JP2002210964A - Ink jet head and its manufacturing method - Google Patents

Ink jet head and its manufacturing method

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JP2002210964A
JP2002210964A JP2001006863A JP2001006863A JP2002210964A JP 2002210964 A JP2002210964 A JP 2002210964A JP 2001006863 A JP2001006863 A JP 2001006863A JP 2001006863 A JP2001006863 A JP 2001006863A JP 2002210964 A JP2002210964 A JP 2002210964A
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ink
adhesive
pressure chamber
jet head
ink jet
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Application number
JP2001006863A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Nomori
弘之 野守
Takeshi Ito
健 伊藤
Yasuo Nishi
泰男 西
Hiroshi Takeuchi
寛 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head exhibiting high resistance against various inks, and a method for manufacturing the ink jet head with high workability and efficiency. SOLUTION: Since an adhesive containing polysiloxane modified epoxy resin is employed at a bonding part touching ink, an ink jet head exhibiting resistance against various inks can be provided without sacrifice of various characteristics required for the adhesive of ink jet head. An ink jet head exhibiting high ink resistance and high positional accuracy while preventing ooze-out or flow-out of adhesive can be manufactured efficiently.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an ink jet head and a method for manufacturing the ink jet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】小液滴のインクを飛翔させ、対象物に付
着させるインクジェット技術は、紙、フィルム、布に文
字や画像をプリントするプリンタ、FAX、コピー機の
ほか、カラーフィルターの製造、有機ELディスプレイ
の製造など広い分野に応用されている。飛翔させるイン
クは応用分野により、染料、顔料をはじめとして、いろ
いろな無機物、有機物を水や有機溶媒に溶解または分散
させたものなどさまざまな種類が用いられる。
2. Description of the Related Art Ink jet technology, in which small droplets of ink are caused to fly and adhere to an object, includes printers for printing characters and images on paper, film, and cloth, as well as FAX and copier machines, as well as the manufacture of color filters and organic inks. It is applied to a wide range of fields such as the manufacture of EL displays. Depending on the field of application, various types of inks are used, such as dyes and pigments, and various inorganic and organic substances dissolved or dispersed in water or an organic solvent.

【0003】また、インクを小液滴にして飛翔させるイ
ンクジェットヘッドにはいろいろな原理のものが知られ
ている。それらインクジェットヘッドの製造には接着剤
が使用されるが、インクジェットに用いられる接着剤に
はいろいろな性能が要求され、通常は、溶剤を含まな
い、エポキシ系接着剤やシリコ−ン系接着剤などが使用
される。シリコ−ン系接着剤は接着力が小さいためにヘ
ッドの主要機能部分にはエポキシ系接着剤が多く使われ
る。
There are known various ink jet heads that fly ink droplets in small droplets. Adhesives are used in the manufacture of these ink jet heads, but adhesives used in ink jets require various performances, and usually do not contain solvents, such as epoxy adhesives and silicone adhesives. Is used. Since silicone-based adhesives have low adhesive strength, epoxy-based adhesives are often used for main functional parts of the head.

【0004】[0004]

【問題を解決しようとする課題】インクジェットに用い
られる接着剤に要求される性能のひとつとして、インク
に接する接合部分の接着剤のインクに対する耐性があ
る。インクジェットヘッドを広い分野に適用するために
はさまざまなインクに対して耐性をもつ接着剤を使用す
る必要があるが、他の性能を満足し、かつさまざまなイ
ンクに対して耐性をもつ接着剤はなかった。たとえばエ
ポキシ系接着剤の日立化成社製ハイボン3000、セメ
ダイン社製セメダイン1500、EP−007、アルフ
ァ技研社製R−2007、H−1004などは水や有機
溶剤などの溶媒で膨潤し、接着強度が低下してヘッドが
破壊されたり、インクの漏れをおこしたりする。同じく
エポキシ系接着剤の田岡化学社製テクノダインAH30
41Wはこれらの接着剤よりも耐性があるが、まだ充分
とはいえなかった。
One of the properties required for an adhesive used in an ink jet is the resistance of the adhesive at the joint in contact with the ink to the ink. To apply inkjet heads to a wide range of fields, it is necessary to use adhesives that are resistant to various inks, but adhesives that satisfy other performances and are resistant to various inks Did not. For example, epoxy adhesives such as Hitachi Chemical's Hibon 3000, Cemedine's Cemedine 1500, EP-007, and Alpha Giken's R-2007 and H-1004 swell with solvents such as water and organic solvents, and have an adhesive strength. The ink drops and the head is destroyed or ink leaks. Technodyne AH30 manufactured by Taoka Chemical Co., Ltd.
Although 41W is more resistant than these adhesives, it was not yet sufficient.

【0005】一方、インクジェットに使用される接着剤
には耐インク性のほかに以下のような性能が必要とされ
る。製造上の性能として未硬化時の保存安定性が高いこ
と、硬化温度が低いこと、塗設時の粘度が一定の範囲に
あること、塗設方法への適性があることなどが挙げられ
る。
On the other hand, adhesives used in ink jets are required to have the following performance in addition to ink resistance. Manufacturing performance includes high storage stability when uncured, a low curing temperature, a viscosity in application within a certain range, and suitability for application methods.

【0006】接着作業前または作業中に意図しない硬化
が進行して接着後の性能を低下させないために未硬化時
の保存安定性が高いことが必要である。主剤と硬化剤を
接着前に混合する2液性の接着剤は保存安定性にすぐれ
るが、硬化を均一に進ませるための2液の均一な混合が
必要で、作業性に劣り、また作業中に硬化が進み、接着
剤の物性値が経時で変化するために塗設条件が変化して
しまう。常温で硬化が進行しない潜在形の硬化剤を使用
した1液性の接着剤が好ましいが、常温での硬化を完全
に阻止することが難しく、通常は低温で保存する必要が
ある。
[0006] In order to prevent unintentional curing from proceeding before or during the bonding operation and deteriorating the performance after bonding, it is necessary to have high storage stability when uncured. The two-part adhesive, which mixes the main agent and the curing agent before bonding, has excellent storage stability, but requires a uniform mixing of the two parts to promote uniform curing, resulting in poor workability and workability. During the curing, the application condition changes because the physical property value of the adhesive changes over time. A one-component adhesive using a latent curing agent that does not proceed to cure at room temperature is preferable, but it is difficult to completely prevent curing at room temperature, and it is usually necessary to store at a low temperature.

【0007】インクジェットヘッドの接着は10μm以
下のきわめて高い寸法精度が要求されるが、接着時の硬
化温度が高いと接着される部材間の熱膨張率の違いで、
位置精度を保つことが困難となる。
[0007] Adhesion of an ink jet head requires an extremely high dimensional accuracy of 10 µm or less. However, if the curing temperature at the time of adhesion is high, the difference in the coefficient of thermal expansion between the members to be adhered causes
It is difficult to maintain positional accuracy.

【0008】また、圧電素子は通常100〜150℃以
上に温度をあげると分極が消失して圧電効果が見られな
くなったり、効率が低下したりする。このために硬化温
度は低いほどよい。しかし、単に低い温度で硬化させる
と、架橋密度が上がらず、硬化後の接着強度、弾性率、
耐インク性が低下する。
Further, when the temperature of the piezoelectric element is raised to 100 to 150 ° C. or higher, the polarization is lost and the piezoelectric effect is not seen or the efficiency is reduced. For this reason, the lower the curing temperature, the better. However, simply curing at low temperature does not increase the crosslink density, and the adhesive strength, elastic modulus,
Ink resistance decreases.

【0009】インクジェットヘッドは100μm以下の
ノズルやインク流路から成り立っており、接着面以外へ
の接着剤のはみ出しは数μm以下にする必要がある。こ
のため、接着剤の塗設は転写、スクリーン印刷、フレキ
ソ印刷などで行われ、特にスクリーン印刷、フレキソ印
刷が好ましいが、このような印刷適性が要求させる。特
に粘度は高すぎると塗設できないし、低すぎるとはみ出
し、流れ出しが生じるので、一定の範囲にあることが必
要である。
[0009] The ink jet head is composed of nozzles and ink flow paths of 100 µm or less, and the protrusion of the adhesive to the area other than the adhesive surface must be several µm or less. For this reason, the application of the adhesive is performed by transfer, screen printing, flexographic printing, and the like. In particular, screen printing and flexographic printing are preferable, but such printability is required. In particular, if the viscosity is too high, the coating cannot be performed, and if the viscosity is too low, it will run out and run out, so that it is necessary to be within a certain range.

【0010】はみ出し、流れ出し防止や位置精度に効果
がある方法として接着剤を接着させる少なくとも一方の
部材に塗設した後に、Bステージ化させて接着すること
が好ましい。Bステージとは硬化(重合反応)がある程
度進行したところで一旦重合反応の進行を停止させ、常
温ではほとんど硬化が進まなくなる安定な状態となるこ
とをいう。
[0010] As a method that is effective in preventing run-out and flow-out and in positioning accuracy, it is preferable to apply the adhesive to at least one member to which the adhesive is to be adhered, and then form the B-stage and adhere. The B stage means that when the curing (polymerization reaction) has progressed to some extent, the progress of the polymerization reaction is temporarily stopped, and a stable state in which curing hardly proceeds at room temperature is obtained.

【0011】硬化後の性能として、接着強度が高いこ
と、弾性率が高いことなどが挙げられる。接着部分がヘ
ッドの他の部分の耐久時間以内にはがれてしまわないだ
けの接着強度とその耐久性が必要である。圧力発生部材
の接着では、弾性率が低いと圧力が逃げて効率が低下す
るために、特に高いことが要求される。
The properties after curing include high adhesive strength and high elastic modulus. Adhesive strength and durability are required so that the bonded part does not peel off within the durability time of the other part of the head. In the bonding of the pressure generating member, if the elastic modulus is low, the pressure is released and the efficiency is reduced, so that the pressure generating member is required to be particularly high.

【0012】本発明は、さまざまなインクに対して高い
耐性をもつインクジェットヘッド、および、そのインク
ジェットヘッドを作業性よく高効率で得られるインクジ
ェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide an ink jet head having high resistance to various inks, and a method for manufacturing the ink jet head which can obtain the ink jet head with good workability and high efficiency.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明インクジェットヘッド及びその製造方法は、以
下のように構成した。
In order to achieve the above object, an ink jet head according to the present invention and a method for manufacturing the same are constituted as follows.

【0014】請求項1に記載の発明は、少なくとも2つ
の部材を接着剤で接合したインクジェットヘッドにおい
て、インクに接する接合部分の接着剤の少なくとも一部
に、ポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤
を用いたことを特徴とするインクジェットヘッドであ
る。
According to a first aspect of the present invention, in an ink jet head in which at least two members are joined by an adhesive, an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin is included in at least a part of an adhesive at a joining portion in contact with the ink. An ink-jet head characterized by using:

【0015】請求項1に記載の発明によると、他の特性
を犠牲にすることなく、さまざまなインクに対して耐性
をもつインクジェットヘッドを提供することができる。
According to the first aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head having resistance to various inks without sacrificing other characteristics.

【0016】請求項2に記載の発明は、前記ポリシロキ
サン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤は、ジシアンジ
アミドまたはジシアンジアミドの誘導体を硬化剤として
含有していることを特徴とする請求項1に記載のインク
ジェットヘッドである。
According to a second aspect of the present invention, the adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin contains dicyandiamide or a derivative of dicyandiamide as a curing agent. Head.

【0017】請求項2に記載の発明によると、常温で硬
化反応がおこらず、あらかじめ主剤であるポリシロキサ
ン変性エポキシ樹脂と硬化剤を混合した状態で保存でき
る一液型の接着剤として使用できるために作業性に優
れ、接着剤をBステージ化させてから接着して、接着剤
のはみ出しが少なく、接着位置精度の高い接着をするこ
とができる。
According to the second aspect of the present invention, a curing reaction does not occur at room temperature, and the composition can be used as a one-part adhesive which can be stored in a state where a polysiloxane-modified epoxy resin as a main component and a curing agent are mixed in advance. The workability is excellent, the adhesive is bonded to the B-stage, and then bonded, so that the adhesive is less protruded and the bonding position is highly accurate.

【0018】請求項3に記載の発明は、前記ポリシロキ
サン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤は、脂肪族アミ
ンエポキシアダクトを反応促進剤として含有しているこ
とを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェッ
トヘッドである。
The invention according to claim 3 is characterized in that the adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin contains an aliphatic amine epoxy adduct as a reaction accelerator. It is an inkjet head of description.

【0019】請求項3に記載の発明によると、接着剤を
塗設する部材への塗れ性を良好にすることができる。ま
た、接着時の硬化温度を低くでき、熱膨張による接着位
置精度の低下やインクの吐出エネルギーを発生させる圧
電素子の劣化をおこさずに接着強度を上げることができ
る。
According to the third aspect of the invention, it is possible to improve the wettability of the member on which the adhesive is applied. In addition, the curing temperature at the time of bonding can be lowered, and the bonding strength can be increased without lowering the bonding position accuracy due to thermal expansion or deteriorating the piezoelectric element that generates ink ejection energy.

【0020】請求項4に記載の発明は、インクを吐出す
るノズルを形成したノズルプレートとインクを吐出させ
るためのエネルギーを発生させる圧力室とを備え、前記
ノズルプレートと他の部材との接合部分に、前記ポリシ
ロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤を用いたこ
とを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインク
ジェットヘッドである。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a nozzle plate on which a nozzle for discharging ink is formed, and a pressure chamber for generating energy for discharging ink, and a joint portion between the nozzle plate and another member. The inkjet head according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin is used.

【0021】請求項4に記載の発明によると、ノズルプ
レートの接着位置が高精度で、ノズル、インク流路、圧
力室への接着剤のはみ出しがなく、飛翔するインク滴の
液滴量、速度、射出角度の安定したインクジェットヘッ
ドを提供することができる。
According to the fourth aspect of the invention, the bonding position of the nozzle plate is highly accurate, the adhesive does not protrude into the nozzle, the ink flow path, and the pressure chamber, and the amount and speed of the flying ink droplets In addition, it is possible to provide an inkjet head having a stable emission angle.

【0022】請求項5に記載の発明は、インクを吐出さ
せるためのエネルギーを発生させる圧力室を備え、前記
圧力室のインク導入側に設けられてインクの流動を制限
する部材と、他の部材との接合部分に、前記ポリシロキ
サン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤を用いたことを
特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインクジェ
ットヘッドである。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a pressure chamber for generating energy for ejecting ink, a member provided on the ink introduction side of the pressure chamber to restrict the flow of ink, and another member. The inkjet head according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin is used in a joint portion with the ink jet head.

【0023】請求項5に記載の発明によると、ノズルや
圧力室内のインクの挙動を制御して、安定に高速の駆動
の可能なインクジェットヘッドを提供することができ
る。
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head capable of stably driving at high speed by controlling the behavior of the ink in the nozzles and the pressure chambers.

【0024】請求項6に記載の発明は、インクを吐出さ
せるためのエネルギーを発生させる圧力室を備え、前記
圧力室が複数の部材から構成されており、前記複数の部
材のうち少なくとも2つの部材間の接合部分に、前記ポ
リシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤を用い
たことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a pressure chamber for generating energy for discharging ink, wherein the pressure chamber comprises a plurality of members, and at least two members among the plurality of members. The ink jet head according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin is used for a joint between them.

【0025】請求項6に記載の発明によると、圧力室を
構成する部材の接着硬度を上げることができ、圧力の損
失を少なくして、効率の高いインクジェットヘッドを提
供することができる。
According to the sixth aspect of the present invention, it is possible to increase the adhesive hardness of the members forming the pressure chamber, reduce the pressure loss, and provide an efficient ink jet head.

【0026】請求項7に記載の発明は、前記圧力室の外
側に形成された圧電素子に電圧を印可し、前記圧電素子
を伸縮して変形させることにより、前記圧力室を変形し
てインクを吐出させるためのエネルギーを発生させるこ
とを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のインク
ジェットヘッドである。
According to a seventh aspect of the present invention, a voltage is applied to a piezoelectric element formed outside the pressure chamber, and the piezoelectric element is expanded and contracted to deform the pressure chamber. The inkjet head according to any one of claims 1 to 6, wherein the inkjet head generates energy for discharging.

【0027】請求項7に記載の発明によると、圧電素子
の効率の高い変形モードにより圧力を発生させて、吐出
のための発生圧力が高いインクジェットヘッドを提供す
ることができる。
According to the seventh aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head in which a pressure is generated by a highly efficient deformation mode of a piezoelectric element, and a pressure generated for ejection is high.

