JP2002172556A - 被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法 - Google Patents
被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法Info
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- JP2002172556A JP2002172556A JP2000375665A JP2000375665A JP2002172556A JP 2002172556 A JP2002172556 A JP 2002172556A JP 2000375665 A JP2000375665 A JP 2000375665A JP 2000375665 A JP2000375665 A JP 2000375665A JP 2002172556 A JP2002172556 A JP 2002172556A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱硬化性樹脂を用いた従来のキャリア材に比
べて有機溶媒を使用したＰＰシート工程が不要であり、
かつ短時間で成型可能であり、生産性に優れた被研磨物
保持用キャリア材及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 複数枚の繊維強化樹脂シート５の積層体
からなり、繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に熱
可塑性樹脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維の
シート状基材を埋設したキャリア材を成型し、該キャリ
ア材から歯２や保持穴３を備えたキャリア１を切り出
す。上記キャリア材は、補強繊維からなる複数枚のシー
ト状基材の間に熱可塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在
させ、これらを一体に加熱加圧することで得る。
べて有機溶媒を使用したＰＰシート工程が不要であり、
かつ短時間で成型可能であり、生産性に優れた被研磨物
保持用キャリア材及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 複数枚の繊維強化樹脂シート５の積層体
からなり、繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に熱
可塑性樹脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維の
シート状基材を埋設したキャリア材を成型し、該キャリ
ア材から歯２や保持穴３を備えたキャリア１を切り出
す。上記キャリア材は、補強繊維からなる複数枚のシー
ト状基材の間に熱可塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在
させ、これらを一体に加熱加圧することで得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハー、
液晶ディスプレイガラス、ハードディスク等のディスク
状のワークを平面研磨機で研磨する際に、そのワーク
（被研磨物）の保持手段として使用するキャリア材及び
該キャリア材を製造する方法に関し、更に詳しくは、熱
硬化性樹脂を用いた従来のキャリア材に比べて短時間で
成型可能な被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法
に関する。
液晶ディスプレイガラス、ハードディスク等のディスク
状のワークを平面研磨機で研磨する際に、そのワーク
（被研磨物）の保持手段として使用するキャリア材及び
該キャリア材を製造する方法に関し、更に詳しくは、熱
硬化性樹脂を用いた従来のキャリア材に比べて短時間で
成型可能な被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェハー等の被研磨物を平
面研磨機で研磨加工する際に、その被研磨物を保持する
ために使用するキャリア材には、ＳＫ鋼などの金属板が
多く使用されていた。しかし、金属板では研磨加工中に
生成する金属粉が半導体等の性能に悪影響を与えること
が判ってから、炭素繊維やガラス繊維を用いた繊維強化
樹脂シートが広く使用されている。このような繊維強化
樹脂シートには、特許第２９７４００７号公報に示され
るようにマトリックス樹脂として未硬化時の粘度が低い
