熱装置とを含むことを特
徴とする。
【００１１】また、前記セルとこれに対応するレーザー
との間にマイクロレンズアレイが備えられていて前記レ
ーザーからの出射光を前記セルに集光可能となったこと
を特徴とする。
【００１２】また、前記レーザーは、前記基板と分離可
能に設けられることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】図３を参照すれば、本発明に係る
光スイッチは基板１０と、光信号が伝送されるようにマ
トリックス状に配列され、交点１５ａを有する光導波路
１５と、前記光導波路１５の交点１５ａに配置され、内
部に液体２０が入っているセル２５と、前記セル２５毎
に対応するレーザー３０が備えられたレーザー加熱装置
４０とを含む。
【００１４】ここで、前記セル２５は図４に示されたよ
うに前記液体２０が加熱されていない状態で液体２０が
貯蔵されるヘッド部２５ａと、前記交点１５ａに対角線
方向に位置されて光信号を全反射または透過させるテー
ル部２５ｂよりなる。例えば、前記ヘッド部２５ａにの
み液体２０が入っており、テール部２５ｂ側には液体２
０が入っていない場合には光信号が前記テール部２５ｂ
側に入射されていてＤ方向に全反射されるか、前記テー
ル部２５ｂ側に液体２０が入っている時、光信号が入射
されると前記セル２５を透過してＣ方向に直進する。
【００１５】一方、前記レーザー加熱装置は、図３及び
図５に示されたように、前記セル２５毎に対応するレー
ザー３０を備え、このレーザー３０は各セル２５に集束
されようにマトリックス配列構造としてそれぞれの対応
セル２５に対向して配置される。ここで、前記レーザー
３０は、例えば半導体レーザーとして表面放出半導体レ
ーザーまたは端放出半導体レーザーを使用することが望
ましい。表面放出半導体レーザーは製作が容易で加熱効
率も優れるために光伝送速度の側面でも有利である。
【００１６】また、前記レーザー３０とこれに対応する
セル２５との間に前記レーザー３０から出射された光を
集光させるためのマイクロレンズアレイ４５をさらに備
えられる。前記マイクロレンズアレイ４５はMEMS(Micro
Electric Mechanical System)工程によって製作されて
前記レーザー３０の集光率を高めることによってエネル
ギーの損失を減らしうる。
【００１７】前述したように構成された光スイッチを用
いて光信号を伝送するにあたって、光信号を伝送する光
導波路の経路を決定して全反射または透過させるセルを
決定した後、光信号を透過させようとするセルに対して
はそのセルに対向して位置するレーザー３０により加熱
する。そうすると、セル２５内に入っている液体２０の
表面張力が低下して液体がセルのテール部２５ｂ側に移
動する。一方、前記レーザー３０をターンオフし、液体
２０がヘッド部２５ａ側に移動すれば、光信号の前記セ
ル２５への入射時、全反射される。ここで、前記液体２
０は前記光導波路１５と屈折率が同一か類似しなければ
ならない。また、前記セル２５内の気体は前記光導波路
１５より小さな屈折率を有するものを選択し、全反射の
ための臨界角を考慮して光信号の入射角を決定する。
【００１８】一例として、エチルアルコールは屈折率が
約１.３、比熱ｈは２.４１(J/g℃)、比重は０.８(kg/l)
である。そして、レーザーを表面放出レーザーとする場
合にパワーが約２mWであると仮定し、セル体積が２０μ
m×１０μm×５０μmとすれば、この液体の重さは１０
×１０-12×０.８=(８×１０-9g)である。このような重
さを有するエチルアルコールの表面張力を十分に弱化さ
せるために沸点７８.３℃まで温度を高めようとすれ
ば、次のようなエネルギーＥが必要である。
【００１９】
【数１】
【００２０】もし、出力パワーが約２mWの表面放出半導
体レーザーの出力をマイクロレンズを用いて焦点を合せ
た時、ビームの直径が１０μmであれば前記エネルギー
を得るのに必要な時間(t)は次の通りである。
【００２１】
【数２】
【００２２】ここで、エチルアルコールを例として挙げ
たが、これは一例に過ぎず、前記光導波路１５の屈折率
によって液体を多様に選択して使用可能であることはも
ちろんであり、前記セル２５内の空間を占める気体は前
記光導波路１５より小さな屈折率を有せなければならな
い。そして、光信号が全反射されうるように全反射のた
めの臨界角を考慮して光信号を入力しなければならな
い。
【００２３】
【発明の効果】前述したように本発明に係る光スイッチ
はレーザー加熱装置を用いて液体を移動させることによ
って光信号の透過または全反射を選択可能にして光信号
を所望のチャンネルに伝送しうる。ここで、レーザー加
熱装置を光導波路が備えられた基板と別に分離して提供
するので製作工程が単純化され、レーザー加熱装置のう
ち一部が故障した場合、光スイッチ全体の入替えが不要
でレーザー加熱装置のみを入替えれば良いので装置のリ
サイクル面でも非常に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来のマトリックス状に配列された光スイッ
チの斜視図である。
【図２】 従来の光スイッチの動作を説明するための平
面図である。
【図３】 本発明に係る光スイッチの概略的な切開斜視
図である。
【図４】 本発明に係る光スイッチの動作を説明するた
めの概略的な図面である。
【図５】 本発明に係る光スイッチの断面図である。
【符号の説明】
１０ 基板 １５ａ 交点 １５ 光導波路 ２０ 液体 ２５ セル ３０ レーザー ４０ レーザー加熱装置

