JP2002083541A - 放電ランプの製造方法および放電ランプ - Google Patents

放電ランプの製造方法および放電ランプ

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誠 堀内
Satoyuki Seki
関  智行
Takeshi Ichibagase
剛 一番ヶ瀬
Mamoru Takeda
守 竹田
Shinichi Yamamoto
真一 山本
Kenichi Sasaki
健一 佐々木
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極間隔を高精度に規定できる放電ランプの
製造方法を提供すること。 【解決手段】 放電ランプ用ガラスパイプ50と1個の
電極組立体40とを用意した後、ガラスパイプ50の発
光管部10に電極組立体40の電極構造部分42が位置
するように電極組立体40をガラスパイプ50内に挿入
する。次いで、ガラスパイプ50の側管部22を電極組
立体40の一部24に密着させることによって、内部に
電極構造部分42が配置された発光管10を形成した
後、電極構造部分42の一部18を選択的に溶断するこ
とによって、発光管10内に一対の電極12および1
2’を形成し、それによって放電ランプ100を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、放電ランプおよび
ランプユニットに関する。特に、液晶プロジェクタ用光
源やデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)プロジ
ェクタなどの画像投影装置用光源として使用される放電
ランプおよびランプユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、大画面映像を実現するシステムと
して、液晶プロジェクタやDMDを用いたプロジェクタ
などの画像投影装置が広く用いられている。このような
画像投影装置には、高い輝度を有する高圧放電ランプが
一般的に広く使用されている。画像投影装置に使用する
光源では、プロジェクタの光学系に含まれる画像素子に
光を集光する必要があるため、高輝度に加えて点光源に
近いことも要求されている。このため、高圧放電ランプ
の中でも、より点光源に近く高輝度の特長を有するショ
ートアーク型の超高圧水銀ランプが有望な光源として注
目されている。
【0003】図4を参照しながら、従来におけるショー
トアーク型の超高圧水銀ランプ1000の説明をする。
図4は、超高圧水銀ランプ1000を模式的に示してい
る。ランプ1000は、石英ガラスから構成され略球状
の発光管(バルブ)110と、同じく石英ガラスから構
成され発光管110に連結された一対の封止部(シール
部)120および120’とを有している。
【0004】発光管110の内部には放電空間115が
あり、放電空間115には、発光物質として、水銀(水
銀封入量:例えば、150〜250mg/cm3)と、
希ガス(例えば、数十kPaのアルゴン)と少量のハロ
ゲンとが封入されている。放電空間115には、一対の
タングステン電極(W電極)112および112’が一
定の電極間隔D(例えば、約1.5mm)をおいて互い
に対向して配置されている。W電極112および11
2’は、それぞれ、電極軸(W棒)116と、電極軸1
16の先端領域に巻かれたコイル114とを有してお
り、コイル114は、電極先端温度を低下させる機能を
有している。
【0005】W電極112の電極軸116は、封止部1
20内のモリブデン箔(Mo箔)124に溶接されてお
り、両者が溶接された溶接部によって、W電極112と
Mo箔124とは電気的に接続されている。封止部12
0は、発光管110から延ばされたガラス部122とM
o箔124とを有しており、ガラス部122とMo箔1
24とを圧着させることによって、発光管110内の放
電空間115の気密を保持している。すなわち、Mo箔
124とガラス部122との圧着による箔封止によっ
て、封止部120のシールは行われている。封止部12
0の断面形状はいずれも略円形であり、封止部120内
部のほぼ中心に矩形のMo箔124が配置されている。
【0006】封止部120内のMo箔124は、溶接部
側と反対の側に、モリブデンから構成された外部リード
(Mo棒)130を有している。Mo箔124と外部リ
ード130とは互いに溶接されており、溶接部132で
両者は電気的に接続されている。なお、W電極112’
および封止部120’の構成については、W電極112
および封止部120と同様であるので説明を省略する。
【0007】次に、ランプ1000の動作原理を簡単に
説明する。外部リード130およびMo箔124を介し
てW電極112および112’に始動電圧が印加される
と、アルゴン(Ar)の放電が起こり、この放電によっ
て発光管110の放電空間115内の温度が上昇し、そ
れによって水銀が加熱・気化される。その後、W電極1
12および112’間のアーク中心部で水銀原子が励起
されて発光する。ランプ1000の水銀蒸気圧が高いほ
ど発光効率も増加するため、水銀蒸気圧が高いほど画像
投影装置の光源として適しているが、発光管110の物
