JP2002122727A - 機能性液体付与基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び機能性液体付与基板の製造装置 - Google Patents
機能性液体付与基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び機能性液体付与基板の製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機能性液体であるインク等を画素内に均一に
分布させることができ、機能性液体を確実に画素内に誘
引させることができ、更に乾燥及び硬化後の機能性液体
の膜厚を画素間で均一にすることができる電気光学装置
用の機能性液体付与基板の製造方法を提供する。 【解決手段】 基板１２上で仕切り１４により形成され
た各画素１３に機能性液体誘導液１８（機能性液体の溶
媒や、上記機能性液体より低濃度の機能性液体）を導入
する工程と； 前記機能性液体誘導液が導入された前記
各画素に機能性液体１９（カラーフィルタであればイン
ク、ＥＬ素子基板であればＥＬ発光体溶液）を導入する
工程と； を備える。各工程にはインクジェット方式を
用いる。機能性液体誘導液１８が呼び水として作用し、
乾燥時の機能性液体２０の画素内分布が均一化する。
分布させることができ、機能性液体を確実に画素内に誘
引させることができ、更に乾燥及び硬化後の機能性液体
の膜厚を画素間で均一にすることができる電気光学装置
用の機能性液体付与基板の製造方法を提供する。 【解決手段】 基板１２上で仕切り１４により形成され
た各画素１３に機能性液体誘導液１８（機能性液体の溶
媒や、上記機能性液体より低濃度の機能性液体）を導入
する工程と； 前記機能性液体誘導液が導入された前記
各画素に機能性液体１９（カラーフィルタであればイン
ク、ＥＬ素子基板であればＥＬ発光体溶液）を導入する
工程と； を備える。各工程にはインクジェット方式を
用いる。機能性液体誘導液１８が呼び水として作用し、
乾燥時の機能性液体２０の画素内分布が均一化する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気光学装置に用
いられるカラーフィルタやＥＬ（エレクトロルミネセン
ス）素子基板などの機能性液体付与基板の製造方法に係
る。ここで機能性液体とは、例えばカラーフィルタであ
ればインク、ＥＬ素子基板であればＥＬ発光体溶液が挙
げられる。また、本発明は、上記機能性液体付与基板を
備えた電気光学装置および電子機器の製造方法、並びに
上記機能性液体付与基板の製造装置に係る。
いられるカラーフィルタやＥＬ（エレクトロルミネセン
ス）素子基板などの機能性液体付与基板の製造方法に係
る。ここで機能性液体とは、例えばカラーフィルタであ
ればインク、ＥＬ素子基板であればＥＬ発光体溶液が挙
げられる。また、本発明は、上記機能性液体付与基板を
備えた電気光学装置および電子機器の製造方法、並びに
上記機能性液体付与基板の製造装置に係る。
【０００２】
【従来の技術】電気光学装置用の機能性液体付与基板を
製造する方法として、基板上にバンクで仕切られて形成
された各画素に、インクジェット方式により機能性液体
を導入することが知られている。従来、機能性液体の導
入はドライな各画素に対して直接行ない、乾燥および硬
化させていた。
製造する方法として、基板上にバンクで仕切られて形成
された各画素に、インクジェット方式により機能性液体
を導入することが知られている。従来、機能性液体の導
入はドライな各画素に対して直接行ない、乾燥および硬
化させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ドライ
な画素内に直接機能性液体をインクジェット吐出する
と、吐出された機能性液体が画素内部に均一に塗れ広が
らず、吐出された液滴の形状が画素内に残ってしまうと
いう問題があった。
な画素内に直接機能性液体をインクジェット吐出する
と、吐出された機能性液体が画素内部に均一に塗れ広が
らず、吐出された液滴の形状が画素内に残ってしまうと
いう問題があった。
【０００４】基板およびバンクの材質および表面加工に
より、基板およびバンクの表面張力を調整することも考
えられるが、機能性液体の画素内分布の改善を図るには
十分ではなかった。
より、基板およびバンクの表面張力を調整することも考
えられるが、機能性液体の画素内分布の改善を図るには
十分ではなかった。
【０００５】そこで、本発明は、画素内に導入される機
能性液体の画素内分布の均一性を向上させた機能性液体
付与基板の製造方法を提供することを目的とする。
能性液体の画素内分布の均一性を向上させた機能性液体
付与基板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】また、機能性液体を確実に画素内に導入す
ることができる機能性液体付与基板の製造方法を提供す
ることを目的とする。更に、機能性液体の膜厚を基板上
に配置された画素間で均一化することのできる機能性液
体付与基板の製造方法を提供することを目的とする。
ることができる機能性液体付与基板の製造方法を提供す
ることを目的とする。更に、機能性液体の膜厚を基板上
に配置された画素間で均一化することのできる機能性液
体付与基板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による機能性液体
付与基板の製造方法は、仕切りにより形成された各画素
に機能性液体誘導液を導入する工程と； 前記機能性液
体誘導液が導入された前記各画素に機能性液体を導入す
る工程と； を有することを特徴とする。
付与基板の製造方法は、仕切りにより形成された各画素
に機能性液体誘導液を導入する工程と； 前記機能性液
体誘導液が導入された前記各画素に機能性液体を導入す
る工程と； を有することを特徴とする。
【０００８】上記製造方法において、前記機能性液体誘
導液は、前記機能性液体の溶媒であることが好ましい。
また、前記機能性液体誘導液は、前記機能性液体より低
濃度の機能性液体であることが好ましい。
導液は、前記機能性液体の溶媒であることが好ましい。
また、前記機能性液体誘導液は、前記機能性液体より低
濃度の機能性液体であることが好ましい。
【０００９】また、上記製造方法において、前記機能性
液体誘導液は、アルコール系またはグリコール・エーテ
ル系の溶剤であってもよい。
液体誘導液は、アルコール系またはグリコール・エーテ
ル系の溶剤であってもよい。
【００１０】また、上記製造方法において、前記機能性
液体誘導液は、前記機能性液体より低粘度であることが
好ましい。また、前記機能性液体誘導液は前記各画素内
の底面全体に行き渡るように前記各画素に導入されるこ
とが好ましい。
液体誘導液は、前記機能性液体より低粘度であることが
好ましい。また、前記機能性液体誘導液は前記各画素内
の底面全体に行き渡るように前記各画素に導入されるこ
とが好ましい。
【００１１】上記製造方法において、前記機能性液体誘
