JP2002175711A - 紫外線ランプシステム用反射器 - Google Patents
紫外線ランプシステム用反射器Info
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- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
Abstract
(57)【要約】
【課題】 広い面積にわたって均一な紫外線放射を効率
的に提供し、かつマイクロ波チャンバの最適な寸法と干
渉することがなく、あるいはプラズマバルブの動作特性
に悪影響を及ぼさないようになされた反射器を提供す
る。 【解決手段】 反射器はプラズマバルブを有する紫外線
その他のランプシステムに用いるものである。反射器は
１つ以上の細長く延在する特徴的形状を有する反射パネ
ルを有し、バルブから放たれた紫外線放射を効果的に反
射し、基板の比較的広い表面にわたって均一な照射をも
たらす。各反射パネルの主要部は式(x/a)( 2+n) + (y/b)
(2+m) = 1により表される特徴的形状を有する。ここ
で、ａおよびｂは定数、ｎおよびｍは約２より小さく０
より大きい指数であり、ｎおよびｍの少なくとも一方は
０より大である。
的に提供し、かつマイクロ波チャンバの最適な寸法と干
渉することがなく、あるいはプラズマバルブの動作特性
に悪影響を及ぼさないようになされた反射器を提供す
る。 【解決手段】 反射器はプラズマバルブを有する紫外線
その他のランプシステムに用いるものである。反射器は
１つ以上の細長く延在する特徴的形状を有する反射パネ
ルを有し、バルブから放たれた紫外線放射を効果的に反
射し、基板の比較的広い表面にわたって均一な照射をも
たらす。各反射パネルの主要部は式(x/a)( 2+n) + (y/b)
(2+m) = 1により表される特徴的形状を有する。ここ
で、ａおよびｂは定数、ｎおよびｍは約２より小さく０
より大きい指数であり、ｎおよびｍの少なくとも一方は
０より大である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は概して紫外線ランプ
システムに関するものであり、特に紫外線ランプシステ
ムにおいて用いられる、システム内に配設されたプラズ
マバルブの発生する紫外線放射を反射する反射器（反射
器）に関するものである。
システムに関するものであり、特に紫外線ランプシステ
ムにおいて用いられる、システム内に配設されたプラズ
マバルブの発生する紫外線放射を反射する反射器（反射
器）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】紫外線ランプシステムは、該システム内
のマイクロ波キャビティ即ちマイクロ波チャンバ内に設
置された紫外線プラズマバルブのごとき無電極ランプに
マイクロ波エネルギーを結合するようになされている。
紫外線熱硬化においては、ランプシステムに１以上のマ
グネトロンを設け、マイクロ波放射をマイクロ波チャン
バ内のプラズマバルブに結合している。マグネトロンは
マイクロ波チャンバに対して、チャンバの上端に連結さ
れた出力ポートを有するウェーブガイドを介して結合さ
れている。プラズマバルブはマイクロ波エネルギーによ
り十分に励起されているとき、マイクロ波チャンバの下
端から、照射対象基板に向けて強い紫外および赤外成分
を有する放射スペクトルを放つ。一般的には紫外線ラン
プシステムはまた、チャンバ下端に設けられた、紫外線
は透過するがマグネトロンにより発生されたマイクロ波
は透過しない金属網を有している。なおここで「上端」
および「下端」とは図面に示されたチャンバの向きに関
連してマイクロ波チャンバの説明を簡単にするために用
いているものであることを理解されたい。当然ながら、
紫外線ランプ加熱硬化の特定の適用例に応じて、マイク
ロ波チャンバの構造と機能を全く改変することなくマイ
クロ波チャンバの向きを変えることができる。
のマイクロ波キャビティ即ちマイクロ波チャンバ内に設
置された紫外線プラズマバルブのごとき無電極ランプに
マイクロ波エネルギーを結合するようになされている。
紫外線熱硬化においては、ランプシステムに１以上のマ
グネトロンを設け、マイクロ波放射をマイクロ波チャン
バ内のプラズマバルブに結合している。マグネトロンは
マイクロ波チャンバに対して、チャンバの上端に連結さ
れた出力ポートを有するウェーブガイドを介して結合さ
れている。プラズマバルブはマイクロ波エネルギーによ
り十分に励起されているとき、マイクロ波チャンバの下
端から、照射対象基板に向けて強い紫外および赤外成分
を有する放射スペクトルを放つ。一般的には紫外線ラン
プシステムはまた、チャンバ下端に設けられた、紫外線
は透過するがマグネトロンにより発生されたマイクロ波
は透過しない金属網を有している。なおここで「上端」
および「下端」とは図面に示されたチャンバの向きに関
連してマイクロ波チャンバの説明を簡単にするために用
いているものであることを理解されたい。当然ながら、
紫外線ランプ加熱硬化の特定の適用例に応じて、マイク
ロ波チャンバの構造と機能を全く改変することなくマイ
クロ波チャンバの向きを変えることができる。
【０００３】プラズマバルブ（plasma bulb即ちプラズ
マ管あるいはプラズマ電球）は、特性スペクトルを有す
る近似的線光源を提供し、その長手方向に沿って外部に
等方的に放射を射出する。しかし放出された放射の大部
分は１回以上の反射を経て基板に到達する。例えば接着
剤、シーラント、インク、塗膜材等の硬化または加熱に
用いられる紫外線ランプシステムは、プラズマバルブが
配置されるマイクロ波チャンバ内に取り付けられるかま
たは該チャンバの一部をなす反射器を含む。反射器は反
射された放射を所定パターンに従って基板に振り向ける
よう機能する光学要素である。
マ管あるいはプラズマ電球）は、特性スペクトルを有す
る近似的線光源を提供し、その長手方向に沿って外部に
等方的に放射を射出する。しかし放出された放射の大部
分は１回以上の反射を経て基板に到達する。例えば接着
剤、シーラント、インク、塗膜材等の硬化または加熱に
用いられる紫外線ランプシステムは、プラズマバルブが
配置されるマイクロ波チャンバ内に取り付けられるかま
たは該チャンバの一部をなす反射器を含む。反射器は反
射された放射を所定パターンに従って基板に振り向ける
よう機能する光学要素である。
