JP2002105503A - Method for manufacturing magnetic material, and magnetic material powder with rust preventive layer thereon and bonded magnet using it - Google Patents

Method for manufacturing magnetic material, and magnetic material powder with rust preventive layer thereon and bonded magnet using it

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JP2002105503A
JP2002105503A JP2001222314A JP2001222314A JP2002105503A JP 2002105503 A JP2002105503 A JP 2002105503A JP 2001222314 A JP2001222314 A JP 2001222314A JP 2001222314 A JP2001222314 A JP 2001222314A JP 2002105503 A JP2002105503 A JP 2002105503A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing excellent corrosion resistance by uniformly depositing a trace metal as a rust preventive coating film on the surface of a magnetic material and also to provide a method for improving, as compared with those obtained by the conventional technology, the rust preventive function and magnetic properties of the magnetic material by using the interdiffusion and reaction between the component in the vicinity of the surface of the magnetic material and the supplied highly activated metal. SOLUTION: The magnetic material powder composed of a magnetic alloy or a magnetic intermetallic compound and having grain boundaries of magnetic material phase in powder particles and a supply source (hereinafter referred to as rust preventive metal supply source) of a metallic component (hereinafter referred to as rust preventive metallic component) having a rust preventive action upon the magnetic material powder are introduced in a mixed state into a hermetically sealed vessel. Temperature is raised while maintaining a nonoxidizing atmosphere inside the hermetically sealed vessel in the above state, and the rust preventive metallic component is supplied from the metal supply source to the particle surface of the magnetic material powder. By this procedure, the rust preventive layer composed essentially of the rust preventive metallic component can be deposited on the particle surface and also on the region along the grain boundaries in the powder particles, by which the magnetic material powder with the rust preventive layer can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁性材料の製造方
法、防錆層付き磁性材料粉末及びそれを用いたボンド磁
石に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a magnetic material, a magnetic material powder having a rust-proof layer, and a bonded magnet using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、Nd−Fe−B系磁石材料あるい
はSm−Fe−N系磁石材料など、Feを主成分とする
高性能希土類永久磁石材料(以下、Fe系希土類磁石材
料といい、それによって構成された永久磁石部材をFe
系希土類磁石という)が開発されており、特にNd−F
e−B系磁石材料は優れた磁気特性を有することから、
各種電気機器や自動車用のモータ、あるいはコンピュー
タ用のボイスコイルモータ等に広く使用されている。N
d−Fe−B系磁石材料は、その製法により、焼結磁
石、熱間加工磁石及びボンド磁石(樹脂結合磁石)の3
種類に大別される。このうちボンド磁石は、所定量の合
金成分を配合・溶解後、溶湯を単ロール法等により急冷
凝固させて得られる急冷薄帯を粉砕して原料磁石粉末を
作り、その粉末をエポキシ樹脂、あるいはナイロン樹脂
等の樹脂バインダとともに成形して所望の形状の磁石と
するものである。上記磁石粉末は、主要な硬磁性相であ
るNd Fe14B型正方晶金属間化合物相(以下2−
14−1相という)が単磁区粒子径以下となった微細結
晶粒組織を有し、粉末の状態で高い保磁力を示す。この
ようなボンド磁石は、焼結磁石及び圧延磁石と異なり成
形後の加工がほとんど不要で寸法精度が高く形状自由度
に優れ、しかも生産性が高いことから、特に小型モータ
用のリング磁石などに大量に使用されている。一方、S
m−Fe−N系磁石材料は、磁性の主役を担うSm−F
e−N系化合物相が高温で分解しやすいため、もっぱら
ボンド磁石としての用途が模索されている状況である。
2. Description of the Related Art In recent years, Nd-Fe-B based magnet materials or
Is mainly composed of Fe, such as Sm-Fe-N based magnet material
High performance rare earth permanent magnet materials (hereinafter referred to as Fe-based rare earth magnet materials)
The permanent magnet member composed of
Based rare earth magnet) has been developed, especially Nd-F
Since e-B magnet materials have excellent magnetic properties,
Motors for various electric devices and automobiles, or computers
Widely used for voice coil motors for motors. N
The d-Fe-B based magnet material is made of sintered magnetic material by its manufacturing method.
Stones, hot-worked magnets, and bonded magnets (resin-bonded magnets)
Broadly classified into types. Of these, the bonded magnets
After mixing and dissolving the gold components, the molten metal is quenched by the single roll method, etc.
The quenched ribbon obtained by coagulation is crushed to produce raw material magnet powder.
Make the powder and use epoxy resin or nylon resin
Molded with a resin binder such as
Is what you do. The above magnet powder is the main hard magnetic phase
Nd 2Fe14B-type tetragonal intermetallic compound phase (hereinafter referred to as 2-
14-1 phase) is smaller than a single magnetic domain particle size.
It has a grain structure and shows a high coercive force in a powder state. this
Unlike bonded magnets and rolled magnets, such bonded magnets
Almost no post-forming processing, high dimensional accuracy, and high degree of freedom
Motor and high productivity, especially small motors
It is used in large quantities for ring magnets and other applications. On the other hand, S
m-Fe-N-based magnet material is Sm-F which plays a leading role in magnetism.
Because the e-N-based compound phase is easily decomposed at high temperatures,
The application as a bonded magnet is being sought.

【0003】例えば、上記のようなFe系希土類磁石材
料はFeを主成分としている上、化学的に活性な希土類
元素を比較的多く含んでいることから、使用環境によっ
ては、具体的には湿度や温度の上がりやすい環境下では
腐食が問題となる場合がある。一般にFe系希土類磁石
材料は、安定した磁気特性を確保するために、磁性相を
形成する金属間化合物(例えば前記の2−14−1相で
ある)の化学量論比よりも過剰な希土類成分を含有する
ように組成調整されることが多く、その過剰な希土類成
分が希土類リッチ相となって磁性相とともに多相構造を
形成する形となる。このような場合、異相間の局部電池
反応も関係して腐食はより進行しやすい状況にあるとい
える。このような腐食が進行すれば、該Fe系希土類磁
石を励磁媒体とするモータ等の電子機器自体の性能劣化
につながるばかりでなく、腐食反応物の飛散により周辺
回路等にも悪影響を及ぼすことがある。
[0003] For example, the above-mentioned Fe-based rare earth magnet material contains Fe as a main component and contains a relatively large amount of a chemically active rare earth element. Corrosion may be a problem in an environment where the temperature is easily increased. Generally, in order to secure stable magnetic properties, an Fe-based rare-earth magnet material has a rare-earth component in excess of a stoichiometric ratio of an intermetallic compound (for example, the 2-14-1 phase) forming a magnetic phase. In many cases, the composition is adjusted so as to contain, and the excess rare earth component becomes a rare earth rich phase to form a multiphase structure together with the magnetic phase. In such a case, it can be said that corrosion is more likely to progress due to the local battery reaction between different phases. The progress of such corrosion not only leads to deterioration of the performance of electronic devices such as motors using the Fe-based rare earth magnet as an exciting medium, but also adversely affects peripheral circuits and the like due to scattering of corrosion reactants. is there.

【0004】また、上記のような腐食が発生しやすい状
況は原料粉末段階にても事情は変わらず、例えば粉末が
長時間大気(特に高湿度のもの)にさらされたりする
と、粉末の酸化劣化等により保磁力や最大エネルギー積
などの磁気特性低下は避けがたくなる。
[0004] The above-mentioned situation in which corrosion is likely to occur does not change even at the raw material powder stage. For example, if the powder is exposed to the atmosphere (particularly high humidity) for a long time, the powder is oxidized and degraded. Due to such factors, it is difficult to avoid magnetic properties such as coercive force and maximum energy product.

【0005】そこで、上記のような合金及び金属間化合
物系磁性材料に対する防錆処理においては、しかるべき
防錆処理が必要となる。従来、その具体的な方法とし
て、蒸着法及び電解メッキ法が用いられてきた。しか
し、前者の手法では磁性材料表面に対して被膜の形成が
蒸発源方向からのみ進行するため立体形状をもつ磁性材
料、特に粒径の小さい磁性材料粉末の表面を均一に隈な
く被覆することは非常に困難である。また、積層した被
覆金属が粉末間の凝集を引き起こすことが考えられ、多
量の磁性粉末に対して被覆処理を行なうことは難しい。
他方、後者では、被膜形成に使用する電解液により、磁
性材料、とりわけ原料粉末が重大な損傷を受けると共
に、電気伝導率の低い磁性粉末の表面酸化物層に均一な
被膜を形成させるためには前処理として導電率の高いC
u等で予備被覆する多段階処理が必要となること等の問
題があった。
[0005] Therefore, in the rust prevention treatment for the alloy and the intermetallic compound magnetic material as described above, an appropriate rust prevention treatment is required. Conventionally, a vapor deposition method and an electrolytic plating method have been used as specific methods. However, in the former method, the formation of the coating on the surface of the magnetic material proceeds only from the direction of the evaporation source. Therefore, it is not possible to uniformly coat the surface of a magnetic material having a three-dimensional shape, especially a magnetic material powder having a small particle size. Very difficult. In addition, it is considered that the laminated coated metal may cause agglomeration between the powders, and it is difficult to perform the coating process on a large amount of magnetic powder.
On the other hand, in the latter case, the magnetic material, particularly the raw material powder is seriously damaged by the electrolyte used for forming the film, and a uniform film is formed on the surface oxide layer of the magnetic powder having low electric conductivity. C with high conductivity as pretreatment
There is a problem that a multi-stage treatment for pre-coating with u or the like is required.

【0006】さらに、合金及び金属間化合物磁性粉末、
特に希土類−Fe系磁性材料では、雰囲気中に存在する
酸素源と希土類金属成分との反応性が高く、これに伴う
磁気特性の低下が重要な問題となることから、被覆技術
としては磁性材料粉末表面を完全に被覆できることが必
要となる。このためには、前者の手法では完全な皮膜を
形成するには多量の金属(通常非磁性の金属を用いる)
を析出させければならず、この非磁性金属により希釈効
果が生じ磁化の低下を招く。他方、後者では、均一な被
膜は形成できる反面メッキ時に生じた磁性材料表面の酸
化被膜中の酸素がボンド磁石作製時の熱処理工程で磁性
粉末内部に拡散・浸透し、これにより酸化が進行し更に
磁気特性は低下する。
Further, alloy and intermetallic compound magnetic powders,
In particular, in the case of rare earth-Fe based magnetic materials, the reactivity between the oxygen source and the rare earth metal component present in the atmosphere is high, and the accompanying reduction in magnetic properties becomes an important problem. It is necessary that the surface can be completely covered. For this purpose, the former method requires a large amount of metal (usually nonmagnetic metal) to form a complete film.
Must be deposited, and this non-magnetic metal causes a dilution effect to cause a decrease in magnetization. On the other hand, in the latter, a uniform film can be formed, but the oxygen in the oxide film on the surface of the magnetic material generated at the time of plating diffuses and penetrates into the inside of the magnetic powder in the heat treatment step at the time of manufacturing the bonded magnet, whereby oxidation proceeds. Magnetic properties are degraded.

【0007】加えて、合金及び金属間化合物磁性粉末が
Sm−Fe−N系である場合、被膜として形成される金
属が熱処理により磁性粉末表面を改質し、磁気特性、特
に保磁力Hcjを向上させることが知られている。この
熱処理では、被覆金属と磁性材料の構成成分との相互拡
散及び反応を効率よく進行させるために高温(〜600
℃)で加熱する(例えば、特開平05−234729に
開示されている)か、もしくは、低温(380〜400
℃)で長時間(30時間以上)する必要がある(K. Mak
ita, S. Hirosawa, J. Alloys Compd., 260 (1997) 236
-241参照)。
[0007] In addition, when the alloy and the intermetallic compound magnetic powder are of the Sm-Fe-N type, the metal formed as a film modifies the surface of the magnetic powder by heat treatment to improve the magnetic properties, especially the coercive force Hcj. It is known to cause. In this heat treatment, a high temperature (up to 600 ° C.) is used in order to efficiently promote the interdiffusion and reaction between the coating metal and the components of the magnetic material.
C.) (for example, disclosed in JP-A-05-234729) or at a low temperature (380 to 400 ° C.).
℃) for a long time (30 hours or more) (K. Mak
ita, S. Hirosawa, J. Alloys Compd., 260 (1997) 236
-241).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】合金及び金属間化合物
系磁性材料に対して行われている現行の蒸着法及び電解
メッキ法による表面被覆では、微細に粉砕され、化学的
に不安定な当該磁性材料微粉末に対して、前者では金属
が蒸着源からの方向に沿ってのみ析出し成膜が起こり被
膜に斑が生じる。また、ドライプロセスであることから
粉末間で凝集が起こりやすいため、防錆能力の劣る表面
又は被膜が形成されていない表面が部分的に残存し、そ
の結果この領域から酸化が進行し磁気特性の劣化を依然
として招くことになる。さらに、酸素が磁性材料内部へ
拡散する経路となり易いクラック、粒界などの内表面に
対しても保護膜を形成することは蒸着法では困難であっ
た。
In the case of the surface coating by the current vapor deposition method and electrolytic plating method applied to alloys and intermetallic compound magnetic materials, the magnetic material is finely pulverized and chemically unstable. In the former, the metal is deposited only along the direction from the evaporation source with respect to the material fine powder, and a film is formed to cause unevenness in the film. In addition, since the powder is a dry process, agglomeration is likely to occur between the powders, so that a surface having poor rust-preventing ability or a surface on which no film is formed partially remains, and as a result, oxidation proceeds from this region to improve the magnetic properties. It will still lead to degradation. Further, it has been difficult by vapor deposition to form a protective film on inner surfaces such as cracks and grain boundaries where oxygen is likely to be a path for diffusing into the magnetic material.

【0009】また、電解メッキ法では使用する電解液が
活性な磁性材料自体に酸化等の損傷を与えるため、防錆
処理に伴い磁気特性が大幅に低下し、更に磁性粉末表面
に形成される導電率の低い酸化物層が電界メッキを阻害
し、均一な被膜を作製するためには前処理が必要である
という欠点があった。
Further, in the electrolytic plating method, the electrolytic solution used damages the active magnetic material itself, such as oxidation, so that the magnetic properties are greatly reduced with the rust prevention treatment, and the conductive material formed on the surface of the magnetic powder is further reduced. An oxide layer having a low rate hinders electroplating, and requires a pretreatment to form a uniform coating.

【0010】従って、合金及び金属間化合物系磁性材料
に関して、保存並びに使用する雰囲気に依存せず、長期
間高い磁気特性を維持できる優れた耐食性を有する磁性
材料を作製するためには、磁性材料それ自身に損傷を与
えることなく表面への均一な防錆被膜の新しい形成技術
の確立が必要となる。
Therefore, in order to produce a magnetic material having excellent corrosion resistance that can maintain high magnetic properties for a long period of time regardless of the atmosphere in which the alloy and the intermetallic compound magnetic material are stored and used, it is necessary to use the magnetic material itself. It is necessary to establish a new technique for forming a uniform anti-corrosion coating on the surface without damaging itself.

【0011】従来の蒸着法による成膜技術では、合金及
び金属間化合物系磁性材料の個々の表面を均一に被覆し
にくいことから、必要以上に多量の金属で被覆すること
で所望の耐食性を達成してきた。そして、これに伴い多
量に被覆した金属(多くの場合非磁性のものが使用され
る)により希釈効果が生じ磁性材料の磁気特性に低下を
招くという欠点を有している。従って、このような磁気
特性の低下を避けるため、磁性材料の表面上に形成させ
る防錆被膜をより均一なものとし、可能な限り被膜金属
として用いる金属の量を少なくすることが望ましい。
According to the conventional film forming technique by the vapor deposition method, since it is difficult to uniformly coat the individual surfaces of the alloy and the intermetallic compound magnetic material, the desired corrosion resistance is achieved by coating with an unnecessarily large amount of metal. I've been. Along with this, there is a disadvantage that a metal coated in a large amount (in many cases, a non-magnetic material is used) causes a dilution effect and causes deterioration in magnetic properties of the magnetic material. Therefore, in order to avoid such a decrease in magnetic properties, it is desirable to make the rust preventive coating formed on the surface of the magnetic material more uniform and to reduce the amount of metal used as the coating metal as much as possible.

【0012】一方、合金及び金属間化合物系磁性材料の
表面に金属を被覆した後、不活性ガス雰囲気下又は真空
中で加熱によりその金属を磁性材料の表面近傍で構成成
分との相互拡散を促すことで、金属被膜と磁性材料表面
との密着性を高め防食性を向上させると共に、磁性材料
の更なる耐環境性並びに磁気特性を向上させることが可
能な場合がある。しかしながら、この加熱処理は被膜と
して用いた金属の融点以上の高温(〜600℃)で行わ
れてきたため、特に磁性材料の微粉末では酸化の進行に
より却って本来の磁気特性の低下が避けられなかった。
これは加熱処理により被膜を形成する工程で生じる酸化
物層が磁性粉末の表面近傍に存在する磁性相を改質する
ことによって生じると考えられる。従って、このような
熱処理後において磁性材料本来の高い磁気特性を維持あ
るいは向上させるためには、金属被覆時に磁性材料に対
して酸化などの劣化を起こさせないようにすることと、
加熱処理温度が低温でも効果的に耐食性並びに磁気特性
の向上に作用せしめる手法の確立が必要である。
On the other hand, after coating the metal on the surface of the alloy and the intermetallic compound-based magnetic material, the metal is heated in an inert gas atmosphere or in a vacuum to promote mutual diffusion of the metal with the constituents near the surface of the magnetic material. This may improve the adhesion between the metal coating and the surface of the magnetic material, improve the corrosion resistance, and further improve the environmental resistance and magnetic properties of the magnetic material. However, since this heat treatment has been performed at a high temperature (up to 600 ° C.) which is higher than the melting point of the metal used as the coating film, especially in the case of fine powder of a magnetic material, the deterioration of the original magnetic properties cannot be avoided due to the progress of oxidation. .
This is considered to be caused by the fact that the oxide layer generated in the step of forming the film by the heat treatment modifies the magnetic phase existing near the surface of the magnetic powder. Therefore, in order to maintain or improve the original high magnetic properties of the magnetic material after such heat treatment, it is necessary to prevent the magnetic material from being deteriorated by oxidation or the like at the time of metal coating.
It is necessary to establish a method for effectively improving the corrosion resistance and magnetic properties even at a low heat treatment temperature.

