JP2002164405A

JP2002164405A - 搬送装置

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Publication number: JP2002164405A
Application number: JP2000358197A
Authority: JP
Inventors: Nobufumi Minami; 展史南
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2000-11-24
Filing date: 2000-11-24
Publication date: 2002-06-07
Anticipated expiration: 2020-11-24
Also published as: JP4467770B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡素な構成で旋回半径を小さくすることがで
き、しかも搬送速度が大きい搬送装置を提供する。【解決手段】本発明の搬送装置１は、一方の端部Ａ、Ｂ
に第１及び第２の駆動軸１１、１２が同心状に配設され
た第１及び第２のアーム２１、２２を有する。第１及び
第２のアーム２１、２２の他方の端部Ｃ、Ｄには、第３
及び第４のアーム２３、２４の一方の端部Ｅ、Ｆが、支
軸２３ａ、２４ａを中心としてそれぞれ回転自在に取り
付けられている。第３及び第４のアーム２３、２４は、
その他方の端部Ｇ、Ｈが、連結軸３０ａを中心として同
心的に回転できるように構成されている。第２のアーム
２２の駆動軸１２の回転動力を第３のアーム２３に伝達
するための第１の動力伝達機構４と、第１のアーム２１
の他方の端部Ｃにおける回転動力を連結軸３０ａに伝達
するための第２の動力伝達機構５が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体基板
等を真空処理槽内に搬入したり、搬出して所定の位置に
搬送するための搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子に関し、超微細高精度
化が要求されており、このような半導体素子を製造する
装置には、スループットを向上させること、また装置を
設置するための床面積を小さくすること等が要求されて
いる。

【０００３】このため、搬送室を中心としてその周囲に
複数の処理室を配し、ゲートバルブを介して連結するこ
とによって種々の基板処理を真空中で一貫して行うこと
ができるマルチチャンバ装置及び搬送装置が提案されて
いる（例えば、特許第２７３３７９９号公報、特許第２
８０８８２６号公報等参照）。

【０００４】図５は、従来の搬送装置（特開平４−２７
９０４３号公報参照）の要部構成を示す平面図である。
図５に示すように、この搬送装置１００においては、図
示しない駆動源の回転動力が、駆動軸１０１及びこの駆
動軸１０１に取り付けられた駆動ギア１０２に伝達さ
れ、さらに、駆動ギア１０２及びこの駆動ギア１０２と
噛み合う従動ギア１０３を介して従動軸１０４に伝達さ
れるようになっている。

【０００５】駆動軸１０１には第１のアーム１０５が取
り付けられ、この第１のアーム１０５の先端部には、回
転軸１０６を中心として回転可能な第３のアーム１０７
が取り付けられている。

【０００６】一方、従動軸１０４には第２のアーム１０
８が取り付けられ、この第２のアーム１０８の先端部に
は、回転軸１０９を中心として回転可能な第４のアーム
１１０が取り付けられている。

【０００７】第３のアーム１０７には上記回転軸１０６
と同心的に回転可能な動プーリ１１１が取り付けられ、
この動プーリ１１１は、駆動軸１０１と同心位置に固定
された固定プーリ１１２とベルト１１３によって連結さ
れている。なお、動プーリ１１１と固定プーリ１１２と
の直径比は１：２である。

【０００８】第３のアーム１０７と第４のアーム１１０
の先端部には、それぞれ拘束ギア１１４、１１６が回転
可能に取り付けられ、これら拘束ギア１１４、１１６
は、噛み合った状態で基板載置台１１５に取り付けられ
ている。

【０００９】このようなリンク機構を有する従来の搬送
装置１００においては、駆動軸１０１を回転させること
により、駆動軸１０１と従動軸１０４の中心を結ぶ直線
に水平面内で直交する直線（以下「搬送ライン」とい
う。）ｌに沿って基板載置台１１５が移動し、第１のア
ーム１０５と第２のアーム１０８の開き角が１８０度と
なる位置（以下「死点位置」という。）を通過する。

【００１０】また、この搬送装置１００は、駆動軸１０
１及び従動軸１０４は図示しない支持台に回転可能に取
り付けられ、この支持台を他の駆動源（図示せず）によ
って回転させることにより基板載置台１１５が駆動軸１
０１を中心として旋回するように構成されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送装置１００においては、駆動軸１０１を
中心として基板載置台１１５を回転させる構成となって
いるため、第１〜第４のアーム１０５、１０７、１０
８、１１０を死点位置まで縮めた状態で旋回させた場合
に、基板載置台１１５はアームの中心位置、すなわち、
駆動軸１０１と従動軸１０４の中心軸を結ぶ直線ｍと上
記搬送ラインｌの交点Ｏを中心に旋回しない構成となっ
ている。

