JP2002164595A - 多波長パルスレーザ装置 - Google Patents
多波長パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JP2002164595A JP2002164595A JP2000362641A JP2000362641A JP2002164595A JP 2002164595 A JP2002164595 A JP 2002164595A JP 2000362641 A JP2000362641 A JP 2000362641A JP 2000362641 A JP2000362641 A JP 2000362641A JP 2002164595 A JP2002164595 A JP 2002164595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical
- wavelength pulse
- laser medium
- optical resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】異なる波長の複数のレーザパルスを、ジッタが
少なく、時間的に同期したタイミングで発生させること
のできる多波長パルスレーザ装置を実現する。 【解決手段】レーザ媒質とこのレーザ媒質を挟んで対峙
した出力鏡と全反射鏡により構成された光共振器と、こ
の光共振器内の光軸上に配置された偏光ビームスプリッ
タと光スイッチ手段を備え、レーザパルスの種光となる
波長の異なる複数のレーザ光を前記光共振器に注入して
おき、前記光スイッチ手段により同時に複数のレーザ光
を共振可能状態に移行させ得るように構成する。
少なく、時間的に同期したタイミングで発生させること
のできる多波長パルスレーザ装置を実現する。 【解決手段】レーザ媒質とこのレーザ媒質を挟んで対峙
した出力鏡と全反射鏡により構成された光共振器と、こ
の光共振器内の光軸上に配置された偏光ビームスプリッ
タと光スイッチ手段を備え、レーザパルスの種光となる
波長の異なる複数のレーザ光を前記光共振器に注入して
おき、前記光スイッチ手段により同時に複数のレーザ光
を共振可能状態に移行させ得るように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いに異なる波長
を持つ複数のレーザパルスを同期して発生させる多波長
パルスレーザ装置に関するものである。
を持つ複数のレーザパルスを同期して発生させる多波長
パルスレーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】互いに異なる波長を持つ複数のレーザパ
ルスを同期して発生させる場合、従来は一般にそれぞれ
単一波長のレーザパルスを発生する別々の装置（例え
ば、YAGレーザ発生装置、ＤＹＥレーザ発生装置等）を
用意し、これらの装置が同時に電気的なトリガ信号を受
けると、多波長のレーザパルスが同期発生するようにし
ている。
ルスを同期して発生させる場合、従来は一般にそれぞれ
単一波長のレーザパルスを発生する別々の装置（例え
ば、YAGレーザ発生装置、ＤＹＥレーザ発生装置等）を
用意し、これらの装置が同時に電気的なトリガ信号を受
けると、多波長のレーザパルスが同期発生するようにし
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな装置では次のような課題がある。トリガ信号の受け
付けからレーザパルスの発生までの間にはある固有の遅
延時間があり、一般にその時間は装置により異なってい
る。したがって、複数のレーザパルスを同時に発生させ
ようとすると、装置ごとに遅延装置を用いてトリガ信号
の入力時刻をずらせる等の調整が必要である。
うな装置では次のような課題がある。トリガ信号の受け
付けからレーザパルスの発生までの間にはある固有の遅
延時間があり、一般にその時間は装置により異なってい
る。したがって、複数のレーザパルスを同時に発生させ
ようとすると、装置ごとに遅延装置を用いてトリガ信号
の入力時刻をずらせる等の調整が必要である。
【０００４】また、レーザ装置に固有の遅延時間は、使
用するレーザの波長や装置の使用条件により変化するこ
とが多い。更にまた、装置によっては遅延時間のジッタ
が大きい場合があり、この場合はパルスごとにタイミン
グがずれてしまう。
用するレーザの波長や装置の使用条件により変化するこ
とが多い。更にまた、装置によっては遅延時間のジッタ
が大きい場合があり、この場合はパルスごとにタイミン
グがずれてしまう。
【０００５】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、異なる波長の複数のレーザパルスを、ジッタが少
なく、時間的に同期したタイミングで発生させることの
できる多波長パルスレーザ装置を実現するものである。
ので、異なる波長の複数のレーザパルスを、ジッタが少
なく、時間的に同期したタイミングで発生させることの
