JP2002174501A

JP2002174501A - 変位センサ

Info

Publication number: JP2002174501A
Application number: JP2000372507A
Authority: JP
Inventors: Shogo Momose; 正吾百瀬
Original assignee: Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2000-12-07
Filing date: 2000-12-07
Publication date: 2002-06-21

Abstract

(57)【要約】【課題】簡易な構成で、良好な検出感度を得つつ安定
した検出結果を得ることを可能とする。【解決手段】励磁用コイル１３ｃ，１３ｄと、検出用
コイル１２とを区別して配置するとともに、一対の励磁
用コイル１３ｃ，１３ｄどうしの間のバランスに基づい
て検出を行うことによって、直流抵抗分等によるインピ
ーダンスを相殺させて取り除いた残りの変化量を、小型
のコア体１１を用いつつ良好な直線性をもって高感度で
得るとともに、従来のような定電流回路を使用すること
なく安価な回路によって、環境の温度変動にかかわらず
安定的な検出動作を可能としたもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検出物に対する
相対位置を検出するように構成された変位センサに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、変位センサは、自動販売機、自
動券売機、ＡＴＭ等の硬貨を取り扱う装置でコインの凹
凸や材質の識別装置、モータの回転駆動制御装置など
の、多種多様な装置において広く用いられている。従来
の変位センサは、通常、渦電流型と呼ばれるものであっ
て、例えば図１０に示されているように、棒状をなすコ
ア体１に巻回されたコイル２に電流を流して、検出用の
磁束φｒを発生させておき、その検出用磁束φｒにより
形成される磁界中において、金属製の被検出物３と上記
コア体１とを相対的に近接・離間させ、そのときの両者
間の距離変動に対応して上記被検出物３に生成される渦
電流の大きさが変化して磁気抵抗が変化することから、
その変化量をインダクタンスの変化量として捕らえるこ
とによって、図１１に示されているような検出出力を得
るようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来型の変位センサでは、上述したコア体１と被検
出物３との間の空気を介在した磁気抵抗変化に、直流抵
抗分が含まれていることから、最終的な検出分は、イン
ピーダンス変化に対応したものとなっている。その結
果、この従来型の変位センサでは、検出出力の感度が未
だ十分とはいえず、しかも、直流抵抗分やコア体の透磁
率の温度変動などの影響によって、良好な温度特性が得
られないという問題もある。

【０００４】また、上述したコア体１と被検出物３との
間の空気中における磁気抵抗変化は、距離の二乗に比例
していることから、検出出力の直線性が良好でなく、し
かも図８に示されているように、三次元的な磁束φｒの
変化を利用して変化量を大きくすることが行われること
から、装置全体が大型化する傾向がある。また、センサ
ーアンプ間のケーブルの長さを変えことによってインピ
ーダンスが変動してしまうことから、それに対応して、
アンプの調整を行わねばならないという問題もある。

【０００５】そこで本発明は、簡易な構成よって、良好
な検出感度を得つつ安定した検出結果を得ることができ
るようにした変位センサを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の変位センサでは、被検出物に対する相
対位置の変化に対応して出力が変化するように構成さ
れ、その出力変化に基づいて上記被検出物との接近位置
を検出する変位センサにおいて、コア体の同一軸心上
に、励磁用コイル及び検出用コイルがそれぞれ巻回によ
り装着されたものであって、上記励磁用コイル及び検出
用コイルの一方側が、前記コア体の軸心方向における略
中央に配置された中央コア部に装着されているととも
に、前記励磁用コイル及び検出用コイルの他方側が、上
記コア体の軸心方向における両端部分に配置された一対
の軸端コア部にそれぞれ装着され、上記コア体の軸心方
向が、前記被検出物に対する相対位置の変化方向とほぼ
同じ方向となるように配置されることによって、前記一
対の軸端コア部のうちの一方側と、前記被検出物とが、
互いに対面しつつ近接・離間する配置関係になされてい
る。すなわち、このような構成を有する変位センサで
は、励磁用コイルと検出用コイルとが区別されて配置さ
れていて、しかも一対の励磁用コイル又は一対の検出コ
イルの間のバランスに基づいて検出が行われることか
ら、直流抵抗分等を含むインピーダンスに関係なく磁束
の変化量を直接測定することにより、小型のコア体を用
いつつ高感度で得られ、しかも、従来のような定電流回
路を使用することなく安価な回路によって、環境の温度
変動にかかわらず安定的な検出動作が可能となってい
る。

