JP2002174659A - Icテストシステム - Google Patents

Icテストシステム

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JP2002174659A
JP2002174659A JP2000372001A JP2000372001A JP2002174659A JP 2002174659 A JP2002174659 A JP 2002174659A JP 2000372001 A JP2000372001 A JP 2000372001A JP 2000372001 A JP2000372001 A JP 2000372001A JP 2002174659 A JP2002174659 A JP 2002174659A
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measuring
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Daijiro Ito
大次郎 伊藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 共用のデータに従ってIC移載装置とIC測
定装置が動作するようにし、測定前のデータの準備が簡
単で、読み込み操作が容易なICテストシステムを提供
する。 【解決手段】 IC移載装置1用の動作設定データD1
に、IC測定装置2用の動作設定データD2を追加し、
又はIC測定装置2用の動作設定データD2に、IC移
載装置1用の動作設定データD1を追加することによ
り、IC移載装置1とIC測定装置2に共用の品種設定
データDを準備して登録し、登録した品種設定データD
を読み込み、読み込んだ品種設定データDに従って動作
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はICテストシステ
ム、特にIC測定装置とIC移載装置とキャリア搬送装
置を備えたICテストシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、ICテストシステムは、図8に
示すようにIC移載装置21とIC測定装置22にキャ
リア搬送装置23を組み込むことにより1組のシステム
として構築されている。
【0003】このうち、IC移載装置21とIC測定装
置22は、それぞれ単体で使用することもできる。
【0004】IC移載装置1は、供給部21Aと収容部
21Bと収容バッファ部21Cと収納容器21D及び2
1Eにより構成され、IC測定装置2は、測定部22A
と供給バッファ部22Bと収容バッファ部22Cとプレ
ヒート部22Dにより構成されている。
【0005】そして、1台のIC移載装置21に対し
て、IC測定装置22は、図示するように複数台設ける
ことができる。
【0006】また、IC測定装置22では、前記測定部
22A〜プレヒート部22Dが2つの領域に設けられて
おり、1台のIC測定装置22に対して、2台のICテ
スタ(図示省略)をテストステーション(図示省略)を
介して接続させることができる。
【0007】このようなICテストシステムにおいて、
IC移載装置21では、IC24Aを測定する前に、先
ず、フロッピー(登録商標)ディスクまたはハードディ
スク等から、動作設定データD1を読み込む(図6)。
【0008】そして、読み込んだ動作設定データD1に
従い、次のような動作が行われる。
【0009】即ち、供給部21Aにおいて、収納容器2
1D(例えば、トレー)に収納されている未測定のIC
24Aを供給吸着ハンド26により吸着して空のキャリ
ア24に供給し(破線矢印j)、未測定キャリア24を
キャリア搬送装置23に受け渡す(矢印a)。その後
は、後述するように、IC測定装置22において測定が
行われ、測定後は、測定済のIC25Aをのせた測定済
キャリア25をキャリア搬送装置23から受け取り(矢
印g)、一時的に収容バッファ部21Cにおいてストッ
クした後収容部21Bへ搬送し(矢印h)、測定済のI
C25Aを収容吸着ハンド27により吸着して収納容器
21E(例えば、トレー)に分類・収納すし(破線矢印
k)、空のキャリア24を供給部21Aへ戻す(矢印
m)。
【0010】一方、IC測定装置22においても、IC
24Aを測定する前に、先ず、フロッピーディスクまた
はハードディスク等から、動作設定データD2を読み込
む(図7)。
【0011】そして、読み込んだ動作設定データD2に
従い、次のような動作が行われる。
【0012】即ち、未測定のIC24Aをのせた未測定
キャリア24をキャリア搬送装置23から受け取って
(矢印b)一時的に供給バッファ部22Bにおいてスト
ックし、プレヒート部22Dを経由して(矢印c)測定
部22Aに搬送し(矢印d)、未測定IC24AをIC
ソケット28に接触させて既述したICテスタ(図示省