熱硬化性樹脂が使用される。繊維強化樹脂シートは該熱
硬化性樹脂を補強繊維に含浸させたＢステージ状態のプ
リプレグ（ＰＰ）シートを積層・硬化して製造される。
しかしながら、ＰＰシートを作成するには熱硬化性樹脂
を有機溶媒に溶解させ、繊維シートに付与し、乾燥処理
することが必要であるために、溶媒の取り扱い、防災や
衛生面での困難さがつきまとってきた。また、得られた
ＰＰシートは一般に低温で保存する必要があり、その取
り扱いが極めて煩雑であった。さらに、熱硬化性樹脂は
硬化反応に長い時間を要するため、積層硬化時の生産性
が悪いという問題があった。
面研磨機で研磨加工する際に、その被研磨物を保持する
ために使用するキャリア材には、ＳＫ鋼などの金属板が
多く使用されていた。しかし、金属板では研磨加工中に
生成する金属粉が半導体等の性能に悪影響を与えること
が判ってから、炭素繊維やガラス繊維を用いた繊維強化
樹脂シートが広く使用されている。このような繊維強化
樹脂シートには、特許第２９７４００７号公報に示され
るようにマトリックス樹脂として未硬化時の粘度が低い
熱硬化性樹脂が使用される。繊維強化樹脂シートは該熱
硬化性樹脂を補強繊維に含浸させたＢステージ状態のプ
リプレグ（ＰＰ）シートを積層・硬化して製造される。
しかしながら、ＰＰシートを作成するには熱硬化性樹脂
を有機溶媒に溶解させ、繊維シートに付与し、乾燥処理
することが必要であるために、溶媒の取り扱い、防災や
衛生面での困難さがつきまとってきた。また、得られた
ＰＰシートは一般に低温で保存する必要があり、その取
り扱いが極めて煩雑であった。さらに、熱硬化性樹脂は
硬化反応に長い時間を要するため、積層硬化時の生産性
が悪いという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、熱硬
化性樹脂を用いた従来のキャリア材に比べて、ＰＰシー
トの作成が不要で、短時間で成型可能であり、生産性に
優れた被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法を提
供することにある。
化性樹脂を用いた従来のキャリア材に比べて、ＰＰシー
トの作成が不要で、短時間で成型可能であり、生産性に
優れた被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法を提
供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の被研磨物保持用キャリア材は、複数枚の繊維
強化樹脂シートの積層体からなり、前記繊維強化樹脂シ
ートのマトリックス樹脂に熱可塑性樹脂を用い、該マト
リックス樹脂中に補強繊維のシート状基材を埋設したこ
とを特徴とするものである。
の本発明の被研磨物保持用キャリア材は、複数枚の繊維
強化樹脂シートの積層体からなり、前記繊維強化樹脂シ
ートのマトリックス樹脂に熱可塑性樹脂を用い、該マト
リックス樹脂中に補強繊維のシート状基材を埋設したこ
とを特徴とするものである。
【０００５】また、本発明の被研磨物保持用キャリア材
の製造方法は、補強繊維からなる複数枚のシート状基材
の間に熱可塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在させ、こ
れらを一体に加熱加圧することを特徴とするものであ
る。
の製造方法は、補強繊維からなる複数枚のシート状基材
の間に熱可塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在させ、こ
れらを一体に加熱加圧することを特徴とするものであ
る。
【０００６】本発明者は、被研磨物保持用キャリア材を
構成する繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に熱可
塑性樹脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維のシ
ート状基材を埋設する場合であっても、その補強繊維に
対して可塑状態の熱可塑性樹脂が十分に含浸することを
見い出し、本発明に至ったのである。
構成する繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に熱可
塑性樹脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維のシ
ート状基材を埋設する場合であっても、その補強繊維に
対して可塑状態の熱可塑性樹脂が十分に含浸することを
見い出し、本発明に至ったのである。
【０００７】上述のように繊維強化樹脂シートのマトリ