【０００７】また、請求項２記載の変位センサでは、前
記請求項１記載のコア体が、一枚の板形状部材からなる
ことから、コア体が薄型化されることとなって、より一
層小型化が図られる。

【０００８】さらに、請求項３記載の変位センサでは、
前記請求項１記載の軸端コア部における軸心方向と直交
する方向の幅寸法が、前記中央コア部の幅寸法よりも小
さく形成されているとともに、請求項４記載の変位セン
サでは、前記請求項３記載の軸端コア部の幅寸法が、中
央コア部の幅寸法の半分以下に設定されている。このよ
うに、被検出物に近接される軸端コア部を小幅として、
当該軸端コア部における電流効率を向上させ、より多く
の磁束を発生させることで、検出感度が一層高められ
る。

【０００９】さらにまた、請求項５記載の変位センサで
は、前記請求項３記載の中央コア部と、前記一対の軸端
コア部との各境界部分には、幅方向に向かって突出する
係止鍔部がそれぞれ設けられ、該係止鍔部によって、前
記励磁用コイル及び検出用コイルの巻回位置が、予定の
位置に位置決め規制されている。このように、中央コア
部と軸端コア部との境界部分に係止鍔部を設けることに
よって、各コイルの巻回位置を精度良く位置決め可能と
しておけば、位相ズレ又は出力ズレが低減されるととも
に、大きな変化率が得られる。

【００１０】また、請求項６記載の変位センサでは、前
記請求項３記載の一対の軸端コア部のうち、前記被検出
物側に対面している側とは反対側の軸端コア部には、該
軸端コア部と対向するようにして、比較金属体が配置さ
れている。このように、被検出物からの検出出力と、比
較金属体からの検出出力との差分を変化量として検出を
行えば、比較金属体と軸端コア部との距離や、比較金属
体の材質などを変更することによって、被検出物に対し
て必要とされる検出区間における始点位置を「０」出力
に設定して用いることが可能となり、それによって、大
きな出力変化を得て検出精度、及び分解能が高められる
とともに、良好な直線性が得られるようになっている。

【００１１】さらに、請求項７記載の変位センサでは、
前記請求項１記載の励磁用コイルは、一対のコイル巻回
部を有し、それら一対のコイル巻回部は、前記同一の軸
心上に対向磁界が形成するように配置されていて、この
ような手段によれば、一対の励磁用コイルによって差動
状態となった一つの出力が得られることから、より一層
高感度で正確な検出が可能となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１及び図２に示されている
実施形態にかかる変位センサ１０においては、一枚の薄
板形状部材からなるコア体１１の中央コア部１１ａに対
して、検出用コイル１２が巻回されているとともに、上
記中央コア部１１ａの図示上下方向両側に、係止鍔部１
１ｂをそれぞれ介して一体的に連接された一対の軸端コ
ア部１１ｃ，１１ｄの各々に対して、励磁用コイル１３
ｃ，１３ｄがそれぞれ巻回されている。

【００１３】そして、上記一対の軸端コア部１１ｃ，１
１ｄのうちの図示上側に配置された一方側の軸端コア部
１１ｃが、金属部材又は磁性体からなる被検出物１４と
対向するように配置されている。このとき、前記中央コ
ア部１１ａを通して他方側の軸端コア部１１ｄに至る軸
心ＣＸの方向（図示上下方向）は、ほぼ前記被検出物１
４の軸心ＣＹを通る位置関係に設定されている。そし
て、上記一方側の軸端コア部１１ｃに対して、被検出物
１４が、上記軸心ＣＸの方向に沿って往復移動されるこ
とによって、これら一方側の軸端コア部１１ｃと被検出
物１４とが互いに対向しつつ近接・離間されるときに、
被検出物１４の位置を検出する構成になされている。な
お、上記被検出物１４が固定された状態で、変位センサ
１０側が動く構成であってもよい。

