JP2002168739A - 薄板状被測定物の保持装置及び保持方法、水晶板のカット面検査装置及び検査方法、薄板状被測定物の平坦度測定装置及び測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非接触式で測定又は検査を行うために、薄板
状被測定物を適正な姿勢で支持して反り等の変形を防止
し、常に適正にかつ高精度に測定又は検査を可能にす
る。 【解決手段】 直方体ブロック状のウエハ支持台２０を
有する保持装置は、その上面に楕円形の凹所２１が設け
られ、凹所の底面中央に開設された給排水口２２が管路
を介してポンプ２３及び給水タンク２４に接続されてい
る。使用時に、凹所底面に水晶ウエハを配置し、給水タ
ンクから所定量の水２５好適には純水を注入し、その水
面に表面張力で水晶ウエハを浮かせる。この状態で、例
えば水晶ウエハのカット面の傾斜角度や表面の平坦度を
測定した後、ポンプを逆転させて凹所から水を排出し、
水晶ウエハを取り出す。凹所の底面を波形面２９で形成
すると、排水時に水の表面張力で水晶ウエハが凹所底面
に貼り付く虞が無く、取出しが簡単になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、水晶ウエハ又はチ
ップのような水晶板、半導体ウエハ等の薄板状物品に対
して非接触式で各種測定又は検査を行う際に、このよう
な薄板状被測定物を保持するための装置及び方法に関す
る。更に本発明は、水晶板のカット面検査装置及び検査
方法、並びに薄板状被測定物の平坦度測定装置及び測定
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に水晶振動子等の水晶デバイスに使
用される水晶チップは、人工水晶の棒材からウエハを切
り出して形成される。水晶板内部の結晶格子面に対する
カット面の傾斜角度は、水晶振動子の周波数特性を決定
することから、これを高精度に測定することは重要であ
る。水晶ウエハのカット面を検査する場合、例えば特開
平９−３３４５７号公報等に記載されるように、水晶ウ
エハにＸ線を照射してその内部の結晶格子面で回折され
るＸ線を測定し、カット面のずれ量を測定するカット面
検査装置が広く使用されている。

【０００３】これらの従来装置では、図５Ａに示すよう
に、水晶ウエハ１は複数の突起２を設けた回転可能な試
料台３上に載置し、空気孔４からの負圧作用により吸引
して保持される。Ｘ線源５から試料台３の中央溝６を通
してＸ線を水晶板の下面に照射し、試料台３の角度位置
を変えながら、回折されたＸ線を反対側のＸ線検出器７
で検出する。検出したＸ線強度が最大となる試料台の角
度位置から、所定の基準傾斜角に対するカット面のずれ
即ち偏差角度が求められる。

【０００４】特開平６−１７４６６２号公報には、図５
Ａの突起に代えて放射方向に延びる３本の突条を試料台
に形成しかつその中心に空気孔を配置し、水晶板をその
形状又は大きさによらず安定して吸引保持するようにし
たカット面検査装置が開示されている。更に別の従来例
では、図６に示すように、吸着パッド８を有するウエハ
固定部９に水晶ウエハ１を垂直に吸着保持して、重力に
よる水晶ウエハの変形を防止している。

【０００５】また、半導体ウエハやハードディスク、光
ディスク等の薄板状物品の平坦度やうねり等の表面状
態、寸法等を非接触式で測定するために、様々な平坦度
測定装置又は方法が開発されている。例えば特開２００
０−１７１２４１号公報には、被測定物の半導体ウエハ
をウエハホルダ上に水平に載せて吸着保持し、レーザ干
渉計によりレーザ光の干渉縞を形成させて平坦度を測定
したり、光学式又は超音波式測距センサを用いた平坦度
測定装置が記載されている。別の公知の平坦度測定装置
では、図７に示すように等間隔で平行に架設した水平ワ
イヤ１０を有するワイヤセット式のウエハ支持台を使用
し、その上に被測定物のウエハ１１を水平に載せて、レ
ーザ干渉計により表面状態を測定する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のカット面検査装置や平坦度測定装置において被
測定物を吸引保持する方法では、図５Ｂ及び図６に示す
ように、水晶ウエハが吸着力による反り１´などの変形
を起こし、適正にかつ高精度に測定できなくなる虞があ
る。しかも、この変形は水晶ウエハの厚さが薄くなるほ
ど起こり易いという問題がある。