【００１２】このため、従来技術においては、最小旋回
半径を小さくすることができず、搬送室の内径を小さく
することができないので、半導体製造装置を小さくする
ことができないという課題がある。

【００１３】また、半導体製造装置のスループットを向
上させるためには、搬送装置の動作速度を大きくするこ
とが効果的であるが、従来技術においては、一つの駆動
源を用いて駆動軸１０１及び従動軸１０４を動作させる
ようにしているため、回転動力の伝達ロス等によって駆
動源の動作トルクが不足し、動作速度が速くならないと
いう課題がある。

【００１４】このような課題を解決するためには、同心
状に配設した第１及び第２の駆動軸に対して２つの独立
した駆動源の回転動力を伝達させることも考えられる
が、その場合、関節機構を構成する拘束ギア１１４、１
１６が２個並列に配置されているので、上記第３のアー
ム１０７の第１のアーム１０５に対する回転角と、第４
のアーム１１０の第２のアーム１０８に対する回転角
は、それぞれ第１のアーム１０５及び第２のアーム１０
８の回転角に比例しない。そのため、第１及び第２のア
ーム１０５、１０８の回転運動に第３及び第４のアーム
１０７、１１０の回転運動に同期せず、基板載置台１１
５の移動が困難になってしまう。

【００１５】その一方、このような課題を回避するため
には複雑な補正機構を設けなければならず、部品点数が
増加するとともに組立工程も煩雑になってしまう。

【００１６】本発明は、このような従来の技術の課題を
解決するためになされたもので、簡素な構成で旋回半径
を小さくすることができ、しかも搬送速度が大きい搬送
装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた請求項１記載の発明は、第１、第２、第３及
び第４のアームを有する搬送装置であって、前記第１の
アームは、一方の端部Ａが第１の駆動軸に固定され、前
記第２のアームは、一方の端部Ｂが、前記第１の駆動軸
と同心状に配設された第２の駆動軸に固定され、前記第
３のアームは、一方の端部Ｅが前記第１のアームの他方
の端部Ｃにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、前
記第４のアームは、一方の端部Ｆが前記第２のアームの
他方の端部Ｄにおいて支軸を中心に回転可能に連結さ
れ、前記第３及び第４のアームの他方の端部Ｇ、Ｈが所
定の連結軸を中心に回転可能に連結され、前記第１又は
第２のアームの駆動軸の回転動力を前記第３又は第４の
アームに伝達するための第１の動力伝達機構と、前記第
１又は第２のアームの他端部における回転動力を前記連
結軸に伝達するための第２の動力伝達機構とを備えたこ
とを特徴とする。

【００１８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記第１、第２、第３及び第４のアームの
アーム長が同一であることを特徴とする。

【００１９】請求項３記載の発明は、請求項１又は２の
いずれか１項記載の発明において、前記第１の動力伝達
機構は、第１又は第２のアームの一方の端部Ａ、Ｂに設
けられた駆動部と、前記第３又は第４のアームの一方の
端部Ｅ、Ｆに設けられた従動部とを有し、前記駆動部と
従動部とが所定の動力伝達部材によって連結されている
ことを特徴とする。

【００２０】請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の
いずれか１項記載の発明において、前記第２の動力伝達
機構は、第１又は第２のアームの他方の端部Ｃ、Ｄに設
けられた駆動部と、前記連結軸に設けられた従動部とを
有し、前記駆動部と従動部とが所定の動力伝達部材によ
って連結されていることを特徴とする。

【００２１】本発明の場合、第１及び第２のアームの駆
動軸が同心状に配設されていることから、第１〜第４の
アームを死点位置に配置した状態における最小旋回半径
を従来技術に比べて小さくすることが可能になる。

【００２２】また、本発明によれば、第３及び第４のア
ームの他方の端部が所定の連結軸によって同心状に連結
されていることから、アーム長を変化させるための複雑
な補正機構を用いることなく第３及び第４のアームに駆
動軸の回転動力を与えることができ、その結果、簡素な
構成で第１〜第４のアームの動作速度を速くすることが
可能になる。

