JP2002200710A - Gas barrier plastic - Google Patents
Gas barrier plasticInfo
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Abstract
Description
【産業上の利用分野】[Industrial applications]
【0001】 本発明はガスバリヤ性に優れたプラスチ
ック材料に関する。更に詳しくはプラスチックの内面ま
たは外面または内外面に設けた表面層の少なくとも一面
にレーザーを照射した、ガスバリヤ性プラスチック材料
に関するものであり、食品や医薬品や精密電子部品など
を長期保存できる包装材料、ガラスに代わる水蒸気と酸
素などのガス透過性が極めて小さい透明プラスチック板
などに利用でき、液晶表示板などに使用できる。The present invention relates to a plastic material having excellent gas barrier properties. More specifically, the present invention relates to a gas barrier plastic material obtained by irradiating a laser to at least one surface of a plastic inner surface or an outer surface or a surface layer provided on the inner and outer surfaces, and a packaging material capable of storing foods, pharmaceuticals, precision electronic components, and the like for a long time, It can be used for a transparent plastic plate or the like, which has a very low gas permeability such as water vapor and oxygen as a substitute for, and can be used for a liquid crystal display panel.
【0002】 従来から塩化ビニリデン(PVDC)を
コーティングまたは共押出して製造されたガスバリヤ性
フィルム、シート、およびガスバリヤ性包装体が一般に
使用されているが、廃棄焼却処理を行うと、ダイオキシ
ンなどの有毒ガスが発生する事から、PVDCを使用し
ない、フィルム、シート、およびガスバリヤ性容器、ボ
トル、キャップ、クロージャー、フィルム包装袋、紙包
装袋、ペーパーカートン、蓋材などの包装体の開発する
ことが望まれている。Conventionally, gas barrier films, sheets, and gas barrier packages manufactured by coating or co-extrusion of vinylidene chloride (PVDC) are generally used. However, when waste incineration is performed, toxic gases such as dioxin are generated. Therefore, it is desired to develop films, sheets, and packaging bodies such as gas barrier containers, bottles, caps, closures, film packaging bags, paper packaging bags, paper cartons, and lid materials that do not use PVDC. ing.
【0003】 プラスチックに金属蒸着、金属酸化物蒸
着、水素化炭素(ダイアモンドライクカーボン、DL
C、a−hCとも呼ばれている)蒸着、無機化合物であ
るモンモリロナイトやバーミキュライトなどの微小無機
平板のコーティング、酸化ケイ素のゾルゲルコーティン
グ、水ガラスのコーティング、メラミンやメチロールメ
ラミンなどの有機材料の蒸着またはコーティング、PV
OH(ポリビニルアルコール)やEVOH(エチレンビ
ニルアルコールコポリマー)などのコーティング行った
プラスチックはガスバリヤ性を有し、焼却処理を行って
もダイオキシンが発生しない環境に優しい素材である
が、蒸着皮膜またはコーティング皮膜にはピンホール
(微小な孔)、クレーズ(微小なひび割れ)、クラック
(クレーズがつながったひび割れ)、フリーボリュウム
(高分子間の空間)、空洞、気泡などの微小欠陥を有す
るので、微小欠陥から酸素や水蒸気が内部に透過し、液
晶表示板が劣化したり、包装体として使用する場合には
包装された食品や医薬品が酸化劣化したり、好気性菌増
殖して品質が劣化したりする。[0003] Metal deposition, metal oxide deposition, hydrogenated carbon (diamond-like carbon, DL
C, also referred to as a-hC) evaporation, coating of inorganic inorganic compounds such as montmorillonite and vermiculite, coating of silicon oxide sol-gel, coating of water glass, evaporation of organic materials such as melamine and methylol melamine or Coating, PV
Coated plastics such as OH (polyvinyl alcohol) and EVOH (ethylene vinyl alcohol copolymer) have gas barrier properties, and are environmentally friendly materials that do not generate dioxin even after incineration. Has small defects such as pinholes (small holes), crazes (small cracks), cracks (cracks connected with crazes), free volume (space between polymers), cavities, bubbles, etc. When the liquid crystal display panel is used as a package, the quality of the packaged food or medicine deteriorates due to oxidative deterioration or aerobic bacteria multiply.