【０００７】また、図７に示す従来のワイヤセット式の
ウエハ支持台においても、水平なウエハ１１の下面をい
くつかの線で支持しているだけであるから、その厚さが
薄くなるほど、図７Ｂに示すような自重による反り１１
´などの変形を起こす虞がある。また、被測定物がコン
ベックス形状の水晶チップである場合には、その表面が
湾曲しているので、水平ワイヤ１０上に水平に載置され
ない虞がある。このため、図７Ｃに示すように、水晶チ
ップ１２の中心線１３が水平線１４と平行にならず、適
正に測定できないという問題がある。

【０００８】そこで本発明は、上述した従来の問題点に
鑑みてなされたものであり、その目的は、非接触式で測
定又は検査を行うために薄板状被測定物を保持する際
に、これを適正な姿勢で支持しかつその反り等の変形を
防止し、常に適正にかつ高精度に測定又は検査できるよ
うにするための装置及び方法を提供することにある。

【０００９】本発明の別の目的は、水晶板を適正な姿勢
で支持しかつその反り等の変形を防止し、常に結晶格子
面に対するカット面の傾斜角度を適正にかつ高精度に測
定できる検査装置及び検査方法を提供することにある。

【００１０】本発明の更に別の目的は、薄板状被測定物
をを適正な姿勢で支持しかつその反り等の変形を防止
し、常にその表面状態を適正にかつ高精度に測定できる
平坦度測定装置及び測定方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記目
的を達成するために、上面に凹所を有する被測定物支持
台と、前記凹所内に液体を供給するための手段とを有
し、前記凹所に供給した前記液体の表面に薄板状被測定
物を浮かせるようにしたことを特徴とする薄板状被測定
物の保持装置が提供される。

【００１２】薄板状被測定物は、液体の表面張力により
比較的容易に液面に浮かせることができ、その下面全体
が均等な力で支持されることから、様々な非接触式の測
定や検査を行う際に、反り等の変形を生じることなく本
来の形状を維持したまま水平に保持することができる。

【００１３】ここで、前記液体は、その表面張力が大き
く、取扱い性及び安全性が優れていることから、水であ
ることが好ましい。

【００１４】或る実施例では、凹所内から液体を排出す
るための手段を更に有する。

【００１５】更に、被測定物支持台が凹所の底面に開口
を有し、該開口から凹所内に液体を供給し又は排出する
ようになっていると、凹所へ被測定物を配置し、被測定
物を浮かせ、かつ／又は取り出す過程が容易になるの
で、好ましい。

【００１６】別の実施例では、凹所の底面が凹凸に形成
されていると、液体を供給する際に被測定物の下面全体
に広がり易くなるので、より容易に浮かせることがで
き、また液体を排出する際に、被測定物の下面が液体の
表面張力で凹所底面に貼り付く虞が無いので、好都合で
ある。

【００１７】また、別の実施例では、凹所を真円形以外
の形状とすることにより、凹所内壁面と液面に浮かせた
被測定物の周縁との距離が異なるため、凹所内壁面に沿
って表面張力により生じる液体の盛り上がりから被測定
物に作用する力に強弱が生じるので、被測定物が凹所の
略中央にかつ静止状態に保持されるので好ましい。

【００１８】また、本発明の別の側面によれば、上述し
た本発明の被測定物支持台の凹所内に薄板状被測定物を
配置する過程と、該凹所内に液体を供給してその液面に
被測定物を浮かせる過程とを含むことを特徴とする薄板
状被測定物の保持方法が提供される。

【００１９】或る実施例では、凹所内から液体を排出す
る過程と、凹所内から被測定物を搬出する過程を更に含
むことにより、被測定物の取出しが容易に行われる。ま
た、使用する液体は、表面張力の大きさ、取扱い性及び
安全性の観点から、水であることが好ましい。