理的耐圧強度の観点から、15〜25MPaの範囲の水
銀蒸気圧でランプ1000は使用されている。
【0008】従来のランプ1000は、図5に示すよう
にして製造されている。図5(a)から(c)は、ラン
プ1000の製造方法の各工程を示す工程断面図であ
る。
【0009】まず、ランプ1000の発光管となる発光
管部110と封止部となる側管部(封止部部分)122
とを有する放電ランプ用ガラスパイプ150と、金属箔
(Mo箔)124の一端に電極112が接合され他端に
外部リード130が接合された電極組立体140とを用
意し、次いで、図5(a)に示すように、放電ランプ用
ガラスパイプ150内に電極組立体140を挿入する
(電極組立体挿入工程)。
【0010】次に、図5(b)に示すように、ガラスパ
イプ150内を減圧状態(例えば、1気圧未満)にした
上で、ガラスパイプ150の側管部122をバーナー5
4で加熱し軟化させることによって、側管部122とM
o箔124との両者を密着させ、それによって封止部1
20を形成する(封止部形成工程)。
【0011】図5(a)および(b)の工程と同様の工
程を他方の側管部に対して行う。具体的に説明すると、
まだ封止部が形成されていない方の側管部に、もう一つ
の電極組立体140を挿入する。この際、一対の電極1
12が出来るだけ同軸になるように且つ所定の電極間隔
Dとなるように、すでに封止されている電極組立体14
0の電極112に対して位置合わせを行いながら、電極
組立体140の挿入を行う。その後、封止部形成工程を
実行する。
【0012】このようにして電極組立体挿入工程および
封止部形成工程を2回繰り返して行うと、図5(c)に
示すように、一対の封止部120によって密閉された放
電空間115内に一対の電極112が配置された発光管
110を形成することができ、これによって、ランプ1
000を製造することができる。なお、放電空間115
に封入される発光物質は、一方の封止部120を形成し
た後、他方の封止部120を形成する前において、発光
管部110の内部に導入すればよい。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ランプ1000の電極
間隔Dは、放電ランプのアーク長を規定する極めて重要
な設計事項であり、放電ランプの電極間隔Dを短くする
と、より点光源に近くなり、より高輝度を有する放電ラ
ンプを実現することができる。しかし、従来の製造方法
を用いて、電極間隔Dをさらに短くすることには限界が
あることを本願発明者は見出した。すなわち、従来の製
造方法では、図5(a)に示した電極組立体挿入工程に
よって、電極間隔Dを規定する必要があるため、電極組
立体挿入工程における位置合わせ精度よりも高い精度で
電極間隔Dを規定することはできないという製造プロセ
ス上の限界を見出した。
【0014】電極組立体140は、厚さの薄いMo箔1
24(例えば20〜30μm程度の厚さ)の両端にW棒
116と外部リード130とが接合された構成をしてい
るため、Mo箔124の薄さゆえに位置合わせ精度を向
上させることが難しい。このため、従来の製造方法によ
ってランプ1000を製造した場合、電極間隔Dが1.
5mm〜1.2mm程度のショートアーク型のランプ1
000を製造することが限界であり、これより短い電極
間隔Dを有するショートアーク型のランプ1000を実
現することは技術的に極めて困難となっている。
【0015】本発明はかかる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その主な目的は、一対の電極の電極間隔を高精
度に規定できる放電ランプの製造方法を提供することに
ある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明による放電ランプ
の製造方法は、発光管部と側管部とを有する放電ランプ
用ガラスパイプと、放電ランプの一対の電極となる電極
構造部分を含む1個の電極組立体とを用意する工程と、
前記放電ランプ用ガラスパイプの前記発光管部に前記1
個の電極組立体の前記電極構造部分が位置するように、
前記1個の電極組立体を前記放電ランプ用ガラスパイプ
内に挿入する工程と、前記放電ランプ用ガラスパイプの
前記側管部を前記1個の電極組立体の一部に密着させる
ことによって、内部に前記電極構造部分が配置された発
光管を形成する工程と、前記電極構造部分の一部を選択
的に溶断することによって、前記発光管内に一対の電極
を形成する工程とを包含する。
【0017】前記電極構造部分は、前記放電ランプの一
対の電極が同一軸となるように構成された構造を有して
いることが好ましい。
【0018】ある実施形態では、前記放電ランプ用ガラ
スパイプの前記発光管部に発光物質を充填する工程をさ
らに包含する。
【0019】ある実施形態において、さらに、ハロゲン
またはハロゲン前駆体を前記発光管部に充填する工程を
包含し、前記電極構造部分の一部を選択的に溶断した
後、前記ハロゲンまたは前記ハロゲン前駆体から誘導さ
れたハロゲンによって、前記一対の電極が形成された前
記発光管内をクリーニングする工程を実行する。
【0020】ある実施形態において、前記発光管内をク
