JP2002100666A - ステージの昇降装置 - Google Patents

ステージの昇降装置

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JP2002100666A JP2000288069A JP2000288069A JP2002100666A JP 2002100666 A JP2002100666 A JP 2002100666A JP 2000288069 A JP2000288069 A JP 2000288069A JP 2000288069 A JP2000288069 A JP 2000288069A JP 2002100666 A JP2002100666 A JP 2002100666A
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 荷重に対する剛性を高めたステージの昇降装
置を実現する。 【解決手段】 ステージを固定部材にZ軸方向へ移動自
在に支持する軸受と、ステージをZ軸方向に移動する昇
降機構とを有するステージの昇降装置において、軸受
は、ステージと固定部材がなす微小間隙に圧縮空気を充
満させ、この圧縮空気によりステージをZ軸方向に移動
自在に支持するエアベアリングで構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハプローバ、
ストリップハンドラ等に用いられ、ステージをZ軸方向
(上下方向)に移動するステージの昇降装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】例えば、ウエハプローバに用いられるス
テージの昇降装置では、ステージ上に検査対象のウエハ
を載せ、プローバのピンがウエハに当たる位置までステ
ージを昇降する。ステージが位置決めされたところでウ
エハのチップにプローバのピンを順番に当てていき、検
査を行う。
【0003】図8は従来におけるステージの昇降装置の
構成例を示した図である。図8で、ステージ10上には
ウエハのような検証対象が載せられる。移動部材11
は、ステージ10と連結されている。ボールスプライン
12は、移動部材11を固定部材13にZ軸方向に移動
自在に支持している。モータ14はベルト15を介して
動力を伝達し、駆動軸16を回転駆動する。駆動軸16
には雄ねじ17が切られている。移動部材11には、雄
ねじ17が螺合される雌ねじ18が切られている。雄ね
じ17と雌ねじ18の間に形成された螺旋状の溝の中に
ボール(図示せず)を配列し、このボールが循環できる
ように溝を形成することによって、ボールねじを構成し
ている。
【0004】図8の装置では、モータ14はベルト15
を介して回転動力を駆動軸16に伝達する。駆動軸16
の回転動力はボールねじにより直進移動に変換され、こ
の直進移動を動力として移動部材11がZ軸方向に昇降
する。ステージ10は移動部材11とともにZ軸方向に
昇降する。
【0005】ステージにかかる荷重が大きくなるに従っ
て、ボールスプライン12に要求される剛性が高くな
る。特に、ステージに偏荷重がかかったときは、剛性が
低いとステージが傾斜してしまう。傾斜すると、ステー
ジ上のウエハにプローバピンが当たる位置がずれてしま
う。このため、偏荷重に対して高い剛性が要求される。
図8の従来装置では、 ボールスプライン12の部分での接触面積を大きくし
て余圧を高める 加工精度を高めてボールスプライン12の部分でのギ
ャップを狭める ことによって、剛性を高めている。
【0006】しかし、ボールスプラインは点接触である
ため、接触面積を大きくすることは難しかった。また、
高い加工精度での組立が難しい。ボールスプラインは本
質的に可動機構を持っているため、ギャップは必要で、
剛性を高めることにも限界があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、エアベアリン
グによりステージをZ軸方向へ移動自在に支持すること
によって、荷重に対する剛性を高めたステージの昇降装
置を実現することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になったステージの昇降装置である。
【0009】(1)ステージを固定部材にZ軸方向へ移
動自在に支持する軸受と、ステージをZ軸方向に移動す
る昇降機構とを有するステージの昇降装置において、前
記軸受は、前記ステージと固定部材がなす微小間隙に圧
縮空気を充満させ、この圧縮空気によりステージをZ軸
方向に移動自在に支持するエアベアリングで構成したこ
