JP2002176269A

JP2002176269A - Ｘ線位置決め装置

Info

Publication number: JP2002176269A
Application number: JP2000373831A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Matsunaga; 真一松永; Hidemoto Koba; 英基木葉; Toshihiro Aoki; 俊弘青木; Masaaki Matsuda; 政昭松田
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-12-08
Filing date: 2000-12-08
Publication date: 2002-06-21

Abstract

(57)【要約】【課題】プリント配線板の位置合せに用いるＸ線位置
決め装置のＸ線源の照射スペースを小さくし、また、前
記装置及び操作の簡素化を図る。【解決手段】ワークステージ１３上に載置される多層
プリント配線板３０と、透光板３１に設けられたマスク
３２とを重ねて配置した後、前記配線板３０に露光処理
を行う際に、前記配線板３０に設けられたワークマーク
と、前記マスクに設けられたマスクマークとを位置合わ
せするためのＸ線位置決め装置１であって、前記ワーク
ステージ１３下方側に配置されるＸ線源１１と、前記ワ
ークステージ１３上方側に配置されるＸ線カメラ１２
と、前記両マークの少なくとも一方を撮像するための撮
像手段２０とを備え、前記Ｘ線源１１と前記ワークステ
ージ１３とを接近及び離間方向に連動させることを特徴
としたＸ線位置決め装置１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を用いて多層
プリント配線板とマスクの位置決を適正に行うためのＸ
線位置決め装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】これまでに、多層プリント配線板は、コ
ンピュータ、携帯電話などに搭載される部品として利用
されてきた。そして、前記携帯電話等の小型化及び高機
能化に伴い、この多層プリント配線板は、さらに薄くし
かも高密度化されることが要求されている。この要求に
対応する手段として、プリント配線板を多層化するため
の各種ビルドアップ法が開発されてきた。

【０００３】このビルドアップ法により多層プリント配
線板を作成する場合、一例として、以下の手順で多層プ
リント配線板が作成されていた。まず、所定の基板材料
に穴などによる位置決めマークを設けたプリント配線板
と、所定のパターンが設けられたマスクを重ねて配置す
る。そして、プリント配線板の第一層に設けられたワー
クマークと、前記マスクに設けられたマスクマークの位
置が合っていることを可視光の光学系で確認する。その
後、露光作業を行った後、エッチング処理等を施して、
所望の配線パターンを第一層に形成する。次に、絶縁層
の塗布工程、銅めっきの塗布工程、及び感光層の塗布工
程を経た後、第一層の位置決めワークマークを介して第
二層用マスクのマスクマークとの位置合わせを行い、そ
して、前記と同様にして、第二層に露光作業を行った後
に、適宜エッチング処理等を施して、所望の配線パター
ンを第二層に形成する。このような作業を繰り返して最
終層まで層を積み重ねていくことにより、多層プリント
配線板が作成されていた。即ち、多層プリント配線板に
高精度のパターンを露光するためには、ワークマークと
マスクマークの位置を可視光の光学系で確認してきたの
である。

【０００４】新しい層を設ける毎に位置決めするための
孔を開けていく方式の場合、主に以下のような問題があ
った。まず、プリント配線板を多層化するほど、配線板
の第一層（表面）のマークと配線板の最終層のマークの
位置合わせの精度が落ちるおそれがあるといった問題が
あった。また、マークの位置合わせをするためには、全
層に共通する位置に位置決め穴を設ける必要がある。と
ころが、層によっては、その層に設けられた配線パター
ンに起因して、どうしても、他の層と共通の位置に位置
決め穴を設けることができない場合があった。そのた
め、各層の位置決め穴の位置を変更せざるを得ないた
め、マークの位置合わせの精度が低下するといった問題
があった。そこで、これらの問題を解決するべく、従来
の露光装置技術に加えて軟Ｘ線も併用する総合位置決め
技術が提案及び開発されるに至った。

