JP2002220234A - 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置 - Google Patents

多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置

Info

Publication number
JP2002220234A
JP2002220234A JP2001013579A JP2001013579A JP2002220234A JP 2002220234 A JP2002220234 A JP 2002220234A JP 2001013579 A JP2001013579 A JP 2001013579A JP 2001013579 A JP2001013579 A JP 2001013579A JP 2002220234 A JP2002220234 A JP 2002220234A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
base material
burner
oxyhydrogen flame
porous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001013579A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuuji Tobisaka
優二 飛坂
Hiroshi Machida
浩史 町田
Tadakatsu Shimada
忠克 島田
Hideo Hirasawa
秀夫 平沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2001013579A priority Critical patent/JP2002220234A/ja
Publication of JP2002220234A publication Critical patent/JP2002220234A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/0148—Means for heating preforms during or immediately prior to deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/50—Multiple burner arrangements
    • C03B2207/52—Linear array of like burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/50—Multiple burner arrangements
    • C03B2207/54—Multiple burner arrangements combined with means for heating the deposit, e.g. non-deposition burner

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】クラックの起点を生じることない多孔質ガラス
母材を能率的に製造する方法及び装置を提供する。 【解決手段】長尺母材の長手方向に複数並ぶガラス微粒
子合成バーナー１３で合成したガラス微粒子を、回転し
ている母材１の側壁面に吹き付けながら、長手方向に複
数ガラス微粒子合成バーナーが並ぶ間隔程度の距離を往
復移動する多孔質ガラス母材の製造方法において、ガラ
ス微粒子合成バーナー１３の列の両端に並べられた酸水
素炎バーナー１４をともに前記往復移動させつつ、酸水
素炎バーナー１４によりガラス微粒子が堆積しつつある
長尺母材の両端部を加熱する。 【解決手段】