リーニングする工程は、前記発光管を真空ベークし、そ
れにより、前記ハロゲンによるハロゲンサイクルを起こ
す工程を含む。
【0021】前記1個の電極組立体は、前記電極構造部
分として機能する一本のタングステン棒と、前記一本の
タングステン棒の両端に接合された金属箔とを含むこと
が好ましい。
【0022】前記一本のタングステン棒のうち、選択的
に溶断される一部の両側にコイルが巻かれていることが
好ましい。
【0023】前記一対の電極を形成する工程は、前記発
光管の外部からレーザ光を照射することによって実行す
ることが好ましい。
【0024】前記レーザ光の照射は、前記発光管部を相
対的に回転させながら実行することが好ましい。
【0025】前記一対の電極を形成する工程は、前記1
個の電極組立体に電流を流すことによって実行してもよ
い。
【0026】前記一対の電極を形成する工程は、前記発
光管を冷却しながら実行することが好ましい。
【0027】前記一対の電極を形成する工程は、前記電
極構造部分が前記一対の電極となった場合における前記
一対の電極の根本部分を冷却しながら実行することが好
ましい。
【0028】ある実施形態において、前記側管部を前記
1個の電極組立体の一部に密着させる工程は、前記電極
構造部分と前記側管部との間に隙間が生じるように、前
記側管部と前記1個の電極組立体の一部とを仮密着させ
る工程を含み、前記仮密着工程の後、前記電極構造部分
の前記一部を選択的に溶断する。
【0029】前記隙間は、前記溶断の際の熱によって前
記電極構造部分が膨張しても前記側管部に接触しない程
度の隙間であることが好ましい。
【0030】ある実施形態において、前記仮密着工程の
後、前記電極構造部分の一部を選択的に溶断し、次い
で、溶断によって得られた一対の電極の電極間隔を調節
する工程をさらに包含する。
【0031】ある実施形態において、前記電極構造部分
の一部を選択的に溶断した後、前記隙間を埋めるように
前記一対の電極のそれぞれの一部と前記側管部とを密着
させる工程をさらに包含する。
【0032】本発明による放電ランプは、発光物質が封
入される管内に一対の電極が対向して配置された発光管
と、前記一対の電極のそれぞれに電気的に接続された一
対の金属箔のそれぞれを封止する一対の封止部とを備え
た放電ランプであって、発光管部と側管部とを有する放
電ランプ用ガラスパイプと、放電ランプの一対の電極と
なる電極構造部分を含む1個の電極組立体とを用意する
工程と、前記放電ランプ用ガラスパイプの前記発光管部
に前記1個の電極組立体の電極構造部分が位置するよう
に、前記1個の電極組立体を前記放電ランプ用ガラスパ
イプ内に挿入する工程と、前記放電ランプ用ガラスパイ
プの前記側管部を前記1個の電極組立体の一部に密着さ
せることによって、内部に前記電極構造部分が配置され
た発光管とを形成する工程と、前記電極構造部分の一部
を選択的に溶断することによって、前記発光管内に一対
の電極を形成する工程とを包含する放電ランプの製造方
法によって製造される、前記一対の電極の電極間隔が1
mm以下の放電ランプである。
【0033】本発明では、電極組立体の電極構造部分の
一部を選択的に溶断することによって、発光管内に一対
の電極を形成するので、従来技術よりも高い精度で一対
の電極間隔を規定することができる。その結果、従来技
術では実現できなかったより短い電極間隔(例えば1m
m以下、好ましくは0.8mm以下)の放電ランプを製
造することが可能となる。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施形態を説明する。以下の図面においては、説明を
簡明にするために、実質的に同一の機能を有する構成要
素を同一の参照符号で示す。図1(a)から(d)は、
本実施形態にかかる放電ランプの製造方法を説明するた
めの工程断面図を示している。
【0035】まず、図1(a)に示すように、放電ラン
プ用ガラスパイプ50と、放電ランプの一対の電極とな
る電極構造部分42を含む1個の電極組立体40とを用
意した後、ガラスパイプ50内に電極組立体40を挿入
する(電極組立体挿入工程)。
【0036】用意される放電ランプ用ガラスパイプ50
は、放電ランプの発光管となる略球形の発光管部10
と、発光管部10から延ばされた側管部22とを有して
いる。側管部22の一部は、放電ランプの封止部となる
部分である。用意したガラスパイプ50は、例えばチャ
ック52によって保持するようにして固定すればよい。
本実施形態では、水平方向にガラスパイプ50を保持し
ているが、鉛直方向に保持してもよい。ガラスパイプ5
0は、例えば石英ガラスから構成されており、本実施形
態において用意したガラスパイプ50の発光管部10の
内径およびガラス厚はそれぞれ6mmおよび3mmであ
り、側管部22の内径および長手方向長さはそれぞれ
3.4mmおよび250mmである。
【0037】電極組立体40は、電極構造部分42とな
る一本のタングステン棒(W棒)16と、一本のW棒1
6の両端に接合された金属箔24および24’とを含ん
でいる。W棒16は、放電ランプにおける一対の電極の
それぞれの電極軸となる部分であり、W棒16の長さは
例えば約20mm程度であり、その外径φは例えば0.