【０００５】ここで、本件の発明の理解を容易にするた
めに、図５を参照しながらカメラ倍率について簡単に説
明する。Ｘ線カメラの倍率は、Ｘ線源の焦点から対象物
までの距離（Ａ）と、Ｘ線源からＸ線カメラの受光窓ま
での距離（Ａ＋Ｂ）の比によって決定される。このカメ
ラ倍率は以下のような数式で表わされる。

【０００６】カメラ倍率＝（Ａ＋Ｂ）／Ａ

【０００７】（式中、Ａ、Ｂはそれぞれ以下の意味を表
わす。Ａ：Ｘ線源の焦点から対象物までの距離Ｂ：対象物からＸ線カメラの受光窓までの距離）

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前記の事項を踏まえ
た、軟Ｘ線も併用する総合位置決め技術の開発におい
て、種々の改良すべき余地が残されていた。第一に、Ｘ
線源の照射スペースをさらに小さくするという改良の余
地が残されていた。カメラ倍率の調整は、ワークステー
ジの位置を調整すること等によりなされていた。ところ
が、ワークステージとＸ線源はそれぞれ独立して動いて
いたため、Ｘ線源はワークステージとぶつからない位置
に設置される必要があり、また両者の移動にともなう接
触を防止する制御手段等についても考慮する必要があっ
た。

【０００９】また、ワークステージを動かすと、ワーク
ステージ上に置かれた対象物とＸ線源の距離が変化し、
Ｘ線源の焦点から対象物までの距離（前記Ａ）が長くな
る場合があった。この場合、前記関係式の値を一定に保
つためには、Ｘ線源を独立にワークステージの移動方向
に動かして、Ｘ線源の焦点から対象物までの距離（前記
Ａ）を短くして当初の距離関係を保たせるか、又は、Ｘ
線カメラの位置を変化させて、対象物からＸ線カメラの
受光窓までの距離（前記Ｂ）を長くする必要があった。
しかし、Ｘ線源を独立に移動させることは作業性が悪
く、また、Ｘ線源の照射スペースを大きくする必要があ
った。一方、Ｘ線カメラの位置をＸ線源に対して離隔近
接方向に変化させるためには、Ｘ線カメラのＸ線源から
の受光スペースを大きくすると共に、Ｘ線出力を増加さ
せる必要があった（Ｘ線防護能力の増強要）。また、Ｘ
線源の照射スペースや、Ｘ線カメラの受光スペースが大
きくなると、装置寸法が大きくなり、Ｘ線防護装置等を
追加せねばならなくなるという問題があった。

【００１０】第二に、装置の操作を簡略化するという改
良の余地が残されていた。一般に、Ｘ線の粒子密度は、
Ｘ線が進んだ距離の２乗に比例して減少することとな
る。即ち、Ｘ線源からＸ線カメラの受光窓までの距離
（Ａ＋Ｂ）を短くするほど、Ｘ線の密度の減少を抑制で
き、Ｘ線の出力が少なくて済むと共に、Ｘ線源の照射ス
ペースを小さくできる。そのため、Ｘ線源からＸ線カメ
ラの受光窓までの距離（Ａ＋Ｂ）をできるだけ短くする
ことが望まれていた。

【００１１】しかし、前記の通りワークステージとＸ線
源はそれぞれ独立して動くため、Ｘ線源からＸ線カメラ
の受光窓までの距離を短くする作業と共に、ワークステ
ージとＸ線源の双方の調整を行う必要があるため、装置
の操作が複雑になり、作業性が悪かった。そこで、装置
の操作の簡易化を通じて、作業性の向上が望まれてい
た。

