JP2002162740A - Composition for photosensitive cover lay film and photosensitive cover lay film - Google Patents

Composition for photosensitive cover lay film and photosensitive cover lay film

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JP2002162740A
JP2002162740A JP2000356492A JP2000356492A JP2002162740A JP 2002162740 A JP2002162740 A JP 2002162740A JP 2000356492 A JP2000356492 A JP 2000356492A JP 2000356492 A JP2000356492 A JP 2000356492A JP 2002162740 A JP2002162740 A JP 2002162740A
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JP
Japan
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photosensitive
polyimide
composition
film
coverlay film
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Application number
JP2000356492A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshifumi Okada
好史 岡田
Kaoru Kokawara
薫 高河原
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Publication date
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Priority to TW090125377A priority patent/TWI299043B/zh
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive cover lay film with a sufficient mechanical strength, superior heat resistibility, good workability and superior adhesive property, which reduces little warp at the time of being pasted together with a flexible print board. SOLUTION: The photosensitive cover lay film can be laminated at a temp of 150 deg.C or lower and directly laminated on the print board without an adhesive, and has photosensitivity, a heat decomposition initiating temperature of 300 deg.C or higher after hardening, an elastic modules of 100-3,000 N/mm2 after hardening and a hardening temperature of 200 deg.C or lower, and includes a soluble polymide using imido siloxanediamine.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は感光性カバーレイフ
ィルム用組成物および感光性カバーレイフィルムに関
し、より詳しくは特に電子材料の分野で使用されるフレ
キシブルプリント基板用に用いられ、接着剤を介さずに
直接積層される耐熱性の感光性カバーレイフィルムに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composition for a photosensitive coverlay film and a photosensitive coverlay film, and more particularly, to a flexible printed circuit board used in the field of electronic materials. And a heat-resistant photosensitive coverlay film that is directly laminated without using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の高機能化、高性能化、
小型化が急速に進んでおり、それに伴い電子部品の小型
化や軽量化が求められている。このため、電子部品を実
装する配線板も通常のリジッドプリント配線板に比べ、
可撓性のあるフレキシブルプリント配線板(以下FPC
という)が従来にも増して注目され急激に需要を増して
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic equipment has become more sophisticated and more sophisticated.
With miniaturization progressing rapidly, there is a demand for smaller and lighter electronic components. For this reason, the wiring board on which the electronic components are mounted is also compared to the ordinary rigid printed wiring board.
Flexible printed circuit board (FPC)
Is gaining more attention than ever before, and demand is rapidly increasing.

【0003】ところで、このFPCには導体面を保護す
る目的で表面にカバーレイフィルムと呼ばれる高分子フ
ィルムが貼り合わされている。このカバーレイフィルム
を導体面の表面に接着する方法としては、所定の形状に
加工した片面に接着剤の付いたカバーレイフィルムをF
PCに重ね、位置合わせをした後、プレス等で熱圧着す
る方法が一般的である。しかし、ここで用いられる接着
剤はエポキシ系やアクリル系接着剤等が主流であり、半
田耐熱性や高温時の接着強度などの耐熱性が低かった
り、可撓性に乏しかったりしカバーレイフィルムに用い
られるポリイミドスフィルムの性能を充分活かすことが
できなかった。
Incidentally, a polymer film called a coverlay film is bonded to the surface of the FPC for the purpose of protecting the conductor surface. As a method of bonding this cover lay film to the surface of the conductor surface, a cover lay film having a predetermined shape and an adhesive on one side is bonded to a conductor.
A method is generally used in which a PC is placed on a PC, aligned, and then thermocompression-bonded with a press or the like. However, the adhesives used here are mainly epoxy-based or acrylic-based adhesives, and have low heat resistance such as solder heat resistance and adhesive strength at high temperatures, or have poor flexibility. The performance of the polyimide film used could not be fully utilized.

【0004】また、従来のエポキシ系やアクリル系の接
着剤を使用して、カバーレイフィルムをFPCに貼り合
わせる場合、貼り合わせる前のカバーレイフィルムに回
路の端子部や部品との接合部に一致する穴や窓を開ける
加工をしておかなければならない。しかし、薄いカバー
レイフィルムに穴等を開けるのが困難なだけでなく、カ
バーレイフィルムの穴等を、FPCの端子部や部品との
接合部に合わせる位置合わせはほとんど手作業に近く、
作業性及び位置精度が悪くまたコストもかかるものであ
った。
When a coverlay film is bonded to an FPC using a conventional epoxy-based or acrylic-based adhesive, the coverlay film before bonding is in conformity with the joints between circuit terminals and components. You have to make holes and windows. However, not only is it difficult to make holes in the thin coverlay film, but the alignment of the holes in the coverlay film to the joints with the terminals and parts of the FPC is almost a manual operation.
Workability and positional accuracy are poor and costly.

【0005】これらの作業性や位置精度を改善するため
に、感光性組成物を導体面に塗布し保護層を形成する方
法や、感光性カバーレイフィルム(感光性ドライフィル
ムレジストとも呼ばれる)の開発がなされ、作業性と位
置精度は向上した。
In order to improve the workability and positional accuracy, a method of applying a photosensitive composition to a conductor surface to form a protective layer and the development of a photosensitive coverlay film (also referred to as a photosensitive dry film resist) have been developed. The workability and position accuracy have been improved.

【0006】ところが上記の感光性カバーレイフィルム
には、アクリル系の樹脂が用いられているため、耐熱温
度やフィルムの脆性が十分ではなく、改善のために感光
性ポリイミドが求められ、エステル結合を介してメタク
ロイル基を導入した感光性ポリイミド(特公昭55−0
30207、特公昭55−041422)やメタクロイ
ル基を有するアミン化合物あるいはジイソシアネート化
合物をポリアミド酸のカルボキシル基部位に導入した感
光性ポリイミド(特開昭54−145794,特開昭5
9−160140,特開平03−170547,特開平
03−186847、特開昭61−118424)が開
発された。
However, since the above-mentioned photosensitive coverlay film uses an acrylic resin, the heat resistance temperature and the brittleness of the film are not sufficient, and a photosensitive polyimide is required for improvement, and an ester bond is formed. Polyimide having a methacryloyl group introduced through the
30207, JP-B-55-041422) and a photosensitive polyimide in which an amine compound having a methacryloyl group or a diisocyanate compound is introduced into a carboxyl group of a polyamic acid (JP-A-54-145794, JP-A-5-145794).
9-160140, JP-A-03-170547, JP-A-03-186847, and JP-A-61-118424).

【0007】しかし、これらの感光性ポリイミドは、ポ
リアミド酸の状態で露光・現像したのちにイミド化して
初めて得られるため250℃以上の温度をFPCにかけ
なければならなかったこと、感光性ポリイミドによって
はアクロイル基を熱により除去する必要がありその際に
膜厚減少が大きいという問題があった。
However, since these photosensitive polyimides are obtained only after being exposed and developed in the state of polyamic acid and then imidized, they must be subjected to FPC at a temperature of 250 ° C. or higher. It was necessary to remove the acroyl group by heat, and at that time, there was a problem that the film thickness was greatly reduced.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】そこでこの様な従来の
問題点を解決し、充分な機械強度を有しつつ、耐熱性に
優れ、更に加工性、接着性に優れた、またフレキシブル
プリント基板に積層した場合、反りの発生の少ない感光
性カバーレイフィルム用組成物および感光性カバーレイ
フィルムを提供することを目的に検討を行った。
Accordingly, the above-mentioned conventional problems have been solved and a flexible printed circuit board which has sufficient mechanical strength, excellent heat resistance, further excellent workability and adhesiveness, and which has excellent mechanical strength. The study was conducted for the purpose of providing a composition for a photosensitive cover lay film and a photosensitive cover lay film which are less likely to warp when laminated.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は以下の新規な感
光性カバーレイフィルム用組成物および感光性カバーレ
イフィルムを提供するものであり、これにより上記課題
を解決しうる。 1)下記一般式化2で表されるシロキサンジアミンを原
料として得られる可溶性ポリイミドを含有する感光性カ
バーレイフィルム用組成物。(式中、R1は、C1〜C12
のアルキル基或いはフェニル基、xは1〜20の整数、
yは1〜40の整数を示す。)
The present invention provides the following novel photosensitive coverlay film composition and photosensitive coverlay film, which can solve the above-mentioned problems. 1) A composition for a photosensitive coverlay film containing a soluble polyimide obtained using a siloxane diamine represented by the following general formula 2 as a raw material. (Wherein R 1 is C 1 -C 12
An alkyl group or a phenyl group, x is an integer of 1 to 20,
y shows the integer of 1-40. )

【0010】[0010]

【化2】 2)前記可溶性ポリイミドが、前記シロキサンジアミン
を全ジアミン成分中5〜70モル%含有するジアミンを
原料として得られるポリイミドである1)記載の感光性
カバーレイフィルム用組成物。 3)前記可溶性ポリイミドが、前記シロキサンジアミン
を全ジアミン成分中20〜50モル%含有するジアミン
を原料として得られるポリイミドである1)記載の感光
性カバーレイフィルム用組成物。 4)前記カバーレイフィルム用組成物に、炭素−炭素二
重結合を有する共重合モノマーを含有する1)〜3)の
いずれか一項に記載の感光性カバーレイ用組成物。 5)前記共重合モノマーが、ビスフェノールF EO変
性(n≒2)ジアクリレート・ビスフェノールA EO
変性(n≒2)ジアクリレート・ビスフェノールS E
O変性(n≒2)ジアクリレートから選ばれるジアクリ
レートである1)〜4)のいずれか一項に記載の感光性
カバーレイ用組成物。 6)1)〜5)のいずれか一項に記載の組成物から得ら
れる感光性カバーレイフィルム。 7)既にイミド化された可溶性ポリイミドを用いること
を特徴とする感光性カバーレイフィルム。 8)硬化後の熱分解開始温度が300℃以上であること
を特徴とする7)記載の感光性カバーレイフィルム。 9)硬化後の弾性率が10〜3000N/mm2である
ことを特徴とする7)または8)に記載の感光性カバー
レイフィルム。 10)硬化温度が200℃以下であることを特徴とする
7)〜9)のいずれか一項に記載の感光性カバーレイフ
ィルム。 11)150℃以下の温度でラミネート可能な7)〜1
0)のいずれか一項に記載の感光性カバーレイフィル
ム。 12)6)〜11)のいずれか一項に記載の感光性カバ
ーレイフィルムが接着剤を介さずに直接にプリント基板
に積層されたプリント基板。
Embedded image 2) The composition for a photosensitive coverlay film according to 1), wherein the soluble polyimide is a polyimide obtained from a diamine containing 5-70 mol% of the siloxane diamine in the total diamine component as a raw material. 3) The composition for a photosensitive coverlay film according to 1), wherein the soluble polyimide is a polyimide obtained from a diamine containing 20 to 50 mol% of the siloxane diamine in the total diamine component as a raw material. 4) The composition for a photosensitive cover lay according to any one of 1) to 3), wherein the composition for a cover lay film contains a copolymerizable monomer having a carbon-carbon double bond. 5) The copolymerized monomer is bisphenol F EO-modified (n ≒ 2) diacrylate bisphenol A EO
Modified (n ≒ 2) diacrylate bisphenol SE
The photosensitive coverlay composition according to any one of 1) to 4), which is a diacrylate selected from O-modified (n O2) diacrylates. 6) A photosensitive coverlay film obtained from the composition according to any one of 1) to 5). 7) A photosensitive coverlay film using a soluble polyimide that has been imidized. (8) The photosensitive coverlay film according to (7), wherein the thermal decomposition onset temperature after curing is 300 ° C. or higher. 9) The photosensitive coverlay film according to 7) or 8), wherein the elastic modulus after curing is 10 to 3000 N / mm 2 . 10) The photosensitive coverlay film according to any one of 7) to 9), wherein the curing temperature is 200 ° C or lower. 11) Can be laminated at a temperature of 150 ° C or less 7) to 1
0) The photosensitive coverlay film according to any one of the above items. 12) A printed board in which the photosensitive coverlay film according to any one of 6) to 11) is directly laminated on a printed board without using an adhesive.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の感光性カバーレイ用組成
物は、下記一般式化3で表されるシロキサンジアミンを
原料として得られる可溶性のポリイミドを含有する。従
って、ポリアミド酸では、イミド化する必要が生じ、2
50℃以上の高温に長時間曝す必要があり、銅箔あるい
はポリイミド以外の部分が劣化することがあったが、本
発明においては、劣化が生じない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The photosensitive coverlay composition of the present invention contains a soluble polyimide obtained from a siloxane diamine represented by the following general formula (3). Therefore, in the case of polyamic acid, it is necessary to perform imidization.
Although it is necessary to expose to a high temperature of 50 ° C. or more for a long time, portions other than the copper foil or the polyimide may deteriorate, but in the present invention, no deterioration occurs.

【0012】本発明における、可溶性のポリイミドの製
法について説明する。ポリイミドは一般的に、有機溶媒
中ジアミンと酸二無水物と反応させてポリアミド酸とし
た後で、脱水イミド化するか、溶媒中酸二無水物とジイ
ソシアナートと反応することにより得られる。本発明に
用いられるポリアミド酸は、有機溶剤中ジアミンと酸二
無水物と反応させることにより得られる。アルゴン、窒
素等の不活性雰囲気中において、ジアミンを有機溶媒中
に溶解あるいは、スラリー状に拡散させ、酸二無水物を
有機溶媒に溶解、スラリー状に拡散させた状態、あるい
は固体の状態で添加する。
A method for producing a soluble polyimide according to the present invention will be described. Polyimide is generally obtained by reacting a diamine and an acid dianhydride in an organic solvent to obtain a polyamic acid, followed by dehydration imidization or reaction with an acid dianhydride and a diisocyanate in a solvent. The polyamic acid used in the present invention is obtained by reacting a diamine and an acid dianhydride in an organic solvent. In an inert atmosphere such as argon or nitrogen, diamine is dissolved in an organic solvent or dispersed in a slurry state, and acid dianhydride is dissolved in an organic solvent and added in a slurry state or a solid state. I do.

【0013】この時の反応温度は、−20℃〜90℃が
望ましい。反応時間は30分から24時間程度である。
ポリアミド酸の平均分子量は5000〜1000000
であることが望ましい。平均分子量が5000未満で
は、できあがったポリイミド組成物の分子量も低くな
り、そのポリイミド組成物をそのまま用いても樹脂が脆
くなる傾向にある。一方、1000000を越えるとポ
リアミド酸ワニスの粘度が高くなりすぎ取扱いが難しく
なる傾向にある。
The reaction temperature at this time is preferably from -20 ° C to 90 ° C. The reaction time is about 30 minutes to 24 hours.
The average molecular weight of the polyamic acid is 5,000 to 1,000,000
It is desirable that When the average molecular weight is less than 5,000, the molecular weight of the completed polyimide composition also becomes low, and the resin tends to become brittle even when the polyimide composition is used as it is. On the other hand, if it exceeds 1,000,000, the viscosity of the polyamic acid varnish tends to be too high and handling becomes difficult.

