JP2002003516A - Composition and photosensitive composition as well as cover layer film using the same - Google Patents

Composition and photosensitive composition as well as cover layer film using the same

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JP2002003516A
JP2002003516A JP2000191523A JP2000191523A JP2002003516A JP 2002003516 A JP2002003516 A JP 2002003516A JP 2000191523 A JP2000191523 A JP 2000191523A JP 2000191523 A JP2000191523 A JP 2000191523A JP 2002003516 A JP2002003516 A JP 2002003516A
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composition
group
soluble polyimide
polyimide
composition according
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JP2000191523A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshifumi Okada
好史 岡田
Masayuki Hara
昌之 原
Hitoshi Nojiri
仁志 野尻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composition and a photosensitive composition as well as a cover layer film composed of the composition which have enough mechanical strengths, excellent heat resistance, processability, adhesion and especially the excellent low hygroscopicity. SOLUTION: There are provided the composition which has at least a soluble polyimide and a compound having C-C double bonds of 2 or more as an essential component, the composition wherein Tg of B stage is -20 to 150 deg.C, Tg after curing is 70 to 300 deg.C, the soluble polyimide has Tg of 100 to 300 deg.C and the thermal expansion coefficient after curing is 20 to 500 ppm and the photosensitive polyimide composition obtained by adding an epoxy resin and/or a photoreactive initiator or intensifier as essential components to the composition. These are especially useful as a photosensitive composition. These photosensitive polyimide composition is used to provide a cover layer film which has enough mechanical strengths and also has excellent properties in the heat resistance, processability, adhesion and especially low hygroscopicity.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、耐熱性、加工性、
接着性に優れ、特には低吸湿性に優れた組成物とそれを
用いた感光性組成物及びカバーレイフィルムに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to heat resistance, workability,
The present invention relates to a composition having excellent adhesiveness, particularly excellent in low hygroscopicity, and a photosensitive composition and a coverlay film using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】近年、電
子機器の高機能化、高性能化、小型化が非常な速度で進
んでおり、それに伴って、用いられている電子部品に対
する小型化、軽量化が求められている。このため、電子
部品を実装する配線板も通常の硬質プリント配線板に対
し、可撓性のあるフレキシブルプリント基板(以下FP
Cという)が注目され、急激に需要を増している。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices have become increasingly sophisticated, sophisticated, and miniaturized at an extremely high speed. , Weight reduction is required. For this reason, a wiring board on which electronic components are mounted is also more flexible than a normal hard printed wiring board.
C) is gaining attention and demand is rapidly increasing.

【0003】ところで、このFPCは銅箔等の導電体に
よって回路が形成された導体面を保護する目的で、回路
表面にポリイミド等からなるカバーレイフィルムと呼ば
れるフィルムが張り合わされている。このカバーレイフ
ィルムを接着する方法としては、片面に接着剤の付いた
カバーレイフィルムを所定の形状に加工して、FPCと
重ね、位置合わせをした後、プレス等で熱圧着する方法
が一般的である。しかし、これらに用いられる接着剤は
エポキシ系、アクリル系接着剤等が主流であり、半田耐
熱性や高温時の接着強度などの耐熱性が低いこと、また
可撓性に乏しいこと等の問題があり、カバーレイフィル
ムとして使用するポリイミドフィルムの性能を充分活か
すことができなかった。
In this FPC, a film called a coverlay film made of polyimide or the like is laminated on the circuit surface for the purpose of protecting a conductor surface on which a circuit is formed by a conductor such as a copper foil. As a method for bonding the coverlay film, a method is generally used in which a coverlay film having an adhesive on one side is processed into a predetermined shape, overlapped with an FPC, aligned, and then thermocompressed with a press or the like. It is. However, the adhesives used for these are mainly epoxy-based and acrylic-based adhesives, and have problems such as low heat resistance such as solder heat resistance and adhesive strength at high temperatures, and poor flexibility. Yes, the performance of the polyimide film used as the coverlay film could not be fully utilized.

【0004】また、従来の接着剤を使用して、カバーレ
イフィルムをFPCと接着させる場合、接着する前にカ
バーレイフィルムに回路の端子部や部品との接合部に穴
や窓を開ける等の加工をしておく必要があった。しか
し、薄いカバーレイフィルムに穴等を開けるのが困難な
だけでなく、穴等の開けられたカバーレイフィルムをF
PCの所定の位置に合わせる位置合わせはほとんど手作
業に近く、作業性及び位置精度が非常に悪く、またコス
トもかかるものであった。
In addition, when a coverlay film is bonded to an FPC using a conventional adhesive, holes or windows are formed in the coverlay film before bonding, for example, in a joint portion between a terminal portion and a component of a circuit. It had to be processed. However, not only is it difficult to make holes in thin coverlay films, but also
Alignment to a predetermined position of the PC is almost a manual operation, and the workability and positional accuracy are very poor, and the cost is high.

【0005】これらの作業性・空けた穴の位置精度を改
善するために、感光性ドライフィルムレジストの検討が
なされてきている。検討されているドライフィルムレジ
ストにより、確かに作業性・穴の位置精度は向上した
が、アクリル系の樹脂を用いたものであるため、耐熱温
度・フィルムの脆性に問題があり、改善が求められてい
る。
[0005] In order to improve the workability and the positional accuracy of the formed holes, photosensitive dry film resists have been studied. Although the workability and hole positioning accuracy were certainly improved by the dry film resist being studied, the acrylic resin was used, so there was a problem with the heat resistance and the brittleness of the film. ing.

【0006】そこで本発明者らはかかる実状に鑑み、上
記従来の問題点を解決し、充分な機械強度を有しつつ、
耐熱性に優れ、更に加工性、接着性、特には低吸湿性に
優れた感光性組成物からなるカバーレイフィルムを提供
することを目的に鋭意研究を重ねた結果、本発明に至っ
たのである。
[0006] In view of this situation, the present inventors have solved the above-mentioned conventional problems, and have sufficient mechanical strength.
Excellent heat resistance, further processability, adhesiveness, especially, a result of intensive research aimed at providing a coverlay film made of a photosensitive composition excellent in low moisture absorption, the present invention was reached. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の第1は、少なく
とも、可溶性ポリイミド,炭素ー炭素二重結合を2以上
有する化合物を必須成分とする、組成物を、本発明の第
2は、少なくとも、A.可溶性ポリイミド:100重量
部,B.アクリロイル基またはメタクリロイル基、ビニ
ル基、アリル基から選択される有機基を2以上含む化合
物:1〜150重量部を必須成分とする、組成物を、本
発明の第3は、前記可溶性ポリイミドが、芳香環を1〜
3個有する酸二無水物、または脂環式の酸二無水物を用
いて得られる、組成物を、本発明の第4は、前記可溶性
ポリイミドが、芳香環を1〜6個有するジアミン、また
はシロキサン結合を有するジアミンを、全ジアミンに対
し5〜100モル%用いて得られる、組成物を、本発明
の第5は、前記可溶性ポリイミドが、化5
The first aspect of the present invention is to provide a composition comprising at least a soluble polyimide and a compound having two or more carbon-carbon double bonds as essential components. A. Soluble polyimide: 100 parts by weight, B.I. An acryloyl group or a methacryloyl group, a vinyl group, a compound containing two or more organic groups selected from an allyl group: a composition having 1 to 150 parts by weight as an essential component, the third of the present invention is the soluble polyimide, 1 to aromatic ring
The composition obtained by using an acid dianhydride having three or an alicyclic acid dianhydride, a fourth composition of the present invention, wherein the soluble polyimide is a diamine having 1 to 6 aromatic rings, or According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a composition obtained by using a diamine having a siloxane bond in an amount of 5 to 100 mol% based on all diamines,

【化5】 (式中、R1は、−,−CO−,−O−,−C(CF3
2−,−C(CH32−を、R2は、2価の有機基を表
す。)から選ばれる酸二無水物を、全酸二無水物に対し
10〜100モル%用いて得られる、組成物を、本発明
の第6は、前記可溶性ポリイミドが、化6
Embedded image (Wherein, R 1 represents —, —CO—, —O—, —C (CF 3 )
2 -, - C (CH 3 ) 2 - a, R 2 represents a divalent organic group. The present invention provides a composition obtained by using an acid dianhydride selected from the above) in an amount of 10 to 100 mol% based on the total acid dianhydride.

【化6】 (式中、R3は、−,−CO−,−O−,−C(CF3
2−,−C(CH32−,−COO−を、R4は、水素,
ハロゲン,メトキシ基,C1〜C5のアルキル基を、m
は0,1,2,3を、nは、0,1,2,3,4を示
す。)から選ばれるジアミンを、全ジアミン中、10〜
100モル%用いて得られる、組成物を、本発明の第7
は、前記可溶性ポリイミドが、一般式(1)化7
Embedded image (Wherein, R 3 is —, —CO—, —O—, —C (CF 3 )
2 -, - C (CH 3 ) 2 -, - COO- a, R 4 is hydrogen,
A halogen, a methoxy group, a C1-C5 alkyl group
Represents 0, 1, 2, 3 and n represents 0, 1, 2, 3, 4. ) Is selected from 10 to 10
The composition obtained by using 100 mol% is the seventh composition of the present invention.
Is a compound represented by the general formula (1):

【化7】 (但し、式中R5は4価の有機基、R7は2価の有機基、
6は化8
Embedded image (Where R 5 is a tetravalent organic group, R 7 is a divalent organic group,
R 6 is

【化8】 (式中R8は、エポキシ基、炭素ー炭素三重結合、また
は炭素ー炭素二重結合のいずれかを有する、1価の有機
基である。)から選択される1〜4の有機基を含む価の
有機基、mは1以上の整数、nは0以上の整数。)で表
される、組成物を、本発明の第8は、前記組成物が、B
ステージ状態のTgが−20℃〜150℃、および硬化
後のTgが70℃〜300℃であり、かつ、前記可溶性
ポリイミドが、Tgが100℃〜300℃であり、硬化
後の熱膨張係数が20ppm〜500ppmである、組
成物を、本発明の第9は、前記の組成物を用いる、カバ
ーレイフィルムを、本発明の第10は,A.B.成分に
加え、さらに、C.光反応開始剤または増感剤を必須成
分とする感光性組成物を、本発明の第11は、請求項1
0記載の感光性組成物を用いるカバーレイフィルムを、
本発明の第12は、さらにD.分子内に1個以上のエポ
キシ環を有するエポキシ樹脂を、可塑性ポリイミド10
0重量部に対し、1重量部〜100重量部を必須成分と
する、感光性組成物を、本発明の第13は、請求項11
記載の感光性組成物を用いるカバーレイフィルムを、そ
れぞれ内容とするものである。
Embedded image (In the formula, R 8 is a monovalent organic group having any of an epoxy group, a carbon-carbon triple bond, or a carbon-carbon double bond.) A valent organic group, m is an integer of 1 or more, and n is an integer of 0 or more. In the eighth aspect of the present invention, a composition represented by the formula:
The Tg in the stage state is −20 ° C. to 150 ° C., and the Tg after curing is 70 ° C. to 300 ° C., and the soluble polyimide has a Tg of 100 ° C. to 300 ° C. and a thermal expansion coefficient after curing. A ninth aspect of the present invention relates to a coverlay film using the above composition, and a tenth aspect of the present invention relates to A.I. B. In addition to the components, C.I. The eleventh aspect of the present invention provides a photosensitive composition containing a photoreaction initiator or a sensitizer as an essential component.
A coverlay film using the photosensitive composition according to item 0,
The twelfth aspect of the present invention further relates to An epoxy resin having one or more epoxy rings in a molecule is prepared by using a plastic polyimide 10
A thirteenth aspect of the present invention relates to a photosensitive composition containing 1 to 100 parts by weight as an essential component with respect to 0 parts by weight.
A cover lay film using the photosensitive composition described in the above description.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明は、少なくとも、可溶性ポ
リイミドおよび炭素ー炭素二重結合を2以上有する化合
物から生成される組成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a composition formed from at least a soluble polyimide and a compound having two or more carbon-carbon double bonds.

【0009】なお、本発明の用語、「可溶性ポリイミ
ド」とは、NMP等のアミド系、クレゾール等のフェノ
ール系、THF/ジオキソラン等のエーテル系、塩化メ
チレン等の塩素系溶媒等、一般に用いられる有機溶媒の
いずれかに室温で1重量%以上溶解が可能であるポリイ
ミドをいう。以下、詳しく本発明の内容について説明す
る。
The term "soluble polyimide" used in the present invention includes commonly used organic solvents such as amides such as NMP, phenols such as cresol, ethers such as THF / dioxolan, and chlorine solvents such as methylene chloride. A polyimide that can be dissolved in any of solvents at room temperature in an amount of 1% by weight or more. Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail.

【0010】本発明の組成物に用いられる可溶性ポリイ
ミドは、有機溶媒中で上記酸二無水物と上記ジアミンと
を酸二無水物全モル量、およびジアミン全モル量は、実
質的に等モルであるように調整し、反応させてポリイミ
ドの前駆体であるポリアミド酸を生成する。その後、ポ
リアミド酸をイミド化して得られる。
The soluble polyimide used in the composition of the present invention is obtained by mixing the above-mentioned acid dianhydride and the above-mentioned diamine in an organic solvent in a total molar amount of the acid dianhydride and a total molar amount of the diamine in substantially equimolar amounts. It is adjusted as such and reacted to produce polyamic acid, a precursor of polyimide. Thereafter, the polyamic acid is obtained by imidization.

【0011】本発明のポリイミドの有機溶媒への可溶特
性は、ポリイミドの構造に依存する。可溶性を付与でき
る構造を生成できる範囲内において、酸二無水物成分及
びジアミン成分を選択し得るが、これらの種類およびそ
れぞれのモル比を調整して種々のポリアミド酸共重合体
を任意に得ることができる。
The solubility of the polyimide of the present invention in an organic solvent depends on the structure of the polyimide. The acid dianhydride component and the diamine component can be selected within a range in which a structure capable of imparting solubility can be generated.However, it is possible to arbitrarily obtain various polyamic acid copolymers by adjusting these types and their molar ratios. Can be.

【0012】上記可溶性ポリイミドに、水酸基及び/ま
たはカルボキシ基を導入すると、エポキシ基等の官能基
を有する化合物と反応させることができる。従って、本
発明の組成物に配合される後述のB成分などと反応が可
能である。
When a hydroxyl group and / or a carboxy group is introduced into the above-mentioned soluble polyimide, it can be reacted with a compound having a functional group such as an epoxy group. Therefore, it is possible to react with the below-mentioned component B or the like blended in the composition of the present invention.

【0013】本発明に用いられる酸二無水物は、酸二無
水物であれば特に限定されない。例えば、ブタンテトラ
カルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテ
トラカルボン酸二無水物、1,3−ジメチル−1,2,
3,4−シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,3,
4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、
3,5,6−トリカルボキシノルボナン−2−酢酸二無
水物、2,3,4,5−テトラヒドロフランテトラカル
ボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ
フラル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−
ジカルボン酸二無水物、ビシクロ[2,2,2]−オク
ト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無
水物等の脂肪族または脂環式テトラカルボン酸二無水
物;ピロメリット酸二無水物、3,3‘,4,4’−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3‘,
4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水
物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二
無水物、3,3‘,4,4’−ビフェニルエーテルテト
ラカルボン酸二無水物、3,3‘,4,4’−ジメチル
ジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,
3‘,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン
酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸
二無水物、4,4‘−ビス(3,4−ジカルボキシフェ
ノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4‘−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスル
ホン二無水物、4,4‘−ビス(3,4−ジカルボキシ
フェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,
4,4‘−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二
無水物、3,3’,4,4‘−ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオ
キサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニ
ルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフ
ェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル
酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、ビス
(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタ
ン二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物;1,
3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−2,5−ジオ
キソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]フラン−
1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサ
ヒドロ−5−メチル−5−(テトラヒドロ−2,5−ジ
オキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]フラン
−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘキ
サヒドロ−8−メチル−5−(テトラヒドロ−2,5−
ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]フラ
ン−1,3−ジオン、下記一般式 化9
The acid dianhydride used in the present invention is not particularly limited as long as it is an acid dianhydride. For example, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,3-dimethyl-1,2,2,
3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,3
4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 2,
3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride,
3,5,6-tricarboxynorbonane-2-acetic acid dianhydride, 2,3,4,5-tetrahydrofurantetracarboxylic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofural) -3-methyl -3-cyclohexene-1,2-
Aliphatic or alicyclic tetracarboxylic dianhydrides such as dicarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2] -oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride; Pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′,
4,4′-biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ , 4,4'-biphenylethertetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride,
3 ', 4,4'-tetraphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl Sulfide dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfone dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ',
4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene- Bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenyl ether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) ) Aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as -4,4'-diphenylmethane dianhydride;
3,3a, 4,5,9b-Hexahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan-
1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5-methyl-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan- 1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-8-methyl-5- (tetrahydro-2,5-
Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione;

【0014】[0014]

【化9】 Embedded image

【0015】(式中R9は芳香環を有する2価の有機基
を示し、R10およびR11はそれぞれ水素原子または
アルキル基を示す。)下記一般式化10
(In the formula, R9 represents a divalent organic group having an aromatic ring, and R10 and R11 each represent a hydrogen atom or an alkyl group.)