とを特徴とするステージの昇降装置。
【0010】(2)ステージのZ軸方向の位置を検出す
る位置センサと、Z軸方向の位置指令値と前記位置セン
サの位置検出値の偏差をもとにステージのZ軸方向の位
置をフィードバック制御する位置制御部を有することを
特徴とする(1)記載のステージの昇降装置。
【0011】(3)前記ステージと固定部材の一方の側
壁を2重に設け、2重にした側壁で前記ステージと固定
部材の他方の側壁を両側から挟み込み、2重にした側壁
で前記他方の側壁の両側に微小間隙を形成し、各微小間
隙に圧縮空気を充満させてエアベアリングを2重化した
ことを特徴とする(1)記載のステージの昇降装置。
【0012】(4)前記昇降機構は、雄ねじと雌ねじの
間隙に圧縮空気を充満させ、この圧縮空気に雄ねじと雌
ねじのねじ山が接触している構成になった静圧ねじを有
し、モータの回転を前記静圧ねじにより直進移動に変
え、直進移動によりステージをZ軸方向に移動する構成
をなすことを特徴とする(1)記載のステージの昇降装
置。
【0013】(5)前記モータの出力軸を支持するクロ
スローラ軸受を設けたことを特徴とする(4)記載のス
テージの昇降装置。
【0014】(6)ステージをZ軸方向に移動するステ
ージの昇降装置において、上面に検査対象のデバイスが
載せられ、下面に第1の曲面部が形成された載置台と、
前記第1の曲面部を収容し得る形状になった第2の曲面
部が形成された支持台と、前記第1の曲面部と第2の曲
面部の間隙に圧縮空気を充満させ、この圧縮空気により
載置台を支持台上に浮揚させ、載置台を傾斜自在に支持
する曲面エアベアリングと、第1の曲面部と第2の曲面
部の間隙に対して真空吸引して載置台を支持台に固定す
るロック手段と、を有し、プローブカードのピンが前記
デバイスに押し当てられると、デバイスはプローブカー
ドと平行になる姿勢をとり、デバイスに押し当てられる
各ピンの接触圧を均一化し、均一化したときに前記ロッ
ク手段は載置台の姿勢をロックすることを特徴とするス
テージの昇降装置。
【0015】(7)ステージをZ軸方向に移動する昇降
機構と、ステージをX軸方向及びY軸方向に位置決めす
る位置決め部とを有するステージの昇降装置において、
ステージに加わる荷重の大きさと、ステージのX軸方向
及びY軸方向の位置ずれ量とを対応させた補正テーブル
を格納し、この補正テーブルはステージの位置に応じて
設けられている補正テーブル用メモリと、ステージに加
わる荷重を検出する荷重センサと、ステージのX軸方向
及びY軸方向の位置を検出する位置センサと、荷重が加
わるステージの位置から補正テーブルを選択し、選択し
た補正テーブルを用いて前記荷重センサの検出荷重から
位置ずれ量を読み出すずれ量算出手段と、このずれ量算
出手段で読み出した位置ずれ量で補正した位置指令値
と、前記位置センサの検出位置の偏差をもとにステージ
のX軸方向及びY軸方向の位置をフィードバック制御
し、荷重による位置ずれを補正する位置制御部と、を有
することを特徴とするステージの昇降装置。
【0016】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図1で、ステージ30上にはウエハのような検証対
象が載せられる。固定部材31はステージ30を収容す
る形状をしている。ステージ30の側壁301と固定部
材31の側壁311の間に微小間隙32を形成してい
る。空気供給手段33は、微小間隙32に圧縮空気を充
満させる。この圧縮空気によりステージ30をZ軸方向
に移動自在に支持するエアベアリングが構成される。
【0017】モータ34は駆動軸35を回転駆動する。
駆動軸35には雄ねじ36が切られている。軸受37は
駆動軸35を支持する。軸受37は、例えば、スラスト
方向とラジアル方向の荷重を受けるクロスローラ軸受で
ある。ステージ30と連結された部材38には、雄ねじ
36が螺合される雌ねじ39が切られている。雄ねじ3
6と雌ねじ39の間に形成された螺旋状の溝の中にボー
ル(図示せず)を配列し、このボールが循環できるよう
に溝を形成することによって、ボールねじを構成してい
る。
【0018】位置センサ40は、ステージ30のZ軸方
向の位置を検出する。位置センサ40は、例えば、リニ
ア式の光学式エンコーダ、リニア式の磁気レゾルバ、磁
歪式ポテンショメータ等である。減算器41は、Z軸方
向の位置指令値と位置センサ40の位置検出値の偏差を
とる。位置制御部42は、減算器41でとった偏差もと
にステージのZ軸方向の位置をフィードバック制御す
る。
【0019】図1の装置では、モータ34は駆動軸35
を回転駆動する。駆動軸35の回転動力はボールねじに