【００１２】さらに、第三に、Ｘ線源をワークステージ
上部から認識できるようにするという改良の余地が残さ
れていた。一般に、Ｘ線露光装置に用いられるワークス
テージに要求される機能として、Ｘ線を透過すること、
並びに強度、成形性及び加工性に優れていることが挙げ
られる。そこで、ワークステージは、Ｘ線を透過できか
つ板厚を薄くしてもある程度の強度が得られ、しかも成
形性が良好なカーボンが使用されていた。ところが、カ
ーボンをワークステージに用いると、Ｘ線源をワークス
テージ上部から視認することが困難であった。そのた
め、Ｘ線源をワークステージ上部から視認できるワーク
ステージ材料が求められていた。

【００１３】従って、本発明の第一の課題は、ワーク内
層に配置されたマークをターゲットとして位置合わせで
きるＸ線位置決め装置を提供することにある。本発明の
第二の課題は、Ｘ線源の照射スペースを小さくすると共
に、位置決めに用いるＸ線の出力を少なくし、さらにカ
メラ倍率をあげることにある。本発明の第三の課題は、
前記Ｘ線位置決め装置の操作を容易にすることにある。
本発明の第四の課題は、Ｘ線源をワークステージ上部か
ら視認できるよＸ線位置決め装置を提供することにあ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、本発明は、ワークステージ上に載置される配線パタ
ーンが形成される多層プリント配線板と、透光板に設け
られたマスクとを重ねて配置した後、前記多層プリント
配線板に露光処理を行う際に、前記多層プリント配線板
に設けられたワークマークと、前記マスクに設けられた
マスクマークとを位置合わせするためのＸ線位置決め装
置であって、前記ワークステージ下方側に配置されるＸ
線源と、前記ワークステージ上方側に配置されるＸ線カ
メラと、前記両マークの少なくとも一方を撮像するため
の撮像手段とを備え、前記Ｘ線源と前記ワークステージ
とを接近及び離間方向に連動させることを特徴としたＸ
線位置決め装置にかかるものとして構成した。

【００１５】好ましい態様において、前記Ｘ線源と前記
ワークステージとを一体化して接近及び離間方向に連動
させるために、前記Ｘ線源と前記ワークステージが同一
のユニット内に収められており、また、前記ワークステ
ージと連動する前記Ｘ線源には、水平方向の一方向であ
るｘ方向と、このｘに直行する方向であるｙ方向に移動
する移動機構が備えられているＸ線位置決め装置として
構成した。

【００１６】このような構成とすることにより、Ｘ線源
の焦点から対象物までの距離（Ａ）を一定に保つことが
できるため、ワークステージとＸ線源の双方の移動にと
もなう両者の接触を防止することができると共に、カメ
ラ倍率を一定に保つことができる。

【００１７】さらに、本発明によれば、前記ワークステ
ージは、Ｘ線を透過し、Ｘ線源をワークステージ上部か
ら視認可能な材料、例えば、アクリル系プラスチック材
料から製造されたＸ線位置決め装置として構成してもよ
い。このような構成とすることにより、Ｘ線源の視認が
可能となる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。尚、本発明に係る発明は図面に
記載された装置に限定されることはない。図１（ａ）
（ｂ）は本発明のＸ線位置決め装置を備えたＸ線位置決
め自動露光装置を原理的に示す正面図及び側面図であ
る。図２は本発明のＸ線位置決め装置の正面図（図１
（ａ）の一部拡大正面図）である。図３は本発明のＸ線
位置決め装置の側面図（図１（ｂ）の一部拡大側面図）
である。図４は本発明のＸ線位置決め装置の一部を切り
欠いた状態の平面図である。

【００１９】図１に示すように、本発明のＸ線位置決め
装置１は、Ｘ線位置決め自動露光装置の多層プリント配
線板３０とマスク３２のそれぞれのマークを撮像できる
位置に配置されている。このＸ線位置決め自動露光装置
は、Ｘ線位置決め装置１の他に、多層プリント配線板を
露光する光源としてのショートアークランプ４０と、多
層プリント配線板を搬入及び搬出させるための搬送手段
４１と、光源からの照射光を所定位置に誘導する反射鏡
及びフライアイレンズなどの光学系４２とを主要部とし
て備えている。