【００１４】より具体的には、上記中央コア部１１ａ
は、前記軸心ＣＸの延在方向（図示上下方向）において
変位センサ１０の略中央部分に配置されていて、上記軸
心ＣＸの方向と直交する方向（図示左右方向）における
幅寸法Ｗ_１が、比較的幅広に形成されている。これに
対して、上記両軸端コア部１１ｃ，１１ｄの各幅寸法Ｗ
_２は、上記中央コア部１１ａの幅寸法Ｗ_１より小さ
く設定されており（Ｗ_２＜Ｗ_１）、本実施形態では、
半分以下の寸法（Ｗ_２≦Ｗ_１／２）となるように形成
されている。このとき、上記中央コア部１１ａにおける
検出用コイル１２が巻回されている部位は、やや細幅の
寸法Ｗ_３となるように切り欠かれた形状になされてい
る。

【００１５】また、上記両軸端コア部１１ｃ，１１ｄに
巻回された一対の励磁用コイル１３ｃ，１３ｄは、一体
的に連結された一連のコイル部材から構成されていて、
それらの各コイル部材のうちの、上記両軸端コア部１１
ｃ，１１ｄにおける付け根部分に巻回された内端部分ど
うしが、渡り線１３ｅによって一体的に接続されて、直
列の状態になされている。一方、上記両軸端コア部１１
ｃ，１１ｄの各先端側から引き出された各リード部１３
ｆ，１３ｇは、交流電源１５の両端子部にそれぞれ接続
されていて、その交流電源１５から発生される正弦波又
は矩形波が、上記両軸端コア部１１ｃ，１１ｄの各コイ
ル巻回部に印加されることによって、上述した同一の軸
心ＣＸ上において、逆方向の対向磁界φ１，φ２が形成
されるように構成されている。

【００１６】このとき、上記中央コア部１１ａと、一対
の軸端コア部１１ｃ，１１ｄとの各境界部分に設けられ
た各係止鍔部１１ｂ，１１ｂは、上記軸心ＣＸの方向と
略直交する幅方向に向かって突出する張出形状になされ
ており、それらの各係止鍔部１１ｂに対する軸心方向の
前後の位置に、前記励磁用コイル１３ｃ及び検出用コイ
ル１３ｄがそれぞれ巻回されている。すなわち、それら
の各コイル１３ｃ，１３ｄの巻回位置は、上記両係止鍔
部１１ｂ，１１ｂによって位置決めされるようになって
いる。

【００１７】このような構成を有する本実施形態にかか
る変位センサ１０において、上記検出用コイル１２から
得られる検出出力は、一対の励磁用コイル１３ｃ，１３
ｄにより発生される逆方向の対向磁界φ１，φ２の和に
相当する磁界に基づくものとなっており、従って、上述
した被検出物１４が存在していないか、または被検出物
１４が変位センサ１０から十分な遠方（無限遠）にある
場合には、上記逆方向の対向磁界φ１，φ２の絶対値は
等しくなって（｜φ１｜＝｜φ２｜）、上記検出用コイ
ル１２からの出力は「０」となる。一方、変位センサ１
０と被検出物１４とが相対的に近接してくると、これら
両者間の距離の変化に対応して、上記被検出物１４に発
生する渦電流が変化し、それにより、上述した逆方向の
対向磁界φ１，φ２のバランスが崩れて、例えば、φ１
が大きくなるとφ２が小さくなる。そして、そのときの
対向磁界φ１，φ２の絶対値の差（｜φ１｜−｜φ２
｜）に相当する磁界に基づいて、上記検出用コイル１２
から差動出力が得られる。

【００１８】このような差動状態によって一つの出力が
得られるが、その出力は、例えば以下の式によって表さ
れるものとなっている。

【数１】

【００１９】すなわち、上述した構成を有する変位セン
サ１０では、励磁用コイル１３ｃ，１３ｄと、検出用コ
イル１２とが区別されて配置されていて、しかも、一対
の励磁用コイル１３ｃ，１３ｄどうしの間のバランスに
基づいて検出が行われることから、直流抵抗分等による
インピーダンスに関係なく磁束の変化量が、薄型で小型
のコア体１１を用いつつ良好な直線性をもって高感度で
得られる。しかも、従来のような定電流回路を使用する
ことなく安価な回路によって、環境の温度変動にかかわ
らず安定的な検出動作が可能となる。

【００２０】また、本実施形態では、被検出物１４に近
接される軸端コア部１１ｃ，１１ｄを小幅なものとし
て、当該軸端コア部１１ｃ，１１ｄにおける電流効率を
向上させており、それによって、より多くの磁束を発生
させていることから、検出の変化量、つまり感度が一層
高められるようになっている。

