JP2002142441A - リニアステップモータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置を小型化でき、しかも鉄損を小さくでき
るリニアステップモータを提供する。 【解決手段】 第１の所定ピッチで配置された多数の固
定子磁極歯４７を備える固定子鉄心３３を設けた固定子
１２と、固定子磁極歯４７に対向して前記第１の所定ピ
ッチで配置された可動子磁極歯４５を備えた複数の可動
子鉄心１６〜１９が第２の所定ピッチで設けられ、しか
も固定子鉄心３３上を少しの隙間を有して移動する可動
子１３とを備え、前記隙間は可動子１３から吹き出され
る圧縮空気によって形成されているリニアステップモー
タ１０であって、可動子１３から前記圧縮空気を吹き出
すノズルは、可動子鉄心１６〜１９に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可動子から固定子
に圧縮空気を噴出して可動子を空気浮上させて移動する
空気浮上型のリニアステップモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、製品の搬送装置などに使用される
リニアステップモータにおいては、可動子と固定子との
間隔を一定に保つため、可動子あるいは固定子に空気噴
出孔を設け、圧縮空気を送り込むことにより可動子を浮
上させる構造の空気浮上型リニアステップモータが採用
されている。空気浮上型リニアステップモータの一例と
して、図８（Ａ）、（Ｂ）に示す形態のリニアステップ
モータ７０が知られている。リニアステップモータ７０
においては、可動子（スライダー）７０ａの一部を構成
し、製品を搭載するテーブル７１の外枠７１ａの内部に
空気通路７２が形成されている。空気通路７２には、図
示しない圧縮空気供給装置に連通された空気供給口７３
から圧縮空気が供給され、可動子７０ａの外枠７１ａの
走行方向の両端下部に形成され、空気通路７２に連通す
る空気噴出口７４から圧縮空気を噴出させることによっ
て、可動子７０ａを浮上させる構造となっている。この
リニアステップモータ７０においては、可動子７０ａの
内側には、先端部に所定のピッチの可動子磁極歯が所定
の数（図では４個）配置された４つの可動子鉄心７５〜
７８が所定のピッチで配置されると共に、前記所定のピ
ッチの可動子磁極歯に対向して配置された前記所定のピ
ッチの固定子磁極歯を有する固定子鉄心（Ｎ極）７９を
設けた固定子（ステーター）７９ａを備えている。従っ
て、リニアステップモータ７０では、可動子７０ａと固
定子７９ａとのギャップ（隙間）が小さくでき、推力を
稼げ、さらに振動が小さいといった利点がある。可動子
鉄心７５〜７８及び固定子鉄心７９は、高磁性材料であ
る電磁鋼板が積層されたり、あるいは一体物で構成され
ている。なお、図８中の符号８０はそれぞれの可動子鉄
心７５〜７８に巻き付けられた励磁コイルを、符号８１
は固定子７９ａの一部を構成するマグネットを、符号８
２は固定子７９ａの一部を構成するＳ極を、符号８３、
８４は可動子７０ａを固定子７９ａに対して案内するス
ライダ機構を表している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のリニアステップモータ７０においては、未だ解決す
べき以下のような問題があった。可動子７０ａと固定子
７９ａとが、スライダ機構８３、８４などの摺動部材を
介して取付けられているので、装置を小型化できないと
いう問題があった。また、装置の中で、高磁性材料であ
る電磁鋼板は、一部分（可動子鉄心７５〜７８及び固定
子鉄心７９）にしか使用されていないので、十分な磁路
が形成されないため、漏洩磁束が発生し、その他の材料
からなる摺動部材においては、鉄損が発生するという問
題があった。さらに、空気供給口７３、空気通路７２及
び空気噴出口７４が可動子７０ａのテーブル７１の外枠
７１ａに形成されているので、装置が大型化するという
問題もあった。