【０００４】大部分の紫外線ランプシステムにおいて
は、冷光照明（cold-light illumination）が望まれ
る。冷光照明ではプラズマバルブの放つ放射の赤外成分
をシステム内の吸収フィルタ又は反射フィルタにより除
去しておく。赤外線放射は基板と相互作用し照射面を加
熱する。従ってこのようなシステムの好適な反射器は放
射を波長の関数として選択的に反射しかつ透過する。特
に反射器を、紫外線を優先選択的に基板に導く波長選択
的コーティングを有する被膜光学素子とすることができ
る。波長選択的コーティングは一般的には誘電体材料の
多層薄膜であり、これは当業者にはよく知られた物理蒸
着または化学蒸着などの真空蒸着技術を用いて塗膜され
る。赤外領域の波長を有する放射は反射器によって透過
され、周囲構造に吸収されて熱的に放散される。従って
余計な赤外放射は反射器によって実質的に反射されるこ
とはなく、基板を照明することもない。
は、冷光照明（cold-light illumination）が望まれ
る。冷光照明ではプラズマバルブの放つ放射の赤外成分
をシステム内の吸収フィルタ又は反射フィルタにより除
去しておく。赤外線放射は基板と相互作用し照射面を加
熱する。従ってこのようなシステムの好適な反射器は放
射を波長の関数として選択的に反射しかつ透過する。特
に反射器を、紫外線を優先選択的に基板に導く波長選択
的コーティングを有する被膜光学素子とすることができ
る。波長選択的コーティングは一般的には誘電体材料の
多層薄膜であり、これは当業者にはよく知られた物理蒸
着または化学蒸着などの真空蒸着技術を用いて塗膜され
る。赤外領域の波長を有する放射は反射器によって透過
され、周囲構造に吸収されて熱的に放散される。従って
余計な赤外放射は反射器によって実質的に反射されるこ
とはなく、基板を照明することもない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】反射器の幾何学的形状
は基板を照明する放射のパターンを決定する。反射器は
通例、円錐を平面で切って得られる放物線、楕円、双曲
線、円などの円錐曲線の一部の形状になされる。一般的
には楕円形の反射器が用いられ、該反射器の焦点あるい
はその近傍に置かれた基板に紫外線放射のフォーカスさ
れた即ち収束されたビームを与える。楕円反射器の特性
は、楕円の一つの焦点に位置する光源から放射された光
線は反射器でいちど反射された後他方の焦点を通過す
る、というものである。こうして一方の焦点に沿って軸
方向に置かれたプラズマバルブを有する楕円反射器は、
第２の焦点に置かれた基板に対してフォーカスされた線
状の放射を与えることになる。
は基板を照明する放射のパターンを決定する。反射器は
通例、円錐を平面で切って得られる放物線、楕円、双曲
線、円などの円錐曲線の一部の形状になされる。一般的
には楕円形の反射器が用いられ、該反射器の焦点あるい
はその近傍に置かれた基板に紫外線放射のフォーカスさ
れた即ち収束されたビームを与える。楕円反射器の特性
は、楕円の一つの焦点に位置する光源から放射された光
線は反射器でいちど反射された後他方の焦点を通過す
る、というものである。こうして一方の焦点に沿って軸
方向に置かれたプラズマバルブを有する楕円反射器は、
第２の焦点に置かれた基板に対してフォーカスされた線
状の放射を与えることになる。
【０００６】他方で、紫外線ランプシステムのいくつか
の適用例では、基板の比較的広い面積にわたって一様な
照射または放射密度が要求される。このような適用例に
対しては、双曲線の焦点に置かれた放射源を有する双曲
線反射器が理想的であろう。双曲線反射器のこのような
線光源から発せられた間接放射は無限遠の焦点面に向か
う共心の平行光線束として反射される。しかしながら、
双曲線反射器は双曲線面に割り当てられる数学的記述に
従って相対的に広いので、大抵の場合、双曲線反射器は
大部分のマイクロ波チャンバの利用可能スペースに納め
ることが物理的にできない。
の適用例では、基板の比較的広い面積にわたって一様な
照射または放射密度が要求される。このような適用例に
対しては、双曲線の焦点に置かれた放射源を有する双曲
線反射器が理想的であろう。双曲線反射器のこのような
線光源から発せられた間接放射は無限遠の焦点面に向か
う共心の平行光線束として反射される。しかしながら、
双曲線反射器は双曲線面に割り当てられる数学的記述に
従って相対的に広いので、大抵の場合、双曲線反射器は
大部分のマイクロ波チャンバの利用可能スペースに納め
ることが物理的にできない。
【０００７】過去において、反射器−プラズマバルブ−
基板の光学的配置を調整することにより一様な放射を与
えるように紫外線ランプシステムの設計が試みられてき
た。より小型の反射器を提供するために提案された一つ
の解決策は、楕円反射器の焦点からプラズマバルブを離
すように位置替えすることであった。この構成によって
反射される紫外線放射は少なくとも部分的にデフォーカ
スされはしたが、照射は基板面にわたって十分に均一で
はなかった。更に入射マイクロ波エネルギーとプラズマ
バルブ内のガスの結合が変化し、プラズマバルブの長さ
方向に沿って照射が不均一になる。提案された別の解決
策は、楕円反射器の位置を変えて基板が焦点面あるいは
その近傍に位置しないようにするというものであった。
しかし反射器を位置替えすることによりプラズマバルブ
に与えうる冷却が減少し、それに伴ってプラズマバルブ
の使用寿命が短くなる。
基板の光学的配置を調整することにより一様な放射を与
えるように紫外線ランプシステムの設計が試みられてき
た。より小型の反射器を提供するために提案された一つ
の解決策は、楕円反射器の焦点からプラズマバルブを離
すように位置替えすることであった。この構成によって
反射される紫外線放射は少なくとも部分的にデフォーカ
スされはしたが、照射は基板面にわたって十分に均一で
はなかった。更に入射マイクロ波エネルギーとプラズマ
バルブ内のガスの結合が変化し、プラズマバルブの長さ
方向に沿って照射が不均一になる。提案された別の解決
策は、楕円反射器の位置を変えて基板が焦点面あるいは
その近傍に位置しないようにするというものであった。
しかし反射器を位置替えすることによりプラズマバルブ
に与えうる冷却が減少し、それに伴ってプラズマバルブ
の使用寿命が短くなる。
【０００８】以上の次第で、広い面積にわたって均一な