【0013】本発明の課題は、各種モータ、アクチュエ
ータ等の磁気回路に用いられている永久磁石の材料であ
り、希土類系に代表される合金及び金属間化合物系磁性
材料に関し、磁気特性の永続的低下の主たる原因となる
保存並びに使用雰囲気中に存在する酸素、水等から被る
酸化による磁気特性の低下を、密着性が強く均一な防錆
被膜を効率よく磁性粉末表面に形成させることで効果的
に抑制し、これにより当該磁性材料の磁気特性の安定性
を確保できる磁性材料の製造方法と、それにより得られ
る防錆層付き磁性材料粉末、さらにはそれを用いたボン
ド磁石を提供することにある。より詳しくは、合金及び
金属間化合物系磁性材料表面に反応活性の高い金属を被
覆金属として供給することで、これと磁性材料の構成成
分との反応親和性を利用し粉末表面に金属を隈なく析出
させ、均一な防錆被膜の形成を促すことで耐酸化性を付
与し、さらに供給された金属を磁性材料の表面近傍の構
成成分と相互拡散及び反応させることで密着性の強い防
錆被膜を形成させると同時に、磁性材料の耐環境性と磁
気特性を更に向上せしめる技術、及び得られた表面被覆
磁性粉末を原料とするボンド磁石の安定性、耐久性の向
上に寄与する技術を提供するものである。
An object of the present invention is to provide a permanent magnet material used for a magnetic circuit of various motors and actuators, and to provide a permanent magnetic material having an alloy and an intermetallic compound represented by a rare earth material. It is effective to reduce magnetic properties due to oxidation caused by oxygen, water, etc. present in the storage atmosphere, which is the main cause of the decline, and to efficiently form a uniform rust preventive coating with strong adhesion on the magnetic powder surface. To provide a method for producing a magnetic material capable of ensuring the stability of the magnetic properties of the magnetic material, and a magnetic material powder with a rust-proof layer obtained thereby, and a bonded magnet using the same. is there. More specifically, by supplying a highly reactive metal as a coating metal to the surface of the alloy and the intermetallic compound-based magnetic material, the metal can be uniformly applied to the powder surface by utilizing the reaction affinity between the metal and the constituents of the magnetic material. Precipitates and imparts oxidation resistance by promoting the formation of a uniform rust-preventive coating, and further provides a strong adhesion rust-preventive coating by causing the supplied metal to interdiffuse and react with constituent components near the surface of the magnetic material. At the same time as improving the environmental resistance and magnetic properties of the magnetic material, and providing a technique that contributes to the stability and durability of the bonded magnet made from the obtained surface-coated magnetic powder. Things.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記の課
題を解決するために、本発明の磁性材料の製造方法は、
磁性合金又は磁性金属間化合物からなり、粉末粒子内に
磁性材料相の結晶粒界を有する磁性材料粉末と、該磁性
材料粉末に対する防錆作用を有した金属成分(以下、防
錆金属成分という)の供給源(以下、防錆金属供給源と
いう)とを混合状態で密封容器内に入れ、その状態で密
封容器内を非酸化性雰囲気に維持しつつ昇温して、金属
供給源から防錆金属成分を磁性材料粉末の粒子表面に供
給することにより、粒子表面に防錆金属成分を主体とす
る防錆層が形成するとともに、粉末粒子内部の結晶粒界
に沿う領域にも、防錆金属成分を主体とする防錆層を形
成して、防錆層付き磁性材料粉末を得ることを特徴とす
る。なお、本明細書において、「磁性材料粉末に対する
防錆作用を有した金属成分」とは、金属状態にて磁性材
料粉末粒子を被覆したとき、その磁性材料粉末粒子を酸
化腐食から保護する作用を有するものであれば、どのよ
うなものを用いてもよい。例えば、自身の表面に不働態
被膜を形成して耐酸化性を示す金属、及び犠牲腐食効果
により結果的に磁性材料粉末粒子を構成する合金又は金
属間化合物を保護する効果を有した金属、さらには、前
記合金又は金属間化合物よりも腐食電位が高い金属(こ
の場合、合金又は金属間化合物の表面ができるだけ緻密
に覆われていることが望ましい)などを例示できる。な
お、本発明において「主成分」あるいは「主体とする」
とは、対象物質中にて着目している成分が最も重量含有
率の高い成分であることを意味する。
Means for Solving the Problems and Action / Effect To solve the above-mentioned problems, a method for producing a magnetic material according to the present invention comprises:
A magnetic material powder comprising a magnetic alloy or a magnetic intermetallic compound and having crystal grain boundaries of a magnetic material phase in powder particles, and a metal component having a rust-preventive action on the magnetic material powder (hereinafter referred to as a rust-preventive metal component) And a supply source (hereinafter referred to as a rust-preventive metal supply source) in a mixed state in a sealed container, and in this state, the temperature is raised while maintaining the inside of the sealed container in a non-oxidizing atmosphere, and the rust-prevention from the metal supply source By supplying the metal component to the particle surface of the magnetic material powder, a rust-preventive layer mainly composed of the rust-preventive metal component is formed on the particle surface, and the rust-preventive metal is also formed in the region along the crystal grain boundary inside the powder particle. It is characterized in that a rust preventive layer mainly composed of components is formed to obtain a magnetic material powder having a rust preventive layer. In the present specification, “a metal component having a rust-preventing action on a magnetic material powder” refers to an action of protecting the magnetic material powder particles from oxidative corrosion when the magnetic material powder particles are coated in a metallic state. As long as it has, any thing may be used. For example, a metal having a passivation film formed on its surface to exhibit oxidation resistance, and a metal having an effect of protecting an alloy or an intermetallic compound constituting a magnetic material powder particle as a result of a sacrificial corrosion effect, Can be exemplified by a metal having a higher corrosion potential than the alloy or the intermetallic compound (in this case, it is desirable that the surface of the alloy or the intermetallic compound is covered as densely as possible). In the present invention, “main component” or “main component”
Means that the component of interest in the target substance is the component with the highest weight content.

【0015】また、本発明の防錆層付き磁性材料粉末
は、磁性合金又は磁性金属間化合物からなり、粒子内に
結晶粒界を有する磁性材料粉末の、粒子表層部と粒子内
部における前記結晶粒界及に沿う領域とに、前記防錆金
属成分を主体とする防錆層が形成されたことを特徴とす
る。
The magnetic material powder having a rust-preventive layer according to the present invention is a magnetic material powder comprising a magnetic alloy or a magnetic intermetallic compound and having a crystal grain boundary in a particle. A rust-preventive layer mainly composed of the rust-preventive metal component is formed in a region along the border.

【0016】さらに、本発明のボンド磁石は、上記防錆
層付き磁性材料粉末を樹脂結合したことを特徴とする。
Further, the bonded magnet of the present invention is characterized in that the magnetic material powder having the rust-preventive layer is resin-bonded.

【0017】合金及び金属間化合物系磁性材料への防錆
処理工程において、磁性材料表面に斑なく均一な被膜を
形成させるには、立体形状を有する磁性材料の表面に対
して3次元的に均等に防錆金属供給源を供給し、さらに
被覆金属量を必要な限り少量で防錆被膜を形成すること
が必要となる。このように磁性粉末表面を均一に被覆さ
せることは、被膜金属を気体状態とし積み重なった磁性
粉末の隙間に進入させ、磁性材料との反応親和性により
表面に吸着させ析出させる、あるいは磁性粉末を、防錆
金属供給源を含有する分散媒中に分散させ、この分散状
態で供給源から活性な金属を生成し磁性材料との反応親
和性により粉末表面に析出させることにより可能とな
る。そのため、本発明では、当該磁性材料表面に均一に
防錆金属供給源を供給するために被覆に用いる金属源と
磁性材料粉末とを混合し、密封容器中で加熱すること
で、発生する活性の高い金属成分(例えば金属蒸気ある
いは有機金属化合物)と磁性材料の構成成分との反応親
和性を利用して表面に析出させることで、磁性材料表面
を隈なく均一に被覆することに加え、磁性材料表面の被
覆金属量を低減することができ、これにより希釈効果が
抑制され高磁化の磁性材料を作製することが可能とな
る。さらに、酸素源を含まない条件下で被覆を行なうた
め、磁性材料の酸化による劣化を抑制することができ、
優れた磁気特性と耐環境性を両立させた合金及び金属間
化合物系の磁性粉末を作製することができる。
In the rust-proofing process for the alloy and the intermetallic compound-based magnetic material, in order to form a uniform film on the surface of the magnetic material without unevenness, it is necessary to uniformly three-dimensionally coat the surface of the magnetic material having a three-dimensional shape. It is necessary to supply a rust-preventive metal supply source and to form a rust-preventive coating with a small amount of metal as required. In order to uniformly coat the magnetic powder surface in this way, the coating metal is made into a gaseous state, penetrates into the gaps of the stacked magnetic powders, and is adsorbed and precipitated on the surface by the reaction affinity with the magnetic material, or the magnetic powder is This can be achieved by dispersing in a dispersion medium containing a rust-preventive metal supply source, generating an active metal from the supply source in this dispersed state, and precipitating the active metal on the powder surface by reaction affinity with the magnetic material. Therefore, in the present invention, a metal source used for coating and a magnetic material powder are mixed to uniformly supply a rust-preventive metal supply source to the surface of the magnetic material, and the mixture is heated in a sealed container, so that the generated activity is reduced. By precipitating on the surface by utilizing the reaction affinity between the high metal component (for example, metal vapor or organometallic compound) and the constituent components of the magnetic material, the magnetic material can be uniformly coated, The amount of metal coated on the surface can be reduced, whereby the dilution effect is suppressed and a magnetic material with high magnetization can be manufactured. Furthermore, since the coating is performed under conditions that do not include an oxygen source, deterioration due to oxidation of the magnetic material can be suppressed,
An alloy and an intermetallic compound magnetic powder having both excellent magnetic properties and environmental resistance can be produced.

【0018】さらに、上記製法により実現可能な本発明
の防錆層付き磁性材料粉末は、粉末粒子内部の結晶粒界
に沿う領域にも、防錆金属成分を主体とする防錆層(以
下、粒界防錆層という)が形成されるから、酸化劣化の
成分拡散経路となる結晶粒界領域が強固に保護され、磁
性材料の酸化による特性劣化を図る上で一層有利とな
る。特に、後述するNd−Fe−B系あるいはSm−F
e−N系金属間化合物を用いたニュークリエーション型
の硬磁性材料の場合は、上記のような粒界防錆層の形成
が、硬磁性材料の保磁力向上に有効に寄与する。
Further, the magnetic material powder having a rust-preventive layer of the present invention, which can be realized by the above-mentioned production method, has a rust-preventive layer mainly composed of a rust-preventive metal component (hereinafter referred to as a rust-preventive layer) also in a region along a crystal grain boundary inside a powder particle. (Referred to as a grain boundary rust-preventing layer), the crystal grain boundary region serving as a component diffusion path for oxidative deterioration is firmly protected, which is further advantageous in reducing the properties of the magnetic material due to oxidation. In particular, an Nd-Fe-B-based or Sm-F
In the case of a nucleation type hard magnetic material using an eN-based intermetallic compound, the formation of the grain boundary rust preventive layer as described above effectively contributes to the improvement of the coercive force of the hard magnetic material.

【0019】この場合、粒子表面から一定深さまでの粒
子表層部に防錆金属成分を浸透させることにより、酸化
進行が進みやすい粒子表層部に存在する結晶粒界に沿っ
て防錆層を形成することが、高い磁気特性を維持しつつ
防錆性の向上を図る観点において望ましい。このように
して得られる防錆層付き磁性材料粉末は、結晶粒界に沿
って形成される防錆層の量が、粒子表層部において粒子
内部よりも多くされてなるものとなる。結晶粒界に沿っ
て形成される防錆層の、粒子表面からの浸透深さは、例
えば1μm〜10μmの範囲に調整されていることが望
ましい。浸透深さが1μm以下では、防錆性の付与効果
が不十分となる場合があり、10μmを超えると磁気特
性等に及ぼす悪影響が避けがたくなる。防錆金属成分の
浸透は、例えば結晶粒界に沿った成分拡散や、あるいは
結晶粒界に沿って形成されたクラック内空間への金属蒸
気の供給・析出によりなされる。
In this case, the rust-preventive metal component is made to penetrate into the particle surface portion from the particle surface to a certain depth to form a rust-preventive layer along the crystal grain boundaries existing in the particle surface portion where oxidation progresses easily. This is desirable from the viewpoint of improving rust prevention while maintaining high magnetic properties. In the magnetic material powder with a rust-preventive layer obtained in this way, the amount of the rust-preventive layer formed along the crystal grain boundaries is larger at the particle surface layer than inside the particles. It is desirable that the penetration depth of the rust preventive layer formed along the crystal grain boundaries from the particle surface be adjusted, for example, to a range of 1 μm to 10 μm. When the penetration depth is 1 μm or less, the effect of imparting rust resistance may be insufficient, and when it exceeds 10 μm, it is difficult to avoid adverse effects on magnetic properties and the like. The rust-preventive metal component is infiltrated by, for example, diffusion of the component along the crystal grain boundary or supply / precipitation of the metal vapor into the space inside the crack formed along the crystal grain boundary.

【0020】磁性材料粉末粒子の表層部においては、厚
さが5nm〜50μmとなるように防錆層が形成されて
なることが望ましい。粒子の表層部の防錆層厚さが5n
m以下では防錆性が不十分となり、50μmを超えると
硬磁性相比率の減少により残留磁束密度を十分に確保で
きなくなる。また、結晶粒界に沿って形成される防錆層
の厚さは、同様の理由により1〜100nmであること
が望ましい。
It is desirable that a rust preventive layer is formed on the surface layer of the magnetic material powder particles so that the thickness is 5 nm to 50 μm. The rust prevention layer thickness of the surface layer of the particles is 5n
If it is less than m, the rust-preventing property becomes insufficient, and if it exceeds 50 μm, the ratio of the hard magnetic phase decreases, so that the residual magnetic flux density cannot be sufficiently secured. Further, the thickness of the rust preventive layer formed along the crystal grain boundaries is desirably 1 to 100 nm for the same reason.

【0021】合金及び金属間化合物系磁性材料の表面を
均一に被覆する際、磁性材料を加熱する温度を制御する
ことで、磁性材料表面では被膜を形成すると同時に、磁
性材料の表面近傍で供給される金属と構成成分との相互
拡散及び反応がスムーズに起こる。この相互拡散及び反
応は、供給される金属が原子状、分子状又はクラスター
状態であるため活性が高く、これにより従来の手法より
低温の熱処理でも効果的に耐環境性並びに磁気特性の改
善がなされる。
When the surface of the alloy and the intermetallic compound magnetic material is uniformly coated, by controlling the temperature at which the magnetic material is heated, a film is formed on the surface of the magnetic material, and at the same time, supplied near the surface of the magnetic material. The interdiffusion and reaction between the metal and the constituent components occur smoothly. This interdiffusion and reaction are highly active because the supplied metal is in an atomic, molecular, or cluster state, thereby effectively improving environmental resistance and magnetic properties even at a lower temperature heat treatment than conventional methods. You.

【0022】合金及び金属間化合物系磁性材料は、樹脂
と混合し成形・磁石化されることでボンド磁石へと応用
される。このボンド磁石、特に高性能磁石として重要視
されている圧縮成形型のボンド磁石に関しては、ボンド
磁石の成形過程も考慮すると原料となる磁性材料粉末に
対して耐酸化処理を施すことにより効果的に酸化劣化が
抑制されるため、本発明において磁性材料粉末表面上に
均一な防錆被膜を形成させることで磁石成形工程並びに
磁石の使用雰囲気から被る酸化劣化を抑制することが可
能となり、磁石の高性能化、並びに磁石性能の耐久性を
改善がなされる。
The alloy and the intermetallic compound-based magnetic material are applied to a bonded magnet by being mixed with a resin, molded and magnetized. For bonded magnets, especially compression-molded bonded magnets, which are regarded as important as high-performance magnets, considering the molding process of bonded magnets, it is effective to apply oxidation-resistant treatment to the magnetic material powder as the raw material. Since the oxidation deterioration is suppressed, it is possible to suppress the oxidation deterioration caused from the magnet molding step and the atmosphere in which the magnet is used by forming a uniform anti-rust coating on the surface of the magnetic material powder in the present invention. The performance is improved and the durability of the magnet performance is improved.