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの原材
料として使用される多孔質ガラス母材を製造するための
製造方法及びその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、太径のガラス母材から成
形した光ファイバプリフォームを線引きして製造され
る。このガラス母材は、軸付け法や外付け法と呼ばれる
方法で種棒と呼ばれる始発ガラス母材にガラス微粒子を
堆積させた多孔質ガラス母材を、熱処理して透明ガラス
化したものである。
【０００３】多孔質ガラス母材の製造は、当初、ガラス
微粒子合成バーナーを母材の全長に渡って往復移動させ
ながらその側面にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラ
ス層を形成させていた。製造工程を効率化するため、例
えば特許第２６１２９４９号公報には、複数のガラス微
粒子合成バーナーを並べ、部分的に往復移動させながら
ガラス微粒子を堆積させる方法が示されている。この方
法によれば、多孔質ガラス層を軸方向に均一な所定の厚
みに、速やかに堆積させることができる。
【０００４】しかし、このようにして形成された多孔質
ガラス層に僅かでもクラックが入っていると、熱処理に
よる透明ガラス化の工程で収縮などにより拡大し、また
その部分がめくれ上がって、ガラス母材として不良品に
なってしまう。多孔質ガラス層にクラックが入る原因
は、以下のように考えられている。多孔質ガラス層は堆
積中に焼き締められながら積層してゆくが、焼き締めに
よる収縮力が内部へ圧縮応力として蓄積され、微小な
傷、不均一層、異物等による起点から一気に開放されて
割れ、クラックが発生する。ガラス母材は、年々、太
径、長尺になる傾向があり、大型化するにつれて内部応
力も増大する。大型化したガラス母材は、小さな起点か
らでも大きなクラックに成長し易い。
【０００５】ガラス母材のクラックは、密度が高い部分
から低い部分に拡大する傾向が強い。堆積した多孔質ガ
ラス層の末端近傍は錐形をなしつつ芯である始発ガラス
母材に推移してゆくが、錐形部分にはガラス微粒子合成
バーナーによる火力が十分行き渡らないため、密度が低
く、このためクラックが起きた場合、広がり易い。
【０００６】この多孔質ガラス層の末端近傍を加熱して
焼き締めるため、いわゆる固定式のサイドバーナーを設
置することが知られている（特開昭６２−２０７７３４
号公報）。しかし、このサイドバーナーの火炎は、始発
ガラス母材に直接あたるため、始発ガラス母材が過熱し
すぎた場合、始発ガラス母材の軟化によるワークの垂下
などの不具合が生じることがあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の多孔
質ガラス母材の製造方法及び製造装置が持つこのような
問題点を解消し、クラックの起点を生じることがなく、
たとえ生じても広がることの少ない多孔質ガラス母材を
能率的に製造する方法及び装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明を適用する多孔質ガラス母材の製造方法は、長
尺母材の長手方向に複数並ぶガラス微粒子合成バーナー
列で合成したガラス微粒子を、回転している長尺母材の
側壁面に吹き付けながら、該長手方向に複数ガラス微粒
子合成バーナー列が並ぶ間隔程度の距離を往復移動する
多孔質ガラス母材の製造方法において、該ガラス微粒子
合成バーナー列の両端に並べられた酸水素炎バーナーを
ともに前記往復移動させつつ、該酸水素炎バーナーによ
りガラス微粒子が堆積しつつある長尺母材の両端部を加
熱することを特徴とする。
【０００９】この多孔質ガラス母材の製造方法では、該
酸水素炎バーナーに供給する酸素と水素の流量を、該ガ
ラス微粒子合成バーナー列に供給されるガラス微粒子を
合成するための酸素と水素の流量に、連動して調整する
ことが好ましい。
【００１０】さらに好ましくは、該酸水素炎バーナーに
供給する酸素と水素の量を、該ガラス微粒子合成バーナ
ー列に供給されるガラス微粒子を合成するための酸素と
水素の量の０．５〜２倍に調整する。
【００１１】同じく前記課題を解決するための本発明を
適用する多孔質ガラス母材の製造装置は、長尺母材を回
転駆動する駆動手段と、回転する長尺母材の側壁面に向
けてガラス微粒子を吹き付ける長手方向に複数並べられ
たガラス微粒子合成バーナー列と、該ガラス微粒子合成
バーナー列の両端に並べられ、ガラス微粒子が堆積しつ
つある長尺母材の両端部を加熱する酸水素炎バーナー
と、該ガラス微粒子合成バーナーおよび該酸水素炎バー
ナーを該長手方向に往復移動させる駆動手段とを備えて
いる。
【００１２】この多孔質ガラス母材の製造装置は、該ガ
ラス微粒子合成バーナーと該酸水素炎バーナーとが並べ
られる間隔が、該ガラス微粒子合成バーナーが複数並べ
られている間隔以下であることが好ましい。
【００１３】また該酸水素炎バーナーに酸素および水素
を供給する流量を、該ガラス微粒子合成バーナー列に酸
素および水素を供給する流量をもとに制御するコントロ
ーラを備えていることが好ましい。
【００１４】さらに、この多孔質ガラス母材の製造装置