【００２０】本発明の別の側面によれば、上述した本発
明の薄板状被測定物の保持装置と、Ｘ線源及びＸ線検出
器を有するＸ線光学系とを備えることを特徴とする水晶
板のカット面検査装置が提供され、従来のＸ線光学系と
の組合せにより、適正かつ高精度な水晶板のカット面検
査が可能になる。

【００２１】また、本発明によれば、上述した本発明の
被測定物支持台の凹所内に水晶板を配置する過程と、該
凹所内に液体を供給してその液面に水晶板を浮かせる過
程と、該水晶板の表面にＸ線を照射し、その回折Ｘ線を
検出する過程とを含むことを特徴とする水晶板のカット
面検査方法が提供され、従来から公知の方法を利用して
水晶板のカット面検査を適正にかつより高精度に行うこ
とができる。

【００２２】更に本発明の別の側面によれば、上述した
本発明の薄板状被測定物の保持装置と、レーザ干渉計を
有する平坦度測定器とを備えることを特徴とする平坦度
測定装置が提供され、同様に従来のレーザ干渉計との組
合せにより、適正かつ高精度な平坦度測定が可能にな
る。

【００２３】また、本発明によれば、上述した本発明の
被測定物支持台の凹所内に薄板状被測定物を配置する過
程と、該凹所内に液体を供給してその液面に被測定物を
浮かせる過程と、レーザ干渉計を用前記被測定物にレー
ザ光を照射し、その反射光により形成される干渉縞から
被測定物の平坦度を測定することを特徴とする平坦度測
定方法が提供され、従来から公知の方法を利用して薄板
状被測定物の平坦度測定を適正にかつより高精度に行う
ことができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に、添付図面を参照しつつ本
発明の好適実施例について詳細に説明する。図１は、非
接触式検査又は測定のために薄板状被測定物として水晶
ウエハを保持するための本発明による保持装置の構成を
概略的に示している。この保持装置は、直方体ブロック
状のウエハ支持台２０を有し、その上面には、図１Ａに
良く示すように楕円形の凹所２１が設けられている。図
１Ｂに示すように、凹所２１の底面には、その中央に給
排水口２２が開設され、管路を介してポンプ２３及び給
水タンク２４に接続されている。

【００２５】使用時には、図２に示す要領で凹所２１内
に給水タンク２４から所定量の水２５を好適には純水を
注入し、その水面に表面張力で被測定物の水晶ウエハ２
６を浮かせる。先ず、水晶ウエハ２６を搬送アーム２７
の下端に吸着させてウエハ支持台２０の上方に搬送し
（図２Ａ）、空の凹所２１の底面中央に載置する（図２
Ｂ）。次に、ポンプ２３を作動させて給水タンク２４か
ら水を送給し、給排水口２２から凹所２１内に注入す
る。水晶ウエハ２６は、その下側に給排水口２２が開口
しているので、水２５の注入で容易に浮かせることがで
きる（図２Ｃ）。水の注入量は、水晶ウエハ２６を確実
に浮かせることができる程度の量であればよい。

【００２６】このとき、凹所２１の内壁面には、その全
周に亘って水２５の表面張力による盛り上がり部２８が
形成される。図１Ａ及びＢに示すように、盛り上がり部
２８の表面張力により凹所内壁面の全周から一様な力ｆ
が作用するので、そのバランスによって水晶ウエハ２６
は凹所２１の中心位置に保持される。

【００２７】本実施例では、凹所２１の平面形状を楕円
形に形成したことから、実際に水晶ウエハ２６に作用す
る力は、凹所内壁面の角度位置によって、凹所内壁面と
水晶ウエハ周縁との距離が異なるために強弱が生じるの
で、水晶ウエハ２６は静止状態に保持される。ところ
が、凹所２１を真円形にした場合には、凹所内壁面の角
度位置によらず水晶ウエハ２６に作用する力が一定とな
るので、水晶ウエハは僅かな力のアンバランスや外力の
作用で回転し、静止状態を維持できなくなる虞がある。
また、凹所２１の内壁面と水晶ウエハ２６の周縁との距
離が大きくなるに連れて、真円形以外の形状でも、同様
の問題が考えられる。従って、凹所２１の平面形状は、
少なくとも注入される水２５の高さにおいて、実質的に
真円形以外の形状（例えば、本実施例の楕円形）とし、
かつその大きさを、凹所への水晶ウエハの配置及び取出
しが可能な範囲で小さくするのが、スペース効率の点か
らも好ましい。

