JP2002191161A

JP2002191161A - リニアモータ

Info

Publication number: JP2002191161A
Application number: JP2000384867A
Authority: JP
Inventors: Akira Hayashi; 陽林; Ichiro Kita; 一朗喜多; Ichiro Morita; 一郎森田; Ko Inagaki; 耕稲垣; Makoto Katayama; 誠片山
Original assignee: Matsushita Refrigeration Co
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-12-19
Filing date: 2000-12-19
Publication date: 2002-07-05

Abstract

(57)【要約】【課題】リニアモータにおいて、滑らかな円筒形状を
容易に形成し、生産性の向上を図ると共に、信頼性の向
上を図る。【解決手段】透磁率が高い薄板９を繰り返して折り返
し周方向に積層した円筒状のアウタヨーク８を備えるこ
とにより、滑らかな円筒形状を形成できるので生産性を
向上できると共に、可動磁石との接触を防止して信頼性
の向上を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、リニアモータの開発が活発に行わ
れつつある。

【０００３】従来のリニアモータとしては、特公平６−
９１７２７号公報に示されているものがある。

【０００４】以下、図面を参照しながら上記従来のリニ
アモータを説明する。

【０００５】図９は、従来のリニアモータの断面図であ
る。図１０は従来のリニアモータのアウタヨークの斜視
図である。図９において、１はＣ型コアであり、１ａは
Ｃ型コア１のスロットである。２はＣ型コア１のスロッ
ト１ａ内に装着されたコイルである。３はＣ型コア１の
スロット１ａ側に配設された可動磁石であり、図中矢印
で示す方向に着磁されている。４は可動磁石３を挟んで
Ｃ型コア１と相対して配設され、磁路を構成するバック
ヨークである。バックヨーク４はＣ型コア１がアウタヨ
ークを形成する場合はインナヨークとなり、Ｃ型コア１
がインナヨークを形成する場合はアウタヨークとなる。

【０００６】以上のように構成されたリニアモータにつ
いて、以下その動作を説明する。

【０００７】まず、コイル２に電流を流すことにより磁
束を発生させ、その磁束がＣ型コア１とバックヨーク４
とで構成される磁路を流れる。そして、コイル２に流す
電流の向きを変えることにより、即ちコイル２に交流電
流を流すことにより、磁路を流れる磁束の向きを変えて
いる。そこで、磁束がＣ型コア１とバックヨーク４とで
構成される磁路を流れるように、可動磁石３が移動され
る。即ち、磁束がＣ型コア１とバックヨーク４とで構成
される磁路を図９中時計回りに流れる場合には、可動磁
石３は図９中右方向に移動され、反対に磁束が磁路を図
９中反時計回りに流れる場合には、可動磁石３は図９中
左方向に移動されて、可動磁石３が往復動される。

【０００８】このように構成されたリニアモータでは、
図９中紙面に直交する方向に発生する渦電流の影響を抑
えることから、Ｃ型コア１、可動磁石３及びバックヨー
ク４を図９中紙面に直交する方向に積層する必要があっ
た。また、コイル２の長さを最短にして高効率化を図る
こと、加工性の向上を図ることから、Ｃ型コア１とバッ
クヨーク４との空隙を円筒型とするのが望ましい。そこ
で、図１０に示されるように、Ｃ型に形成された絶縁被
覆された薄板磁性板５を複数枚重ね合わせてコア積層体
６を形成し、コア積層体６を円周上に配列させて、アウ
タヨーク７を構成していた。そして、このアウタヨーク
７を用いてリニアモータを構成するには、アウタヨーク
７の内側に、円筒状の可動磁石（図示せず）及びインナ
ヨーク（図示せず）を同心状に配設し、更にアウタヨー
ク７のスロット内にコイル２を装着することになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成は、Ｃ型に形成された磁性薄板５を複数枚重ね
合わせて形成されたコア積層体６を円周上に配列させて
構成されているので、アウタヨーク７の内周面が多角形
状に形成され、更にアウタヨーク７とインナヨークとの
空隙を狭くするように構成される。そこで、可動磁石の
回転方向に外力が作用すると、可動磁石とアウタヨーク
７との接触が発生してしまうことから、可動磁石の成形
時及び組立時に、軸方向精度を高精度に確保する必要が
あり、量産化が困難となるという課題があった。また、
このような課題を解決するために、アウタヨーク７の内
周面に切削加工を施し、その内周面を滑らかな円筒面に
成形する手法も提案されているが、切削工程等が必要と
なり、生産性が低下するという課題があった。

