JP2002090105A

JP2002090105A - 近接センサ

Info

Publication number: JP2002090105A
Application number: JP2000283249A
Authority: JP
Inventors: Shogo Momose; 正吾百瀬
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2000-09-19
Filing date: 2000-09-19
Publication date: 2002-03-27

Abstract

(57)【要約】【課題】被検出物との距離の変化に対する検出出力の
変化量が大きく感度がよく、検出出力の直線性、温度特
性が良好であり、薄型形状にすることができる近接セン
サを得る。【解決手段】励磁用コア１１、１２に巻き回されてな
る励磁用コイル１３、１４を有する二つの励磁部材４
１、４２が離間して配置され、この二つの励磁部材４
１、４２間に、検出用コア２１に巻き回された検出用コ
イル２３を有する磁気検出部材４３が配置され、二つの
励磁部材４１、４２により、被検出物２５を通ることが
できる磁路と磁気検出部材４３を通る磁路とが形成さ
れ、被検出物２５を通る磁路の磁束がこの被検出物２５
の位置に応じて変化することにより磁気検出部材４３を
通る磁路の磁束が変化し、磁気検出部材４３の検出出力
の変化によって被検出物２５の位置を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検出物の位置を
磁気的に非接触で検出することができる近接センサに関
するもので、例えば、動圧軸受の回転軸の、半径方向変
位量の測定などに適用可能なものである。

【０００２】

【従来の技術】被検出物の位置を磁気的に非接触で検出
することができる近接センサの一形式として、図９、図
１０に示すような渦電流型変位測定センサが知られてい
る。図９、図１０において、近接センサ１は、円柱状の
コア２と、このコア２の外周に巻き回された検出コイル
３とを有してなる。検出コイル３に交流またはパルス状
の電流を流すと磁束が発生する。この磁束は、コア２の
一端から出てコア２の他端に戻る。そこで、コア２の一
端に生成されている磁界中に、金属からなる被検出物４
を置くと、被検出物４に渦電流が発生する。被検出物４
をコア２の一端に近づけたり遠ざけたりすると、上記渦
電流はコア２の一端と被検出物４との距離ａに応じて変
化する。上記渦電流の変化を検出コイル３のインダクタ
ンスの変化としてとらえ、インダクタンスの変化から上
記距離ａを検出するようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の近接センサによれば、次のような問題点がある。１．コア２−空気−被検出物４からなる磁路全体の磁気
抵抗変化を、検出用コイル３などの直流抵抗分も含むイ
ンピーダンスの変化としてとらえるものであるため、１
０〜２０％程度の変化率しか得ることができず、感度が
低いという難点がある。２．コア２と被検出物４との間の磁気抵抗、すなわち空
気の磁気抵抗は、その距離ａの２乗に比例するため、図
１１に示すように、直線性が悪い。３．温度変化によるコア２の封止剤の膨張によってコア
２に応力がかかり、透磁率が変化する。また、温度変化
によって検出用コイル３の導電率が変化し直流抵抗が変
化する。これら透磁率変化および直流抵抗変化は、直接
インピーダンス変化となるため、センサの温度特性が悪
くなる。４．図１０からもわかるように、上記従来の近接センサ
によれば、磁束変化を立体的にとらえている、すなわ
ち、四方八方に広がる磁束の変化を捉えるものであるた
め、平面的に見たとき磁束分布を均等にしないと変化量
を大きくすることができず、センサの大きさは立体的に
制約を受けるという難点がある。５．被検出物との距離をインピーダンス変化としてとら
えているため、センサとアンプと間のケーブルの長さを
変えるとインピーダンスが変わってしまい、アンプを調
整しなおす必要がある。

【０００４】本発明は以上のような従来技術の問題点を
解消するためになされたもので、被検出物との距離の変
化に対する検出出力の変化量が大きく感度がよく、検出
出力の直線性が良好な近接センサを提供することを目的
とする。本発明はまた、検出出力の温度特性が良好であ
り、薄型形状にすることができる近接センサを提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被検出物の位置を無接触で検出する近接センサであっ
て、励磁用コアとこの励磁用コアに巻きまわされてなる
励磁用コイルとを有する二つの励磁部材が離間して配置
されるとともに、この二つの励磁部材間に、検出用コア
とこの検出用コアに巻き回された検出用コイルとを有す
る磁気検出部材が配置され、二つの励磁部材により、被
検出物を通ることができる磁路と磁気検出部材を通る磁
路とが形成され、被検出物を通る磁路の磁束がこの被検
出物の位置に応じて変化することにより磁気検出部材を
通る磁路の磁束が変化し、磁気検出部材の検出出力の変
化によって被検出物の位置を検出することを特徴とす
る。

