JP2002227920A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
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- JP2002227920A JP2002227920A JP2001027269A JP2001027269A JP2002227920A JP 2002227920 A JP2002227920 A JP 2002227920A JP 2001027269 A JP2001027269 A JP 2001027269A JP 2001027269 A JP2001027269 A JP 2001027269A JP 2002227920 A JP2002227920 A JP 2002227920A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の課題は、除振台の上下方向の除振制
御をより簡単にできる除振装置を提供することである。 【解決手段】 除振台と基台のそれぞれに上下方向の曲
げモーメントを受ける下板ばね部、上下方向の曲げモー
メント受ける上板ばね部を設け、これら上板ばね部と下
板ばね部をは板ばね固定部材により上下に所定の間隔を
保つように固定し、除振台が基台の上方で、上下方向の
みの自由度を持つように支持する。
御をより簡単にできる除振装置を提供することである。 【解決手段】 除振台と基台のそれぞれに上下方向の曲
げモーメントを受ける下板ばね部、上下方向の曲げモー
メント受ける上板ばね部を設け、これら上板ばね部と下
板ばね部をは板ばね固定部材により上下に所定の間隔を
保つように固定し、除振台が基台の上方で、上下方向の
みの自由度を持つように支持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部からの振動を
遮断する除振装置に関する。
遮断する除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密機器など精度を要求される分
野において、床振動のような外乱振動の影響を除振対象
に与えないために、除振装置が用いられている。
野において、床振動のような外乱振動の影響を除振対象
に与えないために、除振装置が用いられている。
【０００３】除振装置には、弾性部材により弾性的に支
持された除振台の下部にアクチュエータなどにより駆動
される駆動部を設け、外乱振動により除振台が上下に移
動した場合に、駆動部を逆方向に上下動させ、除振台を
水平に保つアクティブ除振装置があり、除振台を弾性的
に支持する弾性部材としてコイルばね、ゴムなどが用い
られている。
持された除振台の下部にアクチュエータなどにより駆動
される駆動部を設け、外乱振動により除振台が上下に移
動した場合に、駆動部を逆方向に上下動させ、除振台を
水平に保つアクティブ除振装置があり、除振台を弾性的
に支持する弾性部材としてコイルばね、ゴムなどが用い
られている。
【０００４】このアクティブ除振装置の駆動部は上下方
向の振動のみを制御するように設計されており、水平方
向の振動は減衰させない。そのため、コイルばね、ゴム
などの弾性部材で除振台を支持する場合、弾性部材を水
平方向に変位させないためのガイドが設けられている。
向の振動のみを制御するように設計されており、水平方
向の振動は減衰させない。そのため、コイルばね、ゴム
などの弾性部材で除振台を支持する場合、弾性部材を水
平方向に変位させないためのガイドが設けられている。
【０００５】ガイドは弾性部材の内側に配設された棒状
のものや、弾性部材の外周を覆う筒状のものであり、弾
性部材はガイドに沿って上下方向に移動するようになっ
ている。
のものや、弾性部材の外周を覆う筒状のものであり、弾
性部材はガイドに沿って上下方向に移動するようになっ
ている。
【０００６】
【発明の解決しようとする課題】しかしながら、弾性部
材を上下に移動させるためにガイドを用いると、弾性部
材とガイドの間で摩擦が起きるため、駆動部を上下動さ
せる際に摩擦力の影響を考慮しなくてはならなくなり、
制御が複雑になるという問題がある。
材を上下に移動させるためにガイドを用いると、弾性部
