JP2002200448A - 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基材上の薄膜形成において効率よくパターン
を色分ける。 【解決手段】 色違いの材料溶液Ｒ，Ｂ，Ｇについて、
制御部１７でのデューティ駆動により各超音波振動子５
ａ〜５ｌでそれぞれ個別に加振して霧化し、これらの色
違いの製膜用霧化溶液を撹拌ファン１８で撹拌して混合
した状態で基材１の上面に堆積させる。全ての色の材料
溶液４を用意しなくても、容易に混合色の薄膜を形成で
きる。また、薄膜のパターン毎に色替えしたい場合に、
色を変更するたびに液槽を洗浄して交換しなくてもよ
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、所定の基材上に
薄膜を形成する薄膜形成装置及び薄膜形成方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の従来の製膜装置として、例え
ば、スピンコート法を利用したものがある。このスピン
コート法は、基板に塗布された高分子有機材料を遠心力
により飛散させて膜厚を調整する方法であり、低分子系
材料（例えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウ
ム錯体等）の蒸着法に比して安価な設備で済む。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】例えば有機ＥＬ表示パ
ネルの発光層を薄膜として形成する場合、色の合成を行
う必要がある場合がある。このような場合にスピンコー
ト法で薄膜形成を行うとすると、色の合成という点に関
しては、最終的に発光させたい色を決定し、この決定し
た色になるように材料液体を混合して準備してから製膜
を行うという方法がとられる。この場合、途中で色を変
えたい場合には、もう一度材料液体を混合し直さないと
いけない。すなわち、例えば１回目に青色素子、２回目
に赤色素子を作るようなときに、従来法では１回目の青
色素子の製膜が完了した時点で、一度きれいに材料液体
の供給部内を洗浄し、それから赤色素子用の材料液体を
供給部内に準備し直してから２回目の製膜を実施すると
いったように、余分な手間がかかっていた。

【０００４】また、スピンコート法では、製膜する基材
（例えばガラス基板等）の上に製膜用の材料を垂らして
基板を回転させて塗布する方法であるため、そもそも製
膜材料を基板上の全面に塗布することしかできず、同一
基板上での異なる製膜用の材料の塗り分けができないと
いう問題がある。このため、基材上に多色を塗り分ける
こと自体が困難であった。

【０００５】そこで、この発明の課題は、色の変更を容
易に行いながら、比較的簡易な設備構成により高分子系
材料による製膜材料の基板上における塗り分けが可能で
ある薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく、
請求項１に記載の発明は、所定の基材上に薄膜を形成す
る薄膜形成装置であって、色別の製膜用の材料液体をそ
れぞれ超音波加振して霧化させ製膜用霧化溶液を各色毎
に生成する複数の超音波加振手段と、複数の前記超音波
加振手段を個別にオン／オフ切換する複数のスイッチ
と、前記各スイッチを個別にオン／オフ切換して複数の
前記超音波加振手段を個別に駆動制御する制御部と、そ
の内部で収容された前記基材の上面に、前記超音波加振
手段によって生成された前記製膜用霧化溶液が前記材料
液体の薄膜として堆積されるチャンバとを備えるもので
ある。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の薄膜形成装置であって、前記チャンバ内の雰囲気を撹
拌する撹拌ファンをさらに備えるものである。

【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の薄膜形成装置であって、複数の材料薄
膜の色が三原色のそれぞれの色であって、前記制御部
が、製膜する薄膜の色に応じて複数の前記超音波加振手
段を個別にデューティ駆動制御するものである。

【０００９】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
請求項３のいずれかに記載の薄膜形成装置であって、前
記材料液体が、有機エレクトロルミネッセンス表示素子
の製膜用の高分子有機発光材料である。

【００１０】請求項５に記載の発明は、請求項１ないし
請求項４のいずれかに記載の薄膜形成装置であって、前
記制御部に対して色の混合比を入力するための入力部を
さらに備え、前記制御部が、前記入力部で入力された色
の混合比に基づいて、複数の前記超音波加振手段を個別
に駆動制御するものである。

