JP2002090703A - Apparatus and method for assembling substrate for liquid crystal - Google Patents

Apparatus and method for assembling substrate for liquid crystal

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JP2002090703A
JP2002090703A JP2000278169A JP2000278169A JP2002090703A JP 2002090703 A JP2002090703 A JP 2002090703A JP 2000278169 A JP2000278169 A JP 2000278169A JP 2000278169 A JP2000278169 A JP 2000278169A JP 2002090703 A JP2002090703 A JP 2002090703A
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liquid crystal
vacuum
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substrate
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Mamoru Nakatsuka
守 中塚
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To assemble a liquid crystal display panel by sealing a liquid crystal, a sealing material and a spacer necessary for a liquid crystal panel in two glass substrate 3, by using one apparatus. SOLUTION: Two glass substrates 1 and 2 are oppositely held on the surfaces of an upper board 3 and a lower board 6. When the upper board 3 is descended and the distance between the upper board 3 and the lower board 6 becomes small, the peripheries of two glass substrates 1 and 2 are covered by a packing 14 for vacuum formation, and thereby sealing is completed. A vacuum space 49 being in a vacuum state is formed by evacuating a space covered with the packing 14 for vacuum formation, from a vacuum suction hole 28. As for the upper side glass substrate 1, a fluid for pressurization can be introduced to a pressurization space 50 separated from the space 49 by a packing 18 for fluid pressurization through a pressurization hole 24 by operating a rod 20, and thereby pressurization necessary for gap formation can be performed. A large load applied by the formation of the space 49 can be cancelled by operating a cylinder 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、2枚の基板を貼合
わせて液晶表示パネルを組立てるための液晶用基板組立
装置および方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal substrate assembling apparatus and method for assembling a liquid crystal display panel by bonding two substrates together.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、液晶の光学的特性を電気的に
変化させて画像を表示する液晶表示装置の1種としてTh
in Film TransistorからTFTと略称される薄膜トラン
ジスタによるアクティブマトリクス方式のカラーTFT
液晶表示パネルが広く用いられている。カラーTFT液
晶表示パネルでは、TFTによるアクティブマトリクス
を形成したガラス基板と、カラーフィルタを形成したガ
ラス基板とを用い、2枚のガラス基板間に液晶、シール
材およびスペーサを挟んで組立てられる。液晶表示パネ
ルとしては、TFTアクティブマトリクス方式のほか
に、MIMアクティブマトリクス方式や単純マトリクス
方式も用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a type of liquid crystal display device for displaying an image by electrically changing the optical characteristics of liquid crystal has been used as a kind of liquid crystal display device.
An active matrix color TFT using thin film transistors, abbreviated as TFT from in Film Transistor
Liquid crystal display panels are widely used. A color TFT liquid crystal display panel is assembled using a glass substrate on which an active matrix of TFTs is formed and a glass substrate on which a color filter is formed, with a liquid crystal, a sealing material, and a spacer interposed between two glass substrates. As the liquid crystal display panel, in addition to the TFT active matrix system, an MIM active matrix system and a simple matrix system are also used.

【0003】このような液晶表示パネルの組立ては、2
枚の基板の一方の表面にスペーサとなる微粒子を散布す
るとともに、所定の部分にシール材を塗布しておき、2
枚の基板を貼合わせて、間隔が数μm程度のギャップに
なるまで押圧して貼合わせを行う。シール材には、紫外
線を照射することによって硬化する光硬化成分を含ませ
ておき、押し潰されたシール材に紫外線を照射して硬化
させ、両方の基板を仮に固定する。このような貼合わせ
は、貼合わせ装置で自動的に行われる。さらに、ギャッ
プ成形機と呼ばれる装置で、貼合わされた基板をスペー
サの粒径まで、加熱しながら加圧して、シール材の熱硬
化成分を利用してシール材を硬化させる。シール材は、
少なくとも1個所開口部を設けた形で塗布され、硬化さ
せて所望のギャップを有する基板の貼合わせが完了した
あと、シール材の開口部から基板間隙内部を真空にし
て、液晶を注入する。液晶を注入したあと、シール材の
開口部を封じて、液晶表示パネルの組立てが完了する。
The assembling of such a liquid crystal display panel involves two steps.
Fine particles serving as spacers are sprayed on one surface of the two substrates, and a sealing material is applied to a predetermined portion of the substrate.
The two substrates are bonded together and pressed until the gap becomes about several μm. The sealing material contains a photo-curing component that cures when irradiated with ultraviolet light, and the crushed sealing material is cured by irradiating ultraviolet light, and both substrates are temporarily fixed. Such bonding is performed automatically by a bonding device. Further, the bonded substrate is heated and pressurized to the particle size of the spacer by a device called a gap forming machine, and the sealing material is cured using a thermosetting component of the sealing material. The sealing material is
After being applied in a form having at least one opening and being cured to complete bonding of a substrate having a desired gap, the inside of the substrate gap is evacuated from the opening of the sealing material and liquid crystal is injected. After injecting the liquid crystal, the opening of the sealing material is sealed, and the assembly of the liquid crystal display panel is completed.

【0004】液晶表示パネルを形成するために用いるガ
ラス基板の貼合わせ装置に関する先行技術は、たとえば
特開平6−18829号公報で出願公開され、特許第2
604090号として登録されている。ガラス基板の貼
合わせ装置に関する他の先行技術は、特開平8−761
33号公報、特開平8−304835号公報などにも開
示されている。特開平11−326857号公報には、
ガラス基板を貼合わせたあと、2枚の基板間を排気し、
シール材を紫外線で硬化させて液晶表示パネルを組立て
る装置について開示されている。特開平7−5405号
公報には、2枚の基板を貼合わせ、2枚の基板間の空隙
の圧力を低下させて、液晶を注入することができる装置
が開示されている。さらに特開平10−333157号
公報には、シール材の表面を部分的に硬化させて液晶層
を形成させた基板を一方に用い、もう1枚の基板を貼合
わせて液晶表示装置を製造する方法が示されている。
A prior art relating to an apparatus for bonding a glass substrate used for forming a liquid crystal display panel is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-18829, and is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 8-18829.
No. 604090. Another prior art relating to a glass substrate laminating apparatus is disclosed in JP-A-8-761.
No. 33, JP-A-8-304835 and the like. JP-A-11-326857 discloses that
After bonding the glass substrates, evacuate between the two substrates,
An apparatus for assembling a liquid crystal display panel by curing a sealing material with ultraviolet light is disclosed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-5405 discloses an apparatus in which two substrates are attached to each other and a liquid crystal can be injected by reducing the pressure in a gap between the two substrates. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-333157 discloses a method of manufacturing a liquid crystal display device by using a substrate on which a liquid crystal layer is formed by partially curing the surface of a sealant and bonding another substrate. It is shown.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】一般的な液晶表示パネ
ルの組立では、ガラス基板を組立てるだけで貼合わせ装
置とギャップ形成装置との2種類の装置を必要としてい
る。これまで1台の装置で両方の機能を備えるととも
に、貼合わせが完了した時点で内部に液晶を封じ込める
装置は用いられていない。特開平10−333157号
公報には、どのような装置を用いるかについては示され
ていない。特開平7−5405号公報では、2枚の基板
を位置決めして貼合わせた後で、2枚の基板間およびシ
ール材で囲われる空隙を減圧し、全体を加圧する装置の
構成は示されているけれども、2枚の基板を貼合わせる
装置の構成は示されていない。特開平11−32685
7号公報には、位置合わせとプレスとを順次行って2枚
の基板を組立てる装置の構成は示されているけれども、
液晶の注入はさらに後から行う必要がある。
In the assembly of a general liquid crystal display panel, two types of devices, a bonding device and a gap forming device, are required only by assembling a glass substrate. Until now, a single device has both functions, and no device has been used to seal the liquid crystal inside when bonding is completed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-333157 does not disclose what kind of device is used. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-5405 discloses a configuration of a device for positioning and bonding two substrates, and thereafter reducing the pressure between the two substrates and the space surrounded by the sealant, and pressurizing the whole. However, the configuration of an apparatus for bonding two substrates is not shown. JP-A-11-32685
Although Japanese Patent Publication No. 7 discloses a configuration of an apparatus for sequentially performing alignment and pressing to assemble two substrates,
The injection of the liquid crystal needs to be performed later.