紫外線放射を効率的に提供し、かつマイクロ波チャンバ
の最適な寸法と干渉することがなく、あるいはプラズマ
バルブの動作特性に悪影響を及ぼさないようになされた
反射器が求められている。
紫外線放射を効率的に提供し、かつマイクロ波チャンバ
の最適な寸法と干渉することがなく、あるいはプラズマ
バルブの動作特性に悪影響を及ぼさないようになされた
反射器が求められている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は現在知られてい
るマイクロ波励起式紫外線ランプシステムの上記および
その他の欠点を解消するものである。後に本発明を或る
実施の形態に関連して説明するが、本発明はそれら実施
形態に限定されるものではない。むしろ本発明は本発明
の概念と範囲の内に含まれるであろうすべての代替的構
成、変形例、均等物を含むものである。
るマイクロ波励起式紫外線ランプシステムの上記および
その他の欠点を解消するものである。後に本発明を或る
実施の形態に関連して説明するが、本発明はそれら実施
形態に限定されるものではない。むしろ本発明は本発明
の概念と範囲の内に含まれるであろうすべての代替的構
成、変形例、均等物を含むものである。
【００１０】本発明による反射器は、紫外線ランプシス
テムのプラズマバルブから離間して設けられるようにな
された長手に延びる１つ以上の反射パネルを有する。こ
の反射器はプラズマバルブの発する電磁放射、特に紫外
線放射を反射し、隣接する基板の表面に上にほぼ均一な
照射をもたらすことができる。各反射パネルの主要部の
湾曲はデカルト座標において、式(x/a)(2+n)+(y/b)
(2+m)=1で表される。ここでａおよびｂは定数であり、
ｎおよびｍはおよそ２より小さく０以上の指数であり、
かつ少なくともｎまたはｍの一方は０より大きい。
テムのプラズマバルブから離間して設けられるようにな
された長手に延びる１つ以上の反射パネルを有する。こ
の反射器はプラズマバルブの発する電磁放射、特に紫外
線放射を反射し、隣接する基板の表面に上にほぼ均一な
照射をもたらすことができる。各反射パネルの主要部の
湾曲はデカルト座標において、式(x/a)(2+n)+(y/b)
(2+m)=1で表される。ここでａおよびｂは定数であり、
ｎおよびｍはおよそ２より小さく０以上の指数であり、
かつ少なくともｎまたはｍの一方は０より大きい。
【００１１】反射器のこの湾曲により、広い面積にわた
って実質的に均一な紫外線放射の照射がもたらされる。
更にその場合でも反射器はマイクロ波チャンバの最適な
寸法と干渉することがなく、またプラズマバルブの動作
特性に悪影響を与えることもない。更にこの反射器はマ
イクロ波チャンバの利用可能スペースに好適に適合す
る。
って実質的に均一な紫外線放射の照射がもたらされる。
更にその場合でも反射器はマイクロ波チャンバの最適な
寸法と干渉することがなく、またプラズマバルブの動作
特性に悪影響を与えることもない。更にこの反射器はマ
イクロ波チャンバの利用可能スペースに好適に適合す
る。
【００１２】以上に説明した本発明の目的および利点は
添付図面とその説明により明らかにされるであろう。
添付図面とその説明により明らかにされるであろう。
【００１３】
【発明の実施の形態】図面を参照すると、本発明の原理
に従ったマイクロ波励起式の紫外線（ＵＶ）ランプシス
テム１０が図示されている。紫外線ランプシステム１０
は、一対のマグネトロン１２として示される一対のマイ
クロ波発生器を有している。該一対のマグネトロン１２
はそれぞれのウェーブガイド１６を介して、長手的に延
在するマイクロ波チャンバ１４に連結されている。各ウ
ェーブガイド１６は、マイクロ波チャンバ１４の上端部
に連結される出口ポート１８を有している。一対のマイ
クロ波発生器１２が発生するマイクロ波エネルギーは、
マイクロ波チャンバ１４に対して、その両側上端部に隣
接して長手方向に離間した位置において結合される。当
該技術において知られているように、密閉された細長く
延在する管状の無電極プラズマバルブ２０が、マイクロ
波チャンバ１４に設置され、且つマイクロ波チャンバ１
４の上面付近に支持されている。図示されていないが、
以下のことを理解されたい。即ちランプシステム１０
は、当業者によく知られた、加圧空気源を含んだキャビ
ネットまたはハウジング内に設置されており、該加圧空
気源は、マイクロ波チャンバー１４内にエアを向けるよ
う動作し、バルブ２０を冷却する。
に従ったマイクロ波励起式の紫外線（ＵＶ）ランプシス
テム１０が図示されている。紫外線ランプシステム１０
は、一対のマグネトロン１２として示される一対のマイ
クロ波発生器を有している。該一対のマグネトロン１２
はそれぞれのウェーブガイド１６を介して、長手的に延
在するマイクロ波チャンバ１４に連結されている。各ウ
ェーブガイド１６は、マイクロ波チャンバ１４の上端部
に連結される出口ポート１８を有している。一対のマイ
クロ波発生器１２が発生するマイクロ波エネルギーは、
マイクロ波チャンバ１４に対して、その両側上端部に隣
接して長手方向に離間した位置において結合される。当
該技術において知られているように、密閉された細長く
延在する管状の無電極プラズマバルブ２０が、マイクロ
波チャンバ１４に設置され、且つマイクロ波チャンバ１
４の上面付近に支持されている。図示されていないが、
以下のことを理解されたい。即ちランプシステム１０
は、当業者によく知られた、加圧空気源を含んだキャビ
ネットまたはハウジング内に設置されており、該加圧空
気源は、マイクロ波チャンバー１４内にエアを向けるよ
う動作し、バルブ２０を冷却する。
【００１４】ランプシステム１０は、マグネトロン１２
からマイクロ波チャンバ１４に結合された電磁波による
プラズマバルブ２０内のガスの十分な励起によって、マ
イクロ波チャンバ１４の底面から、図２中の矢印２４に
よって概略示されるように、紫外線の放射を放つよう設
計や構成がなされる。なおここでは一対のマグネトロン
１２を、図示し説明していくが、ランプシステム１０
は、単一のマグネトロン１２を含んで、プラズマバルブ
２０内の混合ガスを励起させるようにしても、本発明の
思想や範囲から外れることがないことを理解されたい。
プラズマバルブ２０内の混合ガスは、放出される放射の
所定の波長分布を作り出すようにその元素を調整する。
これらの目的のために都合のよい混合ガスは、水銀蒸気