【0014】また、このポリイミド組成物に各種の有機
添加剤、或は無機のフィラー類、或は各種の強化材を複
合することも可能である。ここで該ポリアミド酸の生成
反応に使用される有機極性溶媒としては、例えば、ジメ
チルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホ
キシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N
−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、
N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセ
トアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−
ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリ
ドン系溶媒、フェノール、o−、m−、またはp−クレ
ゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコ
ールなどのフェノール系溶媒、テトラヒドロフラン、ジ
オキサン等のエーテル系溶媒、メタノール、エタノー
ル、ブタノール等のアルコール系溶媒、ブチルセロソル
ブ等のセロソルブ系あるいはヘキサメチルホスホルアミ
ド、γ−ブチロラクトンなどをあげることができ、これ
らを単独または混合物として用いるのが望ましいが、更
にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素も使用
可能である。溶媒は、ポリアミド酸を溶解するものであ
れば特に限定されない。ポリアミド酸を合成し、その
後、加熱減圧して、溶媒の除去とイミド化を同時に行う
ので、ポリアミド酸を溶解し、なるべく沸点の低いもの
を選択することが、工程上有利である。次に、ポリアミ
ド酸をイミド化する工程について説明する。ポリアミド
酸が、イミド化する際に、水を生成する。この生成した
水は、ポリアミド酸を容易に加水分解し分子量の低下を
引き起こす。この水を除去しながらイミド化する方法と
して、通常1)トルエン・キシレン等の共沸溶媒を加え
共沸により除去する方法、2)無水酢酸等の脂肪族酸二
無水物とトリエチルアミン・ピリジン・ピコリン・イソ
キノリン等の3級アミンを加える化学的イミド化法があ
る。
It is also possible to compound various organic additives, inorganic fillers, or various reinforcing materials with the polyimide composition. Here, as the organic polar solvent used in the polyamic acid forming reaction, for example, sulfoxide solvents such as dimethylsulfoxide and diethylsulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N
-Formamide solvents such as diethylformamide,
Acetamide solvents such as N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-
Pyrrolidone, pyrrolidone solvents such as N-vinyl-2-pyrrolidone, phenols, o-, m-, or p-cresol, xylenol, halogenated phenols, phenolic solvents such as catechol, ether solvents such as tetrahydrofuran, dioxane, Methanol, ethanol, alcohol solvents such as butanol and the like, cellosolves such as butyl cellosolve or hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, and the like can be mentioned, and it is desirable to use these alone or as a mixture, and furthermore, xylene, toluene Aromatic hydrocarbons such as are also usable. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid. Since the polyamic acid is synthesized and then heated and decompressed to remove the solvent and imidize at the same time, it is advantageous in terms of the process to dissolve the polyamic acid and select one having a boiling point as low as possible. Next, the step of imidizing the polyamic acid will be described. When the polyamic acid is imidized, it produces water. The generated water easily hydrolyzes the polyamic acid and causes a decrease in molecular weight. As a method of imidation while removing water, 1) a method of adding an azeotropic solvent such as toluene or xylene to remove by azeotropic distillation, 2) an aliphatic acid dianhydride such as acetic anhydride and triethylamine, pyridine or picoline. -There is a chemical imidization method in which a tertiary amine such as isoquinoline is added.

【0015】1)の共沸による水の除去は、溶液系に水
が存在し、水による加水分解は、避けることはできな
い。2)の化学的イミド化法は、生成する水を脂肪族酸
二無水物が、脂肪族酸に変化することで化学的に取り除
くため、加水分解という点では、1)の系に比べ有利で
ある。しかし、系内に脂肪族酸二無水物・3級アミンが
のこるため、これらを取り除く工程が必要となる。
[0015] The removal of water by azeotropic distillation of 1) cannot be avoided since water is present in the solution system and hydrolysis by water is inevitable. The chemical imidation method of 2) is more advantageous than the system of 1) in terms of hydrolysis because the generated water is chemically removed by the conversion of the aliphatic acid dianhydride into an aliphatic acid. is there. However, since aliphatic acid dianhydride / tertiary amine remains in the system, a step of removing these is necessary.

【0016】本発明は、イミド化により生成する水を加
熱・減圧し、積極的に系外に除去することにより加水分
解を抑え、分子量低下を避けることができる。また、用
いた原料の酸二無水物中に、加水分解により開環したテ
トラカルボン酸或いは、酸二無水物の片方が加水開環し
たもの等が混入し、ポリアミド酸の重合反応を停止した
場合、イミド化時の減圧・加熱により、開環した酸二無
水物が再び、閉環して酸二無水物となり、イミド化中
に、系内に残っているアミンと反応し、分子量の向上が
期待できる。イミド化の加熱条件は、80〜400℃で
ある。イミド化効率よく行われ、しかも水が効率よく除
かれる100℃以上、望ましくは120℃以上である。
最高温度は、用いるポリイミドの熱分解温度以下に設定
することが望ましく、通常、250〜350℃程度でイ
ミド化は、ほぼ完了するため、最高温度をこの程度にす
ることもできる。減圧する圧力の条件は、圧力が小さい
ほうが好ましいが、上記加熱条件で、イミド化時に生成
する水が効率よく除去される圧力であればよい。具体的
には、減圧加熱する圧力は0.9〜0.001気圧であ
り、望ましくは、0.8〜0.001気圧、さらに望ま
しくは、0.7〜0.01気圧である。このポリイミド
組成物に用いられる酸二無水物は、酸二無水物であれば
特に限定されないが、例えば2,2´−ヘキサフルオロ
プロピリデンジフタル酸二無水物、2,2−ビス(4−
ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3
´,4,4´−テトラカルボン酸二無水物、ブタンテト
ラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタン
テトラカルボン酸二無水物、1,3−ジメチル−1,
2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,
3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、
2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水
物、3,5,6−トリカルボキシノルボナン−2−酢酸
二無水物、2,3,4,5−テトラヒドロフランテトラ
カルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒ
ドロフラル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,
2−ジカルボン酸二無水物、ビシクロ[2,2,2]−
オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸
二無水物等の脂肪族または脂環式テトラカルボン酸二無
水物;ピロメリット酸二無水物、3,3‘,4,4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3‘,
4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水
物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二
無水物、3,3‘,4,4’−ビフェニルエーテルテト
ラカルボン酸二無水物、3,3‘,4,4’−ジメチル
ジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,
3‘,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン
酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸
二無水物、4,4‘−ビス(3,4−ジカルボキシフェ
ノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4‘−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスル
ホン二無水物、4,4‘−ビス(3,4−ジカルボキシ
フェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,
4,4‘−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二
無水物、3,3’,4,4‘−ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオ
キサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニ
ルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフ
ェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル
酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、ビス
(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタ
ン二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物;1,
3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−2,5−ジオ
キソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]フラン−
1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサ
ヒドロ−5−メチル−5−(テトラヒドロ−2,5−ジ
オキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]フラン
−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘキ
サヒドロ−8−メチル−5−(テトラヒドロ−2,5−
ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]フラ
ン−1,3−ジオン、下記一般式 化3
According to the present invention, the water produced by imidization is heated and decompressed and positively removed from the system to suppress hydrolysis and avoid a decrease in molecular weight. In addition, when the acid dianhydride used as a raw material is mixed with a tetracarboxylic acid that has been opened by hydrolysis or one in which one of the acid dianhydrides has been hydrolyzed, and the polymerization reaction of the polyamic acid is stopped. By decompression and heating during imidization, the ring-opened acid dianhydride is closed again to form an acid dianhydride, and reacts with the amine remaining in the system during imidization, and an improvement in molecular weight is expected. it can. The heating conditions for imidization are 80 to 400 ° C. The temperature is 100 ° C. or higher, preferably 120 ° C. or higher, at which imidization is efficiently performed and water is efficiently removed.
The maximum temperature is desirably set to a temperature not higher than the thermal decomposition temperature of the polyimide to be used. Usually, imidization is almost completed at about 250 to 350 ° C., so the maximum temperature can be set to this level. The pressure is preferably reduced as long as the pressure is such that water generated during imidization can be efficiently removed under the above heating conditions. Specifically, the pressure for heating under reduced pressure is 0.9 to 0.001 atm, preferably 0.8 to 0.001 atm, and more preferably 0.7 to 0.01 atm. The acid dianhydride used in this polyimide composition is not particularly limited as long as it is an acid dianhydride. For example, 2,2′-hexafluoropropylidene diphthalic acid dianhydride, 2,2-bis (4-
(Hydroxyphenyl) propanedibenzoate-3,3
', 4,4'-tetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,3-dimethyl-1,
2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,2
3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride,
2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride, 3,5,6-tricarboxynorbonane-2-acetic acid dianhydride, 2,3,4,5-tetrahydrofurantetracarboxylic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofural) -3-methyl-3-cyclohexene-1,
2-dicarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2]-
Aliphatic or alicyclic tetracarboxylic dianhydrides such as oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride; pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 '-
Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ',
4,4′-biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ , 4,4'-biphenylethertetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride,
3 ', 4,4'-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl Sulfide dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfone dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ',
4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene- Bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenyl ether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) ) Aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as -4,4'-diphenylmethane dianhydride;
3,3a, 4,5,9b-Hexahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan-
1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5-methyl-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan- 1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-8-methyl-5- (tetrahydro-2,5-
Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione;

【0017】[0017]

【化3】 (式中R2は芳香環を有する2価の有機基を示し、R3
よびR4はそれぞれ水素原子またはアルキル基を示
す。) 下記一般式 化4
Embedded image (Wherein R 2 represents a divalent organic group having an aromatic ring, and R 3 and R 4 each represent a hydrogen atom or an alkyl group.)

【0018】[0018]

【化4】 (式中R5は芳香環を有する2価の有機基を示し、R6
よびR7はそれぞれ水素原子またはアルキル基を示
す。)で表わされる化合物等の芳香環を有する脂肪族テ
トラカルボン酸二無水物等を挙げることができる。これ
らのテトラカルボン酸二無水物は、単独でまたは2種以
上組み合わせて用いることができる。特に、耐熱性と機
械特性を高次元で発現するには、化5の構造の酸二無水
物を用いることが望ましい。(R8は、2価の有機基、
9は、直結・−O−・−CH2−・−(C=O)−・−
C(CH32−・−C(CF32−を表す。)
Embedded image (Wherein, R 5 represents a divalent organic group having an aromatic ring, and R 6 and R 7 each represent a hydrogen atom or an alkyl group.) An anhydride and the like can be mentioned. These tetracarboxylic dianhydrides can be used alone or in combination of two or more. In particular, it is desirable to use an acid dianhydride having the structure of Chemical Formula 5 in order to express heat resistance and mechanical properties at a high level. (R 8 is a divalent organic group,
R 9 is a direct bond, -O -.- CH 2 -.- (C = O) -.-
Represents C (CH 3 ) 2 ... C (CF 3 ) 2 —. )

【0019】[0019]

【化5】 有機溶媒への溶解性の高いポリイミドを得るためには、
2,2‘−ヘキサフルオロプロピリデンジフタル酸二無
水物、下記一般式化6で表されるエステル酸二無水物を
一部用いることが望ましい。
Embedded image In order to obtain polyimide highly soluble in organic solvents,
It is desirable to partially use 2,2′-hexafluoropropylidene diphthalic dianhydride and an ester dianhydride represented by the following general formula (6).

【0020】[0020]

【化6】 (式中、R8は、2価の有機基を表し、特に−CH2
(CH32CH2−,−Cq2q−及び化7から選ばれる
構造が望ましい。qは1〜20の整数)
Embedded image (Wherein, R 8 represents a divalent organic group, particularly —CH 2 C
(CH 3) 2 CH 2 - , - C q H 2q - structure selected from and of 7 is preferable. q is an integer of 1 to 20)

【0021】[0021]

【化7】 (式中、R10は、水素・ハロゲン・メトキシ・C1〜C
16のアルキル基を示す。) 本発明においては、可溶性ポリイミドの原料となるジア
ミン成分として、化8で表されるシロキサンジアミンを
用いる。(式中、R1は、C1〜C12のアルキル基或いは
フェニル基、xは1〜20の整数、yは1〜40の整数
を示す。) 式中、R1の好ましい例としてメチル基・エチル基・フ
ェニル基をあげることができ、さらに好ましくはメチル
基である。またx=2〜10が好ましく、特に2〜5が
好ましい。y=4〜30が好ましく、さらに好ましくは
5〜20、特に8〜15が好ましい。このなかでyの値
の範囲が物性に与える影響が大きく、yの値が小さい
と、得られたポリイミドの可とう性が乏しくなり、また
大きすぎるとポリイミド耐熱性が損なわれる傾向にあ
る。
Embedded image (Wherein R 10 is hydrogen, halogen, methoxy, C 1 -C
Shows 16 alkyl groups. In the present invention, a siloxane diamine represented by Chemical Formula 8 is used as a diamine component serving as a raw material of a soluble polyimide. (In the formula, R 1 is a C 1 -C 12 alkyl group or a phenyl group, x is an integer of 1 to 20, and y is an integer of 1 to 40.) In the formula, a preferable example of R 1 is a methyl group. -An ethyl group and a phenyl group can be mentioned, and a methyl group is more preferable. Further, x is preferably 2 to 10, and particularly preferably 2 to 5. y = 4 to 30, preferably 5 to 20, and more preferably 8 to 15. Among them, the range of the value of y greatly affects the physical properties. If the value of y is small, the flexibility of the obtained polyimide is poor, and if it is too large, the polyimide heat resistance tends to be impaired.

【0022】[0022]

【化8】 これにより、本発明のカバーレイ用組成物から得られる
感光性カバーレイフィルムの弾性率を下げることがで
き、フレキシブルプリント基板にカバーレイを積層した
場合の反りを防ぐことができる。前記シロキサンジアミ
ンは、全ジアミン成分中、5〜70モル%用いることが
好ましくは、さらには20〜50モル%用いることが好
ましい。さらに、可溶性ポリイミドの原料として、ジア
ミン成分として、水酸基・カルボン酸を有するジアミン
を用いれば、アルカリ可溶性のポリイミドを設計するこ
とできる。これにより、感光性カバーレイフィルムの現
像が可能となる。 前記水酸基・カルボン酸を有するジ
アミンとしては、水酸基・カルボン酸を有していれば特
に限定されることはないが以下の様なものが例示でき
る。
Embedded image Thereby, the elasticity of the photosensitive coverlay film obtained from the coverlay composition of the present invention can be reduced, and the warpage when the coverlay is laminated on the flexible printed circuit board can be prevented. The siloxane diamine is preferably used in an amount of 5 to 70 mol%, more preferably 20 to 50 mol%, based on all the diamine components. Further, when a diamine having a hydroxyl group and a carboxylic acid is used as a diamine component as a raw material of a soluble polyimide, an alkali-soluble polyimide can be designed. This enables development of the photosensitive coverlay film. The diamine having a hydroxyl group / carboxylic acid is not particularly limited as long as it has a hydroxyl group / carboxylic acid, and examples thereof include the following.

