JP2002155395A - 長尺基板のめっき方法およびめっき装置 - Google Patents

長尺基板のめっき方法およびめっき装置

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JP2002155395A
JP2002155395A JP2000349486A JP2000349486A JP2002155395A JP 2002155395 A JP2002155395 A JP 2002155395A JP 2000349486 A JP2000349486 A JP 2000349486A JP 2000349486 A JP2000349486 A JP 2000349486A JP 2002155395 A JP2002155395 A JP 2002155395A
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plating
plating solution
long
shielding plate
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Ryuichi Takamura
竜一 高村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺基板の片面または両面の側端部を含む表
面全体に均一な膜厚のめっき膜を形成することが可能な
めっき方法およびめっき装置を提供することである。 【解決手段】 長尺基板3は、幅方向を上下方向に向け
て2対の搬送ローラ4間に挟持されている。搬送ローラ
4が矢印Rの方向に回転することにより、長尺基板3は
めっき液に浸漬しながら一定の速度で矢印Xの方向に移
動する。さらに、長尺基板3と各陽極5との間におい
て、めっき槽1の上部にそれぞれ遮蔽板6が配置され、
めっき槽1の下部にそれぞれ遮蔽板7が配置される。上
部遮蔽板6は、上端がめっき液の液面よりも上方に突出
するように配置され、下部遮蔽板7は、下端がめっき槽
の底面と接触するように設置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、長尺の基板のめっ
き方法およびめっき装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プリント配線基板の形成においては、プ
リント配線基板形成用の基板の表面全体に表面層におけ
る回路導体の形成や表面層と中間層における回路導体間
の導通のために必要なパネルめっき、パターンめっき、
スルーホールめっきなどを施し、導体層となる銅のめっ
き膜を形成する。さらに、このめっき膜を所定のパター
ンに加工して、複数の配線パターンを形成する。このよ
うにして、プリント配線基板が形成される。
【0003】近年、プリント配線基板を使用する電子機
器の高密度化および小型化が進み、配線パターンが高密
化になり、電気的特性の面から導体層として形成される
めっき膜の膜厚が均一であることが望まれている。
【0004】また、プリント配線基板の低コスト化が望
まれ、製造における合理化が必要とされている。そのた
め、長尺のプリンタ配線基板をロールで連続的または断
続的に搬送しながら長尺のプリント配線基板上に導体層
となるめっき膜を形成する方法が提案されている。以
下、長尺のプリント配線基板を長尺基板と称する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来のプリント配線基
板に均一な膜厚を有するめっき膜を形成する方法として
は、めっき対象物であるプリント配線基板形成用の基板
と陽極との間に遮蔽板として絶縁性の多孔板を配置し、
めっき時の電流密度を調整する方法がある。
【0006】しかしながら、この方法においても、プリ
ント配線基板形成用の基板の表面全体にわたり均一な膜
厚のめっき膜を形成することが困難である。特に、基板
の側端部においては、膜厚が過剰になる。そのため、長
尺基板においては、側端部の膜厚が厚いと電解めっきを