できる多波長パルスレーザ装置を実現するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１の発明では、レーザ媒質とこのレー
ザ媒質を挟んで対峙した出力鏡と全反射鏡により構成さ
れた光共振器と、この光共振器内の光軸上に配置された
偏光ビームスプリッタと光スイッチ手段を備え、レーザ
パルスの種光となる波長の異なる複数のレーザ光を前記
光共振器に注入しておき、前記光スイッチ手段により同
時に複数のレーザ光を共振可能状態に移行させ得るよう
に構成したことを特徴とする。
るために、請求項１の発明では、レーザ媒質とこのレー
ザ媒質を挟んで対峙した出力鏡と全反射鏡により構成さ
れた光共振器と、この光共振器内の光軸上に配置された
偏光ビームスプリッタと光スイッチ手段を備え、レーザ
パルスの種光となる波長の異なる複数のレーザ光を前記
光共振器に注入しておき、前記光スイッチ手段により同
時に複数のレーザ光を共振可能状態に移行させ得るよう
に構成したことを特徴とする。
【０００７】このような構成によれば、種光となる波長
の異なる複数のレーザ光があらかじめ光共振器に注入さ
れた状態において、光スイッチ手段により複数のレーザ
光を一斉に共振可能状態に移行させることができ、時間
的に同期した、ジッタの少ない多波長のレーザパルスを
容易に発生させることができる。
の異なる複数のレーザ光があらかじめ光共振器に注入さ
れた状態において、光スイッチ手段により複数のレーザ
光を一斉に共振可能状態に移行させることができ、時間
的に同期した、ジッタの少ない多波長のレーザパルスを
容易に発生させることができる。
【０００８】この場合、請求項２のように、レーザ媒質
としては、広い利得スペクトルを持つ単一のレーザ媒質
あるいは固有の利得スペクトルを持つ複数のレーザ媒質
とすることができる。
としては、広い利得スペクトルを持つ単一のレーザ媒質
あるいは固有の利得スペクトルを持つ複数のレーザ媒質
とすることができる。
【０００９】また、請求項３のように、光スイッチ手段
としてはポッケルス素子を用いることができる。更にま
た、種光となるレーザ光が、請求項４のように光アイソ
レータを介して偏光ビームスプリッタに注入されるよう
にする。このような構成によれば、種光レーザ光源への
光共振器側からの影響を防止することができる。
としてはポッケルス素子を用いることができる。更にま
た、種光となるレーザ光が、請求項４のように光アイソ
レータを介して偏光ビームスプリッタに注入されるよう
にする。このような構成によれば、種光レーザ光源への
光共振器側からの影響を防止することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る多波長パルスレーザ装置
の一実施例を示す構成図である。図において、広い利得
スペクトルを持つレーザ媒質１とそれを挟んで対峙した
出力鏡２と全反射鏡３で光共振器が形成されている。
説明する。図１は本発明に係る多波長パルスレーザ装置
の一実施例を示す構成図である。図において、広い利得
スペクトルを持つレーザ媒質１とそれを挟んで対峙した
出力鏡２と全反射鏡３で光共振器が形成されている。
【００１１】光共振器内の光軸上には、偏光ビームスプ
リッタ６と、光スイッチとして機能するポッケルス素子
７が配置されている。偏光ビームスプリッタ６は紙面に
平行な偏光が共振器の光軸方向に通過できるような向き
に置かれている。波長の異なるレーザ光４，５は種光と
して偏光ビームスプリッタ６に入射される。このとき、
レーザ光４，５は光アイソレータ８を介して注入され
る。
リッタ６と、光スイッチとして機能するポッケルス素子
７が配置されている。偏光ビームスプリッタ６は紙面に
平行な偏光が共振器の光軸方向に通過できるような向き
に置かれている。波長の異なるレーザ光４，５は種光と
して偏光ビームスプリッタ６に入射される。このとき、
レーザ光４，５は光アイソレータ８を介して注入され
る。
【００１２】このような構成における動作を次に説明す
る。始めに、ポッケルス素子７に素子に固有の１／４波
長（λ／４）電圧を印加しておく。この状態では次のよ
うに偏光面が変化する。
る。始めに、ポッケルス素子７に素子に固有の１／４波
長（λ／４）電圧を印加しておく。この状態では次のよ
うに偏光面が変化する。
【００１３】すなわち、偏光ビームスプリッタ６側から
ポッケルス素子７に入射する光が紙面に垂直な方向の偏
光を持つ場合は、ポッケルス素子７を通過し全反射鏡３
で反射して再度ポッケルス素子７を通過すると、紙面に
平行な偏光に変換される。同様に、紙面に平行な偏光を
持つ場合は、紙面に垂直な偏光に変換される。
ポッケルス素子７に入射する光が紙面に垂直な方向の偏
光を持つ場合は、ポッケルス素子７を通過し全反射鏡３
で反射して再度ポッケルス素子７を通過すると、紙面に
平行な偏光に変換される。同様に、紙面に平行な偏光を
持つ場合は、紙面に垂直な偏光に変換される。
【００１４】偏光ビームスプリッタ６は紙面に平行な偏
光のみ共振器の光軸方向に通過するように配置されてい