より直進移動に変換され、この直進移動を動力としてス
テージ30がZ軸方向に昇降する。位置センサ40は、
ステージ30のZ軸方向の位置を検出し、位置制御部4
2は、Z軸方向の位置指令値と位置センサ40の位置検
出値の偏差をもとにステージのZ軸方向の位置をフィー
ドバック制御する。これによって、ステージ30が荷重
により下方にずれても、この位置ずれが補正される。
【0020】図2は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図2の実施例では、ステージ30の側壁を2重に
設けている。2重にした側壁301と311で固定部材
31の側壁312を両側から挟み込んでいる。側壁31
2の両側に微小間隙321と322を形成する。空気供
給手段33により微小間隙321と322に圧縮空気を
充満させる。これによって、エアベアリングを2重化す
る。このように構成すると、ステージ30及び固定部材
31は、ベアリング部分との接触面積が2倍になるた
め、ステージの荷重に対する剛性を2倍に高めることが
できる。
【0021】図3は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。この実施例では、ボールねじの代わりに静圧ねじ
を用いている。静圧ねじは次のとおりの構成になってい
る。雄ねじ36と雌ねじ39の間隙に空気供給手段33
により圧縮空気を充満させる。これにより、圧縮空気に
雄ねじ36と雌ねじ39のねじ山が接触している静圧ね
じが構成される。部材38には静圧ねじへの空気供給路
が設けられている。図4は静圧ねじの雄ねじと雌ねじの
構成を示した図である。図4に示すように、雄ねじ36
と雌ねじ39の間隙390に圧縮空気が充満されるてい
る。
【0022】図5は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図5で、XYステージ50は位置決め装置(図示
せず)によってX軸方向とY軸方向に位置決めされる。
XYステージ50にステージ30と固定部材31が載せ
られている。荷重センサ51は、ステージ30に加わる
荷重を検出する。荷重センサ51は、例えばロードセル
である。補正テーブル用メモリ52は、ステージ30に
加わる荷重の大きさFと、ステージのX軸方向及びY軸
方向の位置ずれ量δ(X,Y)とを対応させた補正テー
ブル521を格納している。補正テーブル521はステ
ージの位置に応じて設けられている。例えば、ウエハの
各チップを検査するときは、プローブカードのピンが各
チップに押し当てられるため、各チップの位置に応じて
補正テーブルが設けられている。
【0023】位置センサ53は、ステージ30のX軸方
向及びY軸方向の位置を検出する。ずれ量算出手段54
は、荷重が加わるステージの位置から補正テーブルを選
択し、選択した補正テーブルを用いて荷重センサの検出
荷重から位置ずれ量を読み出す。荷重が加わるステージ
の位置は、位置指令値から知る。減算器55は、ずれ量
算出手段54で読み出した位置ずれ量で補正した位置指
令値と、位置センサ53の検出位置の偏差を求める。位
置制御部56は、減算器55で求めた偏差もとにステー
ジ30のX軸方向及びY軸方向の位置をフィードバック
制御し、荷重による位置ずれを補正する。
【0024】図5の装置で、プローバのピンがウエハの
端に位置するチップに押し当てられること等によって、
ステージ30に偏荷重がかかると、ステージが傾斜す
る。これによって、X軸方向及びY軸方向に位置ずれが
生じる。偏荷重の大きさは荷重センサ51が検出する。
ずれ量算出手段54は、偏荷重のかかる位置から補正テ
ーブルを選択し、選択した補正テーブルを用いて荷重セ
ンサの検出荷重から位置ずれ量を読み出す。偏荷重のか
かる位置は位置指令値から知る。位置制御部56は、読
み出した位置ずれ量で補正した位置指令値をもとにステ
ージ30のX軸方向及びY軸方向の位置をフィードバッ
ク制御する。これによって、偏荷重による位置ずれが補
正される。
【0025】図6は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図6で、(a)はステージの側面図、(b)は
(a)図のA方向から見た図である。この実施例ではス
テージに倣い機構を設けている。プローブカード60に
はピン61が設けられている。プローブカード60が移
動し、ウエハ62上のチップに順番にピン61を押し当
てて検査する。
【0026】載置台70は、上面にウエハ62(検査対
象のデバイス)が載せられ、下面に曲面部71が形成さ
れている。支持台72は、曲面部71を収容し得る形状