施した後、ロール状に均一に巻き取ることができず、長
尺基板に破損や皺が生じる。また、製品として使用でき
る長尺基板の面積が小さくなる。これらの結果、長尺基
板の品質および歩留りを低下させることとなる。
【0007】本発明の目的は、長尺基板の片面または両
面の側端部を含む表面全体に均一な膜厚のめっき膜を形
成することが可能なめっき方法およびめっき装置を提供
することである。
【0008】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第1の
発明に係る長尺基板のめっき方法は、長尺基板の片面全
体または両面全体にめっきする方法であって、長尺基板
の幅方向を上下方向に向けてめっき液を収容するめっき
液収容部内に長尺基板を浸漬し、長尺基板の片側または
両側に長尺基板と対向するように陽極を配置し、陽極と
長尺基板との間において長尺基板の上側の側端部に対向
するように上部遮蔽板を配置するとともに長尺基板の下
側の側端部に対向するように下部遮蔽板を配置し、長尺
基板を長さ方向に搬送しながらめっきするものである。
【0009】本発明に係る長尺基板のめっき方法におい
ては、陽極と長尺基板との間において長尺基板の上側の
側端部に対向するように上部遮蔽板を配置するとともに
長尺基板の下側の側端部に対向するように下部遮蔽板を
配置し、長尺基板を長さ方向に搬送することにより、長
尺基板の側端部での電流密度の増加を抑制することがで
きる。これにより、長尺基板の表面全体における電流密
度が均一となり、長尺基板の表面全体においてめっき膜
の膜厚を均一にすることが可能となる。
【0010】したがって、長尺基板をロール状に巻き取
った場合、均一に巻き取ることができ、長尺基板に破損
や皺が発生しない。また、製品として使用できる長尺基
板の面積が大きくなる。その結果、長尺基板の品質およ
び歩留りを向上することができる。
【0011】上部遮蔽板は、上端がめっき液収容部内の
めっき液の液面よりも上方に突出するように配置するこ
とが好ましい。
【0012】この場合、めっき液の液面近傍での電流の
回り込みを十分に防止することができるので、長尺基板
の上側の側端部における電流密度の増加を十分に抑制す
ることができる。その結果、長尺基板の片面または両面
の上側の側端部および中央部においてめっき膜の膜厚を
さらに均一にすることが可能となる。
【0013】下部遮蔽部は、下端がめっき液収容部の底
面に接触するように配置することが好ましい。
【0014】この場合、めっき液収容部の底面近傍での
電流の回り込みを十分に防止することができるので、長
尺基板の下側の側端部における電流密度の増加を十分に
抑制することができる。その結果、長尺基板の片面また
は両面の下側の側端部および中央部においてめっき膜の
膜厚をさらに均一にすることが可能となる。
【0015】なお、上部遮蔽板を上端がめっき液収容部
内のめっき液の液面よりも上方に突出するように配置
し、かつ、下部遮蔽板を下端がめっき槽の底面に接触す
るように配置することにより、長尺基板の上側および下
側の側端部における電流密度の増加を抑制することがで
き、長尺基板の両側端部を含む表面全体にわたって電流
密度をさらに均一にすることができる。
【0016】その結果、長尺基板の側端部を含む表面全
体においてめっき膜の膜厚をさらに均一にすることが可
能となる。
【0017】第2の発明に係る長尺基板のめっき装置
は、長尺基板の片面または両面全体にめっきする装置で
あって、めっき液を収容するめっき液収容部と、長尺基
板の片側または両側に長尺基板と対向するように配置さ
れた陽極と、長尺基板の幅方向を上下方向に向けてめっ
き液収容部内に長尺基板を浸漬した状態で長さ方向に搬
送する搬送手段と、長尺基板と陽極との間において、長
尺基板の上側の側端部に対向するように配置された上部
遮蔽板と、長尺基板の下側の側端部に対向するように配
置された下部遮蔽板とを備えたものである。
【0018】本発明に係る長尺基板のめっき装置におい
ては、長尺基板と陽極との間において長尺基板の上側の
側端部に対向するように上部遮蔽板を配置するとともに