【0028】請求項8に記載の発明は、前記圧力室内に
発熱体を設け、前記発熱体に通電することによりインク
を気化させてインクを吐出させるためのエネルギーを発
生させることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記
載のインクジェトヘッドである。
[0028] The invention according to claim 8 is characterized in that a heating element is provided in the pressure chamber, and by energizing the heating element, the ink is vaporized to generate energy for discharging the ink. Item 7. An inkjet head according to any one of Items 1 to 6.

【0029】請求項8に記載の発明によると、吐出のた
めの発生圧力が高く、安価で製造の容易なインクジェッ
トヘッドを提供することができる。
According to the eighth aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head which generates a high pressure for ejection, is inexpensive and easy to manufacture.

【0030】請求項9に記載の発明は、前記圧力室を構
成する部材の全部または一部を圧電素子で形成し、前記
圧電素子に電圧を印可して剪断変形をさせることにより
インクを吐出させるためのエネルギーを発生させること
を特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のインクジ
ェットヘッドである。
According to a ninth aspect of the present invention, all or a part of the members constituting the pressure chamber is formed of a piezoelectric element, and a voltage is applied to the piezoelectric element to cause a shear deformation, thereby discharging ink. The inkjet head according to any one of claims 1 to 6, wherein energy for generating the ink is generated.

【0031】請求項9に記載の発明によると、圧電素子
に溝を切ることで圧力室を形成して、高速駆動が可能で
製造の容易なインクジェットヘッドを提供することがで
きる。
According to the ninth aspect of the present invention, a pressure chamber is formed by cutting a groove in the piezoelectric element, and it is possible to provide an ink jet head which can be driven at a high speed and is easily manufactured.

【0032】請求項10に記載の発明は、前記圧電素子
は、互いに異なる方向に分極された2つの圧電素子が前
記ポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤で
接合されていることを特徴とする請求項9に記載のイン
クジェットヘッドである。
According to a tenth aspect of the present invention, in the piezoelectric element, two piezoelectric elements polarized in different directions are joined with an adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin. An inkjet head according to claim 9.

【0033】請求項10に記載の発明によると、圧電素
子の変形を大きくして、効率の高いインクジェットヘッ
ドを提供することができる。
According to the tenth aspect, it is possible to provide a highly efficient ink jet head by increasing the deformation of the piezoelectric element.

【0034】請求項11に記載の発明は、インクジェッ
トヘッドを構成する少なくとも2つの部材を接着剤で接
合するインクジェットヘッドの製造方法において、2つ
の部材を接合するために少なくとも一方の部材にポリシ
ロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤を塗設する
工程と、前記塗設した接着剤を加熱してBステージ化さ
せる工程と、前記2つの部材を加圧しつつ前記接着剤を
加熱し硬化させて前記2つの部材を接合する工程とを有
することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法
である。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the method of manufacturing an ink jet head in which at least two members constituting the ink jet head are bonded with an adhesive, at least one of the members is modified with a polysiloxane to bond the two members. A step of applying an adhesive containing an epoxy resin, a step of heating the applied adhesive to form a B-stage, and a step of heating and curing the adhesive while applying pressure to the two members. And a step of joining two members.

【0035】請求項11に記載の発明によると、耐イン
ク性の高い接着剤を用いて、接着剤のはみ出しや流れ出
しがなく、高い位置精度のインクジェットヘッドを効率
よく製造する方法を提供することができる。
According to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to provide a method for efficiently manufacturing an ink jet head having high positional accuracy by using an adhesive having a high ink resistance without causing the adhesive to overflow or flow out. it can.

【0036】本発明の接着剤は、ポリシロキサン変性エ
ポキシ樹脂を含有する接着剤である。このポリシロキサ
ン変性エポキシ樹脂は、接着剤の主剤として50モル%
以上含有されていることが好ましい。なお、本発明のポ
リシロキサン変性エポキシ樹脂は、エポキシ変性ポリシ
ロキサン樹脂と同義であり、どちらでもよいものであ
る。
The adhesive of the present invention is an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin. This polysiloxane-modified epoxy resin contains 50 mol% as a main component of the adhesive.
It is preferable to contain the above. The polysiloxane-modified epoxy resin of the present invention has the same meaning as the epoxy-modified polysiloxane resin, and either one may be used.

【0037】本発明の代表的なポリシロキサン変性エポ
キシ樹脂は、例えば、下記構造式(1)によって示され
る化合物である(ただしn=1〜10)。
The typical polysiloxane-modified epoxy resin of the present invention is, for example, a compound represented by the following structural formula (1) (where n = 1 to 10).

【0038】[0038]

【化1】 〔式中、Rは、n=1のときは下記構造式(2)によっ
て示されるポリシロキサン基であり、n≧2のときは下
記構造式(2)によって示されるポリシロキサン基また
は水素原子であり且つnのうち少なくも1つは下記構造
式(2)によって示されるポリシロキサン基である(た
だしm=0〜100)。〕
Embedded image [Wherein, R is a polysiloxane group represented by the following structural formula (2) when n = 1, and a polysiloxane group represented by the following structural formula (2) or a hydrogen atom when n ≧ 2. And at least one of n is a polysiloxane group represented by the following structural formula (2) (where m = 0 to 100). ]

【0039】[0039]

【化2】 Embedded image

【0040】ポリシロキサン変性エポキシ樹脂の骨格部
分は構造式(1)に示したビスフェノールA(1−1)
のほか、テトラブロムビスフェノールA(1−2)、ビ
スフェノールF(1−3)、ビスフェノールAD(1−
4)、ビスフェノールZ(1−5)、(1−6)、(1
−7)、(1−8)、(1−9)など、従来のエポキシ
樹脂接着剤の主剤として知られている構造でもよい。
The skeleton of the polysiloxane-modified epoxy resin is a bisphenol A (1-1) represented by the structural formula (1).
In addition, tetrabromobisphenol A (1-2), bisphenol F (1-3), bisphenol AD (1-
4), bisphenol Z (1-5), (1-6), (1
Structures known as main agents of conventional epoxy resin adhesives, such as -7), (1-8), and (1-9), may be used.

【0041】[0041]

【化3】 Embedded image

【化4】 Embedded image

【化5】 Embedded image

【化6】 Embedded image

【化7】 Embedded image

【化8】 Embedded image

【化9】 Embedded image

【化10】 Embedded image

【化11】 Embedded image

【0042】ポリシロキサン変性エポキシ樹脂は、例え
ば、オルガノシラン、該オルガノシランの加水分解物お
よび該オルガノシランの縮合物の群から選ばれた少なく
とも一種を、エポキシ樹脂の遊離の水酸基に位置選択的
に化学結合させることによって得られる。
The polysiloxane-modified epoxy resin is, for example, regioselectively selected from the group consisting of organosilanes, hydrolysates of the organosilanes and condensates of the organosilanes, at free hydroxyl groups of the epoxy resin. Obtained by chemical bonding.

【0043】オルガノシランとしては、例えば、R1 n
Si(OR24-n(式中、R1 は同一または異なり、
炭素数1〜8の有機基、R2 は同一または異なり、炭素
数1〜5のアルキル基または炭素数1〜6のアシル基も
しくはフェニル基を示し、nは0〜2の整数である)が
あげられ、具体的には、たとえば、テトラメトキシシラ
ン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、
テトライソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン等
のテトラアルコキシシラン類;メチルトリメトキシシラ
ン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシ
シラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキ
シシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルト
リメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、
イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエ
トキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリ
エトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、フェ
ニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラ
ン、3,4−エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキ
シシラン、3,4−エポキシシクロヘキシルエチルトリ
メトキシシラン等のトリアルコキシシラン類、ジメチル
ジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチ
ルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン等のジ
アルコキシシラン類、ハロゲン系のジメチルジクロルシ
ラン、メチルトリクロルシラン、トリメチルモノクロル
シランなどがあげられる。
As the organosilane, for example, R 1 n
Si (OR 2 ) 4-n (where R 1 is the same or different,
An organic group having 1 to 8 carbon atoms, R 2 is the same or different and represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or an acyl group or a phenyl group having 1 to 6 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 2) Specific examples include, for example, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane,
Tetraalkoxysilanes such as tetraisopropoxysilane and tetrabutoxysilane; methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxy Silane, n-propyltriethoxysilane,
Isopropyltrimethoxysilane, isopropyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane , Trialkoxysilanes such as phenyltriethoxysilane, 3,4-epoxycyclohexylethyltrimethoxysilane, 3,4-epoxycyclohexylethyltrimethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diethyldimethoxysilane, diethyldiethoxysilane Dialkoxysilanes such as silane, halogen-based dimethyldichlorosilane, methyltrichlorosilane, and trimethylmonochlorosilane. .

【0044】この反応の触媒としては、例えば、酸性化
合物、アルカリ性化合物、塩化合物、アミン化合物、有
機金属化合物および/またはその部分加水分解物(以
下、有機金属化合物および/またはその部分加水分解物
をまとめて「有機金属化合物等」という)が好ましい。
As a catalyst for this reaction, for example, acidic compounds, alkaline compounds, salt compounds, amine compounds, organometallic compounds and / or partial hydrolysates thereof (hereinafter referred to as organometallic compounds and / or partial hydrolysates thereof) These are collectively referred to as “organometallic compounds”.

【0045】上記酸性化合物としては、例えば、酢酸、
塩酸、硫酸、リン酸、メタスルホン酸、アルキルチタン
酸、p−トルエンスルホン酸、フタル酸などを挙げるこ
とができ、好ましくは、酢酸である。
Examples of the acidic compound include acetic acid,
Examples include hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, metasulfonic acid, alkyltitanic acid, p-toluenesulfonic acid, and phthalic acid, and acetic acid is preferred.

【0046】上記アルカリ性化合物としては、例えば、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどを挙げることが
でき、好ましくは、水酸化ナトリウムである。
As the above alkaline compound, for example,
Examples thereof include sodium hydroxide and potassium hydroxide, and preferably sodium hydroxide.

【0047】上記塩化合物としては、例えば、ナフテン
酸、オクチル酸、亜硝酸、亜硫酸、アルミン酸、炭酸な
どのアルカリ金属塩などを挙げることができる。
Examples of the salt compound include alkali metal salts such as naphthenic acid, octylic acid, nitrous acid, sulfurous acid, aluminate, and carbonic acid.

【0048】上記アミン化合物としては、例えば、エチ
レンジアミン、ヘキサンジアミン、ヘキサメチレンジア
ミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミ
ン、テトラエチレンペンタミン、ピペリジン、ピペラジ
ン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミ
ン、エタノールアミン、トリエチルアミン、3−アミノ
プロピル・トリメトキシシラン、3−アミノプロピル・
トリエトキシシラン、3−(2−アミノエチル)−アミ
ノプロピル・トリメトキシシラン、3−(2−アミノエ
チル)−アミノプロピル・トリエトキシシラン、3−
(2−アミノエチル)−アミノプロピル・メチル・ジメ
トキシシラン、3−アニリノプロピル・トリメトキシシ
ランや、アルキルアミン塩類、四級アンモニウム塩類の
ほか、エポキシ樹脂の硬化剤として用いられる各種変性
アミンなどを挙げることができ、好ましくは、3−アミ
ノプロピル・トリメトキシシラン、3−アミノプロピル
・トリエトキシシラン、3−(2−アミノエチル)−ア
ミノプロピル・トリエトキシシランである。
Examples of the amine compound include ethylenediamine, hexanediamine, hexamethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, piperidine, piperazine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, ethanolamine, triethylamine, and the like. 3-aminopropyl trimethoxysilane, 3-aminopropyl
Triethoxysilane, 3- (2-aminoethyl) -aminopropyl-trimethoxysilane, 3- (2-aminoethyl) -aminopropyl-triethoxysilane, 3-
(2-aminoethyl) -aminopropyl-methyl-dimethoxysilane, 3-anilinopropyl-trimethoxysilane, alkylamine salts, quaternary ammonium salts, and various modified amines used as curing agents for epoxy resins. Preferred are 3-aminopropyl-trimethoxysilane, 3-aminopropyl-triethoxysilane, and 3- (2-aminoethyl) -aminopropyl-triethoxysilane.

【0049】上記有機金属化合物等としては、例えば、
下記一般式(3)で表される化合物(以下「有機金属化
合物(3)」という)、同一のスズ原子に結合した炭素
数1〜10のアルキル基を1〜2個有する4価スズの有
機金属化合物(以下「有機スズ化合物」という)、ある
いは、これらの化合物の部分加水分解物などを挙げるこ
とができる。 M(OR3)p (R4COCHCOR5)q (3) 〔式中、Mはジルコニウム、チタンまたはアルミニウム
を示し、R3およびR4は、同一または異なって、エチル
基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、
sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n
−ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基などの炭
素数1〜6の1価の炭化水素基を示し、R 5は、R3およ
びR4 と同様の炭素数1〜6の1価の炭化水素基のほ
か、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−
プロポキシ基、n−ブトキシ基、sec−ブトキシ基、
t−ブトキシ基、ラウリルオキシ基、ステアリルオキシ
基などの炭素数1〜16のアルコキシル基を示し、pお
よびqは0〜4の整数で、(p+q)=(Mの原子価)
である。〕
The above-mentioned organometallic compounds include, for example,
A compound represented by the following general formula (3) (hereinafter referred to as “organometallation
Compound (3) "), carbon bonded to the same tin atom
With tetravalent tin having 1-2 alkyl groups of 1-10
Metal compounds (hereinafter referred to as "organotin compounds")
Or partial hydrolysis products of these compounds.
Can be. M (ORThree) P (RFourCOCHCORFive) Q (3) [where M is zirconium, titanium or aluminum
And RThreeAnd RFourAre the same or different and are ethyl
Group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group,
sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n
-Charcoal such as hexyl, cyclohexyl, phenyl, etc.
A monovalent hydrocarbon group having a prime number of 1 to 6, FiveIs RThreeAnd
And RFour And other monovalent hydrocarbon groups having 1 to 6 carbon atoms.
Or methoxy, ethoxy, n-propoxy, i-
Propoxy group, n-butoxy group, sec-butoxy group,
t-butoxy group, lauryloxy group, stearyloxy
Represents an alkoxyl group having 1 to 16 carbon atoms such as a group,
And q are integers from 0 to 4, and (p + q) = (valence of M)
It is. ]

【0050】有機金属化合物(3)の具体例としては、
例えば、 (イ)テトラ−n−ブトキシジルコニウム、トリ−n−
ブトキシ・エチルアセトアセテートジルコニウム、ジ−
n−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコ
ニウム、n−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテー
ト)ジルコニウム、テトラキス(n−プロピルアセトア
セテート)ジルコニウム、テトラキス(アセチルアセト
アセテート)ジルコニウム、テトラキス(エチルアセト
アセテート)ジルコニウムなどの有機ジルコニウム化合
物; (ロ)テトラ−i−プロポキシチタニウム、ジ−i−プ
ロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタニウ
ム、ジ−i−プロポキシ・ビス(アセチルアセテート)
チタニウム、ジ−i−プロポキシ・ビス(アセチルアセ
トン)チタニウムなどの有機チタン化合物; (ハ)トリ−i−プロポキシアルミニウム、ジ−i−プ
ロポキシ・エチルアセトアセテートアルミニウム、ジ−
i−プロポキシ・アセチルアセトナートアルミニウム、
i−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)アル
ミニウム、i−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナー
ト)アルミニウム、トリス(エチルアセトアセテート)
アルミニウム、トリス(アセチルアセトナート)アルミ
ニウム、モノアセチルアセトナート・ビス(エチルアセ
トアセテート)アルミニウムなどの有機アルミニウム化
合物などを挙げることができる。
Specific examples of the organometallic compound (3) include:
For example, (a) tetra-n-butoxyzirconium, tri-n-
Butoxy ethyl acetoacetate zirconium, di-
n-butoxybis (ethylacetoacetate) zirconium, n-butoxytris (ethylacetoacetate) zirconium, tetrakis (n-propylacetoacetate) zirconium, tetrakis (acetylacetoacetate) zirconium, tetrakis (ethylacetoacetate) zirconium, etc. (Ii) tetra-i-propoxytitanium, di-i-propoxybis (ethylacetoacetate) titanium, di-i-propoxybis (acetylacetate)
Organic titanium compounds such as titanium and di-i-propoxy bis (acetylacetone) titanium; (c) tri-i-propoxy aluminum, di-i-propoxy ethyl acetoacetate aluminum, di-
aluminum i-propoxy acetylacetonate,
i-propoxybis (ethylacetoacetate) aluminum, i-propoxybis (acetylacetonate) aluminum, tris (ethylacetoacetate)
Organic aluminum compounds such as aluminum, tris (acetylacetonate) aluminum, and monoacetylacetonatobis (ethylacetoacetate) aluminum can be exemplified.