ックス樹脂に熱可塑性樹脂を用いることにより、熱硬化
性樹脂を用いる従来に比べてＰＰシートの作成が不要で
あり、またキャリア材の成型時間を短縮し、その生産性
を向上することができる。勿論、被研磨物保持用キャリ
ア材として十分に機能することが可能である。
ックス樹脂に熱可塑性樹脂を用いることにより、熱硬化
性樹脂を用いる従来に比べてＰＰシートの作成が不要で
あり、またキャリア材の成型時間を短縮し、その生産性
を向上することができる。勿論、被研磨物保持用キャリ
ア材として十分に機能することが可能である。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の構成について添付
の図面を参照して具体的に説明する。
の図面を参照して具体的に説明する。
【０００９】図１及び図２は本発明のキャリア材から切
り出したキャリアを例示するものである。キャリア材
は、一般に平面の大きさが１００×１００ｃｍであり、
厚さが０．７ｍｍ前後になるように形成されている。こ
のような広面積のキャリア材から、用途に応じて色々な
大きさのキャリア材が切り出される。
り出したキャリアを例示するものである。キャリア材
は、一般に平面の大きさが１００×１００ｃｍであり、
厚さが０．７ｍｍ前後になるように形成されている。こ
のような広面積のキャリア材から、用途に応じて色々な
大きさのキャリア材が切り出される。
【００１０】図１及び図２に示すように、キャリア１は
円形で、かつ外周に歯２を有するように歯車状に形成さ
れ、かつ内側には被研磨物を保持するための保持穴３を
設けている。保持穴３の数は特に限定されず、用途や目
的に応じて図示の例のような３個であっても、４個また
はそれ以上であっても良い。
円形で、かつ外周に歯２を有するように歯車状に形成さ
れ、かつ内側には被研磨物を保持するための保持穴３を
設けている。保持穴３の数は特に限定されず、用途や目
的に応じて図示の例のような３個であっても、４個また
はそれ以上であっても良い。
【００１１】本発明のキャリア材から切り出されたキャ
リア１は、複数枚の繊維強化樹脂シート５を積層した積
層体から構成されている。繊維強化樹脂シート５は、マ
トリックス樹脂として熱可塑性樹脂を用い、該マトリッ
クス樹脂中に補強繊維のシート状基材を埋設したもので
ある。
リア１は、複数枚の繊維強化樹脂シート５を積層した積
層体から構成されている。繊維強化樹脂シート５は、マ
トリックス樹脂として熱可塑性樹脂を用い、該マトリッ
クス樹脂中に補強繊維のシート状基材を埋設したもので
ある。
【００１２】図３及び図４は、上記キャリア１の保持穴
３に半導体ウェハー等の被研磨物６を保持した状態にし
て、その被研磨物６の研磨加工のためにキャリア１を装
着した平面研磨機を示している。
３に半導体ウェハー等の被研磨物６を保持した状態にし
て、その被研磨物６の研磨加工のためにキャリア１を装
着した平面研磨機を示している。
【００１３】平面研磨機は上下に回転盤１０，１１を配
置し、その回転盤１０，１１の内面にそれぞれ研磨布１
２，１３を貼り付けている。また、研磨布１２，１３に
は、不図示のノズルから研磨剤が供給されるようになっ
ている。さらに下側の回転盤１１には、内面中心部に太
陽歯車１４が設けられ、さらに外周部外側にリング１６
によって固定された内歯歯車１５が設けられている。キ
ャリア１は、太陽歯車１４と内歯歯車１５とに同時に噛
み合うように装着され、太陽歯車１４の回転駆動により
自転と共に太陽歯車１４の周りを公転するようになって
いる。
置し、その回転盤１０，１１の内面にそれぞれ研磨布１
２，１３を貼り付けている。また、研磨布１２，１３に
は、不図示のノズルから研磨剤が供給されるようになっ
ている。さらに下側の回転盤１１には、内面中心部に太
陽歯車１４が設けられ、さらに外周部外側にリング１６
によって固定された内歯歯車１５が設けられている。キ
ャリア１は、太陽歯車１４と内歯歯車１５とに同時に噛
み合うように装着され、太陽歯車１４の回転駆動により
自転と共に太陽歯車１４の周りを公転するようになって
いる。
【００１４】上記平面研磨機により被研磨物６の両面を
研磨加工するときは、先ず上側の回転盤１０を上昇させ
た後、キャリア１の保持穴３に被研磨物６を嵌め込む。
次いで、鎖線で示すように回転盤１０を下降させ、内面
の研磨布１２を被研磨物６の上面に接触させた状態にす
る。そして、不図示のノズルから研磨剤を吐出しながら
太陽歯車１４を回転させると共に、回転盤１０，１１を
互いに反対方向に回転させると、キャリア１に保持され
た被研磨物６の両面が研磨される。
研磨加工するときは、先ず上側の回転盤１０を上昇させ