【0006】特許第2604090号公報、特開平8−
76133号公報および特開平8−304835号公報
で貼合わせ装置だけが示されているのは、2枚のガラス
基板の貼合わせは、2枚のガラス基板の表面が平行で、
かつ表面に沿う方向の位置ずれがないように行わなけれ
ばならず、一方でギャップを調整するためには、貼合わ
せに必要な圧力よりも桁違いに大きな加圧力で、しかも
均一に力を加えなければならず、同一装置に統合するこ
とが困難だからである。特開平11−326857号公
報では、基板の位置合わせを行って貼合わせる部分と、
加圧する部分とを1台の装置内に分けて構成している。
[0006] Japanese Patent No. 2604090, Japanese Unexamined Patent Publication No.
No. 76133 and Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 8-304835 show only a bonding apparatus. The bonding of two glass substrates is such that the surfaces of the two glass substrates are parallel to each other.
In addition, the gap must be adjusted so that there is no misalignment in the direction along the surface.On the other hand, in order to adjust the gap, apply a force that is orders of magnitude greater than the pressure required for bonding, and apply a uniform force. Because it is difficult to integrate them into the same device. In Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-326857, a portion where a substrate is aligned and bonded is provided.
The part to be pressurized is divided into one device.

【0007】本発明の目的は、1台の装置の内部で液晶
表示パネルの組立に必要な作業を行い、2枚の基板間に
液晶、シール材およびスペーサを封じ込めて均一なギャ
ップを形成することができる液晶用基板組立装置および
方法を提供することである。
An object of the present invention is to perform a work necessary for assembling a liquid crystal display panel inside one device and to form a uniform gap by sealing a liquid crystal, a sealing material and a spacer between two substrates. And a method of assembling a liquid crystal substrate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、2枚の基板間
に液晶層を介在させて周囲をシール材で封止し、基板間
の間隔を液晶層中に分散して配置されるスペーサで一定
に保って液晶表示パネルとして組立てる液晶用基板の組
立装置であって、対向する2つの表面を有し、各表面上
に2枚の基板をそれぞれ保持し、基板間の間隔と表面に
平行な平面内での相対位置とを調整する変位が可能な保
持機構と、保持機構の対向する2つの表面間で、2枚の
基板の周囲を気密に覆い、かつ保持機構の変位を許容す
る密閉機構と、密閉機構によって覆われる空間内を排気
して、減圧された真空状態を形成する真空形成機構と、
真空形成機構によって、密閉機構によって覆われる空間
に真空状態が形成されるとき、保持機構の2つの表面間
に加わる荷重を打ち消す力を、該2つの表面間に作用さ
せるキャンセル機構と、密閉機構によって覆われる空間
内で、該真空状態とは分離して、保持機構の2つの表面
のうちの少なくとも一方の表面と該表面に保持される基
板との間に、流体圧力を印加して加圧する加圧機構とを
含むことを特徴とする液晶用基板組立装置である。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided a spacer in which a liquid crystal layer is interposed between two substrates, the periphery thereof is sealed with a sealing material, and the distance between the substrates is dispersed in the liquid crystal layer. An assembling apparatus for a liquid crystal substrate to be assembled as a liquid crystal display panel while keeping the same constant, having two opposing surfaces, holding two substrates on each surface, and paralleling the distance between the substrates and the surface. A holding mechanism capable of adjusting a relative position within a flat plane, and a hermetic seal between the two opposing surfaces of the holding mechanism to hermetically cover the periphery of the two substrates and allow the holding mechanism to be displaced. A mechanism and a vacuum forming mechanism that exhausts the space covered by the sealing mechanism and forms a reduced-pressure vacuum state,
When a vacuum state is formed in the space covered by the sealing mechanism by the vacuum forming mechanism, a canceling mechanism for applying a force between the two surfaces of the holding mechanism to cancel a load applied between the two surfaces, and a sealing mechanism by the sealing mechanism In the space to be covered, a fluid pressure is applied by applying a fluid pressure between at least one of the two surfaces of the holding mechanism and the substrate held on the surface separately from the vacuum state. And a pressure mechanism.

【0009】本発明に従えば、液晶用基板組立装置は、
2枚の基板間に液晶層を介在させて周囲をシール材で封
止し、基板間の間隔を液晶層中に分散して配置されるス
ペーサで一定に保って液晶表示パネルとして組立てるた
め、保持機構、密閉機構、キャンセル機構および加圧機
構を含む。保持機構は、対向する2つの表面を有し、各
表面上に1枚ずつの基板をそれぞれ保持し、基板間の間
隔と表面に平行な平面内での相対位置とを調整する変位
が可能である。密閉機構は、保持機構の対向する2つの
表面間で、2枚の基板の周囲を気密に覆い、かつ保持機
構の変位を許容する。真空形成機構は、密閉機構によっ
て覆われる空間内を配置して減圧された真空状態を形成
する。キャンセル機構は、真空機構によって密閉機構に
よって覆われる空間に真空状態が形成されるとき、保持
機構の2つの表面間に加わる荷重を打ち消す力を2つの
表面間に作用させる。加圧機構は、密閉機構によって覆
われる空間内で、真空状態とは分離して、保持機構の2
つの表面のうちの少なくとも一方の表面とその表面に保
持される基板との間に流体圧力を印加して加圧する。
According to the present invention, a liquid crystal substrate assembling apparatus includes:
The liquid crystal layer is interposed between the two substrates, the periphery is sealed with a sealant, and the distance between the substrates is kept constant by spacers dispersed in the liquid crystal layer to assemble as a liquid crystal display panel. Includes a mechanism, a sealing mechanism, a canceling mechanism, and a pressurizing mechanism. The holding mechanism has two opposing surfaces, holds one substrate on each surface, and is capable of displacement to adjust the distance between the substrates and the relative position in a plane parallel to the surface. is there. The sealing mechanism hermetically covers the periphery of the two substrates between the two opposing surfaces of the holding mechanism, and allows displacement of the holding mechanism. The vacuum forming mechanism arranges a space covered by the sealing mechanism to form a reduced-pressure vacuum state. The cancel mechanism applies a force between the two surfaces to cancel a load applied between the two surfaces of the holding mechanism when a vacuum state is formed in the space covered by the sealing mechanism by the vacuum mechanism. The pressurizing mechanism separates from the vacuum state in the space covered by the sealing mechanism,
A fluid pressure is applied between at least one of the two surfaces and the substrate held on the surface to apply pressure.

【0010】密閉機構によって2枚の基板間の周囲を覆
い、真空形成機構によって減圧し、加圧機構によって保
持機構の表面と基板との間を加圧するので、周囲を真空
状態としながら基板間を押圧して2枚の基板を貼合わせ
ることができる。キャンセル機構は、真空状態の保持機
構に発生する荷重を打ち消す力を2枚の基板間に与える
ので、保持機構で2枚の基板の間隔を調整したり、基板
の表面に平行な方向の位置合わせしたりすることを容易
に行うことができる。加圧機構は、保持機構の少なくと
も一方の表面とその表面に保持される基板との間に流体
圧力を印加して加圧するので、ギャップを形成するため
の基板の加圧を均一に行うことができる。2枚の基板の
少なくとも一方にシール材およびスペーサを塗布してお
き、さらに液晶を予め塗布しておくか途中で注入するよ
うにすれば、1台の装置でその内部に液晶パネルに必要
な液晶、シール材およびスペーサを封じ込めて基板を貼
合わせ、均一なギャップを形成することができる。
The periphery between the two substrates is covered by a sealing mechanism, the pressure is reduced by a vacuum forming mechanism, and the pressure between the surface of the holding mechanism and the substrate is increased by a pressing mechanism. The two substrates can be bonded by pressing. Since the canceling mechanism applies a force between the two substrates to cancel the load generated in the holding mechanism in a vacuum state, the spacing between the two substrates is adjusted by the holding mechanism, and the positioning in the direction parallel to the surface of the substrate is performed. Can be easily performed. Since the pressurizing mechanism applies a fluid pressure between at least one surface of the holding mechanism and the substrate held on the surface to pressurize the substrate, it is possible to uniformly press the substrate to form a gap. it can. If a sealing material and a spacer are applied to at least one of the two substrates, and the liquid crystal is applied in advance or injected in the middle, the liquid crystal necessary for the liquid crystal panel can be provided inside the single device. In addition, the sealing material and the spacer are sealed, and the substrates are bonded to form a uniform gap.

