JP2002087884A - ポリマーから誘導されたセラミックス成形品及びその製造方法 - Google Patents

ポリマーから誘導されたセラミックス成形品及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラスチックの製造技術で製造できる、理論
値の少なくとも８５％の高い密度の他に、製造中に多く
ても１０％の低い収縮率を示し、成形品が満足のいく乾
式滑動特性を示す、ポリマーから誘導されるセラミック
ス成形品、熱分解によるその製造方法及びその成形品を
使用した滑動素子を提供する。 【解決手段】 その組成が、混合物の全重量に対し３０
〜８０重量％の量のポリマー成分、０〜３０重量％の量
の充填材及び付加的に１０〜７０重量％の量のグラファ
イトから成る、複合材料として炭化珪素（ＳｉＣ）、窒
化珪素 （Ｓｉ3Ｎ4）、二酸化珪素（ＳｉＯ2）又は例
えばオキシ炭化物、オキシ窒化 物、カルボ窒化物及び
／又オキシカルボ窒化物のようなそれらの混合物から成
る単相又は多相の非晶質、一部結晶又は結晶マトリック
スを含有する、ポリマーから誘導されたセラミックス成
形品を、そのポリマー成分を架橋結合のため加熱し、引
続き熱分解プロセスにより製造する。特にポリシラン、
ポリシロキサン、ポリシラザン又はポリカルボシランか
ら成る成形品を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリマーから誘導
されるセラミックスから成る成形品、熱分解によるその
製造方法及びその滑動素子としての使用に関する。
【０００２】
【従来の技術】熱分解により適切な有機ポリマー前駆体
から成るセラミックス材料を生成することは多くの出版
物から公知である。有機ポリマー前駆体としては通常ポ
リシラン、ポリカルボシラン、ポリシラザン、ポリシロ
キサン又は類似の化合物が賞用されている。この場合、
これに代わる多くのものはセイフェルト（Seyfert）そ
の他による論文「Ｓｉ3Ｎ4／ＳｉＣセラミックス材料の
ポリオルガノシラザンの熱分解による新規高収量合成」
（J．Am．Ceram．Soc．（１９８４）Ｃ−１３２）に指
摘されており、そこにはアルキルクロロシランを、強ル
イス塩基の存在下にアンモニアと反応させ、窒化珪素セ
ラミックスを生成するための前駆体として使用すること
が記載されている。
【０００３】シロキサンの熱分解についてはホワイト
（D．White）著「セラミックス先端材料（Adv．Ceramic
Materials）」２［１］（１９８７年）、第４５頁以
降に、不活性ガス下又は還元雰囲気で炭化珪素（Ｓｉ
Ｃ）を含有する生成物を形成することが記載されてい
る。
【０００４】しかしこのような材料から塊状成形品を製
造する際の問題点は、常に熱分解中に揮発性の分解生成
物が放出され、この結果材料が過剰に多孔化し、明らか
な密度の上昇を伴う激しい材料の収縮を招く点にある。
【０００５】欧州特許出願公開第０４１２４２８号明細
書によれば、高密度の成形品は、金属の充填材を加えた
有機珪素ポリマーから成る混合物を熱分解して製造され
る。この方法で、妨げとなる多孔化及び実際にまた極め
て妨げとなる高度の収縮を低減させ、密度の上昇を伴う
セラミックスへの変化を達成できる。この場合プラスチ
ックにおいて公知の成形法を使って成形品を製造するこ
とができる。しかしこれらの成形品は、混合摩擦又は乾
式滑動（dry running）用の滑動素子として使用するに
は満足のいく乾式滑動特性を有する成形品を製造するこ
とはできない。
【０００６】これまで形成できた最高の乾式滑動特性を
有する滑動素子は、特にカーボングラファイト、例えば
SGL Carbon GmbH社（ドイツ国）製の“ＥＫ２２３
０”から成り、これらの滑動素子は相手の滑動体として
ＳｉＣ素子を有する。これらの滑動素子は、個々のプレ
ス加工物として製造され、更にその軸受面に最後に機械
的な加工を施される。そのため製造費用は、従来のプラ