略)により測定し、測定後は、測定済のIC25Aをの
せた測定済キャリア25を一時的に収容バッファ部22
Cにおいてストックした後(矢印e)、キャリア搬送装
置23へ受け渡す(矢印f)。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】(1)データの準備が
面倒である。上述したように、IC移載装置21におい
ては、供給部21Aが、供給吸着ハンド26により収納
容器21Dであるトレーから未測定のIC4Aをキャリ
ア24へ供給し(破線矢印j)、また、収容部21B
が、収容吸着ハンド27により測定済のIC5Aをキャ
リア25から収納容器21Eであるトレーへ分類・収納
する(破線矢印k)。
【0014】従って、IC移載装置21は、収納容器2
1Dと21Eを形成するトレーの形状や、測定済のIC
25Aの分類方法等により、動作が異なるため、IC移
載装置21用の動作設定データD1が必要である(図
6)。
【0015】また、IC測定装置22においては、プレ
ヒート部22Dが、キャリア24にのせられた未測定の
IC4Aを一括して所定の温度まで加熱し、測定部22
Aが、IC24AをICソケット28に接触させて電気
的特性を測定する。
【0016】従って、IC測定装置22は、未測定のI
C4Aが加熱される温度、電気的特性の測定方法の種類
等により、動作が異なるため、IC測定装置22用の動
作設定データD2が必要である(図7)。
【0017】即ち、従来のICテストシステムでは、1
種類の品種のICの電気的特性を測定する場合でも、そ
れぞれ構成の異なる2種類の動作設定データD1(図
6)とD2(図7)を準備しなければならない。
【0018】そのため、データを準備するのが面倒で、
時間が長くなり、手間もかかるという弊害がある。
【0019】(2)データの読み込み操作が煩わしい。
【0020】更に、従来のICテストシステムでは、動
作設定データD1(図6)をIC移載装置21に、動作
設計データD2(図7)をIC測定装置22に、それぞ
れ読み込ませなければならない。
【0021】即ち、従来は、IC移載装置22とIC測
定装置23の両装置について、それぞれに、データの読
み込み操作を行わなければならない。
【0022】この結果、データの読み込み操作が煩わし
く、読み込みミス、読み忘れ等が発生し易いという弊害
がある。
【0023】この発明の目的は、共用のデータに従って
IC移載装置とIC測定装置が動作するようにし、デー
タの準備が簡単で、読み込み操作が容易なICテストシ
ステムを提供する。
【0024】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明によれば、ICテストシステムは、IC移
載装置1とIC測定装置2とキャリア搬送装置3を備
え、IC移載装置1とIC測定装置2はそれぞれ単体で
使用可能であり、IC移載装置1用の動作設定データD
1に、IC測定装置2用の動作設定データD2を追加
し、又はIC測定装置2用の動作設定データD2に、I
C移載装置1用の動作設定データD1を追加することに
より、IC移載装置1とIC測定装置2に共用の品種設
定データDを準備して登録し、登録した品種設定データ
Dを読み込み、読み込んだ品種設定データDに従って動
作する。
【0025】この構成によれば、所定の品種のICを測
定する場合には、その品種に対応した1種類の品種設定
データDだけを準備し、その1種類の品種設定データD
をIC移載装置1とIC測定装置2のいずれか一方だけ
に読み込ませることが可能となったので、データの準備
が簡単で、読み込み操作が容易になる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施の形態によ
り添付図面を参照して説明する。図1は、この発明の実
施形態を示すブロック図である。図1は図8を機能ブロ
ックに構成化したものであり、破線矢印は、未測定キャ
リア4と測定済キャリア5の搬送線を、実線矢印は、後
述する品種設定データD、IC測定装置2によるICの
測定結果情報、制御手段1A、2Aの指令信号等の信号
線を、それぞれ示している。
【0027】図1のICテストシステムは、IC移載装
置1とIC測定装置2にキャリア搬送装置3を組み込む
ことにより1組のシステムとして構築され、1台のIC
移載装置1に対して、IC測定装置2は複数台設けるこ
とができると共に、1台のIC測定装置2に対して、2
台のICテスタ(図示省略)をテストステーション(図
示省略)を介して接続させることができる他、IC移載
装置1とIC測定装置2は、それぞれ単体で使用するこ
ともでき、システム全体としての構成と作用は、図8の
ICテストシステムと同様である。
【0028】IC移載装置1は、制御手段1A、入力手
段1B、外部記憶手段1C、記憶手段1D、通信手段1
E、未測定キャリア受渡し手段1F、測定済キャリア受
