JP2002222747A - 半導体製造装置のトレーニングシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ユーザに対する半導体製造装置のトレーニン
グの実施を効率的に行う半導体製造装置のトレーニング
システムを提供する。 【解決手段】 装置トレーニングサーバ１とユーザ端末
３とを回線５を介して接続し、装置トレーニングサーバ
１ではプログラム記憶手段が半導体製造装置に関するシ
ミュレーションを行うプログラムを記憶し、条件データ
受信手段がユーザ端末３によりユーザから受け付けられ
て回線５を介して送信される半導体製造装置に関するシ
ミュレーションの条件データを受信し、プログラム実行
手段が受信した条件データに基づいてプログラム記憶手
段に記憶されたプログラムを実行し、結果データ送信手
段が実行したプログラムにより行われるシミュレーショ
ンの結果データを回線５を介してユーザ端末３に対して
送信する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、通信回線を介して
ユーザに遠隔操作により半導体製造装置のトレーニング
をさせる技術に関し、特に、装置トレーニングサーバが
回線を介して接続されたユーザ端末を介してユーザに半
導体製造装置のトレーニングをさせる半導体製造装置の
トレーニングシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置では半導体デバイス用の
半導体ウエハやＬＣＤ用のガラス基板などを製造するこ
とが行われ、一例として、ＣＶＤ装置では、加熱炉にシ
リコンウエハ等の基板を収容し、当該加熱炉内を所定の
温度に加熱しつつ当該加熱炉内へ反応ガスを供給して、
当該基板上に酸化膜や窒化膜等の薄膜を形成することが
行われる。なお、このような薄膜は、例えば層間絶縁膜
や、ＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit）チップ
の表面保護等に用いられる。

【０００３】上記のような半導体製造装置は一般に数千
もの機能部が組み合わされて構成されており、また、半
導体製造装置を動作させるためのコントローラの扱いに
習熟することが（半導体製造装置を購入等した企業等
の）ユーザにとって必要であることから、メーカにより
半導体製造装置の取り扱いトレーニングが実施されてい
る。このような取り扱いトレーニングの内容としては、
例えば半導体製造装置に関する知識や半導体製造装置の
取り扱い方法等をペーパーを中心として学習する学科教
習と、例えば実際に半導体製造装置を動作させてみてそ
の動作の仕方やその取り扱いの仕方を学習する実施教習
とに大別される。

【０００４】なお、図１１には、従来例に係る半導体製
造装置のトレーニングの手順の一例を示してある。すな
わち、この手順では、まず、半導体製造装置を顧客（ユ
ーザ）に販売した後に、当該顧客からトレーニングの申
し込みを受け付けると、当該顧客を確認する。次に、顧
客が確認されると、メーカは顧客のトレーニング要員を
トレーニングセンタなどに受け入れてレーニングを実施
する。なお、このような教科や実施のトレーニングは、
例えば半導体製造装置の購入後の所定の期間内において
は無料であるが、当該期間が経過すると有料となる。ま
た、トレーニングにおいては、例えばトレーニングによ
る習熟度を検査するためのテストが顧客に対して行わ
れ、このようなテストが行われた後にトレーニングが終
了する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
製造装置を必要とする顧客は全世界にわたって存在して
おり、また、最新の技術情報の提供や最新のトレーニン
グ等をユーザに対して実施するためには顧客のトレーニ
ング要員がメーカ側に行く必要があったため、例えば渡
航等にかかる費用や時間が大きくなってしまうといった
不具合があった。また、限られた時間内でトレーニング
等を実施することから、トレーニング等の内容が不十分
になってしまう場合もあるといった不具合があった。

【０００６】本発明は、このような従来の事情に鑑みな
されたもので、装置トレーニングサーバが回線を介して
接続されたユーザ端末によりユーザに半導体製造装置の
トレーニングをさせることができる半導体製造装置のト
レーニングシステムを提供することを目的とする。そし
て、このような半導体製造装置のトレーニングシステム
により、例えば全世界にわたって存在する半導体製造装
置の顧客に対してタイムリーに最新技術をトレーニング
することを実現し、また、例えばトレーニング実施のた
めに従来必要であった渡航等の費用を軽減することや、
トレーニングにかかる所要時間を軽減すること等を実現
する。

【０００７】なお、半導体製造装置に関するものではな
いが、従来の技術例として、インターネットを活用して
学科教育を行う教育方法に関する技術を紹介しておく。
例えば特開平１０-１３４０２８号公報に記載されたイ
ンターネットを用いた遠隔教育方法及び装置では、イン
ターネットを介して学習データや評価データをユーザに
対して提供すること等が行われている。

【０００８】また、例えば特開平１１−２４９５４０号
公報に記載された学習機能付き遠隔教育システムでは、
教育サーバと受講者のクライアントＰＣとをインターネ
ットを介して接続し、教育サーバが受講者の教育受講歴
等を把握して次の教育カリキュラムの編成を当該受講者
に最適なものに組み替えること等が行われている。

【０００９】また、特開平１１−２８２８２６号公報に
記載されたインターネットを利用した電子教育システム
では、教育事業者端末と受講者端末とをインターネット
を介して電子教育サーバに接続し、電子教育サーバが教
育事業者端末からの学習コンテンツを受信等するサービ
ス及び当該受信データを利用して各受講者端末へマルチ
メディア教材の画面を送信するサービスを提供すること
等が行われている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体製造装置のトレーニングシステ
ムでは、装置トレーニングサーバとユーザの端末とを回
線を介して接続し、次のようにして、装置トレーニング
サーバがユーザ端末を通じてユーザに半導体製造装置の
トレーニングをさせる。

【００１１】すなわち、装置トレーニングサーバでは、
プログラム記憶手段が半導体製造装置に関するシミュレ
ーションを行うプログラムを記憶し、条件データ受信手
段がユーザ端末によりユーザから受け付けられて当該ユ
ーザ端末から回線を介して送信される半導体製造装置に
関するシミュレーションの条件データを受信し、プログ
ラム実行手段が受信した条件データに基づいてプログラ
ム記憶手段に記憶されたプログラムを実行し、結果デー
タ送信手段が実行したプログラムにより行われるシミュ
レーションの結果データを回線を介してユーザ端末に対
して送信する。このようにして、本発明に係る半導体製
造装置のトレーニングシステムでは、上記のようなシミ
ュレーションの結果データをユーザ端末を通じてユーザ
に対して提供して、当該ユーザに半導体製造装置のトレ
ーニングをさせることができる。

【００１２】従って、例えば全世界にわたって存在する
半導体製造装置の顧客に対してタイムリーに最新技術を
トレーニングすることを実現することができ、また、例
えばトレーニング実施のために従来必要であった渡航等
の費用を軽減することや、トレーニングにかかる所要時
間を軽減することを実現することができる。また、ユー
ザ端末によりユーザから受け付けられた条件データに基
づいて装置トレーニングサーバがシミュレーションを行
い、当該シミュレーションの結果データがユーザ端末を
通じてユーザに提供されるというインタラクティブな通
信を用いてユーザにトレーニングをさせることができ、
単に装置トレーニングサーバからユーザ端末へ（例えば
マニュアル等の）データを送信する場合以上の効果をも
ってユーザに対するトレーニングを実施することができ
る。