【0023】例えば、2,4−ジアミノフェノール等の
ジアミノフェノール類、3,3‘−ジアミノ−4,4’
−ジヒドロキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−3,
3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−
2,2’−ジヒドロキシビフェニル、4,4‘−ジアミ
ノ−2,2’,5,5‘−テトラヒドロキシビフェニル
等のヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミ
ノ−4,4‘−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,
4’−ジアミノ−3,3‘−ジハイドロキシジフェニル
メタン、4,4’−ジアミノ−2,2‘−ジハイドロキ
シジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−
ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミ
ノ−3−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス
[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロ
プロパン、4,4’−ジアミノ−2,2‘,5,5’−
テトラヒドロキシジフェニルメタン等のヒドロキシジフ
ェニルメタン等のヒドロキシジフェニルアルカン類、
3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニ
ルエーテル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジヒドロ
キシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−2,
2’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジ
アミノ−2,2’,5,5‘−テトラヒドロキシジフェ
ニルエーテル等のヒドロキシジフェニルエーテル化合
物、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジヒドロキシジフ
ェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3‘−ジ
ヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ
−2,2‘−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,
4’−ジアミノ−2,2‘,5,5’−テトラヒドロキ
シジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフォン化合
物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシ
フェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(ヒドロキ
シフェニル)フェニル]アルカン化合物類、4,4‘−
ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニ
ル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物
類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシ
フェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキ
シフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物、3,5−
ジアミノ安息香酸等のジアミノ安息香酸類、3,3‘−
ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4
‘−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、
4,4‘−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニ
ル、4,4‘−ジアミノ−2,2’,5,5‘−テトラ
カルボキシビフェニル等のカルボキシビフェニル化合物
類、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシジフ
ェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3‘−ジハイ
ドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,
2‘−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス
[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,
2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパ
ン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ジアミノ−
2,2‘,5,5’−テトラカルボキシジフェニルメタ
ン等のカルボキシジフェニルメタン等のカルボキシジフ
ェニルアルカン類、3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジ
カルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−
3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4
‘−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエー
テル、4,4‘−ジアミノ−2,2’,5,5‘−テト
ラカルボキシジフェニルエーテル等のカルボキシジフェ
ニルエーテル化合物、3,3’−ジアミノ−4,4‘−
ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミ
ノ−3,3‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、
4,4’−ジアミノ−2,2‘−ジカルボキシジフェニ
ルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2‘,5,
5’−テトラカルボキシジフェニルスルフォン等のジフ
ェニルスルフォン化合物、2,2−ビス[4−(4−ア
ミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン
等のビス[(カルボキシフェニル)フェニル]アルカン
化合物類、4,4‘−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシ
フェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキ
シ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−ア
ミノ−3−カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォ
ン等のビス[(カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフ
ォン化合物、をあげることができる。その他にこのポリ
イミド組成物に用いられるジアミンは、ジアミンであれ
ば特に限定されないが、例えば、p−フェニレンジアミ
ン、m−フェニレンジアミン、4,4‘−ジアミノジフ
ェニルメタン、4,4’−ジアミノフェニルエタン、
4,4‘−ジアミノフェニルエーテル、4,4‘−ジジ
アミノフェニルスルフィド、4,4‘−ジジアミノフェ
ニルスルフォン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3
−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、5−アミ
ノ−1−(4‘−アミノフェニル)−1,3,3−トリ
メチルインダン、6−アミノ−1−(4‘−アミノフェ
ニル)−1,3,3−トリメチルインダン、4,4’−
ジアミノベンズアニリド、3,5−ジアミノ−3‘−ト
リフルオロメチルベンズアニリド、3,5−ジアミノ−
4‘−トリフルオロメチルベンズアニリド、3,4’−
ジアミノジフェニルエーテル、2,7−ジアミノフルオ
レン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフル
オロプロパン、4,4‘−メチレン−ビス(2−クロロ
アニリン)、2,2’,5,5‘−テトラクロロ−4,
4’−ジアミノビフェニル、2,2‘−ジクロロ−4,
4’−ジアミノ−5,5‘−ジメトキシビフェニル、
3,3‘−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニ
ル、4,4‘−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオ
ロメチル)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミ
ノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4
−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロ
プロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、4,4‘−ビス(4−アミノフェノキシ)−ビフ
ェニル、1,3‘−ビス(4−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレ
ン、4,4’−(p−フェニレンイソプロピリデン)ビ
スアニリン、4,4‘−(m−フェニレンイソプロピリ
デン)ビスアニリン、2,2’−ビス[4−(4−アミ
ノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル]ヘ
キサフルオロプロパン、4,4’−ビス[4−(4−ア
ミノ−2−トリフルオロメチル)フェノキシ]−オクタ
フルオロビフェニル等の芳香族ジアミン;ジアミノテト
ラフェニルチオフェン等の芳香環に結合された2個のア
ミノ基と当該アミノ基の窒素原子以外のヘテロ原子を有
する芳香族ジアミン;1,1−メタキシリレンジアミ
ン、1,3−プロパンジアミン、テトラメチレンジアミ
ン、ペンタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミ
ン、ノナメチレンジアミン、4,4−ジアミノヘプタメ
チレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、イ
ソフォロンジアミン、テトラヒドロジシクロペンタジエ
ニレンジアミン、ヘキサヒドロ−4,7−メタノインダ
ニレンジメチレンジアミン、トリシクロ[6,2,1,
2.7]−ウンデシレンジメチルジアミン、4,4‘−
メチレンビス(シクロヘキシルアミン)等の脂肪族ジア
ミンおよび脂環式ジアミン;化9
For example, diaminophenols such as 2,4-diaminophenol, 3,3'-diamino-4,4 '
-Dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-3,
3'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-
Hydroxybiphenyl compounds such as 2,2′-dihydroxybiphenyl and 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxybiphenyl, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylmethane, 4,
4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-
Hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis
[3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-
Hydroxydiphenylalkanes such as hydroxydiphenylmethane such as tetrahydroxydiphenylmethane,
3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,
Hydroxy diphenyl ether compounds such as 2′-dihydroxy diphenyl ether and 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxy diphenyl ether; 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxy diphenyl sulfone; 4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylsulfone, 4,
Diphenylsulfone compounds such as 4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetrahydroxydiphenylsulfone and bis [such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] propane (Hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds, 4,4′-
Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl and bis [such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone (Hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone compound, 3,5-
Diaminobenzoic acids such as diaminobenzoic acid, 3,3′-
Diamino-4,4'-dicarboxybiphenyl, 4,4
'-Diamino-3,3'-dicarboxybiphenyl,
Carboxybiphenyl compounds such as 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxybiphenyl and 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetracarboxybiphenyl;3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydiphenylmethane,4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane,4,4'-diamino-2,
2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis
[3-amino-4-carboxyphenyl] propane, 2,
2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 4,4′-diamino-
Carboxydiphenylalkanes such as carboxydiphenylmethane such as 2,2 ', 5,5'-tetracarboxydiphenylmethane, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydiphenylether, and 4,4'-diamino-
3,3′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4
Carboxydiphenyl ether compounds such as'-diamino-2,2'-dicarboxydiphenyl ether and 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetracarboxydiphenyl ether; 3,3'-diamino-4,4' −
Dicarboxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenylsulfone,
4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5
Diphenylsulfone compounds such as 5′-tetracarboxydiphenylsulfone; bis [(carboxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] propane; Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as 4'-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, and 2,2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] sulfone Bis [(carboxyphenoxy) phenyl] sulfone compound. In addition, the diamine used in the polyimide composition is not particularly limited as long as it is a diamine, for example, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminophenylethane,
4,4′-diaminophenyl ether, 4,4′-didiaminophenyl sulfide, 4,4′-didiaminophenyl sulfone, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3
-Dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 5-amino-1- (4'-aminophenyl) -1,3,3-trimethylindane, 6-amino-1- (4'-aminophenyl) -1, 3,3-trimethylindane, 4,4'-
Diaminobenzanilide, 3,5-diamino-3′-trifluoromethylbenzanilide, 3,5-diamino-
4'-trifluoromethylbenzanilide, 3,4'-
Diaminodiphenyl ether, 2,7-diaminofluorene, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 4,4′-methylene-bis (2-chloroaniline), 2,2 ′, 5,5′- Tetrachloro-4,
4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dichloro-4,
4'-diamino-5,5'-dimethoxybiphenyl,
3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl ] Propane, 2,2-bis [4
-(4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) -biphenyl, 1,3'-bis (4- Aminophenoxy) benzene, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4,4 ′-(p-phenyleneisopropylidene) bisaniline, 4,4 ′-(m-phenyleneisopropylidene) bisaniline, 2,2 ′ -Bis [4- (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 4,4'-bis [4- (4-amino-2-trifluoromethyl) phenoxy] -octafluorobiphenyl and the like Aromatic diamine; two amino groups bonded to an aromatic ring such as diaminotetraphenylthiophene and the nitrogen of the amino group Aromatic diamine having a heteroatom other than a child; 1,1-methaxylylenediamine, 1,3-propanediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, 4,4-diaminoheptamethylene Diamine, 1,4-diaminocyclohexane, isophoronediamine, tetrahydrodicyclopentadienylenediamine, hexahydro-4,7-methanoindanylene dimethylenediamine, tricyclo [6,2,1,
0 2.7 ] -undecylenedimethyldiamine, 4,4'-
Aliphatic diamines and alicyclic diamines such as methylenebis (cyclohexylamine);

【0024】[0024]

【化9】 で表わされるモノ置換フェニレンジアミン類(式中R10
は、−O−,−COO−,−OCO−,−CONH−及
び−CO−から選ばれる2価の有機基を示し、R 11はス
テロイド骨格を有する1価の有機基を示す。)で表わさ
れる化合物等を挙げることができる。これらのジアミン
化合物は単独でまたは2種以上組み合わせて用いること
ができる。ポリアミド酸溶液を減圧下で加熱乾燥して直
接イミド化する具体的な方法について説明する。減圧
下、加熱乾燥できるなら方法は問わないが、バッチ式の
方法として、真空オーブン、連続式の方法として、例え
ば減圧装置の付随した2軸或いは3軸押出し機により実
施できる。これらの方式は、生産量により選択される。
ここでいう減圧装置の付随した2軸或いは3軸押出し機
とは、熱可塑樹脂を加熱溶融押出しを行う、一般的な溶
融押出し機に減圧して溶媒を除去する装置を付随させた
ものである。2軸あるいは3軸の押出し機によりポリア
ミド酸溶液が、押出し機により混練されながら溶媒とイ
ミド化時に生成した水を除去され、可溶性ポリイミドと
なる。このようにして得られた可溶性ポリイミドは、こ
れを含有する組成物から得られるカバーレイフィルムの
接着性を向上させたり、硬化後の耐熱性を向上させるこ
とができるという点から、さらにエポキシで変性するこ
とが好ましい。次にこのエポキシ変性ポリイミドの製造
工程について説明する。前述の水酸基或いはカルボン酸
を有する熱可溶性ポリイミドを有機溶媒に溶かし、エポ
キシ基を2個以上有するエポキシ樹脂、エポキシ基と2
重結合或いはエポキシ基と3重結合を有する化合物と反
応させることによりエポキシ変性ポリイミドが得られ
る。反応に用いられる溶媒は、エポキシ基と反応せず、
水酸基或いはカルボン酸を有するポリイミドを溶解する
ものであれば特に限定されない。例えば、ジメチルスル
ホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系
溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチ
ルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジ
メチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドな
どのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリド
ン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶
媒、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル系溶
媒、メタノール、エタノール、ブタノール等のアルコー
ル系溶媒、ブチルセロソルブ等のセロソルブ系あるいは
ヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等、
更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素も使
用可能である。これらを単独または混合物として使用す
ることができる。溶媒は、水酸基或いはカルボン酸を有
する熱可塑性ポリイミドを溶解するものであれば特に限
定されない。その後、溶媒の除去を行うので、水酸基或
いはカルボン酸を有する熱可塑性ポリイミドを溶解し、
なるべく沸点の低いものを選択することが、工程上有利
である。反応温度は、エポキシ基と水酸基・カルボキシ
ル基と反応する40度以上130度以下の温度で行うこ
とが望ましい。特にエポキシ基と2結合或いは、エポキ
シ基と3重結合を有する化合物については、2重結合・
3重結合が熱により分解或いは架橋しない程度の温度で
反応させることが望ましい。具体的には、40度以上1
00度以下、さらに望ましくは、50度以上90度以下
である。反応時間は、数分程度から8時間程度である。
エポキシ基を2個以上有するエポキシ樹脂とは、エポキ
シ基を分子内に2個以上持っていれば特に限定されない
が、以下のように例示することができる。
Embedded imageMonosubstituted phenylenediamines represented by the formula:Ten
Is -O-, -COO-, -OCO-, -CONH- and
And a divalent organic group selected from —CO— and 11Is
It represents a monovalent organic group having a teroid skeleton. )
And the like. These diamines
Compounds may be used alone or in combination of two or more
Can be. Heat and dry the polyamic acid solution under reduced pressure
A specific method for imidization will be described. Decompression
Any method can be used as long as it can be dried by heating.
As a method, a vacuum oven, as a continuous method,
For example, a twin or triple screw extruder with a decompression device
Can be applied. These methods are selected according to the production amount.
Two- or three-screw extruder with decompression device
Is a general melting and extrusion of thermoplastic resin.
The melt extruder was accompanied by a device to remove the solvent by reducing the pressure.
Things. Polya with a twin or triple screw extruder
The amic acid solution is mixed with the solvent while being kneaded by an extruder.
Water generated during the imidization is removed, and soluble polyimide and
Become. The soluble polyimide thus obtained is
Of a coverlay film obtained from a composition containing
Improves adhesion and heat resistance after curing.
Can be further modified with epoxy.
Is preferred. Next, production of this epoxy-modified polyimide
The steps will be described. The aforementioned hydroxyl group or carboxylic acid
Is dissolved in an organic solvent
Epoxy resin having two or more xy groups,
Compounds that have a double bond or a triple bond with an epoxy group
To give an epoxy-modified polyimide.
You. The solvent used for the reaction does not react with the epoxy group,
Dissolves polyimide containing hydroxyl or carboxylic acid
It is not particularly limited as long as it is one. For example, dimethyl sulf
Sulfoxides such as foxide and diethylsulfoxide
Solvent, N, N-dimethylformamide, N, N-diethyl
Formamide solvents such as formamide, N, N-di
Methylacetamide, N, N-diethylacetamide
Which acetamide solvent, N-methyl-2-pyrrolide
, N-vinyl-2-pyrrolidone and other pyrrolidone-based solutions
Solvent, tetrahydrofuran, ether solvents such as dioxane
Solvent, methanol, ethanol, butanol, etc.
Solvent, cellosolve such as butyl cellosolve, or
Hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, etc.
Furthermore, aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene are also used.
Is available. Use these alone or as a mixture
Can be The solvent has a hydroxyl group or a carboxylic acid.
Especially those that dissolve the thermoplastic polyimide
Not determined. After that, the solvent is removed, so the hydroxyl group or
Or dissolve thermoplastic polyimide with carboxylic acid,
It is advantageous in the process to select the one with the lowest boiling point as possible
It is. The reaction temperature is between epoxy group and hydroxyl group / carboxy group.
At a temperature between 40 ° C and 130 ° C that reacts with
Is desirable. Especially two bonds with epoxy group or epoxy
For compounds having a double bond and a triple bond, a double bond
At a temperature at which the triple bond does not decompose or crosslink due to heat
It is desirable to react. Specifically, 40 degrees or more 1
00 degrees or less, more preferably 50 degrees or more and 90 degrees or less
It is. The reaction time is about several minutes to about eight hours.
An epoxy resin having two or more epoxy groups is an epoxy resin.
It is not particularly limited as long as it has two or more groups in the molecule.
Can be exemplified as follows.

【0025】例えば、エピコート828(油化シェル社
製)等のビスフェノール樹脂、180S65(油化シェ
ル社製)等のオルソクレゾールノボラック樹脂、157
S70(油化シェル社製)等のビスフェノールAノボラ
ック樹脂、1032H60(油化シェル社製)等のトリ
スヒドロキシフェニルメタンノボラック樹脂、ESN3
75等のナフタレンアラルキルノボラック樹脂、テトラ
フェニロールエタン1031S(油化シェル社製)、Y
GD414S(東都化成)、トリスヒドロキシフェニル
メタンEPPN502H(日本化薬)、特殊ビスフェノ
ールVG3101L(三井化学)、特殊ナフトールNC
7000(日本化薬)、TETRAD−X、TETRA
D−C(三菱瓦斯化学社製)等のグリシジルアミン型樹
脂などがあげられる。エポキシ基と2結合を有する化合
物とは、エポキシ基と2重結合を分子内に持っていれば
特に限定されないが、以下のように例示することができ
る。
For example, a bisphenol resin such as Epicoat 828 (manufactured by Yuka Shell) or an orthocresol novolak resin such as 180S65 (manufactured by Yuka Shell) 157
Bisphenol A novolak resin such as S70 (manufactured by Yuka Shell), trishydroxyphenylmethane novolak resin such as 1032H60 (manufactured by Yuka Shell), ESN3
Naphthalene aralkyl novolak resin such as 75, tetraphenylolethane 1031S (manufactured by Yuka Shell), Y
GD414S (Toto Kasei), Trishydroxyphenylmethane EPPN502H (Nippon Kayaku), Special bisphenol VG3101L (Mitsui Chemicals), Special naphthol NC
7000 (Nippon Kayaku), TETRAD-X, TETRA
Glycidylamine type resins such as DC (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) and the like. The compound having an epoxy group and a double bond is not particularly limited as long as it has an epoxy group and a double bond in a molecule, and examples thereof are as follows.