【0051】これらの有機金属化合物(2)およびその
部分加水分解物のうち、トリ−n−ブトキシ・エチルア
セトアセテートジルコニウム、ジ−i−プロポキシ・ビ
ス(アセチルアセトナート)チタニウム、ジ−i−プロ
ポキシ・エチルアセトアセテートアルミニウム、トリス
(エチルアセトアセテート)アルミニウム、あるいは、
これらの化合物の部分加水分解物が好ましい。
Among these organometallic compounds (2) and partial hydrolysates thereof, tri-n-butoxyethylacetoacetate zirconium, di-i-propoxybis (acetylacetonato) titanium, di-i-propoxy・ Ethyl acetoacetate aluminum, tris (ethyl acetoacetate) aluminum, or
Partial hydrolysates of these compounds are preferred.

【0052】有機スズ化合物の具体例としては、例え
ば、(C492Sn(OCOC112 32、(C49
2Sn(OCOCH=CHCOOCH32、(C492
Sn(OCOCH=CHCOOC492、(C817
2Sn(OCOC8172、(C8172Sn(OCO
11232、(C8172Sn(OCOCH=CHC
OOCH32、(C8172Sn(OCOCH=CH
COOC492、(C8172Sn(OCOCH=C
HCOOC8172、(C8172Sn(OCOCH=
CHCOOC16332、(C8172Sn(OCOC
H=CHCOOC1 7352、(C8172Sn(OC
OCH=CHCOOC18372、(C8172Sn O
COCH=CHCOOC20412
Specific examples of the organotin compound include, for example, (C 4 H 9 ) 2 Sn (OCOC 11 H 2 3 ) 2 and (C 4 H 9 )
2 Sn (OCOCH = CHCOOCH 3 ) 2 , (C 4 H 9 ) 2
Sn (OCOCH = CHCOOC 4 H 9 ) 2 , (C 8 H 17 )
2 Sn (OCOC 8 H 17 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCO
C 11 H 23 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCOCH = CHC)
OOCH 3 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCOCH = CH
COOC 4 H 9 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCOCH = C
HCOOC 8 H 17 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCOCH =
CHCOOC 16 H 33 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCOC
H = CHCOOC 1 7 H 35) 2, (C 8 H 17) 2 Sn (OC
OCH = CHCOOC 18 H 37 ) 2 , (C 8 H 17 ) 2 SnO
COCH = CHCOOC 20 H 41 ) 2 ,

【化12】 (C492Sn(OCOC11233、(C492
n(OCONa)3などのカルボン酸型有機スズ化合
物;
Embedded image (C 4 H 9 ) 2 Sn (OCOC 11 H 23 ) 3 , (C 4 H 9 ) 2 S
carboxylic acid type organotin compounds such as n (OCONa) 3 ;

【0053】(C492Sn(SCH2COOC
8172、(C492Sn(SCH2CH2COOC8
172、(C8172Sn(SCH2COOC8172
(C817 2Sn(SCH2CH2COOC8172
(C8172Sn(SCH2COOC12252、(C8
172Sn(SCH2CH2COOC12252、(C4
9)Sn(SCOCH=CHCOOC8173、(C8
17)Sn(SCOCH=CHCOOC8173
(CFourH9)TwoSn (SCHTwoCOOC
8H17)Two, (CFourH9)TwoSn (SCHTwoCHTwoCOOC8H
17)Two, (C8H17)TwoSn (SCHTwoCOOC8H17)Two,
(C8H17) TwoSn (SCHTwoCHTwoCOOC8H17)Two,
(C8H17)TwoSn (SCHTwoCOOC12Htwenty five)Two, (C8
H17)TwoSn (SCHTwoCHTwoCOOC12Htwenty five)Two, (CFour
H9) Sn (SCOCH = CHCOOC)8H17)Three, (C8
H17) Sn (SCOCH = CHCOOC)8H17)Three,

【化13】 などのメルカプチド型有機スズ化合物;Embedded image Mercaptide-type organotin compounds such as

【0054】(C492Sn=S、(C8172Sn
=S、
(C 4 H 9 ) 2 Sn = S, (C 8 H 17 ) 2 Sn
= S,

【化14】 などのスルフィド型有機スズ化合物;Embedded image Sulfide type organotin compounds such as;

【0055】(C49)SnCl3、(C492SnC
2、(C8172SnCl2
(C 4 H 9 ) SnCl 3 , (C 4 H 9 ) 2 SnC
l 2 , (C 8 H 17 ) 2 SnCl 2 ,

【化15】 などのクロライド型有機スズ化合物;Embedded image Chloride-type organotin compounds such as;

【0056】(C492SnO、(C8172SnO
などの有機スズオキサイドや、これらの有機スズオキサ
イドとエチルシリケート、マレイン酸ジメチル、マレイ
ン酸ジエチル、フタル酸ジオクチルなどのエステル化合
物との反応生成物などを挙げることができる。
(C 4 H 9 ) 2 SnO, (C 8 H 17 ) 2 SnO
And the reaction products of these organic tin oxides with ester compounds such as ethyl silicate, dimethyl maleate, diethyl maleate and dioctyl phthalate.

【0057】触媒は、例えば、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができ、また亜鉛化合物やその他
の反応遅延剤と混合して使用することもできる。これら
の触媒は、固形分100重量部に対して、通常、例えば
0.5〜50重量部、好ましくは0.5〜30重量部用
いられる。また遊離の水酸基のみの反応が進み、エポキ
シ環を開環させない反応条件で反応させることが好まし
い。
The catalyst can be used, for example, alone or as a mixture of two or more kinds, and can also be used as a mixture with a zinc compound or another reaction retarder. These catalysts are generally used in an amount of, for example, 0.5 to 50 parts by weight, preferably 0.5 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content. Further, it is preferable that the reaction proceeds only with the free hydroxyl group, and the reaction is carried out under reaction conditions that do not open the epoxy ring.

【0058】本発明のポリシロキサン変性エポキシ樹脂
において、結合させるポリシロキサンはSiO2に換算
して5〜50%の重量であることが好ましい。また、主
剤としてポリシロキサン変性エポキシ樹脂を未変性のエ
ポキシ樹脂と混合したものを用いることもできる。
In the polysiloxane-modified epoxy resin of the present invention, the polysiloxane to be bound preferably weighs 5 to 50% in terms of SiO 2 . Further, a mixture of a polysiloxane-modified epoxy resin and an unmodified epoxy resin can also be used as the main agent.

【0059】本発明の接着剤に用いられる硬化剤は、例
えば、脂肪族アミン(代表的なものとしてジエチレント
リアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペ
ンタミン、ジプロピレンジアミン、メタキシリレンジア
ミン、ジエチルアミノプロピルアミン)、脂環族アミン
(代表的なものとしてメンセンジアミン、イソホロンジ
アミン、Nアミノエチルピペラジン、3,9−ビス(3
−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラオイサ
スピロ(5,5)ウンデカンアダクト、1,3−ビス
(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(4−アミノ−
3−メチルシクロヘキシル)メタン、ビス(4−アミノ
シクロヘキシル)メタン)、芳香族アミン(代表的なも
のにメタキシレンジアミン、ジアミノジフェニルメタ
ン、ジアミノジフェニルスルホン、m−フェニレンジア
ミン)、酸無水物(代表的なものにドデセニル無水コハ
ク酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ
無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水トリメリッ
ト酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸、テトラブロモ無水フタル酸、無水ヘット酸)な
ど従来のエポキシ樹脂を主剤とした接着剤の硬化剤が使
用できるが、ジシアンジアミド(H2N−C(NH)−
NH−CN)、またはその誘導体(代表的なものにo−
トリルビグアニド、α−2,5−ジメチルビグアニド、
α,ω−ジフェニルビグアニド、5−ヒドロキシナフチ
ル−1−ビグアニド、α,α’−ビスグラニルグアニジ
ノジフェニルエーテル、フェニルビグアニド、p−クロ
ルフェニルビグアニド、α−バンジルビグアニド、α,
α’−ヘキサメチレン[ω−(p−クロルフェニル)]
ビグアニド、o−トリルビグアニド亜鉛塩、ジフェニル
ビグアニド鉄塩、フェニルビグアニド銅塩、ビグアニド
ニッケル塩、エチレンビスビグアニド塩酸塩、ラウリル
ビグアニド塩酸塩、フェニルビグアニドオキサレート)
を用いると常温で硬化反応がおこらず、あらかじめ主剤
と硬化剤を混合した状態で保存できる一液型の接着剤と
して使用できるために作業性に優れ、またBステージを
安定に得ることができるので好ましい。硬化剤の配合比
率は当量または当量の60%以上であれば、接着後に十
分な接着強度、弾性率、耐インク性、耐久性を得ること
ができる。
The curing agent used in the adhesive of the present invention is, for example, an aliphatic amine (typically, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, dipropylenediamine, metaxylylenediamine, diethylaminopropylamine). , Alicyclic amines (typically, mensendiamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, 3,9-bis (3
-Aminopropyl) -2,4,8,10-tetraoisspiro (5,5) undecane adduct, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, bis (4-amino-
3-methylcyclohexyl) methane, bis (4-aminocyclohexyl) methane), aromatic amines (typically metaxylenediamine, diaminodiphenylmethane, diaminodiphenylsulfone, m-phenylenediamine), acid anhydrides (typical To conventional ones such as dodecenyl succinic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylnadic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic acid, tetrabromophthalic anhydride, and heptic anhydride) Although a curing agent for an adhesive mainly composed of an epoxy resin can be used, dicyandiamide (H 2 N—C (NH) —
NH-CN) or its derivatives (typically o-
Tolylbiguanide, α-2,5-dimethylbiguanide,
α, ω-diphenylbiguanide, 5-hydroxynaphthyl-1-biguanide, α, α′-bisgranylguanidinodiphenyl ether, phenylbiguanide, p-chlorophenylbiguanide, α-bandylbiguanide, α,
α'-hexamethylene [ω- (p-chlorophenyl)]
Biguanide, o-tolylbiguanide zinc salt, diphenyl biguanide iron salt, phenyl biguanide copper salt, biguanide nickel salt, ethylene bis biguanide hydrochloride, lauryl biguanide hydrochloride, phenyl biguanide oxalate)
When used, the curing reaction does not occur at room temperature, and it can be used as a one-component adhesive that can be stored in a state where the main agent and the curing agent are mixed in advance, so that the workability is excellent and the B stage can be stably obtained. preferable. When the compounding ratio of the curing agent is equivalent or 60% or more of the equivalent, sufficient adhesion strength, elastic modulus, ink resistance and durability can be obtained after adhesion.

【0060】さらに、ポリシロキサン変性エポキシ樹脂
の主剤および硬化剤に加えて、ポリアミンをエポキシ樹
脂、エチレンオキシド、プロピレンオキシドのアダクト
として添加すると、反応促進剤としてはたらき、硬化温
度を低下させることができる。特に脂肪族アミンエポキ
シアダクトを反応促進剤として用いることにより100
℃以下で硬化反応が開始するので、熱膨張による接着位
置精度の低下やインクの吐出エネルギーを発生させる圧
電素子の劣化をおこさない温度で硬化させても接着後に
十分な接着強度、弾性率、耐インク性、耐久性を得るこ
とができる。
Further, when a polyamine is added as an adduct of an epoxy resin, ethylene oxide, and propylene oxide in addition to the main component and the curing agent of the polysiloxane-modified epoxy resin, it can act as a reaction accelerator and lower the curing temperature. In particular, by using an aliphatic amine epoxy adduct as a reaction accelerator, 100
Since the curing reaction starts below ℃, even if cured at a temperature that does not cause deterioration of the bonding position accuracy due to thermal expansion or deterioration of the piezoelectric element that generates ink ejection energy, sufficient bonding strength, elastic modulus, Ink properties and durability can be obtained.

【0061】その他に、微粒子を分散添加することによ
り接着剤の粘度、接着後の厚さを制御することができ
る。アルミナ、シリカなどを、径が0.01〜10μm
の範囲で単独もしくは2種類以上添加することが好まし
い。また、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維などを
分散添加することにより接着後の弾性率を増すことがで
きる。
In addition, the viscosity of the adhesive and the thickness after bonding can be controlled by adding and dispersing fine particles. Alumina, silica, etc. with a diameter of 0.01 to 10 μm
It is preferable to add singly or two or more kinds in the range described above. Further, the elastic modulus after bonding can be increased by dispersing and adding glass fiber, carbon fiber, aramid fiber and the like.

【0062】次に、本発明の接着剤をインクに接する接
合部分に用いたインクジェットヘッドに使用可能なイン
クについて説明する。
Next, an ink which can be used in an ink jet head in which the adhesive of the present invention is used for a joining portion in contact with the ink will be described.

【0063】本発明のインクジェットヘッドで吐出させ
ることのできるインクには、例えば、水性溶媒に水溶性
染料を溶解させた水性染料インク、油性溶媒に油溶性染
料を溶解させた油性染料インク、水性溶媒に水に不溶ま
たは難溶の染料を分散させた分散染料インク、水性溶媒
または油性溶媒に顔料を分散させた水性または油性の顔
料インクなどが挙げられる。溶媒として使用される代表
的な化合物としては、例えば、水、アルコール類(例え
ばメタノール、エタノール、プロパノール)、脂肪族炭
化水素、芳香族炭化水素、ナフテン系炭化水素、オレフ
ィン系炭化水素、脂肪酸及び脂肪酸エステル、安息香酸
エステル、フタル酸エステル、アミド類(例えば、ジメ
チルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等)、ケトン
あるいはケトアルコール類(例えば、アセトン、メチル
エチルケトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコー
ル等)、ポリアルキレングリコール類(例えば、ポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール等)、ア
ルキレングリコール類(例えば、エチレングリコール、
プロピレングリコール、ブチレングリコール、トリエチ
レングリコール、1、2、6−ヘキサントリオール、チ
オジグリコール、ヘキシレングリコール、ジエチレング
リコール等)、グリセリン、エーテル類(例えばアニソ
ール、エチレングリコールメチルエーテル、エチレング
リコールブチルエーテル、ジエチレングリコールメチル
(またはエチル)エーテル、トリエチレングリコールモ
ノメチル(またはエチル)エーテル等)等が挙げられ、
通常は、それら幾つかの混合物が用いられる。
Examples of the ink which can be ejected by the ink jet head of the present invention include an aqueous dye ink in which a water-soluble dye is dissolved in an aqueous solvent, an oil-based dye ink in which an oil-soluble dye is dissolved in an oil solvent, and an aqueous solvent. And a water-based or oil-based pigment ink in which a pigment is dispersed in an aqueous solvent or an oil-based solvent. Representative compounds used as solvents include, for example, water, alcohols (eg, methanol, ethanol, propanol), aliphatic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, naphthenic hydrocarbons, olefinic hydrocarbons, fatty acids and fatty acids Esters, benzoic esters, phthalic esters, amides (eg, dimethylformamide, dimethylacetamide, etc.), ketones or keto alcohols (eg, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diacetone alcohol, etc.), polyalkylene glycols (eg, Polyethylene glycol, polypropylene glycol, etc.), alkylene glycols (eg, ethylene glycol,
Propylene glycol, butylene glycol, triethylene glycol, 1,2,6-hexanetriol, thiodiglycol, hexylene glycol, diethylene glycol, etc.), glycerin, ethers (for example, anisole, ethylene glycol methyl ether, ethylene glycol butyl ether, diethylene glycol methyl) (Or ethyl) ether, triethylene glycol monomethyl (or ethyl) ether, etc.)
Usually, some mixtures thereof are used.

【0064】顔料は、水、油などに不溶の白色または有
色の粉体である。染料には、直接染料、酸性染料、反応
性染料、塩基性染料、分散染料などがあり、単独で、あ
るいは、複数種類を併用して溶媒中に溶解または分散さ
れて使用される。分散染料とは油には可溶であるが、水
に不溶または難溶で、水中に分散した系での染色に用い
られる染料を指す。
The pigment is a white or colored powder insoluble in water, oil and the like. Dyes include direct dyes, acid dyes, reactive dyes, basic dyes, disperse dyes, and the like. These dyes are used alone or in combination of two or more in a form dissolved or dispersed in a solvent. The disperse dye refers to a dye that is soluble in oil but insoluble or hardly soluble in water and used for dyeing in a system dispersed in water.

【0065】これらの顔料及び分散染料は、分散剤及び
その他所望する諸目的に応じて必要な添加物と共に混合
して分散機により分散して用いられる。分散剤として
は、例えば界面活性剤が用いられ、この界面活性剤とし
ては、陽イオン性、陰イオン性、両性、非イオン性のい
ずれも用いることができる。また、インクジェットヘッ
ド用のインクには、インク液滴のメディア中への浸透を
加速するために、分散剤とは別に界面活性剤を添加する
ことが好ましい。この界面活性剤としては、インクに対
して保存安定性等に悪影響を及ぼさないものであれば特
に限定されるものではなく、例えば、分散剤として用い
られる界面活性剤と同様のものを用いることができる。
These pigments and disperse dyes are mixed with a dispersant and other additives necessary for various desired purposes, and used after being dispersed by a disperser. As the dispersant, for example, a surfactant is used, and as the surfactant, any of a cationic, anionic, amphoteric, or nonionic can be used. Further, it is preferable to add a surfactant to the ink for the inkjet head in addition to the dispersant in order to accelerate the penetration of the ink droplets into the medium. The surfactant is not particularly limited as long as it does not adversely affect the storage stability or the like of the ink. For example, the same surfactant as used as a dispersant may be used. it can.

