JP2002172304A - 複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法Info
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- B01D39/2068—Other inorganic materials, e.g. ceramics
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- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/0001—Making filtering elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/24—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies
- B01D46/2403—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies characterised by the physical shape or structure of the filtering element
- B01D46/2418—Honeycomb filters
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高捕捉効率、小圧力損失であるとともに、集
塵装置としての使用に際して十分な強度を有する複層構
造ハニカムフィルタを提供する。 【解決手段】 ハニカム構造を有する多孔質の基材の表
面に、１層または２層以上のフィルタ層を備えた集塵用
の複層構造ハニカムフィルタである。フィルタの濾過流
速が１ｍ／ｍｉｎの場合における基材の圧力損失が１５
０〜７００Ｐａであるとともに、少なくとも１層以上の
フィルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐａである。
塵装置としての使用に際して十分な強度を有する複層構
造ハニカムフィルタを提供する。 【解決手段】 ハニカム構造を有する多孔質の基材の表
面に、１層または２層以上のフィルタ層を備えた集塵用
の複層構造ハニカムフィルタである。フィルタの濾過流
速が１ｍ／ｍｉｎの場合における基材の圧力損失が１５
０〜７００Ｐａであるとともに、少なくとも１層以上の
フィルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐａである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、被処理ガス中の
ダストを捕捉する集塵用の複層構造ハニカムフィルタ及
びその製造方法に関する。
ダストを捕捉する集塵用の複層構造ハニカムフィルタ及
びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来、集塵装置は紙や繊維、高分子樹
脂を使用したバグフィルタが主流であったが、近年、公
害防止等の環境対策、高温ガスからの製品回収、クリー
ンな高温エネルギー回収のため、高分子材料が使用不可
能である２５０℃以上の温度域における集塵が必要な市
場が増えてきた。
脂を使用したバグフィルタが主流であったが、近年、公
害防止等の環境対策、高温ガスからの製品回収、クリー
ンな高温エネルギー回収のため、高分子材料が使用不可
能である２５０℃以上の温度域における集塵が必要な市
場が増えてきた。
【０００３】 このような状況下、セラミックスは、耐
熱性、耐食性に優れ、高温、腐食性ガス雰囲気でのフィ
ルタ材料として好ましい特性を有している。このセラミ
ックスを材料としたセラミックスフィルタとしては、例
えば管状のもの、或いは、一方が閉じた管状であるキャ
ンドルタイプと呼ばれる形状のもの等を挙げることがで
き、現在、集塵用ハニカムフィルタは、高温ガスからの
製品の回収、環境対策を狙いとした排ガスからのダスト
の除去等を目的として、化学、電力、鉄鋼、産業廃棄物
処理産業等多岐に渡る分野において用いられている。
熱性、耐食性に優れ、高温、腐食性ガス雰囲気でのフィ
ルタ材料として好ましい特性を有している。このセラミ
ックスを材料としたセラミックスフィルタとしては、例
えば管状のもの、或いは、一方が閉じた管状であるキャ
ンドルタイプと呼ばれる形状のもの等を挙げることがで
き、現在、集塵用ハニカムフィルタは、高温ガスからの
製品の回収、環境対策を狙いとした排ガスからのダスト
の除去等を目的として、化学、電力、鉄鋼、産業廃棄物
処理産業等多岐に渡る分野において用いられている。
【０００４】 かかるハニカムフィルタは、図２に示す
ように、ハニカムの多数の貫通孔９の端部を上流側Ｂと
下流側Ｃとを逆に１マスごとに封じた構造を有し、上流
側Ｂから入った高温ガスは、多孔質の隔壁８を通って下
流側Ｃの穴より抜けていくが、その際に、高温ガス中の
ダストは隔壁のフィルタ層に捕捉される。
ように、ハニカムの多数の貫通孔９の端部を上流側Ｂと
下流側Ｃとを逆に１マスごとに封じた構造を有し、上流
側Ｂから入った高温ガスは、多孔質の隔壁８を通って下
流側Ｃの穴より抜けていくが、その際に、高温ガス中の
ダストは隔壁のフィルタ層に捕捉される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 従来のキャンドルタ
イプ等のセラミックスフィルタに関しては、バグフィル
タに比してフィルタの濾過面積が小さく、バグフィルタ
を組み込んでなる集塵装置と同等の濾過面積の確保を、
ハニカムフィルタを用いて図ろうとすると、セラミック
スフィルタの使用本数が増加するとともに集塵装置自体
が大型化してしまい、装置コストが大幅にアップすると
いった問題がある。また、他にもフィルタの圧力損失が
大きい等の問題をも有している。
イプ等のセラミックスフィルタに関しては、バグフィル
タに比してフィルタの濾過面積が小さく、バグフィルタ
を組み込んでなる集塵装置と同等の濾過面積の確保を、
ハニカムフィルタを用いて図ろうとすると、セラミック
スフィルタの使用本数が増加するとともに集塵装置自体
が大型化してしまい、装置コストが大幅にアップすると
いった問題がある。また、他にもフィルタの圧力損失が
大きい等の問題をも有している。
【０００６】 これらの問題を解消するためには、捕捉