は、該酸水素炎バーナーが往復移動する範囲の外側に、
ガラス微粒子が堆積しつつある長尺母材の両末端近傍を
加熱する別な酸水素炎バーナーが固設されていてもよ
い。
【００１５】本発明の製造方法によれば、ガラス微粒子
合成バーナー列の両端に並べられた酸水素炎バーナーの
火炎が、ガラス微粒子合成バーナーからのガラス微粒子
の流れを制限しながら、ガラス微粒子が堆積しつつある
長尺母材の両端部、すなわち堆積した多孔質ガラス層の
末端近傍の錐形部分を全体的に加熱する。そのため錐形
部分が必要以上に広がり、密度の大幅に低い部分の形成
がなくなり、クラックの起点が発生することを防止でき
る。また、錘形部分が適度に加熱され、焼き締められる
から、錘形部分の高密度化が達成でき、クラックが発生
した場合でも、クラックの拡大を防止できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の製造装置を使用し、本発
明の製造方法にしたがって多孔質ガラス母材を製造する
好ましい実施の形態を図面により以下に説明する。
【００１７】図１は本発明を適用する多孔質ガラス母材
の製造装置の一実施例要部を示す概略構成図である。図
は、始発ガラス母材１ａに多孔質ガラス層１ｂが積層し
つつある多孔質ガラス母材１の製造途中を示している。
【００１８】装置は、全体がチャンバー（図示省略）内
に配置される。多孔質ガラス母材１の始発ガラス母材１
ａ両端を把持する回転軸受１０および１１が固設され、
多孔質ガラス母材１に向けて下方にはバーナー群が配置
される。始発ガラス母材１ａは回転軸受１０を介してギ
アモーター１２に連結されている。
【００１９】バーナー群は以下のとおりの構成である。
同心円状五重管のガラス微粒子合成バーナー１３が１０
本等間隔に並べられ、その両側にガラス微粒子合成バー
ナー１３の間隔の１／２〜１／１の間隔をおいて同心円
状五重管の酸水素炎バーナー１４が各１本ずつ計２本並
べられ、水平往復移動の駆動手段に搭載されている。こ
の駆動手段は、ボールナットを内蔵する移動架１５が正
逆回転のスッテッピングモータ１７に繋がるネジ棒１６
に螺合した構成である。ネジ棒１６の軸受１８は上下駆
動機構１９に支持され、１０本のガラス微粒子合成バー
ナー１３および２本の酸水素炎バーナー１４の総てが上
下動（多孔質ガラス母材１に接近、後退）するようにな
っている。
【００２０】さらに多孔質ガラス母材１の始発ガラス母
材１ａに多孔質ガラス層１ｂが積層される両際に向けて
同心円状三重管の酸水素炎バーナー２０が各１本ずつ計
２本固設されている。
【００２１】１０本のガラス微粒子合成バーナー１３の
配管１３Ｐ、２本の酸水素炎バーナー１４の配管１４
Ｐ、２本の酸水素炎バーナー２０の配管２０Ｐは、図２
に示してある。ガラス微粒子合成バーナー１３を構成す
る同心円状五重管の第一管（中心管）１３Ｐ１は、バブ
ラー２２、および流量計２５を介してキャリア用Ｏ２ボ
ンベに接続されている。バブラー２２はＳｉＣｌ４の供
給源に繋がっている。バブラー２２からのＳｉＣｌ４の
供給量は、キャリア用Ｏ２の流量及びバブラー２２内の
ＳｉＣｌ４の液温を調節することでコントロールを行
う。第二管１３Ｐ２は流量計２６を介してシール用Ａｉ
ｒボンベに接続され、第三管１３Ｐ３は流量計２７を介
してＨ２ボンベに接続され、第四管１３Ｐ４は、流量計
２８を介してシール用Ｎ２ボンベに接続され、第五管
（最外管）１３Ｐ５は流量計２９を介して燃焼用Ｏ２に
接続される。２本の酸水素炎バーナー１４を構成する同
心円状五重管の第一管（中心管）１４Ｐ１は流量計３５
を介してＯ２ボンベに接続され、第二管１４Ｐ２は流量
計３６を介してＡｉｒボンベに接続され、第三管１４Ｐ
３は流量計３７を介してＨ２ボンベに接続され、第四管
１４Ｐ４は流量計３８を介してＮ２ボンベに接続され、
第五管（最外管）１４Ｐ５は流量計３９を介してＯ ２に
接続される。２本の酸水素炎バーナー２０を構成する同
心円状三重管の第一管（中心管）２０Ｐ１は流量計４１
を介してＯ２ボンベに接続され、第二管２０Ｐ２は流量
計４２を介してＮ２ボンベに接続され、第三管（外管）
２０Ｐ３は流量計４３を介してＯ２ボンベに接続され
る。
【００２２】流量計２５、流量計２６、流量計２７、流
量計２８、流量計２９、流量計３５、流量計３６、流量
計３７、流量計３８、流量計３９、流量計４１、流量計
４２、流量計４３のガス流量を調整するための弁の電磁
回路は流量コントローラ回路４５に接続されている。
【００２３】この製造装置を使用して本発明を適用する
製造方法により、多孔質ガラス母材は以下のように製造
される。
【００２４】始発ガラス母材１ａを回転軸受１０および
１１で把持し、上下駆動機構１９でガラス微粒子合成バ
ーナー１３および酸水素炎バーナー１４を始発ガラス母
材１ａに接近させておく。上下駆動機構１９は多孔質ガ
ラス層１ｂの積層スピードに応じて後退するように設定
しておく。スッテッピングモータ１７は、ガラス微粒子
合成バーナー１３および酸水素炎バーナー１４が並べら
れている間隔距離よりも若干長めの距離で往復移動する
ように回転数および正逆回転方向を設定しておく。流量
コントローラ回路４５には、各流量計の流量を設定す
る。流量計２７はＨ２の流量、流量計２９は燃焼用Ｏ２