【００２８】このようにして水晶ウエハ２６は、その下
面全面が水２５によって均等な力で支持されるので、自
重による反り等の変形を生じる虞が無く、かつ水平に保
持される。この状態で、水晶ウエハ２６には、カット面
の傾斜角度や平坦度の測定、表面状態の検査を含む様々
な非接触式の測定又は検査を適正にかつ高精度に行うこ
とができる。

【００２９】水晶ウエハ２６について所望の測定又は検
査を行った後、ポンプ２３を逆向きに作動させ、凹所２
１内の水２５を給排水口２２から排出して給水タンク２
４に戻す（図２Ｄ）。水２５が完全に抜けると、再び搬
送アーム２７を用いて水晶ウエハ２６を吸着し、凹所２
１から取り出す。凹所２１の底面が平坦かつ円滑である
と、排水時に水の表面張力で水晶ウエハ２６が凹所底面
に貼り付く虞がある。そこで、凹所底面を図１Ｃに示す
ような波形面２９又は他の様々な凹凸面で形成すると、
水晶ウエハ２６の取り出しがより簡単になるので好まし
い。

【００３０】水晶ウエハを浮かせるための液体として、
本実施例で使用した水（純水）は表面張力が大きく、取
扱いが簡単で安全なことから、最も好ましい。しかし、
大きな表面張力、高い取扱い性及び安全性を有するもの
であれば、水以外の様々な液体を用いることができる。
更に、排水の容易さから或る程度良好な乾燥性と、測定
・検査中の液位の変化を少なくするために低蒸発性とを
有することが、より好ましい。

【００３１】図３は、本発明を適用した水晶板のカット
面検査装置の構成を概略的に示しており、図１と同様の
構成を有する水晶板保持装置と、Ｘ線源３０及びＸ線検
出器３１を有するＸ線光学系と、水晶板搬送装置（図示
せず）とを備える。Ｘ線源３０は、ウエハ支持台２０の
凹所２１内の水２５に浮かせた水晶ウエハ２６の表面
に、Ｘ線３２を所定の角度で照射するように配置され
る。Ｘ線検出器３１は、水晶ウエハ２６内部の結晶格子
面で回折されたＸ線３３を検出するように配置される。
前記水晶板搬送装置は、例えば図２に関連して上述した
搬送アーム２７を用いることができる。

【００３２】先ず、図２に関連して上述したように、水
晶ウエハ２６をウエハ支持台２０の凹所２１内に配置
し、水２５を注入してその水面に水晶ウエハ２６を浮か
せる。次に、Ｘ線源３０からＸ線３２を水晶ウエハ２６
の表面に照射すると、Ｘ線は水晶ウエハ内部の結晶格子
面で回折される。回折Ｘ線３３は、水晶ウエハ２６のカ
ット面が結晶格子面に対して所定の傾斜角度を有する場
合には、Ｘ線検出器３１により検出され、カット面の傾
斜角度のずれの有無が検出される。

【００３３】水晶ウエハ２６のカット面の傾斜角度が所
定値からずれている場合、Ｘ線検出器３１は回折Ｘ線３
３を検出できない。そこで、Ｘ線検出器３１を傾動させ
てその設置角度を補正し、回折Ｘ線３２を検出できるよ
うにする。そして、そのＸ線強度が最大となるＸ線検出
器３１の補正角度から、カット面の傾斜角度のずれ量を
求めることができる。

【００３４】このように本発明による水晶板保持装置と
Ｘ線光学系とを組み合せて構成することにより、本発明
の水晶板のカット面検査装置は、測定対象の水晶板を常
に変形させることなく水平に保持した状態で検査できる
ので、カット面の傾斜角度を高精度に検査することがで
きる。