【0066】本発明のインクジェットヘッドに用いられ
るインクには、電気伝導度調節剤を添加することもでき
る。電気伝導度調節剤としては、例えば、塩化カリウ
ム、塩化アンモニウム、硫酸ナトリウム、硝酸ナトリウ
ム、塩化ナトリウムなどの無機塩やトリエタノールアミ
ンなどの水溶性アミンが用いられる。
The ink used in the ink jet head of the present invention may contain an electric conductivity regulator. Examples of the electric conductivity regulator include inorganic salts such as potassium chloride, ammonium chloride, sodium sulfate, sodium nitrate, and sodium chloride, and water-soluble amines such as triethanolamine.

【0067】また、本発明のインクジェットヘッドに用
いられるインクには、吐出安定性、プリントヘッドやイ
ンクカートリッジとの適合性、保存安定性、画像保存
性、その他の諸性能向上を目的として、必要に応じて、
更に、粘度調整剤、比抵抗調整剤、皮膜形成剤、紫外線
吸収剤、酸化防止剤、退色防止剤、防錆剤等を添加する
こともできる。
The ink used in the ink jet head of the present invention is required for the purpose of improving ejection stability, compatibility with a print head or an ink cartridge, storage stability, image storability, and other various properties. Depending on,
Further, a viscosity adjuster, a specific resistance adjuster, a film forming agent, an ultraviolet absorber, an antioxidant, an anti-fading agent, a rust inhibitor and the like can be added.

【0068】本発明のインクジェットヘッドは、通常の
印字用のインク以外にもさまざまな化合物をそのまま、
または溶媒に溶解又は分散させて吐出することができ、
液晶用カラーフィルターの製造、有機ELディスプレイ
の製造などに応用することができる。
The ink-jet head of the present invention can be prepared by using various compounds as they are in addition to ordinary printing inks.
Or it can be dissolved or dispersed in a solvent and ejected,
It can be applied to the production of color filters for liquid crystals, the production of organic EL displays, and the like.

【0069】[0069]

【発明の実施の形態】以下、この発明のインクジェット
ヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に係る実施
の形態を説明するが、この発明の態様はこれに限定され
るものではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the ink jet head and the method of manufacturing the ink jet head according to the present invention will be described, but embodiments of the present invention are not limited thereto.

【0070】(第1の実施の形態)図1はせん断モード
型のインクジェットヘッドの斜視図であり、図2は圧電
素子の変形を示す図であり、図3は接着剤層を含めた部
分断面図である。
(First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view of a shear mode ink jet head, FIG. 2 is a view showing deformation of a piezoelectric element, and FIG. 3 is a partial cross section including an adhesive layer. FIG.

【0071】インクジェットヘッド1は、基材2上に、
分極した圧電素子2bを取り付けて溝2aを複数形成
し、この溝2aの両隔壁となる圧電素子2bの内側に電
極3(図2、図3参照)を設け、カバー基板4(図3参
照)を取り付けて溝2aの天井を塞ぎ、さらに溝2aの
出口側をノズルプレート5で覆い、入口側をインクの流
動を制限する部材である供給プレート6で覆い、インク
を吐出させるためのエネルギーを発生させる圧力室Aと
空気室Bを交互に複数形成し、供給プレート6側にイン
ク供給部7を接続している。
The ink jet head 1 is provided on a substrate 2
A plurality of grooves 2a are formed by attaching the polarized piezoelectric elements 2b, and electrodes 3 (see FIGS. 2 and 3) are provided inside the piezoelectric elements 2b serving as both partition walls of the grooves 2a, and a cover substrate 4 (see FIG. 3) To cover the outlet of the groove 2a with a nozzle plate 5, and cover the inlet with a supply plate 6, which is a member for restricting the flow of ink, to generate energy for discharging ink. A plurality of pressure chambers A and air chambers B are alternately formed, and an ink supply unit 7 is connected to the supply plate 6 side.

【0072】ノズルプレート5には、圧力室Aに対応す
る部分にノズル孔5aが形成される。このノズル孔5a
を吐出方向に細くなるように形成すると、インクの流動
抵抗が低くなり、また気泡が排出されやすいので好まし
い。供給プレート6には、圧力室Aに対応する部分にイ
ンク導入口6aが形成される。
The nozzle plate 5 has a nozzle hole 5 a at a portion corresponding to the pressure chamber A. This nozzle hole 5a
Is preferably formed so as to be thin in the ejection direction, since the flow resistance of the ink is reduced and bubbles are easily discharged. In the supply plate 6, an ink inlet 6a is formed at a portion corresponding to the pressure chamber A.

【0073】インク導入口6aの大きさは、圧力室断面
と同じ大きさにすると、ここに気泡が停滞しないので好
ましいが、インク導入口6aを絞ることにより圧力室内
のインクの圧力波の振動や、ノズル孔内のインクメニス
カスの振動を抑制することができ、インク吐出後の圧力
室内やノズル孔内のインクの状態が早く初期状態に復帰
するので、高速駆動を行う場合には、たとえばインク導
入口6aの大きさをノズル孔と同じ大きさにすると駆動
が安定するので好ましい。
It is preferable that the size of the ink inlet 6a is the same as the cross section of the pressure chamber, because air bubbles do not stagnate here. However, by squeezing the ink inlet 6a, the vibration of the pressure wave of the ink in the pressure chamber is reduced. In addition, the vibration of the ink meniscus in the nozzle hole can be suppressed, and the state of the ink in the pressure chamber and in the nozzle hole after the ink is ejected quickly returns to the initial state. It is preferable that the size of the opening 6a is the same as the size of the nozzle hole, because the driving becomes stable.

【0074】溝2aは、長さ0.5〜10.0mm、深
さ50〜1000μm、幅10〜1000μm程度にす
るのが好ましく、印刷密度の倍の密度で設ける。例え
ば、180DPIで印刷したければ、25400/36
0=70μmおきに設ける。空気室Bの溝幅は、圧力室
Aの溝幅より狭い方が、ノズル密度を高めることができ
るので好ましい。しかし、必要に応じて空気室の溝幅を
適宜選択することが好ましい。
The groove 2a preferably has a length of about 0.5 to 10.0 mm, a depth of about 50 to 1000 μm, and a width of about 10 to 1000 μm, and is provided at twice the printing density. For example, if you want to print at 180 DPI, use 25400/36
0 is provided every 70 μm. It is preferable that the groove width of the air chamber B is smaller than the groove width of the pressure chamber A because the nozzle density can be increased. However, it is preferable to appropriately select the groove width of the air chamber as needed.

【0075】このように、基材2、分極した圧電素子2
b、カバー基板4、ノズルプレート5及び供給プレート
6によりヘッド本体が構成され、ヘッド本体に圧力室A
と空気室Bを圧電素子2bからなる隔壁で区画して交互
に複数形成されている。ヘッド本体は、圧力室Aの出口
側にインクを吐出するノズル孔5aを有するとともに、
圧力室Aの入口側にノズル孔5aと対向する位置にイン
ク導入口6aを有し、このインク導入口6aからノズル
孔5aへインクを供給する圧力室A兼インク流路が形成
されている。
As described above, the substrate 2, the polarized piezoelectric element 2
b, a cover substrate 4, a nozzle plate 5, and a supply plate 6 constitute a head body, and a pressure chamber A is provided in the head body.
And a plurality of air chambers B are alternately formed by partitioning the partition wall with the piezoelectric element 2b. The head body has a nozzle hole 5a for discharging ink on the outlet side of the pressure chamber A,
An ink inlet 6a is provided on the inlet side of the pressure chamber A at a position facing the nozzle hole 5a, and a pressure chamber A and an ink flow path for supplying ink from the ink inlet 6a to the nozzle hole 5a are formed.

【0076】インクジェットヘッドの電極3の形成は、
例えば、基材2に圧電素子2aを取り付け、その頭頂部
に保護膜を設けた後、溝隔壁の延長面と一定の角度をな
す面内にある蒸発源から、電極となる金属を蒸発させて
圧電素子全面に金属を蒸着し、この金属の蒸着後に保護
膜を除去して電極3を形成する。このようにすることに
より、簡単に溝隔壁に電極3を形成することができる。
電極となる金属には、例えば、金、銀、アルミニウム、
パラジウム、ニッケル、クロム、タンタル、チタン等を
用いることができる。特に、電気的特性、耐蝕性、加工
性の点から、金、アルミニウム、ニッケルクロム合金が
好ましい。また、無電解メッキにより、金、銀、銅、ニ
ッケルの電極を形成してもよい。
The formation of the electrode 3 of the ink jet head is performed as follows.
For example, after the piezoelectric element 2a is attached to the base material 2 and a protective film is provided on the top of the piezoelectric element 2a, the metal serving as an electrode is evaporated from an evaporation source in a plane that forms a certain angle with the extended surface of the groove partition wall. A metal is vapor-deposited on the entire surface of the piezoelectric element, and after vapor deposition of the metal, the protective film is removed to form the electrode 3. By doing so, the electrode 3 can be easily formed on the groove partition wall.
Examples of the metal serving as an electrode include gold, silver, aluminum,
Palladium, nickel, chromium, tantalum, titanium and the like can be used. In particular, gold, aluminum, and nickel-chromium alloys are preferable in terms of electrical characteristics, corrosion resistance, and workability. Alternatively, gold, silver, copper, and nickel electrodes may be formed by electroless plating.

【0077】圧力室A及び空気室Bの左右隔壁(圧電素
子)に別々に形成した電極3を互に繋ぐ接続電極の形成
には、例えば、圧電素子2bにカバー基板4を接合した
後にインク供給側端面とカバー基板4の上面を感光性樹
脂層でマスクし、基材2の溝底壁部の一端を蒸着して各
溝内部の両隔壁に設けた電極3と連通する接続電極を形
成することにより、簡単に各溝内部の両隔壁に設置され
た電極3,3と連通する接続電極を形成することができ
る。
In order to form connection electrodes for mutually connecting the electrodes 3 separately formed on the left and right partitions (piezoelectric elements) of the pressure chamber A and the air chamber B, for example, ink is supplied after the cover substrate 4 is joined to the piezoelectric element 2b. The side end surface and the upper surface of the cover substrate 4 are masked with a photosensitive resin layer, and one end of the groove bottom wall portion of the base material 2 is vapor-deposited to form connection electrodes communicating with the electrodes 3 provided on both partition walls inside each groove. This makes it possible to easily form connection electrodes that communicate with the electrodes 3 and 3 provided on both partition walls inside each groove.

【0078】そして、各溝内部の両隔壁に設けられた電
極3,3と接続電極を含む面にポリパラキシリレン被膜
(以下、パリレン膜という)を被着して、電極3,3及
び接続電極を絶縁することができる。これは、圧力室A
の電極に電圧を掛け、導電性のインクを使用する場合
に、短絡して、吐出できなくなったり、インクを電気分
解して、気泡を発生させたり、電極を腐蝕させたりする
ことを防止するためである。この絶縁膜としては、パリ
レン膜を用いることが好ましい。このパリレン膜は、固
体のジパラキシリレンダイマーを蒸着源とするCVD
(chemicalvapour Depositio
n)法により形成する。即ち、ジパラキシリレンダイマ
ーが気化、熱分解して発生したジラジカルパラキシリレ
ンが、ヘッド基体上に吸着し重合反応して被膜を形成す
るものである。
Then, a polyparaxylylene film (hereinafter, referred to as a parylene film) is applied to the surfaces including the electrodes 3 and 3 provided on both partition walls inside each groove and the connection electrode, and the electrodes 3 and 3 and the connection are formed. The electrodes can be insulated. This is the pressure chamber A
When a voltage is applied to the electrodes and conductive ink is used, it is possible to prevent short-circuiting and inability to eject ink, or electrolysis of the ink to generate bubbles or corrode the electrodes. It is. It is preferable to use a parylene film as the insulating film. This parylene film is formed by CVD using a solid diparaxylylene dimer as an evaporation source.
(Chemical vapor Depositio
n). That is, the diradical paraxylylene generated by the vaporization and thermal decomposition of the diparaxylylene dimer is adsorbed on the head substrate and undergoes a polymerization reaction to form a film.

【0079】パリレン膜を設けた圧力室に気泡が混入す
ると、パリレン膜面に付着してこびりつき、抜けにく
い。このためパリレン膜の表面を酸素プラズマ処理し
て、親水化することが好ましい。
When air bubbles enter the pressure chamber provided with the parylene film, they adhere to the surface of the parylene film, stick, and are hardly removed. For this reason, it is preferable that the surface of the parylene film is subjected to oxygen plasma treatment to make it hydrophilic.

【0080】本実施の形態では、ヘッド本体に圧力室A
と空気室Bを隔壁で区画して交互に複数形成されてお
り、圧電素子2aの変形の影響が、空気室Bで遮断さ
れ、他の圧力室Aに及ばないので、全圧力室Aから同時
に吐出でき、高い周波数で駆動できるようになってい
る。しかし、空気室Bを設けずに隣り合う圧力室Aを同
時に吐出しないように位相をずらして駆動することも可
能である。更に、圧力室Aにインク導入口6aからノズ
ル孔5aへインクを供給するストレートなインク流路を
形成することにより、インク流路に屈曲部を持たないの
で、ここに、気泡が停滞しないようにしているが、カバ
ー基板や基材にインク導入口を設ける構成も可能であ
る。
In the present embodiment, the pressure chamber A
And the air chamber B are partitioned by partition walls, and a plurality of the chambers are alternately formed. The influence of the deformation of the piezoelectric element 2a is blocked by the air chamber B and does not reach the other pressure chambers A. It can discharge and can be driven at a high frequency. However, without providing the air chamber B, the pressure chambers A can be driven out of phase so that the adjacent pressure chambers A are not simultaneously discharged. Further, by forming a straight ink flow path for supplying ink from the ink introduction port 6a to the nozzle hole 5a in the pressure chamber A, since the ink flow path has no bent portion, it is necessary to prevent air bubbles from stagnating here. However, a configuration in which an ink inlet is provided in a cover substrate or a base material is also possible.

【0081】本実施の形態のインクジェットヘッド1に
使用する圧電素子は、チタン酸ジルコン酸鉛(商品名P
ZT)が、充填密度が大きく、圧電定数が大きく、加工
性が良いので好ましい。PZTは、焼成後、温度を下げ
ると、急に結晶構造が変化して、原子がズレ、片側がプ
ラス、反対側がマイナスという双極子の形の細かい結晶
の集まりになる。こうした自発分極は方向がランダム
で、極性を互いに打ち消しあっているので、更に分極処
理が必要となる。
The piezoelectric element used in the ink jet head 1 of this embodiment is made of lead zirconate titanate (trade name P
ZT) is preferred because of its high packing density, large piezoelectric constant, and good workability. When the temperature is lowered after sintering, the crystal structure of the PZT suddenly changes, resulting in a collection of fine dipole-shaped crystals in which atoms are shifted, one side is positive, and the other side is negative. Since such spontaneous polarization has a random direction and the polarities cancel each other, further polarization processing is required.

【0082】分極処理は、PZTの薄板を電極で挟み、
シリコン油中に漬けて、10〜35kv/cm程度の高
電界を掛けて分極する。分極したPZTに、図3に示す
ように分極方向に直角に電圧を掛けると、圧電素子(P
ZT)の隔壁が圧電滑り効果により、斜め方向にくの字
形に剪断変形して、圧力室Aの容積が膨張して、インク
供給部7からインクが圧力室Aに供給される。この時、
圧力室内に負の圧力波が発生して、インク中を伝わり、
時間L/v(L:圧力室の長さ、vインク中の音速)経
過すると、圧力波が圧力室末端に到達して反射され、位
相が反転して正の圧力波になる。この時、電極に印加し
た電圧をグランドに落とすと、圧電素子の隔壁の変形が
無くなり、圧力室Aの容積が縮小してインクに圧力が掛
かる。反転した正の圧力波と、壁からの圧力が加え合わ
さって、高い圧力がインクに掛かり、ノズル孔5aから
インクが吐出される。圧電素子の変形量が大きい程、イ
ンクに掛かる力が大きくなり、インク滴の吐出速度が早
くなり、吐出の直進性が高くなり、画像の解像度が向上
する。
In the polarization treatment, a thin plate of PZT is sandwiched between electrodes,
It is immersed in silicon oil and polarized by applying a high electric field of about 10 to 35 kv / cm. When a voltage is applied to the polarized PZT at right angles to the polarization direction as shown in FIG. 3, the piezoelectric element (P
The partition wall of ZT) is sheared obliquely in a U-shape due to the piezoelectric sliding effect, the volume of the pressure chamber A expands, and ink is supplied from the ink supply unit 7 to the pressure chamber A. At this time,
A negative pressure wave is generated in the pressure chamber and propagates through the ink,
After a lapse of time L / v (L: length of the pressure chamber, sound velocity in v ink), the pressure wave reaches the end of the pressure chamber and is reflected, and the phase is inverted to become a positive pressure wave. At this time, when the voltage applied to the electrodes is dropped to the ground, the deformation of the partition walls of the piezoelectric element is eliminated, the volume of the pressure chamber A is reduced, and pressure is applied to the ink. When the inverted positive pressure wave and the pressure from the wall are added, a high pressure is applied to the ink, and the ink is ejected from the nozzle hole 5a. As the amount of deformation of the piezoelectric element increases, the force applied to the ink increases, the ejection speed of the ink droplets increases, the straightness of ejection increases, and the resolution of an image improves.