の流量、流量計２５はキャリア用Ｏ２の流量を、多孔質
ガラス層１ｂが積層するにつれて変化させるように設定
する。流量計３７は流量計２７のＨ２の流量に比例して
Ｈ２を、流量計３９は流量計２９の燃焼用Ｏ２の流量に
比例してＯ２を、流量計３５は流量計２５のキャリア用
Ｏ２に比例してＯ２を変化させるように設定する。ま
た、酸水素炎バーナー１４のＨ ２およびＯ２の流量は、
ガラス微粒子合成バーナー１３の流量に対して０．５〜
２倍になるように設定する。
【００２５】このような設定が終了したら、排気ダクト
２１に付属のファン（不図示）を運転し、始発ガラス母
材１ａを回転させる。ガラス微粒子合成バーナー１３、
酸水素炎バーナー１４、および酸水素炎バーナー２０を
総て点火し、モーター１２を運転する。スッテッピング
モータ１７を運転し、さらに上下駆動機構１９を作動さ
せる。ガラス微粒子合成バーナー１３ではＳｉＯ２（ガ
ラス微粒子）が火炎合成されて始発ガラス母材１ａの側
壁面に吹き付けられる。ガラス微粒子合成バーナー１３
および酸水素炎バーナー１４は、水平方向に往復移動し
つつ後退し、多孔質ガラス層１ｂが堆積し、多孔質ガラ
ス層１ｂの末端の錐形部分も含めて焼き締められる。
【００２６】上記本発明の製造装置を使用して本発明の
製造方法により、多孔質ガラス母材を実際に製造した例
を以下に示す。
【００２７】ガラス微粒子合成バーナー１３は１５０ｍ
ｍ間隔で配置し、酸水素炎バーナー１４は両端のガラス
微粒子合成バーナー１３から１００ｍｍ間隔で配置した
装置を使用した。始発ガラス母材１ａとしては、４０ｍ
ｍφの石英ガラス棒を使用した。
【００２８】ガラス微粒子合成用バーナー１３に供給す
るガス量を、流量コントローラ回路４５で以下のとおり
設定した。流量計２５（キャリア用Ｏ２）は堆積初期１
５Ｎ（Ｎｏｒｍａｌ：標準状態０℃１気圧に換算）Ｌ／
ｍｉｎ堆積終了時１３ＮＬ／ｍｉｎ、流量計２７
（Ｈ２）は堆積初期５０ＮＬ／ｍｉｎ堆積終了時１００
ＮＬ／ｍｉｎ、流量計２９（燃焼用Ｏ２）は堆積初期２
５ＮＬ／ｍｉｎ堆積終了時５０ＮＬ／ｍｉｎとした。流
量計２６（シール用Ａｉｒ）は４ＮＬ／ｍｉｎ、流量計
２８（シール用Ｎ２）は１３ＮＬ／ｍｉｎで堆積初期か
ら堆積終了時まで一定とした。ＳｉＣｌ４の供給量は堆
積初期３．５ｇ／ｍｉｎ堆積終了時２３ｇ／ｍｉｎとし
た。酸水素炎バーナー１４に供給するガス量は、ガラス
微粒子合成用バーナー１３に供給するガス量に対して、
流量計３７（Ｈ２）を０．５倍、流量計３９（Ｏ２）を
同量、流量計３５（Ｏ２）を０．５倍とし、流量計３６
（Ａｉｒ）および流量計３８（Ｎ２）は同量を供給し
た。また、酸水素炎バーナー２０について、流量計４１
（Ｏ２）を１０ＮＬ／ｍｉｎ、流量計４２（Ｎ２）を２
ＮＬ／ｍｉｎで堆積初期から堆積終了時まで一定とし、
流量計４３（Ｈ２）のみ初期を２ＮＬ／ｍｉｎ、堆積時
間の２０％くらいで１５ＮＬ／ｍｉｎとなるように変化
させ、それ以後１５ＮＬ／ｍｉｎで固定した。変化させ
たガス量は、夫々、積層するにつれて徐々に変化させる
ように設定して制御を行った。
【００２９】バーナー列の横移動速度は、１０００ｍｍ
／ｍｉｎの一定とし、移動距離１５０ｍｍとした。回転
は、堆積初期を１２０ｒｐｍ、堆積終了時に３０ｒｐｍ
となるように重量の増加に合わせて変化させた。バーナ
ーと堆積層表面の間隔が同じとなるよう、堆積層の外径
の増加に合わせ、バーナーを後退させた。
【００３０】このような条件で多孔質ガラス層１ｂを外
径３２０ｍｍφまで堆積を行った。これを冷却した多孔
質ガラス母材１には、僅かなクラックもないものであっ
た。
【００３１】比較のため、上記の製造装置を使用した
が、酸水素炎バーナー１４は動作させず、それ以外は上
記の例と同様にして多孔質ガラス母材の製造を行った。
その結果、多孔質ガラス層１ｂの外径が２２０ｍｍまで
積層したところで、端部で発生した小さなクラックが発
生し、それが拡大し、目標の外径３２０ｍｍまでの堆積
が行えなかった。
【００３２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、本発明の
製造装置を使用して本発明の製造方法により製造した多
孔質ガラス母材は、始発ガラス母材に堆積した多孔質ガ
ラス層の末端近傍の錐形部分を全体的に加熱されて焼き
締められているので、この部分にクラックの起点の発生
及びクラックの拡大を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用する多孔質ガラス母材の製造装置
の一実施例要部を示す正面図である。
【図２】上記製造装置のガス供給量の制御回路図であ
る。
【符号の説明】
１は多孔質ガラス母材、１ａは始発ガラス母材、１ｂは
多孔質ガラス層、１０・１１は回転軸受、１２はギアモ
ーター、１３はガラス微粒子合成バーナー、１４は酸水
素炎バーナー、１５は移動架、１６はネジ棒、１７はス
テッピングモータ、１８は軸受、１９は上下駆動機構、
２０は酸水素炎バーナー、２１は排気ダクト、２２はバ
ブラー、２５〜２９・３５〜３９・４１〜４３は流量
計、４５は流量コントローラ回路である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G014 AH14