【0016】[0016]

【化10】 Embedded image

【0017】(式中R12は芳香環を有する2価の有機基
を示し、R13およびR14はそれぞれ水素原子またはアル
キル基を示す。)で表わされる化合物等の芳香環を有す
る脂肪族テトラカルボン酸二無水物等を挙げることがで
きる。これらのテトラカルボン酸二無水物は、単独でま
たは2種以上組み合わせて用いることができる。これら
の中で、可溶性ポリイミドを得る観点から、芳香環を1
〜3個有する酸二無水物または脂環式の酸二無水物が好
ましい。
Wherein R 12 represents a divalent organic group having an aromatic ring, and R 13 and R 14 each represent a hydrogen atom or an alkyl group. Carboxylic dianhydrides and the like can be mentioned. These tetracarboxylic dianhydrides can be used alone or in combination of two or more. Among these, from the viewpoint of obtaining a soluble polyimide, one aromatic ring is used.
Acid dianhydrides having from 3 to 3 or alicyclic acid dianhydrides are preferred.

【0018】また、化11Further, Chemical formula 11

【0019】[0019]

【化11】 Embedded image

【0020】(式中、R1は、−,−CO−,−O−,
−C(CF32−,−C(CH32−を、R2は、2価
の有機基を表す。)から選ばれる酸二無水物を含むこと
が好ましく、特に、有機溶媒への溶解性の高いポリイミ
ドを得るためには、2,2‘−ヘキサフルオロプロピリ
デンジフタル酸二無水物、下記一般式 化12
(Wherein R 1 is-, -CO-, -O-,
—C (CF 3 ) 2 — and —C (CH 3 ) 2 —, and R 2 represents a divalent organic group. ) Is preferred. Particularly, in order to obtain a polyimide having high solubility in an organic solvent, 2,2′-hexafluoropropylidene diphthalic acid dianhydride is preferably used. Formula 12

【0021】[0021]

【化12】 Embedded image

【0022】(式中、R15は、2価の有機基を表し、特
に化13
(Wherein R 15 represents a divalent organic group;

【0023】[0023]

【化13】 Embedded image

【0024】(式中R16は、水素・ハロゲン・メトキシ
・C1〜C10のアルキル基を示す。)で表されるもの
が好ましい。)で表されるエステル酸二無水物を一部、
好ましくは、全酸二無水物に対し10〜100モル%用
いることが望ましい。
(Wherein R 16 represents a hydrogen / halogen / methoxy / C1-C10 alkyl group). ) Represents a part of the ester dianhydride,
Preferably, it is desirable to use 10 to 100 mol% based on the total acid dianhydride.

【0025】可溶性ポリイミドに用いられるジアミン
は、芳香環を1〜6個有するジアミン、またはシロキサ
ン結合を有するジアミンを、全ジアミンに対し5〜10
0モル%用いて、可溶性ポリイミドを生成することが好
ましい。
The diamine used for the soluble polyimide may be a diamine having 1 to 6 aromatic rings or a diamine having a siloxane bond in an amount of 5 to 10 relative to the total diamine.
It is preferable to use 0 mol% to produce a soluble polyimide.

【0026】特に、化14In particular,

【0027】[0027]

【化14】 Embedded image

【0028】(式中、R3は、−,−CO−,−O−,
−C(CF32−,−C(CH32−,−COO−を、
4は、水素,ハロゲン,メトキシ基,C1〜C5のア
ルキル基を、mは0,1,2,3を、nは、0,1,
2,3,4を示す。)から選ばれるジアミンを、全ジア
ミン中、10〜100モル%用いることが好ましい。
(Wherein R 3 represents —, —CO—, —O—,
—C (CF 3 ) 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —COO—
R 4 is hydrogen, halogen, a methoxy group, a C1 to C5 alkyl group, m is 0, 1, 2, 3 and n is 0, 1,
2, 3, and 4 are shown. ) Is preferably used in an amount of 10 to 100 mol% based on the total diamine.

【0029】また、本発明の組成物の構成成分である可
溶性ポリイミドは、水酸基及び/またはカルボキシ基が
側鎖に導入されていてもよい。上記可溶性ポリイミド
に、水酸基及び/またはカルボキシ基を導入すると、エ
ポキシ基等の官能基を有する化合物と反応させることが
できる。従って、本発明の組成物に配合される後述のB
成分などとの反応が可能である。
The soluble polyimide which is a component of the composition of the present invention may have a hydroxyl group and / or a carboxy group introduced into a side chain. When a hydroxyl group and / or a carboxy group is introduced into the soluble polyimide, it can be reacted with a compound having a functional group such as an epoxy group. Therefore, the below-mentioned B compounded in the composition of the present invention
Reaction with components and the like is possible.

【0030】ここで、この目的のために、水酸基及び/
またはカルボキシ基を有するジアミンと適当な酸二無水
物とを反応させることにより、可溶性ポリイミドに水酸
基及び/またはカルボキシ基を導入することができる。
Here, for this purpose, hydroxyl groups and / or
Alternatively, a hydroxyl group and / or a carboxy group can be introduced into a soluble polyimide by reacting a diamine having a carboxy group with a suitable acid dianhydride.

【0031】このような、ジアミンとしては、例えば、
2,4−ジアミノフェノール等のジアミノフェノール
類、3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフ
ェニル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシ
ビフェニル、4,4‘−ジアミノ−2,2’−ジヒドロ
キシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−2,2’,5,
5‘−テトラヒドロキシビフェニル等のヒドロキシビフ
ェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジヒ
ドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,
3‘−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジ
アミノ−2,2‘−ジハイドロキシジフェニルメタン、
2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]プ
ロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−ヒドロキシフ
ェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒド
ロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−
ジアミノ−2,2‘,5,5’−テトラヒドロキシジフ
ェニルメタン等のヒドロキシジフェニルメタン等のヒド
ロキシジフェニルアルカン類、3,3‘−ジアミノ−
4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4
‘−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエー
テル、4,4‘−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジ
フェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−2,2’,
5,5‘−テトラヒドロキシジフェニルエーテル等のヒ
ドロキシジフェニルエーテル化合物、3,3’−ジアミ
ノ−4,4‘−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、
4,4’−ジアミノ−3,3‘−ジヒドロキシジフェニ
ルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2‘−ジヒド
ロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−
2,2‘,5,5’−テトラヒドロキシジフェニルスル
フォン等のジフェニルスルフォン化合物、2,2−ビス
[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェ
ニル]プロパン等のビス[(ヒドロキシフェニル)フェ
ニル]アルカン化合物類、4,4‘−ビス(4−アミノ
−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒド
キシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス
[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェ
ニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキシフェノキシ)フ
ェニル]スルフォン化合物、3,5−ジアミノ安息香酸
等のジアミノ安息香酸類、3,3‘−ジアミノ−4,
4’−ジカルボキシビフェニル、4,4‘−ジアミノ−
3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4‘−ジアミ
ノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、4,4‘−ジ
アミノ−2,2’,5,5‘−テトラカルボキシビフェ
ニル等のカルボキシビフェニル化合物類、3,3’−ジ
アミノ−4,4‘−ジカルボキシジフェニルメタン、
4,4’−ジアミノ−3,3‘−ジハイドロキシジフェ
ニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2‘−ジハイド
ロキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−
4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−
アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−
ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフル
オロプロパン、4,4’−ジアミノ−2,2‘,5,
5’−テトラカルボキシジフェニルメタン等のカルボキ
シジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン
類、3,3‘−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフ
ェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジカ
ルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−
2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4
‘−ジアミノ−2,2’,5,5‘−テトラカルボキシ
ジフェニルエーテル等のカルボキシジフェニルエーテル
化合物、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシ
ジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3
‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジ
アミノ−2,2‘−ジカルボキシジフェニルスルフォ
ン、4,4’−ジアミノ−2,2‘,5,5’−テトラ
カルボキシジフェニルスルフォン等のジフェニルスルフ
ォン化合物、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−カ
ルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス
[(カルボキシフェニル)フェニル]アルカン化合物
類、4,4‘−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノ
キシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフ
ェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3
−カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビ
ス[(カルボキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合
物、をあげることができる。
As such a diamine, for example,
Diaminophenols such as 2,4-diaminophenol, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2 , 2'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2 ', 5
Hydroxybiphenyl compounds such as 5'-tetrahydroxybiphenyl, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,
3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane,
2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexa Fluoropropane, 4,4'-
Hydroxydiphenylalkanes such as hydroxydiphenylmethane such as diamino-2,2 ', 5,5'-tetrahydroxydiphenylmethane;3,3'-diamino-
4,4'-dihydroxydiphenyl ether, 4,4
'-Diamino-3,3'-dihydroxydiphenyl ether, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenyl ether, 4,4'-diamino-2,2',
Hydroxy diphenyl ether compounds such as 5,5'-tetrahydroxy diphenyl ether, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxy diphenyl sulfone,
4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenylsulfone, 4,4'-diamino-
Diphenylsulfone compounds such as 2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxydiphenylsulfone, 2,2-bis
Bis [(hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] propane and 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl; Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds, 2,2-bis
Bis [(hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone; diaminobenzoic acids such as 3,5-diaminobenzoic acid; and 3,3′-diamino-4 ,
4'-dicarboxybiphenyl, 4,4'-diamino-
Carboxybiphenyl compounds such as 3,3'-dicarboxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetracarboxybiphenyl , 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenylmethane,
4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-
4-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-
Amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-
Bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 4,4'-diamino-2,2 ', 5
Carboxydiphenylalkanes such as carboxydiphenylmethane such as 5'-tetracarboxydiphenylmethane, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydiphenylether, 4,4'-diamino-3,3'-dicarboxydiphenylether, , 4'-diamino-
2,2′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4
Carboxydiphenyl ether compounds such as '-diamino-2,2', 5,5'-tetracarboxydiphenyl ether, 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxydiphenylsulfone, and 4,4'-diamino-3,3
Diphenylsulfone compounds such as '-dicarboxydiphenylsulfone, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxydiphenylsulfone, and 4,4'-diamino-2,2', 5,5'-tetracarboxydiphenylsulfone Bis [(carboxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-carboxyphenoxy) phenyl] propane, and 4,4'-bis (4-amino-3-hydrido) Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as xyphenoxy) biphenyl; 2,2-bis [4- (4-amino-3);
Bis [(carboxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as -carboxyphenoxy) phenyl] sulfone;

【0032】可溶性ポリイミドの製造に用いられる他の
ジアミンとしては、特に限定されないが、例えば、p−
フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4
‘−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジ
フェニルエタン、4,4‘−ジアミノジフェニルエーテ
ル、4,4‘−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4
‘−ジアミノジフェニルスルフォン、1,5−ジアミノ
ナフタレン、3,3−ジメチル−4,4’−ジアミノビ
フェニル、5−アミノ−1−(4‘−アミノフェニル)
−1,3,3−トリメチルインダン、6−アミノ−1−
(4‘−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルイ
ンダン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,5−
ジアミノ−3‘−トリフルオロメチルベンズアニリド、
3,5−ジアミノ−4‘−トリフルオロメチルベンズア
ニリド、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、2,
7−ジアミノフルオレン、2,2−ビス(4−アミノフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4‘−メチレン
−ビス(2−クロロアニリン)、2,2’,5,5‘−
テトラクロロ−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2
‘−ジクロロ−4,4’−ジアミノ−5,5‘−ジメト
キシビフェニル、3,3‘−ジメトキシ−4,4’−ジ
アミノビフェニル、4,4‘−ジアミノ−2,2’−ビ
ス(トリフルオロメチル)ビフェニル、2,2−ビス
[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、
2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(4−アミ
ノフェノキシ)ベンゼン、4,4‘−ビス(4−アミノ
フェノキシ)−ビフェニル、1,3‘−ビス(4−アミ
ノフェノキシ)ベンゼン、9,9−ビス(4−アミノフ
ェニル)フルオレン、4,4’−(p−フェニレンイソ
プロピリデン)ビスアニリン、4,4‘−(m−フェニ
レンイソプロピリデン)ビスアニリン、2,2’−ビス
[4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキ
シ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ビ
ス[4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチル)フェ
ノキシ]−オクタフルオロビフェニル等の芳香族ジアミ
ン;ジアミノテトラフェニルチオフェン等の芳香環に結
合された2個のアミノ基と当該アミノ基の窒素原子以外
のヘテロ原子を有する芳香族ジアミン;1,1−メタキ
シリレンジアミン、1,3−プロパンジアミン、テトラ
メチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、オクタメ
チレンジアミン、ノナメチレンジアミン、4,4−ジア
ミノヘプタメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロ
ヘキサン、イソフォロンジアミン、テトラヒドロジシク
ロペンタジエニレンジアミン、ヘキサヒドロ−4,7−
メタノインダニレンジメチレンジアミン、トリシクロ
[6,2,1,02.7]−ウンデシレンジメチルジア
ミン、4,4‘−メチレンビス(シクロヘキシルアミ
ン)等の脂肪族ジアミンおよび脂環式ジアミン;化15
The other diamine used in the production of the soluble polyimide is not particularly limited.
Phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4
'-Diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 4,4'-diaminodiphenylether, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, 4,4
'-Diaminodiphenylsulfone, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 5-amino-1- (4'-aminophenyl)
-1,3,3-trimethylindane, 6-amino-1-
(4'-aminophenyl) -1,3,3-trimethylindane, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,5-
Diamino-3′-trifluoromethylbenzanilide,
3,5-diamino-4′-trifluoromethylbenzanilide, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 2,
7-diaminofluorene, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 4,4′-methylene-bis (2-chloroaniline), 2,2 ′, 5,5′-
Tetrachloro-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2
'-Dichloro-4,4'-diamino-5,5'-dimethoxybiphenyl, 3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoro Methyl) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane,
2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) -biphenyl, 3'-bis (4-aminophenoxy) benzene, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4,4 '-(p-phenyleneisopropylidene) bisaniline, 4,4'-(m-phenyleneisopropylidene ) Bisaniline, 2,2′-bis [4- (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 4,4′-bis [4- (4-amino-2-trifluoromethyl) Phenoxy] -aromatic diamine such as octafluorobiphenyl; two amino groups bonded to an aromatic ring such as diaminotetraphenylthiophene Aromatic diamine having a hetero atom other than the nitrogen atom of the amino group; 1,1-methaxylylenediamine, 1,3-propanediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, 4,4 -Diaminoheptamethylenediamine, 1,4-diaminocyclohexane, isophoronediamine, tetrahydrodicyclopentadienylenediamine, hexahydro-4,7-
Aliphatic diamines and alicyclic diamines such as methanoindanylene dimethylene diamine, tricyclo [6,2,1,02.7] -undecylene dimethyl diamine, and 4,4′-methylene bis (cyclohexylamine);

【0033】[0033]

【化15】 Embedded image

【0034】で表わされるモノ置換フェニレンジアミン
類(式中R17は、−O−,−COO−,−OCO−,−
CONH−及び−CO−から選ばれる2価の有機基を示
し、R18はステロイド骨格を有する1価の有機基を示
す。);下記化学式 化16
Monosubstituted phenylenediamines represented by the formula (wherein R 17 is -O-, -COO-, -OCO-,-
CONH- and represents a divalent organic group selected from -CO-, R 18 is a monovalent organic group having a steroid skeleton. );

【0035】[0035]

【化16】 Embedded image

【0036】(R19は炭素数1〜12の炭化水素基を示
し、yは1〜3の整数であり、zは1〜20の整数であ
る。)で表わされる化合物等を挙げることができる。こ
れらのジアミン化合物は単独でまたは2種以上組み合わ
せて用いることができる。
(R 19 is a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, y is an integer of 1 to 3, and z is an integer of 1 to 20). . These diamine compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0037】ポリアミド酸の生成反応に使用される有機
極性溶媒としては、溶媒は、ポリアミド酸を溶解するも
のであれば特に限定されない。ポリアミド酸を合成し、
その後、加熱減圧して、溶媒の除去とイミド化を同時に
行うので、ポリアミド酸を溶解し、なるべく沸点の低い
ものを選択することが、工程上有利である。
The organic polar solvent used in the polyamic acid formation reaction is not particularly limited as long as it can dissolve the polyamic acid. Synthesize polyamic acid,
Thereafter, the solvent is removed and the imidization is carried out simultaneously by reducing the pressure by heating, so that it is advantageous in terms of the process to dissolve the polyamic acid and select one having a boiling point as low as possible.

【0038】例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチル
スルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメ
チルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなど
のホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド
系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2
−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o
−、m−、またはp−クレゾール、キシレノール、ハロ
ゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶
媒、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジオキソラン等
のエーテル系溶媒、メタノール、エタノール、ブタノー
ル等のアルコール系溶媒、ブチルセロソルブ等のセロソ
ルブ系あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチ
ロラクトンなどをあげることができ、これらを単独また
は混合物として用いるのが望ましいが、更にはキシレ
ン、トルエンのような芳香族炭化水素も使用可能であ
る。
For example, sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide and the like. Acetamide solvent, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2
-A pyrrolidone solvent such as pyrrolidone, phenol, o
-, M- or p-cresol, xylenol, halogenated phenol, phenolic solvents such as catechol, ether solvents such as tetrahydrofuran, dioxane, dioxolane, alcoholic solvents such as methanol, ethanol, butanol, and cellosolves such as butyl cellosolve Alternatively, hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone and the like can be mentioned, and it is desirable to use these alone or as a mixture, but furthermore, aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can be used.