長尺基板の下側の側端部に対向するように下部遮蔽板を
配置し、搬送手段により長尺基板を上下方向に向けてめ
っき液収容部内に長尺基板を浸漬した状態で長さ方向に
搬送することにより長尺基板の側端部での電流密度の増
加を抑制することができる。これにより長尺基板の表面
全体における電流密度が均一となり、長尺基板の表面全
体におけるめっき膜の膜厚を均一にすることが可能とな
る。
【0019】したがって、長尺基板をロール状に巻き取
った場合、均一に巻き取ることができ、長尺基板に破損
や皺が発生しない。また、製品として使用できる長尺基
板の面積が大きくなる。その結果、長尺基板の品質およ
び歩留りを向上することができる。
【0020】上部遮蔽部は、上端がめっき液収容部に収
容されためっき液の液面よりも上方に突出するように配
置することが好ましい。
【0021】この場合、めっき液の液面近傍での電流の
回り込みを十分に防止することができるので、長尺基板
の上側の側端部における電流密度の増加を抑制すること
ができる。その結果、長尺基板の片面または両面の上側
の側端部および中央部においてめっき膜の膜厚をさらに
均一にすることが可能となる。
【0022】下部遮蔽部は、下端がめっき液収容部の底
面に接触するように配置することが好ましい。
【0023】この場合、めっき液収容部の底面近傍での
電流の回り込みを十分に防止することができるので、長
尺基板の下側の側端部における電流密度の増加を抑制す
ることができる。その結果、長尺基板の下側の側端部お
よび中央部においてめっき膜の膜厚をさらに均一にする
ことが可能となる。
【0024】なお、上部遮蔽部を上端がめっき液収容部
に収容されためっき液液面よりも上方に突出するように
配置し、かつ、下部遮蔽板を下端がめっき液収容部の底
面に接触するように配置することにより、長尺基板の上
側および下側の側端部における電流密度の増加を抑制す
ることができ、表面全体においてさらに電流密度をさら
に均一にすることが可能となる。
【0025】その結果、長尺基板の両側端部を含む表面
全体においてさらに均一な膜厚のめっき膜を形成するこ
とが可能となる。
【0026】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施の形態に
おける長尺めっき装置の模式的斜視図である。また、図
2は、図1に示す長尺めっき装置の縦断面図である。こ
こでは、長尺基板の両面にめっき膜を形成する場合につ
いて説明する。
【0027】図1および図2において、めっき槽1内は
めっき液2により満たされている。なお、めっき槽1と
搬送ローラ4との隙間またはめっき槽1と長尺基板3と
の隙間からめっき液が漏れている場合には、めっき槽1
の下部に、めっき槽1から漏れ出ためっき液2を受ける
収納槽(図示せず)を配置する。この場合、収納槽に溜
まっためっき液2は、ポンプを用いてめっき槽1内に戻
す。長尺基板3は、通常ロール状に巻かれており、幅方
向を上下方向に向けて2対の搬送ローラ4間に挟持され
ている。搬送ローラ4が矢印Rの方向に回転することに
より長尺基板3はめっき液2に浸漬しながら、一定の速
度で矢印Xの方向に移動する。
【0028】なお、上記の長尺基板3の幅は任意であ
る。例えば、本実施の形態においては、幅250mmの
長尺基板を用いる。
【0029】さらに、めっき槽1内には、長尺基板3の
一方の面に対向するように陽極5が配置され、長尺基板
のもう一方の面と対向するようにさらに陽極5が配置さ
れる。
【0030】さらに、各陽極5と長尺基板3との間にお
いて、めっき槽1の上部にそれぞれ遮蔽板6が配置さ
れ、めっき槽1の下部にそれぞれ遮蔽板7が配置され
る。上部の遮蔽板6の上端がめっき液2の液面よりも上
方に突出するように設置され、下部の遮蔽板7は、下端
がめっき槽の底面と接触するように設置される。また、
遮蔽板6は陽極5とほぼ平行に配置され、遮蔽板7は陽
極5に対向する領域が陽極5とほぼ平行に配置される。
【0031】ここで、各遮蔽板6,7と長尺基板3との
距離をaとし、各遮蔽板6,7と陽極5との距離をbと
する。
【0032】各遮蔽板6,7と長尺基板3との距離a