【００２０】図１及び図２に示すように、Ｘ線位置決め
装置１は、ワークマークを撮像するための、Ｘ線源１１
及びＸ線カメラ１２とからなるＸ線撮像手段と、透光板
３１に設けられたマスク３２のマスクマークを撮像する
ための、反射ミラー（半透鏡）２１と、照明用光源２２
と、ＣＣＤカメラ２３とからなる可視光用撮像手段とし
てのマスクマーク撮像手段２０とを備えている。

【００２１】そして、多層プリント配線板３０内層に
は、位置決めに用いるためのターゲットとしての、ワー
クマークが備えられている。この多層プリント配線板３
０のワークマークは、積層されるプリント配線板内に埋
設されるため、Ｘ線で透視して確認できるようになって
いるものであれば特に限定されるものではない。また、
ワークステージ１３は、以下に説明する位置決ステージ
ユニット１０の上部に設けられたワークステージ支持部
１８により支持されている。

【００２２】図２に示される、位置決ステージユニット
１０は、筐体側に設けられた昇降駆動機構５４と、この
昇降駆動機構５４により上下動するスライドガイド部１
７と、このスライドガイド部１７に支持されているワー
クステージ支持部１８と、このワークステージ支持部１
８に支持される多層プリント配線板３０が載置されるワ
ークステージ１３と、昇降駆動機構５４の作動によりワ
ークステージ１３と連動して上下動する位置決ステージ
底部１６とからなる。尚、位置決ステージ底部１６に
は、後に説明するＸ線源１１が配置されている。

【００２３】昇降駆動機構５４は、筐体の一方側に駆動
部５５を配置し、筐体の他方部に従動部５７を配置して
いる。この昇降駆動機構５４の駆動部５５は、サーボモ
ータなどの回転数を制御して精密な駆動制御を行えるｚ
軸モータ５０と、このｚ軸モータ５０により回転する回
転軸５６とを有している。また、従動部５７は、上下ガ
イド１５に沿って移動する支持ガイド部５８と、この支
持ガイド部５８の下部と中間部に設けられたユニット支
持部５１を有すると共に、位置決ステージユニット１０
の両側部に、ワークステージ１３の位置を確認するため
の傾斜測定手段である、反射鏡７１と光源７２を有する
オートコリメータ７０が設けられている。

【００２４】スライドガイド部１７は、駆動部５５側に
おいて、その基端を回転軸５６に係合され、また、補強
部１９を介して位置決めステージ底部１６と連結されて
おり、一方、従動部５７側において、その基端を上下ガ
イド１５に係合されている。そして、スライドガイド部
１７の駆動部側及び従動部側の他端では、ワークステー
ジ支持部１８を固定して保持しており、中間位置ではガ
イド部を介してそのワークステージ支持部１８が上下動
する際に垂直軸線に沿って移動できるように構成されて
いる。

【００２５】ワークステージ支持部１８は、中央側に開
口部を備える枠形状に形成されている。そして、このワ
ークステージ支持部１８は、所定位置で多層プリント配
線板３０の周縁となる位置にワーク位置合せ用整合機構
５２が設置されている。

【００２６】図４に示すように、ワーク位置合せ用整合
機構５２は、多層プリント配線板３０の対向する一辺と
他辺に配置される第１整合駆動部５２Ａ及び第１整合従
動部５３Ａと、多層プリント配線板３０の他の対向する
一辺と他辺に配置される第２、第３整合駆動部５２Ｂ、
５２Ｃ及び第２、第３整合従動部５３Ｂ、５３Ｃとを備
えている。尚、ワーク位置合せ用整合機構５２は、第１
乃至第３整合駆動部５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃのそれぞれ
の移動方向を変えることで、θ方向（垂直軸の回りを移
動する方向）について、多層プリント配線板３０を整合
移動させている。

