JP2002195922A

JP2002195922A - 薄片試料処理装置及び薄片試料処理方法

Info

Publication number: JP2002195922A
Application number: JP2000394859A
Authority: JP
Inventors: Fumitoshi Yasuo; 文利安尾; Kayoko Mori; 加代子森; Akitsu Ayukawa; あきつ鮎川; Hiroko Okazaki; 裕子岡崎; Ryoichi Masuda; 亮一増田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2000-12-26
Filing date: 2000-12-26
Publication date: 2002-07-10
Anticipated expiration: 2020-12-26
Also published as: JP3727532B2

Abstract

(57)【要約】【課題】薄片化した試料を破損することなく、試料を処
理するに際して秒単位の反応時間制御が可能なことによ
り再現性がよく、短時間で化学処理を含む表面処理を行
なうことが可能な薄片試料処理装置及び薄片試料処理方
法を提供する。【解決手段】試料保持機構１１に試料９を固定したま
ま、処理室３０に設けられたそれぞれのノズル１（１ａ
〜１ｆ）、２（２ａ〜２ｂ）から試料９に対して液体を
順次噴霧又は噴射することによって、試料９に化学処理
を含む表面処理を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、主として透過型
電子顕微鏡（ＴＥＭ）に用いる薄片試料に化学処理を含
む表面処理をする為の処理装置とその処理方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、透過電子顕微鏡試料用として薄片
化した試料を化学処理する方法としては、図１に示すよ
うに、試料１０１を先端鋭利なピンセット１０２でつか
んで直接薬液槽１０３に浸して処理する方法が一般的で
あった。

【０００３】この方法においては、所定の寸法に薄片化
した試料１０１を単孔メッシュ１０６に固定し、ピンセ
ット１０２によって単孔メッシュ１０６の端部を保持し
つつ、薬液槽１０３、純水槽１０４、及び有機溶剤槽１
０５の順に所定の溶液処理を施した後にガラス板１０７
上に配置し、試料上方からの乾燥器１０８の送風により
乾燥させる方法が多く用いられていた。

【０００４】また、特開平９−１３３６１８号公報に
は、イオンミリング装置と一体化しており、イオンミリ
ングを行なった直後に化学処理をするための薬液を噴霧
する薄膜作成装置についての記載があり、これによれば
イオンダメージ層のない高分解能観察、ＥＤＸ分析に適
した薄膜試料の作製が可能である、とされている。

【０００５】一方、特開昭６０−３６６７６号公報に
は、試料を回転させた状態で１つのノズルから薬液を試
料に対して供給した後、同ノズルから水を供給すること
を特徴とする板状物処理装置についての記載があり、こ
れにより半導体工業で望まれる均一かつ清浄なエッチン
グが達成できると、されている。

【０００６】さらに、特開平４−２１５４３６号公報に
は、試料が保持されている処理室とは別室で薬液を噴霧
し、その霧雰囲気を試料が保持されている処理室に輸送
して反応させ、処理室で水洗を行なうことを特徴するシ
リコンウエハの洗浄装置についての記載があり、これに
よればシリコンウエハの表裏面全体を均一かつ高い洗浄
度で洗浄することができる、とされている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常、
透過型電子顕微鏡試料は電子線の透過観察のために０．
１μｍ以下の厚さに薄片化されており、上述の溶液処理
中に破損してしまうことが多い。また、破損を防ぐため
には溶液処理中に急激な操作が行なえず正確な溶液処理
時間の管理も困難である。さらに、弗酸処理を行なう場
合には光の影響によりＳｉ表面に低質な酸化膜が形成さ
れ観察の障害となるおそれがある。

【０００８】また、特開平９−１３３６１８号公報に記
載の薄膜作成装置では、真空装置内で処理を行なうため
に、水洗時は試料をこの薄膜作成装置から取り出す必要
があり、反応時間の制御が困難である。また、水洗いは
ピンセットで試料を保持しつつ行なう必要があり、試料
破損のおそれがある。