【００２３】しかも、本発明にあっては、第２の動力伝
達機構によって第１又は第２のアームの他方の端部Ｃ、
Ｄにおける回転動力を前記連結軸に伝達するように構成
されていることから、例えばこの連結軸に取り付けたキ
ャリアが回転してしまうことなく所定の搬送ラインに沿
って直進性良く移動させることができ、また、死点位置
近傍においてもキャリアを円滑に移動させることができ
る。

【００２４】さらに、本発明によれば、第１の動力伝達
機構によって駆動源の動力が効率良く各アームに伝達さ
れるので、より円滑かつ高速で動作させることが可能に
なる。

【００２５】請求項５記載の発明は、請求項１又は２の
いずれか１項記載の発明において、前記第１の動力伝達
機構は、第１又は第２のアームの一方の端部Ａ、Ｂに設
けられた第１のプーリと、前記第３又は第４のアームの
一方の端部Ｅ、Ｆに設けられた第２のプーリとを有し、
前記第１のプーリと第２のプーリとが伝達ベルトによっ
て連結されていることを特徴とする。

【００２６】請求項５記載の発明によれば、第１の動力
伝達機構がプーリとベルトによって構成されているの
で、薄型で軽量の搬送機構を提供することが可能にな
る。

【００２７】請求項６記載の発明は、請求項１又は２の
いずれか１項記載の発明において、前記第２の動力伝達
機構は、第１又は第２のアームの他方の端部Ｃ、Ｄに設
けられた第３のプーリと、前記連結軸に設けられた第４
のプーリとを有し、前記第３のプーリと第４のプーリと
が伝達ベルトによって連結されていることを特徴とす
る。

【００２８】請求項６記載の発明によれば、第２の動力
伝達機構がプーリとベルトによって構成されているの
で、薄型で軽量の搬送機構を提供することが可能にな
る。

【００２９】請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求
項６のいずれか１項記載の搬送装置を用いて真空処理槽
内の搬送を行うように構成されていることを特徴とする
真空処理装置である。

【００３０】請求項７記載の発明によれば、小型で処理
対象物の搬送速度の大きい真空処理装置を提供すること
ができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る搬送装置の好
ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。

【００３２】図１は、本発明に係る搬送装置の第１の実
施の形態の構成を示す平面図、図２は、本実施の形態の
構成を示す側断面図である。図１に示すように、本実施
の形態の搬送装置１は、例えば真空処理槽（図示せず）
内における処理対象物の搬送を行うもので、同心状に配
設した第１及び第２の駆動軸１１、１２を有し、これら
各駆動軸１１、１２は、独立した第１及び第２の駆動源
Ｍ１、Ｍ２からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方
向の回転動力が伝達されるように構成されている。

【００３３】第１の駆動軸１１には第１のアーム２１の
一方の端部Ａが固定され、第２の駆動軸１２には、第２
のアーム２２の一方の端部Ｂが固定されている。

【００３４】第１及び第２のアーム２１、２２の他方の
端部Ｃ、Ｄには、例えば軸受け（図示せず）を用いて第
３及び第４のアーム２３、２４の一方の端部Ｅ、Ｆが、
支軸２３ａ、２４ａを中心としてそれぞれ回転自在に取
り付けられている。

【００３５】これら第３及び第４のアーム２３、２４
は、その他方の端部Ｇ、Ｈが、後述するベース板３０に
固定された連結軸３０ａを中心として同心的に回転でき
るように構成されている。

【００３６】なお、本実施の形態においては、第１〜第
４のアーム２１〜２４の長さ（回転軸間の距離）が、全
て同一の長さに設定されている。以下、第１〜第４のア
ーム２１〜２４全体を適宜アーム２０と総称する。

【００３７】また、本実施の形態においては、第２のア
ーム２２と第３のアーム２３との間に第１の動力伝達機
構４が設けられている。

【００３８】図１及び図２に示すように、この第１の動
力伝達機構４においては、第２のアーム２２の回転軸で
ある第２の駆動軸１２に対して同心状に第１のプーリ
（駆動部）４１が固定されるとともに、第３のアーム２
３の回転軸である支軸２３ａに対して同心状に第２のプ
ーリ（従動部）４２が固定され、これら第１及び第２の
プーリ４１、４２に駆動ベルト（動力伝達部材）４０が
巻き掛けられている。