スチック成形法で製造するよりも明らかに高価なものと
なる。少なくとも部分的にグラファイトの性質をもつ固
体の炭素含有充填材（例えば天然グラファイト、電気グ
ラファイト）を炭化可能なピッチ及び樹脂のような結合
剤と混和し、圧縮し、その後この圧縮混合物を７５０〜
１３００℃の温度で空気の遮断下に炭化するようにし
て、カーボングラファイト材料は生成される。
【０００７】例えば焼結された炭化珪素のようなセラミ
ックス材料から成る滑動リングも公知である。しかし欧
州特許第６８５４３７号明細書によるこれらの材料は混
合摩擦の場合に使用できるに過ぎず、この材料が、通常
摩擦素子相互間にある油膜が滑動リングの気孔内に沈積
し、この気孔内に残留する油膜を純粋な乾式滑動を回避
するため、短時間の乾式滑動の際に放出させる高い気孔
率を有することに依存するものである。欧州特許第７０
９３５２号明細書が推奨するグラファイトのような固体
の潤滑剤の添加により、摩擦係数は更に改善されるが、
滑動リングの使用は、それにも拘わらずなお混合摩擦の
場合に限定されている。この乾式摩擦の問題は、少なく
とも一時的に油膜が存在する場合にこの材料の良好な滑
り挙動が可能になるだけであり、このような材料では解
決されない。この挙動は、表２に記載したＳｉＣでの参
考測定の結果により後で説明する。
【０００８】国際特許出願公開９９／４１２１１号明細
書は、亀裂のない高密度の珪素／硼素／炭素／窒素をベ
ースとする、トライボロジの目的に使用できるポリシラ
ザンから成るセラミックス成形品の製造方法を開示す
る。この場合組成に応じこの成形品の材料は、例えばグ
ラファイト、窒化硼素、酸化チタン及び窒化チタン炭化
物等の種々の潤滑剤の封入された沈積物を含む。これと
同時に架橋結合されたポリシラザン粉末は、最善の架橋
結合ポリマーのＴＭＡ（thermo mechanical analysi
s、熱機械分析）表中の温度の最大値よりも高く設定さ
れた温度で、まず空隙内において高温で加圧され、引続
き熱分解される。例えば射出成形及び押出成形の如き、
成形用プラスチック技術の価格的に有利な製造方法は、
この成形品の製造には使用できない。更にこの製造に使
用されたポリシラザンは他の、特にポリシロキサン等の
有機ポリマーの前駆体よりも極めて高価であり、この成
形品の価格を一層高価なものにする。国際特許出願公開
９９／４１２１１号明細書により製造される成形品は、
乾式滑動中に０．１以下の摩擦係数を示す。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、プラ
スチック技術の製造方法により製造でき、理論値の少な
くとも８５％の高い密度の他に、製造中に多くても１０
％の低い収縮率を示し、成形品が満足のいく乾式滑動特
性を有する、ポリマーから誘導されたセラミックス成形
品を提供することにある。
【００１０】本発明のもう１つの課題は、乾式滑動用に
軸受及び滑動リングパッキンとして使用でき、特にポリ
シロキサンのような原価の安い有機ポリマー前駆体を原
料として製造できるセラミックス成形品を提供すること
にある。
【００１１】更に本発明のもう１つの課題は、公知材料
と比べ軸受や滑動リングパッキン用材料として優れた適
性を乾式滑動中に示す成形品用材料を提供することにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この課題は、複合材料と
して炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、二酸
化珪素（ＳｉＯ2）又は例えばオキシ炭化物、オキシ窒
化物、カルボ窒化物及び／又オキシカルボ窒化物のよう
なそれらの混合物から成る単相又は多相の、非晶質、一
部結晶又は結晶マトリックスを有する、ポリマーの熱分
解により生成されるセラミックス成形品により解決され
る。
【００１３】本発明による成形品の製造には、まず混合
物の全重量に対し３０〜８０重量％の量のポリマー成分