【０００６】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、２個の磁気検出部材が、二つの励磁部材間
における磁束の往路と復路にそれぞれ配置され、各磁気
検出部材の検出用コイルは双方の差動出力が取り出され
るように接続され、この差動出力によって被検出物の位
置を検出することを特徴とする。

【０００７】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の発明において、各励磁用コアおよび検出用コアが
互いに磁気的に分離されていることを特徴とする。請求
項４記載の発明は、請求項１または２記載の発明におい
て、各励磁用コアは同一形状の長方形の板材であり、検
出用コアは長方形状の板材であることを特徴とする。

【０００８】請求項５記載の発明は、請求項４記載の発
明において、各励磁用コアおよび検出用コアが、同一平
面上に配置されていることを特徴とする。請求項６記載
の発明は、請求項１または２記載の発明において、二つ
の励磁部材間における二つの磁路のうち、被検出物を通
ることができる磁路とは反対側の磁路に、被検出物とほ
ぼ同一の材料または導電率の金属が配置されていること
を特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
にかかる近接センサの実施の形態について説明する。図
１において、近接センサ１０は、第１の励磁部材４１、
第２の励磁部材４２、第１の磁気検出部材４３、第２の
磁気検出部材４４を有している。第１の励磁部材４１と
第２の励磁部材４２は所定の間隔をおいて配置され、第
１の励磁部材４１と第２の励磁部材４２との間に第１の
磁気検出部材４３、第２の磁気検出部材４４が配置され
ている。

【００１０】第１の励磁部材４１は、励磁用コア１１と
このコア１１に巻かれた励磁用コイル１３とを有してな
る。同様に、第２の励磁部材４２は、励磁用コア１２と
このコア１２に巻かれた励磁用コイル１４とを有してな
る。第１の励磁部材４１と第２の励磁部材４２の各励磁
用コア１１、１２は、方向を同じくして（図１の例では
上下方向に向けて）平行に配置されている。

【００１１】一方、第１の磁気検出部材４３は、検出用
コア２１とこの検出用コア２１に巻き回された検出用コ
イル２３とを有してなる。同様に、第２の磁気検出部材
４４は、検出用コア２２とこの検出用コア２２に巻き回
された検出用コイル２４とを有してなる。第１の磁気検
出部材４３と第２の磁気検出部材４４の各検出用コア２
１、２２は、上記各励磁用コア１１、１２の方向に対し
直交する方向に、従って図１の例では左右方向に向け
て、互いに平行に配置されている。各励磁用コア１１、
１２および各検出用コア２１、２２は、互いに磁気的に
分離されている。

【００１２】各励磁用コイル１３、１４に通電されるこ
とにより磁束が発生し、励磁用コア１１、１２間に磁界
が生成される。励磁用コア１１、１２間に生じる磁束
は、コア１１から出てコア１２に入り、コア１２から出
てコア１１に入る磁束φ１と、励磁用コア１１から出て
検出用コア２１を通りコア１２に入り、コア１２を出て
検出用コア２２を通りコア１１に入る磁束φ２に分かれ
る。上記磁束φ１の通路に、金属からなる被検出物２５
が位置するようになっている。

【００１３】換言すれば、二つの励磁部材４１、４２に
より、被検出物２５を通ることができる磁路と磁気検出
部材４３、４４を通る磁路とが形成されている。さら
に、図１に矢印で示すように、コア１１からコア１２へ
向かう磁束の通路を往路とし、コア１２からコア１１に
向かう磁束の通路を復路とした場合、上記往路に磁気検
出部材４３があり、上記復路に磁気検出部材４４があ
る。上記励磁用コア１１、１２は、図２に示すように、
同一形状の長方形の薄板材であり、検出用コア２１、２
２も同一形状の長方形の薄板材であり、これら４つのコ
アは、同一平面上に配置されている。従って、磁束φ
１、φ２も平面的に分布する。