【0023】具体的には、合金及び金属間化合物系磁性
材料に対する防錆処理として、磁性材料と防錆被膜の防
錆金属供給源となる物質とを混合状態で耐熱密封容器内
に封入後、酸素又は水等の酸素源を数十ppm以上含ま
ない雰囲気下で均一に加熱することにより原子状又はク
ラスター状の金属を生成させ、これを目的とする磁性材
料粉末表面に供給し、磁性材料又はこれを構成する成分
と当該金属との反応親和性を利用して磁性材料表面に当
該金属を均一に析出させ、かつ、引き続く粉末内部の粒
界界面を経由して浸透させることで、金属、合金あるい
は金属間化合物から構成される防錆被膜を形成せしめる
こと(以下、収着法とも称する)ができる。これによ
り、高い磁気特性並びに耐環境性を有する合金及び金属
間化合物系磁性材料が実現可能である。
Specifically, as a rust preventive treatment for the alloy and the intermetallic compound magnetic material, the magnetic material and a substance serving as a rust preventive metal supply source for the rust preventive film are mixed and sealed in a heat-resistant sealed container. Atomic or cluster-like metal is generated by uniformly heating under an atmosphere not containing tens of ppm or more of an oxygen source such as oxygen or water, and this is supplied to the target magnetic material powder surface, and the magnetic material or Utilizing the reaction affinity between the constituent components of the metal and the metal, the metal is uniformly deposited on the surface of the magnetic material, and subsequently penetrated through the grain boundary interface inside the powder, so that the metal, alloy Alternatively, a rust preventive coating composed of an intermetallic compound can be formed (hereinafter, also referred to as a sorption method). Thereby, an alloy and an intermetallic compound magnetic material having high magnetic properties and environmental resistance can be realized.

【0024】防錆金属成分は金属蒸気の形で磁性材料粉
末の粒子表面に供給することができる。金属蒸気の粉末
粒子表面への析出、及び粒界を介した拡散により前記し
た防錆層を均一に形成することができる。この場合、具
体的には、防錆金属供給源を、防錆金属成分を含有した
金属インゴット又は粉末とし、密封容器内を減圧並びに
昇温して、金属インゴット又は粉末からの防錆金属成分
の気化を促進するようにすることが、均一な防錆層を簡
単に形成できるので好適である。金属蒸気を効率よく発
生させるためには、密封容器内を、防錆金属のインゴッ
ト又は粉末の融点以上、望ましくは沸点以上に加熱する
ことが望ましい。
The rust-preventive metal component can be supplied to the particle surface of the magnetic material powder in the form of metal vapor. The rust-preventive layer described above can be formed uniformly by precipitation of the metal vapor on the surface of the powder particles and diffusion through the grain boundaries. In this case, specifically, the rust-preventive metal source is a metal ingot or powder containing a rust-preventive metal component, and the inside of the sealed container is depressurized and heated to reduce the rust-preventive metal component from the metal ingot or powder. It is preferable to promote the vaporization because a uniform rust prevention layer can be easily formed. In order to generate metal vapor efficiently, it is desirable to heat the inside of the sealed container to a temperature higher than the melting point of the ingot or powder of the rust-proof metal, preferably higher than the boiling point.

【0025】防錆金属成分としては、例えばAl、G
a、In、Si、Ge、Sn、Ti及びZnを使用する
ことができる。これらの防錆金属成分は、特に金属状態
のFeを主成分とする磁性材料粉末に対して防錆効果の
点で優れており、特にはZnは防錆効果が大きい上、防
錆層の形成温度を比較的低温化できるので、コスト上の
メリットも大きい。Znを使用する場合は、密封容器内
の温度を300〜500℃に昇温することが望ましい。
温度が300℃未満ではZn蒸気の発生が不十分となる
場合があり、500℃を超えると、温度上昇による磁性
材料粉末へのZnの収着促進効果の向上が、それ以上は
見込めなくなるのでエネルギー的な無駄が大きくなる。
また、Sm−Fe−N系磁性材料のように、温度が高く
なりすぎると、磁性相バルク中へのZn金属の拡散等に
より残留磁化等の磁気特性の低下を招く場合もある。こ
の場合、防錆層をなす防錆金属成分は、当然にAl、I
n及びZnの1種又は2種以上を主体とするものとな
る。
As the rust-preventive metal component, for example, Al, G
a, In, Si, Ge, Sn, Ti and Zn can be used. These rust-preventive metal components are particularly excellent in terms of rust-preventive effect on magnetic material powder mainly composed of metallic Fe, and Zn has a large rust-preventive effect and forms a rust-preventive layer. Since the temperature can be relatively low, there is a great cost advantage. When using Zn, it is desirable to raise the temperature in the sealed container to 300 to 500 ° C.
If the temperature is lower than 300 ° C., the generation of Zn vapor may be insufficient. If the temperature is higher than 500 ° C., the effect of accelerating the sorption of Zn to the magnetic material powder due to the temperature rise cannot be expected any more. Waste increases.
If the temperature is too high, as in the case of the Sm-Fe-N-based magnetic material, the diffusion of Zn metal into the bulk of the magnetic phase may cause a decrease in magnetic properties such as residual magnetization. In this case, the rust-preventive metal component forming the rust-preventive layer is naturally Al, I
One or two or more of n and Zn are mainly used.

【0026】例えば、防錆金属供給源を金属インゴット
又は金属粉末とし、これと目的とする磁性粉末とを耐熱
密封容器内に混合状態で封入した後、減圧下で当該金属
が気化するのに十分な温度で均一に加熱することで原子
状又はクラスター状の金属蒸気として磁性粉末表面に供
給することができる。そして、磁性材料と当該金属との
反応親和性を利用して磁性材料粉末表面並びに粒界界面
に、均一な金属、合金又は金属間化合物から構成される
防錆被膜を形成せしめることが可能となる。この場合、
防錆被膜源となる金属として低沸点金属であるZnを用
い、これと目的とする磁性粉末との混合物をガラス又は
金属製容器内に真空封入後、300℃から500℃で数
分から数時間、均一に加熱処理することで、原子状又は
クラスター状のZn金属蒸気を磁性粉末表面並びに粒界
界面に供給することができる。その結果、Zn又はZn
と磁性粉末との合金もしくは金属間化合物から構成され
る厚さ5nmから50μmまでの被膜を形成せしめるこ
とが可能となる。
For example, a rust-preventive metal supply source is a metal ingot or a metal powder, and this and a desired magnetic powder are sealed in a heat-resistant sealed container in a mixed state, and then the metal is sufficiently vaporized under reduced pressure. By heating uniformly at an appropriate temperature, it can be supplied to the magnetic powder surface as atomic or cluster-like metal vapor. Then, it is possible to form a uniform rust-preventive coating composed of a metal, an alloy or an intermetallic compound on the surface of the magnetic material powder and at the grain boundary interface by utilizing the reaction affinity between the magnetic material and the metal. . in this case,
After using Zn which is a low boiling point metal as a metal serving as a rust prevention coating source, vacuum-encapsulating a mixture of this and a target magnetic powder in a glass or metal container, and then at 300 ° C. to 500 ° C. for several minutes to several hours, By performing the heat treatment uniformly, atomic or cluster Zn metal vapor can be supplied to the magnetic powder surface and the grain boundary interface. As a result, Zn or Zn
It is possible to form a film having a thickness of 5 nm to 50 μm composed of an alloy or an intermetallic compound of iron and magnetic powder.

【0027】他方、防錆金属供給源として、防錆金属成
分の有機金属化合物を使用することも可能である。この
方法によると、気相あるいは液相(あるいは両者が均一
に混合・共存した臨界相)からの有機金属化合物の分解
により、磁性粉末に均一な防錆層を形成することが可能
となる。具体的には、密封容器内において、有機金属化
合物を含有した有機溶媒中に磁性材料粉末を分散させた
状態で昇温することにより有機金属化合物を分解・還元
し、生成する防錆金属を磁性材料粉末の粒子表面に供給
することで、前記防錆層の形成を行なうことができる。
On the other hand, it is also possible to use an organometallic compound as a rustproof metal component as a rustproof metal supply source. According to this method, a uniform rust preventive layer can be formed on the magnetic powder by decomposing the organometallic compound from the gas phase or the liquid phase (or a critical phase in which both are uniformly mixed and coexistent). Specifically, in a sealed container, the magnetic material powder is dispersed in an organic solvent containing the organometallic compound, and the temperature is raised while the organometallic compound is decomposed / reduced. The rust preventive layer can be formed by supplying the material powder to the surface of the particles.

【0028】有機金属化合物に含有される防錆金属成分
としては、Al、Ga、In、Si、Ge、Sn、Ti
及びZnの1種又は2種以上を主体とするものを使用で
きる。いずれも比較的低温で分解可能であり、防錆性に
優れた防錆層を均一に形成できる利点がある。この場
合、有機金属化合物は、Al、Ga、In、Si、G
e、Sn、Ti及びZnの1種又は2種以上からなる防
錆金属原子Mに有機鎖CmHnが結合したものであり、
その有機鎖CmHnに含まれる炭素原子数mが1以上
(望ましくは3以上)のものを使用することが、分解温
度の低温化を効果的に図ることができ、防錆層の製造コ
スト低減に寄与する。この場合、防錆層をなす防錆金属
成分は、当然にAl、Ga、In、Si、Ge、Sn、
Ti及びZnの1種又は2種以上を主体とするものとな
る。
The rust-preventive metal components contained in the organometallic compound include Al, Ga, In, Si, Ge, Sn, and Ti.
And those mainly composed of one or more of Zn. Each of them can be decomposed at a relatively low temperature, and has an advantage that a rustproof layer having excellent rustproofness can be uniformly formed. In this case, the organometallic compound is Al, Ga, In, Si, G
e, Sn, Ti and Zn, in which an organic chain CmHn is bonded to a rust-preventive metal atom M composed of one or more kinds,
The use of the organic chain CmHn in which the number m of carbon atoms contained in the organic chain CmHn is 1 or more (preferably 3 or more) can effectively lower the decomposition temperature and reduce the production cost of the rust preventive layer. Contribute. In this case, the rust-preventive metal component forming the rust-preventive layer is naturally Al, Ga, In, Si, Ge, Sn,
One or more of Ti and Zn are mainly used.

【0029】例えば、磁性粉末表面に被膜を形成する防
錆金属供給源として低沸点の有機金属化合物(MRx;
M=金属元素、R=CmHn)を用い、ステンレス製オ
ートクレーブ等の密封容器中で当該有機金属化合物を含
有する有機溶媒中に磁性粉末を分散させ熱処理を施すこ
とができる。そして、有機金属化合物を分解・還元し、
生成する金属を磁性粉末表面並びに粒界界面に収着させ
ることにより、金属、合金又は金属間化合物より構成さ
れる防錆層を形成することができる。その結果、高い磁
気特性並びに耐環境性を有する合金及び金属間化合物系
磁性材料を作製することができる。
For example, a low-boiling organometallic compound (MRx;
(M = metal element, R = CmHn), a magnetic powder can be dispersed in an organic solvent containing the organometallic compound in a sealed container such as a stainless steel autoclave and heat-treated. And decompose and reduce the organometallic compound,
By sorbing the generated metal on the surface of the magnetic powder and the grain boundary interface, a rust-preventive layer composed of a metal, an alloy or an intermetallic compound can be formed. As a result, an alloy and an intermetallic compound-based magnetic material having high magnetic properties and environmental resistance can be manufactured.

【0030】磁性粉末表面を被覆する金属の供給源を有
機金属化合物とする場合、そのなかでも比較的分解温度
の低いM=Al、Ga、In、Si、Ge、Sn、Ti
及びZnを含有する有機金属化合物を用いれば、150
℃から500℃で数分から数時間、加熱することで磁性
粉末表面並びに粒界界面に金属、合金又は金属間化合物
より構成される防錆被膜を形成することができる。特
に、磁性粉末表面を被覆する金属の前駆体としてAl、
Ga、In、Si、Ge、Sn、Ti及びZnを含有し
ていることに加え、有機鎖を有し(m≧1;望ましくは
m≧3)熱分解がより低温で促進される有機金属化合物
を用いることが有効である。このようにすると、50℃
から500℃で数分から数時間、加熱することで、より
高い耐環境性を付与せしめた、高い磁気特性を示す合金
及び金属間化合物磁性材料を作製することができる。
When the source of the metal for coating the surface of the magnetic powder is an organometallic compound, among them, M = Al, Ga, In, Si, Ge, Sn, Ti having a relatively low decomposition temperature.
And the use of an organometallic compound containing Zn,
By heating at a temperature of from 500 ° C. to 500 ° C. for several minutes to several hours, a rust-preventive coating composed of a metal, an alloy or an intermetallic compound can be formed on the surface of the magnetic powder and on the grain boundary interface. In particular, Al as a metal precursor for coating the magnetic powder surface,
Organometallic compounds containing Ga, In, Si, Ge, Sn, Ti and Zn and having an organic chain (m ≧ 1; desirably m ≧ 3) whose thermal decomposition is promoted at lower temperature It is effective to use In this case, 50 ° C
By heating at a temperature of from 500 to 500 ° C. for several minutes to several hours, it is possible to produce an alloy and an intermetallic compound magnetic material having high magnetic properties and imparting higher environmental resistance.

【0031】金属インゴットないし粉末を用いる場合
も、あるいは有機金属化合物を用いる場合でも、密封容
器内において、第一温度に昇温することにより防錆層を
形成した後、第一温度よりも高温の第二温度に昇温して
引き続き熱処理を行なうことが、欠陥の少ない均一な防
錆層を形成する観点において有利である。第一温度と第
二温度は、それぞれ一定の温度範囲内にて連続的あるい
は段階的に変化する形で設定されていてもよい。
Regardless of whether a metal ingot or powder is used or an organometallic compound is used, a rust-proof layer is formed by raising the temperature to a first temperature in a sealed container, and then the temperature is raised to a temperature higher than the first temperature. It is advantageous to raise the temperature to the second temperature and then perform the heat treatment from the viewpoint of forming a uniform rust preventive layer with few defects. The first temperature and the second temperature may be set so as to change continuously or stepwise within a certain temperature range.

【0032】例えば、合金及び金属間化合物系磁性材料
粉末表面並びに粒界界面に金属を供給し被膜を形成させ
た後、そのまま耐熱密封容器内の温度を上昇させ、成膜
温度より高温で熱処理を行なう2段階もしくはそれ以上
の複数の段階で処理を施すことができる。これにより、
表面に析出した金属を磁性材料の表面近傍並びに粒界界
面で更に拡散及び反応を促進させることができ、ひいて
は磁気特性並びに耐環境性をより向上せしることが可能
となる。
For example, after a metal is supplied to the alloy and intermetallic compound magnetic material powder surface and the grain boundary interface to form a film, the temperature in the heat-resistant sealed container is raised as it is, and heat treatment is performed at a temperature higher than the film forming temperature. The processing can be performed in two or more stages. This allows
Diffusion and reaction of the metal deposited on the surface near the surface of the magnetic material and at the grain boundary interface can be further promoted, and as a result, the magnetic properties and environmental resistance can be further improved.

【0033】磁性材料粉としては、前述の通り、Sm−
Fe−N系金属間化合物又はNd−Fe−TM(遷移金
属)−N系金属間化合物を主体とするものを使用するこ
とができる。
As described above, as the magnetic material powder, Sm-
A compound mainly composed of an Fe-N-based intermetallic compound or Nd-Fe-TM (transition metal) -N-based intermetallic compound can be used.

【0034】また、磁性材料粉末は、Nd−Fe−B系
金属間化合物を主体とするものを採用することもでき
る。Nd−Fe−B系金属間化合物を主体とするボンド
磁石用の磁石粉末(磁性材料粉末)は、以下のような急
冷薄帯を粉砕することにより得られる。この急冷薄帯
は、所定量の合金成分を含む溶湯を急冷して得られるも
ので、その平均結晶粒径が1μm以下であり、一般組成
式をRFe100−x− で表すことができる。
ここで、RはNdを主成分(少なくとも全希土類中に原
子含有率が50%以上)とし、その一部がDyないしP
rの少なくとも一方によって置換可能な希土類成分であ
り、9≦x≦15、4≦y≦10である。なお、目的に
応じて、RFe100−x−y−vの形で、
Feのさらに一部を別の金属元素(例えば、Coなど:
複数種類でもよい)Mにて置換することも可能である。
その置換量vは磁気特性の大幅な低下をきたさない範囲
にて、例えば0.1≦v<50程度の範囲にて適宜設定
される。
Further, as the magnetic material powder, a powder mainly composed of an Nd-Fe-B-based intermetallic compound can be employed. A magnet powder (magnetic material powder) for a bonded magnet mainly composed of an Nd-Fe-B-based intermetallic compound is obtained by pulverizing a quenched ribbon as described below. The quenched ribbon is one obtained by quenching the melt containing alloy components in a predetermined amount, the average crystal grain size is 1μm or less, represents a general composition formula in R x Fe 100-x- y B y be able to.
Here, R is Nd as a main component (at least the atomic content in all rare earth elements is 50% or more), and a part thereof is Dy or Pd.
R is a rare earth component that can be replaced by at least one of r, and 9 ≦ x ≦ 15 and 4 ≦ y ≦ 10. Incidentally, according to the purpose, in the form of R x Fe 100-x-y -v B y M v,
Another part of Fe is converted to another metal element (eg, Co:
It is also possible to replace with M).
The replacement amount v is appropriately set in a range where the magnetic characteristics are not significantly reduced, for example, in a range of about 0.1 ≦ v <50.