の他に、０〜３０重量％の量の充填材及び付加的に１０
〜７０重量％の量のグラファイトを含む混合物を生成す
る。この混合物をポリマー成分の架橋結合のため加熱す
る成形プロセス後に、最後にセラミックス成形品を製造
するため熱分解プロセスを行う。
【００１４】ポリマー成分として本発明では、特に従来
技術で元来公知のポリシラン、ポリシロキサン、ポリシ
ラザン又はポリカルボシラン又は類似の化合物及びそれ
らの混合物を使用する。この場合セラミックス複合材料
のマトリックス中に酸化物相を生じる原価の安いポリシ
ロキサンを使用すると有利である。ポリマー成分として
本発明では特に（ＣＨ3）ＳｉＯ1.5の実験式及び２００
００ｇ／モルの範囲の平均分子量を有する、メチルヒド
ロキシルポリセスキシロキサンを使用する。本発明によ
るセラミックス成形品を製造する混合物のポリマー成分
の分量は、好ましくは４０〜７０重量％、特に好ましく
は５０〜６０重量％である。
【００１５】充填材として、本発明では特に金属の珪
素、アルミニウム、ジルコニウム、ハフニウム、バナジ
ウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タング
ステン、チタン又は元素状の硼素又はモリブデンと珪素
から成る合金又はクロムと珪素から成る合金のような高
密度の充填材が適している。硼素、珪素及び／又はアル
ミニウムと、ランタノイド及び／又は周期律表の第４〜
第６副族の金属間化合物を使用でき、同様に上記充填材
の混合物も使用できる。更にこれら充填材成分の代わり
に、例えばアルキル、シクロアルキル、アリール、アル
コキシド及び／又は例えば水素化物のような塩類似化合
物のような有機金属化合物及び／又は前駆体、又は金属
及び／又はそれらの金属間化合物の酸化物を使用するこ
とも好適である。特に好ましい充填材は硼素及び珪素で
ある。これらの充填材を好ましくは微細に分散した形で
熱分解混合物に添加し、好ましくはレーザ粒度計（Ｃｉ
ｌａｓ型７１５）で測定して、Ｄ50（値）と記載した１
〜５μmの範囲の平均粒径を有する乾燥粉末として添加
する。充填材の好ましい分量 としては、実際に特に混
合物の５〜２５重量％、特に１０〜２０重量％の量が判
明している。
【００１６】この使用されるグラファイトを、好ましく
は出発混合物の２０〜５０重量％の量で添加する。混合
物の３０〜４０重量％のグラファイト分量が特に好まし
い。このグラファイトは、Ｈｅピクノメータ（ヘリウム
比重瓶）で測定して、好ましくは２．０〜２．３ｇ／ｃ
ｍ3、特に好ましくは２．１〜２．２ｇ／ｃｍ3の密度を
持つ。使用するグラファイトの平均粒径（Ｄ50）は、レ
ーザ粒度計（Cilas型７１５）で測定して２〜１６μmの
範囲、特に３〜７μmであると好ましい。更に本発明に
よれば最適なグラファイトは優れた結晶配列、即ちほぼ
均一なグラファイト層の配列を有する。この場合、例え
ば電気グラファイトのような合成グラファイト或いは天
然グラファイトも使用可能である。
【００１７】驚くべきことに、先に記載した熱分解混合
物の熱分解時、炭化物を生成するために全グラファイト
分が使い尽くされることはなく、グラファイトがほぼ完
全にポリマーから誘導されたセラミックス中に埋封物と
してその儘残っていることが判った。本発明によるセラ
ミックスの生成は、以下に記載する条件の下に行う。即
ち出発混合物の重合を２３０〜３００℃の温度で行い、
出発ポリマーの熱分解を９００〜１５００℃、好ましく
は１０００〜１２００℃の温度で行い、アルゴン又は純
窒素等の不活性ガス下に、又は窒素と水素の混合物中で
３０〜６０時間かけて行う。この材料中に埋封されたグ
ラファイトは、高活性の潤滑剤として、ポリマーから誘
導されたセラミックスから本発明による成形品として滑
動リング又はパッキンディスクを形成し、それらで外か
ら供給される潤滑剤による従来の潤滑性を欠いている場
合に、乾式滑動を開始させる役目をする。上記の成形品
