JP2002113697A - Cutting method and cutting device for workpiece - Google Patents

Cutting method and cutting device for workpiece

Info

Publication number
JP2002113697A
JP2002113697A JP2000306673A JP2000306673A JP2002113697A JP 2002113697 A JP2002113697 A JP 2002113697A JP 2000306673 A JP2000306673 A JP 2000306673A JP 2000306673 A JP2000306673 A JP 2000306673A JP 2002113697 A JP2002113697 A JP 2002113697A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
cutting
pressure
outer peripheral
cut
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000306673A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Kameyama
美知夫 亀山
Takamasa Suzuki
孝昌 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2000306673A priority Critical patent/JP2002113697A/en
Publication of JP2002113697A publication Critical patent/JP2002113697A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/06Cutting or splitting glass tubes, rods, or hollow products

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting method for a workpiece and a cutting device using this method capable of cutting the workpiece into small cutting widths. SOLUTION: A cutout 1a is formed on an outer circumferential face of the workpiece 1 comprising brittle material, the workpiece 1 is fitted in a side pressure transmission cylinder 6, and the side pressure transmission cylinder 6 with the workpiece 1 fitted inside is accommodated in a cutting container 5 having a pressure chamber 5a for accommodating the side pressure transmission cylinder 6 and a pressure medium entering hole 5b communicating an interior and an exterior of the pressure chamber 5a. The outer circumferential face of the workpiece 1 is pressurized via the side pressure transmission cylinder 6 by introducing a pressure medium 8 inside the cutting container 5 and the workpiece 1 is cut by using the cutout 1a as a starting point. At this point, a cutting signal of the workpiece 1 is detected by a detector 10 arranged near the side pressure transmission cylinder 6, and pressure is reduced right after cutting of the workpiece 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、シリコ
ン、水晶、サファイア等の脆性材料を分離切断する方法
及びその切断方法に用いられる切断装置に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for separating and cutting brittle materials such as glass, silicon, quartz, sapphire and the like, and a cutting apparatus used for the cutting method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、脆性材料を分離切断する方法とし
て側圧切断方法がある。図6は、この側圧切断方法で用
いる装置の模式図であり、切断するための工作物101
を配置した状態である。まず、この装置の構成について
説明する。図6に示すように、切断容器102内に側圧
伝達筒103が配置され、側圧伝達筒103の両端と切
断容器102との間にはOリング104が配置されてい
る。また、側圧伝達筒103の内部には棒形状(例えば
円柱形状)にした脆性材料である工作物101が配置さ
れている。工作物101の被切断部位には切欠101a
が設けられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is a side pressure cutting method as a method for separating and cutting a brittle material. FIG. 6 is a schematic view of an apparatus used in the lateral pressure cutting method, and illustrates a workpiece 101 for cutting.
Is arranged. First, the configuration of this device will be described. As shown in FIG. 6, a side pressure transmission tube 103 is disposed in the cutting container 102, and an O-ring 104 is disposed between both ends of the side pressure transmission tube 103 and the cutting container 102. Further, a workpiece 101 made of a brittle material having a rod shape (for example, a column shape) is arranged inside the side pressure transmission cylinder 103. A notch 101a is provided at the cut portion of the workpiece 101.
Is provided.

【0003】そして、工作物101を切断する際は、切
断容器102に形成された孔102aを通して圧力装置
105から配管106を介して圧力媒体を切断容器10
2内に導入する。その結果、軸方向に変形自在な状態で
工作物101を側圧伝達筒103の外周側から加圧圧縮
し、工作物101の圧縮変形により工作物101の軸方
向の内部引張応力を利用して切欠101aの部位におい
て工作物101が切断される。
When the workpiece 101 is cut, a pressure medium is supplied from a pressure device 105 through a hole 102a formed in the cutting container 102 via a pipe 106 to the cutting container 10.
2 is introduced. As a result, the workpiece 101 is pressurized and compressed from the outer peripheral side of the side pressure transmission cylinder 103 in a state where it can be deformed in the axial direction, and the notch is formed by utilizing the internal tensile stress in the axial direction of the workpiece 101 due to the compressive deformation of the workpiece 101. The workpiece 101 is cut at a portion 101a.

【0004】この側圧切断方法は、切断代が全く不要で
あることや割断であるため加工時間が著しく短いこと、
及び工作物101を機械的に切断するための工具(砥石
等)が不要であること等が特徴である。
[0004] This side pressure cutting method requires that the cutting margin is completely unnecessary and that the processing time is extremely short due to the splitting.
Also, a tool (a grindstone or the like) for mechanically cutting the workpiece 101 is not required.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この側
圧切断方法では工作物を切断する厚みを薄くすることが
できないという問題がある。図7に、この側圧切断方法
における側圧伝達筒103に加わる圧力の時間変化を示
す。
However, this side pressure cutting method has a problem that the thickness of cutting a workpiece cannot be reduced. FIG. 7 shows a time change of the pressure applied to the side pressure transmission cylinder 103 in this side pressure cutting method.

【0006】図7に示すように、増圧したのち一定時間
所望の圧力程度に保持して加圧し、その後減圧するとい
う圧力サイクルにより工作物101を切断する。ここ
で、増圧、保持、減圧の各々の設定時間は、工作物10
1の材質や切欠101aの幅及び深さ等によって異な
る。
As shown in FIG. 7, the workpiece 101 is cut by a pressure cycle of increasing the pressure, maintaining the pressure at a desired pressure for a certain period of time, and then reducing the pressure. Here, the set time of each of the pressure increase, the holding, and the pressure reduction is determined by the work 10
1 and the width and depth of the notch 101a.

【0007】この際、圧力サイクルのどの段階で工作物
101が切断されたかは未知である。従って、実験値や
経験値を参考にして確実に工作物101を切断すること
ができる程度の高めの圧力条件を設定して工作物101
を切断する。
At this time, it is unknown at which stage of the pressure cycle the workpiece 101 was cut. Therefore, the pressure of the workpiece 101 is set so high that the workpiece 101 can be surely cut with reference to experimental values and empirical values.
Disconnect.

【0008】また、切断環境は変化し易く、特に切欠1
01aの幅及び深さは変化しやすい。一般的には切欠1
01aはダイヤモンドカッタ等を用いて形成されるが、
ダイヤモンドの先端摩耗や工作物101の表面状態など
の影響を受け易い。また、工作物101の種類や工作物
101の切断厚み等が常に変化する多種少量生産を行う
場合は切断環境の変化が著しい。
Further, the cutting environment is liable to change.
The width and depth of 01a are easy to change. Generally notch 1
01a is formed using a diamond cutter or the like,
It is easily affected by the wear of the diamond tip and the surface condition of the workpiece 101. In addition, when performing various small-quantity productions in which the type of the workpiece 101 and the cutting thickness of the workpiece 101 constantly change, the cutting environment changes significantly.

【0009】そのため、図7における最大圧力は上述の
ような切断環境の変化によるバラツキ範囲の最大値に設
定したり、確実に工作物101が切断されるようにする
ために更に高く設定したりしていた。また、同様の理由
から加圧時間も長めに設定していた。
For this reason, the maximum pressure in FIG. 7 is set to the maximum value of the variation range due to the change in the cutting environment as described above, or set to a higher value in order to ensure that the workpiece 101 is cut. I was Further, for the same reason, the pressurizing time is set longer.

【0010】一般に工作物を薄く切断する場合、圧力設
定が最適値よりも数十万Pa(数kgf/cm2)ずれ
ただけで工作物に挫屈が起こってしまう。また、加圧時
間が最適時間よりも数秒長いだけで挫屈が起こってしま
う。従って、この様な従来の圧力サイクルでは工作物1
01を薄く切断することが困難である。
In general, when cutting a workpiece thinly, buckling occurs in the workpiece only when the pressure setting is shifted from the optimum value by several hundred thousand Pa (several kgf / cm 2 ). In addition, buckling occurs if the pressurizing time is several seconds longer than the optimum time. Therefore, in such a conventional pressure cycle, the workpiece 1
01 is difficult to cut thin.