【００２１】さらにまた、本実施形態にかかる変位セン
サ１０では、中央コア部１１ａと、軸端コア部１１ｃ，
１１ｄとの境界部分に、係止鍔部１１ｂを設けることに
よって、各コイル１２，１３ｃ，１３ｄの巻回位置を精
度良く位置決め可能としていることから、位相ズレ又は
出力ズレが低減されるとともに、大きな変化率が得られ
る。

【００２２】また、本実施形態にかかる変位センサ１０
では、一対の励磁用コイル１３ｃ，１３ｄどうしの間の
出力バランスを差動状態としていることから、より一層
高感度で正確な検出が可能となっている。また、差動に
なっているので、温度特性も良い。

【００２３】例えば、励磁用コイル１３ｃ，１３ｄとし
て巻数２０Ｔのものを採用する一方、検出用コイル１２
として巻数４０Ｔのものを採用し、励磁周波数を１ＭＨ
ｚ、励磁電流を２０ｍＡｐｐ（０．６５Ｖ）に設定し
て、上述した本発明にかかる変位センサ１０を従来品と
を比較してみたところ、図３に示されているような結果
が得られた。すなわち、被検出物１４がない又は十分な
遠距離（無限遠）にある場合の上記検出用コイル１２か
らの出力を「１」としたときの、上記被検出物１４と変
位センサ１０との間の距離（図３の横軸；ｍｍ）に対す
る出力変化率（図３の縦軸；％）は、従来の変位センサ
で（同図中Ａ線）約１０〜２０％の変化量しか得られな
かったのに対して、本願発明にかかる変位センサ１０で
は（同図中Ｂ線）、９００〜９５０％の大きな変化量が
得られた。

【００２４】また、図４（ａ），（ｂ）に示されている
ように、実際に、本発明にかかる変位センサ１０を、５
００円硬貨果などのコインＣにおける表面形状を測定す
るコインセンサとして用いてみたところ、上記コインＣ
の表面と、コインセンサ１０との間の距離（ギャップ）
Ｇにかかわらず、図５に示されているように、良好な形
状測定結果が得られた。なお、図５の結果は、電流・ア
ンプゲインを固定状態として測定したものである。

【００２５】一方、上述した実施形態と同一の構成物に
対して同一の符号を付した図６に示された実施形態で
は、一対の軸端コア部１１ｃ，１１ｄのうちの図示上側
に配置された一方側の軸端コア部１１ｃが、金属部材又
は磁性体からなる被検出物１４と対向するように配置さ
れているとともに、図示下側に配置された他方側の軸端
コア部１１ｄが、上記被検出物１４と同一材質、又は同
程度の導電率（被検出物１４が非磁性体のときは非磁性
体）、或いは同程度の透磁率（被検出物１４が磁性体の
ときは磁性体）を有する比較金属体２０と対向するよう
に配置されている。例えば、上記被検出物１４が、アル
ミ材、銅、フェライト、パーマロイなどの場合には、比
較金属体２０としても、それと同一材質のアルミ材、
銅、フェライト、パーマロイ、又はそれらのうちの磁性
材どうし、或いは非磁性部材どうしが組み合わせて用い
られる。

【００２６】そして、上述した被検出物１４が、例えば
モータ軸である場合において、その軸としての被検出物
１４が、変位センサ１０に対して図示上下の方向に移動
すると、上記一方側の軸端コア部１１ｃが、上記被検出
物１４に対して近接・離間されて、それら両部材どうし
の間の間隔Ｌ１が変化することになる。そのとき、他方
側の軸端コア部１１ｄは、比較金属体２０に対して間隔
Ｌ２を変えることなく所定の位置に維持される構成にな
されている。

【００２７】従って、上記検出用コイル１２からの出力
が「０」となる位置は、上記比較金属体２０と他方側の
軸端コア部１１ｄとの間の間隔Ｌ２が、一方側の軸端コ
ア部１１ｃと被検出物１４との間隔Ｌ１と等しくなる位
置であることから、上述した一方側の軸端コア部１１ｃ
と、被検出物１４との間隔Ｌ１を、比較金属体２０と他
方側の軸端コア部１１ｄとの間の間隔Ｌ２よりも同じか
小さい範囲（０≦Ｌ１≦Ｌ２）で変化するように設定し
ておけば、検出出力の変化を大きく取り出すことが可能
となるとともに、良好な直線性が得られる。