取り手段1G、IC供給手段1H、IC収容手段1K、
表示手段1Jから構成されている。
【0029】制御手段1Aは、例えばCPUにより構成
され、後述する入力手段1B等を制御すると共に、IC
移載装置1全体を制御する。
【0030】入力手段1Bは、例えばキーボードにより
構成され、品種設定データD(図2)の読み込み操作
や、その一部変更操作(図3)を行う。
【0031】外部記憶手段1Cは、フロッピーディス
ク、ハードディスク等により構成され、前記品種設定デ
ータDを予め登録しておく。
【0032】この品種設定データDは、IC移載装置1
用の動作設定データD1に(図6)、IC測定装置2用
の動作設定データD2(図7)を追加することにより、
準備する。
【0033】又は、品種設定データDは、IC測定装置
2用の動作設定データD2に(図7)、IC移載装置1
用の動作設定データD1(図6)を追加することによ
り、準備する。
【0034】品種設定データDは、IC移載装置1とI
C測定装置2に共用であり、ある品種のICを測定する
場合には、その品種に対応した1種類の品種設定データ
Dだけを前記のとおり準備し、前記外部記憶手段1Cに
登録する。
【0035】記憶手段1Dは、RAM等により構成さ
れ、前記外部記憶手段1Cに登録された品種設定データ
Dを記憶する。
【0036】通信手段1Eは、IC測定装置2を構成す
る通信手段2Eと協働し、品種設定データD、キャリア
上のICの有無情報、ICの測定結果情報等を送受信す
る。この場合の通信方式としては、LAN、GP−IB
等が使用される。
【0037】IC供給手段1Hと未測定キャリア受渡し
手段1Fは、供給部21Aを(図8)、測定済キャリア
受取り手段1Gは、収容バッファ部21C(図8)を、
IC収容手段1Kは、収容部21B(図8)をそれぞれ
構成している。例えば、IC供給手段1Hは、制御手段
1Aからの指令に基づいて供給吸着ハンド26(図8)
を作動させ、トレーに収納されている未測定IC4Aを
空のキャリア4へ供給し、これにより、未測定IC4A
が供給された未測定キャリア4が次段の未測定キャリア
受渡し手段1Fへ搬送される。
【0038】また、表示手段1Jは、例えばCRT、液
晶またはプラズマディスプレイ等により構成され、画面
には、初期メニュー(図2)と、プルアップメニュー
(図3)が表示される。
【0039】初期メニュー(図2)としては、読み込み
メニューM1と、変更メニューM2がある。
【0040】入力手段1Bであるキーボードを操作する
ことにより、読み込みメニューM1のうちの、該当する
品種設定データDを選択すれば、外部記憶手段1Cに登
録されている品種設定データDが制御手段1Aを介して
読み込まれ、記憶手段1Dに記憶される(図1、図4の
ステップ101))。
【0041】また、既に記憶手段1Dに記憶されている
品種設定データDの一部を変更する場合には、同様に、
入力手段1Bであるキーボードを操作することにより、
変更メニューM2のうちの、該当する変更項目、例えば
温度設定Q(図2)を選択すれば、画面は、図3に示す
プルアップメニューM3に切り換わる。
【0042】プルアップメニューM3には(図3)、図
2の温度設定Qの内容だけが抜き出されて表示されてお
り、例えば目的温度Q1を変更したい場合には、入力手
段1Bであるキーボードを操作することにより、図示す
る80°を125°に変更する。
【0043】このように、記憶手段1Dに記憶されてい
る当初の品種設定プログラムP(図2)や、一部変更後
の品種設定プログラムP(図3)に従い、図1の破線矢
印で示すように、IC供給手段1Hが、未測定キャリア
4に未測定IC4Aを供給し、未測定キャリア受渡し手
段1Fが、未測定キャリア4をキャリア搬送装置3へ受
け渡す。また、測定済キャリア受取り手段1Gが、測定
済キャリア5をキャリア搬送装置3から受け取り、IC
収容手段1Kが、測定済キャリア5からトレーへ測定済
IC5Aを分類・収納する。
【0044】一方、IC測定装置2は、制御手段2A、
入力手段2B、外部記憶手段2C、記憶手段2D、通信
手段2E、未測定キャリア受取り手段2F、測定済キャ
リア受渡し手段2G、IC測定手段2H、表示手段2J
から構成されている。
【0045】このうち、制御手段2Aと、入力手段2B
と、外部記憶手段2Cと、記憶手段2Dと、通信手段2
Eと、表示手段2Jについては、IC移載装置1の各手
段と同様であるので、説明は省略する。
【0046】未測定キャリア受取り手段2Fは、供給バ
ッファ部22B(図8)を、IC測定手段2Hは、測定
部22A(図8)を、測定済キャリア受渡し手段2G
は、収容バッファ部22C(図8)をそれぞれ構成して
いる。例えば、IC測定手段2Hは、制御手段1Aから
の指令に基づいて未測定キャリア4上の未測定IC4A
をICソケット28(図8)に接触させ、これにより、
IC4Aの電気的特性がICテスタ(図示省略)により