【００１３】また、ユーザによるトレーニング結果に関
する情報を装置トレーニングサーバ側で把握することが
可能であるため、装置トレーニングサーバにこのような
情報をユーザ毎に蓄積管理する機能を設け、或いは、こ
のような情報を蓄積管理する機能を有した管理サーバを
ネットワーク上に設けて、このような蓄積管理された情
報に基づいてユーザのニーズを知ることや、このような
情報を今後の製品（半導体製造装置や、トレーニングシ
ステム等）の開発や品質の管理等に役立てることが可能
となる。また、シミュレーションを行うプログラムが大
量となる場合も多いが、このようなプログラムを装置ト
レーニングサーバ側で記憶して実行する構成であること
から、ユーザ端末側の装置への負担を小さくすることが
できる。このようなことから、ユーザ端末と回線を介し
て接続された装置トレーニングサーバ側でシミュレーシ
ョンを行う本発明の構成は、トレーニングを実施するメ
ーカやトレーニングを受けるユーザにとって非常に有効
なものとなる。

【００１４】ここで、装置トレーニングサーバとして
は、種々な装置が用いられてもよく、例えばコンピュー
タ等を用いることができる。同様に、ユーザの端末（ユ
ーザ端末）としては、種々な装置が用いられてもよく、
例えばコンピュータ等を用いることができる。また、回
線としては、種々なものが用いられてもよく、例えばイ
ンターネット等を用いることができる。

【００１５】また、ユーザとしては、例えば半導体製造
装置を購入した企業等において当該半導体製造装置を操
作する者などが該当する。また、半導体製造装置のトレ
ーニングとしては、種々なトレーニングが実施されても
よい。また、半導体製造装置に関するシミュレーション
としては、例えば実施される種々なトレーニングに応じ
て、種々なシミュレーションが行われてもよい。

【００１６】また、プログラムとしては、半導体製造装
置に関するシミュレーションを行うものであれば、特に
限定はなく、例えば種々なプログラミング言語で作成さ
れたものを用いることが可能である。また、プログラム
記憶手段としては、例えばメモリから構成することがで
きる。また、プログラム実行手段としては、例えばＣＰ
Ｕ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Proce
ssor Unit）等のプロセッサから構成することができ
る。

【００１７】また、半導体製造装置に関するシミュレー
ションの条件データとしては、種々な条件に関するデー
タが用いられてもよく、例えば半導体製造装置の種類を
示すデータや、温度や圧力等の条件値を示すデータや、
下記のユーザ識別データなどを含めることができる。こ
こで、このような条件データには、例えば１つの事項
（例えば「温度」や、「圧力」等）に関する条件を示す
データのみが含まれてもよく、或いは、複数の事項に関
する条件を示すデータが含まれてもよい。

【００１８】なお、ユーザ端末では、例えばユーザが当
該ユーザ端末の入力手段（例えばキーボードやマウス
等）を操作することで、上記した条件データや後述する
教科データ要求データや後述するユーザ識別データ等を
当該ユーザ端末に入力や指示することができる。そし
て、ユーザ端末は、例えばユーザから入力されて受け付
けたデータを回線を介して装置トレーニングサーバに対
して送信する送信手段を備えている。

【００１９】また、条件データに基づいてプログラムを
実行する態様としては、例えば条件データがプログラム
を選択する条件を有している場合には当該条件に適合し
たプログラムを選択して実行するような態様が用いら
れ、また、例えば条件データがプログラムの実行に際し
て用いられる条件（例えば当該プログラムにより用いら
れるデータや、当該プログラム中の変数に代入すべき
値）を有している場合には当該条件を用いて当該プログ
ラムを実行するような態様が用いられる。

【００２０】また、実行したプログラムにより行われる
シミュレーションの結果データとしては、種々なデータ
が用いられてもよく、例えば当該プログラムの実行によ
り得られた結果のデータがそのままユーザ端末に対して
送信される態様ばかりでなく、例えば当該プログラムの
実行により得られた結果のデータが装置トレーニングサ
ーバにより処理（加工等）された後に当該処理後のデー
タが結果データとしてユーザ端末に対して送信されるよ
うな態様を用いることもできる。

【００２１】また、本発明に係る半導体製造装置のトレ
ーニングシステムでは、プログラム記憶手段は半導体製
造装置に関するシミュレーションを行うプログラムを複
数種類の半導体製造装置について記憶し、条件データ受
信手段により受信する条件データには半導体製造装置の
種類のデータが含まれ、プログラム実行手段は当該種類
データに対応するプログラムを実行する。

【００２２】従って、例えばそれぞれ装置構成の異なる
複数種類の半導体製造装置が（１又は複数の）ユーザに
より利用されるような場合においても、これら複数種類
の半導体製造装置の中で条件データにより指定される種
類に対応するプログラムを実行してシミュレーションが
行われるため、それぞれの種類の半導体製造装置のトレ
ーニングをユーザにさせることができる。

【００２３】ここで、複数種類の半導体製造装置として
は、それぞれどのようなものが用いられてもよい。ま
た、半導体製造装置の種類のデータとしては、例えば当
該種類を識別することができるようなものであればよ
く、種々なデータが用いられてもよい。また、種類デー
タに対応するプログラムとしては、例えば当該種類デー
タにより指定される種類の半導体製造装置に関するシミ
ュレーションを行うプログラムが設定される。

【００２４】また、本発明に係る半導体製造装置のトレ
ーニングシステムの装置トレーニングサーバでは、教科
データ記憶手段が半導体製造装置に関する教科データを
記憶し、教科データ要求データ受信手段がユーザ端末に
よりユーザから受け付けられて当該ユーザ端末から回線
を介して送信される教科データ要求データを受信し、教
科データ送信手段が受信した教科データ要求データによ
り要求される教科データを教科データ記憶手段から抽出
して回線を介してユーザ端末に対して送信する。

【００２５】従って、上記した半導体製造装置に関する
シミュレーションを行うことによりユーザに半導体製造
装置の実施教習に係るトレーニングをさせることができ
るとともに、半導体製造装置に関する教科データをユー
ザに対して提供することによりユーザに半導体製造装置
の学科教習に係るトレーニングをさせることができる。

【００２６】ここで、半導体製造装置に関する教科デー
タとしては、例えば教科書に載せる知識内容に関するよ
うな種々なデータが用いられてもよく、具体的には、半
導体製造装置の取り扱い説明書の内容データや、半導体
製造装置の動作説明の内容データや、半導体製造装置に
関する一般的な事項の説明の内容データなどを含めるこ
とができる。

【００２７】また、教科データ記憶手段としては、例え
ばメモリから構成することができる。また、教科データ
要求データとしては、教科データを要求するものであれ
ば種々なデータが用いられてもよい。具体的には、例え
ば教科データ記憶手段に記憶された教科データの中の特
定のデータ（例えば或る事項に関するデータや、或るペ
ージのデータや、或る見出しのデータなど）を教科デー
タ要求データにより要求することもでき、また、このよ
うな特定のデータではなく、例えば教科データ記憶手段
に記憶された教科データの全体（例えばページ順等にユ
ーザに対して提供される）を教科データ要求データによ
り要求することもできる。

【００２８】また、本発明に係る半導体製造装置のトレ
ーニングシステムの装置トレーニングサーバでは、ユー
ザ識別データ受信手段がユーザ端末によりユーザから受
け付けられて当該ユーザ端末から回線を介して送信され
るユーザ識別データを受信し、ユーザ認証手段が受信し
たユーザ識別データに基づいてユーザを認証し、アクセ
ス制限手段が当該認証結果に基づいてユーザによるアク
セスを制限する。

【００２９】従って、例えば正規に登録されたユーザで
あることが認証された場合にのみ、当該ユーザに対して
上記したシミュレーションによるトレーニングや上記し
た教科データによるトレーニングが実施されることを確
保することができるため、第三者により不正にアクセス
されてしまうことを防止して秘密保持を保証することが
できる。また、例えば各ユーザ毎にアクセスすることが
可能なプログラムやデータを設定することで、各ユーザ
がアクセスして利用することが可能なプログラムやデー
タを制限することもできる。