【0035】上記急冷薄帯は、溶湯からの急冷により、
飽和磁束密度及び結晶磁気異方性がいずれも大きいR
Fe14B型正方晶金属間化合物相(以下2−14−1
相という)が平均粒径1μm以下の微細結晶粒となった
組織を生じ、急冷直後の状態で高い保磁力と残留磁束密
度を示すので、これを所定の粒子径の粉末に粉砕すれば
そのまま高性能のボンド磁石用粉末として使用できる。
なお、上記平均粒径が1μmを超えると、薄帯の保磁力
ないし減磁曲線の角形性が損なわれて充分な磁石性能が
得られなくなるので、その平均粒径は上記範囲のものと
され、望ましくは0.5μm以下、さらに望ましくは
0.1μm以下とされる。
The quenched ribbon is quenched from the molten metal by
R 2 having both large saturation magnetic flux density and crystal magnetic anisotropy
Fe 14 B-type tetragonal intermetallic compound phase (hereinafter 2-14-1)
Phase) produces a microcrystalline structure having an average particle size of 1 μm or less, and exhibits a high coercive force and a high residual magnetic flux density immediately after quenching. Can be used as high performance bonded magnet powder.
If the average particle size exceeds 1 μm, the coercive force of the ribbon or the squareness of the demagnetization curve is impaired and sufficient magnet performance cannot be obtained, so the average particle size is in the above range, The thickness is desirably 0.5 μm or less, and more desirably 0.1 μm or less.

【0036】また、前記したFeの置換元素Mとして
は、v<30の範囲にてCoにより置換することができ
る。上記組成範囲内でCoを含有させることにより、2
−14−1相のキュリー温度が上昇するとともに残留磁
束密度の温度係数が改善され、自動車用モータのような
高温の使用環境においても、安定かつ優れた磁気特性が
確保されるボンド磁石用急冷薄帯を得ることができる。
また、Coの添加により急冷薄帯の化学的安定性が向上
し、高温多湿の環境下でも、その薄帯を用いたボンド磁
石が腐食されたり磁気特性が低下したりすることが抑制
される。しかしながら、その含有量が30原子%を超え
ると2−14−1相の飽和磁束密度が低下し、最大エネ
ルギー積の低下につながるので好ましくない。なお、C
oの含有量は、望ましくは2.5〜20原子%、さらに
望ましくは5〜10原子%の範囲内で設定するのがよ
い。
The above-mentioned Fe substitution element M can be substituted by Co in the range of v <30. By containing Co within the above composition range, 2
As the Curie temperature of the -14-1 phase increases, the temperature coefficient of the residual magnetic flux density is improved, and stable and excellent magnetic properties are secured even in a high-temperature use environment such as an automobile motor. You can get a belt.
Further, the chemical stability of the quenched ribbon is improved by the addition of Co, and even under a high-temperature and high-humidity environment, the bond magnet using the ribbon is prevented from being corroded or having deteriorated magnetic properties. However, if the content exceeds 30 atomic%, the saturation magnetic flux density of the 2-14-1 phase decreases, leading to a reduction in the maximum energy product, which is not preferable. Note that C
The content of o is desirably set in the range of 2.5 to 20 at%, and more desirably 5 to 10 at%.

【0037】次に、上記以外の成分であるが、希土類成
分Rは急冷薄帯の優れた磁気特性を担う2−14−1相
の主要構成成分であって、Ndを主体とし、合計の含有
量が9〜15原子%の範囲に設定される(すなわち9≦
x≦15)。希土類成分Rの含有量が9原子%未満にな
ると、軟磁性相であるα−Fe相の比率が増大し、保磁
力の低下を招く。一方、15原子%を超えると希土類成
分を主体とする非磁性相の比率が増大し、飽和磁束密度
の低下を招く。これらはいずれも最大エネルギー積の低
下につながるので、希土類成分Rの含有量は上記範囲の
ものとされ、望ましくは10〜13原子%、さらに望ま
しくは11〜12原子%の範囲内で設定するのがよい。
Next, other than the above components, the rare-earth component R is a main component of the 2-14-1 phase which is responsible for the excellent magnetic properties of the quenched ribbon, and is mainly composed of Nd. The amount is set in the range of 9 to 15 atomic% (that is, 9 ≦
x ≦ 15). When the content of the rare earth component R is less than 9 atomic%, the ratio of the α-Fe phase, which is a soft magnetic phase, increases, and the coercive force decreases. On the other hand, when the content exceeds 15 atomic%, the ratio of the nonmagnetic phase mainly composed of the rare earth component increases, leading to a decrease in the saturation magnetic flux density. Since all of them lead to a reduction in the maximum energy product, the content of the rare earth component R is set in the above range, preferably set to 10 to 13 atomic%, and more preferably set to 11 to 12 atomic%. Is good.

【0038】また、Ndを主体とする希土類成分Rの一
部をDy又はPrで置換することができる。Dyを添加
することにより、2−14−1相の異方性磁界が高めら
れ、急冷薄帯の保磁力を大幅に向上させることができ
る。これにより、例えばコンピュータのハードディスク
ドライブや自動車用のモータなど、温度が上昇しやすい
環境で磁石が使用される場合、高温での保磁力の低下分
が補われるので、厳しい温度環境での使用に耐える磁石
を得ることができる。その添加量は、例えば0.1〜5
原子%の範囲内で適宜選択できる。ただし、添加量が5
原子%を超えると2−14−1相の飽和磁束密度が低下
し、最大エネルギー積の低下を招くほか、Dyは高価で
あるため磁石の原料コスト上昇を招くので好ましくな
い。なお、TbはDyよりもさらに高価であるが、Dy
とほぼ同等あるいはそれ以上の保磁力向上効果を有して
いるので、目的によっては使用可能である。
Further, a part of the rare earth component R mainly composed of Nd can be replaced with Dy or Pr. By adding Dy, the anisotropic magnetic field of the 2-14-1 phase is increased, and the coercive force of the quenched ribbon can be significantly improved. Accordingly, when the magnet is used in an environment where the temperature is likely to increase, such as a hard disk drive of a computer or a motor for an automobile, a decrease in the coercive force at a high temperature is compensated, so that the magnet can be used in a severe temperature environment. You can get a magnet. The addition amount is, for example, 0.1 to 5
It can be appropriately selected within the range of atomic%. However, the addition amount is 5
If it exceeds atomic%, the saturation magnetic flux density of the 2-14-1 phase decreases, leading to a decrease in the maximum energy product. In addition, since Dy is expensive, the raw material cost of the magnet increases, which is not preferable. Although Tb is more expensive than Dy, Dy
Since it has a coercive force improving effect substantially equal to or more than that of the present invention, it can be used depending on the purpose.

【0039】一方、Prは2−14−1相中のNdを置
換した場合に、その飽和磁束密度及び異方性磁界の値を
それほど変化させないため、急冷薄帯のNd成分の相当
量、場合によってはその全量をPrで置換することも可
能であるが、Prの分離希土はNdのそれよりも高価で
あり、その分離希土の形での配合は原料コストの上昇を
招くため好ましくない。しかしながら、Prは希土類原
料の分離精製工程においてNdとともに分離抽出され、
NdとPrの非分離希土であるジジムはNd及びPrの
分離希土よりも安価であるので、これらをジジム(例え
ばジジムメタル)の形で配合すれば原料コストを低減す
ることができるので好都合である。この場合、最終的に
得られる急冷薄帯中のPrの含有量は、使用されるジジ
ム中のPr含有比率により定まることとなる。
On the other hand, when Pr replaces Nd in the 2-14-1 phase, the saturation magnetic flux density and the value of the anisotropic magnetic field do not change so much. Depending on the case, it is possible to replace the entire amount with Pr, but the separated rare earth of Pr is more expensive than that of Nd, and the compounding of the separated rare earth in the form of the separated rare earth leads to an increase in raw material cost, which is not preferable. . However, Pr is separated and extracted together with Nd in the step of separating and purifying the rare earth material,
Since dymium, which is a non-separable rare earth of Nd and Pr, is less expensive than the separated rare earth of Nd and Pr, if these are blended in the form of dymium (for example, dymium metal), the raw material cost can be reduced, which is advantageous. is there. In this case, the Pr content in the quenched ribbon finally obtained is determined by the Pr content ratio in the dymium used.

【0040】なお、上記した以外の希土類元素は、いず
れもエネルギー積の上昇に寄与しないか逆にこれを低下
させるものであり、できるだけ含有されないことが望ま
しいが、上記Nd、Dy、Pr等の希土類成分ととも
に、例えばその総量が1原子%以下の範囲内で不可避的
に混入するものは含有されていても差しつかえない。
It is to be noted that any of the rare earth elements other than those described above do not contribute to or increase the energy product, and are desirably not contained as much as possible. However, rare earth elements such as Nd, Dy, Pr, etc. are preferable. Along with the components, for example, those inevitably mixed in a total amount of 1 atomic% or less may be contained.

【0041】次に、Bは、希土類成分Rと同様に2−1
4−1相の必須構成成分であり、その含有量は4〜10
原子%の範囲内(すなわち4≦y≦10)で設定され
る。Bの含有量が4原子%未満となると、軟磁性のNd
Fe17型相が生成して保磁力の低下を招き、含有量
が10原子%を超えると非磁性のNdFe型相が
生成して飽和磁束密度が低下する。いずれの場合も、最
大エネルギー積を低下させることにつながるので、B含
有量は上記範囲のものとされる。Bの含有量は、望まし
くは4〜8原子%、さらに望ましくは5〜7原子%の範
囲内で設定するのがよい。
Next, B is 2-1 as in the case of the rare earth component R.
4-1 is an essential component of the phase, and its content is 4 to 10
It is set within the range of atomic% (that is, 4 ≦ y ≦ 10). When the B content is less than 4 atomic%, soft magnetic Nd
Cause a decrease in 2 Fe 17 type phase is generated coercive force, saturation magnetic flux density generated by the NdFe 4 B 4 type phase nonmagnetic and the content exceeds 10 atomic% is reduced. In any case, the maximum energy product is reduced, so that the B content is in the above range. The content of B is desirably set in the range of 4 to 8 at%, more desirably 5 to 7 at%.

【0042】Feは、2−14−1相の必須構成成分と
して、その大きな飽和磁化の主要部を担うものである。
Fe is an essential component of the 2-14-1 phase and plays a major part in its large saturation magnetization.

【0043】このような急冷薄帯は、その平均粒子径が
500μm以下となるように粉砕してボンド磁石用粉末
とすることができる。そして、その粉末に後述の通りコ
ーティング被膜を形成し、さらにエポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂、ナイロン樹脂等の樹脂により結合することに
より、ボンド磁石とすることができる。ここで、上記ボ
ンド磁石粉末の平均粒子径が500μm以上であると、
ボンド磁石内における磁石粉末及び樹脂の分布が不均一
となり、ボンド磁石の表面磁束分布のばらつきを生ずる
原因となるので、平均粒子径は上記以下のものとされ
る。一方、平均粒子径が細かくなりすぎると、例えば圧
縮成形によりボンド磁石を製造する場合、磁石粉末の流
れ性が低下し、その金型へのスムーズな充填が困難にな
り生産性の低下を引き起こすので、所定の平均粒径以上
に設定される。なお、磁石粉末の平均粒子径は、望まし
くは50〜400μm、さらに望ましくは100〜30
0μmの範囲内で設定するのがよい。
Such a quenched ribbon can be pulverized so as to have an average particle diameter of 500 μm or less to obtain a powder for a bonded magnet. Then, a coating film is formed on the powder as described later, and further bonded with a resin such as an epoxy resin, a phenol resin, or a nylon resin, thereby forming a bonded magnet. Here, when the average particle diameter of the bonded magnet powder is 500 μm or more,
Since the distribution of the magnet powder and the resin in the bonded magnet becomes non-uniform and causes a variation in the surface magnetic flux distribution of the bonded magnet, the average particle diameter is set to the above-mentioned value. On the other hand, if the average particle size is too small, for example, when manufacturing a bonded magnet by compression molding, the flowability of the magnet powder is reduced, and it becomes difficult to smoothly fill the mold and the productivity is reduced. Is set to a predetermined average particle size or more. The average particle diameter of the magnet powder is preferably 50 to 400 μm, more preferably 100 to 30 μm.
It is good to set within the range of 0 μm.

【0044】以下、ボンド磁石用急冷薄帯、それを用い
たボンド磁石粉末及びボンド磁石の製造方法について説
明する。まず、所定量の合金成分を配合し、次に不活性
ガス雰囲気あるいは真空雰囲気等、所定の雰囲気中でそ
の合金成分を溶解する。配合される合金成分は、それぞ
れの成分を単独で配合しても、Nd−Fe合金やフェロ
ボロン等の母合金の形で配合してもいずれでもよい。ま
た、溶解は、例えば高周波誘導溶解、アーク溶解等公知
の溶解方法を用いることができる。
Hereinafter, a quenched ribbon for a bonded magnet, a bonded magnet powder using the same, and a method for producing a bonded magnet will be described. First, a predetermined amount of an alloy component is blended, and then the alloy component is dissolved in a predetermined atmosphere such as an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere. The alloy components to be blended may be either alone or blended in the form of a master alloy such as an Nd-Fe alloy or ferroboron. For the melting, a known melting method such as high-frequency induction melting and arc melting can be used.

【0045】次に、その溶湯を急冷凝固させることによ
り、薄帯状ないしフレーク状の急冷薄帯が製造される。
急冷の雰囲気は例えばアルゴン等の不活性ガス雰囲気が
用いられ、急冷の方法としては、単ロール法を始め、双
ロール法、スプラットクエンチ法、遠心急冷法、ガスア
トマイズ法等、各種方法が適用できる。これらのうち、
特に単ロール法は、溶湯の冷却効率が高く、またロール
周速による冷却速度の調整が容易で、均質で高性能の急
冷薄帯を大量生産するのに好適である。この場合、ロー
ル周速を5〜35m/秒、望ましくは10〜30m/秒
とすることが、微細で均一な結晶粒を有し、磁気特性に
優れた急冷薄帯を得る上で望ましい。
Next, the molten metal is quenched and solidified to produce a quenched ribbon in the form of a ribbon or flake.
As the quenching atmosphere, for example, an inert gas atmosphere such as argon is used. As the quenching method, various methods such as a single roll method, a twin roll method, a splat quench method, a centrifugal quenching method, and a gas atomizing method can be applied. Of these,
In particular, the single-roll method is suitable for mass-producing a uniform and high-performance quenched ribbon, in which the cooling efficiency of the molten metal is high and the cooling rate can be easily adjusted by the peripheral speed of the roll. In this case, a roll peripheral speed of 5 to 35 m / sec, desirably 10 to 30 m / sec is desirable for obtaining a quenched ribbon having fine and uniform crystal grains and excellent magnetic properties.

【0046】得られた急冷薄帯は、スタンプミル、フェ
ザーミル、ディスクミル等を用いる公知の粉砕方法によ
り、前述の平均粒子径となるように粉砕され、ボンド磁
石用粉末とされる。なお、粗粉砕した後にさらに微粉砕
する二段階(あるいはそれ以上の多段階)により粉砕を
行ってもよい。なお、粉砕後の粉末は、適宜メッシュ等
により整粒して粒度調整することが望ましい。
The quenched ribbon thus obtained is pulverized by a known pulverizing method using a stamp mill, a feather mill, a disc mill or the like so as to have the above-mentioned average particle diameter, and is used as a powder for a bonded magnet. The pulverization may be performed in two stages (or more stages) of coarse pulverization followed by fine pulverization. It is desirable that the powder after pulverization is appropriately sized with a mesh or the like to adjust the particle size.

【0047】ここで、上記急冷凝固により得られる急冷
薄帯は、その粉砕前又は粉砕後に400〜1000℃の
温度範囲において熱処理することができる。急冷直後の
薄帯は、例えば急冷ロールとの接触部付近等、冷却速度
の特に大きくなる部分に非晶質部を生じる場合がある。
この非晶質部は軟磁性であり、保磁力、減磁曲線の角型
性、エネルギー積の低下等を引き起こす場合がある。そ
こで、急冷薄帯に対し上記熱処理を行なうことにより、
急冷直後に生じていた上記非晶質部を結晶化することが
でき、エネルギー積の低下等を防止することができる。
熱処理温度が400℃より低い場合は、上記非晶質部の
結晶化が充分進まず、上述の効果が充分得られない。一
方、熱処理温度が1000℃を超えると、結晶粒が成長
して粗大化し、保磁力ないしエネルギー積が却って低下
する。従って、熱処理温度は上述の範囲内で設定され、
望ましくは500〜800℃、さらに望ましくは600
〜700℃の範囲内で設定される。
Here, the quenched ribbon obtained by the above-mentioned quenched solidification can be subjected to a heat treatment in a temperature range of 400 to 1000 ° C. before or after the pulverization. The ribbon immediately after quenching may have an amorphous portion in a portion where the cooling rate becomes particularly high, for example, in the vicinity of a contact portion with a quenching roll.
This amorphous portion is soft magnetic, and may cause a decrease in coercive force, squareness of demagnetization curve, decrease in energy product, and the like. Therefore, by performing the above heat treatment on the quenched ribbon,
The amorphous portion generated immediately after quenching can be crystallized, and a decrease in energy product and the like can be prevented.
When the heat treatment temperature is lower than 400 ° C., the crystallization of the amorphous portion does not proceed sufficiently, and the above-mentioned effects cannot be sufficiently obtained. On the other hand, when the heat treatment temperature exceeds 1000 ° C., crystal grains grow and become coarse, and the coercive force or energy product is rather reduced. Therefore, the heat treatment temperature is set within the above range,
Preferably 500 to 800 ° C., more preferably 600
It is set within the range of -700 ° C.