【００１１】請求項６に記載の発明は、所定の基材上に
所定の材料液体の薄膜を形成する薄膜形成方法であっ
て、色別の製膜用の材料液体を予め用意しておき、制御
部により複数のスイッチを個別にオン／オフ切換し、複
数の超音波加振手段を個別にデューティ駆動制御して、
色別の製膜用の前記材料液体を製膜する薄膜の色に応じ
てそれぞれ個別に超音波加振して霧化させ霧化状態で混
合された製膜用霧化溶液を生成する霧化工程と、前記製
膜用霧化溶液が、所定のチャンバの内部に収容された前
記基材の上面に、前記材料液体の前記薄膜として堆積さ
れる堆積工程とを備える。

【００１２】請求項７に記載の発明は請求項６に記載の
薄膜形成方法であって、複数の材料薄膜の色が三原色の
それぞれの色である。

【００１３】請求項８に記載の発明は、請求項６または
請求項７に記載の薄膜形成方法であって、前記霧化工程
において、所定の撹拌ファンを駆動し、前記チャンバ内
の雰囲気を撹拌する。

【００１４】請求項９に記載の発明は、請求項６ないし
請求項８のいずれかに記載の薄膜形成方法であって、前
記霧化工程の前に、所定の入力部で色の混合比を入力す
る入力工程をさらに備え、前記霧化工程において、前記
制御部が、前記入力部で入力された色の混合比に基づい
て、複数の前記超音波加振手段を個別に駆動制御する。

【００１５】請求項１０に記載の発明は、請求項６ない
し請求項９のいずれかに記載の薄膜形成方法であって、
前記材料液体が、有機エレクトロルミネッセンス表示素
子の製膜用の高分子有機発光材料であり、前記堆積工程
において、所望の開口パターン部が形成された複数種類
のマスクを載置して、前記開口パターン部の形状に対応
するパターンに前記製膜用霧化溶液を前記基材上に堆積
させる。

【００１６】請求項１１に記載の発明は、請求項１０に
記載の薄膜形成方法であって、前記堆積工程において、
それぞれ前記開口パターン部の形状が異なった複数種類
の前記マスクを適宜載せ代えながら、前記霧化工程及び
前記堆積工程を色毎に実行する。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の一の実施の形態
に係る薄膜形成装置の構成を模式的に示す断面図であ
る。尚、この実施の形態では、この薄膜形成装置を使用
して、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示パネ
ルの発光層を形成する例を挙げて以下に説明する。

【００１８】この薄膜形成装置は、図１の如く、基材１
が収容されるチャンバ３と、チャンバ３内で高分子系の
材料を含む材料溶液（材料液体）４を加振して霧化する
複数の超音波振動子（超音波加振手段）５ａ〜５ｌと、
この超音波振動子５ａ〜５ｌのオン／オフ切換を行うス
イッチ群１３と、スイッチ群１３の切替え制御を行う制
御部１７と、チャンバ３内の雰囲気（後述の製膜用霧化
溶液２９を含む）を撹拌する撹拌ファン１８と、制御部
１７に対して色の混合比を入力する入力部１９とを備え
て構成されている。

【００１９】ここで、有機ＥＬ表示パネルの発光層に適
した溶質としては例えばポリフルオレン等の所定の高分
子有機発光材料が適しており、溶媒としてはキシレン溶
液等が適している。また、材料溶液４としては、上記溶
媒に対して例えば１重量％で上記の溶質を溶解させたも
のが適している。また、基材１としては、ガラス基板等
の所定の基板上にＩＴＯ（インジウム−チン−オキサイ
ド）等からなる電極層（陽極等）がパターン形成され、
さらにこの電極層上にバッファ／ホール輸送層が形成さ
れたもの等が適している。ただし、これらの各要素は上
記の材料に限定されて適用されるものではない。そし
て、材料溶液４としては、赤色（Ｒ）、青色（Ｂ）及び
緑色（Ｇ）の３色に別々に用意される。

【００２０】チャンバ３は、基材１の設置および取り出
しのために開閉自在な構成となっており、閉鎖された状
態では、その内部に製膜のための密閉空間２１を形成す
るようになっている。

【００２１】密閉空間２１内には、基材１が設置される
基材設置部２３が密閉空間２１内の底部中央に設けら
れ、また図２の如く、１２個の溶液溜まり部２５ａ〜２
５ｌが基材設置部２３の例えば左右両側等に適宜配列さ
れている。