【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、装置を小型化でき、しかも鉄損を小さくできる
リニアステップモータを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的に沿う本発明に
係るリニアステップモータは、第１の所定ピッチで配置
された多数の固定子磁極歯を備える固定子鉄心を設けた
固定子と、固定子磁極歯に対向して第１の所定ピッチで
配置された可動子磁極歯を備えた複数の可動子鉄心が第
２の所定ピッチで設けられ、しかも固定子鉄心上を少し
の隙間を有して移動する可動子とを備え、隙間は可動子
から吹き出される圧縮空気によって形成されているリニ
アステップモータであって、可動子から圧縮空気を吹き
出すノズルは、可動子鉄心に形成されている。これによ
って、圧縮空気を可動子鉄心から吹き出すことができる
ので、装置の殆どを高磁性材料で構成でき、漏洩磁束の
発生が抑制されるため磁気回路を効率的に構成でき、こ
の結果、鉄損を抑制できる。

【０００６】本発明に係るリニアステップモータにおい
て、可動子鉄心及び固定子鉄心は、可動子の進行方向に
対して左右対称な傾斜面部を有し、それぞれの傾斜面部
から可動子磁極歯又は固定子磁極歯が左右対称に突出し
て構成することもできる。これによって、磁束の通過す
る面積が拡大され、推力を大きく取れる。本発明に係る
リニアステップモータにおいて、ノズルに圧縮空気を送
る空気通路は可動子鉄心内に形成され、しかも、可動子
鉄心及び固定子鉄心は多数の鉄心片を積層したものから
なるように構成することもできる。これによって、可動
子鉄心及び固定子鉄心の製作が簡略化される。

【０００７】

【発明の実施の形態】続いて、添付した図面を参照しつ
つ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発
明の理解に供する。ここに、図１は本発明の一実施の形
態に係るリニアステップモータの側断面図、図２は同リ
ニアステップモータの正断面図、図３は同リニアステッ
プモータの側面図、図４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、同
リニアステップモータの可動子鉄心、固定子鉄心の一部
分の斜視図、図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、
同リニアステップモータの可動子鉄心の正面図、背面
図、側面図、図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそ
れぞれ、同リニアステップモータの可動子鉄心を構成す
る互いに異なる可動子鉄心片の正面図、図７（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ、同リニアステップ
モータの動作原理を説明する説明図である。

【０００８】図１〜図３に示す本発明の一実施の形態に
係るリニアステップモータ１０は、長尺で矩形状のプレ
ート１１に多数（本実施の形態では１２５枚）の固定子
磁極歯を有する固定子鉄心片が第１の所定ピッチで積層
して取付けられた固定子鉄心３３を設けた固定子１２
と、固定子１２の固定子鉄心３３上を少しの隙間Ｓを有
して移動する可動子１３とを備えている。以下、これら
について詳細に説明する。なお、可動子１３の移動する
方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向、
垂直方向をＺ軸方向とする。

【０００９】可動子１３は、上部に水平に配置された長
尺で矩形プレート状のテーブル１４と、テーブル１４の
下面１５に第２の所定ピッチで取付けられた４つの可動
子鉄心１６、可動子鉄心１７、可動子鉄心１８、可動子
鉄心１９を備えている。各可動子鉄心１６〜１９もそれ
ぞれ、固定子鉄心３３と同様、多数の（本実施の形態で
は２０枚）の鉄心片が積層して配置されている。可動子
鉄心１６、可動子鉄心１７、可動子鉄心１８及び可動子
鉄心１９の周囲にはそれぞれ、励磁コイル２０〜２３が
取付けられている。励磁コイル２０は端部保持枠２４と
スペーサー２５の左側部分により、励磁コイル２１はス
ペーサー２５の右側部分とスペーサー２６の左側部分に
より、励磁コイル２２はスペーサー２６の右側部分とス
ペーサー２７の左側部分により、励磁コイル２３はスペ
ーサー２７の右側部分と端部保持枠２８によりＸ（移
動）方向の両端部が支持されている。なお、励磁コイル
２０〜２３による磁束の流れは、図２に矢印で示す方向
に可動子鉄心１６（可動子鉄心１７〜可動子鉄心１９も
同じ）及び固定子鉄心３３間で循環する。