【0011】例えば、直径25mm、長さ30mmの円
柱形状のソーダガラスを0.5mm間隔で切断した場合
の工作物101の斜視図を図8に示す。図8(a)は工
作物101が切断される前の状態であり、(b)は工作
物101が切断された後の状態である。図8に示すよう
に、工作物101が切断されて厚みの薄い形状になった
後、過剰の加圧により挫屈してしまっている。
For example, FIG. 8 is a perspective view of a workpiece 101 when a cylindrical soda glass having a diameter of 25 mm and a length of 30 mm is cut at intervals of 0.5 mm. FIG. 8A shows a state before the workpiece 101 is cut, and FIG. 8B shows a state after the workpiece 101 is cut. As shown in FIG. 8, after the workpiece 101 is cut into a thin shape, the workpiece 101 is buckled by excessive pressure.

【0012】従来の側圧切断方法により切断できる工作
物101の最小切断幅は、工作物101の軸に垂直な方
向の幅の1/10程度となっており、例えば、直径10
mmの円柱形状のガラスは最小でも1mm程度の幅にし
か切断することができない。そのため、太い工作物10
1を切断しようとする程切断幅が厚くなってしまう。そ
して、切断幅が太くなってしまうと、所望の厚みになる
ように後工程で研削等を行わなければならず、工作物1
01において無駄になる部分が発生していた。
The minimum cutting width of the workpiece 101 that can be cut by the conventional lateral pressure cutting method is about 1/10 of the width of the workpiece 101 in the direction perpendicular to the axis.
mm cylindrical glass can only be cut to a width of at least about 1 mm. Therefore, a thick workpiece 10
The cutting width becomes thicker as the number 1 is cut. When the cutting width becomes large, grinding or the like must be performed in a post-process so as to obtain a desired thickness.
In 01, a useless portion occurred.

【0013】本発明は、上記問題点に鑑み、工作物を小
さい切断幅に切断することができる工作物の切断方法及
びその方法で用いる切断装置を提供することを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a method for cutting a workpiece, which can cut the workpiece to a small cutting width, and a cutting apparatus used in the method.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明では、脆性材からなる工作物
(1)の外周面に切断する部分を指定する傷(1a)を
設け、工作物の外周面を加圧することにより工作物を切
断する切断方法において、工作物の加圧時に工作物が切
断された時に発生する切断信号を測定し、切断信号を確
認した後、工作物の外周面の加圧力を減少させることを
特徴としている。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a flaw (1a) for designating a portion to be cut is provided on an outer peripheral surface of a workpiece (1) made of a brittle material. In a cutting method for cutting a workpiece by pressing the outer peripheral surface of the workpiece, a cutting signal generated when the workpiece is cut when the workpiece is pressed is measured, and after confirming the cutting signal, the workpiece is checked. Is characterized in that the pressing force on the outer peripheral surface of is reduced.

【0015】これにより、工作物が切断された後に工作
物が加圧されることを低減できるため、工作物の切断幅
が小さくても工作物の挫屈を抑制することができる。そ
のため、工作物を小さい切断幅に切断することができ
る。
[0015] With this, it is possible to reduce the pressurization of the workpiece after the workpiece is cut, so that the buckling of the workpiece can be suppressed even if the width of the workpiece is small. Therefore, the workpiece can be cut to a small cutting width.

【0016】この場合、例えば、請求項2に記載の発明
のように、工作物の外周面に対する加圧は工作物を側圧
伝達筒(6)に嵌入させて側圧伝達筒の外周側から加圧
することにより行うことができる。
In this case, for example, as in the second aspect of the invention, the pressurizing of the outer peripheral surface of the workpiece is performed by fitting the workpiece into the side pressure transmitting cylinder (6) and applying pressure from the outer peripheral side of the side pressure transmitting cylinder. It can be done by doing.

【0017】また、請求項3に記載の発明では、請求項
1又は2の発明において、切断信号の数が、予め設定し
た数に達した際に工作物の外周面の加圧力を減少させ始
めることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, when the number of cutting signals reaches a preset number, the pressure applied to the outer peripheral surface of the workpiece starts to decrease. It is characterized by:

【0018】工作物を複数に切断する場合は、切断信号
が複数個発生する場合がある。この場合、切断信号を検
出した直後に減圧を開始すると工作物のうち切断されな
い部位が存在してしまう。そこで、予想される数の切断
信号を検出した後に工作物の減圧を開始すれば、所望の
数の切断を行うことができる。
When a workpiece is cut into a plurality of pieces, a plurality of cutting signals may be generated. In this case, if the pressure reduction is started immediately after the detection of the cutting signal, there is a portion of the workpiece that is not cut. Therefore, if the pressure reduction of the workpiece is started after detecting the expected number of cutting signals, the desired number of cuttings can be performed.

【0019】この場合、複数の切断が同時に起こって複
数の切断信号が重なるなどして切断信号の数が予め設定
した数と異なると、切断された工作物を加圧し続けて挫
屈させてしまう恐れがある。
In this case, if the number of cutting signals is different from the preset number because a plurality of cuttings occur simultaneously and a plurality of cutting signals overlap, the cut workpiece is continuously pressed and buckled. There is fear.

【0020】そこで、請求項4に記載の発明のように、
切断信号を検出した後、予め設定した時間が経過した後
に工作物の外周面の加圧力を減少させ始めることで、切
断された工作物の挫屈を低減することができる。
Therefore, as in the invention according to claim 4,
After detecting the cutting signal and starting to reduce the pressing force on the outer peripheral surface of the workpiece after a preset time has elapsed, the buckling of the cut workpiece can be reduced.

【0021】請求項5に記載の発明のように、請求項1
〜4の発明の切断信号としては、振動を用いることがで
きる。
According to the fifth aspect of the present invention, as in the first aspect,
Vibration can be used as the disconnection signal according to any one of the first to fourth aspects.

【0022】この場合、請求項6に記載の発明のよう
に、工作物の外周面に圧力を加えるための圧力印加手段
(2)の振動を工作物が切断された時に発生する振動よ
りも抑えることにより、好適に工作物の切断信号を検出
して工作物の挫屈を抑制することができる。
In this case, the vibration of the pressure applying means (2) for applying pressure to the outer peripheral surface of the workpiece is suppressed more than the vibration generated when the workpiece is cut. Thus, it is possible to suitably detect the cutting signal of the workpiece and suppress the buckling of the workpiece.

【0023】また、請求項7に記載の発明のように、請
求項1〜6の発明において、工作物の外周面に圧力を加
えるための圧力印加手段(2)に開放弁(13)を設
け、工作物の外周面の加圧力を減少させる際に開放弁を
開放することにより、速やかに工作物の外周面の加圧力
を減少させることができる。
According to a seventh aspect of the present invention, in the first to sixth aspects of the present invention, an opening valve (13) is provided in the pressure applying means (2) for applying pressure to the outer peripheral surface of the workpiece. By opening the release valve when reducing the applied pressure on the outer peripheral surface of the workpiece, the applied pressure on the outer peripheral surface of the workpiece can be rapidly reduced.

【0024】請求項8に記載の発明は、外周面に切断す
る部分を指定する傷(1a)を設けた脆性材からなる工
作物(1)の外周面に圧力を加えるための圧力印加手段
(2)と、工作物が加圧されて切断された時に発生する
切断信号を検出する検出器(10)と、検出器からの信
号に応じて工作物に加えられている圧力を調節するため
の圧力調節手段(11)とを備えていることを特徴とし
ている。
The invention according to claim 8 is a pressure applying means for applying pressure to an outer peripheral surface of a workpiece (1) made of a brittle material having a flaw (1a) for designating a portion to be cut on the outer peripheral surface. 2) a detector (10) for detecting a cutting signal generated when the workpiece is cut by being pressurized; and a detector for adjusting the pressure applied to the workpiece according to a signal from the detector. A pressure adjusting means (11).