効率を上げる観点からは隔壁を厚くし、隔壁の気孔径を
小さくすることが有利であるが、圧力損失の増大といっ
た不具合を招いてしまう。一方、圧力損失を低くする観
点からは、隔壁を薄くし、隔壁の気孔径を大きくするこ
とが有利であるが、反面、捕捉効率の低下といった事態
を生じ易くなるとともに、フィルタ自体の強度低下が問
題となる。
効率を上げる観点からは隔壁を厚くし、隔壁の気孔径を
小さくすることが有利であるが、圧力損失の増大といっ
た不具合を招いてしまう。一方、圧力損失を低くする観
点からは、隔壁を薄くし、隔壁の気孔径を大きくするこ
とが有利であるが、反面、捕捉効率の低下といった事態
を生じ易くなるとともに、フィルタ自体の強度低下が問
題となる。
【０００７】 上記問題点を解消するため、実開昭６１
−６４３１５号公報においては、予めフィルタの濾過面
にプレコート材と称するセラミックス粉体を吹き付けて
固着し、プレコート層を形成しておき、当該プレコート
材上において含塵ガス中の塵を捕捉した後、プレコート
材とともに除去するといった仕組みが導入された排ガス
浄化用装置が開示されている。しかし、上記の仕組みが
導入された前記公報記載の排ガス浄化用装置において
は、運転とともにプレコート材が消費されるために、定
期的にプレコート材を追加する手間がかかる。また、捕
捉した塵にプレコート材が混入するために、廃棄物が増
大するといった問題点がある。
−６４３１５号公報においては、予めフィルタの濾過面
にプレコート材と称するセラミックス粉体を吹き付けて
固着し、プレコート層を形成しておき、当該プレコート
材上において含塵ガス中の塵を捕捉した後、プレコート
材とともに除去するといった仕組みが導入された排ガス
浄化用装置が開示されている。しかし、上記の仕組みが
導入された前記公報記載の排ガス浄化用装置において
は、運転とともにプレコート材が消費されるために、定
期的にプレコート材を追加する手間がかかる。また、捕
捉した塵にプレコート材が混入するために、廃棄物が増
大するといった問題点がある。
【０００８】 このため、現在の一般的なハニカムフィ
ルタにおいては、捕捉効率を上げつつ、小圧力損失を実
現すべく、通常、比較的大きな平均気孔径を有するハニ
カム構造の基材の表面に、基材よりも平均気孔径の小さ
いフィルタ層を設けている。
ルタにおいては、捕捉効率を上げつつ、小圧力損失を実
現すべく、通常、比較的大きな平均気孔径を有するハニ
カム構造の基材の表面に、基材よりも平均気孔径の小さ
いフィルタ層を設けている。
【０００９】 係るフィルタ層を形成する方法として
は、従来から、気孔を液体で飽和させた多孔質基材の一
端側を減圧し、他端側よりセラミックス粒子を含むスラ
リーを供給する動加圧真空法（特開昭６１−２３８３１
５号公報）、セラミックス粒子からなる粉末を気流中で
多孔質基材の表面に付着させた後、水分を付与して吸着
させる気流コート法（特開平１０−２４９１２４号公
報）、セラミックス粒子を含むスラリーを多孔質基材の
表面に接触・保持した後、排出するスラリー注入・排出
法、多孔質基材をセラミックス粒子粉末からなるスラリ
ーに浸漬するディッピング法、セラミックス粒子粉末か
らなるスラリーを多孔質ハニカム構造体の各セルに供給
し、スラリー中の水分を多孔質内を透過させて除去する
ことにより、セラミックス粒子をハニカム構造体の表面
に付着させるスラリー直濾過法等が知られている。しか
しながら、動加圧真空法は、ハニカム構造のような複雑
な形状を有する基材に適用することは困難であり、適用
しようとすれば複雑な装置が必要となり、生産効率、製
造コスト上好ましくない。
は、従来から、気孔を液体で飽和させた多孔質基材の一
端側を減圧し、他端側よりセラミックス粒子を含むスラ
リーを供給する動加圧真空法（特開昭６１−２３８３１
５号公報）、セラミックス粒子からなる粉末を気流中で
多孔質基材の表面に付着させた後、水分を付与して吸着
させる気流コート法（特開平１０−２４９１２４号公
報）、セラミックス粒子を含むスラリーを多孔質基材の
表面に接触・保持した後、排出するスラリー注入・排出
法、多孔質基材をセラミックス粒子粉末からなるスラリ
ーに浸漬するディッピング法、セラミックス粒子粉末か
らなるスラリーを多孔質ハニカム構造体の各セルに供給
し、スラリー中の水分を多孔質内を透過させて除去する
ことにより、セラミックス粒子をハニカム構造体の表面
に付着させるスラリー直濾過法等が知られている。しか
しながら、動加圧真空法は、ハニカム構造のような複雑
な形状を有する基材に適用することは困難であり、適用
しようとすれば複雑な装置が必要となり、生産効率、製
造コスト上好ましくない。
【００１０】 また、気流コート法では、セラミックス
粒子が凝集状態となって基材に付着するため、コート層
の平均気孔径が大きくなり、高い捕捉効率を実現するこ
とが困難であるとともに、目詰まりが発生することによ
り、圧損上昇率が高くなるという問題があった。
粒子が凝集状態となって基材に付着するため、コート層
の平均気孔径が大きくなり、高い捕捉効率を実現するこ
とが困難であるとともに、目詰まりが発生することによ
り、圧損上昇率が高くなるという問題があった。
【００１１】 また、スラリー注入・排出法及びディッ
ピング法では、コート厚の制御が困難であり、そのた
め、フィルタ間で捕捉効率や圧力損失の程度にバラツキ
が生じるという問題があった。
ピング法では、コート厚の制御が困難であり、そのた
め、フィルタ間で捕捉効率や圧力損失の程度にバラツキ
が生じるという問題があった。
【００１２】 また、スラリー直濾過法では、平均粒子
径の小さいセラミックス粒子を用いてフィルタ層を形成
しようとすると、セラミックス粒子が基材の気孔内に侵
入して、基材とフィルタ層の間に緻密な構造を有する両
者の混合層を形成し、圧力損失が大きくなるという問題
があった。
径の小さいセラミックス粒子を用いてフィルタ層を形成
しようとすると、セラミックス粒子が基材の気孔内に侵
入して、基材とフィルタ層の間に緻密な構造を有する両
者の混合層を形成し、圧力損失が大きくなるという問題
があった。
【００１３】 また、特許第２９２６１８７号公報にお
いては、基材の表面に、フィルタ基材表面の気孔を埋め
るように珪藻土または籾殻灰が固着され、フィルタ層が
形成されたガス用フィルタとその製造方法が開示されて
いる。しかしながら、前記公報記載のガス用フィルタに