は主として混合摩擦の場合に使用されるが、しかし同様
に純粋な乾式滑動にも使用できる。本発明の成形品の乾
式滑動特性の尺度としての摩擦係数ｆは、ＤＩＮ５０３
２２によれば一般に０．１以下の値を示し、好ましくは
０．０６以下の値、特に好ましくは０．０４５以下の値
を示す。
【００１８】従って本発明によるポリマーから誘導され
たセラミックスは、ポンプ、コンプレッサ、一般機械内
の、そして時に乾式滑動用の炉内の可動部分のパッキン
及び／又は軸受機能を有する滑動素子の製造にことのほ
か適している。
【００１９】本発明によるセラミックスの有利な実施形
態では、出発混合物に、使用されるポリマーの重縮合プ
ロセスを誘導する少量の物質を触媒として加える。この
場合触媒として、白金族の金属、鉄、コバルト及び／又
はニッケルを、またこれら金属の有機金属化合物、前駆
体及び塩類似化合物及びそれらの混合物の形で出発混合
物に添加する。その際、出発混合物の材料におけるそれ
らの重量比は１０％以下、好ましくは０．２〜５％、更
に好ましくは０．５〜１％である。特に好ましい触媒
は、アルミニウムアセチルアセトナト（Ｃ15Ｈ21ＡｌＯ
6）及び鉄アセチルアセトナトのような金属アセチルア
セトナトである。これらの触媒の使用は、本発明による
セラミックスの気孔率及び熱分解プロセス中のセラミッ
クスの線収縮を低下させる。
【００２０】本発明によるセラミックスは通常１２容積
％以下、好ましくは７容積％以下、特に好ましくは４容
積％以下の低い開気孔、即ち外方に向かって開いた気孔
を有することを特徴とする。更に本発明によるセラミッ
クスは熱分解中の僅かな収縮挙動も特徴とし、その際そ
の線収縮率は通常１０％以下、好ましくは７％以下、特
に好ましくは５％以下である。
【００２１】ポリマーから誘導された本発明によるセラ
ミックスの成形には、セラミックス技術又はプラスチッ
ク技術に於いて一般に好適であると認められる全ての方
法が使用できる。それらの成形法は常圧鋳込み、ホット
プレス、射出成形、押出成形法又はレーザを用いた高速
のプロトタイプ作成法である。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明を実施例に基づき更に明確
に以下に詳述する。但し記載した実施形態に限定される
ものではない。
【００２３】例 １ まず、６０重量％のメチルヒドロキシセスキシロキサン
（MOHPS NH２１００，Nuenchritz GmbH製、ドイツ
国）、２．３３ｇ／ｃｍ3の 密度及び３．１μmの平均
粒径（Ｄ50）を有する１０重量％の金属珪素及び３ ．
６μmの平均粒径を有する３０重量％の粉砕グラファイ
ト（U１９F３００SGL，Carbon GmbH製）の材料組成の
５０ｇの固体のバッチ（上記の全てのパーセンテージは
固体の全重量に対するものである）を５０ｇのＡｌ2Ｏ3
球及び７０ｃｍ3のイソプロパノールから生成した。こ
のバッチを２４時間回転ミルで均質化した。引続きこの
低粘性の混合物の乾燥を真空回転蒸発器中で４０℃で行
った。その後こうして得られた固体残渣を２分間鋼の振
動ミル上で粉砕し、得られた粉末を１００μm篩で濾し
た。こうして得られた粉末混合物をラミネ ートプレス
機（Buerkle社製、フロイデンシュタット）内で乾燥圧
縮した。２３０℃の温度で４５分間１０ＭＰａの圧縮力
で寸法３ｍｍ×５０ｍｍ×５０ｍｍのなま素地を製造
し、引続き９０分間常圧下２３０℃の温度で後架橋結合
させた。その後このなま素地から機械により寸法３ｍｍ
×４ｍｍ×５０ｍｍの小試料棒を以下に記載の実験のた
めに準備した。
【００２４】この小試料棒をその後窒素で２回洗浄した
閉鎖炉に入れ、引続きこの炉で常圧下１２５０℃の温度
で２０時間にわたり加熱した。この温度を１０時間保持
し、炉を更に１０時間かけて再び冷却した。得られたセ
ラミックスの特性は、実施例の終わりに記載する表１に
まとめてある。
【００２５】例 ２ 例２の小試料棒を例１に相応して製造した。但し充填物