【００１０】本発明は従来の課題を解決するもので、生
産性に優れた円筒状のリニアモータを提供することを目
的とする。

【００１１】本発明の他の目的は、生産性に優れると共
に剛性が高い円筒状のリニアモータを提供することであ
る。

【００１２】本発明の他の目的は、生産性に優れると共
に効率が高い円筒状のリニアモータを提供することであ
る。

【００１３】

【発明を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の発明は、透磁率が高い薄板を繰り返して折り返し周方
向に積層した円筒状のアウタヨーク或いはインナヨーク
を備えたものであり、生産性に優れるという利点を有す
る。

【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明に、さらに、薄板に突起部を備えたものであり、
容易に円筒形状を形成できるという作用を有する。

【００１５】請求項３に記載の発明は、透磁率が高い薄
板を繰り返して折り返し周方向に積層して略四角柱形状
を成す複数の積層体と、前記積層体間に設けた空隙部と
からなる略円筒状のアウタヨーク或いはインナヨークを
備えたものであり、モータ効率が向上するという作用を
有する。

【００１６】請求項４に記載の発明は、透磁率が高い薄
板を繰り返して折り返し周方向に積層した第１薄板と、
前記第１薄板の外周側に形成される空隙に配設される第
２薄板とからなる円筒状のアウタヨーク或いはインナヨ
ークを備えたものであり、容易に円筒形状を形成できる
と共に高い剛性が得られるという作用を有する。

【００１７】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の発明において、第２薄板は第１薄板を繰り返して折り
返し形成するようにしたものであり、生産性に優れると
いう利点を有する。

【００１８】請求項６に記載の発明は、透磁率が高い薄
板を繰り返して折り返し略二等辺三角形状を形成し長さ
の等しい二辺を周方向に積層した略円筒状のアウタヨー
ク或いはインナヨークを備えたものであり、容易に円筒
形状を形成できると共に高い剛性が得られるという作用
を有する。

【００１９】請求項７に記載の発明は、請求項１から請
求項６のいずれか一項に記載の発明に、さらに、薄板の
折り返し部に溝部を備えたものであり、薄板の折り返し
が容易となるため生産性が向上するという作用を有す
る。

【００２０】請求項８に記載の発明は、請求項１から請
求項６のいずれか一項に記載の発明に、さらに、薄板の
折り返し部にスリットを備えたものであり、薄板の折り
返しが容易となるため生産性が向上すると共に、鉄損失
を低減してモータ効率を向上できるという作用を有す
る。

【００２１】請求項９に記載の発明は、請求項１から請
求項６のいずれか一項に記載の発明に、さらに、薄板の
折り返し部に穴部を備えたものであり、コイルスペース
を容易に形成できるという作用を有する。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるリニアモータ
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
尚、従来と同一構成については、同一符号を付して詳細
な説明を省略する。

【００２３】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１によるリニアモータのアウタヨークの要部上面図
である。図２は、同実施の形態のアウタヨークを構成す
る薄板の斜視図である。

【００２４】図１、図２において、８はアウタヨークで
あり、透磁率が高い薄板９を繰り返して折り返し周方向
に積層して形成されている。１０は薄板９の折り返し部
に設けた溝部である。１１はプレス工程により薄板９に
設けた突起部である。ここで、隣り合う折り返された薄
板９間には内周側が端部で接し、外周側が突起部１１に
より離間されたくさび状の空隙が形成されている。そし
て、薄板９を等ピッチで周方向に繰り返して折り返しな
がら積層することで円筒状のアウタヨークを構成してい
る。