関しては、フィルタ基材とフィルタ層の材質が異なる場
合においては、高温条件下で長期間に渡って使用するに
際し、両材質の熱膨張率の差異に起因するフィルタ層の
剥離や脱落が発生するおそれがある。
いては、基材の表面に、フィルタ基材表面の気孔を埋め
るように珪藻土または籾殻灰が固着され、フィルタ層が
形成されたガス用フィルタとその製造方法が開示されて
いる。しかしながら、前記公報記載のガス用フィルタに
関しては、フィルタ基材とフィルタ層の材質が異なる場
合においては、高温条件下で長期間に渡って使用するに
際し、両材質の熱膨張率の差異に起因するフィルタ層の
剥離や脱落が発生するおそれがある。
【００１４】 したがって、これまでに、高捕捉効率、
小圧力損失の両方を十分に満足させる集塵用ハニカムフ
ィルタは未だ得られておらず、このようなハニカムフィ
ルタの開発が待たれていた。
小圧力損失の両方を十分に満足させる集塵用ハニカムフ
ィルタは未だ得られておらず、このようなハニカムフィ
ルタの開発が待たれていた。
【００１５】 一方、集塵装置へのハニカムフィルタの
固定方法がキャニングタイプである場合、ハニカム外周
部の外壁を通じてハニカムフィルタの外部方向への濾過
流体の漏れが多いと、キャニング本来のシール性が低下
する可能性がある。また、逆洗時に発生する応力によ
り、ハニカムフィルタがずれ、ハニカムフィルタをキャ
ニングするために用いられているケーシング金属との接
触により、ハニカムフィルタのコーナー部において欠け
や損壊等の不良が発生する危険性がある。
固定方法がキャニングタイプである場合、ハニカム外周
部の外壁を通じてハニカムフィルタの外部方向への濾過
流体の漏れが多いと、キャニング本来のシール性が低下
する可能性がある。また、逆洗時に発生する応力によ
り、ハニカムフィルタがずれ、ハニカムフィルタをキャ
ニングするために用いられているケーシング金属との接
触により、ハニカムフィルタのコーナー部において欠け
や損壊等の不良が発生する危険性がある。
【００１６】 本発明は、このような従来技術の有する
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、高捕捉効率、小圧力損失であるとともに、集塵
装置としての使用に際して十分な強度を有する複層構造
ハニカムフィルタ、及び、そのような複層構造ハニカム
フィルタを簡単な装置にて容易に、かつ、フィルタ間で
品質のバラツキが生じないように製造することができる
複層構造ハニカムフィルタの製造方法を提供することに
ある。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、高捕捉効率、小圧力損失であるとともに、集塵
装置としての使用に際して十分な強度を有する複層構造
ハニカムフィルタ、及び、そのような複層構造ハニカム
フィルタを簡単な装置にて容易に、かつ、フィルタ間で
品質のバラツキが生じないように製造することができる
複層構造ハニカムフィルタの製造方法を提供することに
ある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】 即ち、本発明によれ
ば、ハニカム構造を有する多孔質の基材の表面に、１層
または２層以上のフィルタ層を備えた集塵用の複層構造
ハニカムフィルタであって、フィルタの濾過流速が１ｍ
／ｍｉｎの場合における該基材の圧力損失が１５０〜７
００Ｐａであるとともに、少なくとも１層以上の該フィ
ルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐａであることを特徴
とする複層構造ハニカムフィルタが提供される。
ば、ハニカム構造を有する多孔質の基材の表面に、１層
または２層以上のフィルタ層を備えた集塵用の複層構造
ハニカムフィルタであって、フィルタの濾過流速が１ｍ
／ｍｉｎの場合における該基材の圧力損失が１５０〜７
００Ｐａであるとともに、少なくとも１層以上の該フィ
ルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐａであることを特徴
とする複層構造ハニカムフィルタが提供される。
【００１８】 本発明においては、フィルタ層の厚さの
最薄部と最厚部の差が３５％以内であることが好まし
く、基材とフィルタ層が同材質であることが好ましい。
最薄部と最厚部の差が３５％以内であることが好まし
く、基材とフィルタ層が同材質であることが好ましい。
【００１９】 また、本発明においては、ハニカム外周
部の外壁の厚さが、基材によって構成される各ハニカム
セルの隔壁の厚さに対して１．３〜２．０倍であること
が好ましく、材質がコーディライトであることが好まし
い。
部の外壁の厚さが、基材によって構成される各ハニカム
セルの隔壁の厚さに対して１．３〜２．０倍であること
が好ましく、材質がコーディライトであることが好まし
い。
【００２０】 一方、本発明によれば、ハニカム構造を
有する多孔質の基材の表面に、１層または２層以上のフ
ィルタ層を備え、フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの
場合における該基材の圧力損失が１５０〜７００Ｐａで
あるとともに、少なくとも１層以上の該フィルタ層の圧
力損失が５０〜３００Ｐａである複層構造ハニカムフィ
ルタの製造方法であって、ハニカム構造を有する基材の
各セルに、該基材と同材質であるセラミックス粒子のス
ラリーを供給し、該スラリー中の成分を、該基材の気孔
を透過させることにより除去して、該セラミックス粒子
を該基材の表面に付着させ、次いで、焼成することによ
りフィルタ層を形成することを特徴とする複層構造ハニ
カムフィルタの製造方法が提供される。
有する多孔質の基材の表面に、１層または２層以上のフ
ィルタ層を備え、フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの
場合における該基材の圧力損失が１５０〜７００Ｐａで
あるとともに、少なくとも１層以上の該フィルタ層の圧
力損失が５０〜３００Ｐａである複層構造ハニカムフィ
ルタの製造方法であって、ハニカム構造を有する基材の
各セルに、該基材と同材質であるセラミックス粒子のス
ラリーを供給し、該スラリー中の成分を、該基材の気孔
を透過させることにより除去して、該セラミックス粒子
を該基材の表面に付着させ、次いで、焼成することによ
