JP2002100238A - Sheet-like molding and laminate - Google Patents

Sheet-like molding and laminate

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JP2002100238A
JP2002100238A JP2000292679A JP2000292679A JP2002100238A JP 2002100238 A JP2002100238 A JP 2002100238A JP 2000292679 A JP2000292679 A JP 2000292679A JP 2000292679 A JP2000292679 A JP 2000292679A JP 2002100238 A JP2002100238 A JP 2002100238A
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JP
Japan
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sheet
less
molded product
particle size
laminate
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JP2000292679A
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Japanese (ja)
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Masaharu Tanaka
正治 田中
Hachiro Hirano
八朗 平野
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet-like molding provided with high-frequency properties and electrical insulation properties such as low permittivity and suited to the use wherein its thickness is regulated. SOLUTION: A resin composition is formed by combining a filler characterized as follows: the maximum particle size is 50 μm or less, particle density is 1.0 g/cm3 or less, the particle size gradient expressed by (d10-d90)/d50 in oversize cumulative distribution based on volume is 2.0 or less, d50 is 20 μm or less, and the total amount of elution of boron, alkali metal and alkali earth metal is 500 ppm or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、シート状成形体お
よび積層体、特には高周波回路を搭載した電子機器用に
最適な低誘電率化および低誘電正接化を可能とした優れ
た高周波特性を有し、かつ優れた電気絶縁性を兼ね備え
たシート状成形体および積層体に関する。詳しくは、電
子・電気部品、半導体分野などの絶縁材料、樹脂封止用
材料、積層板用などにおいて厚みが規制されるシート状
で使用される用途に好適に使用できるシート状成形体お
よび積層体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sheet-like molded product and a laminated product, and more particularly, to an excellent high-frequency characteristic capable of realizing a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent which is optimal for an electronic device equipped with a high-frequency circuit. The present invention relates to a sheet-shaped molded article and a laminate having excellent electrical insulation properties. More specifically, a sheet-shaped molded product and a laminate that can be suitably used for applications in which the thickness is regulated in an insulating material, a resin sealing material, a laminated plate, and the like in electronic / electric parts and semiconductor fields, etc. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子技術の革新は目覚ましく、電子機器
の小型化は留まることを知らない。これをもたらした要
因としては、実装技術の高密度化、半導体の高集積化お
よび半導体パッケージの小形化技術が挙げられる。高集
積化したデバイスは必然的に高速化し、また、高速化自
体が時代の要請となっているため、コンピュータおよび
その周辺機器、デジタル通信機器などのクロック周波数
は民生用においてすでに数GHzが主流となっている。
2. Description of the Related Art Innovations in electronic technology have been remarkable, and electronic devices have not been reduced in size. Factors that have brought about this include higher density of packaging technology, higher integration of semiconductors, and miniaturization of semiconductor packages. Highly integrated devices are inevitably speeding up, and high speeds themselves have become demands of the times, so clock frequencies for computers, their peripheral devices, digital communication devices, etc. are already several dominant for consumer use. Has become.

【0003】また、高度情報化社会は、多様化するメデ
ィアの高密度媒体として通信衛星の民生利用を推進し、
小形化した電子機器は移動体通信・携帯電話などの新た
な需要を生み出している。これら新しいメディアは、既
存の周波数割当の範囲を避けるため、また携帯無線電話
には多くのチャンネルを確保するため、高周波域が割り
当てられている。このような背景により、高周波回路を
搭載した電子機器は急増している。
[0003] In addition, the advanced information society is promoting the consumer use of communication satellites as a high-density medium of diversified media.
Miniaturized electronic devices are creating new demand for mobile communications and mobile phones. These new media have been assigned higher frequencies to avoid existing spectrum allocations and to secure more channels for mobile radiotelephones. Against this background, electronic devices equipped with a high-frequency circuit are increasing rapidly.

【0004】以上のような背景から、高速・高周波回路
に対応できる、誘電率が低くかつ誘電正接の低い高周波
特性を有する材料が求められている。従来このような目
的に使用できるものとしては、一般的には空気およびそ
の他の不活性ガスを樹脂に導入する方法が挙げられる。
この場合の導入方法としては、化学発泡、ガス発泡など
が知られている。
[0004] In view of the above background, there is a demand for a material having a high dielectric constant and a low dielectric loss tangent that can be used in high-speed and high-frequency circuits. Conventionally, as a method that can be used for such a purpose, there is generally a method of introducing air and other inert gas into a resin.
As the introduction method in this case, chemical foaming, gas foaming, and the like are known.

【0005】この技術は、独立気泡が形成し難いこと、
成形時の温度に非常に厳密さが要求されること、大がか
りな設備が必要になることなどの難点がある。特に、厚
みが規制されかつ表面平滑性が要求される電子機器用な
どの用途にシート状成形体としての要求を満足するのが
困難である。すなわち、気泡径の調整が難しく、表面に
気泡に起因するホールが生じたり、場合によってはシー
トの貫通が起こり、表面の平滑性を損なったり、絶縁層
としての機能に支障を来すおそれがあった。
[0005] This technique is difficult to form closed cells,
There are drawbacks such as that the temperature at the time of molding is extremely strict and that large-scale equipment is required. In particular, it is difficult to satisfy the requirements as a sheet-shaped molded product for applications such as electronic devices in which the thickness is regulated and surface smoothness is required. That is, it is difficult to adjust the bubble diameter, and holes may be formed on the surface due to the bubbles, and in some cases, the sheet may penetrate, thereby impairing the smoothness of the surface or impairing the function as an insulating layer. Was.

【0006】これに対し、本発明者らは、このような課
題を解決すべく、特定の粒子径、粒子密度および粒度勾
配を有する微小中空ガラス球状体からなるフィラーを樹
脂に配合したシート状成形体および積層体を先に提案し
たが、用途開発が進展するに伴い、電気絶縁性がさらに
優れたものが要求されており、さらなる追究の結果とし
て本発明に至った。
On the other hand, in order to solve such problems, the present inventors have developed a sheet-like molding in which a resin composed of a fine hollow glass sphere having a specific particle size, particle density and particle size gradient is mixed with a resin. The body and the laminate have been previously proposed, but as the development of applications progresses, more excellent electrical insulation is required, and as a result of further investigation, the present invention has been achieved.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、低誘電率化
効果や低誘電正接化効果をもたらす高周波特性および電
気絶縁特性を備えかつ厚みが規制される用途に適したシ
ート状の成形体および積層体を提供することを目的とす
る。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention relates to a sheet-like molded product having high-frequency characteristics and electrical insulation characteristics that provide a low-dielectric-constant effect and a low-dielectric-tangent effect, and suitable for uses whose thickness is regulated. It is intended to provide a laminate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、最大粒子径が
50μm以下、粒子密度が1.0g/cm3以下、(d
10−d90)/d50で示す粒度勾配が2.0以下、d50
20μm以下であり、かつ以下の方法で測定したホウ
素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属の溶出量の合
計が、サンプル質量の500ppm以下である微小中空
ガラス球状体からなるフィラーを、樹脂との合量中に5
〜60質量%配合した樹脂組成物を成形してなるシート
状成形体を提供する。
According to the present invention, the maximum particle size is 50 μm or less, the particle density is 1.0 g / cm 3 or less, (d
The particle size gradient represented by 10 −d 90 ) / d 50 is 2.0 or less, d 50 is 20 μm or less, and the total amount of boron, alkali metal and alkaline earth metal eluted measured by the following method is the sample. A filler consisting of a fine hollow glass sphere having a mass of 500 ppm or less is added in an amount of 5
The present invention provides a sheet-like molded product obtained by molding a resin composition containing 60% by mass.

【0009】また、最大粒子径が50μm以下、粒子密
度が1.0g/cm3以下、(d10−d90)/d50で示
す粒度勾配が2.0以下、d50が20μm以下であり、
かつ以下の方法で測定したホウ素、アルカリ金属および
アルカリ土類金属の溶出量の合計が、サンプル質量の5
00ppm以下である微小中空ガラス球状体からなるフ
ィラーを、樹脂との合量中に5〜60質量%配合した樹
脂組成物を多孔性基材に含浸してなるシート状成形体を
提供する。さらに、上記のシート状成形体を基板に積層
してなる積層体を提供する。
The maximum particle size is 50 μm or less, the particle density is 1.0 g / cm 3 or less, the particle size gradient represented by (d 10 −d 90 ) / d 50 is 2.0 or less, and the d 50 is 20 μm or less. ,
In addition, the sum of the elution amounts of boron, alkali metal and alkaline earth metal measured by the following method is 5% of the sample mass.
Provided is a sheet-like molded product obtained by impregnating a porous base material with a resin composition containing 5 to 60% by mass of a filler composed of a minute hollow glass sphere having a content of 00 ppm or less in a total amount with a resin. Further, there is provided a laminate obtained by laminating the above-mentioned sheet-like molded body on a substrate.

【0010】ただし、d10、d50、d90は、レーザー散
乱式粒度測定装置を使用して測定した体積基準ふるい上
積算分布の値がそれぞれ10%、50%、90%となる
粒子径である。
However, d 10 , d 50 , and d 90 are particle diameters at which the values of the integrated distribution on a volume-based sieve measured using a laser scattering type particle size analyzer are 10%, 50%, and 90%, respectively. is there.