【0039】可溶性ポリイミドの製造方法について、以
下具体的に述べる。可溶性ポリイミドの前駆体であるポ
リアミド酸は、有機溶剤中、上記ジアミンと酸二無水物
と反応させることにより得られる。アルゴン、窒素等の
不活性雰囲気中において、ジアミンを有機溶媒中に溶解
あるいは、スラリー状に拡散させ、酸二無水物を有機溶
媒に溶解、スラリー状に拡散させた状態、あるいは固体
の状態で添加する。
The method for producing the soluble polyimide will be specifically described below. Polyamic acid, which is a precursor of the soluble polyimide, is obtained by reacting the diamine with an acid dianhydride in an organic solvent. In an inert atmosphere such as argon or nitrogen, diamine is dissolved in an organic solvent or dispersed in a slurry state, and acid dianhydride is dissolved in an organic solvent and added in a slurry state or a solid state. I do.

【0040】添加方法は、例えば、ジアミン成分−1及
びジアミン成分−2を有機極性溶媒中に先に加えてお
き、ついで酸二無水物成分を加え、ポリアミド酸重合体
の溶液としてもよい。また、ジアミン成分−1を有機極
性溶媒中に先に加えておき、酸二無水物成分を加えその
あとジアミン成分−2を加え、ポリアミド酸重合体の溶
液としてもよい。
As an addition method, for example, a diamine component-1 and a diamine component-2 may be added to an organic polar solvent first, and then an acid dianhydride component may be added to form a solution of a polyamic acid polymer. Alternatively, the diamine component-1 may be added first to the organic polar solvent, the acid dianhydride component may be added, and then the diamine component-2 may be added to form a polyamic acid polymer solution.

【0041】ジアミン成分−1を有機極性溶媒中に先に
加えておき、ついで酸二無水物成分−1を加え、ついで
酸二無水物−2を加え、ポリアミド酸重合体の溶液とし
てもよい。
The diamine component-1 may be added first to the organic polar solvent, then the acid dianhydride component-1 may be added, and then the acid dianhydride-2 may be added to form a polyamic acid polymer solution.

【0042】また、ジアミン成分−1とジアミン成分−
2を有機極性溶媒中に先に加えておき、酸二無水物成分
−1を加え、ついで酸二無水物−2を加え、ポリアミド
酸重合体の溶液としてもよい。
Further, diamine component-1 and diamine component-
2 may be previously added to the organic polar solvent, acid dianhydride component-1 may be added, and then acid dianhydride-2 may be added to form a solution of a polyamic acid polymer.

【0043】上記の添加方法を逆にし、酸二無水物を先
に加え、ジアミン成分を後に加えるようにしても実質上
は同じである。
The same is true even if the above addition method is reversed so that the acid dianhydride is added first and the diamine component is added later.

【0044】この時の反応温度は、−20℃〜90℃が
望ましい。反応時間は30分から24時間程度である。
The reaction temperature at this time is preferably from -20 ° C to 90 ° C. The reaction time is about 30 minutes to 24 hours.

【0045】ポリアミド酸の平均分子量は5,000〜
1,000,000であることが望ましい。平均分子量
が5,000未満では、できあがったポリイミド組成物
の分子量も低くなり、そのポリイミド組成物をそのまま
用いても樹脂が脆くなる傾向にある。一方、1,00
0,000を越えるとポリアミド酸ワニスの粘度が高く
なりすぎ取扱いが難しくなって好ましくない。
The polyamic acid has an average molecular weight of 5,000 to
Desirably, it is 1,000,000. When the average molecular weight is less than 5,000, the molecular weight of the completed polyimide composition also becomes low, and the resin tends to become brittle even when the polyimide composition is used as it is. On the other hand,
If it exceeds 000, the viscosity of the polyamic acid varnish becomes too high and handling becomes difficult, which is not preferable.

【0046】次に、ポリアミド酸をイミド化する。本発
明においては、ポリアミド酸溶液を減圧下で加熱乾燥し
て直接イミド化する方法を用いる。
Next, the polyamic acid is imidized. In the present invention, a method of heating and drying the polyamic acid solution under reduced pressure to directly imidize the solution is used.

【0047】ここで、ポリアミド酸が、イミド化する際
に生成した水は、ポリアミド酸を容易に加水分解し分子
量の低下を引き起こす原因となる。従来、この水を除去
しつつイミド化する方法として、(1)トルエン・キシ
レン等の共沸溶媒を加え共沸により除去する方法、
(2)無水酢酸等の脂肪族酸二無水物とトリエチルアミ
ン・ピリジン・ピコリン・イソキノリン等の3級アミン
を加える化学的イミド化法がある。しかし、(1)の共
沸による水の除去は、溶液系に水が存在し、水による加
水分解を、避けることはできない。(2)の化学的イミ
ド化法は、生成する水を脂肪族酸二無水物が、脂肪族酸
に変化することで化学的に取り除くため、加水分解とい
う点では、(1)の系に比べ有利であるが、系内に脂肪
族酸二無水物・3級アミンが残存するため、これらを取
り除く工程が必要となる。
Here, water generated when the polyamic acid is imidized easily hydrolyzes the polyamic acid and causes a decrease in molecular weight. Conventionally, as a method of imidation while removing water, (1) a method of adding an azeotropic solvent such as toluene / xylene and removing the water by azeotropic distillation,
(2) There is a chemical imidation method in which an aliphatic dianhydride such as acetic anhydride and a tertiary amine such as triethylamine, pyridine, picoline and isoquinoline are added. However, in the removal of water by azeotropic distillation in (1), water is present in the solution system and hydrolysis by water cannot be avoided. In the chemical imidization method (2), the generated water is chemically removed by converting the aliphatic acid dianhydride into an aliphatic acid. Although advantageous, the aliphatic acid dianhydride / tertiary amine remains in the system, so that a step of removing these is required.

【0048】本発明のイミド化の方法は、イミド化によ
り生成する水を加熱・減圧し、積極的に系外に除去する
ことにより加水分解を抑え、分子量低下を避けることが
できる。また、用いた原料の酸二無水物中に、加水分解
により開環したテトラカルボン酸あるいは、酸二無水物
の片方が加水開環したもの等が混入し、ポリアミド酸の
重合反応を停止した場合、イミド化時の減圧・加熱によ
り、開環した酸二無水物が再び、閉環して酸二無水物と
なり、イミド化中に、系内に残っているアミンと反応
し、分子量の向上が期待できる。
In the imidation method of the present invention, hydrolysis generated by heating and depressurizing water produced by the imidization and actively removing the water from the system can be suppressed, and a decrease in molecular weight can be avoided. In addition, when the acid dianhydride of the raw material used is mixed with, for example, a tetracarboxylic acid which has been ring-opened by hydrolysis or a substance in which one of the acid dianhydrides has been hydrolyzed, and the polymerization reaction of the polyamic acid is stopped. By decompression and heating during imidization, the ring-opened acid dianhydride is closed again to form an acid dianhydride, and reacts with the amine remaining in the system during imidization, and an improvement in molecular weight is expected. it can.

【0049】以下、ポリアミド酸溶液を減圧下で加熱乾
燥して直接イミド化する本発明の方法について説明す
る。
Hereinafter, the method of the present invention in which a polyamic acid solution is heated and dried under reduced pressure to directly imidize the polyamic acid solution will be described.

【0050】基本的には、減圧下加熱乾燥する方法であ
るが、具体的には、バッチ式の場合は、真空オーブンに
より、連続式の場合は、例えば減圧装置の付随した2軸
あるいは3軸押出し機により実施できる。これらの方式
は、生産量により選択され得る。なお、ここでいう減圧
装置の付随した2軸あるいは3軸押出し機とは、熱可塑
樹脂を加熱溶融押出しを行う、一般的な溶融押出し機に
減圧して溶媒を除去する装置を付随させたものである。
2軸あるいは3軸の押出し機によりポリアミド酸溶液
が、押出し機により混練されながら溶媒とイミド化時に
生成した水を除去され、所望の可溶性ポリイミドが得ら
れる。
Basically, it is a method of drying by heating under reduced pressure. Specifically, in the case of a batch type, a vacuum oven is used, and in the case of a continuous type, for example, a 2-axis or 3-axis with a decompression device is attached. It can be performed by an extruder. These methods can be selected according to the production amount. In addition, the twin-screw or three-screw extruder with the decompression device referred to here is a general melt extruder that heat-melts and extrudes a thermoplastic resin, and is accompanied by a device that removes the solvent by decompressing a general melt extruder. It is.
The polyamic acid solution is kneaded by the extruder with a biaxial or triaxial extruder to remove the solvent and water generated at the time of imidization while kneading, thereby obtaining a desired soluble polyimide.

【0051】イミド化の加熱条件は、80℃〜400℃
である。イミド化が効率よく行われ、しかも水が効率よ
く除去される100℃以上、望ましくは120℃以上で
ある。最高温度は、用いるポリイミドの熱分解温度以下
に設定することが望ましく、通常、250〜350℃程
度でイミド化はほぼ完了するため、最高温度を250〜
350℃程度に設定することもできる。
The heating conditions for imidization are from 80 ° C. to 400 ° C.
It is. The temperature is 100 ° C. or higher, preferably 120 ° C. or higher, at which imidization is efficiently performed and water is efficiently removed. The maximum temperature is desirably set to a temperature equal to or lower than the thermal decomposition temperature of the polyimide used. Usually, the imidization is almost completed at about 250 to 350 ° C.
It can be set to about 350 ° C.

【0052】減圧する圧力の条件は、圧力が小さいほう
が好ましいが、上記加熱条件で、イミド化時に生成する
水が効率よく除去される圧力であればよい。具体的に
は、減圧加熱する圧力は91,000〜100Paであ
り、望ましくは、81,000〜100Pa、さらに望
ましくは、71,000〜1000Paである。
The pressure is preferably reduced as long as the pressure under which the water generated during imidization is efficiently removed under the above heating conditions. Specifically, the pressure for heating under reduced pressure is 91,000 to 100 Pa, preferably 81,000 to 100 Pa, and more preferably 71,000 to 1000 Pa.

【0053】なお、本発明の可溶性ポリイミドに各種の
有機添加剤、無機のフィラー類、あるいは各種の強化材
を複合することも可能である。
The soluble polyimide of the present invention can be compounded with various organic additives, inorganic fillers, or various reinforcing materials.

【0054】また、本発明の組成物は、可溶性ポリイミ
ドが、上記水酸基及び/またはカルボキシ基を導入した
可溶性ポリイミドである場合、この水酸基及び/または
カルボキシ基と反応し得る反応基、例えばエポキシ基を
有する化合物と反応させることにより、他の有用な有機
基を導入することが可能となる。例えば、分子内にエポ
キシ基と炭素―炭素二重結合を有する化合物、エポキシ
基を炭素―炭素三重結合、エポキシ基を2以上有する化
合物、アクリル酸若しくはメタアクリル酸またはこれら
のハロゲン化物を1種以上反応させて変性ポリイミドを
製造することができる。これらの炭素―炭素二重結合、
炭素―炭素三重結合、またはエポキシ基を可溶性ポリイ
ミドの側鎖に導入することにより、熱硬化特性、感光特
性等をポリイミドに付与することができる。
In the composition of the present invention, when the soluble polyimide is a soluble polyimide into which the above-mentioned hydroxyl group and / or carboxy group is introduced, a reactive group capable of reacting with the hydroxyl group and / or carboxy group, for example, an epoxy group is used. By reacting with a compound having the compound, it is possible to introduce another useful organic group. For example, a compound having an epoxy group and a carbon-carbon double bond in a molecule, a compound having an epoxy group having a carbon-carbon triple bond, two or more epoxy groups, acrylic acid or methacrylic acid, or one or more of these halides The modified polyimide can be produced by the reaction. These carbon-carbon double bonds,
By introducing a carbon-carbon triple bond or an epoxy group into the side chain of the soluble polyimide, the polyimide can be imparted with thermosetting properties, photosensitive properties, and the like.

【0055】すなわち、可溶性ポリイミドが、一般式
(1) 化17
That is, the soluble polyimide has the general formula (1)

【0056】[0056]

【化17】 Embedded image

【0057】(但し、式R5は4価の有機基、R7は2価
の有機基、R6は化18
(Where R 5 is a tetravalent organic group, R 7 is a divalent organic group, and R 6 is

【0058】[0058]

【化18】 Embedded image

【0059】(式中R8は、エポキシ基、炭素ー炭素三
重結合、または炭素ー炭素二重結合からなる群から選択
される1以上を有する、1価の有機基である。)から選
択される1〜4の有機基を含む価の有機基、mは1以上
の整数、nは0以上の整数。)で表される構造を有する
ことが好ましい。
(Wherein R 8 is a monovalent organic group having at least one selected from the group consisting of an epoxy group, a carbon-carbon triple bond, and a carbon-carbon double bond). A valent organic group containing 1 to 4 organic groups, m is an integer of 1 or more, and n is an integer of 0 or more. ) Is preferable.

【0060】具体的には、水酸基及び/またはカルボキ
シ基を導入した可溶性ポリイミドを有機溶媒に溶かし、
エポキシ基を2個以上有するエポキシ樹脂、またはエポ
キシ基と2重結合あるいはエポキシ基と3重結合を有す
る化合物、あるいはアクリル酸またはメタアクリル酸ま
たはこれらのハロゲン化物と混合し、可溶性ポリイミド
の水酸基またはカルボン酸基とエポキシ基とを反応させ
ることにより変性ポリイミドが得られる。
Specifically, a soluble polyimide having a hydroxyl group and / or a carboxy group introduced therein is dissolved in an organic solvent,
An epoxy resin having two or more epoxy groups, or a compound having an epoxy group and a double bond or an epoxy group and a triple bond, or a mixture of acrylic acid, methacrylic acid, or a halide thereof to form a hydroxyl group or a carboxylic acid group of a soluble polyimide. A modified polyimide is obtained by reacting an acid group with an epoxy group.

【0061】エポキシ基を2個以上有するエポキシ樹脂
は、エポキシ基を分子内に2個以上有していれば特に限
定されないが、例えば、エピコート828(油化シェル
社製)等のビスフェノール樹脂、180S65(油化シ
ェル社製)等のオルソクレゾールノボラック樹脂、15
7S70(油化シェル社製)等のビスフェノールAノボ
ラック樹脂、1032H60(油化シェル社製)等のト
リスヒドロキシフェニルメタンノボラック樹脂、ESN
375等のナフタレンアラルキルノボラック樹脂、テト
ラフェニロールエタン1031S(油化シェル社製)、
YGD414S(東都化成製)、トリスヒドロキシフェ
ニルメタンEPPN502H(日本化薬製)、特殊ビス
フェノールVG3101L(三井化学製)、特殊ナフト
ールNC7000(日本化薬製)、TETRAD−X、
TETRAD−C(三菱瓦斯化学社製)等のグリシジル
アミン型樹脂、アデカオプトマーKRM−2110(旭
電化工業(株)製)等の脂環式エポキシ樹脂などがあげ
られる。
The epoxy resin having two or more epoxy groups is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in a molecule. Examples thereof include bisphenol resins such as Epicoat 828 (manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) and 180S65. Orthocresol novolak resin such as (manufactured by Yuka Shell Co.), 15
Bisphenol A novolak resin such as 7S70 (manufactured by Yuka Shell), trishydroxyphenylmethane novolak resin such as 1032H60 (manufactured by Yuka Shell), ESN
375, naphthalene aralkyl novolak resin, tetraphenylolethane 1031S (manufactured by Yuka Shell Co.),
YGD414S (manufactured by Toto Kasei), trishydroxyphenylmethane EPPN502H (manufactured by Nippon Kayaku), special bisphenol VG3101L (manufactured by Mitsui Chemicals), special naphthol NC7000 (manufactured by Nippon Kayaku), TETRAD-X,
Examples include glycidylamine type resins such as TETRAD-C (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) and alicyclic epoxy resins such as Adeka Optomer KRM-2110 (manufactured by Asahi Denka Kogyo KK).

【0062】エポキシ基及び炭素ー炭素二重結合を有す
る化合物とは、エポキシ基及び炭素ー炭素二重結合を分
子内に有していれば特に限定されないが、例えば、アリ
ルグリシジルエーテル・グリシジルアクリレート・グリ
シジルメタクレート・グリシジルビニルエーテル等があ
げられる。
The compound having an epoxy group and a carbon-carbon double bond is not particularly limited as long as it has an epoxy group and a carbon-carbon double bond in the molecule. For example, allyl glycidyl ether / glycidyl acrylate / Glycidyl methacrylate / glycidyl vinyl ether;

【0063】エポキシ基及び炭素ー炭素三重結合を有す
る化合物は、エポキシ基及び炭素ー炭素三重結合を分子
内に有すれば特に限定されないが、プロパギルグリシジ
ルエーテル・グリシジルプロピオレート・エチニルグリ
シジルエーテル等が挙げられる。
The compound having an epoxy group and a carbon-carbon triple bond is not particularly limited as long as the compound has an epoxy group and a carbon-carbon triple bond in the molecule. Examples thereof include propargyl glycidyl ether / glycidyl propiolate / ethynyl glycidyl ether. Is mentioned.