【００２２】第１、第４、第７及び第１０の溶液溜まり
部２５ａ，２５ｄ，２５ｇ，２５ｊには赤色の材料溶液
４（図２中に符号Ｒで示す）が、第２、第５、第８及び
第１１の溶液溜まり部２５ｂ，２５ｅ，２５ｈ，２５ｋ
には青色の材料溶液４（図２中に符号Ｂで示す）が、第
３、第６、第９及び第１２の溶液溜まり部２５ｃ，２５
ｆ，２５ｉ，２５ｌには緑色の材料溶液４（図２中に符
号Ｇで示す）が、それぞれ溜められる。また、各溶液溜
まり部２５ａ〜２５ｌの内部（ここでは底部）には、一
般的な圧電素子等からなる複数の超音波振動子５ａ〜５
ｌがそれぞれ設置されている。そして、後述する制御部
１７の制御によりスイッチ群１３の各スイッチ１３ａ〜
１３ｌをオン／オフ切換し、この各スイッチ１３ａ〜１
３ｌのオンにより駆動する超音波振動子５ａ〜５ｌが、
各溶液溜まり部２５ａ〜２５ｌ内の材料溶液４を加振し
て霧化させ、製膜用霧化溶液２９を生成する。生成され
た製膜用霧化溶液２９は、チャンバ３内で基材１上に堆
積されて、これによって高分子系材料による薄膜が基材
１上に形成される。

【００２３】スイッチ群１３は、各超音波振動子５ａ〜
５ｌをそれぞれオン／オフ切換する複数のスイッチ１３
ａ〜１３ｌから構成されており、各スイッチ１３ａ〜１
３ｌは制御部１７によって個別にオン／オフ制御され
る。

【００２４】入力部１９は、キーボート、テンキーパネ
ル、タッチパネル等、色の混合比を入力できる機構を備
えるものであればどのようなものを使用してもよい。

【００２５】制御部１７は、作業者より入力部１９を通
じて操作入力された色の混合比に基づいて、各溶液溜ま
り部２５ａ〜２５ｌ毎の各超音波振動子５ａ〜５ｌの駆
動デューティ比を個別に決定し、ここで決定されたデュ
ーティ比に従って各スイッチ１３ａ〜１３ｌをオン／オ
フ制御する機能を有している。例えば赤色の薄膜を形成
したいときには、作業者は赤色（Ｒ）と青色（Ｂ）と緑
色（Ｇ）の混合比を１：０：０というように入力部１９
に操作入力し、この情報を受けて、制御部１７は第１、
第４、第７及び第１０の溶液溜まり部２５ａ，２５ｄ，
２５ｇ，２５ｊ内の超音波振動子５ａ，５ｄ，５ｇ，５
ｊのみをデューティ駆動するよう、対応する各スイッチ
１３ａ，１３ｄ，１３ｇ，１３ｊをオン／オフ切換す
る。また、例えば紫色の薄膜を形成したいときには、作
業者は赤色（Ｒ）と青色（Ｂ）と緑色（Ｇ）の混合比を
１：１：０というように入力部１９に操作入力し、この
情報を受けて、制御部１７は第１、第２、第４、第５、
第７、第８、第１０及び第１２の溶液溜まり部２５ａ，
２５ｂ，２５ｄ，２５ｅ，２５ｇ，２５ｈ，２５ｊ，２
５ｋ内の超音波振動子５ａ，５ｂ，５ｄ，５ｅ，５ｇ，
５ｈ，５ｊ，５ｋのみをデューティ駆動するよう、対応
する各スイッチ１３ａ，１３ｂ，１３ｄ，１３ｅ，１３
ｇ，１３ｈ，１３ｊ，１３ｋをオン／オフ切換する。か
かる制御部１７によるスイッチ１３ａ〜１３ｌ毎のオン
／オフ制御は、制御部１７内の図示しない所定のＲＯＭ
等の記憶装置内に予め格納されたソフトウェアプログラ
ムにしたがって実現される。

【００２６】撹拌ファン１８は、各超音波振動子５ａ〜
５ｌで加振されて生成された製膜用霧化溶液２９をチャ
ンバ３の全体に亘って撹拌するものであり、図示しない
所定の回転モータにより回転軸１８ａが回転し、先端部
に取り付けられたブレード１８ｂが雰囲気を旋風するよ
うになっている。そして、特に２色以上の製膜用霧化溶
液２９が各超音波振動子５ａ〜５ｌで加振されて生成さ
れた場合には、この２色以上の製膜用霧化溶液２９が撹
拌ファン１８により撹拌されて、チャンバ３の全体に亘
って速やかに混合されるようになっている。

