JP2002174167A - 高粘度流体の送液装置 - Google Patents
高粘度流体の送液装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 より高精度に一定の流量で高粘度流体を供給
し得る高粘度流体の送液装置を提供する。 【解決手段】 高粘度流体の送液装置は、高粘度流体の
供給源（８）に接続される吸入流路（１）と、吸入流路
（１）から分岐された複数の分岐流路（２）と、各分岐
流路（２）にそれぞれ設けられた送液機構（４）と、被
供給装置側に接続される吐出流路（３）とから主として
構成される。各送液機構（４）は、各々、各分岐流路
（２）の吸入側流路（２１）への接続と吐出側流路（２
２）への接続を切り替える流路切替手段（５）を介して
取り付けられる。そして、各送液機構（４）は、往復動
作によって流体を吸入吐出するシリンジ（４１）を備え
且つ互いに位相ずれした状態で作動可能に設定される。
し得る高粘度流体の送液装置を提供する。 【解決手段】 高粘度流体の送液装置は、高粘度流体の
供給源（８）に接続される吸入流路（１）と、吸入流路
（１）から分岐された複数の分岐流路（２）と、各分岐
流路（２）にそれぞれ設けられた送液機構（４）と、被
供給装置側に接続される吐出流路（３）とから主として
構成される。各送液機構（４）は、各々、各分岐流路
（２）の吸入側流路（２１）への接続と吐出側流路（２
２）への接続を切り替える流路切替手段（５）を介して
取り付けられる。そして、各送液機構（４）は、往復動
作によって流体を吸入吐出するシリンジ（４１）を備え
且つ互いに位相ずれした状態で作動可能に設定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高粘度流体の送液
装置に関するものであり、詳しくは、例えばウエハの研
磨処理において研磨直後のウエハ表面に高粘度の洗浄液
を定量供給する際に使用される送液装置であって、より
高精度に一定の流量で高粘度流体を供給し得る高粘度流
体の送液装置に関するものである。
装置に関するものであり、詳しくは、例えばウエハの研
磨処理において研磨直後のウエハ表面に高粘度の洗浄液
を定量供給する際に使用される送液装置であって、より
高精度に一定の流量で高粘度流体を供給し得る高粘度流
体の送液装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体デバイスの製造プロセス
においては、ウエハ上に形成されるメタル配線や層間絶
縁膜の表面をより平坦化するため、シリカ系の研磨液な
どを使用し、研磨装置（定盤）によってウエハの表面に
化学機械研磨を施している。そして、研磨後は、ウエハ
の表面に付着している微細な砥粒や研磨屑を除去するた
め、高粘度の洗浄液を供給しつつ研磨装置上でウエハの
表面を洗浄処理した後、更に純水洗浄を行っている。
においては、ウエハ上に形成されるメタル配線や層間絶
縁膜の表面をより平坦化するため、シリカ系の研磨液な
どを使用し、研磨装置（定盤）によってウエハの表面に
化学機械研磨を施している。そして、研磨後は、ウエハ
の表面に付着している微細な砥粒や研磨屑を除去するた
め、高粘度の洗浄液を供給しつつ研磨装置上でウエハの
表面を洗浄処理した後、更に純水洗浄を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、洗浄液によ
る洗浄処理においては、残存する砥粒などによってウエ
ハの表面にスクラッチを発生させることのない様に、ウ
エハ表面に対して滞りなく確実に洗浄液を供給する必要
がある。また、一定の処理効率を得るためにも、正確に
一定流量で供給する必要がある。しかしながら、上記の
洗浄液は、例えば５０ｃＰと極めて高い粘度を有してい
るため、通常の定量ポンプによっては精密に定量供給す
るのが難しい。本発明は、斯かる実情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、より高精度に一定の流量で高
粘度流体を供給し得る高粘度流体の送液装置を提供する
ことにある。
る洗浄処理においては、残存する砥粒などによってウエ
ハの表面にスクラッチを発生させることのない様に、ウ
エハ表面に対して滞りなく確実に洗浄液を供給する必要
がある。また、一定の処理効率を得るためにも、正確に
一定流量で供給する必要がある。しかしながら、上記の
洗浄液は、例えば５０ｃＰと極めて高い粘度を有してい
るため、通常の定量ポンプによっては精密に定量供給す
るのが難しい。本発明は、斯かる実情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、より高精度に一定の流量で高
粘度流体を供給し得る高粘度流体の送液装置を提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係る高粘度流体の送液装置は、高粘度流体