材とガイドの間で摩擦が起きるため、駆動部を上下動さ
せる際に摩擦力の影響を考慮しなくてはならなくなり、
制御が複雑になるという問題がある。
【０００７】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であって、除振台の上下方向の除振制御をより簡単にで
きる除振装置を提供することである。
であって、除振台の上下方向の除振制御をより簡単にで
きる除振装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基台（例えば、ベース６）と、前記基台の上方に複数の
支持部材を介して支持される除振台４と、を有する除振
装置１００において、前記支持部材は、一端が前記除振
台に固定され上下方向の曲げモーメントを受ける上板ば
ね部（例えば、上板ばね９１）と、一端が前記基台に固
定され上下方向の曲げモーメントを受ける下板ばね部
（例えば、下板ばね９２）と、前記上板ばね部と前記下
板ばね部が上下に所定の間隔を保つように、前記上板ば
ね部及び前記下板ばね部の他端を固定するとともに、浮
動する板ばね固定部（例えば、板ばね固定板８３）と、
から構成されることを特徴とする。
基台（例えば、ベース６）と、前記基台の上方に複数の
支持部材を介して支持される除振台４と、を有する除振
装置１００において、前記支持部材は、一端が前記除振
台に固定され上下方向の曲げモーメントを受ける上板ば
ね部（例えば、上板ばね９１）と、一端が前記基台に固
定され上下方向の曲げモーメントを受ける下板ばね部
（例えば、下板ばね９２）と、前記上板ばね部と前記下
板ばね部が上下に所定の間隔を保つように、前記上板ば
ね部及び前記下板ばね部の他端を固定するとともに、浮
動する板ばね固定部（例えば、板ばね固定板８３）と、
から構成されることを特徴とする。
【０００９】請求項１記載の発明によれば、除振台と基
台には、それぞれ上下方向の曲げモーメントを受ける下
板ばね部、上下方向の曲げモーメント受ける上板ばね部
が設けられており、これら上板ばね部と下板ばね部は板
ばね固定部により上下に所定の間隔を保つように固定さ
れているため、除振台は基台の上方に上下方向のみの自
由度を持つように支持される。従って、除振台を上下方
向に移動させるためのガイドが不要となり、弾性部材と
ガイドの間の摩擦力を考慮する必要がなくなるため、除
振装置１００の除振制御が単純になる。
台には、それぞれ上下方向の曲げモーメントを受ける下
板ばね部、上下方向の曲げモーメント受ける上板ばね部
が設けられており、これら上板ばね部と下板ばね部は板
ばね固定部により上下に所定の間隔を保つように固定さ
れているため、除振台は基台の上方に上下方向のみの自
由度を持つように支持される。従って、除振台を上下方
向に移動させるためのガイドが不要となり、弾性部材と
ガイドの間の摩擦力を考慮する必要がなくなるため、除
振装置１００の除振制御が単純になる。
【００１０】請求項２記載発明は、請求項１記載の除振
装置において、前記上板ばね部および前記下板ばね部
は、複数の板ばねから構成され、前記板ばね部を構成す
る各板ばねは所定の間隔を開けて上下に平行に配置され
ていること、を特徴とする。
装置において、前記上板ばね部および前記下板ばね部
は、複数の板ばねから構成され、前記板ばね部を構成す
る各板ばねは所定の間隔を開けて上下に平行に配置され
ていること、を特徴とする。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、上板ばね部
および下板ばね部は所定の間隔を開けて上下に平行に取
りつけられた複数の板ばねから構成されるため、板ばね
の剛性が高くなり、除振台を支持する力が十分得られる
とともに、板ばねがねじれにくくなり、左右への揺れが
抑制される。
および下板ばね部は所定の間隔を開けて上下に平行に取
りつけられた複数の板ばねから構成されるため、板ばね
の剛性が高くなり、除振台を支持する力が十分得られる
とともに、板ばねがねじれにくくなり、左右への揺れが
抑制される。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明に係る
除振装置１００の正面図、図２は平面図、図３は断面図