【０００９】一方、特開昭６０−３６６７６号公報に記
載の板状物処理装置では、薬液が試料内に均一に行き渡
るようにするために試料を回転させることから、試料厚
みが０．１μｍ以下となっている透過型電子顕微鏡試料
では破損するおそれがある。その上、薬液と水洗のノズ
ルを共用しており、処理時間を短くすることが困難であ
る。

【００１０】さらに、特開平４−２１５４３６号公報に
記載のシリコンウエハの洗浄装置では、別室で霧を発生
させるための機構が必要となり、洗浄装置の構成が複雑
となる。また、薬液の種類を変更するためには前に使用
した薬液と混合された霧が発生しないように霧雰囲気室
及び処理室内で前に使用した薬液を十分除去する必要が
あり、容易に溶液の種類を変更できない。さらに、透過
型電子顕微鏡用試料は非常に薄いため秒単位での処理時
間の制御が必要となるが、霧雰囲気の輸送により室内の
雰囲気が均一になるために時間を要し、試料表面の雰囲
気を秒単位で制御することが困難である。

【００１１】この発明の目的は、薄片化した試料を破損
することなく、試料を処理するに際して秒単位の反応時
間制御が可能なことにより再現性がよく、短時間で化学
処理を含む表面処理を行なうことが可能な薄片試料処理
装置及び薄片試料処理方法を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明は以下の構成を
備えている。

【００１３】（１）薄片試料に複数種類の液体による化
学処理を含む表面処理をする処理室内に、該薄片試料を
保持する試料保持機構が備えられており、前記試料の近
傍には前記複数種類の液体毎に少なくとも１つのノズル
を設け、該ノズルから該試料保持機構に保持された該試
料に向かって前記液体を噴霧又は噴射することを特徴と
する。

【００１４】この構成においては、処理室内に薄片試料
を保持する試料保持機構が備えられており、この試料保
持機構に保持された試料に対して前記表面処理が施せる
ように、複数のノズルの先端が向けられていることか
ら、試料を移動させることなく複数種類の液体による表
面処理がされ、瞬時に薬液、洗浄純粋等の切替が出来る
ために処理時間が高精度に制御され、移動による試料の
破損も防止される。また、各ノズル毎に１種類のみの液
体を噴霧又は噴射することにより、異なる種類の液体の
混合を防止するとともに、液体を噴霧又は噴射する毎の
ノズルの清掃が不要となり作業時間の短縮化が図られ
る。

【００１５】（２）前記処理室は、特定の光源の光を試
料に照射する光源部と、この特定の光源の光以外の光を
遮断する遮光壁と、を備えたことを特徴とする。

【００１６】この構成においては、前記表面処理を促進
する光源の光を試料に照射し、前記表面処理に不要な光
を遮断することから、表面処理における光の影響が制御
される。

【００１７】（３）前記処理室は前記表面処理に用いら
れる液体毎に個別に排気を行なう排気機構を備えたこと
を特徴とする請求項１又は２に記載の薄片試料処理装
置。

【００１８】この構成においては、前記表面処理に用い
られる複数種類の液体により生じる気体の混合がなくな
ることから、安全に薄片試料処理装置の操作が行なわれ
る。

【００１９】（４）前記処理室は、試料に供給される前
記ノズルによる液体の噴霧又は噴射による廃液を廃液毎
に個別に収容する複数の廃液タンクと、これらの廃液タ
ンクのそれぞれと処理室とを個別に連通する複数の廃液
経路と、を備えていることを特徴とする。

【００２０】この構成においては、ノズルによる液体の
噴霧又は噴射によって生じる廃液を廃液毎に個別に収容
することから、異なった種類の廃液が混合して化学反応
を引き起こす危険がなく、またこれらの廃液の処理が容
易に行なわれる。

【００２１】（５）前記処理室は、試料に対して温風又
は冷風を供給する送風機構を備えており、試料に対して
所定のタイミングで送風を行なうことを特徴とする。

【００２２】この構成においては、ノズルによる前記表
面処理による試料表面が瞬時に乾燥されることから、一
連の表面処理に要する時間の短縮化と、試料破損の防止
と、が図られる。

【００２３】（６）前記試料保持機構の試料保持部は導
電材料とこれを覆う耐薬品材料とにより形成されてお
り、処理室外部に設けられた電源より該導電材料に所望
の電圧が印加されることを特徴とする。