【００３９】ここで、第１及び第２のプーリ４１、４２
は、それぞれ径が同一のものが用いられている。

【００４０】そして、このような構成を有する第１の動
力伝達機構４により、第２のアーム２２を駆動するため
の第２の駆動軸１２の回転動力が、同位相で第３のアー
ム２３に伝達されるようになっている。

【００４１】さらに、本実施の形態においては、第２の
動力伝達機構５が設けられている。この第２の動力伝達
機構５は、第１のアーム２１の他方の端部Ｃに固定され
第３のアーム２３の支軸２３ａを中心として回転可能な
第３のプーリ（駆動部）５３を有している。

【００４２】また、ベース板３０の連結軸３０ａには当
該連結軸３０ａを中心として第４のプーリ（従動部）５
４が固定されている。この第４のプーリ５４の直径は第
３のプーリ５３の直径の２倍に設定されている。そし
て、これら第３及び第４のプーリ５４に伝達ベルト（動
力伝達部材）５０が巻き掛けられ、これにより第３のプ
ーリ５３の回転が同位相で第４のプーリ５４に伝達され
るようになっている。

【００４３】図１に示すように、ベース板３０には、半
導体ウェハ２を載置するためのキャリア３１が取り付け
られている。

【００４４】本実施の形態の場合は、ベース板３０に対
して第１及び第２の駆動軸１１、１２側に第１のキャリ
ア３１ａが設けられるとともに、ベース板３０を挟んで
１８０度回転対称側に第２のキャリア３１ｂが設けら
れ、これにより２枚の半導体ウェハ２を同時に載置でき
るようになっている。

【００４５】次に、本実施の形態の動作を説明する。ま
ず、第１のアーム２１と第２のアーム２２の開き角が１
８０度の状態、即ち死点位置にある状態から、第１のア
ーム２１と第２のアーム２２の開き角が小さくなるよう
に第１の駆動軸１１と第２の駆動軸１２を逆方向に所定
の角度θだけ回転させると、第１のアーム２１と第２の
アーム２２は、それぞれ逆方向に同一の角度θだけ回転
する。

【００４６】ここで、第１〜第４のアーム２１〜２４
は、リンク機構を構成しており、また、第１〜第４のア
ーム２１〜２４はアーム長が等しいので、この回転に伴
い、ベース板３０に固定された連結軸３０ａは、第１及
び第２の駆動軸１１、１２の中心と当該連結軸３０ａの
中心を結ぶ直線（以下「搬送ライン」という。）Ｌ上を
移動する（図１参照）。

【００４７】ここで、第１のアーム２１が角度θだけ回
転すると、第３のアーム２３は第１のアーム２１に対し
て逆方向に角度２θだけ回転する。第１のアーム２１に
固定された第３のプーリ５３は第３のアーム２３に対し
て相対的に２θだけ回転したことになる。この第３のプ
ーリ５３の回転動力は伝達ベルト５０を介して第４のプ
ーリ５４に伝達されるが、第３のプーリ５３と第４のプ
ーリ５４の直径比が１：２であるので、第４のプーリ５
４は、第３のアーム２３に対して角度θだけ回転する。

【００４８】その結果、第４のプーリ５４に連結軸３０
ａを介して固定されているベース板３０とキャリアは、
連結軸３０ａを中心に回転することなく、搬送ラインＬ
上を直進性良く移動することになる。

【００４９】一方、キャリア３１を元の位置に戻す場合
には、第１の駆動軸１１と第２の駆動軸１２を上記方向
と逆方向に所定の角度θだけ回転させる。これにより、
上述した動作と反対の動作が行われ、第１のアーム２１
と第２のアーム２２が死点位置に戻る。

【００５０】なお、第１の駆動軸１１と第２の駆動軸１
２を同じ方向へ回転させた場合には、キャリア３１は、
第１の駆動軸１１及び第２の駆動軸１２を中心として同
方向に回転する。

【００５１】次に、本実施の形態においてキャリア３１
が死点位置を通過するときの動作について説明する。こ
こでは、第１のアーム２１と第２のアーム２２の開き角
が死点位置における１８０度から少し小さくなった状態
を考える。

【００５２】この状態において、第１のアーム２１と第
２のアーム２２の開き角が大きくなるように、第１の駆
動軸１１を所定の方向に角度θだけ回転させ、第２の駆
動軸１２をこれと逆方向に角度θだけ回転させる。