測定される。
【0047】このような構成のIC測定装置2において
も、既述したIC移載装置1と同様に、前記記憶手段2
Dに記憶されている当初の品種設定データD(図2)
や、一部変更後の品種設定データD(図3)に従い、図
1の破線矢印で示すように、未測定キャリア受取り手段
2Fが、キャリア搬送装置3から未測定キャリア4を受
け取り、IC測定手段2Hが、キャリア4上の未測定I
C4Aを測定し、測定済キャリア受渡し手段2Gが測定
済キャリア5をキャリア搬送装置3へ受け渡す。
【0048】また、IC移載装置1とIC測定装置2間
では、キャリア搬送装置3により、未測定キャリア4や
測定済キャリア5の搬送が自動的に行われる。
【0049】以下、前記構成を備えたこの発明の動作
を、図4と図5に基づいて説明する。
【0050】図4は、IC移載装置1の外部記憶手段1
Cに登録されている品種設定データDを読み込んで、記
憶手段1Dに記憶させ、IC移載装置1とIC測定装置
2で共用する場合の動作である。
【0051】先ず、ステップ101では、IC移載装置
1において、キーボード等の入力手段1Bの操作を行
い、外部記憶手段1Cに登録されている品種設定データ
Dを、制御手段1A(図1)を介して読み込み、記憶手
段1Dへ記憶する。
【0052】ステップ102では、IC移載装置1を単
体で使用するか、IC測定装置2と接続して使用するか
を、制御手段1Aが設定条件等から判断する。
【0053】IC移載装置1を単体ではなくIC測定装
置2と接続して使用する場合には(NO)、ステップ1
03において、IC移載装置1の通信手段1Eが、記憶
手段1Dに記憶されている品種設定データDをIC測定
装置2へ送信する(図1)。
【0054】また、IC移載装置1を単体で使用する場
合には(YES)、後述するステップ105へ進む。
【0055】ステップ104においては、IC測定装置
2の通信手段2Eが、IC移載装置1から送信された品
種設定データDを受信し、制御手段2Aを介して、記憶
手段2Dへ記憶する(図1)。
【0056】以下、IC移載装置1とIC測定装置2
は、それぞれの記憶手段1Dと2Dに記憶した共用の品
種設定データDに従って、動作する(図1)。
【0057】ステップ105では、IC移載装置1のI
C供給手段1Hが、キャリア4に未測定IC4Aを供給
し、ステップ106では、未測定キャリア受渡し手段1
Fが、未測定キャリア4をキャリア搬送装置3へ受渡
す。
【0058】ステップ107では、IC測定装置2の未
測定キャリア受取り手段2Fが、未測定キャリア4をキ
ャリア搬送装置3から受取り、ステップ108では、I
C測定手段2Hが、キャリア4上の未測定IC4Aを測
定し、ステップ109では、測定済キャリア受渡し手段
2Gが、測定済キャリア5をキャリア搬送装置3へ受渡
す。
【0059】ステップ110では、IC移載装置1の測
定済キャリア受取り手段1Gが、測定済キャリア5をキ
ャリア搬送装置3から受取り、ステップ111では、I
C収容手段1Kが、測定済IC5Aをキャリア5からト
レーに分類・収納する。
【0060】ステップ112では、未測定IC4AがI
C移載装置1のトレーに有るか否かを確認し、未測定I
C4Aが有る場合には(YES)、ステップ105へ進
み上記動作を繰り返す。未測定IC4Aが無い場合には
(NO)、動作を終了する。
【0061】ステップ113では、未測定キャリア4
が、IC移載装置1からキャリア搬送装置3へ受け渡さ
れたか否かを確認し、未測定キャリア4が受け渡された
場合には(YES)、ステップ107へ進み上記動作を
繰り返す。未測定キャリア4が受け渡されていない場合
には(NO)、動作を終了する。
【0062】図5は、IC移載装置1の記憶手段1Dに
記憶されている品種設定データDの一部を変更し、変更
後の品種設定データDを、IC移載装置1とIC測定装
置2で共用する場合の動作である。
【0063】先ず、ステップ201では、IC移載装置
1の入力手段1Bにより、既に記憶手段1Dに記憶され
ている品種設定データDを一部変更する。
【0064】一部変更は、既述したように、入力手段1
Bであるキーボードを操作することにより、変更メニュ
ーM2(図2)のうちの、例えば温度設定Qを選択して
プルアップメニューM3(図3)に切り換え、目的温度
Q1を80°から125°に変更する。
【0065】ステップ202以降の動作は、図4のステ
ップ102以降の動作と同様であるため、説明を省略す
る。
【0066】尚、図4と図5は、品種設定データDをI
C移載装置1へ読み込んだ場合の動作を示しているが、
品種設定データDをIC測定装置2へ読み込んでも同様
の効果を得る。
【0067】
【発明の効果】この発明によれば、ICテストシステム
を共用の品種設定データに従ってIC移載装置とIC測
定装置が動作するように構成したことにより、所定の品
種のICを試験する場合には、その品種に対応した1種