りフィルタ層を形成することを特徴とする複層構造ハニ
カムフィルタの製造方法が提供される。
【００２１】 本発明においては、フィルタ層の厚さの
最薄部と最厚部の差が３５％以内であることが好まし
い。
最薄部と最厚部の差が３５％以内であることが好まし
い。
【００２２】 また、本発明においては、基材とフィル
タ層が同材質であることが好ましく、ハニカム外周部の
外壁の厚さが、基材によって構成される各ハニカムセル
の隔壁の厚さに対して１．３〜２．０倍であることが好
ましい。
タ層が同材質であることが好ましく、ハニカム外周部の
外壁の厚さが、基材によって構成される各ハニカムセル
の隔壁の厚さに対して１．３〜２．０倍であることが好
ましい。
【００２３】 さらに、本発明においては、材質がコー
ディライトであることが好ましい。
ディライトであることが好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】 以下、本発明の実施の形態につ
いて説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当
業者の通常の知識に基づいて、適宜、設計の変更、改良
等が加えられることが理解されるべきである。
いて説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当
業者の通常の知識に基づいて、適宜、設計の変更、改良
等が加えられることが理解されるべきである。
【００２５】 本発明の複層構造ハニカムフィルタは、
主に集塵用フィルタとして使用され、ハニカム構造を有
する多孔質の基材の表面に、１層または２層以上のフィ
ルタ層を備えてなるものであり、フィルタの濾過流速が
１ｍ／ｍｉｎの場合における基材の圧力損失が１５０〜
７００Ｐａであることが好ましく、３００〜５００Ｐａ
であることがさらに好ましく、３５０〜４５０Ｐａであ
ることが特に好ましい。また、同時に、少なくとも１層
以上のフィルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐａである
ことが好ましく、７０〜２５０Ｐａであることがさらに
好ましく、１００〜２００Ｐａであることが特に好まし
い。以下、さらにその詳細について説明する。
主に集塵用フィルタとして使用され、ハニカム構造を有
する多孔質の基材の表面に、１層または２層以上のフィ
ルタ層を備えてなるものであり、フィルタの濾過流速が
１ｍ／ｍｉｎの場合における基材の圧力損失が１５０〜
７００Ｐａであることが好ましく、３００〜５００Ｐａ
であることがさらに好ましく、３５０〜４５０Ｐａであ
ることが特に好ましい。また、同時に、少なくとも１層
以上のフィルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐａである
ことが好ましく、７０〜２５０Ｐａであることがさらに
好ましく、１００〜２００Ｐａであることが特に好まし
い。以下、さらにその詳細について説明する。
【００２６】 基材、並びにフィルタ層の圧力損失の値
を上記数値の範囲とすることにより、同時に高捕捉率と
いった特性をも有する複層構造ハニカムフィルタを得る
ことが可能となる。前記条件下における基材の圧力損失
が１５０Ｐａ未満である場合は、ハニカムフィルタ自体
の強度低下に繋がり易く、また、７００Ｐａを超える圧
力損失である場合は、バグフィルタで使用される標準の
吸引ブロアと同等のブロアが使用できなくなり好ましく
ない。同様に、少なくとも１層以上のフィルタ層の圧力
損失が５０Ｐａ未満である場合は部分的にフィルタ層が
確保できなくなり、また、３００Ｐａ超である場合は基
材と同様バグフィルタで使用される標準の吸引ブロアと
同等のブロアが使用できなくなり好ましくない。
を上記数値の範囲とすることにより、同時に高捕捉率と
いった特性をも有する複層構造ハニカムフィルタを得る
ことが可能となる。前記条件下における基材の圧力損失
が１５０Ｐａ未満である場合は、ハニカムフィルタ自体
の強度低下に繋がり易く、また、７００Ｐａを超える圧
力損失である場合は、バグフィルタで使用される標準の
吸引ブロアと同等のブロアが使用できなくなり好ましく
ない。同様に、少なくとも１層以上のフィルタ層の圧力
損失が５０Ｐａ未満である場合は部分的にフィルタ層が
確保できなくなり、また、３００Ｐａ超である場合は基
材と同様バグフィルタで使用される標準の吸引ブロアと
同等のブロアが使用できなくなり好ましくない。
【００２７】 なお、集塵用フィルタとして使用するた
めに必要なハニカムフィルタの強度とは、ハニカム構造
体のセル曲げ強度の数値にして４ＭＰａ程度であれば十
分であり、６ＭＰａであることが好ましい。
めに必要なハニカムフィルタの強度とは、ハニカム構造
体のセル曲げ強度の数値にして４ＭＰａ程度であれば十
分であり、６ＭＰａであることが好ましい。
【００２８】 フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの場
合における基材の圧力損失が１５０〜７００Ｐａである
ことを満足するためには、基材の平均気孔径を１０〜５
０μｍ、気孔率を４０〜６０％の範囲内とすることが必
要である。また、フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの
場合における少なくとも１層以上のフィルタ層の圧力損
失が５０〜３００Ｐａであることを満足するためには、
フィルタ層の平均気孔径を２〜１０μｍ、気孔率を３０
〜５０％、層厚を２０〜５０μｍの範囲内とすることが
必要である。
合における基材の圧力損失が１５０〜７００Ｐａである
ことを満足するためには、基材の平均気孔径を１０〜５
０μｍ、気孔率を４０〜６０％の範囲内とすることが必
要である。また、フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの
場合における少なくとも１層以上のフィルタ層の圧力損
失が５０〜３００Ｐａであることを満足するためには、
フィルタ層の平均気孔径を２〜１０μｍ、気孔率を３０
〜５０％、層厚を２０〜５０μｍの範囲内とすることが
必要である。
【００２９】 さらに、同じく集塵装置用のフィルタと
して使用されているバグフィルタと同等以上の性能を得
るためには、フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの場合