を定量供給するための送液装置であって、高粘度流体の
供給源に接続される吸入流路と、吸入流路から分岐され
た複数の分岐流路と、各分岐流路にそれぞれ設けられた
送液機構と、各分岐流路の終端を集合すると共に被供給
装置側に接続される吐出流路とから主として構成され、
各分岐流路は、吸入側流路と吐出側流路とから成り、か
つ、各送液機構は、各々、吸入側流路への接続と吐出側
流路への接続を切り替える流路切替手段を介して分岐流
路に取り付けられ、しかも、各送液機構は、往復動作に
よって流体を吸入吐出するシリンジを備え且つ互いに位
相ずれした状態で作動可能に設定され、そして、各流路
切替手段は、送液機構のシリンジの往復動作に応じて接
続を切り替え可能になされていることを特徴とする。
め、本発明に係る高粘度流体の送液装置は、高粘度流体
を定量供給するための送液装置であって、高粘度流体の
供給源に接続される吸入流路と、吸入流路から分岐され
た複数の分岐流路と、各分岐流路にそれぞれ設けられた
送液機構と、各分岐流路の終端を集合すると共に被供給
装置側に接続される吐出流路とから主として構成され、
各分岐流路は、吸入側流路と吐出側流路とから成り、か
つ、各送液機構は、各々、吸入側流路への接続と吐出側
流路への接続を切り替える流路切替手段を介して分岐流
路に取り付けられ、しかも、各送液機構は、往復動作に
よって流体を吸入吐出するシリンジを備え且つ互いに位
相ずれした状態で作動可能に設定され、そして、各流路
切替手段は、送液機構のシリンジの往復動作に応じて接
続を切り替え可能になされていることを特徴とする。
【０００５】すなわち、上記の送液装置において、各分
岐流路に設けられた送液機構は、それぞれのシリンジの
往復動作により、供給源から高粘度流体を吸入し、吐出
流路を通じて被供給装置側に吐出する。その際、各分岐
流路の送液機構は、互いに位相ずれした状態で作動可能
に設定されており、かつ、各流路切替手段は、送液機構
のシリンジの往復動作に応じてシリンジに対する吸入側
流路と吐出側流路の接続を切り替え可能になされている
ため、常時、シリンジの強力な吸引力を吸入流路に作用
させることが出来、また、強力な吐出力を吐出流路に作
用させることが出来る。
岐流路に設けられた送液機構は、それぞれのシリンジの
往復動作により、供給源から高粘度流体を吸入し、吐出
流路を通じて被供給装置側に吐出する。その際、各分岐
流路の送液機構は、互いに位相ずれした状態で作動可能
に設定されており、かつ、各流路切替手段は、送液機構
のシリンジの往復動作に応じてシリンジに対する吸入側
流路と吐出側流路の接続を切り替え可能になされている
ため、常時、シリンジの強力な吸引力を吸入流路に作用
させることが出来、また、強力な吐出力を吐出流路に作
用させることが出来る。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明に係る高粘度流体の送液装
置の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は高粘
度流体の送液装置の概要を示すフロー図であり、図中、
送液機構については簡略化してその構造を示している。
図２は高粘度流体の送液装置による高粘度流体の送液状
態の一例を示すグラフである。以下、実施形態の説明に
おいては、高粘度流体の送液装置を「送液装置」と略記
し、高粘度流体を「流体」と適宜略記する。
置の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は高粘
度流体の送液装置の概要を示すフロー図であり、図中、
送液機構については簡略化してその構造を示している。
図２は高粘度流体の送液装置による高粘度流体の送液状
態の一例を示すグラフである。以下、実施形態の説明に
おいては、高粘度流体の送液装置を「送液装置」と略記
し、高粘度流体を「流体」と適宜略記する。
【０００７】本発明の送液装置は、前述の様なウエハ用
の洗浄液などの粘度が１００ｃＰ以下の流体を定量供給
する送液装置であり、斯かる送液装置は、中間に複数の
分岐流路を並列に構成すると共に、各分岐流路に設けら
れた特定の送液機構の機能を統合することにより、上記
の高粘度の流体を確実に吸引吐出し且つ正確に一定流量
で移送する１つの定量ポンプとしての機能を発揮可能に
なされている。
の洗浄液などの粘度が１００ｃＰ以下の流体を定量供給
する送液装置であり、斯かる送液装置は、中間に複数の
分岐流路を並列に構成すると共に、各分岐流路に設けら
れた特定の送液機構の機能を統合することにより、上記
の高粘度の流体を確実に吸引吐出し且つ正確に一定流量
で移送する１つの定量ポンプとしての機能を発揮可能に
なされている。
【０００８】本発明の送液装置は、図１に示す様に、流
体の供給源（８）に接続される吸入流路（１）と、吸入
流路（１）から並列に分岐された複数の分岐流路（２）