【0025】これにより、請求項1に記載の工作物の切
断方法に用いて好適な工作物の切断装置を提供すること
ができる。
Thus, a workpiece cutting apparatus suitable for use in the method for cutting a workpiece according to the first aspect can be provided.

【0026】この場合、請求項9に記載の発明のよう
に、検出器としては工作物の切断信号として工作物が切
断された時に発生する振動を検出するようになっている
ものを用いることができる。そして、請求項10に記載
の発明のように、圧力印加手段の振動が、工作物が切断
された時に発生する振動よりも小さくなっていると好適
に工作物の切断信号を検出することができる。
In this case, a detector which detects vibration generated when the workpiece is cut as a workpiece cutting signal may be used as the detector. it can. Further, when the vibration of the pressure applying means is smaller than the vibration generated when the workpiece is cut, a cutting signal of the workpiece can be suitably detected. .

【0027】また、請求項11に記載の発明のように、
請求項8〜10の発明において、具体的には、検出器を
工作物に接するようにして配置することができる。
Also, as in the invention according to claim 11,
In the invention of claims 8 to 10, specifically, the detector can be arranged so as to be in contact with the workpiece.

【0028】また、請求項12に記載の発明のように、
圧力印加手段として工作物の外周面に加えられた圧力を
開放するための開放弁(13)が設けられたものを用い
ると、請求項7の発明のように、開放弁を開放すること
により工作物を減圧することができる。
Further, according to the invention of claim 12,
When the pressure applying means provided with an opening valve (13) for releasing the pressure applied to the outer peripheral surface of the workpiece is used, the opening valve is opened to open the work. The object can be depressurized.

【0029】また、請求項13に記載の発明のように、
請求項8〜12の発明において、検出器又は圧力調節手
段の少なくとも一方に、工作物の切断信号の数を測定す
る計測機能を備えさせると、請求項3の発明の工作物の
切断方法を好適に行うことができる。
Further, as in the invention according to claim 13,
In the invention of claims 8 to 12, if at least one of the detector and the pressure adjusting means is provided with a measuring function for measuring the number of cutting signals of the workpiece, the method of cutting a workpiece according to the invention of claim 3 is preferable. Can be done.

【0030】請求項3の発明の切断方法を具体的に行う
には、請求項14に記載の発明のように、圧力調節手段
に、予め設定した数と比較して工作物の切断信号の数が
同じになった際に工作物の外周面の加圧力を減少させる
信号を発する機能を設けるとよい。
In order to concretely carry out the cutting method according to the third aspect of the present invention, as in the invention according to the fourteenth aspect, the number of cutting signals of the workpiece is compared with a predetermined number in the pressure adjusting means. It is preferable to provide a function of issuing a signal for reducing the pressing force on the outer peripheral surface of the workpiece when the values become the same.

【0031】また、請求項15に記載の発明は、請求項
8〜14の発明において、圧力調節手段に、工作物の切
断信号を検知した後、予め設定した時間経過後に工作物
の外周面の加圧力を減少させる信号を発する機能を備え
させると、請求項4の発明の工作物の切断方法を好適に
行うことができる。
According to a fifteenth aspect of the present invention, in the invention of the eighth to fourteenth aspects, after detecting a cutting signal of the workpiece by the pressure adjusting means, a predetermined time elapses and the outer peripheral surface of the workpiece is evacuated. By providing a function of issuing a signal for reducing the applied pressure, the method for cutting a workpiece according to the invention of claim 4 can be suitably performed.

【0032】また、請求項8〜15の発明において、請
求項16に記載の発明のように、圧力印加手段として、
工作物を嵌入する側圧伝達筒(6)と、側圧伝達筒を内
包する部屋(5a)を形成し、部屋の内部と外部とを連
通する孔(5b)を形成した切断容器(5)とを備えた
ものを用いることができる。
Further, in the inventions of claims 8 to 15, as in the invention of claim 16, as the pressure applying means,
A side pressure transmission cylinder (6) into which a workpiece is fitted, and a cutting container (5) formed with a room (5a) containing the side pressure transmission cylinder and having a hole (5b) communicating the inside and the outside of the room. Those provided can be used.

【0033】上記請求項11の発明のように、検出器を
工作物に接するようにして配置すると、複数枚に工作物
を切断する際に、切断された工作物を挟んで検出器と反
対側の離れた位置にある工作物の切断を検出しようとす
ると、切断された工作物が切断信号の伝播を阻害して、
検出器が切断信号を検出するのが困難になる場合があ
る。
According to the eleventh aspect of the present invention, when the detector is arranged so as to be in contact with the workpiece, when the workpiece is cut into a plurality of pieces, the detector is located on the side opposite to the detector with the cut workpiece interposed therebetween. If you try to detect the cutting of a workpiece that is far away, the cut workpiece will block the propagation of the cutting signal,
It may be difficult for the detector to detect the disconnect signal.

【0034】そこで、請求項17に記載の発明のよう
に、検出器を切断容器内に配置し、側圧伝達筒に伝わっ
た工作物の切断信号を検出することにより、好適に工作
物の切断信号を検出することができる。
Therefore, according to the present invention, the detector is disposed in the cutting container and the cutting signal of the workpiece transmitted to the side pressure transmission cylinder is detected, so that the cutting signal of the workpiece is preferably obtained. Can be detected.

【0035】なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述
する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すも
のである。
The reference numerals in parentheses of the above means indicate the correspondence with the specific means described in the embodiments described later.

【0036】[0036]

【発明の実施の形態】(第1実施形態)以下、図に示す
実施形態について説明する。本実施形態は、本発明を側
圧切断に適用したものである。図1は本実施形態の側圧
切断装置の概略図であり、切断するための工作物1を配
置した状態で示している。図1に示すように、圧力印加
手段2は、加圧装置3、圧力装置4、及びそれらを接続
する配管7とを有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (First Embodiment) The embodiment shown in the drawings will be described below. In this embodiment, the present invention is applied to lateral pressure cutting. FIG. 1 is a schematic view of a lateral pressure cutting device according to the present embodiment, in which a workpiece 1 to be cut is arranged. As shown in FIG. 1, the pressure applying means 2 has a pressure device 3, a pressure device 4, and a pipe 7 connecting them.

【0037】加圧装置3は切断容器5と側圧伝達筒6か
らなる。切断容器5は高圧に耐え得る材質で構成された
中空形状の部材からなり、切断容器5の中空部によって
円柱形状の圧力室(部屋)5aが形成されている。ま
た、切断容器5には圧力室5aの内部と外部とを連通す
る孔である圧力媒体進入孔5bが形成されている。
The pressurizing device 3 comprises a cutting vessel 5 and a side pressure transmitting cylinder 6. The cutting container 5 is made of a hollow member made of a material capable of withstanding high pressure, and a hollow portion of the cutting container 5 forms a cylindrical pressure chamber (room) 5a. Further, the cutting vessel 5 is formed with a pressure medium entry hole 5b, which is a hole communicating the inside and the outside of the pressure chamber 5a.

【0038】また、圧力媒体進入孔5bには配管7を介
して圧力装置4が接続されている。この圧力装置4は後
述のように切断容器5内に圧力媒体8を導入するための
ものである。また、図示しないが、圧力装置4内には圧
力を開放するための開放弁が設けられている。圧力室5
aには側圧伝達筒6が配置されている。この側圧伝達筒
6はアクリル樹脂等から成り、後述のように工作物1を
切断する際に工作物1の外周面に圧力を加えるためのも
のである。
A pressure device 4 is connected to the pressure medium inlet 5b via a pipe 7. The pressure device 4 is for introducing a pressure medium 8 into the cutting vessel 5 as described later. Although not shown, an opening valve for releasing pressure is provided in the pressure device 4. Pressure chamber 5
The side pressure transmission cylinder 6 is arranged at a. The side pressure transmitting cylinder 6 is made of an acrylic resin or the like, and is used to apply pressure to the outer peripheral surface of the workpiece 1 when cutting the workpiece 1 as described later.