【００１０】固定子１２のプレート１１上には、端部保
持枠２４、２８よりさらに外側まで１２５枚の固定子鉄
心片がＸ軸方向に、可動子１３の長さより長く積層され
ており、固定子鉄心片の両端はプレート１１の上面の両
端部に垂直に配置された矩形プレート状の支持枠材２
９、３０により保持されている。また、図２に示すよう
に、固定子１２のＹ軸方向のプレート１１上の両端部に
は、固定子鉄心３３のＹ軸方向の端部と所定の隙間Ｇを
開けて、長尺で矩形プレート状の支持枠材３１、３２が
垂直に取付けられている。支持枠材２９、３０及び支持
枠材３１、３２により、可動子鉄心１６〜１９及び固定
子鉄心３３を囲む枠が形成されている。なお、プレート
１１、テーブル１４、端部保持枠２４、２８、スペーサ
ー２５〜２７及び支持枠材２９〜３２は、ステンレス鋼
（ＳＵＳ３０）、アルミ、真鍮等の非磁性金属材料から
なっている。端部保持枠２４、２８はプラスチック製で
も構わない。

【００１１】図４（Ａ）及び図５には、可動子鉄心１６
（可動子鉄心１７〜可動子鉄心１９も同じ）の詳細を、
また、図４（Ｂ）には便宜上、可動子鉄心１６の長さと
同じ長さで、固定子鉄心３３の一部を構成する詳細を示
している。図４〜図６を参照して、正面視して「Ｅ」字
状の可動子鉄心１６の構成を説明する。図４及び図５に
示すように、可動子鉄心１６は２０枚の正面視して
「Ｅ」字状の端部可動子鉄心片３４ａ、１８枚の中間部
可動子鉄心片３４ｂ〜３４ｓ及び端部可動子鉄心片３４
ｔが積層されて構成されている。端部可動子鉄心片３４
ａ、３４ｔ又は中間部可動子鉄心片３４ｂ〜３４ｓは、
図６（Ａ）〜（Ｄ）に示す４枚の可動子鉄心片３５ａ〜
３５ｄの内いずれか１片を使用している。

【００１２】図６（Ａ）〜（Ｄ）に示す可動子鉄心片３
５ａ〜３５ｄは電磁鋼板（厚みが０．２〜２ｍｍ程度）
をプレスにより打抜きし、また、プレスの半抜きにより
カシメ用の凸部及び／又は凹部を形成し加工して製作さ
れる。従って、各可動子鉄心片３４ａ〜３４ｔは、打抜
き及び半抜き加工された後、順次それぞれの凸部と凹部
を嵌合させて結合されるようになっている。各可動子鉄
心片３５ａ〜３５ｄは、天井部３６と、天井部３６の両
端部の下端に直交して連結された垂直側部３７、３８
と、天井部３６の中央部の下端に直交して連結された逆
「Ｔ」字状の垂直中央部３９を備えている。

【００１３】図６（Ａ）に示すように、可動子鉄心片３
５ａにおいては、天井部３６の中央部に貫通孔４０が形
成されており、貫通孔４０の下部に連通して天井部３６
及び垂直中央部３９には切り欠き４１が形成されてい
る。図６（Ｂ）に示すように、可動子鉄心片３５ｂにお
いては、天井部３６の中央部に貫通孔４２が形成されて
おり、貫通孔４２の一側部に連通して天井部３６には切
り欠き４３が形成されている。図６（Ｃ）に示すよう
に、可動子鉄心片３５ｃにおいては、天井部３６の中央
部に貫通孔４４が形成されている。図６（Ｄ）に示すよ
うに、可動子鉄心片３５ｄにおいては、天井部３６及び
垂直中央部３９にも貫通孔又は切り欠きは形成されてい
ない。