と、各分岐流路（２）にそれぞれ設けられた送液機構
（４）と、各分岐流路（２）の終端を集合すると共に被
供給装置側に接続される吐出流路（３）とから主として
構成される。
体の供給源（８）に接続される吸入流路（１）と、吸入
流路（１）から並列に分岐された複数の分岐流路（２）
と、各分岐流路（２）にそれぞれ設けられた送液機構
（４）と、各分岐流路（２）の終端を集合すると共に被
供給装置側に接続される吐出流路（３）とから主として
構成される。
【０００９】供給源（８）としては、流体の製造設備や
貯槽の他、例えば、図示するような容器が挙げられる
（以下、供給源の一例としての容器を符号（８）で示
す）。図示を省略するが、容器（８）は、後述する送液
機構（４）の負荷を低減するため、空気を含む圧縮ガス
によって加圧可能に構成されていてもよい。また、吸入
流路（１）には、吸入流路（１）、分岐流路（２）、送
液機構（４）および吐出流路（３）へ洗浄水を供給する
ための流路が切替弁を介して付設されていてもよい。
貯槽の他、例えば、図示するような容器が挙げられる
（以下、供給源の一例としての容器を符号（８）で示
す）。図示を省略するが、容器（８）は、後述する送液
機構（４）の負荷を低減するため、空気を含む圧縮ガス
によって加圧可能に構成されていてもよい。また、吸入
流路（１）には、吸入流路（１）、分岐流路（２）、送
液機構（４）および吐出流路（３）へ洗浄水を供給する
ための流路が切替弁を介して付設されていてもよい。
【００１０】分岐流路（２）は後述する送液機構（４）
と同数だけ設けられる。通常、分岐流路（２）は、２又
は３系統（図に例示した装置においては系統（Ａ）及び
系統（Ｂ）の２系統）設けられる。また、吐出流路
（３）は、上記の系統（Ａ）及び系統（Ｂ）の各分岐流
路（２）から送り出される流体を前述のウエハの研磨装
置などの被供給装置へ送液するための流路である。
と同数だけ設けられる。通常、分岐流路（２）は、２又
は３系統（図に例示した装置においては系統（Ａ）及び
系統（Ｂ）の２系統）設けられる。また、吐出流路
（３）は、上記の系統（Ａ）及び系統（Ｂ）の各分岐流
路（２）から送り出される流体を前述のウエハの研磨装
置などの被供給装置へ送液するための流路である。
【００１１】系統（Ａ）及び系統（Ｂ）の各分岐流路
（２）は、吸入側流路（２１）と吐出側流路（２２）の
２つの流路から成り、かつ、各送液機構（４）は、各
々、吸入側流路（２１）への接続と吐出側流路（２２）
への接続を切り替える流路切替手段（５）を介して分岐
流路（２）に取り付けられる。すなわち、送液機構
（４）は、吸入側流路（２１）又は吐出側流路（２２）
の何れかに接続される様になされている。
（２）は、吸入側流路（２１）と吐出側流路（２２）の
２つの流路から成り、かつ、各送液機構（４）は、各
々、吸入側流路（２１）への接続と吐出側流路（２２）
への接続を切り替える流路切替手段（５）を介して分岐
流路（２）に取り付けられる。すなわち、送液機構
（４）は、吸入側流路（２１）又は吐出側流路（２２）
の何れかに接続される様になされている。
【００１２】流路切替手段（５）としては、空気作動弁
や電磁作動弁などの制御可能な切替弁を使用することも
出来るが、微少流量であっても流体をより精密に一定量
流すため、例えば、流路切替手段（５）としては、ディ
スクの盤面または内部に屈曲する流体流路が形成され且
つギヤードモータによってディスクの回転角度を制御す
ることにより、出入口ポートを選択する回転方式の三方
弁が使用される。
や電磁作動弁などの制御可能な切替弁を使用することも
出来るが、微少流量であっても流体をより精密に一定量
流すため、例えば、流路切替手段（５）としては、ディ
スクの盤面または内部に屈曲する流体流路が形成され且
つギヤードモータによってディスクの回転角度を制御す
ることにより、出入口ポートを選択する回転方式の三方
弁が使用される。
【００１３】各送液機構（４）は、ポンプに相当する機
構であり、往復動作によって流体を吸入吐出するシリン
ジ（４１）を備えている。具体的には、送液機構（４）
は、概略、架台に対して平行かつ並列に配置されたスク
リューバー（４３）及びガイドバー（４４）と、スクリ
ューバー（４３）を正逆回転させるステッピングモータ
（４２）と、ガイドバー（４４）に案内され且つスクリ
ューバー（４３）の回転によって一定範囲内を直線移動
する可動ブロック（４５）と、可動ブロック（４５）に
取り付けられ且つシリンジ（４１）に挿入されたピスト
ン（４６）とから構成される。
構であり、往復動作によって流体を吸入吐出するシリン
ジ（４１）を備えている。具体的には、送液機構（４）
は、概略、架台に対して平行かつ並列に配置されたスク
リューバー（４３）及びガイドバー（４４）と、スクリ
ューバー（４３）を正逆回転させるステッピングモータ
（４２）と、ガイドバー（４４）に案内され且つスクリ
ューバー（４３）の回転によって一定範囲内を直線移動
