JP2002176161A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002176161A5 JP2002176161A5 JP2001022059A JP2001022059A JP2002176161A5 JP 2002176161 A5 JP2002176161 A5 JP 2002176161A5 JP 2001022059 A JP2001022059 A JP 2001022059A JP 2001022059 A JP2001022059 A JP 2001022059A JP 2002176161 A5 JP2002176161 A5 JP 2002176161A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- semiconductor layer
- region
- optical signal
- channel region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明は固体撮像装置の光信号蓄積方法に係り、その光信号蓄積方法に用いる固体撮像装置の基本構成として、図6及び図7に示すように、受光ダイオード111と受光ダイオード111に隣接する光信号検出用のディプレッション形の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(以下、光信号検出用MOSFET或いは単にMOSFETと称する。または、これらの略称の前にディプレッション形と付す場合もある。)112とを含む単位画素101を有し、単位画素101においては、受光ダイオード111とMOSFET112とは相互に接続したウエル領域(第1導電型の半導体層、又は第1導電型の第1の半導体層及び第1導電型を有する第2の半導体層)15a、15bに形成され、受光ダイオード111の不純物領域17とMOSFET112のドレイン領域17aとが相互に接続され、MOSFET112のチャネル領域下のウエル領域15b内に光発生電荷を蓄積するキャリアポケット25を有していることを特徴としている。
【課題を解決するための手段】
この発明は固体撮像装置の光信号蓄積方法に係り、その光信号蓄積方法に用いる固体撮像装置の基本構成として、図6及び図7に示すように、受光ダイオード111と受光ダイオード111に隣接する光信号検出用のディプレッション形の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(以下、光信号検出用MOSFET或いは単にMOSFETと称する。または、これらの略称の前にディプレッション形と付す場合もある。)112とを含む単位画素101を有し、単位画素101においては、受光ダイオード111とMOSFET112とは相互に接続したウエル領域(第1導電型の半導体層、又は第1導電型の第1の半導体層及び第1導電型を有する第2の半導体層)15a、15bに形成され、受光ダイオード111の不純物領域17とMOSFET112のドレイン領域17aとが相互に接続され、MOSFET112のチャネル領域下のウエル領域15b内に光発生電荷を蓄積するキャリアポケット25を有していることを特徴としている。
【0053】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、受光ダイオードからキャリアポケットに転送され、蓄積された光発生電荷(例えば、正孔)がチャネル領域内の界面準位に捕獲された電荷によって影響を受けないように、少なくとも光発生電荷の転送中はチャネル領域にソース領域と同じ導電型の可動電荷(例えば、電子)を蓄積させている。
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、受光ダイオードからキャリアポケットに転送され、蓄積された光発生電荷(例えば、正孔)がチャネル領域内の界面準位に捕獲された電荷によって影響を受けないように、少なくとも光発生電荷の転送中はチャネル領域にソース領域と同じ導電型の可動電荷(例えば、電子)を蓄積させている。
【0054】
このように、チャネル領域内を電子の蓄積状態で保持させることにより、チャネル領域内の界面準位の電荷発生中心が非活性化状態で保持されて、界面準位からの電荷の放出が防止される。即ちリーク電流が抑制されるため、光発生電荷以外の電荷のキャリアポケットへの蓄積が抑制されて、映像画面において所謂白キズの発生を防止することができる。
このように、チャネル領域内を電子の蓄積状態で保持させることにより、チャネル領域内の界面準位の電荷発生中心が非活性化状態で保持されて、界面準位からの電荷の放出が防止される。即ちリーク電流が抑制されるため、光発生電荷以外の電荷のキャリアポケットへの蓄積が抑制されて、映像画面において所謂白キズの発生を防止することができる。
Claims (10)
- (i)(a)第1導電型の半導体層と、受光ダイオードが埋め込み構造を有するように前記半導体層に形成された第2導電型の不純物領域とを備えた受光ダイオードと、
(b)前記半導体層に形成された第2導電型を有するソース領域と、前記不純物領域と接続して前記半導体層に形成された第2導電型を有するドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域の間の前記半導体層の表層に形成されたチャネル領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域の間の前記半導体層の表層に形成されたチャネル領域と、ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域上に形成されたゲート電極と、前記チャネル領域の下の前記半導体層内に設けられた第1導電型の高濃度埋込層からなるキャリアポケットとを備えた、該受光ダイオードに隣接して設けられた光信号検出用電界効果トランジスタとを有する単位画素を含む固体撮像装置を準備し、