導液および前記機能性液体はインクジェット方式により
前記各画素に導入されることが好ましい。
導液および前記機能性液体はインクジェット方式により
前記各画素に導入されることが好ましい。
【００１２】上記製造方法において、前記機能性液体
は、インク又はＥＬ発光体溶液であることが好ましい。
は、インク又はＥＬ発光体溶液であることが好ましい。
【００１３】本発明の電気光学装置の製造方法は、上記
の製造方法により製造された機能性液体付与基板を用い
ることを特徴とする。
の製造方法により製造された機能性液体付与基板を用い
ることを特徴とする。
【００１４】また、本発明の電子機器の製造方法は、上
記の製造方法により製造された電気光学装置を用いるこ
とを特徴とする。
記の製造方法により製造された電気光学装置を用いるこ
とを特徴とする。
【００１５】本発明の機能性液体付与基板の製造装置
は、基板上に形成された各画素に機能性液体誘導液を導
入するためのインクジェット式記録ヘッドと； 前記機
能性液体誘導液が導入された前記各画素に機能性液体を
導入するためのインクジェット式記録ヘッドと； を備
えたことを特徴とする。
は、基板上に形成された各画素に機能性液体誘導液を導
入するためのインクジェット式記録ヘッドと； 前記機
能性液体誘導液が導入された前記各画素に機能性液体を
導入するためのインクジェット式記録ヘッドと； を備
えたことを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１７】（１．機能性液体付与基板の構成）図１
は、本発明の１実施形態に係る製造方法により製造され
る機能性液体付与基板であるカラーフィルタの部分拡大
図である。図１（ａ）は平面図であり、図１（ｂ）は図
１（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。断面図各部のハッ
チングは一部省略している。
は、本発明の１実施形態に係る製造方法により製造され
る機能性液体付与基板であるカラーフィルタの部分拡大
図である。図１（ａ）は平面図であり、図１（ｂ）は図
１（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。断面図各部のハッ
チングは一部省略している。
【００１８】図１（ａ）に示されるように、カラーフィ
ルタ２００は、マトリクス状に並んだ画素１３を備え、
画素と画素の境目は、仕切り１４によって区切られてい
る。画素１３の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）のいずれかのインクが導入されている。この例で
は赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、
ストライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構
わない。
ルタ２００は、マトリクス状に並んだ画素１３を備え、
画素と画素の境目は、仕切り１４によって区切られてい
る。画素１３の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）のいずれかのインクが導入されている。この例で
は赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、
ストライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構
わない。
【００１９】図１（ｂ）に示されるように、カラーフィ
ルタ２００は、透光性の基板１２と、遮光性の仕切り１
４とを備えている。仕切り１４が形成されていない（除
去された）部分は、上記画素１３を構成する。この画素
１３に導入された各色のインクは着色層２０を構成す
る。仕切り１４及び着色層２０の上面には、オーバーコ
ート層２１及び電極層２２が形成されている。
ルタ２００は、透光性の基板１２と、遮光性の仕切り１
４とを備えている。仕切り１４が形成されていない（除
去された）部分は、上記画素１３を構成する。この画素
１３に導入された各色のインクは着色層２０を構成す
る。仕切り１４及び着色層２０の上面には、オーバーコ
ート層２１及び電極層２２が形成されている。
【００２０】（２．機能性液体付与基板の製造方法）図
２は、上記カラーフィルタの製造工程断面図である。断
面図各部のハッチングは一部省略している。この図に基
き、カラーフィルタの製造方法の一例を具体的に説明す
る。
２は、上記カラーフィルタの製造工程断面図である。断
面図各部のハッチングは一部省略している。この図に基
き、カラーフィルタの製造方法の一例を具体的に説明す
る。
【００２１】（２−１．バンク形成及び表面処理工程）
膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカ
リガラスからなる透明基板１２の表面を、熱濃硫酸に過
酸化水素水を１重量％添加した洗浄液で洗浄し、純水で
リンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この
表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均０．２μｍの
膜厚で形成し、金属層１６’を得る（図２：Ｓ１）。
膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカ
リガラスからなる透明基板１２の表面を、熱濃硫酸に過
酸化水素水を１重量％添加した洗浄液で洗浄し、純水で
リンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この
表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均０．２μｍの
膜厚で形成し、金属層１６’を得る（図２：Ｓ１）。
【００２２】この基板をホットプレート上で、８０℃で
５分間乾燥させた後、金属層１６’の表面に、スピンコ
ートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成する。
この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画
したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこな
う。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割合で
含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォト
レジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続
いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチン
グ液でエッチング除去する。このようにして所定のマト
リクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリクス）
１６を得ることができる（図２：Ｓ２）。遮光層１６の
膜厚は、およそ０．２μｍである。また、遮光層１６の
幅は、およそ２２μｍである。
５分間乾燥させた後、金属層１６’の表面に、スピンコ
ートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成する。
この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画
したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこな
う。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割合で
含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォト
レジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続
いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチン
グ液でエッチング除去する。このようにして所定のマト
リクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリクス）
１６を得ることができる（図２：Ｓ２）。遮光層１６の
膜厚は、およそ０．２μｍである。また、遮光層１６の
幅は、およそ２２μｍである。
【００２３】この基板上に、さらにネガ型の透明アクリ
ル系の感光性樹脂組成物１７’をやはりスピンコート法
で塗布する（図２：Ｓ３）。これを１００℃で２０分間
プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描
画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未
露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像
し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥とし
てのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹脂部
を十分硬化させることにより、バンク層１７が形成さ
れ、遮光層１６及びバンク層１７からなる仕切り１４が
形成される（図２：Ｓ４）。このバンク層１７の膜厚
は、平均で２．７μｍである。また、バンク層１７の幅
は、およそ１４μｍである。
ル系の感光性樹脂組成物１７’をやはりスピンコート法
で塗布する（図２：Ｓ３）。これを１００℃で２０分間
プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描
画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未
露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像
し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥とし
てのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹脂部
を十分硬化させることにより、バンク層１７が形成さ
れ、遮光層１６及びバンク層１７からなる仕切り１４が
形成される（図２：Ｓ４）。このバンク層１７の膜厚
は、平均で２．７μｍである。また、バンク層１７の幅
は、およそ１４μｍである。
【００２４】得られた遮光層１６およびバンク層１７で
区画された着色層形成領域（特にガラス基板１２の露出
面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチン
グ、例えば大気圧プラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気を大気圧内でエッチングスポットに
形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させ
てエッチングする。
区画された着色層形成領域（特にガラス基板１２の露出
面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチン
グ、例えば大気圧プラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気を大気圧内でエッチングスポットに
形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させ
てエッチングする。
【００２５】（２−２．機能性液体誘導液の導入工程）
次に、機能性液体誘導液１８を、仕切り１４で区切られ
て形成された画素１３内にインクジェット方式によって
導入する（図２：Ｓ５）。この工程は本実施形態の特徴
的な工程である。機能性液体誘導液は、後に導入される
機能性液体と同色相か無色で、透明であることが望まし
い。そして、機能性液体誘導液は、当該画素内の底面全
体に行き渡るように導入されることが好ましい。このよ
うに機能性液体誘導液を導入することにより、機能性液
体を塗布したときに、機能性液体誘導液が呼び水として
作用し、機能性液体が画素内で液滴の形状を残すことな
く、均一に分布させることができる。機能性液体誘導液
の導入量は、例えば１画素あたり２０ピコリットルとす
る。
次に、機能性液体誘導液１８を、仕切り１４で区切られ
て形成された画素１３内にインクジェット方式によって
導入する（図２：Ｓ５）。この工程は本実施形態の特徴
的な工程である。機能性液体誘導液は、後に導入される
機能性液体と同色相か無色で、透明であることが望まし
い。そして、機能性液体誘導液は、当該画素内の底面全
体に行き渡るように導入されることが好ましい。このよ
うに機能性液体誘導液を導入することにより、機能性液
体を塗布したときに、機能性液体誘導液が呼び水として
作用し、機能性液体が画素内で液滴の形状を残すことな
く、均一に分布させることができる。機能性液体誘導液
の導入量は、例えば１画素あたり２０ピコリットルとす
る。
【００２６】また、機能性液体誘導液は、後に導入され
る機能性液体の溶媒、または後に導入される機能性液体
より濃度の低い機能性液体が好ましい。これにより機能
性液体と機能性液体誘導液との高い親和性を確保するこ
とができ、機能性液体を画素内に均一に分散させること
ができる。
る機能性液体の溶媒、または後に導入される機能性液体
より濃度の低い機能性液体が好ましい。これにより機能
性液体と機能性液体誘導液との高い親和性を確保するこ
とができ、機能性液体を画素内に均一に分散させること
ができる。
【００２７】また、機能性液体誘導液は、後に導入され
る機能性液体より粘度の低いものであることが好まし