【0004】 従来技術による、プラスチック表面に蒸
着、コーティング、共押出により形成したガスバリヤ性
表面層(ガス透過性が小さい表面層)のピンホール、ク
レーズ、クラック、フリーボリュウム、空洞、気泡など
の微小欠陥を修復すれば、更にガスバリヤ性が優れたプ
ラスチック材料が得られる。[0004] Micro defects such as pinholes, crazes, cracks, free volumes, cavities, bubbles, etc. of a gas barrier surface layer (a surface layer having low gas permeability) formed by vapor deposition, coating, and co-extrusion on a plastic surface according to a conventional technique. By repairing, a plastic material having even better gas barrier properties can be obtained.
【0005】 本発明はプラスチックの内面または外面
または内外面に設けられた表面層の少なくとも一面に、
レーザーを照射し表面層のピンホール、クレーズ、クラ
ック、フリーボリュウム、空洞、気泡などの微小欠陥を
修復し、ガスバリヤ性を向上させる事により従来の問題
を解決した。[0005] The present invention relates to a method of manufacturing a plastic, wherein at least one surface layer is provided on an inner surface or an outer surface or an inner or outer surface of a plastic.
The conventional problem was solved by irradiating a laser to repair small defects such as pinholes, crazes, cracks, free volumes, cavities, and bubbles in the surface layer and to improve gas barrier properties.
【0006】 蒸着、コーティング、共押出などの方法
によりプラスチック表面に設けられた表面層のピンホー
ル、クレーズ、クラック、フリーボリュウム、空洞、気
泡などの微小欠陥は、レーザーを照射する事により修復
できる事が明らかになった。レーザーとしてはエキシマ
レーザーのような単波長レーザーが優れた効果を示し、
波長248nm、エネルギー5mj/cm2以上のエキ
シマレーザーのパルス照射が有効であったが、本発明に
使用するレーザーはこの範囲に限るものではない。Small defects such as pinholes, crazes, cracks, free volumes, cavities, bubbles, etc. in a surface layer provided on a plastic surface by a method such as vapor deposition, coating, and coextrusion can be repaired by irradiating a laser. Was revealed. As a laser, a single wavelength laser such as an excimer laser shows an excellent effect,
Although pulse irradiation of an excimer laser having a wavelength of 248 nm and an energy of 5 mj / cm 2 or more has been effective, the laser used in the present invention is not limited to this range.
【0007】 プラスチック表面に設けられた表面層に
レーザーが照射されると、照射された部分の温度が急上
昇する。ピンホール、クレーズ、クラック、フリーボリ
ュウム、空洞、気泡などの微小欠陥にレーザーが照射さ
れると、照射された表面層のピンホール、クレーズ、ク
ラック、フリーボリュウム、空洞、気泡などの微小欠陥
の温度が急上昇し、溶融、反応、均一化が起こりレーザ
ー照射を中断すると瞬間的に冷却、固化が起こる。When a surface layer provided on the surface of a plastic is irradiated with a laser, the temperature of the irradiated part rapidly rises. When a laser is applied to a small defect such as a pinhole, craze, crack, free volume, cavity, or bubble, the temperature of the small defect such as a pinhole, craze, crack, free volume, cavity, or bubble in the irradiated surface layer is irradiated. Rapidly rises, melting, reaction, and homogenization occur. When laser irradiation is interrupted, cooling and solidification occur instantaneously.
【0008】 レーザーが照射され溶融、反応、均一化
が起こった表面層は、レーザー照射が中断されるとその
ままの状態で瞬間的に冷却されて固化し、水蒸気やガス
が透過するピンホール、クレーズ、クラック、フリーボ
リュウム、空洞、気泡などの微小欠陥の数が劇的に減少
し、ガスバリヤ性が向上する。When the laser irradiation is interrupted, the surface layer is melted, reacted, and homogenized. When the laser irradiation is interrupted, the surface layer is instantaneously cooled and solidified as it is, and becomes a pinhole or craze through which water vapor or gas passes. The number of micro defects such as cracks, free volumes, cavities, bubbles, etc. is dramatically reduced, and the gas barrier property is improved.