(ii)光照射によって前記受光ダイオードに光発生電荷を発生させ、
(iii)前記ゲート電極に電位を付与し、少なくとも前記チャネル領域に前記第2導電型の可動電荷を蓄積させておいて、前記キャリアポケットに前記光発生電荷を転送し、
(iv)前記ゲート電極に電位を付与し、少なくとも前記チャネル領域に前記第2導電型の可動電荷を蓄積させておいて、前記キャリアポケットに前記光発生電荷を蓄積することを特徴とする固体撮像装置の光信号蓄積方法。 - 前記光信号検出用電界効果トランジスタはディプレッション型であることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
- 少なくとも前記光発生電荷を転送しているとき、及び蓄積しているときに、前記チャネル領域を含むウエル領域の全表層にわたって前記第2導電型の可動電荷を蓄積することを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像装置の光信号蓄積方法。
- 前記光発生電荷を転送し、蓄積する期間の後に、前記光信号検出用電界効果トランジスタに電流を流し、閾値電圧の変化を読み出すことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一に記載の固体撮像装置の光信号蓄積方法。
- (i)(a)第1導電型の第1の半導体層と、前記受光ダイオードが埋め込み構造を有するように前記第1の半導体層に形成された第2導電型の不純物領域とを備えた受光ダイオードと、
(b)前記第1の半導体層に接続された第1導電型を有する第2の半導体層と、前記第2の半導体層に形成された第2導電型を有するソース領域と、前記不純物領域と接続して前記第2の半導体層に形成された第2導電型を有するドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域の間の前記第2の半導体層の表層に形成されたチャネル領域と、該チャネル領域に形成された第2導電型を有するチャネルドープ層と、ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域上に形成されたゲート電極と、前記チャネル領域の下に設けられた第1導電型を有するキャリアポケットとを備えた、該受光ダイオードに隣接する光信号検出用電界効果トランジスタとを有する単位画素を備えた固体撮像装置を準備し、
(ii)光照射によって前記受光ダイオードに光発生電荷を発生させ、
(iii)少なくとも前記チャネル領域が第2導電型の可動電荷により満たされた蓄積状態になるように前記ゲート電極の電位を保持して、前記キャリアポケットに前記光発生電荷を転送し、
(iv)少なくとも前記チャネル領域が第2導電型の可動電荷により満たされた蓄積状態になるように前記ゲート電極の電位を保持して、前記キャリアポケットに前記光発生電荷を蓄積することを特徴とする固体撮像装置の光信号蓄積方法。 - 前記電界効果トランジスタはデプレッション型であることを特徴とする請求項5記載の固体撮像装置。
- 少なくとも前記転送する期間及び前記蓄積する期間に前記チャネル領域を含む第1及び第2の半導体層の全表層にわたって前記第2導電型の可動電荷が蓄積されることを特徴とする請求項5又は6記載の固体撮像装置の光信号蓄積方法。
- 前記光発生電荷が転送されて蓄積される期間の後に、光信号検出用電界効果トランジスタに電流を流し、閾値電圧の変化を読み出すことを特徴とする請求項5乃至7の何れか一に記載の固体撮像装置の光信号蓄積方法。
- さらに複数の画素を行と例に配置し、同じ行に並ぶ相互に接続された電界効果トランジスタのゲート電極と、同じ行に並ぶ相互に接続された電界効果トランジスタのドレイン領域と、同じ列に並ぶ相互に接続された電界効果トランジスタのソース領域とにそれぞれ異なる走査信号を供給することによって、各画素に光信号を蓄積することを特徴とする請求項5乃至8の何れか一に記載の固体撮像装置の光信号蓄積方法。
- 前記同じ行に並ぶゲート電極に接続された、走査信号を供給する垂直走査信号駆動走査回路と、前記同じ行に並ぶドレイン領域に接続された、ドレイン電圧を供給するドレイン電圧駆動走査回路と、前記各列に並ぶソース領域の電圧を記憶し、各ソース領域の電圧に相当する光信号を出力する信号出力回路と、光信号を読み出すタイミングを制御する走査信号を供給する水平走査信号出力走査回路とにより、光信号の蓄積と、該蓄積された光信号の読み出しとを制御することを特徴とする請求項9記載の固体撮像装置の光信号蓄積方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001022059A JP3652608B2 (ja) | 2000-02-22 | 2001-01-30 | 固体撮像装置の光信号の蓄積方法 |
Applications Claiming Priority (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000044886 | 2000-02-22 | ||
JP2000237521 | 2000-08-04 | ||
JP2000246416 | 2000-08-15 | ||
JP2000-237521 | 2000-09-26 | ||
JP2000-292786 | 2000-09-26 | ||
JP2000-246416 | 2000-09-26 | ||
JP2000292786 | 2000-09-26 | ||
JP2000-44886 | 2000-09-26 | ||