【0011】(ホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土
類金属の溶出量の測定方法)サンプル(12.5g)に
蒸留水200cm3を添加し、撹拌しながら97℃の温
度条件で24時間処理をする。処理後、固形物を濾過
し、濾液中に溶存するホウ素、アルカリ金属およびアル
カリ土類金属量を定量し、これらの合計溶出量をサンプ
ル質量に対する割合で表示する。
(Measurement Method of Elution Amount of Boron, Alkali Metal and Alkaline Earth Metal) To a sample (12.5 g) was added 200 cm 3 of distilled water, and the mixture was treated at 97 ° C. for 24 hours with stirring. After the treatment, the solid is filtered, the amounts of boron, alkali metal and alkaline earth metal dissolved in the filtrate are quantified, and the total elution amount of these is expressed as a ratio to the sample mass.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明において、微小中空ガラス
球状体からなるフィラーは、まずシート状成形体および
積層体を低誘電率化および低誘電正接化する作用を有す
る。微小中空ガラス球状体のd50が20μmを超える場
合、または、最大粒子径が50μmを超える場合は、多
層プリント基板を構成する電気絶縁層として使用される
などの、厚みが規制される用途においては、微小中空ガ
ラス球状体が層厚中に収まりきれなくなり、表面欠点の
発生や製品歩留の低下を招く可能性が高くなるのでシー
ト状成形体として満足できるものとはならない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, a filler made of a fine hollow glass sphere has a function of firstly lowering the dielectric constant and the dielectric loss tangent of a sheet-like molded product and a laminate. If d 50 of hollow glass microspheres is more than 20 [mu] m, or, if the maximum particle size exceeds 50 [mu] m, in applications where such are used as an electrical insulating layer constituting the multilayer printed circuit board, the thickness is regulated In addition, the minute hollow glass spheres cannot completely fit within the layer thickness, and the possibility of occurrence of surface defects and reduction of the product yield is increased, which is not satisfactory as a sheet-shaped molded body.

【0013】微小中空ガラス球状体の前記粒度勾配が
2.0を超える場合には、一般的に粒径分布が広くなる
と各粒子の粒子密度にも分布が生じやすく、相対的に粒
子密度が低い大粒子においては、加工工程で過大な応力
を生じて破砕しやすく、使用目的に対して充分な低誘電
率化効果や低誘電正接効果を発揮できなくなる可能性が
高くなるので好ましくない。より好ましい前記粒度勾配
は1.8以下である。
When the particle size gradient of the fine hollow glass spheres is more than 2.0, generally when the particle size distribution is wide, the particle density of each particle is likely to be distributed, and the particle density is relatively low. Large particles are not preferred because they cause excessive stress in the processing step and are liable to be crushed, which increases the possibility that the effect of lowering the dielectric constant and the effect of reducing the dielectric loss tangent sufficient for the purpose of use will not be exhibited. More preferably, the particle size gradient is 1.8 or less.

【0014】また、粒子密度が1.0g/cm3を超え
ると充分な低誘電率化効果や低誘電正接効果が得られな
くなる。より好ましい粒子密度は0.5g/cm3以下
である。なお、本発明において、d10、d50、d90は、
レーザー散乱式粒度測定装置により、また、粒子密度
は、乾式自動密度計により、それぞれ測定される。
On the other hand, if the particle density exceeds 1.0 g / cm 3 , the effect of lowering the dielectric constant and the effect of lowering the dielectric loss tangent cannot be obtained sufficiently. A more preferred particle density is 0.5 g / cm 3 or less. In the present invention, d 10 , d 50 and d 90 are:
The particle density is measured by a laser scattering particle size analyzer, and the particle density is measured by a dry automatic densitometer.

【0015】また、本発明の微小中空ガラス球状体から
なるフィラーは、ホウ素、アルカリ金属およびアルカリ
土類金属の溶出量の合計が、サンプル質量の500pp
m以下である。500ppmを超えると、可溶分の溶
出、イオンの形成により、シート状成形体の電気絶縁性
の低下を招く可能性が高くなる。より好ましいホウ素、
アルカリ金属およびアルカリ土類金属の溶出量は300
ppm以下である。
Further, the filler made of the fine hollow glass spheres of the present invention has a total elution amount of boron, alkali metal and alkaline earth metal of 500 pp of the sample mass.
m or less. When the content exceeds 500 ppm, the possibility of causing a decrease in the electrical insulation of the sheet-like molded body due to elution of soluble components and formation of ions increases. More preferred boron,
Elution amount of alkali metal and alkaline earth metal is 300
ppm or less.

【0016】なお、本発明で、ホウ素、アルカリ金属お
よびアルカリ土類金属の溶出量の測定方法は、つぎによ
る。すなわち、サンプル(12.5g)に蒸留水200
cm 3を添加し、撹拌しながら97℃の温度条件で24
時間処理をする。処理後、固形物を濾過し、濾液中に溶
存するホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属量
を定量し、これらの合計溶出量をサンプル質量に対する
割合で表示する。
In the present invention, boron, alkali metal and
The method for measuring the elution amount of alkaline earth metals is as follows.
You. That is, 200 ml of distilled water was added to the sample (12.5 g).
cm ThreeAt a temperature of 97 ° C. while stirring.
Perform time processing. After the treatment, the solid is filtered and dissolved in the filtrate.
Boron, alkali and alkaline earth metals present
And elute these total elution volumes with respect to the sample mass.
Display as a percentage.

【0017】本発明に使用される微小中空ガラス球状体
は、以下の方法により好ましく製造される。まず、ガラ
ス調合原料は、加熱によりガラス化するものであり、一
般には、互いに異なる複数の原料が目標とするガラス組
成になるような割合で調合される。ガラス原料として
は、ケイ砂、シラス、真珠岩、松脂岩、黒曜石、シリカ
ゲル、ゼオライト、ベントナイト、ソーダ灰、ホウ砂、
ホウ酸、亜鉛華、石灰、リン酸カルシウム、硫酸ナトリ
ウム、アルミナが例示される。
The fine hollow glass sphere used in the present invention is preferably produced by the following method. First, the glass blending raw material is vitrified by heating, and is generally blended at a ratio such that a plurality of different raw materials have a target glass composition. Glass raw materials include quartz sand, shirasu, perlite, pine stone, obsidian, silica gel, zeolite, bentonite, soda ash, borax,
Examples thereof include boric acid, zinc white, lime, calcium phosphate, sodium sulfate, and alumina.

【0018】このガラス調合原料には発泡剤が含有され
る。発泡剤は、ガラス調合原料が加熱によりガラス化さ
れ球状になる際にガスを発生して、ガラス化した溶融ガ
ラスを中空体にする作用を有する。具体的には、ナトリ
ウム、カリウム、リチウム、カルシウム、マグネシウ
ム、バリウム、アルミニウムおよび亜鉛の硫酸塩、炭酸
塩、硝酸塩、酢酸塩、ならびに各種原料に含まれる結晶
水が例示される。
The glass blending material contains a foaming agent. The foaming agent has a function of generating gas when the glass-mixed raw material is vitrified by heating to form a sphere, thereby making the vitrified molten glass hollow. Specific examples include sulfates, carbonates, nitrates, acetates of sodium, potassium, lithium, calcium, magnesium, barium, aluminum and zinc, and crystallization water contained in various raw materials.

【0019】発泡剤の含有量の調節は、本発明の粒度お
よび粒子密度を得るために極めて重要であり、例えば炭
酸塩の場合、ガラス調合原料中のCO2換算で1〜15
質量%となるように含有することが好ましい。炭酸塩の
含有量が1質量%未満になると、発泡が不充分で得られ
る微小中空ガラス球状体の粒子密度が1g/cm3超と
大きくなるので好ましくない。また逆に、炭酸塩の含有
量が15質量%超になると発泡ガス量が多すぎて粒子内
部に留まらずに外部に放出され、その結果、微小中空ガ
ラス球状体が得られなくなるので好ましくない。
Adjustment of the content of the blowing agent is extremely important for obtaining the particle size and particle density of the present invention. For example, in the case of carbonate, 1 to 15 in terms of CO 2 in the glass raw material is required.
It is preferred that the content be contained so as to be in mass%. When the content of the carbonate is less than 1% by mass, the particle density of the fine hollow glass sphere obtained by insufficient foaming is undesirably increased to more than 1 g / cm 3 . Conversely, when the content of the carbonate exceeds 15% by mass, the amount of the foaming gas is too large and is discharged to the outside without staying inside the particles. As a result, a fine hollow glass spherical body cannot be obtained, which is not preferable.

【0020】ガラス調合原料より得られるガラスとして
は、ホウケイ酸塩ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、石
英ガラスなどが例示される。ホウケイ酸塩ガラスは、S
iO 2−B23−Na2Oを主成分としたガラスであり、
アルミノケイ酸塩ガラスは、SiO2−Al23−Na2
OまたはSiO2−Al23−CaOを主成分としたガ
ラスであり、石英ガラスは、二酸化ケイ素(SiO2
からなる単一成分のガラスであり、本発明における微小
中空ガラス球状体のガラス成分としていずれも好適に使
用される。
As a glass obtained from a glass blending raw material
Is borosilicate glass, aluminosilicate glass, stone
British glass is exemplified. Borosilicate glass is S
iO Two-BTwoOThree-NaTwoO-based glass,
Aluminosilicate glass is made of SiOTwo-AlTwoOThree-NaTwo
O or SiOTwo-AlTwoOThree-Gas containing CaO as a main component
And quartz glass is made of silicon dioxide (SiO 2).Two)
Is a single-component glass consisting of
Both are suitably used as glass components of hollow glass spheres.
Used.

【0021】こうしたガラス調合原料は、次に湿式粉砕
される。湿式粉砕に使用する液体としては可燃性液体、
なかでも噴霧燃焼時のスラリーの液体と同じものを使用
すると製造工程が簡略化されるので好ましい。湿式粉砕
工程における液体中のガラス調合原料の濃度は、噴霧時
のスラリー中のガラス調合原料の濃度と同一になるよう
に液体の量を調整しておくと製造工程が簡略化されるの
で好ましい。
[0021] Such glass blended raw materials are then wet ground. Flammable liquids are used as liquids for wet grinding,
Of these, it is preferable to use the same liquid as the slurry liquid at the time of spray combustion because the manufacturing process is simplified. It is preferable to adjust the amount of the liquid so that the concentration of the glass-mixed raw material in the liquid in the wet pulverization process is the same as the concentration of the glass-mixed raw material in the slurry at the time of spraying, since the manufacturing process is simplified.