【００２７】このような薄膜形成装置によって製膜を行
う場合には、基材１上の同一面内において、異なる色の
製膜材料の塗り分け（パターン形成）が容易に可能であ
る。例えば、図３に示すように、基材１上の同一面内に
おいて、異なる種類の製膜材料によって形成された複数
（ここでは２つ）のパターン４１，４３を形成する場合
には、基材１の上面に、図４および図５に示すようなパ
ターン４１，４３に対応した開口パターン部４５ａ，４
７ａが形成された複数種類（ここでは２種類）のマスク
４５，４７を適宜載せ代え、この各マスク４５，４７に
対応した溶液溜まり部２５ａ〜２５ｌの各超音波振動子
５ａ〜５ｌを制御部１７でデューティ駆動制御する。例
えば、いずれかの第１のマスク４５を用いて黄色の薄膜
を形成したいときには、作業者は赤色（Ｒ）と青色
（Ｂ）と緑色（Ｇ）の混合比を１：０：１というように
入力部１９に操作入力し、この情報を受けて、制御部１
７は第１、第３、第４、第６、第７、第９、第１０及び
第１２の溶液溜まり部２５ａ，２５ｃ，２５ｄ，２５
ｆ，２５ｇ，２５ｉ，２５ｊ，２５ｌ内の超音波振動子
５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｆ，５ｇ，５ｉ，５ｊ，５ｌのみ
を同等のデューティ比でデューティ駆動するよう、対応
する各スイッチ１３ａ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｆ，１３
ｇ，１３ｉ，１３ｊ，１３ｌをオン／オフ切換する。こ
うして、入力部１９で入力した色の混合比で製膜用霧化
溶液２９がチャンバ３内で発生されると、チャンバ３内
の雰囲気が撹拌ファン１８で撹拌され、各溶液溜まり部
２５ａ〜２５ｌから生成された製膜用霧化溶液２９の全
てが混合される。尚、ここに挙げた色の混合比は一例で
あり、この実施の形態においては、超音波振動子５ａ〜
５ｌの駆動時のデューティ比を調整することで、三原色
の材料溶液４を任意の混合比に混合することが可能とな
り、全ての色の製膜用霧化溶液２９を容易に生成するこ
とが可能となる。このようにして、複数の色の製膜用霧
化溶液２９が生成されると、その複数の色が混合された
色の製膜用霧化溶液２９がチャンバ３内の全体に行き渡
る。そして、各マスク４５，４７の開口パターン部４５
ａ，４７ａが基材１の上面のパターン４１，４３として
形成される。

【００２８】また、マスク４５，４７を交換して、色を
変更して基材１の上面に薄膜を形成したい場合には、チ
ャンバ３内に浮遊する霧化溶液２９を全て廃棄させてか
ら、再び上記と同様にして制御部１７がスイッチ１３ａ
〜１３ｌの選択切り替えを行って、他の組合せで超音波
振動子５ａ〜５ｌをデューティ駆動させればよい。この
ように、制御部１７がスイッチ１３ａ〜１３ｌを選択す
るだけで容易に製膜用霧化溶液２９の色を変更できるの
で、供給部内を洗浄してから赤色素子用の材料液体を交
換していた従来の例に比べて、色変更作業の手間が大幅
に削減できる。したがって、多くの色をパターン形成す
るような場合にも、比較的容易に色の塗り分けを行うこ
とができ、便利である。

【００２９】尚、上記実施の形態では、単一のチャンバ
３内に、基材設置部２３と溶液溜まり部２５ａ〜２５ｌ
の両方を設置していたが、これらを別々のチャンバにそ
れぞれ設置し、連通管を通じて製膜用霧化溶液２９を基
材設置部２３上の基材１に供給するようにしてもよい。

【００３０】また、上記実施の形態では、有機ＥＬ表示
パネルの発光層（高分子有機発光材料）を製膜する例に
ついて説明したが、これに限られるものではないことは
勿論である。

【００３１】また、上記実施の形態では、高分子有機発
光材料を所定の溶媒に溶解させた材料溶液４を霧化して
基材１上に堆積させる例について説明したが、所定の材
料液体を霧化して基材１上に堆積させるものであれば、
どのような材料液体を適用しても差し支えない。