【0011】また本発明で前記保持機構は前記2枚の基
板の表面が水平となる状態で保持し、保持機構の前記2
つの表面のうちの少なくとも一方の表面が上下方向に変
位して前記基板間の間隔が調整されることを特徴とす
る。
In the present invention, the holding mechanism holds the two substrates in a state where the surfaces of the two substrates are horizontal.
At least one of the surfaces is vertically displaced to adjust the distance between the substrates.

【0012】本発明に従えば、基板の表面が水平に保持
した状態で、2枚の基板間に液晶、シール材およびスペ
ーサを封じ込めて液晶パネルを製造することができる。
According to the present invention, a liquid crystal panel can be manufactured by sealing a liquid crystal, a sealing material, and a spacer between two substrates while keeping the surface of the substrate horizontal.

【0013】また本発明で前記加圧機構は、前記基板の
周縁部より内側全体を加圧することを特徴とする。
Further, in the present invention, the pressing mechanism presses the entire inner side of the peripheral portion of the substrate.

【0014】本発明に従えば、基板を破損することなく
均一に加圧して所望の間隔に調整することができる。
According to the present invention, the substrate can be uniformly pressurized and adjusted to a desired interval without damaging the substrate.

【0015】また本発明で前記キャンセル機構は、転が
り摩擦を利用して、前記荷重を打ち消す力の方向と直交
する方向に移動可能な転がり機構をさらに含むことを特
徴とする。
Further, in the present invention, the canceling mechanism further includes a rolling mechanism movable in a direction orthogonal to a direction of the force for canceling the load by utilizing rolling friction.

【0016】本発明に従えば、基板の表面に平行な平面
で位置合わせを行う際の抵抗を少なくして、高精度の位
置合わせを可能にすることができる。
According to the present invention, it is possible to reduce the resistance when performing alignment on a plane parallel to the surface of the substrate, and to achieve highly accurate alignment.

【0017】また本発明は前記2枚の基板間で、シール
材の近傍の予め定める位置に、紫外線を照射する照射機
構をさらに含むことを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that it further comprises an irradiation mechanism for irradiating ultraviolet rays to a predetermined position near the sealing material between the two substrates.

【0018】本発明に従えば、紫外線の照射でシール材
の近傍の仮止めを行うことができる。
According to the present invention, the temporary fixing in the vicinity of the sealing material can be performed by irradiating ultraviolet rays.

【0019】さらに本発明は、2枚の基板間に液晶層を
介在させて周囲をシール材で封止し、基板間の間隔を液
晶層中に分散して配置されるスペーサで一定に保って液
晶表示パネルとして組立てる液晶用基板の組立装置であ
って、対向する2つの表面を有し、各表面上に2枚の基
板をそれぞれ保持し、基板間の間隔と表面に平行な平面
内での相対位置とを調整する変位が可能な保持機構と、
保持機構の対向する2つの表面間で、2枚の基板の周囲
を気密に覆い、かつ保持機構の変位を許容する密閉機構
と、密閉機構によって覆われる空間内を排気して、減圧
された真空状態を形成する真空形成機構と、真空形成機
構によって、密閉機構によって覆われる空間に真空状態
が形成されるとき、保持機構の2つの表面間に加わる荷
重を打ち消す力を、該2つの表面間に作用させるキャン
セル機構と、密閉機構によって覆われる空間内で、該真
空状態とは分離して、保持機構の2つの表面のうちの少
なくとも一方の表面と該表面に保持される基板との間
に、流体圧力を印加して加圧する加圧機構とを含むこと
を特徴とする液晶用基板組立装置用いて、液晶とスペー
サとを、2枚の基板間で挟み、シール材で封じ込めて該
2枚の基板を組立てる際に、密閉機構で覆って、真空形
成機構で2枚の基板の周囲を真空状態としながら、表面
に平行な平面内での相対位置を調整して2枚の基板を貼
合わせ、加圧機構で加圧して基板間の間隔を調整するこ
とを特徴とする液晶用基板組立方法である。
Further, according to the present invention, a liquid crystal layer is interposed between two substrates, the periphery thereof is sealed with a sealing material, and the distance between the substrates is kept constant by spacers dispersed in the liquid crystal layer. An assembling apparatus for a liquid crystal substrate to be assembled as a liquid crystal display panel, having two surfaces facing each other, holding two substrates on each surface, and forming a space between the substrates and a plane parallel to the surface. A holding mechanism that can be displaced to adjust the relative position,
A sealed mechanism that hermetically covers the periphery of the two substrates between two opposing surfaces of the holding mechanism and allows displacement of the holding mechanism, and a vacuum that is evacuated to a space covered by the sealing mechanism to reduce the pressure. A vacuum forming mechanism for forming a state, and a force for canceling a load applied between two surfaces of the holding mechanism when a vacuum state is formed in a space covered by the sealing mechanism by the vacuum forming mechanism, between the two surfaces. In the space covered by the canceling mechanism to be actuated and the sealing mechanism, the vacuum state is separated from at least one of the two surfaces of the holding mechanism and the substrate held by the surface. And a pressurizing mechanism for applying a fluid pressure to pressurize the liquid crystal. The liquid crystal and the spacer are sandwiched between two substrates, sealed with a sealant, and the two Assemble the board At this time, the two substrates are covered with a sealing mechanism, the relative position in a plane parallel to the surface is adjusted while the surroundings of the two substrates are evacuated by the vacuum forming mechanism, and the two substrates are bonded together. And adjusting the distance between the substrates by applying pressure.

【0020】本発明に従えば、2枚の基板間をシール材
で封じ込め、基板間の間隔をスペーサで保って、液晶表
示パネルを組立てることができる。
According to the present invention, the liquid crystal display panel can be assembled by enclosing the two substrates with a sealing material and maintaining the space between the substrates with a spacer.

【0021】さらにまた本発明は、2枚の基板間で、シ
ール材の近傍の予め定める位置に、紫外線を照射する照
射機構を備える液晶用基板組立装置を用いて、液晶とス
ペーサとを、2枚の基板間で挟み、シール材で封じ込め
て、該2枚の基板を組立てる際に、シール材の近傍で照
射機構から紫外線が照射される位置に、予め紫外線硬化
性の仮止め材を配置しておき、密閉機構で覆って、真空
形成機構で2枚の基板の周囲を真空状態としながら、表
面に平行な平面内での相対位置を調整して2枚の基板を
貼合わせ、加圧機構で加圧して、基板間の間隔を調整し
てから、照射機構から紫外線を照射して、該仮止め材を
硬化させることを特徴とする液晶用基板組立方法であ
る。
Still further, according to the present invention, the liquid crystal and the spacer are separated from each other by using a liquid crystal substrate assembling apparatus having an irradiation mechanism for irradiating ultraviolet rays to a predetermined position near the sealing material between the two substrates. When sandwiching between two substrates and sealing with a sealing material, when assembling the two substrates, an ultraviolet-curing temporary fixing material is placed in advance at a position near the sealing material where ultraviolet light is irradiated from the irradiation mechanism. In advance, the two substrates are covered by a sealing mechanism, the relative position in a plane parallel to the surface is adjusted while the surroundings of the two substrates are evacuated by the vacuum forming mechanism, and the two substrates are bonded together. And adjusting the distance between the substrates, and then irradiating ultraviolet rays from an irradiation mechanism to cure the temporary fixing material.