JP2001022059A JP3652608B2 (ja) | 2000-02-22 | 2001-01-30 | 固体撮像装置の光信号の蓄積方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002176161A JP2002176161A (ja) | 2002-06-21 |
JP2002176161A5 true JP2002176161A5 (ja) | 2004-11-11 |
JP3652608B2 JP3652608B2 (ja) | 2005-05-25 |
Family
ID=27531420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001022059A Expired - Lifetime JP3652608B2 (ja) | 2000-02-22 | 2001-01-30 | 固体撮像装置の光信号の蓄積方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3652608B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7875916B2 (en) * | 2005-09-28 | 2011-01-25 | Eastman Kodak Company | Photodetector and n-layer structure for improved collection efficiency |
JP4848739B2 (ja) * | 2005-11-01 | 2011-12-28 | ソニー株式会社 | 物理量検出装置および撮像装置 |
-
2001
- 2001-01-30 JP JP2001022059A patent/JP3652608B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8816266B2 (en) | Solid-state imaging device, method for driving solid-state imaging device, and electronic apparatus | |
US8456559B2 (en) | Solid-state imaging apparatus and driving method thereof | |
US8917341B2 (en) | Solid-state image pickup apparatus, driving method for solid-state image pickup apparatus and electronic device | |
US8625010B2 (en) | Solid-state imaging apparatus with each pixel including a photoelectric converter portion and plural holding portions | |
US7187052B2 (en) | Photoelectric conversion apparatus and image pick-up system using the photoelectric conversion apparatus | |
US8981438B2 (en) | Photoelectric conversion apparatus and imaging system using the same | |
JP2011199816A5 (ja) | ||
US10469783B2 (en) | Solid-state image sensor and imaging apparatus | |
US6476371B2 (en) | Solid state imaging device and driving method thereof | |
JPH0340996B2 (ja) | ||
CN100571342C (zh) | 固体摄像装置及其制造方法 | |
US6950134B2 (en) | Method of preventing transfer and storage of non-optically generated charges in solid state imaging device | |
JP2007088305A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ | |
JP2012190951A (ja) | 固体撮像装置およびカメラ | |
JPH0444466B2 (ja) | ||
JPH0447515B2 (ja) | ||
US7071501B2 (en) | Image sensor having integrated single large scale pixel and pixel separation pattern | |
JP2004087963A (ja) | 固体撮像素子、固体撮像装置、および固体撮像素子の駆動方法 | |
JP2002176161A5 (ja) | ||
JP2007201092A (ja) | 固体撮像素子及びその駆動方法 | |
JP2004335882A (ja) | 増幅型固体撮像素子 | |
JP3652608B2 (ja) | 固体撮像装置の光信号の蓄積方法 | |
JP2597582B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2005183921A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2008092254A (ja) | 固体撮像装置及びその駆動方法 |