【0026】アリルグリシジルエーテル・グリシジルア
クリレート・グリシジルメタクレート・グリシジルビニ
ルエーテル等を例示することができる。エポキシ基と3
重結合を有する化合物とは、エポキシ基と3重結合を分
子内に持っていれば特に限定されないが、以下のように
例示することができる。プロパギルグリシジルエーテル
・グリシジルプロピオレート・エチニルグリシジルエー
テル等を例示することができる。
Examples include allyl glycidyl ether, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, and glycidyl vinyl ether. Epoxy group and 3
The compound having a heavy bond is not particularly limited as long as it has an epoxy group and a triple bond in the molecule, and examples thereof include the following. Examples include propargyl glycidyl ether / glycidyl propiolate / ethynyl glycidyl ether.

【0027】このようにして、エポキシ変性ポリイミド
の溶液を得ることができる。このエポキシ変性ポリイミ
ド溶液に、適宜、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等の熱硬
化性樹脂や、ポリエステル、ポリアミド、ポリウレタ
ン、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂を混ぜてもよ
い。
Thus, a solution of the epoxy-modified polyimide can be obtained. A thermosetting resin such as an epoxy resin or an acrylic resin, or a thermoplastic resin such as polyester, polyamide, polyurethane, or polycarbonate may be appropriately mixed with the epoxy-modified polyimide solution.

【0028】また、エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂と
混合しても良好な物性が得られるためこのましい。ここ
で用いられる熱硬化性樹脂としては、ビスマレイミド・
ビスアリルナジイミド・フェノール樹脂・シアナート樹
脂等があげられる。本発明のエポキシ変性ポリイミド
と、通常エポキシ樹脂の硬化剤と混合すれば、よい物性
の硬化物が得られるため望ましい。エポキシ樹脂の硬化
剤であれば、アミン系・イミダゾール系・酸無水物系・
酸系どのような系を用いてもよい。また、種々のカップ
リング剤を混合してもよい。本発明の感光性カバーレイ
用組成物においては、感光性を付与するために、光反応
開始剤を配合する。光反応開始剤として、光によりg線
程度の長波長の光によりラジカルを発生する化合物の一
例として、下記一般式(α・β)で表されるアシルフォ
スフィンオキシド化合物が挙げられる。これにより発生
したラジカルは、2結合を有する反応基(ビニル・アク
ロイル・メタクロイル・アリル等)と反応し架橋を促進
する。
Further, even when mixed with a thermosetting resin other than the epoxy resin, good physical properties can be obtained, so that it is preferable. The thermosetting resin used here is bismaleimide
Bisallylnadiimide, phenolic resin, cyanate resin and the like can be mentioned. It is desirable to mix the epoxy-modified polyimide of the present invention with a curing agent for an epoxy resin, since a cured product having good physical properties can be obtained. For epoxy resin curing agents, amine-based, imidazole-based, acid anhydride-based,
Any acid system may be used. Further, various coupling agents may be mixed. In the composition for a photosensitive coverlay of the present invention, a photoreaction initiator is blended in order to impart photosensitivity. As an example of a compound that generates a radical by light having a long wavelength of about g line as a photoreaction initiator, an acylphosphine oxide compound represented by the following general formula (α · β) can be given. The radical generated thereby reacts with a reactive group having two bonds (vinyl, acroyl, methacryl, allyl, etc.) to promote crosslinking.

【0029】[0029]

【化10】 Embedded image

【0030】[0030]

【化11】 (式中、R12,R15及びR17は、C65−,C64(C
3)−,C62(CH33−,(CH33C−,C6
3Cl2−を、R13,R14及びR16は、C65−,メトキ
シ,エトキシ,C64(CH3)−,C62(CH33
−を表す。) 特に一般式(β)で表されるアシルフォスフィンオキシ
ドは、α開裂により、4個のラジカルを発生するため好
ましい。(一般式(α)は、2個のラジカルを発生)側
鎖に付けたエポキシ基を硬化させるためには、光カチオ
ン発生剤を用いてもよい。例えば、ジメトキシアントラ
キノンスルフォン酸のジフェニルヨードニウム塩等のジ
フェニルヨードニウム塩類・トリフェニルスルフォニウ
ム塩類・ピリリニウム塩類、トリフェニルオニウム塩類
・ジアゾニウム塩類等を例示することができる。この
際、カチオン硬化性の高い脂環式エポキシやビニルエー
テル化合物を混合することが好ましい。
Embedded image (Wherein R 12 , R 15 and R 17 are C 6 H 5 −, C 6 H 4 (C
H 3) -, C 6 H 2 (CH 3) 3 -, (CH 3) 3 C-, C 6 H
3 Cl 2 —, R 13 , R 14 and R 16 are C 6 H 5 —, methoxy, ethoxy, C 6 H 4 (CH 3 ) —, C 6 H 2 (CH 3 ) 3
Represents-. In particular, the acylphosphine oxide represented by the general formula (β) is preferable because it generates four radicals by α-cleavage. (General formula (α) generates two radicals) In order to cure the epoxy group attached to the side chain, a photocation generator may be used. For example, diphenyliodonium salts such as diphenyliodonium salt of dimethoxyanthraquinonesulfonic acid, triphenylsulfonium salts, pyrilinium salts, triphenylonium salts, diazonium salts and the like can be exemplified. At this time, it is preferable to mix an alicyclic epoxy or vinyl ether compound having high cationic curability.

【0031】側鎖に付けたエポキシ基を硬化させるため
には、光塩基発生剤を用いてもよい。例えば、ニトロベ
ンジルアルコールやジニトロベンジルアルコールとイソ
シアナートの反応により得られるウレタン化合物、或い
はニトロ−1−フェニルエチルアルコールやジニトロ−
1−フェニルエチルアルコールとイソシアナートの反応
により得られるウレタン化合物、ジメトキシ−2−フェ
ニル−2−プロパノールとイソシアナートの反応により
得られるウレタン化合物等が例示できる。
In order to cure the epoxy group attached to the side chain, a photobase generator may be used. For example, urethane compounds obtained by the reaction of nitrobenzyl alcohol or dinitrobenzyl alcohol with isocyanate, or nitro-1-phenylethyl alcohol or dinitro-
Examples thereof include a urethane compound obtained by reacting 1-phenylethyl alcohol and isocyanate, and a urethane compound obtained by reacting dimethoxy-2-phenyl-2-propanol and isocyanate.

【0032】ラジカル開始剤として種々のパーオキサイ
ドを下記の増感剤と組み合わせて用いることができる。
特に3,3‘,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキ
シカルボニル)ベンゾフェノンと増感剤との組み合わせ
が特に好ましい 本発明で用いられる感光性カバーレイには、実用に供し
うる感光感度を達成するため、増感剤を含むことができ
る。増感剤の好ましい例としては、ミヒラケトン、ビス
−4,4‘−ジエチルアミノベンゾフェノン、ベンゾフ
ェノン、カンファーキノン、ベンジル、4,4’−ジメ
チルアミノベンジル、3,5−ビス(ジエチルアミノベ
ンジリデン)−N−メチル−4−ピペリドン、3,5−
ビス(ジメチルアミノベンジリデン)−N−メチル−4
−ピペリドン、3,5−ビス(ジエチルアミノベンジリ
デン)−N−エチル−4−ピペリドン、3,3’−カル
ボニルビス(7−ジエチルアミノ)クマリン、リボフラ
ビンテトラブチレート、2−メチル−1−[4−(メチ
ルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−
オン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエ
チルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサ
ントン、3,5−ジメチルチオキサントン、3,5−ジ
イソプロピルチオキサントン、1−フェニル−2−(エ
トキシカルボニル)オキシイミノプロパン−1−オン、
ベンゾインエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンズアントロン、5−ニトロアセナフテン、2−
ニトロフルオレン、アントロン、1,2−ベンズアント
ラキノン、1−フェニル−5−メルカプト−1H−テト
ラゾール、チオキサンテン−9−オン、10−チオキサ
ンテノン、3−アセチルインドール、2,6−ジ(p−
ジメチルアミノベンザル)−4−カルボキシシクロヘキ
サノン、2,6−ジ(p−ジメチルアミノベンザル)−
4−ヒドロキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(p−ジ
エチルアミノベンザル)−4−カルボキシシクロヘキサ
ノン、2,6−ジ(p−ジエチルアミノベンザル)−4
−ヒドロキシシクロヘキサノン、4,6−ジメチル−7
−エチルアミノクマリン、7−ジエチルアミノ−4−メ
チルクマリン、7−ジエチルアミノ−3−(1−メチル
ベンゾイミダゾリル)クマリン、3−(2−ベンゾイミ
ダゾリル)−7−ジエチルアミノクマリン、3−(2−
ベンゾチアゾリル)−7−ジエチルアミノクマリン、2
−(p−ジメチルアミノスチリル)ベンゾオキサゾー
ル、2−(p−ジメチルアミノスチリル)キノリン、4
−(p−ジメチルアミノスチリル)キノリン、2−(p
−ジメチルアミノスチリル)ゼンゾチアゾール、2−
(p−ジメチルアミノスチリル)−3,3−ジメチルー
3H−インドール等が挙げられるが、これらに限定され
ない。
Various peroxides can be used as radical initiators in combination with the following sensitizers.
In particular, a combination of 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone and a sensitizer is particularly preferable. The photosensitive coverlay used in the present invention has a practically usable sensitivity. To achieve this, a sensitizer may be included. Preferred examples of the sensitizer include Michler's ketone, bis-4,4'-diethylaminobenzophenone, benzophenone, camphorquinone, benzyl, 4,4'-dimethylaminobenzyl, 3,5-bis (diethylaminobenzylidene) -N-methyl -4-piperidone, 3,5-
Bis (dimethylaminobenzylidene) -N-methyl-4
-Piperidone, 3,5-bis (diethylaminobenzylidene) -N-ethyl-4-piperidone, 3,3'-carbonylbis (7-diethylamino) coumarin, riboflavin tetrabutyrate, 2-methyl-1- [4- ( Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-
ON, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 3,5-dimethylthioxanthone, 3,5-diisopropylthioxanthone, 1-phenyl-2- (ethoxycarbonyl) oxyiminopropane -1-one,
Benzoin ether, benzoin isopropyl ether, benzanthrone, 5-nitroacenaphthene, 2-
Nitrofluorene, anthrone, 1,2-benzanthraquinone, 1-phenyl-5-mercapto-1H-tetrazole, thioxanthen-9-one, 10-thioxanthenone, 3-acetylindole, 2,6-di (p-
Dimethylaminobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-dimethylaminobenzal)-
4-hydroxycyclohexanone, 2,6-di (p-diethylaminobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-diethylaminobenzal) -4
-Hydroxycyclohexanone, 4,6-dimethyl-7
-Ethylaminocoumarin, 7-diethylamino-4-methylcoumarin, 7-diethylamino-3- (1-methylbenzimidazolyl) coumarin, 3- (2-benzimidazolyl) -7-diethylaminocoumarin, 3- (2-
Benzothiazolyl) -7-diethylaminocoumarin, 2
-(P-dimethylaminostyryl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminostyryl) quinoline,
-(P-dimethylaminostyryl) quinoline, 2- (p
-Dimethylaminostyryl) zenzothiazole, 2-
(P-dimethylaminostyryl) -3,3-dimethyl-3H-indole and the like, but are not limited thereto.