4mm程度である。W棒16の中央部分には、後工程で
溶断されることとなる溶断部位18があり、W棒16の
うち溶断部位18の外側に位置する箇所は、電極先端と
なる部分であり、その部分にはコイル14が巻かれてい
る。コイル14は、製造されたランプにおいて電極先端
温度を低下させる機能を有している。コイル14が巻か
れた部分の外径φは例えば1.4mm程度である。な
お、本実施形態では、一対の電極となる電極構造部分4
2を一本のW棒によって構成しているので、一対の電極
の電極中心軸19は最初から一致させることが可能とな
る。
【0038】W棒16と金属箔24および24’とは溶
接によって接合されており、金属箔24および24’
は、モリブデン箔(Mo箔)から構成されている。Mo
箔24および24’は例えば矩形の平板である。Mo箔
24および24’の寸法は適宜設定すればよい。W棒1
6と接合された側の反対側には、外部リード(例えばM
o棒)30が溶接によって接合されている。
【0039】電極組立体40の挿入は、ガラスパイプ5
0の発光管部10に電極構造部分42が位置するように
行われる。従来技術では電極組立体挿入工程の位置合わ
せによって電極間隔Dを規定する必要があったが、本実
施形態の方法では、電極組立体40の電極構造部分42
(または溶接部位18)で電極間隔Dを規定することが
できるため、従来の電極組立体挿入工程における位置合
わせ精度による制約を受けることがない。すなわち、単
に、電極構造部分42が発光管部10の内部に位置する
ようにすればよい。また、従来技術においては、電極組
立体40の挿入を2回行う必要があったが、本実施形態
の方法では、1個の電極組立体40を1回だけ挿入すれ
ばよいため作業が簡便になるという利点も得られる。
【0040】次に、図1(b)に示すように、ガラスパ
イプ50の側管部22を電極組立体40の一部(Mo
箔)に密着させることによって、放電ランプの封止部を
形成する(封止部形成工程)。ガラスパイプ50の側管
部22とMo箔24(または24’)との密着(封止)
は、既知の方法にしたがって行えばよい。例えば、ガラ
スパイプ50を減圧可能な状態にした後、ガラスパイプ
50内を減圧(例えば、20kPa)する。この減圧下
でチャック52を用いてガラスパイプ50を回転させな
がら、ガラスパイプ50の側管部22をバーナー54で
加熱し軟化させると、側管部22とMo箔24とが密着
して封止部20を形成することができる。
【0041】一方の封止部20を形成した後、他方の封
止部20’を形成する前において、ガラスパイプ50の
発光管部10の内部に放電ランプの発光物質を導入する
ようにすると、発光物質の導入を比較的簡便に行うこと
ができる。なお、一対の封止部20および20’を形成
した後、ガラスパイプ50の発光管部(発光管)10に
穴をあけて、そこから発光物質を導入し、次いで穴を塞
ぐような手法も採用することもできる。
【0042】本実施形態では、発光管部10の内部に、
発光物質としての水銀(例えば150〜200mg/c
3程度の水銀)と、5〜20kPaの希ガス(例え
ば、アルゴン)と、少量のハロゲンとを導入している。
ハロゲンは、例えば、臭素である。ハロゲンは、単体の
形態(例えば、Br2)で封入する場合に限らず、ハロ
ゲン前駆体の形態で封入することもでき、本実施形態で
は、ハロゲンをCH2Br2の形態で封入している。封入
されたハロゲン(または、ハロゲン前駆体から誘導され
たハロゲン)は、ランプ動作時においてハロゲンサイク
ルを行う役割を有している。
【0043】図1(b)に示した封止部形成工程を実行
して、封止部(シール部)20および20’を形成する
と、図1(c)に示すように、密閉された内部15に電
極構造部分42が配置された発光管10が得られる。次
いで、発光管10内に位置する電極構造部分42の一部
(溶断部位)18を選択的に溶断することによって、所
定の電極間隔Dを有する一対の電極を形成することがで
きる(電極形成工程)。その後、封止部20および2
0’が所定の長さとなるようにガラスパイプ50を切断
すれば、図1(d)に示すように、一対の電極12およ
び12’を発光管10内に含む放電ランプ100が得ら
れる。本実施形態の製造方法によって得られる放電ラン
プ100は、位置合わせ精度による影響を受けずに電極
間隔Dを規定することができるため、従来技術で極めて
実現困難であった1mm以下の電極間隔Dを放電ランプ
を提供することが可能となる。電極間隔Dは、0.8m
m以下であることが好ましく、0.6mm〜0.2mm
であることがさらに好ましい。
【0044】電極形成工程は、図2(a)および(b)
に示すように、発光管10の外部からレーザ光60を照
射することによって実行することができる。図2(a)
は、レーザ光照射工程を模式的に示しており、図2
(b)は、溶断部位18が選択的に溶断されて、電極間