【0083】圧電素子の変形を大きくするためには、1
枚のPZTを使用して、図2(a)に示すように、その
上半分に電極を設けて、上半分を変形させるよりも、図
2(b)に示すように2枚のPZTを、分極方向が反対
になるように接合して、全面に電極を設け、2枚のPZ
Tに電圧を掛けて使用することが好ましい。これはシェ
ブロン型として特公平6−61936号公報、特公平6
−6375号公報に開示されている。2枚のPZTを分
極方向が反対になるように接合して使用すると、1枚の
PZTの場合よりせん断変形量が倍になるので、同じ変
形量を得るには、駆動電圧が1/2ですむ。反対方向に
分極した2枚のPZTを接合し、それを基材に接合して
隔壁を形成し、圧力室の電極に電圧を掛ける場合には、
隔壁の全面に電極を設け、溝の底部には設けないように
することが好ましい。
To increase the deformation of the piezoelectric element, 1
As shown in FIG. 2A, using two PZTs and providing electrodes in the upper half thereof and deforming the upper half, two PZTs as shown in FIG. Joined so that the polarization directions are opposite, provided electrodes on the entire surface, and provided two PZs.
It is preferable to apply a voltage to T before use. This is a chevron type device disclosed in JP-B-6-61936 and JP-B-6-61936.
No.-6375. When two PZTs are joined together so that their polarization directions are opposite, the shear deformation is doubled compared to the case of one PZT, so the drive voltage is 1 / to obtain the same deformation. No. When joining two PZTs polarized in opposite directions, joining them to the substrate to form a partition, and applying a voltage to the electrodes of the pressure chamber,
It is preferable that an electrode be provided on the entire surface of the partition and not provided on the bottom of the groove.

【0084】本実施の形態では、図3に示すように、こ
の分極した2枚の圧電素子を接着剤80で接合した圧電
素子2bを用い、それを基材2に接着剤8で接合するこ
とによって、隔壁により区切られるインク流路を備えた
ヘッド本体を形成し、隔壁の側面に金属を蒸着させて電
極を形成した後、このヘッド本体にカバー基板4を接着
剤8で接合して覆っている。
In this embodiment, as shown in FIG. 3, a piezoelectric element 2b in which two polarized piezoelectric elements are joined with an adhesive 80 is used, and the piezoelectric element 2b is joined to the base material 2 with an adhesive 8. To form an electrode by forming metal by depositing metal on the side surface of the partition, and then covering the head body with a cover substrate 4 by bonding with an adhesive 8. I have.

【0085】圧電素子と圧電素子間の接着剤80による
接合では、接着剤層の硬化後の厚みを10〜15μm以
下にすることが好ましく、これにより2枚の圧電素子間
の接着の信頼性が十分となり、インクもれを起こし難
く、電極の接続が阻害される虞を少なくできる。また、
基材と圧電素子間の接着剤8による接合、及びカバー基
板とヘッド本体間の接着剤8による接合では、接着剤層
の硬化後の厚みを2μm以下にすることが好ましく、こ
れにより圧電素子隔壁の変形を吸収してしまう虞を少な
くできる。
In the bonding between the piezoelectric elements by the adhesive 80, it is preferable that the thickness of the cured adhesive layer be 10 to 15 μm or less, so that the reliability of the bonding between the two piezoelectric elements is reduced. Thus, ink leakage hardly occurs, and the risk of hindering the connection of the electrodes can be reduced. Also,
In bonding with the adhesive 8 between the base material and the piezoelectric element and bonding with the adhesive 8 between the cover substrate and the head main body, it is preferable that the cured thickness of the adhesive layer is 2 μm or less, whereby the piezoelectric element partition wall is formed. Can be reduced.

【0086】このようにして、2枚の圧電素子を分極方
向が反対になるように接着剤で接合した圧電素子2b
を、基材2に接着剤で接合して溝2aを形成して、溝2
aの両隔壁に電極3を設けてから、溝2aの天井をカバ
ー基板4で塞ぐように接着剤で接合し、溝2aの入口、
出口を、インク導入口を持つ供給プレート6とノズル孔
を持つノズルプレート5で塞ぐようにそれぞれ接着剤で
接合する。
Thus, the piezoelectric element 2b in which the two piezoelectric elements are bonded by the adhesive so that the polarization directions are opposite to each other.
Is bonded to the base material 2 with an adhesive to form a groove 2a.
After the electrodes 3 are provided on both partition walls of the groove 2a, they are bonded with an adhesive so as to cover the ceiling of the groove 2a with the cover substrate 4, and the entrance of the groove 2a is formed.
The outlet is joined with an adhesive so as to be closed by a supply plate 6 having an ink inlet and a nozzle plate 5 having a nozzle hole.

【0087】基材2及びカバー基板4には、例えば、脱
分極したPZT、フォルステライト(2MgO・SiO
2)、ホトベール(住金ホトンセラミックス社製のホウ
ケ酸ガラスを主成分にフッ素金雲母及びジルコニアを含
む特殊セラミック)、MgO−TiO2−CaOの3成
分系セラミック、BaTiO3、焼結アルミナ、石英ガ
ラス類、焼結コーデュライト、焼結ムライトのいずれ
か、またはジルコニア、安定化ジルコニア、部分安定化
ジルコニア、ジルコニア強化セラミックス、正方晶ジル
コニア多結晶体等を使用することが好ましい。
The base material 2 and the cover substrate 4 are made of, for example, depolarized PZT or forsterite (2MgO.SiO).
2), Photoveel (special ceramic) containing fluorine phlogopite and zirconia as a main component an idiot acid glass Sumitomo Metals ho tons ceramic Co., ternary ceramic MgO-TiO 2 -CaO, BaTiO 3, sintered alumina, fused silica , Zirconia, stabilized zirconia, partially stabilized zirconia, zirconia reinforced ceramics, tetragonal zirconia polycrystal, or the like.

【0088】また、ノズルプレート5及び供給プレート
6は、例えば、ステンレス、ポリイミド、ポリサルホ
ン、ポリリエーテルサルホンなどの金属や樹脂が使用さ
れる。ノズルプレート5および供給プレート6は接着前
にレーザー穿孔、機械穿孔によりノズル孔またはインク
導入口を形成してもよいし、接着後にレーザー穿孔によ
りノズル孔またはインク導入口を形成してもよい。また
ノズルプレート5の吐出側の面は撥インク処理されるこ
とが多いが、接着前の接着面に撥インク処理させると接
着剤による十分な接合が行われなくなる可能性があるの
で、接着前に撥インク処理を行う場合は、接着面が撥イ
ンク処理されないようにすることが好ましい。
The nozzle plate 5 and the supply plate 6 are made of, for example, metal or resin such as stainless steel, polyimide, polysulfone, and polyetherethersulfone. The nozzle plate 5 and the supply plate 6 may form a nozzle hole or an ink inlet by laser perforation or mechanical perforation before bonding, or may form a nozzle hole or an ink inlet by laser perforation after bonding. In addition, the surface on the discharge side of the nozzle plate 5 is often subjected to ink-repellent treatment. However, if the adhesive surface before bonding is subjected to ink-repellent treatment, there is a possibility that sufficient bonding with the adhesive may not be performed. When performing the ink-repellent treatment, it is preferable that the adhesive surface is not subjected to the ink-repellent treatment.

【0089】いずれの場合においても、接着剤による接
合を行う際には、接着剤の塗設面は親水化処理をして濡
れ性を増しておくことが好ましい。濡れ性を増す処理と
しては界面活性剤や、酸又はアルカリによる洗浄や、オ
ゾン処理、コロナ放電処理、プラズマ処理が好ましい。
In any case, when bonding with an adhesive is performed, it is preferable that the surface to which the adhesive is applied is subjected to a hydrophilic treatment to increase wettability. As the treatment for increasing the wettability, washing with a surfactant, an acid or an alkali, ozone treatment, corona discharge treatment, and plasma treatment are preferable.

【0090】本実施の形態では、基材と圧電素子間の接
合、及びカバー基板とヘッド本体間の接合を行う接着剤
8、および圧電素子と圧電素子間の接合を行う接着剤8
0に、ポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着
剤を用いるとともに、ノズルプレート5の接合、および
供給プレート6の接合を行う接着剤にもポリシロキサン
変性エポキシ樹脂を含有する接着剤を用いて、インクジ
ェットヘッドを製造した。基材とカバー基板には脱分極
したPZT、ノズルプレート5にはポリイミドを用い
た。このポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接
着剤の処方の具体例を次に説明する。
In the present embodiment, an adhesive 8 for bonding between the base material and the piezoelectric element and for bonding between the cover substrate and the head body, and an adhesive 8 for bonding between the piezoelectric element and the piezoelectric element.
In addition to the use of an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin, an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin is also used as an adhesive for joining the nozzle plate 5 and the supply plate 6. The head was manufactured. Depolarized PZT was used for the base material and the cover substrate, and polyimide was used for the nozzle plate 5. Specific examples of the formulation of the adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin will be described below.

【0091】構造式1(n=1、m=10〜30を主と
した混合物)の主剤にジシアンジアミドを硬化剤として
当量の80%、ジエチレントリアミンのフェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂のアダクトを反応促進剤として4
重量%加えたものを接着剤Aとし、構造式1(n=2、
m=10〜30を主とした混合物)と未変性のビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂(n=1)を1:1の割合で混
合した主剤にジシアンジアミドを硬化剤として当量の8
0%、ジエチレントリアミンのフェノールノボラック型
エポキシ樹脂のアダクトを反応促進剤として4重量%加
えたものを接着剤B、として用意した。接着剤Aの粘度
は25℃で30000センチポイズ、接着剤Bの粘度は
25℃で50000センチポイズであった。
80% of equivalent weight of dicyandiamide as a curing agent as a main agent of the structural formula 1 (a mixture mainly composed of n = 1 and m = 10 to 30), and 4% of an adduct of a phenol novolak type epoxy resin of diethylenetriamine as a reaction accelerator.
By weight percent, the adhesive A was used, and the structural formula 1 (n = 2,
m = 10 to 30) and an unmodified bisphenol A type epoxy resin (n = 1) in a ratio of 1: 1.
Adhesive B was prepared by adding 0% of an adduct of phenol novolak type epoxy resin of diethylenetriamine as a reaction accelerator by 4% by weight. The viscosity of the adhesive A was 30,000 centipoise at 25 ° C., and the viscosity of the adhesive B was 50,000 centipoise at 25 ° C.

【0092】各接着剤A、Bを接合する一方の部材にス
クリーン印刷法で塗設し、2℃/分の昇温速度で80℃
に昇温した後に30分間この温度を維持して硬化してB
ステージ化させた。その後室温に冷却した後に、もう一
方の部材と重ね合わせ、1kg/cm2の圧力をかけな
がら1℃/分の昇温速度で100℃に昇温した後に30
分間この温度を維持して硬化させた。硬化後に冷却し、
寸法を測定すると、それぞれの部材の室温での寸法を維
持したまま接合され、そりやずれがなかった。また接着
剤のはみ出しも見られなかった。接着剤の変形による圧
力損失が小さく、吐出効率が高いインクジェットヘッド
を得ることができた。
One member to be joined with each of the adhesives A and B is applied by a screen printing method, and the temperature is raised at a rate of 2 ° C./min to 80 ° C.
After the temperature has risen to 30 minutes, the temperature is
Staged. Then, after cooling to room temperature, it is superimposed on the other member, heated to 100 ° C. at a rate of 1 ° C./min while applying a pressure of 1 kg / cm 2 , and then cooled to 30 ° C.
This temperature was maintained for a minute to cure. Cool after curing,
When the dimensions were measured, the members were joined while maintaining the dimensions at room temperature, and there was no warpage or displacement. Also, no protrusion of the adhesive was observed. An ink jet head having a small pressure loss due to the deformation of the adhesive and a high ejection efficiency was obtained.

【0093】こうして製造したインクジェットヘッドの
耐インク性を調べるために、インクに長時間浸漬し、イ
ンクにその一部が接する接着剤である接着剤A、Bが、
インク中の溶媒で膨潤することによる重量変化を測定し
たときのその変化率から各接着剤の耐インク性を評価し
た。各種の溶媒に60℃で1週間(168時間)浸漬す
る加速試験をおこなった結果、重量変化が4%以下であ
れば特に長期に渡り充分実用に耐え得るものであった。
In order to examine the ink resistance of the ink jet head manufactured in this manner, the adhesives A and B, which are immersed in the ink for a long time and the adhesives partially contact the ink, are used.
The ink resistance of each adhesive was evaluated from the rate of change when the weight change due to swelling with the solvent in the ink was measured. As a result of an accelerated test of immersion in various solvents at 60 ° C. for one week (168 hours), it was found that if the weight change was 4% or less, it could withstand practical use especially for a long period of time.

【0094】また、ヘッドを実際に駆動し、耐久試験を
行った。108ショット以上射出できれば実用に耐え得
るものであり、1010ショット以上射出できればヘッド
の交換がほとんど不要となり好ましいものである。
The head was actually driven, and a durability test was performed. If it can be shot more than 10 8 shots, it can be put to practical use, and if it can be shot more than 10 10 shots, it is almost unnecessary to replace the head, which is preferable.

【0095】インク浸漬試験と耐久試験の結果を比較例
ともに以下の表1に示す。全く実用に耐え得ないものを
×、一応実用に耐え得るものは△、充分実用に耐え好ま
しいものを○、また充分実用に耐え、1010ショットの
耐久試験後に分解して検査したところほとんど初期の状
態を維持していて劣化がなかったより好ましいものを◎
とした。
The results of the ink immersion test and the durability test are shown in Table 1 below together with Comparative Examples. × those not withstand at all practical, those capable of withstanding the once practical △, enough to bear practical use endure preferred ones ○, also sufficiently practical, most early Examination by degraded after durability test 10 10 shots A more preferable one that maintained the state and did not deteriorate was ◎
And

【0096】[0096]

【表1】 [Table 1]

【0097】本実施の形態では、導電性インクを使用
し、インクに触れる電極に駆動電圧を印可する場合は電
極保護膜が必要となるために、パリレン膜などの絶縁膜
を形成することがある。接着剤による接合後に、パリレ
ン膜を気相合成法(CVD法)によって、電極保護と同
時にインクに接する接着剤部分の全体を被覆すれば、そ
の接着剤部分もパリレン膜により保護されるために、接
着剤自体での耐インク性は必ずしも必要なくなる。しか
し、パリレン膜を気相合成法で形成するためには開口部
が必要であり、吐出のための圧力を発生させる圧力室を
完成させるために、少なくとも最後に接合される部材の
接着剤は、パリレン膜を気相合成法で形成して保護する
ことができない。圧力室の製造ではノズルプレートまた
は供給プレートを最後に接合することが多い。
In this embodiment, when a conductive ink is used and a drive voltage is applied to an electrode that comes into contact with the ink, an electrode protective film is required. Therefore, an insulating film such as a parylene film may be formed. . If the parylene film is entirely covered with the parylene film by the vapor phase synthesis method (CVD method) after the bonding with the adhesive and in contact with the ink at the same time as protecting the electrodes, the adhesive portion is also protected by the parylene film. The ink resistance of the adhesive itself is not always necessary. However, an opening is necessary to form a parylene film by a vapor phase synthesis method, and in order to complete a pressure chamber that generates pressure for discharge, an adhesive of at least the last member to be bonded is Parylene films cannot be formed and protected by vapor phase synthesis. In the manufacture of pressure chambers, the nozzle plate or the supply plate is often joined last.