【0033】増感剤は、本発明のポリイミド樹脂100重
量部に対し、0.1〜5 0重量部配合すること好ましく、
0.3〜2 0重量部とすることが、さらに好ましい。0.1
〜50重量部の範囲を逸脱すると、増感効果が得られなか
ったり、現像性に好ましくない影響を及ぼすことがあ
る.なお、増感剤として、1種類の化合物を用いても良
いし、数種を混合して用いてもよい.また、本発明で用
いられる感光性カバーレイ用組成物は、実用に供しうる
感光感度を達成するため、光重合助剤を含むことができ
る。光重合助剤としては、例えば、4−ジエチルアミノ
エチルベンゾエート、4−ジメチルアミノエチルベンゾ
エート、4−ジエチルアミノブロピルベンゾエート、4
−ジメチルアミノプロピルベンゾエート、4−ジメチル
アミノイソアミルベンゾエート、N−フェニルグリシ
ン、N−メチルーN−フェニルグリシン、N−(4−シア
ノフェニル)グリシン、4−ジメチルアミノベンゾニト
リル、エチレングリコールジチオグリコレート、エチレ
ングリコールジ(3−メルカブトプロピオネート)、ト
リメチロールプロパンチオグリコレート、トリメチロー
ルプロパントリ(3−メルカプトプロピオネート)、ペ
ンタエリスリトールテトラチオグリコレート、ペンタエ
リスリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネー
ト)、トリメチロールエタントリチオグリコレート、ト
リメチロールプロパントリチオグリコレート、トリメチ
ロールエタントリ(3−メルカプトプロピオネート)、
ジペンタエリスリトールヘキサ(3−メルカプトプロピ
オネート)、チオグリコール酸、α一メルカプトプロピ
オン酸、t−ブチルペルオキシベンゾエート、t −ブチ
ルペルオキシメトキシペンゾエート、t−ブチルペルオ
キシニトロベンゾエート、t−ブチルペルオキシエチル
ベンゾエート、フェニルイソプロピルペルオキシベンゾ
エート、ジt−ブチルジペルオキシイソフタレート、ト
リt−ブチルトリペルオキシトリメリテート、トリt−ブ
チルトリペルオキシトリメシテート、テトラt−ブチル
テトラペルオキシピロメリテート、2,5−ジメチル−
2,5−ジ(ベンゾイルペルオキシ)ヘキサン、3,3
‘,4,4’−テトラ(t−ブチルペルオキシカルボニ
ル)ペンゾフェノン、3,3,4,4‘−テトラ(t−
アミルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3
‘,4,4’−テトラ(t−ヘキシルペルオキシカルボ
ニル)ベンゾフェノン、2,6−ジ(p−アジドベンザ
ル)−4−ヒドロキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(p
−アジドベンザル)−4―カルボキシシクロヘキサノ
ン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メトキシシ
クロヘキサノン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−
4−ヒドロキシメチルシクロヘキサノン、3,5−ジ
(p−アジドベンザル)−1−メチル−4−ピペリド
ン、3,5−ジ(p−アジドベンザル)−4−ピペリド
ン、3,5−ジ(p−アジベンザル)−N−アセチル−4
−ピペリドン、3,5−ジ(p−アジドベンザル)−N−
メトキシカルボニルー4−ピペリドン、2,6−ジ(p−
アジドベンザル)−4−ヒドロキシシクロヘキサノン、
2,6−ジ(m−アジドベンザル)−4−カルボキシシク
ロヘキサノン、2,6−ジ(m−アジドベンザル)−4−
メトキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(m−アジドベ
ンザル)−4−ヒドロキシメチルシクロヘキサノン、
3,5−ジ(m−アジドべンザル)−N−メチル−4−ピ
ペリドン、3,5−ジ(m−アジドベンザル)−4−ピペ
リドン、3,5−ジ(m−アジドベンザル)−N−アセチ
ルー4−ピペリドン、3,5−ジ(m−アジドベンザル)
−N−メトキシカルボニル−4−ピペリドン、2,6−ジ
(p−アジドシンナミリデン)−4−ヒドロキシシクロヘ
キサノン、2,6−ジ(p−アジドシンナミリデン)−4
−カルボキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(p−アジ
ドシンナミリデン)−4−シクロヘキサノン、3,5−
ジ(p−アジドシンナミリデン)−N−メチル−4−ピペ
リドン、4,4‘−ジアジドカルコン、3,3‘ージア
ジドカルコン、3,4’−ジアジドカルコン、4,3
‘−ジアジドカルコン、1,3−ジフェニル−1,2,
3−プロパントリオン−2−(o−アセチル)オキシ
ム、1,3−ジフェニル−1,2,3−プロパントリオ
ン−2−(o−n−プロピルカルボニル)オキシム、
1,3−ジフェニル−1,2,3−プロパントリオン−
2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジ
フェニル−1,2,3−プロパントリオン−2−(o−
エトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニル−
1,2,3−プロパントリオン−2−(o−ベンゾイ
ル)オキシム、1,3−ジフェニル−1,2,3−プロ
パントリオン−2−(o−フェニルオキシカルボニル)
オキシム、1,3−ビス(p−メチルフェニル)−1,
2,3−プロパントリオン−2−(o−ベンゾイル)オ
キシム、1,3−ビス(p−メトキシフェニル)−1,
2,3−プロパントリオン−2−(o−エトキシカルボ
ニル)オキシム、1−(p−メトキシフェニル)−3−
(p−ニトロフェニル)−1,2,3−プロパントリオ
ン−2−(o−フェニルオキシカルボニル)オキシム等
を用いることができるが、これらに限定されない。ま
た、別の助剤として、トリエチルアミン・トリブチルア
ミン・トリエタノールアミン等のトリアルキルアミン類
を混合することもできる。
The sensitizer is preferably added in an amount of 0.1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyimide resin of the present invention.
The content is more preferably 0.3 to 20 parts by weight. 0.1
If the amount is out of the range of from 50 to 50 parts by weight, the sensitizing effect may not be obtained or the developability may be adversely affected. As the sensitizer, one compound may be used, or several compounds may be used as a mixture. In addition, the composition for a photosensitive coverlay used in the present invention can contain a photopolymerization auxiliary agent in order to achieve a practically usable photosensitive sensitivity. Examples of the photopolymerization auxiliary include 4-diethylaminoethyl benzoate, 4-dimethylaminoethyl benzoate, 4-diethylaminopropyl benzoate, 4
-Dimethylaminopropylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, N-phenylglycine, N-methyl-N-phenylglycine, N- (4-cyanophenyl) glycine, 4-dimethylaminobenzonitrile, ethylene glycol dithioglycolate, ethylene Glycol di (3-merbutopropionate), trimethylolpropane thioglycolate, trimethylolpropane tri (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrathioglycolate, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) , Trimethylolethanetrithioglycolate, trimethylolpropanetrithioglycolate, trimethylolethanetri (3-mercaptopropionate),
Dipentaerythritol hexa (3-mercaptopropionate), thioglycolic acid, α-mercaptopropionic acid, t-butylperoxybenzoate, t-butylperoxymethoxybenzoate, t-butylperoxynitrobenzoate, t-butylperoxyethyl Benzoate, phenylisopropylperoxybenzoate, di-tert-butyldiperoxyisophthalate, tri-tert-butyltriperoxytrimellitate, tri-tert-butyltriperoxytrimesitate, tetra-tert-butyltetraperoxypyromellitate, 2,5-dimethyl −
2,5-di (benzoylperoxy) hexane, 3,3
', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3,4,4'-tetra (t-
Amyl peroxycarbonyl) benzophenone, 3,3
', 4,4'-tetra (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-hydroxycyclohexanone, 2,6-di (p
-Azidobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methoxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidobenzal)-
4-hydroxymethylcyclohexanone, 3,5-di (p-azidobenzal) -1-methyl-4-piperidone, 3,5-di (p-azidobenzal) -4-piperidone, 3,5-di (p-azibenzal) -N-acetyl-4
-Piperidone, 3,5-di (p-azidobenzal) -N-
Methoxycarbonyl-4-piperidone, 2,6-di (p-
Azidobenzal) -4-hydroxycyclohexanone,
2,6-di (m-azidobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (m-azidobenzal) -4-
Methoxycyclohexanone, 2,6-di (m-azidobenzal) -4-hydroxymethylcyclohexanone,
3,5-di (m-azidobenzal) -N-methyl-4-piperidone, 3,5-di (m-azidobenzal) -4-piperidone, 3,5-di (m-azidobenzal) -N-acetyl- 4-piperidone, 3,5-di (m-azidobenzal)
-N-methoxycarbonyl-4-piperidone, 2,6-di (p-azidocinnamylidene) -4-hydroxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidocinnamylidene) -4
-Carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidocinnamylidene) -4-cyclohexanone, 3,5-
Di (p-azidocinnamylidene) -N-methyl-4-piperidone, 4,4′-diazidochalcone, 3,3′diazidochalcone, 3,4′-diazidochalcone, 4,3
'-Diazidochalcone, 1,3-diphenyl-1,2,2
3-propanetrione-2- (o-acetyl) oxime, 1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-2- (on-propylcarbonyl) oxime,
1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-
2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-2- (o-
Ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-
1,2,3-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, 1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-2- (o-phenyloxycarbonyl)
Oxime, 1,3-bis (p-methylphenyl) -1,
2,3-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, 1,3-bis (p-methoxyphenyl) -1,
2,3-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1- (p-methoxyphenyl) -3-
(P-Nitrophenyl) -1,2,3-propanetrione-2- (o-phenyloxycarbonyl) oxime can be used, but is not limited thereto. Further, as another auxiliary agent, trialkylamines such as triethylamine, tributylamine, and triethanolamine can be mixed.

【0034】光重合助剤は、可溶性ポリイミド100重
量部に対し、0.1〜50重量部配合されることが好ま
しく、0.3〜20重量部の範囲がさらに好ましい。
0.1〜50重量部の範瀦を逸脱すると、目的とする増
感効果が薄られなかったり、現像性に好ましくない影響
をおよぼすことがある。なお、光重合助剤として1種類
の化合物を用いてもよいし、数種を混合してもよい。ま
た、本発明で用いられるカバーレイ用組成物は、実用に
供しうる感光感度を達成するため、上述の増感剤・光重
合助剤に加えて、さらに共重合モノマーを含んでもよ
い。共重合モノマーは、炭素−炭素二重結合を有する化
合物であり、光重合を容易にする。共重合モノマーとし
ては、ビスフェノールF EO変性(n≒2)ジアクリ
レート、ビスフェノールA EO変性(n≒2)ジアク
リレート、スフェノールS EO変性(n≒2)ジアク
リレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネ
オペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコ
ールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレ
ート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパン
テトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアク
リレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、
ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレング
リコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメ
タクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチ
ロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレン
グリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリ
コールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコー
ルメタクリレート、β−メタクロイルオキシエチルハイ
ドロジェンフタレート、β−メタクロイルオキシエチル
ハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロ
キシプロピルメタクレート、ステアリルメタクレート、
フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレン
グリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリ
コールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハ
イドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エ
チレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコ
ールジメタクレート、トリエチレングリコールジメタク
レート、ポリエチレングリコールジメタクレート、1,
3−ブチレングリコールジメタクレート、1,6−ヘキ
サンジオールジメタクレート、ネオペンチルグリコール
ジメタクレート、ポリプロピレングリコールジメタクレ
ート、2−ヒドロキシ1,3ジメタクロキシプロパン、
2,2−ビス[4−(メタクロキシエトキシ)フェニル]
プロパン、2,2−ビス[4−(メタクロキシ・ジエト
キシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタク
ロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチ
レングリコールジクリレート、トリプロピレングリコー
ルジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリ
レート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキ
シ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロ
キシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロ
キシ1−アクリロキシ3−メタクロキシプロパン、トリ
メチロールプロパントリメタクレート、テトラメチロー
ルメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテ
トラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメ
タクレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレ
ート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリ
レート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールア
クリレート、1−アクリロイルオキシプロピル−2−フ
タレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエ
チレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキ
シエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレング
リコールジメタクレート、1,4−ブタンジオールジメ
タクレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ
メタクレート、1,6−メキサンジオールジメタクレー
ト、1,9−ノナンジオールメタクレート、2,4−ジ
エチル−1,5−ペンタンジオールジメタクレート、
1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクレート、
ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデ
カンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス
[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパ
ン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキ
シ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−
ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチ
ロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメ
チロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸ト
リ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラア
クリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリ
レート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレ
ート、ジトリメチロールプロパンテトレアクリレート、
ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌ
ル酸トリアリル、グリシジルメタクレート、グリシジル
アリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサ
ヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベン
ゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリル
シトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタ
ル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリ
ルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレー
ト、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレー
ト、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリ
ルスルフィドジアリルマレエート、4,4‘−イソプロ
ピリデンジフェノールジメタクレート、4,4‘−イソ
プロピリデンジフェノールジアクリレート等が好ましい
が、これらに限定されない。架橋密度を向上するために
は、特に2官能以上のモノマーを用いることが望まし
い。また、本発明の感光性カバーレイ用組成物から得ら
れるカバーレイをフレキシブルプリント基板に積層した
際の反りを軽減することができるという点から、共重合
モノマーとそして、ビスフェノールF EO変性(n≒
2)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n
≒2)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性
(n≒2)ジアクリレートから選ばれる少なくとも一種
以上のジアクリレートを用いるのが好ましい。
The photopolymerization aid is preferably blended in an amount of 0.1 to 50 parts by weight, more preferably 0.3 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the soluble polyimide.
If the amount is outside the range of 0.1 to 50 parts by weight, the intended sensitizing effect may not be reduced or may have an unfavorable effect on the developability. In addition, one kind of compound may be used as the photopolymerization aid, or several kinds may be mixed. Further, the composition for coverlay used in the present invention may further contain a copolymerizable monomer in addition to the above-mentioned sensitizer and photopolymerization aid in order to achieve a practically usable photosensitivity. The copolymerized monomer is a compound having a carbon-carbon double bond and facilitates photopolymerization. Examples of the copolymerizable monomers include bisphenol F EO modified (n ≒ 2) diacrylate, bisphenol A EO modified (n ≒ 2) diacrylate, sphenol S EO modified (n ≒ 2) diacrylate, and 1,6-hexanediol diacrylate. Acrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6 -Hexanediol dimethacrylate,
Neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxy Polyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, stearyl methacrylate,
Phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, 1 ,
3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3 dimethacryloxypropane,
2,2-bis [4- (methacryloxyethoxy) phenyl]
Propane, 2,2-bis [4- (methacryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol di Acrylate, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy1-acryloxy-3-methacryloxypropane, trimethylol Propane trimethacrylate, tetramethylol methane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, nonylphenoxy Polyethylene glycol acrylate, nonylphenoxy polypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol di Methacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol dimethacrylate Methacrylate,
1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate,
Dipropylene glycol diacrylate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis
[4- (acryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy-polypropoxy) phenyl] propane, 2,4-diethyl-1,5-
Pentanediol diacrylate, ethoxylated thimethylolpropane triacrylate, propoxylated thymethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxylated pentathritol tetraacrylate , Ditrimethylolpropane tetreacrylate,
Dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl allyl ether, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallylcitrate Rate, triallyl phosphate, allobarbital, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, zalyl sialate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-diaryloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4, Preferred are 4'-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4'-isopropylidene diphenol diacrylate, and the like, but not limited thereto. There. In order to improve the crosslink density, it is particularly desirable to use a bifunctional or higher functional monomer. Further, from the viewpoint that warpage when a coverlay obtained from the composition for a photosensitive coverlay of the present invention is laminated on a flexible printed board can be reduced, a copolymer monomer and a bisphenol FEO modified (n ≒) are used.
2) Diacrylate, bisphenol A EO modified (n
≒ 2) It is preferable to use at least one or more diacrylates selected from diacrylate and bisphenol S EO modified (n ≒ 2) diacrylate.