とアルゴンに鉄などの微量元素を加えたものである。バ
ルブ２０内の励起した混合ガスによって出力された電磁
気の放射は、強い紫外線と赤外線の成分を含んでいる。
ここでは、電磁放射（以下、放射と称する）は、約２０
０ｎｍから約１０００ｎｍにわたる波長として定義さ
れ、紫外線放射は、約２００ｎｍから約４００ｎｍにわ
たる波長として定義され、また赤外線放射は、約７５０
ｎｍから約１０００ｎｍにわたる波長として定義され
る。
からマイクロ波チャンバ１４に結合された電磁波による
プラズマバルブ２０内のガスの十分な励起によって、マ
イクロ波チャンバ１４の底面から、図２中の矢印２４に
よって概略示されるように、紫外線の放射を放つよう設
計や構成がなされる。なおここでは一対のマグネトロン
１２を、図示し説明していくが、ランプシステム１０
は、単一のマグネトロン１２を含んで、プラズマバルブ
２０内の混合ガスを励起させるようにしても、本発明の
思想や範囲から外れることがないことを理解されたい。
プラズマバルブ２０内の混合ガスは、放出される放射の
所定の波長分布を作り出すようにその元素を調整する。
これらの目的のために都合のよい混合ガスは、水銀蒸気
とアルゴンに鉄などの微量元素を加えたものである。バ
ルブ２０内の励起した混合ガスによって出力された電磁
気の放射は、強い紫外線と赤外線の成分を含んでいる。
ここでは、電磁放射（以下、放射と称する）は、約２０
０ｎｍから約１０００ｎｍにわたる波長として定義さ
れ、紫外線放射は、約２００ｎｍから約４００ｎｍにわ
たる波長として定義され、また赤外線放射は、約７５０
ｎｍから約１０００ｎｍにわたる波長として定義され
る。
【００１５】ランプシステム１０は、一つのスタータバ
ルブ２６と、一対の変圧器２８を備えている。これら変
圧器２８は、各マグネトロン１２に電気的に接続されて
おり、当業者に知られているようにマグネトロン１２の
フィラメントに電力供給する。マグネトロン１２はウェ
ーブガイド１６の入り口ポート３０に取り付けられてお
り、マグネトロン１２により発生されるマイクロ波はウ
ェーブガイド１６の長手方向に離間した出口ポート１８
を介してチャンバ１４に放出される。好ましくは、２つ
のマグネトロン１２の周波数をわずかに分離し（ずら
し）、ランプシステムの動作中にそれらが相互結合(int
ercoupling)するのを防止する。本発明を限定するもの
ではないが、具体的な例としては、２つのマグネトロン
１２は、それぞれ約２４７０ＭＨzと約２４４５ＭＨzの
周波数で動作することができる。
ルブ２６と、一対の変圧器２８を備えている。これら変
圧器２８は、各マグネトロン１２に電気的に接続されて
おり、当業者に知られているようにマグネトロン１２の
フィラメントに電力供給する。マグネトロン１２はウェ
ーブガイド１６の入り口ポート３０に取り付けられてお
り、マグネトロン１２により発生されるマイクロ波はウ
ェーブガイド１６の長手方向に離間した出口ポート１８
を介してチャンバ１４に放出される。好ましくは、２つ
のマグネトロン１２の周波数をわずかに分離し（ずら
し）、ランプシステムの動作中にそれらが相互結合(int
ercoupling)するのを防止する。本発明を限定するもの
ではないが、具体的な例としては、２つのマグネトロン
１２は、それぞれ約２４７０ＭＨzと約２４４５ＭＨzの
周波数で動作することができる。
【００１６】図１と図２を参照すれば、最もよく解るよ
うに、マイクロ波チャンバ１４は、ほぼ水平な上面３２
と、ほぼ垂直な対向する一対の端壁３４と、端壁３４の
間で長手方向に延び、且つプラズマバルブ２０の両側に
位置するほぼ垂直な対向する一対の側壁３６とを有して
いる。マイクロ波チャンバ１４は、さらに側壁３６から
上面３２に向かって上方に且つ内側に延在する傾いた傾
壁３８を有している。一対の開口４０が、マイクロ波チ
ャンバ１４の上端に設けられている。その開口４０は、
ウェーブガイド１６の出口ポート１８に整列されて（位
置合わせされて）連結される。一対のマグネトロン１２
によって発生された電磁波は、マイクロ波チャンバ１４
に結合され、十分なエネルギーによってバルブ２０内の
混合ガスを励起し、これによりガス原子は多くの紫外線
と赤外線の成分を有した放射のスペクトルを放出する。
もちろん、本発明書の思想や範囲から外れることなくマ
イクロ波チャンバ１４の他の形態も可能である。例え
ば、知られているように、放電によって混合ガスを励起
するための電源に接続された電極をバルブ２０の両端に
内蔵してもよい。
うに、マイクロ波チャンバ１４は、ほぼ水平な上面３２
と、ほぼ垂直な対向する一対の端壁３４と、端壁３４の
間で長手方向に延び、且つプラズマバルブ２０の両側に
位置するほぼ垂直な対向する一対の側壁３６とを有して
いる。マイクロ波チャンバ１４は、さらに側壁３６から
上面３２に向かって上方に且つ内側に延在する傾いた傾
壁３８を有している。一対の開口４０が、マイクロ波チ
ャンバ１４の上端に設けられている。その開口４０は、
ウェーブガイド１６の出口ポート１８に整列されて（位
置合わせされて）連結される。一対のマグネトロン１２
によって発生された電磁波は、マイクロ波チャンバ１４
に結合され、十分なエネルギーによってバルブ２０内の
混合ガスを励起し、これによりガス原子は多くの紫外線
と赤外線の成分を有した放射のスペクトルを放出する。
もちろん、本発明書の思想や範囲から外れることなくマ
イクロ波チャンバ１４の他の形態も可能である。例え
ば、知られているように、放電によって混合ガスを励起
するための電源に接続された電極をバルブ２０の両端に
内蔵してもよい。
【００１７】本発明の原理に従って、長手方向に延在す
る反射器４２がマイクロ波チャンバ４２内に設置されて
いる。この反射器は図２に矢印２１によって図式的に示
されているプラズマバルブ２０から発する放射のスペク
トルから、紫外線放射を優先選択的に反射してマイクロ
波チャンバ１４の底面の下方に位置する基板（不図示）
に向ける。メッシュ（網目）スクリーン４４が、マイク
ロ波チャンバ１４の底面に取り付けられている。メッシ
ュスクリーン４４は紫外線放射２４は透過するが、一対
のマグネトロン１２によって発生されたマイクロ波は閉
じこめる。網目スクリーン４４は、高い導電性の金属、
好ましくはタングステンからなり、且つ入射紫外線放射
に対する高い透過率（好ましくは９０％以上）を有して
いる。
る反射器４２がマイクロ波チャンバ４２内に設置されて