する可動ブロック（４５）と、可動ブロック（４５）に
取り付けられ且つシリンジ（４１）に挿入されたピスト
ン（４６）とから構成される。
【００１４】送液機構（４）の架台には、シリンジ（４
１）に対するピストン（４６）の挿入基端（吸入操作の
終端）と挿入終端（吐出操作の終端）を規定するため、
センサー（４７）及びセンサー（４８）が付設されてお
り、そして、送液機構（４）においては、これらセンサ
ーの信号に基づき、後述の制御ユニット（９）によって
ステッピングモータ（４２）の作動を制御し、可動ブロ
ック（４５）の移動端を規定する様になされている。
１）に対するピストン（４６）の挿入基端（吸入操作の
終端）と挿入終端（吐出操作の終端）を規定するため、
センサー（４７）及びセンサー（４８）が付設されてお
り、そして、送液機構（４）においては、これらセンサ
ーの信号に基づき、後述の制御ユニット（９）によって
ステッピングモータ（４２）の作動を制御し、可動ブロ
ック（４５）の移動端を規定する様になされている。
【００１５】本発明の送液装置においては、前述の通
り、例えば系統（Ａ）及び系統（Ｂ）の２つの系統に設
けられた送液機構（４）により１つのポンプ機能を発揮
させるため、各送液機構（４）は、互いに位相ずれした
状態で作動可能に設定される。すなわち、系統（Ａ）の
送液機構（４）のシリンジ（４１）と系統（Ｂ）の送液
機構（４）のシリンジ（４１）とは、同じ周期（サイク
ル）で且つ位相がずれた状態で作動する様になされてい
る。
り、例えば系統（Ａ）及び系統（Ｂ）の２つの系統に設
けられた送液機構（４）により１つのポンプ機能を発揮
させるため、各送液機構（４）は、互いに位相ずれした
状態で作動可能に設定される。すなわち、系統（Ａ）の
送液機構（４）のシリンジ（４１）と系統（Ｂ）の送液
機構（４）のシリンジ（４１）とは、同じ周期（サイク
ル）で且つ位相がずれた状態で作動する様になされてい
る。
【００１６】各送液機構（４）は、吐出流路（３）から
吐出される流体の脈動を一層低減するため、好ましくは
互いに補完するパターンに位相ずれした状態で作動可能
に設定される。具体的には、送液機構（４）のシリンジ
（４１）における吸入・吐出を１サイクルとした場合、
系統（Ａ）の送液機構（４）のシリンジ（４１）が吸入
操作する際、系統（Ｂ）の送液機構（４）のシリンジ
（４１）が吐出操作する様に、１８０°だけ位相ずれし
たパターンで作動可能に構成される。また、例えば、送
液機構（４）が３基設けられている場合には、１２０°
だけ位相ずれしたパターンで作動可能に構成される。
吐出される流体の脈動を一層低減するため、好ましくは
互いに補完するパターンに位相ずれした状態で作動可能
に設定される。具体的には、送液機構（４）のシリンジ
（４１）における吸入・吐出を１サイクルとした場合、
系統（Ａ）の送液機構（４）のシリンジ（４１）が吸入
操作する際、系統（Ｂ）の送液機構（４）のシリンジ
（４１）が吐出操作する様に、１８０°だけ位相ずれし
たパターンで作動可能に構成される。また、例えば、送
液機構（４）が３基設けられている場合には、１２０°
だけ位相ずれしたパターンで作動可能に構成される。
【００１７】そして、逆流を防止し且つ送液機構（４）
にて一層効率的に流体を吸入吐出するため、各流路切替
手段（５）は、送液機構（４）のシリンジ（４１）の往
復動作に応じて接続を切り替え可能になされている。す
なわち、送液機構（４）のシリンジ（４１）が流体を吸
入する場合は、シリンジ（４１）が吸入側流路（２１）
に通じ（図１の系統（Ａ）の状態）、また、送液機構
（４）のシリンジ（４１）から流体を吐出する場合は、
シリンジ（４１）が吐出側流路（２２）に通じる様にな
されている（図１の系統（Ｂ）の状態）。
にて一層効率的に流体を吸入吐出するため、各流路切替
手段（５）は、送液機構（４）のシリンジ（４１）の往
復動作に応じて接続を切り替え可能になされている。す
なわち、送液機構（４）のシリンジ（４１）が流体を吸
入する場合は、シリンジ（４１）が吸入側流路（２１）
に通じ（図１の系統（Ａ）の状態）、また、送液機構
（４）のシリンジ（４１）から流体を吐出する場合は、
シリンジ（４１）が吐出側流路（２２）に通じる様にな
されている（図１の系統（Ｂ）の状態）。
【００１８】また、本発明の送液装置においては、吸入
流路（１）を通じて取り込まれる流体が送液機構（４）
へ効率的に流れる様に、吸入流路（１）と分岐流路
（２）の間には、送液機構（４）が吸入操作する側の分
岐流路（２）へ接続を切り替える流路切替手段（６）が
介装される。他方、送液機構（４）から吐出された流体
が一時的の他の系統に逆流することなく円滑に吐出流路
（３）へ流れる様に、分岐流路（２）と吐出流路（３）
の間には、送液機構（４）が吐出操作する側の分岐流路
（２）へ接続を切り替える流路切替手段（７）が介装さ
れる。上記の流路切替手段（６）及び流路切替手段