【００２８】このように、本実施形態にかかる変位セン
サによれば、被検出物１４からの検出出力と、比較金属
体２０からの検出出力との差分が変化量になされること
から、比較金属体２０と軸端コア部１１ｃとの距離Ｌ２
や、比較金属体２０の材質などを変更することによっ
て、図７中の符号０〜Ｌ２で示された上記被検出物１４
に対する必要な検出区間において、「０」となる位置Ｌ
２を任意に変更して用いることが可能となり、その結
果、大きな出力変化量を得ることによって検出精度及び
分解能が高められるとともに、直線性の改善が図られ
る。

【００２９】以上、本発明者によってなされた発明の実
施形態を具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変形可能であることはいうまでもない。

【００３０】例えば、上述した実施形態では、検出用コ
イル１２を中央部分に挟んで両側に励磁用コイル１３
ｃ，１３ｄを配置しているが、励磁用コイルを中央部分
に挟んで両側に検出用コイルを配置するように構成する
ことも可能である。

【００３１】また、上述した実施形態では、軸端コア部
１１ｃの幅寸法を、中央コア部１１ａの幅寸法よりも小
さくしているが（Ｗ_２＜Ｗ_１）、両者を等しくした
り、逆の大小関係に設定することも可能である。また、
上述した実施形態におけるコア体１１の中央コア部１１
ａには、検出用コイル１２を巻回する部位に凹状の切欠
き部が設けられているが、そのような切欠き部を設ける
ことなく単純な矩形状をなすように形成することも可能
である。

【００３２】さらに、上述した実施形態では、コア体と
して、一枚の薄板形状部材を用いているが、図８
（ａ），（ｂ）に示されているような立体形状のコア体
１１’，１１”であっても同様に採用することができ
る。なお、この場合においても、軸方向の中央部分に設
けられた切欠状の凹部１１’ａ，１１”ａを形成するこ
となく単純形状に構成することが可能である。

【００３３】さらに、被検出物１４の円板形状は、軸
体、例えばモータの回転軸でも良く、その場合には、モ
ータの固定側に変位センサ１０を取り付けることとな
る。また、モータが固定軸の場合には、固定軸に対して
変位センサ１０を取り付け、ロータ側が被検出物１４と
なる。さらにまた、原点位置検出に用いるにあたって
は、固定側に変位センサ１０を設け、スライダー側に被
検出物１４取り付ければ良い。

【００３４】さらにまた上述した実施形態では、一対の
励磁用コイル１３ｃ，１３ｄが一連・一体に直列状態に
て接続されているが、例えば、図９に示されているよう
に、それらの各励磁用コイル１３ｃ，１３ｄを、交流電
源１５に対して並列状態となるように接続して対向磁界
を形成することも可能である。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明にかかる請求
項１記載の変位センサは、励磁用コイルと検出用コイル
とを区別して配置し、一対の励磁用コイルどうしの間の
バランスに基づいて検出を行うことにより、直流抵抗分
等によるインピーダンスを相殺させて取り除いた残りの
変化量を、小型のコア体を用いつつ良好な直線性をもっ
て高感度で得るとともに、従来のような定電流回路を使
用することなく安価な回路によって、環境の温度変動に
かかわらず安定的な検出動作を可能としたものであるか
ら、簡易な構成よって、良好な検出感度を得つつ安定し
た検出結果を得ることができ、変位センサの性能及び信
頼性を向上させることができる。

【００３６】また、請求項２記載の変位センサは、コア
体を一枚の板形状部材から形成してコア体を薄型化した
ものであるから、上述した効果に加えて、より一層の小
型化を図ることができる。

【００３７】さらに、請求項３及び請求項４記載の変位
センサは、被検出物に近接される軸端コア部を小幅とし
て、当該軸端コア部における電流効率を向上させ、より
多くの磁束を集めるようにして検出感度を一層高めるよ
うにしたものであるから、上述した効果を更に高めるこ
とができる。

【００３８】さらにまた、請求項５記載の変位センサ
は、中央コア部と軸端コア部との境界部分に係止鍔部を
設けることによって、各コイルの巻回位置を精度良く位
置決め可能として、位相ズレを低減させるとともに、大
きな変化率を得るように構成したものであるから、上述
した効果を更に高めることができる。