の固体の全重量に対し０．５％のＦｅアセチルアセトナ
トを更に添加した。
【００２６】更にこの混合物から熱プレス機（Jean Wi
rty社製、デュッセルドルフ）中で同じ圧縮力で高さ４
ｍｍ及び直径２５ｍｍの円盤状試料を摩擦テストのため
形成した。炉から取り出した後、試料の表面を６μmの
レベルに研磨した。
【００２７】この場合もこの試料の特性を表１に示し、
また得られたセラミックスの摩擦挙動を表２に示す。
【００２８】例 ３ 例１と同様に６０重量％のMOHPS NH２１００、密度
２．２７ｇ／ｃｍ3及び平均粒径（Ｄ50）１．５μmの１
０重量％の元素状の硼素及び平均粒径（Ｄ50）３．６μ
mの３０重量％の粉砕グラファイト（Ｕ１９Ｆ３００、S
GL CARBON GmbH製）から成る混合物（上記の全てのパ
ーセンテージは固体の全重量に対する）を例２と同様小
試料棒に形成し、円盤状の試料に加工した。
【００２９】これらの試料を更に上述の例と同様熱分解
し、引続き研磨した。試料の特性は下記の表１に、また
例３で得られたセラミックスの摩擦係数は表２に示す。
【表 １】 特 性 例１ 例２ 例３ 反応性充填材 珪素 珪素 硼素 反応性充填材［重量％］ １０ １０ １０ グラファイト［重量％］ ３０ ３０ ３０ ＭＯＨＰＳ ［重量％］ ６０ ６０ ６０ 触 媒［添加重量％］ 鉄アセチルアセトナト ０ ０．５ ０ 収縮率 ［％］ ９ ６ １０ 開気孔の比率［容積％］ ６ ３ １０ 曲げ強さ ［ＭＰａ］ ９５±１０ ５０±５ ６０±５ 表１に記載した値は以下の測定法により求めた。開気孔
の比率：ＤＩＮ６６１３３曲げ強さ：ＤＩＮ５１９０２
【００３０】例１〜３により生成したセラミックスは、
表１に示した値を特徴とする。このセラミックスの性能
は、ＳｉＣとの摩擦テスト中に現在公知の従来技術の示
すような試料と比較した場合に明らかである。乾式滑動
中及び１５００回／分の回転数において、炭素試料とグ
ラファイトの試料ＥＫ２２３０もしくは従来技術による
炭化珪素試料は、例２及び３のそれよりも明らかに高い
摩擦係数ｆと明らかに高い試料の加熱を示した（表２参
照）。
【表 ２】 特 性 例２ 例３ ＥＫ２２３０ ＳｉＣ ２０分のテスト時間後の 摩擦係数ｆ ０．０５ ０．０４ ０．０８ ０．２０ 試料の昇温［℃］ ４０ ２３ ４７ １３７ 表２に記載した値は以下の測定法により求めたものであ
る。即ち本発明による成形品の乾式滑動特性の尺度とし
ての摩擦係数ｆを、ＤＩＮ５０３２２をベースとする軸
滑動リングパッキンのトライボロジ装置における、１．
５ｍ／秒の滑動速度に対応して回転数１５００回／分及
びＳｉＣに対するカウンター滑動中の法線力Ｆnに対応
する４０Ｎの軸方向力で求めた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オリファー デルノフゼク ドイツ連邦共和国 81669 ミュンヘン フランチスカーナー‐シュトラーセ 11 (72)発明者 ハンス‐ミヒァエル ギューター ドイツ連邦共和国 61462 ケーニッヒシ ュタイン リンブルガー シュトラーセ 12ベー (72)発明者 ウルリッヒ ヴィスルシュペルガー ドイツ連邦共和国 53175 ボン エルフ トシュトラーセ 12 Ｆターム(参考） 3J011 SC01 SD02 SD03 SD10 SE02 3J043 AA11 AA15 CB16 CB18 DA11 4G001 BA03 BA60 BA62 BA75 BA77 BB22 BB32 BC22 BC25 BC26 BC47 BC48 BD11

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複合材料として炭化珪素（ＳｉＣ）、窒
    化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、二酸化珪素（ＳｉＯ2）又は例え
    ばオキシ炭化物、オキシ窒化物、カルボ窒化物及び／又