（７）としては、前述の流路切替手段（５）と同様の回
転方式の三方弁が好適である。
流路（１）を通じて取り込まれる流体が送液機構（４）
へ効率的に流れる様に、吸入流路（１）と分岐流路
（２）の間には、送液機構（４）が吸入操作する側の分
岐流路（２）へ接続を切り替える流路切替手段（６）が
介装される。他方、送液機構（４）から吐出された流体
が一時的の他の系統に逆流することなく円滑に吐出流路
（３）へ流れる様に、分岐流路（２）と吐出流路（３）
の間には、送液機構（４）が吐出操作する側の分岐流路
（２）へ接続を切り替える流路切替手段（７）が介装さ
れる。上記の流路切替手段（６）及び流路切替手段
（７）としては、前述の流路切替手段（５）と同様の回
転方式の三方弁が好適である。
【００１９】更に、吐出流路（３）には、被供給装置側
に供給される流体をの圧力を検出するセンサー（３７）
が付設される。斯かるセンサー（３７）は、予め設定さ
れた上限圧力に流体圧力が達したか否かを検出するため
の圧力センサーであり、斯かるセンサー（３７）の設置
により、吐出流路（３）から下流側に閉塞などの異常が
生じた場合に供給を停止することが出来、装置の故障や
破損を防止できる。
に供給される流体をの圧力を検出するセンサー（３７）
が付設される。斯かるセンサー（３７）は、予め設定さ
れた上限圧力に流体圧力が達したか否かを検出するため
の圧力センサーであり、斯かるセンサー（３７）の設置
により、吐出流路（３）から下流側に閉塞などの異常が
生じた場合に供給を停止することが出来、装置の故障や
破損を防止できる。
【００２０】本発明の送液装置は、制御ユニット（９）
によって作動が制御される。制御ユニット（９）は、セ
ンサーを含む各機器の信号をデジタル変換する入力装置
と、記憶手段を含むプログラムコントローラー又はコン
ピューター等の演算処理装置と、演算処理装置からの制
御信号をアナログ変換する出力装置とから主に構成され
る。そして、入力されるセンサー（４７）、センサー
（４８）等の信号を演算処理し、送液機構（４）のステ
ッピングモータ（４２）、流路切替手段（５）のギアー
ドモータ、流路切替手段（６）及び流路切替手段（７）
の各ギアードモータへ制御用の信号を出力する。
によって作動が制御される。制御ユニット（９）は、セ
ンサーを含む各機器の信号をデジタル変換する入力装置
と、記憶手段を含むプログラムコントローラー又はコン
ピューター等の演算処理装置と、演算処理装置からの制
御信号をアナログ変換する出力装置とから主に構成され
る。そして、入力されるセンサー（４７）、センサー
（４８）等の信号を演算処理し、送液機構（４）のステ
ッピングモータ（４２）、流路切替手段（５）のギアー
ドモータ、流路切替手段（６）及び流路切替手段（７）
の各ギアードモータへ制御用の信号を出力する。
【００２１】本発明の送液装置における流体の送液操作
は次の通りである。運転を開始すると、図１に示す様
に、先ず、例えば系統（Ａ）において吸入操作を行う。
その場合、制御ユニット（９）による制御により、流路
切替手段（６）は、吸入流路（１）を系統（Ａ）の吸入
側流路（２１）に接続し、流路切替手段（５）は、前記
の吸入側流路（２１）を系統（Ａ）の送液機構（４）に
接続する。そして、系統（Ａ）の送液機構（４）は、ス
テッピングモータ（４２）の回転およびセンサー（４
８）の機能によって挿入基端（吸入操作の終端）までピ
ストン（４６）を移動させることにより、シリンジ（４
１）内部に流体を吸い込む（図１参照）。
は次の通りである。運転を開始すると、図１に示す様
に、先ず、例えば系統（Ａ）において吸入操作を行う。
その場合、制御ユニット（９）による制御により、流路
切替手段（６）は、吸入流路（１）を系統（Ａ）の吸入
側流路（２１）に接続し、流路切替手段（５）は、前記
の吸入側流路（２１）を系統（Ａ）の送液機構（４）に
接続する。そして、系統（Ａ）の送液機構（４）は、ス
テッピングモータ（４２）の回転およびセンサー（４
８）の機能によって挿入基端（吸入操作の終端）までピ
ストン（４６）を移動させることにより、シリンジ（４
１）内部に流体を吸い込む（図１参照）。
【００２２】センサー（４８）によってピストン（４
６）の移動を検出すると、続いて制御ユニット（９）に
よる制御により、流路切替手段（５）は、系統（Ａ）の
送液機構（４）を吐出側流路（２２）へ切り替え、ま
た、流路切替手段（７）は、系統（Ａ）の吐出側流路
（２２）を吐出流路（３）へ接続する。そして、系統
（Ａ）の送液機構（４）は、ステッピングモータ（４
２）の逆回転およびセンサー（４７）の機能によって挿
入終端（吐出操作の終端）までピストン（４６）を移動
させることにより、シリンジ（４１）内部の流体を吐出
側流路（２２）、吐出流路（３）へ吐出する。
６）の移動を検出すると、続いて制御ユニット（９）に
よる制御により、流路切替手段（５）は、系統（Ａ）の
送液機構（４）を吐出側流路（２２）へ切り替え、ま