隔Dの一対の電極が形成された状態を模式的に示してい
る。
【0045】図2(a)に示すように、発光管10の外
部からレーザ光60を溶断部位18に照射することによ
って、電極構造部分42の溶断部位18を選択的に加熱
し溶解させることができる。レーザ光60の照射条件
(出力、スポット径、照射時間など)は、W棒の溶断部
位18や発光管10のガラス厚などの条件に応じて適宜
決定すればよい。また、照射条件によっては、溶融した
材料を電極12および12’の先端部に付けるようにし
て、溶断後の電極12および12’の先端部の形状を例
えば球状にしたりする等の種々の形に制御することも可
能である。溶断によって電極12および12’の先端が
だんごのような状態になっても、放電を行うに際して特
に支障はない。
【0046】本実施形態では、レーザ光60による溶断
を容易にするために、溶断部位18の中央部分に向かっ
てW棒16の径が小さくなるようにW棒16を加工して
いる。特開平11−40058号公報には、1本のW棒
を引っ張ることにより切断して、一対の電極を作製する
技術が開示されており、その技術では、その切断を容易
にする目的で、切断箇所のW棒に弱い再結晶を起こさせ
る真空加熱処理を行っている。本実施形態では、そのよ
うな再結晶のための真空加熱処理を溶断部位18に対し
て行う必要はなく、本実施形態のW棒は、弱い再結晶を
起こした部分を含まないW棒である。なお、処理工程が
増えて手続きは煩雑になるが、そのような弱い再結晶を
起こした部分を含むW棒を用いても構わない。
【0047】また、本実施形態では、溶断部位18を挟
むように溶断部位18の両側にコイル14を巻いている
ので、レーザ光60の照射時に溶断部位18の温度が上
昇しても、コイル14の冷却作用によって、W棒16の
他の部分(電極12、12’の根本周辺)の温度上昇を
緩和することが可能となる。電極12、12’の根本と
なるW棒16の部分は、封止部20、20’によって封
止されているため、W棒16の当該部分の温度が上昇し
すぎると、W棒16と封止部(20,20’)の石英ガ
ラスとの熱膨張係数との相違により、封止部にクラック
が発生するおそれがある。本実施形態では、溶断部位1
8の両側にコイル14を設けているので、そのようなク
ラックの発生を防止・緩和することができる。より積極
的にクラックの発生を防止には、封止部20,20’内
のW棒16(電極12、12’の根本周辺)を冷却しな
がら、レーザ光60の照射を行うことが好ましい。
【0048】さらに、図1(b)に示した封止部形成工
程を、図3(a)に示すように、W棒16と封止部2
0,20’との間に隙間17が生じるように行い(仮封
止または仮密着)、その後、レーザ光60の照射を行う
ようにしてもよい。このようにすれば、レーザ照射の際
にW棒16が加熱されて膨張しても、隙間17が設けら
れているので、封止部20,20’にクラックが入るこ
とをより確実に防止することができる。隙間17は、レ
ーザ光照射の際の熱によってW棒16が膨張しても、封
止部20,20’に接触しない程度にすることが好まし
い。ただし、クラックが生じないことが確認されていれ
ば、膨張時に封止部20,20’に接触する程度の隙間
であってもよい。
【0049】図3(a)に示したようなレーザ光60の
照射によって、一対の電極12、12’が形成された後
は、隙間17を埋めるように電極12、12’の一部
(根本部分)と封止部20、20’とを密着させればよ
い。具体的には、図3(b)に示すように、電極12、
12’の根本部分の周辺に位置する封止部20、20’
を加熱して、隙間17を埋めればよい。なお、この段階
で、ランプの長手方向に沿った応力50を加えることに
よって、電極間隔Dを微調整することができる。大量生
産の観点からは、一つ一つのランプに対して電極間隔D
を微調整するのは効率的ではないが、電極間隔Dをより
高精度に制御する場合や、規格から僅かにずれたものの
電極間隔Dを調節して規格内におさめるようにする場合
などには、電極間隔Dの微調整は好適な手法になる。隙
間17が存在する状態であると、電極(例えば、1
2’)を簡単に移動させることができ、電極間隔Dの微
調整を良好に行いやすい。その理由を述べると、電極
(12’)の根本と封止部(20’)とが密着して隙間
17がない状態では、電極(12’)の根本と密着して
いるガラスを溶融するまで、外部から加熱を行うことは
この段階においては難しいからであり、そして、封止部
(20’)の表面のガラスだけを溶融させた状態で応力
50を加えても、溶融した部分のガラスが変形するもの
の、電極間隔Dの微調整を良好に行うのは難しいからで
ある。
【0050】レーザ光60の照射を行う場合、レーザ光
60が発光管10のガラスを透過する際に、発光管10
のガラスに歪みが生じるおそれがあるため、この歪みが
ある箇所に集中しないように、レーザ光照射工程の時に