【0022】使用する湿式粉砕機は、ボールミルやビー
ズミルに代表される媒体撹拌型ミルがその微粉砕能力よ
り好ましいが、その他の湿式粉砕機も使用できる。粉砕
機材質よりのコンタミネーションは微小中空ガラス球状
体の収率の低下を招くため、接液部の材質としては、ア
ルミナ、ジルコニア、アルミナ・ジルコニア複合セラミ
ックスなどの磨耗の少ないものまたはガラス調合原料の
一部と同じ組成の材料を選定することが望ましい。
As the wet mill used, a medium stirring mill represented by a ball mill or a bead mill is more preferable than its fine grinding ability, but other wet mills can also be used. Since contamination from the material of the pulverizer causes a decrease in the yield of the fine hollow glass spheres, the material of the liquid contacting part should be a material with little wear such as alumina, zirconia, alumina / zirconia composite ceramics, or a raw material of glass mixture. It is desirable to select a material having the same composition as a part.

【0023】湿式粉砕後のガラス調合原料の平均粒子径
は、目標とするd50および粒度勾配を有する微小中空ガ
ラス球状体が効率的に得られること、および均一な組成
の微小中空ガラス球状体が得られることから、2μm以
下であることが好ましい。
The average particle size of the glass preparation raw material after the wet pulverization is such that a fine hollow glass sphere having a target d 50 and a particle size gradient can be efficiently obtained, and a fine hollow glass sphere having a uniform composition can be obtained. From the viewpoint of being obtained, the thickness is preferably 2 μm or less.

【0024】このスラリーの分散および分散安定化のた
めに、分散剤、分散安定剤を添加してもよい。分散剤と
しては、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性
剤、アニオン系界面活性剤、高分子系界面活性剤などを
使用できる。なかでも高分子アニオン系界面活性剤が特
に好ましく、例えばアクリル酸とアクリル酸エステルと
の共重合体であって酸価が5〜100mgKOH/g程
度の大きな酸価を有する酸含有アクリルオリゴマーなど
の酸含有オリゴマーなどが好ましい。このような高分子
アニオン系界面活性剤はスラリーの分散および分散安定
化に寄与する他に、スラリーの粘度を低く抑制できて好
都合である。
For dispersing and stabilizing the slurry, a dispersant and a dispersion stabilizer may be added. As the dispersant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, a polymer surfactant, or the like can be used. Among them, high molecular anionic surfactants are particularly preferable. For example, an acid such as an acid-containing acrylic oligomer which is a copolymer of acrylic acid and an acrylic ester and has a large acid value of about 5 to 100 mgKOH / g. Oligomers and the like are preferred. Such a high molecular weight anionic surfactant contributes to the dispersion and dispersion stabilization of the slurry, and can advantageously suppress the viscosity of the slurry to a low level.

【0025】こうして得られたガラス調合原料が、スラ
リーとしての所定濃度になっていない場合は不足分の液
体を添加して、ガラス調合原料が所定濃度になるように
調整する。スラリー中のガラス調合原料の濃度は5〜5
0質量%が好ましく、10〜40質量%がさらに好まし
い。スラリー中のガラス調合原料の濃度が5質量%未満
の場合は、スラリーを形成する可燃性液体の原単位が上
昇するので好ましくない。逆に、50質量%を超える
と、スラリーの粘度が上昇して取り扱いが不便になり、
また噴霧時の微粒液滴化にも支障を来すので好ましくな
い。
When the glass-mixed raw material thus obtained does not have a predetermined concentration as a slurry, an insufficient amount of liquid is added to adjust the glass-mixed raw material to a predetermined concentration. The concentration of the glass mixture raw material in the slurry is 5-5.
0% by mass is preferable, and 10 to 40% by mass is more preferable. If the concentration of the glass-mixed raw material in the slurry is less than 5% by mass, the basic unit of the flammable liquid forming the slurry is undesirably increased. Conversely, if it exceeds 50% by mass, the viscosity of the slurry increases and handling becomes inconvenient.
Further, it is not preferable because fine droplets during spraying are hindered.

【0026】ついで、このスラリーを二流体ノズルを使
用したり、圧力を加えて噴霧して液滴とする。生成した
液滴には、ガラス調合原料が含有される。この液滴の大
きさは、大きすぎると加熱による燃焼が不安定となった
り、大粒子が生成するので好ましくない。一方、小さす
ぎると得られるガラス組成が均一になりにくくなり、微
小中空ガラス球状体の収率が低下するので好ましくな
い。好ましい液滴の大きさは0.1〜70μmの範囲で
ある。
Next, the slurry is sprayed using a two-fluid nozzle or by applying pressure to form droplets. The produced droplets contain a glass blending raw material. If the size of the droplet is too large, combustion by heating becomes unstable or large particles are generated, which is not preferable. On the other hand, if it is too small, the obtained glass composition becomes difficult to be uniform, and the yield of the fine hollow glass spheres is undesirably reduced. Preferred droplet sizes are in the range of 0.1 to 70 μm.

【0027】液滴は、加熱されることにより、ガラス調
合原料が溶融されガラス化するとともに、ガラス中の発
泡成分がガス化し微小中空ガラス球状体が形成される。
加熱手段としては、燃焼、電気加熱などが使用できる。
加熱温度は、ガラス調合原料のガラス化する温度に依存
する。具体的には、300〜1800℃の範囲である。
本発明においては、スラリーの液体成分が可燃性液体で
あるので、これが燃焼して発熱しガラスの溶融に寄与す
る。
When the droplets are heated, the raw material for glass preparation is melted and vitrified, and the foaming component in the glass is gasified to form a fine hollow glass spherical body.
As the heating means, combustion, electric heating, or the like can be used.
The heating temperature depends on the temperature at which the glass mixture raw material is vitrified. Specifically, it is in the range of 300 to 1800 ° C.
In the present invention, since the liquid component of the slurry is a flammable liquid, it burns and generates heat, contributing to the melting of the glass.

【0028】形成された微小中空ガラス球状体は、サイ
クロン、バグフィルター、スクラバーや充填塔などを用
いた方法により回収される。次に、回収粉体中の未発泡
品を除去し、発泡品のみを回収する場合には水による浮
選法により回収する。低密度の発泡品を選別する場合に
は、比重の軽いアルコールなどで浮選する方法が有効で
ある。ついで、50μm以下の最大粒子径となるよう分
級処理を行う。分級処理としては特に限定されないが、
風力式分級機やふるい分け装置などを用いた方法が好ま
しい。
The formed minute hollow glass spheres are recovered by a method using a cyclone, a bag filter, a scrubber, a packed tower, or the like. Next, when the unfoamed product in the recovered powder is removed and only the foamed product is recovered, the product is recovered by a flotation method using water. When sorting low-density foamed products, a method of flotation with alcohol having a low specific gravity is effective. Next, classification treatment is performed so as to have a maximum particle diameter of 50 μm or less. The classification process is not particularly limited,
A method using an air classifier, a sieving device, or the like is preferable.

【0029】また、ホウ素、アルカリ金属(ナトリウ
ム、カリウム、リチウムなど)およびアルカリ土類金属
(カルシウム、マグネシウム、バリウム、ストロンチウ
ムなど)をガラスの溶解、清澄の促進や粘度の調整用と
して原料に使用する場合には、その一部が微小中空ガラ
ス球状体形成時に粒子表面に残留している可能性が高
く、本発明では、これらのホウ素、アルカリ金属および
アルカリ土類金属の溶出量の合計が500ppm以下、
より好ましくは300ppm以下となるように処理す
る。
Further, boron, alkali metals (sodium, potassium, lithium, etc.) and alkaline earth metals (calcium, magnesium, barium, strontium, etc.) are used as raw materials for melting and refining glass and for adjusting viscosity. In such a case, it is highly possible that a part thereof remains on the particle surface during the formation of the fine hollow glass sphere, and in the present invention, the total of the elution amounts of these boron, alkali metal and alkaline earth metal is 500 ppm or less. ,
More preferably, the treatment is performed so as to be 300 ppm or less.

【0030】このための手段としては種々の方法がある
が、一般的には、得られた微小中空ガラス球状体を水洗
することが、簡易かつ効果的な手段として最も好まし
い。水洗方法については特に限定されないが、洗浄効率
を高める観点から、温度50℃以上の温水を使用し、撹
拌しながら行う方法が有効である。また、水洗は必要に
応じて複数回行うとより効果的である。なお、ガラス球
状体としては、表面に溶出防止膜を形成したガラス球状
体であってもよいし、溶出量の少ない成分からなるガラ
ス球状体はそのまま使用できる。
Although there are various methods for this purpose, generally, it is most preferable to wash the obtained fine hollow glass spheres with water as a simple and effective means. The method of washing with water is not particularly limited, but from the viewpoint of increasing the washing efficiency, a method of using hot water at a temperature of 50 ° C. or higher and stirring while stirring is effective. Further, it is more effective to perform the water washing a plurality of times as necessary. The glass sphere may be a glass sphere having a surface on which an elution preventing film is formed, or a glass sphere made of a component having a small amount of elution may be used as it is.

【0031】上記方法により製造される微小中空ガラス
球状体は、レーザー散乱式粒度測定装置で測定したd50
が20μm以下、かつ粒度勾配が2.0以下であり、か
つ乾式自動密度計で測定した粒子密度が1.0g/cm
3以下であり低誘電率化および低誘電正接化などを付与
するに充分な中空度を有し、さらには分級機により50
μm超の粒子径をもつものを除くことにより、表面の高
平滑性を要求される用途や複合材料の厚みが規制される
用途に対しても極めて好適なものを集めることができ
る。また、該微小中空ガラス球状体は、本発明のシート
状成形体および積層体の絶縁性を損なうことなく、高水
準に維持できる。また、粒子強度についても、例えば樹
脂用フィラーとして使用した場合に、シート状に成形す
るに際して破砕することがない充分な強度を有するもの
が得られる。
The fine hollow glass sphere produced by the above method has a d 50 measured by a laser scattering type particle size measuring apparatus.
Is 20 μm or less, the particle size gradient is 2.0 or less, and the particle density measured by a dry automatic densitometer is 1.0 g / cm.
3 or less, and has a sufficient hollowness to impart a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent.
By excluding those having a particle diameter of more than μm, it is possible to collect those very suitable for applications requiring high surface smoothness or applications in which the thickness of the composite material is regulated. Further, the minute hollow glass sphere can be maintained at a high level without impairing the insulating properties of the sheet-shaped molded product and the laminate of the present invention. Further, as for the particle strength, for example, when used as a filler for a resin, a material having sufficient strength that does not break when formed into a sheet is obtained.