い。粘度の低い機能性液体誘導液は、インクジェット方
式により吐出した場合に直進性に優れているので、液滴
を画素内に正確に着弾させることができる。機能性液体
誘導液の粘度は、５ｃｐ（センチポアズ）以下が好まし
い。より好ましくは、３ｃｐ以下である。また、機能性
液体誘導液は、後に導入される機能性液体より固形分の
少ないものであることが好ましい。固形分の少ない機能
性液体誘導液は、インクジェット方式による吐出安定性
に優れているので、液滴を画素内に正確に着弾させるこ
とができる。
る機能性液体より粘度の低いものであることが好まし
い。粘度の低い機能性液体誘導液は、インクジェット方
式により吐出した場合に直進性に優れているので、液滴
を画素内に正確に着弾させることができる。機能性液体
誘導液の粘度は、５ｃｐ（センチポアズ）以下が好まし
い。より好ましくは、３ｃｐ以下である。また、機能性
液体誘導液は、後に導入される機能性液体より固形分の
少ないものであることが好ましい。固形分の少ない機能
性液体誘導液は、インクジェット方式による吐出安定性
に優れているので、液滴を画素内に正確に着弾させるこ
とができる。
【００２８】機能性液体誘導液は、上記に限らず、アル
コール系またはグリコール・エーテル系の溶剤であって
も本発明の効果を達成することができる。アルコール系
の溶剤としては、例えば１−ブタノール、１，３−プロ
パンジオール、２−メトキシエタノールなどが挙げられ
る。グリコール・エーテル系の溶剤としては、例えば、
エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテル、ブチルカルビト
ールアセテート（ＢＣＴＡＣ）などが挙げられる。
コール系またはグリコール・エーテル系の溶剤であって
も本発明の効果を達成することができる。アルコール系
の溶剤としては、例えば１−ブタノール、１，３−プロ
パンジオール、２−メトキシエタノールなどが挙げられ
る。グリコール・エーテル系の溶剤としては、例えば、
エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテル、ブチルカルビト
ールアセテート（ＢＣＴＡＣ）などが挙げられる。
【００２９】（２−３．機能性液体の導入工程）上記機
能性液体誘導液が導入された各画素に、機能性液体であ
るインクをインクジェット方式により導入する（図２：
Ｓ６）。導入されたインクは先に導入された機能性液体
誘導液と混合し、インク層１９が形成される。
能性液体誘導液が導入された各画素に、機能性液体であ
るインクをインクジェット方式により導入する（図２：
Ｓ６）。導入されたインクは先に導入された機能性液体
誘導液と混合し、インク層１９が形成される。
【００３０】インクジェット式記録ヘッドには、ピエゾ
圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、７．０ピコリ
ットル程度の微小インク滴を着色層形成領域毎に１０
滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、す
なわち、各インク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定す
る。ヘッドとターゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定
する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への
飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走
滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッ
ドのピエゾ素子を駆動する電圧と、その波形が重要であ
る。従って、あらかじめ条件設定された波形をプログラ
ムして、インク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して
所定の配色パターンにインクを塗布する。
圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、７．０ピコリ
ットル程度の微小インク滴を着色層形成領域毎に１０
滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、す
なわち、各インク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定す
る。ヘッドとターゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定
する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への
飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走
滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッ
ドのピエゾ素子を駆動する電圧と、その波形が重要であ
る。従って、あらかじめ条件設定された波形をプログラ
ムして、インク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して
所定の配色パターンにインクを塗布する。
【００３１】ここで上記機能性液体誘導液１８が、機能
性液体であるインクの呼び水として作用するので、イン
クの吐出安定性、直進性が機能性液体誘導液より悪くて
も、既に正確に塗布された機能性液体誘導液１８にイン
クが誘引され、確実に画素内に塗れ広がることができ
る。
性液体であるインクの呼び水として作用するので、イン
クの吐出安定性、直進性が機能性液体誘導液より悪くて
も、既に正確に塗布された機能性液体誘導液１８にイン
クが誘引され、確実に画素内に塗れ広がることができ
る。
【００３２】なお、複数種類のインク（赤、緑、青）を
同一基板上の別々の画素に導入する場合、必ずしも上記
のように３種のインクを同時に塗布する必要はなく、基
板上の所定の各画素に第１のインクを導入した後に、第
１のインクが導入された画素以外の所定の画素に第２の
インクを導入することとしてもよい。この場合、第１の
インクを導入する前には第１のインクが導入される各画
素のみに機能性液体誘導液を導入する。第１のインクを
導入した後に、第１のインクが導入された画素以外の所
定の画素に機能性液体誘導液を導入し、第２のインクを
導入する。これにより、各インクを吐出する際には、当
該インクが吐出される画素にのみ、呼び水として機能す
る機能性液体誘導液が溜められているため、所望の画素
にインクが誘導されやすいようにすることができる。
同一基板上の別々の画素に導入する場合、必ずしも上記
のように３種のインクを同時に塗布する必要はなく、基
板上の所定の各画素に第１のインクを導入した後に、第
１のインクが導入された画素以外の所定の画素に第２の
インクを導入することとしてもよい。この場合、第１の