【００２７】ワークステージ１３は、水平方向に移動自
在となるように、図示しない球体などの曲面を介してワ
ークステージ支持部１８により支持されている。また、
ワークステージ１３は、加工性が良好で、Ｘ線源をワー
クステージ上部から視認することができることより、透
明なアクリル樹脂から製造されている。このワークステ
ージ１３表面には多層プリント配線板３０を吸着するた
めの溝などの凹部（図示せず）が設けられている。その
ため、多層プリント配線板３０とマスク３２を、吸引手
段（図示せず）を用いて密着させたときに、多層プリン
ト配線板３０がワークステージ１３表面に保持されやす
くなる。

【００２８】ワークステージ１３は、ワークステージ１
３は、図２に示されるように、前記ワークステージ支持
部１８により支持されている。このワークステージ１３
は、Ｘ線を透過するものであって、強度、成形性及び加
工性に優れた材料から製造されたものであれば特に限定
されるものではない。好ましくは、前記特性の他に、Ｘ
線源の視認可能性を有する材料であって、さらに板厚を
薄くしてもある程度の強度が得られ、しかも、成形性が
良好な材料から製造される。具体的には、ワークステー
ジ１３は、アクリル系プラスチック材料から製造され
る。

【００２９】ここでいう、アクリル系プラスチック材料
とは、アクリル基や、アクリル基から誘導された基を、
その構成単位に有するプラスチック材料である。このア
クリル系プラスチック材料以外にも、露光時の熱に対し
て熱変形が小さな材料であれば、特に限定されるもので
はない。尚、ワークステージ１３は、カーボン材料から
製造してもよい。

【００３０】図１乃至図３に示されるように、透光板３
１は、ワークステージ１３の上方に配置されている。透
光板３１は、図示されていない支持部により、透光板３
１の側部から支持されている。そして、この透光板３１
の表面には、所定のパターンが形成されたマスク３２が
設けられている。このマスク３２の周縁の所定位置に
は、多層プリント配線板３０との位置合わせに用いられ
るマークが備えられている。このマスク３２を備えた透
光板３１は、前記光学系により誘導された照射光を平行
光として照射される位置に配置される。後に説明するよ
うに、ワークステージ１３を上昇させ、多層プリント配
線板３０とマスク３２を密着し、そして、多層プリント
配線板３０とマスク３２の位置が一致していることを確
認した後に、適宜位置に配置されたショートアークラン
プ４０から紫外線を照射することにより、多層プリント
配線板３０上に所定のパターンが形成されることにな
る。

【００３１】次に、Ｘ線撮像手段及び撮像手段につい
て、図２乃至図４を参照しながら説明していく。図２に
示されるように、Ｘ線源１１は、ワークステージ１３の
位置決ステージ底部１６に設けられている。このＸ線源
１１は、照射されたＸ線源が多層プリント配線板３０を
透過し、この多層プリント配線板３０のワークマークの
透過像をＸ線カメラ１２によって、撮像可能に設けてあ
る。そして、Ｘ線源１１の支持部には、Ｘ線源移動機構
（移動機構）１４が設けられている。

【００３２】前記Ｘ線源１１の支持部に設けられたＸ線
源移動機構１４には、図４に示すように、水平方向の一
方向であるｘ方向と、このｘ方向に直行する方向である
Ｙ方向に移動するｘ軸移動機構６１及びｙ軸移動機構６
２、並びにｘ軸ガイド６３及びｙ軸ガイド６４が備えら
れている。そのため、多層プリント配線板３０の大小の
サイズ差や作業内容に応じて、ｘ軸移動機構６１及びｙ
軸移動機構６２を駆動させることにより、ｘ軸ガイド６
３及びｙ軸ガイド６４に沿ってＸ線源１１を移動させる
ことができる。