【0022】本発明に従えば、2枚の基板間でシール材
によって液晶およびスペーサを封止して液晶表示パネル
を組立てる際に、紫外線照射により仮止めを行い、シー
ル材の完全な硬化は後から行うようにすることができ
る。
According to the present invention, when assembling the liquid crystal display panel by sealing the liquid crystal and the spacer with the sealing material between the two substrates, the temporary fixing is performed by irradiating ultraviolet rays, and the complete curing of the sealing material is performed later. Can be done from.

【0023】また本発明は、前記液晶、前記スペーサお
よび前記シール材のそれぞれを、2枚の基板の少なくと
も一方の表面に配置しておくことを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that each of the liquid crystal, the spacer and the sealant is arranged on at least one surface of two substrates.

【0024】本発明に従えば、2枚の基板の少なくとも
一方の表面に、液晶、スペーサおよびシール材のそれぞ
れを、前記貼合せの前に、2枚の基板のうちの少なくと
も一方の表面には配置しておくので、2枚の基板を貼合
わせて加圧すれば、内部に液晶、スペーサおよびシール
材が封じ込められた液晶表示パネルを容易に製造するこ
とができる。
According to the present invention, a liquid crystal, a spacer, and a sealing material are respectively provided on at least one surface of the two substrates, and before the bonding, at least one surface of the two substrates is provided. Since the two substrates are arranged and pressed together, a liquid crystal display panel in which a liquid crystal, a spacer, and a sealing material are sealed can be easily manufactured.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態と
しての液晶用基板組立装置の主要部分の構成を示す。こ
の液晶用基板組立装置は、2枚のガラス基板1,2を水
平な姿勢で対向させて組立てを行う。ガラス基板1,2
のうちの一方はTFTアクティブマトリクス基板であ
り、他方はカラーフィルタ基板である。一方のガラス基
板1は、上定盤3の下側の表面に保持される。上定盤3
は、上定盤固定板4によって固定され、上定盤3の周囲
にはパッキン当て5が配置されている。2枚のガラス基
板1,2のうちの他方のガラス基板2は、下定盤6の上
側の表面に保持される。下定盤6は、下定盤固定板7に
よって固定される。下定盤固定板7の外縁部の周囲に
は、下焼入れ板8が数個所にほぼ均等な間隔で固定され
る。上焼入れ板9、ボールユニット10、シリンダ11
およびシリンダロッド12は、それぞれ1個ずつで1つ
のユニットを形成する。複数のユニットのシリンダロッ
ド12の先端は、押付け板13を上部に押し上げること
ができる。押付け板13には、真空成形用パッキン14
の周囲が接着されて固定されている。なお、図1では、
上からシリンダロッド12、シリンダ11の順に配置さ
れているけれども、上下逆に配置することもできる。
FIG. 1 shows the structure of a main part of a liquid crystal substrate assembling apparatus according to an embodiment of the present invention. This liquid crystal substrate assembling apparatus assembles two glass substrates 1 and 2 in a horizontal position so as to face each other. Glass substrates 1, 2
One is a TFT active matrix substrate, and the other is a color filter substrate. One glass substrate 1 is held on the lower surface of the upper platen 3. Upper surface plate 3
Is fixed by an upper surface plate fixing plate 4, and a packing pad 5 is arranged around the upper surface plate 3. The other glass substrate 2 of the two glass substrates 1 and 2 is held on the upper surface of the lower platen 6. The lower surface plate 6 is fixed by a lower surface plate fixing plate 7. Around the outer edge of the lower platen fixing plate 7, lower quench plates 8 are fixed at several locations at substantially equal intervals. Upper hardened plate 9, ball unit 10, cylinder 11
Each of the cylinder rods 12 forms one unit. The tips of the cylinder rods 12 of the plurality of units can push the pressing plate 13 upward. The pressing plate 13 has a packing 14 for vacuum forming.
The area around is adhered and fixed. In FIG. 1,
Although the cylinder rod 12 and the cylinder 11 are arranged in this order from the top, they can be arranged upside down.

【0026】真空形成用パッキン14は、水平に広がる
一端部が押付け板13に固定され、鉛直方向に下方に延
びる他端側は、押え板15を介して下定盤6の側面の全
周に固定される。真空形成用パッキン14は、たとえば
継目がないゴム材などで形成され、押付け板13および
押え板15に固定されている部分の中間部分は蛇腹状に
折曲げられ、略鉛直方向から水平方向に変形している。
The vacuum forming packing 14 has one end extending horizontally fixed to the pressing plate 13, and the other end extending vertically downward fixed to the entire periphery of the side surface of the lower platen 6 via the pressing plate 15. Is done. The vacuum forming packing 14 is formed of, for example, a seamless rubber material, and an intermediate portion of a portion fixed to the pressing plate 13 and the pressing plate 15 is bent in a bellows shape, and is deformed in a horizontal direction from a substantially vertical direction. are doing.

【0027】上定盤3、上定盤固定板4およびパッキン
当て5は、上定盤部aを構成する。下定盤6、下定盤固
定板7、下焼入れ板8、上焼入れ板9、ボールユニット
10、シリンダ11、シリンダロッド12、押付け板1
3、真空形成用パッキン14および押え板15は、下定
盤部bを構成する。下定盤部bは、XYθステージ16
上に設置される。XYθステージ16は、ガラス基板
1,2の表面に平行なX方向およびY方向に変位可能で
あり、さらにその平面に垂直なθ軸まわりの角変位も可
能である。
The upper stool 3, the upper stool fixing plate 4, and the packing pad 5 constitute an upper stool portion a. Lower platen 6, Lower platen fixing plate 7, Lower hardened plate 8, Upper hardened plate 9, Ball unit 10, Cylinder 11, Cylinder rod 12, Pressing plate 1
3. The vacuum forming packing 14 and the holding plate 15 constitute a lower surface plate portion b. The lower platen b is an XYθ stage 16
Installed on top. The XYθ stage 16 can be displaced in the X direction and the Y direction parallel to the surfaces of the glass substrates 1 and 2, and can also be displaced about the θ axis perpendicular to the plane.

【0028】上定盤部aのパッキン当て5は、Oリング
17を介して上定盤3の側面に密着するように、上定盤
固定板4の下面に上定盤3とともに保持されている。下
定盤固定板7の外縁部の数個所に設置されているシリン
ダロッド12が上方に延びると、真空形成用パッキン1
4がパッキン当て5に押付けられ、真空形成用パッキン
14がガラス基板1,2の周囲を密閉することができ
る。
The packing pad 5 of the upper stool part a is held together with the upper stool 3 on the lower surface of the upper stool fixing plate 4 so as to be in close contact with the side surface of the upper stool 3 via the O-ring 17. . When the cylinder rods 12 installed at several places on the outer edge of the lower platen fixing plate 7 extend upward, the vacuum forming packing 1
4 is pressed against the packing pad 5, and the vacuum forming packing 14 can seal the periphery of the glass substrates 1 and 2.

【0029】真空形成用パッキン14によって密閉され
る空間内で、上定盤3と上側のガラス基板1の外縁部と
の間には、流体加圧用パッキン18が配置される。流体
加圧用パッキン18の外周部は、パッキン取付板19に
装着され、ロッド20を操作すれば、流体加圧用パッキ
ン18でガラス基板1と上定盤3との間に密閉された空
間を形成することができる。
A fluid pressurizing packing 18 is arranged between the upper platen 3 and the outer edge of the upper glass substrate 1 in a space closed by the vacuum forming packing 14. An outer peripheral portion of the fluid pressurizing packing 18 is mounted on a packing mounting plate 19, and when the rod 20 is operated, a sealed space is formed between the glass substrate 1 and the upper surface plate 3 by the fluid pressurizing packing 18. be able to.