【0064】この反応に用いられる溶媒は、エポキシ基
と反応せず、水酸基あるいはカルボキシ基を有する可溶
性ポリイミドを溶解するものであれば特に限定されな
い。その後、溶媒の除去を行うので、水酸基あるいはカ
ルボキシ基を有する可溶性ポリイミドを溶解し、なるべ
く沸点の低いものを選択することが、製造工程上有利で
ある。例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホ
キシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホ
ルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホル
ムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,
N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、
N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリ
ドンなどのピロリドン系溶媒、テトラヒドロフラン、ジ
オキサン、ジオキソラン等のエーテル系溶媒、メタノー
ル、エタノール、ブタノール等のアルコール系溶媒、ブ
チルセロソルブ等のセロソルブ系あるいはヘキサメチル
ホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等、更にはキシレ
ン、トルエンのような芳香族炭化水素も使用可能であ
る。これらを単独または混合物として使用することがで
きる。
The solvent used in this reaction is not particularly limited as long as it does not react with the epoxy group and dissolves a soluble polyimide having a hydroxyl group or a carboxy group. After that, since the solvent is removed, it is advantageous in the production process to dissolve the soluble polyimide having a hydroxyl group or a carboxy group and to select the one having a boiling point as low as possible. For example, sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylacetamide
Acetamide solvents such as N-diethylacetamide,
Pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone; ether solvents such as tetrahydrofuran, dioxane and dioxolane; alcohol solvents such as methanol, ethanol and butanol; cellosolve solvents such as butyl cellosolve and Methyl phosphoramide, γ-butyrolactone, etc., and also aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can be used. These can be used alone or as a mixture.

【0065】反応温度は、水酸基またはカルボキシ基と
上記化合物との反応温度である40度以上130度以下
の温度で行うことが望ましい。特にエポキシ基と二重結
合あるいは、エポキシ基と三重結合を有する化合物につ
いては、二重結合や三重結合が熱により分解あるいは架
橋しない程度の温度で反応させることが望ましい。具体
的には、40度以上100度以下、さらに望ましくは、
50度以上90度以下である。反応時間は、数分程度か
ら8時間程度である。
The reaction is preferably carried out at a temperature of 40 ° C. or more and 130 ° C. or less, which is the reaction temperature between a hydroxyl group or a carboxy group and the above compound. In particular, compounds having an epoxy group and a double bond or a compound having an epoxy group and a triple bond are preferably reacted at a temperature at which the double bond or the triple bond is not decomposed or crosslinked by heat. Specifically, 40 degrees or more and 100 degrees or less, more desirably,
It is 50 degrees or more and 90 degrees or less. The reaction time is about several minutes to about eight hours.

【0066】以上のようにして、得られた可溶性ポリイ
ミド溶液に、炭素ー炭素二重結合を有する化合物を混合
して本発明の組成物が製造される。
As described above, the compound of the present invention is produced by mixing a compound having a carbon-carbon double bond with the obtained soluble polyimide solution.

【0067】本発明に用いられる炭素ー炭素二重結合を
有する化合物は、炭素ー炭素二重結合を2以上有するこ
とが好ましい。炭素ー炭素二重結合を2以上有する化合
物は、光重合を容易にするからである。さらに、アクリ
ロイル基またはメタクリロイル基、ビニル基、またはア
リル基から選択される有機基を2以上含む化合物である
ことが好ましい。
The compound having a carbon-carbon double bond used in the present invention preferably has two or more carbon-carbon double bonds. This is because a compound having two or more carbon-carbon double bonds facilitates photopolymerization. Furthermore, a compound containing two or more organic groups selected from an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, and an allyl group is preferable.

【0068】炭素ー炭素二重結合を2以上有する化合物
は、例えば、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、
ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリ
コールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパ
ンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジア
クリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレ
ングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトール
ジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタク
リレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラ
メチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチ
レングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレン
グリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリ
コールメタクリレート、β−メタクロイルオキシエチル
ハイドロジェンフタレート、β−メタクロイルオキシエ
チルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒ
ドロキシプロピルメタクレート、ステアリルメタクレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチ
レングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレン
グリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチ
ルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレー
ト、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレン
グリコールジメタクレート、トリエチレングリコールジ
メタクレート、ポリエチレングリコールジメタクレー
ト、1,3−ブチレングリコールジメタクレート、1,
6−ヘキサンジオールジメタクレート、ネオペンチルグ
リコールジメタクレート、ポリプロピレングリコールジ
メタクレート、2−ヒドロキシ1,3ジメタクロキシプ
ロパン、2,2−ビス[4−(メタクロキシエトキシ)
フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクロキシ
・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−
(メタクロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、
ポリエチレングリコールジクリレート、トリプロピレン
グリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコール
ジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・
ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−
(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、
2−ヒドロキシ1−アクリロキシ3−メタクロキシプロ
パン、トリメチロールプロパントリメタクレート、テト
ラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロー
ルメタンテトラアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジメタクレート、1,4−ブタンジオールジメタクレ
ート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタク
レート、1,6−メキサンジオールジメタクレート、
1,9−ノナンジオールメタクレート、2,4−ジエチ
ル−1,5−ペンタンジオールジメタクレート、1,4
−シクロヘキサンジメタノールジメタクレート、ジプロ
ピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジ
メタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−
(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、
2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)
フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペン
タンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロー
ルプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロ
ールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸EO変
性トリアクリレート、ペンタスリトールテトラアクリレ
ート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレー
ト、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレー
ト、ジトリメチロールプロパンテトレアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル
酸トリアリル、グリシジルメタクレート、グリシジルア
リルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒ
ドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼ
ンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシ
トレート、トリアリルフォスフェート、5,5−ジアリ
ルバルビツル酸、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシ
ラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ジア
リルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリル
テレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノ
ール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4
‘−イソプロピリデンジフェノールジメタクレート、
4,4‘−イソプロピリデンジフェノールジアクリレー
ト等が好ましいが、これらに限定されない。架橋密度を
向上させるためには、特に2官能以上のモノマーを用い
ることが望ましい。なお、1種類の化合物を用いても良
いし、数種を混合して用いてもよい.
Compounds having two or more carbon-carbon double bonds include, for example, 1,6-hexanediol diacrylate,
Neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexane Diol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate,
Dipentaerythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3- Chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate , Tri ethylene glycol di methacrylate, polyethylene glycol di methacrylate, 1,3-butylene glycol di methacrylate, 1,
6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3 dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- (methacryloxyethoxy)
Phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4-
(Methacryloxy / polyethoxy) phenyl] propane,
Polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxy.
Diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4-
(Acryloxypolyethoxy) phenyl] propane,
2-hydroxy 1-acryloxy 3-methacryloxy propane, trimethylol propane trimethacrylate, tetramethylol methane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 3-methyl -1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate,
1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,4
-Cyclohexane dimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4-
(Acryloxypolyethoxy) phenyl] propane,
2,2-bis [4- (acryloxypolypropoxy)
[Phenyl] propane, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated tothymethylolpropane triacrylate, propoxylated tothymethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid EO modified triacrylate, pentathritol tetraacrylate, ethoxylated Pentathritol tetraacrylate, propoxylated pentathritol tetraacrylate, ditrimethylolpropanetetreacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl allyl ether, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s -Triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallylph Phosphate, 5,5-diallylbarbituric acid, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, diallyl sialate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-diaryloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4
'-Isopropylidene diphenol dimethacrylate,
4,4′-isopropylidene diphenol diacrylate and the like are preferable, but not limited thereto. In order to improve the crosslink density, it is particularly desirable to use a bifunctional or higher functional monomer. In addition, one kind of compound may be used, or several kinds may be mixed and used.

【0069】これらの配合割合は、可溶性ポリイミド1
00重量部に対し、1〜150重量部、さらには、10
〜130重量部、特には20〜100重量部、含むこと
が好ましい。この配合割合により、ポリイミドに所望の
感光性を付与することができる。
The mixing ratio of these components is as follows.
1 to 150 parts by weight, and further 10 parts by weight
It is preferable that the content be in the range of from 130 to 130 parts by weight, particularly from 20 to 100 parts by weight. With this mixing ratio, the desired photosensitivity can be imparted to the polyimide.

【0070】上記可溶性ポリイミドと炭素ー炭素二重結
合を有する化合物を成分とする本発明の組成物は、前記
組成物が、Bステージ状態のTgが−20℃〜150
℃、および硬化後のTgが70℃〜300℃であり、か
つ前記可溶性ポリイミドが、Tgが100℃〜300℃
であり、硬化後の熱膨張係数が20ppm〜500pp
mであることが好ましい。
The composition of the present invention comprising the above-mentioned compound having a soluble polyimide and a compound having a carbon-carbon double bond, has a Tg in the B-stage state of −20 ° C. to 150 ° C.
C, and Tg after curing is 70C to 300C, and the soluble polyimide has a Tg of 100C to 300C.
Having a thermal expansion coefficient of 20 ppm to 500 pp after curing.
m is preferable.

【0071】上記得られた本発明の組成物溶液には、適
宜、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等の熱硬化性樹脂や、
ポリエステル、ポリアミド、ポリウレタン、ポリカーボ
ネート等の熱可塑性樹脂を混ぜてもよい。
The composition solution of the present invention obtained above may optionally contain a thermosetting resin such as an epoxy resin or an acrylic resin,
Thermoplastic resins such as polyester, polyamide, polyurethane, and polycarbonate may be mixed.

【0072】エポキシ樹脂は、前述のエポキシ樹脂と同
一であってもよい。例えば、エピコート828(油化シ
ェル社製)等のビスフェノール樹脂、180S65(油
化シェル社製)等のオルソクレゾールノボラック樹脂、
157S70(油化シェル社製)等のビスフェノールA
ノボラック樹脂、1032H60(油化シェル社製)等
のトリスヒドロキシフェニルメタンノボラック樹脂、E
SN375等のナフタレンアラルキルノボラック樹脂、
テトラフェニロールエタン1031S(油化シェル社
製)、YGD414S(東都化成製)、トリスヒドロキ
シフェニルメタンEPPN502H(日本化薬製)、特
殊ビスフェノールVG3101L(三井化学製)、特殊
ナフトールNC7000(日本化薬製)、TETRAD
−X、TETRAD−C(三菱瓦斯化学社製)等のグリ
シジルアミン型樹脂、アデカオプトマーKRM−211
0(旭電化工業(株)製)等の脂環式エポキシ樹脂など
があげられる。また、エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂
と混合しても良好な物性が得られるため好ましい。ここ
で用いられる熱硬化性樹脂としては、ビスマレイミド・
ビスアリルナジイミド・フェノール樹脂・シアナート樹
脂等があげられる。
The epoxy resin may be the same as the epoxy resin described above. For example, bisphenol resin such as Epicoat 828 (manufactured by Yuka Shell), ortho-cresol novolak resin such as 180S65 (manufactured by Yuka Shell),
Bisphenol A such as 157S70 (manufactured by Yuka Shell)
Novolak resin, trishydroxyphenylmethane novolak resin such as 1032H60 (manufactured by Yuka Shell), E
Naphthalene aralkyl novolak resin such as SN375,
Tetraphenylolethane 1031S (made by Yuka Shell), YGD414S (made by Toto Kasei), Trishydroxyphenylmethane EPPN502H (made by Nippon Kayaku), special bisphenol VG3101L (made by Mitsui Chemicals), special naphthol NC7000 (made by Nippon Kayaku) , TETRAD
-X, TETRAD-C (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) and other glycidylamine type resins, ADEKA OPTOMER KRM-211
0 (manufactured by Asahi Denka Kogyo KK) and the like. It is also preferable to mix with a thermosetting resin other than the epoxy resin because good physical properties can be obtained. The thermosetting resin used here is bismaleimide
Bisallylnadiimide, phenolic resin, cyanate resin and the like can be mentioned.

【0073】上記得られた組成物溶液は、直接塗布・乾
燥して用いても、また別途シート状に加工した後、接合
する部分にこのシートを貼合わせて用いてもよい。これ
らの乾燥条件は、可溶性ポリイミドにエポキシ基、二重
結合、または三重結合を導入している場合、残存するこ
れらの有機基が熱によって分解または架橋しない程度の
条件で行うことが望ましい。
The obtained composition solution may be directly applied and dried, or may be separately processed into a sheet and then used by bonding the sheet to a portion to be joined. These drying conditions are desirably performed under such a condition that when an epoxy group, a double bond, or a triple bond is introduced into the soluble polyimide, the remaining organic groups are not decomposed or crosslinked by heat.

【0074】エポキシ樹脂を添加した本発明の組成物
に、通常エポキシ樹脂の硬化剤と混合すれば、良好な耐
熱特性、接着特性を有する組成物が得られ、これを加熱
することによりこのような特性を有する硬化物を得るこ
とができるため望ましい。硬化剤はエポキシ樹脂の硬化
剤であれば、アミン系・イミダゾール系・酸無水物系・
酸系どのような系の硬化剤でも適用可能であり、種々の
カップリング剤を混合してもよい。
When a composition of the present invention containing an epoxy resin is mixed with a curing agent for an epoxy resin, a composition having good heat resistance and adhesive properties can be obtained. This is desirable because a cured product having characteristics can be obtained. If the curing agent is a curing agent for epoxy resin, amine-based, imidazole-based, acid anhydride-based,
Any acid-based curing agent is applicable, and various coupling agents may be mixed.

【0075】次に、上記変性ポリアミドに光反応開始剤
及び/または増感剤を添加することにより本発明の感光
性組成物とする。
Next, a photoreaction initiator and / or a sensitizer is added to the modified polyamide to obtain a photosensitive composition of the present invention.

【0076】光反応性開始剤は、UV可視光範囲(25
0〜450nm)で光を吸収し、光エネルギーをフリー
ラジカル、反応性カチオンのような反応性中間体を生成
する化学的エネルギーに転換する。特にg線程度の長波
長の光によりラジカルを発生する化合物の一例として、
下記一般式(α)、一般式(β)化19
The photoreactive initiator is in the UV visible light range (25
(0-450 nm) and converts light energy into chemical energy that produces reactive intermediates such as free radicals and reactive cations. In particular, as an example of a compound that generates a radical by light having a long wavelength of about g-line,
The following general formula (α) and general formula (β)

【0077】[0077]

【化19】 Embedded image

【0078】(式中、R20,R23及びR25は、C6
5−,C64(CH3)−,C62(CH33−,(CH
33C−,C63Cl2−を、R21,R22及びR24は、
65−,メトキシ,エトキシ,C64(CH3)−,
62(CH33−を表す。)で表されるアシルフォス
フィンオキシド化合物が挙げられる。これにより発生し
たラジカルは、炭素―炭素二重結合を有する反応基(ビ
ニル・アクリロイル・メタクリロイル・アリル等)と反
応し架橋を促進する。
(Wherein R 20 , R 23 and R 25 are C 6 H
5 -, C 6 H 4 ( CH 3) -, C 6 H 2 (CH 3) 3 -, (CH
3) 3 C-, C 6 H 3 Cl 2 - a, R 21, R 22 and R 24 are,
C 6 H 5 -, methoxy, ethoxy, C 6 H 4 (CH 3 ) -,
Represents C 6 H 2 (CH 3 ) 3 —. )). The radicals generated thereby react with a reactive group having a carbon-carbon double bond (vinyl, acryloyl, methacryloyl, allyl, etc.) to promote crosslinking.

【0079】ここで、一般式(α)は、2個のラジカル
を発生するが、一般式(β)で表されるアシルフォスフ
ィンオキシドは、α開裂により4個のラジカルを発生す
るため特に好ましい。
Here, the general formula (α) generates two radicals, and the acylphosphine oxide represented by the general formula (β) is particularly preferable because it generates four radicals by α-cleavage. .

【0080】本発明の感光性組成物中の可溶性ポリイミ
ドの側鎖に結合させたエポキシ基を硬化させるために
は、光カチオン発生剤を用いてもよい。例えば、ジメト
キシアントラキノンスルフォン酸のジフェニルヨードニ
ウム塩等のジフェニルヨードニウム塩類・トリフェニル
スルフォニウム塩類・ピリリニウム塩類、トリフェニル
オニウム塩類・ジアゾニウム塩類等を例示することがで
きる。
In order to cure the epoxy group bonded to the side chain of the soluble polyimide in the photosensitive composition of the present invention, a photo cation generator may be used. For example, diphenyliodonium salts such as diphenyliodonium salt of dimethoxyanthraquinonesulfonic acid, triphenylsulfonium salts, pyrilinium salts, triphenylonium salts, diazonium salts and the like can be exemplified.

【0081】光カチオン発生剤を用いる場合、カチオン
硬化性の高い脂環式エポキシやビニルエーテル化合物を
混合することが好ましい。
When a photocationic generator is used, it is preferable to mix an alicyclic epoxy or vinyl ether compound having high cationic curability.

【0082】側鎖に付けたエポキシ基を硬化させるため
には、光塩基発生剤を用いてもよい。例えば、ニトロベ
ンジルアルコールやジニトロベンジルアルコールとイソ
シアナートの反応により得られるウレタン化合物、ある
いはニトロ−1−フェニルエチルアルコールやジニトロ
−1−フェニルエチルアルコールとイソシアナートの反
応により得られるウレタン化合物、ジメトキシ−2−フ
ェニル−2−プロパノールとイソシアナートの反応によ
り得られるウレタン化合物等が例示できる。
In order to cure the epoxy group attached to the side chain, a photobase generator may be used. For example, urethane compounds obtained by the reaction of nitrobenzyl alcohol or dinitrobenzyl alcohol with isocyanate, urethane compounds obtained by the reaction of nitro-1-phenylethyl alcohol or dinitro-1-phenylethyl alcohol with isocyanate, dimethoxy-2 Examples thereof include urethane compounds obtained by the reaction of -phenyl-2-propanol and isocyanate.