【００３９】また、請求項６記載の変位センサは、被検
出物からの検出出力と、比較金属体からの検出出力との
差分を変化量として検出を行い、比較金属体と軸端コア
部との距離や、比較金属体の材質などを変更することに
よって、被検出物に対して必要とされる検出区間におけ
る始点位置を「０」出力に設定して用いることを可能と
し、それによって、大きな出力変化を得て検出精度及び
分解能を高めるとともに良好な直線性が得られるように
構成したものであるから、上述した効果を一層高めるこ
とができる。

【００４０】さらに、請求項７記載の変位センサは、一
対の励磁用コイルにより対向磁界を形成することによっ
て出力を理想的な差動状態とし、より一層高感度で正確
な検出が可能としたものであるから、上述した効果を一
層高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における変位センサの概略
構造を表した側面説明図である。

【図２】図１に示された変位センサのコア構造を表した
外観斜視説明図である。

【図３】本発明にかかる変位センサの検出出力を、従来
センサと比較した線図である。

【図４】本発明にかかる変位センサを、コインセンサと
して用いた場合における概略の配置例を表したものであ
って、（ａ）は側面説明図、（ｂ）は平面説明図であ
る。

【図５】図４の構成によって得られた形状出力の一例を
表した線図である。

【図６】本発明の他の実施形態における変位センサの概
略構造を表した側面説明図である。

【図７】図６に示された変位センサによる検出区間の調
整状態を表した線図である。

【図８】コア体の他の立体形状例を表したものであっ
て、（ａ）は円筒形状のコア体、（ｂ）は角柱形状のコ
ア体の外観斜視説明図である。

【図９】励磁用コイルの並列状の接続例を表した回路説
明図である。

【図１０】一般の変位センサの概略構造を表した側面説
明図である。

【図１１】図１０に示された一般の変位センサによる検
出出力の線図である。

【図１２】一般の変位センサの概略構造を表した外観斜
視説明図である。

【符号の説明】

１０変位センサ１１コア体１１ａ中央コア部１１ｂ係止鍔部１１ｃ，１１ｄ軸端コア部１２検出用コイル１３ｃ，１３ｄ励磁用コイル１４被検出物１５交流電源ＣＸ軸心 φ１，φ２対向磁界２０比較金属体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検出物に対する相対位置の変化に対応
して出力が変化するように構成され、その出力変化に基
づいて上記被検出物との接近位置を検出する変位センサ
において、コア体の同一軸心上に、励磁用コイル及び検出用コイル
がそれぞれ巻回により装着されたものであって、上記励磁用コイル及び検出用コイルの一方側が、前記コ
ア体の軸心方向における略中央に配置された中央コア部
に装着されているとともに、前記励磁用コイル及び検出
用コイルの他方側が、上記コア体の軸心方向における両
端部分に配置された一対の軸端コア部にそれぞれ装着さ
れ、上記コア体の軸心方向が、前記被検出物に対する相対位
置の変化方向とほぼ同じ方向となるように配置されるこ
とによって、前記一対の軸端コア部のうちの一方側と、
前記被検出物とが、互いに対面しつつ近接・離間する配
置関係になされていることを特徴とする変位センサ。
【請求項２】前記コア体が、一枚の板形状部材からな
ることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
【請求項３】前記軸端コア部における軸心方向と直交
する方向の幅寸法が、前記中央コア部の幅寸法よりも小
さく形成されていることを特徴とする請求項１記載の変
位センサ。
【請求項４】前記軸端コア部の幅寸法が、中央コア部
の幅寸法の半分以下に設定されていることを特徴とする
請求項３記載の変位センサ。
【請求項５】前記中央コア部と、前記一対の軸端コア
部との各境界部分には、幅方向に向かって突出する係止
鍔部がそれぞれ設けられ、該係止鍔部によって、前記励磁用コイル及び検出用コイ
ルの巻回位置が、予定の位置に位置決め規制されている
ことを特徴とする請求項３記載の変位センサ。
【請求項６】前記一対の軸端コア部のうち、前記被検
出物側に対面している側とは反対側の軸端コア部には、
該軸端コア部と対向するようにして、比較金属体が配置
されていることを特徴とする請求項３記載の変位セン
サ。
【請求項７】前記励磁用コイルは、一対のコイル巻回
部を有し、それら一対のコイル巻回部は、前記同一の軸心上に対向
磁界が形成するように配置されていることを特徴とする
請求項１記載のことを特徴とする変位センサ。