におけるハニカムフィルタ全体の圧力損失が１０００Ｐ
ａであることが好ましく、８００Ｐａ以下であることが
さらに好ましい。１０００Ｐａ超の場合は、標準の吸引
ブロアが使用できないため好ましくない。なお、その一
方では、ハニカムフィルタの最低限の強度を確保するた
めには、ハニカムフィルタ全体の圧力損失は２００Ｐａ
程度とすることが限界である。
して使用されているバグフィルタと同等以上の性能を得
るためには、フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの場合
におけるハニカムフィルタ全体の圧力損失が１０００Ｐ
ａであることが好ましく、８００Ｐａ以下であることが
さらに好ましい。１０００Ｐａ超の場合は、標準の吸引
ブロアが使用できないため好ましくない。なお、その一
方では、ハニカムフィルタの最低限の強度を確保するた
めには、ハニカムフィルタ全体の圧力損失は２００Ｐａ
程度とすることが限界である。
【００３０】 本発明の複層構造ハニカムフィルタにお
いては、フィルタ層の厚さの最薄部と最厚部の差が３５
％以内であることが好ましく、２７％以内とすることが
さらに好ましく、２０％以内とすることが特に好まし
い。フィルタ層の厚さの最薄部と最厚部の差が３５％超
である場合は、複層構造ハニカムフィルタの捕捉効率が
十分ではなく、また、圧力損失も増大してしまう。した
がって、当該数値以内に規定された、本発明に係る複層
構造ハニカムフィルタは十分な捕捉効率が確保されてい
るとともに、圧力損失が低減されているといった特性を
有している。
いては、フィルタ層の厚さの最薄部と最厚部の差が３５
％以内であることが好ましく、２７％以内とすることが
さらに好ましく、２０％以内とすることが特に好まし
い。フィルタ層の厚さの最薄部と最厚部の差が３５％超
である場合は、複層構造ハニカムフィルタの捕捉効率が
十分ではなく、また、圧力損失も増大してしまう。した
がって、当該数値以内に規定された、本発明に係る複層
構造ハニカムフィルタは十分な捕捉効率が確保されてい
るとともに、圧力損失が低減されているといった特性を
有している。
【００３１】 上述したフィルタ層の厚さの最薄部と最
厚部の差が３５％以内である複層構造ハニカムフィルタ
は、具体的には、以下のように製造することができる。
すなわち、フィルタ層となる所定の平均粒子径を有する
セラミックス粒子を所定濃度のスラリー液に調整し、該
スラリー液を予め乾燥した基材の下方より注入し、直濾
過方式で基材表面にセラミックス粒子を付着させ、次い
で基材を上下反転することによりフィルタ層の厚さを調
整し、複層構造ハニカムフィルタを製造することができ
る。
厚部の差が３５％以内である複層構造ハニカムフィルタ
は、具体的には、以下のように製造することができる。
すなわち、フィルタ層となる所定の平均粒子径を有する
セラミックス粒子を所定濃度のスラリー液に調整し、該
スラリー液を予め乾燥した基材の下方より注入し、直濾
過方式で基材表面にセラミックス粒子を付着させ、次い
で基材を上下反転することによりフィルタ層の厚さを調
整し、複層構造ハニカムフィルタを製造することができ
る。
【００３２】 本発明の複層構造ハニカムフィルタは、
基材とフィルタ層が同材質であることが好ましい。同材
質とすることによって、高温条件下においても熱膨張差
が発生することがない。したがって、本発明に係る複層
構造ハニカムフィルタは、例えば、９００℃までの高温
条件下においても、層間の熱膨張差に起因するフィルタ
層の剥離や脱落等が発生することがないといった優れた
特性を有している。
基材とフィルタ層が同材質であることが好ましい。同材
質とすることによって、高温条件下においても熱膨張差
が発生することがない。したがって、本発明に係る複層
構造ハニカムフィルタは、例えば、９００℃までの高温
条件下においても、層間の熱膨張差に起因するフィルタ
層の剥離や脱落等が発生することがないといった優れた
特性を有している。
【００３３】 本発明の複層構造ハニカムフィルタは、
ハニカム外周部の外壁の厚さが、基材によって構成され
る各ハニカムセルの隔壁の厚さに対して１．３〜２．０
倍であることが好ましく、１．４〜２．０倍であること
がさらに好ましく、１．５〜２．０倍であることが特に
好ましい。このとき、ハニカム外周部の外壁の厚さが、
基材によって構成される各ハニカムセルの隔壁の厚さに
対して１．３倍未満である場合は、ハニカム構造自体の
必要強度が確保できなくなるとともに、外壁の濾過抵抗
が各ハニカムセルの隔壁の濾過抵抗と同レベルとなる。
したがって、外壁から濾過流体が漏れてしまい、キャニ
ングのシール性が損なわれるおそれがある。
ハニカム外周部の外壁の厚さが、基材によって構成され
る各ハニカムセルの隔壁の厚さに対して１．３〜２．０
倍であることが好ましく、１．４〜２．０倍であること
がさらに好ましく、１．５〜２．０倍であることが特に
好ましい。このとき、ハニカム外周部の外壁の厚さが、
基材によって構成される各ハニカムセルの隔壁の厚さに
対して１．３倍未満である場合は、ハニカム構造自体の
必要強度が確保できなくなるとともに、外壁の濾過抵抗
が各ハニカムセルの隔壁の濾過抵抗と同レベルとなる。
したがって、外壁から濾過流体が漏れてしまい、キャニ
ングのシール性が損なわれるおそれがある。
【００３４】 一方、ハニカム外周部の外壁の厚さが、
基材によって構成される各ハニカムセルの隔壁の厚さに
対して２．０倍超である場合は、押出し成形性が低下し
てしまい、製造することが困難になってしまう。したが
って、本発明に係る複層構造ハニカムフィルタは、ハニ
カム外周部の外壁の厚さが、基材によって構成される各
ハニカムセルの隔壁の厚さに対して前記数値範囲内であ
ることから、ハニカムフィルタとしての十分な強度が確
保されるとともに、ハニカム外周部の外壁を通じてハニ
カムフィルタの外部方向への濾過流体の漏れを低減する
ことができる。
基材によって構成される各ハニカムセルの隔壁の厚さに
対して２．０倍超である場合は、押出し成形性が低下し
てしまい、製造することが困難になってしまう。したが
って、本発明に係る複層構造ハニカムフィルタは、ハニ
カム外周部の外壁の厚さが、基材によって構成される各
ハニカムセルの隔壁の厚さに対して前記数値範囲内であ
ることから、ハニカムフィルタとしての十分な強度が確