【0032】このようにして得られた微小中空ガラス球
状体は、シート状成形体の樹脂組成物用のフィラーとし
て最適である。また、化学的耐久性向上や熱硬化性樹脂
または熱可塑性樹脂との密着性向上などの物性改良のた
めに、例えば、微小中空ガラス球状体表面にペルヒドロ
ポリシラザンを塗布してシリカ膜に転換させることによ
り、微小中空ガラス球状体表面をシリカ層で被覆し、さ
らにシランカップリング剤により表面処理を行うことも
好ましい。
The fine hollow glass sphere obtained in this manner is most suitable as a filler for a resin composition of a sheet-like molded product. Further, in order to improve physical durability such as improvement in chemical durability and adhesion with a thermosetting resin or a thermoplastic resin, for example, perhydropolysilazane is applied to the surface of a fine hollow glass sphere to convert it to a silica film. In this case, it is also preferable to cover the surface of the fine hollow glass sphere with a silica layer, and to further perform a surface treatment with a silane coupling agent.

【0033】本発明において樹脂としては、熱硬化性樹
脂および熱可塑性樹脂のいずれもが使用できる。熱硬化
性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フラ
ン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、キシレン樹脂、アル
キド樹脂、メラミン樹脂などが挙げられる。
In the present invention, as the resin, any of a thermosetting resin and a thermoplastic resin can be used. Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin, a phenol resin, a furan resin, an unsaturated polyester resin, a xylene resin, an alkyd resin, and a melamine resin.

【0034】熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、
ポリ酢酸ビニル、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポ
リアミドイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、メタクリ
ル樹脂、ABS樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(P
TFE)、テトラフルオロエチレン−ペルフルオロ(ア
ルキルビニルエーテル)共重合体(PFA)、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
(FEP)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合
体(ETFE)などのフッ素樹脂が挙げられる。
As the thermoplastic resin, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride,
Polyvinyl acetate, polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polycarbonate resin, methacrylic resin, ABS resin, polytetrafluoroethylene (P
Fluoropolymers such as TFE), tetrafluoroethylene-perfluoro (alkyl vinyl ether) copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), and ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE). Can be

【0035】本発明において、樹脂組成物は、樹脂と微
小中空ガラス球状体からなるフィラーを必須成分とし、
必要に応じ溶剤、硬化助剤、カップリング剤などが添加
されて構成される。また目的を損なわない範囲で、繊維
状強化材、充填材、添加剤、安定剤、難燃剤を単独でま
たはそれらを併用して配合できる。
In the present invention, the resin composition comprises, as an essential component, a filler comprising a resin and a fine hollow glass sphere.
A solvent, a curing assistant, a coupling agent, and the like are added as necessary. In addition, a fibrous reinforcing material, a filler, an additive, a stabilizer, and a flame retardant can be used alone or in combination with each other as long as the purpose is not impaired.

【0036】本発明において、樹脂組成物中におけるフ
ィラーの配合割合としては、樹脂とフィラーの合量中に
5〜60質量%とすることが必要である。5質量%未満
では、充分な低誘電率化効果および低誘電正接化効果が
得られず、60質量%超では、均一な組成の樹脂組成物
を得ることが困難となる。より好ましい配合割合は10
〜50質量%である。
In the present invention, the compounding ratio of the filler in the resin composition must be 5 to 60% by mass in the total amount of the resin and the filler. If the amount is less than 5% by mass, a sufficient effect of reducing the dielectric constant and the effect of decreasing the dielectric loss tangent cannot be obtained. If the amount exceeds 60% by mass, it becomes difficult to obtain a resin composition having a uniform composition. A more preferable compounding ratio is 10
5050% by mass.

【0037】本発明はこのような特定されたフィラーを
特定量含有するシート状樹脂組成物成形体および積層体
であるが、成形体および積層体として優れた高周波特性
および電気絶縁特性を有している。すなわち、これらは
低誘電率化でかつ低誘電正接化ならびに優れた電気絶縁
性を可能とする特性を備えている。
The present invention is a sheet-shaped resin composition molded article and a laminated body containing a specified amount of such a specified filler. The molded article and the laminated body have excellent high-frequency characteristics and electrical insulation properties. I have. That is, they have a characteristic that enables a low dielectric constant, a low dielectric loss tangent, and excellent electrical insulation.

【0038】具体的には、まず高周波特性としては、同
じシート状成形体または積層体として比較して、本発明
のフィラーを含有する樹脂組成物を使用して得られたも
のの方が、フィラーを配合しない樹脂組成物を使用して
得られたものより、10%以上好ましくは20%以上の
低誘電率化を容易に可能とし、さらに好ましくは低誘電
正接化も同様に可能とする。
Specifically, first, as to the high-frequency characteristics, those obtained by using the resin composition containing the filler of the present invention have higher filler properties than those of the same sheet-shaped molded product or laminate. It is possible to easily lower the dielectric constant by 10% or more, preferably 20% or more, and more preferably also to reduce the dielectric loss tangent, as compared with those obtained by using a resin composition that is not blended.

【0039】すなわち、本発明のシート状成形体または
積層体の誘電率および誘電正接が、フィラーを配合しな
いシート状成形体または積層体の誘電率および誘電正接
と比較して、いずれも90%以下、好ましくは80%以
下となっている高周波特性を有する成形体または積層体
を容易に得ることができる。本発明において、フィラー
を配合する成形体または積層体と、配合しない成形体ま
たは積層体について、誘電率および誘電正接を比較する
場合、シート状成形体としては成形体同士(表面処理し
たものは同じ表面処理したもの同士)の、また、積層体
としては積層体同士の比較を意味する。誘電率および誘
電正接は、JIS K6911およびJIS C648
1に記載された相互誘導ブリッジ法(変成器ブリッジ
法)により測定される。
That is, the dielectric constant and the dielectric loss tangent of the sheet-shaped molded product or the laminate of the present invention are 90% or less as compared with those of the sheet-shaped molded product or the laminate without the filler. It is possible to easily obtain a molded product or a laminated product having high frequency characteristics of preferably 80% or less. In the present invention, when the dielectric constant and the dielectric loss tangent are compared between a molded article or a laminated body containing a filler and a molded article or a laminated body not containing the filler, as the sheet-shaped molded articles, the molded articles are the same (the surface-treated articles are the same). The surface-treated products are compared with each other, and the laminate is a comparison between the laminates. The dielectric constant and the dielectric loss tangent are based on JIS K6911 and JIS C648.
1 is measured by the mutual induction bridge method (transformer bridge method).

【0040】つぎに、電気絶縁特性としては、同じシー
ト状成形体または積層体として比較して、本発明のフィ
ラーを含有する樹脂組成物を使用して得られたものの方
が、フィラーを配合しない樹脂組成物を使用して得られ
たものより、110%以上好ましくは150%以上の電
気抵抗を容易に可能とする。
Next, with regard to the electrical insulation properties, those obtained by using the resin composition containing the filler of the present invention do not contain the filler as compared with the same sheet-shaped molded product or laminated product. Electrical resistance of 110% or more, preferably 150% or more can be easily achieved as compared with that obtained by using the resin composition.

【0041】すなわち、本発明のシート状成形体または
積層体の電気絶縁抵抗値が、フィラーを配合しないシー
ト状成形体または積層体の電気絶縁抵抗値と比較して、
110%以上、好ましくは150%以上となっている電
気絶縁特性を有する成形体または積層体を容易に得るこ
とができる。本発明において、フィラーを配合する成形
体または積層体と、配合しない成形体または積層体につ
いて、電気絶縁抵抗値を比較する場合、シート状成形体
としては成形体同士(表面処理したものは同じ表面処理
したもの同士)の、また、積層体としては積層体同士の
比較を意味する。電気絶縁抵抗値は、JIS K691
1およびJIS C6481に準拠して測定される。
That is, the electric insulation resistance value of the sheet-shaped molded product or the laminate of the present invention is compared with the electric insulation resistance value of the sheet-shaped molded product or the laminated product not containing the filler.
It is possible to easily obtain a molded article or a laminate having an electrical insulating property of 110% or more, preferably 150% or more. In the present invention, when comparing the electrical insulation resistance values of a molded article or a laminated body containing a filler and a molded article or a laminated body not containing the filler, when the sheet-like molded articles are formed, the molded articles are the same as each other (the surface-treated articles have the same surface). In the case of treated products), and in the case of a laminate, a comparison between laminates is meant. Electrical insulation resistance value is JIS K691
1 and JIS C6481.

【0042】本発明において、フィラーを含む樹脂組成
物からシート状成形体を作製する方法については特に限
定されない。一般的には、均一な組成が得られるよう組
成物を充分に撹拌、混合することが好ましい。ついで微
小中空ガラス球状体フィラーを樹脂組成物中に均一に分
散させることを目的に、高温ニーダー、スクリュー式押
出混練機、同方向二軸押出機などを用いて樹脂を溶融し
た状態でシート状に成形することが好ましい。
In the present invention, there is no particular limitation on the method for producing a sheet-shaped molded product from a resin composition containing a filler. Generally, it is preferable to sufficiently stir and mix the composition so as to obtain a uniform composition. Then, for the purpose of uniformly dispersing the fine hollow glass spherical filler in the resin composition, the resin is melted using a high-temperature kneader, a screw-type extrusion kneader, a co-directional twin-screw extruder or the like to form a sheet. It is preferred to mold.