【0009】 上記の方法により製造された、プラスチ
ックフィルムまたはシートの内面または外面または内外
面に設けられた表面層にレーザー照射を行い、水蒸気バ
リヤ性とガスバリヤ性が向上したフィルムおよびシート
は、液晶表示板などの水蒸気およびガス透過を防ぐガラ
スの代替として使用する事ができる。また容器、ボト
ル、カップ、トレイ、キャップ、クロージャー、袋、バ
ッグ、パウチ、カートンの内面または外面または内外面
に設けられた表面層にレーザー照射を行い、水蒸気バリ
ヤ性とガスバリヤ性が向上した容器、ボトル、カップ、
トレイ、キャップ、クロージャー、袋、バッグ、パウ
チ、カートンを製造する事ができる。またプラスチック
フィルムまたはシートの内面または外面または内外面に
設けられた表面層にレーザー照射を行い、水蒸気とガス
バリヤ性が向上したフィルムおよびシートを一枚以上積
層して製造される、フィルム包装袋、フィルム蓋材、紙
包装袋、ペーパーカートン、紙トレイ、紙カップ、蓋材
などのハイバリヤ性包装体に食品、飲料、医薬品を包装
すると、包装された中身は長期間にわたり吸湿したり酸
化されることが無く、好気性菌の増殖を防ぎ、炭酸ガス
が抜ける事が無いので、製造直後の高品質を長期間保持
することができる。[0009] The film and sheet having improved water vapor barrier property and gas barrier property obtained by irradiating a laser to a surface layer provided on the inner surface, outer surface, or inner and outer surfaces of the plastic film or sheet manufactured by the above method is a liquid crystal display. It can be used as a substitute for glass that prevents water vapor and gas permeation such as plates. Containers, bottles, cups, trays, caps, closures, bags, bags, pouches, containers with improved water vapor barrier properties and gas barrier properties by performing laser irradiation on the surface layer provided on the inner or outer or inner and outer surfaces of the carton, Bottles, cups,
Can manufacture trays, caps, closures, bags, bags, pouches, cartons. A film packaging bag or film manufactured by irradiating a laser to the surface layer provided on the inner surface or the outer surface or the inner or outer surface of the plastic film or sheet, and laminating one or more films and sheets having improved water vapor and gas barrier properties. When packaging foods, beverages, and pharmaceuticals in high barrier packaging such as lids, paper packaging bags, paper cartons, paper trays, paper cups, and lids, the packaged contents do not absorb moisture or oxidize for a long period of time. Since the growth of aerobic bacteria is prevented and carbon dioxide gas does not escape, high quality immediately after production can be maintained for a long time.
【0010】[0010]
【実施例1】酸素透過度145cc/m2・24hrs
の12μ厚みの2軸延伸PETフィルムに、市販の水ガ
ラス(酸化ケイ素を主成分とする水溶液)を2μの乾燥
厚みにコーティングした。コーティング皮膜はキセロゲ
ルと呼ばれる、ピンホールの多い皮膜であり、コーティ
ング後の酸素透過度は65cc/m2・24hrsであ
った。PETフィルム上に形成された酸化ケイ素を主成
分とするキセロゲル皮膜に、波長248nmのエキシマ
レーザーのパルス照射を行った。エキシマレーザーパル
ス照射後のPETフィルムの酸素透過度は19cc/m
2・24hrsに低下した。EXAMPLE 1 Oxygen permeability 145cc / m 2 · 24hrs
A commercially available water glass (aqueous solution containing silicon oxide as a main component) was coated to a dry thickness of 2 μm on the 12 μm-thick biaxially stretched PET film. The coating film is referred to as a xerogel, a large coating pinholes, oxygen transmission rate after coating was 65cc / m 2 · 24hrs. The xerogel film containing silicon oxide as a main component formed on the PET film was subjected to pulse irradiation with an excimer laser having a wavelength of 248 nm. The oxygen permeability of the PET film after excimer laser pulse irradiation is 19 cc / m
Was reduced to 2 · 24hrs.