【0048】以上の方法により得られるボンド磁石用粉
末に本発明の方法により前記した防錆層を形成し、その
後樹脂成分と混合し、加圧成形又は射出成形することに
よりボンド磁石が製造される。加圧成形による場合は、
上記磁石粉末に、エポキシ樹脂等の粉末状の熱硬化性樹
脂を所定量、例えば1〜5重量%程度混合し、例えばダ
イ及びパンを有した金型によるプレス成形等により、例
えば5〜10t/cm 程度の加圧力で圧縮成形する。
成形後、得られた成形体を所定温度、例えば80〜18
0℃程度に加熱することにより樹脂を硬化させ、ボンド
磁石を得る。なお、樹脂硬化のための加熱は、上記加圧
成形中に行ってもよい。この方法によれば、得られるボ
ンド磁石中の磁石粉末の密度を高くでき、小型モータ用
の高性能リング磁石等を製造するのに適している。
Powder for bonded magnet obtained by the above method
Finally, the rust preventing layer is formed by the method of the present invention,
Mixing with post-resin components and press-molding or injection-molding
Thus, a bonded magnet is manufactured. In the case of pressure molding,
A powdery thermosetting resin such as epoxy resin is added to the above magnet powder.
Fat in a predetermined amount, for example, about 1 to 5% by weight.
Example by press molding using a mold with b and pan
For example, 5-10t / cm 2Compression molding is performed with a moderate pressure.
After molding, the obtained molded body is cooled to a predetermined temperature, for example, 80 to 18
The resin is cured by heating to about 0 ° C
Get a magnet. The heating for curing the resin is performed under the above pressure.
It may be performed during molding. According to this method, the obtained
For high-density magnet powder in compact magnets for small motors
Suitable for manufacturing high performance ring magnets.

【0049】一方、射出成形による場合は、まず、ナイ
ロン樹脂等の熱可塑性樹脂を磁石粉末に対し、圧縮成形
の場合よりやや多い量、例えば10〜30重量%程度添
加し、これを混練して成形用のコンパウンドを作製す
る。そして、このコンパウンドを加熱軟化させ、所定の
成形機を用いて金型のキャビティに射出成形することに
より、所望の形状のボンド磁石を得る。この方法により
得られるボンド磁石は、磁石粉末密度がやや低いため、
性能は圧縮成形によるものに及ばないが、多様で複雑な
形状の磁石を容易に製造できる利点があり、モータスピ
ンドル等の付属部品を上記コンパウンドとともに一体成
形(インサート成形)することもできる。例えばリング
状ボンド磁石は、ラジアル着磁されてモータロータある
いはステータとして利用される。
On the other hand, in the case of injection molding, first, a thermoplastic resin such as a nylon resin is added to the magnet powder in an amount slightly larger than that in the case of compression molding, for example, about 10 to 30% by weight, and this is kneaded. A compound for molding is produced. Then, the compound is heated and softened, and injection-molded into a mold cavity using a predetermined molding machine to obtain a bond magnet having a desired shape. The bonded magnet obtained by this method has a slightly lower magnet powder density,
Although the performance is not as high as that obtained by compression molding, there is an advantage that magnets of various and complicated shapes can be easily manufactured, and accessory parts such as a motor spindle can be integrally molded (insert molding) together with the above-mentioned compound. For example, a ring-shaped bonded magnet is radially magnetized and used as a motor rotor or a stator.

【0050】[0050]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面及び実験データに基づき説明する。 (実施の形態1)本発明の収着法を用いて希土類磁性材
料のSm−Fe−N系に対して防錆金属供給源をZn粉
末とし、実施した例を以下に示す。ここで用いているの
は、防錆金属供給源を金属インゴット又は金属粉末と
し、これと目的とする磁性粉末とを耐熱密封容器内に混
合状態で封入した後、減圧下で当該金属が気化するのに
十分な温度で均一に加熱することで原子状又はクラスタ
ー状の金属蒸気として磁性粉末表面に供給し、磁性材料
と当該金属との反応親和性を利用して磁性材料粉末表面
並びに粒界界面に、均一な金属、合金又は金属間化合物
から構成される防錆被膜を形成せしめる方法である(以
下、第一法という)。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings and experimental data. (Embodiment 1) An example in which a rust-preventing metal supply source is made of Zn powder for the Sm-Fe-N-based rare earth magnetic material using the sorption method of the present invention will be described below. What is used here is that the rust-preventive metal supply source is a metal ingot or metal powder, and after enclosing this and the intended magnetic powder in a heat-resistant sealed container in a mixed state, the metal is vaporized under reduced pressure. Uniformly heated at a temperature sufficient to supply it to the surface of the magnetic powder as an atomic or cluster-like metal vapor, and utilizing the reaction affinity between the magnetic material and the metal, the magnetic material powder surface and the grain boundary interface Next, a method for forming a rust-preventive coating composed of a uniform metal, alloy or intermetallic compound (hereinafter referred to as a first method).

【0051】Sm−Fe−N系磁性材料を、界面活性剤
を添加した非極性有機溶媒中で湿式ボールミル粉砕する
ことで、雰囲気中の酸素もしくは水に由来する酸化を受
けにくく均一な粉砕が可能となり、酸素含有量が少なく
粒度分布の小さい微粉末を作製することができる。
The Sm-Fe-N-based magnetic material is wet ball-milled in a non-polar organic solvent to which a surfactant is added, so that it is hard to be oxidized due to oxygen or water in the atmosphere and can be uniformly milled. Thus, a fine powder having a small oxygen content and a small particle size distribution can be produced.

【0052】作製したSm−Fe−N系微粉末に対して
5重量%以下のZn金属を混合し、ガラス容器に導入す
る。また、これら混合粉末と共に鋼球をガラス容器内に
導入することで収着処理過程に生じる粉末間の凝集を効
果的に抑制することが可能となり、均一な斑のない被膜
が形成できる。ガラス容器内は1×10−6Torr程
度まで真空排気した後封管する(図1,2参照)。
5% by weight or less of Zn metal is mixed with the produced Sm-Fe-N type fine powder and introduced into a glass container. In addition, by introducing steel balls into the glass container together with these mixed powders, it becomes possible to effectively suppress agglomeration between the powders generated in the sorption process, and to form a uniform and uniform coating. The inside of the glass container is evacuated to about 1 × 10 −6 Torr and then sealed (see FIGS. 1 and 2).

【0053】真空封管したガラス容器全体を、300か
ら500℃の種々の温度で、2時間均一に加熱すること
でZn金属を気化させ、このZn蒸気中に磁性微粉末を
曝すことでその表面へのZn収着を促進する。
The entire vacuum-sealed glass container is uniformly heated at various temperatures of 300 to 500 ° C. for 2 hours to vaporize Zn metal, and the magnetic fine powder is exposed to the Zn vapor to expose the surface thereof. Promotes Zn sorption to Zn.

【0054】収着処理を施した磁性微粉末の残留磁束密
度Br並びに保磁力Hcjの収着処理温度に対する依存
性を図3に示す。従来、保磁力Hcjの増大は、Zn金
属の融点(419.6℃)付近での加熱処理によりみら
れ、十分な保磁力Hcjを得るためには蒸着あるいはメ
ッキさせるZn金属量は磁性粉末に対して10重量%以
上必要であったが、本発明では、保磁力Hcjの向上は
従来の手法より低温の350℃における収着処理からで
も顕著となり、そのときのZn金属量も磁性粉末に対し
て4重量%程度と少量で十分な保磁力の向上がみられ
た。また、収着処理を施した磁性粉末では、残留磁束密
度Brも0.8Tを示し、蒸着法及び電解メッキ法で得
られ、高保磁力化のための熱処理を施した磁性粉末と同
等あるいはそれ以上の高残留磁束密度Br値が得られ
た。
FIG. 3 shows the dependence of the residual magnetic flux density Br and the coercive force Hcj of the sorbed magnetic powder on the sorption temperature. Conventionally, an increase in the coercive force Hcj has been observed by a heat treatment near the melting point of the Zn metal (419.6 ° C.). In order to obtain a sufficient coercive force Hcj, the amount of the Zn metal deposited or plated must be smaller than that of the magnetic powder. However, in the present invention, the improvement of the coercive force Hcj becomes remarkable even at a lower temperature of 350 ° C. than the conventional method, and the Zn metal content at that time is also smaller than that of the magnetic powder. A sufficient improvement in coercive force was observed with a small amount of about 4% by weight. In the magnetic powder subjected to the sorption treatment, the residual magnetic flux density Br also shows 0.8 T, which is equal to or higher than the magnetic powder obtained by the vapor deposition method and the electrolytic plating method and subjected to the heat treatment for increasing the coercive force. High residual magnetic flux density Br value was obtained.

【0055】次に、図5に、収着温度を350℃と固定
し、収着処理時間を変化させた時の保磁力Hcjの値を
示す。また、比較として蒸着法により作製された被覆粉
末の保磁力変化も同時に示す。
Next, FIG. 5 shows the value of the coercive force Hcj when the sorption temperature is fixed at 350 ° C. and the sorption processing time is changed. Further, as a comparison, a change in coercive force of the coating powder produced by the vapor deposition method is also shown.

【0056】蒸着法により作製された被覆粉末では1M
A/m程度の保磁力を得るためには蒸着被覆処理後、3
80℃、30時間程度の追加の熱処理が必要であること
に対して、今回開発した収着法を用いて作製したZn/
Sm−Fe−N系粉末は、350℃、2時間という低温
及び短時間という条件で十分に大きな保磁力が得られ、
1段階の処理でも効率よく磁気特性の向上が可能である
ことが明らかとなった。これは、粉末表面上への高活性
な金属の収着が3次元的に均一に進行するためであり、
かつ磁性粉末表層部の活性なクラック並びに結晶粒界等
からも収着金属の浸透・拡散が進行するため、より容易
に反応が進行するものと考えられる。
In the case of a coating powder produced by a vapor deposition method, 1M
In order to obtain a coercive force of about A / m, 3 3
The need for additional heat treatment at about 80 ° C. for about 30 hours required Zn / Zn fabricated using the sorption method developed this time.
The Sm-Fe-N-based powder can obtain a sufficiently large coercive force under the conditions of 350 ° C. and a low temperature of 2 hours and a short time,
It has been clarified that the magnetic properties can be efficiently improved even by one-stage processing. This is because the highly active metal sorption on the powder surface proceeds three-dimensionally and uniformly,
Further, it is considered that the reaction proceeds more easily because the permeation / diffusion of the sorbed metal proceeds from active cracks on the surface portion of the magnetic powder and crystal grain boundaries.

【0057】図4に、第一法に係る収着法を用いて被覆
したZn/Sm−Fe−N系被覆粉末の保磁力のZn金
属量依存性を示す。また比較として蒸着法により作製し
た被覆粉末の保磁力のZn金属量依存性を示す。
FIG. 4 shows the dependency of the coercive force of the Zn / Sm—Fe—N coating powder coated by the sorption method according to the first method on the amount of Zn metal. As a comparison, the dependence of the coercive force of the coating powder produced by the vapor deposition method on the amount of Zn metal is shown.

【0058】蒸着法では、保磁力の値を向上させるため
には5〜6重量%のZn金属が最低限必要であると考え
られるが、本発明による収着法では、Zn金属量は3重
量%程度で十分であることがわかる。これにより、非磁
性金属の存在による磁束密度の低下が抑制され、かつ被
膜供給源として磁性粉末と混合する金属量を少なくする
ことが可能となる。
In the vapor deposition method, it is considered that a minimum of 5 to 6% by weight of Zn metal is required in order to improve the value of coercive force. In the sorption method according to the present invention, the amount of Zn metal is 3% by weight. It turns out that about% is sufficient. As a result, a decrease in magnetic flux density due to the presence of the non-magnetic metal is suppressed, and the amount of metal mixed with the magnetic powder as a coating supply source can be reduced.

【0059】図6に、前記第一法に係る収着作用を利用
した手法を用いてZn金属を表面に収着した磁性微粉末
の走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。表1には、
電子プローブX線マイクロアナライザ(EPMA)によ
る磁性微粉末表面の被覆金属Znの存在比をSmと比較
して示す。なお、表1における磁性材料の測定表面は、
図6中に示されている磁性材料の表面に対応する。これ
より、磁性微粉末の表面にはほぼ均一にZn金属が被膜
を形成していることがわかる。
FIG. 6 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of a magnetic fine powder having Zn metal sorbed on the surface thereof using the method utilizing the sorption action according to the first method. In Table 1,
The abundance ratio of the coating metal Zn on the surface of the magnetic fine powder measured by an electron probe X-ray microanalyzer (EPMA) is shown in comparison with Sm. In addition, the measurement surface of the magnetic material in Table 1 is:
This corresponds to the surface of the magnetic material shown in FIG. From this, it can be seen that the surface of the magnetic fine powder is almost uniformly coated with Zn metal.

【0060】[0060]

【表1】 [Table 1]

【0061】図7には、前記第一法において、加熱温度
を350℃又は500℃としたときの、Zn金属を表面
に収着被覆したSm−Fe−N系磁性微粉末の薄膜X線
パターンを示す。比較として、防錆処理を施していない
Sm−Fe−N系磁性微粉末の薄膜X線パターンも併せ
て示す。防錆処理を施していない磁性微粉末は、大気中
で表面が酸化されアモルファス相を形成しているが、3
50℃で収着処理を施した磁性微粉末は若干のα−Fe
の析出はみられるもののThZn17型の母構造が残
存し、酸化を効果的に抑制していることがわかる。
FIG. 7 shows a thin-film X-ray pattern of a Sm—Fe—N-based magnetic fine powder having a surface sorbed with Zn metal when the heating temperature was set to 350 ° C. or 500 ° C. in the first method. Is shown. For comparison, a thin-film X-ray pattern of an Sm—Fe—N-based magnetic fine powder that has not been subjected to rust prevention treatment is also shown. The magnetic fine powder that has not been subjected to rust prevention treatment has an oxidized surface in the atmosphere to form an amorphous phase.
The magnetic fine powder subjected to sorption treatment at 50 ° C. has a slight amount of α-Fe
It can be seen that, though precipitates were observed, the Th 2 Zn 17 type mother structure remained, and oxidation was effectively suppressed.

【0062】図8には、前記第一法により防錆処理を施
したSm−Fe−N系磁性微粉末の大気中における保磁
力Hcjの経時変化を示す。比較として、特開平08−
143913号に開示されている有機金属化合物の一つ
であるジエチル亜鉛(Zn(C)を紫外光に
より分解し、被膜金属を生成する手法を用いてZn金属
を表面被覆したSm−Fe−N系磁性微粉末の保磁力H
cjの経時変化も併せて示す。特開平08−14391
3号による被覆方法で防錆処理を施したSm−Fe−N
系磁性微粉末の保磁力Hcjは、大気中、50℃ではそ
の値を維持することはできずに徐々に低下した。これに
対して、本発明による防錆処理を施したSm−Fe−N
系磁性微粉末の保磁力Hcjは、大気中、50℃で60
0時間放置してもその値に変化はなく、高い値を維持し
ていたことから、収着法により形成された被膜は防錆効
果により優れることが明らかとなった。
FIG. 8 shows the change over time of the coercive force Hcj in the air of the Sm—Fe—N-based magnetic fine powder subjected to the rust prevention treatment by the first method. For comparison, see JP-A-08-
Sm coated with Zn metal using a technique of decomposing diethylzinc (Zn (C 2 H 5 ) 2 ), which is one of the organometallic compounds disclosed in JP-A-143913, by ultraviolet light to generate a coated metal. -Coercivity H of Fe-N based magnetic fine powder
The change with time of cj is also shown. JP-A-08-14391
Sm-Fe-N treated with rust prevention by the coating method of No. 3
The coercive force Hcj of the system magnetic fine powder could not be maintained at 50 ° C. in the atmosphere, but gradually decreased. On the other hand, Sm-Fe-N treated with the rust preventive treatment according to the present invention
The coercive force Hcj of the fine magnetic powder is 60 at 50 ° C. in the atmosphere.
Even when left for 0 hours, the value did not change and the value was maintained at a high value, and it became clear that the film formed by the sorption method was more excellent in rust prevention effect.