【0083】ラジカル開始剤として、種々のパーオキサ
イドを下記の増感剤と組み合わせて用いることができ
る。特に3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパー
オキシカルボニル)ベンゾフェノンと増感剤との組み合
わせが特に好ましい
As the radical initiator, various peroxides can be used in combination with the following sensitizers. Particularly preferred is a combination of 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone and a sensitizer.

【0084】本発明で用いられる感光性組成物は、実用
に供しうる感光感度を達成するため、増感剤を含むこと
が望ましい。増感剤の好ましい例としては、ミヒラケト
ン、ビス−4,4‘−ジエチルアミノベンゾフェノン、
ベンゾフェノン、カンファーキノン、ベンジル、4,
4’−ジメチルアミノベンジル、3,5−ビス(ジエチ
ルアミノベンジリデン)−N−メチル−4−ピペリド
ン、3,5−ビス(ジメチルアミノベンジリデン)−N
−メチル−4−ピペリドン、3,5−ビス(ジエチルア
ミノベンジリデン)−N−エチル−4−ピペリドン、
3,3’−カルボニルビス(7−ジエチルアミノ)クマ
リン、リボフラビンテトラブチレート、2−メチル−1
−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプ
ロパン−1−オン、2,4−ジメチルチオキサントン、
2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロ
ピルチオキサントン、3,5−ジメチルチオキサント
ン、3,5−ジイソプロピルチオキサントン、1−フェ
ニル−2−(エトキシカルボニル)オキシイミノプロパ
ン−1−オン、ベンゾインエーテル、ベンゾインイソプ
ロピルエーテル、ベンズアントロン、5−ニトロアセナ
フテン、2−ニトロフルオレン、アントロン、1,2−
ベンズアントラキノン、1−フェニル−5−メルカプト
−1H−テトラゾール、チオキサンテン−9−オン、1
0−チオキサンテノン、3−アセチルインドール、2,
6−ジ(p−ジメチルアミノベンザル)−4−カルボキ
シシクロヘキサノン、2,6−ジ(p−ジメチルアミノ
ベンザル)−4−ヒドロキシシクロヘキサノン、2,6
−ジ(p−ジエチルアミノベンザル)−4−カルボキシ
シクロヘキサノン、2,6−ジ(p−ジエチルアミノベ
ンザル)−4−ヒドロキシシクロヘキサノン、4,6−
ジメチル−7−エチルアミノクマリン、7−ジエチルア
ミノ−4−メチルクマリン、7−ジエチルアミノ−3−
(1−メチルベンゾイミダゾリル)クマリン、3−(2
−ベンゾイミダゾリル)−7−ジエチルアミノクマリ
ン、3−(2−ベンゾチアゾリル)−7−ジエチルアミ
ノクマリン、2−(p−ジメチルアミノスチリル)ベン
ゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノスチリル)
キノリン、4−(p−ジメチルアミノスチリル)キノリ
ン、2−(p−ジメチルアミノスチリル)ゼンゾチアゾ
ール、2−(p−ジメチルアミノスチリル)−3,3−
ジメチルー3H−インドール等が挙げられるが、これら
に限定されない。
The photosensitive composition used in the present invention preferably contains a sensitizer in order to achieve a practically usable photosensitive sensitivity. Preferred examples of the sensitizer include Michler's ketone, bis-4,4'-diethylaminobenzophenone,
Benzophenone, camphorquinone, benzyl, 4,
4'-dimethylaminobenzyl, 3,5-bis (diethylaminobenzylidene) -N-methyl-4-piperidone, 3,5-bis (dimethylaminobenzylidene) -N
-Methyl-4-piperidone, 3,5-bis (diethylaminobenzylidene) -N-ethyl-4-piperidone,
3,3'-carbonylbis (7-diethylamino) coumarin, riboflavin tetrabutyrate, 2-methyl-1
-[4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2,4-dimethylthioxanthone,
2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 3,5-dimethylthioxanthone, 3,5-diisopropylthioxanthone, 1-phenyl-2- (ethoxycarbonyl) oxyiminopropan-1-one, benzoin ether, benzoin Isopropyl ether, benzanthrone, 5-nitroacenaphthene, 2-nitrofluorene, anthrone, 1,2-
Benzanthraquinone, 1-phenyl-5-mercapto-1H-tetrazole, thioxanthen-9-one,
0-thioxanthenone, 3-acetylindole, 2,
6-di (p-dimethylaminobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-dimethylaminobenzal) -4-hydroxycyclohexanone, 2,6
-Di (p-diethylaminobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-diethylaminobenzal) -4-hydroxycyclohexanone, 4,6-
Dimethyl-7-ethylaminocoumarin, 7-diethylamino-4-methylcoumarin, 7-diethylamino-3-
(1-methylbenzimidazolyl) coumarin, 3- (2
-Benzimidazolyl) -7-diethylaminocoumarin, 3- (2-benzothiazolyl) -7-diethylaminocoumarin, 2- (p-dimethylaminostyryl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminostyryl)
Quinoline, 4- (p-dimethylaminostyryl) quinoline, 2- (p-dimethylaminostyryl) zenzothiazole, 2- (p-dimethylaminostyryl) -3,3-
Examples include, but are not limited to, dimethyl-3H-indole.

【0085】光重合開始剤及び/または増感剤は、本発
明のポリイミド樹脂100重量部に対し、0.1〜50
重量部配合することが好ましく、0.3〜20重量部と
することが、さらに好ましい。0.1〜50重量部の範
囲を逸脱すると、増感効果が得られない場合や、現像性
に好ましくない影響を及ぼす場合がある.なお、増感剤
として、1種類の化合物を用いても良いし、数種を混合
して用いてもよい.
The photopolymerization initiator and / or sensitizer is used in an amount of 0.1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyimide resin of the present invention.
It is preferable to mix the parts by weight, more preferably 0.3 to 20 parts by weight. If the amount is out of the range of 0.1 to 50 parts by weight, the sensitizing effect may not be obtained or the developability may be unfavorably affected. As the sensitizer, one compound may be used, or several compounds may be used as a mixture.

【0086】また、本発明で用いられる感光性ポリイミ
ド組成物は、実用に供しうる感光感度を達成するため、
光重合助剤を含むことが望ましい.光重合助剤として
は、例えば、4−ジエチルアミノエチルベンゾエート、4
−ジメチルアミノエチルベンゾエート、4−ジエチルア
ミノブロピルベンゾエート、4−ジメチルアミノプロピ
ルベンゾエート、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾ
エート、N−フェニルグリシン、N−メチルーN−フェニ
ルグリシン、N−(4−シアノフェニル)グリシン、4−
ジメチルアミノベンゾニトリル、エチレングリコールジ
チオグリコレート、エチレングリコールジ(3−メルカ
ブトプロピオネート)、トリメチロールプロパンチオグ
リコレート、トリメチロールプロパントリ(3−メルカ
プトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラチ
オグリコレート、ペンタエリスリトールテトラ(3−メ
ルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタントリ
チオグリコレート、トリメチロールプロパントリチオグ
リコレート、トリメチロールエタントリ(3−メルカプ
トプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサ
(3−メルカプトプロピオネート)、チオグリコール
酸、α一メルカプトプロピオン酸、t−ブチルペルオキ
シベンゾエート、t −ブチルペルオキシメトキシペン
ゾエート、t−ブチルペルオキシニトロベンゾエート、t
−ブチルペルオキシエチルベンゾエート、フェニルイソ
プロピルペルオキシベンゾエート、ジt−ブチルジペル
オキシイソフタレート、トリt−ブチルトリペルオキシ
トリメリテート、トリt−ブチルトリペルオキシトリメ
シテート、テトラt−ブチルテトラペルオキシピロメリ
テート、2,5−ジメチル−2,5−ジ(ベンゾイルペ
ルオキシ)ヘキサン、3,3‘,4,4’−テトラ(t
−ブチルペルオキシカルボニル)ペンゾフェノン、3,
3,4,4‘−テトラ(t−アミルペルオキシカルボニ
ル)ベンゾフェノン、3,3‘,4,4’−テトラ(t
−ヘキシルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、
2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−ヒドロキシシク
ロヘキサノン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4―
カルボキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(p−アジド
ベンザル)−4−メトキシシクロヘキサノン、2,6−
ジ(p−アジドベンザル)−4−ヒドロキシメチルシク
ロヘキサノン、3,5−ジ(p−アジドベンザル)−1
−メチル−4−ピペリドン、3,5−ジ(p−アジドベ
ンザル)−4−ピペリドン、3,5−ジ(p−アジベンザ
ル)−N−アセチル−4−ピペリドン、3,5−ジ(p−
アジドベンザル)−N−メトキシカルボニルー4−ピペリ
ドン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−ヒドロキ
シシクロヘキサノン、2,6−ジ(m−アジドベンザ
ル)−4−カルボキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(m
−アジドベンザル)−4−メトキシシクロヘキサノン、
2,6−ジ(m−アジドベンザル)−4−ヒドロキシメチ
ルシクロヘキサノン、3,5−ジ(m−アジドべンザ
ル)−N−メチル−4−ピペリドン、3,5−ジ(m−ア
ジドベンザル)−4−ピペリドン、3,5−ジ(m−アジ
ドベンザル)−N−アセチルー4−ピペリドン、3,5−
ジ(m−アジドベンザル)−N−メトキシカルボニル−4
−ピペリドン、2,6−ジ(p−アジドシンナミリデ
ン)−4−ヒドロキシシクロヘキサノン、2,6−ジ(p
−アジドシンナミリデン)−4−カルボキシシクロヘキ
サノン、2,6−ジ(p−アジドシンナミリデン)−4−
シクロヘキサノン、3,5−ジ(p−アジドシンナミリ
デン)−N−メチル−4−ピペリドン、4,4‘−ジアジ
ドカルコン、3,3‘ージアジドカルコン、3,4’−
ジアジドカルコン、4,3‘−ジアジドカルコン、1,
3−ジフェニル−1,2,3−プロパントリオン−2−
(o−アセチル)オキシム、1,3−ジフェニル−1,
2,3−プロパントリオン−2−(o−n−プロピルカ
ルボニル)オキシム、1,3−ジフェニル−1,2,3
−プロパントリオン−2−(o−メトキシカルボニル)
オキシム、1,3−ジフェニル−1,2,3−プロパン
トリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、
1,3−ジフェニル−1,2,3−プロパントリオン−
2−(o−ベンゾイル)オキシム、1,3−ジフェニル
−1,2,3−プロパントリオン−2−(o−フェニル
オキシカルボニル)オキシム、1,3−ビス(p−メチル
フェニル)−1,2,3−プロパントリオン−2−(o
−ベンゾイル)オキシム、1,3−ビス(p−メトキシフ
ェニル)−1,2,3−プロパントリオン−2−(o−
エトキシカルボニル)オキシム、1−(p−メトキシフ
ェニル)−3−(p−ニトロフェニル)−1,2,3−
プロパントリオン−2−(o−フェニルオキシカルボニ
ル)オキシム等を用いることができるが、これらに限定
されない。また、別の助剤として、トリエチルアミン・
トリブチルアミン・トリエタノールアミン等のトリアル
キルアミン類を混合することもできる。
The photosensitive polyimide composition used in the present invention is intended to achieve a practically usable photosensitive sensitivity.
It is desirable to include a photopolymerization aid. As the photopolymerization auxiliary, for example, 4-diethylaminoethyl benzoate, 4
-Dimethylaminoethyl benzoate, 4-diethylaminopropyl benzoate, 4-dimethylaminopropyl benzoate, 4-dimethylaminoisoamyl benzoate, N-phenylglycine, N-methyl-N-phenylglycine, N- (4-cyanophenyl) glycine, 4−
Dimethylaminobenzonitrile, ethylene glycol dithioglycolate, ethylene glycol di (3-mercaptopropionate), trimethylolpropanethioglycolate, trimethylolpropanetri (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrathioglycolate Pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate), trimethylolethanetrithioglycolate, trimethylolpropanetrithioglycolate, trimethylolethanetri (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexa (3-mercaptopropionate) Propionate), thioglycolic acid, α-mercaptopropionic acid, t-butylperoxybenzoate, t-butylperoxymethoxybenzoate, t-butylperoxide Shi nitrobenzoate, t
-Butyl peroxyethyl benzoate, phenyl isopropyl peroxy benzoate, di-t-butyl diperoxy isophthalate, tri-t-butyl triperoxy trimellitate, tri-t-butyl triperoxy trimellitate, tetra-t-butyl tetraperoxy pyromellitate, 2 , 5-Dimethyl-2,5-di (benzoylperoxy) hexane, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t
-Butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,
3,4,4'-tetra (t-amylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (t
-Hexylperoxycarbonyl) benzophenone,
2,6-di (p-azidobenzal) -4-hydroxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-
Carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methoxycyclohexanone, 2,6-
Di (p-azidobenzal) -4-hydroxymethylcyclohexanone, 3,5-di (p-azidobenzal) -1
-Methyl-4-piperidone, 3,5-di (p-azidobenzal) -4-piperidone, 3,5-di (p-azibenzal) -N-acetyl-4-piperidone, 3,5-di (p-
Azidobenzal) -N-methoxycarbonyl-4-piperidone, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-hydroxycyclohexanone, 2,6-di (m-azidobenzal) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di ( m
-Azidobenzal) -4-methoxycyclohexanone,
2,6-di (m-azidobenzal) -4-hydroxymethylcyclohexanone, 3,5-di (m-azidobenzal) -N-methyl-4-piperidone, 3,5-di (m-azidobenzal) -4 -Piperidone, 3,5-di (m-azidobenzal) -N-acetyl-4-piperidone, 3,5-
Di (m-azidobenzal) -N-methoxycarbonyl-4
-Piperidone, 2,6-di (p-azidocinnamylidene) -4-hydroxycyclohexanone, 2,6-di (p
-Azidocinnamylidene) -4-carboxycyclohexanone, 2,6-di (p-azidocinnamylidene) -4-
Cyclohexanone, 3,5-di (p-azidocinnamylidene) -N-methyl-4-piperidone, 4,4′-diazidochalcone, 3,3′diazidochalcone, 3,4′-
Diazido chalcone, 4,3′-diazido chalcone, 1,
3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-2-
(O-acetyl) oxime, 1,3-diphenyl-1,
2,3-propanetrione-2- (on-propylcarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-1,2,3
-Propanetrione-2- (o-methoxycarbonyl)
Oxime, 1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime,
1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-
2- (o-benzoyl) oxime, 1,3-diphenyl-1,2,3-propanetrione-2- (o-phenyloxycarbonyl) oxime, 1,3-bis (p-methylphenyl) -1,2 , 3-propanetrione-2- (o
-Benzoyl) oxime, 1,3-bis (p-methoxyphenyl) -1,2,3-propanetrione-2- (o-
Ethoxycarbonyl) oxime, 1- (p-methoxyphenyl) -3- (p-nitrophenyl) -1,2,3-
Although propanetrione-2- (o-phenyloxycarbonyl) oxime and the like can be used, the present invention is not limited thereto. Also, as another auxiliary agent, triethylamine
Trialkylamines such as tributylamine and triethanolamine can also be mixed.

【0087】光重合助剤は、ポリイミド100重量部に
対し、0.1〜50重量部配合されることが好ましく、
0.3〜20重量部の範囲がさらに好ましい。0.1〜
50重量部の範瀦を逸脱すると、目的とする増感効果が
得られない場合や、現像性に好ましくない影響をおよぼ
す場合がある。なお、光重合助剤として1種類の化合物
を用いてもよいし、数種を混合してもよい。
The photopolymerization aid is preferably blended in an amount of 0.1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyimide.
The range is more preferably from 0.3 to 20 parts by weight. 0.1 ~
If the content is outside the range of 50 parts by weight, the intended sensitizing effect may not be obtained, or the developing property may be adversely affected. In addition, one kind of compound may be used as the photopolymerization aid, or several kinds may be mixed.

【0088】本発明で用いられる感光性ポリイミドは、
適当な有機溶媒を含んでいてもよい。適当な有機溶媒に
溶解した状態であれば、溶液(ワニス)状態で使用に供
することができ、成膜する際便利である。この場合に用
いる溶媒としては、溶解性の観点から非プロトン性極性
溶媒が望ましく、具体的には、N−メチル−2−ピロリド
ン、N−アセチル−2−ピロリドン、N−ベンジル−2−ピ
ロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチ
ルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチル
ホスホルトリアミド、N−アセチル−ε−カプロラクタ
ム、ジメチルイミダゾリジノン、ジエチレングリコール
ジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエ
ーテル、γ−ブチロラクトン、ジオキサン、ジオキソラ
ン、テトラヒドロフランなどが好適な例としてあげられ
る.これらは単独で用いても良いし、混合系として用い
ることも可能である。この有機溶媒は、ポリイミドの合
成反応で用いた溶媒をそのまま残留させたものでもよ
く、単離後のポリイミド前駆体に新たに添加したもので
もよい。また、塗布性を改善するために、トルエン、キ
シレン、ジエチルケトン、メトキシベンゼン、シクロペ
ンタノン等の溶媒をポリマーの溶解性に悪影響を及ぼさ
ない範囲で混合しても差し支えない。
The photosensitive polyimide used in the present invention is:
It may contain a suitable organic solvent. If it is dissolved in an appropriate organic solvent, it can be used in a solution (varnish) state, which is convenient when forming a film. As the solvent used in this case, an aprotic polar solvent is desirable from the viewpoint of solubility.Specifically, N-methyl-2-pyrrolidone, N-acetyl-2-pyrrolidone, N-benzyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, hexamethylphosphortriamide, N-acetyl-ε-caprolactam, dimethylimidazolidinone, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, γ-butyrolactone, dioxane, Preferred examples include dioxolan and tetrahydrofuran. These may be used alone or as a mixed system. This organic solvent may be a solvent in which the solvent used in the synthesis reaction of the polyimide is left as it is, or may be a newly added solvent to the isolated polyimide precursor. Further, in order to improve coatability, a solvent such as toluene, xylene, diethyl ketone, methoxybenzene, or cyclopentanone may be mixed within a range that does not adversely affect the solubility of the polymer.