た、流路切替手段（７）は、系統（Ａ）の吐出側流路
（２２）を吐出流路（３）へ接続する。そして、系統
（Ａ）の送液機構（４）は、ステッピングモータ（４
２）の逆回転およびセンサー（４７）の機能によって挿
入終端（吐出操作の終端）までピストン（４６）を移動
させることにより、シリンジ（４１）内部の流体を吐出
側流路（２２）、吐出流路（３）へ吐出する。
【００２３】一方、系統（Ａ）の送液機構（４）によっ
て流体を吐出流路（３）へ吐出する際、流路切替手段
（６）は、吸入流路（１）の接続を系統（Ｂ）の吸入側
流路（２１）に切り替え、系統（Ｂ）の流路切替手段
（５）は、吸入側流路（２１）を系統（Ｂ）の送液機構
（４）に接続する。また、系統（Ａ）の送液機構（４）
が吐出操作する間、系統（Ｂ）の送液機構（４）は、系
統（Ａ）の送液機構（４）における最初の操作と同様に
流体の吸入操作を行う。そして、系統（Ｂ）において吸
入操作を終えると、系統（Ａ）の場合と同様に、流路切
替手段（５）、流路切替手段（６）および流路切替手段
（７）の切替操作と共に、吐出操作を行う（図１参
照）。以降、系統（Ａ）及び（Ｂ）の各送液機構
（４）、ならびに、各流路切替手段（５）〜（７）は、
上記の吸入・吐出工程をそれぞれに繰り返す。
て流体を吐出流路（３）へ吐出する際、流路切替手段
（６）は、吸入流路（１）の接続を系統（Ｂ）の吸入側
流路（２１）に切り替え、系統（Ｂ）の流路切替手段
（５）は、吸入側流路（２１）を系統（Ｂ）の送液機構
（４）に接続する。また、系統（Ａ）の送液機構（４）
が吐出操作する間、系統（Ｂ）の送液機構（４）は、系
統（Ａ）の送液機構（４）における最初の操作と同様に
流体の吸入操作を行う。そして、系統（Ｂ）において吸
入操作を終えると、系統（Ａ）の場合と同様に、流路切
替手段（５）、流路切替手段（６）および流路切替手段
（７）の切替操作と共に、吐出操作を行う（図１参
照）。以降、系統（Ａ）及び（Ｂ）の各送液機構
（４）、ならびに、各流路切替手段（５）〜（７）は、
上記の吸入・吐出工程をそれぞれに繰り返す。
【００２４】すなわち、本発明の送液装置において、各
分岐流路（２）に設けられた送液機構（４）は、それぞ
れのシリンジ（４１）の往復動作により、吸入流路
（１）を通じて容器（８）から高粘度流体を吸入し、吐
出流路（３）を通じて被供給装置側に吐出する。その
際、各分岐流路（２）の送液機構（４）は、互いに位相
ずれした状態で作動可能に設定されており、かつ、各流
路切替手段（５）は、送液機構（４）のシリンジ（４
１）の往復動作に応じてシリンジ（４１）に対する吸入
側流路（２１）と吐出側流路（２２）の接続を切り替え
可能になされているため、常時、シリンジ（４１）の往
復動作による強力な吸引力を吸入流路（１）に作用させ
ることが出来、また、強力な吐出力を吐出流路（３）に
作用させることが出来る。
分岐流路（２）に設けられた送液機構（４）は、それぞ
れのシリンジ（４１）の往復動作により、吸入流路
（１）を通じて容器（８）から高粘度流体を吸入し、吐
出流路（３）を通じて被供給装置側に吐出する。その
際、各分岐流路（２）の送液機構（４）は、互いに位相
ずれした状態で作動可能に設定されており、かつ、各流
路切替手段（５）は、送液機構（４）のシリンジ（４
１）の往復動作に応じてシリンジ（４１）に対する吸入
側流路（２１）と吐出側流路（２２）の接続を切り替え
可能になされているため、常時、シリンジ（４１）の往
復動作による強力な吸引力を吸入流路（１）に作用させ
ることが出来、また、強力な吐出力を吐出流路（３）に
作用させることが出来る。
【００２５】従って、本発明の送液装置は、脈動などを
大幅に低減でき、より高精度に一定の流量で高粘度流体
を被供給装置側へ供給できる。その結果、例えばウエハ
研磨後の洗浄処理においては、ウエハ表面に対して滞り
なく確実に且つ正確に一定流量で洗浄液を供給できるた
め、ウエハの表面にスクラッチを発生させる虞もなく、
しかも、一定の処理効率が得られる。
大幅に低減でき、より高精度に一定の流量で高粘度流体
を被供給装置側へ供給できる。その結果、例えばウエハ
研磨後の洗浄処理においては、ウエハ表面に対して滞り
なく確実に且つ正確に一定流量で洗浄液を供給できるた
め、ウエハの表面にスクラッチを発生させる虞もなく、
しかも、一定の処理効率が得られる。
【００２６】ちなみに、本発明の送液装置は、ウエハ研
磨後に使用される洗浄液の供給用として設計した場合、
粘度が５０ｃＰの洗浄液を最大０．２Ｍｐａの吐出圧力
で１〜５０ｍｌ／分（１．３〜６５ｇ／分）で送液で
き、かつ、斯かる流量範囲において１／１０ｍｌの単位
で調整できた。しかも、図２に示す様に、例えば１６ｇ
／分（１２ｍｌ／分）の流量に設定して上記の洗浄液を
送液したところ、流量の変動幅は、設定流量値の±０．
５％であった。
磨後に使用される洗浄液の供給用として設計した場合、