発光管10を回転させながら、電極形成工程を行うこと
が好適である。発光管10の回転は、ガラスパイプ50
を保持しているチャック52によってガラスパイプ50
を回転させればよいので簡便に実行することができる。
なお、発光管10の回転は、レーザ光60に対して相対
的に行えばよいので、レーザ光60のレーザ光源の方を
発光管10を中心にして回転させるようにしてもよい。
また、発光管10を回転させる手法でなく、複数のレー
ザ光源を用いて比較的出力を低くした複数のレーザ光6
0を照射する手法を採用してもよい。
【0051】レーザ光60によって、W棒16の溶断部
位18が加熱し溶解すると、溶断部位18のタングステ
ンが蒸発して、それが発光管10の黒化をもたらすので
はないかとも推測されたが、本願発明者が実験を行い、
W棒16の溶断部位18へ3方向からレーザ光60を照
射したところ、発光管10が黒化した状態にはならなか
った。その理由を考えると、発光管10内に封入した少
量のハロゲンが蒸発したタングステンと反応して、ハロ
ゲンサイクルを行っているからと思われる。なお、溶断
部位18へのレーザ照射によって、仮に、発光管10が
黒化したとしても、その後、封入されたハロゲンを用い
てハロゲンサイクルを起こさせれば、発光管10内をク
リーニングすることができる。このクリーニング処理
は、例えば、ハロゲンによるハロゲンサイクルを起こさ
せるように発光管10を真空ベークすればよい。
【0052】上述した実施形態では、電極形成工程をレ
ーザ光60の照射によって行ったが、これに代えて、電
極組立体40に電流を流すことによって実行することも
できる。例えば、電極組立体40の一対の外部リード3
0のそれぞれを端子として、電極組立体40に比較的大
きな電流を流すことによって、電極構造部分42の溶断
部位18を選択的に加熱し溶解させるようにすればよ
い。溶断部位18となるW棒16の径が小さくするよう
に加工して、その箇所の電気抵抗を高くするようにする
ことも好適である。なお、勿論、レーザの照射と電流の
供給とを組み合わせてもよい。
【0053】本実施形態では、溶断部位18をW棒16
の一部として設けたが、溶断部位18は、一対の電極間
に位置して電極間隔Dを規定するスペーサとして機能を
有しているので、この機能をより発揮させるべく、より
容易に溶断部位18の溶断を実行できるように溶断部位
18をW棒16と異なる材料を用いて構成することも可
能である。例えば、レーザ60の照射により溶断し易い
材料から構成したり、大電流により溶断し易いように抵
抗の大きい材料から溶断部位18を構成することができ
る。W棒16の溶断部位18の部分に選択的に他の物質
を混入する方法も採用することが可能である。W棒16
の材料と異なる材料から溶断部位18を構成する場合に
は、溶断部位18を構成する材料がランプの放電特性に
影響を与えない材料であることが好ましい。また、発光
物質と同じ材料であってもよい。この場合には、溶融し
た物質が発光材料として発光管10内に残るので、発光
物質の導入を省略できるという利点がある。
【0054】レーザ光60を照射する場合や大電流を流
す場合において、発光管10の温度が上昇しすぎないよ
うに、発光管10を冷却しながら、電極形成工程を行う
ことが好適である。発光管10の温度が上昇しすぎる
と、発光管10内の充填物(水銀やArなど)の体積が
膨張して、発光管10が破損するおそれがあるからであ
る。発光管10の冷却は、例えば窒素(N2)や水など
を用いて行うことができる。
【0055】本実施形態の製造方法では、電極組立体4
0の電極構造部分42の溶断部位18を選択的に溶断し
て、発光管10内に一対の電極12および12’を形成
するので、従来技術よりも高い精度で一対の電極間隔D
を規定することができる。その結果、従来技術では実現
できなかったより短い電極間隔(例えば、1mm以下)
の放電ランプ100を製造することが可能となる。
【0056】本実施形態の製造方法によって得られたラ
ンプ100は、例えば、液晶プロジェクタやDMDを用
いるプロジェクタなどのような画像投影装置に取り付け
ることができ、プロジェクタ用光源として使用すること
ができる。また、上記実施形態の放電ランプ100は、
プロジェクタ用光源の他に、紫外線ステッパ用光源、ま
たは競技スタジアム用光源や自動車のヘッドライト用光
源などとしても使用することが可能である。
【0057】なお、上記実施形態では、一対の電極の電
極中心軸19が一致しているW棒16を使用したが、こ
の構成に限定されず、一対の電極の電極中心軸19が同
一軸にない構成のW棒16を用いて、電極形成工程を行
うことも可能である。さらに、電極組立体40として、
W棒16の両端にMo箔24および24’が接合された
構成のものを用いたが、Mo箔24の部分もW棒16と
した構成の電極組立体を使用することも可能である。す