類の品種設定データだけを準備し、しかもその1種類の
品種設定データをIC移載装置とIC測定装置のいずれ
か一方に読み込ませることが可能になり、データの準備
が簡単で、読み込み操作が容易になり、読み込みミス、
読み忘れ等が発生しなくなるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施形態を示すブロック図であ
る。
【図2】 この発明による初期メニュー画面を示す図で
ある。
【図3】 この発明によるプルアップメニュー画面を示
す図である。
【図4】 この発明の動作を示すフローチャートであ
る。
【図5】 この発明の他の実施形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図6】 従来技術におけるIC移載装置用の動作設定
データ読み込み画面を示す図である。
【図7】 従来技術におけるIC測定装置用の動作設定
データ読み込み画面を示す図である。
【図8】 ICテストシステムの一般的説明図である。
【符号の説明】
1 IC移載装置 1A 制御手段 1B 入力手段 1C 外部記憶手段 1D 記憶手段 1E 通信手段 1F 未測定キャリア受渡し手段 1G 測定済キャリア受取り手段 1H IC供給手段 1K IC収容手段 1J 表示手段 2 IC測定装置 2A 制御手段 2B 入力手段 2C 外部記憶手段 2D 記憶手段 2E 通信手段 2F 未測定キャリア受取り手段 2G 測定済キャリア受渡し手段 2H IC測定手段 2J 表示手段 3 キャリア搬送装置 4 未測定キャリア 4A 未測定IC 5 測定済キャリア 5A 測定済IC

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 IC移載装置(1)とIC測定装置
    (2)とキャリア搬送装置(3)を備え、IC移載装置
    (1)とIC測定装置(2)はそれぞれ単体で使用可能
    であり、 IC移載装置(1)用の動作設定データ(D1)に、I
    C測定装置(2)用の動作設定データ(D2)を追加
    し、又はIC測定装置(2)用の動作設定データ(D
    2)に、IC移載装置(1)用の動作設定データ(D
    1)を追加することにより、IC移載装置(1)とIC
    測定装置(2)に共用の品種設定データ(D)を準備し
    て登録し、 登録した品種設定データ(D)を読み込み、 読み込んだ品種設定データ(D)に従って動作すること
    を特徴とするICテストシステム。
  2. 【請求項2】 IC移載装置(1)では、外部記憶手段
    (1C)に登録されている前記品種設定データ(D)を
    入力手段(1B)により読み込んで記憶手段(1D)に
    記憶し、記憶した品種設定データ(D)に従って動作す
    ると共に、通信手段(1E)により品種設定データ
    (D)をIC測定装置(2)に送信し、 IC測定装置(2)では、IC移載装置(1)から送信
    された品種設定データ(D)を通信手段(2E)により
    受信して記憶手段(2D)に記憶し、記憶した品種設定
    データ(D)に従って動作する請求項1記載のICテス
    トシステム。
  3. 【請求項3】 IC移載装置(1)では、記憶手段(1
    D)に記憶されている前記品種設定データ(D)を入力
    手段(1B)により一部変更し、変更後の品種設定デー
    タ(D)に従ってIC移載装置(1)とIC測定装置
    (2)が動作する請求項2記載のICテストシステム。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006009282A1 (ja) * 2004-07-23 2006-01-26 Advantest Corporation 電子部品試験装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2006009282A1 (ja) * 2004-07-23 2006-01-26 Advantest Corporation 電子部品試験装置
US7612575B2 (en) 2004-07-23 2009-11-03 Advantest Corporation Electronic device test apparatus for successively testing electronic devices
US7800393B2 (en) 2004-07-23 2010-09-21 Advantest Corporation Electronic device test apparatus for successively testing electronic devices

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