【００３５】図４は、本発明を適用した薄板状被測定物
の平坦度測定装置の構成を概略的に示しており、図１と
同様の構成を有する薄板状被測定物の保持装置と、レー
ザ光源３４、ハーフミラー３５、フィゾーフラット３
６、及びＴＶカメラからなる従来の観察光学系３７を有
するフィゾー式レーザ干渉計と、被測定物搬送装置（図
示せず）とを有する。本実施例では、薄板状被測定物と
して水晶ウエハの平坦度を測定する場合について説明す
る。

【００３６】先ず、水晶ウエハ２６をウエハ支持台２０
の凹所２１内に配置し、水２５を注入してその水面に水
晶ウエハ２６を浮かせる。次に、レーザ光源３４から平
行ビームとしてレーザ光３８を水晶ウエハ表面に向けて
垂直に照射する。ハーフミラー３５を通過したレーザ光
３８は、その一部がフィゾーフラット３６で反射されて
参照光となり、ハーフミラー３５で反射されて観察光学
系３７に入射する。フィゾーフラット３６を通過した残
りのレーザ光３９は、水晶ウエハ２６の表面で反射さ
れ、フィゾーフラット３６を抜けてハーフミラー３５で
反射され、観察光学系に入射する。この反射光と参照光
とが観察光学系において干渉を起こし、前記ＴＶカメラ
の撮像面に干渉縞が形成される。この干渉縞をコンピュ
ータを用いて公知の解析法により解析すると、水晶ウエ
ハ２６の表面高さ分布が得られ、その平坦度を測定でき
る。

【００３７】このように本発明による薄板状被測定物の
保持装置とレーザ干渉計とを組み合せて構成することに
より、本発明の平坦度測定装置は、薄板状被測定物を常
に変形させることなく水平に保持した状態に維持できる
ので、高精度な測定が可能である。

【００３８】以上、本発明の好適な実施例について詳細
に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその
技術的範囲内において上記実施例に様々な変形・変更を
加えて実施することができる。本実施例では、図示する
ように長方形の水晶ウエハを使用したが、本発明は様々
な外形の薄板状被測定物についても、同様に適用するこ
とができる。また、別の実施例では、先にウエハ支持台
の凹所２１内に水２５を注入し、その後から水晶ウエハ
２６を搬送して水面に浮かせることもできる。

【００３９】

【発明の効果】本発明の薄板状被測定物の保持装置及び
保持方法は、上述したように構成することにより、被測
定物を液体の表面張力により比較的容易に液面に浮かせ
ることができ、その下面全体が均等な力で支持されるこ
とから、反り等の変形を生じることなく本来の形状を維
持したまま保持されるので、様々な非接触式の測定や検
査を適正にかつ高精度に行うことができる。

【００４０】従って、本発明の水晶板のカット面検査装
置及び検査方法によれば、従来のカット面検査装置及び
検査方法の構成を利用して、水晶板を常に変形させるこ
となく水平に保持した状態で、カット面の傾斜角度を高
精度に検査することができる。また、本発明の平坦度測
定装置及び測定方法によれば、レーザ干渉計を用いた従
来の平坦度測定装置及び測定方法の構成を利用して、薄
板状被測定物を常に変形させることなく水平に保持した
状態で、その平坦度を高精度に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａ図は本発明による水晶ウエハ保持装置を示す
平面図、Ｂ図はそのＢ−Ｂ線における断面図、Ｃ図はウ
エハ支持具の底面を示す部分拡大断面図である。