【0039】側圧伝達筒6の軸方向の両端部と切断容器
5との間にはOリング9が配置されている。このOリン
グ9は、後述のように圧力媒体8を切断容器5内に充填
する際に、圧力媒体8が漏れて工作物1の両端部にまで
および、圧力媒体8によって工作物1に対して軸方向に
縮むような圧力が加えられることを防止するためのもの
である。
An O-ring 9 is arranged between both ends of the side pressure transmission cylinder 6 in the axial direction and the cutting container 5. When the pressure medium 8 is filled into the cutting container 5 as described later, the O-ring 9 leaks to the both ends of the workpiece 1 when the pressure medium 8 leaks, and the O-ring 9 This is for preventing the application of pressure that shrinks in the axial direction.

【0040】そして、側圧伝達筒6内に脆性材料からな
る工作物1を配置してこの工作物1の切断を行う。この
工作物1としては、例えば棒状のものを適用することが
でき、本実施形態では、直径が25mm、長さが30m
mの円柱形状のソーダガラスを切断する。
Then, the workpiece 1 made of a brittle material is disposed in the side pressure transmission cylinder 6 and the workpiece 1 is cut. As the workpiece 1, for example, a bar-shaped workpiece can be applied. In the present embodiment, the diameter is 25 mm and the length is 30 m.
Cut the cylindrical soda glass of m.

【0041】工作物1の外周面には切断する部分を指定
する傷である切欠1aが形成されている。切欠1aは、
工作物1の切断面となる領域における外縁部のうちの一
部分に形成されており、本実施形態では0.5mm間隔
で10本形成されている。この切欠1aは、例えばダイ
ヤモンドカッタなどにより形成することができる。
A notch 1a is formed on the outer peripheral surface of the workpiece 1 to designate a portion to be cut. Notch 1a
It is formed in a part of the outer edge portion in a region to be the cut surface of the workpiece 1, and in the present embodiment, ten are formed at 0.5 mm intervals. The notch 1a can be formed by, for example, a diamond cutter.

【0042】また、側圧伝達筒6の外周面の近傍、つま
り、切断容器5内のうち側圧伝達筒6に伝わった工作物
1の切断信号を検出することができる位置に、工作物1
が切断された時に発生する切断信号を検出するための検
出器10が備えられている。本実施形態の検出器10
は、工作物1が切断された時に発生する振動を検出する
ようになっている。この検出器10としては、例えばア
コースティックエミッションセンサを用いることができ
る。
The workpiece 1 is located in the vicinity of the outer peripheral surface of the side pressure transmission cylinder 6, that is, in a position in the cutting vessel 5 where a cutting signal of the workpiece 1 transmitted to the side pressure transmission cylinder 6 can be detected.
Is provided with a detector 10 for detecting a disconnection signal generated when is disconnected. Detector 10 of the present embodiment
Is designed to detect vibration generated when the workpiece 1 is cut. As the detector 10, for example, an acoustic emission sensor can be used.

【0043】一般に、切断容器5に圧力媒体8を供給す
るために圧力装置4において油圧装置を用いることが多
く、この油圧装置の振動が工作物1が切断された時に発
生する振動の検出に支障を来たす恐れがある。従って、
圧力装置4として、工作物1が切断された時に発生する
振動よりも振動が抑えられたものを用いるようにする。
In general, a hydraulic device is often used in the pressure device 4 to supply the pressure medium 8 to the cutting vessel 5, and the vibration of the hydraulic device hinders the detection of the vibration generated when the workpiece 1 is cut. May come. Therefore,
As the pressure device 4, a device whose vibration is suppressed more than vibration generated when the workpiece 1 is cut is used.

【0044】また、加圧装置3には検出器10からの信
号に応じて工作物1に加える圧力を調節するための圧力
調節手段としての圧力制御部(以下、単に制御部とい
う)11が備えられている。
Further, the pressurizing device 3 is provided with a pressure control section (hereinafter simply referred to as a control section) 11 as pressure adjusting means for adjusting the pressure applied to the workpiece 1 in accordance with a signal from the detector 10. Have been.

【0045】次に、工作物1の切断方法について説明す
る。図1に示すように、全ての切欠1aが形成された工
作物1を側圧伝達筒6内に配置して、切欠1aを含む部
位を側圧伝達筒6で覆う。そして、圧力装置4を用いて
切断容器5に対して圧力媒体進入孔1bから圧力媒体8
を導入して、切断容器5と側圧伝達筒6との間に圧力媒
体8を充填する。この圧力媒体8によって側圧伝達筒6
の外周面が加圧圧縮され、工作物1に応力が加えられて
切欠1aを起点として工作物1が切断される。
Next, a method of cutting the workpiece 1 will be described. As shown in FIG. 1, the workpiece 1 in which all the notches 1 a are formed is arranged in the side pressure transmission cylinder 6, and the portion including the notch 1 a is covered with the side pressure transmission cylinder 6. Then, using the pressure device 4, the pressure medium 8 is inserted into the cutting vessel 5 through the pressure medium entrance hole 1 b.
To fill the space between the cutting vessel 5 and the side pressure transmission cylinder 6 with the pressure medium 8. The pressure medium 8 allows the side pressure transmitting cylinder 6
Is pressurized and compressed, a stress is applied to the workpiece 1, and the workpiece 1 is cut starting from the notch 1a.

【0046】図2は、この様に切断する際の側圧伝達筒
6における圧力変化と検出器10によって検出した工作
物1の振動変化を示す。図2において、工作物1の振動
が急激に大きくなった時点で工作物1の切断が行われて
いる。なお、図2の圧力変化を示すグラフでは、本実施
形態における圧力変化を太線で示し、従来技術における
圧力変化を破線で示している。また、工作物1の切断信
号は1つのみであるが、これは工作物1における10部
位の切断が同時に行われたことを示す。
FIG. 2 shows a change in pressure in the side pressure transmitting cylinder 6 and a change in vibration of the workpiece 1 detected by the detector 10 when cutting is performed in this manner. In FIG. 2, the cutting of the workpiece 1 is performed when the vibration of the workpiece 1 sharply increases. In the graph showing the pressure change in FIG. 2, the pressure change in the present embodiment is indicated by a thick line, and the pressure change in the related art is indicated by a broken line. In addition, there is only one cutting signal of the workpiece 1, which indicates that the cutting of 10 parts in the workpiece 1 was performed simultaneously.

【0047】図2に示すように、徐々に圧力媒体8を増
圧していく。その結果、工作物1が切断され、この際、
大きな振動である切断信号が検出器10により検出され
る。この信号が制御部11に伝えられ、制御部11から
圧力装置4に指示が伝えられる。この指示により、開放
弁が開放されて切断容器5内の圧力媒体8の圧力が低下
され、工作物1の外周面の加圧力が減少される。以下、
この加圧力の減少を単に減圧という。
As shown in FIG. 2, the pressure of the pressure medium 8 is gradually increased. As a result, the workpiece 1 is cut,
A cutting signal that is a large vibration is detected by the detector 10. This signal is transmitted to the control unit 11, and an instruction is transmitted from the control unit 11 to the pressure device 4. With this instruction, the release valve is opened, the pressure of the pressure medium 8 in the cutting vessel 5 is reduced, and the pressure on the outer peripheral surface of the workpiece 1 is reduced. Less than,
This decrease in pressure is simply referred to as pressure reduction.