である。図４は本発明の構成をブロック図によって表し
たものである。
面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明に係る
除振装置１００の正面図、図２は平面図、図３は断面図
である。図４は本発明の構成をブロック図によって表し
たものである。
【００１３】始めに、除振装置１００の構造について説
明する。除振装置１００は、主に、測定物取付ステージ
１、測定物取付ステージ１を架設するためのブリッジ
２、検出器取付台３、除振台４、アクチュエータ５、ベ
ース６、ストッパ７、加速度センサ１２、制御装置１
３、アンプ１４などから構成されており、地面に繋がる
土台１０の上面に固定される。この除振装置１００のサ
イズは、幅、奥行きが例えば９５ｍｍ程であり、高さは
例えば７０ｍｍ程とする。
明する。除振装置１００は、主に、測定物取付ステージ
１、測定物取付ステージ１を架設するためのブリッジ
２、検出器取付台３、除振台４、アクチュエータ５、ベ
ース６、ストッパ７、加速度センサ１２、制御装置１
３、アンプ１４などから構成されており、地面に繋がる
土台１０の上面に固定される。この除振装置１００のサ
イズは、幅、奥行きが例えば９５ｍｍ程であり、高さは
例えば７０ｍｍ程とする。
【００１４】測定物を取付ける測定物取付ステージ１
は、門型であるブリッジ２に架設されており、ブリッジ
２にナット１１にて固定される。ブリッジ２は検出器取
付台３の上面、図１における図面前後の両端に固定され
ており、又、検出器取付台３は、例えば平面視略正方形
の板状体であり、除振台４の上面にナット３１にて四方
を固定される。この検出器取付台３には、振動を検出す
る加速度センサ１２が取付けられる。除振台４は、例え
ば平面視略正方形の板状体であり、四方に設けられた駆
動軸５３を介してアクチュエータ５に連結される。除振
台４の図１における図面前後の両端中央には、除振台４
と検出器取付台３の間に下部を挟まれるようにして端子
台４１が配置され、図示しないナットにて除振台４に固
定される。端子台４１の上部片側には、除振台４の外側
に突出するように水平方向に複数のピン４１ａ…が並設
されており、このピン４１ａには、加速度センサ１２が
接続される。
は、門型であるブリッジ２に架設されており、ブリッジ
２にナット１１にて固定される。ブリッジ２は検出器取
付台３の上面、図１における図面前後の両端に固定され
ており、又、検出器取付台３は、例えば平面視略正方形
の板状体であり、除振台４の上面にナット３１にて四方
を固定される。この検出器取付台３には、振動を検出す
る加速度センサ１２が取付けられる。除振台４は、例え
ば平面視略正方形の板状体であり、四方に設けられた駆
動軸５３を介してアクチュエータ５に連結される。除振
台４の図１における図面前後の両端中央には、除振台４
と検出器取付台３の間に下部を挟まれるようにして端子
台４１が配置され、図示しないナットにて除振台４に固
定される。端子台４１の上部片側には、除振台４の外側
に突出するように水平方向に複数のピン４１ａ…が並設
されており、このピン４１ａには、加速度センサ１２が
接続される。
【００１５】アクチュエータ５は、その下部一部分をベ
ース６中に埋設されてナット５６にて固定されており、
除振台４はベース６の上方に上板バネ９１、及び下板バ
ネ９２を介して弾性的に支持されている。ベース６は、
例えば平面視略正方形の板状体であり、図１における図
面左右、端部中央には逆Ｌ字型ストッパ７がナット６１
により固定され、ストッパ７はブリッジ２の半分ほどの
高さまで延びている。
ース６中に埋設されてナット５６にて固定されており、
除振台４はベース６の上方に上板バネ９１、及び下板バ
ネ９２を介して弾性的に支持されている。ベース６は、
例えば平面視略正方形の板状体であり、図１における図
面左右、端部中央には逆Ｌ字型ストッパ７がナット６１
により固定され、ストッパ７はブリッジ２の半分ほどの
高さまで延びている。
【００１６】ベース６の上面、図１における図面前後の
端部中央にはコの字型をした端子台６２が配置され、ナ
ット６３にてベース６に固定される。端子台６２は除振
台４と略同一の高さであり、上部の水平面には上下方向