るため、この状態では、どちらの偏光であってもレーザ
媒質１を１往復以上通過することはできない。したがっ
て、共振器が機能せず、レーザ発振には到らない。
光のみ共振器の光軸方向に通過するように配置されてい
るため、この状態では、どちらの偏光であってもレーザ
媒質１を１往復以上通過することはできない。したがっ
て、共振器が機能せず、レーザ発振には到らない。
【００１５】ここで、ポッケルス素子７へのλ／４電圧
の印加を中止すると、紙面に平行な偏光は出力鏡２と全
反射鏡３の間を往復できるようになり、レーザ発振が始
まる。このとき、レーザ媒質１内に存在する種レーザ光
４，５は自然放出光より十分強いため、早く増幅され、
出力レーザ光８，９として発振する。
の印加を中止すると、紙面に平行な偏光は出力鏡２と全
反射鏡３の間を往復できるようになり、レーザ発振が始
まる。このとき、レーザ媒質１内に存在する種レーザ光
４，５は自然放出光より十分強いため、早く増幅され、
出力レーザ光８，９として発振する。
【００１６】この２つの出力レーザ光８，９は、種レー
ザ光が増幅されたものであるため、種レーザ光がなく自
然放出光からレーザパルスが成長する場合に比較して、
２つの波長におけるレーザ媒質の利得の違いがあらわれ
難く、時間的なずれおよびジッタが少ない。
ザ光が増幅されたものであるため、種レーザ光がなく自
然放出光からレーザパルスが成長する場合に比較して、
２つの波長におけるレーザ媒質の利得の違いがあらわれ
難く、時間的なずれおよびジッタが少ない。
【００１７】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００１８】例えば、レーザ媒質１は１個に限らず、固
有の利得スペクトルを持ついくつかのレーザ媒質を使用
し、それぞれのレーザ媒質に適した波長範囲で共振する
レーザ共振器をいくつか構成するようにしてもよい。た
だし、１個の光スイッチにより全共振器を共振可能状態
に移行するように構成しておく必要がある。
有の利得スペクトルを持ついくつかのレーザ媒質を使用
し、それぞれのレーザ媒質に適した波長範囲で共振する
レーザ共振器をいくつか構成するようにしてもよい。た
だし、１個の光スイッチにより全共振器を共振可能状態
に移行するように構成しておく必要がある。
【００１９】また、実施例では波長の異なる種レーザが
２つの場合を例示したが、種レーザは３つ以上であって
も良く、容易に所望の多波長のパルスレーザを発生させ
ることができる。
２つの場合を例示したが、種レーザは３つ以上であって
も良く、容易に所望の多波長のパルスレーザを発生させ
ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。時間的に同期した波長の異なるい
くつかのレーザパルスを、トリガ信号の時間調整等を必
要とすることなく、容易に得ることができる。ジッタ
の小さい時間的に同期した波長の異なるいくつかのレー
ザパルスを容易に得ることができる。
ような効果がある。時間的に同期した波長の異なるい
くつかのレーザパルスを、トリガ信号の時間調整等を必
要とすることなく、容易に得ることができる。ジッタ
の小さい時間的に同期した波長の異なるいくつかのレー
ザパルスを容易に得ることができる。
【図１】本発明に係る多波長パルスレーザ装置の一実施
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
１ レーザ媒質 ２ 出力鏡 ３ 全反射鏡 ４，５ 種レーザ ６ 偏光ビームスプリッタ ７ ポッケルス素子 ８ 光アイソレータ
Claims (4)
- 【請求項１】レーザ媒質とこのレーザ媒質を挟んで対峙
した出力鏡と全反射鏡により構成された光共振器と、 この光共振器内の光軸上に配置された偏光ビームスプリ
ッタと光スイッチ手段を備え、 レーザパルスの種光となる波長の異なる複数のレーザ光
を前記光共振器に注入しておき、前記光スイッチ手段に
より同時に複数のレーザ光を共振可能状態に移行させ得
るように構成したことを特徴とする多波長パルスレーザ
装置。 - 【請求項２】前記レーザ媒質は、広い利得スペクトルを
持つ単一のレーザ媒質あるいは固有の利得スペクトルを
持つ複数のレーザ媒質であることを特徴とする請求項１
記載の多波長パルスレーザ装置。 - 【請求項３】前記光スイッチ手段としてポッケルス素子
を使用したことを特徴とする請求項１または２記載の多
波長パルスレーザ装置。 - 【請求項４】前記種光となるレーザ光が光アイソレータ
を介して前記偏光ビームスプリッタに注入されるように
構成したことを特徴とする請求項１ないし３記載の多波
長パルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000362641A JP2002164595A (ja) | 2000-11-29 | 2000-11-29 | 多波長パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000362641A JP2002164595A (ja) | 2000-11-29 | 2000-11-29 | 多波長パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002164595A true JP2002164595A (ja) | 2002-06-07 |