【００３０】ここで、ユーザ識別データとしては、ユー
ザを識別することができるようなものであれば種々なデ
ータが用いられてもよく、例えばユーザ名のデータや、
パスワードのデータや、ユーザ名データとパスワードデ
ータとの組合せなどを用いることができる。

【００３１】また、ユーザ識別データに基づいてユーザ
を認証する仕方としては、例えば正規に登録されたユー
ザに設定されたユーザ識別データと同一のデータを予め
記憶しておき、当該データとユーザから受け付けたユー
ザ識別データとが一致するか否かを判定することで当該
ユーザを認証することができ、通常、一致することが判
定された場合に当該ユーザが正規のユーザであるとみな
される。

【００３２】また、本発明に係る半導体製造装置のトレ
ーニングシステムの装置トレーニングサーバでは、有効
期限データ記憶手段がユーザによるアクセスに関する有
効期限データを記憶し、アクセス制限手段はユーザ認証
手段による認証結果及び有効期限データ記憶手段に記憶
された有効期限データに基づいてユーザによるアクセス
を制限する。

【００３３】従って、例えばユーザに対して上記した半
導体製造装置に関するプログラムや教科データにアクセ
スすることを許可する有効期限を設定して、当該有効期
限内には当該ユーザによるアクセスを許可する一方、当
該有効期限後には当該ユーザによるアクセスを不許可と
することができる。一例として、各ユーザに設定された
有効期限内には無料のトレーニングへのアクセスを当該
各ユーザに許可する一方、当該有効期限後には当該無料
トレーニングへのアクセスを不許可として有料のトレー
ニングへのアクセスを当該各ユーザに許可して課金する
ようなことができる。

【００３４】ここで、有効期限データとしては、例えば
ユーザによるアクセスを許可する期限を定めるデータが
用いられ、また、例えばこのような期限を定めるデータ
と共に当該期限で制限されるアクセス対象を定めるデー
タが含まれてもよい。また、有効期限データ記憶手段と
しては、例えばメモリから構成することができる。

【００３５】また、本発明に係る半導体製造装置のトレ
ーニングシステムでは、装置トレーニングサーバとユー
ザ端末との間で通信されるデータを送信側で暗号化する
とともに受信側で復号化する。従って、装置トレーニン
グサーバとユーザ端末との間で通信されるデータが第三
者により不正に利用されてしまうようなことを防止して
秘密保持を保証することができる。

【００３６】ここで、暗号化及び復号化は、例えば通信
されるデータの全てに対して行われてもよく、或いは、
通信されるデータの一部に対して行われてもよい。ま
た、暗号化の仕方としては、種々な仕方が用いられても
よい。また、受信側での復号化は、送信側での暗号化に
対応して行われる。

【００３７】

【発明の実施の形態】本発明に係る半導体製造装置のト
レーニングシステムの一実施例を図面を参照して説明す
る。図１には、本例の半導体製造装置のトレーニングシ
ステムの一例を示してあり、このシステムには、装置ト
レーニングサーバ１や、ルータ２や、ユーザＰＣ（ユー
ザのパーソナルコンピュータ）３や、アクセスルータ４
や、インターネット５が備えられている。なお、本例で
は、ユーザＰＣ３と装置トレーニングサーバ１とは例え
ば遠隔に設置されている。

【００３８】装置トレーニングサーバ１は、例えば半導
体製造装置をユーザに対して提供（製造や販売等）する
メーカ側（例えばメーカ自体、或いは、当該メーカから
依頼された者）により管理されており、顧客（ユーザ）
のトレーニングを実施するサーバである。装置トレーニ
ングサーバ１は、ＨＴＴＰ（Hypertext Transfer Proto
col）サーバを実装していて、ルータ２を介してインタ
ーネット５と接続される。

【００３９】また、ユーザＰＣ３は、例えば上記したメ
ーカから半導体製造装置を購入した企業等のユーザによ
り利用され、当該ユーザがトレーニングを受けるために
用いられる端末である。ユーザＰＣ３は、ＷＷＷ（Worl
d Wide Web）ブラウザや暗号復号化機能を搭載してい
て、アクセスルータ４を介してインターネット５と接続
される。そして、ユーザＰＣ３は、インターネット５を
介して装置トレーニングサーバ１にアクセスすることが
でき、インターネット５を介して装置トレーニングサー
バ１に対してデータを送信することや、装置トレーニン
グサーバ１から送信されるデータをインターネット５を
介して受信することができる。

【００４０】なお、本例では、説明の便宜上から、１つ
のユーザＰＣ３のみを示して説明を行うが、例えば異な
るユーザにより利用される複数のユーザＰＣがインター
ネット５に接続されて、これら複数のユーザＰＣにより
装置トレーニングサーバ１が利用されてもよい。また、
アクセスルータ４には、例えば公衆電話回線が使用され
る場合にはモデムの機能が搭載され、例えばＩＳＤＮ
（Integrated Services Digital Network）が使用され
る場合にはターミナルアダプタの機能が搭載される。

【００４１】なお、本例では、上記図１に示した構成の
半導体製造装置のトレーニングシステムを用いて説明を
行うが、他の構成例として、図２に示されるようなＬＡ
Ｎ１２とインターネットアクセスとが共存する半導体製
造装置のトレーニングシステムの構成を用いることも可
能である。

【００４２】同図に示したシステム構成では、装置トレ
ーニングサーバ１１が（メーカ側の社内の）ＬＡＮ（Lo
cal Area Network）１２を介してファイアウォール（Fi
re Wall）１３と接続されており、当該ファイアウォー
ル１３がルータ１４を介してインターネット１７と接続
される。また、ユーザＰＣ１５はアクセスルータ１６を
介してインターネット１７と接続される。

【００４３】なお、同図に示したシステム構成では、例
えばアクセス制御機能や暗号化機能が部分的にファイア
ウォール１３に実装されて制御される。ここで、ファイ
アウォール１３には、例えばアクセスコントロール専用
のゲートウエイ機能や、ＩＰ（Internet Protocol）制
限機能及びＨＴＴＰ等のサービスポートの制限機能や、
ＶＰＮ（Virtual Private Network）接続のための暗号
化機能や、アクセスロギング機能が備えられる。

【００４４】次に、図３には、上記した装置トレーニン
グサーバ１の構成例を示してあり、本例の装置トレーニ
ングサーバ１には、装置シミュレーションデータベース
２１や、教科データベース２２や、顧客管理データベー
ス２３や、プログラム用のメモリ２４や、ワーク用のメ
モリ２５や、ＣＰＵ２６や、暗号ユニット２７や、通信
制御ユニット２８が備えられている。また、通信制御ユ
ニット２８は例えばルータ２を介して通信回線（本例で
は、インターネット５）と接続されている。

【００４５】装置シミュレーションデータベース２１
は、半導体製造装置に関するシミュレーションを行うた
めに用いられるプログラム等のデータ（例えば実際に半
導体製造装置を動作させてみてその動作等を学習する実
施教習を補完する装置シミュレーション用のデータ）を
記憶するデータベースであり、例えばＨＴＭＬ（HyperT
ext Mark-Up Language）や、ＪＡＶＡ（登録商標）スク
リプトや、ＪＡＶＡや、ＡｃｔｉｖｅＸ（登録商標）等
の各種のブラウザ対応言語を用いて作成されている。