【0030】上定盤3および下定盤6にガラス基板1,
2を吸着するために、図示を省略している真空チャック
と上静電チャック21および下静電チャック22とが設
けられている。上静電チャック21および下静電チャッ
ク22は、静電的な吸着力でガラス基板1,2を吸着す
る。下静電チャック22で下定盤6の表面に吸着される
ガラス基板2の表面には、外縁部付近にシール材23が
塗布される。シール材23は、紫外線硬化形または熱硬
化形である。シール材23の近傍には、紫外線硬化形の
仮止め材も塗布される。上側のガラス基板1の表面に
は、液晶を塗布しておくことができる。上側のガラス基
板1の上面と上定盤3の下面との間は、加圧孔24に連
通し、加圧孔24にはバルブ25が設けられている。下
側のガラス基板2の表面には、シール材23とともに、
スペーサ26が分散して散布されている。加圧孔24の
バルブ25には、加圧配管27が接続される。バルブ2
5を開いて加圧配管27から流体圧を導入すると、流体
加圧用パッキン18内の空間で、ガラス基板1を下方に
押圧することができる。
The upper substrate 3 and the lower substrate 6 have glass substrates 1 and
A vacuum chuck (not shown) and an upper electrostatic chuck 21 and a lower electrostatic chuck 22 are provided to attract the second chuck 2. The upper electrostatic chuck 21 and the lower electrostatic chuck 22 suck the glass substrates 1 and 2 with an electrostatic suction force. On the surface of the glass substrate 2 which is attracted to the surface of the lower surface plate 6 by the lower electrostatic chuck 22, a sealing material 23 is applied near the outer edge. The sealing material 23 is of an ultraviolet curing type or a thermosetting type. In the vicinity of the sealing material 23, an ultraviolet curing type temporary fixing material is also applied. Liquid crystal can be applied to the surface of the upper glass substrate 1. A pressure hole 24 is provided between the upper surface of the upper glass substrate 1 and the lower surface of the upper platen 3, and a valve 25 is provided in the pressure hole 24. On the surface of the lower glass substrate 2, together with the sealing material 23,
Spacers 26 are dispersed and scattered. A pressure pipe 27 is connected to the valve 25 of the pressure hole 24. Valve 2
When the fluid pressure is introduced from the pressurizing pipe 27 by opening 5, the glass substrate 1 can be pressed downward in the space inside the fluid pressurizing packing 18.

【0031】真空形成用パッキン14よりも内側で、下
定盤6の表面には、真空吸引孔28が開口している。真
空吸引孔28には、真空配管29が接続され、真空形成
用パッキン14によって密閉される空間内を配置し、減
圧して真空状態にすることができる。
A vacuum suction hole 28 is formed on the surface of the lower platen 6 inside the packing 14 for vacuum formation. A vacuum pipe 29 is connected to the vacuum suction hole 28, and a space sealed by the vacuum forming packing 14 is arranged, and the pressure can be reduced to a vacuum state.

【0032】図2は、本実施形態の液晶用基板組立装置
の全体的な構成を示す。上定盤固定板4は、取付板30
を介してボールねじ31の下端に固定されている。ボー
ルねじ31は、天板32を貫通して、上端は案内板33
に固定されている。ボールねじ31の上端と下端との間
の部分には、ナット34を内蔵した被駆動プーリ35が
水平面内で回転可能に取付けられている。被駆動プーリ
35は、Z軸駆動モータ36のシャフト37に固定され
ている駆動プーリ38と、タイミングベルト39によっ
て連結されている。Z軸駆動モータ36の回転は、タイ
ミングベルト39によって被駆動プーリ35に伝達さ
れ、ナット34が同一高さ位置で水平面内に回転し、ボ
ールねじ31、ひいては上定盤3が昇降変位する。
FIG. 2 shows the overall configuration of the liquid crystal substrate assembling apparatus of the present embodiment. The upper platen fixing plate 4 is attached to the mounting plate 30.
And is fixed to the lower end of the ball screw 31 via. The ball screw 31 penetrates the top plate 32, and the upper end is a guide plate 33.
It is fixed to. At a portion between the upper end and the lower end of the ball screw 31, a driven pulley 35 including a nut 34 is attached so as to be rotatable in a horizontal plane. The driven pulley 35 is connected to a drive pulley 38 fixed to a shaft 37 of a Z-axis drive motor 36 by a timing belt 39. The rotation of the Z-axis drive motor 36 is transmitted to the driven pulley 35 by the timing belt 39, the nut 34 rotates in the horizontal plane at the same height position, and the ball screw 31 and, consequently, the upper surface plate 3 are displaced vertically.

【0033】ボールねじ31の上端が固定される案内板
33は、周縁部で複数のスライドロッド40の上端を固
定している。スライドロッド40は、下端が上定盤固定
板4に固定され、軸線は鉛直である。複数のスライドロ
ッド40が天板32を通過する部分には、スライドベア
リング41が設けられている。このような構成で、ボー
ルねじ31、ひいては上定盤3は、高精度な水平面を保
ったまま上下に移動可能であり、Z軸駆動系を構成して
いる。XYθステージ16は、X軸駆動モータ42で水
平面内のX軸方向に変位可能であり、また図示を省略し
ているY軸駆動モータ、θ軸駆動モータで、X軸同様に
水平面内でのY軸方向の移動や、水平面に対して垂直な
θ軸まわりの角変位が可能なように構成されている。
The guide plate 33, to which the upper end of the ball screw 31 is fixed, fixes the upper ends of the plurality of slide rods 40 at the peripheral edge. The lower end of the slide rod 40 is fixed to the upper platen fixing plate 4, and the axis is vertical. A slide bearing 41 is provided at a portion where the plurality of slide rods 40 pass through the top plate 32. With such a configuration, the ball screw 31 and, consequently, the upper surface plate 3 can be moved up and down while maintaining a highly accurate horizontal plane, and constitute a Z-axis drive system. The XYθ stage 16 can be displaced in the X-axis direction within a horizontal plane by an X-axis drive motor 42, and is a Y-axis drive motor and a θ-axis drive motor (not shown). It is configured to be able to move in the axial direction and angular displacement about the θ axis perpendicular to the horizontal plane.

【0034】ガラス基板2上に塗布されるシール材23
の近傍の仮止め材の位置には、UVファイバ43を介し
て、紫外線を照射可能である。また、ガラス基板1,2
を貼合わせる際に位置決め用に用いるアライメントマー
クは、レンズ44およびCCDカメラ45で見ることが
できる。アライメントマークをレンズ44およびCCD
カメラ45で見ながら、XYθステージ16を変位さ
せ、2枚のガラス基板1,2間の水平面内での位置決め
を行うことができる。
The sealing material 23 applied on the glass substrate 2
Ultraviolet rays can be applied to the position of the temporary fixing member near the position (1) through the UV fiber 43. In addition, the glass substrates 1 and 2
The alignment mark used for positioning at the time of bonding can be seen with the lens 44 and the CCD camera 45. Alignment mark with lens 44 and CCD
The XYθ stage 16 can be displaced while looking at the camera 45 to position the two glass substrates 1 and 2 in a horizontal plane.

【0035】本実施形態の液晶用基板組立装置では、下
台46上でXYθステージ16が変位可能であり、下台
46上に機枠47で天板32が支えられている。天板3
2からボールねじ31で上下動可能な上定盤部aが上定
盤3の下面にガラス基板1を保持し、下側のガラス基板
2との間の間隙を調整する。2枚のガラス基板1,2の
周囲は、密閉機構である真空形成用パッキン14で覆っ
て密閉することができる。下定盤6には、仮止め材に紫
外線を照射するためにUVファイバ48も設けられてい
る。真空空間49内では、流体加圧用パッキン18で分
離され、上定盤3と上側のガラス基板1との間に加圧空
間50を形成することもできる。
In the liquid crystal substrate assembling apparatus of the present embodiment, the XYθ stage 16 can be displaced on the lower base 46, and the top plate 32 is supported on the lower base 46 by the machine frame 47. Top plate 3
An upper platen part a that can be moved up and down by a ball screw 31 holds the glass substrate 1 on the lower surface of the upper platen 3 and adjusts the gap between the glass substrate 1 and the lower glass substrate 2. The periphery of the two glass substrates 1 and 2 can be sealed by covering them with a vacuum forming packing 14 which is a sealing mechanism. The lower surface plate 6 is also provided with a UV fiber 48 for irradiating the temporary fixing member with ultraviolet rays. In the vacuum space 49, the pressurized space 50 can be formed between the upper platen 3 and the upper glass substrate 1 by being separated by the fluid pressurizing packing 18.