【００５３】本実施の形態においては、第２の駆動軸１
２の回転動力が、動力伝達機構８によって同位相で第３
のアーム２３に伝達されるようになっているため、第１
及び第２のアームを回転させると、第３のアーム２３が
第１のアーム２１に対して回転移動し、その結果、キャ
リア３１は円滑に死点位置を通過することになる。

【００５４】図３（ａ）〜（ｄ）及び図４（ｅ）〜
（ｇ）は、本実施の形態を用い、真空処理槽内において
処理済みの半導体ウェハを未処理の半導体ウェハと入れ
替える動作を示す説明図である。

【００５５】ここでは、図３（ａ）に示すように、第１
のキャリア３１ａ上に未処理の半導体ウェハ２ａがあ
り、第２のキャリア３１ｂ上には半導体ウェハ２がない
状態を考える。

【００５６】まず、第１〜第４のアーム２１〜２４を死
点位置に配置した状態で旋回させることにより、第２の
キャリア３１ｂを、真空処理槽（図示せず）内の所定の
位置に配置された処理済みの半導体ウェハ２の方向に向
ける。

【００５７】次いで、図３（ｂ）に示すように、アーム
２０を伸ばして第２のキャリア３１ｂをウェハ受け渡し
位置５０に移動させ、さらに、図３（ｃ）に示すよう
に、処理済みの半導体ウェハ２を第２のキャリア３１ｂ
上に載せてアーム２０を初期位置に戻す。この状態では
第１及び第２のキャリア３１ａ、３１ｂ上に半導体ウェ
ハ２が載置されている。

【００５８】そして、図３（ｄ）及び図４（ｅ）に示す
ように、アーム２０を１８０度旋回させ、第１のキャリ
ア３１ａをウェハ受け渡し位置５０に向け、アーム２０
を伸ばして第１のキャリア３１ａをウェハ受け渡し位置
５０に移動させる。

【００５９】その後、図４（ｆ）に示すように、第１の
キャリア３１ａ上にある未処理の半導体ウェハ２ａを受
け渡し、さらに、図４（ｇ）に示すように、第１のキャ
リア３１ａを初期位置に戻す。

【００６０】以上述べたように本実施の形態によれば、
第１及び第２のアーム２２の駆動軸１１、１２が同心状
に配設されていることから、第１〜第４のアーム２１〜
２４を死点位置に配置した状態における最小旋回半径を
従来技術に比べて小さくすることが可能になる。

【００６１】また、本実施の形態によれば、第３及び第
４のアーム２３、２４が、それぞれ他方の端部Ｇ、Ｈに
おいて連結軸３０ａを中心として同心的に回転するよう
に構成されていることから、アーム長を変化させるため
の複雑な補正機構を用いることなく第３及び第４のアー
ム２３、２４に駆動軸１１、１２の回転動力を与えるこ
とができ、その結果、簡素な構成で第１〜第４のアーム
２１〜２４の動作速度を速くすることができる。

【００６２】しかも、本実施の形態にあっては、第２の
動力伝達機構５によって第１のアーム２１の他方の端部
Ｃにおける回転動力を前記連結軸３０ａに伝達するよう
に構成されていることから、この連結軸３０ａに取り付
けたキャリアが回転してしまうことなく搬送ラインＬに
沿って直進性良く移動させることができ、また、死点位
置近傍においてもキャリアを円滑に移動させることがで
きる。

【００６３】さらに、本実施の形態によれば、第１の動
力伝達機構４によって駆動源Ｍ１、Ｍ２の動力が効率良
く各アーム２１〜２４に伝達されるので、より円滑かつ
高速で動作させることが可能になる。

【００６４】さらにまた、本実施の形態によれば、第１
及び第２の動力伝達機構４、５がプーリ４１、４２及び
５３、５４と伝達ベルト４０及び５０によって構成され
ているので、薄型で軽量の動力伝達機構を提供すること
ができるものである。

【００６５】なお、本発明は上述の実施の形態に限られ
ることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、
上記第１及び第２の動力伝達機構のプーリとベルトの代
わりにスプロケットとチェーンを用いることも可能であ
る。

【００６６】スプロケットとチェーンを用いた場合に
は、滑りのない、また、熱伸びの小さな動力伝達機構を
提供することができる。

【００６７】また、上述した実施の形態では、第２のア
ームと第３のアームとの間に第１の動力伝達機構を設
け、第１のアームと連結軸の間に第２の動力伝達機構を
設けるようにしたが、第１のアームと第４のアームの間
に第１の動力伝達機構を設け、第２のアームと連結軸の
間に第２の動力伝達機構を設けることもできる。