【００１４】上記励磁部材４１、４２への通電回路およ
び磁気検出部材４３、４４による検出回路の例を図５
（ａ）（ｂ）に示す。何れの回路例も励磁部材４１、４
２のコイルに交流電源２６を供給し、磁気検出部材４
３、４４の差動出力を取り出すようになっている。交流
電源２６は商用の正弦波交流電源であってもよいし、パ
ルス状の電流を出力する電源であってもよい。図５
（ａ）に示す例は、磁気検出部材４３、４４の各検出用
コイルを差動増幅器２８のマイナス端子とプラス端子に
入力することによって差動出力を取り出し、そのあとで
整流器３０で整流するようになっている。図５（ｂ）に
示す例は、磁気検出部材４３、４４の各検出用コイルの
出力を整流子３１、３２で整流し、そのあと差動増幅器
２８のマイナス端子とプラス端子に入力することによっ
て差動出力を取り出すようになっている。

【００１５】図１において、金属からなる被検出物２５
がないか、または、被検出物２５が近接センサ１０から
遠くはなれているものとすると、磁気検出部材４３、４
４の各検出用コア２１、２２を通る磁束はほぼバランス
し、検出用コイル２３、２４の差動出力はほぼゼロであ
る。

【００１６】いま、被検出物２５が近接センサ１０に近
づき、第１の磁路内に入ってきたとすると、第１の磁束
φ１が被検出物２５によって変化する。被検出物２５が
非磁性の金属であるとすれば、磁束φ１は交番的に変化
しているため被検出物２５に渦電流が流れ、渦電流によ
って磁束φ１を通さない方向、換言すれば磁束φ１を打
ち消す方向に磁界が発生する。そのため、励磁用コア１
１から励磁用コア１２に至る磁路を通る磁束φ１は減少
し、その代わりに磁気検出部材４３の検出用コア２１を
通る磁束φ２は増加する。磁束φ１と磁束φ２とのトー
タルとしては減少する。

【００１７】したがって、検出用コイル２３によって発
生する検出出力が大きくなり、これによっても被検出物
２５の位置を検出することができる。しかし、図１の例
では、二つの検出用コイル２３、２４の差動出力をとっ
ている。被検出物２５とは反対側の磁気検出部材４４の
検出用コア２２を通る磁束は、磁束φ１と磁束φ２との
トータルの磁束に応じて変動し、上記のようにトータル
の磁束が減少することによって検出用コイル２４の出力
が減少する。従って、二つの検出用コイル２３、２４の
差動出力をとることにより、被検出物２５の位置変化に
対して変動量が大きく、高感度の近接センサを得ること
ができる。

【００１８】図６は、上記の例において、被検出物−セ
ンサ間距離に対する検出用コイル２３、検出用コイル２
４および図９に示すような従来型のセンサの出力変化
と、被検出物−センサ間距離に対する検出用コイル２３
と検出用コイル２４の差動出力変化率を示す。図６にお
いて、Ｃｏｉｌ１とは上記検出用コイル２３を、Ｃｏｉ
ｌ２とは上記検出用コイル２４を、差動出力とは上記コ
イル２３、２４の差動出力を示す。このときの測定条件
は次のとおりである。励磁周波数：１ＭＨｚ（正弦波）励磁電流：６０ｍＡ０−Ｐ（０からピークまで）第１、第２励磁用コイル：４０Ｔ（ターン）第１、第２検出用コイル：４０Ｔ（ターン）

【００１９】図６から明らかなように、従来型の変化率
は少なく、感度がよくないことがわかる。これに対して
第１検出用コイル２３の検出出力の変化率は、従来型の
センサの出力変化率よりも大きくなっており、第１検出
用コイル２３単独でも従来型より感度が高まっている。
また、第２検出用コイル２４の検出出力の変化率は、上
記検出用コイル２３の検出出力の変化とは逆であるが、
変化率はさらに大きくなっており、第２検出用コイル２
４の検出出力を取ることによってさらに感度の高い近接
センサを得ることができる。