インクを導入する前には第１のインクが導入される各画
素のみに機能性液体誘導液を導入する。第１のインクを
導入した後に、第１のインクが導入された画素以外の所
定の画素に機能性液体誘導液を導入し、第２のインクを
導入する。これにより、各インクを吐出する際には、当
該インクが吐出される画素にのみ、呼び水として機能す
る機能性液体誘導液が溜められているため、所望の画素
にインクが誘導されやすいようにすることができる。
【００３３】インクとしては、例えばポリウレタン樹脂
オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤とし
てシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤と
してブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イ
オン系界面活性剤０．０１重量％を分散剤として添加
し、粘度６〜８センチポアズとしたものを用いる。
オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤とし
てシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤と
してブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イ
オン系界面活性剤０．０１重量％を分散剤として添加
し、粘度６〜８センチポアズとしたものを用いる。
【００３４】（２−４．乾燥工程）次に、塗布したイン
クを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で３時間放置して
インク層１９のセッティングを行った後、８０℃のホッ
トプレート上で４０分間加熱し、最後にオーブン中で２
００℃で３０分間加熱してインク層１９の硬化処理を行
って、着色層２０が得られる（図２：Ｓ７）。
クを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で３時間放置して
インク層１９のセッティングを行った後、８０℃のホッ
トプレート上で４０分間加熱し、最後にオーブン中で２
００℃で３０分間加熱してインク層１９の硬化処理を行
って、着色層２０が得られる（図２：Ｓ７）。
【００３５】本実施形態では機能性液体を導入する前に
機能性液体誘導液である溶媒などを付与しているので、
基板温度などの乾燥条件を各画素間で均一にすることが
できる。これにより、乾燥及び硬化後の機能性液体の膜
厚を、画素間で均一化することができる。
機能性液体誘導液である溶媒などを付与しているので、
基板温度などの乾燥条件を各画素間で均一にすることが
できる。これにより、乾燥及び硬化後の機能性液体の膜
厚を、画素間で均一化することができる。
【００３６】上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピ
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層２１を形
成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e）からなる電極層２２を所要パターンで形成して、カ
ラーフィルタ２００とする（図２：Ｓ８）。
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層２１を形
成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e）からなる電極層２２を所要パターンで形成して、カ
ラーフィルタ２００とする（図２：Ｓ８）。
【００３７】（３．製造装置）図３は、本発明の１実施
形態による機能性液体付与基板製造装置であるカラーフ
ィルタ製造装置の概略斜視図である。図に示すように、
カラーフィルタの製造装置１００は、インクジェットヘ
ッド群１、Ｙ方向駆動軸４、Ｘ方向ガイド軸５、制御回
路６、載置台７、クリーニング機構部８、基台９を備え
ている。
形態による機能性液体付与基板製造装置であるカラーフ
ィルタ製造装置の概略斜視図である。図に示すように、
カラーフィルタの製造装置１００は、インクジェットヘ
ッド群１、Ｙ方向駆動軸４、Ｘ方向ガイド軸５、制御回
路６、載置台７、クリーニング機構部８、基台９を備え
ている。
【００３８】インクジェットヘッド群１は、図示しない
インクタンクから供給された機能性液体であるインクを
そのノズル（吐出口）から各画素に吐出するインクジェ
ット式記録ヘッドを備えている。インクジェット式記録
ヘッドは、図示しないが、インクが充填される複数のキ
ャビティと、その各々の一方の壁面に設けられ、電圧が
印加されると体積変化する圧電素子を有する振動板膜
と、その他方の壁面に設けられたノズルを有するノズル
板とを備える。
インクタンクから供給された機能性液体であるインクを
そのノズル（吐出口）から各画素に吐出するインクジェ
ット式記録ヘッドを備えている。インクジェット式記録
ヘッドは、図示しないが、インクが充填される複数のキ
ャビティと、その各々の一方の壁面に設けられ、電圧が
印加されると体積変化する圧電素子を有する振動板膜
と、その他方の壁面に設けられたノズルを有するノズル
板とを備える。
【００３９】インクジェットヘッド群１は、更に、各画
素に機能性液体誘導液を導入するためのインクジェット
式記録ヘッドと、機能性液体誘導液を貯蔵する図示しな
いタンクとを備えている。そして、機能性液体誘導液を
導入するためのインクジェット式記録ヘッドが各画素に
機能性液体誘導液を導入した後で、上記インクを導入す
るためのインクジェット式記録ヘッドが各画素にインク
を導入する。
素に機能性液体誘導液を導入するためのインクジェット
式記録ヘッドと、機能性液体誘導液を貯蔵する図示しな
いタンクとを備えている。そして、機能性液体誘導液を
導入するためのインクジェット式記録ヘッドが各画素に
機能性液体誘導液を導入した後で、上記インクを導入す
るためのインクジェット式記録ヘッドが各画素にインク
を導入する。
【００４０】このため、本実施形態の製造装置により機
能性液体付与基板を製造することにより、機能性液体を
画素内に均一に分布させることができ、機能性液体を確
実に画素内に誘引させることができ、更に乾燥及び硬化
後の機能性液体の膜厚を画素間で均一にすることができ
る。
能性液体付与基板を製造することにより、機能性液体を
画素内に均一に分布させることができ、機能性液体を確
実に画素内に誘引させることができ、更に乾燥及び硬化
後の機能性液体の膜厚を画素間で均一にすることができ
る。
【００４１】載置台７は、この製造装置によって製造す
べきカラーフィルタ用基板１０１を載置させるもので、
この基板を基準位置に固定する機構を備える。
べきカラーフィルタ用基板１０１を載置させるもので、
この基板を基準位置に固定する機構を備える。
【００４２】Ｙ方向駆動軸４には、Ｙ方向駆動モータ２