【００２５】以上のように構成されたリニアモータにお
いて、渦電流損失はヨーク部材の板厚の２乗に比例する
特性を有しているが、アウタヨーク８を透磁率が高い薄
板９を繰り返して折り返し形成しているため、渦電流損
失が小さくなり、モータ効率の向上を図ることができ
る。また、薄板９を繰り返して折り返し周方向に積層し
ているので、切削加工等の後加工を施すことなく内周壁
面が滑らかな円筒形状が得られるので、生産性を向上す
ることができると共に、内周面が多角形状に構成される
従来のアウタヨークに比べて、円筒状の可動磁石（図示
せず）にラジアル方向の外力が作用しても可動磁石がア
ウタヨーク８に接触する可能性を小さくでき、信頼性を
向上させることもできる。

【００２６】また、薄板９の折り返し部に溝部１０を設
けているので、薄板９の折り返しが容易となり生産性を
向上することができる。

【００２７】更に、図１、図２に示すように薄板９に周
期的に一定位置に突起部１１を設け、内周側の端部を合
わせるように繰り返して折り返し、外周側で突起部１１
を隣り合う薄板９と当接させるように周方向に積層して
いるので容易に円筒形状を形成することができる。

【００２８】以上のように本実施の形態のリニアモータ
は、透磁率が高い薄板９を繰り返して折り返し周方向に
積層した円筒状のアウタヨーク８を備えており、薄板９
の折り返し部に溝部１０を備えると共に、薄板９に突起
部１１を備えているので、渦電流損失が小さくなり、モ
ータ効率の向上を図ることができる。

【００２９】また、容易に滑らかな円筒形状を形成でき
るので、生産性を向上できると共に可動磁石との接触を
防止でき、信頼性の向上を図ることができる。

【００３０】尚、本実施の形態においてはアウタヨーク
８について説明したが、アウタヨークの内側に配設する
インナヨークについても同様に実施可能である。

【００３１】また本実施の形態では、アウタヨーク８に
コイルを装着していないが、コイルを装着するアウタヨ
ークであっても同様に実施可能である。

【００３２】本実施の形態では、透磁率が高い薄板９を
繰り返して折り返し周方向に積層しアウタヨーク８を形
成しているが、複数の分割ヨークの組み合わせにより形
成しても同様に実現可能である。また、本実施の形態で
は、突起部１１を押し出し形成するものとしているが、
スパッタリング等により突起を設けても同様の効果が得
られる。

【００３３】（実施の形態２）図３は、本発明の実施の
形態２によるリニアモータのアウタヨークの要部上面図
である。

【００３４】図３において、１２はアウタヨークであ
り、透磁率が高い薄板１３を繰り返して折り返し周方向
に積層して略四角柱形状を成す複数の積層体１４と積層
体１４間に設けた略三角柱状の空隙部１５とから構成さ
れている。ここで、積層体１４を等ピッチで周方向に折
り返しながら配設することで略円筒状のアウタヨーク１
２を構成している。

【００３５】以上のように構成されたリニアモータのア
ウターヨークによれば、渦電流損失はヨーク部材の板厚
の２乗に比例する特性を有しているが、積層体１４を透
磁率が高い薄板１３を繰り返して折り返し形成している
ため、渦電流損失が小さくなり、モータ効率の向上を図
ることができる。

【００３６】また、隣り合う積層体１４間には空隙部１
５を確保することができるため、モータの表面積が増
え、モータの冷却が促進されて温度上昇を低減でき、モ
ータの信頼性が向上する。

【００３７】以上のように本実施の形態のリニアモータ
は、透磁率が高い薄板１３を繰り返して折り返し周方向
に積層して略四角柱形状を成す複数の積層体１４と積層
体１４間に設けた空隙部１５とからなる略円筒状のアウ
タヨーク１２を備えているので、渦電流損失が小さくな
り、モータ効率の向上を図ることができる。また、モー
タの冷却を促進して温度上昇を低減でき、モータの信頼
性を向上することができる。

【００３８】尚、本実施の形態においてはアウタヨーク
１２について説明したが、アウタヨークの内側に配設す
るインナヨークについても同様に実施可能である。イン
ナヨークとして実施する場合、可動磁石はインナヨーク
の外側に配設されるが、積層体１４との対向部分にのみ
可動磁石を配設し、磁石対向部分に空隙部１５を設けな
いようにすれば、モータ効率が更に向上するという効果
が得られる。