【００１４】従って、例えば、可動子鉄心１６の両端に
使用する端部可動子鉄心片３４ａ、３４ｔとしては、可
動子鉄心片３５ｄを、また、中間部可動子鉄心片３４
ｂ、３４ｃ、３４ｆ、３４ｇ、３４ｊ、３４ｋ、３４
ｎ、３４ｏ、３４ｒ、３４ｓとしては、可動子鉄心片３
５ａを選択することができる。さらに、可動子鉄心１６
の中間部に使用する中間部可動子鉄心片３４ｌ（エ
ル）、３４ｍとしては、可動子鉄心片３５ｂを選択する
ことができる。その他の中間部可動子鉄心片３４ｄ、３
４ｅ、３４ｈ、３４ｉ、３４ｐ、３４ｑとしては、可動
子鉄心片３５ｃを選択することができる。従って、図５
に示すように、各可動子鉄心片３４ａ〜３４ｔが順次積
層された可動子鉄心１６においては、圧縮空気は天井部
３６の垂直側部３８側の２つの切り欠き４３で形成され
た空気通路に供給され、貫通孔４２、４４、４０を経由
して、２つの切り欠き４１で形成された空気通路を通っ
て垂直中央部３９の下端部（ノズル）から噴出される。

【００１５】２つの切り欠き４３で形成された空気通路
の圧縮空気の供給部は、空気配管が接続可能な空気供給
口に形成され、２つの切り欠き４１により空気通路及び
圧縮空気のノズル（噴出部）が形成され、このノズルは
空気による可動子１３の浮上の効率が高くなるような形
状の空気噴出口に形成される。このように、可動子鉄心
内に空気通路を形成する際に、貫通孔４０、４４、４２
及び／又は切り欠き４１、４３が形成された可動子鉄心
片３５ａ〜３５ｃを組み合わせて積層すると共に、それ
らの両端に可動子鉄心片３５ｄを積層することによっ
て、貫通孔４０、４４、４２及び／又は切り欠き４１、
４３を塞ぐようにしたので、空気通路の形成が容易に行
え、かつ空気通路の設計の自由度が大きくなる。

【００１６】図１の右側の拡大図及び図４（Ａ）に示す
ように、各可動子鉄心片３４ａ〜３４ｔは、積層された
状態では実際には、隣合う可動子鉄心片の先端部の高さ
が異なっている。即ち、垂直側部３７、３８及び垂直中
央部３９の先端部を構成する可動子磁極歯（磁極凸部）
４５（磁極歯の高さＨは約１ｍｍ）が可動子１３の移動
方向に沿って、その間の鉄心片との関係で凸凹状を形成
するように積層されている。図１の右側の拡大図に示す
ように、可動子鉄心１９の可動子磁極歯４５の下端面と
所定の隙間Ｓ（約１０〜２０μｍ）を開けて固定子磁極
歯（磁極凸部）４７の上端面が対向して配置される固定
子鉄心３３を構成する固定鉄心片４６ａ〜４６ｔも、各
可動子鉄心片３４ａ〜３４ｔと同様に、電磁鋼板をプレ
スにより打抜き加工して製作される。固定子鉄心片４６
ａ〜４６ｔも、図１及び図４（Ｂ）に示すように、隣合
う固定子鉄心片の先端部の高さが異なっており、固定子
磁極歯４７が可動子の移動方向に沿って、その間の鉄心
片との関係で凸凹状を形成する。なお、積層される各鉄
心片の厚みは一定であるので、磁極凸部の厚み（可動子
磁極歯４５、固定子磁極歯４７の幅）と凹部の幅とは同
一となっている。