【0063】(実施の形態2)実施の形態1と類似の第
一法により、前記希土類磁性材料のNd−Fe−B系に
対し防錆金属供給源を、Zn粉末を用いて実施した例を
以下に示す。まず、異方化処理として水素化−不均化−
脱水素化−再結合法(HDDR法として周知である)を
施したNd−Fe−B系磁性粉末に対して5重量%以下
のZn金属を混合し、ガラス容器に導入した後、このガ
ラス容器は1×10−6Torr程度まで真空排気した
後封管する。また、Nd−Fe−B系磁性粉末とZn金
属粉末との混合粉末と共に鋼球等の混合媒体をガラス容
器に導入することで、収着処理時に効果的に凝集を抑制
できる(図1、2参照)。
(Embodiment 2) An example in which a rust-preventing metal supply source is implemented using Zn powder for the Nd-Fe-B-based rare earth magnetic material according to a first method similar to that of Embodiment 1. It is shown below. First, hydrogenation-disproportionation-
5% by weight or less of Zn metal is mixed with the Nd-Fe-B-based magnetic powder subjected to the dehydrogenation-recombination method (known as HDDR method), and the mixture is introduced into a glass container. Is evacuated to about 1 × 10 −6 Torr and then sealed. In addition, by introducing a mixed medium such as a steel ball into a glass container together with a mixed powder of the Nd—Fe—B-based magnetic powder and the Zn metal powder, it is possible to effectively suppress aggregation during the sorption treatment (FIGS. 1 and 2). reference).

【0064】真空封管したガラス容器全体を、300か
ら450℃の種々の温度で、2時間均一に加熱すること
でZn金属を気化させ、このZn蒸気中にNd−Fe−
B系磁性微粉末を曝すことで粉末の表面並びに粒界界面
への収着を促進する。HDDR法によりえられる粒子の
表層部には、NdFe14B結晶粒子間に多数のクラ
ックが形成されることから、粒界界面へのZnの収着を
行なう上で有利であると考えられる。
The entire vacuum-sealed glass container was uniformly heated at various temperatures of 300 to 450 ° C. for 2 hours to vaporize Zn metal, and Nd—Fe—
Exposure to the B-based magnetic fine powder promotes sorption on the surface of the powder and on the grain boundary interface. Since a large number of cracks are formed between Nd 2 Fe 14 B crystal grains in the surface layer of the particles obtained by the HDDR method, it is considered to be advantageous in performing the sorption of Zn to the grain boundary interface. .

【0065】図9はFE−SEM 組成の組成像を、粉
末粒子全体について撮影倍率1500倍で示したもので
ある。また、図10はFE−SEM 組成の組成像を、
粉末粒子の表面部分について撮影倍率5000倍で示し
たものである。これらの図より、粉末表面には厚さ3〜
4μmの表面層が存在し、この層が粒子全体を均一に取
り囲んでいることがわかる。同様の表面層は、Sm−F
e−N系並びにSm−Fe−TM−N系粉末粒子でも行
なうことができる。
FIG. 9 shows a composition image of the FE-SEM composition at a photographing magnification of 1500 times for all the powder particles. FIG. 10 shows a composition image of the FE-SEM composition.
The surface portion of the powder particles is shown at a magnification of 5000 times. According to these figures, the powder surface has a thickness of 3 to
A surface layer of 4 μm is present, indicating that this layer uniformly surrounds the whole particle. A similar surface layer is Sm-F
It can also be performed with eN-based and Sm-Fe-TM-N-based powder particles.

【0066】一方、これらの表面層をFE−SEM並び
にTEMで観察した結果を図11及び12に示す。図よ
り、表面層は微細なNdFe14B結晶粒子より構成
され、さらにそれらの結晶粒界は幅5−40nmの粒界
相で被われていることが明らかとなった。なお、これら
の粒界層は、EDXによる組成分析からZn金属だけで
はなく、ZnとNd又はFeとの合金あるいは化合物相
から構成されていることが確認できた。ただし、Znの
含有量が50質量%以上であり、Znを主成分とするも
のであることもわかった。
On the other hand, the results of observation of these surface layers by FE-SEM and TEM are shown in FIGS. From the figure, it was clarified that the surface layer was composed of fine Nd 2 Fe 14 B crystal grains, and their crystal grain boundaries were covered with a grain boundary phase having a width of 5 to 40 nm. The compositional analysis by EDX confirmed that these grain boundary layers were composed of not only Zn metal but also an alloy or a compound phase of Zn and Nd or Fe. However, it was also found that the content of Zn was 50% by mass or more, and Zn was the main component.

【0067】次に、収着処理を施した異方性Nd−Fe
−B系磁性粉末の磁気特性を表2に示す。
Next, the anisotropic Nd-Fe
Table 2 shows the magnetic characteristics of the -B-based magnetic powder.

【0068】[0068]

【表2】 [Table 2]

【0069】第一法に係る収着法を用いて防錆処理を施
したNd−Fe−B系磁性粉末の磁気特性は、収着処理
温度を上昇させることで、原料磁性粉末の磁気特性と比
較して低下した。300℃における収着処理では、磁性
粉末と混合したZn金属粉末が気化せず残存した。
The magnetic properties of the Nd—Fe—B-based magnetic powder that has been subjected to the rust-preventive treatment using the sorption method according to the first method are different from those of the raw material magnetic powder by increasing the sorption treatment temperature. Compared to decline. In the sorption treatment at 300 ° C., the Zn metal powder mixed with the magnetic powder did not evaporate and remained.

【0070】また、350℃で収着処理を施したとこ
ろ、収着時間を長くするとともに磁気特性は低下した。
しかし、収着処理を施した後でも非磁性のZn金属を被
覆したことによる希釈効果が生じ若干の低下はみられた
が依然1.3T程度の高い残留磁束密度Brを維持し、
最大エネルギー積(BH)maxも300kJ/m
非常に高い特性を示すことが明らかとなった(図13参
照)。
When the sorption treatment was performed at 350 ° C., the sorption time was prolonged and the magnetic properties were lowered.
However, even after the sorption treatment, the dilution effect due to the coating of the non-magnetic Zn metal occurred and a slight decrease was observed, but the high residual magnetic flux density Br of about 1.3 T was still maintained.
It was found that the maximum energy product (BH) max also showed a very high characteristic of 300 kJ / m 3 (see FIG. 13).

【0071】図14並びに図15には、第一法に係る収
着法により防錆処理を施したNd−Fe−B系磁性粉末
を原料とした圧縮成形樹脂ボンド磁石を大気中、80℃
並びに120℃に放置した時の磁束密度の経時変化をそ
れぞれ示す。
FIGS. 14 and 15 show compression-molded resin-bonded magnets made of Nd—Fe—B-based magnetic powder that has been subjected to rust-preventive treatment by the sorption method according to the first method at 80 ° C. in air.
Also, the time-dependent change of the magnetic flux density when left at 120 ° C. is shown.

【0072】第一法に係る収着法により防錆処理を施し
たNd−Fe−B系磁性粉末を用いて作製した圧縮成形
樹脂ボンド磁石の減磁率は、80℃及び120℃のどち
らにおいても、未処理のNd−Fe−B系磁性粉末を用
いたボンド磁石より小さく、更に1000時間後最着磁
し永久減磁率を求めた結果を表3に示す。本発明による
収着法で表面被覆を施したZn/Nd−Fe−B系磁性
粉末を用いて作製したボンド磁石の永久減磁率は、80
℃並びに120℃ではそれぞれ−3.9%並びに−3.
6%と、未処理の粉末を用いたボンド磁石のそれら(−
8.1%及び−10.9%)に比べ絶対値が小さく、大
気中における耐久性が大幅に改善されることが明らかと
なった。
The demagnetization rate of the compression-molded resin-bonded magnet produced using the Nd—Fe—B-based magnetic powder that has been subjected to the rust-preventive treatment by the sorption method according to the first method can be obtained at both 80 ° C. and 120 ° C. Table 3 shows the results obtained by determining the permanent demagnetization rate after the magnet was re-magnetized after 1000 hours, and smaller than the bonded magnet using untreated Nd-Fe-B-based magnetic powder. The permanent magnet demagnetization rate of the bonded magnet produced using the Zn / Nd—Fe—B-based magnetic powder coated by the sorption method according to the present invention is 80.
-3.9% and -3.
6% of those of bonded magnets using untreated powder (-
(8.1% and -10.9%), indicating that the durability in the atmosphere is greatly improved.

【0073】[0073]

【表3】 [Table 3]

【0074】次に、本発明における収着法を用いて表面
被覆を施したZn/Nd−Fe−B系磁性粉末を原料と
して作製した樹脂ボンド磁石の残留磁束密度Br並びに
保磁力Hcjの120℃における温度係数α(Br)並
びにβ(Hcj)をそれぞれ表4に示す。
Next, the residual magnetic flux density Br and the coercive force Hcj of the resin-bonded magnet prepared from the Zn / Nd—Fe—B-based magnetic powder coated with the surface by the sorption method of the present invention at 120 ° C. Table 4 shows the temperature coefficients α (Br) and β (Hcj) at

【0075】[0075]

【表4】 [Table 4]

【0076】表4より、本発明における収着処理を施し
たZn/Nd−Fe−B系磁性粉末を原料とする樹脂ボ
ンド磁石の保磁力Hcjの温度係数β(Hcj)は未処
理の粉末を用いたボンド磁石並びに市販の異方性ボンド
磁石MQA−Tのそれと比較しても同等の値であったの
に対し、残留磁束密度Brの温度係数α(Br)では大
幅な向上がみられ、Nd−Fe−B系ボンド磁石の耐熱
性を改善することが可能であった。
From Table 4, the temperature coefficient β (Hcj) of the coercive force Hcj of the resin-bonded magnet made from the Zn / Nd—Fe—B-based magnetic powder subjected to the sorption treatment in the present invention is equal to that of the untreated powder. Compared to those of the used bonded magnet and the commercially available anisotropic bonded magnet MQA-T, the values were equivalent, but the temperature coefficient α (Br) of the residual magnetic flux density Br showed a significant improvement. It was possible to improve the heat resistance of the Nd—Fe—B-based bonded magnet.

【0077】種々の条件により収着処理を施したNd−
Fe−B系磁性粉末を原料として作製した樹脂ボンド磁
石の保磁力Hcj並びに残留磁束密度Brの150℃に
おける温度係数α(Br)並びに(Hcj)を表5にそ
れぞれ示す。
Nd- which has been subjected to sorption treatment under various conditions
Table 5 shows the coercive force Hcj and the temperature coefficient α (Br) at 150 ° C. of the residual magnetic flux density Br and (Hcj) of the resin-bonded magnet produced using the Fe—B-based magnetic powder as a raw material, respectively.

【0078】[0078]

【表5】 [Table 5]

【0079】表から、収着処理を施したNd−Fe−B
系磁性粉末を原料とする樹脂ボンド磁石では、残留磁束
密度Br並びに保磁力Hcjの温度係数α(Br)並び
に(Hcj)が収着処理時間を長くすることで改善され
ることがわかる。また、Nd−Fe−B系磁性粉末の粒
径を小さくしても、同等の温度係数を有する樹脂ボンド
磁石を作製することが可能である。
From the table, it can be seen that the sorbed Nd-Fe-B
It can be seen that, in the resin-bonded magnet made from the base magnetic powder, the residual magnetic flux density Br and the temperature coefficient α (Br) and (Hcj) of the coercive force Hcj are improved by increasing the sorption processing time. Even if the particle size of the Nd-Fe-B-based magnetic powder is reduced, it is possible to produce a resin-bonded magnet having the same temperature coefficient.

【0080】(実施の形態3)本実施形態で用いている
のは、磁性粉末表面に被膜を形成する防錆金属供給源と
して低沸点の有機金属化合物(MRx;M=金属元素、
R=CmHn)を用い、ステンレス製オートクレーブ等
の密封容器中で当該有機金属化合物を含有する有機溶媒
中に磁性粉末を分散させ熱処理を施すことで、有機金属
化合物を分解、還元し、生成する金属を磁性粉末表面並
びに粒界界面に収着させることにより金属、合金又は金
属間化合物より構成される防錆被膜を形成せしめる方法
である(以下、第二法という)。以下、有機金属化合物
の熱分解による防錆処理を、希土類磁性材料のSm−F
e−N系に対してジエチル亜鉛(Zn(C
を用いて実施した例を以下に示す。なお、有機金属化合
物としては、これ以外にも、Al(C、Ga
(C、In(C、Si(CH
、Ge(CH、Sn(CH、Ti(CH
等を用いることが可能である。
(Embodiment 3) Used in this embodiment.
Is a rust-proof metal source that forms a coating on the surface of the magnetic powder.
And a low-boiling organometallic compound (MRx; M = metal element,
R = CmHn), stainless steel autoclave, etc.
Organic solvent containing the organometallic compound in a sealed container of
By dispersing magnetic powder in it and subjecting it to heat treatment,
Compounds are decomposed and reduced, and the resulting metal is placed on the surface of magnetic powder.
Metal, alloy or gold by sorption at the grain boundary interface
Method for forming antirust coating composed of intergeneric compounds
(Hereinafter referred to as the second method). Below, organometallic compounds
Rust prevention treatment by thermal decomposition of rare earth magnetic material Sm-F
Diethyl zinc (Zn (C2H5)2)
The following is an example of implementation using. In addition, the organometallic compound
Other than this, Al (C2H5)3, Ga
(C2H5)3, In (C2H5)3, Si (CH 3)
4, Ge (CH3)4, Sn (CH3)4, Ti (CH
3)4Etc. can be used.

【0081】Sm−Fe−N系磁性材料を、界面活性剤
を添加した非極性有機溶媒中で湿式ボールミル粉砕する
ことで、雰囲気中からの酸化を受けにくく均一な粉砕が
可能となり、酸素含有量が少なく粒度分布の狭い微粉末
を作製することができる。作製したSm−Fe−N系磁
性微粉末、分散媒としてジエチル亜鉛を含有する非極性
有機溶媒を不活性ガスの充填されたグローブボックス中
でそれぞれオートクレーブ中に導入し、密封する。密封
したオートクレーブを、ジエチル亜鉛の熱分解温度以上
で、種々の時間振とうしながら均一に加熱することでジ
エチル亜鉛を熱分解させ、Sm−Fe−N磁性粉末表面
の被覆を行なう(図16参照)。ここで、ジエチル亜鉛
(Zn(C)の熱分解温度は170℃から2
30℃であることが報告されている(Applied Organome
tallic Chemistry, 5, 337 (1991))。
When the Sm-Fe-N-based magnetic material is wet ball milled in a non-polar organic solvent to which a surfactant has been added, it is hard to be oxidized from the atmosphere and can be uniformly milled. And a fine powder having a small particle size distribution can be produced. The prepared Sm-Fe-N-based magnetic fine powder and a nonpolar organic solvent containing diethylzinc as a dispersion medium are introduced into an autoclave in a glove box filled with an inert gas, and sealed. The sealed autoclave is heated uniformly above the thermal decomposition temperature of diethyl zinc while shaking for various times to thermally decompose diethyl zinc and coat the surface of the Sm-Fe-N magnetic powder (see FIG. 16). ). Here, the thermal decomposition temperature of diethyl zinc (Zn (C 2 H 5 ) 2 ) is 170 ° C. to 2 ° C.
30 ° C (Applied Organome)
tallic Chemistry, 5, 337 (1991)).

【0082】表6に、0.15gのジエチル亜鉛を添加
し熱分解温度より高い種々の加熱温度で行い表面被覆を
施したZn/Sm−Fe−N系磁性粉末の残留磁束密度
Br、保磁力Hcj並びに酸素量を、原料粉末のそれら
と併せて示す。ここで、ジエチル亜鉛の添加量0.15
gは、加熱処理により全て熱分解すると仮定すると磁性
粉末に対して3重量%の被膜金属を生成することができ
る。
Table 6 shows the residual magnetic flux density Br and coercive force of the Zn / Sm-Fe-N-based magnetic powder coated with 0.15 g of diethylzinc and coated at various heating temperatures higher than the thermal decomposition temperature. Hcj and oxygen content are shown together with those of the raw material powder. Here, the addition amount of diethyl zinc was 0.15.
g can generate 3% by weight of the coating metal based on the magnetic powder, assuming that all the thermal decomposition occurs by the heat treatment.

【0083】[0083]

【表6】 [Table 6]

【0084】表6より、本発明による有機金属化合物の
一つであるジエチル亜鉛の熱分解を利用して金属被覆を
施したZn/Sm−Fe−N系磁性微粉末において、熱
分解被覆処理を350℃で行なうことにより保磁力Hc
jの向上がみられた。このような保磁力Hcjの増加
は、前述したようにZn金属の融点(419.6℃)付
近又はそれ以上の温度で加熱処理することでみられ、十
分な保磁力Hcjを得るためには蒸着法あるいは電界メ
ッキ法ではSm−Fe−N磁性粉末に対して約10重量
%以上のZn金属量が必要であったが、本発明における
収着法と同様、有機金属化合物の熱分解により活性な金
属を磁性粉末表面に供給することで、従来の熱処理温度
より低温の350℃から保磁力Hcjの向上がみられ、
さらに被覆する金属量に関しても約2.5重量%程度と
非常に少量のZn金属量でも保磁力Hcjの増加に効果
がみられた。
As shown in Table 6, the Zn / Sm—Fe—N magnetic fine powder coated with metal by utilizing the thermal decomposition of diethylzinc, one of the organometallic compounds according to the present invention, was subjected to the thermal decomposition coating treatment. Coercive force Hc at 350 ° C
j was improved. Such an increase in the coercive force Hcj can be seen by performing a heat treatment at a temperature close to or higher than the melting point (419.6 ° C.) of Zn metal as described above. The method or the electroplating method required an amount of Zn metal of about 10% by weight or more with respect to the Sm-Fe-N magnetic powder. However, similar to the sorption method in the present invention, the active metal is activated by thermal decomposition of the organometallic compound. By supplying metal to the surface of the magnetic powder, the coercive force Hcj is improved from 350 ° C., which is lower than the conventional heat treatment temperature,
Further, the effect of increasing the coercive force Hcj was observed even with a very small amount of Zn metal, about 2.5% by weight, with respect to the amount of metal to be coated.