【００３９】また本実施の形態では、アウタヨーク１２
にコイルを装着していないが、コイルを装着するアウタ
ヨークであっても同様に実施可能である。

【００４０】（実施の形態３）図４は、本発明の実施の
形態３によるリニアモータのアウタヨークの要部上面図
である。図５は、同実施の形態のアウタヨークを構成す
る薄板の上面図である。

【００４１】図４、図５において、１６はアウタヨーク
であり、透磁率が高い薄板１７を異なる長さで繰り返し
て折り返し、周方向に積層して形成されている。薄板１
７はアウタヨーク１６本体を形成する第１薄板１７ａと
第１薄板１７ａの外周側に形成される空隙に配設される
第２薄板１７ｂとから構成されている。ここで、隣り合
う繰り返して折り返された第１薄板１７ａ間には内周側
が端部で接し、外周側が離間された断面くさび状の空隙
が形成されており、その空隙に第２薄板１７ｂが繰り返
して折り返し配設されることになる。そして、薄板１７
を等ピッチで周方向に繰り返して折り返しながら積層す
ることで円筒状のアウタヨークを構成している。１８は
薄板１７の折り返し部に設けたスリットである。

【００４２】以上のように構成されたリニアモータにお
いて、渦電流損失はヨーク部材の板厚の２乗に比例する
特性を有しているが、アウタヨーク１６を透磁率が高い
薄板１７を繰り返して折り返し形成しているため、渦電
流損失が小さくなり、モータ効率の向上を図ることがで
きる。また、透磁率が高い薄板１７を繰り返して折り返
し周方向に積層しているので、切削加工等の後加工を施
すことなく容易に内周壁面が滑らかな円筒形状が得られ
るので、生産性を向上することができると共に、内周面
が多角形状に構成される従来のアウタヨークに比べて、
円筒状の可動磁石（図示せず）にラジアル方向の外力が
作用しても可動磁石がアウタヨーク１６に接触する可能
性を小さくでき、信頼性を向上させることもできる。

【００４３】また、隣り合う繰り返して折り返された第
１薄板１７ａ間に形成される内周側が端部で接し、外周
側が離間されたくさび状の空隙に第２薄板１７ｂを繰り
返して折り返し配設するため、アウタヨーク１６の剛性
を高くすることができる。

【００４４】更に、薄板１７の折り返し部にスリット１
８を設けているので、薄板１７の折り返しが容易となり
生産性を向上することができると共に、薄板１７間の磁
束の漏れを低減できるので、鉄損失を低減することがで
き更にモータ効率の向上を図ることができる。

【００４５】以上のように本実施の形態のリニアモータ
は、透磁率が高い薄板１７を異なる長さで繰り返して折
り返し、周方向に積層した円筒状のアウタヨーク１６を
備えており、薄板１７はアウタヨーク１６本体を形成す
る第１薄板１７ａと第１薄板１７ａの外周側に形成され
る空隙に配設される第２薄板１７ｂとから構成されると
共に、薄板１７の折り返し部にスリット１８を備えてい
るので、渦電流損失、鉄損失が小さくなり、モータ効率
の向上を図ることができる。また、容易に滑らかな円筒
形状を形成できるので、生産性を向上できると共に可動
磁石との接触を防止でき、信頼性の向上を図ることがで
きる。更に剛性を高くすることもできる。

【００４６】尚、本実施の形態においては第２薄板１７
ｂは第１薄板１７ａを繰り返して折り返し同一部材から
形成しているが、第２薄板は第１薄板と別体で構成して
も同様に実施可能である。

【００４７】また本実施の形態では、アウタヨーク１６
について説明したが、アウタヨークの内側に配設するイ
ンナヨークについても同様に実施可能である。

【００４８】本実施の形態では、アウタヨーク１６にコ
イルを装着していないが、コイルを装着するアウタヨー
クであっても同様に実施可能である。

【００４９】また本実施の形態では、透磁率が高い薄板
１７を繰り返して折り返し周方向に積層してアウタヨー
ク１６を形成しているが、複数の分割ヨークの組み合わ
せにより形成しても同様に実現可能である。

【００５０】（実施の形態４）図６は、本発明の実施の
形態４によるリニアモータのインナヨークの斜視図であ
る。図７は同実施の形態のインナヨークの要部上面図で
ある。図８は同実施の形態のインナヨークを構成する薄
板の上面図である。