【００２０】さらに、第１検出用コイル２３と、第２検
出用コイル２４の検出出力の差動出力をとれば、より大
きな変化率の検出出力を得ることができ、従来型に比べ
て、極めて感度の高い近接センサを得ることができるこ
とがわかる。また、第１磁気検出部材４３と第２磁気検
出部材４４は同じ構成であるから、その差動出力を得る
ことによって、それぞれの温度変動による出力変化が打
ち消され、温度変動による影響の少ない温度特性のよい
検出出力を得ることができる。

【００２１】図１における被検出物２５が磁性金属で、
渦電流が発生しにくいような低い励磁周波数の場合、あ
るいは被検出物２５が磁性金属で導電率が低く渦電流が
あまり発生しない条件では、被検出物２５が導電性金属
の場合とは逆に、被検出物２５が近づくと、磁束φ１が
増え、磁束φ２が減るので、第２の磁路を通る磁束φ２
の増減を、被検出物２５の位置変化としてとらえること
ができる。このように、第１の磁路と第２の磁路を通る
上記磁束φ１と磁束φ２の比率が変わることを利用し
て、金属からなる被検出物２５の位置を検出している。

【００２２】上記の実施形態における各部の寸法関係を
図２に示す。単位はｍｍである。各励磁用コア１１、１
２の幅は１ｍｍ、各検出用コア２１、２２の長さは1ｍ
ｍ、これら各コアの厚さは０．０１８ｍｍで、これら各
コアは同一平面上に配置されている。そして、励磁用コ
ア１１と検出用コア２１との間隔および検出用コア２１
と励磁用コア１２との間隔はそれぞれ１ｍｍとなってい
る。互いに平行な検出用コア２１、２２の相互間隔は
０．６ｍｍで、この検出用コア２１、２２の相互間隔と
同じ範囲に励磁用コイル１３、１４が巻き回されてい
る。従って、各励磁用コイル１３、１４の両端部には、
０．３ｍｍの非巻線部がある。各励磁用コア１１、１２
の長さすなわち図２において縦方向の寸法は１．２ｍｍ
で、各励磁用コア１１、１２の長さ方向両端面の延長線
上に、各検出用コア２１、２２の互いに外側の側面が位
置している。励磁用コイルおよび検出用コイルは、φ
０．０２ｍｍの線を４０回巻き回した。コア材はアモル
ファスリボンからなる磁性体を使用した。

【００２３】上記各コアとコイルとの位置関係を符号で
示したのが図３である。励磁用コア１１と検出用コア２
１、２２との間隔および検出用コア２１、２２と励磁用
コア１２との間隔をａ、各検出用コア２１、２２の長さ
をｂ、各励磁用コア１１、１２の長さをｅ、各検出用コ
ア２１、２２の外側面に対する各励磁用コア１１、１２
の長さ方向両端部の突出寸法をｃ、各励磁用コイル１
３、１４の、各励磁用コア１１、１２の端面からからの
後退寸法をｄとする。これら各寸法関係によって、被検
出物の位置変位に対する検出用コイル２３、２４の検出
出力変化特性、すなわち前記磁束φ１、φ２の比率等が
変化する。

【００２４】従って、上記各寸法関係の設定によって、
直線性をより良好にし、また、検出出力の変化量を大き
くすることができる。そのための上記各寸法条件を以下
に示す。ａ≒ｂが望ましい。ｃ≧０が望ましい。ｄ：小さい方が望ましい。ｅ：小さい方が望ましい。

【００２５】以上説明した実施形態によれば、次のよう
な効果がある。従来の磁気式近接センサのようにインピ
ーダンス変化を捉えるものにおいては、磁束の通過経路
であるコア−空気−被検出物の全体的な磁気抵抗変化を
捉えているのに対し、上記実施形態にかかる近接センサ
は、被検出物の位置によって大きく影響される磁束を測
定するようにし、かつ、磁束を効率よく測定することが
できる位置に検出用コイルを独立に配置しているため、
被検出物の位置変化に対して検出出力が大きく変化し、
感度の高い近接センサを得ることができる。