【００４６】なお、半導体製造装置に関するシミュレー
ションの内容（コンテンツ）としては、例えば、「レシ
ピの作製と、実行シミュレーション」や、「メカ操作シ
ミュレーション」や、「ガス流入、排気シミュレーショ
ン」や、「圧力調整シミュレーション」や、「温度調整
シミュレーション」や、「成膜シミュレーション」や、
「トラブルの擬似発生と、トラブルシューティングシミ
ュレーション」などがある。

【００４７】また、一般に、半導体製造装置の構成（種
類）は、例えば顧客となる企業毎に異なったものとな
り、それぞれの顧客毎に機密事項に関する要素を含んで
いる。このような装置構成の違いとしては、例えばプロ
セス上の違いとして、酸化拡散装置及びＣＶＤ装置に関
して「ウエハサイズ」や「ウエハの数」や「膜種」や
「デバイス上の用途」や「装置タイプ」や「必要バッチ
数」や「ウエハセット位置」や「ロード温度」や「アン
ロード温度」や「昇温速度」や「降温速度」や「昇降温
時温度制御」などがあり、酸化拡散装置（固有）に関し
て「ステップ毎の酸化（アニール）温度や酸化時ガス流
量（比）やその他必要条件」などがあり、ＣＶＤ装置
（固有）に関して「ターゲット膜厚」や「デポ温度」や
「デポ圧力」や「デポ時ガス流量（比）」や「その他必
要条件」などがある。

【００４８】また、上記のような装置構成の違いとして
は、例えば装置部品上の違いとして、機械部品に関して
「エレベータ」や「カセットローダ」や「カセットステ
ージ（オリフラ、ノッチ）」や「カセットハンド」や
「移載機」や「ボート回転機構」などがあり、電気部品
に関して「分散コントローラ」や「温度制御ユニット」
や「過温度保護ユニット」や「熱電対」や「圧力制御ユ
ニット（真空計）」や「ＭＦＣ（ＭＦＭ）」などがあ
り、ソフト部品に関して「ブロックコントロール」や
「チューブコントロール」や「メカコントロール」や
「ガス圧力コントロール」や「温度コントロール」など
がある。

【００４９】本例では、上記のような顧客毎（或いは、
必要に応じて、例えば顧客の工場毎や、顧客の工場の製
造ライン毎）の半導体製造装置の構成の違いに対処する
ために、例えば各顧客毎（或いは、必要に応じて、例え
ば顧客の工場毎や、顧客の工場の製造ライン毎）に申し
込みを受け付けるトレーニング内容（教科内容や実施内
容）を管理することや、各顧客毎（或いは、必要に応じ
て、例えば顧客の工場毎や、顧客の工場の製造ライン
毎）に付与したパスワードに基づいて当該各顧客により
受けることが可能なトレーニング内容を制限することを
行っている。

【００５０】教科データベース２２は、半導体製造装置
に関する教科データ（例えば半導体製造装置に関する知
識や取り扱い方法など、ペーパーを中心とした学科教習
に係るデータ）を記憶するデータベースであり、例え
ば、当該教科データを主としてＨＴＭＬ言語で作成する
ことにより、ユーザにより必要な情報をリンクして行く
ことを可能としてユーザの学習効果を向上させている。
また、例えば音声データや画像データや文字データを組
合せたマルチメディアデータを教科データとして用いる
ことで、ユーザの学習効果を向上させている。

【００５１】なお、半導体製造装置に関する教科データ
の内容（コンテンツ）としては、例えば、「機構部の構
造と駆動」や、「インターロックの仕組み」や、「電力
供給回路」や、「制御システム」や、「温度制御の基
礎」や、「燃焼ＢＯＸの構造とＨ２燃焼方法」や、「４
％アニールによる安全性」などがある。

【００５２】また、半導体製造装置毎に特殊な仕様が用
いられている事項については、各半導体製造装置毎に教
科データベース２２内にサブデータベースが備えられて
おり、当該サブデータベースに記憶される教科データの
内容としては、例えば、「装置の構造」や、「メカ駆動
部、各軸の調整」や、「ハンディターミナルによる操
作」や、「ムーブメントパラメータの設定」や、「カセ
ットローダパネルの操作」や、「外部燃焼装置の構造」
などがある。

【００５３】また、ユーザの学習効果を確認するため
に、教科データベース２２には、例えば、半導体製造装
置に関する「共通理解度テスト（初級）」や、半導体製
造装置に関する「専門理解度テスト（上級）」などのデ
ータが記憶されている。本例では、上記した装置シミュ
レーションデータベース２１や上記した教科データベー
ス２２から必要なデータが取り出されて、ユーザに対す
るトレーニングが行われる。

【００５４】顧客管理データベース２３は、顧客（例え
ば半導体製造装置を購入した企業や、そのユーザ等）に
関するデータを記憶するデータベースであり、例えば、
「顧客アドレスの管理」や、「顧客トレーニング期間の
管理」や、「顧客課金情報の管理」や、「顧客アクセス
状況の管理」などを行う。なお、本例では、ユーザが無
料のトレーニングを受けることができる期間を管理し
て、ユーザに対して無料のトレーニングを提供するか或
いは有料のトレーニングを提供するかを管理している。
また、本例では、ユーザのトレーニング結果に関するデ
ータも顧客管理データベース２３に蓄積管理され、メー
カはこれら蓄積かれたデータを図外の画面に表示出力す
る、図外のプリンタから印刷出力するなどして、各ユー
ザが半導体製造装置をどのような使い方をしようとして
いるのか、半導体製造装置にどのような性能を要求して
いるのかなどのニーズを把握して、ユーザに対するサー
ビス向上や今後の製品開発に役立てることができる。

【００５５】プログラム用のメモリ２４は、当該装置ト
レーニングサーバ１における各種の処理を行うためのプ
ログラムを記憶する。なお、本例では、半導体製造装置
に関するシミュレーションを行うプログラムのデータを
装置シミュレーションデータベース２１に記憶させた
が、当該データ（の全部又は一部）をメモリ２４に記憶
させることも可能である。ワーク用のメモリ２５は、後
述するＣＰＵ２６がプログラムを実行するときにワーク
用として用いられる記憶領域を提供する。

【００５６】ＣＰＵ（中央演算装置）２６は、当該装置
トレーニングサーバ１における各種の処理を実行するこ
とや各種の制御を行い、具体的には、ワーク用のメモリ
２５を用いてプログラム用のメモリ２４や装置シミュレ
ーションデータベース２１に記憶されたプログラムを展
開して実行することにより、当該プログラムにより実現
される各種の処理や制御を行う。また、このような処理
や制御では、例えば必要に応じて、上記した装置シミュ
レーションデータベース２１や上記した教科データベー
ス２２や上記した顧客管理データベース２３に記憶され
た（例えばプログラム以外の）データが用いられる。

【００５７】暗号ユニット（アクセス制御ユニット）２
７は、不正なアクセスを防止するために公開鍵や秘密鍵
などの暗号化システムを搭載しており、本例では、ユー
ザＰＣ３側にも同一の機能を有した暗号システムが搭載
されている。暗号ユニット２７は、例えばユーザＩＤ及
びパスワードのデータを用いてアクセスのためのユーザ
認証を実施することや、トレーニングを行うユーザが使
用するＩＰアドレスによるアクセス制限を実施すること
や、トレーニングを行うユーザからのアクセスをＨＴＴ
Ｐなどの特定のサービスを受けるための通信のみに限定
することや、ユーザのトレーニング期間を監視して有効
期限後には当該ユーザのアクセス権を抹消することや、
搭載されたアクセスロギング機能を用いて不正アクセス
や異常アクセスを監視することなどを行う。