各々、突出したピンが複数並設されている。
端部中央にはコの字型をした端子台６２が配置され、ナ
ット６３にてベース６に固定される。端子台６２は除振
台４と略同一の高さであり、上部の水平面には上下方向
各々、突出したピンが複数並設されている。
【００１７】ストッパ７は、上板バネ９１、及び下板バ
ネ９２によって弾性支持された除振台４の上方向の変位
を制限するために設けられるものであり、外部から伝わ
る振動がある一定を超えた場合に、上板バネ固定部材８
１（後述）がストッパ７に当接するようになっている。
ネ９２によって弾性支持された除振台４の上方向の変位
を制限するために設けられるものであり、外部から伝わ
る振動がある一定を超えた場合に、上板バネ固定部材８
１（後述）がストッパ７に当接するようになっている。
【００１８】次に、ベース６による除振台４の支持構造
について詳述する。ベース６、及び除振台４には、図１
における図面左右の両端部に、上板バネ固定部材８１と
下板バネ固定部材８２とが設置されている。上板バネ固
定部材８１、及び下板バネ固定部材８２は、ベース６の
一辺よりやや短い長さの長尺な板状体であり、ベース
６、及び除振台４の側縁部に沿って配置されている。上
板バネ固定部材８１、及び下板バネ固定部材８２の両端
には平行する上下２枚の上板バネ９１、及び下板バネ９
２の一端が固定されている。この上板バネ９１、及び下
板バネ９２の他端は、ベース６の外方に向かって突出
し、板バネ固定板８３に固定されている。
について詳述する。ベース６、及び除振台４には、図１
における図面左右の両端部に、上板バネ固定部材８１と
下板バネ固定部材８２とが設置されている。上板バネ固
定部材８１、及び下板バネ固定部材８２は、ベース６の
一辺よりやや短い長さの長尺な板状体であり、ベース
６、及び除振台４の側縁部に沿って配置されている。上
板バネ固定部材８１、及び下板バネ固定部材８２の両端
には平行する上下２枚の上板バネ９１、及び下板バネ９
２の一端が固定されている。この上板バネ９１、及び下
板バネ９２の他端は、ベース６の外方に向かって突出
し、板バネ固定板８３に固定されている。
【００１９】板バネ固定板８３は、上板バネ固定部材８
１、及び下板バネ固定部材８２と同一の幅を有する長尺
な板状体であり、高さがストッパ７よりやや低くなって
いる。そして、板バネ固定板８３はその長手方向両端
に、上下に平行する４枚の板バネ（２枚の上板バネ９
１、及び２枚の下板バネ９２）を固定するよう構成され
ている。
１、及び下板バネ固定部材８２と同一の幅を有する長尺
な板状体であり、高さがストッパ７よりやや低くなって
いる。そして、板バネ固定板８３はその長手方向両端
に、上下に平行する４枚の板バネ（２枚の上板バネ９
１、及び２枚の下板バネ９２）を固定するよう構成され
ている。
【００２０】このように、上板バネ固定部材８１によっ
て除振台４に固定された上板バネ９１と、下板バネ固定
部材８２によってベース６に固定された下板バネ９２
は、夫々板バネ固定板８３に固定され、ベース６の上下
振動に応じて上下に撓むようになっている。よって、外
部の振動が土台１０からベース６に伝わる際において、
上板バネ９１、及び下板バネ９２が撓むことにより、除
振台４はベース６の上方に弾性的に支持される。
て除振台４に固定された上板バネ９１と、下板バネ固定
部材８２によってベース６に固定された下板バネ９２
は、夫々板バネ固定板８３に固定され、ベース６の上下
振動に応じて上下に撓むようになっている。よって、外
部の振動が土台１０からベース６に伝わる際において、
上板バネ９１、及び下板バネ９２が撓むことにより、除
振台４はベース６の上方に弾性的に支持される。
【００２１】アクチュエータ５は、例えばボイスコイル
モータのような直線運動を行うモータであり、マグネッ
ト５１、図示しないコイルボビン、コイル５２、駆動軸
５３、板バネ５４、及び端子台５５などから構成されて
いる。
モータのような直線運動を行うモータであり、マグネッ
ト５１、図示しないコイルボビン、コイル５２、駆動軸
５３、板バネ５４、及び端子台５５などから構成されて
いる。
【００２２】マグネット５１は、その四方に円筒形の溝
が設けられた略立方体の永久磁石であり、円筒溝内に磁