【0035】この共重合モノマーは、本発明の可溶性ポ
リイミド100重量部に対し、1〜200重量部配合す
ることが好ましく、3〜150重量部の範囲がさらに好
ましい。1〜200重量部の範囲を逸脱すると、目的と
する効果が得られなかったり、現像性に好ましくない影
響をおよぼすことがある。なお、共重合モノマーとし
て、1種類の化合物を用いても良いし、数種を混合して
用いてもよい.本発明で用いられるカバーレイ用組成物
は、適当な有機溶媒を含んでいてもよい。適当な有機溶
媒に溶解した状態であれば、溶液(ワニス)状態で使用
に供することができ、成膜する際便利である。この場合
に用いる溶媒としては、溶解性の観点から非プロトン性
極性溶媒が望ましく、具体的には、N−メチル−2−ピロ
リドン、N−アセチル−2−ピロリドン、N−ベンジル−2
−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメ
チルホスホルトリアミド、N−アセチル−ε−カプロラ
クタム、ジメチルイミダゾリジノン、ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチ
ルエーテル、γ−ブチロラクトン、ジオキサン、ジオキ
ソラン、テトラヒドロフランなどが好適な例としてあげ
られる.これらは単独で用いても良いし、混合系として
用いることも可能である。 この有機溶媒は、ポリイミ
ドの合成反応で用いた溶媒をそのまま残留させたもので
もよく、単離後のポリイミド前駆体に新たに添加したも
のでもよい。また、塗布性を改善するために、トルエ
ン、キシレン、ジエチルケトン、メトキシベンゼン、シ
クロペンタノン等の溶媒をポリマーの溶解性に悪影響を
及ぼさない範囲で混合しても差し支えない。この用にし
て得られたカバーレイ用組成物の溶液を乾燥させてフィ
ルム状の感光性カバーレイフィルムとする。この際、金
属やPET等のフィルム等の支持体の上に塗布し、乾燥
乾燥後、支持体より剥がして単独のフィルムとして取り
扱ってもいし、PET名等のフィルムの上に積層された
ままの状態で用いられることもできる。このカバーレイ
用組成物の乾燥温度は、熱によりエポキシ或いは、2重
結合・3重結合がつぶれてしまわない温度で行うことが
望ましく、具体的には180℃以下好ましくは、150
℃以下である。このようにして得られた感光性カバーレ
イフィルムについて説明する。通常、FPCの工程は、
長尺のフィルムに接着剤塗布・乾燥・銅箔と連続ラミネ
ートされ、生産性がよい。しかし、従来の技術でも述べ
たが、貼り合わせる前のカバーレイフィルムに回路の端
子部や部品との接合部に一致する穴や窓を開ける加工を
し、カバーレイフィルムの穴等を、FPCの端子部や部
品との接合部に合わせる位置合わせはほとんど手作業に
近く、しかも小さなワークサイズでバッチで張り合わせ
るため作業性及び位置精度が悪くまたコストもかかるも
のであった。本発明における感光性カバーレイフィルム
は、150℃以下の温度でラミネートでき、接着剤を介
さずに直接にプリント基板に積層することが可能であ
る。このラミネート温度は、低いほうが好ましく、好ま
しくは130℃以下、更に好ましくは110℃以下であ
る。また、本発明の感光性カバーレイは、FPCとカバ
ーレイを貼り合わせてから、露光・現像することによ
り、FPC端子部と接合するための穴をあけることがで
き、位置精度・作業性の問題を改善することができる。
FPCは、半田で接合する際に200℃以上の高温に数
秒曝し接合する。よって、硬化後のカバーレイの耐熱温
度が高いほうが好ましく、硬化後の感光性カバーレイ単
独の熱分解温度は、300℃以上であり、好ましくは、
320℃以上、更に好ましくは340℃以上である。カ
バーレイとした後のカバーレイ単独の弾性率は、小さい
ほうがよい。これは、カバーレイフィルムとベースフィ
ルムの弾性率・熱膨張率のミスマッチによる応力の発生
を緩和するためである。カバーレイとした後のカバーレ
イ単独の弾性率は、10〜3000N/mm2であり、
望ましくは、10〜2500N/mm2、さらに好まし
くは、10〜2000N/mm2である。FPCの導体
層には、主に銅が用いられる。200℃を超える温度
に、銅を曝せば、徐々に銅の結晶構造が変化し、強度が
低下する。よって、硬化温度を200℃以下にすること
が必要である。このようにして得られた感光性カバーレ
イフィルムとFPCを張り合わせる工程について説明す
る。この工程は、予め銅箔等の導電体によって回路が形
成されたFPCの導電体面をカバーレイフィルムにより
保護する工程である。具体的に、FPCとカバーレイフ
ィルムをあわせて、熱ラミネート、熱プレス或いは熱真
空ラミネートにより張り合わせる。この時の温度は、熱
によりエポキシ或いは、2重結合・3重結合がつぶれて
しまわない温度で行うことが望ましく、具体的には18
0℃以下好ましくは、150℃以下、さらに好ましくは
130℃以下である。
The copolymerized monomer is preferably blended in an amount of 1 to 200 parts by weight, more preferably 3 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the soluble polyimide of the present invention. If the amount is out of the range of 1 to 200 parts by weight, the intended effect may not be obtained or the developing property may be unfavorably affected. In addition, as a copolymerization monomer, one kind of compound may be used, or several kinds may be mixed and used. The composition for coverlay used in the present invention may contain a suitable organic solvent. If it is dissolved in an appropriate organic solvent, it can be used in a solution (varnish) state, which is convenient when forming a film. The solvent used in this case is preferably an aprotic polar solvent from the viewpoint of solubility, specifically, N-methyl-2-pyrrolidone, N-acetyl-2-pyrrolidone, N-benzyl-2.
-Pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, hexamethylphosphortriamide, N-acetyl-ε-caprolactam, dimethylimidazolidinone, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, γ-butyrolactone , Dioxane, dioxolan, tetrahydrofuran, and the like are preferred examples. These may be used alone or as a mixed system. This organic solvent may be a solvent in which the solvent used in the synthesis reaction of the polyimide is left as it is, or may be a newly added solvent to the isolated polyimide precursor. In order to improve the coating property, a solvent such as toluene, xylene, diethyl ketone, methoxybenzene, or cyclopentanone may be mixed within a range that does not adversely affect the solubility of the polymer. The solution of the composition for coverlay obtained in this manner is dried to obtain a film-shaped photosensitive coverlay film. At this time, it may be applied on a support such as a film of a metal or PET, dried and dried, and then peeled off from the support and handled as a single film. It can also be used in a state. The drying temperature of the coverlay composition is desirably set at a temperature at which the epoxy or the double bond / triple bond is not broken by heat, and specifically 180 ° C. or less, preferably 150 ° C.
It is below ° C. The photosensitive coverlay film thus obtained will be described. Usually, the process of FPC is
Adhesive coating, drying, and continuous lamination with copper foil on a long film. Good productivity. However, as described in the prior art, a hole and a window are formed in the cover lay film before bonding to match the joints with the terminals and components of the circuit, and the holes and the like of the cover lay film are formed by the FPC. Positioning to match a terminal part or a joint with a part is almost a manual operation, and furthermore, since it is bonded in a batch with a small work size, workability and positional accuracy are poor and cost is high. The photosensitive coverlay film of the present invention can be laminated at a temperature of 150 ° C. or less, and can be directly laminated on a printed circuit board without using an adhesive. The laminating temperature is preferably low, preferably 130 ° C. or lower, more preferably 110 ° C. or lower. In addition, the photosensitive coverlay of the present invention is capable of forming a hole for bonding to the FPC terminal portion by exposing and developing the coverlay after bonding the FPC and the coverlay. Can be improved.
FPC is joined by exposing it to a high temperature of 200 ° C. or more for several seconds when joining with solder. Therefore, it is preferable that the heat-resistant temperature of the coverlay after curing is higher, and the thermal decomposition temperature of the photosensitive coverlay alone after curing is 300 ° C or higher, preferably,
The temperature is 320 ° C or higher, more preferably 340 ° C or higher. The smaller the elastic modulus of the coverlay alone after the coverlay is formed, the better. This is to reduce the occurrence of stress due to mismatch between the elastic modulus and the coefficient of thermal expansion between the coverlay film and the base film. The elastic modulus of the coverlay alone after the coverlay is 10 to 3000 N / mm 2 ,
Desirably, it is 10 to 2500 N / mm 2 , more preferably 10 to 2000 N / mm 2 . Copper is mainly used for the conductor layer of the FPC. When copper is exposed to a temperature exceeding 200 ° C., the crystal structure of copper gradually changes and the strength decreases. Therefore, it is necessary to set the curing temperature to 200 ° C. or lower. The step of laminating the photosensitive coverlay film thus obtained and the FPC will be described. This step is a step of protecting, with a coverlay film, the conductor surface of the FPC on which a circuit is formed in advance by a conductor such as a copper foil. Specifically, the FPC and the coverlay film are bonded together by heat lamination, hot press or hot vacuum lamination. The temperature at this time is desirably set at a temperature at which the epoxy or the double bond / triple bond is not broken by heat.
0 ° C. or lower, preferably 150 ° C. or lower, more preferably 130 ° C. or lower.

【0036】つぎに、この被膜に、所定のパターンのフ
ォトマスクを介して光を照射した後、塩基性溶液により
未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。この
現像工程は、通常のポジ型フォトレジスト現橡装置を用
いて行ってもよい。
Next, after irradiating the film with light through a photomask having a predetermined pattern, an unexposed portion is dissolved and removed with a basic solution to obtain a desired pattern. This developing step may be performed using a general positive type photoresist current developing device.

【0037】現像液としては、塩基性溶液或いは有機溶
媒を用いることができる。例えば、現像液は、塩基性を
呈する水溶液・或いは有機溶媒であれば、一種類の化合
物の溶液でもよく、2種類以上の化合物の溶液でもよ
い.塩基性溶液は、通常、塩基性化合物を水に或いはメ
タノール等のアルコールに溶解した溶液である。塩基性
化合物の濃度は、通常0・1〜50重量/重量%とするが、
支持基板等への影響などから、0.1〜30重量/重量%と
することが好ましい。なお、現橡液は、ポリイミドの溶
解性を改善するため、メタノール、エタノール、プロパ
ノール、イソプロピルアルコール、N−メチルー2−ピロ
リドン・N,N−ジメチルホルムアミド、N,N一ジメチル
アセトアミド等の水溶性有機済媒を、さらに含有してい
てもよい。上記塩基性化合物としては、例えば、アルカ
リ金属、アルカリ土顆金属またはアンモニウムイオン
の、ホ酸化物または炭酸塩や、アミン化合物などが挙げ
られ、具体的には、2一ジメチルアミノエタノール、3−
ジメチルアミノ−1−プロパノ−ル、4−ジメチルアミ
ノ−1−ブタノール、5−ジメチルアミノ−1−ペンタノ
ール、6−ジメチルアミノ−1−ヘキサノール、2−ジメ
チルアミノ−2−メチル−1−プロパノール、3−ジメチ
ルアミノ−2,2一ジメチル−1−プロパノール、2−ジエ
チルアミノエタノール、3−ジエチルアミノ−1−プロパ
ノール、2−ジイソプロピルアミノエタノール、2−ジ−
n−ブチルアミノエタノール、N,N−ジベンジル−2−ア
ミノエタノール、2−(2−ジメチルアミノエトキシ)エ
タノール、2−(2−ジエチルアミノエトキシ)エタノー
ル、1−ジメチルアミノ−2−プロパノール、1−ジエチ
ルアミノ−2−プロパノール、N−メチルジエタノールア
ミン、N−エチルジエタノールアミン、N−n−ブチルジ
エタノールアミン、N−t−ブチルジエタノールアミン、
N一ラウリルジエタノールアミン、3−ジエチルアミノ−
1,2−プロパンジオール、トリエタノールアミン、トリ
イソプロパノ−ルアミン、N−メチルエタノールアミ
ン、N−エチルエタノールアミン、N−n−ブチルエタノ
ールアミン、N−t−ブチルエタノールアミン、ジエタノ
ールアミン、ジイソプロパノールアミン、2−アミノエ
タノール、3−アミノ−1−プロパノール、4−アミノ−
1−ブタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、1−アミ
ノ−2−プロパノール、2−アミノ−2,2−ジメチル−1
−プロパノール、1−アミノブタノール、2−アミノ−1
−ブタノール、N−(2−アミノエチル)エタノールアミ
ン、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール,
2−アミノ−2−エチルー1,3−プロパンジオール、3−
アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−2−ヒド
ロキシメチル−1,3−プロパンジオール、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナト
リウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナ
トリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチル
アンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウ
ムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒド
ロキシド、アミノメタノール、2−アミノエタノール、3
−アミノプロパノール、2−アミノプロパノール、メチ
ルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピ
ルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピ
ルアミン、ジイソプロピルアミン、トリメチルアミン、
トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリイソプロ
ピルアミンなどを用いることが好ましいが、水に或いは
アルコールに可溶であり、溶液が塩基性を呈するもので
あれば、これら以外の化合物を用いてもかまわない。ま
た、現像溶液には、塩基性溶液以外に、有機溶媒を用い
ることができる。この場合、有機溶媒単独で用いても、
本感光性ポリイミドをよく溶かす良溶媒とあまり溶かさ
ない貧溶媒との混合系を用いてもよい。現像によって形
成したパターンは、次いでリンス液により洗浄して、現
像溶剤を除去する。リンス液には、現像液との混和性の
良いメタノール、エタノール、イソプロピルアルコー
ル、水などが好適な例としてあげられる。上述の処理に
よって縛られたパターンを、20℃から200℃までの
選ばれた温度で加熱処理することにより、本発明のポリ
イミドからなる樹脂パターンが高解俊度で縛られる。こ
の樹脂パターンは、耐熱性が高く、機械特性に優れる。
As the developer, a basic solution or an organic solvent can be used. For example, the developer may be a solution of one type of compound or a solution of two or more types of compounds as long as it is an aqueous solution or an organic solvent exhibiting basicity. The basic solution is usually a solution in which a basic compound is dissolved in water or an alcohol such as methanol. The concentration of the basic compound is usually 0.1 to 50% w / w%,
From the influence on the supporting substrate and the like, the content is preferably 0.1 to 30% by weight /% by weight. In order to improve the solubility of polyimide, water-soluble organic liquids such as methanol, ethanol, propanol, isopropyl alcohol, N-methyl-2-pyrrolidone N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, etc. A cleaning medium may be further contained. Examples of the basic compound include an alkali metal, an alkaline earth metal or an ammonium ion, a hydroxide or a carbonate, and an amine compound.Specifically, 2-dimethylaminoethanol, 3-
Dimethylamino-1-propanol, 4-dimethylamino-1-butanol, 5-dimethylamino-1-pentanol, 6-dimethylamino-1-hexanol, 2-dimethylamino-2-methyl-1-propanol, 3-dimethylamino-2,2-dimethyl-1-propanol, 2-diethylaminoethanol, 3-diethylamino-1-propanol, 2-diisopropylaminoethanol, 2-di-
n-butylaminoethanol, N, N-dibenzyl-2-aminoethanol, 2- (2-dimethylaminoethoxy) ethanol, 2- (2-diethylaminoethoxy) ethanol, 1-dimethylamino-2-propanol, 1-diethylamino -2-propanol, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, Nn-butyldiethanolamine, Nt-butyldiethanolamine,
N-lauryldiethanolamine, 3-diethylamino-
1,2-propanediol, triethanolamine, triisopropanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, Nn-butylethanolamine, Nt-butylethanolamine, diethanolamine, diisopropanolamine , 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 4-amino-
1-butanol, 6-amino-1-hexanol, 1-amino-2-propanol, 2-amino-2,2-dimethyl-1
-Propanol, 1-aminobutanol, 2-amino-1
-Butanol, N- (2-aminoethyl) ethanolamine, 2-amino-2-methyl-1,3-propanediol,
2-amino-2-ethyl-1,3-propanediol, 3-
Amino-1,2-propanediol, 2-amino-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium hydrogen carbonate, Potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate,
Tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium hydroxide, aminomethanol, 2-aminoethanol, 3
-Aminopropanol, 2-aminopropanol, methylamine, ethylamine, propylamine, isopropylamine, dimethylamine, diethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, trimethylamine,
Although it is preferable to use triethylamine, tripropylamine, triisopropylamine, or the like, other compounds may be used as long as they are soluble in water or alcohol and the solution exhibits basicity. In addition, an organic solvent other than the basic solution can be used for the developing solution. In this case, even if the organic solvent is used alone,
A mixed system of a good solvent which dissolves the present photosensitive polyimide well and a poor solvent which does not dissolve it very much may be used. The pattern formed by the development is then washed with a rinsing liquid to remove the developing solvent. Preferable examples of the rinsing liquid include methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and water having good miscibility with the developing liquid. By heating the pattern bound by the above process at a selected temperature from 20 ° C. to 200 ° C., the resin pattern made of the polyimide of the present invention is bound with high resolution. This resin pattern has high heat resistance and excellent mechanical properties.

【0038】[0038]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものでは
ない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0039】実施例中、ESDAは、2,2−ビス(4
−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,
3‘,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、BAPS
−Mは、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]
スルフォン、DMAcは、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、DMFは、N,N−ジメチルフォルムアミドを表
す。熱分解開始温度はセイコー電子工業製 TG/DT
A220により、空気中昇温速度10℃/分で室温から
500℃までの温度範囲を測定し、重量減少が5%とな
った温度を熱分解開始温度とした。弾性率の測定は、J
IS C 2318に準じた。ピール接着強度は、JI
S C 6481の引き剥がし強度(90度)に準じて
行った。ただし、幅は、3mm幅で測定し、1cmに換
算した。重量平均分子量は、Waters製GPCを用
いて以下条件で測定した。(カラム:Shodex製
KD−806M 2本、温度60℃、検出器:RI、流
量:1ml/分、展開液:DMF(臭化リチウム0.0
3M、リン酸0.03M)、試料濃度:0.2wt%、
注入量:20μl、基準物質:ポリエチレンオキサイ
ド) イミド化率の測定:ポリアミド酸溶液(DMF溶液)
をPETフィルム上にキャストし、100℃10分、1
30℃10分加熱後、PETフィルムから剥がし、ピン
枠に固定し、150℃60分、200℃60分250℃
60分加熱し、5μm厚みポリイミドフィルムを得る。
実施例或いは比較例で作成したポリイミドをDMFに
溶かし、PETフィルム上にキャストし、100℃30
分加熱後、PETフィルムから剥がし、ピン枠に固定
し、真空オーブン中で、80℃5mmHgの条件で12
時間加熱乾燥し、5μm厚みのポリイミドフィルムを得
た。それぞれのフィルムのIRを測定し、イミドの吸収
/ベンゼン環の吸収の比を求める。で得たイミドの吸
収/ベンゼン環の比をイミド化率100%とした時の、
のイミドの吸収/ベンゼン環の比が何%に相当するか
を求める。これをイミド化率とする。
In the examples, ESDA was 2,2-bis (4
-Hydroxyphenyl) propanedibenzoate-3,
3 ', 4,4'-tetracarboxylic dianhydride, BAPS
-M is bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl]
Sulfone and DMAc represent N, N-dimethylacetamide, and DMF represents N, N-dimethylformamide. Thermal decomposition start temperature is TG / DT manufactured by Seiko Denshi Kogyo
According to A220, the temperature range from room temperature to 500 ° C. was measured at a heating rate of 10 ° C./min in the air, and the temperature at which the weight loss was 5% was defined as the thermal decomposition starting temperature. The measurement of the elastic modulus is J
According to IS C 2318. Peel adhesion strength is JI
It carried out according to the peeling strength (90 degrees) of SC6481. However, the width was measured with a width of 3 mm and converted to 1 cm. The weight average molecular weight was measured using GPC manufactured by Waters under the following conditions. (Column: manufactured by Shodex
KD-806M 2 tubes, temperature 60 ° C., detector: RI, flow rate: 1 ml / min, developing solution: DMF (lithium bromide 0.0
3M, phosphoric acid 0.03M), sample concentration: 0.2 wt%,
Injection volume: 20 μl, reference substance: polyethylene oxide) Measurement of imidation ratio: polyamic acid solution (DMF solution)
Is cast on a PET film, and 100 ° C. for 10 minutes, 1
After heating at 30 ° C for 10 minutes, peel off the PET film, fix it on a pin frame, 150 ° C for 60 minutes, 200 ° C for 60 minutes, 250 ° C
Heat for 60 minutes to obtain a 5 μm thick polyimide film.
Dissolve the polyimide prepared in Examples or Comparative Examples in DMF, cast on PET film,
After heating for a minute, the film was peeled off from the PET film, fixed to a pin frame, and placed in a vacuum oven at 80 ° C. and 5 mmHg for 12 minutes.
After heating and drying for a period of time, a polyimide film having a thickness of 5 μm was obtained. The IR of each film is measured, and the ratio of imide absorption / benzene ring absorption is determined. When the ratio of the absorption of imide obtained in the above / benzene ring ratio was 100%,
% Of the imide absorption / benzene ring ratio is determined. This is defined as the imidation ratio.