【0011】[0011]
【実施例2】酸素透過度145cc/m2・24hrs
の12μ厚みの2軸延伸PETフィルムを使用し、真空
中においてアセチレン、アルゴン混合ガスを吹き込み
2.54GHzのマイクロウエーブを照射して、水素化
炭素の皮膜を1000Å厚みに蒸着した。酸素透過度は
12cc/m2・24hrsに低下した。水素化炭素皮
膜に波長248nmのエキシマレーザーのパルス照射を
行うと酸素透過度は6cc/m2・24hrsに低下し
た。Example 2 Oxygen permeability 145cc / m 2 · 24hrs
Using a 12 μm thick biaxially stretched PET film, a mixed gas of acetylene and argon was blown in a vacuum to irradiate a 2.54 GHz microwave to deposit a hydrogenated carbon film to a thickness of 1000 °. Oxygen permeability was reduced to 12cc / m 2 · 24hrs. Oxygen permeability Doing pulse irradiation of an excimer laser with a wavelength of 248nm in the hydrogenated carbon film was decreased to 6cc / m 2 · 24hrs.
【0012】[0012]
【実施例3】酸素透過度10cc/m2・24hrs、
厚さ600μのAPET(非晶性PET)シートを使用
して、真空中においてヘキサメチルジシロキサン(HM
DSO)とヘリュウムと酸素の混合ガスを吹き込み1
3.5MHzの高周波を照射して酸化ケイ素(Si
O2)皮膜を750Å厚みに蒸着した。酸素透過度は
0.5cc/m2・24hrsに低下した。得られたA
PET/SiO2蒸着シートのSiO2蒸着面に波長2
48nmのエキシマレーザーのパルス照射を行うと酸素
透過度は0.2cc/m2・24hrsに低下した。EXAMPLE 3 Oxygen permeability 10cc / m 2 · 24hrs,
Using a 600 μm thick APET (amorphous PET) sheet, hexamethyldisiloxane (HM
DSO) and a gas mixture of helium and oxygen 1
Irradiation of high frequency of 3.5 MHz, silicon oxide (Si
O 2 ) film was deposited to a thickness of 750 °. Oxygen permeability was reduced to 0.5cc / m 2 · 24hrs. A obtained
Wavelength 2 is applied to the SiO 2 deposition surface of the PET / SiO 2 deposition sheet.
Oxygen permeability Doing pulse irradiation of an excimer laser of 48nm was reduced to 0.2cc / m 2 · 24hrs.
【0013】[0013]
【実施例4】酸素透過度10cc/m2・24hrs、
厚さ600μのAPET(非晶性PET)シートを使用
して、真空中において酸化ケイ素(SiO2)と酸化ア
ルミニュウム(Al2O3)を加熱蒸発させた混合ガス
を800Å厚みに蒸着した。酸素透過度は0.3cc/
m2・24hrsに低下した。得られたAPET/Si
O2/Al2O3共蒸着シートのSiO2/Al2O3
蒸着面に波長248nmのエキシマレーザーのパルス照
射を行うと酸素透過度は0.1cc/m2・24hrs
に低下した。Example 4 Oxygen permeability 10cc / m 2 · 24hrs,
Using an APET (amorphous PET) sheet having a thickness of 600 μm, a mixed gas obtained by heating and evaporating silicon oxide (SiO 2 ) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) in vacuum was deposited to a thickness of 800 °. Oxygen permeability is 0.3cc /
It was reduced to m 2 · 24hrs. APET / Si obtained
SiO 2 / Al 2 O 3 of O 2 / Al 2 O 3 co-deposited sheet
Oxygen permeability Doing pulse irradiation of an excimer laser with a wavelength of 248nm to the deposition surface is 0.1cc / m 2 · 24hrs
Has dropped.