いる。この反射器は図２に矢印２１によって図式的に示
されているプラズマバルブ２０から発する放射のスペク
トルから、紫外線放射を優先選択的に反射してマイクロ
波チャンバ１４の底面の下方に位置する基板（不図示）
に向ける。メッシュ（網目）スクリーン４４が、マイク
ロ波チャンバ１４の底面に取り付けられている。メッシ
ュスクリーン４４は紫外線放射２４は透過するが、一対
のマグネトロン１２によって発生されたマイクロ波は閉
じこめる。網目スクリーン４４は、高い導電性の金属、
好ましくはタングステンからなり、且つ入射紫外線放射
に対する高い透過率（好ましくは９０％以上）を有して
いる。
【００１８】図１および図２に示すように、反射器４２
はマイクロ波チャンバ１４内に取り付けられた一対の長
手方向に延在する反射パネル４６を含んでいる。反射パ
ネルはそれぞれ対向して向き合いかつプラズマバルブ２
０から離間した内側凹面４３を有している。本発明書の
思想や範囲から外れることなく、反射器４２は、マイク
ロ波チャンバ内に延在しバルブ２０から離間したワンピ
ースの一体型パネル４６または２枚以上からなるパネル
４６のどちらでもよいことはあきらかである。
はマイクロ波チャンバ１４内に取り付けられた一対の長
手方向に延在する反射パネル４６を含んでいる。反射パ
ネルはそれぞれ対向して向き合いかつプラズマバルブ２
０から離間した内側凹面４３を有している。本発明書の
思想や範囲から外れることなく、反射器４２は、マイク
ロ波チャンバ内に延在しバルブ２０から離間したワンピ
ースの一体型パネル４６または２枚以上からなるパネル
４６のどちらでもよいことはあきらかである。
【００１９】おのおのの内側面は、光学的に平坦な表面
仕上げを有することが望ましく、おのおのの反射パネル
４６は、ＰＹＲＥＸ（登録商標）のような放射透過性の
物質の層で構成されることが望ましい。適度な反射と温
度の特性を有している他の物質（金属など）は、マイク
ロ波チャンバ１４の一部に用いられ放射伝達が要求され
ない特定の用途に際して付随的に使用されるであろう。
仕上げを有することが望ましく、おのおのの反射パネル
４６は、ＰＹＲＥＸ（登録商標）のような放射透過性の
物質の層で構成されることが望ましい。適度な反射と温
度の特性を有している他の物質（金属など）は、マイク
ロ波チャンバ１４の一部に用いられ放射伝達が要求され
ない特定の用途に際して付随的に使用されるであろう。
【００２０】紫外線ランプシステム１０を使用するため
に、反射器４２は、プラズマバルブ２０によって放射さ
れる放射２１の特定の波長を少なくとも部分的に透過、
反射もしくは吸収するように機能することができる。特
に反射器は、図２の矢印２２によって図式的に示される
ように、赤外線を好適に透過し、且つ入射する放射２１
内の紫外線放射２４は、反射する。従来知られているよ
うに、このような結果をもたらすためのよく知られてい
る方法は、ダイクロイックコーティング（不図示）によ
って、おのおのの反射パネル４６の内側面４３をコート
することである。このダイクロイックコーティングは、
通常屈折率の高低が交互にくる多様な誘電体の材料から
なる周期的多層フィルムから構成される。このコーティ
ングが非金属であるゆえに、一対のマグネトロン１２か
ら下方に向かって反射器４２の裏面に入射するマイクロ
波放射は、調節された層とほとんど干渉することなく、
即ちほとんど吸収されることなく容易に透過され、バル
ブ２０内の混合ガスをイオン化する。典型的なコーティ
ングは「Balzers #UNS200-S 多層性コーティング」であ
り、これは波長220nm-440nmの入射放射に対して反射性
が高い。
に、反射器４２は、プラズマバルブ２０によって放射さ
れる放射２１の特定の波長を少なくとも部分的に透過、
反射もしくは吸収するように機能することができる。特
に反射器は、図２の矢印２２によって図式的に示される
ように、赤外線を好適に透過し、且つ入射する放射２１
内の紫外線放射２４は、反射する。従来知られているよ
うに、このような結果をもたらすためのよく知られてい
る方法は、ダイクロイックコーティング（不図示）によ
って、おのおのの反射パネル４６の内側面４３をコート
することである。このダイクロイックコーティングは、
通常屈折率の高低が交互にくる多様な誘電体の材料から
なる周期的多層フィルムから構成される。このコーティ
ングが非金属であるゆえに、一対のマグネトロン１２か
ら下方に向かって反射器４２の裏面に入射するマイクロ
波放射は、調節された層とほとんど干渉することなく、
即ちほとんど吸収されることなく容易に透過され、バル
ブ２０内の混合ガスをイオン化する。典型的なコーティ
ングは「Balzers #UNS200-S 多層性コーティング」であ
り、これは波長220nm-440nmの入射放射に対して反射性
が高い。
【００２１】図２に示すように、赤外線放射２２は、反
射器４２を介して透過され、且つマイクロ波チャンバ１
４の周囲に導かれる。チャンバ壁３２、３４、３６、３
８は、赤外線放射２２を吸収したり、放散したりする。
その結果、基板（不図示）は反射器４２から反射される
望ましくない間接赤外線放射２２によってさらされるこ
とがない。あるいは代替的には、反射器４２は、赤外線
放射２２を吸収するようにしてもよい。対照的に、紫外
線放射２４は、反射器４２によってよく反射され、マイ
クロチャンバ１４の底面より下の網目スクリーン４４を
越えて所定の距離に配置された基板に向けられる。
射器４２を介して透過され、且つマイクロ波チャンバ１
４の周囲に導かれる。チャンバ壁３２、３４、３６、３
８は、赤外線放射２２を吸収したり、放散したりする。
その結果、基板（不図示）は反射器４２から反射される
望ましくない間接赤外線放射２２によってさらされるこ
とがない。あるいは代替的には、反射器４２は、赤外線
放射２２を吸収するようにしてもよい。対照的に、紫外
線放射２４は、反射器４２によってよく反射され、マイ
クロチャンバ１４の底面より下の網目スクリーン４４を
越えて所定の距離に配置された基板に向けられる。
【００２２】一対の反射パネル４６は、一対の長手方向
に離間したリテーナ４８（その内の一方のみが図２に示
されている）によってマイクロ波チャンバ１４内に取り
付けられている。各反射パネル４６は最下端部５３を有
しており、該最下端部５３は各チャンバ側壁３６から内
側に延びる概して水平の内向きフランジ５０上に支持さ