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 長尺母材の長手方向に複数並ぶガラス
    微粒子合成バーナー列で合成したガラス微粒子を、回転
    している長尺母材の側壁面に吹き付けながら、該長手方
    向に該ガラス微粒子合成バーナー列が、並ぶ間隔程度の
    距離を往復移動する多孔質ガラス母材の製造方法におい
    て、該ガラス微粒子合成バーナー列の両端に並べられた
    酸水素炎バーナーをともに前記往復移動させつつ、該酸
    水素炎バーナーによりガラス微粒子が堆積しつつある長
    尺母材の両端部を加熱することを特徴とする多孔質ガラ
    ス母材の製造方法。
  2. 【請求項２】 該酸水素炎バーナーに供給する酸素と
    水素の量を、該ガラス微粒子合成バーナー列に供給され
    るガラス微粒子を合成するための酸素と水素の流量に、
    連動して調整することを特徴とする請求項１に記載の多
    孔質ガラス母材の製造方法。
  3. 【請求項３】 該酸水素炎バーナーに供給する酸素と
    水素の量を、該ガラス微粒子合成バーナー列に供給され
    るガラス微粒子を合成するための酸素と水素の流量の
    ０．５〜２倍に調整することを特徴とする請求項２に記
    載の多孔質ガラス母材の製造方法。
  4. 【請求項４】 長尺母材を回転駆動する駆動手段と、 回転する長尺母材の側壁面に向けてガラス微粒子を吹き
    付ける長手方向に複数並べられたガラス微粒子合成バー
    ナー列と、 該ガラス微粒子合成バーナー列の両端に並べられ、ガラ
    ス微粒子が堆積しつつある長尺母材の両端部を加熱する
    酸水素炎バーナーと、 該ガラス微粒子合成バーナー列および該酸水素炎バーナ
    ーを該長手方向に往復移動させる駆動手段とを、備えて
    いることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。
  5. 【請求項５】 該ガラス微粒子合成バーナーと該酸水
    素炎バーナーとが並べられる間隔が、該ガラス微粒子合
    成バーナーが複数並べられている間隔以下であることを
    特徴とする請求項４に記載の多孔質ガラス母材の製造装
    置。
  6. 【請求項６】 該酸水素炎バーナーに酸素および水素
    を供給する流量を、該ガラス微粒子合成バーナー列に酸
    素および水素を供給する流量をもとに制御するコントロ
    ーラを備えていることを特徴とする請求項４または５に
    記載の多孔質ガラス母材の製造装置。
  7. 【請求項７】 請求項４に記載の多孔質ガラス母材の
    製造装置において、該酸水素炎バーナーが往復移動する
    範囲の外側に、ガラス微粒子が堆積しつつある該長尺母
    材の両末端近傍を加熱する別な酸水素炎バーナーが固設
    されていることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装
    置。
JP2001013579A 2001-01-22 2001-01-22 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置 Pending JP2002220234A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001013579A JP2002220234A (ja) 2001-01-22 2001-01-22 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001013579A JP2002220234A (ja) 2001-01-22 2001-01-22 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002220234A true JP2002220234A (ja) 2002-08-09