【0014】[0014]
【実施例5】酸素透過度145cc/m2・24hrs
の12μ厚みの2軸延伸PETフィルムに、PVOH
(ポリビニルアルコール)とPAA(ポリアクリル酸)
とPAA−Na(ポリアクリル酸ナトリュウム)混合水
溶液を2μの乾燥厚みにコーティングした。コーティン
グ後の酸素透過度は10cc/m2・24hrsであっ
たが、コーティング皮膜は極めて耐水性に乏しい皮膜で
あり水に膨潤した。PETフィルム上に形成されたPV
OHとPAAとPAA−Na混合皮膜に波長248nm
のエキシマレーザーのパルス照射を行うと酸素透過度は
1cc/m2・24hrsに低下すると共に、PVOH
とPAAの架橋反応が起こり耐水性が向上し水に膨潤し
ない皮膜が形成された。得られたPETフィルムに6色
印刷を行い、20μ厚みのCPP(キャストポリプロピ
レンフィルム)とポリウレタン接着剤でドライラミネー
トを行い、ヒートシールすることにより袋を製造し、窒
素ガスを封入しポテトチップの気密包装を行ったが、室
温において6ヶ月放置後の味覚は良好であった。EXAMPLE 5 Oxygen permeability 145cc / m 2 · 24hrs
PVOH on a 12μ thick biaxially stretched PET film
(Polyvinyl alcohol) and PAA (polyacrylic acid)
And PAA-Na (sodium polyacrylate) mixed aqueous solution was coated to a dry thickness of 2 μm. Oxygen transmission rate after coating was 10cc / m 2 · 24hrs, but the coating film was swollen in a poor coating very water-resistant water. PV formed on PET film
248nm wavelength on OH, PAA and PAA-Na mixed film
When excimer laser pulse irradiation is performed, the oxygen permeability is reduced to 1 cc / m 2 · 24 hrs, and PVOH
A cross-linking reaction of PAA and PAA occurred, resulting in a film having improved water resistance and not swelling in water. The obtained PET film is printed in six colors, dry-laminated with a 20 μ thick CPP (cast polypropylene film) and a polyurethane adhesive, heat-sealed to produce a bag, filled with nitrogen gas, and hermetically sealed with potato chips. Packaging was performed, but the taste after 6 months at room temperature was good.
【0015】[0015]
【実施例6】酸素透過度145cc/m2・24hrs
の12μ厚みの2軸延伸PETフィルムに、TMSO
(テトラメトキシシラン)に塩酸を加え加水分解を行
い、PVOH(ポリビニルアルコール)をブレンドした
混合水溶液のゾルゲルコーティングを行い、PETフィ
ルム上に乾燥状態で2μ厚みのSiO2ブレンドPVO
H皮膜のコーティングを行った。コーティングされたP
ETフィルムの酸素透過度は4cc/m2・24hrs
に低下したが、コーティング皮膜は耐水性に乏しく、1
00%相対湿度下においては水分を吸収して酸素透過度
は65c/m2・24hrsに上昇した。コーティング
皮膜に波長248nmのエキシマレーザーのパルス照射
を行うと酸素透過度は2cc/m2・24hrsに低下
すると共に、SiO2とPVOH架橋反応が進行し耐水
性が向上して水分を吸収しない皮膜が形成され、100
%相対湿度下における酸素透過度は4cc/m2・24
hrsであった。EXAMPLE 6 Oxygen permeability 145cc / m 2 · 24hrs
12μ thick biaxially stretched PET film with TMSO
Hydrochloric acid is added to (tetramethoxysilane) for hydrolysis, sol-gel coating of a mixed aqueous solution in which PVOH (polyvinyl alcohol) is blended is performed, and a 2 μm thick SiO 2 blended PVO is dried on a PET film.