界が形成されている。この円筒溝内の上部に、コイルボ
ビンに巻き付けられた線材であるコイル５２を一つずつ
収納している。コイルボビンの上部は駆動軸５３の下部
と連結されており、コイル５２の下部は板バネ５４によ
って支持される。又、コイル５２の両端は、端子台５５
に設けられたピンに繋がれる。上述の構成からなるアク
チュエータ５は、コイル５２に所定電流を供給すると円
筒溝内の磁界によって電磁力が発生し、駆動軸５３を上
下方向に付勢する。
が設けられた略立方体の永久磁石であり、円筒溝内に磁
界が形成されている。この円筒溝内の上部に、コイルボ
ビンに巻き付けられた線材であるコイル５２を一つずつ
収納している。コイルボビンの上部は駆動軸５３の下部
と連結されており、コイル５２の下部は板バネ５４によ
って支持される。又、コイル５２の両端は、端子台５５
に設けられたピンに繋がれる。上述の構成からなるアク
チュエータ５は、コイル５２に所定電流を供給すると円
筒溝内の磁界によって電磁力が発生し、駆動軸５３を上
下方向に付勢する。
【００２３】制御装置１３は、加速度センサ１２によっ
て検出された振動信号を、端子台４１を介して受信し、
これに対して逆向きに力が作用するようコイル５２の駆
動力を制御する。アンプ１４は制御装置１３の指示を受
け、アンプ１４が繋がれる端子台６２、及びコイル５２
が繋がれる端子台５５を介して、コイル５２に対して所
定電流を供給する。これにより、コイル５２には加速度
センサ１２によって検出された振動と逆向きの力が発生
し、駆動軸５３を介して除振台４を駆動するので、外部
から伝わる振動は瞬時に吸収され、測定物は常に一定の
位置を保つことができる。
て検出された振動信号を、端子台４１を介して受信し、
これに対して逆向きに力が作用するようコイル５２の駆
動力を制御する。アンプ１４は制御装置１３の指示を受
け、アンプ１４が繋がれる端子台６２、及びコイル５２
が繋がれる端子台５５を介して、コイル５２に対して所
定電流を供給する。これにより、コイル５２には加速度
センサ１２によって検出された振動と逆向きの力が発生
し、駆動軸５３を介して除振台４を駆動するので、外部
から伝わる振動は瞬時に吸収され、測定物は常に一定の
位置を保つことができる。
【００２４】次に、上述のように構成された本実施形態
の除振装置１００の除振動作について説明する。まず除
振装置１００は、土台１０にベース６が固定されるが、
土台１０を通じて外部からの横方向、及び上下方向の振
動が、振動を嫌う測定物に伝わることが考えられる。
の除振装置１００の除振動作について説明する。まず除
振装置１００は、土台１０にベース６が固定されるが、
土台１０を通じて外部からの横方向、及び上下方向の振
動が、振動を嫌う測定物に伝わることが考えられる。
【００２５】除振装置１００においては、土台１０より
伝わる横方向の振動は上板バネ９１、及び下板バネ９２
が抑制しつつ、上下方向の振動に対してこれらの板バネ
は本来のバネ系として作用するので、除振台４は上下方
向の振動にのみ影響を受ける。よって、上下方向の振動
のみを制御すればよいこととなる。
伝わる横方向の振動は上板バネ９１、及び下板バネ９２
が抑制しつつ、上下方向の振動に対してこれらの板バネ
は本来のバネ系として作用するので、除振台４は上下方
向の振動にのみ影響を受ける。よって、上下方向の振動
のみを制御すればよいこととなる。
【００２６】より具体的には、土台１０が振動によって
上方向に微小変位する場合、除振台４も同様に上方向に
変位しようとするが、除振台４が上方向に変位し始める
と、加速度センサ１２によってその加速度が検出され、
その加速度信号が制御装置１３へ送信される。制御装置
１３は加速度が零となるよう、検出された加速度信号に
対して逆の向きに作用するような制御信号を生成し、そ
の制御信号をアンプ１４へ送信する。アンプ１４は受信
した制御信号を増幅し、コイル５２へ電流を供給する。
すると、マグネット５１に設けられた円筒溝内に収納さ
れるコイル５２に力が発生し、駆動軸５３を下方向に付
勢することになる。即ち、除振台４は駆動軸５３によっ
て下方向の力を受けるので、結果として除振台４の上方
向への変位を抑えることができ、除振台４を所定の位置
に保つことができる。