になった曲面部73が形成されている。曲面部71と7
3は、例えば球形をなしている。空気供給手段74は、
圧縮空気を供給する。多孔質部材75は、曲面部73に
配置されている。
【0027】空気供給手段74から供給された圧縮空気
は、多孔質部材75を通過し、曲面部71と73の間隙
76に充満する。この圧縮空気により載置台70を支持
台72上に浮揚させ、載置台70を傾斜自在に支持する
曲面エアベアリングを構成する。真空吸引手段77は、
間隙76を真空吸引して載置台70を支持台72に固定
する。真空吸引は、載置台70の姿勢をロックするとき
に行う。請求範囲のロック手段は真空吸引手段77に相
当する。なお、ロック手段は真空吸引に限らず、機械式
にロックするものであってもよい。
【0028】回転防止機構78は、載置台70の回転を
防止する。図7は回転防止機構78の構成斜視図であ
る。図7に示すように、バー781は、円柱形状をな
し、載置台70に固定されている。バー781は、下方
に延びている。バー782と783は、円柱形状をな
し、支持台72に固定されている。バー782と783
は、径方向に延びていて、バー781を挟み込んでい
る。このように構成した回転防止機構78により、載置
台70は、支持台72上に、傾斜自在に、しかもZ軸ま
わりに回転しないように保持される。
【0029】図6の装置で、載置台70は曲面エアベア
リングにより傾斜自在に支持されている。プローブカー
ド60のピン61がウエハ62に押し当てられると、ピ
ン61が押し当てられた力により載置台70はプローブ
カード60と平行になる姿勢をとる。すなわち、載置台
70はプローブカード60に倣った姿勢をとる。これに
よって、ウエハ62に押し当てられる各ピンの接触圧が
均一化される。均一化したところで、真空吸引手段77
は曲面エアベアリングに対して真空吸引を行う。これに
よって、載置台70の姿勢がロックされる。ロックした
姿勢でウエハの各チップに対して検査を行う。
【0030】なお、軸受37をエアベアリングで構成し
てもよい。
【0031】
【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。
【0032】請求項1記載の発明では、エアベアリング
によりステージをZ軸方向へ移動自在に支持しているた
め、ボールスプラインの軸受を設けた従来例に比べて、
高い加工精度を要することなく軸受部分のギャップを狭
めることができる。これによって、容易に荷重に対する
剛性を高めることができる。
【0033】請求項2記載の発明では、ステージのZ軸
方向の位置をフィードバック制御しているため、ステー
ジに荷重がかかってもステージの位置を一定の位置に保
持することができる。
【0034】請求項3記載の発明では、エアベアリング
を2重化しているため、ベアリング部分の接触面積が2
倍になり、ステージの荷重に対する剛性を2倍に高める
ことができる。
【0035】請求項4記載の発明では、昇降機構に静圧
ねじを用いているため、ねじ部の摩擦が小さくなる。こ
のため、モータに指令した回転量に対して実際にステー
ジが移動する量が計算値に近い量になる。これによっ
て、ステージを高精度に位置決め制御できる。
【0036】請求項5記載の発明では、スラスト方向と
ラジアル方向の荷重を受けるクロスローラ軸受でモータ
の出力軸を支持しているため、荷重に対する出力軸のず
れを低減できる。
【0037】請求項6記載の発明では、ステージに倣い
機構を設け、プローブカードのピンがデバイスに押し当
てられると、デバイスはプローブカードと平行になる姿
勢をとるため、デバイスに押し当てられる各ピンの接触
圧を均一化できる。これによって、高精度な検査を実現
できる。
【0038】請求項7記載の発明では、ステージに加わ
る荷重の大きさと、ステージのX軸方向及びY軸方向の
位置ずれ量とを対応させた補正テーブルを用いてステー
ジを位置決めしているため、ステージにかかる偏荷重に
よる位置ずれを補正できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図3】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図4】静圧ねじの構成図である。
【図5】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図6】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図7】回転防止機構の構成斜視図である。
【図8】従来におけるステージの昇降装置の構成例を示