【００１７】図１の拡大図に示すように、隣合う可動子
磁極歯４５、固定子磁極歯４７間の凹部（図の斜線部）
には、液状の絶縁性樹脂４８を流し込み、硬化させてい
る。可動子磁極歯４５、固定子磁極歯４７の形成面間の
凹部に絶縁性樹脂４８を埋め込む際、可動子磁極歯４
５、固定子磁極歯４７の凸部も全て被覆するように絶縁
性樹脂４８を塗布し、絶縁性樹脂４８の硬化後、可動子
磁極歯４５、固定子磁極歯４７の凸部が露出するように
絶縁性樹脂４８を研削するようにすると良い。このと
き、各可動子磁極歯４５、固定子磁極歯４７の平坦度を
出すために、可動子磁極歯４５、固定子磁極歯４７を所
定量研削しても良い。なお、研削後、耐蝕性を高めるた
め、可動子磁極歯４５、固定子磁極歯４７の凸部の露出
面を覆うように、再度薄く絶縁性樹脂４８を塗布しても
良い。また、固定子鉄心片又は可動子鉄心片の外周に
は、面取り加工又はＲ加工を行うようにしても良い。こ
うすることによって漏洩磁束を減少することができる。

【００１８】図６に示すように、各可動子鉄心片３５ａ
〜３５ｄの垂直側部３７、３８には可動子１３の進行方
向に対して左右対称な傾斜面３７ａ、３８ａが形成され
ており、傾斜面３７ａ、３８ａに対向する固定子鉄心３
３の鉄心片には、傾斜面３７ａ、３８ａと所定の隙間Ｓ
を有して傾斜面３７ｂ、３８ｂが形成されている。傾斜
面３７ａ、３８ａは、水平面Ｍに対して所定の角度θで
傾斜されている。水平面Ｍに対して所定の角度θで傾斜
させることにより可動子磁極歯４５、固定子磁極歯４７
の対向する面積が増大するので、推力が大きくなる。図
２及び図３中の符号４９は、支持枠材３１、３２の長手
方向に５箇所形成された空気抜き孔を表している。従っ
て、図２に示すように、可動子鉄心１６〜１９の上部の
空気供給口に供給される圧縮空気は、可動子鉄心１６〜
１９の内に形成された空気通路を通って、下端に形成さ
れたノズルから固定子鉄心３３に垂直に吹き出されて、
空気軸受を構成し、その後、可動子鉄心１６〜１９と固
定子鉄心３３との両側の隙間Ｓ、さらに、支持枠材３
１、３２の空気抜き孔４９を通って外部に排出される。

【００１９】図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）を参
照してリニアステップモータ１０の動作原理を説明す
る。なお、可動子鉄心１６〜１９はそれぞれ図７の励磁
ベクトルの説明において、Ａ〜Ｄで示す。４つの相を構
成する可動子鉄心１６、可動子鉄心１７、可動子鉄心１
８、可動子鉄心１９はテーブル１４の下面に第２の所定
ピッチで一体的に取付けられている。ただし、可動子鉄
心１６（その他の可動子鉄心１７〜１９も同じ）は、便
宜上、同じ厚みの５枚の可動子鉄心片が積層されてお
り、両端及び中心部の３つの可動子鉄心片の先端部が第
１の所定ピッチを有する可動子磁極歯４５を備え、一
方、対向する固定子鉄心３３も対応して第１の所定ピッ
チ（周期）を有する固定子磁極歯４７を備えている。こ
こで、図７（Ａ）に示すように、第１の所定ピッチで形
成された固定子磁極歯４７の１周期（１ピッチ、波長）
をＴとする。

【００２０】図７（Ａ）に示すように、可動子鉄心１６
の各可動子磁極歯４５が、固定子鉄心３３の固定子磁極
歯４７の周期（ピッチ）と一致している場合には、可動
子鉄心１７の可動子磁極歯４５は固定子鉄心３３の固定
子磁極歯４７の周期Ｔに対して（１／４）Ｔ周期ずらし
て配置されている。さらに、同様に可動子鉄心１８の可
動子磁極歯４５は、固定子磁極歯４７の周期Ｔに対して
（１／２）Ｔ周期ずらして配置され、可動子鉄心１９の
可動子磁極歯４５は、固定子磁極歯４７の周期Ｔに対し
て（３／４）Ｔ周期ずらして配置されている。従って、
実質的には、各可動子鉄心１６〜１９のそれぞれの可動
子磁極歯４５は、それぞれ相対的に（１／４）Ｔ周期だ
け、位相をずらして配置されている。このように、各可
動子鉄心１６〜１９が第２の所定ピッチで配置されてい
る。