【0043】また、多層プリント基板の積層板用などと
して使用する場合、樹脂組成物を、ガラス繊維織布、ガ
ラス繊維不織布、ポリアミド繊維織布、ポリエステル繊
維織布、ポリエステル繊維不織布、ポリテトラフルオロ
エチレン不織布などおよびこれらの混抄不織布、混織布
などのシート状の多孔性基材に含浸させることでシート
状に成形する。紙またはフィルムなどを基材として用い
てその表面に所定の樹脂組成物の被膜を施しシート状の
成形体としてもよい。
When used as a laminate for a multilayer printed board, the resin composition may be made of glass fiber woven fabric, glass fiber non-woven fabric, polyamide fiber woven fabric, polyester fiber woven fabric, polyester fiber non-woven fabric, polytetrafluoroethylene A sheet-like porous substrate such as a nonwoven fabric or a mixed nonwoven fabric or a mixed woven fabric is impregnated into a sheet to be formed into a sheet. A sheet-shaped molded product may be formed by using a paper or a film as a base material and applying a coating of a predetermined resin composition to the surface thereof.

【0044】さらに、これらのシート状成形体の1枚ま
たは複数枚を他の基板上に積層して高周波特性の優れた
シート状積層体とする。この場合の基板としては、金
属、セラミック、ガラス、シリコン、樹脂など、が適し
ている。本発明のシート状成形体または積層体として
は、一般的には、厚み1.0mm以下のものが特に有用
であるが、薄いものでは50μm以下のフィルム状のも
のでもよく、また厚いものでは2.0mm程度の積層体
としてもよい。
Further, one or more of these sheet-like molded bodies are laminated on another substrate to form a sheet-like laminate having excellent high-frequency characteristics. In this case, a metal, ceramic, glass, silicon, resin, or the like is suitable as the substrate. As the sheet-shaped molded product or the laminate of the present invention, generally, one having a thickness of 1.0 mm or less is particularly useful, but a thin one may be a film-like one having a thickness of 50 μm or less, and a thick one may be two or less. It may be a laminate of about 0.0 mm.

【0045】また本発明のシート状成形体および積層体
は、低誘電率化効果および低誘電正接化効果のみになら
ず、軽量化効果、断熱効果、耐熱効果、遮音効果、光散
乱効果、耐衝撃性などをもたらす様々な機能も有してい
るので、樹脂組成物の使用目的に応じて種々の複合効果
を発揮する幅広い用途を持つシート状成形体として使用
できる。
In addition, the sheet-like molded product and the laminate of the present invention have not only the effect of reducing the dielectric constant and the effect of reducing the dielectric loss tangent, but also the effect of reducing the weight, heat insulation, heat resistance, sound insulation, light scattering, and light resistance. Since it also has various functions of providing impact properties, it can be used as a sheet-like molded article having a wide range of uses that exhibits various composite effects according to the intended use of the resin composition.

【0046】[0046]

【実施例】[例1(実施例)]二酸化ケイ素85.0
g、炭酸カルシウム22.5g、ホウ酸18.2g、第
二リン酸カルシウム5.0g、炭酸リチウム2.0g、
硫酸ナトリウム6.7g、ホウ砂14.2g、分散剤
(花王社製、商品名ホモゲノールL−1820、以下に
おいても同じ))7.7gを灯油600g中に混合した
後、媒体撹拌ミルを使用して湿式粉砕することでガラス
調合原料のスラリーを得た。使用した媒体撹拌ミルは、
内容積1400cm3であり、ビーズは平均粒径0.6
5mmφのジルコニア製のものを1120cm3入れて
使用した。運転条件は回転数2500rpm、時間30
minであった。
EXAMPLES Example 1 (Example) 85.0 Silicon Dioxide
g, calcium carbonate 22.5 g, boric acid 18.2 g, dibasic calcium phosphate 5.0 g, lithium carbonate 2.0 g,
After mixing 6.7 g of sodium sulfate, 14.2 g of borax, and 7.7 g of a dispersant (trade name: Homogenol L-1820, manufactured by Kao Corporation) in 600 g of kerosene, a medium stirring mill was used. And wet pulverization to obtain a slurry of the glass mixture raw material. The medium stirring mill used was
The internal volume is 1400 cm 3 , and the beads have an average particle size of 0.6
A zirconia material having a diameter of 5 mm was used in an amount of 1120 cm 3 . The operating conditions were 2500 rpm for 30 hours.
min.

【0047】得られたガラス調合原料のスラリーを二流
体ノズルにて噴霧し、火炎を近づけることで着火し噴霧
燃焼を行い、微小中空ガラス球状体を製造した。得られ
た微小中空ガラス球状体は、バグフィルターにて回収
後、水に混合し遠心分離することで水浮上品のみをスラ
リーとして回収し、粒子表面残留可溶分の除去を目的と
して、マントルヒーター内に設置した撹拌機および還流
器付き容器に移液し、撹拌しながら60℃で3時間洗浄
し、これを減圧濾過器で固形物を濾過し、さらに該固形
物を400cm3の脱塩水で洗浄濾過した後120℃で
静置乾燥して、水浮上粒子を得た。次に、水浮上粒子表
面をペルヒドロポリシラザンで処理し、該粒子表面にシ
リカの層を形成した。水浮上粒子の形状を走査型電子顕
微鏡で観察したところ、いずれも真球状であった。これ
らの粒子は、X線回折測定の結果、ガラス質であること
が確認された。
The obtained slurry of the glass-mixed raw material was sprayed with a two-fluid nozzle, and fired by approaching a flame to perform spray combustion to produce a fine hollow glass spherical body. The obtained micro hollow glass spheres are collected with a bag filter, mixed with water, and centrifuged to collect only the water-floating product as a slurry. The solution was transferred to a container equipped with a stirrer and a reflux condenser, and washed at 60 ° C. for 3 hours with stirring. The solid was filtered with a reduced pressure filter, and the solid was further washed with 400 cm 3 of deionized water. After washing, filtration and drying at 120 ° C., water floating particles were obtained. Next, the surface of the floating particles was treated with perhydropolysilazane to form a silica layer on the surface of the particles. When the shape of the water-floating particles was observed with a scanning electron microscope, all of the particles were spherical. As a result of X-ray diffraction measurement, it was confirmed that these particles were glassy.

【0048】ついで、該水浮上粒子をポリエステル製1
7μmの網をセットしたターボスクリーナー(ターボ工
業社製、形式TS125×200)で分級し、ふるい下
品を回収した。ふるい下品の粒度を、レーザー散乱式粒
度測定装置(日機装社製、商品名マイクロトラックHR
A モデル9320−X100、以下においても同じ)
で測定したところ、d50は9.5μmであり、体積基準
ふるい上積算分布において、d10は13.3μmであ
り、d90は6.8μmで前記粒度勾配は0.684であ
った。また乾式自動密度計(島津製作所製、商品名アキ
ュピック1330、以下においても同じ)で測定したふ
るい下品の粒子密度は0.39g/cm3であった。ま
たICP−AES(誘導結合高周波プラズマ原子発光分
析)を用いて測定したホウ素、アルカリ金属およびアル
カリ土類金属の合計溶出量は160ppmであった。
Next, the water floating particles were made of polyester 1
Classification was performed using a turbo screener (trade name: TS125 × 200, manufactured by Turbo Kogyo Co., Ltd.) in which a 7 μm net was set, and sieved products were collected. The particle size of the sieved product can be measured with a laser scattering particle size analyzer (Nikkiso Co., Ltd., trade name Microtrac HR)
A Model 9320-X100, the same applies hereinafter)
As a result, d 50 was 9.5 μm, and in the integrated distribution on a volume-based sieve, d 10 was 13.3 μm, d 90 was 6.8 μm, and the particle size gradient was 0.684. The particle density of the sieved product measured by a dry automatic densitometer (trade name: Acupic 1330, manufactured by Shimadzu Corporation) was 0.39 g / cm 3 . The total elution amount of boron, alkali metal and alkaline earth metal measured by ICP-AES (inductively coupled high frequency plasma atomic emission spectrometry) was 160 ppm.

【0049】ついで、エポキシ樹脂としてエピコート1
52(油化シェル社製、エポキシ当量175、以下にお
いても同じ)100質量部に、テトラヒドロ無水フタル
酸85質量部、イミダゾール系硬化剤1質量部を溶解し
たものに、上記微小中空ガラス球状体からなるフィラー
を15質量部配合して樹脂組成物を得た。この樹脂組成
物を、注型法によりエポキシ樹脂硬化物を作成し、比誘
電率および誘電正接測定用として20cm角、3mm
厚、および絶縁抵抗測定用として20mm幅、40mm
長さ、3mm厚のシート状に切り出し試験片とした。
Next, Epicoat 1 was used as an epoxy resin.
52 (manufactured by Yuka Shell Co., epoxy equivalent: 175, the same applies to the following) dissolved in 85 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride and 1 part by mass of an imidazole-based curing agent, The resin composition was obtained by mixing 15 parts by mass of the filler. An epoxy resin cured product was prepared from this resin composition by a casting method, and a 20 cm square, 3 mm
20mm width, 40mm for thickness and insulation resistance measurement
A test piece was cut out into a sheet having a length of 3 mm.

【0050】得られた比誘電率および誘電正接測定用シ
ートの両面に導電銀ペーストを塗布し、誘電率および誘
電正接をJIS K6911に準拠して測定(以下、同
じ)したところ、誘電率は2.8、誘電正接は0.01
2であった。また、沸騰蒸留水中に絶縁抵抗測定用試験
片を48時間浸漬処理し、絶縁抵抗値を同じくJISK
6911に準拠(以下、同じ)して測定したところ4.
3×1013Ωであった。
A conductive silver paste was applied to both sides of the obtained sheet for measuring the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent, and the dielectric constant and the dielectric loss tangent were measured in accordance with JIS K6911 (the same applies hereinafter). .8, dielectric loss tangent is 0.01
It was 2. In addition, a test piece for measuring insulation resistance was immersed in boiling distilled water for 48 hours, and the insulation resistance value was also measured according to JISK.
3. Measured according to 6911 (hereinafter the same).
It was 3 × 10 13 Ω.