が接続されている。Ｙ方向駆動モータ２は、ステッピン
グモータ等であり、制御回路６からＹ軸方向の駆動信号
が供給されると、Ｙ方向駆動軸４を回転させる。Ｙ方向
駆動軸４が回転させられると、インクジェットヘッド群
１がＹ軸方向に移動する。
が接続されている。Ｙ方向駆動モータ２は、ステッピン
グモータ等であり、制御回路６からＹ軸方向の駆動信号
が供給されると、Ｙ方向駆動軸４を回転させる。Ｙ方向
駆動軸４が回転させられると、インクジェットヘッド群
１がＹ軸方向に移動する。
【００４３】Ｘ方向ガイド軸５は、基台９に対して動か
ないように固定されている。載置台７は、載置台駆動モ
ータ３を備えている。載置台駆動モータ３は、ステッピ
ングモータ等であり、制御回路６からＸ軸方向の駆動信
号が供給されると、載置台７をＸ軸方向に移動させる。
ないように固定されている。載置台７は、載置台駆動モ
ータ３を備えている。載置台駆動モータ３は、ステッピ
ングモータ等であり、制御回路６からＸ軸方向の駆動信
号が供給されると、載置台７をＸ軸方向に移動させる。
【００４４】すなわち、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆
動とを行うことで、インクジェットヘッド群１をカラー
フィルタ用基板１０１上のいずれの場所にも自在に移動
させることができる。カラーフィルタ用基板１０１に対
するインクジェットヘッド群１の相対速度も、各軸方向
の駆動機構の制御で定まる。
動とを行うことで、インクジェットヘッド群１をカラー
フィルタ用基板１０１上のいずれの場所にも自在に移動
させることができる。カラーフィルタ用基板１０１に対
するインクジェットヘッド群１の相対速度も、各軸方向
の駆動機構の制御で定まる。
【００４５】制御回路６は、インクジェットヘッド群１
の各ヘッドにインク滴の吐出制御用の電圧を供給する。
また、Ｙ方向駆動モータ２にインクジェットヘッド群１
のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、載置台
駆動モータ３に載置台７のＸ軸方向の移動を制御する駆
動パルス信号を供給する。
の各ヘッドにインク滴の吐出制御用の電圧を供給する。
また、Ｙ方向駆動モータ２にインクジェットヘッド群１
のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、載置台
駆動モータ３に載置台７のＸ軸方向の移動を制御する駆
動パルス信号を供給する。
【００４６】クリーニング機構部８は、インクジェット
ヘッド群１をクリーニングする機構を備えている。クリ
ーニング機構部８には、図示しないＸ方向駆動モータが
備えられる。このＸ方向駆動モータの駆動により、クリ
ーニング機構８は、Ｘ方向ガイド軸５に沿って移動す
る。クリーニング機構８の移動も、制御回路６によって
制御される。
ヘッド群１をクリーニングする機構を備えている。クリ
ーニング機構部８には、図示しないＸ方向駆動モータが
備えられる。このＸ方向駆動モータの駆動により、クリ
ーニング機構８は、Ｘ方向ガイド軸５に沿って移動す
る。クリーニング機構８の移動も、制御回路６によって
制御される。
【００４７】（４．電気光学装置）図４は、本発明の１
実施形態の製造方法により製造される電気光学装置であ
るカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハ
ッチングは一部省略している。このカラー液晶表示装置
３００は、上記の方法により製造されたカラーフィルタ
２００を用いているので、機能性液体が画素内に均一に
分布し、機能性液体が確実に画素内に誘引され、更に乾
燥及び硬化後の機能性液体の膜厚が画素間で均一とな
り、画質の良好な画像を表示することができる。
実施形態の製造方法により製造される電気光学装置であ
るカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハ
ッチングは一部省略している。このカラー液晶表示装置
３００は、上記の方法により製造されたカラーフィルタ
２００を用いているので、機能性液体が画素内に均一に
分布し、機能性液体が確実に画素内に誘引され、更に乾
燥及び硬化後の機能性液体の膜厚が画素間で均一とな
り、画質の良好な画像を表示することができる。
【００４８】このカラー液晶表示装置３００は、カラー
フィルタ２００と対向基板３８とを組み合わせ、両者の
間に液晶組成物３７を封入することにより構成されてい
る。液晶表示装置３００の一方の基板３８の内側の面に
は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画
素電極３２とがマトリクス状に形成されている。また、
もう一方の基板として、画素電極３２に対向する位置に
赤、緑、青の着色層２０が配列するようにカラーフィル
タ２００が設置されている。
フィルタ２００と対向基板３８とを組み合わせ、両者の
間に液晶組成物３７を封入することにより構成されてい
る。液晶表示装置３００の一方の基板３８の内側の面に
は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画
素電極３２とがマトリクス状に形成されている。また、
もう一方の基板として、画素電極３２に対向する位置に
赤、緑、青の着色層２０が配列するようにカラーフィル
タ２００が設置されている。
【００４９】基板３８とカラーフィルタ２００の対向す
るそれぞれの面には、配向膜２６、３６が形成されてい
る。これらの配向膜２６、３６はラビング処理されてお
り、液晶分子を一定方向に配列させることができる。ま
た、基板３８およびカラーフィルタ２００の外側の面に
は、偏光板２９、３９がそれぞれ接着されている。ま
た、バックライトとしては蛍光燈（図示せず）と散乱板
の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物３７
をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能させることにより表示を行う。
るそれぞれの面には、配向膜２６、３６が形成されてい
る。これらの配向膜２６、３６はラビング処理されてお
り、液晶分子を一定方向に配列させることができる。ま
た、基板３８およびカラーフィルタ２００の外側の面に
は、偏光板２９、３９がそれぞれ接着されている。ま
た、バックライトとしては蛍光燈（図示せず）と散乱板
の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物３７
をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能させることにより表示を行う。
【００５０】なお、電気光学装置は、本発明では上記の
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いた電気光学装置を採用すること
ができる。