H coating was performed. Coated P
Oxygen permeability of the ET film 4cc / m 2 · 24hrs
However, the coating film was poor in water resistance and 1
Oxygen permeability by absorbing moisture under 100% relative humidity was increased to 65c / m 2 · 24hrs. Oxygen permeability Doing pulse irradiation of an excimer laser with a wavelength of 248nm in the coating film is caused to fall to 2cc / m 2 · 24hrs, the coating SiO 2 and PVOH crosslinking reaction does not absorb moisture and improve and water resistance progresses Formed, 100
% Oxygen permeability under a relative humidity 4cc / m 2 · 24
hrs.
【0016】[0016]
【実施例7】酸素透過度145cc/m2・24hrs
の12μ厚みの2軸延伸PETフィルムに、市販の水ガ
ラスとPVOH混合溶液のコーティングを行い、PET
フィルム上に乾燥厚みで3μの水ガラスブレンドPVO
H皮膜のコーティングを行った。PETフィルムの酸素
透過度は16cc/m2・24hrsに低下したが、コ
ーティング皮膜は耐水性に乏しく、100%相対湿度下
においては水分を吸収して酸素透過度は72c/m2・
24hrsに上昇した。コーティング皮膜に波長248
nmのエキシマレーザーのパルス照射を行うと酸素透過
度は6cc/m2・24hrsに低下すると共に、水ガ
ラスとPVOH架橋反応が進行し耐水性が向上して水分
を吸収しない皮膜が形成され、100%相対湿度下にお
ける酸素透過度は12cc/m2・24hrsであっ
た。EXAMPLE 7 Oxygen permeability 145cc / m 2 · 24hrs
Is coated with a commercially available mixed solution of water glass and PVOH on a biaxially stretched PET film having a thickness of 12 μm.
3μm dry glass blended PVO on film
H coating was performed. Although the oxygen permeability of the PET film was reduced to 16 cc / m 2 · 24 hrs, the coating film was poor in water resistance, and absorbed water at 100% relative humidity to obtain an oxygen permeability of 72 c / m 2 ·.
Rose to 24 hrs. Wavelength 248 for coating film
When excimer laser pulse irradiation is performed, the oxygen permeability is reduced to 6 cc / m 2 · 24 hrs, a water glass and PVOH cross-linking reaction proceeds, a water resistance is improved, and a film that does not absorb moisture is formed. % oxygen permeability under a relative humidity was 12cc / m 2 · 24hrs.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3E086 BA04 BA13 BA15 BA24 BB02 BB05 DA01 4F006 AA35 AB13 AB20 AB24 AB72 AB73 AB74 AB76 BA05 CA07 DA01 DA03 EA03 4F100 AA01B AA18B AA19B AA20B AA27B AA37B AB10B AB12B AB16B AB17B AB18B AB19B AB21B AB25B AD00B AD01B AG00B AH01 AH06 AK01A AK21B AK25B AK42 AK69B AL05B AR00B BA02 BA07 DE01B EH46 EH66 EH66B EJ52 EJ52B EJ54B EJ61B GB15 GB66 JD02 JD03 JM10B ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3E086 BA04 BA13 BA15 BA24 BB02 BB05 DA01 4F006 AA35 AB13 AB20 AB24 AB72 AB73 AB74 AB76 BA05 CA07 DA01 DA03 EA03 4F100 AA01B AA18B AA19B AA20B AA27B AA37B AB10B AB12B AD01B AG00B AH01 AH06 AK01A AK21B AK25B AK42 AK69B AL05B AR00B BA02 BA07 DE01B EH46 EH66 EH66B EJ52 EJ52B EJ54B EJ61B GB15 GB66 JD02 JD03 JM10B
Claims (9)
外面に表面層を設け、表面層の少なくとも一面にレーザ
ー照射を行いガスバリヤ性を向上させたプラスチック材
料。1. A plastic material having a surface layer provided on an inner surface, an outer surface, or an inner and outer surface of a plastic, and irradiating at least one surface of the surface layer with a laser to improve gas barrier properties.
びシート単体、およびプラスチック容器、ボトル、カッ
プ、トレイ、キャップなどの包装体。2. The plastic of claim 1 is a film or sheet alone, and a package such as a plastic container, a bottle, a cup, a tray, and a cap.