【００３３】一方、Ｘ線カメラ１２は、図２に示される
ように、ワークステージ１３の上方に所定の間隔をおい
て設けられている支持部材（図示されていない）によ
り、紫外線の露光作業時に移動可能に、Ｘ線カメラ１２
側部から支持されている。Ｘ線カメラ１２が紫外線の露
光作業時に、光照射範囲外に忌避できるように移動可能
に設けられていることにより、ワークの露光に影響を及
ぼすことはない。

【００３４】Ｘ線源１１及びＸ線カメラ１２は、ワーク
マークのＸ線画像を撮像でき、かつ、多層プリント配線
板３０に悪影響を与えるものでなければ特に限定される
ことはない。そのため、Ｘ線源及びＸ線カメラとして商
業的に入手可能な公知の装置を使用することができる。

【００３５】マスクマーク撮像手段２０は、図１乃至図
３に示されるように、Ｘ線カメラ１２の下部に設けられ
ている。マスクマーク撮像手段２０は、Ｘ線源１１及び
Ｘ線カメラ１２の光軸とマスクマークの撮像手段２０の
光軸が一致するように配置されている。このマスクマー
ク撮像手段２０は、Ｘ線を透過し、可視光を反射する反
射ミラー２１を介して、ＣＣＤカメラ２３が、光線の光
軸と直交する位置で、マスクマークを可視光で撮像する
ように配置されている。

【００３６】また、Ｘ線カメラ１２とマスクマーク撮像
手段２０のやや下方に、ＣＣＤカメラ２３の照明用光源
２２が設けられている。この照明用光源２２により、マ
スクマークが鮮明に照明されることになる。この照明用
光源２２は、ワークの露光に影響を及ぼすことのない波
長を有する光源である。また、この照明用光源２２は、
Ｘ線画像の撮像を邪魔することがないように、上面から
見た形状がサークル状の形状をしている。

【００３７】Ｘ線カメラ１２及びＣＣＤカメラ２３を有
するマスクマーク撮像手段２０は、図面には図示されて
いないモニターと画像処理装置が一体となった画像処理
装置に、画像データを入力可能に接続されている。そし
て、Ｘ線カメラ１２で撮像されたワークマークの画像及
びＣＣＤカメラ２３で撮像されたマスクマークの画像
は、前記画像処理装置に送られ、適宜、画像処理を行っ
た後に、それぞれ前記モニターに写し出される。

【００３８】次に、本発明のＸ線位置決め装置１の動作
について説明する。本発明のＸ線位置決め装置１は、前
記のような構成を有するため、前記ｚ軸モータ５０を駆
動させて、位置決ステージユニット１０を上下ガイド１
５に沿って上昇又は降下させると、ワークステージ１３
とＸ線源１１の両者の位置がそれにともなって上昇又は
降下することになる。この場合、位置決ステージユニッ
ト１０は、多層プリント配線板３０の位置決作業が行わ
れる図２に示されるホームポジション（ワークステージ
１３の下死点）から、仮想線で示される透光板３１と密
着する位置（ワークステージ１３の上死点）まで上昇又
は降下することになる。そして、Ｘ線源１１とワークス
テージ１３は、同一のユニットに収めれていることよ
り、Ｘ線源１１とワークステージ１３の上下方向（ｚ軸
方向）の絶対的位置が変化した場合であっても、Ｘ線源
１１とワークステージ１３との間の相対的距離は一定に
保たれる。つまり、ワークステージ１３とＸ線源１１が
接触することはない。