上方向に微小変位する場合、除振台４も同様に上方向に
変位しようとするが、除振台４が上方向に変位し始める
と、加速度センサ１２によってその加速度が検出され、
その加速度信号が制御装置１３へ送信される。制御装置
１３は加速度が零となるよう、検出された加速度信号に
対して逆の向きに作用するような制御信号を生成し、そ
の制御信号をアンプ１４へ送信する。アンプ１４は受信
した制御信号を増幅し、コイル５２へ電流を供給する。
すると、マグネット５１に設けられた円筒溝内に収納さ
れるコイル５２に力が発生し、駆動軸５３を下方向に付
勢することになる。即ち、除振台４は駆動軸５３によっ
て下方向の力を受けるので、結果として除振台４の上方
向への変位を抑えることができ、除振台４を所定の位置
に保つことができる。
【００２７】又、土台１０が下方向に微小変位する場合
においても、同様にして除振台４は逆向きの力を受ける
ので、土台１０が上下方向のどちらに微小振動しても、
アクチュエータ５の働きによって除振が行われ、測定物
取付ステージ１上に設置される除振対象は、常に一定の
位置を保つことができる。
においても、同様にして除振台４は逆向きの力を受ける
ので、土台１０が上下方向のどちらに微小振動しても、
アクチュエータ５の働きによって除振が行われ、測定物
取付ステージ１上に設置される除振対象は、常に一定の
位置を保つことができる。
【００２８】以上のように、本発明における除振装置１
００は、除振台４をベース６に固定する弾性部材として
板ばね（上板ばね９１、下板ばね９２）を用いるため、
弾性部材を上下方向に振動させるためのガイドが不要と
なり、ガイドと弾性部材の間の摩擦力が発生しなくな
る。そのため、アクチュエータ４を駆動させて除振台２
の変位を調整する際にも、ガイドと弾性部材の間の摩擦
力を考慮する必要がなくなり、アクチュエータ４の制御
が単純になる。
００は、除振台４をベース６に固定する弾性部材として
板ばね（上板ばね９１、下板ばね９２）を用いるため、
弾性部材を上下方向に振動させるためのガイドが不要と
なり、ガイドと弾性部材の間の摩擦力が発生しなくな
る。そのため、アクチュエータ４を駆動させて除振台２
の変位を調整する際にも、ガイドと弾性部材の間の摩擦
力を考慮する必要がなくなり、アクチュエータ４の制御
が単純になる。
【００２９】また、上板ばね固定部材９および下板ばね
固定部材６の両端にには、それぞれ上下に平行な２枚の
板ばねが固定されるので、板ばねが一枚の場合よりも剛
性が高くなり、除振台２を支持するために十分な支持剛
性が得られる。
固定部材６の両端にには、それぞれ上下に平行な２枚の
板ばねが固定されるので、板ばねが一枚の場合よりも剛
性が高くなり、除振台２を支持するために十分な支持剛
性が得られる。
【００３０】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、除振台と
基台には、それぞれ上下方向の曲げモーメントを受ける
下板ばね部、上下方向の曲げモーメント受ける上板ばね
部が設けられており、これら上板ばね部と下板ばね部を
は板ばね固定部材により上下に所定の間隔を保つように
固定されているため、除振台は基台の上方に上下方向の
みの自由度を持つように支持される。従って、除振台を
上下方向に移動させるためのガイドが不要となり、弾性
部材とガイドの間の摩擦力を考慮する必要がなくなるた
め、除振装置１００の除振制御が単純になる。
基台には、それぞれ上下方向の曲げモーメントを受ける
下板ばね部、上下方向の曲げモーメント受ける上板ばね
部が設けられており、これら上板ばね部と下板ばね部を
は板ばね固定部材により上下に所定の間隔を保つように
固定されているため、除振台は基台の上方に上下方向の
みの自由度を持つように支持される。従って、除振台を
上下方向に移動させるためのガイドが不要となり、弾性
部材とガイドの間の摩擦力を考慮する必要がなくなるた
め、除振装置１００の除振制御が単純になる。
【００３１】請求項２記載の発明によれば、上板ばね部
および下板ばね部は所定の間隔を開けて上下に平行に取
りつけられた複数の板ばねから構成されるため、板ばね
の剛性が高くなり、除振台を支持する力が十分得られる
とともに、板ばねがねじれにくくなり、左右への揺れが