した図である。
【符号の説明】
30 ステージ 31 固定部材 32,321,322 微小間隙 33,74 空気供給手段 34 モータ 35 駆動軸 36 雄ねじ 37 軸受 39 雌ねじ 40 位置センサ 41,55 減算器 42,56 位置制御部 51 荷重センサ 52 補正テーブル用メモリ 53 位置センサ 54 ずれ量算出手段 60 プローブカード 61 ピン 70 載置台 71,73 曲面部 72 支持台 76 間隙 77 真空吸引手段 78 回転防止機構 301,302,311,312 側壁 521 補正テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01R 31/28 H01L 21/66 B H01L 21/66 G01R 31/28 H Fターム(参考) 2G003 AA10 AG04 AG11 AG12 AG16 AG20 AH05 2G032 AA00 AE02 AE04 AL03 3J102 AA02 BA05 BA12 CA09 EA02 EA06 EA13 EB03 GA20 4M106 AA01 BA01 CA01 DD30 DJ02 DJ05 5F031 CA02 HA53 HA58 KA07 LA02 LA07 MA33

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステージを固定部材にZ軸方向へ移動自
    在に支持する軸受と、ステージをZ軸方向に移動する昇
    降機構とを有するステージの昇降装置において、 前記軸受は、前記ステージと固定部材がなす微小間隙に
    圧縮空気を充満させ、この圧縮空気によりステージをZ
    軸方向に移動自在に支持するエアベアリングで構成した
    ことを特徴とするステージの昇降装置。
  2. 【請求項2】 ステージのZ軸方向の位置を検出する位
    置センサと、 Z軸方向の位置指令値と前記位置センサの位置検出値の
    偏差をもとにステージのZ軸方向の位置をフィードバッ
    ク制御する位置制御部を有することを特徴とする請求項
    1記載のステージの昇降装置。
  3. 【請求項3】 前記ステージと固定部材の一方の側壁を
    2重に設け、2重にした側壁で前記ステージと固定部材
    の他方の側壁を両側から挟み込み、 2重にした側壁で前記他方の側壁の両側に微小間隙を形
    成し、各微小間隙に圧縮空気を充満させてエアベアリン
    グを2重化したことを特徴とする請求項1記載のステー
    ジの昇降装置。
  4. 【請求項4】 前記昇降機構は、 雄ねじと雌ねじの間隙に圧縮空気を充満させ、この圧縮
    空気に雄ねじと雌ねじのねじ山が接触している構成にな
    った静圧ねじを有し、モータの回転を前記静圧ねじによ
    り直進移動に変え、直進移動によりステージをZ軸方向
    に移動する構成をなすことを特徴とする請求項1記載の
    ステージの昇降装置。
  5. 【請求項5】 前記モータの出力軸を支持するクロスロ
    ーラ軸受を設けたことを特徴とする請求項4記載のステ
    ージの昇降装置。
  6. 【請求項6】 ステージをZ軸方向に移動するステージ
    の昇降装置において、 上面に検査対象のデバイスが載せられ、下面に第1の曲
    面部が形成された載置台と、 前記第1の曲面部を収容し得る形状になった第2の曲面
    部が形成された支持台と、 前記第1の曲面部と第2の曲面部の間隙に圧縮空気を充
    満させ、この圧縮空気により載置台を支持台上に浮揚さ
    せ、載置台を傾斜自在に支持する曲面エアベアリング
    と、 第1の曲面部と第2の曲面部の間隙に対して真空吸引し
    て載置台を支持台に固定するロック手段と、 を有し、プローブカードのピンが前記デバイスに押し当
    てられると、デバイスはプローブカードと平行になる姿
    勢をとり、デバイスに押し当てられる各ピンの接触圧を
    均一化し、均一化したときに前記ロック手段は載置台の
    姿勢をロックすることを特徴とするステージの昇降装
    置。
  7. 【請求項7】 ステージをZ軸方向に移動する昇降機構
    と、ステージをX軸方向及びY軸方向に位置決めする位
    置決め部とを有するステージの昇降装置において、 ステージに加わる荷重の大きさと、ステージのX軸方向
    及びY軸方向の位置ずれ量とを対応させた補正テーブル
    を格納し、この補正テーブルはステージの位置に応じて
    設けられている補正テーブル用メモリと、 ステージに加わる荷重を検出する荷重センサと、 ステージのX軸方向及びY軸方向の位置を検出する位置