【0036】図3は、図1および図2に示す状態で上定
盤3および下定盤6の表面にガラス基板1,2を保持し
た後、上定盤部aを下げ、2枚のガラス基板1,2の周
囲に真空空間49を形成している状態を示す。Z軸駆動
系を動かして、上定盤3と下定盤6との間隔hがほぼ2
00μmに達した時点でZ軸駆動系を停止する。すべて
のシリンダ11を、シリンダロッド12が延びる方向に
動作させると、シリンダロッド12の先端に固定された
真空形成用パッキン14がパッキン当て5に押付けら
れ、説明の便宜上斜線を施して示す真空空間49が密閉
される。図示を省略している真空ポンプを作動させる
と、真空吸引孔28および真空配管29を介して真空空
間49内が排気され、ほぼ上定盤3と下定盤6との間に
真空状態が形成される。このとき、上側のガラス基板1
と下側のガラス基板2とは、真空チャックによる保持か
ら上静電チャック21および下静電チャック22による
保持に切換えられており、真空雰囲気下でもそれぞれ上
定盤3と下定盤6とに保持可能になっている。
FIG. 3 shows a state in which the glass substrates 1 and 2 are held on the surfaces of the upper surface plate 3 and the lower surface plate 6 in the state shown in FIGS. A state in which a vacuum space 49 is formed around 1 and 2 is shown. By moving the Z-axis drive system, the distance h between the upper surface plate 3 and the lower surface plate 6 becomes approximately 2
When it reaches 00 μm, the Z-axis drive system is stopped. When all the cylinders 11 are operated in the direction in which the cylinder rod 12 extends, the vacuum forming packing 14 fixed to the tip of the cylinder rod 12 is pressed against the packing pad 5, and the vacuum space 49 shown by hatching for convenience of explanation. Is sealed. When a vacuum pump (not shown) is operated, the inside of the vacuum space 49 is evacuated through the vacuum suction holes 28 and the vacuum pipes 29, and a vacuum state is formed between the upper platen 3 and the lower platen 6. You. At this time, the upper glass substrate 1
And the lower glass substrate 2 are switched from holding by the vacuum chuck to holding by the upper electrostatic chuck 21 and the lower electrostatic chuck 22, and held on the upper surface plate 3 and the lower surface plate 6, respectively, even in a vacuum atmosphere. It is possible.

【0037】真空空間49が真空状態となると、真空空
間49の水平断面積にもよるけれども、Z軸駆動系のボ
ールねじ31に98000N(10トン重)近くの負荷
がかかる場合もある。このような状態でZ軸方向に必要
な変位の精度を1〜2μm程度とすることは極めて困難
である。本実施形態では、真空空間49の真空度が高く
なるに従って、下定盤6の周囲に配置されたすべてのシ
リンダ11の作動圧力を上昇させ、シリンダ11全体の
押付け力の合計が、真空空間49を形成することによっ
て生じる荷重、たとえば上述の負荷と、上定盤部aの自
重による荷重との合計と同等になるように動作させる。
これによって、Z軸駆動系のボールねじ31の負荷をな
くすことができ、Z軸方向の変位の精度を、必要な1〜
2μm程度まで高めることができる。また、このような
機構を採用することによって、装置全体の構成を大形化
する必要もなくなる。
When the vacuum space 49 is in a vacuum state, a load of nearly 98,000 N (10 tons) may be applied to the ball screw 31 of the Z-axis drive system, depending on the horizontal sectional area of the vacuum space 49. In such a state, it is extremely difficult to make the accuracy of the displacement required in the Z-axis direction about 1-2 μm. In the present embodiment, as the degree of vacuum in the vacuum space 49 increases, the operating pressures of all the cylinders 11 arranged around the lower platen 6 increase, and the total pressing force of the entire cylinder 11 reduces the vacuum space 49. The operation is performed so as to be equal to the sum of the load generated by forming, for example, the load described above and the load due to the weight of the upper stool a.
As a result, the load on the ball screw 31 of the Z-axis drive system can be eliminated, and the displacement accuracy in the Z-axis direction can be reduced to the required 1 to
It can be increased to about 2 μm. By employing such a mechanism, it is not necessary to increase the size of the entire apparatus.

【0038】図4は、Z軸の駆動系を動作させ、図3に
示す状態から上定盤3をさらに降下させた状態を示す。
貼合わされる2枚のガラス基板1,2の間隔が、シール
材23を押潰すまで、すなわちほぼ10〜20μm程度
になるまで降下させる。この降下量は、下定盤部bに図
示を省略しているロードセルなどを組み込み、その計測
値で管理することができる。この場合Z軸では、微小な
移動精度を必要とするけれども、前述のようにシリンダ
11などを含むユニットがキャンセル機構として動作す
るので、容易に精度を確保することができる。
FIG. 4 shows a state in which the Z-axis drive system is operated and the upper stool 3 is further lowered from the state shown in FIG.
The distance between the two glass substrates 1 and 2 to be bonded is lowered until the sealing material 23 is crushed, that is, approximately 10 to 20 μm. The amount of this drop can be managed by incorporating a load cell (not shown) or the like into the lower stool part b and measuring the measured value. In this case, in the Z axis, although a minute movement accuracy is required, since the unit including the cylinder 11 and the like operates as the cancel mechanism as described above, the accuracy can be easily secured.

【0039】また、レンズ44およびCCDカメラ45
で撮像される像を、CCDカメラ45に光学的に連結さ
れるモニタなどを見ながら、下定盤部bを保持している
XYθステージ16を水平面内で変位させ、貼合わされ
る2枚のガラス基板1,2のアライメントマークを合わ
せる水平方向の位置合わせが行われる。下焼入れ板8と
上焼き入れ板9との間にボールユニット10を配置する
のは、位置合わせを行う場合にZ軸方向に98000N
近くの力が加わっても、位置合わせ用の軸方向荷重を転
がり摩擦として軽減するためである。位置合わせが完了
した段階で、UVファイバ48から紫外線を照射する。
予め塗布されているシール材23の近辺の第1の光硬化
性樹脂を硬化させ、仮止めを行うためである。その後上
定盤3の上静電チャック21による吸着を停止し、上定
盤3と貼合わされた2枚のガラス基板1,2との間を開
放する。Z軸を駆動して上定盤3を上方に数百μm上昇
させたあと、流体加圧用パッキン18をパッキン取付板
19につながるロッド20を操作して、貼合わされてい
るガラス基板1側に押付け、バルブ25を開放して大気
圧ないしは任意の圧力の流体を加圧空間50に流入させ
る。
A lens 44 and a CCD camera 45
The XYθ stage 16 holding the lower platen part b is displaced in a horizontal plane while viewing the image captured by Horizontal alignment for aligning the first and second alignment marks is performed. The arrangement of the ball unit 10 between the lower quenching plate 8 and the upper quenching plate 9 is 98,000 N in the Z-axis direction when performing positioning.
This is because even if a nearby force is applied, the axial load for positioning is reduced as rolling friction. At the stage where the alignment is completed, ultraviolet rays are irradiated from the UV fiber 48.
This is because the first photocurable resin in the vicinity of the sealing material 23 applied in advance is cured and temporarily fixed. Thereafter, the suction by the upper electrostatic chuck 21 of the upper surface plate 3 is stopped, and the space between the upper surface plate 3 and the two glass substrates 1 and 2 bonded to each other is opened. After driving the Z-axis to raise the upper platen 3 by several hundred μm, the fluid pressurizing packing 18 is pressed against the bonded glass substrate 1 by operating the rod 20 connected to the packing mounting plate 19. Then, the valve 25 is opened to allow the fluid at atmospheric pressure or any pressure to flow into the pressurized space 50.