抑制される。
および下板ばね部は所定の間隔を開けて上下に平行に取
りつけられた複数の板ばねから構成されるため、板ばね
の剛性が高くなり、除振台を支持する力が十分得られる
とともに、板ばねがねじれにくくなり、左右への揺れが
抑制される。
【図１】本発明にかかる除振装置の正面図である。
【図２】本発明にかかる除振装置の平面図である。
【図３】本発明に係る除振装置の断面図である。
【図４】本発明に係る除振装置の構成を表したブロック
図である。
図である。
１００ 除振装置 ４ 除振台 ６ ベース ９１ 上板ばね ９２ 下板ばね
Claims (2)
- 【請求項１】基台と、前記基台の上方に複数の支持部材
を介して支持される除振台と、を有する除振装置におい
て、 前記支持部材は、 一端が前記除振台に固定され上下方向の曲げモーメント
を受ける上板ばね部と、 一端が前記基台に固定され上下方向の曲げモーメントを
受ける下板ばね部と、 前記上板ばね部と前記下板ばね部が上下に所定の間隔を
保つように、前記上板ばね部及び前記下板ばね部の他端
を固定するとともに、浮動する板ばね固定部と、 を備えることを特徴とする除振装置。 - 【請求項２】請求項１記載の除振装置において、 前記上板ばね部および前記下板ばね部は、 複数の板ばねから構成され、 前記板ばね部を構成する各板ばねは所定の間隔を開けて
上下に平行に配置されていること、 を特徴とする除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001027269A JP2002227920A (ja) | 2001-02-02 | 2001-02-02 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001027269A JP2002227920A (ja) | 2001-02-02 | 2001-02-02 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002227920A true JP2002227920A (ja) | 2002-08-14 |
Family
ID=18891959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001027269A Pending JP2002227920A (ja) | 2001-02-02 | 2001-02-02 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002227920A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196438U (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | 株式会社東芝 | リ−フスプリング |
| JPH0975846A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-25 | Shinko Electric Co Ltd | 直線振動フィーダの防振機構 |
| JP2000120766A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-25 | Canon Inc | ハイブリッド式能動振動絶縁装置 |
-
2001
- 2001-02-02 JP JP2001027269A patent/JP2002227920A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196438U (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | 株式会社東芝 | リ−フスプリング |
| JPH0975846A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-25 | Shinko Electric Co Ltd | 直線振動フィーダの防振機構 |
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