【0051】[例2(比較例)]粒子表面残留可溶分の
除去を目的とした水洗処理とペルヒドロポリシラザン処
理をしなかった以外は例1と同様にしてシート状成形体
を得た。なお、得られた微小中空ガラス球状体のICP
−AESを用いて測定したホウ素、アルカリ金属および
アルカリ土類金属の合計溶出量は3000ppmであっ
た。得られた成形体の誘電率は2.9、誘電正接は0.
012であった。また、沸騰蒸留水中に48時間浸漬処
理し、絶縁抵抗値を測定したところ3.6×1010Ωで
あった。
Example 2 (Comparative Example) A sheet-like molded body was obtained in the same manner as in Example 1 except that the water-washing treatment and the perhydropolysilazane treatment were not performed for the purpose of removing the soluble matter remaining on the particle surface. In addition, the ICP of the obtained fine hollow glass sphere was
-The total elution amount of boron, alkali metal and alkaline earth metal measured using AES was 3000 ppm. The obtained molded article has a dielectric constant of 2.9 and a dielectric loss tangent of 0.2.
012. Further, it was immersed in boiling distilled water for 48 hours, and the insulation resistance value was measured to be 3.6 × 10 10 Ω.

【0052】[例3(比較例)]微小中空ガラス球状体
を使用しなかったこと以外は、例1と同様にしてシート
状成形体を得た。得られた成形体の誘電率は3.2、誘
電正接は0.014であった。また、沸騰蒸留水中に4
8時間浸漬処理し、絶縁抵抗値を測定したところ1.7
×1013Ωであった。
Example 3 (Comparative Example) A sheet-like molded product was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fine hollow glass sphere was not used. The dielectric constant of the obtained molded body was 3.2 and the dielectric loss tangent was 0.014. In addition, 4 boiling water
After immersion treatment for 8 hours, the insulation resistance value was measured to be 1.7.
× 10 13 Ω.

【0053】[例4(実施例)]あらかじめ原料を溶解
し、微粉砕して得た平均粒径約10μmのガラスカレッ
ト(組成SiO2:59.5%、Al23:17.6
%、B23:8.3%、MgO:3.1%、CaO:
3.7%、SrO:7.8%)139.6g、硫酸マグ
ネシウム14.0g、分散剤7.7gを灯油500g中
に混合した後、媒体撹拌ミルを使用して湿式粉砕するこ
とでガラス調合原料のスラリーを得た。使用した媒体撹
拌ミルの内容積は1400cm3であり、ビーズは平均
径0.65mmφのジルコニア製のビーズを1120c
3入れて使用した。運転条件は撹拌回転数を2500
rpmとし、1時間湿式粉砕しガラス調合原料のスラリ
ーを得た。
Example 4 (Example) A glass cullet having an average particle size of about 10 μm (composition SiO 2 : 59.5%, Al 2 O 3 : 17.6) obtained by previously melting and pulverizing the raw materials.
%, B 2 O 3: 8.3 %, MgO: 3.1%, CaO:
(3.7%, SrO: 7.8%) 139.6 g, magnesium sulfate 14.0 g, and a dispersant 7.7 g were mixed in 500 g of kerosene, and then wet-ground using a medium stirring mill to prepare a glass mixture. A slurry of the raw material was obtained. The internal volume of the medium stirring mill used was 1400 cm 3 , and the beads were 1120 c beads made of zirconia having an average diameter of 0.65 mmφ.
m 3 put to use. The operating conditions were a stirring rotation speed of 2500.
rpm and wet pulverization for 1 hour to obtain a slurry of the glass mixture raw material.

【0054】得られたガラス調合原料の灯油スラリーを
二流体ノズルを用いて液滴化し、液滴に火炎を近づけ燃
焼を行い、ガラス化するとともに微小中空ガラス球状体
を製造した。得られた微小中空ガラス球状体は、バグフ
ィルターにて回収後、水に混合し遠心分離することで水
浮上品のみをスラリーとして回収後、粒子表面残留可溶
分の除去を目的として、マントルヒーター内に設置した
撹拌機および還流器付き容器に移液し、撹拌しながら9
7℃で3時間洗浄し、これを減圧濾過器で固形物を濾過
し、さらに該固形物を460cm3の脱塩水で洗浄濾過
した後120℃で静置乾燥して、水浮上粒子を得た。水
浮上粒子の形状を走査型電子顕微鏡で観察したところ、
いずれも真球状であった。これらの粒子は、X線回折測
定の結果、ガラス質であることが確認された。
The kerosene slurry of the obtained glass blending raw material was formed into droplets by using a two-fluid nozzle, and a flame was brought close to the droplets to perform combustion, thereby vitrifying and producing a fine hollow glass spherical body. The resulting micro hollow glass spheres are collected with a bag filter, mixed with water and centrifuged to collect only the water-floating product as a slurry. The solution was transferred to a container equipped with a stirrer and a reflux condenser, and stirred while stirring.
After washing at 7 ° C. for 3 hours, the solid matter was filtered with a reduced pressure filter, and the solid matter was washed with 460 cm 3 of demineralized water, filtered, and then dried at 120 ° C. to obtain water floating particles. . Observing the shape of the water levitating particles with a scanning electron microscope,
All were spherical. As a result of X-ray diffraction measurement, it was confirmed that these particles were glassy.

【0055】回収粉体の粒度をレーザー散乱式粒度測定
装置を用いて測定したところ、d50は7.2μm、体積
基準ふるい上積算分布において、d10は3.2μmであ
り、d90は14.8μmで前記粒度勾配は1.61であ
った。最大粒子径は約18.5μmであった。また乾式
自動密度計で測定した粒子密度は0.54g/cm3
あった。またICP−AESを用いて測定したホウ素、
アルカリ金属およびアルカリ土類金属の合計溶出量は1
10ppmであった。
When the particle size of the recovered powder was measured using a laser scattering particle size analyzer, d 50 was 7.2 μm, d 10 was 3.2 μm in the integrated distribution on a volume-based sieve, and d 90 was 14 μm. At 0.8 μm, the particle size gradient was 1.61. The maximum particle size was about 18.5 μm. The particle density measured by a dry automatic densitometer was 0.54 g / cm 3 . Boron measured using ICP-AES;
The total elution amount of alkali metal and alkaline earth metal is 1
It was 10 ppm.

【0056】ついで、例1と同様にしてエポキシ樹脂と
してエピコート152の100質量部に、テトラヒドロ
無水フタル酸85質量部、イミダゾール系硬化剤1質量
部を溶解したものに、上記微小中空ガラス球状体からな
るフィラーを35質量部配合し樹脂組成物を得た。この
樹脂組成物を、注型法によりエポキシ樹脂硬化物を作成
し、比誘電率および誘電正接測定用として20cm角、
3mm厚、および絶縁抵抗測定用として20mm幅、4
0mm長さ、3mm厚のシート状に切り出し試験片とし
た。
Then, in the same manner as in Example 1, 85 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride and 1 part by mass of an imidazole-based curing agent were dissolved in 100 parts by mass of Epicoat 152 as an epoxy resin. 35 parts by mass of the filler was mixed to obtain a resin composition. This resin composition was prepared as an epoxy resin cured product by a casting method, and a 20 cm square was used for measurement of relative dielectric constant and dielectric loss tangent.
3 mm thick, 20 mm wide for insulation resistance measurement, 4
A test piece was cut out into a sheet having a length of 0 mm and a thickness of 3 mm.

【0057】得られた比誘電率および誘電正接測定用シ
ートの両面に導電銀ペーストを塗布し、誘電率および誘
電正接を例1と同様にして測定したところ、誘電率は
2.8、誘電正接は0.011であった。また、沸騰蒸
留水中に絶縁抵抗測定用試験片を48時間浸漬処理し、
例1と同様にして絶縁抵抗値を測定したところ5.0×
1013Ωであった。
A conductive silver paste was applied to both sides of the obtained sheet for measuring the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent, and the dielectric constant and the dielectric loss tangent were measured in the same manner as in Example 1. The dielectric constant was 2.8 and the dielectric loss tangent was 2.8. Was 0.011. Also, the test piece for insulation resistance measurement was immersed in boiling distilled water for 48 hours,
When the insulation resistance value was measured in the same manner as in Example 1, it was 5.0 ×
It was 10 13 Ω.

【0058】[例5(比較例)]水浮上品回収後の粒子
表面残留可溶分の除去操作を実施しなかったこと以外
は、例4と同様にして水浮上粒子を得た。水浮上粒子の
形状を走査型電子顕微鏡で観察したところ、いずれも真
球状であった。これらの粒子は、X線回折測定の結果、
ガラス質であることが確認された。回収粉体の粒子密度
は0.55g/cm 3であった。またICP−AESを
用いて測定したホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土
類金属の合計溶出量は1500ppmであった。
[Example 5 (Comparative Example)] Particles after recovery of water-floating product
Except that the operation of removing the soluble residue on the surface was not performed
In the same manner as in Example 4, water floating particles were obtained. Of water levitated particles
When the shapes were observed with a scanning electron microscope, all were true.
It was spherical. As a result of the X-ray diffraction measurement,
It was confirmed to be glassy. Particle density of recovered powder
Is 0.55 g / cm ThreeMet. In addition, ICP-AES
Boron, alkali metal and alkaline earth measured using
The total elution amount of similar metals was 1500 ppm.

【0059】ついで、例1と同様にしてエポキシ樹脂と
してエピコート152の100質量部に、テトラヒドロ
無水フタル酸85質量部、イミダゾール系硬化剤1質量
部を溶解したものに、上記微小中空ガラス球状体からな
るフィラーを36質量部配合し樹脂組成物を得た。この
樹脂組成物を、注型法によりエポキシ樹脂硬化物を作成
し、比誘電率および誘電正接測定用として20cm角、
3mm厚、および絶縁抵抗測定用として20mm幅、4
0mm長さ、3mm厚のシート状に切り出し試験片とし
た。
Next, in the same manner as in Example 1, 85 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride and 1 part by mass of an imidazole-based curing agent were dissolved in 100 parts by mass of Epicoat 152 as an epoxy resin. The resin composition was obtained by mixing 36 parts by mass of the filler. This resin composition was prepared as an epoxy resin cured product by a casting method, and a 20 cm square was used for measurement of relative dielectric constant and dielectric loss tangent.
3 mm thick, 20 mm wide for insulation resistance measurement, 4
A test piece was cut out into a sheet having a length of 0 mm and a thickness of 3 mm.