【００２１】図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示
すように、固定子鉄心３３は、Ｎ極に磁化されるので、
可動子鉄心１６、可動子鉄心１７、可動子鉄心１８、可
動子鉄心１９を、斜線にて示す順番に励磁コイル２０〜
２３に通電してＳ極に励磁することによって、可動子１
３を左方向に移動させることができる。なお、図７で
は、可動子１３を１周期だけ移動させる場合を示してお
り、各図の左側には、各励磁ベクトルを示している。

【００２２】前記実施の形態においては、可動子鉄心の
個数を４個としたが、これに限定されず、２個、３個又
は５個以上とすることもできる。個数が増えれば増える
ほど、可動子の動きが滑らかになり、特に、搬送物が重
い場合には、振動の抑制等に効果を発揮する。可動子鉄
心は、２０枚の可動子鉄心片を積層して形成したが、こ
れに限定されず、空気通路が形成可能であれば、２０枚
未満又は２０枚を超えた可動子鉄心片を積層することも
できる。空気通路を可動子鉄心の垂直中央部３９のみに
形成したが、これに限定されず、垂直側部３７、３８に
も形成することができる。垂直側部３７、３８に形成し
た場合には、可動子１３の浮上がより安定する。

【００２３】可動子鉄心は、プレス加工された貫通孔及
び／又は切り欠きを備えた可動子鉄心片を任意に組み合
わせて積層し、可動子磁極歯を形成すると共に、その両
端に貫通孔及び切り欠きの無い可動子鉄心片により貫通
孔及び切り欠きを塞いで構成して空気通路を形成した
が、これに限定されず、一体物からその内部に空気通路
を形成するように構成することもできる。また、固定子
鉄心についても、同様に固定子鉄心片を積層することな
く、一体物から加工して固定子磁極歯を形成するように
加工することもできる。可動子鉄心及び固定子鉄心を一
体物から加工する場合には、可動子の進行方向に対して
左右対称な可動子磁極歯及び固定子磁極歯は、水平面に
対して対称に傾斜した傾斜面部に対して突出して形成さ
れることになる。

【００２４】第１の所定ピッチは、一体物から加工する
場合には、０．５〜２．０ｍｍ程度、また、固定子鉄心
片を積層する場合には、０．１〜０．５ｍｍ程度として
いる。なお、第２の所定ピッチは、第１の所定ピッチに
応じて変化する。また、可動子磁極歯４５、固定子磁極
歯４７の高さＨは、一体物から加工する場合には、０．
５〜３．０ｍｍ程度、また、可動子鉄心片、固定子鉄心
片を積層する場合には、０．５〜３．０ｍｍ程度として
いる。さらに、可動子磁極歯４５、固定子磁極歯４７間
の隙間Ｓは、一体物から加工する場合には、０．０１〜
０．２ｍｍ程度、可動子鉄心片、固定子鉄心片を積層す
る場合には、０．０１〜０．２ｍｍ程度としている。

【００２５】可動子鉄心の垂直側部の傾斜面及びこの傾
斜面に対向する固定子鉄心の傾斜面は、水平面に対して
所定の角度で傾斜させたが、これに限定されず、水平面
とすることもできる。また、傾斜面は内側に向かって上
昇するようにしたが、これに限定されず、傾斜面が外側
に向かって上昇するようにもできる。リニアステップモ
ータは、搬送用として説明したが、移動するものであれ
ば、その他の用途、例えば、位置決め用等にも適用でき
る。