Family
ID=18833880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000362641A Pending JP2002164595A (ja) | 2000-11-29 | 2000-11-29 | 多波長パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002164595A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008244339A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光パルスレーザー装置 |
-
2000
- 2000-11-29 JP JP2000362641A patent/JP2002164595A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008244339A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光パルスレーザー装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4323917B2 (ja) | 相対的タイミングドリフトの低減方法 | |
| US20180309258A1 (en) | Pulse laser system that is temporally variable in terms of rhythm and/or amplitude | |
| JP2008521615A (ja) | 多重レーザビームを使用して効率的に微細加工する装置及び方法 | |
| JP6057992B2 (ja) | 複数の光学増幅器のコヒーレント結合用受動装置および方法 | |
| US6937626B2 (en) | Multiple wavelength pulsed source | |
| RU2321121C2 (ru) | Оптический резонатор с высокой пиковой мощностью и комбинация из нескольких таких оптических резонаторов, предназначенных, в частности, для возбуждения генератора света в крайнем ультрафиолетовом диапазоне | |
| JP2009529235A (ja) | 誘導ブリルアン散乱位相共役鏡の位相安定化装置及びそれを用いた光増幅装置 | |
| US3902130A (en) | Improved apparatus for lengthening laser output pulse duration | |
| JP4405684B2 (ja) | ブリュアン散乱相共役ミラーを用いた光学アイソレータおよびその光学増幅器系への適用 | |
| WO2006062766A2 (en) | Efficient micro-machining apparatus and method employing multiple laser beams | |
| KR100571176B1 (ko) | 진폭분할방식의 광증폭장치 | |
| JP2002164595A (ja) | 多波長パルスレーザ装置 | |
| GB2412006A (en) | A Laser | |
| JP3504592B2 (ja) | パルスレーザ発生装置及びそれを利用したｘ線発生装置 | |
| JP4216849B2 (ja) | 短光パルス発生装置 | |
| JP2002287190A (ja) | 赤外光発生装置 | |
| KR102541235B1 (ko) | 레이저 펄스를 발생시키기 위한 방법 및 장치 | |
| JP2001024264A (ja) | 波長変換レーザ装置 | |
| JP2001249367A (ja) | 光発生方法及び光源 | |
| Möller et al. | Dynamics of three coupled Nd: YVO4 microchip lasers | |
| JPH07307512A (ja) | 光駆動超高速強制モード同期レーザ装置 | |
| JP2001007429A (ja) | レーザ光発生装置 | |
| JP2710517B2 (ja) | リングレーザ型短光パルス発生装置 | |
| JP2003198021A (ja) | ファイバレーザ | |
| JP2006216923A (ja) | モード同期半導体レーザ装置 |