【0089】この得られた感光性ポリイミド組成物の溶
液を乾燥させてフィルム状の感光性ドライフィルム(カ
バーレイフィルム)とする。この際、金属やPET等の
フィルム等の支持体の上に塗布し、乾燥乾燥後、支持体
より剥がして単独のフィルムとして取り扱ってもいし、
PET等のフィルムの上に積層されたままの状態で用い
られることもできる。この感光性ポリイミド組成物の乾
燥温度は、熱によりエポキシあるいは、炭素―炭素2重
結合や炭素―炭素3重結合が熱分解または架橋しない温
度で行うことが望ましく、具体的には180℃以下好ま
しくは、150℃以下である。
The obtained solution of the photosensitive polyimide composition is dried to obtain a film-shaped photosensitive dry film (coverlay film). At this time, it may be applied on a support such as a film of metal or PET, dried and dried, and then peeled off from the support and handled as a single film.
It can be used as it is laminated on a film such as PET. The drying temperature of the photosensitive polyimide composition is preferably set to a temperature at which epoxy or a carbon-carbon double bond or a carbon-carbon triple bond is not thermally decomposed or crosslinked by heat, and specifically 180 ° C. or less. Is 150 ° C. or less.

【0090】このようにして得られた感光性ドライフィ
ルム(カバーレイフィルム)とFPCを張り合わせる工
程について説明する。この工程は、予め銅箔等の導電体
によって回路が形成されたFPCの導電体面を感光性ド
ライフィルム(カバーレイフィルム)により保護する工
程である。具体的に、FPCと感光性ドライフィルム
(カバーレイフィルム)をあわせて、熱ラミネート、熱
プレスあるいは熱真空ラミネートにより張り合わせる。
この時の温度は、熱によりエポキシあるいは、炭素―炭
素2重結合や炭素―炭素3重結合が熱分解または架橋し
ない温度で行うことが望ましく、具体的には180℃以
下好ましくは、150℃以下、さらに望ましくは120
℃以下である。
The step of laminating the photosensitive dry film (coverlay film) thus obtained and the FPC will be described. This step is a step of protecting the conductor surface of the FPC on which a circuit is formed in advance by a conductor such as a copper foil with a photosensitive dry film (coverlay film). Specifically, the FPC and the photosensitive dry film (coverlay film) are bonded together by heat lamination, hot press or hot vacuum lamination.
The temperature at this time is desirably set at a temperature at which the epoxy or carbon-carbon double bond or carbon-carbon triple bond is not thermally decomposed or crosslinked by heat, and specifically, 180 ° C or lower, preferably 150 ° C or lower. , More preferably 120
It is below ° C.

【0091】また、ラミネート温度は、カバーレイフィ
ルムのBステージ状態のTgに密接に関係しており、1
80℃以下の温度でラミネートあるいはプレスするため
には、150℃以下、望ましくは、130℃以下、更に
望ましくは100℃以下であり、最も望ましくは50℃
以下である。
The lamination temperature is closely related to the Tg of the B-stage state of the coverlay film, and
For laminating or pressing at a temperature of 80 ° C. or less, it is 150 ° C. or less, preferably 130 ° C. or less, more preferably 100 ° C. or less, and most preferably 50 ° C. or less.
It is as follows.

【0092】つぎに、この被膜に、所定のパターンのフ
ォトマスクを介して光を照射した後、塩基性溶液により
未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。この
現像工程は、通常のポジ型フォトレジスト現橡装置を用
いて行ってもよい。
Next, after irradiating the film with light through a photomask having a predetermined pattern, an unexposed portion is dissolved and removed with a basic solution to obtain a desired pattern. This developing step may be performed using a general positive type photoresist current developing device.

【0093】現像液としては、塩基性溶液あるいは有機
溶媒を用いることができる。例えば、現像液は、塩基性
を呈する水溶液・あるいは有機溶媒であれば、一種類の
化合物の溶液でもよく、2種類以上の化合物の溶液でも
よい.塩基性溶液は、通常、塩基性化合物を水にあるい
はメタノール等のアルコールに溶解した溶液である。塩
基性化合物の濃度は、通常0.1〜50重量%とする
が、支持基板等への影響などから、0.1〜30重量%
とすることが好ましい。なお、現橡液は、ポリイミドの
溶解性を改善するため、メタノール、エタノール、プロ
パノール、イソプロピルアルコール、N−メチルー2−ピ
ロリドン・N,N−ジメチルホルムアミド、N,N一ジメチ
ルアセトアミド等の水溶性有機済媒を、さらに含有して
いてもよい。
As the developing solution, a basic solution or an organic solvent can be used. For example, the developer may be a solution of one type of compound or a solution of two or more types of compounds as long as it is an aqueous solution or an organic solvent exhibiting basicity. The basic solution is usually a solution in which a basic compound is dissolved in water or an alcohol such as methanol. The concentration of the basic compound is usually 0.1 to 50% by weight.
It is preferable that In order to improve the solubility of polyimide, water-soluble organic liquids such as methanol, ethanol, propanol, isopropyl alcohol, N-methyl-2-pyrrolidone N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, etc. A cleaning medium may be further contained.

【0094】上記塩基性化合物としては、例えば、アル
カリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオン
の、ホウ酸塩または炭酸塩や、アミン化合物などが挙げ
られ、具体的には、2一ジメチルアミノエタノール、3−
ジメチルアミノ−1−プロパノ−ル、4−ジメチルアミ
ノ−1−ブタノール、5−ジメチルアミノ−1−ペンタノ
ール、6−ジメチルアミノ−1−ヘキサノール、2−ジメ
チルアミノ−2−メチル−1−プロパノール、3−ジメチ
ルアミノ−2,2一ジメチル−1−プロパノール、2−ジエ
チルアミノエタノール、3−ジエチルアミノ−1−プロパ
ノール、2−ジイソプロピルアミノエタノール、2−ジ−
n−ブチルアミノエタノール、N,N−ジベンジル−2−ア
ミノエタノール、2−(2−ジメチルアミノエトキシ)エ
タノール、2−(2−ジエチルアミノエトキシ)エタノー
ル、1−ジメチルアミノ−2−プロパノール、1−ジエチ
ルアミノ−2−プロパノール、N−メチルジエタノールア
ミン、N−エチルジエタノールアミン、N−n−ブチルジ
エタノールアミン、N−t−ブチルジエタノールアミン、
N一ラウリルジエタノールアミン、3−ジエチルアミノ−
1,2−プロパンジオール、トリエタノールアミン、トリ
イソプロパノ−ルアミン、N−メチルエタノールアミ
ン、N−エチルエタノールアミン、N−n−ブチルエタノ
ールアミン、N−t−ブチルエタノールアミン、ジエタノ
ールアミン、ジイソプロパノールアミン、2−アミノエ
タノール、3−アミノ−1−プロパノール、4−アミノ−
1−ブタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、1−アミ
ノ−2−プロパノール、2−アミノ−2,2−ジメチル−1
−プロパノール、1−アミノブタノール、2−アミノ−1
−ブタノール、N−(2−アミノエチル)エタノールアミ
ン、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール,
2−アミノ−2−エチルー1,3−プロパンジオール、3−
アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−2−ヒド
ロキシメチル−1,3−プロパンジオール、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナト
リウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナ
トリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチル
アンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウ
ムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒド
ロキシド、アミノメタノール、2−アミノエタノール、3
−アミノプロパノール、2−アミノプロパノール、メチ
ルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピ
ルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピ
ルアミン、ジイソプロピルアミン、トリメチルアミン、
トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリイソプロ
ピルアミンなどを用いることが好ましいが、水にあるい
はアルコールに可溶であり、溶液が塩基性を呈するもの
であれば、これら以外の化合物を用いてもかまわない。
Examples of the basic compound include borates and carbonates of alkali metals, alkaline earth metals and ammonium ions, amine compounds, and the like. Specific examples include 2-dimethylaminoethanol, 3−
Dimethylamino-1-propanol, 4-dimethylamino-1-butanol, 5-dimethylamino-1-pentanol, 6-dimethylamino-1-hexanol, 2-dimethylamino-2-methyl-1-propanol, 3-dimethylamino-2,2-dimethyl-1-propanol, 2-diethylaminoethanol, 3-diethylamino-1-propanol, 2-diisopropylaminoethanol, 2-di-
n-butylaminoethanol, N, N-dibenzyl-2-aminoethanol, 2- (2-dimethylaminoethoxy) ethanol, 2- (2-diethylaminoethoxy) ethanol, 1-dimethylamino-2-propanol, 1-diethylamino -2-propanol, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, Nn-butyldiethanolamine, Nt-butyldiethanolamine,
N-lauryldiethanolamine, 3-diethylamino-
1,2-propanediol, triethanolamine, triisopropanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, Nn-butylethanolamine, Nt-butylethanolamine, diethanolamine, diisopropanolamine , 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 4-amino-
1-butanol, 6-amino-1-hexanol, 1-amino-2-propanol, 2-amino-2,2-dimethyl-1
-Propanol, 1-aminobutanol, 2-amino-1
-Butanol, N- (2-aminoethyl) ethanolamine, 2-amino-2-methyl-1,3-propanediol,
2-amino-2-ethyl-1,3-propanediol, 3-
Amino-1,2-propanediol, 2-amino-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium hydrogen carbonate, Potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate,
Tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium hydroxide, aminomethanol, 2-aminoethanol, 3
-Aminopropanol, 2-aminopropanol, methylamine, ethylamine, propylamine, isopropylamine, dimethylamine, diethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, trimethylamine,
It is preferable to use triethylamine, tripropylamine, triisopropylamine and the like, but other compounds may be used as long as they are soluble in water or alcohol and the solution exhibits basicity.

【0095】また、現像溶液には、塩基性溶液以外に、
有機溶媒を用いることができる。この場合、有機溶媒単
独で用いても、感光性ポリイミドをよく溶かす良溶媒と
あまり溶かさない貧溶媒との混合系を用いてもよい。
In addition to the basic solution, the developing solution
Organic solvents can be used. In this case, the organic solvent may be used alone, or a mixed system of a good solvent that dissolves the photosensitive polyimide well and a poor solvent that does not dissolve the photosensitive polyimide may be used.

【0096】現像によって形成したパターンは、次いで
リンス液により洗浄して、現像溶剤を除去する。リンス
液には、現像液との混和性の良いメタノール、エタノー
ル、イソプロピルアルコール、水などが好適な例として
あげられる。
The pattern formed by development is then washed with a rinsing liquid to remove the developing solvent. Preferable examples of the rinsing liquid include methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and water having good miscibility with the developing liquid.

【0097】上述の処理によって縛られたパターンを、
20℃から200℃までの選ばれた温度で加熱処理する
ことにより、本発明のポリイミドからなる樹脂パターン
が高解俊度で縛られる。この樹脂パターンは、耐熱性が
高く、機械特性に優れる。
The pattern bound by the above processing is
By performing the heat treatment at a selected temperature from 20 ° C. to 200 ° C., the polyimide resin pattern of the present invention is bound with high resolution. This resin pattern has high heat resistance and excellent mechanical properties.

【0098】硬化後のTgは、高ければ高いほど耐熱性
という点で望ましいが、現実的には、70〜300℃で
あり、望ましくは、90〜300℃、さらに望ましく
は、120〜300℃である。
The higher the Tg after curing is, the higher the heat resistance is. However, in practice, it is 70 to 300 ° C., preferably 90 to 300 ° C., and more preferably 120 to 300 ° C. is there.

【0099】カバーレイフィルムの熱膨張係数は、銅箔
の熱膨張係数より若干大きい程度が望ましく、20〜5
00ppmであり、更に望ましくは20〜400ppm
であり、最も望ましくは、20〜300ppmである。
The thermal expansion coefficient of the coverlay film is preferably slightly larger than the thermal expansion coefficient of the copper foil.
00 ppm, more preferably 20 to 400 ppm
, Most preferably from 20 to 300 ppm.

【0100】[0100]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものでは
ない。
EXAMPLES The present invention will be described below in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0101】実施例中、ESDAは、2,2−ビス(4
−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,
3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、6FDA
は、2,2’−ヘキサフルオロプロピリデンジフタル酸
二無水物、BAPS−Mは、ビス[4−(3−アミノフ
ェノキシ)フェニル]スルフォン、DMAcは、N,N
−ジメチルアセトアミド、DMFは、N,N−ジメチル
フォルムアミドを表す。
In the examples, ESDA was 2,2-bis (4
-Hydroxyphenyl) propanedibenzoate-3,
3 ', 4,4'-tetracarboxylic dianhydride, 6FDA
Is 2,2'-hexafluoropropylidene diphthalic dianhydride, BAPS-M is bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, DMAc is N, N
-Dimethylacetamide, DMF represents N, N-dimethylformamide.

【0102】Tgは、島津製作所 DSC CELL
SCC−41(示差走査熱量計)により、窒素気流下で
昇温速度10℃/分で室温から400℃までの温度範囲
を測定した。
Tg: DSC CELL, Shimadzu Corporation
The temperature range from room temperature to 400 ° C. was measured with a SCC-41 (differential scanning calorimeter) at a heating rate of 10 ° C./min under a nitrogen stream.

【0103】重量平均分子量は、Waters製GPC
を用いて以下条件で測定した。(カラム:Shodex
製 KD−806M 2本、温度60℃、検出器:R
I、流量:1ml/分、展開液:DMF(臭化リチウム
0.03M、リン酸0.03M)、試料濃度:0.2w
t%、注入量:20μl、基準物質:ポリエチレンオキ
サイド)
The weight average molecular weight was measured by GPC manufactured by Waters.
Was measured under the following conditions. (Column: Shodex
KD-806M two, temperature 60 ° C, detector: R
I, flow rate: 1 ml / min, developing solution: DMF (lithium bromide 0.03 M, phosphoric acid 0.03 M), sample concentration: 0.2 w
t%, injection volume: 20 μl, reference substance: polyethylene oxide)

【0104】イミド化率の測定は以下のようにして行っ
た。:ポリアミド酸溶液(DMF溶液)をPETフィ
ルム上にキャストし、100℃10分、130℃10分
加熱後、PETフィルムから剥がし、ピン枠に固定し、
150℃60分、200℃60分250℃60分加熱
し、5μm厚みポリイミドフィルムを得る。実施例あ
るいは比較例で作成したポリイミドをDMFに溶かし、
PETフィルム上にキャストし、100℃30分加熱
後、PETフィルムから剥がし、ピン枠に固定し、真空
オーブン中で、80℃,660Paの条件で12時間加
熱乾燥し、5μm厚みのポリイミドフィルムを得た。そ
れぞれのフィルムのIRを測定し、イミドの吸収/ベン
ゼン環の吸収の比を求める。で得たイミドの吸収/ベ
ンゼン環の比をイミド化率100%とした時の、のイ
ミドの吸収/ベンゼン環の比が何%に相当するかを求め
る。これをイミド化率とした。
The imidation ratio was measured as follows. : Polyamic acid solution (DMF solution) was cast on a PET film, heated at 100 ° C. for 10 minutes and 130 ° C. for 10 minutes, peeled off the PET film, and fixed on a pin frame.
Heat at 150 ° C. for 60 minutes, 200 ° C. for 60 minutes and 250 ° C. for 60 minutes to obtain a 5 μm thick polyimide film. Dissolve the polyimide prepared in Examples or Comparative Examples in DMF,
After being cast on a PET film, heated at 100 ° C. for 30 minutes, peeled off from the PET film, fixed to a pin frame, and heated and dried in a vacuum oven at 80 ° C. and 660 Pa for 12 hours to obtain a 5 μm thick polyimide film. Was. The IR of each film is measured, and the ratio of imide absorption / benzene ring absorption is determined. Assuming that the ratio of the imide absorption / benzene ring obtained in the above is 100%, the ratio of the imide absorption / benzene ring corresponds to%. This was taken as the imidation ratio.

【0105】熱膨張係数は、セイコー電子工業株式会社
製熱分析装置TMA−120Cにて測定し、30℃〜1
00℃の平均熱膨張係数を硬化後の熱膨張係数とした。
また、接着強度は、JIS−C−5016に準じ測定し
た。
The coefficient of thermal expansion was measured with a thermal analyzer TMA-120C manufactured by Seiko Electronic Industry Co., Ltd.
The average thermal expansion coefficient at 00 ° C. was defined as the thermal expansion coefficient after curing.
The adhesive strength was measured according to JIS-C-5016.