【００２４】この構成においては、前記表面処理がされ
ている薄片試料に対して、処理室外部に設けられた電源
より試料保持機構を介して電圧が印加されることから、
電解エッチング等の電気・化学的な反応による処理が容
易に行なわれる。また、試料保持部の表面は耐薬品材料
によって形成されていることから、前記表面処理に用い
られる液体によって生じる腐食等による試料保持部の導
電性機能及び保持機能等の劣化が防止される。

【００２５】（７）前記試料保持機構は、前記処理室に
設けられた挿入口により処理室に対して挿脱自在であ
り、該挿入口には耐薬品性のシール材料によって、試料
保持機構と挿入口との接合部からの液体の漏洩を防止す
る漏洩防止機構を備えたことを特徴をする。

【００２６】この構成においては、試料保持機構が処理
室に設けられた挿入口において挿入又は脱着される際の
試料保持機構と挿入口との接合部からの液体の漏洩を防
止する漏洩防止機構を備えていることから、薄片試料処
理装置からの危険な液体の漏出が防止され、試料保持機
構の挿入又は脱着が安全に行なわれる。

【００２７】（８）前記処理室は、処理室内に不活性ガ
スを充填する不活性ガス供給ノズルを備えたことを特徴
とする。

【００２８】この構成においては、処理室内を試料の酸
化がされにくい窒素雰囲気にする窒素供給ノズルが備え
られていることから、表面処理後の試料表面の酸化が防
止される。

【００２９】（９）処理室内に保持された薄片試料に対
して、液体の噴霧又は噴射を行なう化学処理を含む表面
処理工程と、送風機構から該薄片試料に対して送風を行
なう乾燥工程と、処理室内の気体及び液体の排気及び排
液を行なう排気・排液工程と、を含む一連の処理を複数
種類の液体のそれぞれに対して繰り返し実行し、必要に
より前記表面処理工程が光源からの光の照射を行なう照
射工程と、電源から試料保持機構を介して電圧を印加す
る電圧印加工程と、を含むことを特徴とする。

【００３０】この構成においては、前記表面処理工程
と、乾燥工程と、排気・排液工程と、を含む一連の処理
を効率的に行なわせる制御部が設けられており、必要に
より照射工程と、電圧印加工程とを前記一連の工程に追
加するように制御することから、前記薄片試料の表面処
理が短時間で効率良く行なわれる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明について図を用いて
説明する。

【００３２】図２（ａ）は本発明の薄片試料処理装置２
０の正面図であり、図２（ｂ）は同処理装置の上面図で
ある。処理装置の内壁は、ポリテトラフルオロエチレン
のように酸性溶液及びアルカリ性溶液に耐え得る素材で
被われている。このとき、不要な光が試料のエッチング
工程に与える影響を考慮して、内壁のみで十分な遮光性
が得られない場合には、遮光用の外壁を別に設ける。

【００３３】上述の内壁のうちのいずれかの内壁面に
は、試料ホルダ挿入口１４が設けられており、試料９を
保持する単孔メッシュ１０を固定する試料ホルダ１１は
試料ホルダ挿入口１４から挿入及び脱着が可能となって
いる。なお、この実施形態においては試料ホルダ１１が
試料保持機構としての役割をしている。

【００３４】この試料ホルダ１１が薄片試料処理装置２
０内に完全に挿入されている状態における試料９の位置
を、便宜上、試料処理位置Ａとすると、この試料処理位
置Ａは処理室３０のほぼ中央に位置している。

【００３５】そして、処理室３０の壁面から化学処理を
含む表面処理を行なう複数のノズルが突出しており、そ
れらの先端は試料９の近傍において、試料処理位置Ａに
対向するような状態になるように配置されている。な
お、これらのノズルは、試料９を挟んで両側に同種類の
化学処理を含む表面処理を行なうノズルが位置するよう
に設けられている。

【００３６】まず、これらのノズルのうち試料９の斜め
上方に位置するのが、試料９を乾燥させるために温風又
は冷風を試料９に対して送風するエアノズル３である。
図２（ｂ）中において、このエアノズル３から試料９を
中心に反時計周りにノズル１ｂ、１ｄ、１ｆ、２ｂ、が
それぞれ設けられており、これらに対して試料９を挟ん
で反対側にそれぞれノズル１ａ、１ｃ、１ｅ、２ａが設
けられている。