【００２６】

【発明の効果】請求項１〜３記載のリニアステップモー
タにおいては、圧縮空気を可動子鉄心から吹き出すこと
ができるので、装置の殆どを高磁性材料で構成でき、磁
気回路を効率的に構成でき、この結果、鉄損を抑制でき
る。従って、装置をコンパクトにできると共に、磁気効
率の高いものにできる。特に、請求項２記載のリニアス
テップモータにおいては、磁束の通過する面積が拡大さ
れ、推力を大きく取れるので、装置をコンパクトにで
き、また、磁気効率も高くできる。請求項３記載のリニ
アステップモータにおいては、可動子鉄心及び固定子鉄
心の製作、特に、小径で長い空気通路のドリル加工が簡
略化されるので、製造コストが安価なものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るリニアステップモ
ータの側断面図である。

【図２】同リニアステップモータの正断面図である。

【図３】同リニアステップモータの側面図である。

【図４】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、同リニアステップ
モータの可動子鉄心、固定子鉄心の一部分の斜視図であ
る。

【図５】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、同リニア
ステップモータの可動子鉄心の正面図、背面図、側面図
である。

【図６】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ、
同リニアステップモータの可動子鉄心を構成する互いに
異なる可動子鉄心片の正面図である。

【図７】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ、
同リニアステップモータの動作原理を説明する説明図で
ある。

【図８】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、従来例に係るリニ
アステップモータの側断面図、正断面図である。

【符号の説明】

１０：リニアステップモータ、１１：プレート、１２：
固定子、１３：可動子、１４：テーブル、１５：下面、
１６：可動子鉄心、１７：可動子鉄心、１８：可動子鉄
心、１９：可動子鉄心、２０〜２３：励磁コイル、２
４：端部保持枠、２５〜２７：スペーサー、２８：端部
保持枠、２９、３０：支持枠材、３１、３２：支持枠
材、３３：固定子鉄心、３４ａ：端部可動子鉄心片、３
４ｂ〜３４ｓ：中間部可動子鉄心片、３４ｔ：端部可動
子鉄心片、３５ａ〜３５ｄ：可動子鉄心片、３６：天井
部、３７：垂直側部、３７ａ、３７ｂ：傾斜面、３８：
垂直側部、３８ａ、３８ｂ：傾斜面、３９：垂直中央
部、４０：貫通孔、４１：切り欠き、４２：貫通孔、４
３：切り欠き、４４：貫通孔、４５：可動子磁極歯、４
６ａ〜４６ｔ：固定鉄心片、４７：固定子磁極歯、４
８：絶縁性樹脂、４９：空気抜き孔

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の所定ピッチで配置された多数の固
   定子磁極歯を備える固定子鉄心を設けた固定子と、前記
   固定子磁極歯に対向して前記第１の所定ピッチで配置さ
   れた可動子磁極歯を備えた複数の可動子鉄心が第２の所
   定ピッチで設けられ、しかも前記固定子鉄心上を少しの
   隙間を有して移動する可動子とを備え、前記隙間は前記
   可動子から吹き出される圧縮空気によって形成されてい
   るリニアステップモータであって、前記可動子から前記
   圧縮空気を吹き出すノズルは、前記可動子鉄心に形成さ
   れていることを特徴とするリニアステップモータ。
2. 【請求項２】 請求項１記載のリニアステップモータに
   おいて、前記可動子鉄心及び前記固定子鉄心は、前記可
   動子の進行方向に対して左右対称な傾斜面部を有し、そ
   れぞれの該傾斜面部から前記可動子磁極歯又は前記固定
   子磁極歯が左右対称に突出していることを特徴とするリ
   ニアステップモータ。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載のリニアステップモ
   ータにおいて、前記ノズルに前記圧縮空気を送る空気通
   路は前記可動子鉄心内に形成され、しかも、該可動子鉄
   心及び前記固定子鉄心は多数の鉄心片を積層したものか
   らなることを特徴とするリニアステップモータ。