【００５１】図６、図７、図８において、１９はインナ
ヨークであり、透磁率が高い薄板２０を繰り返して折り
返し略二等辺三角形状を形成し長さの等しい二辺を周方
向に積層して略円筒形状に形成されている。２１は薄板
２０の折り返し部に設けた穴部である。

【００５２】以上のように構成されたリニアモータにお
いて、渦電流損失はヨーク部材の板厚の２乗に比例する
特性を有しているが、インナヨーク１９を透磁率が高い
薄板２０を繰り返して折り返し形成しているため、渦電
流損失が非常に小さくなり、モータ効率の向上を図るこ
とができる。また、透磁率が高い薄板２０を繰り返して
折り返し略二等辺三角形状を形成し長さの等しい二辺を
周方向に積層しているので、切削加工等の後加工を施す
ことなく外周壁面が滑らかな円筒形状が容易に得られる
ので、生産性を向上することができると共に、外周面が
多角形状に構成される従来のインナヨークに比べて、円
筒状の可動磁石（図示せず）にラジアル方向の外力が作
用しても可動磁石がインナヨーク１９に接触する可能性
を小さくでき、信頼性を向上させることもできる。更
に、略二等辺三角形状の薄板２０の一辺がインナヨーク
１９の外周面を形成しているので、インナヨーク１９の
剛性を高くすることができる。

【００５３】また、薄板２０の折り返し部に穴部２１を
設けているので、切削加工等の後加工を施すことなくイ
ンナヨーク１９の外表面にコイルスペース２１'を設け
ることができ、生産性を向上させることができる。

【００５４】以上のように本実施の形態のリニアモータ
は、透磁率が高い薄板２０を繰り返して折り返し略二等
辺三角形状を形成し長さの等しい二辺を周方向に積層し
た略円筒状のインナヨーク１９を備えると共に、薄板２
０の折り返し部に穴部２１を備えているので、渦電流損
失が小さくなり、モータ効率の向上を図ることができ
る。また、容易に滑らかな円筒形状を形成できるので、
生産性を向上できると共に可動磁石との接触を防止で
き、信頼性の向上を図ることができる。更に剛性を高く
することもできる。

【００５５】尚、本実施の形態においてはインナヨーク
１９について説明したが、インナヨークの外側に配設す
るアウタヨークについても同様に実施可能である。

【００５６】また本実施の形態では、透磁率が高い薄板
２０を繰り返して折り返し略二等辺三角形状を形成し長
さの等しい二辺を周方向に積層してインナヨーク１９を
形成しているが、複数の分割ヨークの組み合わせにより
形成しても同様に実現可能である。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の発
明は、透磁率が高い薄板を繰り返して折り返し周方向に
積層した円筒状のアウタヨーク或いはインナヨークを備
えることにより、滑らかな円筒形状を形成できるので生
産性を向上することができると共に、可動磁石との接触
を防止して信頼性の向上を図ることができる。

【００５８】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の発明に加えて、薄板に突起部を備えることによ
り、容易に円筒形状を形成することができる。

【００５９】また、請求項３に記載の発明は、透磁率が
高い薄板を繰り返して折り返し周方向に積層して略四角
柱形状を成す複数の積層体と、前記積層体間に設けた空
隙部とからなる略円筒状のアウタヨーク或いはインナヨ
ークを備えることにより、モータの冷却を促進して信頼
性を向上することができる。

【００６０】また、請求項４に記載の発明は、透磁率が
高い薄板を繰り返して折り返し周方向に積層した第１薄
板と、前記第１薄板の外周側に形成される空隙に配設さ
れる第２薄板とからなる円筒状のアウタヨーク或いはイ
ンナヨークを備えることにより、滑らかな円筒形状を形
成できるので生産性を向上することができると共に、高
い剛性を得ることができる。

【００６１】また、請求項５に記載の発明は、請求項４
に記載の発明に加えて、第２薄板は第１薄板を繰り返し
て折り返し形成することにより、生産性を向上すること
ができる。