れている。長手方向に延在する中間部材５２がリテーナ
４８内に形成された一対のスロット５４（図２）によっ
てマイクロ波チャンバ内に取り付けられている。中間部
材５２は反射パネル４６の各頂点５５から離間して、か
つプラズマバルブ２０から離間して位置しており、バル
ブを冷却するのに十分な空気の循環を可能にする。この
中間部材５２はＰＹＲＥＸ（登録商標）などのガラス製
としてよく、またコーティングせずにバルブ２０から放
出される紫外線放射２４に対して非反射性としてよい。
に離間したリテーナ４８（その内の一方のみが図２に示
されている）によってマイクロ波チャンバ１４内に取り
付けられている。各反射パネル４６は最下端部５３を有
しており、該最下端部５３は各チャンバ側壁３６から内
側に延びる概して水平の内向きフランジ５０上に支持さ
れている。長手方向に延在する中間部材５２がリテーナ
４８内に形成された一対のスロット５４（図２）によっ
てマイクロ波チャンバ内に取り付けられている。中間部
材５２は反射パネル４６の各頂点５５から離間して、か
つプラズマバルブ２０から離間して位置しており、バル
ブを冷却するのに十分な空気の循環を可能にする。この
中間部材５２はＰＹＲＥＸ（登録商標）などのガラス製
としてよく、またコーティングせずにバルブ２０から放
出される紫外線放射２４に対して非反射性としてよい。
【００２３】本発明の一つの態様によれば、各反射パネ
ル４６の内面４３は非２次の（non-quadratic）数学的
関係式で定義される湾曲を有する非球面ミラーの一部を
表している。説明のために図２に直交２次元デカルト座
標系を定義しており、ここでは原点５８をとり、パネル
の内面４３に垂直な平面内の各点を該原点５８に対する
座標（ｘ，ｙ）で表している。各パネル４６はそれぞれ
の頂部５６で切頭されており、かつその最下端５３は式
ｙ＝０で定義される平面から所定距離５９だけ持ち上げ
られている。このデカルト座標系では各反射パネル４６
の内面４３の湾曲は数学的関係式(x/a)(2+n)+(y/b)
(2+m)=1で表される。なおここでｂは曲線の半短径であ
りａは半長径である。
ル４６の内面４３は非２次の（non-quadratic）数学的
関係式で定義される湾曲を有する非球面ミラーの一部を
表している。説明のために図２に直交２次元デカルト座
標系を定義しており、ここでは原点５８をとり、パネル
の内面４３に垂直な平面内の各点を該原点５８に対する
座標（ｘ，ｙ）で表している。各パネル４６はそれぞれ
の頂部５６で切頭されており、かつその最下端５３は式
ｙ＝０で定義される平面から所定距離５９だけ持ち上げ
られている。このデカルト座標系では各反射パネル４６
の内面４３の湾曲は数学的関係式(x/a)(2+n)+(y/b)
(2+m)=1で表される。なおここでｂは曲線の半短径であ
りａは半長径である。
【００２４】反射器４２の示す回転面を作り出すため
に、指数ｎおよびｍをそれぞれ０．８に設定した。しか
し指数ｎおよびｍの値はこれには限定されず、約２より
小さく０以上であってかつｎおよびｍの少なくとも一方
は０より大となるような値とすることができる。好適に
は指数ｎおよびｍの値を約０．７〜０．８の範囲に設定
する。ｎ＝０かつｍ＝０であれば、数学的関係式は通常
の楕円となり、各パネル４６は楕円柱の一部をなす形状
となる。いずれのパネル４６もマイクロ波チャンバの範
囲内でｘ方向あるいはｙ方向にずらすことができ、それ
によって各内面４３はプラズマバルブ２０の周囲でもは
や配置の対称性を失うが、このようなものも本発明の思
想の範囲内に含まれるものであることを理解されたい。
に、指数ｎおよびｍをそれぞれ０．８に設定した。しか
し指数ｎおよびｍの値はこれには限定されず、約２より
小さく０以上であってかつｎおよびｍの少なくとも一方
は０より大となるような値とすることができる。好適に
は指数ｎおよびｍの値を約０．７〜０．８の範囲に設定
する。ｎ＝０かつｍ＝０であれば、数学的関係式は通常
の楕円となり、各パネル４６は楕円柱の一部をなす形状
となる。いずれのパネル４６もマイクロ波チャンバの範
囲内でｘ方向あるいはｙ方向にずらすことができ、それ
によって各内面４３はプラズマバルブ２０の周囲でもは
や配置の対称性を失うが、このようなものも本発明の思
想の範囲内に含まれるものであることを理解されたい。
【００２５】上記式で定義される湾曲面が長手方向に延
在して反射器４２を形成する。プラズマバルブ２０の軸
は反射器４２の焦点あるいはその近傍に位置決めされ、
プラズマバルブ２０から放出される紫外線放射２４は反
射器４２によってほとんどホモセントリックな平行光線
として下方に反射され、メッシュスクリーン４４を介し
て基板（不図示）に向けられる。数学的に表現された内
面４３の湾曲により、比較的均一な照射あるいは放射光
束密度を有する紫外線放射２４が基板の比較的大きな表
面領域にわたってもたらされる。またこの均一な照射は
マイクロ波チャンバの最適な寸法と干渉することなく達
成される。
在して反射器４２を形成する。プラズマバルブ２０の軸
は反射器４２の焦点あるいはその近傍に位置決めされ、
プラズマバルブ２０から放出される紫外線放射２４は反
射器４２によってほとんどホモセントリックな平行光線
として下方に反射され、メッシュスクリーン４４を介し
て基板（不図示）に向けられる。数学的に表現された内
面４３の湾曲により、比較的均一な照射あるいは放射光
束密度を有する紫外線放射２４が基板の比較的大きな表
面領域にわたってもたらされる。またこの均一な照射は
マイクロ波チャンバの最適な寸法と干渉することなく達
成される。
【００２６】本発明を限定するものではないが、例とし
て示すと、反射器４２の好適な実施例は切頭された頂部
５６までのｙ方向寸法が７５．２９ｍｍ（2.964イン
チ）であり、最下端部５３までのｘ方向寸法が３９．９
８ｍｍ（1.574インチ）である。なおこれらは原点５８
から各パネル４６の内側凹面４３までを計測したもので
ある。また、この好適な実施例の反射器４２のランプの
軸に平行な長手方向寸法は２５１．００ｍｍ（9.882イ
ンチ）であり、その公称厚さは３．１７５ｍｍ（0.125
インチ）である。更に、この好適な実施例の各パネル４
６の持ち上がり距離５９は６．２５ｍｍ（0.246イン
チ）であり、パネル４６の頂部５６は１７．９８ｍｍ
（0.708インチ）の横方向隙間によって隔てられてい
る。