なわち、一本のW棒を電極組立体にすることができる。
この構成の場合、外部リード30もW棒によって構成す
ることが可能となる。
【0058】また、上記実施形態では、水銀蒸気圧が2
0MPa程度の放電ランプ(いわゆる超高圧水銀ラン
プ)の場合について説明したが、水銀蒸気圧が1MPa
程度の高圧水銀ランプや、水銀蒸気圧が1kPa程度の
低圧水銀ランプについても適応可能である。また、本発
明は、水銀ランプ以外の他の放電ランプにも適用可能で
あり、例えば、金属ハロゲン化物を封入したメタルハラ
イドランプなどの放電ランプに適用することができる。
本発明は、電極間隔D(アーク長)が比較的短いショー
トアーク型の場合に適用することが好適であるが、それ
に限定されず比較的長い電極間隔Dの場合に適用するこ
とができる。上記実施形態で得られた放電ランプ100
は、交流点灯型および直流点灯型のいずれの点灯方式で
も使用可能である。
【0059】
【発明の効果】本発明によれば、電極組立体の電極構造
部分の一部を選択的に溶断することによって、発光管内
に一対の電極を形成するので、従来技術よりも高い精度
で一対の電極間隔を規定することができる。その結果、
従来技術では実現できなかったより短い電極間隔(例え
ば、1mm以下)の放電ランプを製造して提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)から(d)は、実施形態1にかかる放電
ランプの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図2】(a)および(b)は、レーザ照射工程を説明
するための発光管10の部分拡大図である。
【図3】(a)および(b)は、レーザ照射工程の改変
例を説明するための発光管10の部分拡大図である。
【図4】従来の超高圧水銀ランプ1000の構成を模式
的に示す図である。
【図5】従来の超高圧水銀ランプ1000の製造方法を
説明するための工程断面図である。
【符号の説明】
10 発光管(発光管部) 12、12’ 電極(W電極) 14 コイル 15 放電空間(管内) 16 電極棒 17 隙間 18 溶断部位 20、20’ 封止部 22 ガラス部(側管部) 24 金属箔(Mo箔) 30 外部リード 40 電極組立体 42 電極構造部分 50 放電ランプ用ガラスパイプ 52 チャック 54 バーナー 100 放電ランプ 110 発光管(発光管部) 112、112’ W電極 114 コイル 115 放電空間(管内) 116 電極棒 118 発光物質(水銀) 120、120’ 封止部 122 ガラス部 124 Mo箔 130 外部リード 1000 超高圧水銀ランプ
フロントページの続き (72)発明者 関 智行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 一番ヶ瀬 剛 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 竹田 守 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山本 真一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 佐々木 健一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5C012 LL01 LL02 5C039 HH04

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光管部と側管部とを有する放電ランプ
    用ガラスパイプと、放電ランプの一対の電極となる電極
    構造部分を含む1個の電極組立体とを用意する工程と、 前記放電ランプ用ガラスパイプの前記発光管部に前記1
    個の電極組立体の前記電極構造部分が位置するように、
    前記1個の電極組立体を前記放電ランプ用ガラスパイプ
    内に挿入する工程と、 前記放電ランプ用ガラスパイプの前記側管部を前記1個
    の電極組立体の一部に密着させることによって、内部に
    前記電極構造部分が配置された発光管を形成する工程
    と、 前記電極構造部分の一部を選択的に溶断することによっ
    て、前記発光管内に一対の電極を形成する工程とを包含
    する、放電ランプの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記電極構造部分は、前記放電ランプの
    一対の電極が同一軸となるように構成された構造を有し
    ている、請求項1に記載の放電ランプの製造方法。
  3. 【請求項3】 前記放電ランプ用ガラスパイプの前記発
    光管部に発光物質を充填する工程をさらに包含する、請
    求項1または2に記載の放電ランプの製造方法。
  4. 【請求項4】 さらに、ハロゲンまたはハロゲン前駆体