【００３７】これらのノズルのうち、ノズル１ｂ及びそ
の反対側のノズル１ａは後述するＭダッシュ液を噴霧す
るものであり、ノズル１ｄ及びその反対側のノズル１ｃ
は後述の弗酸を噴霧するものである。なお、本実施形態
では、ノズル１ｆ及びその反対側の１ｅは使用しない
が、試料９に対して行なう表面処理の種類によってはこ
れらのノズルも使用する。なお、ノズルの本数は本実施
形態のものに限定されることはなく、処理される薄片試
料の用途によっては、さらに多数のノズルを用いてもよ
い。

【００３８】また、ノズル２ａ，２ｂは、試料表面の水
洗を行なう純水を噴射するノズルであり、これにより試
料９の表面に噴霧された液体を洗い流す。

【００３９】一方、試料９の近傍ではないが、処理室３
０の内壁には試料室３０内を試料９の酸化が生じにくい
窒素雰囲気に保つための窒素ノズル４が設けられてい
る。同じく処理室３０の内壁には、アルカリ排気口５ａ
を酸排気口５ｂと有機溶剤を使用するときに用いる有機
排気口５ｃとが設けられている。

【００４０】また、処理室３０底面には、試料９に供給
された液体を廃液経路６へと導くために、底面中央に向
かって下っていく傾斜が設けられており、底面の液体が
最終的には廃液経路６へと導かれる。

【００４１】さらに、試料室３０には、この廃液経路６
とそれぞれ異なった廃液を個別に収容する図外の廃液タ
ンクとを連通する廃液経路６ａ、６ｂ、及び６ｃが設け
られている。

【００４２】それぞれの廃液経路６ａ〜６ｃの入り口に
は、それぞれバルブ１５ａ〜１５ｃが備えられており、
図外の制御部により試料９に供給される液体に応じてバ
ルブ１５ａ〜１５ｃの開閉が制御され、これにより各廃
液タンク毎に同種類の廃液が収容される。

【００４３】また、試料処理位置Ａのほぼ真上には特定
の光源７の光を照射する光源部８が設けられており、こ
こから試料９に向かって、試料の表面処理を促進させる
特定の光源の光が照射される。

【００４４】ここで、表面処理の方法として、通常、単
に試料９を薄くすることが目的であれば、酸性溶液のみ
を用いて表面処理を行なえば良いが、ある程度薄くなっ
た試料９に表面処理を行なうときであって、試料９の酸
化膜に段差を形成することを目的とする場合は酸性溶液
を用い、酸化膜ではなく試料本体となるシリコン基板に
段差を形成することを目的とする場合はアルカリ性溶液
を用いる必要がある。よって、表面処理には酸性溶液と
アルカリ性溶液の両方を使用することが必要となるが、
酸性溶液及びアルカリ性溶液のそれぞれに対応した排気
口、廃液経路、及びバルブを有することで、試料に対す
る処理を１つの処理装置内で行なうことが可能となる。

【００４５】通常、ＴＥＭ等に用いる試料は非常に薄い
ため破損し易く、酸性溶液による表面処理及びアルカリ
性溶液による表面処理のそれぞれに専用の装置を用いた
場合には、酸性溶液による処理専用の装置からアルカリ
性溶液による処理専用の装置へ試料を移す際の破損を防
止することが必要であるが、本発明によればこのような
破損を防止することができる。

【００４６】また、周辺からの光を遮断し、特定の光源
から光を照射するように装置を構成することで、光によ
り表面処理速度の調整が行なえることから、周囲の光の
影響による反応を防止、或いは所望の波長の光による反
応のみを制御性良く行なうことが可能となる。