【００５８】通信制御ユニット２８は、例えば通信デー
タの授受を専用的に行う機能を有している。具体的に
は、例えばイーサネット（登録商標）（Ｅｔｈｅｒｎｅ
ｔ（登録商標））の制御に関しては、ＭＡＣアドレスの
制御や、キャリア信号の検出と送信待ちや、コリジョン
検出及びコリジョン発生後の再送などを行う。また、例
えばＩＰの各種設定の制御に関しては、ＩＰアドレスの
制御や、サブネットワークアドレスの制御や、デフォル
トルータの制御や、ルーティングの制御や、ネームサー
ビスの制御や、ＩＰとＭＡＣアドレステーブルの管理な
どを行う。また、例えばＴＣＰ（Transmission Control
Protocol）／ＩＰの制御に関しては、ＴＣＰポートの
コネクションや、送受信のタイムアウトの制御や、再送
の制御や、輻輳の制御や、送受信のシーケンスの制御
や、ウィンドウサイズの制御などを行う。

【００５９】ここで、本例の半導体製造装置のトレーニ
ングシステムには、本発明に係る機能として、以下に示
すような機能が備えられており、上述したものも含めて
説明する。なお、本例では、装置トレーニングサーバ１
が本発明に言う装置トレーニングサーバに相当するとと
もに、ユーザＰＣ３が本発明に言うユーザ端末に相当す
る。そして、装置トレーニングサーバ１とユーザＰＣ３
とを回線（本例では、インターネット５）を介して接続
し、装置トレーニングサーバ１がユーザＰＣ３を通じて
ユーザに半導体製造装置のトレーニングをさせる。

【００６０】すなわち、装置トレーニングサーバ１に
は、半導体製造装置に関するシミュレーションを行うプ
ログラムを記憶するプログラム記憶機能や、ユーザＰＣ
３によりユーザから受け付けられて当該ユーザＰＣ３か
らインターネット５を介して送信される半導体製造装置
に関するシミュレーションの条件データを受信する条件
データ受信機能や、受信した条件データに基づいてプロ
グラム記憶機能に記憶されたプログラムを実行するプロ
グラム実行機能や、実行したプログラムにより行われる
シミュレーションの結果データをインターネット５を介
してユーザＰＣ３に対して送信する結果データ送信機能
が備えられている。そして、本例では、このような結果
データをユーザＰＣ３を通じてユーザに対して提供する
ことで、当該ユーザに半導体製造装置のトレーニングを
させることを実現する。

【００６１】なお、本例では、上記したプログラム記憶
機能は、本発明に言うプログラム記憶手段に相当する機
能であり、装置シミュレーションデータベース２１から
構成されている。また、本例では、上記した条件データ
受信機能は、本発明に言う条件データ受信手段に相当す
る機能であり、通信制御ユニット２８等から構成されて
いる。また、本例では、上記したプログラム実行機能
は、本発明に言うプログラム実行手段に相当する機能で
あり、ＣＰＵ２６やメモリ２５から構成されている。ま
た、本例では、上記した結果データ送信機能は、本発明
に言う結果データ送信手段に相当する機能であり、通信
制御ユニット２８等から構成されている。

【００６２】また、本例の装置トレーニングサーバ１で
は、上記したプログラム記憶機能は半導体製造装置に関
するシミュレーションを行うプログラムを複数種類の半
導体製造装置について記憶し、上記した条件データ受信
機能により受信する条件データには半導体製造装置の種
類のデータが含まれ、上記したプログラム実行機能は当
該種類データに対応するプログラムを実行する。

【００６３】また、本例の装置トレーニングサーバ１に
は、半導体製造装置に関する教科データを記憶する教科
データ記憶機能や、ユーザＰＣ３によりユーザから受け
付けられて当該ユーザＰＣ３からインターネット５を介
して送信される教科データ要求データを受信する教科デ
ータ要求データ受信機能や、受信した教科データ要求デ
ータにより要求される教科データを教科データ記憶機能
から抽出してインターネット５を介してユーザＰＣ３に
対して送信する教科データ送信機能が備えられている。

【００６４】なお、本例では、上記した教科データ記憶
機能は、本発明に言う教科データ記憶手段に相当する機
能であり、教科データベース２２から構成されている。
また、本例では、上記した教科データ要求データ受信機
能は、本発明に言う教科データ要求データ受信手段に相
当する機能であり、通信制御ユニット２８等から構成さ
れている。また、本例では、上記した教科データ送信機
能は、本発明に言う教科データ送信手段に相当する機能
であり、通信制御ユニット２８等から構成されている。

【００６５】また、本例の装置トレーニングサーバ１に
は、ユーザＰＣ３によりユーザから受け付けられて当該
ユーザＰＣ３からインターネット５を介して送信される
ユーザ識別データ（本例では、ユーザＩＤやパスワード
のデータ）を受信するユーザ識別データ受信機能や、受
信したユーザ識別データに基づいてユーザを認証するユ
ーザ認証機能や、当該認証結果に基づいてユーザによる
アクセスを制限するアクセス制限機能が備えられてい
る。

【００６６】なお、本例では、上記したユーザ識別デー
タ受信機能は、本発明に言うユーザ識別データ受信手段
に相当する機能であり、通信制御ユニット２８等から構
成されている。また、本例では、上記したユーザ認証機
能は、本発明に言うユーザ認証手段に相当する機能であ
り、ＣＰＵ２６や２つのメモリ２４、２５や顧客管理デ
ータベース２３（に記憶されたデータ）から構成されて
いる。また、本例では、上記したアクセス制限機能は、
本発明に言うアクセス制限手段に相当する機能であり、
ＣＰＵ２６や２つのメモリ２４、２５から構成されてい
る。

【００６７】また、本例の装置トレーニングサーバ１で
は、ユーザによるアクセスに関する有効期限データを記
憶する有効期限データ記憶機能を備えており、上記した
アクセス制限機能は上記したユーザ認証機能による認証
結果及び有効期限データ記憶機能に記憶された有効期限
データに基づいてユーザによるアクセスを制限する。な
お、本例では、上記した有効期限データ記憶機能は、本
発明に言う有効期限データ記憶手段に相当する機能であ
り、顧客管理データベース２３から構成されている。

【００６８】また、本例の半導体製造装置のトレーニン
グシステムでは、装置トレーニングサーバ１とユーザＰ
Ｃ３との間で通信されるデータ（本例では、トレーニン
グを実施するためのトレーニングデータなど）を送信側
で暗号化するとともに受信側で復号化することを行って
いる。なお、一例として、金融機関やオンライン証券取
引においては、一般に、パスワード管理と暗号ＳＳＬ
（６４ビット、１２８ビット）が用いられている。

【００６９】また、本例のユーザＰＣ３には、例えばユ
ーザから各種のデータや指示を受け付ける入力機能（例
えばキーボードやマウス等）や、ユーザに対して各種の
データを表示出力する表示機能（例えばディスプレイ画
面等）や、インターネット５を介して装置トレーニング
サーバ１との間でデータを通信する通信機能などが備え
られている。

【００７０】次に、図４〜図１０を参照して、本例の半
導体製造装置のトレーニングシステムの運用の一例を示
す。図４には、本例の半導体製造装置のトレーニングシ
ステムの概略的な運用例を示してある。すなわち、本例
では、まず、メーカが顧客に対して半導体製造装置を販
売し、顧客が例えばユーザＰＣ３からインターネット５
を介して装置トレーニングサーバ１へアクセスすること
でトレーニングの申し込みを行う。

【００７１】次に、顧客からのトレーニングの申し込み
に対してメーカの装置トレーニングサーバ１が当該顧客
を確認すると、装置トレーニングサーバ１は確認通知や
パスワードを発行してこれらのデータをインターネット
５を介してユーザＰＣ３へ送信する。このようにパスワ
ードが発行されると、顧客は、当該パスワードを用いて
ユーザＰＣ３からインターネット５を介して装置トレー
ニングサーバ１へアクセスすることにより、半導体製造
装置のトレーニングを受けることができる。