    センサと、 荷重が加わるステージの位置から補正テーブルを選択
    し、選択した補正テーブルを用いて前記荷重センサの検
    出荷重から位置ずれ量を読み出すずれ量算出手段と、 このずれ量算出手段で読み出した位置ずれ量で補正した
    位置指令値と、前記位置センサの検出位置の偏差をもと
    にステージのX軸方向及びY軸方向の位置をフィードバ
    ック制御し、荷重による位置ずれを補正する位置制御部
    と、を有することを特徴とするステージの昇降装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7145642B2 (en) 2002-10-29 2006-12-05 Nec Corporation Wafer support device and a wafer support method
CN100395170C (zh) * 2007-02-03 2008-06-18 中国电子科技集团公司第二研究所 升降平台
JP2011501055A (ja) * 2007-10-09 2011-01-06 スマーティン テクノロジーズ、エルエルシー 小型の非接触機械的結合、減衰及び/または負荷支持装置
JP4771346B1 (ja) * 2010-12-07 2011-09-14 パイオニア株式会社 半導体検査装置
CN102290363A (zh) * 2010-06-15 2011-12-21 东京毅力科创株式会社 载置台驱动装置
CN107559305A (zh) * 2017-10-17 2018-01-09 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种空气静压支承自调心装置
US20220163563A1 (en) * 2020-11-20 2022-05-26 Hermes Testing Solutions Inc. Probing system for discrete wafer

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7145642B2 (en) 2002-10-29 2006-12-05 Nec Corporation Wafer support device and a wafer support method
CN100395170C (zh) * 2007-02-03 2008-06-18 中国电子科技集团公司第二研究所 升降平台
JP2011501055A (ja) * 2007-10-09 2011-01-06 スマーティン テクノロジーズ、エルエルシー 小型の非接触機械的結合、減衰及び/または負荷支持装置
US8562217B2 (en) 2007-10-09 2013-10-22 Smartin Technologies Llc Compact non-contact mechanical coupling, damping and/or load bearing device
CN102290363A (zh) * 2010-06-15 2011-12-21 东京毅力科创株式会社 载置台驱动装置
JP4771346B1 (ja) * 2010-12-07 2011-09-14 パイオニア株式会社 半導体検査装置
WO2012077190A1 (ja) * 2010-12-07 2012-06-14 パイオニア株式会社 半導体検査装置
CN107559305A (zh) * 2017-10-17 2018-01-09 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种空气静压支承自调心装置
CN107559305B (zh) * 2017-10-17 2023-08-18 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种空气静压支承自调心装置
US20220163563A1 (en) * 2020-11-20 2022-05-26 Hermes Testing Solutions Inc. Probing system for discrete wafer
US11703524B2 (en) * 2020-11-20 2023-07-18 Hermes Testing Solutions Inc. Probing system for discrete wafer

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