保されるとともに、ハニカム外周部の外壁を通じてハニ
カムフィルタの外部方向への濾過流体の漏れを低減する
ことができる。
【００３５】 本発明の複層構造ハニカムフィルタは、
材質がコーディライトであることが好ましい。コーディ
ライトは、熱膨張係数が小さく、耐熱衝撃性に優れたセ
ラミックス材料であり、また、機械的強度にも優れてい
る。すなわち、ハニカムフィルタを構成するセラミック
ス材料として好適な特性を有しているために、コーディ
ライトからなる本発明の複層構造ハニカムフィルタは、
これらの特性が生かされるとともに、所望の寸法・形状
へと製造することが可能である。
材質がコーディライトであることが好ましい。コーディ
ライトは、熱膨張係数が小さく、耐熱衝撃性に優れたセ
ラミックス材料であり、また、機械的強度にも優れてい
る。すなわち、ハニカムフィルタを構成するセラミック
ス材料として好適な特性を有しているために、コーディ
ライトからなる本発明の複層構造ハニカムフィルタは、
これらの特性が生かされるとともに、所望の寸法・形状
へと製造することが可能である。
【００３６】 これまでに述べてきた本発明に係る複層
構造ハニカムフィルタは、ハニカム構造を有する多孔質
の基材の各セルに、基材と同材質であるセラミックス粒
子のスラリーを供給し、スラリー中の水分を、基材の気
孔を透過させることにより除去して、セラミックス粒子
を基材の表面に付着させ、次いで、焼成してフィルタ層
を形成することにより製造される。
構造ハニカムフィルタは、ハニカム構造を有する多孔質
の基材の各セルに、基材と同材質であるセラミックス粒
子のスラリーを供給し、スラリー中の水分を、基材の気
孔を透過させることにより除去して、セラミックス粒子
を基材の表面に付着させ、次いで、焼成してフィルタ層
を形成することにより製造される。
【００３７】 なお、フィルタ層を形成するに際して使
用するスラリー中のセラミックス粒子の濃度（ｗ／ｗ）
は、０．５％以上、２．０％未満であることがスラリー
の沈殿性と基材への粒子の付着性とのバランスという観
点より好ましいが、０．８％以上、１．５％未満である
ことがより好ましい。
用するスラリー中のセラミックス粒子の濃度（ｗ／ｗ）
は、０．５％以上、２．０％未満であることがスラリー
の沈殿性と基材への粒子の付着性とのバランスという観
点より好ましいが、０．８％以上、１．５％未満である
ことがより好ましい。
【００３８】 また、スラリーの容積は、被コートセル
総容積の３倍以上、６倍以下であることが好ましい。３
倍未満の場合はセルの上方と下方で膜厚差が生じ、６倍
を超える場合は、フィルタ層の厚さと濃度との兼ね合
い、及びフィルタ層の形成に必要なスラリーが多量にな
るため、作業がし難くなるという不都合があるからであ
る。なお、第２層目以降のフィルタ層の形成は、１層目
のフィルタ層を焼成した後、上記と同様の方法にて行
う。
総容積の３倍以上、６倍以下であることが好ましい。３
倍未満の場合はセルの上方と下方で膜厚差が生じ、６倍
を超える場合は、フィルタ層の厚さと濃度との兼ね合
い、及びフィルタ層の形成に必要なスラリーが多量にな
るため、作業がし難くなるという不都合があるからであ
る。なお、第２層目以降のフィルタ層の形成は、１層目
のフィルタ層を焼成した後、上記と同様の方法にて行
う。
【００３９】
【実施例】 以下、本発明の具体的な実施結果を説明す
る。端面が一辺１５０ｍｍの正方形状を有する長さ５０
０ｍｍのハニカム構造を有する基材に、スラリー直濾過
法により、平均粒子径が１０μｍのセラミックス粒子よ
りなる、平均フィルタ層厚５０μｍの単一フィルタ層を
設け、複層構造のハニカムフィルタを製造した。以下、
その実施例の詳細を説明する。
る。端面が一辺１５０ｍｍの正方形状を有する長さ５０
０ｍｍのハニカム構造を有する基材に、スラリー直濾過
法により、平均粒子径が１０μｍのセラミックス粒子よ
りなる、平均フィルタ層厚５０μｍの単一フィルタ層を
設け、複層構造のハニカムフィルタを製造した。以下、
その実施例の詳細を説明する。
【００４０】（実施例１〜１４） １．基材の製造 原材料としてコーディライトを使用し、一般的な押出し
成形法により、所定のセルピッチを有するハニカム構造
体を製造した。次いで、図２に示すように、ハニカムの
多数の貫通穴９の端部を上流側Ｂと下流側Ｃとを逆に１
マスごとに同材質の原料を用いて封じ、乾燥後、所定の
焼成温度にて焼成を行って、基材を製造した（実施例１
〜１４）。なお、このような工程により製造した基材の
セルピッチ、セル厚、外壁厚、外壁厚とセル厚の比（外
壁厚／セル厚）、焼成温度、セル曲げ強度、平均気孔径
を表１に示す。また、このときの気孔率は４７％であっ
た。
成形法により、所定のセルピッチを有するハニカム構造
体を製造した。次いで、図２に示すように、ハニカムの
多数の貫通穴９の端部を上流側Ｂと下流側Ｃとを逆に１
マスごとに同材質の原料を用いて封じ、乾燥後、所定の
焼成温度にて焼成を行って、基材を製造した（実施例１
〜１４）。なお、このような工程により製造した基材の
セルピッチ、セル厚、外壁厚、外壁厚とセル厚の比（外
壁厚／セル厚）、焼成温度、セル曲げ強度、平均気孔径
を表１に示す。また、このときの気孔率は４７％であっ
た。
【００４１】２．フィルタ層の製造 フィルタ層の製造は、図１に示す処理装置４により行っ
た。処理装置４は、マグネットスターラー５上にスラリ
ータンク６を備え、スラリータンク６内のスラリーをエ
アＡの圧力により基材１に供給するものである。スラリ
ータンク６は、所定濃度のセラミックス粒子のスラリー
を調製するためのもので、マグネットスターラー５の攪
拌作用により、均一濃度のスラリーが調製され、調製さ
れたスラリーは、スラリー注入具３に取付金具２を介し
て接続された基材１の一端側に供給され、一方のセルの
開口部からその内部へ導入される。スラリーの供給量
は、スラリータンク６に設けた液面計７により監視さ
れ、供給量が所定の値に達した時点でスラリーの供給は
停止される。その後、基材１を反転させて、基材内の濾
過水を排出する。
た。処理装置４は、マグネットスターラー５上にスラリ
ータンク６を備え、スラリータンク６内のスラリーをエ
アＡの圧力により基材１に供給するものである。スラリ
ータンク６は、所定濃度のセラミックス粒子のスラリー
を調製するためのもので、マグネットスターラー５の攪
拌作用により、均一濃度のスラリーが調製され、調製さ