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いた電気光学装置を採用すること
ができる。
【００５１】（５．電子機器）図５は、本発明の１実施
形態の製造方法により製造される電子機器であるノート
型パーソナルコンピュータの斜視図である。このパーソ
ナルコンピュータ５００は、上記のカラー液晶表示装置
３００を表示部として用いているので、機能性液体が画
素内に均一に分布し、機能性液体が確実に画素内に誘引
され、更に乾燥及び硬化後の機能性液体の膜厚が画素間
で均一となり、画質の良好な画像を表示することができ
る。
形態の製造方法により製造される電子機器であるノート
型パーソナルコンピュータの斜視図である。このパーソ
ナルコンピュータ５００は、上記のカラー液晶表示装置
３００を表示部として用いているので、機能性液体が画
素内に均一に分布し、機能性液体が確実に画素内に誘引
され、更に乾燥及び硬化後の機能性液体の膜厚が画素間
で均一となり、画質の良好な画像を表示することができ
る。
【００５２】図に示すように、液晶表示装置３００は筐
体５１０に収納され、この筐体５１０に形成された開口
部５１１から液晶表示装置３００の表示領域が露出する
ように構成されている。また、パーソナルコンピュータ
５００は、入力部としてのキーボード５３０を備えてい
る。
体５１０に収納され、この筐体５１０に形成された開口
部５１１から液晶表示装置３００の表示領域が露出する
ように構成されている。また、パーソナルコンピュータ
５００は、入力部としてのキーボード５３０を備えてい
る。
【００５３】このパーソナルコンピュータ５００は、液
晶表示装置３００の他に、図示しないが、表示情報出力
源、表示情報処理回路、クロック発生回路などの様々な
回路や、それらの回路に電力を供給する電源回路などか
らなる表示信号生成部を含んで構成される。液晶表示装
置３００には、例えば入力部５３０から入力された情報
等に基き表示信号生成部によって生成された表示信号が
供給されることによって表示画像が形成される。
晶表示装置３００の他に、図示しないが、表示情報出力
源、表示情報処理回路、クロック発生回路などの様々な
回路や、それらの回路に電力を供給する電源回路などか
らなる表示信号生成部を含んで構成される。液晶表示装
置３００には、例えば入力部５３０から入力された情報
等に基き表示信号生成部によって生成された表示信号が
供給されることによって表示画像が形成される。
【００５４】本実施形態に係る電気光学装置が組み込ま
れる電子機器としては、パーソナルコンピュータに限ら
ず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、
ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェク
タ、およびエンジニアリング・ワークステーション（Ｅ
ＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ
型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓
上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備
えた装置、時計、ゲーム機器など様々な電子機器が挙げ
られる。
れる電子機器としては、パーソナルコンピュータに限ら
ず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、
ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェク
タ、およびエンジニアリング・ワークステーション（Ｅ
ＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ
型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓
上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備
えた装置、時計、ゲーム機器など様々な電子機器が挙げ
られる。
【００５５】（６．他の実施例）本発明の製造方法によ
り製造される機能性液体付与基板は上記カラーフィルタ
に限らず、ＥＬ素子基板であってもよい。この場合、機
能性液体としてはＥＬ発光体溶液を用い、機能性液体誘
導液としてはＥＬ発光体の溶媒や、濃度の低いＥＬ発光
体溶液などを用いる。機能性液体誘導液および機能性液
体の導入は、好ましくはインクジェット方式で行なう。
り製造される機能性液体付与基板は上記カラーフィルタ
に限らず、ＥＬ素子基板であってもよい。この場合、機
能性液体としてはＥＬ発光体溶液を用い、機能性液体誘
導液としてはＥＬ発光体の溶媒や、濃度の低いＥＬ発光
体溶液などを用いる。機能性液体誘導液および機能性液
体の導入は、好ましくはインクジェット方式で行なう。
【００５６】このようにして製造されたＥＬ素子基板
は、機能性液体が画素内に均一に分布し、機能性液体が
確実に画素内に誘引され、更に乾燥後の機能性液体の膜
厚を画素間で均一とすることができる。このＥＬ素子基
板を電気光学手段として用いることにより、本発明の電
気光学装置の他の実施例であるＥＬ表示装置を製造する
ことができ、このＥＬ表示装置は画質の良好な画像を表
示することができる。
は、機能性液体が画素内に均一に分布し、機能性液体が
確実に画素内に誘引され、更に乾燥後の機能性液体の膜
厚を画素間で均一とすることができる。このＥＬ素子基
板を電気光学手段として用いることにより、本発明の電
気光学装置の他の実施例であるＥＬ表示装置を製造する
ことができ、このＥＬ表示装置は画質の良好な画像を表
示することができる。
【００５７】
【発明の効果】本発明によれば、画素内に導入される機
能性液体の画素内分布の均一性を向上させた機能性液体
付与基板の製造方法を提供することができる。また、機
能性液体を確実に画素内に導入することができる機能性
液体付与基板の製造方法を提供することができる。更
に、基板上に配置された画素間での機能性液体の膜厚を
均一化することのできる機能性液体付与基板の製造方法
を提供することができる。
能性液体の画素内分布の均一性を向上させた機能性液体
付与基板の製造方法を提供することができる。また、機
能性液体を確実に画素内に導入することができる機能性
液体付与基板の製造方法を提供することができる。更
に、基板上に配置された画素間での機能性液体の膜厚を
均一化することのできる機能性液体付与基板の製造方法
を提供することができる。
【図１】本発明の１実施形態に係る製造方法により製造
される機能性液体付与基板であるカラーフィルタの部分
拡大図である。
される機能性液体付与基板であるカラーフィルタの部分
拡大図である。
【図２】上記カラーフィルタの製造工程断面図である。
【図３】本発明の１実施形態による機能性液体付与基板
製造装置であるカラーフィルタ製造装置の概略斜視図で
ある。
製造装置であるカラーフィルタ製造装置の概略斜視図で
ある。