は、10〜30mmであることが望ましい。例えば、遮
蔽板6,7と長尺基板3との距離aが10mmよりも短
い場合には、遮蔽板6,7が遮蔽の効果を十分に発揮す
ることができず、均一な膜厚のめっき膜を形成すること
ができない。さらに、長尺基板3がめっき槽1内を移動
する際、遮蔽板6,7と接触する可能性がある。その結
果、長尺基板3が破損する恐れがある。
【0033】また、各遮蔽板6,7と長尺基板3との距
離aが30mmよりも長い場合には、遮蔽後の距離が長
過ぎるため、遮蔽後に電流が遮蔽板6の端部に回り込む
現象が生じる。その結果、長尺基板3に形成されためっ
き膜の膜厚が側端部において過大となる。陽極5と長尺
基板3との距離(a+b)は、めっき槽1の大きさなど
の許容スペースにより決定されるが、100mm程度で
あることが好ましい。
【0034】なお、遮蔽板6,7の横方向の長さは、め
っき槽1の内壁面と遮蔽板6,7の両端部との間に隙間
ができない程度が好ましい。また、遮蔽板6,7の材料
は、絶縁物であれば特に限定されるものではない。遮蔽
板6,7の材料としては、例えばエポキシ樹脂、アクリ
ル樹脂、ポリイミド樹脂、塩化ビニル等があげられる。
特に、めっき液2中の安定性の点から遮蔽板6,7は塩
化ビニルから構成されることが好ましい。
【0035】以上のように、めっき槽1内に長尺基板
3、陽極5および遮蔽板6を設置し、各陽極5から長尺
基板3に電流を流す。例えば、本実施例においては、電
流密度2.8A/dm2 および電流値350Aの定電流
を流す。
【0036】すなわち、長尺基板3がめっき槽1内を移
動し、長尺基板3がめっき液2に浸漬した際、電解めっ
きが施され、めっき膜が形成される。長尺基板3は電解
めっきが施された後、再びロール状に巻かれる。
【0037】このとき、長尺基板3の上部の側端部と陽
極5との間に遮蔽板6が配置され、かつ長尺基板3の下
部の側端部と陽極5との間に遮蔽板7が配置されている
ので、長尺基板3の側端部への電流密度の増加が抑制さ
れる。
【0038】その結果、長尺基板3の表面全体にわたっ
て電流密度が均一となり、長尺基板3の表面全体におい
てめっき膜の膜厚を均一にすることが可能となる。
【0039】図3は、図1の長尺めっき装置に用いられ
る遮蔽板6の他の例を示す平面図である。図3の遮蔽板
10においては、上部の遮蔽板6と下部の遮蔽板7とが
両側の連結部8により連結され、一体化されている。こ
の遮蔽板9を用いた場合にも、長尺基板3の表面全体に
おいて、めっき膜の膜厚を均一にすることが可能とな
る。
【0040】
【実施例】[実施例1]実施例1においては、図1およ
び図2に示すめっき装置を用いて、長尺基板3の電解め
っきを実施した。なお、ここでは上部と下部にそれぞれ
配置した遮蔽板6,7を用いた。実施例1におけるめっ
き条件を表1に示す。
【0041】
【表1】
【0042】[実施例2]実施例2においては、図4の
長尺めっき装置を用いて実施例1と同じ条件により長尺
基板3の電解めっきを行った。
【0043】図4は、実施例2における長尺めっき装置
の断面図である。図4に示すように、上部の遮蔽板6a
の上端がめっき液2の液面から上方に突出しないように
遮蔽板6aを配置し、かつ、下部の遮蔽板7aの下端が
めっき槽1の底面に接触しないように遮蔽板7aを配置
している。
【0044】[比較例]比較例においては、遮蔽板6を
設置しない点を除いて実施例1,2と同じ長尺めっき装
置を用いて同じ条件により長尺基板3の電解めっきを行
った。
【0045】実施例1、実施例2および比較例におい
て、長尺基板3に形成されためっき膜の平均の膜厚およ
び膜厚の最大値と最小値の差を測定した。また、電解め
っきを施した後、長尺基板3をロール状に巻き、巻姿を
観察した。
【0046】実施例1、実施例2および比較例における
測定および観察の結果を表2、図5、図6および図7に
示す。
【0047】
【表2】
【0048】実施例1においては、表2および図5に示
すように、長尺基板3に形成されためっき膜の膜厚が端
部まで均一になっている。また、図6に示すように、長