て示すと、反射器４２の好適な実施例は切頭された頂部
５６までのｙ方向寸法が７５．２９ｍｍ（2.964イン
チ）であり、最下端部５３までのｘ方向寸法が３９．９
８ｍｍ（1.574インチ）である。なおこれらは原点５８
から各パネル４６の内側凹面４３までを計測したもので
ある。また、この好適な実施例の反射器４２のランプの
軸に平行な長手方向寸法は２５１．００ｍｍ（9.882イ
ンチ）であり、その公称厚さは３．１７５ｍｍ（0.125
インチ）である。更に、この好適な実施例の各パネル４
６の持ち上がり距離５９は６．２５ｍｍ（0.246イン
チ）であり、パネル４６の頂部５６は１７．９８ｍｍ
（0.708インチ）の横方向隙間によって隔てられてい
る。
【００２７】図１および図２と同じ参照符号を用いて、
本発明の原理による反射器６２の別の実施例を図３に示
す。反射器６２は一対の長く延びる反射パネル６４を有
している。これら反射パネルはマイクロ波チャンバ１４
内に各内側凹面６６が互いに対向し対面するように、か
つプラズマバルブ２０から離間するように取り付けられ
ている。各反射パネル６４は上に反射パネル４６に関連
して説明した数学的関係式によって表現される好適な湾
曲内側表面６６を有している。反射器６２を形成する指
数ｎおよびｍはそれぞれ０．７とした。一対の反射パネ
ル６４はリテーナ６８によりマイクロ波チャンバ１４内
に取り付けられており、かつ各反射パネル６４の最下端
部７０は、概して水平で各チャンバ側壁３６から内側に
延在するフランジ５０上に支持されている。各パネル６
４はそれぞれの頂部７２で切頭されており、またその最
下端部７０はｘ＝０で定義される平面から上方に所定距
離７４だけ持ち上げられている。
本発明の原理による反射器６２の別の実施例を図３に示
す。反射器６２は一対の長く延びる反射パネル６４を有
している。これら反射パネルはマイクロ波チャンバ１４
内に各内側凹面６６が互いに対向し対面するように、か
つプラズマバルブ２０から離間するように取り付けられ
ている。各反射パネル６４は上に反射パネル４６に関連
して説明した数学的関係式によって表現される好適な湾
曲内側表面６６を有している。反射器６２を形成する指
数ｎおよびｍはそれぞれ０．７とした。一対の反射パネ
ル６４はリテーナ６８によりマイクロ波チャンバ１４内
に取り付けられており、かつ各反射パネル６４の最下端
部７０は、概して水平で各チャンバ側壁３６から内側に
延在するフランジ５０上に支持されている。各パネル６
４はそれぞれの頂部７２で切頭されており、またその最
下端部７０はｘ＝０で定義される平面から上方に所定距
離７４だけ持ち上げられている。
【００２８】反射器６２は反射器４２（図１および図
２）に関連して説明したものと同様に動作するものであ
り、比較的均一な紫外線放射の照射を基板の比較的広い
表面領域に与え、その際マイクロ波チャンバの最適寸法
と干渉することがない。
２）に関連して説明したものと同様に動作するものであ
り、比較的均一な紫外線放射の照射を基板の比較的広い
表面領域に与え、その際マイクロ波チャンバの最適寸法
と干渉することがない。
【００２９】本発明を限定するものではないが、例とし
て示すと、反射器６２の好適な実施例は切頭された頂部
７２までのｙ方向寸法が７５．５９ｍｍ（2.976イン
チ）であり、最下端部７０までのｘ方向寸法が５０．０
１ｍｍ（1.969インチ）である。なおこれらは原点５８
から各パネル６４の内側凹面６６までを計測したもので
ある。また、この好適な実施例の反射器６２のランプの
軸に平行な長手方向寸法は１４６．９９ｍｍ（5.787イ
ンチ）であり、その公称厚さは３．１７５ｍｍ（0.125
インチ）である。更に、この好適な実施例の各パネル６
４の持ち上がり距離７４は６．３５ｍｍ（0.250イン
チ）であり、パネル６４の頂部７２は１１．９９ｍｍ
（0.472インチ）の横方向隙間によって隔てられてい
る。
て示すと、反射器６２の好適な実施例は切頭された頂部
７２までのｙ方向寸法が７５．５９ｍｍ（2.976イン
チ）であり、最下端部７０までのｘ方向寸法が５０．０
１ｍｍ（1.969インチ）である。なおこれらは原点５８
から各パネル６４の内側凹面６６までを計測したもので
ある。また、この好適な実施例の反射器６２のランプの
軸に平行な長手方向寸法は１４６．９９ｍｍ（5.787イ
ンチ）であり、その公称厚さは３．１７５ｍｍ（0.125
インチ）である。更に、この好適な実施例の各パネル６
４の持ち上がり距離７４は６．３５ｍｍ（0.250イン
チ）であり、パネル６４の頂部７２は１１．９９ｍｍ
（0.472インチ）の横方向隙間によって隔てられてい
る。
【００３０】以上本発明を様々な実施形態により細部に
わたって説明してきたが、特許請求の範囲に記載した本
発明の範囲をこれらの細部によって限定しようと意図す
るものではない。その他の利点および変形例は当業者に
は容易に理解されるだろう。たとえば、本発明は反射器
の焦点又はその付近に位置する放射源を有する任意の光
反射システムにおいて基板その他の目標物の比較的広い
表面にわたって比較的均一な照射をおこなうために用い
ることができる。したがって本発明を広くとらえれば、
図示されかつ上に説明された特定の細部、代表的な装置
および方法、そして例示のための実施例などに限定され
るものではない。従って本発明の概括的思想の範囲を逸
脱することなく、上記の細部からの変更を行うことがで
きる。
わたって説明してきたが、特許請求の範囲に記載した本
発明の範囲をこれらの細部によって限定しようと意図す
るものではない。その他の利点および変形例は当業者に
は容易に理解されるだろう。たとえば、本発明は反射器
の焦点又はその付近に位置する放射源を有する任意の光
反射システムにおいて基板その他の目標物の比較的広い
表面にわたって比較的均一な照射をおこなうために用い
ることができる。したがって本発明を広くとらえれば、
図示されかつ上に説明された特定の細部、代表的な装置
および方法、そして例示のための実施例などに限定され
るものではない。従って本発明の概括的思想の範囲を逸
脱することなく、上記の細部からの変更を行うことがで
きる。
【図１】本発明の原理による紫外線ランプシステムの斜
視図である。
視図である。
【図２】図１の紫外線ランプシステムの線２−２に沿っ
た断面図であり、図１のランプシステムに用いる２つの
パネルを有する反射器の位置実施形態を示す図である。