【００７２】なお、上述のように、本例では、顧客に設
定された有効期限内では当該顧客は無料トレーニングを
受けるためのアクセスを許可される一方、当該有効期限
が切れた後にはこのようなアクセスが不許可となる。そ
して、有効期限が切れた後には、顧客は例えばメーカに
料金を支払うことで有料トレーニングを受けることがで
きる。

【００７３】また、メーカは、例えばメーカ協力会社か
ら最新情報の供給を受けるとともに広告料金を受けてお
り、当該広告料金や上記した有料トレーニングに対する
顧客からの入金が主な収入となって、半導体製造装置の
トレーニングシステムが運営される。

【００７４】また、図５には、例えば半導体製造装置を
購入した顧客が当該半導体製造装置のトレーニングの申
し込みを行う場合の手順の一例を示してある。なお、こ
のような申し込みは例えば顧客のユーザＰＣ３と装置ト
レーニングサーバ１との通信によって行われ、顧客はユ
ーザＰＣ３の画面を見ながら申し込みに関するデータや
指示を当該ユーザＰＣ２に入力する。

【００７５】すなわち、まず、顧客はメーカの装置トレ
ーニングサーバ１からトレーニングに関するパンフレッ
トの送付を受けるとともに、仮のお客様ＩＤ（仮のユー
ザＩＤ）を受ける。そして、顧客が仮のお客様ＩＤを用
いて希望パスワードなどを装置トレーニングサーバ１へ
送信すると、装置トレーニングサーバ１が当該申し込み
を受け付けるとともに顧客から入力された情報を確認し
た後に、当該顧客に対してお客様ＩＤや正式なパスワー
ドを発行する。

【００７６】図６には、顧客がメーカに対して半導体製
造装置のトレーニングを申し込むためのトレーニング申
し込み画面の一例を示してあり、この表示内容は例えば
装置トレーニングサーバ１からインターネット５を介し
て送信されてユーザＰＣ３の画面上に表示される。

【００７７】同図に示されるように、トレーニング申し
込み画面では、「（仮の）お客様ＩＤ」や「希望パスワ
ード」や「トレーニングコース選択」などの設定や、
「メールアドレス」の入力や、「会社名」や「工場名」
や「ライン名」等の（お客様）個人情報の入力などを行
うことができる。なお、予め用意された複数の情報の中
から該当するものを選択することが可能な項目について
は選択ボタンＢ１〜Ｂ６が設けられている。

【００７８】図７には、顧客がメーカから半導体製造装
置のトレーニングを受けるためのトレーニングコーナー
への入り口画面の一例を示してあり、この表示内容は例
えば装置トレーニングサーバ１からインターネット５を
介して送信されてユーザＰＣ３の画面上に表示される。
同図に示されるように、トレーニングコーナーへの入り
口画面では、「お客様ＩＤ」や「パスワード」や「メー
ルアドレス」の設定などを行うことができる。

【００７９】図８には、顧客がメーカから半導体製造装
置のトレーニングを受けるためのトレーニングコーナー
の画面の一例を示してあり、この表示内容は例えば装置
トレーニングサーバ１からインターネット５を介して送
信されてユーザＰＣ３の画面上に表示される。

【００８０】同図に示されるように、トレーニングコー
ナーの画面では、例えば「基本教科コース」や「オプシ
ョン教科コース」や「基本シミュレーションコース」や
「オプションシミュレーションコース」に関する様々な
メニュー項目が表示される。そして、顧客は各コースに
関して並べられた多数のメニュー項目の中から所望のメ
ニュー項目（例えば“温度制御の基礎”Ｐ１や“温度制
御”Ｐ２などの下線が引かれた部分）をマウスでクリッ
クすることにより、当該クリックしたメニュー項目に関
するトレーニング（教科データの取得や、シミュレーシ
ョンの実施）を受けることができる。また、トレーニン
グコーナーの画面の端には、例えば各メーカ協力会社の
広告情報が表示され、当該各メーカ協力会社の広告が行
われる。

【００８１】図９には、例えば上記図８に示した画面中
の“温度制御の基礎”Ｐ１がクリックされた場合に顧客
に提供される基本教科コースのトレーニングコーナーの
画面の一例を示してあり、この表示内容は例えば装置ト
レーニングサーバ１からインターネット５を介して送信
されてユーザＰＣ３の画面上に表示される。

【００８２】同図に示されるように、基本教科コース
（オプション教科コースについても同様）のトレーニン
グコーナーの画面では、顧客により選択（クリック）さ
れたメニュー項目に関する説明などのデータが表示され
る。また、顧客は、例えば画面中の専門用語（例えば
“偏差”Ｐ１１などの下線が引かれた部分）等をマウス
でクリックすることにより、当該クリックした事項に関
する更に詳しい説明などを受けることができる。

【００８３】図１０には、例えば上記図８に示した画面
中の“温度制御”Ｐ２がクリックされた場合に顧客に提
供される基本シミュレーションコースのトレーニングコ
ーナーの画面の一例を示してあり、この表示内容は例え
ば装置トレーニングサーバ１からインターネット５を介
して送信されてユーザＰＣ３の画面上に表示される。

【００８４】同図に示されるように、基本シミュレーシ
ョンコース（オプションシミュレーションコースについ
ても同様）のトレーニングコーナーの画面では、例えば
画面の上側にシミュレーション対象となる半導体製造装
置の全部又は一部の構成が表示されるとともに、シミュ
レーションを行うに当たって用いる条件のデータを顧客
から受け付けるための枠（同図の例では、“電気炉”や
“制御方式”や“ＰＩＤ定数”Ｐ２１や“設定温度”を
指定するための枠）が表示される。

【００８５】なお、特定の条件データの項目（同図の例
では、“ＰＩＤ定数”Ｐ２１のように下線が引かれた部
分）については、例えば顧客は当該項目をマウスでクリ
ックすることにより、当該クリックした事項に関する定
数等の設定画面へ移行することができる。また、予め用
意された複数の情報の中から該当するものを選択するこ
とが可能な項目については選択バーＢ１１〜Ｂ１３が設
けられている。

【００８６】そして、顧客は、シミュレーション対象と
なる半導体製造装置に関して所望のシミュレーション条
件のデータを入力することにより、当該条件データを用
いて行われたシミュレーションの結果のデータを当該ト
レーニングコーナーの画面上で見ることができる。具体
的には、顧客により入力される条件データはユーザＰＣ
３からインターネット５を介して装置トレーニングサー
バ１へ送信され、装置トレーニングサーバ１では受信し
た当該条件データに基づいてシミュレーションを行うと
ともに当該シミュレーションの結果のデータをインター
ネット５を介してユーザＰＣ３へ送信し、ユーザＰＣ３
では受信した当該結果データを画面に表示出力する。

【００８７】なお、同図の例では、画面の下側に、装置
トレーニングサーバ１から送信されたシミュレーション
結果のデータが表示されている。このシミュレーション
結果では、横軸が時間（ＴＩＭＥ）を示して縦軸が温度
（°Ｃ）を示すグラフ（シミュレーションの結果）が示
されており、この結果は、当該画面の上側で顧客により
入力された条件データに基づいて得られたものとなって
いる。