【0098】一方、非導電性のインクを吐出させる場合
や圧力室内の電極を常に接地電位として駆動させる場合
は、必ずしも圧力室内に保護膜を設ける必要はない。
On the other hand, when discharging non-conductive ink or when the electrodes in the pressure chamber are always driven to the ground potential, it is not always necessary to provide a protective film in the pressure chamber.

【0099】本実施例においては、ノズルプレートの接
合前にパリレン膜で他のインクに接する接着剤部分に被
覆をした場合と、被覆をせずに圧力室内の電極を常に接
地電位として駆動させた場合の両方の試験を行ったが、
ノズルプレート部分の接着部分のみがインクに触れる場
合と、他の接着部分もインクに触れる場合で差は見られ
なかった。
In this embodiment, the adhesive portion in contact with other ink was coated with a parylene film before joining the nozzle plate, and the electrode in the pressure chamber was always driven at the ground potential without coating. If both tests were done,
No difference was observed between the case where only the bonded portion of the nozzle plate portion touched the ink and the case where the other bonded portion also touched the ink.

【0100】ノズルプレートのノズル孔の径5〜50μ
m程度であり、接着剤がノズル孔内に付着すると吐出し
なくなったり、吐出されるインク滴が小さくなったりし
て性能に重大な影響を及ぼす。また、ノズルプレートに
は複数の圧力室に対応して複数のノズル孔が開けられて
いる。したがって、ノズルプレートの接着剤による接合
に要求される位置精度は、ノズル孔の径、ノズルプレー
トを接合する面のインク流路または圧力室の大きさなど
によって異なるが、通常のインクジェットヘッドではノ
ズル径以下の精度であることが好ましい。ノズル孔の間
隔は10〜1000μmで、64〜1024程度のノズ
ル孔が開けられているものが多いが、更にノズルの数は
多くなる傾向にある。プリントしようとする紙幅全体を
一度にプリントする方式のものでは、例えば7000ノ
ズル、全幅が30cmのものが知られており、この場合
30cmの範囲で10μm程度の位置精度であることが
好ましく、これは33ppmに相当する。
The diameter of the nozzle hole of the nozzle plate is 5 to 50 μm.
If the adhesive adheres to the inside of the nozzle hole, it will not be ejected or the ejected ink droplets will be small, which will have a significant effect on the performance. A plurality of nozzle holes are formed in the nozzle plate corresponding to the plurality of pressure chambers. Therefore, the positional accuracy required for bonding the nozzle plate with the adhesive varies depending on the diameter of the nozzle hole, the size of the ink flow path or the pressure chamber on the surface to which the nozzle plate is bonded, and the like. The following accuracy is preferable. The interval between the nozzle holes is 10 to 1000 μm, and many holes are provided with approximately 64 to 1024 nozzle holes, but the number of nozzles tends to increase. In the method of printing the entire width of the paper to be printed at once, for example, a nozzle having 7000 nozzles and an overall width of 30 cm is known. It corresponds to 33 ppm.

【0101】また更に、ノズルプレートに使用されるス
テンレスなどの熱膨張率は、小さいものでも1℃あたり
10ppm程度以上であることを考慮すると、熱膨張率
が異なる部材間の接合では、接着時の加熱で、いかに接
着の位置精度を維持することが難しいかがわかる。そこ
で、本実施の形態では、ポリシロキサン変性エポキシ樹
脂を含有する接着剤を用いてBステージ化工程を経て接
合を行っている。一方の部材に接着剤を塗設し、加熱し
て半硬化させてBステージ化することで、接着剤の流動
性が失われ、また粘着性のある状態となる。これを室温
まで冷却し、もう一方の部材と重ねるとBステージ化し
た接着剤の粘着力により二つの部材の相対的な位置が固
定されるため、熱膨張率の差による接着時の位置ずれが
ない。このとき、Bステージ化した接着剤は流動性がな
いのではみ出したり、流れ出したりすることがない。そ
の後、重ね合わせた2つの部材を加圧しながら加熱する
ことにより接着剤を硬化させて接合を完了している。
Furthermore, considering that the coefficient of thermal expansion of stainless steel or the like used for the nozzle plate is at least about 10 ppm per 1 ° C. even when it is small, the joining between members having different coefficients of thermal expansion is not effective at the time of bonding. This shows how it is difficult to maintain the positional accuracy of bonding by heating. Therefore, in the present embodiment, bonding is performed through a B-stage process using an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin. By applying an adhesive to one of the members, heating and semi-curing to form a B-stage, the fluidity of the adhesive is lost and the adhesive becomes a sticky state. When this is cooled to room temperature and overlapped with the other member, the relative position of the two members is fixed by the adhesive force of the B-staged adhesive. Absent. At this time, the B-staged adhesive does not overflow or flow out because it has no fluidity. Thereafter, by heating the two superimposed members while applying pressure, the adhesive is cured to complete the joining.

【0102】本実施の形態では、接合する圧電素子の温
度が上がると、圧電素子の圧電効果が失われるために、
硬化温度を一定の温度より高い温度にすることは好まし
くない。圧電効果が失われる温度は圧電素子の種類、成
分や製造方法によっても異なるが、一般的に圧電効果の
効率の高い圧電素子ほどこの温度が低い。本実施の形態
のインクジェットヘッドに好ましいインク吐出効率が得
られる圧電素子では120℃を超えると圧電効果の効率
が低下するので、接着剤のBステージ化、硬化は120
℃以下で行うことが好ましく、本実施の形態のポリシロ
キサン変性エポキシ樹脂を含有する接着剤は、このよう
な低温でのBステージ化および硬化を実現できるもので
ある。
In this embodiment, when the temperature of the piezoelectric element to be joined rises, the piezoelectric effect of the piezoelectric element is lost.
It is not preferred that the curing temperature be higher than a certain temperature. The temperature at which the piezoelectric effect is lost varies depending on the type, composition, and manufacturing method of the piezoelectric element, but in general, the higher the efficiency of the piezoelectric effect, the lower the temperature. Since the efficiency of the piezoelectric effect is reduced when the temperature exceeds 120 ° C. in the piezoelectric element that can obtain the ink ejection efficiency preferable for the ink jet head of the present embodiment, the B-stage and curing of the adhesive are performed at 120 ° C.
C. or lower, and the adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin of the present embodiment can realize the B-stage and curing at such a low temperature.

【0103】また、圧力室は圧電素子によって発生させ
る圧力でインクを吐出させるものなので、圧力室がその
圧力で変形してしまうとインクを吐出させる圧力が逃げ
てしまい、効率よくインクを吐出させることができな
い。圧力室を構成する複数の部材の接合に使用する接着
剤の弾性率が低いと、圧力室が変形し、インクジェット
ヘッドの効率が低下する。従って圧力室を構成する部材
の接合に使用する接着剤は、硬化後の弾性率が高いこと
が好ましく、100kg/cm2以上であることが好ま
しい。本実施の形態のポリシロキサン変性エポキシ樹脂
を含有する接着剤は、この弾性率をも満たすものであ
る。
Further, since the pressure chamber discharges ink at a pressure generated by the piezoelectric element, if the pressure chamber is deformed by the pressure, the pressure at which the ink is discharged escapes, so that the ink can be discharged efficiently. Can not. If the elastic modulus of the adhesive used for joining the plurality of members constituting the pressure chamber is low, the pressure chamber is deformed, and the efficiency of the inkjet head is reduced. Therefore, the adhesive used for joining the members constituting the pressure chamber preferably has a high modulus of elasticity after curing, and more preferably 100 kg / cm 2 or more. The adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin of the present embodiment also satisfies this elastic modulus.

【0104】なお、本実施の形態では、基材2と圧電素
子2bを別部材で構成し、両者を接着剤で接合した例を
示したが、例えば、分極した2枚のPZT基板を貼り合
わせた圧電素子のヘッド基板を用意し、ダイヤモンド砥
石等により溝2aを形成する構成を採用することもでき
る。この場合にはヘッド構造が単純になる。
In this embodiment, an example is shown in which the base member 2 and the piezoelectric element 2b are formed of different members and both are joined by an adhesive. For example, two polarized PZT substrates are bonded together. It is also possible to adopt a configuration in which a head substrate of the piezoelectric element is prepared and the groove 2a is formed by a diamond grindstone or the like. In this case, the head structure becomes simple.

【0105】(第2の実施の形態)図4は圧力室壁に設
けた圧電素子の伸縮変形によって圧力室の体積を変化さ
せるタイプのインクジェットヘッドの概略断面図であ
る。
(Second Embodiment) FIG. 4 is a schematic sectional view of an ink jet head of a type in which the volume of a pressure chamber is changed by expansion and contraction of a piezoelectric element provided on the wall of the pressure chamber.

【0106】具体的には、例えば、複数のノズル孔15
aが設けられた金属製のノズルプレート15と、圧力室
Aのインク導入側に設けられてインクの流動を制限する
部材である、複数のインク導入口16aが設けられた金
属製の供給プレート16とを、流路プレート12aを挟
んで積層、接合することにより、前記ノズル孔15aに
インクを導くインク流路と、前記インク導入口16aに
インクを導くインク供給流路とを、それぞれ内部に形成
せしめ、これに金属や合成樹脂製のプレート12b,1
2c,12dの積層体にて形成された、前記各ノズル孔
15aおよびインク導入口16aに対応する複数の開口
を有する部材を重ね合わせて接着一体化することによ
り、前記ノズル孔15aおよびインク導入口16aの背
後に、それぞれ、圧力室Aを形成すると共に、圧力室A
の壁部に圧電素子13を固着することによって形成され
る。
More specifically, for example, a plurality of nozzle holes 15
and a metal supply plate 16 provided with a plurality of ink introduction ports 16a, which is a member provided on the ink introduction side of the pressure chamber A to restrict the flow of ink. Are laminated and joined with the flow path plate 12a interposed therebetween, thereby forming an ink flow path for guiding the ink to the nozzle hole 15a and an ink supply flow path for guiding the ink to the ink introduction port 16a, respectively. At the very least, the plates 12b, 1 made of metal or synthetic resin
The nozzle hole 15a and the ink introduction port are formed by superposing and bonding and integrating a member having a plurality of openings corresponding to the respective nozzle holes 15a and the ink introduction port 16a, which is formed by a laminate of 2c and 12d. 16a, pressure chambers A are respectively formed behind the pressure chambers A.
The piezoelectric element 13 is formed by fixing the piezoelectric element 13 to the wall portion.

【0107】インクジェットヘッド10は、圧力室Aに
供給されたインクが、ノズルプレート15に設けられた
ノズル孔15aを通じて、吐出されるようになってい
る。より詳細には、ノズルプレート15と、圧力室のイ
ンク導入側に開口を有しインクの流動を制限する部材で
ある供給プレート16が、それらの間に流路プレート1
2aを挟んで重ね合わされ、接着剤によって一体的に接
合されてなる構造とされている。
In the ink jet head 10, the ink supplied to the pressure chamber A is discharged through a nozzle hole 15 a provided in the nozzle plate 15. More specifically, a nozzle plate 15 and a supply plate 16, which is a member having an opening on the ink introduction side of the pressure chamber and restricting the flow of ink, are provided with a flow path plate 1 therebetween.
2a are sandwiched therebetween, and are integrally joined by an adhesive.

【0108】また、ノズルプレート15には、インク吐
出用のノズル孔15aが、複数個(図示せず)、形成さ
れていると共に、供給プレート16および流路プレート
12aには、各ノズル孔15aに対応する位置におい
て、板厚方向に貫通する通孔が、該ノズル孔15aより
も所定寸法大きな内径をもって形成されている。
The nozzle plate 15 has a plurality of (not shown) nozzle holes 15a for discharging ink. The supply plate 16 and the flow path plate 12a have respective nozzle holes 15a. At a corresponding position, a through hole penetrating in the plate thickness direction is formed with an inner diameter larger than the nozzle hole 15a by a predetermined dimension.

【0109】さらに、供給プレート16には、インク導
入口16a(オリフィス孔)が、複数個(図示せず)、
形成されていると共に、流路プレート12aに設けられ
た窓部が、ノズルプレート15および供給プレート16
にて、両側から覆蓋されることにより、それらノズルプ
レート15と供給プレート16との間に、各インク導入
口16aに連通せしめられたインク供給流路が形成され
ている。また、供給プレート16には、インク供給流路
に対して、インクタンクから導かれるインクを供給する
供給口が設けられている。
Further, the supply plate 16 has a plurality of ink introduction ports 16a (orifice holes) (not shown).
The window formed in the flow path plate 12a is provided with the nozzle plate 15 and the supply plate 16
By being covered from both sides, an ink supply channel is formed between the nozzle plate 15 and the supply plate 16 so as to communicate with each ink inlet 16a. The supply plate 16 is provided with a supply port for supplying ink guided from the ink tank to the ink supply flow path.

【0110】なお、各プレート15,16,12aは、
ノズル孔15aおよびインク導入口16aを高い寸法精
度で形成するうえで、一般にプラスチックや、ニッケル
乃至ステンレスといった金属を使用することが好まし
い。また、インク導入口16aは図示されているよう
に、インク流通方向に向って小径化するテーパ形状をも
って、形成することが望ましい。
Each of the plates 15, 16, 12a is
In order to form the nozzle hole 15a and the ink inlet 16a with high dimensional accuracy, it is generally preferable to use plastic or a metal such as nickel or stainless steel. Further, as shown in the drawing, it is desirable that the ink introduction port 16a is formed to have a tapered shape whose diameter decreases in the ink circulation direction.

【0111】一方、供給プレート16の反対側には、閉
塞プレート12dと接続プレート12bが、スペーサプ
レート12cを挟んで重ね合わされてなる構造をもっ
て、一体的に形成されている。
On the other hand, on the opposite side of the supply plate 16, the closing plate 12d and the connection plate 12b are integrally formed with a structure in which the closing plate 12d and the connection plate 12b are overlapped with the spacer plate 12c interposed therebetween.

【0112】接続プレート12bには、供給プレート1
6に形成された通孔およびインク導入口16aに対応す
る位置に、連通用開口部がそれぞれ形成されている。
The supply plate 1 is connected to the connection plate 12b.
The communication opening is formed at a position corresponding to the through hole and the ink introduction port 16a formed at 6.

【0113】また、スペーサプレート12cには、長手
矩形状の窓部が、複数個形成される。そして、それら各
窓部に対して、接続プレート12bに設けられた各連通
用開口部が開口するように、スペーサプレート12c
が、接続プレート12bに対して重ね合わされている。
A plurality of long rectangular windows are formed in the spacer plate 12c. The spacer plate 12c is opened such that each communication opening provided in the connection plate 12b is opened for each of the windows.
Are superimposed on the connection plate 12b.

【0114】このスペーサプレート12cの、接続プレ
ート12bが重ね合わされた側とは反対側の面には、閉
塞プレート12dが重ね合わされていて、この閉塞プレ
ート12dで、窓部の開口が覆蓋されている。それによ
って、各連通用開口部を通じて外部に連通されたインク
の圧力室Aが形成されている。
On the surface of the spacer plate 12c opposite to the side on which the connection plate 12b is overlaid, a closing plate 12d is overlaid, and the opening of the window is covered with the closing plate 12d. . As a result, a pressure chamber A for ink communicated to the outside through each communication opening is formed.

【0115】閉塞プレート12d、スペーサプレート1
2cおよび接続プレート12bは、セラミックスで構成
されることが好ましい。このセラミックスの材質は、成
形性等の点から、アルミナ、ジルコニア等を使用するこ
とが好ましい。閉塞プレート12dの板厚は好ましくは
50μm以下、より好ましくは3〜12μm程度、接続
プレート12bの板厚は好ましくは10μm以上、より
好ましくは50μm以上、スペーサプレート12cの板
厚は好ましくは50μm以上、より好ましくは100μ
m以上である。
Closing plate 12d, spacer plate 1
2c and the connection plate 12b are preferably made of ceramics. As the material of this ceramic, it is preferable to use alumina, zirconia, or the like from the viewpoint of moldability and the like. The plate thickness of the closing plate 12d is preferably 50 μm or less, more preferably about 3 to 12 μm, the plate thickness of the connection plate 12b is preferably 10 μm or more, more preferably 50 μm or more, and the plate thickness of the spacer plate 12c is preferably 50 μm or more. More preferably 100μ
m or more.

【0116】このようにして形成された圧力室Aは、セ
ラミックスの一体焼成品として形成することもできる
が、各プレートを接着剤で接着して用いてもよい。
The pressure chamber A thus formed can be formed as an integrally fired product of ceramics, but may be used by bonding each plate with an adhesive.

【0117】閉塞プレート12dの外面上の、各インク
の圧力室Aに対応する部位に、それぞれ、圧電素子13
が設けられている。この圧電素子13は、閉塞プレート
12d上に、下部電極13a,圧電素子膜13bおよび
上部電極13aからなる圧電作動部を、膜形成法によっ
て形成することによって形成されたものである。
A piezoelectric element 13 is provided on the outer surface of the closing plate 12d at a position corresponding to the pressure chamber A of each ink.
Is provided. The piezoelectric element 13 is formed by forming a piezoelectric operating portion including a lower electrode 13a, a piezoelectric element film 13b, and an upper electrode 13a on a closing plate 12d by a film forming method.