た後、キャリア１の保持穴３に被研磨物６を嵌め込む。
次いで、鎖線で示すように回転盤１０を下降させ、内面
の研磨布１２を被研磨物６の上面に接触させた状態にす
る。そして、不図示のノズルから研磨剤を吐出しながら
太陽歯車１４を回転させると共に、回転盤１０，１１を
互いに反対方向に回転させると、キャリア１に保持され
た被研磨物６の両面が研磨される。
【００１５】本発明に係る被研磨物保持用キャリア材
は、複数枚の繊維強化樹脂シートの積層体からなり、そ
の繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に熱可塑性樹
脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維のシート状
基材を埋設したものである。
は、複数枚の繊維強化樹脂シートの積層体からなり、そ
の繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に熱可塑性樹
脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維のシート状
基材を埋設したものである。
【００１６】シート状基材を構成する補強繊維として
は、芳香族ポリアミド繊維、炭素繊維、ポリパラフェニ
レンベンズオキサゾール繊維（ＰＢＯ）、ガラス繊維か
ら選ばれた少なくとも１種を使用することができる。特
に、芳香族ポリアミド繊維は耐摩耗性に優れるため好ま
しい。この芳香族ポリアミド繊維にはパラ系とメタ系が
あるが、パラ系が主成分であることが好ましい。パラ系
芳香族ポリアミド繊維は、メタ系芳香族ポリアミド繊維
より繊維自体の引張り強度等の力学的物性値が高く、耐
摩耗性が良好である。また、パラ系芳香族ポリアミド繊
維は、メタ系芳香族ポリアミド繊維より吸湿性が低いの
で、水分が存在する研磨環境に好適である。パラ系芳香
族ポリアミド繊維としては、ポリパラフェニレンテレフ
タルアミド繊維とポリパラフェニレンジフェニールエー
テルテレフタルアミド繊維が代表的である。
は、芳香族ポリアミド繊維、炭素繊維、ポリパラフェニ
レンベンズオキサゾール繊維（ＰＢＯ）、ガラス繊維か
ら選ばれた少なくとも１種を使用することができる。特
に、芳香族ポリアミド繊維は耐摩耗性に優れるため好ま
しい。この芳香族ポリアミド繊維にはパラ系とメタ系が
あるが、パラ系が主成分であることが好ましい。パラ系
芳香族ポリアミド繊維は、メタ系芳香族ポリアミド繊維
より繊維自体の引張り強度等の力学的物性値が高く、耐
摩耗性が良好である。また、パラ系芳香族ポリアミド繊
維は、メタ系芳香族ポリアミド繊維より吸湿性が低いの
で、水分が存在する研磨環境に好適である。パラ系芳香
族ポリアミド繊維としては、ポリパラフェニレンテレフ
タルアミド繊維とポリパラフェニレンジフェニールエー
テルテレフタルアミド繊維が代表的である。
【００１７】繊維強化樹脂シートの積層体において、シ
ート状基材の補強繊維を層間で互いに異ならせることも
可能である。例えば、耐摩耗性に優れた芳香族ポリアミ
ド繊維を最外層に使用する一方で、中間層にはそれ以外
の繊維を使用することができる。
ート状基材の補強繊維を層間で互いに異ならせることも
可能である。例えば、耐摩耗性に優れた芳香族ポリアミ
ド繊維を最外層に使用する一方で、中間層にはそれ以外
の繊維を使用することができる。
【００１８】上記シート状基材には各種形態に加工した
補強繊維を使用することができる。具体的な形態として
は、補強繊維の織物からなる基材、補強繊維を一方向に
配向させてなる基材、補強繊維の短繊維をランダムに分
散させた紙からなる基材、補強繊維の不織布からなる基
材などを挙げることができる。これらシート状基材の厚
さは０．３〜３．０ｍｍの範囲にすると良い。シート状
基材の厚さが０．３ｍｍ未満であると十分な剛性が得ら
れず、逆に３．０ｍｍを超えると熱可塑性樹脂をシート
状基材の内部まで十分に含浸させることが困難になる。
補強繊維を使用することができる。具体的な形態として
は、補強繊維の織物からなる基材、補強繊維を一方向に
配向させてなる基材、補強繊維の短繊維をランダムに分
散させた紙からなる基材、補強繊維の不織布からなる基
材などを挙げることができる。これらシート状基材の厚
さは０．３〜３．０ｍｍの範囲にすると良い。シート状
基材の厚さが０．３ｍｍ未満であると十分な剛性が得ら
れず、逆に３．０ｍｍを超えると熱可塑性樹脂をシート
状基材の内部まで十分に含浸させることが困難になる。
【００１９】一方、熱可塑性樹脂としては、ナイロン、
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレン