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板と、 光信号が伝送されるように前記基板にマトリックス状に
    配列されて少なくとも１つ以上の交点を有する光導波路
    と、 前記光導波路の交点に配置され、内部に液体が入ってい
    るセルと、 前記セル毎に対応するレーザーが備えられて前記液体を
    選択的に加熱しうるレーザー加熱装置とを含むことを特
    徴とする光スイッチ。
  2. 【請求項２】 前記セルとこれに対応するレーザーとの
    間にマイクロレンズアレイが備えられていて前記レーザ
    ーからの出射光を前記セルに集光可能となったことを特
    徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
  3. 【請求項３】 前記レーザーは、 表面放出半導体レーザーであることを特徴とする請求項
    １または２に記載の光スイッチ。
  4. 【請求項４】 前記レーザー加熱装置は、 前記基板と分離可能に設けられることを特徴とする請求
    項１または２に記載の光スイッチ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005024544A (ja) * 2003-06-13 2005-01-27 Canon Inc 流体制御機構
US7444817B2 (en) 2003-06-13 2008-11-04 Canon Kabushiki Kaisha Optical micromotor, micropump using same and microvalve using same
US7530795B2 (en) 2003-06-13 2009-05-12 Canon Kabushiki Kaisha Fluid control mechanism
JP2013071191A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Sekisui Chem Co Ltd マイクロポンプ、マイクロポンプシステム及びマイクロ流体デバイス
JP2019530244A (ja) * 2016-09-26 2019-10-17 ビー．ジー． ネゲヴ テクノロジーズ アンド アプリケーションズ リミテッド、アット ベン−グリオン ユニヴァーシティ 非追尾型太陽エネルギーコレクター

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6674933B2 (en) * 2001-09-27 2004-01-06 Agilent Technologies, Inc. Optical switch controlled by selective activation and deactivation of an optical source
US6865208B1 (en) * 2002-06-10 2005-03-08 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Ultrafast laser beam switching and pulse train generation by using coupled vertical-cavity, surface-emitting lasers (VCSELS)
US8086080B2 (en) * 2007-07-23 2011-12-27 Nistica, Inc. Multiple function digital optical switch
CN101825743B (zh) * 2010-03-19 2011-09-14 西北工业大学 流体光波导结构
US8528582B2 (en) 2011-04-28 2013-09-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method of changing fluid flow by using an optical beam

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3085469A (en) * 1959-10-12 1963-04-16 Ncr Co Optical information-processing apparatus and method
US3529156A (en) * 1966-06-13 1970-09-15 Westinghouse Electric Corp Hysteretic cholesteric liquid crystalline compositions and recording devices utilizing such compositions
US4848879A (en) * 1982-10-09 1989-07-18 Canon Kabushiki Kaisha Light modulating device
JPH05113543A (ja) * 1991-10-21 1993-05-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マトリクス光スイツチ
JPH05134195A (ja) * 1991-11-08 1993-05-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マトリクス光スイツチ
JPH063543A (ja) * 1992-06-24 1994-01-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マトリクス光導波路スイッチ
JPH0675179A (ja) * 1992-06-29 1994-03-18 Fujikura Ltd マトリックス光スイッチ
JPH08201856A (ja) 1995-01-24 1996-08-09 Hitachi Cable Ltd 導波路型光スイッチおよびその製造方法
JPH10142532A (ja) * 1996-11-13 1998-05-29 Hitachi Ltd マトリックス光導波路スイッチおよび光路切替装置
JP3077758B1 (ja) * 1999-05-11 2000-08-14 日本電信電話株式会社 光スイッチ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005024544A (ja) * 2003-06-13 2005-01-27 Canon Inc 流体制御機構
US7444817B2 (en) 2003-06-13 2008-11-04 Canon Kabushiki Kaisha Optical micromotor, micropump using same and microvalve using same
US7530795B2 (en) 2003-06-13 2009-05-12 Canon Kabushiki Kaisha Fluid control mechanism
JP2013071191A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Sekisui Chem Co Ltd マイクロポンプ、マイクロポンプシステム及びマイクロ流体デバイス
JP2019530244A (ja) * 2016-09-26 2019-10-17 ビー．ジー． ネゲヴ テクノロジーズ アンド アプリケーションズ リミテッド、アット ベン−グリオン ユニヴァーシティ 非追尾型太陽エネルギーコレクター

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Publication number Publication date
CN1366208A (zh) 2002-08-28
US20020122618A1 (en) 2002-09-05
KR20020061703A (ko) 2002-07-25
CN1157618C (zh) 2004-07-14
US6721472B2 (en) 2004-04-13
JP3537787B2 (ja) 2004-06-14
KR100370221B1 (ko) 2003-01-30

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