【0040】図5は、上述のようにして加圧空間50が
形成され、加圧空間50内が大気圧ないしは任意の圧力
に達している状態を示す。加圧空間50の圧力と真空空
間49との圧力差で、シール材23は、液晶表示パネル
として必要とされる5μm程度のギャップ値まで押潰さ
れ、均一なギャップが形成される。その時点で、第2の
仮止め材として、紫外線硬化性樹脂が予め塗布されてい
る部分を、UVファイバ43を介して紫外線照射を行っ
て仮硬化させる。このような仮止めが終了したあと、下
定盤6の静電チャック22による吸着を停止し、2枚の
ガラス基板1,2が組立てられた状態で、装置から取出
し、全体に紫外線を照射して硬化させるUV硬化炉など
に挿入して、シール材23を本硬化させ、液晶表示パネ
ルとして仕上げる。
FIG. 5 shows a state in which the pressurized space 50 is formed as described above, and the inside of the pressurized space 50 has reached the atmospheric pressure or an arbitrary pressure. Due to the pressure difference between the pressure in the pressurized space 50 and the vacuum space 49, the sealing material 23 is crushed to a gap value of about 5 μm required for a liquid crystal display panel, and a uniform gap is formed. At that time, the portion to which the ultraviolet curable resin is applied in advance as the second temporary fixing member is temporarily cured by irradiating ultraviolet rays through the UV fiber 43. After such temporary fixing is completed, the lower platen 6 stops being attracted by the electrostatic chuck 22 and is taken out of the apparatus in a state where the two glass substrates 1 and 2 are assembled, and the whole is irradiated with ultraviolet rays. It is inserted into a UV curing furnace or the like to be cured, and the sealing material 23 is fully cured to complete a liquid crystal display panel.

【0041】UVファイバ48,43によって仮硬化さ
せるための仮硬化用樹脂は、貼合わされる上ガラス基板
1と下ガラス基板2との間に塗布されるシール材23の
近傍に、外周端部側にそれぞれ複数個所、点状に塗布さ
れている。その位置や数量に対応して、UVファイバ4
3,48が配置されている。また、上定盤3と下定盤6
との間を真空に形成したり、加圧空間50のように大気
圧ないしは任意の圧力が加わるようにするため、必要な
個所にはパッキンや、弁などの切換手段などが設けられ
ている。
The pre-curing resin for pre-curing by the UV fibers 48 and 43 is placed in the vicinity of the sealing material 23 applied between the upper glass substrate 1 and the lower glass substrate 2 to be bonded to the outer peripheral end side. Are applied in a plurality of spots. Depending on the position and quantity, UV fiber 4
3,48 are arranged. In addition, upper surface plate 3 and lower surface plate 6
In order to form a vacuum between them and to apply atmospheric pressure or an arbitrary pressure as in the pressurized space 50, packing and switching means such as a valve are provided at necessary places.

【0042】また、下定盤6は、全体を透光性としても
よく、またレンズ44先端部分に透孔を形成するように
することもできる。さらに、液晶は予め上側のガラス基
板1の表面に塗布しておくばかりではなく、真空空間4
9が形成されている状態でガラス基板1,2間に吸入す
るようにすることもできる。なお、ガラス基板1,2に
代えて他の基板を用いたり、上定盤3と下定盤6とが上
下方向ではなく、他の方向に開閉してもよい。
The lower platen 6 may be entirely translucent, or a through hole may be formed at the tip of the lens 44. Further, the liquid crystal is not only applied to the surface of the upper glass substrate 1 in advance, but also
It is also possible to suck in between the glass substrates 1 and 2 in the state in which 9 is formed. Note that another substrate may be used instead of the glass substrates 1 and 2, or the upper platen 3 and the lower platen 6 may be opened and closed in other directions instead of in the vertical direction.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、1つの装
置で、2枚の基板の貼合わせと加圧とを行い、基板間に
液晶とスペーサとが封じ込められ、周囲をシール材で気
密に覆う状態まで組立てることができる。
As described above, according to the present invention, two substrates are bonded and pressed with one apparatus, and the liquid crystal and the spacer are sealed between the substrates, and the periphery is sealed with a sealing material. It can be assembled up to a state where it is airtightly covered.

【0044】また本発明によれば、2枚の基板をそれぞ
れ水平な姿勢で組立てることができる。
According to the present invention, two substrates can be assembled in a horizontal posture.

【0045】また本発明によれば、2枚の基板を加圧す
る際に、無理な力を加えずに均一に加圧することができ
る。
According to the present invention, when two substrates are pressed, they can be pressed uniformly without applying excessive force.

【0046】また本発明によれば、2枚の基板間の相対
位置を、容易に変化させ、正確な位置決めを行うことが
できる。
According to the present invention, the relative position between the two substrates can be easily changed, and accurate positioning can be performed.

【0047】また本発明によれば、基板間に液晶を封入
してシール材で周囲を封止している状態で組立が終了し
たあと、紫外線を照射して仮止めを行うことができるの
で、組立てられたシール材は組立装置とは別の装置で硬
化させることができる。
Further, according to the present invention, after assembly is completed in a state where liquid crystal is sealed between the substrates and the periphery is sealed with a sealing material, ultraviolet rays can be irradiated to temporarily stop the assembly. The assembled sealing material can be cured by a device other than the assembly device.

【0048】さらに本発明によれば、2枚の基板間に液
晶、シール材およびスペーサを封入した液晶表示パネル
を、1つの装置で組立てることができる。
Further, according to the present invention, a liquid crystal display panel in which a liquid crystal, a sealing material and a spacer are sealed between two substrates can be assembled by one apparatus.

【0049】さらにまた本発明によれば、2枚の基板間
に液晶、シール材およびスペーサを封入したあと、紫外
線を照射してシール材の近傍を仮止めすることができ
る。
Further, according to the present invention, after sealing the liquid crystal, the sealing material and the spacer between the two substrates, it is possible to temporarily fix the vicinity of the sealing material by irradiating ultraviolet rays.

【0050】また本発明によれば、液晶と、シール材お
よびスペーサとは、2枚の基板のうちの少なくとも一方
にそれぞれ配置しておくので、基板を貼合わせて間隔を
調整すれば、液晶表示パネルを容易に形成することがで
きる。
Further, according to the present invention, the liquid crystal, the sealing material and the spacer are arranged on at least one of the two substrates, respectively. The panel can be easily formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の一形態としての液晶用基板組立
装置の主要部分の構成を示す部分的な正面断面図であ
る。
FIG. 1 is a partial front sectional view showing a configuration of a main part of a liquid crystal substrate assembling apparatus as one embodiment of the present invention.

【図2】図1の液晶用基板組立装置の全体的な構成を示
す正面断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view showing an overall configuration of the liquid crystal substrate assembling apparatus of FIG. 1;

【図3】図1の液晶用基板組立装置で真空空間が形成さ
れている状態を示す部分的な正面断面図である。
FIG. 3 is a partial front sectional view showing a state where a vacuum space is formed in the liquid crystal substrate assembling apparatus of FIG. 1;

【図4】図1の液晶用基板組立装置を用いて2枚のガラ
ス基板を貼合わせた状態を示す部分的な正面断面図であ
る。
FIG. 4 is a partial front sectional view showing a state in which two glass substrates are bonded together using the liquid crystal substrate assembling apparatus of FIG. 1;