【0085】一方、本発明における有機金属化合物とし
てジエチル亜鉛の熱分解により生成する金属を用いて防
錆処理を施したZn/Sm−Fe−N系磁性微粉末の残
留磁束密度Brは、前述した収着処理を施したZn/S
m−Fe−N系磁性微粉末のそれと同程度の0.8Tで
あり、蒸着法及び電界メッキ法で被覆処理を施し、引き
続き高保磁力化処理を行った磁性粉末の残留磁束密度B
rと同等あるいはそれ以上の値が得られた。
On the other hand, the residual magnetic flux density Br of the Zn / Sm—Fe—N-based magnetic fine powder that has been subjected to rust-prevention treatment using a metal formed by thermal decomposition of diethyl zinc as the organometallic compound in the present invention is as described above. Zn / S with sorption treatment
0.8T, which is about the same as that of the m-Fe-N-based magnetic fine powder, and the residual magnetic flux density B of the magnetic powder which has been subjected to the coating treatment by the vapor deposition method and the electroplating method and then to the coercive force treatment.
A value equal to or higher than r was obtained.

【0086】また、表6より、本発明による有機金属化
合物の熱分解の手法を用いて作製したZn/Sm−Fe
−N系磁性粉末は、被膜形成処理工程において大幅な酸
素含有量の増加は起こらず、分散媒として用いた有機溶
媒が磁性粉末を分散させると同時に、酸素源から磁性粉
末を遮蔽することで酸化を効果的に抑制することが可能
となる。
From Table 6, it can be seen that Zn / Sm-Fe produced by the method of thermal decomposition of an organometallic compound according to the present invention was used.
-N-based magnetic powder does not cause a significant increase in the oxygen content in the film forming process, and the organic solvent used as the dispersion medium disperses the magnetic powder and simultaneously oxidizes the magnetic powder by shielding the magnetic powder from the oxygen source. Can be effectively suppressed.

【0087】図17に、本発明による有機金属化合物の
熱分解により防錆処理を施したZn/Sm−Fe−N磁
性粉末の保磁力Hcjの大気中、50℃における経時変
化を示す。被覆粉末の比較として、特開平08−143
913号に開示されている有機金属化合物を、光分解を
用いて金属を生成し、これを用いて表面に被膜を形成さ
せる手法によりZn金属被覆を施したSm−Fe−N磁
性粉末の保磁力Hcjの経時変化も併せて示す。特開平
08−143913による手法で被覆を施したZn/S
m−Fe−N系磁性粉末の保磁力Hcjは、大気中、5
0℃では初期値を維持することはできず、徐々に低下し
た。これに対して、本発明による有機金属化合物の熱分
解による防錆処理を施したZn/Sm−Fe−N磁性不
末の保磁力Hcjは、大気中、50℃で放置しても高い
値を維持し、優れた耐環境性を有することが明らかとな
った。
FIG. 17 shows the change with time of the coercive force Hcj of Zn / Sm-Fe-N magnetic powder which has been subjected to rust prevention treatment by thermal decomposition of the organometallic compound according to the present invention at 50 ° C. in the air. As a comparison of the coated powder, see JP-A-08-143.
No. 913, the coercive force of Sm-Fe-N magnetic powder coated with Zn metal by a technique of forming a metal using photolysis and forming a film on the surface using the metal. The change with time of Hcj is also shown. Zn / S coated by a method according to JP-A-08-143913
The coercive force Hcj of the m-Fe-N-based magnetic powder is
At 0 ° C., the initial value could not be maintained and gradually decreased. On the other hand, the coercive force Hcj of the Zn / Sm-Fe-N magnetic powder subjected to the rust prevention treatment by the thermal decomposition of the organometallic compound according to the present invention has a high value even when left at 50 ° C. in the air. It was found to maintain and have excellent environmental resistance.

【0088】(実施の形態4)実施の形態3と類似の第
二法に係る有機金属化合物の熱分解により防錆処理を施
した、希土類磁性材料のNd−Fe−B系に対して実施
した例を以下に示す。表7に、本発明によるジエチル亜
鉛の熱分解により生成する金属を用いて表面被覆を行っ
たNd−Fe−B系磁性粉末の磁気特性を、比較試料と
して特開平08−143913に開示の手法を用いて表
面被覆したNd−Fe−B系磁性粉末の磁気特性を併せ
て示す。
(Embodiment 4) Similar to Embodiment 3, an Nd-Fe-B system of a rare earth magnetic material subjected to a rust-proof treatment by thermal decomposition of an organometallic compound according to the second method was used. An example is shown below. Table 7 shows the magnetic properties of Nd-Fe-B-based magnetic powders whose surfaces were coated using a metal produced by the thermal decomposition of diethylzinc according to the present invention, and the method disclosed in JP-A-08-143913 as a comparative sample. The magnetic properties of the Nd-Fe-B-based magnetic powder coated on the surface are also shown.

【0089】[0089]

【表7】 [Table 7]

【0090】表より、本発明による被覆法を用いて防錆
処理を施したNd−Fe−B磁性粉末は残留磁束密度B
r、保磁力Hcj並びに最大エネルギー積(BH)ma
x値は、依然高い値を保持していたが、原料粉末並びに
特開平08−143913の手法による被覆粉末の値と
比較して有機金属化合物の熱分解温度での加熱処理のた
め若干低い値を示した。しかし、特開平08−1439
13の手法でNd−Fe−B磁性粉末の表面を被覆した
Zn金属量は0.02重量%であった。これに対して、
本発明によるジエチル亜鉛の熱分解で表面被覆を行った
Zn/Nd−Fe−B磁性粉末のZn金属量は0.58
重量%と、特開平08−143913の手法と比較して
大幅に被覆量が向上し、高い磁気特性を保持したまま多
量のZn金属で表面を被覆することが可能であった。
From the table, it can be seen that the Nd—Fe—B magnetic powder that has been subjected to the rust-preventive treatment using the coating method according to the present invention has a residual magnetic flux density B
r, coercive force Hcj and maximum energy product (BH) ma
Although the x value was still high, it was slightly lower due to the heat treatment at the thermal decomposition temperature of the organometallic compound as compared with the values of the raw material powder and the coated powder according to the method of JP-A-08-143913. Indicated. However, Japanese Patent Application Laid-Open No. 08-1439
The amount of Zn metal covering the surface of the Nd-Fe-B magnetic powder by the method of No. 13 was 0.02% by weight. On the contrary,
The Zn / Nd-Fe-B magnetic powder surface-coated by pyrolysis of diethylzinc according to the present invention has a Zn metal content of 0.58.
By weight, the coating amount was greatly improved as compared with the method of JP-A-08-143913, and it was possible to coat the surface with a large amount of Zn metal while maintaining high magnetic properties.

【0091】図18に、本発明による有機金属化合物の
熱分解で表面被覆を施したZn/Nd−Fe−B磁性粉
末の断面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真を示す。図
19並びに表8は、図18の磁性粉末表面から内部方向
へのネオジウムNd並びにZnの存在比を電子プローブ
X線マイクロアナライザ(EPMA)により測定した結
果である。これより、ジエチル亜鉛の熱分解により生成
し、磁性粉末表面に析出したZnは、熱分解処理温度で
表面から内部に拡散しており、一方、磁性材料の構成成
分であるNdは表面へ拡散していることから、有機金属
化合物であるジエチル亜鉛の熱分解により表面に析出し
たZn金属は、熱分解処理温度において磁性材料の構成
成分と相互拡散し、より密着性の高い防錆被膜を形成し
ていることがわかる。
FIG. 18 shows a scanning electron microscope (SEM) photograph of a cross section of the Zn / Nd—Fe—B magnetic powder whose surface is coated by thermal decomposition of the organometallic compound according to the present invention. FIG. 19 and Table 8 show the results obtained by measuring the abundance ratios of neodymium Nd and Zn from the surface of the magnetic powder in FIG. 18 to the inside using an electron probe X-ray microanalyzer (EPMA). Thus, Zn generated by the thermal decomposition of diethyl zinc and deposited on the surface of the magnetic powder diffuses from the surface to the inside at the thermal decomposition temperature, while Nd, which is a component of the magnetic material, diffuses to the surface. Therefore, the Zn metal deposited on the surface by the thermal decomposition of diethylzinc, which is an organometallic compound, interdiffuses with the constituents of the magnetic material at the thermal decomposition treatment temperature to form a more adhesive rust-proof coating. You can see that it is.

【0092】[0092]

【表8】 [Table 8]

【0093】本発明による有機金属化合物の熱分解を利
用した収着法を用いて防錆処理を施したZn/Nd−F
e−B磁性粉末を原料とした異方性樹脂ボンド磁石を試
作し、これの大気中、80℃における磁束密度の経時変
化を追跡し減磁率を計測した。その結果を、未処理のN
d−Fe−B磁性粉末を原料とした樹脂ボンド磁石の同
じ条件における減磁率を併せて図20に示す。これよ
り、本発明による被覆法で表面被覆したNd−Fe−B
磁性粉末を用いたボンド磁石は、長期間高い磁束密度を
維持し、高い耐環境性を有することがわかった。
The Zn / Nd-F which has been subjected to a rust-preventive treatment using a sorption method utilizing the thermal decomposition of an organometallic compound according to the present invention.
A prototype of an anisotropic resin-bonded magnet using e-B magnetic powder as a raw material was produced, and the change over time of the magnetic flux density at 80 ° C. in the atmosphere was tracked to measure the demagnetization rate. The result is the unprocessed N
FIG. 20 also shows the demagnetization ratio of the resin-bonded magnet using d-Fe-B magnetic powder as a raw material under the same conditions. Thus, Nd-Fe-B surface-coated by the coating method according to the present invention
It was found that the bonded magnet using the magnetic powder maintained a high magnetic flux density for a long time and had high environmental resistance.

【0094】[0094]

【発明の効果】本発明では、合金及び金属間化合物系磁
性材料の表面防錆処理として従来用いられてきた手法で
は、粉末表面に対して平面(2次元)的に被膜金属の析
出が進行するため斑が生じ、表面を完全に覆うためには
多量の被覆金属が必要であったことに対して、希土類磁
性材料の表面処理を3次元的に金属を析出させることで
行なうことにより、均一で耐食性に優れた防錆被膜の作
製が可能であると共に、被覆金属量の低減化がなされ非
磁性金属の引き起こす希釈効果による磁化の低下も避け
ることができ高磁化の磁性材料が作製される。さらに、
表面近傍における被覆金属と構成成分との相互拡散も従
来の手法と比較して低温で進行するため、高温での熱処
理を施すことなく密着性の高い被膜が形成され大幅な磁
気特性の低下が避けられることに加えて、一段階で磁気
特性が向上するため多段階での複雑なプロセスが不要と
なる。
According to the present invention, the deposition of the coating metal proceeds in a plane (two-dimensional) manner on the surface of the powder in the method conventionally used for the surface rust prevention treatment of the alloy and the intermetallic compound magnetic material. Therefore, a large amount of coating metal was required to completely cover the surface, but the surface treatment of the rare-earth magnetic material was performed by depositing the metal in a three-dimensional manner. It is possible to produce a rust-preventive coating having excellent corrosion resistance and to reduce the amount of coated metal, thereby avoiding a decrease in magnetization due to a dilution effect caused by a non-magnetic metal, thereby producing a magnetic material having high magnetization. further,
Interdiffusion between the coating metal and the constituent components near the surface also proceeds at a lower temperature compared to the conventional method, so that a coating with high adhesion is formed without performing a heat treatment at a high temperature, and a significant decrease in magnetic properties is avoided. In addition to that, the magnetic properties are improved in one step, so that a complicated process in multiple steps is not required.

【0095】すなわち、本発明では、酸化により磁気特
性の劣化が生じる合金及び金属間化合物系磁性材料に対
して、密封容器中で加熱により活性の高い金属を粉末表
面に供給することで、材料の複雑な立体部位表面に隈な
く金属が析出し、均一な防錆被膜を形成することができ
ることに加え、従来の手法に比べ低温でも下地となる磁
性材料の構成成分との相互拡散及び反応が進行し、磁気
特性の向上が可能となる。さらに、このように生成した
金属防錆被膜は、対象とする磁性材料の不可避的な酸化
を効果的に抑制し、それら本来の高い磁気特性を大気中
でも維持することに有効である。これにより、磁性材料
の応用分野として近年その需要を拡大してきているボン
ド磁石の高性能化並びに高耐食性化に大きく貢献するこ
とが期待できる。
That is, in the present invention, a highly active metal is supplied to the powder surface by heating in an airtight container with respect to the alloy and the intermetallic compound magnetic material whose magnetic properties are degraded by oxidation. In addition to being able to form a uniform rust-preventive coating on the surface of a complex three-dimensional part, metal diffusion and interdiffusion and reaction with the components of the underlying magnetic material proceed even at lower temperatures compared to conventional methods. Thus, the magnetic characteristics can be improved. Further, the metal rust preventive film thus formed is effective in effectively suppressing inevitable oxidation of the target magnetic material and maintaining its original high magnetic properties even in the atmosphere. This is expected to greatly contribute to higher performance and higher corrosion resistance of bonded magnets, which have been increasing in demand in recent years as application fields of magnetic materials.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明における収着法に用いた装置の概要図で
ある。
FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus used for a sorption method in the present invention.

【図2】本発明における収着法の密封容器の断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view of a sealed container of a sorption method according to the present invention.

【図3】Zn金属蒸気を、収着法を用いることで表面処
理を施したSm−Fe−N系磁性微粉末の残留磁束密度
Br並びに保磁力Hcjの処理温度に対する依存性であ
る。
FIG. 3 shows the dependence of the residual magnetic flux density Br and the coercive force Hcj on the processing temperature of a Sm—Fe—N-based magnetic fine powder that has been surface-treated with Zn metal vapor by using a sorption method.

【図4】本発明による収着法を用いて被覆したZn/S
m−Fe−N系被覆粉末の保磁力のZn金属量依存性で
ある。
FIG. 4 shows Zn / S coated using the sorption method according to the invention.
It is Zn metal amount dependence of the coercive force of m-Fe-N type coating powder.

【図5】本発明の収着法で、処理温度を350℃と固定
し、収着処理時間を変化させた時のZn/Sm−Fe−
N系磁性粉末の保磁力Hcjの変化である。
FIG. 5 shows Zn / Sm—Fe— when the treatment temperature was fixed at 350 ° C. and the sorption treatment time was changed by the sorption method of the present invention.
This is a change in the coercive force Hcj of the N-based magnetic powder.

【図6】本発明による収着法を用いて表面にZn金属の
被膜を形成させた磁性微粉末の走査型電子顕微鏡写真で
ある。
FIG. 6 is a scanning electron micrograph of a magnetic fine powder having a surface coated with Zn metal by using the sorption method according to the present invention.

【図7】本発明による収着法を用いて防錆処理を施した
Sm−Fe−N系磁性微粉末と防錆処理を施さないSm
−Fe−N系磁性微粉末の薄膜X線パターンである。
FIG. 7 shows a Sm-Fe-N-based magnetic fine powder which has been subjected to rust-prevention treatment using the sorption method according to the present invention, and Sm which has not been subjected to rust-prevention treatment.
3 is a thin film X-ray pattern of a Fe—N-based magnetic fine powder.

【図8】本発明によるZn金属蒸気の収着法を用いて表
面処理を施したSm−Fe−N系磁性微粉末並びに特開
平08−143913号に開示されている手法で被覆を
施したSm−Fe−N系磁性微粉末の大気中、50℃に
おける保磁力Hcjの経時変化である。
FIG. 8 shows a Sm—Fe—N-based magnetic fine powder surface-treated by using the Zn metal vapor sorption method according to the present invention and a Sm coated by the method disclosed in JP-A-08-143913. -Coercive force Hcj of the Fe-N based magnetic fine powder in air at 50 ° C over time.

【図9】本発明によるZn金属蒸気の収着法を用いて表
面処理を施したNd−Fe−B系磁性微粉末の撮影倍率
1500倍のFE−SEM組成像である。
FIG. 9 is an FE-SEM composition image of a Nd—Fe—B-based magnetic fine powder surface-treated using a Zn metal vapor sorption method according to the present invention at a magnification of 1500 times.

【図10】本発明によるZn金属蒸気の収着法を用いて
表面処理を施したNd−Fe−B系磁性微粉末の撮影倍
率5000倍のFE−SEM組成像である。
FIG. 10 is an FE-SEM composition image of a Nd—Fe—B-based magnetic fine powder subjected to surface treatment using a Zn metal vapor sorption method according to the present invention at a magnification of 5000 times.

【図11】本発明によるZn金属蒸気の収着法を用いて
表面処理を施したNd−Fe−B系磁性微粉末の撮影倍
率35000倍のFE−SEM組成像である。
FIG. 11 is an FE-SEM composition image of a Nd—Fe—B-based magnetic fine powder surface-treated using a Zn metal vapor sorption method according to the present invention at a magnification of 35,000 times.

【図12】本発明によるZn金属蒸気の収着法を用いて
表面処理を施したNd−Fe−B系磁性微粉末の撮影倍
率25000倍のTEM明視野像である。
FIG. 12 is a TEM bright-field image of a Nd—Fe—B-based magnetic fine powder subjected to a surface treatment using a Zn metal vapor sorption method according to the present invention at a magnification of 25,000 times.