【００８８】ここで、上記のようなシミュレーションを
利用して顧客がトレーニングを行う場合の具体例を、温
度や圧力のトレーニングと、メカニカル部分のトレーニ
ングとについて示す。まず、温度トレーニングや圧力ト
レーニングの具体例を示す。これらのトレーニングで
は、まず、顧客がシミュレーションの条件データを入力
してシミュレーションを行うことをユーザＰＣ３の操作
を通じて装置トレーニングサーバ１に対して命令する。
ここで、条件データとしては、顧客は、例えば制御パラ
メータであるＰＩＤ定数を任意に設定することや、装置
タイプ（縦型拡散や、縦型ＣＶＤや、枚葉拡散や、枚葉
ＣＶＤなど）を選択することや、温度（或いは、圧力）
の設定値を入力することなどを行う。

【００８９】このように顧客から条件データの入力等が
あると、装置トレーニングサーバ１では、例えば予め記
憶されている電気炉の特性に基づいて、シミュレーショ
ン対象となる半導体製造装置と同様なシミュレーション
動作を行い、当該シミュレーション動作の結果（例えば
温度グラフや圧力グラフなど）をユーザＰＣ３へ送信し
て当該ユーザＰＣ３の画面上に表示出力させる。

【００９０】そして、顧客は、ユーザＰＣ３の画面上に
表示された条件データに対する結果データ（応答波形
等）を見ることで、当該結果が希望するものであるか否
かを判定することなどを行い、当該結果が希望しないも
のであれば、上記したＰＩＤ定数等の条件データを調整
して再びシミュレーション動作を装置トレーニングサー
バ１に行わせてその結果データを検討することができ
る。このようなシミュレーションを用いた反復的な学習
の繰り返しにより、顧客は、半導体製造装置における温
度制御や圧力制御を習得することができる。

【００９１】次に、メカトレーニングの具体例を示す。
なお、このトレーニングでは、装置トレーニングサーバ
１によって顧客のユーザＰＣ３の画面上に半導体製造装
置（例えば縦型装置等）を三次元的に表示することが行
われ、顧客は、実際の装置で使用しているコントローラ
やハンディターミナルなどと同じものを擬似的に操作す
ることで、機構部動作を学習することができる。

【００９２】このトレーニングでは、まず、顧客がシミ
ュレーションの条件データを入力してシミュレーション
を行うことをユーザＰＣ３の操作を通じて装置トレーニ
ングサーバ１に対して命令する。ここで、条件データと
しては、顧客は、例えば搬送パラメータを設定或いは変
更することや、レシピを設定することや、実行設定（搬
送系動作）をすることや、カセット投入／払出の操作を
することや、スイッチ押下の操作をすることなどを行
う。

【００９３】このように顧客から条件データの入力等が
あると、装置トレーニングサーバ１では、例えば予め設
定されているメカニカル特性（搬送動作）に基づいて、
シミュレーション対象となる半導体製造装置と同様なシ
ミュレーション動作を行い、当該シミュレーション動作
の結果（例えばウエハカセットの移動や、ウエハの搬送
や、ポジションの調整や、ＬＥＤの点灯などの結果）を
ユーザＰＣ３へ送信して当該ユーザＰＣ３の画面上に表
示出力させる。

【００９４】そして、顧客は、ユーザＰＣ３の画面上に
表示された条件データに対する結果データ（半導体製造
装置の動作）を見ることで、当該結果が希望するもので
あるか否かを判定することなどを行い、当該結果が希望
しないものであれば、上記した条件データを調整して再
びシミュレーション動作を装置トレーニングサーバ１に
行わせてその結果データを検討することができる。この
ようなシミュレーションを用いた反復的な学習の繰り返
しにより、顧客は、半導体製造装置におけるメカ的な操
作を習得することができる。

【００９５】以上のように、本例の半導体製造装置のト
レーニングシステムでは、装置トレーニングサーバ１と
ユーザＰＣ３とをインターネット５を介して接続した構
成において、装置トレーニングサーバ１がユーザＰＣ３
を通じてユーザに半導体製造装置のトレーニングをさせ
ることができ、これにより、効率的なトレーニングを実
施することができる。

【００９６】そして、本例の半導体製造装置のトレーニ
ングシステムでは、現物の半導体製造装置を用いずに当
該半導体製造装置に関するシミュレーションを用いてユ
ーザに対するトレーニングが実施されるため、ユーザは
実際の装置と同じ感覚でトレーニングを受けることがで
き、また、半導体製造装置を破壊してしまうことがない
ことからユーザは様々な操作等を装置の破壊の心配なく
大胆に試みることができる。また、ユーザは、トラブル
の擬似発生やトラブルシューティングなどの実習をオン
ライン上で受けることもできる。また、ユーザは、各半
導体製造装置（様々なタイプ等の装置）毎の細部まで正
確に表現（シミュレート）されたきめこまかいジャスト
フィットトレーニングを受けることができる。

【００９７】また、本例の半導体製造装置のトレーニン
グシステムでは、回線５を介した通信を用いて顧客に対
するトレーニングが実施されるため、例えば従来のよう
にトレーニング要員がトレーニングに出向くのにかかる
渡航費用等の経済的な負担を軽減することや、当該渡航
等にかかる時間をなくして時間の節約をすることや、ト
レーニング要員の人件費を削減することなどができる。
また、本例の半導体製造装置のトレーニングシステムで
は、同様な理由から、例えばタイムリーな最新技術を提
供することや、大勢の顧客をいつでもトレーニングする
ことなどができる。

【００９８】また、本例の半導体製造装置のトレーニン
グシステムでは、ユーザによるトレーニングの状況に関
する情報を装置トレーニングサーバ１側（メーカ等）で
把握することが可能であるため、例えばこのような情報
に基づいてユーザのニーズを知ることや、このような情
報を今後の製品の開発や品質の管理等に役立てることが
可能となる。また、シミュレーションを行うプログラム
が大量の（プログラムの）データとなる場合も多いが、
このようなプログラムを装置トレーニングサーバ１側で
記憶して実行する構成であることから、ユーザＰＣ３側
の装置への負担を小さくすることができる。このよう
に、ユーザＰＣ３と回線（本例ではインターネット５）
を介して接続された装置トレーニングサーバ１側でシミ
ュレーションを行う本例の構成は、例えばトレーニング
を実施するメーカやトレーニングを受けるユーザにとっ
て非常に有効なものとなる。

【００９９】ここで、本発明に係る半導体製造装置のト
レーニングシステムや装置トレーニングサーバやユーザ
端末の構成としては、必ずしも以上に示したものに限ら
れず、種々な構成が用いられてもよい。また、本発明の
適用分野としては、必ずしも以上に示したものに限られ
ず、本発明は、種々な分野に適用することが可能なもの
である。

【０１００】また、本例では、本発明に係る半導体製造
装置のトレーニングシステム（に設けられる装置トレー
ニングサーバやユーザ端末）において行われる各種の処
理が、例えばプロセッサやメモリ等を備えたハードウエ
ア資源においてプロセッサがＲＯＭに格納された制御プ
ログラムを実行することにより制御される構成とした
が、例えば当該処理を実行するための各機能手段を独立
したハードウエア回路として構成することも可能であ
る。また、本発明は上記の制御プログラムを格納したフ
ロッピー（登録商標）ディスクやＣＤ−ＲＯＭ等のコン
ピュータにより読み取り可能な記録媒体や当該プログラ
ム（自体）として把握することもでき、当該制御プログ
ラムを記録媒体からコンピュータに入力してプロセッサ
に実行させることにより、本発明に係る処理を遂行させ
ることができる。