【図４】本発明の１実施形態の製造方法により製造され
る電気光学装置であるカラー液晶表示装置の断面図であ
る。
る電気光学装置であるカラー液晶表示装置の断面図であ
る。
【図５】本発明の１実施形態の製造方法により製造され
る電子機器であるノート型パーソナルコンピュータの斜
視図である。
る電子機器であるノート型パーソナルコンピュータの斜
視図である。
２００…カラーフィルタ（機能性液体付与基板）、 １
２…基板、 １３…画素、 １４…仕切り、 １８…機
能性液体誘導液、 １９…機能性液体、 ３００…液晶
表示装置（電気光学装置）、 ５００…パーソナルコン
ピュータ（電子機器）、 １…インクジェットヘッド群
２…基板、 １３…画素、 １４…仕切り、 １８…機
能性液体誘導液、 １９…機能性液体、 ３００…液晶
表示装置（電気光学装置）、 ５００…パーソナルコン
ピュータ（電子機器）、 １…インクジェットヘッド群
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/14 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｚ (72)発明者 川瀬 智己 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 有賀 久 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 清水 政春 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FB01 2H048 BA02 BA11 BA64 BB02 BB14 BB22 BB32 BB37 BB44 3K007 AB04 AB18 BA06 BB06 CA01 FA01 5G435 AA04 AA17 BB05 BB12 CC09 CC12 GG12 KK05 KK07 KK10
Claims (12)
- 【請求項１】 仕切りにより形成された各画素に機能性
液体誘導液を導入する工程と、 前記機能性液体誘導液が導入された前記各画素に機能性
液体を導入する工程と、を有することを特徴とする機能
性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記機能性液体誘導液は、前記機能性液体の溶媒である
ことを特徴とする機能性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１において、 前記機能性液体誘導液は、前記機能性液体の濃度より低
いことを特徴とする機能性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１において、 前記機能性液体誘導液は、アルコール系またはグリコー
ル・エーテル系の溶媒であることを特徴とする機能性液
体付与基板の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１乃至請求項４の何れか一項にお
いて、 前記機能性液体誘導液は、前記機能性液体の粘度より低
いことを特徴とする機能性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項６】 請求項１乃至請求項５の何れか一項にお
いて、 前記機能性液体誘導液は前記各画素内の底面全体に塗布
されるように前記各画素に導入されることを特徴とする
機能性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項７】 請求項１乃至請求項６の何れか一項にお
いて、 前記機能性液体誘導液および前記機能性液体はインクジ
ェット方式により前記各画素に導入されることを特徴と
する機能性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１乃至請求項７の何れか一項にお
いて、 前記機能性液体はインクであることを特徴とする機能性
液体付与基板の製造方法。 - 【請求項９】 請求項１乃至請求項７の何れか一項にお
いて、 前記機能性液体はＥＬ発光体溶液であることを特徴とす
る機能性液体付与基板の製造方法。 - 【請求項１０】 請求項１乃至請求項９の何れか一項に
記載の製造方法により製造された機能性液体付与基板を
用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の製造方法により製
造された電気光学装置を用いることを特徴とする電子機
器の製造方法。 - 【請求項１２】 基板上に形成された各画素に機能性液
体誘導液を導入するためのインクジェット式記録ヘッド
と、 前記機能性液体誘導液が導入された前記各画素に機能性
液体を導入するためのインクジェット式記録ヘッドと、
を備えたことを特徴とする機能性液体付与基板の製造装
置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000316956A JP3922517B2 (ja) | 2000-10-17 | 2000-10-17 | 機能性液体付与基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び機能性液体付与基板の製造装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000316956A JP3922517B2 (ja) | 2000-10-17 | 2000-10-17 | 機能性液体付与基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び機能性液体付与基板の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002122727A true JP2002122727A (ja) | 2002-04-26 |
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|---|---|---|---|
| JP2000316956A Expired - Fee Related JP3922517B2 (ja) | 2000-10-17 | 2000-10-17 | 機能性液体付与基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び機能性液体付与基板の製造装置 |
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|---|---|
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-
2000
- 2000-10-17 JP JP2000316956A patent/JP3922517B2/ja not_active Expired - Fee Related
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