テレフタレート（ＰＢＴ）、ポリオキシメチレン（ＰＯ
Ｍ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリフェニレンサル
ファイド（ＰＰＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロ
ピレン（ＰＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）、ポリエーテルケトンケトン（ＰＥＫＫ）、ポリエ
ーテルスルフォン（ＰＥＳ）又はアクリロニトリル・ブ
タジエン・スチレン共重合体（ＡＢＳ）を使用すること
ができる。
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレン
テレフタレート（ＰＢＴ）、ポリオキシメチレン（ＰＯ
Ｍ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリフェニレンサル
ファイド（ＰＰＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロ
ピレン（ＰＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）、ポリエーテルケトンケトン（ＰＥＫＫ）、ポリエ
ーテルスルフォン（ＰＥＳ）又はアクリロニトリル・ブ
タジエン・スチレン共重合体（ＡＢＳ）を使用すること
ができる。
【００２０】本発明の被研磨物保持用キャリア材は、複
数枚のシート状基材の間に熱可塑性樹脂をフィルム又は
粉末の形態として挿入し、これを上下両面から一体に加
熱加圧成型することで得られる。このような加熱加圧成
型において、シート状基材の厚さを上記の如く０．３〜
３．０ｍｍの範囲に規制することにより、溶融状態とな
った熱可塑性樹脂を補強繊維間に隙間なく含浸させると
ができる。また、熱可塑性樹脂は従来のように熱硬化性
樹脂を硬化させる場合に比べて短時間で冷却固化が可能
であるので、キャリア材の生産性を著しく向上すること
ができる。
数枚のシート状基材の間に熱可塑性樹脂をフィルム又は
粉末の形態として挿入し、これを上下両面から一体に加
熱加圧成型することで得られる。このような加熱加圧成
型において、シート状基材の厚さを上記の如く０．３〜
３．０ｍｍの範囲に規制することにより、溶融状態とな
った熱可塑性樹脂を補強繊維間に隙間なく含浸させると
ができる。また、熱可塑性樹脂は従来のように熱硬化性
樹脂を硬化させる場合に比べて短時間で冷却固化が可能
であるので、キャリア材の生産性を著しく向上すること
ができる。
【００２１】
【実施例】本発明の被研磨物保持用キャリア材として実
施例１及び比較例１の樹脂硬化板を作製し、その力学特
性値を測定した。なお、本実施例に適用した測定方法は
次の通りである。得られた樹脂硬化板から幅１２．５ｍ
ｍ、長さ２００ｍｍの試験片を切り出し、両端５０ｍｍ
にガラス繊維複合材をエポキシ樹脂で張り付けて補強
し、中央の１００ｍｍ部分を測定箇所とした。両端５０
ｍｍ部分をチャックで挟み、引張速度２ｍｍ／分で破断
するまで、引張荷重及び伸度を測定した。引張強度、引
張弾性率は下記のように求めた。下式において、Ｆは最
大引張荷重（Ｎ）であり、Ａは試験片の断面積（ｍ
ｍ2 ）である。
施例１及び比較例１の樹脂硬化板を作製し、その力学特
性値を測定した。なお、本実施例に適用した測定方法は
次の通りである。得られた樹脂硬化板から幅１２．５ｍ
ｍ、長さ２００ｍｍの試験片を切り出し、両端５０ｍｍ
にガラス繊維複合材をエポキシ樹脂で張り付けて補強
し、中央の１００ｍｍ部分を測定箇所とした。両端５０
ｍｍ部分をチャックで挟み、引張速度２ｍｍ／分で破断
するまで、引張荷重及び伸度を測定した。引張強度、引
張弾性率は下記のように求めた。下式において、Ｆは最
大引張荷重（Ｎ）であり、Ａは試験片の断面積（ｍ
ｍ2 ）である。
【００２２】引張強度（ＭＰａ）＝Ｆ／Ａ 引張弾性率（ＭＰａ）：伸度を横軸に、応力を縦軸にと
ってグラフを作成し、引張強度２０％と６０％の時の測
定点を結んだ直線の勾配を求めた。
ってグラフを作成し、引張強度２０％と６０％の時の測
定点を結んだ直線の勾配を求めた。
【００２３】実施例１ 厚さ０．０５ｍｍのＰＰＳフィルム４枚を東レ・デュポ
ン（株）製の全芳香族ポリアミド繊維（商品名：ケブラ
ー）の短カット糸からなる目付７２ｇ／ｍ2 、厚さ０．
１０ｍｍの不織布５枚と交互に重ね、最外層には厚さ
０．１０ｍｍのＰＰＳフィルムをそれぞれ１枚ずつ配置
した。これを３５０℃の温度の平滑なステンレス製金属