粘度が５０ｃＰの洗浄液を最大０．２Ｍｐａの吐出圧力
で１〜５０ｍｌ／分（１．３〜６５ｇ／分）で送液で
き、かつ、斯かる流量範囲において１／１０ｍｌの単位
で調整できた。しかも、図２に示す様に、例えば１６ｇ
／分（１２ｍｌ／分）の流量に設定して上記の洗浄液を
送液したところ、流量の変動幅は、設定流量値の±０．
５％であった。
【００２７】
【発明の効果】本発明に係る高粘度流体の送液装置によ
れば、常時、シリンジの往復動作による強力な吸引力を
吸入流路に作用させ、強力な吐出力を吐出流路に作用さ
せることが出来るため、脈動などを大幅に低減でき、よ
り高精度に一定の流量で高粘度流体を被供給装置側へ供
給できる。
れば、常時、シリンジの往復動作による強力な吸引力を
吸入流路に作用させ、強力な吐出力を吐出流路に作用さ
せることが出来るため、脈動などを大幅に低減でき、よ
り高精度に一定の流量で高粘度流体を被供給装置側へ供
給できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】高粘度流体の送液装置の概要を示すフロー図
【図２】高粘度流体の送液装置による高粘度流体の供給
状態の一例を示すグラフ
状態の一例を示すグラフ
１ ：吸入流路 ２ ：分岐流路 ２１：吸入側流路 ２２：吐出側流路 ３ ：吐出流路 ４ ：送液機構 ４１：シリンジ ４２：ステッピングモータ ４６：ピストン ４７：センサー ４８：センサー ５ ：流路切替手段 ６ ：流路切替手段 ７ ：流路切替手段 ８ ：供給源（容器） ９ ：制御ユニット
フロントページの続き (72)発明者 板東 嘉文 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石１番２号 三菱化学エンジニアリング株式会社九州 支社内 Ｆターム(参考） 3H071 AA01 BB01 BB13 DD26 3H075 AA17 BB03 BB13 BB20 CC11 DA07 DA28 DB03 DB22
Claims (4)
- 【請求項１】 高粘度流体を定量供給するための送液装
置であって、高粘度流体の供給源（８）に接続される吸
入流路（１）と、吸入流路（１）から分岐された複数の
分岐流路（２）と、各分岐流路（２）にそれぞれ設けら
れた送液機構（４）と、各分岐流路（２）の終端を集合
すると共に被供給装置側に接続される吐出流路（３）と
から主として構成され、各分岐流路（２）は、吸入側流
路（２１）と吐出側流路（２２）とから成り、かつ、各
送液機構（４）は、各々、吸入側流路（２１）への接続
と吐出側流路（２２）への接続を切り替える流路切替手
段（５）を介して分岐流路（２）に取り付けられ、しか
も、各送液機構（４）は、往復動作によって流体を吸入
吐出するシリンジ（４１）を備え且つ互いに位相ずれし
た状態で作動可能に設定され、そして、各流路切替手段
（５）は、送液機構（４）のシリンジ（４１）の往復動
作に応じて接続を切り替え可能になされていることを特
徴とする高粘度流体の送液装置。 - 【請求項２】 各送液機構（４）は、互いに補完するパ
ターンに位相ずれした状態で作動可能に設定されている
請求項１に記載の高粘度流体の送液装置。 - 【請求項３】 吸入流路（１）と分岐流路（２）の間に
は、送液機構（４）が吸入操作する側の分岐流路（２）
へ接続を切り替える流路切替手段（６）が介装されてい
る請求項１又は２に記載の高粘度流体の送液装置。 - 【請求項４】 分岐流路（２）と吐出流路（３）の間に
は、送液機構（４）が吐出操作する側の分岐流路（２）
へ接続を切り替える流路切替手段（７）が介装されてい
る請求項１〜３の何れかに記載の高粘度流体の送液装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000370054A JP2002174167A (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | 高粘度流体の送液装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000370054A JP2002174167A (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | 高粘度流体の送液装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002174167A true JP2002174167A (ja) | 2002-06-21 |
Family