【００６２】また、請求項６に記載の発明は、透磁率が
高い薄板を繰り返して折り返し略二等辺三角形状を形成
し長さの等しい二辺を周方向に積層した略円筒状のアウ
タヨーク或いはインナヨークを備えることにより、滑ら
かな円筒形状を形成できるので生産性を向上することが
できると共に、高い剛性を得ることができる。

【００６３】また、請求項７に記載の発明は、請求項１
から請求項６のいずれかの発明に加えて、薄板の折り返
し部に溝部を備えることにより、薄板の折り返しが容易
となるため生産性を向上することができる。

【００６４】また、請求項８に記載の発明は、請求項１
から請求項６のいずれかの発明に加えて、薄板の折り返
し部にスリットを備えることにより、薄板の折り返しが
容易となるため生産性を向上することができると共に、
鉄損失を低減でき、モータ効率を向上することができ
る。

【００６５】また、請求項９に記載の発明は、請求項１
から請求項６のいずれかの発明に加えて、薄板の折り返
し部に穴部を備えることにより、コイルスペースを容易
に形成できるので、生産性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるリニアモータの実施の形態１のア
ウタヨークの要部上面図

【図２】同実施の形態のアウタヨークを構成する薄板の
斜視図

【図３】本発明によるリニアモータの実施の形態２のア
ウタヨークの要部上面図

【図４】本発明によるリニアモータの実施の形態３のア
ウタヨークの要部上面図

【図５】同実施の形態のアウタヨークを構成する薄板の
上面図

【図６】本発明によるリニアモータの実施の形態４のイ
ンナヨークの斜視図

【図７】同実施の形態のインナヨークの要部上面図

【図８】同実施の形態のインナヨークを構成する薄板の
上面図

【図９】従来のリニアモータの断面図

【図１０】従来のリニアモータの斜視図

【符号の説明】

８アウタヨーク９薄板１０溝部１１突起部１２アウタヨーク１３薄板１４積層体１５空隙部１６アウタヨーク１７薄板１７ａ第１薄板１７ｂ第２薄板１８スリット１９インナヨーク２０薄板２１穴部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森田一郎大阪府東大阪市高井田本通４丁目２番５号松下冷機株式会社内 (72)発明者稲垣耕大阪府東大阪市高井田本通４丁目２番５号松下冷機株式会社内 (72)発明者片山誠大阪府東大阪市高井田本通４丁目２番５号松下冷機株式会社内Ｆターム(参考） 5H002 AA02 AA07 AA09 AA10 AB01 AC00 AE08 5H615 AA01 BB01 BB07 BB14 PP01 PP06 SS03 SS04 SS05 TT04 TT05 5H633 BB08 GG02 GG04 GG09 HH03 HH07 HH09 HH16 HH18 HH21 HH22

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透磁率が高い薄板を繰り返して折り返し
周方向に積層した円筒状のアウタヨーク或いはインナヨ
ークを備えたリニアモータ。
【請求項２】薄板に突起部を備えた請求項１に記載の
リニアモータ。
【請求項３】透磁率が高い薄板を繰り返して折り返し
周方向に積層して略四角柱形状を成す複数の積層体と、
前記積層体間に設けた空隙部とからなる略円筒状のアウ
タヨーク或いはインナヨークを備えたリニアモータ。
【請求項４】透磁率が高い薄板を繰り返して折り返し
周方向に積層した第１薄板と、前記第１薄板の外周側に
形成される空隙に配設される第２薄板とからなる円筒状
のアウタヨーク或いはインナヨークを備えたリニアモー
タ。
【請求項５】第２薄板は第１薄板を繰り返して折り返
し形成することを特徴とする請求項４に記載のリニアモ
ータ。
【請求項６】透磁率が高い薄板を繰り返して折り返し
略二等辺三角形状を形成し長さの等しい二辺を周方向に
積層した略円筒状のアウタヨーク或いはインナヨークを
備えたリニアモータ。
【請求項７】薄板の折り返し部に溝部を備えた請求項
１から請求項６のいずれか一項に記載のリニアモータ。
【請求項８】薄板の折り返し部にスリットを備えた請
求項１から請求項６のいずれか一項に記載のリニアモー
タ。
【請求項９】薄板の折り返し部に穴部を備えた請求項
１から請求項６のいずれか一項に記載のリニアモータ。