【0040】[0040]

【実施例1】攪拌機を設置した2000mlのセパラブ
ルフラスコにBAPS−M8.60g(0.02モ
ル)、シロキサンジアミンとして信越化学製KF801
0(前記化1において、x=3、y=10、R=C
3) 33.2g(0.04モル)、DMF200g
をとり、ESDA57.65g(0.10モル)を一気
に激しく攪拌しながら加え、このまま30分間攪拌を続
けた。次いで、ジアミノ安息香酸6.1g(0.04モ
ル)をDMF75gに溶かし上記溶液に加えて、30分
間攪拌し、ポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸
の重量平均分子量(以後Mwと表す)は、6万であっ
た。
Example 1 In a 2000 ml separable flask equipped with a stirrer, 8.60 g (0.02 mol) of BAPS-M and KF801 manufactured by Shin-Etsu Chemical as a siloxane diamine were used.
0 (in the above formula 1, x = 3, y = 10, R = C
H 3 ) 33.2 g (0.04 mol), DMF 200 g
Then, 57.65 g (0.10 mol) of ESDA was added at once with vigorous stirring, and stirring was continued for 30 minutes. Next, 6.1 g (0.04 mol) of diaminobenzoic acid was dissolved in 75 g of DMF, added to the above solution, and stirred for 30 minutes to obtain a polyamic acid solution. The weight average molecular weight (hereinafter referred to as Mw) of this polyamic acid was 60,000.

【0041】このポリアミド酸溶液を、テフロン(登録
商標)コートしたバットにとり、真空オーブンで、15
0℃10分、160℃10分、170℃10分、180
℃10分、190℃10分210℃30分、5mmHg
の圧力で減圧加熱した。真空オーブンより取り出し、1
00gのカルボン酸を有する熱可塑性ポリイミドを得
た。このポリイミドのMwは6.5万、イミド化率は1
00%であった。 (エポキシ変性ポリイミドの合成)合成した熱可塑性ポ
リイミド33gをジオキソラン63gに溶解し、トリエ
チルアミン0.1g、メトキシエタノール50mg添加
後、グリシジルメタクリレート0.85g(6ミリモ
ル)を加えた。70℃で10時間加熱攪拌を行い、つい
で油化シェル製エポキシ828 3.0g(8ミリモ
ル)を加え、5時間加熱攪拌を行いエポキシ変性ポリイ
ミド溶液を合成した。上記エポキシ変性ポリイミド溶液
100gに4,4‘−ジアミノジフェニルスルフォン
(以後DDSと略する)0.5g、光反応開始剤とし
て、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェ
ニルフォスフィンオキシド0.5g(1.2ミリモ
ル)、東亞合成製アロニックスM−208(ビスフェノ
ールF EO変性(n≒2)ジアクリレート) 25g
を添加した溶液を25μm厚みペットフィルム上に塗布
し、 45℃5分乾燥し、ペットフィルムを剥がし、ピ
ン枠にて固定し、65℃5分乾燥して、感光性ポリイミ
ドの60μm厚み/25μm厚みPETフィルムの2層
フィルムを得た。銅箔/感光性ポリイミドフィルム60
/25μm厚みPETフィルムとなるように重ねて、1
00℃、100N/cmの条件でラミネートした。ラミ
ネート後、3分間露光し(露光条件:400nmの光が
10mJ/cm2)、PETフィルムを剥がしてから1
00℃3分間ポストベークし、180℃2時間の条件で
硬化した。このフレキシブル銅貼板のピール接着強度
は、9.8N/cm(1.0kg重/cm)であり、1
00μmのライン/スペースのパターンを形成すること
ができ、かつ260℃の半田浴に1分漬けても膨れ等の
欠陥は観察されなかった。フレキシブル銅貼板の銅箔を
エッチング除去して、残った硬化後のカバーレイフィル
ムの弾性率は、1000N/mm2で、伸びは、25%
で、熱分解開始温度は370℃であった。銅箔/感光性
ポリイミドフィルム60/25μm厚みPETフィルム
となるように重ねて、100℃、100N/cmの条件
でラミネートした。ラミネート後、ライン/スペース=
100/100μmのマスクをかぶせ、3分間露光し
(露光条件:400nmの光が10mJ/cm2)、P
ETフィルムを剥がしてから100℃3分間ポストベー
クし、0.5%のテトラメチルヒドロキシドのイソプロ
ピルアルコール/水=50/50重量比の溶液(液温4
0℃)で現像後、180℃2時間の条件で硬化した。こ
の感光性カバーレイフィルムのパターンを顕微鏡にて観
察したところ、ライン/スペース=100/100μm
のパターンを描くことができていた。次に、フレキシブ
ルプリント基板にカバーレイとして、本発明のカバーレ
イを用いたときの反りを測定する。鐘淵化学工業製ポリ
イミドフィルム アピカルNPI(25μm厚み)にデ
ュポン製フィルム状接着剤パイララックス(LF10
0)の接着剤面をあわせ、180℃でラミネートする。
剥離紙を剥がし、三井金属製電解銅箔3EC−VLP
(1オンス)と180℃でラミネートし、180℃で硬
化して、ベースフィルム(ポリイミド)/接着剤/銅箔
の3層構造とした。これを、エッチングによりライン/
スペースが200μm/200μmのラインを一面に描
いたFPC(図1)を作成する。これに先述の感光性ポ
リイミドの60μm厚み/25μm厚みPETフィルム
の2層フィルムを感光性ポリイミド層が銅箔とあわせる
ようにして100℃でラミネートし、3分間露光し(露
光条件:400nmの光が10mJ/cm2)、PET
フィルムを剥がして、180℃で2時間硬化させ、カバ
ーレイをかぶせたFPCを作成した。このFPCを10
cm角にカットし、反りを観察したところ、反りはなか
った。
This polyamic acid solution was placed in a Teflon (registered trademark) -coated vat and placed in a vacuum oven for 15 minutes.
0 ° C 10 minutes, 160 ° C 10 minutes, 170 ° C 10 minutes, 180
10 minutes at 190 ° C, 30 minutes at 210 ° C, 5 mmHg
Heated under reduced pressure. Remove from vacuum oven, 1
A thermoplastic polyimide having 00 g of carboxylic acid was obtained. The Mw of this polyimide was 65,000, and the imidation ratio was 1
00%. (Synthesis of Epoxy-Modified Polyimide) 33 g of the synthesized thermoplastic polyimide was dissolved in 63 g of dioxolan, 0.1 g of triethylamine and 50 mg of methoxyethanol were added, and then 0.85 g (6 mmol) of glycidyl methacrylate was added. The mixture was heated and stirred at 70 ° C. for 10 hours, and then 3.0 g (8 mmol) of Yuka Shell Epoxy 828 was added, followed by heating and stirring for 5 hours to synthesize an epoxy-modified polyimide solution. 0.5 g of 4,4'-diaminodiphenylsulfone (hereinafter abbreviated as DDS) is added to 100 g of the above epoxy-modified polyimide solution, and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide is used as a photoreaction initiator in an amount of 0.5 g. 5 g (1.2 mmol), 25 g of Aronix M-208 (bisphenol FEO modified (n @ 2) diacrylate) manufactured by Toagosei
Is applied on a 25 μm-thick pet film, dried at 45 ° C. for 5 minutes, peeled off the pet film, fixed with a pin frame, and dried at 65 ° C. for 5 minutes to obtain a photosensitive polyimide of 60 μm thickness / 25 μm thickness A two-layer PET film was obtained. Copper foil / photosensitive polyimide film 60
/ 25 μm thickness PET film
Lamination was performed under the conditions of 00 ° C. and 100 N / cm. After lamination, exposure was performed for 3 minutes (exposure condition: light of 400 nm was 10 mJ / cm 2 ), and the PET film was peeled off for 1 minute.
Post-baking was performed at 00 ° C. for 3 minutes, and cured at 180 ° C. for 2 hours. The peel adhesive strength of this flexible copper-clad board was 9.8 N / cm (1.0 kgf / cm),
A line / space pattern of 00 μm could be formed, and no defects such as swelling were observed even when immersed in a 260 ° C. solder bath for 1 minute. The elasticity of the cured coverlay film after the copper foil of the flexible copper-clad board is removed by etching is 1000 N / mm 2 , and the elongation is 25%.
The thermal decomposition onset temperature was 370 ° C. A copper foil / photosensitive polyimide film 60/25 μm thick PET film was overlaid and laminated at 100 ° C. and 100 N / cm. After lamination, line / space =
Cover with a 100/100 μm mask and expose for 3 minutes (exposure conditions: 400 nm light at 10 mJ / cm 2 );
After the ET film was peeled off, it was post-baked at 100 ° C. for 3 minutes, and a 0.5% solution of tetramethyl hydroxide in isopropyl alcohol / water = 50/50 weight ratio (liquid temperature 4
(0 ° C.), and cured at 180 ° C. for 2 hours. When the pattern of this photosensitive coverlay film was observed with a microscope, the line / space was 100/100 μm.
Was able to draw the pattern of. Next, the warpage when the coverlay of the present invention is used as the coverlay on the flexible printed circuit board is measured. Kanebuchi Chemical Co., Ltd. polyimide film Apical NPI (25 μm thick) and DuPont film adhesive Pyralux (LF10
Laminate at 180 ° C. with the adhesive surfaces of 0) together.
Peel off the release paper, and use Mitsui Metal's electrolytic copper foil 3EC-VLP
(1 ounce) and laminated at 180 ° C. and cured at 180 ° C. to form a three-layer structure of base film (polyimide) / adhesive / copper foil. This is etched into a line /
An FPC (FIG. 1) in which a line having a space of 200 μm / 200 μm is drawn on one side is created. To this, a two-layer film of the aforementioned photosensitive polyimide 60 μm thick / 25 μm PET film was laminated at 100 ° C. so that the photosensitive polyimide layer was aligned with the copper foil, and exposed for 3 minutes (exposure conditions: light of 400 nm). 10mJ / cm 2 ), PET
The film was peeled off and cured at 180 ° C. for 2 hours to prepare an FPC covered with a coverlay. This FPC is 10
When cut into cm squares and observed for warpage, there was no warpage.

【0042】[0042]

【実施例2】実施例1で合成したカルボン酸を有する熱
可塑性ポリイミド33gとジオキソラン66g、4,4
‘−ジアミノジフェニルスルフォン(以後DDSと略す
る)0.5g、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイ
ル)−フェニルフォスフィンオキシド0.5g(1.2
ミリモル)、東亞合成製アロニックスM−208(ビス
フェノールF EO変性(n≒2)ジアクリレート)
25gを添加した溶液を25μm厚みペットフィルム上
に塗布し、 45℃5分乾燥し、ペットフィルムを剥が
し、ピン枠にて固定し、65℃5分乾燥して、感光性ポ
リイミドの60μm厚み/25μm厚みPETフィルム
の2層フィルムを得た。実施例1と同様にして、このフ
レキシブル銅貼板の接着強度は、10.8N/cm
(1.1kg重/cm)であり、100μmのライン/
スペースのパターンを形成することができ、かつ260
℃の半田浴に1分漬けても膨れ等の欠陥は観察されなか
った。フレキシブル銅貼板の銅箔をエッチング除去し
て、残った硬化後の感光性ポリイミドの弾性率は、15
00N/mm2で、伸びは、20%で、熱分解開始温度
は、375℃であった。次に、フレキシブルプリント基
板にカバーレイとして、本発明の感光性カバーレイを用
いたときの反りを実施例1と同様にして測定したとこ
ろ、反りはなかった。
Example 2 33 g of the thermoplastic polyimide having a carboxylic acid synthesized in Example 1 and 66 g of dioxolane, 4,4
0.5 g of '-diaminodiphenylsulfone (hereinafter abbreviated as DDS), 0.5 g of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide (1.2 g
Mmol), Aronix M-208 (bisphenol F EO-modified (n 変 性 2) diacrylate) manufactured by Toagosei
The solution to which 25 g was added was applied on a 25 μm-thick pet film, dried at 45 ° C. for 5 minutes, the pet film was peeled off, fixed with a pin frame, dried at 65 ° C. for 5 minutes, and the photosensitive polyimide 60 μm thickness / 25 μm A two-layer film of a thickness PET film was obtained. In the same manner as in Example 1, the adhesive strength of this flexible copper-clad board was 10.8 N / cm.
(1.1 kg weight / cm) and 100 μm line /
A pattern of spaces can be formed and 260
No defects such as swelling were observed even when immersed in a solder bath at ℃ for 1 minute. The elasticity of the cured photosensitive polyimide after removing the copper foil of the flexible copper adhesive plate by etching is 15
At 00 N / mm 2 , the elongation was 20% and the thermal decomposition onset temperature was 375 ° C. Next, the warpage when the photosensitive coverlay of the present invention was used as the coverlay on the flexible printed circuit board was measured in the same manner as in Example 1, and no warpage was found.

【0043】[0043]

【実施例3】 <水酸基を有するポリイミドの合成>
攪拌機を設置した2000mlのセパラブルフラスコに
BAPS−M12.91g(0.03モル)、DMF2
60gをとり、ESDA57.65g(0.1モル)を
一気に激しく攪拌しながら加え、このまま30分間攪拌
を続けた。次いで、2,2´−ビス(3−アミノ−4−
ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン14.6
5g(0.04モル)を加えて、30分間攪拌し、次い
で、シリコンジアミン 信越化学製KF8010 2
4.9g(0.03モル)を加えて、30分間攪拌して
ポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸のMwは、
5.5万であった。この際氷水で冷却して反応を行っ
た。このポリアミド酸溶液を、テフロンコートしたバッ
トにとり、真空オーブンで、150℃10分、160℃
10分、170℃10分、180℃10分、190℃1
0分210℃30分、5mmHgの圧力で減圧加熱し
た。真空オーブンより取り出し、105gの水酸基を有
する熱可塑性ポリイミドを得た。このポリイミドのMw
は6.0万、イミド化率は100%であった。
Example 3 <Synthesis of Polyimide Having Hydroxyl Group>
In a 2,000 ml separable flask equipped with a stirrer, 12.91 g (0.03 mol) of BAPS-M, DMF2
60 g was taken, and 57.65 g (0.1 mol) of ESDA was added at once with vigorous stirring, and stirring was continued for 30 minutes. Then, 2,2'-bis (3-amino-4-
(Hydroxyphenyl) hexafluoropropane 14.6
5 g (0.04 mol) was added and the mixture was stirred for 30 minutes, and then silicon diamine KF80102 manufactured by Shin-Etsu Chemical
4.9 g (0.03 mol) was added and stirred for 30 minutes to obtain a polyamic acid solution. The Mw of this polyamic acid is
It was 550,000. At this time, the reaction was carried out by cooling with ice water. This polyamic acid solution is placed on a Teflon-coated vat and placed in a vacuum oven at 150 ° C. for 10 minutes and at 160 ° C.
10 minutes, 170 ° C 10 minutes, 180 ° C 10 minutes, 190 ° C 1
The mixture was heated under reduced pressure at a pressure of 5 mmHg for 30 minutes at 210 ° C. for 0 minutes. It was taken out from the vacuum oven to obtain 105 g of a thermoplastic polyimide having a hydroxyl group. Mw of this polyimide
Was 60,000, and the imidation ratio was 100%.