【0048】この減圧は、図2に示すように、検出器1
0で工作物1の切断信号を検出した直後(ほぼ同時)に
行われるようにする。同じ大きさの圧力を工作物1に加
えても、短時間の印加では挫屈せず長時間の印加で挫屈
する場合もあるため、減圧速度は速ければ速いほど工作
物1に与えるダメージが小さいと思われる。また減圧速
度が速いほど切断時間が短くなって好ましい。従って、
本実施形態では開放弁を一気に開いて圧力を低下させる
ようにしている。
This reduced pressure, as shown in FIG.
0 is performed immediately after (at substantially the same time) a cutting signal of the workpiece 1 is detected. Even if the same amount of pressure is applied to the workpiece 1, the buckling may not be caused by short-time application and may be buckled by long-time application. Seem. The faster the pressure reduction rate, the shorter the cutting time, which is preferable. Therefore,
In this embodiment, the opening valve is opened at a stretch to reduce the pressure.

【0049】この様な切断方法により、図3の工作物1
の斜視図に示すように、(a)のように切欠1aを設け
た工作物1を、(b)のように挫屈すること無く0.5
mmの切断幅に切断することができた。また、切断され
た工作物1の周囲にもクラックや欠けなども発生してお
らず高品位に工作物1を切断することができた。
By such a cutting method, the workpiece 1 shown in FIG.
As shown in the perspective view of FIG. 2, the workpiece 1 provided with the notch 1a as shown in FIG.
It was possible to cut to a cutting width of mm. In addition, no crack or chipping occurred around the cut workpiece 1, and the workpiece 1 could be cut with high quality.

【0050】この様に、本実施形態では、工作物1の切
断信号を検出して工作物1が切断された後に工作物1が
加圧されないようにしている。そのため、工作物1の切
断幅が小さい場合も工作物1の挫屈を抑制することがで
きる。従って、工作物1を小さい切断幅に切断すること
ができる。
As described above, in this embodiment, the cutting signal of the workpiece 1 is detected so that the workpiece 1 is not pressed after the workpiece 1 is cut. Therefore, even when the cutting width of the workpiece 1 is small, buckling of the workpiece 1 can be suppressed. Therefore, the workpiece 1 can be cut to a small cutting width.

【0051】また、圧力装置4における振動が工作物1
が切断された時に発生する振動よりも抑えられているた
め、好適に工作物1の切断信号を検出して工作物1の挫
屈を抑制することができる。
The vibration in the pressure device 4 causes the workpiece 1
Since the vibration generated when cutting the workpiece 1 is suppressed, the cutting signal of the workpiece 1 is suitably detected, and the buckling of the workpiece 1 can be suppressed.

【0052】また、図2の圧力変化を示すグラフにおい
て明らかなように、従来の切断方法と比較して切断時間
を低減することができ、効率的に工作物1を切断するこ
とができる。因みに、従来は工作物の最初の切断が行わ
れてから数十秒程度加圧する(図2における破線が平ら
になっている時間)のが一般的であった。
As is apparent from the pressure change graph of FIG. 2, the cutting time can be reduced as compared with the conventional cutting method, and the workpiece 1 can be cut efficiently. By the way, conventionally, it has been general to pressurize for about several tens of seconds after the first cutting of the workpiece (time during which the broken line in FIG. 2 is flat).

【0053】なお、圧力装置4以外にも周囲の振動によ
り工作物1が切断された時に発生する振動の検出が難し
くならないように、周囲の振動を工作物1が切断された
時に発生する振動よりも抑えると好適である。また、圧
力装置4以外にも圧力印加手段2全体の振動を、工作物
1が切断された時に発生する振動よりも抑えるようにす
ると好適である。
It should be noted that, in addition to the pressure device 4, in order to prevent the detection of the vibration generated when the workpiece 1 is cut due to the peripheral vibration, the peripheral vibration is reduced by the vibration generated when the workpiece 1 is cut. It is also preferable to suppress this. Further, it is preferable that the vibration of the entire pressure application unit 2 other than the pressure device 4 is suppressed to be lower than the vibration generated when the workpiece 1 is cut.

【0054】また、減圧の方法は開放弁を開放すること
に限らず、速やかに切断容器5内の圧力媒体8を減圧す
ることができる方法を適用することができる。例えば、
加圧をシリンダーを用いて行う場合は、シリンダーを加
圧とは逆方向に動かせば良い。
The method of reducing the pressure is not limited to opening the opening valve, and a method capable of rapidly reducing the pressure of the pressure medium 8 in the cutting vessel 5 can be applied. For example,
When the pressurization is performed using a cylinder, the cylinder may be moved in a direction opposite to the pressurization.

【0055】(第2実施形態)上記第1実施形態では、
複数の切断が同時に行われて切断信号が同時に検出され
る例について示したが、本実施形態は複数の切断が時間
的にずれて行われる場合について示す。
(Second Embodiment) In the first embodiment,
Although an example in which a plurality of disconnections are performed simultaneously and a disconnection signal is simultaneously detected has been described, the present embodiment shows a case where a plurality of disconnections are performed with a time lag.

【0056】上記第1実施形態に示すような、工作物1
に複数の切欠1aを設けて側圧伝達筒6で覆って複数の
切断を同時に行う場合は、切欠1aの大きさや深さ等に
バラツキがあると、各切欠1aを起点として切断される
際の圧力に差が生じる。そのため、切断信号を検知した
直後に減圧を行うと全ての切欠1aにおいて工作物1を
切断することができない。
Workpiece 1 as shown in the first embodiment.
In the case where a plurality of cuts 1a are provided and the plurality of cuts are simultaneously performed by covering with the side pressure transmitting cylinder 6, if the size and depth of the cuts 1a vary, the pressure at the time of cutting starting from each notch 1a is considered. Differences occur. Therefore, if the pressure is reduced immediately after the detection of the cutting signal, the workpiece 1 cannot be cut in all the notches 1a.

【0057】このように切断が時間的にずれて行われる
場合の圧力媒体8の圧力変化と工作物1の振動変化とを
図4に示す。この工作物1は4つの切欠1aが形成され
て切断されることにより、3つの切断幅の小さいウェハ
状の工作物1が形成されるものである。図4では、工作
物1の切断の全てが時間的にずれて行われたものとす
る。なお、本実施形態の圧力変化を太線で示し、従来技
術による圧力変化を破線で示している。
FIG. 4 shows a change in pressure of the pressure medium 8 and a change in vibration of the workpiece 1 when the cutting is performed with a time lag. The workpiece 1 is formed by cutting four notches 1a to form three wafer-shaped workpieces 1 having a small cutting width. In FIG. 4, it is assumed that all the cutting of the workpiece 1 is performed with a time lag. The pressure change of the present embodiment is indicated by a bold line, and the pressure change according to the related art is indicated by a broken line.

【0058】この様な場合、検出器10又は制御部11
の少なくとも一方にマイコンなどを設け、工作物1の切
断信号の数を測定する計測機能を持たせておく。また、
制御部11は予め設定した数と比較して工作物1の切断
信号の数が同じになった際に工作物1を減圧する信号を
圧力装置4に対して発する機能を備えている。
In such a case, the detector 10 or the control unit 11
A microcomputer or the like is provided in at least one of them to have a measurement function for measuring the number of cutting signals of the workpiece 1. Also,
The control unit 11 has a function of issuing to the pressure device 4 a signal for reducing the pressure of the workpiece 1 when the number of cutting signals of the workpiece 1 becomes equal to the preset number.

【0059】そして、予め切断信号の数(切欠1aの数
と同じ数であり、本例では4である)を設定しておき、
設定した数の切断信号を検出した直後に減圧を開始する
ようにする。本実施形態では、4つの制御信号を検出し
た後に減圧を行うようにしている。
Then, the number of disconnection signals (the same number as the number of notches 1a, which is 4 in this example) is set in advance, and
The decompression is started immediately after the set number of disconnection signals are detected. In the present embodiment, pressure reduction is performed after detecting four control signals.