【００３２】

【発明の効果】請求項１及び請求項６に記載の発明によ
れば、制御部が複数の超音波加振手段を個別に駆動制御
し、色別の製膜用の材料液体をそれぞれ超音波加振手段
で超音波加振し霧化させて製膜用霧化溶液を各色毎に生
成し、これをチャンバ内に収容された基材の上面に堆積
させるようにしているので、例えば或るパターンと別の
パターンで色を変更するように基材の上面にそれぞれの
パターンの薄膜を形成したい場合に、制御部が対象の色
に対応する超音波加振手段を選択して駆動制御するだけ
で色分けすることが可能となる。したがって、従来のよ
うに色を変更するたびに液槽を洗浄して交換する手間を
省くことができる。

【００３３】また、最初に用意した材料溶液の色と異な
る混合色の薄膜を形成したい場合には、複数の色の材料
溶液を同時に超音波加振手段で超音波加振し霧化させ
て、これらの製膜用霧化溶液を混合するだけで、基材の
上面に混合色の材料溶液を容易に堆積させることができ
る。このためには、例えば請求項３及び請求項７のよう
に、材料溶液として３原色のものをそれぞれ用意するだ
けでよい。したがって、必要な全ての色の材料溶液を予
め用意しておく必要がなくなる。

【００３４】請求項２及び請求項８に記載の発明によれ
ば、撹拌ファンでチャンバ内の雰囲気を撹拌するので、
チャンバ内の全体に製膜用霧化溶液をほぼ均等に行き渡
らせることができ、基材上の薄膜の厚さを均一にでき
る。また、複数の色の製膜用霧化溶液を混合して混合色
の材料溶液を基材上に堆積する場合に、チャンバ内の全
体に亘って色の混合比の均一な混合色の製膜用霧化溶液
を行き渡らせることができ、基材上の薄膜の混合色の色
の混合比を均一にできる。

【００３５】請求項３及びに記載の発明によれば、制御
部が、複数の超音波加振手段を個別にデューティ駆動制
御するようになっているので、製膜用霧化溶液の生成の
進行度合いを精度良く微調整できる。特に、複数の色の
製膜用霧化溶液を混合して混合色の材料溶液を基材上に
堆積する場合に、各色の製膜用霧化溶液のデューティ比
を微調整することで、基材上の薄膜の混合色について色
の混合比を微調整できる。

【００３６】請求項４及び請求項１０に記載の発明によ
れば、有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製膜用
の高分子有機発光材料として上記の材料液体を適用すれ
ば、フルカラーの有機エレクトロルミネッセンス表示素
子を容易に且つ安価に製造できる。

【００３７】請求項５及び請求項９に記載の発明によれ
ば、入力部で制御部に対して色の混合比を入力し、この
色の混合比にしたがって、制御部が複数の超音波加振手
段を個別に駆動制御するようにしているので、操作者は
各超音波加振手段のデューティ比等を気にすることなく
容易に混合色の薄膜を形成することができる。

【００３８】請求項１１に記載の発明によれば、堆積工
程において、それぞれ開口パターン部の形状が異なった
複数種類のマスクを適宜載せ代えながら、霧化工程及び
堆積工程を色毎に実行するので、色を変更するたびに液
槽を洗浄して交換する手間を省くことができ、パターン
毎の色分けを容易に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一の実施の形態に係る薄膜形成装置の
構成を模式的に示す断面図である。

【図２】この発明の一の実施の形態に係る薄膜形成装置
を示すブロック図である。

【図３】基材上に形成される薄膜パターンの例を示す図
である。

【図４】図３の薄膜パターンの生成に用いられるマスク
の構成を示す図である。

【図５】図３の薄膜パターンの生成に用いられるマスク
の構成を示す図である。

【符号の説明】

１ 基材 ３ チャンバ ４ 材料溶液 ５ａ〜５ｌ 超音波振動子 １３ スイッチ群 １３ａ〜１３ｌ スイッチ １７ 制御部 １８ 撹拌ファン １９ 入力部 ２１ 密閉空間 ２３ 基材設置部 ２５ａ〜２５ｌ 溶液溜まり部 ２９ 製膜用霧化溶液 ４１，４３ パターン ４５，４７ マスク ４５ａ，４７ａ 開口パターン部