【0044】<エポキシ変性ポリイミドの合成> 上記
で合成した水酸基を有するポリイミド33gをジオキソ
ラン66gに溶解し、そこにトリエチルアミン0.1g
とグリシジルメタクリレート1.42g(10ミリモ
ル)をジオキソラン25gに溶解して加えた。60℃で
5時間加熱攪拌を行い、ついでユアkシェル製HP40
32 4.08g(エポキシ当量136)を加え、60
℃で5時間反応しエポキシ変性ポリイミドを合成した。
<Synthesis of Epoxy-Modified Polyimide> 33 g of the hydroxyl-containing polyimide synthesized above was dissolved in 66 g of dioxolane, and 0.1 g of triethylamine was added thereto.
And 1.42 g (10 mmol) of glycidyl methacrylate dissolved in 25 g of dioxolane were added. Heat and stir at 60 ° C for 5 hours, and then HP40
32 4.08 g (epoxy equivalent 136) was added, and 60
The reaction was carried out at 5 ° C. for 5 hours to synthesize an epoxy-modified polyimide.

【0045】上記のエポキシ変性ポリイミド溶液100
gにDDS0.5g、3,3´−カルボニルビス[7−
(ジメチルアミノ)クマリン]0.3g、ベンゾフェノ
ン1g、トリブチルアミン0.5g、東亞合成製アロニ
ックスM−208(ビスフェノールF EO変性(n≒
2)ジアクリレート) 25g、イソシアヌル酸トリ
(エタンアクリレート)3gを添加し感光性組成物を調
製した。この溶液を25μm厚みペットフィルム上に塗
布し、 45℃5分乾燥し、ペットフィルムを剥がし、
ピン枠にて固定し、65℃5分乾燥して、感光性ポリイ
ミドの60μm厚み/25μm厚みPETフィルムの2
層フィルムを得た。実施例1と同様に、このフレキシブ
ル銅貼板の接着強度は、10N/cm(1.02kg重
/cm)であり、100μmのライン/スペースのパタ
ーンを形成することができ、かつ260℃の半田浴に1
分漬けても膨れ等の欠陥は観察されなかった。フレキシ
ブル銅貼板の銅箔をエッチング除去して、残った硬化後
の感光性ポリイミドの弾性率は、1250/mm2で、
伸びは、25%で、熱分解開始温度は、380℃であっ
た。次に、フレキシブルプリント基板にカバーレイとし
て、本発明の感光性カバーレイを用いたときの反りを実
施例1と同様にして測定したところ、反りはなかった。
The above epoxy-modified polyimide solution 100
g to 3,5′-carbonylbis [7-
(Dimethylamino) coumarin] 0.3 g, benzophenone 1 g, tributylamine 0.5 g, Toagosei Aronix M-208 (bisphenol F EO modified (n ≒
2) 25 g of diacrylate) and 3 g of tri (ethane acrylate) isocyanurate were added to prepare a photosensitive composition. This solution was applied on a 25 μm thick pet film, dried at 45 ° C. for 5 minutes, and the pet film was peeled off.
It is fixed with a pin frame, dried at 65 ° C. for 5 minutes, and a photosensitive polyimide 60 μm thickness / 25 μm thickness PET film 2
A layer film was obtained. As in the case of Example 1, the adhesive strength of this flexible copper-clad board is 10 N / cm (1.02 kgf / cm), a pattern of 100 μm line / space can be formed, and soldering at 260 ° C. 1 for bath
No defects such as swelling were observed even when immersed. The elasticity of the cured photosensitive polyimide after the copper foil of the flexible copper-clad board is removed by etching is 1250 / mm 2 ,
The elongation was 25% and the thermal decomposition onset temperature was 380 ° C. Next, the warpage when the photosensitive coverlay of the present invention was used as the coverlay on the flexible printed circuit board was measured in the same manner as in Example 1, and no warpage was found.

【0046】[0046]

【比較例1】攪拌機を設置した2000mlのセパラブ
ルフラスコにBAPS−M43.05g(0.1モ
ル)、DMF200gをとり、ESDA57.65g
(0.10モル)を一気に激しく攪拌しながら加え、こ
のまま30分間攪拌を続けポリアミド酸溶液を得た。こ
のポリアミド酸のMwは、6.2万であった。
Comparative Example 1 BAPS-M (43.05 g, 0.1 mol) and DMF (200 g) were placed in a 2,000 ml separable flask equipped with a stirrer, and ESDA 57.65 g.
(0.10 mol) was added at once with vigorous stirring, and stirring was continued for 30 minutes to obtain a polyamic acid solution. Mw of this polyamic acid was 62,000.

【0047】このポリアミド酸溶液を、テフロンコート
したバットにとり、真空オーブンで、150℃10分、
160℃10分、170℃10分、180℃10分、1
90℃10分210℃30分、5mmHgの圧力で減圧
加熱した。真空オーブンより取り出し、95gの可溶性
ポリイミドを得た。このポリイミドのMwは6.4万、
イミド化率は100%であった上記可溶性ポリイミド3
0g、油化シェル製エポキシ 828 3gをジオキソ
ラン67gに溶解した溶液を25μm厚みペットフィル
ム上に塗布し、 45℃5分乾燥し、ペットフィルムを
剥がし、ピン枠にて固定し、65℃5分、乾燥し、PE
Tフィルムを剥がしさらに100℃5分乾燥して、可溶
性ポリイミド60μmフィルムを得た。このフィルムの
弾性率は3200N/mm2 であった。実施例1で作成
したライン/スペースが200μm/200μmのライ
ンを一面に描いたFPCに可溶性ポリイミド60μmフ
ィルムをあわせ剥離紙としてテフロンシートを上下にひ
いて、250℃3MPaの圧力でプレスし、カバーレイ
をかぶせたFPCを作成した。これを実施例1と同様に
10cm角にカットし反りを測定したところ、半径10
cmの筒状になった。
This polyamic acid solution is placed on a Teflon-coated vat and placed in a vacuum oven at 150 ° C. for 10 minutes.
160 ° C for 10 minutes, 170 ° C for 10 minutes, 180 ° C for 10 minutes, 1
The mixture was heated under reduced pressure at a pressure of 5 mmHg at 90 ° C for 10 minutes and 210 ° C for 30 minutes. It was taken out from the vacuum oven to obtain 95 g of soluble polyimide. Mw of this polyimide is 64,000,
The soluble polyimide 3 having an imidation ratio of 100%
0 g, a solution obtained by dissolving 3 g of Yuka Shell Epoxy 828 in 67 g of dioxolane was applied on a 25 μm thick pet film, dried at 45 ° C. for 5 minutes, peeled off the pet film, fixed with a pin frame, and fixed at 65 ° C. for 5 minutes. Dried, PE
The T film was peeled off and dried at 100 ° C. for 5 minutes to obtain a soluble polyimide 60 μm film. Of this film
The elastic modulus was 3200 N / mm 2 . A soluble polyimide 60 μm film was placed on an FPC on which a line with a line / space of 200 μm / 200 μm was drawn on one side, and a Teflon sheet was pulled up and down as a release paper, and pressed at 250 ° C. and 3 MPa pressure to form a coverlay. To make an FPC. This was cut into a 10 cm square as in Example 1 and the warpage was measured.
cm.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明の感光性カバーレイフィルム用組
成物および感光性カバーレイフィルムは、150℃以下
の温度でラミネートが可能であり、接着剤を介さずに直
接にFPCに積層することが可能である。また、耐熱性
などの諸特性に優れ、FPCに積層したときの反りの発
生が少ない。
The composition for a photosensitive coverlay film and the photosensitive coverlay film of the present invention can be laminated at a temperature of 150 ° C. or less, and can be directly laminated on an FPC without using an adhesive. It is possible. In addition, it has excellent properties such as heat resistance, and has little warpage when laminated on an FPC.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例における、ライン/スペース=
200μm/200μmの10cm2角FPCを示す。
FIG. 1 shows a line / space in an embodiment of the present invention.
2 shows a 10 μm 2 FPC of 200 μm / 200 μm.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 71/00 C08L 71/00 B 5E314 79/08 79/08 Z G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/027 7/027 7/075 521 7/075 521 H05K 3/28 H05K 3/28 F D Fターム(参考) 2H025 AA00 AA10 AA13 AA14 AB11 AB15 AC01 AD01 BC32 BC42 BC43 CB25 EA08 FA03 FA17 4F071 AA51 AA60 AF20Y AG15 AH12 BC01 4F100 AB17D AB33D AK25B AK25J AK42 AK49B AK49C AK49J AK49K AK52B AK52J AK53B AK53J AL01B AL06B AT00A BA02 BA03 BA07 BA10A BA10B BA10C CB00 GB43 JB08B JB16B JJ03 JK01 JK07 JL01 JL04 JL11 JN17B 4J002 CH052 CM041 FD150 GQ00 4J043 PA05 PA08 QB26 RA05 SA06 SA62 SA71 SA85 SB02 TA22 UA132 UA142 UA152 UA262 UB022 UB052 UB122 UB162 UB302 UB351 WA09 ZA23 ZB11 ZB50 5E314 AA27 AA36 CC15 FF06 FF19 GG08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 71/00 C08L 71/00 B 5E314 79/08 79/08 Z G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/027 7/027 7/075 521 7/075 521 H05K 3/28 H05K 3/28 FDF term (reference) 2H025 AA00 AA10 AA13 AA14 AB11 AB15 AC01 AD01 BC32 BC42 BC43 CB25 EA08 FA03 FA17 4F071 AA51 AG15 AF20Y AH12 BC01 4F100 AB17D AB33D AK25B AK25J AK42 AK49B AK49C AK49J AK49K AK52B AK52J AK53B AK53J AL01B AL06B AT00A BA02 BA03 BA07 BA10A BA10B BA10C CB00 GB43 JB08B JB16B JJ03 JK01 JK07 JL01 JL04 JL11 JN17B 4J002 CH052 CM041 FD150 GQ00 4J043 PA05 PA08 QB26 RA05 SA06 SA62 SA71 SA85 SB02 TA22 UA132 UA142 UA152 UA262 UB022 UB052 UB122 UB162 UB302 UB351 WA09 ZA23 ZB11 ZB50 5E314 AA27 AA36 CC15 FF06 FF19 GG08

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】下記一般式化1で表されるシロキサンジア
ミンを原料として得られる可溶性ポリイミドを含有する
感光性カバーレイフィルム用組成物。(式中、R1は、
1〜C12のアルキル基或いはフェニル基、xは1〜2
0の整数、yは1〜40の整数を示す。) 【化1】
A photosensitive coverlay film composition containing a soluble polyimide obtained from a siloxane diamine represented by the following general formula 1. (Wherein R 1 is
C 1 -C 12 alkyl or phenyl, x is 1-2
Integer of 0 and y show the integer of 1-40. )
【請求項2】前記可溶性ポリイミドが、前記シロキサン
ジアミンを全ジアミン成分中5〜70モル%含有するジ
アミンを原料として得られるポリイミドである請求項1
記載の感光性カバーレイフィルム用組成物。
2. A polyimide obtained from a diamine containing 5 to 70 mol% of the siloxane diamine in the total diamine component as a raw material.
A composition for a photosensitive coverlay film as described in the above.
【請求項3】前記可溶性ポリイミドが、前記シロキサン
ジアミンを全ジアミン成分中20〜50モル%含有する
ジアミンを原料として得られるポリイミドである請求項
1記載の感光性カバーレイフィルム用組成物。
3. The composition for a photosensitive coverlay film according to claim 1, wherein the soluble polyimide is a polyimide obtained by using a diamine containing 20 to 50 mol% of the siloxane diamine in the total diamine component as a raw material.
【請求項4】前記カバーレイフィルム用組成物に、炭素
−炭素二重結合を有する共重合モノマーを含有する請求
項1〜3のいずれか一項に記載の感光性カバーレイ用組
成物。
4. The composition for a photosensitive cover lay according to claim 1, wherein the composition for a cover lay film contains a copolymerizable monomer having a carbon-carbon double bond.
【請求項5】前記共重合モノマーが、ビスフェノールF
EO変性(n≒2)ジアクリレート、ビスフェノール
A EO変性(n≒2)ジアクリレート、ビスフェノー
ルS EO変性(n≒2)ジアクリレートから選ばれる
ジアクリレートの少なくとも一種以上である請求項1〜
4のいずれか一項に記載の感光性カバーレイ用組成物。
5. The method according to claim 1, wherein said copolymerizable monomer is bisphenol F.
4. A diacrylate selected from EO-modified (n ≒ 2) diacrylate, bisphenol A EO-modified (n ≒ 2) diacrylate, and bisphenol S EO-modified (n ≒ 2) diacrylate.
5. The composition for a photosensitive cover lay according to any one of 4.
【請求項6】請求項1〜5のいずれか一項に記載の組成
物から得られる感光性カバーレイフィルム。
6. A photosensitive coverlay film obtained from the composition according to claim 1.
【請求項7】既にイミド化された可溶性ポリイミドを用
いることを特徴とする感光性カバーレイフィルム。
7. A photosensitive coverlay film using a soluble polyimide which has been imidized.
【請求項8】硬化後の熱分解開始温度が300℃以上で
あることを特徴とする請求項7記載の感光性カバーレイ
フィルム。
8. The photosensitive coverlay film according to claim 7, wherein the thermal decomposition onset temperature after curing is 300 ° C. or higher.
【請求項9】硬化後の弾性率が10〜3000N/mm
2であることを特徴とする請求項7または8に記載の感
光性カバーレイフィルム。
9. An elastic modulus after curing of 10 to 3000 N / mm.
Photosensitive coverlay film according to claim 7 or 8, characterized in that it is 2.
【請求項10】硬化温度が200℃以下であることを特
徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の感光性カ
バーレイフィルム。
10. The photosensitive coverlay film according to claim 7, wherein the curing temperature is 200 ° C. or lower.
【請求項11】150℃以下の温度でラミネート可能な
請求項7〜10のいずれか一項に記載の感光性カバーレ
イフィルム。
11. The photosensitive coverlay film according to claim 7, which can be laminated at a temperature of 150 ° C. or lower.
【請求項12】請求項6〜11のいずれか一項に記載の
感光性カバーレイフィルムが接着剤を介さずに直接にプ
リント基板に積層されたプリント基板。
12. A printed circuit board wherein the photosensitive coverlay film according to claim 6 is directly laminated on a printed circuit board without using an adhesive.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002097532A1 (en) * 2001-05-30 2002-12-05 Kaneka Corporation Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist and photosensitive cover ray film using the same
WO2009054487A1 (en) * 2007-10-26 2009-04-30 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Polyimide precursor and photosensitive resin composition containing polyimide precursor
KR20160063209A (en) 2014-11-26 2016-06-03 솔브레인 주식회사 Negative photosenstive siloxane composition

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000226566A (en) * 1999-02-08 2000-08-15 Ube Ind Ltd Adhesive for cover lay film and cover lay film

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000226566A (en) * 1999-02-08 2000-08-15 Ube Ind Ltd Adhesive for cover lay film and cover lay film

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002097532A1 (en) * 2001-05-30 2002-12-05 Kaneka Corporation Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist and photosensitive cover ray film using the same
KR100879668B1 (en) * 2001-05-30 2009-01-21 가부시키가이샤 가네카 Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist and photosensitive cover ray film using the same
WO2009054487A1 (en) * 2007-10-26 2009-04-30 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Polyimide precursor and photosensitive resin composition containing polyimide precursor
KR20160063209A (en) 2014-11-26 2016-06-03 솔브레인 주식회사 Negative photosenstive siloxane composition

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