【0060】これにより、所望の数(本例では4つ)の
工作物1の切断を行うことができる。
Thus, a desired number (four in this example) of the workpieces 1 can be cut.

【0061】また、本実施形態のように工作物1の切断
が同時に起こらない場合において、先に切断された工作
物1を挟んで検出器10と反対側の、検出器10から最
も遠い(離れた)位置にある工作物1の切断信号を検出
しようとすると、切断された工作物1が切断信号の伝播
を阻害して、検出器10が切断信号を検出するのが困難
になる恐れがある。
Further, in the case where the cutting of the workpiece 1 does not occur simultaneously as in the present embodiment, the furthest (distant) from the detector 10 on the opposite side of the detector 10 across the previously cut workpiece 1. Attempts to detect the cutting signal of the workpiece 1 at the position) may cause the cut workpiece 1 to impede the propagation of the cutting signal, making it difficult for the detector 10 to detect the cutting signal. .

【0062】しかし、本実施形態では、検出器10を第
1実施形態と同様に側圧伝達筒6の外周面の近傍に設け
ている。そのため、工作物1の切断される部位の全てと
対向している側圧伝達筒6を介して切断信号を検出する
ことができるため、好適に工作物1の切断信号を検出す
ることができる。
However, in the present embodiment, the detector 10 is provided in the vicinity of the outer peripheral surface of the lateral pressure transmission cylinder 6 as in the first embodiment. Therefore, the cutting signal can be detected through the side pressure transmission cylinder 6 that faces all of the cut portions of the workpiece 1, so that the cutting signal of the workpiece 1 can be suitably detected.

【0063】なお、図4に示すように、初めの工作物1
の切断が検出されてから加圧速度を緩やかにしている。
これは、切断時間をずらして工作物1の切断信号を検出
し易くするためである。また、加圧速度が大きいと切断
された工作物1が挫屈し易いため、この挫屈を防止する
ためでもある。なお、切断に用いられる加圧装置3は第
1実施形態と同様の構成のものである。
Note that, as shown in FIG.
The pressurizing speed has been reduced since the disconnection was detected.
This is to make it easier to detect the cutting signal of the workpiece 1 by shifting the cutting time. Also, if the pressurizing speed is high, the cut workpiece 1 is easily buckled, so that this buckling is prevented. The pressing device 3 used for cutting has the same configuration as in the first embodiment.

【0064】(第3実施形態)第2実施形態では、予め
設定した数の切断信号を検出した後に減圧を開始するよ
うにしているが、複数の切断が同時に起こり複数の切断
信号が重なるなどして切断信号の数が予め設定した数と
異なると、切断された工作物1を加圧し続けて挫屈させ
てしまう恐れがある。
(Third Embodiment) In the second embodiment, decompression is started after a predetermined number of cutting signals are detected. However, a plurality of cutting signals occur simultaneously and a plurality of cutting signals overlap. If the number of cutting signals is different from the preset number, the cut workpiece 1 may be continuously pressed and buckled.

【0065】そこで、制御部11に、工作物1の切断信
号を検知した後、予め設定した時間経過後に工作物1を
減圧する信号を発する機能を備えておく。そして、切断
信号を検出した後、予め設定した時間が経過した後に工
作物1の減圧を開始するようにする。
Therefore, the control unit 11 is provided with a function of issuing a signal for reducing the pressure of the workpiece 1 after a preset time has elapsed after detecting the cutting signal of the workpiece 1. Then, after detecting the cutting signal, the decompression of the workpiece 1 is started after a preset time has elapsed.

【0066】この切断信号としては、最初に検出した切
断信号を利用しても良いし、切断信号を検出した後に、
設定した時間を経過して切断が無い場合に減圧を開始す
るようにしても良い。また、設定時間は例えば1秒程度
にすることができる。
As the disconnection signal, the disconnection signal detected first may be used, or after the disconnection signal is detected,
The pressure reduction may be started when there is no disconnection after a set time. The set time can be set to, for example, about 1 second.

【0067】これにより、切断された工作物1を加圧し
続けることを低減して、工作物1の挫屈を低減すること
ができる。
Thus, it is possible to reduce the continuation of pressurizing the cut workpiece 1 and reduce the buckling of the workpiece 1.

【0068】なお、設定時間は加圧速度や工作物1の種
類や切断幅などによっても異なるためこの値に限定する
ものではなく、適宜工作物1に挫屈が生じないような長
さを設定すると良い。
The set time differs depending on the pressing speed, the type of the workpiece 1, the cutting width, and the like, and is not limited to this value. The length is appropriately set so that the workpiece 1 does not buckle. Good.

【0069】(第4実施形態)図5に本実施形態の工作
物1の加圧装置3の概略図を示す。圧力印加手段2は、
第1実施形態と同様の構成の加圧装置3と、圧力蓋12
aを有し加圧装置3を収容するための圧力容器12と、
各種配管14a〜14cとを有する。圧力容器12に
は、開放弁13を有する配管14aを介して圧力媒体8
を蓄えるタンク15が接続されている。タンク15には
配管14bを介して圧力調節手段としての圧力制御部
(以下、単に制御部という)11が接続されている。制
御部11は配管14cを介して圧力容器12と接続され
ており、この配管14cには配管14c内の圧力を測定
して制御部11に伝えるための圧力検出器16が備えら
れている。
(Fourth Embodiment) FIG. 5 is a schematic view of a pressurizing device 3 for a workpiece 1 according to this embodiment. The pressure applying means 2
The pressure device 3 having the same configuration as that of the first embodiment and the pressure lid 12
a pressure vessel 12 having a and containing the pressurizing device 3;
It has various pipes 14a to 14c. The pressure medium 8 is connected to the pressure vessel 12 through a pipe 14 a having an opening valve 13.
Is connected. The tank 15 is connected to a pressure control unit (hereinafter simply referred to as a control unit) 11 as a pressure adjusting unit via a pipe 14b. The control unit 11 is connected to the pressure vessel 12 via a pipe 14c, and the pipe 14c is provided with a pressure detector 16 for measuring the pressure in the pipe 14c and transmitting the measured pressure to the control unit 11.

【0070】工作物1を切断する際は、第1実施形態と
同様に加圧装置3内に工作物1を配置し、圧力容器12
内にこの加圧装置3を入れた後、圧力媒体8によって加
圧装置3内の側圧伝達筒6を加圧して工作物1を切断す
る。この際、加圧装置3内の側圧伝達筒6の近傍に配置
された検出器10によって工作物1の切断信号を検出
し、制御部11に伝えるようになっている。この信号
は、例えばワイヤなどにより圧力容器12を介して検出
器10と制御部11とを結線して伝えることができる。
When the work 1 is cut, the work 1 is placed in the pressurizing device 3 as in the first embodiment, and the pressure vessel 12 is cut.
After the pressurizing device 3 is put in the inside, the side pressure transmitting cylinder 6 in the pressurizing device 3 is pressurized by the pressure medium 8 to cut the workpiece 1. At this time, a cutting signal of the workpiece 1 is detected by a detector 10 arranged near the side pressure transmission cylinder 6 in the pressurizing device 3 and transmitted to the control unit 11. This signal can be transmitted by connecting the detector 10 and the control unit 11 via the pressure vessel 12 by, for example, a wire.

【0071】この様な切断においても、上記第1〜3実
施形態の発明を適用することができる。
The invention of the first to third embodiments can be applied to such cutting.

【0072】(他の実施形態)上記各実施形態では、工
作物1としてはソーダガラスを用いた例について示した
が、その他、シリコン、水晶、サファイヤ等の脆性材料
を切断することができる。また、工作物1の形状につい
ても円柱形状のものについて示したが、その他、円筒形
状や六角柱、または円柱形状において側面の一部が平面
になっている形状など、様々な形状の工作物1を切断す
ることができる。
(Other Embodiments) In each of the above embodiments, an example in which soda glass is used as the workpiece 1 has been described, but other brittle materials such as silicon, quartz, and sapphire can be cut. Although the shape of the workpiece 1 is shown as being cylindrical, the workpiece 1 may have various other shapes, such as a cylindrical shape, a hexagonal pillar, or a shape in which a part of a side surface is flat in a cylindrical shape. Can be cut.