【０１０１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体製造装置のトレーニングシステムによると、装置トレ
ーニングサーバとユーザの端末とを回線を介して接続し
た構成において、装置トレーニングサーバが半導体製造
装置に関するシミュレーションを行うプログラムを記憶
し、ユーザ端末によりユーザから受け付けられて当該ユ
ーザ端末から回線を介して送信される半導体製造装置に
関するシミュレーションの条件データを受信し、受信し
た条件データに基づいて記憶されたプログラムを実行
し、実行したプログラムにより行われるシミュレーショ
ンの結果データを回線を介してユーザ端末に対して送信
することで、当該結果データをユーザ端末を通じてユー
ザに対して提供して当該ユーザに半導体製造装置のトレ
ーニングをさせるようにしたため、上述したような種々
な効果を得ることができ、効率的なトレーニングの実施
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る半導体製造装置のトレーニング
システムの一例を示す図である。

【図２】 本発明に係る半導体製造装置のトレーニング
システムの他の例を示す図である。

【図３】 装置トレーニングサーバの構成例を示す図で
ある。

【図４】 半導体製造装置のトレーニングシステムの概
略的な運用例を示す図である。

【図５】 トレーニングの申し込みの手順の一例を示す
図である。

【図６】 トレーニング申し込み画面の一例を示す図で
ある。

【図７】 トレーニングコーナーへの入り口画面の一例
を示す図である。

【図８】 トレーニングコーナーの画面の一例を示す図
である。

【図９】 基本教科コースのトレーニングコーナーの画
面の一例を示す図である。

【図１０】 基本シミュレーションコースのトレーニン
グコーナーの画面の一例を示す図である。

【図１１】 従来例に係る半導体製造装置のトレーニン
グの手順の一例を示す図である。

【符号の説明】

１、１１・・装置トレーニングサーバ、 ２、１４・・
ルータ、３、１５・・ユーザＰＣ、 ４、１６・・アク
セスルータ、５、１７・・インターネット、 １２・・
ＬＡＮ、１３・・ファイアウォール、 ２１・・装置シ
ミュレーションデータベース、２２・・教科データベー
ス、 ２３・・顧客管理データベース、２４、２５・・
メモリ、 ２６・・ＣＰＵ、 ２７・・暗号ユニット、
２８・・通信制御ユニット、 Ｂ１〜Ｂ６・・選択ボタ
ン、Ｂ１１〜Ｂ１３・・選択バー、

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置トレーニングサーバとユーザの端末
   とを回線を介して接続し、装置トレーニングサーバがユ
   ーザ端末を通じてユーザに半導体製造装置のトレーニン
   グをさせる半導体製造装置のトレーニングシステムであ
   って、 装置トレーニングサーバには、半導体製造装置に関する
   シミュレーションを行うプログラムを記憶するプログラ
   ム記憶手段と、 ユーザ端末によりユーザから受け付けられて当該ユーザ
   端末から回線を介して送信される半導体製造装置に関す
   るシミュレーションの条件データを受信する条件データ
   受信手段と、 受信した条件データに基づいてプログラム記憶手段に記
   憶されたプログラムを実行するプログラム実行手段と、 実行したプログラムにより行われるシミュレーションの
   結果データを回線を介してユーザ端末に対して送信する
   結果データ送信手段と、を備え、 当該結果データをユーザ端末を通じてユーザに対して提
   供して当該ユーザに半導体製造装置のトレーニングをさ
   せることを特徴とする半導体製造装置のトレーニングシ
   ステム。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の半導体製造装置のトレ
   ーニングシステムにおいて、 プログラム記憶手段は半導体製造装置に関するシミュレ
   ーションを行うプログラムを複数種類の半導体製造装置
   について記憶し、 条件データ受信手段により受信する条件データには半導
   体製造装置の種類のデータが含まれ、 プログラム実行手段は当該種類データに対応するプログ
   ラムを実行することを特徴とする半導体製造装置のトレ
   ーニングシステム。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の半導体製
   造装置のトレーニングシステムにおいて、 装置トレーニングサーバには、半導体製造装置に関する
   教科データを記憶する教科データ記憶手段と、 ユーザ端末によりユーザから受け付けられて当該ユーザ
   端末から回線を介して送信される教科データ要求データ
   を受信する教科データ要求データ受信手段と、 受信した教科データ要求データにより要求される教科デ
   ータを教科データ記憶手段から抽出して回線を介してユ
   ーザ端末に対して送信する教科データ送信手段と、 を備えたことを特徴とする半導体製造装置のトレーニン
   グシステム。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に
   記載の半導体製造装置のトレーニングシステムにおい
   て、 装置トレーニングサーバには、ユーザ端末によりユーザ
   から受け付けられて当該ユーザ端末から回線を介して送
   信されるユーザ識別データを受信するユーザ識別データ
   受信手段と、 受信したユーザ識別データに基づいてユーザを認証する
   ユーザ認証手段と、 当該認証結果に基づいてユーザによるアクセスを制限す
   るアクセス制限手段と、 を備えたことを特徴とする半導体製造装置のトレーニン
   グシステム。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の半導体製造装置のトレ
   ーニングシステムにおいて、 装置トレーニングサーバには、ユーザによるアクセスに
   関する有効期限データを記憶する有効期限データ記憶手
   段を備え、 アクセス制限手段はユーザ認証手段による認証結果及び
   有効期限データ記憶手段に記憶された有効期限データに
   基づいてユーザによるアクセスを制限することを特徴と
   する半導体製造装置のトレーニングシステム。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項５のいずれか１項に
   記載の半導体製造装置のトレーニングシステムにおい
   て、 ユーザが実行したシミュレーションの内容をユーザ毎に
   蓄積管理するトレーニング管理装置を備えたことを特徴
   とする半導体製造装置のトレーニングシステム。
7. 【請求項７】 ユーザの端末と回線を介して接続され
   て、ユーザ端末を通じてユーザに半導体製造装置のトレ
   ーニングをさせるトレーニングサーバであって、 半導体製造装置に関するシミュレーションを行うプログ
   ラムを記憶するプログラム記憶手段と、 ユーザ端末から回線を介して送信される半導体製造装置
   に関するシミュレーションの条件データを受信する条件
   データ受信手段と、 受信した条件データに基づいてプログラム記憶手段に記
   憶されたプログラムを実行するプログラム実行手段と、 実行したシミュレーションの結果データを回線を介して
   ユーザ端末に対して送信する結果データ送信手段と、 を備えたことを特徴とする半導体製造装置のトレーニン
   グサーバ。
8. 【請求項８】 装置トレーニングサーバと回線を介して
   接続されて、装置トレーニングサーバに保持された半導
   体製造装置に関するシミュレーションプログラムを実行
   させる端末装置であって、 ユーザから受け付けたシミュレーションの条件データを
   回線を介して装置トレーニングサーバへ送信する条件デ
   ータ送信手段と、 送信した条件データに基づいて装置サーバで実行された
   プログラムのシミュレーション結果データを回線を介し
   て受信する結果データ受信手段と、 当該結果データをユーザに対して提供する結果出力手段
   と、 を備えたことを特徴とする半導体製造装置のトレーニン
   グ端末装置。
9. 【請求項９】 半導体製造装置のシミュレーションを実
   行してユーザにトレーニングを行わせる半導体製造装置
   のトレーニング方法において、 半導体製造装置に関するシミュレーションプログラムを
   実行するシミュレーション実行装置へシミュレーション
   の条件データを回線を介して入力し、 プログラムの実行によるシミュレーション結果データを
   回線を介して受信してユーザに対して提示することを特
   徴とする半導体製造装置のトレーニング方法。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の半導体製造装置のト
    レーニング方法において、 条件データにはユーザ識別データが含まれ、 ユーザが実行したシミュレーションの内容をユーザ毎に
    蓄積して出力可能に管理することを特徴とする半導体製
    造装置のトレーニング方法。