【0118】この場合には閉塞プレート12dとして、
酸化ジルコニウムを主成分とするセラミック基板を使用
することが好ましい。
In this case, as the closing plate 12d,
It is preferable to use a ceramic substrate containing zirconium oxide as a main component.

【0119】酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化マ
グネシウム、酸化カルシウムのうちの一つの化合物を単
体で若しくは組み合わせて添加、含有することにより、
酸化ジルコニウムは部分的に或いは完全に安定化され
る。それぞれの化合物の添加含有量は、酸化イットリウ
ムは2モル%〜7モル%、酸化セリウムは6モル%〜1
5モル%、酸化マグネシウム、酸化カルシウムは5モル
%〜12モル%とすることが好ましいが、その中でも、
特に酸化イットリウムを部分安定化剤として用いること
が好ましく、その場合は2モル%〜7モル%、更に好ま
しくは2モル%〜4モル%とすることが望ましい。その
ような範囲で酸化イットリウムを添加・含有した酸化ジ
ルコニウムは、その主たる結晶相が正方晶若しくは主と
して立方晶と正方晶からなる混晶において部分安定化さ
れ、優れた基板特性を与えることとなる。
By adding and containing one compound of yttrium oxide, cerium oxide, magnesium oxide, and calcium oxide alone or in combination,
Zirconium oxide is partially or completely stabilized. The content of each compound is 2 mol% to 7 mol% for yttrium oxide and 6 mol% to 1 mol% for cerium oxide.
5 mol%, magnesium oxide and calcium oxide are preferably 5 mol% to 12 mol%.
Particularly, it is preferable to use yttrium oxide as the partial stabilizer, and in that case, it is desirable that the content be 2 mol% to 7 mol%, more preferably 2 mol% to 4 mol%. Zirconium oxide to which yttrium oxide is added or contained in such a range is partially stabilized in a main crystal phase of tetragonal or a mixed crystal mainly composed of cubic and tetragonal, thereby giving excellent substrate characteristics.

【0120】圧電作動部を構成する電極膜13a,13
aの材料としては、熱処理温度並びに焼成温度程度の高
温酸化雰囲気に耐えられる導体であれば、特に規制され
るものではなく、例えば金属単体であっても、合金であ
っても良く、また絶縁性セラミックスやガラス等と、金
属や合金との混合物であっても、更には導電性セラミッ
クスであってもよい。好ましくは、白金、パラジウム、
ロジウム等の高融点貴金属類、或いは銀―パラジウム、
銀―白金、白金―パラジウム等の合金を主成分とする電
極材料が用いられる。
Electrode films 13a, 13 constituting the piezoelectric operating portion
The material of a is not particularly limited as long as it is a conductor that can withstand a heat treatment temperature and a high-temperature oxidizing atmosphere at about the baking temperature. For example, it may be a simple metal or an alloy, and The mixture may be a mixture of ceramics, glass, or the like, a metal or an alloy, or may be a conductive ceramic. Preferably, platinum, palladium,
High melting point noble metals such as rhodium, or silver-palladium,
An electrode material mainly containing an alloy such as silver-platinum or platinum-palladium is used.

【0121】圧電作動部を構成する圧電素子膜13bの
材料として好ましくは、PZTが用いられる。
Preferably, PZT is used as the material of the piezoelectric element film 13b constituting the piezoelectric operating section.

【0122】圧電素子13が一体的に設けられた、閉塞
プレート12d、スペーサプレート12cおよび接続プ
レート12bは、その接続プレート12bが、図5に示
されているように、供給プレート16に対して重ね合わ
され、接着剤を用いて一体化されている。圧電素子13
の作動により、インク供給流路を通じて導かれたインク
が、インク導入口16aより圧力室Aに供給され通孔を
通じ、ノズル孔15aより吐出されるインクジェットヘ
ッド10が形成される。
The closing plate 12d, the spacer plate 12c, and the connection plate 12b, on which the piezoelectric element 13 is integrally provided, overlap the supply plate 16 with the supply plate 16 as shown in FIG. And integrated using an adhesive. Piezoelectric element 13
By the operation described above, an ink jet head 10 is formed in which the ink guided through the ink supply flow path is supplied to the pressure chamber A from the ink introduction port 16a and is discharged from the nozzle hole 15a through the through hole.

【0123】本実施の形態では、ノズルプレート15の
流路プレート12aへの接合、供給プレート16の流路
プレート12aへの接合、及び供給プレート16の接続
プレート12bへの接合を行う接着剤に、第1の実施の
形態と同じポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する
接着剤を用い、第1の実施の形態と同様にしてインクジ
ェットヘッドを製造した。こうして製造されたインクジ
ェットヘッドは、それぞれの部材の室温での寸法を維持
したまま接合され、そりやずれの発生もなかった。また
接着剤のはみ出しも見られなかった。更に、耐インク性
の評価結果も第1の実施の形態と同様であった。
In this embodiment, the adhesive for joining the nozzle plate 15 to the flow path plate 12a, joining the supply plate 16 to the flow path plate 12a, and joining the supply plate 16 to the connection plate 12b include: An ink jet head was manufactured in the same manner as in the first embodiment, using the same adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin as in the first embodiment. The ink jet heads thus manufactured were joined while maintaining the dimensions of each member at room temperature, and no warpage or displacement occurred. Also, no protrusion of the adhesive was observed. Further, the evaluation results of the ink resistance were the same as those in the first embodiment.

【0124】本実施の形態では、圧力室内に電極がない
ので、第1の実施の形態のようにパリレン膜等の保護膜
を設ける必要性はなく、インクに接する部分の接着剤に
よる接合には、寧ろ耐インク性が高い接着剤を用いるこ
とが好ましく、本実施の形態はこれを実現したものであ
る。これにより、圧力室は圧電素子によって発生させる
圧力で変形してインクを吐出させる圧力が逃げてしまう
ことがなく、効率よくインクを吐出させることができ
た。また、接着剤が圧力室内にはみ出したり流れ込んで
圧力室をふさいだり、狭隘化させたり、体積が変化する
と、インクの流れが変化したりインクにかかる圧力が変
化してインクの吐出に影響を与えることもなかった。
In this embodiment, since there are no electrodes in the pressure chamber, there is no need to provide a protective film such as a parylene film as in the first embodiment. On the contrary, it is preferable to use an adhesive having high ink resistance, and this embodiment realizes this. Thus, the pressure chamber was not deformed by the pressure generated by the piezoelectric element and the pressure for discharging the ink did not escape, and the ink could be discharged efficiently. In addition, when the adhesive leaks or flows into the pressure chamber to block the pressure chamber, narrow the space, or change the volume, the flow of the ink changes or the pressure applied to the ink changes to affect the ejection of the ink. There was nothing.

【0125】更に、接着時の温度による圧電素子への影
響もなく、圧電素子の圧電効果を失わせることもなかっ
た。ここで、圧電素子を施した閉塞プレート12dを、
同じくポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する接着
剤を用いて、スペーサプレート12cに接合し、接続プ
レート12bに接合した場合でも、同様な結果を得るこ
とができた。
Further, the temperature at the time of bonding did not affect the piezoelectric element, and the piezoelectric effect of the piezoelectric element was not lost. Here, the closing plate 12d provided with the piezoelectric element is
Similarly, the same result could be obtained when bonding to the spacer plate 12c and bonding to the connection plate 12b using an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin.

【0126】(第3の実施の形態)図5は圧力室壁に設
けた圧電素子の伸縮変形によって圧力室の体積を変化さ
せる第2の実施の形態と同様のタイプで、構造が異なる
インクジェットヘッドの概略断面図である。
(Third Embodiment) FIG. 5 shows an ink jet head of the same type as the second embodiment in which the volume of the pressure chamber is changed by expansion and contraction of a piezoelectric element provided on the pressure chamber wall, and has a different structure. FIG.

【0127】基台21bは一端部、図では下方に後述す
る圧電素子23を固定するための側方に、突出した突部
が形成されており、上端面には圧力室Aと圧電素子23
とを隔離する振動板24が固定される。振動板24は、
圧電素子23と当接する近傍に凹部を形成して圧電素子
23の振動に応答しやすく形成される。振動板24の表
面には流路形成部材及びインク導入口26aを有する供
給板を兼ねたスペーサ部材22が固定されており、圧電
素子23に対向する領域は振動板24と協同して圧力室
を形成するよう構成され、またインク供給側のインク導
入口26aは、図示しないがインクの流動を制限するよ
う圧力室Aの方向に流路が狭くなる形状とされる。スペ
ーサ部材22の表面にはノズルプレート25が固定され
ており、圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に
積層した圧電素子23の配列形態に合せて複数のノズル
孔25aが設けられている。また、インク供給側も、ノ
ズルプレート25のノズル孔25aが設けられていない
部分より開口部が封止されてインク供給部27が形成さ
れている。
The base 21b has a protruding portion formed at one end thereof, at the lower side in the figure, for fixing a piezoelectric element 23 described later, and a pressure chamber A and a piezoelectric element 23 at the upper end surface.
Is fixed. The diaphragm 24 is
A concave portion is formed near the piezoelectric element 23 so as to easily respond to vibration of the piezoelectric element 23. On the surface of the vibration plate 24, a spacer member 22 serving as a supply plate having a flow path forming member and an ink introduction port 26a is fixed, and a region facing the piezoelectric element 23 defines a pressure chamber in cooperation with the vibration plate 24. Although not shown, the ink supply port 26a on the ink supply side has a shape in which the flow path is narrowed in the direction of the pressure chamber A so as to restrict the flow of ink. A nozzle plate 25 is fixed to the surface of the spacer member 22, and a plurality of nozzle holes 25a are provided in accordance with the arrangement of the piezoelectric elements 23 in which a piezoelectric material and a conductive material are alternately stacked in layers. The ink supply side also has an ink supply section 27 formed by sealing an opening from a portion of the nozzle plate 25 where the nozzle holes 25a are not provided.

【0128】圧電素子23は、一端を振動板24に固定
され、また他端の側方を基台21bの突部に固定され
る。基台21bは、その下端を固定部材21aに固定さ
れている。固定部材21aは、振動板24、スペーサ部
材22、及びノズルプレート25を支持し、また基台2
1bを介して圧電素子23の自由端(図中、上端)を振
動板24に当接させている。そして図から明らかなよう
に、基台21bは、一端が、圧電素子23の自由端側の
端面とほぼ一致し、また他端が圧電素子23の固定端側
よりも突出する大きさに構成される。このような構造を
したインクジェットヘッド20は、圧電素子23に設け
た電極に電圧を印加すると圧電素子23が軸方向に伸張
し、圧電素子23の先端に固定された振動板24が伸張
しノズルプレート25の方向に変位して圧力室Aを圧縮
する。この圧力室Aの容積減少により圧力を受けたイン
クは、ノズル孔25aからからインク滴となって飛翔す
る。
The piezoelectric element 23 has one end fixed to the diaphragm 24 and the other end side fixed to the protrusion of the base 21b. The lower end of the base 21b is fixed to the fixing member 21a. The fixing member 21a supports the vibration plate 24, the spacer member 22, and the nozzle plate 25, and
The free end (the upper end in the figure) of the piezoelectric element 23 is in contact with the diaphragm 24 via 1b. As is apparent from the drawing, the base 21b is configured such that one end thereof substantially matches the end surface of the piezoelectric element 23 on the free end side, and the other end protrudes from the fixed end side of the piezoelectric element 23. You. In the ink jet head 20 having such a structure, when a voltage is applied to the electrodes provided on the piezoelectric element 23, the piezoelectric element 23 expands in the axial direction, and the diaphragm 24 fixed to the tip of the piezoelectric element 23 expands. The pressure chamber A is compressed by being displaced in the direction of 25. The ink that has received the pressure due to the decrease in the volume of the pressure chamber A flies as an ink droplet from the nozzle hole 25a.

【0129】本実施の形態では、ノズルプレート25
と、インク導入口を設けたインクの流動を規制する部材
を兼用したスペーサ22との接合、及びそのスペーサ2
2と振動板24との接合を行う接着剤に、第1の実施の
形態と同じポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する
接着剤を用い、第1の実施の形態と同様にしてインクジ
ェットヘッドを製造した。こうして製造されたインクジ
ェットヘッドは、それぞれの部材の室温での寸法を維持
したまま接合され、そりやずれの発生もなかった。また
接着剤のはみ出しも見られなかった。更に、耐インク性
の評価結果も第1の実施の形態と同様であった。
In the present embodiment, the nozzle plate 25
And a spacer 22 which also serves as a member for regulating the flow of ink provided with an ink introduction port, and the spacer 2
An ink jet head was manufactured in the same manner as in the first embodiment, using an adhesive containing the same polysiloxane-modified epoxy resin as in the first embodiment as the adhesive for bonding the diaphragm 2 and the diaphragm 24. . The ink jet heads thus manufactured were joined while maintaining the dimensions of each member at room temperature, and no warpage or displacement occurred. Also, no protrusion of the adhesive was observed. Further, the evaluation results of the ink resistance were the same as those in the first embodiment.

【0130】本実施の形態では、第2の実施の形態と同
様に、圧力室内に電極がないので、パリレン膜等の保護
膜を設ける必要性はなく、インクに接する部分の接着剤
による接合に、耐インク性が高い接着剤を用いたもので
ある。これにより、圧力室は圧電素子によって発生させ
る圧力で変形してインクを吐出させる圧力が逃げてしま
うことがなく、効率よくインクを吐出させることがで
き、接着剤が圧力室内にはみ出したり流れ込んで圧力室
をふさいだり、狭隘化させたり、体積が変化して、イン
クの流れが変化したりインクにかかる圧力が変化してイ
ンクの吐出に影響を与えることもなかった。
In this embodiment, similarly to the second embodiment, since there is no electrode in the pressure chamber, there is no need to provide a protective film such as a parylene film. And an adhesive having high ink resistance. As a result, the pressure chamber is not deformed by the pressure generated by the piezoelectric element, and the pressure for discharging the ink does not escape, and the ink can be discharged efficiently. There was no change in the flow of the ink or change in the pressure applied to the ink due to the blockage or narrowing of the chamber or the change in the volume.

【0131】また、本実施の形態では、圧電材料と導電
材料とをそれぞれ層状に交互に積層した圧電素子23を
用いているので、エネルギー効率が極めて高く、更に、
圧電素子23が基台21bに固着されているため、基台
21bの強度により圧電素子23に大きな強度を必要と
することがなく、また振動板24と基台21bとを固定
部材21aを介して固定したので、基台21bを固定部
材21aに相対的に位置調整することにより圧電素子2
3を振動板24に高い位置精度で当接可能となり、イン
クに接する接着剤にポリシロキサン変性エポキシ樹脂を
含有する接着剤を用いたことと共に、インクジェットヘ
ッドの性能向上と、コスト削減を図ることができるもの
である。
Further, in this embodiment, since the piezoelectric element 23 in which the piezoelectric material and the conductive material are alternately laminated in layers is used, the energy efficiency is extremely high.
Since the piezoelectric element 23 is fixed to the base 21b, a large strength is not required for the piezoelectric element 23 due to the strength of the base 21b, and the diaphragm 24 and the base 21b are connected via the fixing member 21a. Since the base 21b is fixed relative to the fixing member 21a, the piezoelectric element 2 is fixed.
3 can be brought into contact with the diaphragm 24 with high positional accuracy, and the use of an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin as the adhesive in contact with the ink can improve the performance of the inkjet head and reduce costs. You can do it.

【0132】(第4の実施の形態)図6はサーマルタイ
プのインクジェットヘッドの概略斜視図である。
(Fourth Embodiment) FIG. 6 is a schematic perspective view of a thermal type ink jet head.

【0133】本実施の形態のインクジェットヘッドは、
例えば、インク供給部47を形成する部分と圧力室を形
成する溝42aと設けた天板44に、インク導入口46
aを有する供給プレート46を接合し、吐出ヒータ49
を設けたヒータボード42と、供給プレート46を接合
された天板44とを接合してインク供給部47及び圧力
室Aを形成し、その後、圧力室Aのインク供給部47の
側と反対側の開口を塞ぐように、ノズル孔45aを有す
るノズルプレート45を接合して、インクジェットヘッ
ド40を構成する。このような構成を有するインクジェ
ットヘッド40は、発熱体である吐出ヒータ49に通電
して発熱体を急激に発熱させることにより、インクを気
化させ或いは気泡を発生させてノズル孔45aからイン
クを吐出させるものであり、熱エネルギーを利用してイ
ンク滴を飛翔させるものである。
The ink jet head of this embodiment is
For example, a top plate 44 provided with a portion forming an ink supply unit 47 and a groove 42 a forming a pressure chamber is provided with an ink introduction port 46.
a supply plate 46 having a
The ink supply unit 47 and the pressure chamber A are formed by joining the heater board 42 provided with the supply plate 46 and the top plate 44 to which the supply plate 46 is joined, and then the opposite side of the pressure chamber A from the ink supply unit 47 side. The nozzle plate 45 having the nozzle holes 45a is joined so as to cover the opening of the ink jet head 40. In the ink jet head 40 having such a configuration, the ink is vaporized or bubbles are generated by discharging the ink from the nozzle holes 45a by energizing the discharge heater 49 serving as the heating element to rapidly generate heat in the heating element. In this method, thermal energy is used to fly ink droplets.