【0106】[0106]

【実施例1】(可溶性ポリイミドの合成)攪拌機を設置
した2000mlのセパラブルフラスコに、BAPS−
Mを43.05g(0.1モル)、DMF300gをと
り、ESDA57.65g(0.10モル)を一気に激
しく攪拌しながら加え、このまま30分間攪拌を続け
て、ポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸の重量
平均分子量(以後Mwと表す)は、6.2万であった。
Example 1 (Synthesis of soluble polyimide) BAPS- was placed in a 2000 ml separable flask equipped with a stirrer.
43.05 g (0.1 mol) of M and 300 g of DMF were taken, and 57.65 g (0.10 mol) of ESDA were added at once with vigorous stirring, and stirring was continued for 30 minutes to obtain a polyamic acid solution. The weight average molecular weight (hereinafter referred to as Mw) of this polyamic acid was 62,000.

【0107】このポリアミド酸溶液を、テフロン(登録
商標)コートしたバットにとり、真空オーブンで、15
0℃10分、160℃10分、170℃10分、180
℃10分、190℃10分210℃30分、660Pa
の圧力で減圧加熱した。
The polyamic acid solution was placed in a vat coated with Teflon (registered trademark) and placed in a vacuum oven for 15 minutes.
0 ° C 10 minutes, 160 ° C 10 minutes, 170 ° C 10 minutes, 180
10 minutes at 190 ° C, 30 minutes at 210 ° C, 660 Pa
Heated under reduced pressure.

【0108】真空オーブンより取り出し、96gの熱可
塑性ポリイミドを得た。このポリイミドのMwは6.8
万、Tgは200℃、イミド化率は100%であった。
It was taken out from the vacuum oven to obtain 96 g of a thermoplastic polyimide. The Mw of this polyimide is 6.8
The Tg was 200 ° C. and the imidation ratio was 100%.

【0109】(感光性組成物おびそれからなるカバーレ
イフィルムの製造)上記得られた可溶性ポリイミド30
g、ジオキソラン70g、4,4‘−ジアミノジフェニ
ルスルフォン(以後DDSと略する)0.5g、ビス
(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォ
スフィンオキシド0.5g(1.2ミリモル)、イソシ
アヌル酸EO変性トリアクリレート30g、ビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂(油化シェル社製:エピコート8
28)3gを添加した溶液をPETフィルム上に塗布
し、45℃5分乾燥し、PETフィルムを剥がし、ピン
枠にて固定し、65℃5分80℃30分乾燥して、感光
性組成物からなる35μm厚みのカバーレイフィルムを
得た。
(Production of a photosensitive composition and a coverlay film comprising the same) The above-obtained soluble polyimide 30
g, 70 g of dioxolane, 0.5 g of 4,4′-diaminodiphenylsulfone (hereinafter abbreviated as DDS), 0.5 g (1.2 mmol) of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 30 g of isocyanuric acid EO-modified triacrylate, bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Co., Ltd .: Epicoat 8)
28) The solution to which 3 g was added was applied on a PET film, dried at 45 ° C. for 5 minutes, the PET film was peeled off, fixed with a pin frame, dried at 65 ° C. for 5 minutes and at 80 ° C. for 30 minutes to obtain a photosensitive composition. Of a coverlay film having a thickness of 35 μm.

【0110】(CCLの製造)ポリイミドフィルム25
NPI(鐘淵化学工業株式会社製)にデュポン製ハイラ
ックスLF0100の接着面を重ね合わせ、180℃で
ラミネートした。ハイラックスの離型紙を剥がし、銅箔
3ECVLP(三井金属製)1オンスを重ね合わせ、1
80℃でラミネートし、180℃1時間加熱し、エッチ
ングにてパターンを形成し、CCLを得た。このCCL
に上記得られたカバーレイフィルム、及び50μm厚み
テフロンシート(剥離紙)を重ねて、120℃、1N/
cmの条件でラミネートした。ラミネート後、3分間露
光後、(露光条件:400nmの光が10mJ/c
2)、100℃3分間ポストベークし、1%のテトラ
メチルアンモニウムヒドロキシドのメタノール溶液(液
温40℃)で現像後、100℃2時間、120℃2時
間、140℃2時間160℃3時間の条件で硬化した。
(Production of CCL) Polyimide film 25
The adhesive surface of Hilux LF0100 made by DuPont was superimposed on NPI (manufactured by Kanegafuchi Chemical Industry Co., Ltd.) and laminated at 180 ° C. Peel off the release paper of Hilux, layer 1 ounce of copper foil 3ECVLP (Mitsui Metals)
Lamination was performed at 80 ° C., and heating was performed at 180 ° C. for 1 hour, a pattern was formed by etching, and CCL was obtained. This CCL
And the coverlay film obtained above and a Teflon sheet (release paper) having a thickness of 50 μm are stacked on each other at 120 ° C. and 1 N /
It was laminated under the condition of cm. After laminating and exposing for 3 minutes (exposure conditions: 400 nm light at 10 mJ / c)
m 2 ), post-baking at 100 ° C. for 3 minutes, development with a 1% methanol solution of tetramethylammonium hydroxide (solution temperature 40 ° C.), 100 ° C. for 2 hours, 120 ° C. for 2 hours, 140 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 3 hours Cured under time conditions.

【0111】別に、銅箔/上記得られたカバーレイフィ
ルム/50μm厚みテフロンシート(剥離紙)を重ね
て、上記と同様の条件でラミネート、露光、現像、硬化
を行い、接着強度および熱膨張係数を測定した。硬化後
のカバーレイフィルムと銅箔との接着強度は、1.5N
/cmであり、100μmのライン/スペースのパター
ンを形成することができた。銅箔をエッチング除去し
て、残った硬化後のカバーレイフィルムを50℃に加熱
したNMP溶液に10分間浸積したがまったく溶解しな
かった。
Separately, a copper foil / the above-obtained coverlay film / a 50 μm-thick Teflon sheet (release paper) is laminated, laminated, exposed, developed and cured under the same conditions as above, and the adhesive strength and the thermal expansion coefficient are determined. Was measured. The bond strength between the coverlay film and the copper foil after curing is 1.5 N
/ Cm, and a pattern of 100 μm line / space could be formed. The copper foil was removed by etching, and the remaining cured coverlay film was immersed in an NMP solution heated to 50 ° C. for 10 minutes, but did not dissolve at all.

【0112】硬化後のカバーレイフィルムの熱膨張係数
は、室温〜100℃では、55ppmであった。
The thermal expansion coefficient of the cured coverlay film was 55 ppm from room temperature to 100 ° C.

【0113】[0113]

【実施例2】(可溶性ポリイミドの合成)攪拌機を設置
した2000mlのセパラブルフラスコにBAPS−M
43.05g(0.1モル)、DMF300gをとり、
ESDA115.3g(0.20モル)を一気に激しく
攪拌しながら加え、このまま30分間攪拌を続けた。次
いで、ジアミノ安息香酸15.2g(0.1モル)をD
MF150gに溶かし上記溶液に加えて、30分間攪拌
し、ポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸の重量
平均分子量(以下、Mwと表す。)は、6万であった。
Example 2 (Synthesis of soluble polyimide) BAPS-M was placed in a 2000 ml separable flask equipped with a stirrer.
Take 43.05 g (0.1 mol) and 300 g of DMF,
115.3 g (0.20 mol) of ESDA was added at once with vigorous stirring, and stirring was continued for 30 minutes. Then, 15.2 g (0.1 mol) of diaminobenzoic acid was added to D
It was dissolved in 150 g of MF, added to the above solution, and stirred for 30 minutes to obtain a polyamic acid solution. The weight average molecular weight (hereinafter, referred to as Mw) of this polyamic acid was 60,000.

【0114】このポリアミド酸溶液を、テフロンコート
したバットにとり、真空オーブンで、150℃10分、
160℃10分、170℃10分、180℃10分、1
90℃10分210℃30分、660Paの圧力で減圧
加熱した。
This polyamic acid solution is placed on a Teflon-coated vat, and placed in a vacuum oven at 150 ° C. for 10 minutes.
160 ° C for 10 minutes, 170 ° C for 10 minutes, 180 ° C for 10 minutes, 1
The mixture was heated under reduced pressure at 660 Pa at 90 ° C. for 10 minutes and 210 ° C. for 30 minutes.

【0115】真空オーブンより取り出し、160gのカ
ルボン酸を有する可溶性の熱可塑性ポリイミドを得た。
このポリイミドのMwは6.5万、Tgは190℃、イ
ミド化率は100%であった。
The resin was taken out of the vacuum oven to obtain 160 g of a soluble thermoplastic polyimide having a carboxylic acid.
The Mw of the polyimide was 65,000, the Tg was 190 ° C., and the imidation ratio was 100%.

【0116】(変性ポリイミドの合成)合成した可溶性
の熱可塑性ポリイミド33gをジオキソラン66gに溶
解し、アリルグリシジルエーテル2.85g(25ミリ
モル)をジオキソラン25gに溶解して加えた。70℃
で2時間加熱攪拌を行い、変性ポリイミドを合成した。
(Synthesis of Modified Polyimide) 33 g of the soluble thermoplastic polyimide thus synthesized was dissolved in 66 g of dioxolan, and 2.85 g (25 mmol) of allyl glycidyl ether was dissolved in 25 g of dioxolan and added. 70 ° C
For 2 hours to synthesize a modified polyimide.

【0117】(感光性組成物およびそれからなるカバー
レイフィルムの製造)得られた変性ポリイミド溶液10
0gに、4,4‘−ジアミノジフェニルスルフォン(以
後DDSと略する)0.5g、ビス(2,4,6−トリ
メチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキシド
0.5g(1.2ミリモル)、イソシアヌル酸EO変性
トリアクリレート30g、ビスフェノールA型エポキシ
樹脂エピコート828(商品名:油化シェル社製)3g
を添加した溶液をPETフィルム上に塗布し、45℃5
分乾燥し、PETフィルムを剥がし、ピン枠にて固定
し、65℃5分80℃30分乾燥して、感光性組成物か
らなる35μm厚みのカバーレイフィルムを得た。
(Production of a photosensitive composition and a coverlay film comprising the same)
0 g, 0.5 g of 4,4'-diaminodiphenylsulfone (hereinafter abbreviated as DDS), 0.5 g (1.2 mmol) of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, isocyanuric acid 30 g of EO-modified triacrylate, 3 g of bisphenol A type epoxy resin Epicoat 828 (trade name: Yuka Shell Co., Ltd.)
Is applied on a PET film, and the solution is added at 45 ° C.
After drying, the PET film was peeled off, fixed with a pin frame, and dried at 65 ° C. for 5 minutes and at 80 ° C. for 30 minutes to obtain a 35 μm-thick coverlay film made of the photosensitive composition.

【0118】(CCLの製造)ポリイミドフィルム25
NPI(鐘淵化学工業株式会社製)にデュポン製ハイラ
ックスLF0100の接着面を重ね合わせ、180℃で
ラミネートした。ハイラックスの離型紙を剥がし、銅箔
3ECVLP(三井金属製)1オンスを重ね合わせ、1
80℃でラミネートし、180℃1時間加熱し、エッチ
ングにてパターンを形成し、CCLを得た。このCCL
に上記得られたカバーレイフィルム、及び50μm厚み
テフロンシート(剥離紙)を重ねて、120℃、1N/
cmの条件でラミネートした。ラミネート後、3分間露
光後、(露光条件:400nmの光が10mJ/c
2)、100℃3分間ポストベークし、1%のテトラ
メチルアンモニウムヒドロキシドのメタノール溶液(液
温40℃)で現像後、100℃2時間、120℃2時
間、140℃2時間160℃3時間の条件で硬化した。
(Production of CCL) Polyimide film 25
The adhesive surface of Hilux LF0100 made by DuPont was superimposed on NPI (manufactured by Kanegafuchi Chemical Industry Co., Ltd.) and laminated at 180 ° C. Peel off the release paper of Hilux, layer 1 ounce of copper foil 3ECVLP (Mitsui Metals)
Lamination was performed at 80 ° C., and heating was performed at 180 ° C. for 1 hour, a pattern was formed by etching, and CCL was obtained. This CCL
And the coverlay film obtained above and a Teflon sheet (release paper) having a thickness of 50 μm are stacked on each other at 120 ° C. and 1 N /
It was laminated under the condition of cm. After laminating and exposing for 3 minutes (exposure conditions: 400 nm light at 10 mJ / c)
m 2 ), post-baking at 100 ° C. for 3 minutes, development with a 1% methanol solution of tetramethylammonium hydroxide (solution temperature 40 ° C.), 100 ° C. for 2 hours, 120 ° C. for 2 hours, 140 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 3 hours Cured under time conditions.

【0119】別に、銅箔/上記得られたカバーレイフィ
ルム/50μm厚みテフロンシート(剥離紙)を重ね
て、上記と同様の条件でラミネート、露光、現像、硬化
を行い、接着強度および熱膨張係数を測定した。硬化後
のカバーレイフィルムと銅箔との接着強度は、1.5N
/cmであり、100μmのライン/スペースのパター
ンを形成することができた。銅箔をエッチング除去し
て、残った硬化後のカバーレイフィルムを50℃に加熱
したNMP溶液に10分間浸積したがまったく溶解しな
かった。
Separately, a copper foil / the above-obtained coverlay film / a 50 μm-thick Teflon sheet (release paper) are laminated, laminated, exposed, developed and cured under the same conditions as described above to obtain an adhesive strength and a thermal expansion coefficient. Was measured. The bond strength between the coverlay film and the copper foil after curing is 1.5 N
/ Cm, and a pattern of 100 μm line / space could be formed. The copper foil was removed by etching, and the remaining cured coverlay film was immersed in an NMP solution heated to 50 ° C. for 10 minutes, but did not dissolve at all.

【0120】硬化後のカバーレイフィルムの熱膨張係数
は、室温〜100℃では、65ppmであった。
The thermal expansion coefficient of the cured coverlay film was 65 ppm from room temperature to 100 ° C.

【0121】[0121]

【実施例3】(変性ポリイミドの合成)実施例2で合成
したカルボキシ基を有する可溶性熱可塑性ポリイミド3
3gをジオキソラン66gに溶解し、そこにグリシジル
メタクリレート1.4g(12ミリモル)をジオキソラ
ン10gに溶解して加え、60℃で30分間加熱攪拌
後、脂環式エポキシ樹脂アデカオプトマーKRM−21
10(商品名:旭電化工業製)3.4g(12ミリモ
ル)を添加後、60℃で60分間加熱攪拌を行い、変性
ポリイミドを合成した。
Example 3 (Synthesis of modified polyimide) Soluble thermoplastic polyimide 3 having a carboxy group synthesized in Example 2
3 g was dissolved in 66 g of dioxolane, and 1.4 g (12 mmol) of glycidyl methacrylate was dissolved in 10 g of dioxolane and added thereto. After heating and stirring at 60 ° C. for 30 minutes, the alicyclic epoxy resin ADEKA OPTOMER KRM-21 was added.
After adding 3.4 g (12 mmol) of 10 (trade name: manufactured by Asahi Denka Kogyo), the mixture was heated and stirred at 60 ° C. for 60 minutes to synthesize a modified polyimide.

【0122】(感光性組成物、それからなるカバーレイ
フィルム、CCLの製造)得られた変性ポリイミド溶液
100gに4,4‘−ジアミノジフェニルスルフォン
(以後DDSと略する)0.5g、ビス(2,4,6−
トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキシ
ド0.5g(1.2ミリモル)、イソシアヌル酸EO変
性トリアクリレート30gを添加した溶液を実施例1と
同じ条件でフィルム化し、CCLを作製した。
(Production of Photosensitive Composition, Coverlay Film Consisting of It, CCL) 0.5 g of 4,4′-diaminodiphenylsulfone (hereinafter abbreviated as DDS) and bis (2, 4,6-
A solution containing 0.5 g (1.2 mmol) of trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide and 30 g of isocyanuric acid EO-modified triacrylate was formed into a film under the same conditions as in Example 1 to produce a CCL.

【0123】カバーレイフィルムと銅箔の接着強度は、
1.4N/cmであり、100μmのライン/スペース
のパターンを形成することができた。銅貼板の銅箔をエ
ッチング除去して、残った硬化後のカバーレイフィルム
を50℃に加熱したNMP溶液に10分間浸積したがま
ったく溶解しなかった。
The adhesive strength between the coverlay film and the copper foil is as follows:
It was 1.4 N / cm, and a 100 μm line / space pattern could be formed. The copper foil of the copper-clad plate was removed by etching, and the remaining cured coverlay film was immersed in an NMP solution heated to 50 ° C. for 10 minutes, but did not dissolve at all.

【0124】硬化後のカバーレイフィルムの熱膨張係数
は、室温〜100℃では、48ppmであった。
The thermal expansion coefficient of the cured cover lay film was 48 ppm from room temperature to 100 ° C.

【0125】[0125]

【実施例4】実施例2で合成した変性ポリイミド溶液1
00gに、アデカオプトマーKRM−2110(商品
名:旭電化工業製)3g、4‘−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン 0.6g、ベンジル1.0g、ト
リブチルアミン0.6g、イソシアヌル酸EO変性トリ
アクリレートNKエステル(商品名:新中村化学工業
製)30g、DDS0.5gを添加した溶液を実施例1
と同じ条件でフィルム化し、CCL,銅貼板を作製し
た。
Example 4 Modified polyimide solution 1 synthesized in Example 2
To 00 g, 3 g of ADEKA OPTOMER KRM-2110 (trade name: manufactured by Asahi Denka Kogyo) 0.6 g of 4′-bis (diethylamino) benzophenone, 1.0 g of benzyl, 0.6 g of tributylamine, EO-modified isocyanuric acid triacrylate NK Example 1 A solution containing 30 g of an ester (trade name: Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and 0.5 g of DDS was added.
A film was formed under the same conditions as in Example 1 to prepare a CCL and copper-clad board.