板に挟んで２分間加熱成型した。得られた厚さ約０．７
ｍｍの薄板の力学特性値は表１の通りであった。
ン（株）製の全芳香族ポリアミド繊維（商品名：ケブラ
ー）の短カット糸からなる目付７２ｇ／ｍ2 、厚さ０．
１０ｍｍの不織布５枚と交互に重ね、最外層には厚さ
０．１０ｍｍのＰＰＳフィルムをそれぞれ１枚ずつ配置
した。これを３５０℃の温度の平滑なステンレス製金属
板に挟んで２分間加熱成型した。得られた厚さ約０．７
ｍｍの薄板の力学特性値は表１の通りであった。
【００２４】比較例１ 東レ・デュポン（株）製の全芳香族ポリアミド繊維（商
品名：ケブラー）の短カット糸からなる目付７２ｇ／ｍ
2 、厚さ０．１０ｍｍの不織布を硬化剤を含むエポキシ
樹脂を熔解させたメチルエチル溶液に連続含浸し、乾燥
させてＢステージ状態のプリプレグシートを得た。これ
を適当な大きさに切り、５枚積層して１８０℃の温度の
平滑なステンレス製金属板に挟んで１０分間加熱成型し
た。得られた厚さ約０．７ｍｍの薄板の力学特性値は表
１の通りであった。
品名：ケブラー）の短カット糸からなる目付７２ｇ／ｍ
2 、厚さ０．１０ｍｍの不織布を硬化剤を含むエポキシ
樹脂を熔解させたメチルエチル溶液に連続含浸し、乾燥
させてＢステージ状態のプリプレグシートを得た。これ
を適当な大きさに切り、５枚積層して１８０℃の温度の
平滑なステンレス製金属板に挟んで１０分間加熱成型し
た。得られた厚さ約０．７ｍｍの薄板の力学特性値は表
１の通りであった。
【００２５】
【表１】 この表１から判るように、実施例１の樹脂硬化板は比較
例１（従来例）の樹脂硬化板と同等の力学特性値を備え
ていた。
例１（従来例）の樹脂硬化板と同等の力学特性値を備え
ていた。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
研磨物の保持に用いるキャリア材を複数枚の繊維強化樹
脂シートの積層体から構成し、繊維強化樹脂シートのマ
トリックス樹脂に熱可塑性樹脂を用い、該マトリックス
樹脂中に補強繊維のシート状基材を埋設することによ
り、熱硬化性樹脂を用いる従来に比べてＰＰシート化が
不要であり、またキャリア材の成型時間を短縮し、その
生産性を大幅に向上することができる。上記キャリア材
は、補強繊維からなる複数枚のシート状基材の間に熱可
塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在させ、これらを一体
に加熱加圧することで、熱可塑性樹脂を補強繊維間に隙
間なく含浸させながら成型することができる。
研磨物の保持に用いるキャリア材を複数枚の繊維強化樹
脂シートの積層体から構成し、繊維強化樹脂シートのマ
トリックス樹脂に熱可塑性樹脂を用い、該マトリックス
樹脂中に補強繊維のシート状基材を埋設することによ
り、熱硬化性樹脂を用いる従来に比べてＰＰシート化が
不要であり、またキャリア材の成型時間を短縮し、その
生産性を大幅に向上することができる。上記キャリア材
は、補強繊維からなる複数枚のシート状基材の間に熱可
塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在させ、これらを一体
に加熱加圧することで、熱可塑性樹脂を補強繊維間に隙
間なく含浸させながら成型することができる。
【図１】本発明のキャリア材から切り出したキャリアの
一例を示す平面図である。
一例を示す平面図である。
【図２】図１のII−II矢視による断面図であり、Ａで囲
った部分を併せて拡大図として示す図である。
った部分を併せて拡大図として示す図である。
【図３】平面研磨機の要部の一例を示す平面図である。
【図４】図３の平面研磨機の縦断面図である。
１ キャリア ２ 歯 ３ 保持穴 ５ 繊維強化樹脂シート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 学 東京都中央区日本橋室町２丁目３番16号 東洋プラスチック精工株式会社内 (72)発明者 田口 巌寛 東京都中央区日本橋室町２丁目３番16号 東洋プラスチック精工株式会社内 Ｆターム(参考） 3C058 AB04 CA01 CB05 CB10 DA17
Claims (8)
- 【請求項１】 複数枚の繊維強化樹脂シートの積層体か
らなり、前記繊維強化樹脂シートのマトリックス樹脂に
熱可塑性樹脂を用い、該マトリックス樹脂中に補強繊維
のシート状基材を埋設した被研磨物保持用キャリア材。 - 【請求項２】 前記シート状基材の厚さが０．３〜３．
０ｍｍである請求項１に記載の被研磨物保持用キャリア
材。 - 【請求項３】 前記補強繊維が、芳香族ポリアミド繊