    を前記発光管部に充填する工程を包含し、 前記電極構造部分の一部を選択的に溶断した後、前記ハ
    ロゲンまたは前記ハロゲン前駆体から誘導されたハロゲ
    ンによって、前記一対の電極が形成された前記発光管内
    をクリーニングする工程を実行する、請求項1から3の
    何れか一つに記載の放電ランプの製造方法。
  5. 【請求項5】 前記発光管内をクリーニングする工程
    は、前記発光管を真空ベークし、それにより、前記ハロ
    ゲンによるハロゲンサイクルを起こす工程を含む、請求
    項4に記載の放電ランプの製造方法。
  6. 【請求項6】 前記1個の電極組立体は、前記電極構造
    部分として機能する一本のタングステン棒と、前記一本
    のタングステン棒の両端に接合された金属箔とを含む、
    請求項1から5の何れか一つに記載の放電ランプの製造
    方法。
  7. 【請求項7】 前記一本のタングステン棒のうち、選択
    的に溶断される一部の両側にコイルが巻かれている、請
    求項6に記載の放電ランプの製造方法。
  8. 【請求項8】 前記一対の電極を形成する工程は、前記
    発光管の外部からレーザ光を照射することによって実行
    される、請求項1から7の何れか一つに記載の放電ラン
    プの製造方法。
  9. 【請求項9】 前記レーザ光の照射は、前記発光管部を
    相対的に回転させながら実行する、請求項8に記載の放
    電ランプの製造方法。
  10. 【請求項10】 前記一対の電極を形成する工程は、前
    記1個の電極組立体に電流を流すことによって実行され
    る、請求項1から7の何れか一つに記載の放電ランプの
    製造方法。
  11. 【請求項11】 前記一対の電極を形成する工程は、前
    記発光管を冷却しながら実行される、請求項8から10
    の何れか一つに記載の放電ランプの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記一対の電極を形成する工程は、前
    記電極構造部分が前記一対の電極となった場合における
    前記一対の電極の根本部分を冷却しながら実行される、
    請求項8から11の何れか一つに記載の放電ランプの製
    造方法。
  13. 【請求項13】 前記側管部を前記1個の電極組立体の
    一部に密着させる工程は、前記電極構造部分と前記側管
    部との間に隙間が生じるように、前記側管部と前記1個
    の電極組立体の一部とを仮密着させる工程を含み、 前記仮密着工程の後、前記電極構造部分の前記一部を選
    択的に溶断する、請求項1に記載の放電ランプの製造方
    法。
  14. 【請求項14】 前記隙間は、前記溶断の際の熱によっ
    て前記電極構造部分が膨張しても前記側管部に接触しな
    い程度の隙間である、請求項13に記載の放電ランプの
    製造方法。
  15. 【請求項15】 前記仮密着工程の後、前記電極構造部
    分の一部を選択的に溶断し、次いで、溶断によって得ら
    れた一対の電極の電極間隔を調節する工程をさらに包含
    する、請求項13または14に記載の放電ランプの製造
    方法。
  16. 【請求項16】 前記電極構造部分の一部を選択的に溶
    断した後、前記隙間を埋めるように前記一対の電極のそ
    れぞれの一部と前記側管部とを密着させる工程をさらに
    包含する、請求項13から15の何れか一つに記載の放
    電ランプの製造方法。
  17. 【請求項17】 発光物質が封入される管内に一対の電
    極が対向して配置された発光管と、前記一対の電極のそ
    れぞれに電気的に接続された一対の金属箔のそれぞれを
    封止する一対の封止部とを備えた放電ランプであって、 発光管部と側管部とを有する放電ランプ用ガラスパイプ
    と、放電ランプの一対の電極となる電極構造部分を含む
    1個の電極組立体とを用意する工程と、 前記放電ランプ用ガラスパイプの前記発光管部に前記1
    個の電極組立体の電極構造部分が位置するように、前記
    1個の電極組立体を前記放電ランプ用ガラスパイプ内に
    挿入する工程と、 前記放電ランプ用ガラスパイプの前記側管部を前記1個
    の電極組立体の一部に密着させることによって、内部に
    前記電極構造部分が配置された発光管とを形成する工程
    と、 前記電極構造部分の一部を選択的に溶断することによっ
    て、前記発光管内に一対の電極を形成する工程とを包含
    する放電ランプの製造方法によって製造される、前記一
    対の電極の電極間隔が1mm以下の放電ランプ。
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