ラスチックフィルムまたはシートから構成される、フィ
ルム包装袋、フィルム蓋材、紙/プラスチック複合包装
袋、紙/プラスチック複合ペーパーカートン、紙/プラ
スチック複合トレイ、紙/プラスチック複合カップ、蓋
材などの包装体。3. A film packaging bag, a film lid material, a paper / plastic composite packaging bag, a paper / plastic composite paper carton, and a paper / plastic composite comprising the plastic film or sheet having improved gas barrier properties according to claim 1. Packaging such as trays, paper / plastic composite cups and lids.
金、銅、亜鉛、ニッケル、錫、インジュウム、ジルコニ
ュウム、チタニュウムなどの単独または混合金属加熱蒸
着皮膜。4. The surface layer according to claim 1, wherein the surface layer is aluminum,
Single or mixed metal heating evaporation film of gold, copper, zinc, nickel, tin, indium, zirconium, titanium, etc.
ルミニュウム、酸化マグネシュウム、酸化ジルコニュウ
ムなどの単独または混合金属酸化物加熱蒸着皮膜。5. A heat-deposited film of a single or mixed metal oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, and zirconium oxide as the surface layer according to claim 1.
物を加水分解した無機化合物、粒子状無機化合物、平板
状無機化合物、セラミック、ガラス、水ガラス、クレイ
などの無機化合物の単独または混合無機化合物コーティ
ング皮膜。6. The surface layer according to claim 1, wherein the inorganic compound is a single or mixed inorganic compound such as an inorganic compound obtained by hydrolyzing an alkoxy metal compound, a particulate inorganic compound, a tabular inorganic compound, ceramic, glass, water glass and clay. Coating film.
物、アルキル金属化合物、キレート化合物などの有機物
と金属との化合物の単独または混合物を紫外線、高周
波、マイクロウエーブなどの電磁波または放射線でプラ
ズマ化して蒸着した単独または混合金属酸化物蒸着皮
膜。7. The surface layer according to claim 1, wherein a single or mixture of a compound of an organic substance and a metal such as an alkoxy metal compound, an alkyl metal compound, a chelate compound or the like is converted into a plasma by electromagnetic waves or radiations such as ultraviolet rays, high frequency waves and microwaves. Single or mixed metal oxide deposited film.
ン、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、シクロヘキサンな
どのハイドロカーボンまたはトリアジン、メラミン、メ
チロールメラミンなどの有機化合物を紫外線、高周波、
マイクロウエーブなどの電磁波または放射線でプラズマ
化して蒸着した、非晶性および結晶性炭素または水素化
炭素または有機物蒸着皮膜。 【請求項8】 請求項1の表面層はPVOH(ポリビニ
ルアルコール)、EVOH(エチレンビニルアルコール
コポリマー)、PAA(ポリアクリル酸)などのポリマ
ーの単独または混合物。8. The surface layer according to claim 1, wherein a hydrocarbon such as acetylene, ethylene, hexane, benzene, toluene, or cyclohexane or an organic compound such as triazine, melamine, or methylolmelamine is irradiated with ultraviolet light, high frequency,
Amorphous and crystalline carbon, hydrogenated carbon, or organic vapor-deposited films that have been deposited by being converted into plasma using electromagnetic waves or radiation such as microwaves. 8. The surface layer according to claim 1, which is a single or mixture of polymers such as PVOH (polyvinyl alcohol), EVOH (ethylene vinyl alcohol copolymer), and PAA (polyacrylic acid).
H、PAAなどのポリマーとアルコキシ金属化合物を加
水分解した無機化合物、粒子状無機化合物、平板状無機
化合物、セラミック、ガラス、水ガラス、クレイなどの
無機化合物の混合物。9. The surface layer according to claim 1, wherein the surface layer is PVOH or EVO.
A mixture of an inorganic compound obtained by hydrolyzing a polymer such as H or PAA and an alkoxy metal compound, a particulate inorganic compound, a tabular inorganic compound, or an inorganic compound such as ceramic, glass, water glass, or clay.
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