【００４７】次に、本発明の薄片試料処理装置２０の動
作について説明する。ここで、図３は試料ホルダの構成
を示す図である。

【００４８】ＴＥＭ観察可能な形状に加工された試料９
を保持している単孔メッシュ１０の周辺部分を試料ホル
ダ１１に差し込み固定する。この試料ホルダ１１は内部
が導電性の金属材料を素材とする芯部材１２で出来てお
り、外部は吸水性がなく、耐薬品性、耐熱性、及び耐溶
剤性があるポリテトラフルオロエチレン等の被覆部材１
３で被われている。

【００４９】試料９を保持した単孔メッシュ１０を固定
する部分は被覆部材１３に切り込み部が設けられてお
り、単孔メッシュ１０を押し込むと、試料９は被覆部材
１３に嵌合する。また、被覆部材１３には貫通孔が形成
されており、試料９を固定するために予め単孔メッシュ
１０に設けられた孔に被覆部材１３の表面から留め具１
６を嵌入する。このとき、単孔メッシュ１０と芯部材１
２とが接するようになっているため、芯部材１２に印加
された電圧は単孔メッシュ１０を介して試料９にも印加
されることになる。

【００５０】よって、導電性の芯部材１２に電圧を印加
することにより、試料９に電位を与えることができ、必
要に応じてこの電位を調整することで試料９のエッチン
グレートの調整を行なうことができる。

【００５１】実際に、薄片試料処理装置２０を動作させ
るに際しては、試料９を固定した試料ホルダ１１を処理
室３０の試料ホルダ挿入口１４から挿入し、試料９が試
料処理位置Ａに配置される状態で、試料ホルダ１１を固
定する。

【００５２】そして、エッチング処理後における試料９
の表面の酸化を防ぐため、窒素ノズル４により処理室３
０内を窒素雰囲気にしておく。このとき、拡散部分をエ
ッチングする薬液は通常Ｍダッシュ液と呼ばれる混合液
を用いる。

【００５３】Ｍダッシュ液の組成比として一般的なもの
は、ＨＮＯ₃ ：ＨＦ：ＣＨ₃ ＣＯＯＨ：ＡｇＮＯ₃ ＝２
６：６：１７２：１である。Ｍダッシュ液はエッチング
レートが速く、このＭダッシュ液を使用する場合であっ
て、観察対象箇所が０．１μｍ以下と薄いＴＥＭ試料の
処理には、秒単位での時間管理が必要となる。この実施
形態では、Ｍダッシュ液を薬液ノズル１ａ及び１ｂから
約１０秒噴霧する。

【００５４】このＭダッシュ液による噴霧を試料９に対
して行なった後に、試料９に付着したままのＭダッシュ
液を十分除去するのために、純水ノズル２からの純水の
噴射がされる。

【００５５】このとき、本発明の処理装置では試料９近
傍において薬液を直接噴霧する事で、瞬時に使用表面を
薬液雰囲気にすることで表面処理ができ、純水を噴射す
る事で、表面処理に寄与する液体を洗い流しこの表面処
理を止めることができるため、秒単位の反応時間制御が
可能となる。

【００５６】また、表面処理が行なわれている間じゅ
う、試料９を垂直に立てた状態で保持することが可能な
ため、水の置換乾燥を目的とした有機溶剤への浸漬をす
ることなく試料９表面を十分に乾燥させることができ
る。

【００５７】さらに、試料９の乾燥については、エアノ
ズル３からの送風を行なうことにより試料９表面の乾燥
をさらに効率良く行なうことができる。

【００５８】本処理装置は複数の薬液ノズルを有してい
るため、別種類の薬液処理の実施も連続して行なうこと
も可能である。例えば、Ｍダッシュ液による表面処理に
続いてＳｉ酸化膜に段差を生じさせる場合には、薬液ノ
ズル１ｃ及び１ｄより５％希釈弗酸を１０秒噴霧した
後、純水ノズル２から純水を噴霧し弗酸を十分に除去
し、エアノズル３から送風し試料表面を十分乾燥させる
ことにより、異なった表面処理を同一の処理室において
連続して行なうことができる。

【００５９】なお、有機溶剤による処理が必要な場合、
有機溶剤に酸性溶液を混合すると爆発する危険があるた
め、同一の処理装置内で処理することは危険であること
が多い。また、処理室３０内に設けられたノズルの本数
以上の種類の液体による表面処理が必要な場合もある。