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/14 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ (72)発明者 松井 昭憲 愛知県名古屋市南区菊住１丁目７番10号 株式会社オートネットワーク技術研究所内 Ｆターム(参考） 3K007 AB04 AB18 DA00 DB03 EB00 FA00 FA01 4D074 AA01 BB05 DD03 DD05 DD12 DD43 DD61 DD70 4D075 AA01 AA22 AA81 AA83 AD06 AD08 BB13Y BB16Y CA47 CB08 DA06 DB13 DC24 EA07 EA60

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の基材上に薄膜を形成する薄膜形成
   装置であって、 色別の製膜用の材料液体をそれぞれ超音波加振して霧化
   させ製膜用霧化溶液を各色毎に生成する複数の超音波加
   振手段と、 複数の前記超音波加振手段を個別にオン／オフ切換する
   複数のスイッチと、 前記各スイッチを個別にオン／オフ切換して複数の前記
   超音波加振手段を個別に駆動制御する制御部と、 その内部で収容された前記基材の上面に、前記超音波加
   振手段によって生成された前記製膜用霧化溶液が前記材
   料液体の薄膜として堆積されるチャンバとを備えること
   を特徴とする薄膜形成装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の薄膜形成装置であっ
   て、 前記チャンバ内の雰囲気を撹拌する撹拌ファンをさらに
   備えることを特徴とする薄膜形成装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の薄膜形
   成装置であって、 複数の材料薄膜の色が三原色のそれぞれの色であって、 前記制御部が、製膜する薄膜の色に応じて複数の前記超
   音波加振手段を個別にデューティ駆動制御する薄膜形成
   装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載の薄膜形成装置であって、 前記材料液体が、有機エレクトロルミネッセンス表示素
   子の製膜用の高分子有機発光材料である薄膜形成装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
   載の薄膜形成装置であって、 前記制御部に対して色の混合比を入力するための入力部
   をさらに備え、 前記制御部が、前記入力部で入力された色の混合比に基
   づいて、複数の前記超音波加振手段を個別に駆動制御す
   る薄膜形成装置。
6. 【請求項６】 所定の基材上に所定の材料液体の薄膜を
   形成する薄膜形成方法であって、 色別の製膜用の材料液体を予め用意しておき、制御部に
   より複数のスイッチを個別にオン／オフ切換し、複数の
   超音波加振手段を個別にデューティ駆動制御して、色別
   の製膜用の前記材料液体を製膜する薄膜の色に応じてそ
   れぞれ個別に超音波加振して霧化させ霧化状態で混合さ
   れた製膜用霧化溶液を生成する霧化工程と、 前記製膜用霧化溶液が、所定のチャンバの内部に収容さ
   れた前記基材の上面に、前記材料液体の前記薄膜として
   堆積される堆積工程とを備えることを特徴とする薄膜形
   成方法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の薄膜形成方法であっ
   て、 複数の材料薄膜の色が三原色のそれぞれの色であること
   を特徴とする薄膜形成方法。
8. 【請求項８】 請求項６または請求項７に記載の薄膜形
   成方法であって、 前記霧化工程において、所定の撹拌ファンを駆動し、前
   記チャンバ内の雰囲気を撹拌することを特徴とする薄膜
   形成方法。
9. 【請求項９】 請求項６ないし請求項８のいずれかに記
   載の薄膜形成方法であって、 前記霧化工程の前に、所定の入力部で色の混合比を入力
   する入力工程をさらに備え、 前記霧化工程において、前記制御部が、前記入力部で入
   力された色の混合比に基づいて、複数の前記超音波加振
   手段を個別に駆動制御する薄膜形成方法。
10. 【請求項１０】 請求項６ないし請求項９のいずれかに
    記載の薄膜形成方法であって、 前記材料液体が、有機エレクトロルミネッセンス表示素
    子の製膜用の高分子有機発光材料であり、 前記堆積工程において、所望の開口パターン部が形成さ
    れた複数種類のマスクを載置して、前記開口パターン部
    の形状に対応するパターンに前記製膜用霧化溶液を前記
    基材上に堆積させる薄膜形成方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の薄膜形成方法であ
    って、 前記堆積工程において、それぞれ前記開口パターン部の
    形状が異なった複数種類の前記マスクを適宜載せ代えな
    がら、前記霧化工程及び前記堆積工程を色毎に実行する
    薄膜形成方法。