【００２６】ちなみに、従来の磁気式近接センサの場合
は、被検出物がない状態（無限遠にあるある状態）での
出力に対し、約１０〜２０％の変化量がある。これに対
し上記実施形態における第１の検出用コイル２３単独の
場合は、被検出物がない状態（無限遠にあるある状態）
での出力に対し、約１６０〜１７０％の変化量がある。
さらに、上記実施形態における第１、第２の検出用コイ
ル２３、２４の差動出力をとると、被検出物がない状態
（無限遠にあるある状態）での出力に対し、約７００〜
８００％の変化量がある。

【００２７】従来の磁気式近接センサのようにインピー
ダンス変化を捉えるものにおいては、磁束の通過経路で
あるコア−空気−被検出物の全体的な磁気抵抗変化を捉
えているので、磁束が空気中を通過するときの磁気抵抗
は、被検出物とコアとの距離の２乗に影響し、その磁気
抵抗が全体の磁気抵抗に占める割合が大きいほど感度が
よくなる。つまり、感度と直線性は相反している。これ
に対して上記の実施形態にかかる近接センサによれば、
磁束の変化量の増減をとらえているので、直線性はよ
い。金属からなる被検出物が近づいても励磁コイルのイ
ンピーダンスはあまり変化しない。定電流回路も不要で
ある。

【００２８】第１、第２の磁気検出部材の差動出力を取
ることにより、温度特性が向上する。また、上述のよう
に、感度も高くなる。

【００２９】従来の磁気式近接センサによれば、図１０
から明らかなように、被検出物を検出するための磁束が
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に３次元的に分布するため、センサの大
きさは、３次元方向の制約を受ける。これに対して上記
の実施形態にかかる近接センサは、図４に示すように、
主としてＸ方向とＺ方向に２次元的に広がっていればよ
く、Ｙ方向の寸法すなわち厚さ寸法を薄くすることがで
きる。コアの厚みとしては、数十μｍにしても使用可能
である。従って、コアの素材として、アモルファスリボ
ンを用いることもできる。

【００３０】次に、本発明の別の実施形態について説明
する。感度をより改善する構成として図７に示す実施形
態がある。この実施形態は、二つの励磁部材４１、４２
間における二つの磁路のうち、被検出物２５を通ること
ができる磁路とは反対側の磁路に、被検出物２５とほぼ
同一の材料または導電率の金属３５が配置されてなるも
のである。本センサから一定の距離に上記金属３５を配
置してこの距離を基準にし、第１、第２の検出部材４
３、４４の検出出力を差動出力として比較することによ
り、高分解能の検出出力を得ることができる。また、例
えば、本センサから上記金属３５間での距離を基準と
し、この基準の距離と、本センサから被検出物２５まで
の距離とが同じ場合に差動出力が０になるようにしてお
き、差動出力が０になるように被検出物２５の位置を制
御する、というような位置制御装置に適用することもで
きる。

【００３１】感度をより改善する別の構成として図７に
示す実施形態が考えられる。前記励磁用コイル１３、１
４に通電すると、前記第１、第２の磁束φ１、φ２ばか
りではなく、実際には、図７に示すように、それぞれの
励磁用コア１１、１２から出てそれぞれの励磁用コア１
１、１２に戻ってくる磁束φ３もある。この磁束φ３を
少なくし、あるいは全くなくすことができれば、それに
見合う分磁束φ１、φ２が増加し、それにより感度をさ
らに改善できる。そこで、図８に示すように、励磁用コ
ア１１、１２、検出用コア２１、２２を有してなる近接
センサ１０全体を、非磁性金属で導電率の高い素材で作
ったケース３６内に収納するとよい。こうすれば、上記
磁束φ３が通る磁路の磁気抵抗が高くなり、磁束が通り
難くなるので、その分第１、第２の磁束φ１、φ２が増
え、感度が高くなる。ケース３６の少なくとも一面を解
放し、この解放面側に被検出物が位置するようにする。

【００３２】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、二つの励
磁部材間に、検出用コアとこの検出用コアに巻き回され
た検出用コイルとを有する磁気検出部材が配置され、被
検出物を通る磁路の磁束がこの被検出物の位置に応じて
変化することにより磁気検出部材を通る磁路の磁束が変
化し、磁気検出部材の検出出力の変化によって被検出物
の位置を検出するようになっているため、被検出物の位
置によって磁束が大きく変化し、感度の高い近接センサ
を得ることができる。また、良好な直線性を得ることも
できる。