【００３９】次に、本発明のＸ線位置決め装置１を用い
た多層プリント配線板３０の位置決め作業例を説明す
る。まず、多層プリント配線板３０の位置決め作業を始
める前に、所定のパターンが形成されたマスク３２を透
光板３１に設置する。また、Ｘ線源１１の支持部に設け
られたｘ軸移動機構６１及びｙ軸移動機構６２を用い
て、前記マスク３２のマスクマークとＸ線源が対向する
ようにＸ線源１１の位置調整を行う。前記予備調整が終
わった後に、ワークとしての多層プリント配線板３０
は、搬送手段４１により、ワークステージ１３の所定の
位置に置かれる。そして、ｚ軸モータ５０を駆動させる
ことによりワークステージ１３を、図２の仮想線で示さ
れる多層プリント配線板３０とマスク３２が真空密着可
能な位置まで上昇させる。

【００４０】その後、ワークステージ１３と透光板３１
を真空密着した後、Ｘ線を照射してＸ線画像を撮像す
る。本実施態様においては、軟Ｘ線を用いて多層プリン
ト配線板のワークマークのＸ線画像を撮像した。また、
前記Ｘ線画像撮像作業と並行してまたは前後して、ＣＣ
Ｄカメラ２３によりマスクマーク画像を撮像する。

【００４１】次に、前記画像データをモニターと画像処
理装置が一体となった画像処理装置に送り、そして、前
記画像をモニター上に画像を映し出す（図示せず。）。
その後、前記ワークマークと前記マスクマークの位置が
一致していることを確認し、前記マークの両者の位置が
一致している場合は、Ｘ線カメラ１２を移動して紫外線
を照射する。

【００４２】一方、ワークマークとマスクマークの位置
がずれている場合は、多層プリント配線板３０とマスク
３２の真空密着を解放し、位置決ステージユニット１０
を多少下方に降下させた後に、画像処理装置のデータに
基づいて、ワーク位置合せ用整合機構５２を用いて多層
プリント配線板３０の位置調整を行う。そして、ワーク
マークとマスクマークの位置が一致していることが確認
されるまで前記作業を繰り返し、確認されたらＸ線カメ
ラ１２を移動させ、紫外線を照射する。

【００４３】以上、本発明の好適な実施態様について説
明したが、本発明は、前記の実施態様に限定されるもの
ではない。前記の実施態様においては、Ｘ線源とワーク
ステージを同一のユニット内に配置する構成とした。こ
の場合、Ｘ線源に代わってＸ線カメラを、ワークステー
ジが設けられたユニット内に配置してもよい（その場
合、Ｘ線源は、ワークステージ上方に配置される。）。
また、前記の実施態様においては、Ｘ線源とワークステ
ージを連動させるために、両者を同一のユニット内に配
置する構成とした。この場合、Ｘ線源又はＸ線カメラと
ワークステージを連動させるためには、Ｘ線源又はＸ線
カメラに駆動手段を設け、ワークステージの上下動に連
動させてＸ線源又はＸ線カメラの位置を連動させること
もできる。ここで、「連動」には、一方の動きに即に対
応して動くことの他に、多少の時間を置いた後に動く意
味も含まれる。さらに、前記の実施態様においては、ユ
ニットを垂直方向に配置し、そして、ステージを上下に
駆動する構成としたが、前記ユニットを水平方向に配置
し、それに対応させて、ステージを水平方向に駆動する
構成としてもかまわない。

【００４４】ところで、前記の実施態様においては、軟
Ｘ線を用いて、多層プリント配線板のワークマークのＸ
線画像を撮像した。この場合、本発明に用いられるＸ線
の種類は、ワークマークのＸ線画像を撮像でき、かつ、
多層プリント配線板に悪影響を与えるものでなければ特
に限定されることはない。そのため、Ｘ線の種類は、多
層プリント配線板の種類等によって、当業者の知識に基
づいて適宜選択して使用される。