【0060】得られた比誘電率および誘電正接測定用シ
ートの両面に導電銀ペーストを塗布し、誘電率および誘
電正接を例1と同様にして測定したところ、誘電率は
2.8、誘電正接は0.012であった。また、得られ
た絶縁抵抗測定用試験片を沸騰蒸留水中に48時間浸漬
処理し、例1と同様にして絶縁抵抗値を測定したところ
1.5×1011Ωであった。
A conductive silver paste was applied to both sides of the obtained sheet for measuring the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent, and the dielectric constant and the dielectric loss tangent were measured in the same manner as in Example 1. The dielectric constant was 2.8 and the dielectric loss tangent was 2.8. Was 0.012. The obtained test piece for insulation resistance measurement was immersed in boiling distilled water for 48 hours, and the insulation resistance value was measured in the same manner as in Example 1. The result was 1.5 × 10 11 Ω.

【0061】[例6(実施例)]テトラフルオロエチレ
ン−ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体
(旭硝子社製、商品名アフロンPFA P−62X)1
00質量部に、例1の微小中空ガラス球状体からなるフ
ィラー15質量部を添加し、同方向二軸押出機を使用
し、シリンダー温度350℃、圧力100MPaの条件
で、ペレットを作成した。さらに、このペレットを37
0℃、0.5MNの荷重で20cm角、1mm厚のシー
トに圧縮成形し、両面をアルミニウム蒸着(厚み0.1
μm)した。このシート状成形体の誘電率は1.6、誘
電正接は0.0002であった。
Example 6 (Example) Tetrafluoroethylene-perfluoro (alkyl vinyl ether) copolymer (Aflon PFA P-62X, trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) 1
To 00 parts by mass, 15 parts by mass of the filler composed of the fine hollow glass spheres of Example 1 were added, and a pellet was produced using a co-directional twin screw extruder under the conditions of a cylinder temperature of 350 ° C. and a pressure of 100 MPa. In addition, the pellet
It is compression molded into a 20 cm square, 1 mm thick sheet with a load of 0.5 MN at 0 ° C.
μm). The dielectric constant of this sheet-shaped molded product was 1.6 and the dielectric loss tangent was 0.0002.

【0062】[例7(比較例)]微小中空ガラス球状体
を使用しなかったこと以外は、例6と同様にして20c
m角、1mm厚の両面アルミニウム蒸着したシート状成
形体を得た。得られたシート状成形体の誘電率は2.
1、誘電正接は0.0003であった。
Example 7 (Comparative Example) 20c was prepared in the same manner as in Example 6 except that the fine hollow glass spheres were not used.
A sheet-shaped molded body having an m-square and a 1 mm-thickness on which aluminum was deposited on both sides was obtained. The dielectric constant of the obtained sheet-like molded product was 2.
1. The dielectric loss tangent was 0.0003.

【0063】[例8(実施例)]二酸化ケイ素17.5
g、炭酸カルシウム4.5g、ホウ砂7.8g、第二リ
ン酸カルシウム1.0g、硫酸ナトリウム0.6g、炭
酸カリウム0.4g、分散剤1.6gを混合しガラス調
合原料を作成し、これをボールミルを使用して湿式粉砕
しガラス調合原料のスラリーを得た。使用したボールミ
ルは内容積500cm3の卓上式ボールミルで、ボール
は10〜15mmφのアルミナ製のものを約250cm
3程度入れて使用した。その中に、前記ガラス調合原料
と灯油150gを入れ、回転数100rpmで、8時間
湿式粉砕しガラス調合原料のスラリーを得た。
Example 8 (Example) Silicon dioxide 17.5
g, 4.5 g of calcium carbonate, 7.8 g of borax, 1.0 g of dibasic calcium phosphate, 0.6 g of sodium sulfate, 0.4 g of potassium carbonate, and 1.6 g of a dispersing agent to prepare a glass mixture raw material. It was wet-pulverized using a ball mill to obtain a slurry of the glass-mixed raw material. The ball mill used was a table-top ball mill with an internal volume of 500 cm 3.
I put about 3 and used it. The glass blended raw material and 150 g of kerosene were put therein, and wet pulverized at 100 rpm for 8 hours to obtain a slurry of the glass blended raw material.

【0064】得られたガラス調合原料のスラリーを二流
体ノズルにて噴霧させ、火炎を近づけることで着火し噴
霧燃焼を行い、ガラス化とともに微小中空ガラス球状体
を製造した。得られた微小中空ガラス球状体は、バグフ
ィルターにて回収後、水に混合し遠心分離することで水
浮上品のみをスラリーとして回収し、粒子表面残留可溶
分の除去を目的として、マントルヒーター内に設置した
撹拌機および還流器付き容器に移液し、撹拌しながら6
0℃で6時間洗浄し、これを減圧濾過器で固形物を濾過
し、さらに該固形物を100cm3の脱塩水で洗浄濾過
した後120℃で静置乾燥して、水浮上粒子を得た。次
に、水浮上粒子表面をペルヒドロポリシラザンで処理
し、粒子表面にシリカ層を形成した。水浮上粒子の形状
を走査型電子顕微鏡で観察したところ、いずれも真球状
であった。これらの粒子は、X線回折測定の結果、ガラ
ス質であることが確認された。
The obtained slurry of the glass-mixed raw material was sprayed with a two-fluid nozzle, ignited by approaching a flame, spray-burned, and vitrified to produce a fine hollow glass spherical body. The obtained micro hollow glass spheres are collected with a bag filter, mixed with water, and centrifuged to collect only the water-floating product as a slurry. The solution was transferred to a container equipped with a stirrer and
After washing at 0 ° C. for 6 hours, the solid was filtered with a reduced pressure filter, and the solid was washed with 100 cm 3 of demineralized water, filtered, and then dried at 120 ° C. to obtain water floating particles. . Next, the surface of the water floating particles was treated with perhydropolysilazane to form a silica layer on the surface of the particles. When the shape of the water-floating particles was observed with a scanning electron microscope, all of the particles were spherical. As a result of X-ray diffraction measurement, it was confirmed that these particles were glassy.

【0065】ついで、該水浮上粒子をポリエステル製2
4μmの網をセットした例1と同じターボスクリーナー
で分級し、ふるい下品を回収した。ふるい下品の粒度を
レーザー散乱式粒度測定装置で測定したところ、d50
10.5μmであり、体積基準ふるい上積算分布におい
て、d10は16.2μmであり、d90は6.5μmで前
記粒度勾配は0.92であった。また乾式自動密度計で
測定した粒子密度は0.38g/cm3であった。また
ICP−AESで測定したホウ素、アルカリ金属および
アルカリ土類金属の合計溶出量は130ppmであっ
た。また、静水圧による体積基準での10%体積減少時
の破壊強度は40MPaであった。
Next, the water floating particles were made of polyester 2
Classification was performed using the same turbo screener as in Example 1 in which a 4 μm net was set, and the sifted product was collected. When the particle size of the sieved product was measured with a laser scattering particle size analyzer, d 50 was 10.5 μm, and in the integrated distribution on the volume-based sieve, d 10 was 16.2 μm and d 90 was 6.5 μm. The particle size gradient was 0.92. The particle density measured by a dry automatic densitometer was 0.38 g / cm 3 . The total elution amount of boron, alkali metal and alkaline earth metal measured by ICP-AES was 130 ppm. The breaking strength when the volume was reduced by 10% on a volume basis by hydrostatic pressure was 40 MPa.

【0066】エポキシ樹脂(油化シェル社製、商品名エ
ピコート1001、エポキシ当量480)100質量部
にジシアンジアミド3質量部、硬化剤として2−エチル
−4−メチルイミダゾール0.2質量部を溶解したもの
に、あらかじめペルヒドロポリシラザンで処理を行いさ
らにシランカップリング剤で表面処理を行った上記微小
中空ガラス球状体からなるフィラーを40質量部配合し
て樹脂組成物を得た。この樹脂組成物を坪量70g/m
2のガラス繊維織布(旭シュエーベル社製)に含浸、乾
燥させ樹脂量59質量%のシート状に成形したプリプレ
グを得た。
A resin obtained by dissolving 3 parts by mass of dicyandiamide and 0.2 parts by mass of 2-ethyl-4-methylimidazole as a curing agent in 100 parts by mass of an epoxy resin (trade name: Epicoat 1001, manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., epoxy equivalent: 480) Then, 40 parts by mass of a filler composed of the above-mentioned fine hollow glass spheres which had been previously treated with perhydropolysilazane and further subjected to surface treatment with a silane coupling agent were blended to obtain a resin composition. This resin composition was weighed at 70 g / m
Impregnating a second glass fiber fabric (manufactured by Asahi-Schwebel Co., Ltd.), to obtain a prepreg molded in resin amount 59 mass% of the sheet is dried.

【0067】このプリプレグを、20mm幅、40mm
長さのシート状に切り出し試験片とした。この絶縁抵抗
測定用試験片を沸騰蒸留水中に48時間浸漬処理し、例
1と同様にして絶縁抵抗値を測定したところ5.8×1
13Ωであった。
This prepreg was prepared with a 20 mm width, 40 mm
The test piece was cut out into a sheet of length. The test piece for insulation resistance measurement was immersed in boiling distilled water for 48 hours, and the insulation resistance value was measured in the same manner as in Example 1.
0 13 Ω.