【００６０】このような場合には、本装置は試料ホルダ
１１が処理室３０の試料ホルダ挿入口１４から抜き取れ
ることから、本発明の構成と同一の処理装置をもう１つ
別に準備して、有機溶剤を用いるときに使用するように
してもよい。これにより、試料９を試料ホルダ１１から
取り外し、再度試料ホルダ１１に固定し直すことなく、
試料ホルダ１１を予め準備しておいた別の処理装置に差
し替えた後に、上述と同様にノズルより有機溶剤を噴霧
し、この試料９の表面処理を引き続き行なうことが可能
となる。

【００６１】なお、本発明の挿入口１４には、上記の差
し替え動作における液体の漏洩を防止するためのシール
部材による加工がされている。

【００６２】以上のように、薄片試料を処理を行なった
後に、試料ホルダ１１を処理装置から抜き取り、試料と
単孔メッシュ１０を、例えば、本実施の形態において
は、ＴＥＭ観察用の試料として用いることができる。

【００６３】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、（１）処理室内に薄片試料を保持する試料保持機構が備
えられており、この試料保持機構に保持された試料に対
して前記表面処理が施せるように、複数のノズルの先端
が向けられていることから、試料を移動させることなく
複数種類の液体による表面処理がされ、瞬時に薬液と洗
浄純粋等の切替が可能で、秒単位での高い制御性の処理
が可能になると共に、移動による試料の破損を防止する
ことができる。また、各ノズル毎に１種類のみの液体を
噴霧又は噴射することにより、異なる種類の液体の混合
を防止することができ、液体を噴霧又は噴射する毎のノ
ズルの清掃が不要となり作業時間の短縮化を図ることが
できる。

【００６４】（２）前記表面処理を促進する光源の光を
試料に照射し、前記表面処理に不要な光を遮断すること
から、表面処理における光の影響を制御できる。

【００６５】（３）前記表面処理に用いられる複数種類
の液体により生じる気体の混合がなくなることから、安
全に薄片試料処理装置の操作を行なうことができる。

【００６６】（４）ノズルによる液体の噴霧又は噴射に
よって生じる廃液を廃液毎に個別に収容することから、
異なった種類の廃液が混合して化学反応を引き起こす危
険をなくすことができ、またこれらの廃液の処理が容易
に行ないことができる。

【００６７】（５）ノズルによる前記表面処理による試
料表面が瞬時に乾燥されることから、一連の表面処理に
要する時間の短縮化と試料破損の防止とを図ることがで
きる。

【００６８】（６）前記表面処理がされている薄片試料
に対して、処理室外部に設けられた電源より試料保持機
構を介して電圧が印加されることから、電解エッチング
等の電気・化学的な反応による処理を容易に行なうこと
ができる。また、試料保持部の表面は耐薬品材料によっ
て形成されていることから、前記表面処理に用いられる
液体によって生じる腐食等による試料保持部の導電性機
能及び保持機能等の劣化を防止することができる。

【００６９】（７）試料保持機構が処理室に設けられた
挿入口において挿入又は脱着される際の試料保持機構と
挿入口との接合部からの液体の漏洩を防止する漏洩防止
機構を備えていることから、薄片試料処理装置からの危
険な液体の漏出を防止でき、試料保持機構の挿入又は脱
着を安全に行なうことができる。

【００７０】（８）処理室内を試料の酸化がされにくい
窒素雰囲気にする窒素供給ノズルが備えられていること
から、表面処理後の試料表面の酸化を防止することがで
きる。

【００７１】（９）前記表面処理工程と、乾燥工程と、
排気・排液工程と、を含む一連の処理を効率的に行なわ
せる制御部が設けられており、必要により照射工程と、
電圧印加工程とを前記一連の工程に追加するように制御
することから、前記薄片試料の表面処理が短時間で効率
良く行なうことができる。

【００７２】本発明の薄片試料処理装置を用いることに
より、試料を破損することなく、一連の操作で再現性よ
く試料を作製する事が可能となる。

【００７３】また、従来の試料作製方法では観察するこ
とが困難であった、主成分が同一の多層構造部の境界位
置観察やイオン注入の拡散形状を高解像度で観察するこ
とが可能となる。