れたスラリーは、スラリー注入具３に取付金具２を介し
て接続された基材１の一端側に供給され、一方のセルの
開口部からその内部へ導入される。スラリーの供給量
は、スラリータンク６に設けた液面計７により監視さ
れ、供給量が所定の値に達した時点でスラリーの供給は
停止される。その後、基材１を反転させて、基材内の濾
過水を排出する。
【００４２】 導入されたスラリー中の水分は、各セル
の隔壁を漸次透過して、外部へ流出し、この間にスラリ
ー中の粒子が隔壁の一側面に漸次付着して、粒子からな
る層を形成する。なお、スラリーの調製は、予め有機バ
インダーを添加し、ポリ容器内でホモミキサーにて攪拌
・混合して行った。
の隔壁を漸次透過して、外部へ流出し、この間にスラリ
ー中の粒子が隔壁の一側面に漸次付着して、粒子からな
る層を形成する。なお、スラリーの調製は、予め有機バ
インダーを添加し、ポリ容器内でホモミキサーにて攪拌
・混合して行った。
【００４３】 このようにしてセラミックス粒子よりな
る層を形成した後、層を設けた基材を乾燥し、所定の焼
成温度にて２時間焼成を行い、フィルタ層を製造した
（実施例１〜１０）。なお、前記工程において使用した
セラミックス粒子のスラリー濃度と平均粒子径、及び焼
成温度と、このような工程により作製したフィルタ層の
層厚を表１に示す。なお、表１において、「実体強度」
とは、１５０×１５０×５００ｍｍの実体品で３点曲げ
応力をかけたときの破壊荷重であり、設計強度に対する
安全率が８以上の場合を「大」、安全率が４〜７の場合
を「中」、安全率が１〜３の場合を「小」として判定し
た。
る層を形成した後、層を設けた基材を乾燥し、所定の焼
成温度にて２時間焼成を行い、フィルタ層を製造した
（実施例１〜１０）。なお、前記工程において使用した
セラミックス粒子のスラリー濃度と平均粒子径、及び焼
成温度と、このような工程により作製したフィルタ層の
層厚を表１に示す。なお、表１において、「実体強度」
とは、１５０×１５０×５００ｍｍの実体品で３点曲げ
応力をかけたときの破壊荷重であり、設計強度に対する
安全率が８以上の場合を「大」、安全率が４〜７の場合
を「中」、安全率が１〜３の場合を「小」として判定し
た。
【００４４】（比較例１〜５） １．基材の製造 前述した実施例１〜１４の場合と同様の操作により、基
材を製造した（比較例１〜５）。なお、このような工程
により製造した基材のセルピッチ、セル厚、外壁厚、外
壁厚とセル厚の比（外壁厚／セル厚）、焼成温度、平均
気孔径を表１に示す。また、気孔率は４７％であった。
材を製造した（比較例１〜５）。なお、このような工程
により製造した基材のセルピッチ、セル厚、外壁厚、外
壁厚とセル厚の比（外壁厚／セル厚）、焼成温度、平均
気孔径を表１に示す。また、気孔率は４７％であった。
【００４５】２．フィルタ層の製造 前述した実施例１〜１０の場合と同様の操作により、フ
ィルタ層を製造した（比較例１〜５）。
ィルタ層を製造した（比較例１〜５）。
【００４６】（圧力損失（通気差圧）の測定）上記各工
程により製造した実施例１〜１４、比較例１〜５の基
材、フィルタ層、並びに全体（基材＋フィルタ層）につ
いて、流速１ｍ／分（流量換算では１ｍ／分×２．６ｍ
2＝２．６ｍ3／分）で常温空気を透過させたときの入口
と出口の圧力を測定し、その差を算出した。結果を表１
に示す。
程により製造した実施例１〜１４、比較例１〜５の基
材、フィルタ層、並びに全体（基材＋フィルタ層）につ
いて、流速１ｍ／分（流量換算では１ｍ／分×２．６ｍ
2＝２．６ｍ3／分）で常温空気を透過させたときの入口
と出口の圧力を測定し、その差を算出した。結果を表１
に示す。
【００４７】
【表１】
【００４８】 表１より、実施例のハニカムフィルタに
ついては、いずれも通気差圧（圧力損失）が所定値以下
であるとともに、実体強度の評価も全て中〜大であっ
た。これに対し、比較例のハニカムフィルタについては
基材の焼成温度が所定温度よりも低い場合（比較例１）
には通気差圧（圧力損失）が所定値以上となった。ま
た、比較例については、通気差圧（圧力損失）が所定値
以下であった場合であっても、実体強度の評価も全て小
であり、本発明の優れた効果を確認することができた。
ついては、いずれも通気差圧（圧力損失）が所定値以下
であるとともに、実体強度の評価も全て中〜大であっ
た。これに対し、比較例のハニカムフィルタについては
基材の焼成温度が所定温度よりも低い場合（比較例１）
には通気差圧（圧力損失）が所定値以上となった。ま
た、比較例については、通気差圧（圧力損失）が所定値
以下であった場合であっても、実体強度の評価も全て小
であり、本発明の優れた効果を確認することができた。
【００４９】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の複層構
造ハニカムフィルタによれば、捕捉効率が良好であると
ともに、圧力損失も小さいために、化学、電力、産業廃
棄物処理産業等の各分野において、ガス中のダストを捕
捉する集塵用フィルタとして好適に用いることができ
る。また、本発明の複層構造ハニカムフィルタの製造方
法によれば、簡単な装置にて容易に、かつフィルタ間で
品質のバラツキがない複層構造ハニカムフィルタを製造
することができるため、製造効率の向上及び生産コスト
の低減に寄与するとともに、優れた性能を有する集塵用
のハニカムフィルタを提供することができる。
造ハニカムフィルタによれば、捕捉効率が良好であると
ともに、圧力損失も小さいために、化学、電力、産業廃
棄物処理産業等の各分野において、ガス中のダストを捕
捉する集塵用フィルタとして好適に用いることができ
る。また、本発明の複層構造ハニカムフィルタの製造方
法によれば、簡単な装置にて容易に、かつフィルタ間で
品質のバラツキがない複層構造ハニカムフィルタを製造
することができるため、製造効率の向上及び生産コスト
の低減に寄与するとともに、優れた性能を有する集塵用
のハニカムフィルタを提供することができる。
【図１】 本発明の複層構造ハニカムフィルタの製造方
法の一例を示す模式図である。
法の一例を示す模式図である。
【図２】 ハニカムフィルタの一般的構成を示す斜視図
である。
である。
１…基材、２…取付金具、３…スラリー注入具、４…処
理装置、５…マグネットスターラー、６…スラリータン
ク、７…液面計、８…隔壁、９…貫通穴、１０…ハニカ
ムフィルタ。
理装置、５…マグネットスターラー、６…スラリータン