【図２】図１の水晶ウエハ保持装置を用いて水晶ウエハ
を保持する過程を順に示す図である。

【図３】図１の保持装置を用いた水晶板のカット面検査
装置の構成を示す概略斜視図である。

【図４】図１の保持装置を用いた平坦度測定装置の構成
を示す概略斜視図である。

【図５】Ａ図は従来のカット面検査装置の構成を概略的
に示す斜視図、Ｂ図は試料台に保持される水晶ウエハの
側面図である。

【図６】水晶ウエハを保持するための従来の別の構成を
示す図である。

【図７】Ａ図は従来の更に別のウエハ支持台を示す平面
図、Ｂ図はその側面図、Ｃ図はＡ図のウエハ支持台にコ
ンベックス形状の水晶チップを載せた側面図である。

【符号の説明】

１ 水晶ウエハ ２ 突起 ３ 試料台 ４ 空気孔 ５ Ｘ線源 ６ 中央溝 ７ Ｘ線検出器 ８ 吸着パッド ９ ウエハ固定部 １０ 水平ワイヤ １１ ウエハ １１´ 反り １２ 水晶チップ １３ 中心線 １４ 水平線 ２０ ウエハ支持台 ２１ 凹所 ２２ 給排水口 ２３ ポンプ ２４ 給水タンク ２５ 水 ２６ 水晶ウエハ ２７ 搬送アーム ２８ 盛り上がり部 ２９ 波形面 ３０ Ｘ線源 ３１ Ｘ線検出器 ３２、３３ Ｘ線 ３４ レーザ光源 ３５ ハーフミラー ３６ フィゾーフラット ３７ 観察光学系 ３８、３９ レーザ光

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA47 BB22 CC25 FF52 GG04 QQ31 UU04 2G001 AA01 AA07 BA18 CA01 CA07 GA01 GA13 JA12 KA08 LA11 MA05 PA01 PA14 QA01 QA10 2G052 AA21 AD12 BA02 GA19 4M106 AA01 BA05 BA20 CA38 DB08 DB30 DH01 DH20 DH32

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に凹所を有する被測定物支持台
   と、前記凹所内に液体を供給するための手段とを有し、
   前記凹所に供給した前記液体の表面に薄板状被測定物を
   浮かせるようにしたことを特徴とする薄板状被測定物の
   保持装置。
2. 【請求項２】 前記凹所内から前記液体を排出するた
   めの手段を更に有することを特徴とする請求項１に記載
   の薄板状被測定物の保持装置。
3. 【請求項３】 被測定物支持台が前記凹所の底面に開
   口を有し、前記開口から前記凹所内に前記液体を供給し
   又は排出することを特徴とする請求項１又は２に記載の
   薄板状被測定物の保持装置。
4. 【請求項４】 前記凹所の底面が凹凸に形成されてい
   ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の
   薄板状被測定物の保持装置。
5. 【請求項５】 前記凹所が真円形以外の形状であるこ
   とを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の薄板
   状被測定物の保持装置。
6. 【請求項６】 前記液体が水であることを特徴とする
   請求項１乃至５のいずれかに記載の薄板状被測定物の保
   持装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至５のいずれかに記載され
   る被測定物支持台の前記凹所内に薄板状被測定物を配置
   する過程と、前記凹所内に液体を供給してその液面に前
   記被測定物を浮かせる過程とを含むことを特徴とする薄
   板状被測定物の保持方法。
8. 【請求項８】 前記凹所内から前記液体を排出する過
   程と、前記凹所内から前記被測定物を搬出する過程を更
   に含むことを特徴とする請求項７に記載の薄板状被測定
   物の保持方法。
9. 【請求項９】 前記液体が水であることを特徴とする
   請求項７又は８に記載の薄板状被測定物の保持方法。
10. 【請求項１０】 請求項１乃至６のいずれかに記載さ
    れる薄板状被測定物の保持装置と、Ｘ線源及びＸ線検出
    器を有するＸ線光学系とを備えることを特徴とする水晶
    板のカット面検査装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至５のいずれかに記載さ
    れる被測定物支持台の前記凹所内に水晶板を配置する過
    程と、前記凹所内に液体を供給してその液面に前記水晶
    板を浮かせる過程と、前記水晶板の表面にＸ線を照射
    し、その回折Ｘ線を検出する過程とを含むことを特徴と
    する水晶板のカット面検査方法。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至６のいずれかに記載さ
    れる薄板状被測定物の保持装置と、レーザ干渉計を有す
    る平坦度測定器とを備えることを特徴とする平坦度測定
    装置。
13. 【請求項１３】 請求項１乃至５のいずれかに記載さ
    れる被測定物支持台の前記凹所内に薄板状被測定物を配
    置する過程と、前記凹所内に液体を供給してその液面に
    前記薄板状被測定物を浮かせる過程と、レーザ干渉計を
    用いて前記被測定物にレーザ光を照射し、その反射光に
    より形成される干渉縞から前記被測定物の平坦度を測定
    することを特徴とする平坦度測定方法。