尺基板3をロール状に巻き取った場合の巻姿も良好であ
った。
【0049】実施例2においては、図5に示すように、
長尺基板3に形成されためっき膜の膜厚が端部でやや過
大となった。また、長尺基板3をロール状に巻き取った
場合の巻姿もやや悪くなった。
【0050】これに対して、比較例においては、表2お
よび図5に示すように、長尺基板3に形成されためっき
膜の膜厚が端部で過大となった。また、図7に示すよう
に、長尺基板3をロール状に巻き取った場合の巻姿も悪
くなった。
【0051】以上の結果から、長尺めっき装置におい
て、上部の遮蔽板6を上端がめっき液2の液面より上方
に突出するように配置し、かつ、下部の遮蔽板7の下端
がめっき槽1の底面に接触するように配置することによ
り、長尺基板3に形成されるめっき膜の膜厚を端部を含
めて全体的に均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における長尺めっき装置の
模式的斜視図である。
【図2】図1に示す長尺めっき装置の縦断面図である。
【図3】本発明に係る長尺めっき装置に用いられる遮蔽
板の他の例を示す平面図である。
【図4】実施例2における長尺めっき装置の断面図であ
る。
【図5】実施例1、実施例2および比較例における測定
の結果を示す図である。
【図6】実施例1により電解めっきを施された長尺基板
の巻姿を示す図である。
【図7】比較例により電解めっきを施された長尺基板の
巻姿を示す図である。
【符号の説明】
1 めっき槽 2 めっき液 3 長尺基板 4 搬送ローラ 5 陽極 6,7 遮蔽板

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長尺基板の片面全体または両面全体にめ
    っきする方法であって、 前記長尺基板の幅方向を上下方向に向けてめっき液を収
    容するめっき液収容部内に前記長尺基板を浸漬し、前記
    長尺基板の片側または両側に前記長尺基板と対向するよ
    うに陽極を配置し、前記陽極と前記長尺基板との間にお
    いて前記長尺基板の上側の側端部に対向するように上部
    遮蔽板を配置するとともに前記長尺基板の下側の側端部
    に対向するように下部遮蔽板を配置し、前記長尺基板を
    長さ方向に搬送しながらめっきすることを特徴とする長
    尺基板のめっき方法。
  2. 【請求項2】 前記上部遮蔽板を、上端が前記めっき液
    収容部内の前記めっき液の液面よりも上方に突出するよ
    うに配置することを特徴とする請求項1記載の長尺基板
    のめっき方法。
  3. 【請求項3】 前記下部遮蔽板を、下端が前記めっき液
    収容部の底面に接触するように配置することを特徴とす
    る請求項1または2記載の長尺基板のめっき方法。
  4. 【請求項4】 長尺基板の片面または両面全体にめっき
    するめっき装置であって、 めっき液を収容するめっき液収容部と、 前記長尺基板の片側または両側に前記長尺基板と対向す
    るように配置された陽極と、 前記長尺基板の幅方向を上下方向に向けて前記めっき液
    収容部内に前記長尺基板を浸漬した状態で長さ方向に搬
    送する搬送手段と、 前記長尺基板と前記陽極との間において、前記長尺基板
    の上側の側端部に対向するように配置された上部遮蔽板
    と、 前記長尺基板の下側の側端部に対向するように配置され
    た下部遮蔽板とを備えたことを特徴とする長尺基板のめ
    っき装置。
  5. 【請求項5】 前記上部遮蔽部は、上端が前記めっき液
    収容部に収容された前記めっき液の液面よりも上方に突
    出するように配置されたことを特徴とする請求項4記載
    の長尺基板のめっき装置。
  6. 【請求項6】 前記下部遮蔽部は、下端が前記めっき液
    収容部の底面に接触するように配置されたことを特徴と
    する請求項4または5記載の長尺基板のめっき装置。
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