ク、７…液面計、８…隔壁、９…貫通穴、１０…ハニカ
ムフィルタ。
Claims (10)
- 【請求項１】 ハニカム構造を有する多孔質の基材の表
面に、１層または２層以上のフィルタ層を備えた集塵用
の複層構造ハニカムフィルタであって、 フィルタの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの場合における該基
材の圧力損失が１５０〜７００Ｐａであるとともに、少
なくとも１層以上の該フィルタ層の圧力損失が５０〜３
００Ｐａであることを特徴とする複層構造ハニカムフィ
ルタ。 - 【請求項２】 フィルタ層の厚さの最薄部と最厚部の差
が３５％以内である請求項１記載の複層構造ハニカムフ
ィルタ。 - 【請求項３】 基材とフィルタ層が同材質である請求項
１または２に記載の複層構造ハニカムフィルタ。 - 【請求項４】 ハニカム外周部の外壁の厚さが、基材に
よって構成される各ハニカムセルの隔壁の厚さに対して
１．３〜２．０倍である請求項１〜３のいずれか一項に
記載の複層構造ハニカムフィルタ。 - 【請求項５】 材質がコーディライトである請求項１〜
４のいずれか一項に記載の複層構造ハニカムフィルタ。 - 【請求項６】 ハニカム構造を有する多孔質の基材の表
面に、１層または２層以上のフィルタ層を備え、フィル
タの濾過流速が１ｍ／ｍｉｎの場合における該基材の圧
力損失が１５０〜７００Ｐａであるとともに、少なくと
も１層以上の該フィルタ層の圧力損失が５０〜３００Ｐ
ａである複層構造ハニカムフィルタの製造方法であっ
て、 ハニカム構造を有する基材の各セルに、該基材と同材質
であるセラミックス粒子のスラリーを供給し、 該スラリー中の成分を、該基材の気孔を透過させること
により除去して、該セラミックス粒子を該基材の表面に
付着させ、 次いで、焼成することによりフィルタ層を形成すること
を特徴とする複層構造ハニカムフィルタの製造方法。 - 【請求項７】 フィルタ層の厚さの最薄部と最厚部の差
が３５％以内である請求項６記載の複層構造ハニカムフ
ィルタの製造方法。 - 【請求項８】 基材とフィルタ層が同材質である請求項
６または７に記載の複層構造ハニカムフィルタの製造方
法。 - 【請求項９】 ハニカム外周部の外壁の厚さが、基材に
よって構成される各ハニカムセルの隔壁の厚さに対して
１．３〜２．０倍である請求項６〜８のいずれか一項に
記載の複層構造ハニカムフィルタの製造方法。 - 【請求項１０】 材質がコーディライトである請求項６
〜９のいずれか一項に記載の複層構造ハニカムフィルタ
の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001270854A JP2002172304A (ja) | 2000-09-26 | 2001-09-06 | 複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
| AU2001288112A AU2001288112A1 (en) | 2000-09-26 | 2001-09-25 | Multi-layer structure honeycomb filter and method of manufacturing the filter |
| PCT/JP2001/008283 WO2002026353A1 (fr) | 2000-09-26 | 2001-09-25 | Filtre en nids d'abeilles a structure multicouche et procede de fabrication de ce filtre |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-292983 | 2000-09-26 | ||
| JP2000292983 | 2000-09-26 | ||
| JP2001270854A JP2002172304A (ja) | 2000-09-26 | 2001-09-06 | 複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002172304A true JP2002172304A (ja) | 2002-06-18 |
Family
ID=26600771
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001270854A Pending JP2002172304A (ja) | 2000-09-26 | 2001-09-06 | 複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2002172304A (ja) |
| AU (1) | AU2001288112A1 (ja) |
| WO (1) | WO2002026353A1 (ja) |
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| WO2013175552A1 (ja) * | 2012-05-21 | 2013-11-28 | イビデン株式会社 | ハニカムフィルタ、排ガス浄化装置、及び、排ガス浄化方法 |
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| JPH119925A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 排ガスフィルタおよびその製造方法 |
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| JP2000202220A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Ngk Insulators Ltd | 複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法 |
| JP2000210515A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-02 | Ngk Insulators Ltd | 焼却炉排ガスの集塵装置及び集塵方法 |
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