【００４５】

【発明の効果】本発明は、以上のような構成を有してい
るため以下の優れた効果を奏する。（１）プリント配線板の内層に設けられ外部から視認す
ることが難しいワークマークをターゲットとして位置合
わせすることができる。これにより、プリント配線板を
多層化した場合であっても、ワークマークと、マスクマ
ークを、高精度で位置合わせすることができる。（請求
項１乃至請求項３）。（２）Ｘ線源からワークマークまでの距離が一定に保た
れる。そのため、Ｘ線源とワークステージの接触を防止
できる。また、Ｘ線源の照射スペースを小さくすること
ができることに付随して、Ｘ線の出力を低下させること
ができると共に、カメラ倍率をあげることもできる（請
求項１及び請求項３）。（３）Ｘ線源又はＸ線カメラとワークステージは、同一
のユニット内に収められている。そのため、カメラ倍率
を一定に保つための面倒な調整作業が不要となるので、
装置の操作が容易になると共に、装置を簡素化できる
（請求項３）。（４）ワークステージ上部からＸ線源を視認することが
できる。これによりＸ線源のメンテナンスが容易になる
（請求項４）。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）（ｂ）は、本発明のＸ線位置決め装置を
備えたＸ線位置決め自動露光装置を原理的に示す正面図
及び側面図である。

【図２】本発明のＸ線位置決め装置の正面図である。

【図３】本発明のＸ線位置決め装置の側面図である。

【図４】本発明のＸ線位置決め装置の一部を切り欠いた
状態の平面図である。

【図５】Ｘ線源、Ｘ線源の焦点及びＸ線カメラの位置関
係を示す図である。

【符号の説明】

１Ｘ線位置決め装置１０位置決ステージユニット（ユニット）１１Ｘ線源１２Ｘ線カメラ１３ワークステージ１４Ｘ線源移動機構（移動機構）１５上下ガイド１６位置決ステージ底部１７スライドガイド部１８ワークステージ支持部１９補強部２０マスクマーク撮像手段（撮像手段）２１反射ミラー２２照明用光源２３ＣＣＤカメラ３０多層プリント配線板３１透光板３２マスク４０ショートアークランプ４１搬送手段４２光学系５０ｚ軸モータ（駆動手段）５１ユニット支持部５２ワーク位置合せ用整合機構５４昇降駆動機構５５駆動部５６回転軸５７従動部５８支持ガイド部６１ｘ軸移動機構６２ｙ軸移動機構６３ｘ軸ガイド６４ｙ軸ガイド７０オートコリメータ

フロントページの続き (72)発明者青木俊弘東京都調布市調布ヶ丘３丁目34番１号株式会社オーク製作所内 (72)発明者松田政昭東京都調布市調布ヶ丘３丁目34番１号株式会社オーク製作所内Ｆターム(参考） 5E346 AA02 AA04 AA12 AA15 AA29 AA32 CC08 DD32 EE02 EE17 GG01 GG18 GG28 GG31 HH11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークステージ上に載置される配線パタ
ーンが形成される多層プリント配線板と、透光板に設け
られたマスクとを重ねて配置した後、前記多層プリント
配線板に露光処理を行う際に、前記多層プリント配線板
に設けられたワークマークと、前記マスクに設けられた
マスクマークとを位置合わせするためのＸ線位置決め装
置であって、前記ワークステージ下方側に配置されるＸ線源と、前記
ワークステージ上方側に配置されるＸ線カメラと、前記
両マークの少なくとも一方を撮像するための撮像手段と
を備え、前記Ｘ線源と前記ワークステージとを接近及び離間方向
に連動させることを特徴としたＸ線位置決め装置。
【請求項２】前記ワークステージと連動する前記Ｘ線
源は、水平方向の一方向であるｘ方向と、このｘ方向に
直行する方向であるｙ方向に移動する移動機構を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線位置決め装置。
【請求項３】前記Ｘ線源と前記ワークステージとを一
体化して接近及び離間方向に連動させるために、前記Ｘ
線源と前記ワークステージが同一のユニット内に収めら
れていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線
位置決め装置。
【請求項４】前記ワークステージがアクリル系プラス
チック材料からなることを特徴とする請求項１から請求
項３までのいずれか１項に記載のＸ線位置決め装置。