【0126】カバーレイフィルムと銅箔の接着強度は、
1.7N/cmであり、100μmのライン/スペース
のパターンを形成することができた。銅貼板の銅箔をエ
ッチング除去して、残った硬化後のカバーレイフィルム
を50℃に加熱したNMP溶液に10分間浸積したがま
ったく溶解しなかった。
The adhesive strength between the coverlay film and the copper foil is as follows:
It was 1.7 N / cm, and a 100 μm line / space pattern could be formed. The copper foil of the copper-clad plate was removed by etching, and the remaining cured coverlay film was immersed in an NMP solution heated to 50 ° C. for 10 minutes, but did not dissolve at all.

【0127】硬化後のカバーレイフィルムの熱膨張係数
は、室温〜200℃では、49ppm、200〜300
℃では79ppmであった。
The thermal expansion coefficient of the cured coverlay film was 49 ppm at room temperature to 200 ° C., and 200 to 300 ppm.
It was 79 ppm at ° C.

【0128】[0128]

【実施例5】(可溶性ポリイミドの合成)攪拌機を設置
した2000mlのセパラブルフラスコにBAPS−M
68.88g(0.16モル)、DMF300gをと
り、ESDA115.3g(0.20モル)を一気に激
しく攪拌しながら加え、このまま30分間攪拌を続け
た。次いで、3,3‘−ジヒドロキシ−4,4’−ジア
ミノビフェニル4.32g(0.02モル)を加えて、
30分間攪拌し、次いで、上記化学式16(y=3、R
12=メチル基、z=13(平均))で表わされる、シリ
コンジアミン66M13(商品名:PCR Inc.
製)26g(0.02モル)を加えて、30分間攪拌し
てポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸のMw
は、5.8万であった。反応は、氷水で冷却しながら行
った。
Example 5 (Synthesis of soluble polyimide) BAPS-M was placed in a 2000 ml separable flask equipped with a stirrer.
68.88 g (0.16 mol) and 300 g of DMF were taken, and 115.3 g (0.20 mol) of ESDA was added at once with vigorous stirring, and stirring was continued for 30 minutes. Next, 4.32 g (0.02 mol) of 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl was added,
The mixture was stirred for 30 minutes, and then the above formula 16 (y = 3, R
12 = methyl group, z = 13 (average)), silicon diamine 66M13 (trade name: PCR Inc.
26g (0.02 mol) was added and stirred for 30 minutes to obtain a polyamic acid solution. Mw of this polyamic acid
Was 58,000. The reaction was performed while cooling with ice water.

【0129】このポリアミド酸溶液を、テフロンコート
したバットにとり、真空オーブンで、150℃10分、
160℃10分、170℃10分、180℃10分、1
90℃10分210℃30分、660Paの圧力で減圧
加熱した。
This polyamic acid solution is placed on a Teflon-coated vat and placed in a vacuum oven at 150 ° C. for 10 minutes.
160 ° C for 10 minutes, 170 ° C for 10 minutes, 180 ° C for 10 minutes, 1
The mixture was heated under reduced pressure at 660 Pa at 90 ° C. for 10 minutes and 210 ° C. for 30 minutes.

【0130】真空オーブンより取り出し、水酸基を有す
る可溶性熱可塑性ポリイミド202gを得た。このポリ
イミドのMwは6.2万、Tgは190℃、イミド化率
は100%であった。
The product was taken out of the vacuum oven to obtain 202 g of a soluble thermoplastic polyimide having a hydroxyl group. The Mw of this polyimide was 62,000, the Tg was 190 ° C., and the imidation ratio was 100%.

【0131】(変性ポリイミドの合成)合成した可溶性
の熱可塑性ポリイミド33gをジオキソラン66gに溶
解し、そこにトリエチルアミン0.5gとグリシジルメ
タクリレート1.0g(7ミリモル)をジオキソラン2
5gに溶解して加えた。60℃で2時間加熱攪拌を行
い、変性ポリイミドを合成した。
(Synthesis of Modified Polyimide) 33 g of the synthesized soluble thermoplastic polyimide was dissolved in 66 g of dioxolane, and 0.5 g of triethylamine and 1.0 g (7 mmol) of glycidyl methacrylate were added thereto.
Dissolved in 5 g and added. Heating and stirring were performed at 60 ° C. for 2 hours to synthesize a modified polyimide.

【0132】(感光性組成物およびカバーレイフィル
ム、CCLの製造)変性ポリイミド溶液100gにDD
S0.5g、3,3‘−カルボニルビス[7−(ジエチ
ルアミノ)クマリン]0.3g、ベンゾフェノン1g、
トリブチルアミン0.5g、イソシアヌル酸EO変性ト
リアクリレート30g、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂エピコート828(商品名:油化シェル社製)3gを
添加した溶液をペットフィルム上に塗布し、実施例1と
同様にして、感光性組成物からなる35μm厚みのカバ
ーレイフィルムを得た。また実施例1と同様にして、C
CL,銅貼板を得た。
(Production of photosensitive composition, cover lay film and CCL) DD was added to 100 g of the modified polyimide solution.
S 0.5 g, 3,3′-carbonylbis [7- (diethylamino) coumarin] 0.3 g, benzophenone 1 g,
A solution to which 0.5 g of tributylamine, 30 g of isocyanuric acid EO-modified triacrylate, and 3 g of bisphenol A type epoxy resin Epicoat 828 (trade name: manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) was applied on a pet film. Thus, a cover lay film having a thickness of 35 μm comprising the photosensitive composition was obtained. Further, in the same manner as in Example 1, C
CL and a copper-clad board were obtained.

【0133】カバーレイフィルムと銅箔の接着強度は、
1.7N/cmであり、100μmのライン/スペース
のパターンを形成することができた。銅貼板の銅箔をエ
ッチング除去して、残った硬化後のカバーレイフィルム
を50℃に加熱したNMP溶液に10分間浸積したがま
ったく溶解しなかった。
The adhesive strength between the coverlay film and the copper foil is as follows:
It was 1.7 N / cm, and a 100 μm line / space pattern could be formed. The copper foil of the copper-clad plate was removed by etching, and the remaining cured coverlay film was immersed in an NMP solution heated to 50 ° C. for 10 minutes, but did not dissolve at all.

【0134】硬化後のカバーレイフィルムの熱膨張係数
は、室温〜100℃では、60ppmであった。
The thermal expansion coefficient of the cured coverlay film was 60 ppm from room temperature to 100 ° C.

【0135】[0135]

【発明の効果】以上のように、本発明は、少なくとも可
溶性ポリイミドと炭素ー炭素二重結合を2以上有する化
合物を必須成分とする組成物であって、感光性組成物と
して有用である。また、この組成物が、Bステージ状態
のTgが−20℃〜150℃硬化後のTgが70℃〜3
00℃であり、かつ、可溶性ポリイミドが、Tgが10
0℃〜300℃であり硬化後の熱膨張係数が20ppm
〜500ppmである、組成物、さらにこの組成物に、
エポキシ樹脂、及び/または光反応開始剤または増感剤
を必須成分として添加する感光性ポリイミド組成物は、
感光性組成物として特に有用である。これらの感光性ポ
リイミド組成物を用いるカバーレイフィルムは、充分な
機械的強度、に加え耐熱性に優れ、加工性、接着性、特
に低吸湿性に優れた特性を有する。
As described above, the present invention is a composition containing at least a soluble polyimide and a compound having two or more carbon-carbon double bonds as essential components, and is useful as a photosensitive composition. In addition, this composition has a Tg in a B stage state of −20 ° C. to 150 ° C. and a Tg after curing of 70 ° C. to 3 °
00 ° C. and the soluble polyimide has a Tg of 10
0 ° C to 300 ° C and the thermal expansion coefficient after curing is 20ppm
~ 500 ppm of the composition, and further to this composition,
An epoxy resin, and / or a photosensitive polyimide composition to which a photoreaction initiator or a sensitizer is added as an essential component,
It is particularly useful as a photosensitive composition. A coverlay film using these photosensitive polyimide compositions has sufficient mechanical strength, excellent heat resistance, and excellent workability and adhesiveness, particularly excellent low moisture absorption.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 79/08 C08L 79/08 Z 5E314 G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/027 502 7/027 502 7/037 501 7/037 501 7/038 504 7/038 504 H05K 3/28 H05K 3/28 D Fターム(参考) 2H025 AA10 AA14 AB11 AC01 AD01 BC13 BC42 BC69 BJ09 CB25 CB30 CB41 4F071 AA42 AA51 AA60 AC03 AC07 AC10 AC12 AC13 AC15 AC16 AC19 AE06 AH04 AH13 BC01 4J002 CD00X CD02X CD05X CD06X CD07X CD13X CH05Y CM04W EB007 ED026 EE037 EH046 EH076 EH106 EH146 EL026 EL036 EL097 EN026 EN077 EQ017 ET007 EU027 EU037 EU186 EU196 EU227 EV027 EV046 EV297 EV307 EV327 EW046 EW147 EX016 FD20Y FD206 FD207 GG02 GQ05 4J011 AA05 PA97 PB39 QA03 QA08 QA12 QA13 QA20 QA22 QA23 QA24 QA26 QA27 QA39 QA40 QB16 SA21 SA31 SA41 SA62 SA63 SA64 SA78 SA82 SA83 SA84 SA87 UA01 WA02 4J026 AB34 AB36 AC23 BA16 BA19 BA22 BA27 BA28 BA29 BA30 BA39 BA40 BA41 BA43 BA50 CA02 CA03 DB36 GA07 GA08 5E314 AA27 AA36 CC15 DD07 FF06 GG01 GG08 GG11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 79/08 C08L 79/08 Z 5E314 G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/027 502 7/027 502 7/037 501 7/037 501 501 7/038 504 7/038 504 H05K 3/28 H05K 3/28 DF term (reference) 2H025 AA10 AA14 AB11 AC01 AD01 BC13 BC42 BC69 BJ09 CB25 CB30 CB41 4F071 AA42 AA51 AA60 AC03 AC10 AC12 AC13 AC15 AC16 AC19 AE06 AH04 AH13 BC01 4J002 CD00X CD02X CD05X CD06X CD07X CD13X CH05Y CM04W EB007 ED026 EE037 EH046 EH076 EH106 EH146 EL026 EL036 EL097 EN026 EN077 EV017 EV007 EG007 EB007 GQ05 4J011 AA05 PA97 PB39 QA03 QA08 QA12 QA13 QA20 QA22 QA23 QA24 QA26 QA27 QA39 QA 40 QB16 SA21 SA31 SA41 SA62 SA63 SA64 SA78 SA82 SA83 SA84 SA87 UA01 WA02 4J026 AB34 AB36 AC23 BA16 BA19 BA22 BA27 BA28 BA29 BA30 BA39 BA40 BA41 BA43 BA50 CA02 CA03 DB36 GA07 GA08 5E314 AA27 AA36 CC15 DD07 FF06 GG01 GG08

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも、可溶性ポリイミド,及び炭
素ー炭素二重結合を2以上有する化合物を必須成分とす
る、組成物。
1. A composition comprising, as essential components, at least a soluble polyimide and a compound having two or more carbon-carbon double bonds.
【請求項2】 少なくとも、A.可溶性ポリイミド:1
00重量部,B.アクリロイル基、メタクリロイル基、
ビニル基、アリル基からなる群から選択される有機基を
2以上含む化合物:1〜150重量部を必須成分とす
る、組成物。
2. At least A. Soluble polyimide: 1
00 parts by weight, B.I. Acryloyl group, methacryloyl group,
A compound containing two or more organic groups selected from the group consisting of a vinyl group and an allyl group: a composition containing 1 to 150 parts by weight as an essential component.
【請求項3】 前記可溶性ポリイミドが、芳香環を1〜
3個有する酸二無水物、または脂環式の酸二無水物を用
いて得られる、請求項1または請求項2に記載の組成
物。
3. The soluble polyimide has an aromatic ring of 1 to 3.
The composition according to claim 1, wherein the composition is obtained by using an acid dianhydride having three or an alicyclic acid dianhydride.
【請求項4】 前記可溶性ポリイミドが、芳香環を1〜
6個有するジアミン、またはシロキサン結合を有するジ
アミンを、全ジアミンに対し5〜100モル%用いて得
られる、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の組成
物。
4. The method according to claim 1, wherein the soluble polyimide has one or more aromatic rings.
The composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the composition is obtained by using a diamine having six or a diamine having a siloxane bond in an amount of 5 to 100 mol% based on all diamines.
【請求項5】 前記可溶性ポリイミドが、化1 【化1】 (式中、R1は、−,−CO−,−O−,−C(CF3
2−,−C(CH32−を、R2は、2価の有機基を表
す。)から選ばれる酸二無水物を、全酸二無水物に対し
10〜100モル%用いて得られる、請求項3または請
求項4記載の組成物。
5. The method according to claim 1, wherein the soluble polyimide is (Wherein, R 1 represents —, —CO—, —O—, —C (CF 3 )
2 -, - C (CH 3 ) 2 - a, R 2 represents a divalent organic group. The composition according to claim 3 or 4, wherein the composition is obtained by using an acid dianhydride selected from the group consisting of 10 to 100 mol% based on the total acid dianhydride.
【請求項6】 前記可溶性ポリイミドが、化2 【化2】 (式中、R3は、−,−CO−,−O−,−C(CF3
2−,−C(CH32−,−COO−を、R4は、水素,
ハロゲン,メトキシ基,C1〜C5のアルキル基を、m
は0,1,2,3を、nは、0,1,2,3,4を示
す。)から選ばれるジアミンを、全ジアミン中、10〜
100モル%用いて得られる、請求項4または請求項5
記載の組成物。
6. The soluble polyimide according to claim 2, wherein (Wherein, R 3 is —, —CO—, —O—, —C (CF 3 )
2 -, - C (CH 3 ) 2 -, - COO- a, R 4 is hydrogen,
A halogen, a methoxy group, a C1-C5 alkyl group
Represents 0, 1, 2, 3 and n represents 0, 1, 2, 3, 4. ) Is selected from 10 to 10
6. The composition of claim 4, which is obtained by using 100 mol%.
A composition as described.
【請求項7】 前記可溶性ポリイミドが、一般式(1)
化3 【化3】 (但し、式中R5は4価の有機基、R7は2価の有機基、
6は化4 【化4】 (式中R8は、エポキシ基、炭素ー炭素三重結合、また
は炭素ー炭素二重結合からなる群から選択される1以上
を有する、1価の有機基である。)から選択される1〜
4の有機基を含む価の有機基、mは1以上の整数、nは
0以上の整数。)で表される、請求項1乃至請求項6の
いずれかに記載の組成物。
7. The method according to claim 1, wherein the soluble polyimide has a general formula (1)
Chemical formula 3 Chemical formula 3 (Where R 5 is a tetravalent organic group, R 7 is a divalent organic group,
R 6 is Chemical Formula 4 (Wherein R 8 is a monovalent organic group having at least one selected from the group consisting of an epoxy group, a carbon-carbon triple bond, or a carbon-carbon double bond).
A valent organic group containing an organic group of 4, m is an integer of 1 or more, and n is an integer of 0 or more. The composition according to any one of claims 1 to 6, which is represented by:
【請求項8】 前記組成物が、Bステージ状態のTgが
−20℃〜150℃、および硬化後のTgが70℃〜3
00℃であり、かつ、前記可溶性ポリイミドが、Tgが
100℃〜300℃であり、硬化後の熱膨張係数が20
ppm〜500ppmである、請求項1乃至請求項7の
いずれかに記載の組成物。
8. The composition according to claim 1, wherein the Bg stage has a Tg of −20 ° C. to 150 ° C., and a cured Tg of 70 ° C. to 3 ° C.
00 ° C., and the soluble polyimide has a Tg of 100 ° C. to 300 ° C. and a thermal expansion coefficient of 20 after curing.
The composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the composition is from ppm to 500 ppm.
【請求項9】 請求項1または請求項2に記載の組成物
を用いることを特徴とするカバーレイフィルム。
9. A coverlay film using the composition according to claim 1 or 2.
【請求項10】 A.B.成分に加え、さらに、C.光
反応開始剤及び/または増感剤を必須成分とする請求項
1または請求項2記載の感光性組成物。
10. A. B. In addition to the components, C.I. 3. The photosensitive composition according to claim 1, comprising a photoreaction initiator and / or a sensitizer as an essential component.
【請求項11】 請求項10記載の感光性組成物を用い
ることを特徴とするカバーレイフィルム。
11. A coverlay film using the photosensitive composition according to claim 10.
【請求項12】 さらにD.分子内に1個以上のエポキ
シ環を有するエポキシ樹脂を、可溶性ポリイミド100
重量部に対し、1重量部〜100重量部を必須成分とす
る、請求項9記載の感光性組成物。
12. The method according to claim 12, wherein An epoxy resin having one or more epoxy rings in a molecule is prepared by using soluble polyimide 100
The photosensitive composition according to claim 9, wherein 1 to 100 parts by weight is an essential component with respect to parts by weight.
【請求項13】 請求項12記載の感光性組成物を用い
ることを特徴とするカバーレイフィルム。
13. A coverlay film using the photosensitive composition according to claim 12.
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