【図5】図1の液晶用基板組立装置を用いて2枚のガラ
ス基板間ギャップを所定値に形成するために加圧してい
る状態を示す部分的な正面断面図である。
FIG. 5 is a partial front sectional view showing a state where pressure is applied to form a predetermined gap between two glass substrates using the liquid crystal substrate assembling apparatus of FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 ガラス基板 3 上定盤 4 上定盤固定板 5 パッキン当て 6 下定盤 7 下定盤固定板 8 下焼入れ板 9 上焼き入れ板 10 ボールユニット 11 シリンダ 12 シリンダロッド 13 押付け板 14 真空形成用パッキン 15 押え板 16 XYθステージ 17 Oリング 18 流体加圧用パッキン 19 パッキン取付板 20 ロッド 21 上静電チャック 22 下静電チャック 23 シール材 24 加圧孔 25 バルブ 26 スペーサ 27 加圧配管 28 真空吸引孔 29 真空配管 30 取付板 31 ボールねじ 34 ナット 35 被駆動プーリ 36 Z軸駆動モータ 37 シャフト 38 駆動プーリ 39 タイミングベルト 40 スライドロッド 41 スライドベアリング 42 X軸駆動モータ 43,48 UVファイバ 44 レンズ 45 CCDカメラ 46 下台 47 機枠 49 真空空間 50 加圧空間 1, 2 glass substrate 3 upper surface plate 4 upper surface plate fixing plate 5 packing pad 6 lower surface plate 7 lower surface plate fixing plate 8 lower quenching plate 9 upper quenching plate 10 ball unit 11 cylinder 12 cylinder rod 13 pressing plate 14 vacuum forming Packing 15 Holding plate 16 XYθ stage 17 O-ring 18 Packing for fluid pressurization 19 Packing mounting plate 20 Rod 21 Upper electrostatic chuck 22 Lower electrostatic chuck 23 Sealing material 24 Pressurizing hole 25 Valve 26 Spacer 27 Pressurizing pipe 28 Vacuum suction hole 29 Vacuum piping 30 Mounting plate 31 Ball screw 34 Nut 35 Driven pulley 36 Z-axis drive motor 37 Shaft 38 Drive pulley 39 Timing belt 40 Slide rod 41 Slide bearing 42 X-axis drive motor 43, 48 UV fiber 44 Lens 45 CCD camera 6 Shimodai between 47 machine frame 49 vacuum space 50 pressurized

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2枚の基板間に液晶層を介在させて周囲
をシール材で封止し、基板間の間隔を液晶層中に分散し
て配置されるスペーサで一定に保って液晶表示パネルと
して組立てる液晶用基板の組立装置であって、 対向する2つの表面を有し、各表面上に2枚の基板をそ
れぞれ保持し、基板間の間隔と表面に平行な平面内での
相対位置とを調整する変位が可能な保持機構と、 保持機構の対向する2つの表面間で、2枚の基板の周囲
を気密に覆い、かつ保持機構の変位を許容する密閉機構
と、 密閉機構によって覆われる空間内を排気して、減圧され
た真空状態を形成する真空形成機構と、 真空形成機構によって、密閉機構によって覆われる空間
に真空状態が形成されるとき、保持機構の2つの表面間
に加わる荷重を打ち消す力を、該2つの表面間に作用さ
せるキャンセル機構と、 密閉機構によって覆われる空間内で、該真空状態とは分
離して、保持機構の2つの表面のうちの少なくとも一方
の表面と該表面に保持される基板との間に、流体圧力を
印加して加圧する加圧機構とを含むことを特徴とする液
晶用基板組立装置。
1. A liquid crystal display panel wherein a liquid crystal layer is interposed between two substrates, the periphery thereof is sealed with a sealant, and the distance between the substrates is kept constant by spacers dispersed in the liquid crystal layer. An apparatus for assembling a liquid crystal substrate, comprising two opposing surfaces, holding two substrates on each surface, and determining the distance between the substrates and the relative position in a plane parallel to the surface. A holding mechanism capable of displacing the holding mechanism, a sealing mechanism that hermetically covers the periphery of the two substrates between two opposing surfaces of the holding mechanism, and allows the holding mechanism to be displaced, and is covered by the sealing mechanism. A vacuum forming mechanism for evacuating the space to form a reduced-pressure vacuum state; and a load applied between the two surfaces of the holding mechanism when the vacuum forming mechanism forms a vacuum state in the space covered by the sealing mechanism. Of the two tables A canceling mechanism acting between, and in a space covered by the sealing mechanism, a space between at least one of the two surfaces of the holding mechanism and the substrate held by the surface separated from the vacuum state And a pressurizing mechanism for applying a fluid pressure to pressurize the liquid crystal substrate.
【請求項2】 前記保持機構は前記2枚の基板の表面が
水平となる状態で保持し、保持機構の前記2つの表面の
うちの少なくとも一方の表面が上下方向に変位して前記
基板間の間隔が調整されることを特徴とする請求項1記
載の液晶用基板組立装置。
2. The holding mechanism holds the two substrates in a state where the surfaces of the two substrates are horizontal, and at least one surface of the two surfaces of the holding mechanism is displaced in a vertical direction to allow a space between the substrates. 2. The liquid crystal substrate assembling apparatus according to claim 1, wherein the distance is adjusted.
【請求項3】 前記加圧機構は、前記基板の周縁部より
内側全体を加圧することを特徴とする請求項1または2
記載の液晶用基板組立装置。
3. The pressure mechanism according to claim 1, wherein the pressure mechanism presses the entire inner side of the periphery of the substrate.
The liquid crystal substrate assembling apparatus according to the above.
【請求項4】 前記キャンセル機構は、転がり摩擦を利
用して、前記荷重を打ち消す力の方向と直交する方向に
移動可能な転がり機構をさらに含むことを特徴とする請
求項1〜3のいずれかに記載の液晶用基板組立装置。
4. The rolling mechanism according to claim 1, wherein the canceling mechanism further includes a rolling mechanism movable in a direction orthogonal to a direction of the force for canceling the load by utilizing rolling friction. 3. The liquid crystal substrate assembling apparatus according to 1.
【請求項5】 前記2枚の基板間で、シール材の近傍の
予め定める位置に、紫外線を照射する照射機構をさらに
含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の
液晶用基板組立装置。
5. The liquid crystal device according to claim 1, further comprising an irradiation mechanism for irradiating ultraviolet rays to a predetermined position near the sealing material between the two substrates. Board assembly equipment.
【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載の液晶用
基板組立装置を用いて、液晶とスペーサとを、2枚の基
板間で挟み、シール材で封じ込めて、該2枚の基板を組
立てる際に、 密閉機構で覆って、真空形成機構で2枚の基板の周囲を
真空状態としながら、表面に平行な平面内での相対位置
を調整して2枚の基板を貼合わせ、 加圧機構で加圧して、基板間の間隔を調整することを特
徴とする液晶用基板組立方法。
6. A liquid crystal substrate assembling apparatus according to claim 1, wherein the liquid crystal and the spacer are sandwiched between two substrates and sealed with a sealing material. When assembling, the two substrates are bonded together by covering them with a sealing mechanism and adjusting the relative position in a plane parallel to the surface while vacuuming the surroundings of the two substrates with a vacuum forming mechanism. A method for assembling a substrate for a liquid crystal, comprising: adjusting a distance between substrates by applying pressure by a pressure mechanism.
【請求項7】 請求項5記載の液晶用基板組立装置を用
いて、液晶とスペーサとを、2枚の基板間で挟み、シー
ル材で封じ込めて該2枚の基板を組立てる際に、 シール材の近傍で照射機構から紫外線が照射される位置
に、予め紫外線硬化性の仮止め材を配置しておき、 密閉機構で覆って、真空形成機構で2枚の基板の周囲を
真空状態としながら、表面に平行な平面内での相対位置
を調整して2枚の基板を貼合わせ、 加圧機構で加圧して、基板間の間隔を調整してから照射
機構から紫外線を照射して該仮止め材を硬化させること
を特徴とする液晶用基板組立方法。
7. A liquid crystal substrate assembling apparatus according to claim 5, wherein the liquid crystal and the spacer are sandwiched between two substrates and sealed with a sealing material to assemble the two substrates. A UV curable temporary fixing material is placed in advance at a position where the UV light is irradiated from the irradiation mechanism in the vicinity of, covered with a sealing mechanism, and a vacuum is formed around the two substrates by a vacuum forming mechanism. Adjusting the relative position in a plane parallel to the surface, bonding the two substrates together, applying pressure with a pressure mechanism, adjusting the distance between the substrates, and then irradiating ultraviolet rays from the irradiation mechanism to temporarily fix the substrates. A method for assembling a liquid crystal substrate, comprising curing a material.
【請求項8】 前記液晶、前記スペーサおよび前記シー
ル材のそれぞれを、前記貼合せの前に、2枚の基板のう
ちの少なくとも一方の表面には配置しておくことを特徴
とする請求項6または7記載の液晶用基板組立方法。
8. The method according to claim 6, wherein each of the liquid crystal, the spacer, and the sealant is disposed on at least one surface of the two substrates before the bonding. Or a liquid crystal substrate assembling method according to 7.
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