【0068】ついで、前記プリプレグ11枚を重ね合わ
せ、その上下に銅箔(厚み35μm)を重ね、温度17
0℃、圧力8MPaで90分間積層成形し、板厚1.6
mmの銅張り積層板を得た。得られた積層板の誘電率は
3.6、誘電正接は0.013であった。
Next, the 11 prepregs were stacked, and copper foil (thickness: 35 μm) was stacked above and below the prepreg.
Laminate molding at 0 ° C., pressure 8 MPa for 90 minutes, sheet thickness 1.6
mm copper-clad laminate was obtained. The obtained laminate had a dielectric constant of 3.6 and a dielectric loss tangent of 0.013.

【0069】[例9(比較例)]微小中空ガラス球状体
を使用しなかったこと以外は、例8と同様にして樹脂組
成物、プリプレグを得、さらに銅張り積層板を得た。得
られたプリプレグの絶縁抵抗値は1.7×1013Ω、得
られた積層板の誘電率は4.9、誘電正接は0.026
であった。
Example 9 (Comparative Example) A resin composition, a prepreg, and a copper-clad laminate were obtained in the same manner as in Example 8, except that the fine hollow glass spheres were not used. The insulation resistance value of the obtained prepreg was 1.7 × 10 13 Ω, the dielectric constant of the obtained laminate was 4.9, and the dielectric loss tangent was 0.026.
Met.

【0070】[0070]

【発明の効果】本発明のシート状成形体および積層体
は、低誘電率化および低誘電正接化可能な、絶縁性に優
れ、特定の粒径、粒度分布および密度を有する微小中空
状の球状体からなるフィラーを特定量配合した樹脂組成
物からなるもので、厚みが規制される優れた高周波特性
を必要とする高速、高周波回路などの用途に極めて好適
に使用できる。また、本発明のシート状成形体および積
層体は、電子・電気部品、半導体分野などの絶縁材料、
樹脂封止用材料、積層板用などの分野でも好適に使用で
きる。
Industrial Applicability The sheet-like molded product and laminate of the present invention are capable of reducing the dielectric constant and the dielectric loss tangent, have excellent insulating properties, and have a fine hollow spherical shape having a specific particle size, particle size distribution and density. It is made of a resin composition containing a specific amount of a filler made of a body, and can be used very suitably for applications such as high-speed and high-frequency circuits that require excellent high-frequency characteristics whose thickness is regulated. Further, the sheet-shaped molded body and the laminated body of the present invention are electronic and electric parts, insulating materials such as semiconductors,
It can also be suitably used in fields such as resin sealing materials and laminates.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08K 7/28 C08K 7/28 5G333 C08L 101/00 C08L 101/00 H01B 17/56 H01B 17/56 L Fターム(参考) 4F071 AA01 AA42 AB28 AC09 AC12 AD04 AE03 AE17 AH13 BA03 BB01 BC01 4F072 AA04 AA07 AB09 AB30 AD28 AE01 AF27 AG03 AH04 AH22 AJ04 AK05 AK14 AL12 AL13 4F100 AA04 AA07 AA08 AA20 AG00A AK01A AK53 AT00B BA02 BA07 CA23A DE04 DE04A EH61 EJ42 GB41 JG04 JG04A JG05 JG05A YY00A 4J002 AA011 AA021 BB031 BB121 BD041 BD101 BD151 BD161 BG061 BN151 CC031 CC041 CC121 CC181 CD001 CF011 CF211 CG001 CL001 CM041 DL006 FA096 FD016 GF00 5G303 AA07 AB06 AB07 BA02 CA02 CA09 CB02 CB06 CB16 CB20 CB30 5G333 AA05 AB12 CA03 CB17 CB19 DA03 DA22 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) C08K 7/28 C08K 7/28 5G333 C08L 101/00 C08L 101/00 H01B 17/56 H01B 17/56 LF term (reference) ) 4F071 AA01 AA42 AB28 AC09 AC12 AD04 AE03 AE17 AH13 BA03 BB01 BC01 4F072 AA04 AA07 AB09 AB30 AD28 AE01 AF27 AG03 AH04 AH22 AJ04 AK05 AK14 AL12 AL13 4F100 AA04 AA07 AA08 A04A23A04 A04A04A04A04A04A01 JG05A YY00A 4J002 AA011 AA021 BB031 BB121 BD041 BD101 BD151 BD161 BG061 BN151 CC031 CC041 CC121 CC181 CD001 CF011 CF211 CG001 CL001 CM041 DL006 FA096 FD016 GF00 5G303 AA07 AB06 AB07 BA02 CA02 CB CB CB CB CB CB CB CB CB CB CB CB CB CB

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】最大粒子径が50μm以下、粒子密度が
1.0g/cm3以下、(d10−d90)/d50で示す粒
度勾配が2.0以下、d50が20μm以下であり、かつ
以下の方法で測定したホウ素、アルカリ金属およびアル
カリ土類金属の溶出量の合計が、サンプル質量の500
ppm以下である微小中空ガラス球状体からなるフィラ
ーを、樹脂との合量中に5〜60質量%配合した樹脂組
成物を成形してなるシート状成形体。ただし、d10、d
50、d90は、レーザー散乱式粒度測定装置を使用して測
定した体積基準ふるい上積算分布の値がそれぞれ10
%、50%、90%となる粒子径である。 (ホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属の溶出
量の測定方法)サンプル(12.5g)に蒸留水200
cm3を添加し、撹拌しながら97℃の温度条件で24
時間処理をする。処理後、固形物を濾過し、濾液中に溶
存するホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属量
を定量し、これらの合計溶出量をサンプル質量に対する
割合で表示する。
(1) a maximum particle diameter of 50 μm or less, a particle density of 1.0 g / cm 3 or less, a particle size gradient represented by (d 10 −d 90 ) / d 50 of 2.0 or less, and a d 50 of 20 μm or less. And the sum of the amounts of boron, alkali metal and alkaline earth metal eluted measured by the following method is 500% of the sample mass.
A sheet-like molded product obtained by molding a resin composition containing 5 to 60% by mass of a filler composed of minute hollow glass spheres having a content of not more than 1 ppm in a total amount with a resin. Where d 10 , d
50, d 90, the value of cumulative distribution on a volume basis sieve was measured using a laser scattering type particle size measuring apparatus, each 10
%, 50%, and 90%. (Method for Measuring Elution Amount of Boron, Alkali Metal and Alkaline Earth Metal) A sample (12.5 g) was mixed with 200 ml of distilled water.
cm 3 was added and stirred at a temperature of 97 ° C. for 24 hours.
Perform time processing. After the treatment, the solid is filtered, the amounts of boron, alkali metal and alkaline earth metal dissolved in the filtrate are quantified, and the total elution amount of these is expressed as a ratio to the sample mass.
【請求項2】最大粒子径が50μm以下、粒子密度が
1.0g/cm3以下、(d10−d90)/d50で示す粒
度勾配が2.0以下、d50が20μm以下であり、かつ
以下の方法で測定したホウ素、アルカリ金属およびアル
カリ土類金属の溶出量の合計が、サンプル質量の500
ppm以下である微小中空ガラス球状体からなるフィラ
ーを、樹脂との合量中に5〜60質量%配合した樹脂組
成物を多孔性基材に含浸してなるシート状成形体。ただ
し、d10、d50、d90は、レーザー散乱式粒度測定装置
を使用して測定した体積基準ふるい上積算分布の値がそ
れぞれ10%、50%、90%となる粒子径である。 (ホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属の溶出
量の測定方法)サンプル(12.5g)に蒸留水200
cm3を添加し、撹拌しながら97℃の温度条件で24
時間処理をする。処理後、固形物を濾過し、濾液中に溶
存するホウ素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属量
を定量し、これらの合計溶出量をサンプル質量に対する
割合で表示する。
2. The maximum particle size is 50 μm or less, the particle density is 1.0 g / cm 3 or less, the particle size gradient (d 10 −d 90 ) / d 50 is 2.0 or less, and the d 50 is 20 μm or less. And the sum of the amounts of boron, alkali metal and alkaline earth metal eluted measured by the following method is 500% of the sample mass.
A sheet-like molded product obtained by impregnating a porous base material with a resin composition containing 5 to 60% by mass of a filler composed of a fine hollow glass sphere having a content of not more than 1 ppm in a total amount with a resin. However, d 10 , d 50 , and d 90 are the particle diameters at which the values of the integrated distribution on a volume-based sieve measured using a laser scattering type particle size analyzer are 10%, 50%, and 90%, respectively. (Method for Measuring Elution Amount of Boron, Alkali Metal and Alkaline Earth Metal) A sample (12.5 g) was mixed with 200 ml of distilled water.
cm 3 was added and stirred at a temperature of 97 ° C. for 24 hours.
Perform time processing. After the treatment, the solid is filtered, the amounts of boron, alkali metal and alkaline earth metal dissolved in the filtrate are quantified, and the total elution amount of these is expressed as a ratio to the sample mass.
【請求項3】フィラーの粒子密度が0.5g/cm3
下である請求項1または2に記載のシート状成形体。
3. The sheet-shaped molded product according to claim 1, wherein the filler has a particle density of 0.5 g / cm 3 or less.
【請求項4】請求項1、2または3に記載のシート状成
形体を基板に積層してなる積層体。
4. A laminate obtained by laminating the sheet-like molded product according to claim 1, 2 or 3 on a substrate.
【請求項5】請求項1、2または3に記載のシート状成
形体または請求項4に記載の積層体の誘電率が、前記フ
ィラーを配合しないシート状成形体または積層体の誘電
率と比較して、90%以下であるシート状成形体または
積層体。
5. The dielectric constant of the sheet-like molded product according to claim 1, 2 or 3 or the laminate of claim 4 is compared with the dielectric constant of the sheet-like molded product or laminate without the filler. And 90% or less.
【請求項6】請求項1、2または3に記載のシート状成
形体または請求項4に記載の積層体の絶縁抵抗値が、前
記フィラーを配合しないシート状成形体または積層体の
絶縁抵抗値と比較して、110%以上であるシート状成
形体または積層体。
6. The insulation resistance value of the sheet-like molded product according to claim 1, 2 or 3, or the insulation resistance value of the sheet-like molded product or laminate not containing the filler. A sheet-like molded product or a laminate that is 110% or more as compared with
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