【００６８】さらにまた、本発明の搬送装置は例えば真
空処理装置を始めとして種々の装置に用いることがで
き、本発明の範囲を逸脱しない限り、適宜変更すること
ができるものである。

【００６９】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、簡素
な構成で旋回半径を小さくすることができ、しかも搬送
速度が大きい搬送装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送装置の実施の形態の構成を示
す平面図

【図２】同実施の形態の構成を示す側断面図

【図３】（ａ）〜（ｄ）：同実施の形態を用い、真空処
理槽内において処理済みの半導体ウェハを未処理の半導
体ウェハと入れ替える動作を示す説明図（その１）

【図４】（ｅ）〜（ｇ）：同実施の形態を用い、真空処
理槽内において処理済みの半導体ウェハを未処理の半導
体ウェハと入れ替える動作を示す説明図（その２）

【図５】従来の搬送装置の要部構成を示す平面図

【符号の説明】

１…搬送装置２…半導体ウェハ４…第１の動力伝達
機構５…第２の動力伝達機構１１…第１の駆動軸
１２…第２の駆動軸２０…アーム２１…第１のアー
ム２２…第２のアーム２３…第３のアーム２４…
第４のアーム３０…ベース板３０ａ…連結軸４０
…伝達ベルト（動力伝達部材）４１…第１のプーリ
（駆動部）４２…第２のプーリ（従動部）５０…伝
達ベルト（動力伝達部材）５３…第３のプーリ（駆動
部）５４…第４のプーリ（従動部）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１、第２、第３及び第４のアームを有す
る搬送装置であって、前記第１のアームは、一方の端部Ａが第１の駆動軸に固
定され、前記第２のアームは、一方の端部Ｂが、前記第１の駆動
軸と同心状に配設された第２の駆動軸に固定され、前記第３のアームは、一方の端部Ｅが前記第１のアーム
の他方の端部Ｃにおいて支軸を中心に回転可能に連結さ
れ、前記第４のアームは、一方の端部Ｆが前記第２のアーム
の他方の端部Ｄにおいて支軸を中心に回転可能に連結さ
れ、前記第３及び第４のアームの他方の端部Ｇ、Ｈが所定の
連結軸を中心に回転可能に連結され、前記第１又は第２のアームの駆動軸の回転動力を前記第
３又は第４のアームに伝達するための第１の動力伝達機
構と、前記第１又は第２のアームの他端部における回転動力を
前記連結軸に伝達するための第２の動力伝達機構とを備
えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】前記第１、第２、第３及び第４のアームの
アーム長が同一であることを特徴とする請求項１記載の
搬送装置。
【請求項３】前記第１の動力伝達機構は、第１又は第２
のアームの一方の端部Ａ、Ｂに設けられた駆動部と、前
記第３又は第４のアームの一方の端部Ｅ、Ｆに設けられ
た従動部とを有し、前記駆動部と従動部とが所定の動力
伝達部材によって連結されていることを特徴とする請求
項１又は２のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項４】前記第２の動力伝達機構は、第１又は第２
のアームの他方の端部Ｃ、Ｄに設けられた駆動部と、前
記連結軸に設けられた従動部とを有し、前記駆動部と従
動部とが所定の動力伝達部材によって連結されているこ
とを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の搬
送装置。
【請求項５】前記第１の動力伝達機構は、第１又は第２
のアームの一方の端部Ａ、Ｂに設けられた第１のプーリ
と、前記第３又は第４のアームの一方の端部Ｅ、Ｆに設
けられた第２のプーリとを有し、前記第１のプーリと第
２のプーリとが伝達ベルトによって連結されていること
を特徴とする請求項１又は２のいずれか１項記載の搬送
装置。
【請求項６】前記第２の動力伝達機構は、第１又は第２
のアームの他方の端部Ｃ、Ｄに設けられた第３のプーリ
と、前記連結軸に設けられた第４のプーリとを有し、前
記第３のプーリと第４のプーリとが伝達ベルトによって
連結されていることを特徴とする請求項１又は２のいず
れか１項記載の搬送装置。
【請求項７】請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載
の搬送装置を用いて真空処理槽内の搬送を行うように構
成されていることを特徴とする真空処理装置。