【0134】本実施の形態では、供給プレート46の天
板44への接合、天板44とヒータボード42との接
合、及びそれら天板44およびヒータボード42へのノ
ズルプレート45の接合を行う接着剤に、第1の実施の
形態と同じポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含有する
接着剤を用い、第1の実施の形態と同様にしてインクジ
ェットヘッドを製造した。こうして製造されたインクジ
ェットヘッドは、それぞれの部材の室温での寸法を維持
したまま接合され、そりやずれの発生もなかった。また
接着剤のはみ出しも見られなかった。更に、耐インク性
の評価結果も第1の実施の形態と同様であった。
In the present embodiment, the bonding for joining the supply plate 46 to the top plate 44, joining the top plate 44 and the heater board 42, and joining the nozzle plate 45 to the top plate 44 and the heater board 42 is performed. An ink jet head was manufactured in the same manner as in the first embodiment, using an adhesive containing the same polysiloxane-modified epoxy resin as in the first embodiment. The ink jet heads thus manufactured were joined while maintaining the dimensions of each member at room temperature, and no warpage or displacement occurred. Also, no protrusion of the adhesive was observed. Further, the evaluation results of the ink resistance were the same as those in the first embodiment.

【0135】本実施の形態では、第2、第3の実施の形
態と同様に、圧力室内に電極がないので、パリレン膜等
の保護膜を設ける必要性はなく、インクに接する部分の
接着剤による接合に、耐インク性が高い接着剤を用いた
ものである。これにより、圧力室の変形もなく、安定し
たインクの吐出を長期に渡り実現でき、また、接着剤が
圧力室内にはみ出したり流れ込んで圧力室をふさいだ
り、狭隘化させたり、体積が変化して、インクの流れが
変化したりしてインクの吐出に悪影響を与えることもな
かった。更に、Bステージ化により接着位置精度も簡易
に高精度にでき、位置決め工程や組み立て工程を簡略化
できて製造コストの低減が可能である。以上のように、
本実施の形態では、吐出のための発生圧力が高く、安価
で製造の容易なインクジェットヘッドが得られた。
In this embodiment, as in the second and third embodiments, since there is no electrode in the pressure chamber, there is no need to provide a protective film such as a parylene film, and the adhesive in the portion in contact with the ink is used. In this case, an adhesive having high ink resistance is used for the joining by the method. As a result, there is no deformation of the pressure chamber, and stable ejection of ink can be realized for a long period of time.Also, the adhesive protrudes or flows into the pressure chamber to block the pressure chamber, narrow the pressure chamber, or change its volume. Also, there was no adverse effect on ink ejection due to a change in ink flow. Furthermore, the bonding position accuracy can be easily and accurately increased by using the B stage, and the positioning process and the assembling process can be simplified, so that the manufacturing cost can be reduced. As mentioned above,
In the present embodiment, an ink jet head that has a high pressure generated for ejection, is inexpensive, and easy to manufacture is obtained.

【0136】なお、第1乃至第3の実施の形態では、圧
力室内に配置したヒータの加熱で微細な泡を発生させる
タイプのものに比べて、原理的に消費電力が低いという
効果を奏するものである。
In the first to third embodiments, the power consumption is lower in principle than that of the type in which fine bubbles are generated by heating the heater disposed in the pressure chamber. It is.

【0137】[0137]

【発明の効果】請求項1に記載の発明によると、他の特
性を犠牲にすることなく、さまざまなインクに対して耐
性をもつインクジェットヘッドを提供することができ
る。
According to the first aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head having resistance to various inks without sacrificing other characteristics.

【0138】請求項2に記載の発明によると、常温で硬
化反応がおこらず、あらかじめ主剤と硬化剤を混合した
状態で保存できる一液型の接着剤として使用できるため
に作業性に優れ、接着剤をBステージ化させてから接着
して、接着剤のはみ出しが少なく、接着位置精度の高い
接着をすることができる。
According to the second aspect of the present invention, a curing reaction does not occur at room temperature, and the composition can be used as a one-part adhesive which can be stored in a state where a main agent and a curing agent are mixed in advance, so that the workability is excellent, and The adhesive is adhered after the agent is made into the B-stage, so that the adhesive can be adhered with a small amount of protrusion and with high adhesion position accuracy.

【0139】請求項3に記載の発明によると、接着剤を
塗設する部材への塗れ性を良好にすることができる。ま
た、接着時の硬化温度を低くして、熱膨張による接着位
置精度の低下やインクの吐出エネルギーを発生させる圧
電素子の劣化等をおこさずに接着強度をあげることがで
きる。
According to the third aspect of the present invention, it is possible to improve the wettability of the member on which the adhesive is applied. Further, by lowering the curing temperature at the time of bonding, the bonding strength can be increased without lowering the bonding position accuracy due to thermal expansion or deteriorating the piezoelectric element that generates ink ejection energy.

【0140】請求項4に記載の発明によると、ノズルプ
レートの接着位置が高精度で、ノズル孔、インク流路、
圧力室への接着剤のはみ出しがなく、飛翔するインク滴
の液滴量、速度、射出角度の安定したインクジェットヘ
ッドを提供することができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the adhesion position of the nozzle plate is highly accurate, and the nozzle hole, the ink flow path,
It is possible to provide an ink jet head in which the adhesive does not protrude into the pressure chamber and the amount, speed, and ejection angle of the flying ink droplet are stable.

【0141】請求項5に記載の発明によると、ノズルや
圧力室内のインクの挙動を制御して、安定に高速の駆動
の可能なインクジェットヘッドを提供することができ
る。
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head capable of stably driving at high speed by controlling the behavior of the ink in the nozzle and the pressure chamber.

【0142】請求項6に記載の発明によると、圧力室を
構成するよう接合された部材間の接着剤の弾性率が高く
なることにより圧力の損失を少なくして、効率の高いイ
ンクジェットヘッドを提供することができる。
According to the sixth aspect of the present invention, there is provided an ink jet head having a high efficiency by reducing the pressure loss by increasing the elastic modulus of the adhesive between members joined to form a pressure chamber. can do.

【0143】請求項7に記載の発明によると、圧電素子
の効率の高い変形モードにより圧力を発生させて、吐出
のための発生圧力の高いインクジェットヘッドを提供す
ることができる。
According to the seventh aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head in which the pressure is generated by the deformation mode with high efficiency of the piezoelectric element and the generated pressure for ejection is high.

【0144】請求項8に記載の発明によると、吐出のた
めの発生圧力が高く、安価で製造の容易なインクジェッ
トヘッドを提供することができる。
According to the eighth aspect of the present invention, it is possible to provide an ink jet head which generates a high pressure for ejection, is inexpensive and easy to manufacture.

【0145】請求項9に記載の発明によると、圧電素子
に溝を切ることで圧力室を形成して、高速駆動が可能で
製造の容易なインクジェットヘッドを提供することがで
きる。
According to the ninth aspect of the present invention, a pressure chamber is formed by cutting a groove in the piezoelectric element, so that an ink jet head which can be driven at high speed and is easily manufactured can be provided.

【0146】請求項10に記載の発明によると、圧電素
子の変形を大きくして、効率の高いインクジェットヘッ
ドを提供することができる。
According to the tenth aspect, it is possible to provide a highly efficient ink jet head by increasing the deformation of the piezoelectric element.

【0147】請求項11に記載の発明によると、耐イン
ク性が高く、接着剤のはみ出しや流れ出しがなく、高い
位置精度のインクジェットヘッドを効率よく製造する方
法を提供することができる。
According to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to provide a method for efficiently manufacturing an ink jet head having high ink resistance, no protrusion or run-out of adhesive, and high positional accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】せん断モード型インクジェットヘッドの斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view of a shear mode type ink jet head.

【図2】せん断モード型インクジェットヘッドの圧電素
子の変形を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating deformation of a piezoelectric element of a shear mode ink jet head.

【図3】せん断モード型インクジェットヘッドの接着剤
層を示す部分断面図である。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view illustrating an adhesive layer of the shear mode ink jet head.

【図4】圧力室壁に設けた圧電素子の伸縮変形によって
圧力室の体積を変化させるタイプのインクジェットヘッ
ドの概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view of an ink jet head of a type in which the volume of a pressure chamber is changed by expansion and contraction of a piezoelectric element provided on a pressure chamber wall.

【図5】圧力室壁に設けた圧電素子の伸縮変形によって
圧力室の体積を変化させる他のインクジェットヘッドの
概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of another ink jet head that changes the volume of a pressure chamber by expansion and contraction of a piezoelectric element provided on a pressure chamber wall.

【図6】サーマルタイプのインクジェットヘッドの概略
斜視図である。
FIG. 6 is a schematic perspective view of a thermal type ink jet head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、10、20、40 インクジェットヘッド 2 基材 2a、42a 溝 2b、13、23 圧電素子 3、13a 電極 4 カバー基板 5、15、25、45 ノズルプレート 5a、15a、25a、45a ノズル孔 6、16、46 供給プレート 6a、16a、26a、46a インク導入口 7、27、47 インク供給部 8、80 接着剤 21a 固定部材 21b 基台 22 スペーサ部材 24 振動板 42 ヒータボード 44 天板 49 吐出ヒータ A 圧力室 B 空気室 1, 10, 20, 40 Inkjet head 2 Base material 2a, 42a Groove 2b, 13, 23 Piezoelectric element 3, 13a Electrode 4 Cover substrate 5, 15, 25, 45 Nozzle plate 5a, 15a, 25a, 45a Nozzle hole 6, 16, 46 Supply plate 6a, 16a, 26a, 46a Ink inlet 7, 27, 47 Ink supply part 8, 80 Adhesive 21a Fixing member 21b Base 22 Spacer member 24 Vibration plate 42 Heater board 44 Top plate 49 Discharge heater A Pressure chamber B Air chamber

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09J 163/00 B41J 3/04 103H 183/04 (72)発明者 竹内 寛 東京都日野市さくら町1番地 コニカ株式 会社内 Fターム(参考) 2C057 AF65 AF93 AG45 AG46 AG47 AP25 BA03 BA13 BA14 4J040 EC461 EK111 HC02 HC06 HC12 HC16 JB02 KA16 KA17 LA07 MA01 MA02 MA04 NA21 PA30 PA33 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C09J 163/00 B41J 3/04 103H 183/04 (72) Inventor Hiroshi Takeuchi 1 Sakuracho, Hino City, Tokyo Konica Corporation F-term (reference) 2C057 AF65 AF93 AG45 AG46 AG47 AP25 BA03 BA13 BA14 4J040 EC461 EK111 HC02 HC06 HC12 HC16 JB02 KA16 KA17 LA07 MA01 MA02 MA04 NA21 PA30 PA33

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも2つの部材を接着剤で接合した
インクジェットヘッドにおいて、インクに接する接合部
分の接着剤の少なくとも一部に、ポリシロキサン変性エ
ポキシ樹脂を含有する接着剤を用いたことを特徴とする
インクジェットヘッド。
1. An ink jet head in which at least two members are joined with an adhesive, wherein an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin is used as at least a part of an adhesive at a joint portion in contact with the ink. Inkjet head.
【請求項2】前記ポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含
有する接着剤は、ジシアンジアミドまたはジシアンジア
ミドの誘導体を硬化剤として含有していることを特徴と
する請求項1に記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin contains dicyandiamide or a derivative of dicyandiamide as a curing agent.
【請求項3】前記ポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含
有する接着剤は、脂肪族アミンエポキシアダクトを反応
促進剤として含有していることを特徴とする請求項1ま
たは2に記載のインクジェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 1, wherein the adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin contains an aliphatic amine epoxy adduct as a reaction accelerator.
【請求項4】インクを吐出するノズルを形成したノズル
プレートとインクを吐出させるためのエネルギーを発生
させる圧力室とを備え、前記ノズルプレートと他の部材
との接合部分に、前記ポリシロキサン変性エポキシ樹脂
を含有する接着剤を用いたことを特徴とする請求項1〜
3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
4. A nozzle plate formed with a nozzle for discharging ink and a pressure chamber for generating energy for discharging ink, wherein the polysiloxane-modified epoxy is provided at a joint between the nozzle plate and another member. An adhesive containing a resin is used.
3. The inkjet head according to any one of 3.
【請求項5】インクを吐出させるためのエネルギーを発
生させる圧力室を備え、前記圧力室のインク導入側に設
けられてインクの流動を制限する部材と、他の部材との
接合部分に、前記ポリシロキサン変性エポキシ樹脂を含
有する接着剤を用いたことを特徴とする請求項1〜3の
いずれかに記載のインクジェットヘッド。
5. A pressure chamber for generating energy for discharging ink, wherein a member provided on an ink introduction side of the pressure chamber for restricting the flow of ink and a joining portion between the member and another member are provided. The inkjet head according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin is used.
【請求項6】インクを吐出させるためのエネルギーを発
生させる圧力室を備え、前記圧力室が複数の部材から構
成されており、前記複数の部材のうち少なくとも2つの
部材間の接合部分に、前記ポリシロキサン変性エポキシ
樹脂を含有する接着剤を用いたことを特徴とする請求項
1〜3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
6. A pressure chamber for generating energy for discharging ink, wherein the pressure chamber is composed of a plurality of members, and a joining portion between at least two members of the plurality of members is provided at a joint portion between at least two members. The inkjet head according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesive containing a polysiloxane-modified epoxy resin is used.
【請求項7】前記圧力室の外側に形成された圧電素子に
電圧を印可し、前記圧電素子を伸縮して変形させること
により、前記圧力室を変形してインクを吐出させるため
のエネルギーを発生させることを特徴とする請求項1〜
6のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
7. A voltage is applied to a piezoelectric element formed outside the pressure chamber, and the piezoelectric element is expanded and contracted to deform, thereby generating energy for deforming the pressure chamber and ejecting ink. Claim 1 characterized by the fact that
7. The inkjet head according to any one of 6.
【請求項8】前記圧力室内に発熱体を設け、前記発熱体
に通電することによりインクを気化させてインクを吐出
させるためのエネルギーを発生させることを特徴とする
請求項1〜6のいずれかに記載のインクジェトヘッド。
8. A method according to claim 1, wherein a heating element is provided in said pressure chamber, and said heating element is energized to vaporize ink to generate energy for discharging ink. 5. The ink jet head according to claim 1.
【請求項9】前記圧力室を構成する部材の全部または一
部を圧電素子で形成し、前記圧電素子に電圧を印可して
剪断変形をさせることによりインクを吐出させるための
エネルギーを発生させることを特徴とする請求項1〜6
のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
9. A method for generating energy for discharging ink by forming all or a part of a member constituting the pressure chamber with a piezoelectric element and applying a voltage to the piezoelectric element to cause a shear deformation. 7. The method according to claim 1, wherein
The inkjet head according to any one of the above.
【請求項10】前記圧電素子は、互いに異なる方向に分
極された2つの圧電素子が前記ポリシロキサン変性エポ
キシ樹脂を含有する接着剤で接合されていることを特徴
とする請求項9に記載のインクジェットヘッド。
10. The ink-jet apparatus according to claim 9, wherein the two piezoelectric elements polarized in directions different from each other are joined by an adhesive containing the polysiloxane-modified epoxy resin. head.
【請求項11】インクジェットヘッドを構成する少なく
とも2つの部材を接着剤で接合するインクジェットヘッ
ドの製造方法において、2つの部材を接合するために少
なくとも一方の部材にポリシロキサン変性エポキシ樹脂
を含有する接着剤を塗設する工程と、前記塗設した接着
剤を加熱してBステージ化させる工程と、前記2つの部
材を加圧しつつ前記接着剤を加熱し硬化させて前記2つ
の部材を接合する工程とを有することを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。
11. A method for manufacturing an ink jet head for joining at least two members constituting an ink jet head with an adhesive, wherein at least one of the members contains a polysiloxane-modified epoxy resin in order to join the two members. Applying the adhesive, heating the applied adhesive to form a B-stage, heating the adhesive while pressing the two members, and curing the adhesive to join the two members. A method for manufacturing an ink jet head, comprising:
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