【００３３】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明において、２個の磁気検出部材が、二つの励磁
部材間における磁束の往路と復路にそれぞれ配置され、
各磁気検出部材の検出用コイルは双方の差動出力が取り
出されるように接続され、この差動出力によって被検出
物の位置を検出するようになっているため、温度特性の
よい近接センサを得ることができるとともに、２個の磁
気検出部材の差動出力を得ることによって、一層感度の
高い近接センサを得ることができる。

【００３４】請求項５記載の発明によれば、長方形の板
材からなる各励磁用コアおよび検出用コアが、同一平面
上に配置されているため、磁束が２次元的に分布し、磁
束を有効に被検出物の検出に利用することができ、被検
出物の位置変化に対する磁束の変化率を大きくして感度
を高めることができる。また、センサの薄型化を図るこ
ともできる。

【００３５】請求項６記載の発明によれば、被検出物を
通ることができる磁路とは反対側の磁路に、被検出物と
ほぼ同一の材料または導電率の金属が配置されているた
め、二つの検出用コイルの差動出力を取ることにより、
より一層感度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる近接センサの実施の形態を示す
概念図である。

【図２】上記実施形態の各部品の寸法関係を示す（ａ）
は正面図、（ｂ）は底面図である。

【図３】上記実施の形態の好ましい部品配置関係を説明
するための正面図である。

【図４】上記実施形態の磁束分布の概念を示す斜視図で
ある。

【図５】本発明にかかる近接センサに適用可能な励磁電
源回路および検出回路の例を示す回路図である。

【図６】本発明の上記実施形態による各検出用コイルの
検出出力およびその差動出力を従来の近接センサの検出
出力と比較して示す特性線図である。

【図７】本発明にかかる近接センサの別の実施形態を示
す概念図である。

【図８】本発明にかかる近接センサのさらに別の実施形
態を示す分解斜視図である。

【図９】従来の近接センサの例を示す正面図である。

【図１０】同上従来例の磁束分布の様子を示す斜視図で
ある。

【図１１】同上従来例による被検出体との距離対インピ
ーダンス変化の様子を示す線図である。

【符号の説明】

１０近接センサ１１励磁用コア１２励磁用コア１３励磁用コイル１４励磁用コイル２１検出用コア２２検出用コア２３検出用コイル２４検出用コイル２５被検出物４１励磁部材４２励磁部材４３磁気検出部材４４磁気検出部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検出物の位置を無接触で検出する近接
センサであって、励磁用コアとこの励磁用コアに巻きまわされてなる励磁
用コイルとを有する二つの励磁部材が離間して配置され
るとともに、この二つの励磁部材間に、検出用コアとこ
の検出用コアに巻き回された検出用コイルとを有する磁
気検出部材が配置され、上記二つの励磁部材により、上記被検出物を通ることが
できる磁路と上記磁気検出部材を通る磁路とが形成さ
れ、上記被検出物を通る磁路の磁束がこの被検出物の位置に
応じて変化することにより上記磁気検出部材を通る磁路
の磁束が変化し、磁気検出部材の検出出力の変化によっ
て被検出物の位置を検出することを特徴とする近接セン
サ。
【請求項２】２個の磁気検出部材が、二つの励磁部材
間における磁束の往路と復路にそれぞれ配置され、各磁
気検出部材の検出用コイルは双方の差動出力が取り出さ
れるように接続され、この差動出力によって被検出物の
位置を検出する請求項１記載の近接センサ。
【請求項３】各励磁用コアおよび検出用コアは互いに
磁気的に分離されている請求項１または２記載の近接セ
ンサ。
【請求項４】各励磁用コアは同一形状の長方形の薄板
材であり、検出用コアは長方形状の薄板材である請求項
１または２記載の近接センサ。
【請求項５】各励磁用コアおよび検出用コアは、同一
平面上に配置されている請求項４記載の近接センサ。
【請求項６】二つの励磁部材間における二つの磁路の
うち、被検出物を通ることができる磁路とは反対側の磁
路に、被検出物とほぼ同一の材料または導電率の金属が
配置されている請求項１または２記載の近接センサ。