維、炭素繊維、ポリパラフェニレンベンズオキサゾール
繊維、ガラス繊維から選ばれた少なくとも１種である請
求項１又は請求項２に記載の被研磨物保持用キャリア
材。 - 【請求項４】 前記熱可塑性樹脂が、ナイロン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、
ポリオキシメチレン、ポリカーボネート、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、
ポリエーテルスルフォン又はアクリロニトリル・ブタジ
エン・スチレン共重合体である請求項１乃至請求項３の
いずれかに記載の被研磨物保持用キャリア材。 - 【請求項５】 補強繊維からなる複数枚のシート状基材
の間に熱可塑性樹脂のフィルム又は粉末を介在させ、こ
れらを一体に加熱加圧する被研磨物保持用キャリア材の
製造方法。 - 【請求項６】 前記シート状基材の厚さが０．３〜３．
０ｍｍである請求項５に記載の被研磨物保持用キャリア
材の製造方法。 - 【請求項７】 前記補強繊維が、芳香族ポリアミド繊
維、炭素繊維、ポリパラフェニレンベンズオキサゾール
繊維、ガラス繊維から選ばれた少なくとも１種である請
求項５又は請求項６に記載の被研磨物保持用キャリア材
の製造方法。 - 【請求項８】 前記熱可塑性樹脂が、ナイロン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、
ポリオキシメチレン、ポリカーボネート、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、
ポリエーテルスルフォン又はアクリロニトリル・ブタジ
エン・スチレン共重合体である請求項５乃至請求項７の
いずれかに記載の被研磨物保持用キャリア材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000375665A JP2002172556A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | 被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000375665A JP2002172556A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | 被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002172556A true JP2002172556A (ja) | 2002-06-18 |
Family
ID=18844646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000375665A Pending JP2002172556A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | 被研磨物保持用キャリア材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002172556A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013094880A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 被研磨物保持キャリア材用基材、および製造方法 |
| CN115990825A (zh) * | 2022-12-27 | 2023-04-21 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 一种硅片双面抛光用的载具、双面抛光装置及硅片 |
-
2000
- 2000-12-11 JP JP2000375665A patent/JP2002172556A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013094880A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 被研磨物保持キャリア材用基材、および製造方法 |
| CN115990825A (zh) * | 2022-12-27 | 2023-04-21 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 一种硅片双面抛光用的载具、双面抛光装置及硅片 |
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