    オキシカルボ窒化物のようなそれらの混合物から成る単
    相又は多相の非晶質、一部結晶又は結晶マトリックスを
    有する、ポリマーの熱分解により生成されるセラミック
    ス成形品において、マトリックスがグラファイト埋封物
    を含有し、セラミックスの密度が理論値の少なくとも８
    ５％であることを特徴とするポリマーの熱分解により生
    成されるセラミックス成形品。
  2. 【請求項２】 セラミックスがポリシラン、ポリシロキ
    サン、ポリシラザン又はポリカルボシランの群のポリマ
    ーから生成されることを特徴とする請求項１記載の成形
    品。
  3. 【請求項３】 セラミックスのマトリックスが酸化物相
    を示すことを特徴とする請求項１又は２記載の成形品。
  4. 【請求項４】 セラミックスがポリマーとしてのメチル
    ヒドロキシルポリセスキシロキサンから生成されること
    を特徴とする請求項２記載の成形品。
  5. 【請求項５】 セラミックスが、混合物の全重量に対し
    ３０〜８０重量％の量のポリマーの他に、０〜３０重量
    ％の量の充填材及び付加的に１０〜７０重量％の量のグ
    ラファイトを含有することを特徴とする請求項１乃至４
    の１つに記載の成形品。
  6. 【請求項６】 混合物が３０〜７０重量％の量のグラフ
    ァイトを含有することを特徴とする請求項５記載の成形
    品。
  7. 【請求項７】 混合物におけるポリマーの組成比が４０
    〜７０重量％、好ましくは５０〜６０重量％であること
    を特徴とする請求項６記載の成形品。
  8. 【請求項８】 グラファイト埋封物が２．０〜２．３ｇ
    ／ｃｍ3、好ましくは２．１〜２．２ｇ／ｃｍ3の範囲の
    密度を示すことを特徴とする請求項１乃至７の１つに記
    載の成形品。
  9. 【請求項９】 グラファイト埋封物の平均粒径（Ｄ50）
    が２〜１６μm、好ましくは３〜７μmであることを特徴
    とする請求項１乃至８の１つに記載の成形品。
  10. 【請求項１０】 グラファイト埋封物がほぼ均一なグラ
    ファイト層の配列を示すことを特徴とする請求項１乃至
    ９の１つに記載の成形品。
  11. 【請求項１１】 成形品の摩擦係数ｆが、ＤＩＮ５０３
    ２２の準拠して乾式滑動中に０．１以下、好ましくは
    ０．０６以下の値、特に好ましくは０．０４５以下の値
    であることを特徴とするとする請求項１乃至１０の少な
    くとも１つに記載のポリマーの熱分解により生成される
    セラミックス成形品。
  12. 【請求項１２】 セラミックスが１２容積％以下、好ま
    しくは７容積％以下、特に好ましくは４容積％以下の開
    気孔を含有することを特徴とするとする請求項１乃至１
    １の１つに記載の成形品。
  13. 【請求項１３】 ポリマー成分を含む混合物の成形プロ
    セス中に、この混合物をポリマー成分の架橋結合のため
    加熱し、セラミックス成形品を製造するため熱分解プロ
    セスを含むセラミックス成形品の製造方法において、混
    合物が、混合物の全重量に対し３０〜８０重量％の量の
    ポリマー成分の他に、０〜３０重量％の量の充填材及び
    付加的に１０〜７０重量％の量のグラファイトを含有す
    ることを特徴とする請求項１乃至１２の１つに記載のセ
    ラミックス成形品の製造方法。
  14. 【請求項１４】 混合物が充填材として、金属の珪素、
    アルミニウム、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウ
    ム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングス
    テン、チタン又は元素状の硼素、又はモリブデンと珪素
    の合金又はクロムと珪素の合金又はランタノイド及び／