Family

ID=18880410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001013579A Pending JP2002220234A (ja) 2001-01-22 2001-01-22 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002220234A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014514236A (ja) * 2011-04-08 2014-06-19 ヘレウス クオーツ ユーケー リミティド シリカ煤体の製造

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60191028A (ja) * 1984-03-07 1985-09-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 高純度ガラス体の製造方法
JPH10114535A (ja) * 1996-08-13 1998-05-06 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ母材の製造方法
US6047564A (en) * 1996-07-18 2000-04-11 Heraeus Quarzglas Gmbh Method of producing quartz glass bodies

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60191028A (ja) * 1984-03-07 1985-09-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 高純度ガラス体の製造方法
US6047564A (en) * 1996-07-18 2000-04-11 Heraeus Quarzglas Gmbh Method of producing quartz glass bodies
JPH10114535A (ja) * 1996-08-13 1998-05-06 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ母材の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014514236A (ja) * 2011-04-08 2014-06-19 ヘレウス クオーツ ユーケー リミティド シリカ煤体の製造
US9284213B2 (en) 2011-04-08 2016-03-15 Heraeus Quartz Uk Limited Production of silica soot bodies

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3131162B2 (ja) 光ファイバプリフォームの製造方法
JP3521681B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
US3907536A (en) Method for depositing silica on a fused silica tube
JP2612949B2 (ja) 光ファイバプリフォーム母材の製造方法
JP2622182B2 (ja) 光ファイバプリフォーム母材の製造方法
US7437893B2 (en) Method for producing optical glass
JP2002220234A (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置
JP2007210856A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP5904967B2 (ja) 多孔質ガラス母材製造用のバーナ
CN113072290B (zh) 一种纯石英玻璃中空圆柱体的制造方法
JP3581764B2 (ja) 多孔質光ファイバ母材の製造方法
JP5012042B2 (ja) ガラス母材の製造方法
JPH07138028A (ja) 合成石英ガラス部材の製造方法および合成石英ガラス製造用バーナー
JP3917022B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JP3212331B2 (ja) 光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法
US8297079B2 (en) Method of manufacturing porous glass base material used for optical fibers, and glass base material
JP2003226545A (ja) 光ファイバ母材の製造方法と光ファイバ母材の製造装置
JPH11349345A (ja) 多孔質母材の製造方法
JP5204194B2 (ja) 多孔性ガラス堆積法による微細構造のファイバプリフォームの形成
JP3721757B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP3663871B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
CN116253504A (zh) 一种ovd工艺沉积装置
JP4252871B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JPS63107825A (ja) 合成石英管の製造方法
JP2846048B2 (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090121

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090804

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091005

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091208

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100205

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100525