【0073】また、上記各実施形態では検出器10を側
圧伝達筒6の近傍に配置するようにしているが、工作物
1の端面などにおいて工作物1に接するように配置して
もよい。但し、この場合、上述のように複数の切断が時
間的にずれて行われ、切断された工作物1を挟んで検出
器10と反対側の離れた位置にある工作物1の切断を検
出することは難しいため、切断数が少ないものに適用す
ると好適である。
In each of the above embodiments, the detector 10 is arranged near the side pressure transmission cylinder 6, but may be arranged so as to be in contact with the workpiece 1 at the end face of the workpiece 1. However, in this case, a plurality of cuts are performed with a time lag as described above, and the cut of the workpiece 1 located on the opposite side to the detector 10 across the cut workpiece 1 is detected. Since it is difficult to do so, it is preferable to apply the present invention to a machine with a small number of cuts.

【0074】また、上記各実施形態では工作物1の切断
信号として振動を検出しているが、切断時の音を検出す
るようにすることもできる。また、上記各実施形態では
側圧伝達筒6を用いた例について示したが、側圧伝達筒
6を用いずに工作物1を切断する場合にも本発明を適用
することができる。その場合、例えば、切欠を1つ形成
した工作物を切欠が圧力媒体進入孔5bの直下に位置す
るように切断容器5の加圧室5aの中に配置し、圧力媒
体8を切断容器5内に導入して上記各実施形態と同様に
して工作物を切断することができる。
Further, in each of the above embodiments, vibration is detected as a cutting signal of the workpiece 1, but a sound at the time of cutting may be detected. Further, in each of the above embodiments, an example in which the side pressure transmission tube 6 is used has been described. However, the present invention can be applied to a case where the workpiece 1 is cut without using the side pressure transmission tube 6. In this case, for example, a workpiece having one notch is arranged in the pressurizing chamber 5a of the cutting container 5 so that the notch is located immediately below the pressure medium entrance hole 5b. The workpiece can be cut in the same manner as in the above embodiments.

【0075】また、上記第2実施形態では、切欠1aの
数と同じ数の切断信号が検出される例について示した
が、複数の切欠1aを起点とした切断の全てが時間的に
ずれて検出されるものに限らず、同時に切断が行われる
ものと時間的にずれて切断が行われるものが混在する場
合にも、本発明を適用することができる。その場合、例
えば予め工作物の切断を行って設定する切断信号の数を
決定すれば良い。
In the second embodiment, an example is described in which the same number of cut signals as the number of cuts 1a are detected. However, all cuts starting from the plurality of cuts 1a are detected with a time lag. The present invention can be applied not only to the case where the cutting is performed but also the case where the cutting is performed simultaneously and the case where the cutting is performed with a time lag. In this case, for example, the number of cutting signals to be set by cutting the workpiece in advance may be determined.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1実施形態に係る切断装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a cutting device according to a first embodiment.

【図2】第1実施形態に係る側圧伝達筒における圧力変
化と工作物の振動変化を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a change in pressure and a change in vibration of a workpiece in a lateral pressure transmission cylinder according to the first embodiment.

【図3】第1実施形態に係る工作物の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a workpiece according to the first embodiment.

【図4】第2実施形態に係る側圧伝達筒における圧力変
化と工作物の振動変化を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a change in pressure and a change in vibration of a workpiece in a side pressure transmission cylinder according to a second embodiment.

【図5】第4実施形態に係る切断装置の概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram of a cutting device according to a fourth embodiment.

【図6】従来の側圧切断方法に係る切断装置の概略図で
ある。
FIG. 6 is a schematic view of a cutting device according to a conventional lateral pressure cutting method.

【図7】従来の側圧切断方法に係る側圧伝達筒における
圧力変化を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a pressure change in a lateral pressure transmission cylinder according to a conventional lateral pressure cutting method.

【図8】従来の側圧切断方法に係る工作物の斜視図であ
る。
FIG. 8 is a perspective view of a workpiece according to a conventional lateral pressure cutting method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…工作物、1a…切欠(傷)、2…圧力印加手段、5
…切断容器、5a…圧力室(部屋)、5b…圧力媒体進
入孔(孔)、6…側圧伝達筒、10…検出器、11…圧
力制御部(圧力調節手段)、13…開放弁。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Workpiece, 1a ... Notch (scratch), 2 ... Pressure application means, 5
... cutting container, 5a ... pressure chamber (room), 5b ... pressure medium entry hole (hole), 6 ... side pressure transmission cylinder, 10 ... detector, 11 ... pressure control unit (pressure adjusting means), 13 ... release valve.