    又は硼素、珪素及び／又はアルミニウム及びそれらの混
    合物に加えて周期律表の第４〜第６副族の金属間化合物
    を含有することを特徴とする請求項１３記載の方法。
  15. 【請求項１５】 混合物がこれらの充填材の代わりに、
    例えばアルキル、シクロアルキル、アリール、アルコキ
    シド及び／又は例えば水素化物等の塩類似化合物のよう
    な有機金属化合物及び／又は前駆体又は金属及び／又は
    それらの金属間化合物の酸化物を含むことを特徴とする
    請求項１３記載の方法。
  16. 【請求項１６】 混合物に、充填材を好ましくは１〜５
    μmの平均粒径Ｄ50を有する乾燥粉末として微細に分散
    した形で添加することを特徴とする請求項１２乃至１５
    の１つに記載の方法。
  17. 【請求項１７】 混合物が、その全重量に対し充填材を
    ５〜２５重量％、好ましくは１０〜２０重量％の比率で
    含有することを特徴とする請求項１３乃至１６の１つに
    記載の方法。
  18. 【請求項１８】 混合物が、その全重量に対し、グラフ
    ァイトを２０〜５０重量％、好ましくは３０〜４０重量
    ％の比率で含有することを特徴とする請求項１３乃至１
    ７の１つに記載の方法。
  19. 【請求項１９】 混合物が、グラファイトとして電気グ
    ラファイト又は天然グラファイトを含有することを特徴
    とする請求項１３乃至１８の１つに記載の方法。
  20. 【請求項２０】 ポリマー成分の架橋結合を２３０〜３
    ００℃の範囲の温度で行うことを特徴とする請求項１３
    乃至１９の１つに記載の方法。
  21. 【請求項２１】 セラミックス成形品を製造するために
    熱分解プロセスを９００〜１５００℃の温度、好ましく
    は１０００〜１２００℃の温度で不活性ガス下に行うこ
    とを特徴とする請求項１３乃至２０の１つに記載の方
    法。
  22. 【請求項２２】 出発混合物に、使用されるポリマーの
    重縮合プロセスを誘発する触媒として若干量の物質を添
    加することを特徴とする請求項１３乃至２１の１つに記
    載の方法。
  23. 【請求項２３】 触媒として白金族の金属、鉄、コバル
    ト及び／又はニッケルを、或いはまたこれら金属の有機
    金属化合物、前駆体又は塩類似化合物及びそれらの混合
    物を、出発混合物に添加することを特徴とする請求項２
    ２記載の方法。
  24. 【請求項２４】 触媒の比率が出発混合物の重量に対し
    て１０重量％以下、好ましくは０．２〜５重量％、特に
    好ましくは０．５〜１重量％であることを特徴とする請
    求項２２又は２３記載の方法。
  25. 【請求項２５】 出発混合物に、触媒としてアルミニウ
    ムアセチルアセトナト（Ｃ15Ｈ21ＡｌＯ6）及び鉄アセ
    チルアセトナトのような金属アセチルアセトナトを添加
    することを特徴とする請求項２２乃至２４の１つに記載
    の方法。
  26. 【請求項２６】 熱分解プロセス中の成形品の線収縮率
    を１０％以下、好ましくは７％以下、特に好ましくは５
    ％以下に保つことを特徴とする請求項２２乃至２５の１
    つに記載の方法。
  27. 【請求項２７】 成形法として常圧鋳込み、ホットプレ
    ス、射出成形、押出成形又はレーザを用いた高速のプロ
    トタイプ作成法を使用することを特徴とする請求項１３
    乃至２６の１つに記載の方法。
  28. 【請求項２８】 請求項１〜１２の１つに記載のセラミ
    ックス成形品をポンプ、コンプレッサの可動部分、一般
    機械及び炉構造内、特に乾式滑動用に使用するパッキン
    及び／又は軸受機能を有する滑動素子。
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