【００７４】さらに、酸による処理後、試料を洗浄し更
にアルカリによる処理を行なう等の連続した処理を効率
よく行なうことが可能となる。

【００７５】よって、薄片化した試料を破損することな
く、試料を処理するに際して秒単位の反応時間制御が可
能なことにより再現性がよく、短時間で化学処理を含む
表面処理を行なうことが可能な薄片試料処理装置及び薄
片試料処理方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の薄片試料処理方法を示す図である。

【図２】本発明の薄片試料処理装置の構成を示す図であ
る。

【図３】本発明の試料ホルダの構成を示す図である。

【符号の説明】

１（１ａ〜１ｆ）−薬液ノズル２−純水ノズル３−エアノズル４−窒素ノズル５（５ａ〜５ｂ）−排気口６（６ａ〜６ｂ）−廃液口７−光源８−窓９−試料１０−単孔メッシュ１１−試料ホルダ１２−芯部材１３−被覆部材１４−試料ホルダ挿入口１５（１５ａ〜１５ｃ）−バルブ１６−留め具２０−薄片試料処理装置３０−処理室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鮎川あきつ大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者岡崎裕子大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者増田亮一大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA11 CA03 LA11 MA05 PA07 RA02 RA03 RA05 RA20 2G052 CA03 CA29 EC14 FC02 FD18 GA34 5C001 BB07 CC01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】薄片試料に複数種類の液体による化学処理
を含む表面処理をする処理室内に、該薄片試料を保持す
る試料保持機構が備えられており、前記試料の近傍には
前記複数種類の液体毎に少なくとも１つのノズルを設
け、該ノズルから該試料保持機構に保持された該試料に
向かって前記液体を噴霧又は噴射することを特徴とする
薄片試料処理装置。
【請求項２】前記処理室は、特定の光源の光を試料に照
射する光源部と、この特定の光源の光以外の光を遮断す
る遮光壁と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載
の薄片試料処理装置。
【請求項３】前記処理室は前記表面処理に用いられる液
体毎に個別に排気を行なう排気機構を備えたことを特徴
とする請求項１又は２に記載の薄片試料処理装置。
【請求項４】前記処理室は、試料に供給される前記ノズ
ルによる液体の噴霧又は噴射による廃液を廃液毎に個別
に収容する複数の廃液タンクと、これらの廃液タンクの
それぞれと処理室とを個別に連通する複数の廃液経路
と、を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載の薄片試料処理装置。
【請求項５】前記処理室は、試料に対して温風又は冷風
を供給する送風機構を備えており、試料に対して所定の
タイミングで送風を行なうことを特徴とする請求項１〜
４のいずれかに記載の薄片試料処理装置。
【請求項６】前記試料保持機構の試料保持部は導電材料
とこれを覆う耐薬品材料とにより形成されており、処理
室外部に設けられた電源より該導電材料に所望の電圧が
印加されることを特徴とする請求項１〜５に記載の薄片
試料処理装置。
【請求項７】前記試料保持機構は、前記処理室に設けら
れた挿入口により処理室に対して挿脱自在であり、該挿
入口には耐薬品性のシール材料によって、試料保持機構
と挿入口との接合部からの液体の漏洩を防止する漏洩防
止機構を備えたことを特徴をする請求項１〜６のいずれ
かに記載の薄片試料処理装置。
【請求項８】前記処理室は、処理室内に不活性ガスを充
填する不活性ガス供給ノズルを備えたことを特徴とする
請求項１〜７のいずれかに記載の薄片試料処理装置。
【請求項９】処理室内に保持された薄片試料に対して、
液体の噴霧又は噴射を行なう化学処理を含む表面処理工
程と、送風機構から該薄片試料に対して送風を行なう乾
燥工程と、処理室内の気体及び液体の排気及び排液を行
なう排気・排液工程と、を含む一連の処理を複数種類の
液体のそれぞれに対して繰り返し実行し、必要により前
記表面処理工程が光源からの光の照射を行なう照射工程
と、電源から試料保持機構を介して電圧を印加する電圧
印加工程と、を含むことを特徴とする薄片試料処理方
法。