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 脆性材からなる工作物(1)の外周面に
切断する部分を指定する傷(1a)を設け、前記工作物
の外周面を加圧することにより前記工作物を切断する切
断方法において、 前記工作物の加圧時に前記工作物が切断された時に発生
する切断信号を測定し、前記切断信号を確認した後、前
記工作物の外周面の加圧力を減少させることを特徴とす
る工作物の切断方法。
1. A cutting method for cutting a workpiece by forming a flaw (1a) for designating a portion to be cut on an outer peripheral surface of a workpiece (1) made of a brittle material and pressing the outer peripheral surface of the workpiece. In the method, a cutting signal generated when the workpiece is cut when the workpiece is pressurized is measured, and after confirming the cutting signal, the pressing force on the outer peripheral surface of the workpiece is reduced. How to cut the workpiece.
【請求項2】 前記工作物を側圧伝達筒(6)に嵌入さ
せて前記側圧伝達筒の外周側から加圧することにより前
記工作物の外周面の加圧を行うことを特徴とする請求項
1に記載の工作物の切断方法。
2. An outer peripheral surface of the workpiece is pressurized by fitting the workpiece into a side pressure transmission cylinder and applying pressure from an outer peripheral side of the side pressure transmission cylinder. 2. The method for cutting a workpiece according to claim 1.
【請求項3】 前記切断信号の数が予め設定した数に達
した際に前記工作物の外周面の加圧力を減少させ始める
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の工作物の切断
方法。
3. The cutting of a workpiece according to claim 1, wherein when the number of the cutting signals reaches a preset number, the pressure on the outer peripheral surface of the workpiece is started to decrease. Method.
【請求項4】 前記切断信号を検出した後、予め設定し
た時間が経過した後に前記工作物の外周面の加圧力を減
少させ始めることを特徴とする請求項1又は2に記載の
工作物の切断方法。
4. The method according to claim 1, wherein after detecting the cutting signal, the pressure on the outer peripheral surface of the workpiece starts decreasing after a preset time has elapsed. Cutting method.
【請求項5】 前記切断信号が振動であることを特徴と
する請求項1乃至4のいずれか1つに記載の工作物の切
断方法。
5. The method for cutting a workpiece according to claim 1, wherein the cutting signal is a vibration.
【請求項6】 前記工作物の外周面に圧力を加えるため
の圧力印加手段(2)の振動は、前記工作物が切断され
た時に発生する振動よりも抑えられていることを特徴と
する請求項5に記載の工作物の切断方法。
6. The method according to claim 1, wherein the vibration of the pressure applying means for applying pressure to the outer peripheral surface of the workpiece is suppressed more than the vibration generated when the workpiece is cut. Item 6. The method for cutting a workpiece according to Item 5.
【請求項7】 前記工作物の外周面に圧力を加えるため
の圧力印加手段(2)には開放弁(13)が備えられ、
前記工作物の外周面の加圧力を減少させる際に前記開放
弁を開放することを特徴とする請求項1乃至6のいずれ
か1つに記載の工作物の切断方法。
7. A pressure applying means (2) for applying a pressure to an outer peripheral surface of the workpiece is provided with an opening valve (13),
The method for cutting a workpiece according to any one of claims 1 to 6, wherein the release valve is opened when the pressure on the outer peripheral surface of the workpiece is reduced.
【請求項8】 外周面に切断する部分を指定する傷(1
a)が設けられた脆性材からなる工作物(1)の外周面
に圧力を加えるための圧力印加手段(2)と、 前記工作物が加圧されて切断された時に発生する切断信
号を検出する検出器(10)と、 前記検出器からの信号に応じて前記工作物に加えられて
いる圧力を調節するための圧力調節手段(11)とを備
えていることを特徴とする工作物の切断装置。
8. A scratch (1) for designating a portion to be cut on the outer peripheral surface.
a) a pressure applying means (2) for applying pressure to an outer peripheral surface of a workpiece (1) made of a brittle material provided with (a); and detecting a cutting signal generated when the workpiece is pressed and cut. And a pressure adjusting means (11) for adjusting a pressure applied to the workpiece according to a signal from the detector. Cutting device.
【請求項9】 前記検出器は、前記工作物の切断信号と
して前記工作物が切断された時に発生する振動を検出す
るようになっていることを特徴とする請求項8に記載の
工作物の切断装置。
9. The workpiece according to claim 8, wherein the detector detects a vibration generated when the workpiece is cut as the cutting signal of the workpiece. Cutting device.
【請求項10】 前記圧力印加手段の振動は、前記工作
物が切断された時に発生する振動よりも小さくなってい
ることを特徴とする請求項9に記載の工作物の切断装
置。
10. The work cutting apparatus according to claim 9, wherein the vibration of the pressure applying means is smaller than the vibration generated when the work is cut.
【請求項11】 前記検出器は前記工作物に接するよう
にして配置されていることを特徴とする請求項8乃至1
0のいずれか1つに記載の工作物の切断装置。
11. The apparatus according to claim 8, wherein the detector is arranged so as to be in contact with the workpiece.
0. The apparatus for cutting a workpiece according to any one of 0.
【請求項12】 前記圧力印加手段には、前記工作物の
外周面に加えられた圧力を開放するための開放弁(1
3)が設けられていることを特徴とする請求項8乃至1
1のいずれか1つに記載の工作物の切断装置。
12. An opening valve (1) for releasing pressure applied to an outer peripheral surface of the workpiece, said pressure applying means being provided with an opening valve (1).
3. The method according to claim 1, wherein 3) is provided.
A device for cutting a workpiece according to any one of the preceding claims.
【請求項13】 前記検出器又は前記圧力調節手段の少
なくとも一方は、前記工作物の切断信号の数を測定する
計測機能を備えていることを特徴とする請求項8乃至1
2のいずれか1つに記載の工作物の切断装置。
13. The apparatus according to claim 8, wherein at least one of said detector and said pressure adjusting means has a measuring function for measuring the number of cutting signals of said workpiece.
3. The apparatus for cutting a workpiece according to any one of 2.
【請求項14】 前記圧力調節手段は、予め設定した数
と比較して前記工作物の切断信号の数が同じになった際
に、前記工作物の外周面の加圧力を減少させる信号を発
する機能を備えていることを特徴とする請求項8乃至1
2のいずれか1つに記載の工作物の切断装置。
14. The pressure adjusting means generates a signal for reducing the pressure applied to the outer peripheral surface of the workpiece when the number of cutting signals of the workpiece becomes equal to the preset number. 2. A function is provided.
3. The apparatus for cutting a workpiece according to any one of 2.
【請求項15】 前記圧力調節手段は、前記工作物の切
断信号を検知した後、予め設定した時間経過後に前記工
作物の外周面の加圧力を減少させる信号を発する機能を
備えていることを特徴とする請求項8乃至14のいずれ
か1つに記載の工作物の切断装置。
15. The pressure adjusting means has a function of, after detecting a cutting signal of the workpiece, issuing a signal for reducing a pressing force on an outer peripheral surface of the workpiece after a predetermined time has elapsed. The apparatus for cutting a workpiece according to any one of claims 8 to 14, wherein:
【請求項16】 前記圧力印加手段として、前記工作物
が嵌入される側圧伝達筒(6)と、前記側圧伝達筒が内
包される部屋(5a)が形成され前記部屋の内部と外部
とを連通する孔(5b)が形成された切断容器(5)と
を備えていることを特徴とする請求項8乃至15のいず
れか1つに記載の工作物の切断装置。
16. As the pressure applying means, a side pressure transmission cylinder (6) into which the workpiece is fitted, and a room (5a) containing the side pressure transmission cylinder are formed, and the interior and the exterior of the room communicate with each other. The cutting device according to any one of claims 8 to 15, further comprising a cutting container (5) having a hole (5b) formed therein.
【請求項17】 前記検出器は前記切断容器内に配置さ
れ、前記側圧伝達筒に伝わった前記工作物の切断信号を
検出するものであることを特徴とする請求項16に記載
の工作物の切断装置。
17. The apparatus according to claim 16, wherein the detector is disposed in the cutting container and detects a cutting signal of the workpiece transmitted to the side pressure transmission cylinder. Cutting device.
JP2000306673A 2000-10-05 2000-10-05 Cutting method and cutting device for workpiece Withdrawn JP2002113697A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000306673A JP2002113697A (en) 2000-10-05 2000-10-05 Cutting method and cutting device for workpiece

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000306673A JP2002113697A (en) 2000-10-05 2000-10-05 Cutting method and cutting device for workpiece

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002113697A true JP2002113697A (en) 2002-04-16

Family

ID=18787321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000306673A Withdrawn JP2002113697A (en) 2000-10-05 2000-10-05 Cutting method and cutting device for workpiece

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002113697A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107186892A (en) * 2017-06-16 2017-09-22 莱州富林机械有限公司 Multifunctional stone automatic gas cutting machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107186892A (en) * 2017-06-16 2017-09-22 莱州富林机械有限公司 Multifunctional stone automatic gas cutting machine
CN107186892B (en) * 2017-06-16 2018-12-21 莱州富林机械有限公司 Multifunctional stone automatic gas cutting machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100810825B1 (en) An apparatus and method for controlled cleaving
US6263941B1 (en) Nozzle for cleaving substrates
US4748836A (en) Method of forming a ridge in a tube member
JP2002113697A (en) Cutting method and cutting device for workpiece
CN110280782B (en) Machining method of thin-wall part
JP4791392B2 (en) Processing jig
US6439047B1 (en) Method and arrangement for mechanically testing the valve disk of ceramic valves
JP4175495B2 (en) Cutting method of cylindrical ceramics
JPS6113958B2 (en)
JP4405797B2 (en) How to divide a workpiece with cuts
JPH0557376A (en) Metallic mold with damage detecting part
SU1395465A1 (en) Method of arresting the process of broaching
JP3737953B2 (en) Drilling device and drilling method
GB2110976A (en) Clamping a pipe internally
AU5399599A (en) Slide valve plate and method of making the same
JPH05133275A (en) Insulator sticking method
JP3838729B2 (en) Side pressure cutting device
JP2531432B2 (en) Gas supply nozzle of radical reaction type precision processing apparatus and method of manufacturing gas supply nozzle
JP2000263499A (en) Method for cutting brittle material
JPS60129641A (en) Tensile and compression test of anisotropic material
JPH0639470A (en) Method for forming tape thread of pipe cut piece
Abedian et al. Effects of free surface geometry on the damage initiation in unidirectional composites due to temperature cycling; an experimental investigation
JPH06254684A (en) Nozzle damage detector for plasma machine
JPH10329100A (en) Cutting method for brittle material
JPH08187601A (en) Machining method for peripheral surface of cylindrical workpiece and auxiliary device

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080108