【図13】本発明の収着法により被覆したZn/Nd−
Fe−B系磁性粉末と、原料として用いたNd−Fe−
B系磁性粉末の減磁曲線である。
FIG. 13 shows Zn / Nd− coated by the sorption method of the present invention.
Fe-B based magnetic powder and Nd-Fe-
It is a demagnetization curve of B type magnetic powder.

【図14】本発明の収着法で防錆処理を施したNd−F
e−B系磁性粉末を原料とした圧縮成形樹脂ボンド磁石
の大気中、80℃における磁束密度(減磁率)の経時変
化である。
FIG. 14: Nd-F subjected to rust prevention treatment by the sorption method of the present invention
It is a time-dependent change of a magnetic flux density (demagnetization rate) at 80 ° C. in the atmosphere of a compression-molded resin-bonded magnet using an EB-based magnetic powder as a raw material.

【図15】本発明の収着法で防錆処理を施したNd−F
e−B系磁性粉末を原料とした圧縮成形樹脂ボンド磁石
の大気中、120℃における磁束密度(減磁率)の経時
変化である。
FIG. 15: Nd-F subjected to rust prevention treatment by the sorption method of the present invention
It is a time-dependent change of a magnetic flux density (demagnetization rate) at 120 ° C. in the air of a compression-molded resin-bonded magnet using an eB-based magnetic powder as a raw material.

【図16】本発明における有機金属化合物の熱分解に用
いるオートクレーブ容器内での防錆処理スキームであ
る。
FIG. 16 is a rust prevention scheme in an autoclave container used for thermal decomposition of an organometallic compound in the present invention.

【図17】本発明による有機金属化合物の熱分解により
防錆処理を施したZn/Sm−Fe−N磁性粉末の保磁
力Hcjの大気中、50℃における経時変化である。
FIG. 17 is a time-dependent change in the coercive force Hcj of a Zn / Sm—Fe—N magnetic powder that has been subjected to rust prevention treatment by thermal decomposition of an organometallic compound according to the present invention at 50 ° C. in air.

【図18】本発明による有機金属化合物の熱分解で被覆
を施したZn/Nd−Fe−B磁性粉末の断面の走査型
電子顕微鏡(SEM)写真である。
FIG. 18 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of a cross section of a Zn / Nd—Fe—B magnetic powder coated by thermal decomposition of an organometallic compound according to the present invention.

【図19】図3のZn/Nd−Fe−B磁性粉末表面か
ら内部方向へのネオジウムNd並びにZnの存在比を電
子プローブX線マイクロアナライザ(EPMA)により
測定した結果である。
FIG. 19 shows the results of measuring the abundance ratios of neodymium Nd and Zn from the surface of the Zn / Nd—Fe—B magnetic powder in FIG. 3 to the inside using an electron probe X-ray microanalyzer (EPMA).

【図20】本発明による有機金属化合物の熱分解を用い
て防錆処理を施したZn/Nd−Fe−B磁性粉末を原
料とした異方性樹脂ボンド磁石の大気中、80℃におけ
る磁束密度の経時変化である。
FIG. 20 shows a magnetic flux density at 80 ° C. in the air of an anisotropic resin bonded magnet made of Zn / Nd—Fe—B magnetic powder that has been subjected to rust-proofing treatment by thermal decomposition of an organometallic compound according to the present invention. Over time.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 町田 憲一 大阪府箕面市粟生間谷西1丁目4番地グリ ーンヒル東箕面5棟401号室 (72)発明者 野口 健児 愛知県東海市横須賀町扇島4番地1 愛知 製鋼株式会社横須賀寮611号室 (72)発明者 西村 真史 京都府八幡市川口馬屋尻23番地5 (72)発明者 濱口 優 兵庫県宝塚市口谷東1番地17丁目1号リバ ティパレス401号室 (72)発明者 桑野 範之 福岡県春日市紅葉丘東8丁目92番地 (72)発明者 板倉 賢 福岡県福岡市中央区高砂1丁目19番24号ラ イオンズプラザ渡辺通り1002 Fターム(参考) 4K018 BA18 BB06 BC25 BC35 BD01 GA04 KA46 5E040 AA03 AA04 CA01 HB15 HB17 NN03 NN06 NN18  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Kenichi Machida, Inventor Kenichi Noguchi, Room 401, Green Hill Higashi-Mino, 1-4 1-4 Aowamatanishi, Minoh-shi, Osaka (72) Inventor Kenji 4-1-1 Ogishima, Yokosuka-cho, Tokai-shi, Aichi Prefecture Aichi Steel Corporation Yokosuka Dormitory Room 611 (72) Inventor Masafumi Nishimura 23-5 Kawaguchimayajiri, Yawata City, Kyoto Prefecture (72) Inventor Yu Yu Hamaguchi 17-1 1-1 Kutani Higashi, Takarazuka City, Hyogo Pref. 72) Inventor Noriyuki Kuwano 8-92, Momijioka, Kasuga-shi, Fukuoka Prefecture (72) Ken Itakura 1-19-24 Takasago, Chuo-ku, Fukuoka-shi, Fukuoka 1002 F-term, Aeons Plaza Watanabe Dori 4K018 BA18 BB06 BC25 BC35 BD01 GA04 KA46 5E040 AA03 AA04 CA01 HB15 HB17 NN03 NN06 NN18

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁性合金又は磁性金属間化合物からな
り、粉末粒子内に磁性材料相の結晶粒界を有する磁性材
料粉末と、該磁性材料粉末に対する防錆作用を有した金
属成分(以下、防錆金属成分という)の供給源(以下、
防錆金属供給源という)とを混合状態で密封容器内に入
れ、 その状態で前記密封容器内を非酸化性雰囲気に維持しつ
つ昇温して、前記金属供給源から前記防錆金属成分を前
記磁性材料粉末の粒子表面に供給することにより、粒子
表面に前記防錆金属成分を主体とする防錆層を形成する
とともに、粉末粒子内部の前記結晶粒界に沿う領域に
も、前記防錆金属成分を主体とする防錆層を形成して、
防錆層付き磁性材料粉末を得ることを特徴とする磁性材
料の製造方法。
1. A magnetic material powder comprising a magnetic alloy or a magnetic intermetallic compound and having crystal grain boundaries of a magnetic material phase in powder particles, and a metal component having a rust-preventive action on the magnetic material powder (hereinafter referred to as a "anti-rust"). Rust metal component)
And a rust-proof metal source) in a sealed state in a sealed container. In this state, the temperature is increased while maintaining the inside of the sealed container in a non-oxidizing atmosphere, and the rust-preventive metal component is removed from the metal source. By supplying to the particle surface of the magnetic material powder, a rust-preventive layer mainly composed of the rust-preventive metal component is formed on the particle surface, and the rust-preventive layer is also formed in a region along the crystal grain boundary inside the powder particle. Form a rust-preventive layer mainly composed of metal components,
A method for producing a magnetic material, characterized by obtaining a magnetic material powder having a rustproof layer.
【請求項2】 粒子表面から一定深さまでの粒子表層部
に前記防錆金属成分を浸透させることにより、前記粒子
表層部に存在する結晶粒界に沿って前記防錆層を形成す
る請求項1記載の磁性材料の製造方法。
2. The rust-preventive layer is formed along crystal grain boundaries existing in the surface of the particle by infiltrating the rust-preventive metal component into the surface of the particle from the particle surface to a certain depth. A method for producing the magnetic material described above.
【請求項3】 前記防錆金属成分は金属蒸気の形で前記
磁性材料粉末の粒子表面に供給される請求項1又は2に
記載の磁性材料の製造方法。
3. The method for producing a magnetic material according to claim 1, wherein the rust-preventive metal component is supplied to a particle surface of the magnetic material powder in the form of a metal vapor.
【請求項4】 前記防錆金属供給源を、前記防錆金属成
分を含有した金属インゴット又は粉末とし、前記密封容
器内を減圧ならびに昇温して、前記金属インゴット又は
粉末からの前記防錆金属成分の気化を促進する請求項1
ないし3のいずれか1項に記載の磁性材料の製造方法。
4. The rust-proof metal from the metal ingot or powder by reducing the pressure in the sealed container and raising the temperature in the sealed container, wherein the rust-proof metal supply source is a metal ingot or powder containing the rust-proof metal component. Claim 1 which promotes the vaporization of the components.
4. The method for producing a magnetic material according to any one of items 3 to 3.
【請求項5】 前記密封容器内を、前記防錆金属のイン
ゴット又は粉末の融点以上に加熱する請求項4記載の磁
性材料の製造方法。
5. The method for producing a magnetic material according to claim 4, wherein the inside of the sealed container is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the ingot or powder of the rustproof metal.
【請求項6】 前記防錆金属としてZnが使用される請
求項1ないし5のいずれか1項に記載の磁性材料の製造
方法。
6. The method for producing a magnetic material according to claim 1, wherein Zn is used as the rust-preventive metal.
【請求項7】 前記密封容器内の温度を300〜500
℃に昇温する請求項6記載の磁性材料の製造方法。
7. The temperature in the sealed container is 300 to 500.
The method for producing a magnetic material according to claim 6, wherein the temperature is raised to ° C.
【請求項8】 前記防錆金属供給源として、前記防錆金
属成分の有機金属化合物を使用する請求項1ないし3の
いずれか1項に記載の磁性材料の製造方法。
8. The method for producing a magnetic material according to claim 1, wherein an organic metal compound of the rustproof metal component is used as the rustproof metal supply source.
【請求項9】 前記密封容器内において、前記有機金属
化合物を含有した有機溶媒中に前記磁性材料粉末を分散
させた状態で昇温することにより前記有機金属化合物を
分解・還元し、生成する防錆金属を前記磁性材料粉末の
粒子表面に供給する請求項8記載の磁性材料の製造方
法。
9. A method in which the temperature of the magnetic material powder is dispersed in an organic solvent containing the organometallic compound in the hermetically sealed container and the temperature is raised, whereby the organometallic compound is decomposed and reduced, thereby preventing the organometallic compound from being generated. The method for producing a magnetic material according to claim 8, wherein rust metal is supplied to the particle surface of the magnetic material powder.
【請求項10】 前記有機金属化合物に含有される前記
防錆金属成分は、Al、In及びZnの1種又は2種以
上を主体とするものである請求項8又は9に記載の磁性
材料の製造方法。
10. The magnetic material according to claim 8, wherein the rust-preventive metal component contained in the organometallic compound is mainly composed of one or more of Al, In, and Zn. Production method.
【請求項11】 前記有機金属化合物は、Al、Ga、
In、Si、Ge、Sn、Ti及びZnの1種又は2種
以上からなる防錆金属原子Mに有機鎖CmHnが結合し
たものであり、その有機鎖CmHnに含まれる炭素原子
数mが1以上のものが使用される請求項10記載の磁性
材料の製造方法。
11. The organic metal compound may be Al, Ga,
An organic chain CmHn is bonded to a rust-preventive metal atom M composed of one or more of In, Si, Ge, Sn, Ti and Zn, and the number m of carbon atoms contained in the organic chain CmHn is 1 or more. The method for producing a magnetic material according to claim 10, wherein:
【請求項12】 前記密封容器内において、第一温度に
昇温することにより前記防錆層を形成した後、前記第一
温度よりも高温の第二温度に昇温して引き続き熱処理を
行なう請求項1ないし11のいずれか1項に記載の磁性
材料の製造方法。
12. The method according to claim 1, wherein the rust prevention layer is formed in the sealed container by raising the temperature to a first temperature, and then the heat treatment is performed by raising the temperature to a second temperature higher than the first temperature. Item 12. The method for producing a magnetic material according to any one of Items 1 to 11.
【請求項13】 前記磁性材料粉末は、希土類を含有す
る合金又は金属間化合物からなる請求項1ないし12の
いずれか1項に記載の磁性材料の製造方法。
13. The method of manufacturing a magnetic material according to claim 1, wherein the magnetic material powder is made of an alloy or an intermetallic compound containing a rare earth.
【請求項14】 前記磁性材料粉末は、Sm−Fe−N
系金属間化合物又はNd−Fe−TM(遷移金属)−N
系金属間化合物を主体とするものである請求項13記載
の磁性材料の製造方法。
14. The magnetic material powder according to claim 1, wherein the magnetic material powder is Sm—Fe—N.
-Based intermetallic compound or Nd-Fe-TM (transition metal) -N
14. The method for producing a magnetic material according to claim 13, wherein the method mainly comprises a system intermetallic compound.
【請求項15】 前記磁性材料粉末は、Nd−Fe−B
系金属間化合物を主体とするものである請求項13記載
の磁性材料の製造方法。
15. The magnetic material powder comprises Nd—Fe—B.
14. The method for producing a magnetic material according to claim 13, wherein the method mainly comprises a system intermetallic compound.
【請求項16】 前記Nd−Fe−B系金属間化合物を
主体とする前記磁性材料粉末は、HDDR法により製造
されたものが使用される請求項15記載の磁性材料の製
造方法。
16. The method for producing a magnetic material according to claim 15, wherein the magnetic material powder mainly composed of the Nd—Fe—B-based intermetallic compound is produced by an HDDR method.
【請求項17】 前記防錆層付き磁性材料粉末を樹脂結
合してボンド磁石とする請求項1ないし16のいずれか
1項に記載の磁性材料の製造方法。
17. The method for producing a magnetic material according to claim 1, wherein the magnetic material powder having a rust-preventive layer is resin-bonded to form a bonded magnet.
【請求項18】 磁性合金又は磁性金属間化合物からな
り、粒子内に結晶粒界を有する磁性材料粉末の、粒子表
層部と粒子内部における前記結晶粒界及に沿う領域と
に、前記防錆金属成分を主体とする防錆層が形成された
ことを特徴とする防錆層付き磁性材料粉末。
18. The rust-preventive metal in a magnetic material powder made of a magnetic alloy or a magnetic intermetallic compound and having a grain boundary in a particle, in a surface layer portion of the particle and in a region along the grain boundary inside the particle. A magnetic material powder having a rust-preventive layer, wherein a rust-preventive layer mainly composed of components is formed.
【請求項19】 前記結晶粒界に沿って形成される前記
防錆層の量が、粒子表層部において粒子内部よりも多く
されてなる請求項18記載の防錆層付き磁性材料粉末。
19. The magnetic material powder with a rust-preventive layer according to claim 18, wherein the amount of the rust-preventive layer formed along the crystal grain boundaries is larger than the inside of the particle at the surface portion of the particle.
【請求項20】 前記磁性材料粉末粒子の表層部におい
て、厚さが5nm〜50μmとなるように前記防錆層が
形成されてなる請求項18又は19に記載の防錆層付き
磁性材料粉末。
20. The magnetic material powder with a rust-preventive layer according to claim 18, wherein the rust-preventive layer is formed so as to have a thickness of 5 nm to 50 μm in a surface layer portion of the magnetic material powder particles.
【請求項21】 前記結晶粒界に沿って形成される前記
防錆層の、粒子表面からの浸透深さが1μm〜10μm
の範囲である請求項18ないし20のいずれか1項に記
載の防錆層付き磁性材料粉末。
21. The rust-preventive layer formed along the crystal grain boundaries has a penetration depth from the particle surface of 1 μm to 10 μm.
The magnetic material powder with a rust-proof layer according to any one of claims 18 to 20, which is in the range of:
【請求項22】 前記結晶粒界に沿って形成される前記
防錆層の厚さが1〜100nmである請求項18ないし
21のいずれか1項に記載の防錆層付き磁性材料粉末。
22. The magnetic material powder with a rust preventive layer according to claim 18, wherein the thickness of the rust preventive layer formed along the crystal grain boundaries is 1 to 100 nm.
【請求項23】 前記防錆金属成分は、Al、Ga、I
n、Si、Ge、Sn、Ti及びZnの1種又は2種以
上を主体とするものである請求項18ないし22のいず
れか1項に記載の防錆層付き磁性材料粉末。
23. The rust-preventive metal component comprises Al, Ga, I
23. The magnetic material powder with a rust-preventive layer according to any one of claims 18 to 22, wherein one or more of n, Si, Ge, Sn, Ti, and Zn are mainly used.
【請求項24】 前記磁性材料粉末は、Sm−Fe−N
系金属間化合物又はNd−Fe−TM(遷移金属)−N
系金属間化合物を主体とするものである請求項18ない
し23のいずれか1項に記載の防錆層付き磁性材料粉
末。
24. The magnetic material powder, comprising Sm—Fe—N
-Based intermetallic compound or Nd-Fe-TM (transition metal) -N
24. The magnetic material powder with a rust-preventive layer according to any one of claims 18 to 23, which is mainly composed of a system intermetallic compound.
【請求項25】 前記磁性材料粉末は、Nd−Fe−B
系金属間化合物を主体とするものである請求項18ない
し23のいずれか1項に記載の防錆層付き磁性材料粉
末。
25. The magnetic material powder, comprising Nd—Fe—B
24. The magnetic material powder with a rust-preventive layer according to any one of claims 18 to 23, which is mainly composed of a system intermetallic compound.
【請求項26】 請求項18ないし25のいずれか1項
に記載の防錆層付き磁性材料粉末を樹脂結合したことを
特徴とするボンド磁石。
26. A bonded magnet, wherein the magnetic material powder with a rust-proof layer according to claim 18 is resin-bonded.
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