ID=18839996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000370054A Pending JP2002174167A (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | 高粘度流体の送液装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002174167A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006063804A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Kansai Paint Co Ltd | 液体供給装置 |
| KR100672733B1 (ko) | 2005-05-24 | 2007-01-24 | 주식회사 세 바 | 모터를 이용한 실린지 펌프방식 디스펜서 |
| JP2015020161A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 吐出装置および吐出方法 |
| WO2016088798A1 (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-09 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | シリンジを用いた処理液供給装置およびウェット処理装置 |
| JP2019117938A (ja) * | 2019-03-08 | 2019-07-18 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | シリンジを用いたウェット処理装置 |
| JP2021504250A (ja) * | 2017-11-29 | 2021-02-15 | エーディーシステム エス・エー・エス | ジェット燃料の熱酸化試験装置 |
-
2000
- 2000-12-05 JP JP2000370054A patent/JP2002174167A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006063804A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Kansai Paint Co Ltd | 液体供給装置 |
| JP4624038B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2011-02-02 | 関西ペイント株式会社 | 液体供給装置 |
| KR100672733B1 (ko) | 2005-05-24 | 2007-01-24 | 주식회사 세 바 | 모터를 이용한 실린지 펌프방식 디스펜서 |
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| JP2016111053A (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-20 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | シリンジを用いた処理液供給装置およびウェット処理装置 |
| US20180001354A1 (en) * | 2014-12-02 | 2018-01-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Treatment liquid supply device using syringe, and wet treatment device |
| US10478867B2 (en) | 2014-12-02 | 2019-11-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Treatment liquid supply device using syringe, and wet treatment device |
| JP2021504250A (ja) * | 2017-11-29 | 2021-02-15 | エーディーシステム エス・エー・エス | ジェット燃料の熱酸化試験装置 |
| JP7213444B2 (ja) | 2017-11-29 | 2023-01-27 | エーディーシステム エス・エー・エス | ジェット燃料の熱酸化試験装置 |
| JP2019117938A (ja) * | 2019-03-08 | 2019-07-18 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | シリンジを用いたウェット処理装置 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091016 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091110 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100309 |