た断面図であり、図１のランプシステムに用いる２つの
パネルを有する反射器の位置実施形態を示す図である。
【図３】図１のランプ紫外線システムに用いる、本発明
による２つのパネルを有する反射器の別の実施例を示す
断面図である。
による２つのパネルを有する反射器の別の実施例を示す
断面図である。
１０………紫外線ランプシステム １２………マグネトロン １４………マイクロ波チャンバ １６………ウェーブガイド １８………出口ポート ２０………プラズマバルブ ２１………矢印 ２２………矢印 ２４………紫外線放射 ２６………スタータバルブ ２８………変圧器 ３２………上面 ３４………端壁 ３６………側壁 ３８………傾壁 ４０………開口 ４２………反射器 ４３………内側凹面 ４４………メッシュスクリーン ４６………反射器パネル ５０………フランジ ５３………最下端 ５６………頂部 ５８………原点 ５９………所定距離 ５９………持ち上がり距離 ６２………反射器 ６４………反射器パネル ６６………内側凹面 ６８………リテーナ ７０………最下端部 ７２………頂部 ７４………所定距離 ７４………持ち上がり距離
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 5/26 Ｆ２１Ｙ 103:00 Ｇ２１Ｋ 5/00 Ｆ２１Ｖ 7/12 Ｅ // Ｆ２１Ｙ 103:00 Ｆ２１Ｓ 1/00 Ｍ (72)発明者 ジェームズ ダブリュ．シュミットコンズ アメリカ合衆国 44053 オハイオ，ロー レイン，ミドル リッジ ロード 43530 Ｆターム(参考） 2H042 DD06 DE04 2H048 FA01 FA09 FA16 FA18 FA24 4G075 AA30 BA04 CA26 CA33 CA47 DA02 EB01 EB33 EB43 FC04
Claims (16)
- 【請求項１】 細長く延びるバルブを有するランプシス
テムに用いられる反射器であって、該反射器は細長く延
びるバルブから離間して設置されるようになされてお
り、該反射器の主要部分の湾曲はデカルト座標系におい
て以下の式により表されることを特徴とする反射器： (x/a)(2+n) + (y/b)(2+m) = 1 ここで、ａおよびｂは定数、ｎおよびｍは約２より小さ
く０より大きい指数であり、ｎおよびｍの少なくとも一
方は０より大である。 - 【請求項２】 前記反射器は少なくとも２つの長手に延
在する反射パネルを有することを特徴とする請求項１記
載の反射器。 - 【請求項３】 前記反射器は、バルブから離間して取り
付けられるようになされた第１の長手に延在する反射パ
ネルと、 バルブから離間すると共に前記第１の反射パネルと対向
して取り付けられるようになされた第２の長手に延在す
る反射パネルと、を有することを特徴とする請求項１記
載の反射器。 - 【請求項４】 前記指数ｎおよびｍは等しいことを特徴
とする請求項１記載の反射器。 - 【請求項５】 前記反射器は波長範囲約200nm〜400nmの
紫外波長を有する電磁放射を反射可能であることを特徴
とする請求項１記載の反射器。 - 【請求項６】 前記反射器は波長約750nm以上の赤外波
長を有する電磁放射を少なくとも部分的に透過または吸
収可能であることを特徴とする請求項５記載の反射器。 - 【請求項７】 前記反射器の表面は紫外波長を有する電
磁放射を反射可能であり、赤外波長を有する電磁放射を
少なくとも部分的に透過または吸収可能であるダイクロ
イックコーティングを施されていることを特徴とする請
求項１記載の反射器。 - 【請求項８】 紫外線放射を発生する装置であって、 細長く延びるマイクロ波チャンバと、 前記マイクロ波チャンバ内に設置された細長く延びるバ
ルブと、 前記マイクロ波チャンバに結合され、前記チャンバ内に
マイクロ波エネルギー場を発生可能であり、前記バルブ
を励起して電磁放射を放出させる少なくとも一つのマイ
クロ波発生器と、 細長く延びるバルブから離間して設置されるようになさ
れた反射器と、を有し、該反射器の主要部分の湾曲はデ
カルト座標系において以下の式により表されることを特
徴とする装置： (x/a)(2+n) + (y/b)(2+m) = 1 ここで、ａおよびｂは定数、ｎおよびｍは約２より小さ
く０より大きい指数であり、ｎおよびｍの少なくとも一
方は０より大である。 - 【請求項９】 前記反射器は少なくとも２つの長手に延
在する反射パネルを有することを特徴とする請求項８記
載の装置。 - 【請求項１０】 前記反射器は、 バルブから離間して取り付けられるようになされた第１
の長手に延在する反射パネルと、 バルブから離間すると共に前記第１の反射パネルと対向
して取り付けられるようになされた第２の長手に延在す
る反射パネルと、を有することを特徴とする請求項８記
載の装置。 - 【請求項１１】 前記指数ｎおよびｍは等しいことを特
徴とする請求項８記載の装置。 - 【請求項１２】 前記反射器は波長範囲約200nm〜400nm
の紫外波長を有する電磁放射を反射可能であることを特
徴とする請求項８記載の反射器。 - 【請求項１３】 前記反射器は波長約750nm以上の赤外
波長を有する電磁放射を少なくとも部分的に透過または
吸収可能であることを特徴とする請求項１２記載の反射
器。 - 【請求項１４】 前記反射器の表面は紫外波長を有する
電磁放射を反射可能であり、赤外波長を有する電磁放射
を少なくとも部分的に透過または吸収可能であるダイク
ロイックコーティングを施されていることを特徴とする
請求項８記載の反射器。 - 【請求項１５】 ターゲットの比較的大きな表面領域に
わたってほぼ均一な放射を発生する装置であって、 長手軸を有するバルブと、 前記バルブに作動的に結合され、該バルブを励起して電
磁放射を放出させるパワー供給源と、 長手方向に延びるバルブから離間して設置された反射器
と、を有し、該反射器の主要部分の湾曲はデカルト座標
系において以下の式により表されることを特徴とする装
置： (x/a)(2+n) + (y/b)(2+m) = 1 ここで、ａおよびｂは定数、ｎおよびｍは約２より小さ
く０より大きい指数であり、ｎおよびｍの少なくとも一
方は０より大である。 - 【請求項１６】 前記指数ｎおよびｍは等しいことを特
徴とする請求項15記載の装置。
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